DE1615104A1 - Method for self-positioning of an electron beam on an object - Google Patents

Method for self-positioning of an electron beam on an object

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DE1615104A1
DE1615104A1 DE19671615104 DE1615104A DE1615104A1 DE 1615104 A1 DE1615104 A1 DE 1615104A1 DE 19671615104 DE19671615104 DE 19671615104 DE 1615104 A DE1615104 A DE 1615104A DE 1615104 A1 DE1615104 A1 DE 1615104A1
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den
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German (de)
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Dr Manfred Von Ardenne
Gottfried Bahr
Heinz Doehler
Ulrich Heisig
Siegfried Panzer
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Description

Verrahren -zur Iz..elbotpocitionierumg irj. ge ä auf einen Objekt Die Er£Indueg betritgt.ein Vozeahren isuir SelbstpositionIarem einen Blektzv#nezwtranei auf -«sv Obärtl"he eime Obje.kteng violches der Eliwjirl:u24 den den wIlo- Die themitIche und eO-htthezr4«&* #mik»b«#ibeit mit slektro- nenstrahlen, bei - der,- das - Werkseug. aus - eimm. toku-Beierten Slok- tronenetriLhl, beute#tit,0 Lot Unter--.dieser Bearbeitung 901-- len auoh ahamiache oder' phy nikanache Wirkümen oder Verameom rungen verstanden wordeni, die Intolse des Auftreffene den Blek- tronänntrahles aat der Obertigob» ein4a 'Objekten hervorgerufen worden*' So können 9'.30« bauti=te'zaoke ver'netztt Aje 7.t-aßeuohwirb. digkalt von md oiliniÜmkrintallen bot*'* einflußtg dUnhö SohioMen auf aubetraten abgetragen. und vie le andere ßearbeitun.gaaggaben aungeftüwt vordene Der Bloktraue»trahl arbeitot dabei-zuch ein4m vor..gegebenen, Proftram* Um viele Objekte in der alsioten Welat a«u#bearbeiteng iot en oft erforderlioh# jeden einzelne Objekot 'racheinander in Bearbelme-- tw*eteld den -Blektrom=traU*u-mit hoher#Gonauigkeit in kurzer-- Zelt zu pönitiontoz*onu#Did Sohwierigkeit benteht nun dering jedes, Objekt in die gleiofie 14ä8 zum ElektroüenstiNan zu brin",-,en. Ult anderen ilorteno,'-jedoo einz.1 na Objekt muß sich während der Einwirkurw, dez. Slekt-r=emtrahlas an der gleiehen stelle* Jn, -je., arbeitunssteld bef L#dent'um. an' deue glat chen Stelle der Objekt- aberfläehe der Elektrozonstrahlelmärkung ausgesetzt'zu iArdene Bemondern deutliah idrd diese Seit211meakelte wem- zivinebLen meh- reren seitlich mcheInanderfolgemden, EimirkuMen den -Blektro- nenstrables andere Arbeitfig%Seg wie ia.-3. '.29dempfaMpurozesee oder Ätzprozuene durchzuMhren eind uM die Eizbürkurg den .Blektroneaattahlte Immer an einer genz bestUmten. Stelle ärfolgen-, sollg deren Abwesungen in Ber#oLoh von -einigen#x-Metem oder Teilen daven.lieg Um d:Leo'* sti 'Mgehen" Lät* es' bekännt S,6worden den Blektrwenstrahl -selbet. a1181 Poei tlozderulfe zu verwendün. Diös gesohleht in der Wel.999'daß auf. dän Objekt Ziarken angebracht - we2deng die aloh i.Be Ih#rer Uatig annetmang von der Ubegen Oberfläche don Objektes uatiprecheidene- 1.Vei ter wi rd dje Tatsache auo,%e=tzt 4a8 die, duzmh die: Ein:V.Irk ='g den 'Elektze- monntx&Uon entstehende oder der voaL,'. qbJekt abtuesonddi inlektromaftr« Lmer dem: eine Ämermg erwel.. f ahrik,0 - wma 4ir trahl'von einer beoti=ten U*at-erial-'***.'. rt eine and-ert vaterlalArt Übergeht* liei dj.Men..iieka=t'en Verlaeon wird z.Be dai Objekt et dem in Au=utzmig der Orteabhän3ig. ki 1-b die L%rke auf epoma Vonitor si chtbar gemeht.,6 -Durch wecha- nioche Versoh,1-s.b4m d6o Objekten oder leg, oh _# ein* zullpm*tver- doiv*nao-Itorfeldeo kann dan Mon:Ltorb;Lld der Marke an VonitorbIldonAer abgeranterten 'eamtm einen vorgobbarm; Ox* des fläche den monitörbildes v'«r2chobea.-worden.. wobei aleh-eim --Positionierung der--Rusterfläche relativ zim mrklerendm zona auf dem Objekt 'crglbtaiiese Art'- der Poeritionltrwjg hat dan liaohteilt das pro obä0Lot ein- imäer ut'taurmmd erfoxerlich lato Zin *eiterei, die- -tubjektive Und'*.rolattr- ge- rirZe Ziastellgenanigkelt uM- die mit ZKM*rar-Betriebol»1,0 -verbunden= BraMangeoreo -de-bedl,9 idon Fe»=u-, Neban 4in Verschiedenen väx' laut en der- sinetellum mch hiner deng deln BlektronazwtrüU'2Ur. bestimnite.S'ezia14Ulle zur -auto.-; matisehen Toeitioniez,#m heramüsIe# 'd. h4 ,einer bc!reite um etlim #Abo# *ine .1«* seuollig Iie out der.OberflädLo eime. er- rtl*oh&- oxydierw. "ten- HalbleiterkrIstalli -aqtjmbmqbt, i.oto.-git ,eine lamentreekt«.p -1 let ii9A0 fMädei atort Sur* Ultfunton' das. Utttern tin .wordea. - #)azu wird'der Elek't»wünbintbl xit den,.jMr die six er- zielend* learbeituM erfor4ftlip- ärbeltude en Lach enteteht. Auurdem Verden die -,weitliet»a Auelenkungen bezUslich -ihrer 'Am#Iitude so groß jewäMit, daß ete stets au-a dir p«-leitenden Zone hara" bis in dan n-leitende GruMmterial hineinrei -chen. pjn -vom leitumstyp dee vom EI-oktronerwtrahl -beaufschlagten iätuiP'-18 abhUngisen Eisnal.wird dabei benutet. um dio Mittenabweiohiw-g der Bearbeitui*eiEipar betilglich der, p-leitenden Zone zu. ermitteln un4 durch verkopplung mit der Strahlablankung aU*tomatiigoh«zu komrisiereiu Dieseo Verfahren hat'den k.achteil9» 'daß nur* ei-na Linie In der Mitte zwiuahon zwei binaohbarten Granzlinion bearbeitet werden-- kann, In den meisten Äm-rendungfifttl-len auf den-Gebiet der Elektronen,- strahlbearbe#itung'wirä.Jedgeb geforderte den-Elektronenstrahl ,gleichzeitig, beigglich beider Ablenkrichtungen genau zu pont. tioniereu, m Bearb*iUuWetMu"zi.*mt,*dor Obertlecht den Objektee auf der 'Bei dor Binwirku,#g dee, Bleiktro nenetrah169 'aie i=z be stimte Telle- der- ObertlILohe- einen --Objoktee#- z"UB*. bei einer ten BlektrenozLitraUboarbeituM zur Herstellung yon Halbleiter,».. cyatomen oder der Bearbeitung -'von* dUnhen! P.Ideretand«ohloht;en" - die auf tsoliarenden Sabeträten eindu beoteht Schwiert,:"kaib di* BeirbeitufflatIgar. no adt der Obertläohe'.-# doä Objekten zu poäit.Lonierozi#* das. Mülb lage relattr zu wei tereel, Obert,lächtiimtraktu*»'nb lieBt "'n pn,-Übo r*aänasai . lositerbahneu oder' .von Kontaktend, JfA- einem gänz Aeriniarten und-.eng t Q*lerierten-.1* mitandaverhältnin steht-* Dieso setnierigkeit -eutoteht einmul durch mangelnde la,39kon--- stAnz.den BlektxbnimtraUea-dber MM6re Betriebozeiten# be. dinat. oder* 9=P"h vo%,zus clorl Jblek- trenensträhl-ersp. SU:v GZU2a von odet auf, G24gLA der gür die Ablenk#inholi fum wv dEw bat£zag>fonden bereits vorhandenen Gtrakturen oder ü@ä objekti30. Dies int 3-.-. der Pall beim oinoe Smeien Subt3tri%te p aus Glaa.. nach vorangegangener a13#r;ei#eiii naau hatereiN- Dia der 1.T!Illa2:e düs -dea Objekte-: SO-Udem:Emat. üIne Dolilm# Die Folgen eLlar Ibeatehen IA der #Bingeränk-Ung 499 vom tiakiromnat»hi 4amit bearbeitbaren Bereiohea und in..eimw fehlorhaften-Bearleituns deu.Werkstflekon duml% NichteltuNat2ng der geometrischen -Abi)t&Wo: von azoheinander.» mit erentaou daawZaohenltesendein ]Poüitiona-.- Strakt a"ja Die 'Erfindung -hat den Zwook.,p den -Eilb*. Objekt69 relativ zu besti=tc.,l' -Strulctu"reii'=t -Dein Obäi-fläohe %,den Objekten-. zu erMhen und #gie"gach-teilie dqu* ätandeb-, der Taohii)i- iu vormium gerAmsen wordezig. daß tIoh die' -gullage doo> Elektrenenatrahlei',' ral-ativ' zur. BearbeitumZacolt des-Objekte's Iaagesam -Verändert, r Weiter. sei VOMUG&Ooetzt$ daß objektbadingete lagesch-.7m-lktA7#,an dee. KoordlmßtOnsYstem der Objektebene reiatj»,r zu der piavlirk, ebene den Slektronänstrahleg *nur durch..fehlerhafte mechanisch*- POFJlticnieru2t3 vor Begina.drr Bearbeitung mit dem Elektronen. etrahl entstehen,* Der Urfindung liest die Aufgabe .7.u#,ruW o ein automatiolerbarese allgemein- anwendb.ares Verfahren zu echaf fen", mit dessen FILlte geringem- Zeitautivand dan Koordinätensyst6m der Bearbeitungo- ebene den Blektronezwtrahlen mit dem-g»oirdinatensystem der Objektebene durch denEleitröhenstrahl solbet zur Deckung ge. bracht werden k=n. Bevor die Llittol zur Lösung d 4r Aufgabe der, Erfindung areageben worden, eind noch 161gende b*ek4nnte Tat'oaahen testzustellen, von denen die Erfindunß ausgebt.- Zu,nächst besteht die bekamt* Tateaohe, daß beim Uberstreiohen der zwei unterschiedItchen Uatertallen bzw. Mato--- rialien- mit örtlich untereabledlicheu -*IcktrIschen Ei49nacb.af ten oder elektrisohen, ZustUnden (Pot£uitial-en) odär -auch aprunghatten Geometrieänderungen mit dem 131eIctronomtrahl, dgr Sekundärelektro-. nen.qtreml, der mittele eineu in der Nghe des 0b3&ktea befindlichen Autfängera.Sesa=olt vierden knnng alob äpraughaft in Abhängig- keit von den benaehbarton Uata..riallen, 141tungeolgenschaften, wid Potentialen änderte' Eine Mmliche Äader=&'er,.. folgt 0.3, auah bei dem v;om%Cbjekt# abMeßenden Strum ad er abor im palte der Änderung 4ir stoftli#hen iu-ammuasetzungg der cha-. im&teriotiaeen Röntgenntrahlungg die von Auttroffpunkt dee ,Gemeinsam ist diesen oder aMaron -ebenfalls geeigneten Pv)3oh,3i- - ntli,#"n' -wie Z wB* Im Palld-tho=i sci#er'13o-arb»eit'u# die Licht-i emieq&on der.Bearbeitwfflspur, #-..daß. sich die.!betrof-.fende ge3- -grbad a-it u#Craohreiten det, Grenze aviocheii 'z'wdi ehemloch odet e en# daß Xoordi;# zmtowyotomeg, Ate gleichen Z* -in der Ebeüe liegene ' oh urch el Iraraliilverschi ob länga-,-,der Aohaen" 9.*ei,tme, und durch eini Dzehj M eini oht eaut liegier -Mbene ttehende so xird (Iiid -idige. 0 inen en X urd li2,- einem ersten in- eill= %weiten Lr6orclinnterpä. i'ßyntlex das In. dör Ebem vde.,. diio.*oete -Mögt edoeb um! -die, goerd v imtem, x UM erechobetz und um.den -Winkel W. im --UI=eJgezei=, "geüttb-te *eretereig tadreht tat, "durch. folZünde Tra-neförg*,tton boeF6&eebbij X- eift w w 0öff .Unt#4r- der Annahme #kleinti# ei oliwtueiä td jr4., zttr, Deekurla >ringendön d».-.l..-1.# dag3 obj-ikien- und 0& *i#Ableh U-eldeti dies 'albLtroneüwtrahl«9.- Objektei*'.b«teht 'nL*h tut -dessen Ober ;,21äche,uw die dort> a la dee Oberflächenstrukturen bzwe geel-Knate Varken bestirgit. Das Koor- .din,--tensystem des Ablenk . - und damit den Dearbeitun#;sfeldes den ...lektronenstrahles iht dzsjenigep welches in der Ebene den Brennpu.eten deu Uloktrono#straUes liegt una dessen Koordinaten- richtung,en -duro.,i die Ablankilchtungen und dessen Ureprur,1 duroh -die ilullage dea -Elektrownstrahlen (Ablankeystem ausgetichaltet) bzw, feste Ablankrierta vorgegeben ist. Die Ubene, in der deie Bronnpunkt des Elektronenstrahles ablenk- bar i3te coll-als Brennebene bezeichnet werden. In diese Ebene vrird die zu-bearbeitende Oberfläche des Objekten gebracht& Die in dioipcr Ebene gemeinsam liegenden Koordinp.tenrystemo dei Obj Akten und des Able#L-f eldes 'sollen zur tWcL-ung gebracht werden, bar besseren Überälch# halber soll in.weiteren einfach von der Objektobem und der DearbeitaMeebene und deren.Z6ordinatengy- etemen gesprochen wordinb-.*. sei welter-Voraußgenetzt) daß die' brtliche'und-meitlichi Steuerung des Erlektrenemetrahlte mit Eilte einen an sich bekann- teh.eigitalen 11rot,ra=teuerge-ruten ärfolgt. Bei dieser Art der Steaazuria dea.Slektrononntznhlee auf der Oberfläche den- Objekten Wild die zu bearbeitende Pläche In einen ?unk.traater serlogti wobei jeder Raaterpw*t vo bena'abbarten- Ranterpunkt -.ja Richtumg der beiden KoordiniUnrichtungen ein= Abeitand hat Di e Im@ jedes Ri.stel-Punktee. ? (xn 1 X-ja) im KooAinato».* system ist a=it duteh xtt n a mß yra « m oa 9 d. h, Im wo uentli che-a #durch die beid an Zahl en -a und m hinreichend -be- stimmt* Die ALUMbe der lErfindung.-Wird, Uttn#dadurch Soldat, . daß ertill. dungegeWa Munächnt durch ALbtestum von Markierenden Zonen auf dem ObJekt In x. und-y-Richtunr. mit dem Blektronenetrai%l di'O-- dei-r Mge der Obj-Oktobene von Cler Iffl den dor Be-arb4itmen.obine to*Np. stellt wird, derert, daß die dor mairkierenden Zonen den Objektes von ihrer Soll&&*#-die bei exakter Positio- nierung den Objektes gegebou'Wkrdi der Bearbeit unMober» ezuittelt.-we.rden" und daß dWiach d ein .=Ittelten AbweichuAgon entaprikehehde Korrekturen der- Äblank#e,r.to fUr.- den Blektronex>m strahl dadurch vorgenowman werdonp &0 - - d'en fUr den Bearbeitumga. Prozeß programmiert y=Segebenen Ablankwerten diese Abweichungen uhd T-,.liahtuna- Addi#ly «berlggeet uM A 1 loi-rek-.# tar der l"einkelebweichwiZ der eine -dieser 'Winkelab»iohWg prpportlonale Verkopp1W41.d*3# Ablenkwerte in'x- und Y-Richtum vorgo==ah xixde,. Bine' zweckäUige Variante dieseu Verfährenii -besteht da'rin,- iiaß- die ormittelten Abweichunge-n fUr die z-# tg nd Z-Koordimten der markierenden Zonen einee elektronischen Rechner-zur Pootstellung der KarrekturGröeen ;i" g y#o g W der zo-. uM v-Foordieto in Verloi>- dung mit der Koirrektur. der Viz*elabwolohung goeberm# eiziG.egeben wer-' eteme der Objektebens und-der Bearbeitung den und daß darumb die einnittelten Korrekturgrößen zür Korrektur 'der px#6sra=Iort-en Ablenkwerte tür Aen Blektrwenstrahl verwen- det viardeno Eine andere best,eht d eiwi n daß zuerst die Abyreiolmng der: markierend«ja- Zonon auf dem Objekt'-' leoli- ihrer Solleße in den- ISIcktronene trah. les in der.x.Koordinstenriohtung ermittelt wid die footgestellte Abweichwig eofoß-t-korrigiert w-irdi danach die Abwe ichw2g in der Y.#KoordinatenrichtarU ermittelt und eberCalle die fentgentallte Abweichang, sofort korrigiert wird uM daß danach die Abweichung des Winkeln der beiden Koordinatensysteme durch eine dem Winkel proportiomle Verkopplung der Ablenkwerte in x- und y-Richtung ebenfalls sofort korrigiert wird und daß die dabei erneut ent- tehenden Pahler in x- und y' Richtump wie vorgeschrlebeno noeh- male e=Ittelt uj2-d koxTigie-rt werden. Dieso-ern6uten Poeitionier- fehler nach.AunfUhrung der Winkelkorrektür amtetehen dadurch# daß gemäß v#%leiehwZ, flll die Korrektur In den ersten beidah-. Schritten um yo + X 7 erfolgt, dehe daß tUr den,allgemeit»n Pal mit W 0 bzwi. X 4 -und Y 0 nicht nur um die gewUtnachten Verechlebumgen zog YOU üm-die beide KooAinatanursprUnge*-gegerÄeinamder versichoben eindu korrigiert wurdee sondern daß- rÄaoh AusfUhrung»dor Xerrektur tur den leinkol'W - um die Beträge* Axt y 4üy icorrigert wurdot Diese Ab,#.iaiohmZgn worden In der beeaihriebenen Wiederholung der ersten beiden Paaltionieraohritte obenfalla korrigiert#- so daß die Korrektur der'Positionierfehler im Rahmen der Naherwig exakt erfolgt. Ui dieser Korrektur der Wiakolabtvelchar4. des Koordinnten- eysterm der ßealrbeitmeaebenegegenUber der Objektebane ge-. mäß der Erfin2U.ng entstcht ein Fehler bezitglich der Ablenk-. amlitude des Slektronenstrahles. Dieser Fehler Iat daduroh bedingt,» daß die Drehung der Richtung der ZoordInntenaamen dar Bearbeitur#%»bene durch die vektorielle überlagerUM der beiden Ablenkwarte in xi und v-Richtung erfolgt#e Aus, einfache.a geomet-rinehen Überlegungen bezuallc,h der Ablenkprttßen folgt ,die Beziehung& In dieser Gletohumg-bodeUtent- der -Bud»1 ait die maximl b4$U&Uoh den wintele W, md meen den beden Ebordinstensyntemm voaimal zulässige WiakolibweichuM Ilm, Daraua #st tu erkennen& daß der entstehende AMlitudentehler Air die Ablenkwig 4@ö Elektronenstrahleo, bei -de a- in' Betracht ko=en39a Winkeln Wmx etrete kloin SagenUberi der korrigtar:» - baren Pehlpositionierung Ist. Im weiteren wird das erfin- dungsgemUs Verfahren derart ausgeführtg, laß pa=U-91 sa 'den Kanten das Objekten vo r der Siawirkung den Elaktroneum-. etrahies zwel markierte Zonen in '?om -eines Winkelbalkoma urt4 eines S'eraden Balkens aufgebracht wirdeih - wo-bei die- Seerkel den-Winkelbalkens parallei zur-Abezisse und Ordie,- nate uäd der gerade*Balken parallel zur-Abezlo-so oder,OrdIL- nate und in einem möglichst großen Ab3tand vom '.l.linkelbo-%2k*n im..Koo.rdirmtensystem der.Objektebene angeordnet wordan* Es List auoh vorteilhaft, die markierende cyjo-ne als Ralrien auszubilden, der, die auf-« dem Objekt der 7,irr.7irkurig das 3lek- tronenstrahles auszäsetzenden Gebiete ge-nz oder teil,;.,oise =schließt und dessen Seiten parallal zur Abszisse und Ordi- nate dee Koordi.-mt3nsyr#tems der Objektebene verlaufen. Die markierenden Zone'n auf dcm Objekt können auöh als Natzstruk- turen ausgebildet werden. Als 1-Tatzotrukturon cind Punktions- elemente de.,4. Objektsc;" wie. In vorar43egarGenen Prozessen dotierte Zonen in Halbleiterkrintalläng #iie.«z.B, pn-Übergän- ge 9 Kontaktflächen oder Leiterbehnen in DU=sohichtuchalt- kreisen usw. zu verstehen. Ist auf deig Objekt eine. Polge heterogener Prozesse auszurilh- ren, In der irl'enigutens ein Blektronenstrahlprozeß enthalten'- isti werden gleichzelltig mit dem-erston struktarierenden Prozeß die markierenden Zonen aufgebraoht. das zu bearbeitende Objekt aus einen 'elektrisch isoll.e-* rehden Subatrat mit aufgedampfter dU,=er Ni&.elt-Ohrori- Schioht soviie tauchgelöteten Leiteebahnen oder Anschlußkon.- takten bentehtt 00 Ist es zweckoMigl, die rmrkierenden Zonen &leichzeitig mit den.Kontakten ubd Leiterbah n herzustellen und %via diese duroh Tauoh-ferzinnen zu verettirkene Sind die ma kierenden Zonen mit einim Maßkontakt verbunden. so kann ..iLlis Signal der von diesen Meakontakten abfließende 8trom verwändöt werdeap d a er eich beim hersohreitezi dee markie radden Zonen mit dem Elektronenstrahl sprunghaft um einen B=chtc)il tielnes Ausgangsw.ertes ändert Bei der -Durchf UhrunZ de#ij Verf-ahrens i--t- ep für den "sprozeß durch den ElektroneAntrahl diesen mit so- hoher Ablenksteschwindiakelt gegenUbqr -kler Abladice.e- a 012v(i nd igk ei t für die Bearbeitungsprozesse abzulenIken, daß keine BearbeitungsvirkunZ an den Stellen erreicht wird. Ans-telle dieser erhöll-iten Ablankgescht-iindi*eit kann Mi# den Positionierwigsprozeß durch den Elek#tronenstrahl auch eine Ablenkung-ye rwendet werden" die 'senkrecht -zu seinir -Hauptfortbewegungerlohtung mit hoher Geschwindigkeit unter Vermeidung jedweder Mearbeitung . swirkung vor genormen wird. Die Korrektur der emittelten Abweichungen kann bei der vor- liegenden Erfindung auch in der Weise erfolgen, daß d io er#--. mittelten Karrekturgrößen tUr die x--.und y-Koordinate einem* zusätzlichen Ablenkeysitem aufgegeben werden, däasen*elaktzc#,. nenoptisohe.*.riirkun,g eich der Ablenkun g des Elektronent -,trah. les für das BearbeitungsproZraum Uberlagerto, Diesen zusätzb liche Ablenkeystem kann dabei, in Richtung des 'Elektronen- strahlas gesehen-voroder nach dem Ablenkeyntem fur das Be- arbeitungsprogram oder auch konzentrisch zu diegem ange- ordnet.. werden. PfIr die Postutellung der-Norrekturgrößan wird- erfindungcge. nU ein S=elnsamer elektronIsch#r Uhler veraende t" dessen Zählbeträge in getrennte Korrekturregister tUr die einzelnen- Koordinatenabweichungen»axl,* AYJ und- AY2 od er - A.#: and A x2 tihexqo=en worden,.. Der Inhalt der Torrekturregister wird dann über angeschlosnene Di:,ital.Amlor.'.'iandler unialt. talbzr zu.- der Ijags der x- und y-!,'oordi-naten. ver,-- wendete Zur Korrektur der Abweichung des V'linkels zwischen den beiden Koordiratensystemen wird eine dem Speicherbetrag der Korrekturregister- für - ax oder &y2 mitsprochende Ver- 2 -kopplung der x- und y-Ablenkwerte vorgenommen. Die Verkopp1Lmg- der x- und y-Ablenkgrößen entsprechend den abweiohenden Winkel der Koordinatünsysteme erfolgt derart" daß Jedem DJsital-Amlo"-*,Xandler der l#Lmgramsteaerung ein Spamaun&oteiler angenahlossen -ist" dessen Teilungdverhält- entsprechend den Inhalt des Norrekturrel-ist-ert3 £Ur den Winkel elektronisch-eingestellt wird und daß die eine Ein- gangaspannung für die Spannungoteilee direkt und die andere In Umgekehrter Poluttät dem DigItal-Analo-e,-'-i"tandler der, Programmsteuerung entnoMmen y&rd und deren Ausgangespan- . numg in der 4o12 teilungsverhältnie äntspraoheindeft-Größe -den Dialtaa:-Amlog-'iändler der jeweils -anderen Koordinatenrich- tung additiv überlagert wird-*10 Da die Größe der auszufUh- renden ,Drehum#m"*-, nicht- #lle-in --vom te'stgestellten Korrakturbe- .traü X2 oder y2 , sondern -auch vom programmierten Abstand der die miLrkiirenden Zonen abtretenden Spar des Elektrozwa.- .otrahleo'* abhängt, rauß eine Gru'ndeinstellung der. Spmnuffla-Z teiler Ln.AbhängLgkeit von diesem Abstand vorgenatmen wer- den.*Diene Gruode:Lxmtollung maß nur verändert werden, weÜn der Abtztand ... der AbstiM der zmrk:Lerenden Zonen UW damitMeir Abtagtopt;- rezi dea' Blektronenntrahlen geändert wird. Die Grundeinstel-w- lang der spanmmntoiler- ka= z,B«- durch. Veränderum der .g@st et»tallbaren.Zweige der Spaanungsteller erfolgen, M bei d'er Korrektur der Ablonkepanüungen irmbr nur positive Worte Uberlagern zu mUasen,- ist es vorteilhaft# die Ablenk- 0 Inril . chtungen für -den Bleklüronww . tzahl M die. Uälft.q des- z,-xlinal möglichen zu zu vardreheno Schließlich tat eß nöcb eckwKel#, daß. bel *Nichte :LC.,L ,rre Kang A dee marUorendea--Zenen düroh Infolge- einer zu zmße n-Beebhnie olieit- IPOlilposittgnterung,9 41a -,wird UW daß die -.,hf-zbfolgenden Jn---.aImm a01,6un ?alle niGht ehr. au,9- ggfüb.rt Wordeni -genUaü, Verfahrena- zur--l»grbeitmg.- einen jeden Teilfeldeo #eIne's Objekten ait ole Stzuktpren. in -14step end -itepaat-i-Taohniklm-i- iMei dIe eb=i-sche Positicmterun nur -falt wesentlich eii- int Ilie grflndurig-Ju#,t -dem daß -die- j4erung bei BlektriDnenetrihb. lp rio',z# iÜB:en volistlizidig autona ti--*#- n _04=Üimeit itüd--rIeg siert weirde kam, -ge - xit -imher. :##"Ose auszurUhren - 444 dd'neit einer oder.-zehrere -Zearbe,1- mit deig meirtroniuutzn*l. hmgafuhren, niedle we bei -die BearbeItitag »hr*rar Iteuen aut d -am WOJ *t Igen Muße 8610he, der enik mehr.. hWia# Dabei--entsteht der wesentlie-he -Yörtell". dag e,rade, -in der,- beotimte Meile -der Obiwfl:t!aho' eines -objektea mit -hohir' 7*001*tionil#nüeo"nalui Gke "ii xt ii, un-t«isoUedlir,hen SäerZWIchten - beaeoltet worden' Jollen, dies durch Kombinatioll"delii Verfahren£ ver- banden z.B. mit einer bekannten ZmderunZ der Ablenküeoohvln- digkeit den Elektronenet--ahles zu er:.-einhen, Cbm dam -Rück- viirkazi#."en auf div Abm-assungen-wid die Energiedichte In Erennputett des Blekt-ronenstrahleo EtnteteÜon. Ein weiterer VortellSesteht (-larin, daß tUr die Positionie- rang unter Umständen auoh NutzstrWcturozi auf den Objekt ver- .7endet werden können, die beispielawoloo durch- den Elektrc;>.- neastrahl aelbst in einem ersten strukturLerenden. Prozeß aufgebracht werden. eine 0 AU-amhrurtG Anhand -abeispieler, und der Zeichnung soll die Erfindung nähe,r erläutert werden. In der zeichnunz zei,?,ont Pise li die prinzipielle Darstellung einen bekannten Zlek-trow- nenetrahlerep der einen tokueel-erten Eläktronenetrahl liefert ux2 in perspektivisoher Ansicht dazu einen Teil einer bekannten TransperteinrichtunZ- für Aie zu bearbeltenden Objektg, die unterhalb des Elektronen- strahl-ea- in einar Vakuumkammer angeordnet--,ist, mit -der der 'Elektronen.-trahlar verbunden ist-, Fige 2t, ein Objekt mit einer'durch den Blektro-nenstrahl bear- beiteton WiderstandskÖmbinatIon mit dem dem Objekt zukoordneten Koordin-atensystem der Objektebene, wobei das ObJekt aus einer Glanunterlage besteht" -die atte einer größeren Platte herausgebrochen Ist uhd'die mit einer i.'iderstandopahicht*Uberzogen Ist$ YI,#".3st einen vergrößerten Auerschnitt aus einem Objekt mit einer als Winkelbalken audgebildeten markierenden Zone sowie die Lage des. Objektas zum.Koordimteney- sten der Objektebene umd, der DearbeiturUsebene" Pig,Jbt einen weiteren Ausschnitt entapreohend Fig. 3-a mit einer weltexen für dio Korrektur der Abriel chwig erfor- derlichen balkenfözuigen markLarenden Zonag riz*4a eine Vorannahaulichui#,- den Norrekturablaufee nach bie dem erfindunSagemäßen Vertehren, 5»t einen Prinzi pochaltplail für die- elek tronimche Szimitt-. luxit, und Korrektur der Posit.JLonierunkofebler, Fit, 61-ein weiteres Prinzipacht##tbild in Verb indn.kig - mi t- -,don ]Dirpital-Analog-'iawlerzL der'Pmgrm=9teuorw29 uzu) dem magnotioahen Ablenkeystem fär den-Slektro--. geometzimhe-Gen'taltmzeu für Mu#- Zohen'auf dem- Obje kt'i- 4ge7a t die* Verwenaung Iron dotiotttä Zeum tLIO yunktionä- doh*-*.810 34.tzstruktur, -dea Objektes* r e 2 voW Leiterbahä.au ehtsprochend 1. ein Be.iapiel. -fUr die AblenkuM dieff 'Blektro-nenstrahlen- ÄÜt;gi.3tu»g.-.der marklerchdi#e-. Zonen-mit i3enkrecht.# Aagneti eh an Ablenkeystenei-£Ur dii #rmittelten Xorrek-w-' -Das, erfindun3sse*&Lße Verfahren wird tUt die Herntellung von Widere tanda'kombim tionang Dilmmchichtsohaltkreineng 41* Beax%- beltung von Ualbleiterbauahlenenten oder -p-whaltkreinen und bzwüberall dort- verwendete wo ..mit -dem- Mektronenstrahl -B«wboituMapro sonne@ -die. -eich auf ,der Oberfläche-eInes Objekten th-stmuen Abständen wid sich- zubinander- bzw. zu anderen. Oberflächenstrukturen befinden, auszuführen sind, Alle finden ih dar Regel ineinemievakulerten Rozipienten statt, An dies-en Rezipienten ict-ein bekannter- ulel--tzu-nen5trahlgener.e-tor arigerc.Uo.-Osen, -dor - einen- f-okussier- ten u-e- ablenkbaren 13lektronenetrahl liefert« Die Objekte- werden entweder kontinuierlich über Üruckitufenschleusen von außen im Du=hlF-ufaystem d.uroh den Ro.-.ipienten gefdedert oder Von einen Voi#ratomagazin Innerhalb des Rezipienten ent- ==eng bearbeitet und in einem welterän Magazin gesamelt. Solche eben beschriebene Einrichtungen sind, bekannt-UM nicht Gegenstand.der vorliegenden Erfindung* Zur 2rIäuterune, deä folgenden# AusführÜngebe.tepiels aoll die Herstellum -einer-Widerstandekombination dienezig wie-eie In -Pig. 2 dargestellt Ist, In' diesem Palle besteht also'eas zu be arbeit end e Objekt 1 atis -einem älektrIL-oh Isolierenden Subetra-t aue'01as oder Keramik-@ =t doll eine d«nn6 Ni&zel#-Chrom-Schicht 2 aufge&. dämpft ist. Weiterhin befinden sich auf der NioL-el-#Chrorä- Schicht 2 tatzohveriinnte Kontaktflächen 3 d to -£Ur den tlek- #risohenAneobluß det nach der Bearbgitung vorhandenen WL- ,der ßttLide. vorgesehen sind. Äußerdem sind Kauf dem Sulmtrat ebenfalls, tauobyerzi=te# markierende Zonan in Porm einen lainkelbalkens 4 und eines geraden Balkens- 5 aufgebrachte die ebenfalls mit Kontal-.tflächeU in Form . von -#Meßkontakten 6 und versehön sihd-,& Die- markierenden Zonen 41 5 eind der #Anscbau- lichkeit halber unverhältniemäßig groß dargestellt* Die Ber-. Ütellung der Sicke,1--rhromm-Schicht 2, der Kont:iktflUhe!i 39 des Winkelbalkens 4 und den Balkene# 5 voylie der MeSkontakte 6 Ist bck=-it und nlalit Gegenstand Der Deutliahkeit halber aind auoh die während der Dearbet- t Ung =f - d an Zontaktflächen autuerenden -KontaktfUhler weg- gelangen# NacCh der Erfindung -sollen vLolmh.-.. mit dem -Blektronenstrahl dle Balum A a' Luß der. 2 herausgearbeitet nun die 14hler. di a. nach der mechanischen tiouier*u,na'der 04Jekte 1- in Abl«zUeld den glektronens.trahl es verbleiben, korrj.SL er$ *erden k73nÄm.9 #tAr4 dem -0b3 ekt 1. mit di3.r- Z: Üid. 6et" Ordimte Y Z 4, ici##m 94 : Objektee . -1 9tal len däbei-mit'der--"' 9 Zwei Kanten d äo,htun,# der u*nd;,der-«,oHim' ta..-Ir -Zunamen, stellt. 4 kte na abei -,die'Öbj-e be' `dar das belßtg dIejenige Bbeno"- In--d6r, auoh. das toordina'tenny. atem des -Objektee 1 liest. Der-Winkelbalkea 4 ist möglichat nahe'am sprang- IP de* Xoord#=tdns:fi3toms dar Objektebene an,3aordnet* Der gerade Balk.eh --5 -ist #attä GrUnden# einer* hohen Empfindlkchkeit 'des Vartährens bei "glichet großen 1--W;rtene aber ir-Jorten Im Koordinatensystem der,Objektebens anzuordnm. soll derv T-tanaport -deir Objekte 1 Uber'eln konti=IerlioÜ»s Durchlaufeystem ertolggng böl den die - bbjekte 1 #.n Tra=porthalterufflen 9 eingdr#OSt sindg,- die über..Druckstufensysteme In die Vakaumk-mmet gelan3en.9.,An. die iakutu'fflzamär Ist, ein bekann"ter Elektroninntrahler 10 na et igen Der Blektrond tzulÜor 10 erzeui & ElOktzOnenetraU Ilt -dar mIttale eit»a mr-gnat:Liseen &blonk. .syst'öme 12 In x,- und y-Riehtung Uber de-tu Objekt 1 ausl&-ik- bar lat, Das'mapwtisah» Ablenkreystem 12 -botiteht aus# vier spulene wovon Gieh jewelle %weg' paameino Der .7.lektronenjitrahl 11 wird von einam emittlert ttW durah eine Anode 14 Pokus- uierung 'dienen eine magnetische Zentrierwig.-15 Urd eine mag- netieche Linso 16.'Die er-forderliabe Hochop a=u.»g, wird von einem RochspannungeorteuSer 17 gellefertg der' über ein .Kabel. 18 mit d,= Elöktronenstrabler 10 verbtLnden la-b. Die 13 das liegt,9 als die Brermbang beseletznat wordene' Uq# Ißt ebenfalls 1.4 xi. m2 y-Richt rM gekormm- zeichnet. Blektrone*-4 strahl li-a'uslänkbe#r löte daa-iwi#Oto ..diajeüigo Pläche#In der reicht worden kanü"'-ale -Zurbeitueaiebe= betäiohnete Sie* 1.st. 4bentelle #du=ä ein.#Xoordiuäteüffltem beatl#.wt. Die- Aah- der Uarbeitungse*bei2o wordejs durch dler beidon-'*AbI.enl=Lohtungaii",'dar.Koordinaten-.--.-.... ursprama durch die LageAev j3mzMtAnktös. 19 bei 'ein= be- »,lw-i=ten 2=eaeretrcrm te das Abloakryotom,..j,12 beatli#mte Zur A Gruhi#=,g Aext Zäazbei t wird. "u*=* -die. Objtktob-em 0 die in.-die '3O'arbeit=Snebene 3 iktebane'4'0, und...Boar, be In.der Bz*=abono zus'Am. en, Vmit lier't das Koordlnatezwy- sten dee-Objektobene 09-dehe# d la - Obeeläohe den Obj eIrten le ln-der gleichen-9bene wiedag Xöor_' dinatennyotera der- Bearbeitungsebo Infolge umgreigkrend ge- nauer moöhmieehe±, poaitionia--um und Ungeaauer Icaa der.2e- gugekanten den Objektes 1 s<w.-ie L"everänderafflen den Brann- punktagt-199 »aoBs. infolge UrwärimM- des. Elektronerstrahlere 100 ,fallen die Aber.Issen und Ordiaate-n der beiden Koordinaten- syStone im allgemeinen nicht-zusam n. sondern eincl gege.nein- #exider.,um- kleine W.Luh-e 1 be träg 6 in beiden KoordinatenrIchtungen ve rdre ht,*' - Ixi Fig' 4a wir .`d ein solofier Palj wiederg ar. Xit die..'tIeL-tronenetzsU- . 1-1 so 11 re lat Iv zw Ima der - markle rendön Zon'en eine Widerstandp4ombInation# - geaU der Darst#Ilu.Da in Vig, -2 aue .gearbeitet wordenir - ind ein die'- liii3k93.-iChro=4oUoht- 2 entlang der Bi#aneaS #a-bgetiaSen der*Darste12xM Voß ftS, A 4at deir --11 berö#a- einen "rbe, e n' rar Tal U -bi3"t-e:Lt*Zi Mit. cheit6#-u i Ite noah' r. Bearbel tang erf61 -&mh' disitalen -magmtioche-;« le angesohlossien Ist. -Zur Erlfflorung doit tol- senden oet 'auf einige Merk»le dieser an sich-bekannte-n pro-, gQ Die Pimdgrnmm t'auerung 20 enthält-ein spe-icheigg d- a- s' alle 130.fa'fa»- 14r2 ziffernoperatIonen zur verrusg etelltt ei* ar B.earbe Itung die #obj ekten 1 dumh. den Blektr=OmtraU 11 banötiit#'%,rerdea.* bie* BotWbottang erfolgt rrüWegtis-liah uM--#-Koordlri#ten. Jedi- roordinstenrichtung, Bei- zeIbt 'in - 4000 Zähisch2itte' eint;o-teilt, Durch d en Koordinatensalern nachged'ahaltetg fUr beide Ableikriah-. tungen werden die den Koordinaten zugeordneten digitalon- proportlemle Ablenkspannungen,urgewarzelt. Uber das magantioche Ablenkeyoten 12, das-von entsprechenden EndverstUrke=,g- welche dies* AbleAkepanftüngen In Ablenketrt$mb-, umsetzen*. gespelet wirdl, wird der.#' Elektrononatrahl 11 ent- i3prec-Iiend dem vorgegebenen Program abgelenkt. In Vorbindu.%:- mit diener digitelen zur- Austu.ärngg des- erfindUfflageM'äßen Verfahrens werden -Befehle benötigto die-dem speichex.werkder digitalen Progg-i=Bteue#- ruzg,20 entnommen-r-serden, Im eiazölnen lauten diese 3ofahle4 Befehle ..Bedeattmg- --Die auszaführende Oper-ation*.bezicht elah auf die x-Koordinaten-Richtunge 7 #r-Koo#MInate Die Ope2ation 'auf die y-Koordinatön--rui htung -to #IGt- den im'ziefdzmm Sister Ste- hond on Betrag* #7eitärzuzählen. Nenn der ]Setohl zuaa=wu kit x oder y auß# tritt co, be.deutet dies, (laß in x- »j -oder y--Koordinaten-Richtttng wolt*=uph Meerbel ten, Die 'alektronensonde, wird gt V.ViechentsIct, Welterzählen mit der quens zum Aufcuohon einer- neuen 39. arbeitungek zoor --dinete. Die Elektronen- noade ißt 17icaetaetot- V ZUhlen =Wen zählen ZY hl en in Rticl-cff!L-t:3ri chtf 0 ä--, wo Iliop 1 Hilf --oijerati n- 1 Die zoordinaten in -der Bö arbe«it=seebene von den Koordj.. maten In der,"20rNstUckebene älnd festzustellen. Ilop 2 HilfsOPeration V-Mit f estgem tc 11 t e AbweichuM äxlt ß72 leit korrißtereme .!Uop.3 Lll'1£soperatioli Der tU.Ubo.tras t LL- ay2. ist zur Kor... r. e k tr d er Wlnl,.olab:toiöhmig W In daa en,' --zu Untär.' den- ZIXE=mie ict der, spoirhe-e d Le --x- und . _.v-Koordlnaten&'*, oder unbedin rieue Adroog&'. der gte#L Sprup& In einei. ou=Zan - mi t e rit r 0 ah and ex!, te Z. thl en- to gringü 0 xrt, iet 18u..v4114-6 Die genannten Befühle kgiliaen,-tU=bhäüg13 uAd. päeallel der- Ttogremsteuerung eingegeben tuA nach Aufzu2. , entnommen. lw . er- -den, X& V-##en tolgende Befehle- > adressen benötigtt* » Adre y x it At V Ei op 1 .--',;0129 a At 11 Niop 1 ci 28 x It At V luop 1 01 2C1 7 a At R lUe-p- i o12a a y Iliop 2 Zto V 3800 10 y zt li 0046 11 y is. A4h t v ili'op 1 0123- 12 y '711 A t R illop 1 0f28 13 Niop 3 Niop 2 14 Zt R 0136* 15 y zt v- 0096 .-16 x II At v Hii3p 1 0128' . 17 x H At P.- iliop 1 0128 x Iliop 2 dP t 19t H A-t V Riop 1 #OI28 20 X At R Hiop 1. 01 26 21 'y Ili op 2 22 - BeZinft das Dearbeitungsprograwij 'nach e#r#igter Durch das vorstehend Und,als Beispiel in verbind)4ng mit den markierendan Zonen in Form-des.-Winkelbalkens 4 und den- geraden Balkerm 5 gewäUte PositioriierumEML rogram fur die Selbstpositioniel-ung do-o* Blökt.=.nenstrahlen 11 ',rdrd.das Koordinatensystem_der'Obj,oktebone*o mit dem der Bearbeitungew ebeno Z zuie Deckung gebraoht, Dieses in die die,'Dearboltung enthaltende Programeteuezung 20.zusätzlich eingegeben. Dau Selbstpositionierurk-,-sprogrm= Ittuft nun-*ie- folgt ab& Zunäoh3t wird der-Punkt -A der :bearbeitmw sehafte mit Clen x40r- dina.ten X, und ir, autgeauoht. Me d«a programterten Befühle lauteh nach dem Adresse Weh le - Ziffern x zt Y 0136 2' Zt V W96 Nach dem* Start der Pmgramoteuezung 20 lbuft die Ablenkung 1?.(% 0) In i-edchtUM- bei dulim- kel getaat'eten glektronenatmü ii*" d.he in ni oht bearbeiten- 4 em' Züstand" bis z*ur "Ordinate x (yl 0, 0), üei Er. *reichen dieses Werften erfolgt das'Weiterschalten in die "A&re see # 2'e Zo- wird joist der dort geepäiaherte Ufehl abge arbeitote.»Dabul lWt-die Ablenkum in Y-Riahtung in dünke4- ..getasteten, -Zustand bis -zur Koordij3dt,6 y, 96(xl -Würde aleh--daL9 KoordiziatensYnten der -objektoberie 0 Init dem* #dinat6ne stem der Bearbeitungoebe» B dIealten- (irgi.-Pitt»4 010..könn#I.' Jetzt das Bearbeitäfflprogm= beginnen. Dmilb,-_- .*drde der iuiikt«A beine Sollageln dee Objektobene #eInnehmen'e j:un' den äufgezeigten, GrUngen Lot aber imi allgemeInen eim 7 ehlpoeit#iode vorhueen --so das der-Punkt-'-A- zn« E#U:dör aat dem Objekt 1 lieg'tu wo= die Koordinaten x 136 udd aufReii3ucbt sind" «Sti tri tt also eine Abwei- eIld A fi #Nachdem die Koordinaten'- x, und r, autge sucht - a 1 nü wird in AAL'renne 3 weitergenehaltet. Dort sind folge.-.ide Befehle pro-e' Adresse Befehle --zif fern x H At V 111op 1- 0128 bieser 30±ehi Gajt aus,' da.13 der ElektronenstraM vcndr8teM» Al. in Pig. 3a in x-Richtung (waMerecht) in aufgetastet'em Zustand (At) vorwärte--(T) um 128 Zählschritte 'weiterläufen c611. Durch das Eintreffen das Befehls (V) ölet ein, Plip-Plop 23 In seine Ruhelage gebracht worden. Der Eingang V für den Befehl (V) und der hit den Ausgang den y .Plig-r#lop 23 verbunden* Einsam70inea- Und-Gattern 24 führen dad-urch #T.-1121gnale. Am dritten' Eingang 0 des Und-Gatters 24 liegen die Zählimpul-so den Arbeitstakt-Generatore der Pro- gre=Bteuerunä ano*de,ooeü#1,-Sigmle-Uber dao' geöffnete Und- Gatter 24 und ein :-''oder-Gatter-- 25 zu einer Mazichaltung 26-. elanaen, Da der EiMang-yw (Vorwärts) der Mlochaltuns 26 durch den-Befahl Elop 1 (Billeoper ation 1) 'ein- Tj-Signal » führtt worden die Impulse den Arbeitetakt-Generatorn In-die Zählschaltaffl- 26 eingezählti,- deren ZähUapazität 128 Tmpulso beträgt& Duroli die in-der Adreaso 3 programmierte Zahl 0128 -ist beistimmt" daß*der Arbeitstakt-Generator während der. Ab- ,arbeitumg diesen Befehle-128 Impulse, abgibt* Erreiaht - der Blertronenstrahl 11 auf seinem Weg nach Punkt C in der Dear- bei twa&sebene ivgl. Plgs.3a) den linken Rand den pai#allel zur,' y-Achse verlaufenden Sohenkeln,den Winkelbalkenn 4, erschelat am-Bingang x den Flip-Plap 23 ein Igudlo 21,p der das Auf- tretfon den Bleittronanntrehlen 11 auf de r markierenden Zonei &,h* auf dem Winkelbalken 4, mel:dete Der*dab04. am M--ßkonte.Ict 6 deu,.Objoktes 1 entritehende ImPea 2t --.' wird In einem bekannten und hiej# nicht dergestell- ten P.Uswerteverstärker verstärkt und so geformt, daß er Eingang M der Positionierumgeanordnung &ls L/O-Sprumg zur' 21 Verfügung stleht. Du.#ch dienen Impuls wird--der* -Plip-Plop.23 in seiii-a -Arbeitclage gebracht. Dadurch £W*irt der zugehörige Eingartr- den Und-Gatters 24 'Pali-Sienal-i da'ä,.Und4atter 24 schließt Und -die Zählochaltum .26 ibrhält keine Zähle- Der in der Zählochaltung 26 geo'Peiaheirte Z4Ube trag '(Mör#, la. Zählsohxitte) ist ein direktes ria$ Ni- den Abe tand d er. von der'.lii*en K=te. -,dob Geneeollten Söheükeln-. dea 'Winkelbalkens 4,u.'D#.>r -Blöktronensträhl 11. d M -auf..Grund des Bef Adi4&Oee 'bin (1P8 Zählachritte. eind zarüclcgelegt)*,vdrd in -Adreaso'4 äei-' Pofil. tionierprog-,ra=oe resohaltQ#td. ßOrt eteht i Adr, 4 X, B.- At R Hiop,/ 1 0128 *nalog dem Vorgang bei-Adrenao geaohlebt folsond#eit.. Der Befehl veranlaß# j -da'fi. d*r -'Nie ktxo'noxw trahl v61x Pankt 0' -igus m.-128 Z#Usclu-Itte-ruakwiwtse.Sioo zurstenib-A Nurkt'- ,Durch den -13*fehi R (rUokwärta) wird der.Plip-Plö'.23 wiedär in Ruhelago* gebracht, -Die* bei,'.Ädretine--3 b--echiriebenen Zo-tÄn.#, tialverhälthitine tref fen etzt tUr ein Und-Ge tt«, 27 2u Dati Und-Gatter 24 ist jetzt 'geschlosseiii mil Pel-n weiteree. Eingang V '#lallsirnal führte Die den Und-- Gatter.- 27 steuern über ein Odez%-üatter 28 eine weitere Z"'hl- zehaltung 29, die durch die Hilfsoperation Hiopl auf Vor- Wärtszählung geschaltet ist. Die-Impulusgrio dea#At-aenL-T-fttors w2-faßt wieder 128 Zählsohritte, In der ZW11-jahaltung ?9 wer- - en. aber nur co viela Impulse gespeichert, wie notwendig 004 bindg um den 11 von PLinkt V bis..'zwn rechten Ran?'. loes *irallel zur Y-Achse verlaufenden Schenkels des Win- kalbalkens 4 zu steuern. Ist der Elektionenetrahl 11 dort an3.ekomman" erscheint wieder am Eingang 14 den..Plip-Plop 2-3 eiA L/O-Sprung und bringt -ihn abermala In A-rbeitelageg vio- durch das-Und-Gatter 27 geschlossen urird» Der in der Zähl- Schaltung 29 #gefspelcherte ZäUbetrag (hier 90 zählschzitte) ist ein diraktes Maß Mr dän Abstand den Punktes 0 von der rechten Kante das Winkelbalkens 4. Der Elektronenatrahl '11 läuftalso-infolge des- gefehle in Adresse 4'ze Sbellä V- zurück. -Danach- wird in Ädresse 5 weitzergeschaltet. Der dort gespeicherte Befahl lautett Adro- 5 Riop- 2 Der Eingang'fUr die Hilf aoperation F4lop 2 fUhrt IG--aignal. Dad.urch werden die Zählachaltwigen 26 und 29 auf RU0kwärte-i Zählung =geschaltet. Die Ausgänge UNull" dar beiden Zähl- schaltungen 26g 29 führen Ir-Sii;jmlv solange der In der -Zähl-' echaltung gespeicherte Zählbetrag von Null verschieden iat. Das Ist der Pall, nachdem die Operationen der Adreauen 3 und 4 abgelaufen sind. Damit fUhren beide Eingänge eines oder-Gatters 30 w2d eines Ünd-Gatters 31 L-Signalg, 'demzu- folge auch der Ausgang.des Und-Gatters 31. In diesen Augen- blichr startet ein Impuls-Generator 32 tud- gibt -eine Impule.i- folge mit einer Prequenz von z.Be 50 kRa ab, Die-Ausgange-, impalse diesea ImpulQ-Generators 32 lieaen glelohne'itig an den F4ngängezi von zwai,ireiteren Und-4atter 331 54- 'soziia an den Einzärigen der -Und-Gattar 35a 361 37 an* bie Impulse' des Impuls-Generato ro 32 könnan aber zunächst nur an den AungänZen der Und-Gatter 3 31v34 wirksam werdeno, obwohl der Ausgang de.a Und-Gatters'.35 auch.die Impulafol.%o-£W=tg, denn f#k!r die 2.--Ablenk-UM :der Eingan,5 des Und-Gattere «nMhrt L-Sigml- D10. TßPultge Werdaa jedoch nicht wIrksam., da an einen Und-Gatter 35. angeschlossenen Korrekturregieter-38.Uber Wegatoren 391 40 an beiden Steu'ereingängen Vwl-#Rwe Null-Zigna'le -anliegen und dat3 Korrektürregister X3 dadu=h tur iginh ZäMang nicht- Vox,- ,bereitet,iste' Voa;den Auagefflen 'd.er- Und-Gatter 33 .-34-- selan-: -sen die':impulse d#a, Impuls-4eneritoen ' 32 -,übe-rr dl& Odolb--aatt.oe- ?5 g 28 -an. die Eingänge der Zähloobaltan,%en..26#- 29 wid ken eine RdekwärtsaäUtzngv oie- auf die jange anhält v.# bis*,-eine.-eer Zählaohaltunien- 26 #od4r -29 -de;"n Zählbetrag mal erreichte .'Zm Vorliegeiiden: Falle lot* digir die, Zählaohaltuaä 96.i am Ausgang,nNullw der.Z&Lhloobaltung'26 ante. steht im Augeabliak des Frreioliens'.den Zählbetragen X.ull.Oin .Eull-Signal woduroh das Und-Gatter 33 geaohlossen wird,.. Glo,ichzeitig erhäll der Eingang Rw den Korrakturre.ginters 3a Uber den Nugator'39. ein ISigml. tr.wird auf Rilol,-;tUrtszäh- "aachaltott'Xn der Zählschaltpag 29 Ist jetzt'dee luik; ume Zählbetre,- 2,a x' geopeibhert (im Batopiel.90.!-.18 72) der'--: ..vorzeichenrichtig in dan.)forrakturreiteter 38 te die Z-#. Koordinate Ubernam-men worden solle Vor den Bei-inn das Poni# tionieruni#svorganges, schon beim Start der Programmeteuerung@ irt dete Kor-rektirregister 33 und weitere iCorrek'..,.t=egister- 41; 429 die je über eine Zählkapazität von 256 Impuls an ver--.' der Regt- fügen, durch einen Irapuls am 1:Ingart3 11126i-Stellung ---tar" in die stellung, 128-,gebracht worden.- Das -ist notwendig, wäil die Ab%-.,eicha-ng der Stelle # At von Ihrta Sollwert (vsl. Fi-gja) in Jeder 11-toordinatenrichtung, sowohl po-,itiv als auch n.-gativ -sein kann urd derientä#rech-end auch die Morrektur von halben Wert des Ejetrages 256- aus#,ollend erfol4en male, 'Null" der.IälJach.altu-ig 1-9 *eiterhiti L-Si--nal Da der Ausl- LY führtg bleibt der L--Zustand auch am,Ausgang den Oder-Gattere 30 und des Und-Gattern 31 erhaltene so daß der Impuls-Geners- tor 32 Weiterhin Impulse liefer> t die eber das gelüfnete Und-Gatter 35 In dais auf Rückwärtszählung gestellte Korrekim turregister 38 elw.,ezählt..worden. Der Zählvorgang dauert an#- bi e auch die Zählachaltuna 29 Ihre -.Nulls t e Ilum erre i oht hat. Dann schließen die Und-Gätter 319 341, co da.A -der ImPulo Generator 32 gestoPPt wi'rd,-lim#'Korrekturret"ister 38 ist jetzt der Zählbetrag 128 -'#26X1 geope3.,ohei-tu im vorliegenden Bei s' i ei 128 - 72 56. Ein an das Koxwekt=regiLtei# 38 P ,an.3e00.h10613entr Digital-#Analog-.W&Mler 43 lictort eine dem- Inhalt des Korrektureaestere proportionale GletoWapannung.9 dia eine ihrer Größe' entsprechende, aveib'schlebuffl dor x-]Koordinate bewirkt.@ Im Digitaltell der Pocitionioreineioh- turig erfolgte die Korrektur ua 2 ax, Durch entsproohend o Bewertung der Ausgangeopannung 4- den Y-,inGev' Grz, Ouebung, der Y.-XOO-.,dinate die #iv,Zble,#ztmg des m deß Ue Korrektur noah einer ean halben' Zählacheitten erfolgte Die Emch dee Dirital-Amalog- PJ,3 em5-Z@h 21 1.,1 UnternetmnS des In dan Korrektur- Z,;-Ulbetrae den voa- 2 21 1.a das 38 h4t, eich die 43 stuferrweine -mit Sofflerte ap dU die AUenkwerte für Steile Punkt P sind (vgl* PiZ* X arul Pigo 4b), Das-be~ devit,et£, caet13 um #gUe D2-990re= -9",ax korrigiert worden Ists D",dao steLopon d«5 bowirkende Auagan#o-* jzpuli3 de a Ual-Gutte-"e 3 t iBehaltet In die näohste Adresse* -,Der beachMabeut Vorsam- lauf t jitzt, entspreohend tur. die da:tür -X stop 1,. 0128 Siop 2 Der BleL#,trononetirahl 11 läutt ale'o von ]Pumkt D aue Ubar 2=kt A marit dia luzü#t Z (*SI, Errelohen der oberen parallel tar x-Achbe der Objekteibene Sele- Seuen S@ha-nkele das Winkelbalkene --A t7ird die ZWAt-oha'ltun8 26 'darch'dii#2 w'-m an»mg X dern Ih#"u113,09 Beim RUWL<Iau;? den von P=k,--t X ziach Oum g#U Amt D erfolgt die Ze--lems ir, der zKuiochaltwe-. 29, -.Miß Ztm e20iGaeig -fier untegaz, K4Mge, fioz des -winkelbalkeng) c# (2r2Gieht Ae a09 Ademwe; nad 29 para2201 2 MM Q1ch 212 dig ova pa219 :l lub#2 dEllB, ug#D.-0* 336 (222@29- e dao mch.Absohlte A(DU 20#G Sg#P m100 fert -Wieder nu-Use c1316 mmeh Bewaictmi23 mit pektor 005 q#,no bowirkt.- Objektobanco. da 0 -,ZUG ft -#OEL t2ah2.Q o' de 9.v 2m14"o#> y EM tasteten zuatand im 0 dar -Zoordiüate den golgen den'- p40gremm eue t ei&- 2urgGX# Ir. Infolge der befiriden 'sich die Koordimten des imlektronenstrauen. 11 statt Im Pül*t 7,29dDe# jm pumkt pfff tritt (tier-,Abweibhtma + A aufe Die Pestatöllww der- Greße von &y2 und, die Ubernahme setzlie Zählbetragen In -das steL- tUr den Winkel W der - Abweichumg geschieht ße;läU bet, &e2 Korz#oktw, der x-'goordinate aunftthrlioh A b0302wIeten ia,#ät, in den fülsenden drei-Adreesent IUOP A 01;M-- lci2,9 A2 -a Da £Um- Clen, wiakolL W nicht, wie' bat- _X -und Y'äpsziellie Speichexi- pv',#tze# In der eindp wird- -isur Astemung Und-Gatters ei" Weltere stet, 42 geopelcherte ZäUbetz6M -wird in unat'm sti de.- bei Z.und Sie##iabe* iN#I -8,6 yerschlebung bei-- -der Korrektur deb., -benatZ',t.9-#-- um in, einem 'Faaverter'45 entsprei)#ehd --der alei ohung 2 ej Verkopplung der'auel sopannufflen fe. - Z;- #UM-# -,Daa sagehiffl, zaaverter 45 -wie -Dit bereits vorhan-..' zur dort Ele -.e die. beldem Dteitil-AMIb,%-leaM1Wr 51' tuü.#'53 fili- die it. bzw, die- Diaital- -53 worden 414 Ablem k..;Undr*rotärker- für äa seannma d a a dao Ählentsycim 12*-angeeohloeo*W«---Dio* Aue naß DigjLtal.mA=Iog-Wandieith 51, (1-Ablankumg)-*trd über einen die'. 54 54 aI#x-,t2 .verändert. Über einen V2--9-t aG.? -v-u,-o bestlamta O-tä iu der ged2,eheo -lleal ilen furz die -du eine beider Batmerteffina wir ac -apamang*p. Ist fiL- dio an elnah spalL-Iums3tollee 55 mit -dän- #5b und -den Tranntstoren--554 mit den Spanaumoteller 54 ortolgte'Mie Autsang-Mropamung dte spamungstellers 54 wird -über e Inen Läpodanzwanaler 57 in- den mug mit dän von ar320mwteller 55 der' T-Ablenkepanaung tiberlägert wiAja Die po-lige Ung tat e&ä»- Dmbum# #d»o -itt#»ten wlo beteltü oboya erwWmt 7 uk startr&jlcmt 111 -Ale. gmers t same e--11 kalban, ur---tximl möglichen Drehwinkel glelchkum..'A'Ö. Didse erlorderlicho -weil au01a 4Y2 Cowohl a B ah POUItive vtiä#*"e &=ehmon kann. Damit-sich tIv al -aIng -1u.. cl.U#>z die Xoordlnaten de2- Loarbeitungoebene 13 0 mit derken dev Objektobeno..,deckeno, wird von vornherein das 12" boot6hezid atus den magnotlachön 58; 59; 60t 61 tUr'den 'Elektzenenstrahl 119 wu diesen halben mximal mögliohen Winkel ff gegen den Uhr- Nach JQr 'wird in den folgenden ot36 0096' .erneut (vgl. 2 Duxvh ;dlg'W:In#--01kOrrcktur #;JM 'sind erneut Fehler a z-r UM' 4"12*# -aufgetretein,"-dii's»r wetent-i ..ilch kleInor wInd, -ale AXI--; a 71 ued y 2,9 aber obenfalle noe korrixiert, tollen.' Es'wird-,in Adrestie -16 weiter. ,gecahaltet#und.,d#r besöhriebene-Vorgkre läuft für die x- tuid -in,-den Adreioion 16 bie'-21 ierneut ab o# tat' die Ponitionierung exakt und das Koordi=tezwyotem* der 13*erbeitungeobe»,ist mit den - der Objektobene --zur .'Deokw* gebracht woi%o den und der Pu..ikt A fällt, mit der- stelle V in Adresse 22 beennt da= das in der Programstauerum"20 =in echtig posi- tionierte Objei#t 19 zigeht- nie,* he2, c:LAex, de#tv Zeiten Mit den. 0? #gg ,1 eö Dao n#"i jA M 2 L--n,k(D2 A SICh h* 29,-, c; G l-' 1 MIR t n E 2 ifi 28 c).t t beh2n41=e vov bot -ei gh- artige 5trukt "5,-Illen zu£: elwm Avat--1» elQr#twm# euEltrom m bäi=ndolu sind -arid:*b#i- ng -deui obj.01-zt eeaae das Objekt 1 zut 4 Nuhremd- der do 'Petig -bei --det von. zalbleiter]4 sehr hohe sentelltj -Warcl.0 d" eischen lUtteln nur schwor odez, tlbi>zhmpt nieht orMilbze ,as-gleiche. gilt belm Sinoat c V*U wo biat:L=to speittg17vjtz*, -mit seitlichen Abstäl#4 von-.',4#M. W--,go=u 2,- sich das Verfatr= ait Vorteil auch durt &*- g lKa der oin 7 4#h"' #zIen eß ud-elirhe -gg; Gm Un v02j-7!# tu betrachteter de,- de 2 .#,e t# U-"o zu #5Z>n#-i#7-U#gejas ren M-Lu-, z21 -ze, 2# rde.n ka=, olmo daß sie- dieso .uuulglwi,b übertrai3en. Dio 2Ä:ierer4« Zonen rmr,.Iler" 4en ju- und 20 lacßoß ai& niel* nur Winkelbalken urn-.#erade -Bauen reilipiereut, nonde= eu klizma auch 1=ii;,-,entreckt-o wixü--,ül:ti3=Lge Uarken 65 ,verw"dot vergen* Auch die Aumb1,1411216 a3M geschlonsener Rüh- #zu 6G8, d#e -die geaautg zu bect;übeitonde 1?Iäcäe auf dem Objekt -1 urzeibtt tat kugliche D=4Worhina= kt$=ezi der wimxel"llzgn 4 -und der gerc.-10 5 an beltebißen Dezu$skaute.--u angeordnet neinl, so v40 es in den- Tia. 7a-=d #4 Gezeigt i.t,8 vielterhin kön=U.,die marhierendon Zonen auch als Rochteckt '.4x&d ab oder Kmin augeführ#. veAen, Intbesondere d=ng #voim ale M*»tinikt*u»i doä C*bjokboa..l Eo kämen-'- ZA, SAL auf einom na,#leitelekristall 67r,; der als 0,bäckt i,zu bearbelten intfr#un rk--leitenden 1U4aftierie . zwei Quadrate 68' au» #darkioxer-de Zonera Vtj?W#.-zküet werGego Alm dom cim 2 cc#lm2,(5. Dutw- 1,9no aaeg lo- 403 AM nach aen baschmAälenam 111 eb&-otmtetg m üm r»JO-kZ#-#. da.»atelltg Schau zu voaltion:legang 1,mdom systog -de2 B allie, dom 4c2 Dce=",»p. gebracht wua,0 U:04.>.:L diu#21 d02 joa,004 #z4- der alw 4,or, Mute- 'die* p-luttende HaterizIaauch-b micht zaz#EtBA - m#Lndo Um dlao Zu arzeichens wIrd äu weiger =it zähr hoher so daß au:ixe ELzmirk"Uer je4*r Medelle aug- don ..Quadrat;, 68 ßo klelm Izt#- daß Imine .vorgumuten wird. In VIZOS lot die Spur. 70 duz ElektNamen-. ntrvüle* 11 Mr einen aolQhoa Fall Awtolle- der ZU"tzliebe-b ßChnellem. Ab19M3Mß-.d,023 Mlekt=n82»- I'brtbeweeun-- a Uch In einem Elektvonenstrahlprozeß#die #Gteomtärko dc;ii.- Eickt-ronelmtrahlen 111 w91ulemd der Abtaftung cler markle&4mden -Zone nowelb verkleinext verdeuv daß ebenfulls. belau Be*rUi-.' .tunr,zwirk-au-S ß-ntatehte Dien er£olt4, beispielentwo duivZ .lnde=c der sto»»pann=g än Uekt»- liegguelle licüen- Abl3-w =IG oa"er. einer- VerminAprung den 4-tzMIstrom-es .de,ii DurehMesaer des Bre=Puj-XLL;ca lt) deu r,u#ände=e ZzU zeße, ü#ne erreicht war- co.wigd de2P.DurcLm,-,üer -den Bre=,&#unkten 19 vergrößerte- D:Leu- 6erchie-ht Z. Bs In- 41-nfacher Weibe durch Veränderung der Liist, 169- -i-la- -,ainrUtrimd» Zonen XU=eu aucäi und bahum 1.,vo-rmri ob",volKleno* auf -e@U 9b die obam2'* allz a14. Mouvehen lolndt via z4a r"v B. in clen #ertso 7t UW Bei.-d#6r vet"nd=ou. von 71'. --ist eo z=ckaU.i:gl, auf- ider Ab=i=Q- Icid, u»i ;Auf -dar ordi-*-- gab #vexim un's -vill #beacht"v dU -a14alot zu -den Pige ?r. bia 7d imir eize. winkei:rörmlo> =x öinü gorade »4rklo rem,d** -.;Zone '040-e# gabmA 66 ko>llclot te ermittelttin. Xo=Okturen Mr die Boaeoltungßebe em Ict en beiapielmmine auAÄ vorteil+. 2&tzlir.hos Lblenkeyatem 73- zu vez*mtiona,.* Dun te us ät z li ehe Ab-# leinloystem ?3 ka= zu -d= Ableck»luten in Sarief evA den Moktronenotrolaue. 11, hinter, dem Ablenk»yotom-12.ode2 Xquial 12 auceo,rdnet werden# So j...xie cLen )r'ilp' gu -bla, 9a zeigt 1.!"* Verrahren -zur Iz..elbotpocitionierumg irj. ge ä on an object The Er £ Indueg amounts to a Vozeahren isuir self-positionIarem a Blektzv # nezwtranei on - «sv Obärtl" he eime Obje.kteng violches the Eliwjirl: u24 den the wIlo- The themitIche and eO-htthezr4 «& * #mik» b «#ibeit with slektro- shining, both - the, - the - Werkseug. out - eimm. Toku-Beierten Slok- tronenetriLhl, booty # tit, 0 Lot under -. this processing 901-- len auoh ahamiache or ' phy nikanache effect or verameom be understood, the intolse of what is struck Transmitting aat the Obertigob "a4a" produced objects been * 'So can 9'.30 « bauti = te'zaoke networked Aje 7.t-aßeuohwirb. digkalt from md oiliniÜmkrintallen bot * '* Influence of dUnhö SohioMen on access rates. and many other work Bloktraue »trahl is working on it-also a 4m given, Proftram * To many objects in the alsioten Welat a "u # bearbeiteng iot en often required # each individual object in a row in terms of tw * eteld den -Blektrom = trust * u-with high # accuracy in short-- Tent to pönitiontoz * onu # Did difficulty needs now dering each, Object to the gleiofie 14ä8 to ElektroüenstiNan to brin ", - s. Ult other ilorteno, '- jedoo single 1 na object must be during the Impact, dec. Slekt-r = emtrahlas at the same place * Jn, -je., work area bef L # dent'um. at the smooth point of the object but exposed to the Elektrozonstrahlelmarketing'zu iArdene If you are noticing this since211, there were many Move them sideways, circle the -lektro- nenstrable other work fig% Seg like ia.-3. '.29dempfaMpurozesee or Ätzprozuene durchzuMhren eind uM the Eizbürkurg the .Blektroneaatt always paid at a genz. Position as a consequence, should their absences in Ber # oLoh from -some # x-Metem or Share daven.lieg To d: Leo '* sti' Mgehen "Lat * it 'bekännt S, the 6worden Blektrwenstrahl - same. a1181 Poei tlozderulfe to be used. Slightly soled in the Wel.999that on. Danish object Ziarken attached - we2deng the aloh i.Be your uatig annetmang from the About the surface of the object uatiprecheidene- 1.Veiters wi rd dje Fact auo,% e = tzt 4a8 die, duzmh die: Ein: V.Irk = 'g den' Elektze- monntx & uon nascent or the voaL, '. qbJekt abtuesonddi inlektromaftr «Lmer dem: an Ämermg wel .. f ahrik, 0 - wma 4ir trahl'von a beoti = th U * at-erial - '. ***'. rt a different fatherlalart skips * liei dj.Men..iieka = t'en Verlaeon is e.g. dai object et dem Depending on the location in outside. ki 1-b makes the lock visible on epoma Vonitor., 6 -By wecha- nioche Versoh, 1-s.b4m d6o objects or put, oh _ # a * zullpm * tver- doiv * nao-Itorfeldeo can then Mon: Ltorb; Lld of the brand VonitorbIldonAer abanterten 'eamtm a pretend bar; Ox * des surface of the monitor image v '«r2chobea.-been .. where aleh-eim --Positioning of the - grate area relative to the mrklerendm zona on the object 'crglbtaiiese Art'- the Poeritionltrwjg has dan liaohteils that per obä0Lot an imäer ut'taurmmd necessary lato Zin * eiterei, die- -tubjectives And '*. rolattr- rirZe Ziastellgenanigkelt um- those with ZKM * rar-Betriebol »1.0 -connected = BraMangeoreo -de-bedl, 9 idon Fe »= u-, Neban 4in different väx ' loud en der sinetellum mch hiner deng deln BlektronazwtrüU'2Ur. bestimnite.S'ezia14Ulle zur -auto.-; matisehen Toeitioniez, # m heramüsIe # 'd. h4 , a bc! ride around etlim # Abo # * ine .1 «* Seuollig Iie out of the.OberflädLo eime. er rtl * oh & - oxidizing w. "ten-semiconductor crystal-aqtjmbmqbt, i.oto.-git , a lamentable «.p -1 let ii9A0 fMädei atort S ur * Ultfunton ' das. Utttern tin .wordea. - #) azu wird'der Elek't "wünbintbl xit to, .jMr t he six ER- aiming * work requires 4ftlip- äreltude en laughter arises. Also verden the - "a wide range" of articulations Regarding -your position so great that it is always au-a you p "-type zone hara" to conducting n-dan in GruMmterial pull in. pjn -of the conductive type dee from the EI octron beam -loaded iätuiP'-18 suspension iron Eisnal. is used. around the middle deviation of the processing of the, p-type zone too. determine un4 through coupling with the Beam deflection aU * tomatiigoh «to comrisiereiu This method has the k. Disadvantage9 » 'that only one line in the In the middle of the two halves of the time, two beaded granules are to be worked on - can, In most of the branches in the area of the electrons, Beam processing is done. Any required electron beam to pont exactly at the same time with both directions of deflection. tioniereu, m processing * iUuWetMu "zi. * mt, * dor Obertlecht the objects on the 'At dor Bin Wirku, # g dee, lead drone nenetrah169' aie i = z be determined Telle- der- ObertlILohe- one - Objoktee # - z "UB *. With one th BlektrenozLitraUboarbeituM for manufacturing semiconductor yon, ".. cyatomen or the processing -'von * dUnhen! P.Ideretand «ohloht; en" - who are commanded on solitary saberaths Schwiert,: "kaib di * BeirbeitufflatIgar. No adt der Obertläohe '.- # doä objects to poäit.Lonierozi # * das. garbage lage relattr to further tereel, Obert, lächtiimtraktu * »'nb lieBt"' n pn, -Übo r * aänasai . Lositerbahneu or ' .von Kontaktend, JfA- a completely Aeriniarten and-.eng t Q * lerierte-.1 * mitanda relationship stands- * This severity -eutoteht einmul due to lack of la, 39kon --- Number of sheet metal inside out over MM6re operating times # be. dinat. or * 9 = P "h vo%, plus clorl Jblek- trenensträhl-ersp. SU: v GZU2a of odet on, G24gLA of gür the distraction # inholi fum wv dEw bat £ zag> fund existing structures or ü @ ä objekti30. This int 3 -.-. the Pall at the oinoe Smeien Subt3tri% te p from Glaa .. after previous a13 # r; ei # eiii naau hatereiN- slide the 1st T! Illa2: e düs -dea objects-: SO-Udem: Emat. üIne Dolilm # The consequences eLlar Ibeatehen IA the # Bingeränk-Ung 499 vom tiakiromnat »hi 4amit editable Bereiohea and in..eimw faulty processing deu.Werkstflekon duml% Non-disclosure of the geometrical -Abi) t & Wo: from azoheinander. " with erentaou daawZaohenltesendein] Poüitiona -.- Strakt a "yes The 'invention - has the Zwook., P the -Eilb *. Object69 relative to determi = tc., l '-Strulctu "reii' = t -Your Obäi-fläohe %, the objects-. zu ErMhen and #gie "gach-teilie dqu * ätandeb-, the Taohii) i- iu vormium gerAmsen wordezig. that tIoh die ' -gullage doo> Elektrenenatrahlei', ' ral-ativ 'for. Edited by Zacolt des-Objects's Iaagesam -changed, r Next. be VOMUG & Ooetzt $ that object-baded lagesch-.7m-lktA7 #, on dee. The coordinate system of the object plane reiatj », r to the piavlirk, level the Slektronänstrahleg * only through ... faulty mechanical * - POFJlticnieru2t3 before Begina.drr processing with the electron. etstrahl arise, * The original invention reads the task .7.u #, ruW o an automatiolerbarese generally applicable process to create ", with its FILlte low time autonomy due to the coordinate system of the processing plane the blectronous rays with the g »oirdinate system of Object plane through the conduction ray solbet ge to cover . are brought k = n. Before the Llittol d for solving 4r task area of the invention give have been to test a further 161 known known acts, of which the invention is carried out. First and foremost, there is the fact that I got the fact that when I was overpowering THE TWO DIFFERENTIALS Uatertallen and Mato --- rials with locally subordinate elements or electrical, states (potentials) or even aprunghatten Changes in geometry with the 131eIctronomstrahl, the secondary electro-. nen.qtreml, the middle one located near the 0b3 & ktea Autfängera.Sesa = olt vierden knnng alob äpraughaft depending on from the benaehbarton Uata..riallen, 141tungeolgenschaften, wid potentials changed 'A Mmliche Äader =' He .. follows 0.3, also with the flow ad er abor, which measures the% Cbject # in the part of the change 4ir stoftli # hen iu-ammuasetzungg der cha-. im & teriotiaeen X-ray radiation the von Auttroffpunkt dee , Common is these or aMaron - also suitable Pv) 3oh, 3i- - ntli, # "n ' - like Z wB * Im Palld-tho = i sci # er'13o-arb» eit'u # die Licht-i emieq & on der.arbeitwfflspur, # - .. that. the.! affected .fende ge3- -grbad a-it u # Craohreiten det, limit aviocheii 'z'wdi erstloch odet e en # that Xoordi; # zmtowyotomeg, Ate same Z * -in the Ebeüe liegene 'oh el hrough Iraraliilverschi ob Länga -, -, the Aohaen " 9. * ei, tme, and by eini Dzehj M eini oht eaut liegier -Mbene ttehende so xird (Iiid -idige. 0 inen en X urd li2, - a first in- part =% wide Lr6orclinnterpä. i'ßyntlex the in. dör Ebem vde.,. diio. * oete -May edoeb around! -d ie, goerd v imtem, x UM erechobetz and um.the -winkel W. im --UI = eJgezei =, "geüttb-te * eretereig tad Turned did, "through. folZünde Tr-neförg *, tton boeF6 & eebbij X- eift w w 0öff .Unt # 4r- the assumption # kleinti # egg oliwtueiä td jr4., zttr, Deekurla> ringendön d ».-. l ..- 1. # dag3 obj-ikien- and 0 & * i # Ableh U-eldeti dies' albLtroneüwtrahl «9.- Objektei * '. B «teht' nL * h does - his waiter ;, 21 area, etc. those there> a la dee Surface structures or geel-Knate Varken bestirgit. The coordinated .din, - system of deflection . - and thus the field of work ... electron beam iht dzsjenigep which in the plane the Brennpu.eten eng Uloktrono # straUes is una which coordinate direction, en -duro., i the Ablankilchtungen and its Ureprur, 1 duroh -the ilullage dea -electrown rays (deflection system turned off) or, fixed ablankrierta is given. The level in which the Bronn point of the electron beam deflects bar i3te coll- can be referred to as the focal plane. In this plane the surface of the object to be processed is brought & The coordinate systemo dei lying in common in the dioipcr plane Obj files and the filing # Lf eldes' should be brought to the tWcL-ung, bar, for the sake of better overlook , in.more simply from the Object upper and the working plane and their. etemen spoken wordinb -. *. be welter-Vorausswetzt) that the 'brtliche'und-meitlichi Control of the Erlektrenemetstrahlte with a hurry a well-known teh.eigitalen 11red, ra = expensive rods obeyed. With this species of the steaazuria dea . Objects Wild the area to be processed into a? Unk.traater serlogti whereby each Raaterpw * t vo bena'abbaren- ranter point -.Yes direction of the two coordinate units = work time Has the Im @ every Ri.stel point. ? (xn 1 X-ja) in the KooAinato ». * system is a = it duteh xtt na mß yra « m oa 9 d. h, Im where uentli che-a # by the two in number en -a and m sufficient -be- Right* The ALUMbe the lErfindung.-If, characterized Uttn # soldier. that it is. dungegeWa Munächnt through ALbtestum of marking zones the object In x. and-y-direction with the Blektronenetrai% l di'O-- dei-r may the obj-octobes of Cler Iffl den dor Be-arb4itmen.obine to * Np. that the dor marking Zones the object from their target && * # - which at the exact position nation of the object given the processing of unMober » ezuittelt.-we.rden "and that dWiach d a. = Ittelten deviation agon entaprikehehde corrections of the- Äblank # e, r.to for the Blektronex> m beam by this vorgenowman werdonp & 0 - - d'en for the processing. Process programmed y = these deviations according to the given deflection values uhd T -,. liahtuna- Addi # ly «berlggeet uM A 1 loi-rek -. # tar the l "one-leg soft wiZ the a -this' angle from »iohWg prpportlonale Verkopp1W41.d * 3 # Deflection values in'x- and Y-direction vorgo == ah xixde ,. An expedient variant of this procedure-exists in it, - iiaß- the determined deviations for the z- # tg nd z-coordinates of the Marking zones an electronic calculator -for poot position the correction Gröeen; i " gy # og W der zo-. uM v-Foordieto in Verloi> - with the correction. the Viz * elabwolohung goeberm # eiziG.be 'given eteme of object life and processing and that the Wherefore the einnittelten correction quantities cabin applicable correction 'the px # 6sra = Iort-en deflection values for Aen Blektrwenstrahl- det vioneno Another best, eht d eiwi n that first the Abyreiolmng the: marking "yes- Zonon on the object'- ' leoli- her solleße in den- ISIcktronene trah. les in the x coordinate direction is determined by the foot position Deviating eofoss-t-corrected w-irdi then the deviation in the Y. # Coordinate Direction determined and EberCalle the fentgentallte Deviation is corrected immediately and then the deviation the angle of the two coordinate systems through one of the angles Proportional coupling of the deflection values in the x and y directions is also corrected immediately and that the standing Pahler in x- and y ' Richtump as prescribed male e = Ittelt uj2-d be koxTigie-rt. This renewed Poeitionier- error after execution of the angle correction office that according to v #% loan, the correction is done in the first . Steps around yo + X 7 takes place, dehe that do, generally »n Pal with W 0 or. X 4 -and Y 0 not just about gewUtnachten Verechlebumgen pulled YOU üm-the two KooAinatanursprUnge * -gegerÄeinamder insured you It was corrected, but rather that the execution of the correction was made den leinkol'W - by the amounts * Ax y 4üy I was corrected This Down #. IaiohmZgn been in the beeaihriebenen repeat of the first two Paaltionierahritte topfalla corrected # - so that the correction of the 'positioning errors in the context of Almost exactly done. Ui this correction of the Wiakolabtvelchar4. of the coordinated eysterm of the workforce level opposite the property level . According to the invention, there is an error regarding the distraction. amlitude of the slectron beam. This error Iat daduroh conditional »that the rotation of the direction of the ZoordInntenaamen the processing #% »level through the vectorial overlay of the both deflection room in xi and v-direction takes place # e off, simple.a Geometrical considerations must be taken into account if the deflection point follows , the relationship & In this Gletohumg-bodeUtent- the -Bud »1 ait the maximum b4 $ U & Uoh den wintele W, md meen den beden Ebordinstensyntemm voaimally permissible Wiakolib SoftuM Ilm, So #st do recognize & that the resulting AMlitude error Air the deflection 4 @ ö electron beam, in -de a- in 'consideration ko = en39a angles Wmx etrete kloin SagenUberi der korrigtar: » - possible fault positioning is. In the following, the invented According to the method carried out in such a way, let pa = U-91 sa 'The edges of the objects before the effect of the siactroneum. etrahies two marked zones in '? om - an angular balcoma urt4 of a straight bar is applied - whereby the- Seerkel the angle bar parallei to the Abezisse and Ordie, nate uäd the straight * bar parallel to the-Abezlo-so or, OrdIL- nate and at as great a distance as possible from the '.l.linkelbo-% 2k * n in the..Koo.rdirmt system of the.object level has been arranged * It is also beneficial to tag the cyjo-ne as Ralrien to train the one who, on- «the object of the 7, crazy 7, the 3lek- areas exposed to the electron beam in whole or in part,;., oise = closes and its sides parallel to the abscissa and ordi- nate dee Koordi.-mt3nsyr # tems of the object level. the Marking zones on the object can also be used as a mesh structure tures are trained. As a 1-paw structure, there are puncture elements de., 4. Object sc; "as. In previous processes doped zones in the length of the semiconductor crystal. «e.g., pn transition ge 9 contact surfaces or conductor hene in DU = sohichtuchalt- circles etc. to understand. Is on deig object one. Repairs of heterogeneous processes ren, in which irl'enigutens contain a tin electron beam process'- isti become synonymous with the structuring one Process the marking zones applied. the object to be processed from an 'electrical isoll.e- * Rehden Subatrat with vapor-deposited dU, = er Ni & .elt-Ohrori- Schioht soiie soldered conductor strips or connection con. overclock bentehtt 00 Is it zweckoMigl that rmrkierenden zones & at the same time with the.contacts and conductor tracks and% via these duroh Tauoh-ferzinnen are to be linked marking zones connected with a dimensional contact. so can ..iLlis signal of the current flowing away from these meak contacts werdeap used because it is calibrated at hersohreitezi dee markie radden zones with the electron beam by leaps and bounds by one B = chtc) il tielnes output value changes When the # ij procedure is carried out i - t- ep for the process through the electron beam with such a high level of distraction against Ubqr -kler Abladice.e- a 012v (ability to divert for the machining processes that no processing effect achieved at the points will. Instead of this great abundance of indigenous peoples With the positioning process by the electron beam also a diversion-ye rwendet "the 'perpendicular -to beir -Main locomotion at high speed under Avoidance of any processing . effect before standards. The correction of the emitted deviations can be done in the lying invention also take place in such a way that d io er # -. averaged correction values for the x and y coordinates a * additional deflection items are given, since * elaktzc # ,. .. riirkun nenoptisohe * g custody of Ablenkun g of Elektronent - trah. les for the machining process overlay, this additional deflection system can, in the direction of the 'electron seen before or after the deflection key for the loading working program or concentric to the will be arranged. For the provision of the normal correction value, the invention is made. only one single electronic meter changes it Count amounts in separate correction registers for the individual Coordinate deviations »axl, * AYJ and - AY2 or - A. #: and A x2 tihexqo = en, .. The content of the gate correction register is then connected to Di: 'Italian Amlor.'. 'iandler unialt. talbzr zu.- the Ijags of the x- and y- !, 'oordi-naten. ver, - used to correct the deviation of the V'linkel between of the two coordinate systems, one becomes the storage amount the correction register for - ax or & y2 2 -coupling of the x and y deflection values made. The Verkopp1Lmg- the x- and y-deflection sizes according to the deviating angle of the coordinate systems takes place in such a way " that every DJsital-Amlo "- *, Xandler of the l # Lmgramsteaerung Spamaun & oteiler assumed -is "whose division ratio- according to the content of the Norrekturrel-ist-ert3 £ Ur den Angle is set electronically and that the one input output voltage for the voltage parts directly and the other In reverse Poluttät the DigItal-Analo-e, -'- i "tandler the, Program control entnoMmen y & rd and their output span . numg in the 4o12 division ratio äntspraoheindeft-size -den Dialtaa: -Amlog-'dealer of the respective -other coordinate direction- is additively superimposed- * 10 Since the size of the end , turn # m "* -, not- # lle-in - from the corrected correction .to X2 or y2, but also to the programmed distance the saving of the electrical power supply that leaves the interrupting zones .otrahleo '* depends on a basic setting of the. Spmnuffla-Z depending on this distance, you will den. * Serve Gruode: Lxmtollung measured only changed when the abbot ... the coordination of the zmrk: learning zones UW with itMeir Abttagopt; - rezi dea 'Blektronenntrahlen is changed. The basics-w- long the spanmmntoiler- ka = z, B «- through. Change of .g @ st et »tallbaren. branches of the chip breaker take place, M only positive when correcting the Ablonkepanüungen To have words superimposed - it is advantageous # the distraction 0 Inril . dignities for -the Bleklüronww . t number M die. Uälft.q des- z, -xlinal possible to vardreheno Finally, Eß EckwKel # did that. bel * niece: LC., L , rre Kang A. dee marUorendea - Zenen düroh As a result of an excessively small increase in IPOilposittgnterung, 9 41a -, UW is that the -., hf-zb following Jn ---. AImm a01,6un ? All not honest. au, 9- vs. Wordeni -genUaü, Verfahrena- to - l "grbeitmg.- one each Teilfeldeo # One's objects ait ole Stzuktpren. in -14step end -itepaat-i-Taohniklm-i- iMei dIe eb = i-sche Positicmterun only fold essential eii- int Ilie grflndurig-Ju #, t -that -the- improvement with lead wire lp rio ', z # iÜB: en volistlizidig autona ti - * # - n _04 = Üimeit itüd - rIeg siert we came, -ge - xit -imher. : ## "Ose auszurUhren - 444 dd'neit one or. -Zehrere -Zearbe, 1- with deig meirtroniuutzn * l. hmgafuhren, niedle we at -the processing day »hr * rar Iteuen aut d -on WOJ * t Igen leisure 8610he, der enik more .. hWia # In. - creates the wesentlie-he -Yörtell "dag e, rade, -in the - timed mile - the Obiwfl: t! aho ' one -objectea with -hohir '7 * 001 * tionil # nüeo "nalui Gke" ii xt ii, un-t «isoUedlir, hen SäerZWIchten - beaeoltet 'dinghies, this by means of a combination "delii procedure" tied, for example, with a well-known event of distraction the electron net - a lot to he: .- unite, Cbm dam -back- viirkazi #. "en on various dimensions-wid the energy density In Erennputett des Blekt-ronenstrahleo EtnteteÜon. Another advantage is (-larin that the positioning under certain circumstances, utility power function was also assigned to the object. Can be .7endet that beispielawoloo transit the Elektrc;> .- neastrahl itself in a first structural end. Process be applied. a 0 AU-amhrurtG Using -example, and the drawing should be the Invention closer, r to be explained. In the drawing,?, Ont Pise li the principle representation of a well-known Zlek-trow- nenetrahlerep a tokueel-erten electron beam ux2 provides a perspective view of this Part of a well-known TransperteinrichtunZ- for Aie too objects to be processed, which are below the electron strahl-ea- arranged in a vacuum chamber -, is, with -which is connected to the 'electrons.-radially-, Fig. 2t, an object with a 'machined by the metal electron beam beiteton resistance cooperation with the object assigned coordinate system of the object plane, where the object from a Glanunterlage is "-the atte A larger plate broke out uhd'die with an i.'iderstandopahicht * is overdrawn $ YI, # ". 3st an enlarged cutout from an object with one formed as an angle bar marking Zone as well as the position of the object to the Koordimteney most of the object level and the working level " Pig, Jbt entapreohend Fig. 3-a with a further section require a weltexen for dio correction of Abriel chwig Such beamed markLarenden Zonag riz * 4a a Vorannahaulichui #, - according to the corrective procedure to defend in accordance with the invention, 5 »t a Prinzi pochaltplail for the- electronic Szimitt-. luxit, and correction of the Pos.JLonierunkofebler, Fit, 61-another principle eight ## tbild in verb indn.kig - mit t- -, don] Dirpital-Analog-'iawlerzL der'Pmgrm = 9teuorw29 uzu) the magnotioahen Ablenkeystem for everyone to-Slektro--. geometzimhe-Gen'taltmzeu for Mu # - Zohen'auf dem- Obje kt'i- 4ge7a t die * Verwenaung Iron dotiotttä Zeum tLIO yfunktionä- doh * - *. 810 34.tz structure, -dea object * re 2 voW Leiterbahä.au really appropriate 1. an example. -for the distraction dieff 'metal electron beams- ÄÜt; gi.3tu »g .-. Der Marklerchdi # e-. Zone with i3 perpendicular. # Aagneti anyway at distraction cysts- £ Ur dii # determined Xorrek-w- ' -The, invention * & Lße process is done the production of Widere tanda'kombim tionang Dilmmchichtohaltkreineng 41 * Beax% - belting of Ualbleiterbauahlenenten or -p-whaltkreinen and or everywhere - used where ..with -the- electron beam -B «wboituMapro sonne @ -die. -I'm up , the surface-a-th objects stmuen intervals wid sich- to one another or to others. Surface structures are to be carried out, As a rule, all of them find it in a chemist Recipients instead, to this recipient ict-a well-known- ulel - tzu-nen5-beamgener.e-tor arigerc.Uo.-Osen, -dor - a- f-okussier- th ue- deflectable 13-electron beam delivers «The objects- are either continuously via Üruckitufenschleusen from the outside in the Du = hlF-ufaystem d.uroh the Ro .- or From a Voi # ratomagazin within the recipient == closely edited and collected in a world-class magazine. Such devices just described are known-UM not subject of the present invention * To the 2rIäuterune, the following #ExecutionÜngebe.tepiels aoll the Manufacture of a resistor combination serving like an in -Pig. 2 is shown, In 'this Palle also'eas object 1 is to be labor-end e atis -a electrical IL-oh Isolating Subetra-t aue'01as or Ceramic- @ = t doll a thin 6 Ni & zel # -chrome layer 2 on &. is attenuated. Furthermore, on the NioL-el- # Chrorä- Layer 2 tatzohveriinnte contact areas 3 d to - £ Ur den tlek- # RisohenAneobluß det existing WL- , the ßttLide. are provided. Also are buying the Sulmtrat also, tauobyerzi = te # marking zonan in Porm one lainkelbalkens 4 and a straight beam 5 applied the also with a contour U in the form . of - # measuring contacts 6 and Versehön sihd -, & Die- marking zones 41 5 and the # add-on Shown disproportionately large for the sake of sake * The Ber-. Placement of the bead, 1 - rhromm-layer 2, the cont: iktflUhe! I 39 of the angle bar 4 and the bar # 5 voylie of the MeSkontakte 6 Is bck = -it and nlalit subject For the sake of clarity, the dearbet t Ung = f - d at the contact surfaces, -contact sensor away- reach# According to the invention, vLolmh.- .. with the electron beam dle Balum A a ' Luß der. 2 worked out now the 14hler. di a. after the mechanical tiouier * u, na'der 04Jekte 1- in lead to the glektronens.beam it remain, corrj.SL er $ * k73nÄm.9 # tAr4 dem -0b3 ect 1. with di3.r- Z: Üid. 6et " Ordimte Y Z 4, ici ## m 94 : Objects . -1 9tal len there-with'der-- "' 9 Two edges d äo, htun, # der u * nd;, der - «, oHim 'ta ..- Ir -Zunamen, represents. 4 kte na abei -, which represent 'Öbj-e be''' leave that Bbeno "- In - d6r, auoh. das toordina'tenny. breath of object 1 reads. The-Winkelbalkea 4 is possible near'am sprang- IP de * Xoord # = tdns: fi3toms at the object level, 3a arranges * the straight Balk.eh --5 -is # attä reasons # of a * high sensitivity 'des Variation in "resembles large 1-words but ir-Jorten In the coordinate system of the object to be arranged. should the T-tanaport -deir objects 1 Uber'eln Konti = IerlioÜ »s flow system is successful böl the - bjects 1 # .n Transport = porthalterufflen 9 eingdr # OSt sindg, - die Via .. pressure stage systems in the Vakaumk-mmet get3en. 9., An. which is iakutu'fflzamär , a well-known electron emitter 10 well igen The Blektrond tzulÜor 10 erzeui & ElOktzOnenetraU Ilt -dar mIttale eit »a mr-gnat: Liseen & blonk. system 12 in x, - and y-direction over de-tu object 1 out & -ik- bar lat, Das'mapwtisah »deflection system 12 -botiteht from # four spool from which Gieh each % off ' paameino The .7.lektronenjitrahl 11 is made by a emits ttW through an anode 14 pocus a magnetic centering device. 15 Urd a mag- netieche Linso 16. 'The requirement for Hochop a = u. »g, is provided by A RochspannungeorteuSer 17 is made of 'over a .Cable. 18 with d, = electron drone 10 connecting la-b. the 13 that lies, 9 when the Brermbang was occupied ' Uq # eats also 1.4 xi. m2 y-direction rM shaped draws. Blektrone * -4 strahl li-a'uslänkbe # r solder daa-iwi # Oto ..diajeüigo Pläne # In the has been enough canoe "'- ale -Zurbeitueaiebe = admitted you * 1st st 4bentelle # du = ä a. # Xoordiuäteüffltem beatl # .wt. The- Aah- of the revision * at2o wordejs through dler beidon - '* AbI.enl = Lohtungaii ",' represent.coordinates -. -.-.... Originally due to the locationAev j3mzMtAnktös. 19 at 'a = loading "Lw-i = th 2 = eaeretrcrm te the Abloakryotom .. j, 12 beatli # mth to A Gruhi # =, g Aextzaazbei t becomes. "u * = * -the. Objtktob-em 0 the in.-the '30' work = Sn level 3 iktebane'4'0, and ... Boar, be In.der Bz * = abono Zus'Am. en, Vmit lier't the coordina- sten dee-Objektoben 09-dehe # d la - Obeeläohe den Obj eIrten le In-the-same-level as Xöor_ ' dinatennyotera the processing bo nauer moöhmieehe ±, poaitionia - um and Ungeaauer Icaa der.2e- gugekanten the object 1 s <w.-ie L "everänderafflen the fire punctured-199 »aoBs. as a result of primal heat . Electron emitters 100 , the buts, Issen and Ordiaate-n of the two co-ordinates syStone in general not-together n. but together against. no- # exider., um- small W.Luh-e 1 amounts to 6 in both coordinate directions ve RDRE ht, * '- Ixi Fig ' 4a we .`d reproduced a solo Palj ar. Xit die .. 'tIeL-tronenetzsU- . 1-1 so 11 re lat Iv zw Ima der - markle rendön zones a resistance combination # - geaU der Darst # Ilu.Da in Vig, -2 aue .workedir - ind a die'- liii3k93.-iChro = 4oUoht- 2 along der Bi # aneaS # a-bgetiaSen der * Darste12xM Voß ftS, A 4at deir --11 berö # a- a "rbe, e n 'rar Tal U -bi3 "te: Lt * Zi Mit. cheit6 # -u i Ite noah 'r. Bearbel tang erf61 - & mh ' disitalen -magmtioche-; " le is affiliated. -To doit tol- send oet 'on some characteristics of these-known-n pro, gQ The Pimdgrnmm t'auerung 20 contains-a spe-ichigg d-a-s' all 130.fa'fa »- 14r2 digit operations for verrusg etelltt ei * ar B. processing the #obj ects 1 dumh. den Blektr = OmtraU 11 banötiit # '%, rerdea. * bie * BotWbottang is done rrüWegtis-liah uM - # - coordinates. Jedi roordinate direction, bezIbt 'in - 4000 Zähisch2itte 'unites; o-divides, By the coordinate saler continued for both pick-ups. the digital signals assigned to the coordinates are proportional deflection voltages, primeval. About the magantioche diversion key 12, that-of corresponding Final amplification =, g- which this * AbleAkepanftüngen In Ablenketrt $ mb-, realize*. is spelledl, the. # 'electron beam 11 is i3prec-Iiend distracted from the given program. In pre-binding%: - with diener digitelen to- Austu.ärngg DES erfindUfflageM'äßen process are commands required to die-dem speichex.werk der digital Progg-i = Bteue # - ruzg, 20 removed-r-earths, In eiazölnen these are 3ofahle4 Commands ..Bedeattmg- --The performing operation * .bezicht elah on the x-coordinate direction 7 # r-Koo # MInate The operation 'on the y-coordinate - rest -to # IGt- den im'ziefdzmm Sister Ste- hond on amount * # 7 Nominal der ] Setohl zuaa = wu kit x or y out # occurs co, this means (let in x- »j -or y - coordinate direction wolt * = uph Meerbel ten, the 'electron probe, is gt V.ViechentsIct, telling the world with the quens to the Aufcuohon a new 39. workungek zoor --dinete. The electron noade eats 17icaetaetot- V ZUhlen = Whom ! count ZY hl en in Rticl-cff Lt: 3ri CHTF 0 ä--, where Iliop 1 auxiliary --oijerati n- 1 the coordinates in - the gust arbe «it = se level of the coordj .. mats in the "20 piece level" ascertain. Äxlt ilop 2-relief operation with V f estgem tc 11 t e AbweichuM ß72 leit korrißtereme .! Uop.3 Lll'1 £ soperatioli of tU.Ubo.tras t LL- ay2. is for cor ... r. ek tr d er Wlnl, .olab: toiöhmig W In daa en, ' --to Untarian. ' den- ZIXE = mie ict der, spoirhe-e d Le --x- and . _.v coordinates &'*, or unconditionally Adroog &'. the gte # L Sprup & In eini. ou = Zan - mit te rit r 0 ah and ex !, te Z. thl en- to gringü 0 xrt, iet 18u..v4114-6 The above-mentioned feelings kgiliaen, -tU = bhäüg13 uAd. päeallel der- Ttogrem control entered tuA after Aufzu2. , taken. lw. he- -den, X & V - ## en following commands- > addresses required * “Adre y x it At V Ei op 1 .-- ',; 0129 a At 11 Niop 1 ci 28 x It At V luop 1 01 2C1 7 a At R lUe-p- i o12a ay Iliop 2 Zto V 3800 10 y zt li 0046 11 y is. A4h t v ili'op 1 0123- 12 y '711 A t R illop 1 0f28 13 Niop 3 Niop 2 14 Zt R 0136 * 15 y zt v- 0096 . -16 x II At v Hii3p 1 0128 ' . 17 x H At P.- iliop 1 0128 x Iliop 2 dP t 19t H At V Riop 1 # OI28 20 X At R Hiop 1. 01 26th 21 'y Ili op 2 22 - Refers to the processing program according to the following Through the above And, as an example, in connection with the marking zones in the form of the angular bar 4 and the straight Balkerm 5 chosen positioning EML rogram for the Self-positioning do-o * Blökt. =. Nenstrahl 11 ', rdrd.das Coordinate system of the object, oktebone * o with that of the processing gebraoht ebeno Z zuie cover, This in the die, 'Dearboltung containing program information 20. additionally entered. Dau Selbstpositionierurk -, - sprogrm = Ittuft now- * ie- follows from & First of all, the point -A is the: editmw sehafte with Clen x40r- dina.ten X, and ir, autgeauoht. Me d «a programmed feelings according to the Address woe - digits x zt Y 0136 2 'Zt V W96 After starting the Pmgramoteuezung 20 lb the distraction 1?. (% 0) In i-edchtUM- at dulim- kel taat'eten glektronenatmü ii * "i.e. not edit- 4 em 'condition "to z * ur" ordinate x (yl 0, 0), üei Er. * If this is done by shipyards, the switch will be made to the "A & re see # 2'e Zo- the Ufehl päiah there is aborted work dead. »Dabul lWt-the diversion in Y-direction in dark4- ... keyed, -state to -to Koordij3dt, 6 y, 96 (xl -Would aleh - daL9 Coordinates of -object top 0 Init dem * # dinat6ne stem of the processing oebe »B dIealten- (irgi.-Pitt» 4 010 .. can # I. ' Now the Bearbeitäfflprogm = can begi. Dmilb, -_- . * drde der iuiikt "A legs Sollageln the object superior # ainappen'e j: an 'äufgezeigten, GrUngen Lot but imi general the eim 7 ehlpoeit # iode in advance - so that der-Punkt -'- A- zn « E # U: dör aat the object 1 lieg'tu where = the coordinates x 136 If you are interested in "" there is a deviation eIld A fi #After searching for the coordinates' - x, and r, autge - a 1 nü becomes in AAL'renne 3 held on. There are following .-. Ide commands pro-e ' Address commands - digit x H At V 111op 1- 0128 up to 30 ± ehi Gajt, 'da.13 the electron beam changes » Al. in Pig. 3a in the x-direction (horizontal) in aufgetastet'em State (At) forward - (T) move forward by 128 counting steps c611. By the arrival of the command (V) oil, Plip-Plop 23 Has been brought to its rest position. The input V for the command (V) and the hit the output den y .Plig-r # lop 23 connected * lonely70inea- and-gates 24 lead dad-urch # T.-1121gnale. At the third 'input 0 of the AND gate 24 are the counting pulses - so the work cycle generators of the pro gre = Bteuerunä ano * de, ooeü # 1, -Sigmle-Uber dao 'opened and- Gate 24 and a: - '' or gate - 25 to a Mazi circuit 26-. elanaen, Since the EiMang-yw (Forward) of the Mlochaltuns 26 by the command Elop 1 (Billeoper ation 1) 'a Tj signal » The impulses have been fed into the work cycle generators Counting circuit 26 counted, - their counting capacity 128 pulses & Duroli is the number 0128 programmed in Adreaso 3 -is agrees with "that * working clock generator during. waste , working around these commands-128 impulses, gives * Reaches - the Blertron beam 11 on its way to point C in the dear at twa & s level ivgl. Plgs.3a) the left margin the pai # allel to, ' Y-axis running loops, the Winkelbalkenn 4, schelat am-x Bingang the flip-Plap 23 a Igudlo 21, p of the ascent Step on the lead tronanntrehlen 11 on the marked zone &, h * on the angle bar 4, mel: dete The * dab04. am M - ßkonte.Ict 6 German , .Objoktes 1 entritehende ImPea 2t -. ' is in a well-known and herej # not dergestell- ten P.Uswerteamverker reinforced and shaped so that it Input M of the positioning arrangement & ls L / O jump to ' 21 Available. You. # Ch serve impulse will - the * -Plip-Plop. 23 brought into seiii-a -Arbeitclage. Thereby £ hosts the associated Associated and gates 24 'Pali-Sienal-i da'ä, .Und4atter 24 closes and - the counting hole . The Z4Ube carried in the counting hole 26 geo'Peiaheirte '(Mör #, la. Counting practice) is a direct ria $ Ni- den Abe tand d er. von der'.li * en K = te. -, dob Geneeollten Söheükel-. dea 'angle bar 4, and' D #.> r -Bloktronensträhl 11. d M - on the basis of the Bef Adi4 & Oee 'am (1P8 counting steps. And moved back) *, vdrd in -Adreaso'4 äei- ' Profile. tioningprog-, ra = oe resohaltQ # td. The place is i Adr, 4 X, B.- At R Hiop, / 1 0128 * nalog the process at-Adrenao geaohlebt folsond # eit .. The command causes # j -da'fi. d * r -'Nie ktxo'noxw trahl v61x Pankt 0 ' -igus m.-128 Z # Usclu-Itte-ruakwiwtse.Sioo zurstenib-A Nurkt'- 'The -13 * fehi R (rUokwarta) makes the.Plip-Plö'.23 again brought to rest lago *, -The * at, '. Ädretine - 3b - echiriebenen Zo-tÄn. #, tial relationships meet now for an And-Ge tt ", 27 2u Dati and gate 24 is now 'closed' with pel-n others. Entrance V '#lallsirnal led Die den And-- Gate.- 27 control another Z "'hl- via an Odez% -üatter 28 posture 29, which by the aid operation Hiopl on Counting is switched on. Die-Impulusgrio dea # At-aenL-T-fttors w2-holds again 128 counting steps, in the ZW11-year position ? 9 are - en. but only saved co viela pulses as necessary 004 bind at 11 from PLink V to .. 'zwn right Ran? '. loes * parallel to the Y-axis running leg of the wind Kalbalkens 4 to control. Is the electron beam 11 there an3.ekomman "appears again at input 14 den..Plip-Plop 2-3 eiA L / O jump and brings him to work by the-AND-gate 27 is closed " The one in the counting Circuit 29 #spelcherte counting amount (here 90 counting steps) is a direct measure of the distance between the point 0 and the right edge of the angle bar 4. The electron beam '11 so-as a result of the- lack in address 4'ze Sbellä V- return. -Afterwards- it is switched to address 5 . That one stored command loudly Adro- 5 Riop- 2 The input for the auxiliary operation F4lop 2 carries an IG signal. As a result, the old numbers 26 and 29 are changed to RU0k hardness-i Counting = switched. The outputs UNull "represent both counting circuits 26g 29 carry Ir-Sii; jmlv as long as the in -count- ' echaltung stored count amount different from zero iat. This Is the Pall after the operations of Adreauen 3 and 4 have expired. Both inputs thus lead to one or gate 30 w2d of a Ünd gate 31 L-Signalg, 'in addition also follow the exit of the AND gate 31. In these eyes- Usually a pulse generator starts 32 tud- gives a pulse. follow with a sequence of e.g. 50 kRa , Die-Ausgange-, Impalse this ImpulQ generator 32 start without pay the F4ngangzi of two, ireiteren And-4atter 331 54- 'sociia to the unique ones of the -and-gattar 35a 361 37 an * bie impulses' of the pulse generator ro 32 can initially only be connected to the Any differences of AND gate 3 31v34 take effect even though the Exit de.a and-gate'.35 also.the impulafol.% O- £ W = tg, because f # k! r the 2nd distraction UM : the input, 5 of the and-gate «nMhrt L-Sigml- D10. TßPultge Werdaa not effective, however, because an AND gate 35. connected correction register-38. Via Wegatoren 391 40 at both control inputs Vwl- # Rwe Null-Zigna'le and dat3 Correction register X3 dadu = h tur iginh ZMang not- Vox, - , prepares, iste 'Voa; den Auagefflen' d.er- and-gates 33. -34-- selan-: - sen die ': impulse d # a, impulse-4eneritoen ' 32 -, over-rr dl & Odolb - aatt.oe- ? 5 g 28 -an. the inputs of the Zähloobaltan,% en..26 # - 29 wid ken a reverse sowingv oie- on the jange lasts v. # to *, - ein.-eer Zählaohaltunien- 26 # od4r -29 -de; "n Counting amount times reached .'Zm Vorliegeiiden : Trap lot * digir die, Zählaohaltuaä 96.i at the exit, nNullw der.Z &Lhloobaltung'26 ante. is in the Augeabliak des Frreioliens'. the count is X.ull.Oin .Eull signal where the AND gate 33 is closed, .. Glo, at the same time the input Rw receives the correction correction ginters 3a About the Nugator'39. an ISigml. tr. is on Rilol, -; tUrtszäh- "aachaltott'Xn the counting switch page 29 Is now'dee luik; ume Counting support, - 2, a x ' geopeibhert (in Batopiel. 90.! -. 18 72) der' -: .. Correct sign in dan.) Forrakturreiteter 38 te the Z- #. Should have been men Ubernam coordinate Prior to the Poni In-inn # tionieruni # s process, already at the start of the program control @ irt dete correction register 33 and further iCorrek '..,. t = egister- 41; 429 which each have a counting capacity of 256 pulses. ' the reg- add, by an Irapulse on 1: Ingart3 11126i-position --- tar "has been put in the position, 128-. This -is necessary, wäil the Ab% -., calibration of the digit # At of Ihrta setpoint (presumably. Fi-gja) in each 11-coordinate direction, both positive, itive and n.-negative -being can also be corrected by correcting half the value of Ejetrages 256 from # ollend erfol4en male, 'Null "der.IälJach.altu-ig 1-9 * eiterhiti L-Si - nal Since the Ausl- LY The L state also remains at the output, the OR gate 30 and the AND gate 31 obtained so that the pulse generator gate 32 The boar continues to provide impulses for what has been lifted AND gate 35 Korrekim set to count down in dais door register 38 elw., ecounted. The counting process continues # - Please also the counting alteration 29 your -Zeros t e Ilum i oht Has. Then the And-Gätter 319 341, co da.A -der ImPulo Generator 32 is stopped, -lim # 'Correction Ret.' 38 is now the count 128 - '# 26X1 geope3., ohei-tu in the present At s' i ei 128-72 56. One of the Koxwekt = regiLtei # 38 P. , an.3e00.h10613entr Digital- # Analog-.W & Mler 43 lictort a dem- Content of the correction easter proportional GletoWapension.9 dia a 'aveib'schlebuffl dor' corresponding to its size x-] coordinate. The correction was carried out in a simple manner, including 2 ax, through corresponding o Evaluation of the output voltage Y-, inGev 'Grz, Ouebung, the Y.-XOO-., Dinate the # iv, Zble, # ztmg des m deß Ue correction noah ean a half 'Zählacheitten was carried Emch dee Dirital-Amalog- PJ, 3 em5-Z @ h 21 1., 1 company of the In dan correction Z,; - Ulbetrae the voa- 2 21 1.a the 38 h4t, calibrate the 43 graded wines -with Sofflerte ap dU the AUenkwerte for Steep Point P are (cf. * PiZ * X arul Pigo 4b), Das-be ~ devit, et £, caet13 by #gUe D2-990re = -9 ", ax has been corrected D ", dao steLopon d« 5 bowirkende Auagan # o- * jzpuli3 de a Ual-Gutte- "e 3 t iBehalt in the nearest address * -, The beachMabeut pre- run t jitzt, according to ture. the there: door -X stop 1 ,. 0128 Siop 2 The BleL #, trononetirahl 11 rings ale'o from] Pumkt D aue Ubar 2 = kt A marit dia luzü # t Z (* SI, Errelohen der upper parallel tar x-axis of the object area Sele- Seuen S @ ha-nkele das Winkelbalkene --A t7ird die ZWAt-oha'ltun8 26 'darch'dii # 2 w'-m an »mg X dern Ih #" u113,09 At the RUWL <Iau ;? that of P = k, - t X ziach Oum g # U Amt D takes place the Ze- lems ir, the zKuiochaltwe-. 29 -.Miß Ztm e20iGaeig -fier untegaz, K4Mge, fioz des -winkelbalkeng) c # (2r2Geht Ae a09 Ademwe; nad 29 para2201 2 MM Q1ch 212 dig ova pa219 : l lub # 2 dEllB, ug # D.-0 * 336 (222 @ 29- e dao mch. soles A (DU 20 # G Sg # P m100 fert -Again nu-Use c1316 mmeh Bewaictmi23 with pektor 005 q #, no bowffekt.- Object banco. da 0 -, ZUG ft - # OEL t2ah2.Q o ' de 9.v 2m14 "o #> y EM felt in the 0 dar -Zoordiüate den golgen den'- p40gremm eue t ei & - 2urgGX # Ir. As a result of the befiriden 'the co-ordinates of the electron trust. 11 instead of Im Pül * t 7,29dDe # jm pumkt pfff occurs (animal-, Abweibhtma + A aufe Die Pestatöllww der- Size of & y2 and, the transfer continues to count in -that STEL TUR the angle W of - happens Abweichumg ße; läU bet, & e2 Korz # oktw, the x-'goordinate aunftthrlioh A. b0302wIeten ia, # ät, in the filling three addresses IUOP A 01; M-- lci2.9 A2 -a Since £ Um- Clen, wiakolL W not, like ' bat- _X -and Y'äpsziellie Speechexi- pv ', # tze # In the eingp becomes- -isur Astemung And-Gatters ei "Weltere sta, 42 geopelcherte GäUbetz6M -will be in unat'm sti de.- at Z. and you ## iabe * iN # I -8,6 yerschlebung with - -the correction deb., -benatZ ', t.9 - # - in order to correspond to a 'Faaverter'45) #ehd - the alei ohung 2 ej Coupling of the'auel sopannufflen fe. - Z; - # UM- # -, Daa sagehiffl, zaaverter 45 -as -Dit already present .. ' to there ele -.e the. beldem Dteitil-AMIb,% - leaM1Wr 51 ' tuü. #' 53 fili- die it. respectively, the- diaital- -53 been 414 Ablem k ..; Undr * rotärker- for äa seannma daa dao Ählentsycim 12 * -angeeohloeo * W «--- Dio * Aue wet DigjLtal.mA = Iog-Wandieith 51, (1-Ablankumg) - * trd over a the'. 54 54 aI # x-, t2 .changes. Via a V2--9-t aG.? -vu, -o bestlamta O-taiu der ged2, eheo -lleal ilen fart the -you one both Batmerteffina we ac -apamang * p. is fiL- dio to elnah spalL-Iums3tollee 55 with -dän- # 5b and the doorways - 554 with the Spanaumoteller 54 ortolgte'Mie Autsang-Mropamung dte spamung plate 54 will - over a Inen Läpodanzwanaler 57 indie mug with dan by ar320mwteller 55 the ' T-Ablenkepanaung tiberlägert wiAja The po-celled Ung tat e & ä »- Dmbum # #d» o -itt # »th wlo beteltü oboya heated 7 uk startr & jlcmt 111 -Ale. gmers t same e - 11 kalban, ur --- tximl possible angle of rotation glelchkum .. 'A'Ö. Didse erlorderlicho -because au01a 4Y2 Cowohl a B ah POUItive vtiä # * "e & = ehmon can tIv al -aIng -1u .. cl.U #> z the Xoordlnaten de2- Loverarbeitungo level 13 0 with derken dev Objektobeno .. ,ckeno, the 12 "boot6hezid atus the magnotlachön 58; 59; 60t 61 tUr'den 'Elektzenenstrahl 119 knew this half the maximum possible angle ff against the clock According to JQr 'is used in the following ot36 0096 ' .again (see. 2 Duxvh ; dlg'W: In # - 01kOrrcktur #; JM 'are again Error a zr UM ' 4 "12 * # -appeared," - dii's »r wetent-i ..milch kleinor wInd, -ale AXI--; a 71 ued y 2.9 but fall above noe corrected, great. 'It's going to continue, in Adrestie -16 . , gecahaltet # and., d # r besöhriebene-Vorgkre is running for the x-tuid -in, -the address 16 bie'-21 again from o # did the positioning exactly and the coordi = tezwyotem * der 13 * erbeitungeobe », is with the - the object superior - brought to .'Deokw * woi% o den and the Pu..ikt A falls, with which V in address 22 terminated there = that in the program duration around "20 = really positive tioned object 19 ziggo- never, * he2, c: LAex, de # tv times With the. 0? #gg , 1 eö Dao n # "i yes M 2 L - n, k (D2 A SICh h * 29, -, c; G l- '1 MIR tn E 2 ifi 28 c) .t t beh2n41 = e vov bot -ei gh- like 5trukt "5, -Illen zu £: elwm Avat - 1» elQr # twm # euEltrom m bäi = ndolu are -arid: * b # i- ng -deui obj.01-zt eeaae the object 1 zut 4 Nuhremd- der do 'Petig -by - you from. semiconductor] 4 very high sentelltj -Warcl.0 d " Eischen LUtteln only swore odez, tlbi> thmpt not orMilbze , as-same. applies to Sinoat c V * U where biat: L = to speittg17vjtz *, -mit lateral spacing # 4 of -. ', 4 # M. W -, go = u 2, - the Verfatr = ait advantage also durt & * - g lKa der oin 7 4 # h "'#zIen eat ud-elirhe -gg; Gm Un v02j-7! # Tu viewed de, - de 2. #, et # U- "o to # 5Z> n # -i # 7-U # jased M-Lu-, z21 -ze, 2 # rde.n ka =, olmo that she- this .uuulglwi, b transmitted. Dio 2Ä: ierer4 «zones rmr, .Iler" 4en ju- and 20 lacßoss ai & niel * only angle bars urn -. # erade -Bauten reilipiereut, nonde = eu klizma also 1 = ii;, -, extended-o wixü -, ül: ti3 = Lge Uarken 65 , bew "dot vergen * Also the Aumb1,1411216 a3M closed stirring # zu 6G8, d # e -die geaautg zu bect; übeitonde 1? Iäcäe on the object -1 was actually possible D = 4Worhina = kt $ = ezi der wimxel "llzgn 4 -und der gerc.-10 5 at belt bites Dezu $ skaute .-- u arranged no, so v40 it in den- Tia. 7a- = d # 4 shown it, 8 Much more , the marching zones can also be called Rochteckt '.4x & d ab or Kmin augühr #. veAen, especially d = ng #voim ale M * »tinikt * u» i doä C * bjokboa..l Eo would come -'- ZA, SAL on einom na, # Leitelekristall 67r ,; that as 0, i bakes edited intfr # un rk - senior 1U4aftierie . two squares 68 ' au »# darkioxer-de Zonera Vtj? W # .- zküet whoGego Alm dom cim 2 cc # lm2, (5th Dutw- 1,9no aaeg lo- 403 AT THE after aen baschmAälen on 111 eb & -otmtetg m üm r »JO-kZ # - #. there. »atelltg Look at voaltion: legang 1, mdom systog -de2 B allie, dom 4c2 Dce = ",» p. Brought wua, 0 U: 04.> .: L diu # 21 d02 joa, 004 # z4- der alw 4, or, mute- 'die * p-luttende HaterizIauch-b micht zaz # EtBA - m # Lndo Um dlao To sign, it will be refused = it is slightly higher so that au: ixe ELzmirk "Uer je4 * r Medelle aug- don ..Quadrat ;, 68 SSO klelm IZT # - that imines . will presume. In VIZOS lot the trail. 70 duz elect names-. ntrvüle * 11 Mr an aolQhoa case Awtolle- der ZU "tzliebe-b ßChnellem. Ab19M3Mß-.d, 023 Mlekt = n82» - I'brtbeweeun-- a dc Uch In a Elektvonenstrahlprozeß the # # Gteomtärko; II.- Eickt-ronelmstrahlen 111 w91ulemd of the abutment of the markle & 4mden -Zone nowelb smaller verdeuv that as well. belau Be * rUi-. ' .tunr, zwirk-au-S ß-ntatehte Dien er £ olt4, for example duivZ .land = c the sto »» pann = g än Uekt »- liegguelle licüen- Abl3-w = IG oa "er. a-Mining the 4-tzMIstrom-es .de, ii DurehMesaer des Bre = Puj-XLL; ca lt) deu r, u # änd = e ZzU zeße, ü # ne was reached- co.wigd de2P.DurcLm, -, üer -the Bre = &# 19 unkten vergrößerte- D: Leu- 6erchie-ht Z. Bs In- 41-nfacher woman by changing the Liist, 169- -i-la- -, ainrUtrimd »zones XU = eu aucäi and bahum 1., vo-rmri ob ", volKleno * on -e @ U 9b die obam2 '* allz a14. Mouvehen lolndt via z4a r "v B. in clen #ertso 7t UW Bei.-d # 6r vet "nd = ou. Of 71 '. --ist eo z = ckaU.i: gl, auf- ider Ab = i = Q- Icid, u »i ; Auf -dar ordi - * - gave #vexim un's -vill #beacht "v dU -a14alot to -den Pige? r. bia 7d imir eize. winkei: rörmlo> = x öinü gorade »4rklo rem, d ** - .; Zone '040-e # gabmA 66 ko> llclot te determined. Xo = octures Mr die Boaeoltungßebe em Ict en atapielmmine auAÄ advantage +. 2 & tzlir.hos Lblenkeyatem 73- zu vez * mtiona,. * Dun te us ät z lihe Ab- # leinloystem ? 3 ka = to -d = licking »luten in Sarief evA the Moktronenotrolaue. 11 behind, the distraction »yotom-12.ode2 Xquial 12 auceo, rdnet be # So j ... xie cLen) r'ilp 'gu -bla, 9a shows 1.! "*

Claims (1)

 les! auf wa24at#,ii r.0229 bci dem die W1Q9 oüQv ton anf am Qbäekt 22#,c a02 RIQ.%tmgz, m9,t. dem C-3tö deo to=-,r gAago Dag> iogip bat iarakteg> C!o& (auger#too in das dänalch den Tüoi3 dadu=li vo m'e=mmoi# y#Aen,9 9G0, £iir n prozeß, propri=üert äblmkwoz>ten d#i399 Ab- weichungen la Z- und äd,4itt-r gbarlfflvt war- deli und di t fi#W*,ttur -der (V) -'.-der belden,# -duZeh# 4106, dIe VL*elab,-feichgl (W) Ver Ano;imoh 1 dädcmh daß die emittelteig -,AbWei##eil lUr, die 7-Koordinaten . der marklereÄlen Zone'n eindix elälrtxonioobea. Rechßer zu.-
Poett-tellms de.-, der x- ujrj y-xoordl-zizlte 2 T*Vb#glaims Aeg der 191,nkelab-xelchu;i",- der der ObJe#-'tle-.bene (Olr der A ig G-re#z C#, und die ei-Alt- etur der 'proe Mz den vcrwandet wer,- Clan.- Am p"##@EL lf- daß» deN marL-Aerenden Zonen auf dem Objekt -(1) ve,-a ihrer- Sollag o ln*der.-.9o-arbeiturigoebene (3) (11)# -in der x-Koordinatenrichtung e=Ittelt -pz.-d" die-".fd# bwelchung e;o±brt ico.-ri-. ac di Ab*e lohung in -der 7-Noo#rdinatei>-# richturia-e=it #md iAwelm '04 aordrt 42#rIdert iWrd tind -daß mich i7##AbvteiZ.." WU' J lenidylerte lil x*- und chtüni obeCa.,Un- eo£o24'ko* qj u;ii. e=O.ut #entstahenden hler in'. x l M das dab md emitielt und karrigiert Word e,ulu- -4, Vorf den.,1 W'PXUoh*A 1 -Üud 2*Oder- 1-und 39-da. » -.dürch gekeawolohnst*-"daß.paraIlel zu den K=ten des 11 -Vor -der (11)#'i L 02.hd 9 Zonen in ?O=-eima me eims sere.d»n Maikang -aufgebracht verd"» wobei. 00 und,-Ordinate M..und der gerade Balken (5)-parall-01 zur-,Abes1944 04 0. .. ord inste (Y) und In ei== möglIch0 r2
großen AbeuBag ron Stem der -obcek,. daß sia Eiahmn Cleo der die aÜ2 dw. objzäli:t 1 der Geblet.o Gen z -,ad ow =schließt und dessen Seiten parallel cur Aber-Isse (N) Lmd Ord:Lämie fr) dem Ko*A2.natensystema 4-ar Objektebene (0-)' Verlaufen& -6. Verfabmä iäaeh deh Ansprüchon 4 an4 5v daflumoll geiguml- daß die mrIdeAnden Zonen als at#agebildet worden. 7,i Verfahren nach inspiuch dadara,4 gekonnzelohnett daß- alt; marklemude - Zone n* gunktionselemente d es Objekteo (1) w,io' In Pro zuseen dotierte 'ZÖnen in Halb-- leiterkrIstglIeng Vie U. pn-Qbergänge .(68), Kentakt- Mühen (71) odeir leItextbahaen unig, verwendet worden* 86 varfahren '=oh -den AmprUahen 6. md 7...dadurch -gekenn. seiehnetib daß 'l»i- iJa*r Völge haterogenür 13rozesser In dipr venIgstene oin Blek.tronenstrahlprozoß enthalten ist alt deM ersten strakturie»aden Prüzeß die- lie#l>ährginnaoh deA atiaprUtheri 6.und 79 dadÜrch zel##e4- daft die , für die -Emittlaffl der Ahielehlt# ez,--. for-derlIchen Sisaäle Uuf eInen Objekt (1)2 daa zum tihm
-elektrisch isolletenden Substrat mit aufgad="7f ter dünner Xickel-Ch-ßom-Sc.4teht (2) sowle...tauelkeelöteten Leiterbahnen --odor AnschluGkontaktan,(3) -bestehtt. wid -auf dem.die mar- _-#C.;kierenden Zonm ebenfalls- aus mit Meßkontakteh #(6t 7) b=clenont' tauchge16tote:i O*-bieton, bestehen" von diesen kierunden Zonen abi"eieitet Worden« -10.0. Verfehren. naah -den #,üwprgghen l#-,bie 9* dadurch sek erin- geZahneti -Aaß aprozeß duroh Blok#.:.' trone-neitrahl (111- mIt eo -Äohor gegen- der -ab.,of Uhrt wird$ daß keine Bearbeitummwirkurg, oder ee dtu -zeichnet> das.Aer Post 'nonsti#ahl ( 1 'xit #Senkrecht -zu iao' läer RaUp #fort bewe Sung- rIettum erfolgender vorgenommdh wird,. Vortahreh, naau. dii2 i bis 1 -1 dadurch gekeunmä daß die -emittelten Korreo);turgrößen* fUr die x-: und auf- "hw Wirkung- eich, gei;obaÜ-..,werd Ü,",de»on felelrtro-, UOPUL, der Able nkün_% d« Mr dao Bear,-# -bei tungspret"ram- Übe:#lagert; 13-,-- -VerfÜhren nach-deja Ann--7rUeon. 1 bis,129 dad=4eh geic:gan-- #zuiuhnet"v daß für-Ale Plottat Ilunsder Y.Cre,6ktujvcy, ein. gemeingem 41 X1 6 7 =d A ""#r2 0 d
UbernorL-le-n werden- w2, daß der -Inh-*--lt der yLorraktUx-iegi- ster (388 411,42) Di, Ci - tal-Amlog- Wandler-(4,t,3i .44) urunIttelbar -zuw-Korrektur der.Uge der.- un4 daß zur X=ak- tur der- kb*uJrhung# dem Winkeln#.,(V) -Zwischen den#beIden .1*,»oordi=t-Wn#-.yatszon. eine den speicherbetzag dem, Korrek- turregistei- rar- 4.,tj g -^ayl r Axi oder, Ve;rkopplunS der x" 14v Terfahron niadt den A=pxucrhen- 1 blid 13v deid4roli-- Säkenn-k zeichnet# daß die Verkop der :r. -und y-Ablenkgrößen (X i"A « # 1 U%4#-AS rechend &0 nistene--derart -ei-toigt-,g, daß jedem (5«4- 55) "ii,-d und die' den grinkei. #VJ) eie roniech bingentellt nnUäg 4U-iV t -#EI pe 0 (54- 55)- direkt :.und, -diig" äÜde-.io in uggekehr-ter- polgrItut- Digitalm; ema#OU, -W4brddit -der den Tel- -4m Oren An geapannung-# Ordße#doä Mir -Aml,6r2m; 53) der jeweils dadürch gekenti-' lug, die Hälfte doä zu Ttr#W- damit deil.Ablezikapannan -geil immer. nur po-ei#tiv-e Uberlagert -werden#
10t,* Verfahren nach den AnsprUchen 1 bia 159 dadurah gekort*-- zeichnuti, daß bei Nichter.reIcharig der mirkierenden Zonen duroh den Elektronenstrahl (11), z.B. lrJoli39 eilier zu großen mechanischen PahlposlLtioniezuni;v ein Aunscbmßt:ri- terium sgbilde-t wird and daß die nachfolgenden Beerbet-- Jn einert. eolrheü PaUs gleht mehr auag» fUhrt werden.. 17,9 VerwunduM des> Voi-.fahrenn =oh den Anopziloheu 1 bis 15' leiltelden eine* Objekten -.eur B,6arbeitan eineu jeden.% mi t bl oh Vt odd3ehol-endän an4 R"eat-
les! on wa24at #, ii r.0229 bci dem die W1Q9 oüQv ton anf am Qbäekt 22 #, c a02 RIQ.% Tmgz, m9, t. the C-3tö deo to = -, r gAago Dag> iogip bat iarakteg> C! o & (auger # too in the Danalch the Tüoi3 dadu = li vo m'e = mmoi # y # Aen, 9 9G0, £ iir n process, propri = üert äblmkwoz> ten d # i399 Ab- deviations la Z- and äd, 4itt-r gbarlfflvt war- deli and di t fi # W *, ttur -der (V) -'.- der belden, # -duZeh # 4106, dIe VL * elab, -feichgl (W) Ver Ano; imoh 1 dädcmh that die emittelteig -, AbWei ## eil lUr, the 7 coordinates . the more marked zone'n one elälrtxonioobea. Right to.-
Poett-tellms de.-, the x- ujrj y-xoordl-zizlte 2 T * Vb # glaims Aeg der 191, nkelab-xelchu; i ", - of the ObJe # - 'tle-.bene (Olr of A ig G-re # z C #, and the ei-alt- etur the 'proe Mz who applies who, - Clan.- At p "## @ EL lf- that» the marL -Aerenden zones on the Object - (1) ve, -a their- Sollag o ln * der .-. 9o-work-urigo level (3) (11) # -in the x-coordinate direction e = Ittelt -pz.-d "die -". fd # bwelchung e; o ± brt ico.-ri-. ac di Ab * e lohung in -der 7-Noo # rdinatei> - # richturia-e = it #md iAwelm '04 aordrt 42 # rIdert iWrd tind -that me i7 ## AbvteiZ .. " WU ' J lenidylerte lil x * - and chtüni obeCa., Un- eo £ o24'ko * qj u; ii. e = O.ut #indstahenden hler in '. x l M that dab md emits and retires Word e, ulu- -4, Vorf den., 1 W'PXUoh * A 1 -Üud 2 * Or- 1-and 39-da. » -.dürch gekeawolohnst * - "that.paraIlel to the K = th des 11 -for -der (11) # 'i L 02.hd 9 zones in ? O = -eima me eims sere.d »n Maikang - angry verd" »where. 00 and, -Ordinate M..and the straight bar (5) -parall-01 zur-, Abes1944 04 0 ... ord inste (Y) and In ei == möglIch0 r2
big AbeuBag ron Stem of -obcek ,. that sia Eiahmn Cleo the the aÜ2 dw. objzäli: t 1 der Geblet. O Gen z -, ad ow = closes and its sides parallel cur Aber-Isse (N) Lmd Ord: Lemia fr) dem Ko * A2.natensystema 4-ar object level (0-) 'run & -6. Verabmä iäaeh deh claims 4 an4 5v daflumoll geiguml- that the mrIdeAnd zones as at # a has been formed. 7, i procedure according to inspiuch dadara, 4 connected with the fact that- old; marklemude - zone n * functional elements of the objectso (1) w, io 'Zones endowed in Pro zueen in half-- LeiterkrIstglIeng Vie U. pn-Qberänge . (68), Kentakt- Effort (71) or leItextbahaen unig, has been used * 86 varfahren '= oh -den AmprUahen 6. md 7 ... thereby -kenn. see that ' I- iJa * r Völge haterogenür 13rozesser In dipr venIgstene oin sheet electron beam process is included OLD OF THE FIRST STRUCTURE »A lie # l> ährginnaoh deA atiaprUtheri 6. and 79 dadÜrch zel ## e4- daft die , for the -Emittlaffl der Ahielehlt # ez, -. Required si- rooms on an object (1) 2 daa to him
-electrically insulating substrate with charged = "7f th thinner Xickel-Ch-ßom-Sc.4teht (2) as well ... tauelkeelöteten conductor tracks - or connection contact, (3) - exists. wid -on the.die mar- _- # C.; kierend Zonm also-off with measuring contacts # (6t 7) b = clenont 'tauchge16tote: i O * -bieton, consist "of these The zones have been completed -10.0. Seduce. naah -the #, l # üwprgghen -, BR * 9 characterized erin- sec geZahneti -Aass aprocess duroh Blok #.:. ' trone-neitstrahl (111- with eo -Äohor against- the -ab., often $ will be no processing, or ee dtu -draws> that.Aer Post 'nonsti # ahl (1 ' xit #vertical -zu iao ' läer RaUp #fort bewe Sung- rIettum made is carried out. Oh yeah, well. dii2 i to 1 -1 thereby gekeunmä that the -average correction values * for the x-: and up- "hw effect- calibrated, gei; obaÜ - .., werd Ü, ", de» on felelrtro-, UOPUL, der Able nkün_% d « Mr dao Bear, - # - at tungspret "ram- Übe: #lagert; 13 -, - - Seduce to-deja Ann - 7rUeon. 1 bis, 129 dad = 4eh geic: gan-- #zuiuhnet "v that for-Ale Plottat Ilunsder Y.Cre, 6ktujvcy, a. common 41 X1 6 7 = d A ""# r2 0 d
UbernorL-le-n will- w2 that the -Inh - * - lt the yLorraktUx-iegi- ster (388 411.42) Di, Ci - tal-Amlog- Converter- (4, t, 3i .44) urunIttelbar -zuw-correction der.Uge der.- un4 that for X = ak- tur der- kb * uJrhung # the angle #., (V) -between the # two .1 *, »oordi = t-Wn # -. Yatszon. one the speicherbetzag dem, correct turregistei- rar- 4th, tj g - ^ ayl r Axi or, COUPLING OF THE X " 14v Terfahron niadt den A = pxucrhen- 1 blid 13v deid4roli-- Säkenn-k draws # that the Verkop of: r. - and y-deflection quantities (X i "A" # 1 U% 4 # -AS calculating & 0 nistene - so -ei-toigt-, g that each (5 «4- 55) "ii, -d and the ' the grinkei. #VJ) eie roniech bingentellt nnUäg 4U-iV t - # EI pe 0 (54- 55) - direct: .und, -diig "äÜde-.io in ugkehr-ter- polgrItut- digitalm; ema # OU, -W4brddit -der the phone- -4m Oren At geapannung- # Ordße # doä Mir -Aml, 6r2m; 53) of each because of this, lug, half doe to Ttr # W- with it deil.Ablezikapannan -geil always. only po-ei # tiv-e Be superimposed #
10t, * method according to claims 1 bia 159 dadurah kort * - draws that in the case of not, the miraculous zones are fair duroh the electron beam (11), eg to lrJoli39 eilier large mechanical pole position; v a dimension: ri- terium sgbilde-t and that the following Beerbet-- Jn unites. eolrheü PaUs gleht more auag » be led .. 17.9 Wounding of the> Voi-.fahrenn = oh den Anopziloheu 1 to 15 ' leilelden an * objects -.eur B, 6work on each.% with bl oh Vt odd3ehol-endän an4 R "eat-
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0020179A1 (en) * 1979-06-04 1980-12-10 Fujitsu Limited Process for producing a semiconductor device using a crystalline insulating substrate

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EP0020179A1 (en) * 1979-06-04 1980-12-10 Fujitsu Limited Process for producing a semiconductor device using a crystalline insulating substrate

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