DE1764699C - Verfahren zum Abgleich von Dünnschicht- Kondensatoren und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens - Google Patents
Verfahren zum Abgleich von Dünnschicht- Kondensatoren und Vorrichtung zur Durchführung dieses VerfahrensInfo
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Description
3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch eines Elektroncnstrahles Teile der Metallbeläge entgckcnn/eichnct,
daß der Abstand der Elektrode 20 fernt werden (britische Patentschrift 1094 323). Die-(1)
vom oberen Kondensatorbelag (4) auf 0,2 bis ses Verfahren ist sehr umständlich und kostspielig, da
1 mm eingestellt wird. hierzu eine Elektronenkanone mit den dazugehörigen
4. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3, dadurch Fokussier- und Ablenkeinrichtungen benötigt wird
gekennzeichnet, daß die Höhe der Abbrennspan- und die abzugleichenden Dünnschicht-Schaltungen in
nung verändert wird. as eine Vakuumkammer eingebracht werden müssen.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch ge- Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren anzukennzeichnet,
daß die Hochspannung zwischen geben, das es gestattet, Dünnschicht-Kondensatoren
40 und 60 kV eingestellt und der Strom auf we- auf einfache Weise schnell und wirtschaftlich auf sehr
nige Mikroampere begrenzt wird. enge Toleranzen zu ttimmen, ohne jedoch die oben
6. Verfahren nach wenigstens einem der An- 30 aufgezeigten Nachteile zu besitzen.
sprüche I bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß ein Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die beiden
Tesla-Transformator (2) Verwendung findet. Kondensatorbeläge kurzgeschlossen und geerdet wer-
7. Verfahren nach wenigstens einem der An- den, daß eine Hochspannung an eine spitze Elektrode
sprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß ab- gelegt, die über dem abzugleichenden Kondensator
wechselnd getrimmt und gemessen wird. 35 angebracht wird, ohne ihn zu berühren, und daß
8. Vorrichtung zur Durchführung des Verfah- durch die Funkenentladung sowohl c'er obere als
rens nach Anspruch 6 und 7, gekennzeichnet auch der untere Metallbelag des Kondensators wegdurch
einen geerdeten Tesla-Transformator (2), gebrannt wird.
eine Kapazitätsmeßeinrichtung (9), eine spitze Damit werden die folgenden Vorteile erzielt: Die
Funkenelektrode (1), die mit dem Hochspan- 40 genaue Position der Spitze über dem Kondensator ist
nungsausgang des Tesla-Transformators (2) ver- nicht kritisch, ebensowenig der Abstand zwischen
bunden ist, zwei Meßsonden (8), die den elektri- Spitze und Metallbelag. Der Abstand soll klein genug
sehen Kontakt zu den Kondensatorbelägen (3,4) sein, damit sich Funken bilden können, jedoch soll
herstellen, und einen Umschalter (18), mit dem die Spitze mit dem Kondensator nicht in Berührung
der Dünnschichtkondensator (S) über die Meß- 45 kommen. Vorzugsweise wählt man den Abstand zwi-
sonden (8) abwechselnd an den geerdeten Pol des sehen 0,2 und I mm. Bei zu großen Abständen kann
Transformators (2) oder an die Meßeinrichtung die Entladung unkontrolliert von einem Punkt des
(9) gelegt werden kann. Kondensators zu einem anderen springen.
Die Höhe der Abbrennspannung ist veränderlich.
__: 50 Dadurch kann die Trimmrate, das ist die pro Zeiteinheit
abgebrannte Metallmenge bzw. Kondensatorkapazität, leicht verändert werden. Bei Spannungen
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abgleich zwischen 60 und 40 kV und einer Begrenzung des
von Dünnschiicht-Kondensatoren, wobei mit Hilfe Abbrennstroms auf wenige Mikroampere, liegt die
eines elektrischen Funkens Teile des Kondensatorbe- 55 Trimmrate zwischen 25 und 2,0 pF/sec für Konden-
lages weggebrannt werden, sowie eine Vorrichtung satoren mit einem 1 μΐη starken Dielektrikum aus SiO
zur Durchführung eines solchen Verfahrens. oder Si2O.,. Man kann damit Kondensatoren bis auf
Es ist bekannt, daß die dünnen Metallschichten eine Ge'nauigkeit von + 0,5 ρϊ7 trimmen,
von sogenannten integrierten Schaltungen mit Hilfe Es ist nicht nötig, die Elektrode über dem Konden-
des elektrischen Stromes weggcbrannt werden kön- 60 sator hin- und herzubewegen. Bei feststehender Elek-
nen. Hierzu wird der eine Pol einer Spannungsquellc trode vergrößert sich die abgebrannte Fläche so
an die zu bearbeitende Metallschicht gelegt, der an- lange, bis die elektrische Entladung infolge zu großer
derc Pol an eine in eine feine Spitze auslaufende Funkenlänge erlischt.
Elektrode. Diese Spitze wird dann auf die Metall- Vorzugsweise legt man die Dünnschicht-Schaltung
fläche aufgelegt. Infolge des Übergangswiderstandes 65 während des Kondensatorabgleichs auf eine ebenfalls
erhitzt sich bei Stromdurchgang die Metallschicht un- geerdete Metallplatte. Dadurch wird das sich zwi-
ter der Spitze, so daß das Metall verdampft oder oxy- sehen der Spitzenelektrode und der Dünnschicht-
diett. TJm den Übergangswiderstand möglichst groß Schaltung ausbildende elektrische Feld homoeenisiert
und die Möglichkeit unkontrollierbarer Auf- oder Eine spitze Elektrode 1 ist in einem gewissen Ab-
Entladungen verhindert. stand über einem auf einem Substrat 5 aufgebrachten
Besonders einfach und wirtschaftlich gestaltet sich Dünnschicht-Kondensator befestigt, der aus einem
das erfindungsgemäße Verfahren, wenn als Hoch- Belag 3, einer Isolierschicht 11 und einem Gegenbespannungserzeuger
ein Tesla-TransEormator Verwen- 5 lag 4 besteht. Die Dünnschictt-Schaltung ist auf eine
dung findet. Da die von einem solchen Transformator geerdete Metallplatte 6 aufgelegt Kontaktspitzen 8
erzeugte Spannung eine Wechselspannung hoher Fre- stellen die elektrische Verbindung der Kondensatorquenz
ist, müssen die Kurzschluß- und Erdverbin- beläge mit einem Umschalter 10 her, mit Hilfe dieses
düngen möglichst niederohmig und induktionsfrei Umschalters 10 wird der Dünnschicht-Kondensator
sein. 10 abwechselnd mit einer Meßeinrichtung 9 oder mit
Der Trimmvorgang wird laufend überwacht. Dazu einem Hochspannungstransformator 2 verbunden,
wird die Hochspannung kurzzeitig eingeschaltet und Der Hochspannungstransformator 2 ist zur Vermeidamit
ein Funken zwischen der spitzen Elektrode und dung von Störungen der Meßeinrichtung 9 völlig gedem
Kondensator gebildet, so daß ein Teil des Kon- kapselt und geerdet. Die Figur zeigt die Schaltersteldensators
wegbrennt. Nach Betätigung eines Um- 15 lung während des Meßvorganges. Der während des
schalters wird die Kapazität gemessen. Ist der gemes- Abgleichvorganges zwischen der spitzen Elektrode 1
sene Wert noch zu hoch, so wird weiter getrimmt und und dem Dünnschicht-Kondensator brennende
gemessen, bis der gewünschte Wert erreicht ist. Funke hat bereits eine Fläche 7 aus den Metallbelä-
Eine besonders günstige Vorrichtung zur Durch- gen 3,4 ausgebrannt.
führung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist in der ao Das erfindungsgemäße Verfahren läßt sich leicht
Figur schematisch dargestellt und ist gekennzeichnet automatisieren, und Kondensatoren können einfach
durch einen geerdeten Tesla-Transformators, eine und wirtschaftlich getrimmt werden. LC-Schwing-Meßeinrichtung,
eine spitze Funkenelcktrode, zwei kreise können leicht auf die Resonanzfrequenz einge-Meßsonden
und einen Umschalter, mit dem der stellt werden. Auch KC-Glieder lassen sich abglei-Dünnschicht-Kondensator
abwechselnd an die Ab- 25 chen, obwohl hier normalerweise der Widerstand ge brennspannung
oder an die Meßeinrichtung gelegt trimmt wird. Ist bei einem solchen Glied der Widerwerden
kann. standswert versehentlich zu hoch eingestellt worden,
Die Figur zeigt die ganze Anlage und die Anord- so kann nach dem erfindungsgemäßen Verfahren die
nung der Meßelektroden und der sonstigen Vorrich- Kapazität des zugehörigen Kondensators erniedrigt
tungsteile, die unmittelbar mit dem abzugleichenden 30 werden, so daß das gesamte RC-Glied noch verwen-Dünnschicht-Kondensator
in Berührung stehen. det werden kann; die Ausschußrate nimmt ab.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (2)
1. Verfahren zum Abgleich von Dünnschicht- Durchmesser haben. Dadurch wird die weggebrannte
Kondensatoren, wobei mit Hilfe eines eJektri- Fläche ebenfalls klein. Man muß dah,er die Spitze auf
sehen Funkens Teile des Kondensatorbelages S der zu bearbeitenden Fläche hin- und herbewegen,
weggebrannt werden, dadurch gekenn- weon man größere Bereiche der Metallschicht cntferzeichnet,
daß die beiden Kondensatorbeläge nen will.
(3,4) kurzgeschlossen und geerdet werden, daß Es ist auch bekannt, daß bei der Herstellung von
eine Hochspannung an eine spitze Elektrode (1) Metallpapier-Wickelkondensatoren mit Hilfe einer
gelegt, die über dem abzugleichenden Kondensa- io Funkenentladung durch eine mit Aussparungen ver-
tor angebracht wird, ohne ihn zu berühren, und sehene Schablone aus hochisolicrendem Material hin-
daß durch die Funkenentladung sowohl der obere durch Teile des Metallbelages entfernt werden kön-
als auch der untere Metallbelag (3,4) des Kon- nen (deutsche Auslegeschrift 1000114). Bei
densators weggebrannt wird. DS-Kondensatoren ist es aber nicht möglich, Scha-
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge- 15 blonen aufzulegen, da die extrem dünnen Schichten
kennzeichnet, daß die Kondensatorträgerplatte sonst beschädigt wurden.
(5) auf eine geerdete Metallplatte (6) aufgelegt Es ist ein Verfahren zum Abgleich von Dünn
wird. schicht-Kondensatoren bekannt, bei dem mittels
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19681764699 DE1764699C (de) | 1968-07-19 | Verfahren zum Abgleich von Dünnschicht- Kondensatoren und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens | |
US841463A US3596039A (en) | 1968-07-19 | 1969-07-14 | Trimming thin-film capacitors by spark erosion |
CH1085469A CH512137A (de) | 1968-07-19 | 1969-07-16 | Verfahren zum Abgleich von Dünnschicht-Kondensatoren und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens |
GB36063/69A GB1281715A (en) | 1968-07-19 | 1969-07-17 | Method and apparatus for trimming a capacitor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE19681764699 DE1764699C (de) | 1968-07-19 | Verfahren zum Abgleich von Dünnschicht- Kondensatoren und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
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DE1764699A1 DE1764699A1 (de) | 1971-04-22 |
DE1764699B2 DE1764699B2 (de) | 1972-06-22 |
DE1764699C true DE1764699C (de) | 1973-01-18 |
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