DE1765850A1 - Method and device for applying thin layers - Google Patents

Method and device for applying thin layers

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DE1765850A1
DE1765850A1 DE19681765850 DE1765850A DE1765850A1 DE 1765850 A1 DE1765850 A1 DE 1765850A1 DE 19681765850 DE19681765850 DE 19681765850 DE 1765850 A DE1765850 A DE 1765850A DE 1765850 A1 DE1765850 A1 DE 1765850A1
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DE19681765850
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Pierre Beucherie
Michel Block
Joseph Wurm
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European Atomic Energy Community Euratom
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European Atomic Energy Community Euratom
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
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Description

(Zusatz su Patent . (P 15 15 296,2)(Addition see patent. (P 15 15 296.2)

Ia Hauptpatent (Patentanaeldung P 15 15 296.2) sindIa main patent (patent application P 15 15 296.2) are

ein Verfahren und eine Vorrichtung sum Aufbringen τοη dünnen Schichten beschrieben, die es ermöglichen, auf Fischen jeglicher Art und Natur Metall- oder Legierungssehiohten (intermetallische Verbindungen), Graphitschichten sowie Schiohten jeglioher Art aus Leitern oder Halbleitern aufzubringen. Diese Schichten können sowohl MetalIflachen als auoh Keraaik-, Kunststoff flächen entweder in Fora von Korrosionasohutssehiohten oder in Fora einer DIffusionssohranke sowohl auf der Innenals auoh auf der Auesense!te eines beliebigen Gegenstandes bedeoken oder aber elektrisch oder wKraeleltende oder auoh dekorative oder optisohe Verkleidungen bilden.a method and an apparatus sum applying τοη thin Layers described that make it possible to fish any Type and nature of metal or alloy layers (intermetallic compounds), graphite layers and layers to apply any kind of conductors or semiconductors. These layers can be metal surfaces as well as ceramic or plastic surfaces either in the form of a corrosion hatch or in the form of a diffusion vault on both the interior and the auoh on the Auesense! te of any object bedeoken or electric or wKraeleltende or auoh make decorative or optical panels.

Dieses Verfahren besteht darin, dass die su beschichtendeThis process consists of coating the su

-2--2-

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Fläche in ein· ständig erneuerte and auf einen ie wesentlichen konstanten Druok (in der erOssenordnting von iO bl· iO~* Torr) gehaltene Gasatnosphare elngetaueht, da« β*· «in·« hoehfrequen* tan elektromagnetischen Hoehspannungsfeld auegeeetst wird, die Mittel stn Erzeugen dee Hoohf reoucnsfeldes au· u&m aufsubrin~ genden Stoff hergestellt und Ui die Oasatnotpaäre eingetaucht sind9 wobei das hochfrequente elektroaegnetlseae Hochspwuumg·» feld d*su dient, das Gas sa ionisieren wnä es sasdadest teilweise in Plasaa uasawandeln« dessen Tellohen unter Einwirkung ihrer Bewegung auf die Mittel sur Irseugung des Booafrequens« fsides auftroffen und unter Einwirkung des entstehenden Stosses kleine Stofft«Hohen you ihnen abltfeen, die sieh auf der su besohiehtenden Fläohe ablagern·The surface is thawed into a constantly renewed and at an essentially constant pressure (in the erOssenordnting of iO bl iO ~ * Torr) held gas atmosphere, since "β *" in high-frequency electromagnetic high-voltage field is released, the mean produce manufactured dee Hoohf reoucnsfeldes au · u m aufsubrin ~ constricting fabric and Ui the Oasatnotpaäre immersed 9 wherein the high-frequency elektroaegnetlseae Hochspwuumg · "field d * su serves wnä sa ionize the gas it sasdadest partially uasawandeln in Plasaa" whose Tellohen under the influence of their movement on the means of suction of the Booafrequens “fsides and, under the action of the resulting impact, remove small substances from them, which are deposited on the surface to be covered.

Die Vorrichtung sur Durchführung dieses Terfahrens ist äueseret einfach. Sie besitst eine Takuuakaaeer, in weloher daa su besohiehtende Teil, eine aus den auf anbringenden Stoff bestehende Boohf requenswieklung und eine in JWhe der wicklung elnvttndende Oasspeiseleitang angeordnet sind·The device for carrying out this procedure is specified simple. She owns a Takuuakaaeer, in which daa su concerned Part, one consisting of the material to be applied, and one in the course of the winding Oasspeiseleitang are arranged

Obwohl dieses Systen sun Aufbringen τοη dttnnen Sehlohten einwandfrei arbeitet, hat nan seinen Wirkungsgrad an steigern versnobt. Die der vorliegenden Erfindung sugmndellegende Aufgabe 1st in einer Terbesserung der in Eauptpatent unter Sehnt· gestellten Verfahren sowie Vorrichtung sun Auf bringen von dünnen SohlohtenAlthough this systen sun application τοη dttnnen Sehlohten perfectly works, nan has snobbied to increase its efficiency. The problem underlying the present invention is in an improvement of those in the main patent under longing Method and device sun on application of thin soles

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«a sehen·«See a

Erfindungsgeaäss wird sualltslleb. «in« au· da« aafsubrlngenden Stoff («bildet· und toü einea Ende m anderen alt ein·· Sohl!ta Tersehene Vmnd la Inneren der Hoohf retpieaairleklung angeordnet and alt ihr elektrisch verbunden.According to the invention is sualltslleb. «In« au · da «aafsubrllong Substance («forms · and toü one end at the other old ·· Sohl! Ta Tersehene Vmnd la interior of the Hoohf retpieaairleklung arranged and old your electrically connected.

Di· Fora dieeer Vaad epielt offenbar «in· viohtlg· Boll·· Bei der einfachsten Ltfsung iet eie sylindriseh and «itlang einer Mantellinie ait einea Sohlits rereehen.Di · Fora dieeer Vaad apparently plays «in · viohtlg · Boll · · The simplest solution is cylindrical and long a surface line ait a base.

Bei einer aehr auagearbelteten Ltfetmg ist al« kegeletoapfflfraig and anaeerdea entlang einer Mantellinie alt einea Sohlits Teraehen. In dieeea Fall· tat die sie nagebende Vioklnng ebenfall· kegelstuapffOraig anagebildet, d.h, der DarotuMsser ihrer Yindnngen ist nicht konstant.In the case of a more precise line, a cone-shaped apple is used and anaeerdea along a surface line alt einea Sohlits Teraehen. In the case · did the nagging Vioklnng also · kegelstuapffOraig anagebilden, i.e. the The degree of their yndness is not constant.

91· nora»lerwelee an elnea End· der Vioklnng erfolgende Einapritsong des neutralen Gases kann la Falle einer syllndrieehen Vaad in der Mitte des Schiitsee erfolgen and somit an den beiden Enden der Vloklaag «in· Zerstäubung bsw. Aufbringung in sw·! einander entgegengeeetsten Elehtungen er-91 · nora »lerwelee at elnea end · of the Vioklnng a one-apritsong The neutral gas can cause a syllable drift Vaad take place in the middle of the Schiitsee and thus at both ends of the Vloklaag «in · atomization bsw. Application in sw ·! opposing elections

Da U9T auf «»bringende Stoff ror alles duroh die la Inneren derSince U9T on «» bringing material, everything roroh the inside of the

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Wicklung angeordnete Wand geliefert wird, kann die Wicklung ans eine« elektrisch gut leitenden Metall, beispielsweise ans Kupfer, hergestellt und lediglich »it de« aufzubringenden Stoff beschichtet bsw. verkleidet sein. Auf die·· Welse let bei kostspieligen Aufbringungen (Beeehlehtragen), beispielsweise aus Gold, der Frei· der Wicklung weniger hoeh, dooh führen die wenigen aue ihrer Oberfläche heransgerieeenen Tellohen aber nicht su Verunreinigungen bei der durchgeführten Aufbringung (Beschichtung). Winding arranged wall is supplied, the winding can be attached to a «good electrically conductive metal, for example ans copper, manufactured and only "it de" to be applied Coated fabric be disguised. To the ·· catfish let in the case of expensive applications (bracing), for example made of gold, the clearance of the winding is less high, dooh lead the few who have come close to their surface Tellohen but not su contamination during application (coating).

Die Vorteile der Erfindung liegen in eine« heberen Wirkungsgrad des Systens. Die Ausbringung de· auf anbringenden Metall· erfolgt in einer Vorsugsrlohtung, so da·· ee «tfglloh 1st, die Aufbringung besser tfrtlleh au begrenzen und die Verlnate durch die Windungen der Wicklung hindurch au vemelden· Öle· ist bei der Aufbringung von Edelmetallen, trie Hold, Platin, Irrldiua, besonders wichtig. Man kann eine slealleh (einige Millimeter) dicke Zwischenwand verwenden, die «ehr ausgedehnte Metall!sierungsselten sulässt, ohne da· Gerät öffnen und das Vakuua aufheben su nüssen. Dies 1st bei einer groesen 8erie sehr interessant. Aueserde· lassen eich bestlasite Stoffe (besonders gesinterte Metalle) viel leichter in Bleob- al· in Drahtf on herateilen·The advantages of the invention reside in a higher degree of efficiency of the system. The application of the metal to be applied takes place in a precautionary redemption, so that ·· ee «tfglloh is, the application better tfrtlleh au limit and the Verlnate through the turns of the winding oil is used in the application of precious metals, trie Hold, platinum, Irrldiua, especially important. One can use a partition wall as thick as a few millimeters, which is rather extensive Metal coating seldom leaves without opening the device and remove the vacuum su nuts. This is a large one 8series very interesting. Aueserde · have calibrated materials (especially sintered metals) much lighter in Bleob- al share in wire f on

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Die Erfindung 1st la tfaohstehenden anhand einiger in den beigefügten Zeichnungen dargestellter Durchführung»- bsw. Ansftthrungsbelspiele des Verfahren« und der Vorrichtung zun Aufbringen von dünnen Sohlehten naoh der Erfindung la einseinen beschrieben·
Bs seigensThe invention is based on some implementation shown in the accompanying drawings - bsw. Attachment of the method and the device for applying thin sole seams according to the invention are described in detail.
Bs itself

Pig· 1 und S eoheaatisohe Darstellungen der Anwendung des la Hauptpatent . ·«· ··· beschriebenen Systeas,Pig · 1 and S eoheaatisohe representations of the application of the la main patent. · «· ··· described systeas,

Pig« 3 und 4 acheaatisohe Darstellungen der Anwendung geaXss der vorliegenden susätsliehen Erfindung,Pig «3 and 4 Acheaatisohe representations of the application according to the present susätsliehen Invention,

Pig. 5 einen Schnitt durch ein Gerät sua Aufbringen von dünnen Sohlohten gea&ss der Erfindung,Pig. 5 shows a section through a device including the application of thin soles gea & ss of the invention,

Pig. 6 und 7 Varianten der Halterung der konlsohen Zwischenwand.Pig. 6 and 7 variants of the mounting of the konlsohen partition.

Xn den Figuren der Zeichnung sind nur die sur Verstkndlioh-In the figures of the drawing, only the sur understanding

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■Mining der Erfindung notwenlgen Bleaonte dargestellt, dl· in den einzelnen Figur·» Jewell· Mit den gleichen Bezugeselohen Tereehen sind.■ Mining the invention necessary Bleaonte illustrated, dl · in the individual figure · »Jewell · With the same reference donkeys Tereehen are.

FIg· 1 seigt eine der Varianten der Anwendung de· la Hauptpatent bereite beschriebenen Systeme stm Aufbringen τοη dünnen Schichten« In einer Yakmrain—wr 1 sind dl· zu beschichtenden Teile 2» ein· aus dea aufzubringenden Stoff gebildet· Hoohfrequenswloklung 3 und ein· in Mühe der Wicklung» und zwar la Torliegenden Fall· in Ihres Mittleren TeIl9 elnaUndende Gaespeiseleltung k angeordnet. Dl· Rohrleitung 5 ist an die (nioht dargestellte) YaknuMpuaqpe angesohlossen.Fig. 1 shows one of the variants of the application of the main patent already described systems with the application of thin layers “In a Yakmrain — wr 1, the parts 2 to be coated are formed from the material to be applied, high frequency swirl 3 and in Trouble of the winding »namely the gate-lying case · in your middle part 9 elnaUndende Gaespeiseleltung k arranged. Dl · pipeline 5 is connected to the (not shown) YaknuMpuaqpe.

Fig· 2 seigt eine weitere Variante. Sub Beschichten eines lttEtgliohen Teiles, beispieleweise eines Rohres 2y kann aen es auch in die Hoohfreauenswleklung 3 einfuhren·Fig. 2 shows a further variant. Sub-coating of an integral part, for example a pipe 2 y can also introduce it into the hollow space 3

Die Figuren 3 und h sind scheaatische Ansichten der Anwendung der Torliegenden Erfindung. lsi Inneren der Hochfrequenzwicklung 3 wird eine aus des aufzubringenden Stoff gebildete Wand 6 angebracht· Diese Wand 1st bei 7 von eine· lade sun anderen alt einen Sohllts Tereehen und bei 8» beispielsweise alttels einer Lot- oder Sehwelsssteile, an «1· Wicklung elektrisch angesohlossen· Das neutrale Gas wird aber 41· Speiseleitung h eingebracht. Figures 3 and h are scheaatische views of the application of the Torliegenden invention. Inside the high-frequency winding 3, a wall 6 formed from the material to be applied is attached. This wall is electrically connected to a "1" winding at 7 by a load sun another at a base and at 8, for example by means of a solder or pipe part · The neutral gas is introduced 41 · feed line h.

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Di··· Verrichtung bat falgesia Arbeitsweiset Bei den ttbllabes Betriebsbedingungen bildet slob da« Plasma ia Zaneren der Wand 6, so de»· da« pslrerisierte, auf subringesde Metall nur ttber die Bades dieser rohrf Orsigen Vaad entwelchen kann. Auf dl··· Veise ersielt «an eine bessere Ausrichtung d·· StrahlesbtlBdels «ad somit alao eise bessere Ortlieb· Begreaaang der dmrebfeftlbrteB Aofbrincvag·Di ··· performance bat falgesia working method Under the operating conditions, slob da «forms plasma ia Zaneren the wall 6, so de "· da" pslrerisiert, on subringesde Metal just developed over the bath of this tube-like Orsigen Vaad can. In the meantime, a better alignment of the beam was achieved through a better alignment Ortlieb Begreaaang der dmrebfeftlbrteB Aofbrincvag

Vesantlloh iet, dass die ¥«ad an die Vioklung elektrlseb asgesablossen ssd tob elseei Bade stm anderes sit elsea Sebllts vwrsebas istt «eil si· slea sosst duroh mislttelbare Induktion erwarsasi wUrd· und die Bildung des Plassas sebr gering .^. wMr«t WM des Wirkungsgrad des Arbeltsgangs auf eines unan-. sassbaras Wert b«rabsetses ward·· Dl··· Wand bat die Aufgabe« das elektromagnetische PeIi gegenüber der Hoebfreouenswiek· lusg sa konseatrleren·Vesantlloh iet that ¥ "ad sit on the Vioklung elektrlseb asgesablossen ssd tob elseei bathing stm other Elsea Sebllts vwrsebas t" eil si · slea sosst duroh mislttelbare induction erwarsasi Wurd · and formation of Plassas SEBR low. ^. wMr «t WM the efficiency of the work gear to an un-. Sassbara's value b «rabsetses was ·· Dl · ·· Wand asked the task of“ the electromagnetic PeIi against the Hoebfreouenswiek · lusg sa Konseatrleren ·

. Fig. 5 selgt eine vollständig· PslTerislerungseinbeit sub Avf bringen τβη dünnen 8ohlebt4m saeb d«r Erfindung· In ihr findet sas die VaI inistesaur 1« daa as besohlohtende Teil £, die Boebfre4|aesswie]clasg 3» dl· Qaasfelseleitusg 4, die Refcrleit«ag 5 sur (siebt dargestelltes) TiliiiisfnsBe und die bei 7 von eise« Ende sas ee slt eises 8oblits Teraehene ssd bei 8 as die Vioklung 5 elektriseb angesehlossene Iwiseben-6 wieder.. Fig. 5 shows a complete description of the sub Avf bring τβη thin 8ohlebt4m saeb d «r invention · In it Finds the VaI inistesaur 1 «daa as the solemn part £, die Boebfre4 | aesswie] clasg 3 »dl · Qaasfelseleitusg 4, die Refcrleit «ag 5 sur (seven shown) TiliiiisfnsBe and the at 7 von eise «end sas ee slt eises 8oblits teraehene ssd at 8 as the Vioklung 5 elektriseb attached Iwiseben-6 again.

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Dies· Bauwelae weist swei Beaonderhelten auf· Dia Wicklung 3 und dia ana dea auf anbringenden Stoff gebildete Zwischen» vand 6 haben eine die Vlrkeaakelt daa Aufbringen» ateigemde konische Fomv Anderereelte iat dar obere Teil leicht abnehmbar. Die Hoohfrequonsaneohlttese 9 und 10 durohragen den Deckel 11 der Yakutia**—er 1 in Isolierungen 12 und 13· Deagleiohen durohragt dia alt eines Doalerrentil 14 veraehene GaesufUhrung 4 den Dekoal 11 la einer Ieollerung 15· Sobliesa-Hch verhindert eine Ablenkplatte 16 dia Projektion von Teilchen naoh oben.This · Bauwelae has SWEi Beaonderhelten on · Dia winding 3 and dia ana dea to attachment ends which formed intermediate "vand 6 have the Vlrkeaakelt daa applying» ateigemde conical Fom v Anderereelte iat represents upper part easily detachable. The Hoohfrequonsaneohlttese 9 and 10 durohragen the cover 11 of the Yakutia ** - it 1 in insulation 12 and 13 · Deagleiohen durohragt dia old of a door valve 14 veraehene GaesufUhrung 4 the decoration 11 la a pulp 15 · Sobliesa-Hch prevents a deflection plate 16 from the projection Particles near the top.

Die Induktionβwloklung 3 kann beispielsweise aus Kupfer und» sofern ea sich uai ein kostspieliges Metall, wie Gold handelt, nlt einer Sehloht dee aufanbrlngenden Metalle verkleidet sein. Auf dJaae Wciae vereohleohtern die aua dar Oberfläche der Wicklung herauagerleeenen Teilchen die Reinheit dea haupt« aHohlloh aua dar Wand 6 staawenden Belages nicht.Induktionβwloklung 3 can, for example, made of copper and » if uai is a costly metal such as gold, The metal is clad in a shadow be. On dJaae Wciae, the aua dar surface overturn the winding loose particles the purity of the whole " aHohlloh aua the wall 6 does not staw the covering.

Bei Metallen alt niedrige« Sehaalspunkt ausβ die konische «and 6 alt Hilfe eines in Pig. 6 ait 17 bezeichneten Bohren aua dea glelohen Metall gekühlt werden.In the case of metals, the old low “eye point” is excluded from the conical point «And 6 old help one in Pig. 6 ait 17 designated drilling aua dea smooth metal can be cooled.

Flg. 7 saigt eine weitere Variante dar Vorrichtung naoh dar : Erfindung. Bei ihr iat dia konisohe Wand 6 von dar Induktions-Flg. 7 shows another variant of the device: Invention. With her iat the conical wall 6 of the induction

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wicklung *5 durch eine Quarzwand 18 getrennt, jedoch bei 8 stets elektrisch an sie angeschlossen. Dnroh diese Anordnung wird die Anzahl der in die Vakuuokamer 1 hineinführenden elektrischen Leiter auf einen einzigen 19 beschränkt.winding * 5 separated by a quartz wall 18, but at 8 always electrically connected to them. Threatening this arrangement becomes the number of those leading into the vacuum camera 1 electrical conductor limited to a single 19.

Patentansprüche ιClaims ι

Hou/MB/FÜ - 20 551/2Hou / MB / FÜ - 20 551/2

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Claims (5)

PatentansprücheClaims 1. Verfahren sum Aufbringen von dünnen Schichten naoh Patent ····· (Patentanmeldung P 15 15 296.2), bei welohea die zu besehloht end en Pläohen in eine verdünnte QaeataosphKre eingetaucht werden, die eines hochfrequenten elektroaagnetlsohen Feld ausgesetzt wird, dessen Erseugnngsaittel ans dee aufzubringenden Stoff bestehen und in die Atmosphäre eingetaucht sind, dadurch gekennzeichnet, dass eine aus dea aufzubringenden Stoff gebildete und von einen Ende zum anderen alt eine« Sohlltz (7) versehene Wand (6) Ib Inneren der Mittel (3) m Erzeugen des Hoohf requenzf eldes angeordnet und alt diesen Mitteln elektrisch verbunden wird·1. Process for applying thin layers according to patent (Patent application P 15 15 296.2), at welohea the zu besehloht end en Pläohen immersed in a dilute QaeataosphKre that is exposed to a high-frequency electromagnetic field, whose Erseugnngsaittel is applied to the dee Consist of substance and are immersed in the atmosphere, characterized in that one formed from the substance to be applied and from one end to the other old a "Sohlltz (7) provided wall (6) Ib interior of the means (3) m generating the Hoohf requenzf eldes arranged and old these means electrically is connected 2. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens naoh Anspruoh 1 zua Aufbringen von dünnen Sohlohten, bestehend an· einer Vakuoekamer, in weleher die zu besohlohtenden PlSohen, eine aus dea2. Device for performing the method naoh claims 1 zua Application of thin soles, consisting of a vacuum camera, in which the PlSohen to be resolved, one from dea -2--2- 109844/1336109844/1336 aufsubrlngenden Stoff gebildete Boehfrequensvieklung und ein· im *ähe der Boehfrequensvioklung einsendende Gaespeieeleitung Angeordnet sind, dadurch gekeanseiohnet, das· eine au* den aufzubringenden Stoff gebildete und Ton eines lud· stm anderen alt eine· Sehllts (7) versehene Vand (6) Ib Inneren der Hochfrequensvloklung (3) angeordnet and Bit ihr elektrisch rerbunden ist.boehfrequensvieklung formed on the substance and a · Gaespeieeleitung sending in near the Boehfrequensvioklung Are arranged, thereby keanseiohnet, the one outside The material to be applied is formed and the tone of one is loaded with the other old a wall (6) provided with a Sehllts (7) Ib interior of the high-frequency population (3) arranged and bit connected to it electrically. 3· Vorrichtung naoh Anspruch 2, daduroh gekennseiohnet, da·· die Vand (6) sylindriaeh und auf einer Kantelllnle Bit eine« Sohllts (7) rereehen 1st.3 · Device according to claim 2, because it is known that ·· the Vand (6) sylindriaeh and on a square bit a «Sohllts (7) rereehen 1st. 4. Vorrichtung naoh Anepruoh 2, daduroh gekennseiohnet« da·· die Vand (6) kegelstvspffttralg und auf einer Mantellinie Bit elnea Sehllts (7) rersehen ist.4. Device naoh Anepruoh 2, daduroh known «da ·· die Vand (6) kegelstvspffttralg and on a surface line bit elnea Sehllts (7) is seen. 5. Vorrlohtung nach Anepruoh 2, daduroh gekennseiohnet, da·· die Boohfrequenswicklung (3) «»■ elektrieoh gut leitenden Metall hergestellt ist, dessen Oberfläche alt den aufzubringenden Stoff bosohiohtet 1st.5. Vorrlohtung according to Anepruoh 2, daduroh kennseiohnet, that ·· die Booh-frequency winding (3) «» ■ metal with good electrical conductivity is made, the surface of which is old to be applied Fabric bosohiohtet 1st. Hou/feB/rü - 20 551/2Hou / feB / rü - 20 551/2 1098A4/13361098A4 / 1336
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