DE1774861C - A storage device comprising at least one magnetic film element - Google Patents
A storage device comprising at least one magnetic film elementInfo
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Description
I 774I 774
Pie Erfindung betrifft eine Speicheranordnung mit mindestens einem magnetischen lilnielemenl /tun Speichern von binären Digits, mit eiii-in Paar ühereinaiulerliegender, dünner Filme von untcrschiedlieher KoLT/iiivkrafi. und mit an den beiden Breitseiten des lilmpaares anliegenden, flachen, bandartigen Leitern, über die dem Filiiinaar /um Einschreiben der Digits ein starkes Magnetfeld und /um Auslesen ein schwaches Magnetfeld aufpiägbar ist.The invention relates to a memory arrangement with at least one magnetic lilnielemenl / do Storage of binary digits, with eiii-in pairs overlying, thin films of different coLT / iiivkrafi. and with on the two broad sides of the pairs of flat, ribbon-like ladders, over which the filiiinaar / um inscribe the digits a strong magnetic field and / to readout a weak magnetic field can be applied.
Aus der li.SA.-Patentschrifi .1125 743 isl ein m magnetisches Speicherelement aus zwei dünnen I-linien bekannt, das niehtlösend ausgelesen werden kann. Auf einer Unterlage aus Glas sind übereinander zwei dünne ferromagnetische l'ilme aufgebracht, die durch eine nichtmagnetische Schicht aus Magnesiumlluorid voneinander getrennt sind. Der eine IiIm isi vorzugsweise fünfmal dicker und weist daher eine vveseiiilich höhere Koer/:' vkr.ift als der andere Film auf. Mit »lieseni Filmpanr sind drei Hache, haiulariige I eiter induktiv gekoppelt, die seillich über the I lime hinaus- 2α rauen, damil bei /uführung eines I reihslroines 111 ilen I ihnen ein möglichst gleichfi'iriniges Magnetfeld aufgebaut wird. Die Leiter können ein/ein oder gemeinsam auf einer oiler beiden Seilen des I-ilmpaares ungeordnet sein und mit den I-'linien vorzugsweise einen Stapel bilden. Die drei Leiter einsprechen hinsichtlich ihrer I nnklion den drei Wicklungen der an sich bekannten !-errit-Ringkerne, über die diese im Koin/idui/verfaliren betrieben werden. Durch gleichzeitige Stromimpiilse von 600 ιτιΛ in zwei Leitern wird tlas betreffende Speicherelement innerhalb einer Matrix ausgewählt und in dieses eine binäre Fins eingeschrieben. Zum Einschreiben einer Null wird dem dritten Leiter gleichzeitig ein Blockicrstrom zugeleitet. Da sich die beiden übereinanderliegenden I-'ilnie in einem parallelen magnetischen Kreis befinden, bewirkt jede magnetische Kraftänderung im dickeren Film mit der hohen Koerzitivkraft eine Remancnzänderting des dünneren Filmes. Um die binäre F.ins aus dem Filmpaar auszulesen, werden den beiden Leitern Leseströme von etwa 200 mA in der Richtung zugeleitet, in der die Magnetisierung des dünneren Filmes umgekehrt wird, während der magnetische Zustand des dickeren Filmes wegen der zu geringen Stromstärke unverändert bleibt. Infolgedessen entsteht im dritten Leiter ein Signal, das Von einem angeschlossenen Abtastverstärker wahrgenommen wird. Sobald die Leseströme endigen, dreht der dickere Film mit der hohen Koerzitivkraft die Magnetisierung des dünneren Filmes in ihre Richtung vor dem Anlegen der Lcscströme zurück, Wodurch ein weiterer Impuls, aber von entgegengesetzter Polling, im dritten Leiter iiidu/icrt und vom Abtastverslürkei wahrgenommen wird. Falls in das I ilnipaar eine binäre Null eingeschrieben war. stimmt die Richtung des von den l.eseströnien hervorgerufenen Magnetfeldes mit der Magnctisicrungsrichtung des dünneren Filmes übcrcin, wodurch dieser lediglich weiter in die Sättigung gelrieben wird und im dritten I eiter nur ein vcrnachlässigbarcs Ausgangssignal auftritt.From the li.SA. patent specification. 1125 743 isl a m magnetic storage element made up of two thin I-lines known that can be read out non-releasingly. On a base made of glass, two thin ferromagnetic films are applied one on top of the other, which pass through a non-magnetic layer of magnesium luoride are separated from each other. The one IiIm is preferably five times thicker and therefore has a vveseiiilich higher Koer /: 'vkr.ift than the other film on. With “Lieseni filmpanr are three things, sharky ones inductively coupled, which ropes beyond the I lime- 2α rough, damil at the execution of an I series routine 111 I give them a magnetic field that is as uniform as possible is being built. The leaders can be one / one or together be disordered on one of the two ropes of the I-ilm pair and preferably with the I-lines form a stack. With regard to their inclusion, the three conductors speak to the three windings of the an known! -errit toroidal cores through which these are operated in Koin / idui / Veraliren. By simultaneous Stromimpiilse of 600 ιτιΛ in two conductors becomes tlas relevant memory element is selected within a matrix and in this a binary fins enrolled. To write a zero, a blocking current is fed to the third conductor at the same time. Since the two superimposed lines are in a parallel magnetic circuit, every change in magnetic force in the thicker film with the high coercive force causes one Remanufacturing of the thinner film. To read the binary F.ins from the film pair, the Read currents of around 200 mA are fed to both conductors in the direction in which the magnetization of the thinner film is reversed, while the magnetic state of the thicker film is reversed because of the low amperage remains unchanged. As a result, a signal arises in the third conductor that Is perceived by a connected sense amplifier. As soon as the reading streams end, the thicker film with the high coercive force turns the magnetization of the thinner film into theirs Direction back before the application of the currents, creating a further impulse, but from the opposite direction Polling, on the third conductor iiidu / icrt and from Sampling versatility is perceived. If a binary zero was written in the I ilnipaar. Right the direction of that evoked by the Eseströnien Magnetic field with the magnetic direction of the thinner film, whereby this only is driven further into saturation and in the third If only a negligible output signal occurs.
Dieses vernachlassigbare, den O-Zusland angebende Signal ist eine Besonderheit beim niehtlöscnden Auslesen der Filmpaare. F.inc wcilere Besonderheit besieht darin, daß der IiIm mit der hohen Koer/.itivkraft die Rückstellung des Magnetisierungsvektors im zweiten dünneren Film (mit geringer Koerzitivkraft) η seine Ausgangslage nach dem Abschalten der Leseströme unabhängig davon bewirkt, wie weit dieser Vektor seine Ausgangslage tutsachlich verlassen hat. Dementsprechend kann der Magnetisieruiigsveklor des dünneren Filmes (mit der geringen Koerzitivkraft) von den Leseströmen bis zu 1KO" aus der Ausgangslage herausgedreht werden, so dall nach dem Ende der Leseströme das den 1-Zustand angehende Signal eine erheblich größere Amplitude aufweist, als wenn die Riickdrehung nur üher kleinere Winkel erfolgen könnte, wie es vom nichtlöschenden Auslesen eines ein/einen dünnen Filmes her bekannt ist.This negligible, indicating the O-Zusland Signal is a peculiarity in the non-detachable reading of the film pairs. F.inc wcilere peculiarity This means that the IiIm with the high Koer / .itivkraft the restoration of the magnetization vector in the second thinner film (with low coercive force) η its starting position after switching off the read currents regardless of how far this vector has actually left its starting position. Accordingly, the Magnetisieruiigsveklor of the thinner film (with the low coercive force) of the read currents up to 1KO "from the initial position are unscrewed, so that after the end of the read currents, the signal going to the 1 state has a considerably larger amplitude than if the backward rotation only takes place via smaller angles could, as is known from the non-erasable readout of a thin film.
(ieniäß der Zeitschrift »IBM Technical Disclosure
Bulletin«, Vol. 4, Nr. 6 (November 1%I), S. 39, kann ein einfaches, dünnes, ferromagnetisches Filmelement
niclitlöschend ausgelesen werden, wenn die Trcihleiiung in einem Winkel von 30" zur leichten
Magiieiisierungsachse des Elementes angeordnet ist.
Von der Vorderllanke eines positiven Treihstromiiiipulscb
winl der Magnetisierungsvektor um etwa 35
nach der Treibleitung hin aus der leichten Achse herausgedreht. Von der nachfolgenden Rückflanke
diese-, Impulses, die durch die Vorderllankc eines
sieh unmittelbar anschließenden Impulses von negativer Polung verlängert wird, wird der ausgelenkte
Magnetisierungsvektor in die leichte Achse zurückiind
in einem zusätzlichen Winkel von etwa 35 über die Achse hinausgetrieben, wobei ein starkes Ausgangssignal
erhalten wird. Am Ende des zweiten Impulses von negativer Polung kehrt der Magnetisieriingsvektor
wieder in seine Ausgangslage in der leichten Achse zurück. Die das Ausgangssignal herbeiführende
Drehung des Magnetisierungsvektors ist also auf einen Winkel von 70 bis 80" beschränkt,
der in Abhängigkeit von der Ausgangslage innerhalb der leichten Achse (0- oder 1-Zustand) in der einen
oder anderen Richtung durciiiaufen wird, gemäß der das Ausgangssignal die eine oder andere Polung
aufweist.(According to the magazine "IBM Technical Disclosure Bulletin", Vol. 4, No. 6 (November 1% I), p. 39, a simple, thin, ferromagnetic film element can be read out non-erasably if the transmission is at an angle of 30 " The magnetization vector is about 35 from the front flank of a positive three-phase current pulse
after the driveline turned out of the easy axis. From the following trailing edge of this pulse, which is lengthened by the leading edge of an immediately following pulse of negative polarity, the deflected magnetization vector is driven back into the easy axis at an additional angle of about 35 over the axis, with a strong output signal being obtained will. At the end of the second negative polarity pulse, the magnetizing vector returns to its starting position in the easy axis. The rotation of the magnetization vector causing the output signal is therefore limited to an angle of 70 to 80 "which, depending on the initial position, is carried out in one or the other direction within the easy axis (0 or 1 state) according to which the output signal has one or the other polarity.
Von einem Speicherelement aus einem einzelnen dünnen, ferromagnetischen Film her ist das »löschende« Auslesen bekannt, ein Vorgang, bei dem die Leseströme den Magnetisierungsvektor so beeinflussen, daß der das binäre Digit wiedergebende Speicherzustand nach dem Auslesen weder wiederhergestellt wird noch sonstwie erkennbar ist. Gemäß der Zeitschrift »British Communications and Electronics«, (Juni 1961), S. 436 bis 438, werden die einzelnen dünnen, ferromagnetischen Filmelemente in einer Matrix derart angeordnet, daß ihre leichten Achsen einen kleinen Winkel zum Treibleiter einnehmen; die beiden stabilen Zustände des Magnetisierungsvektors längs dieser leichten Achse stellen dabei die beiden binären Digits dar. Zum Auslesen wird durch die Treibleiter ein Stromimpuls hindurchgeschickt, von dessen Magnetfeld die Magnetisierungsvektoren unabhängig davon, ob sie den 1- oder 0-Zustand wiedergeben, in eine vorgegebene Richtung gedreht werden, wodurch in den Abtastleitungcn in Abhängigkeit vom 1- oder 0-Zustand ein positiver bzw. negativer Tmpuls entsteht, der dem Abtastverstärker zugeführt wird. In dem Augenblick, in dem das Magnetfeld aus dem Treibleiter verschwindet, fällt der Magnetisierungsvektor in allen Filmen auf dem kürzesten Wege in die leichte Achse zurück, so daß das eine zuvor in den Filmen gespeicherte binäre Digit nicht mehr vom anderen unterschieden werden kann. The "erasure" reading out of a storage element made of a single thin, ferromagnetic film is known, a process in which the reading currents influence the magnetization vector in such a way that the storage state reproducing the binary digit is neither restored nor otherwise recognizable after reading out. According to the magazine "British Communications and Electronics", (June 1961), pp. 436 to 438, the individual thin, ferromagnetic film elements are arranged in a matrix such that their easy axes assume a small angle to the conductor; The two stable states of the magnetization vector along this easy axis represent the two binary digits. For reading, a current pulse is sent through the drive conductor, from whose magnetic field the magnetization vectors, regardless of whether they represent the 1 or 0 state, are converted into a predetermined one Direction are rotated, whereby a positive or negative pulse arises in the scanning lines depending on the 1 or 0 state, which pulse is fed to the scanning amplifier. At the moment when the magnetic field disappears from the conductor, the magnetization vector in all films falls back on the shortest path in the easy axis, so that one binary digit previously stored in the film can no longer be distinguished from the other.
Der Lrlindung liegt die Aufgabe zugrunde, das Filmelement der eingangs bezeichneten Art in derThe purpose of the Lrlinden is to make the film element of the type described in the introduction
Weise weiterzubilden, daß zum Auslesen drei .stabile Zustände zur Verfugung stehen, damit es wahlweise nichtlöschend bzw. löschend ausgelesen werden kann.Way to further train that for reading three .stable States are available so that it can be read out either non-erasing or erasing.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß an der dem Filmpaar abgewendeten Seite des einen Leitersein weiteres Filmpaarder bezeichneten Art derart angebracht ist, daß dem Leiter der Film mit geringer Koerzitivkraft des einen Paares u\k\ der Film mit hoher Koerzitivkraft des an deren Paares unmittelbar benachbart sind, daß an der äußeren Breitseite des weiteren Filmpaares ein dritter, bandartiger Leiter anliegt, der gemeinsam mit dem zweiten Leiter senkrecht zu dem von den Filmpaaren umhüllten ersten Leiter verläuft und mit dem zweiten Leiter elektrisch verbunden ist, und daß die leichten Achsen aller Filme zueinander parallel und in einem Winkel zur Längsrichtung des zweiten und dritten Leiters schräg gestellt sind, der gleich oder größer als der Dispersionswinkel ist.This object is achieved according to the invention in that on the side of the one conductor facing away from the film pair, another film pair of the type designated is attached in such a way that the conductor is directly connected to the film with low coercive force of one pair and the film with high coercive force of the other pair are adjacent that on the outer broad side of the further film pair rests a third, ribbon-like conductor, which runs together with the second conductor perpendicular to the first conductor covered by the film pairs and is electrically connected to the second conductor, and that the easy axes of all films are parallel to each other and inclined at an angle to the longitudinal direction of the second and third conductor, which is equal to or greater than the dispersion angle.
Das Filmelement gemäß der Gründung weist die bereits genannten Besonderheiten des Filmelementes der eingangs bezeichneten Art auf und kann darüber hinaus wahlweise nichtlöschend bzw. löschend ausgelesen werden, weil die Magnetisierung seiner Filme insgesamt drei stabile Zustände einnehmen kann.The film element according to the foundation has the special features of the film element already mentioned of the type described at the outset and can also be read out either non-erasing or erasing because the magnetization of his films can assume a total of three stable states.
Im Betrieb werden von einer Schreibimpulsquelle die VVortleitungen mit Schreibimpulsen von einer so großen Stärke, daß die Filme mit der hohen Koerzitivkraft in der Querrichtung gesättigt werden, und mit Leseimpulsen von einer geringeren Stärke gespeist, bei der sie nicht die Filme mit der hohen Koerzitivkraft umschalten; ferner werden von einer weiteren Steuerimpulsquelle der Bit/Abtastleitung steuernde Impulse zugeführt, die die Magnetisierung der Filme über einen stumpfen Winkel zur leichten Achse hin zurücklenken, damit der Speicher nichtlöschend betrieben werien kann.In operation, the V-forward lines are from a write pulse source with write pulses from a so great strength that the films are saturated with the high coercive force in the transverse direction, and with Read pulses fed by a lower strength, at which they do not affect the films with the high coercive force switch; furthermore, controlling pulses are provided by a further control pulse source of the bit / scanning line which deflect the magnetization of the films back towards the easy axis via an obtuse angle, so that the memory can be operated in a non-erasable manner.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher erläutert. Es stellt darEmbodiments of the invention are shown in the drawing and will be described in more detail below explained. It shows
F i g. 1 einen Grundriß eines Speicherelementes der Speicheranordnung gemäß der Erfindung,F i g. 1 shows a plan view of a storage element of the storage arrangement according to the invention,
Fig. 2 und 3 Querschnitte durch das Element der F i g. 1 längs der Linien 2-2 bzw. 3-3,Fig. 2 and 3 cross sections through the element the F i g. 1 along lines 2-2 or 3-3,
F i g. 4 und 5 eine schematische Darstellung der Verfahrcnsschritte bzw. die Querschnitte durch ein Element nach den F i g. 1 bis 3 in den verschiedenen Herstellungsstufen,F i g. 4 and 5 is a schematic representation of the cross-sections or Verfahrcnsschritte g by an element according to F i. 1 to 3 in the various stages of manufacture,
F i g. 6 bis 8 die Blenden, die im Herstellungsverfahren der F i g. 4 und 5 benutzt werden, F i g. 6 to 8 the diaphragms that are used in the manufacturing process of FIG. 4 and 5 are used,
F i g. 9, 10, 11 und 14 das Speicherelement in der löschenden bzw. nichtlöschenden Arbeitsweise,F i g. 9, 10, 11 and 14 the memory element in the erasing or non-erasing mode of operation,
Fig. 12 und 13 Signalwellenzüge, die bei diesen Betriebsweisen auftreten undFigs. 12 and 13 signal wave trains used in these Operating modes occur and
Fig. 15 ein Speichersystem in Form von Blöcken, das gleichzeitig sowohl löschend als auch nichtlöschend arbeiten kann. Fig. 15 shows a memory system in the form of blocks which can operate both erasure and non-erasure at the same time .
In den F i g. 1 bis 3 ist ein einzelnes Element 10 der Speicheranordnung gemäß der Erfindung für einen Datenspeicher im Grundriß und Querschnitt dargestellt. Es ist auf einer Glasunterlage 24 ausgebildet und weist eine Bit/Abtastleitung Maus Kupfer auf, unter der und über der sich je zwei dünne, magnetische Filme 30, 32 bzw. 34, J6 befinden. Die Filme 30 und 34 besitzen eine niedrige Koerzitivkraft und die Filme 32 und 36 einen höheren Wert der Koerzitivkraft. Der Umriß der Filme ist gleich, und die Filme sind breiter als die Kupferleitung 20, so daß überstehende Bereiche 12 und 14 vorhanden sind, die den magnetischen Flußweg rund um den Leiter schließen. Die leichten Achsen der Filme liegen in einer Richtung 28, die um einen kleinen Winkel aus der Senkrechten zur Leitung 20 hinaus gedreht ist. Die dünnen, magnetischen Filme sind durch fsolieischit-'hten aus Siliciummoiioxid voneinander getrennt, und C'hromschichten sind zwischen den Kupfer- und Isolierschichten eingelegt, um die Adhäsion zu verbessern. In the F i g. 1 to 3, a single element 10 of the memory arrangement according to the invention for a data memory is shown in plan and cross-section. It is formed on a glass support 24 and has a bit / scan line mouse copper, under and over which two thin, magnetic films 30, 32 and 34, J6 are located. Films 30 and 34 have a low coercive force, and films 32 and 36 have a higher value of coercive force. The contour of the films are the same and the films are wider than the copper line 20 so that there are protruding areas 12 and 14 which close the magnetic flux path around the conductor. The easy axes of the films lie in a direction 28 that is rotated a small angle from normal to conduit 20. The thin, magnetic films are separated from one another by foils made of silicon dioxide, and layers of chromium are sandwiched between the copper and insulating layers to improve adhesion.
Das Element wird mit Hilfe eines Vakuumniederschlagsverfahrens hergestellt, dessen aufeinanderfolgende Verfahrensschritte in der Blockdarstelluiig der F i g. 4 wiedergegeben sind, und das außerdem Sehritt für Schritt mit Hilfe von Querschnitten durch den teilweise vollendeten Schichtenaufbau in der F i g. 5 anschaulich gemacht ist. Die F i g. 6 bis ,S zeigen Blenden, die (' . Grenzen der verschiedenen Schichten festsetzen.The element is manufactured using a vacuum deposition process, the successive of which Process steps in the block diagram of FIG. 4 are reproduced, and that too Step by step with the help of cross-sections through the partially completed layer structure in the F i g. 5 is made clear. The F i g. 6 bis, S show apertures which ('. Limits of the various Lay down layers.
In dem zu beschreibenden Beispiel \sird das nach den F i g. 1 bis 3 konstruierte Element 10 auf einer Unterlage 26. die aus einem ebenen Glasplättchcn von 0.15 mm Dicke besteht, im Vakuuniniederschlagsverfahren aufgebaut. Das Plättchen wird zuerst gründlich gereinigt und vorbereitet, wie es bei solchen Prozessen üblich ist, in eine Hülle gelegt, die anschließend evakuiert wird, und die nachfolgenden Schichten werden in den folgenden Schritten aufgebracht, die in den F i g. 4 und 5 dargestellt sind.In the example to be described this \ s is after the F i g. 1 to 3 constructed element 10 on a base 26. which consists of a flat glass plate from 0.15 mm thick, using the vacuum deposition process built up. The platelet is first thoroughly cleaned and prepared, as is the case with such Processes is common, placed in a shell, which is then evacuated, and the subsequent layers are applied in the following steps shown in Figs. 4 and 5 are shown.
A) Unter Verwendung einer Blende 60 (F i g. 6) mit einer rechtwinkligen öffnung 62 wird der Film 30 aus einer Legierung von etwa 81 % Nickel und 19% Eisen in einer Dicke von annähernd 2000 Ä niedeigeschlagen; seine Koerzitivkraft beträgt etwa 4 Oersted, und seire leichte Achse 28 ist gegenüber der Senkrechten zur Längsausdehnung der öffnung 62 (F i g. 6) etwas schräg gestellt.A) Using a diaphragm 60 (FIG. 6) with a right-angled opening 62, the film 30 made of an alloy of approximately 81% nickel and 19% iron is deposited to a thickness of approximately 2000 Å; its coercive force is about 4 Oersted, and seire easy axis 28 is (F i g. 6) relative to the perpendicular to the longitudinal extent of the opening 62 slightly slanting.
B) Über diesem Film 30 wird unter Anwendung derselben Blende 60 eine Isoiierschicht 40 aus Siliciummonoxid in einer Dicke von 1500 A niedergeschlagen.B) Using the same screen 60, an insulating layer 40 of silicon monoxide is deposited over this film 30 to a thickness of 1500 Å.
C) Mit Hilfe derselben Blende 60 wird auf diese Schicht der weitere Film 32 aus einer anderen magnetischen Legierung von etwa 2000 A Dicke aufgebracht, die aber aus 76% Nickel, 20% Eisen, 4% Kobalt zusammengesetzt ist und eine Koerzitivkraft von etwa 16 Otrsted hat; ihre leichte Achse zeigt in die Richtung 28 der F i g. 1.C) With the help of the same screen 60, the further film 32 made of another magnetic alloy of about 2000 Å thickness is applied to this layer, but which is composed of 76% nickel, 20% iron, 4% cobalt and a coercive force of about 16 Otrsted has; their easy axis pointing in the direction 28 of the F i g. 1.
D) Eine die Diffusion verhindernde Schicht 42 aus Siliciummonoxid von etwa 5000 Ä Dicke wird mit derselben Blende 60 niedergeschlagen. D) A diffusion-preventing layer 42 of silicon monoxide approximately 5000 Å thick is deposited with the same screen 60.
E) Unter Anwendung einer Blende 70, die zwei rechtwinklige öffnungen 72 für das Element 10 aufweist, werden Chromschichtcn 44 und 45 von etwa 500 A Dicke aufgebracht, damit für die im nächsten Schritt angewendeten Kupferstreifen eine haftende Grundlage entsteht.E) Using a screen 70, the two right-angled openings 72 for the element 10 Chromschichtcn 44 and 45 of about 500 Å thick are applied so that for The copper strips used in the next step create an adhesive base.
F) Mit derselben Blende 70 werden auf diese Schichten 44 und 45 zwei Anschlußstrei/en 22 und 24 aus Kupfer von etwa 40000 A Dicke niedergeschlagen.F) With the same screen 70, two connecting strips 22 and 24 are placed on these layers 44 and 45 deposited from copper about 40,000 Å thick.
i) Eine weitere Schicht 46 aus Chrom von etwa Winkel β schräg gestellt, der größer als der Dispersions-i) Another layer 46 of chromium inclined at an angle of approximately β , which is greater than the dispersion
5000 A Dicke wird wieder mit der gleichen winkel χ der dünnen, magnetischen Filme ist.5000 A thickness is again at the same angle χ of the thin magnetic films.
Blende 70 aufgebracht. Das Element wird von einer Wortleitung eingehüllt.Aperture 70 applied. The element is enveloped by a word line.
die aus einem oberen Leiter 9Oo und einem unterenmade up of an upper ladder 90o and a lower ladder
f) Mit Hilfe einer Blende 80 (Fig. 8), deren recht- s Leiter 90/> besteht, die an einem Ende durch einenf) With the help of a screen 80 (Fig. 8), the right-hand s conductor 90 /> consists, which at one end by a
winklige Öffnung 82 schmaler als die Öffnung 62 streifen 90c verbunden sind. An die Wortleitung istangled opening 82 narrower than the opening 62 strips 90c are connected. To the word line is
der Blende 60 ist. wird die Kupferleitung 20 eine |mpu|squelle 92 angeschlossen, die ein pul-the aperture is 60 . the copper line 20 becomes a | mpu | squelle 92 connected, which has a pulse
von etwa 400000 Λ Dicke aufgebracht, die als sjerendes Magnetfeld in der Querrichtung //, aufbaut.applied from about 400,000 Λ thickness //, builds as he s j magnetic field in the transverse direction.
und 24 derart, daß sich längs der gesamten EIe- Mjt jer Bit/Abtastleitung 20 ist ein mit Gatter ver·and 24 such that along the entire EIe Mjt j er bit / scan line 20 there is a gate ver.
mentreihe ein durchlaufender Leiter bildet. sehener Verstärker 104 verbunden, der dem Aus- ment series forms a continuous ladder. see amplifier 104 connected to the output
I) Eine weitere Schicht 48 aus Chrom von 500 A les5n ΪΜ^Γ?^1Α?Μ«2ιΙΪΓ!?.β«ίθη w*"I) Another layer 48 of chrome of 500 A les 5 n ΪΜ ^ Γ ? ^ 1Α? Μ «2ιΙΪΓ!?. β « ίθη w *"
Dicke wird mit der Blende 60 aufgebracht. f$ ^JfSL Z Λ dSÄ^ ^SiAThickness is applied with the aperture 60. f $ ^ JfSL Z Λ dSÄ ^ ^ SiA
J) Über dem Chrom wird mit Hilfe derselben werden kann. Entweder kann es löschend oder nichtBlende 60 eine die Diffusion verhindernde löschend ausgelesen werden, oder es kann einen Teil Schicht SO aus Silieiummonoxid von etwa 5000 A eines umstellbaren Speichers bilden, in dem einige Dicke angebracht. Bereiche nichtlöschend und andere löschend arbeiten.J) Above the chrome will be made using the same. Either it can be read out erasingly or not Layer SO of silicon monoxide of about 5000 A form a convertible memory in which some Thickness attached. Work non-erasing areas and erasing others.
*o Diese verschiedenen Anwendungsmöglichkeiten seien* o These are various possible uses
wird der ferromagnetische Film 34 von annähernd Die nichtlöschende Arbeitsweise des Elementesthe ferromagnetic film 34 becomes approximately the non-quenching operation of the element
2000A Dicke mit der Zusammensetzung von kann an Hand der Fig. 10 bis 12 verfolgt werden.2000A thickness with the composition of can be followed with reference to FIGS. 10 to 12.
81·/, Nickel und 19·/, Eisen und mit einer Ko- Um in das Element eine Null einzuschreiben, wird81 · /, nickel and 19 · /, iron and with a Ko- To write a zero in the element, will
erzitivkraft von etwa4 Oersted aufgebracht, wobei a5 Von der Impulsque'ne 92 auf die Wortleitung einapplied force of about 4 oersteds, where a5 from the pulse que'ne 92 on the word line
die leichte Achse in die Richtung28 der F i g. 1 Impuls** gelegt, der ein impulsförmiges Magnetfeldthe easy axis in the direction 28 of FIG. 1 pulse ** placed, which is a pulse-shaped magnetic field
zeigt. von solcher Stärke hervorbringt, daß die dünnen.indicates. of such strength that the thin ones.
. _. . . , ,. .. .. ... ,. . magnetischen Filme in der Querrichtung 2-2 gesättigt. _. . . ,,. .. .. ...,. . Magnetic films saturated in the transverse direction 2-2
L) SE .m*S™USK !, 150^f! 5 ,J° m α werden. Wenn der Impuls aufhört, fällt die Magnet.-1500 A Dicke w.rd w.eder mit derselben Blende ^ sjerung def F)|me 32 ^ ^ mj| def ^n Koe* |(|V. L) SE . m * S ™ USK !, 150 ^ f! 5 , J ° m α . When the impulse ceases, the magnet. -1500 A thickness w.rd w. Each with the same aperture setting def F) | me 32 ^ ^ mj | def ^ n Koe * | (| V.
60 niedergeschlagen. kraft jn dic Richtung der |eichten Achse 28 (gegen 60 dejected. by virtue of the direction of the | calibrated axle 28 (against
M) Der weitere Film 36 aus einem ferromagnetischen den Uhrzeigersinn in F i g. 9) zurück, da dir Orientie-Material von 2000 A Dicke mit der angenäherten ™"g der Achse um den Winkel β gegenüber der Zusammensetzung von 76·/, Nickel. 20·/, Eisen Längsrichtung die magnetische Drehung in dieser und 4·/, Kobalt und mit einer Koerzitivkraft 35 Richtung vorzugeben sucht. Das auf den Film mn von etwa 16 Oersted wird aufgetragen, wobei die der hohen Koerzitivkraft zurückzuführende Fei leichte Achse wie zuvor gerichtet ist. *"rk« *>"* dlc angrenzenden Filme mit geringer κ- M) The further film 36 made of a ferromagnetic clockwise in FIG. 9) back, because the Orientie material of 2000 Å thickness with the approximate ™ "g of the axis at the angle β compared to the composition of 76 · /, nickel. 20 · /, iron longitudinal direction the magnetic rotation in this and 4 · / , Cobalt and with a coercive force of 35. This is applied to the film mn of about 16 oersted, with the easy axis attributable to the high coercive force being directed as before. * " Rk « *>"* dlc adjacent films with lower κ-
erzitivkraft ein und bringt ihre Magnetisierung ι. <<an excitatory force and brings its magnetization ι. <<
N) Schließlich wird eine Isolierschicht 54 aus Si- antiparallele Ausrichtung. Die Magnetisierung der liciummonoxid von etwa 2500 A Dicke durch die 4» Filme ist folglich so. wie in F ι g. 10 gezeigt ist. die Blende 60 hindurch auf den obersten magnetischen Filme 32 und 36 von hoher Koerzitivkraft sind d.iN Film 36 aufgebracht. in derselben Richtung längs der leichten Aciise und N) Finally, an insulating layer 54 is made of Si anti-parallel alignment. The magnetization of the silicon monoxide of about 2500 Å thickness through the 4 »films is consequently like this. as in FIG. 10 is shown. The aperture 60 on the uppermost magnetic films 32 and 36 of high coercive force are deposited on the iN film 36. in the same direction along the light Aciise and
die Filme 30 und 34 mit der geringen Koerzitivkraft films 30 and 34 with the low coercive force
Bei der Ausführung dieses Verfahrens soll ver- in derselben Richtung, aber entgegengesetzt zu der mieden werden, daß zwei Elemente ein gemeinsames 45 der Schichten mit der hohenKoerzitivkr.iftmagnctisiett magnetisierbares Material aufweisen, da die Silicium- Im in das Element eine Fms einzuschreiben, -.ird When carrying out this method, it should be avoided in the same direction, but opposite to that, that two elements have a common 45 of the layers with the high coercive force, since the silicon Im to write an Fms in the element. earth
monoxidschichten dazu neigen, Sprünge und röhren- der Impuls aus der Impulsquelle 92 wie zu\or rigclegt. förmige Löcher zu entwickeln, und eine elektrische dieser Impuls % (F ι g. 12) bringt die Magnetisierung Verbindung durch die magnetischen Schichten könnte der Filme in der Querrichtung zur Sättigung, .iber einen Abschnitt des Speichers kurzschließen. Ferner- 50 bevor dieser Impuls endigt, wird ein Impuls IWl hin soll die Menge an magnetischem Material in den von der Stromquelle 98 aus der Bit Abtastleitung 20 überstehenden Bereichen 12 und 14 möglichst gering- zugeleitet. Beim Verschwinden des Impulses ift <si gehalten werden, da diese einen Lberbrückungsweg ein magnetisches Restfeld in der Längsrichtung vorfür das quer verlaufende Trcibfcld bilden, das sonst handelt, das auf den Impuls 100 zurückzuführen ;-t. durch den aktiven Abschnitt der dünnen Filme hin- 55 der die Magnetisierung der Filme längs der leichter durchgehen würde. Achse 23 zurücklenkt: die iiSer der leitung 2( Monoxide layers tend to crack and tubular impulse from the pulse source 92 as too \ or rigclegt. Shaped holes develop, and an electrical pulse of this% (Fig. 12) brings the magnetization connection through the magnetic layers, could short-circuit the films in the transverse direction to saturation, .over a section of the memory. Furthermore, before this pulse ends, a pulse IW1 is supplied to the amount of magnetic material in the areas 12 and 14 protruding from the current source 98 from the bit scanning line 20 as little as possible. When the pulse disappears, ift <si must be maintained, since this forms a bridging path, a residual magnetic field in the longitudinal direction in front of the transverse direction, which otherwise acts, which can be traced back to the pulse 100 . by the active portion of the thin films which would make it easier for the magnetization of the films to pass along it. Axis 23 steers back: the iiSer of line 2 (
Nun sei die Betriebsweise des Speicherelemeiites 10 liegenden Filme 34 und 36 werden dabei in die eim in Verbindung mit der F i g. 9 erläutert. d;e eine ver- Richtung und die Filme unterhalb det I eiium: 2( cinfachtc Ansicht eines Teils des Elementes ist. in ir, die andere Richtung gelenkt, llicrduuh entsteh' der nur die aktiven Komponenten und ihre Ver- 60 ein Bild der Magnetisicrungsvektorcn. das mi F i c. 1! bindiingen dargestellt sind. zu sehen ist. in dem der Film 30 mit geringer k*>crzitivNow let the operation of the memory element 10 lying films 34 and 36 are in the eim in connection with FIG. 9 explained. d; e a ver direction and the films below det I eiium: 2 ( cinfachtc is a view of part of the element. in ir, steered the other direction, llicrduuh arise which only the active components and their 60 an image of the magnetization vectors. the mi F i c. 1! bindings are shown. you can see. in which the film 30 with low k *> crcitive
In der F" i g. 9 ist die Bit Ahtastlcilung 20 von den kraft und der Film 32 mit der hohen Kocr/imkiaf dünnen, magnetischen Filmen 30. 32. 34 und 36 um- in der einen Richtung und der Film 34 mit tier geringei geben, deren leichte Achsen in der Richtung 28 Koerzitivkraft und der Film 36 mit der hohen Ko iiegeu. Linien 2-2 und 3-3 seien ak Quer- bzw. Längs- β- crzitivkraft in der anderen Richtung magnetisiert sind richtung angeschen, und die Achse 28. die die Richtung I in die gespeicherte Information auszulesen, führG in the F "i. 9 is the bit thin Ahtastlcilung 20 of the force and the film 32 with the high Kocr / imkiaf, magnetic films 30, 32. 34 and 36 environmentally in the one direction and the film 34 with animal geringei give, whose easy axes in the direction 28 coercive force and the film 36 with the high Koiiegeu.Lines 2-2 and 3-3 are ak transverse and longitudinal β-crzitivkraft are magnetized in the other direction, and the Axis 28. read the direction I into the stored information, lead
einer mittleren leichten Achse .Un der dünnen Filme die Impulsqueile 92 der Wortleitung einen Foe darstellt, ist zur Längsrichtung um einen kleinen impuls 102 zu: wenn dieser einsetzt, öffnet ein slroboa middle easy axis .Un of the thin film, the pulse source 92 of the word line represents a foe, is to the longitudinal direction around a small pulse 102 : when this begins, a slrobo opens
Claims (5)
«lenen Filme nach dem löschenden Schreiben einerflocks. The magnetization state of the various patent claims:
«Read films after writing a deletion
Family
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