DE1472095C - Interferometrisches Verfahren und zugehöriges Interferometer - Google Patents
Interferometrisches Verfahren und zugehöriges InterferometerInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein interferometrisches Verfahren
zur Untersuchung von Objekten unter Verwendung einer punktförmigen Lichtquelle sowie eines
einem Kondensor zugeordneten Strahlenteilers und eines dem Objektiv zugeordneten strahlenvereinigenden
Elements sowie ein Interferometer zur Durchführung dieses Verfahrens. Das hier vorgeschlagene
Interferometer bietet gegenüber den bekannten Geräten folgende Vorteile: Einfachheit der Kontruktion
und der Einstellungen, Stabilität der vom Gerät gelieferten
Interferogramme und einen größeren Anwendungsbereich.
Interferometer, die zwei Strahlenteiler (Wellenduplikatoren)
enthalten, sind allgemein bekannt — man kann diese auf Grund ihrer Betriebsweise als Interferometer
mit Defokussierung bezeichnen, wie'z.B.. die Geräte von Philpott (»Revue dOptique«, 1952,
S. 42), Smith (britische Patentschrift 639 014) und Dyson (»Revue d'Optique«, 1952, S. 35); bei diesen
bekannten Vorrichtungen wird eine Lichtquelle zur Beleuchtung des zu untersuchenden Objektes benutzt,
deren Interferenzbild beobachtet wird, wobei die Bezugswelle das Objekt durchquert und dabei notwendigerweise
eine Störung erleitet, dies bringt durch die verbleibende Struktur der Bezugswelle ein verschwommenes Bild mit sich, das darauf zurückzuführen
ist, daß die Defokussierung praktisch nie ausreicht. Andererseits wird das Bild der Lichtquelle
durch ein Lichtbündel mit großer WinkelölTnung, weiches die Kohärenz und den Kontrast der Konturen
vermindert, auf dem Objekt abgebildet. In der Praxis ist die Benutzung der Interferometer mit Defokussierung
auf die Prüfung von Objekten mit gegenüber dem Objektfeld kleiner Oberfläche beschränkt,
die nur schwache Veränderungen des optischen Weges aufweisen.
Daraufhin hatte man die Idee, daß diese Nachteile ausgeschaltet werden könnten, indem man sich andere
Vorteile unter der Bedingung zunutze macht, daß die Bezugswelle ein fast punktförmiges Gebiet des Objektes
durchquert. Dies führte-zu folgenden .Überlegungen,
die die Grundlage der Erfindung darstellen und die unter Bezugnahme auf F i g. I der Zeichnungen
dargelegt werden. Gegeben seien eine weiße Lichtquelle S mit kleinem Durchmesser, aber guter Helligkeit,
ein Kondensor C, der mit einem ersten Wellendiiplikator
gekoppelt ist (der der Einfachheit halber hier nicht dargestellt ist), ein durchsichtiges Objekt A,
eine Beobachtungslinse O, die mit einem zweiten Wcllenduplikator gekoppelt ist (der der Einfachheit
halber hier ebenfalls nicht dargestellt ist). Das Objekt Λ ist gekennzeichnet durch die Verteilung seiner
optischen Dicke, nämlich durch die Funktion W (ο,Θ),
in Polarkoordinaten ρ und Θ bezogen auf seinen
Mittelpunkt. Unter diesen Bedingungen bildet der Kondensor C ein ordentliches Bild S1 von S, während
der Wellendiiplikator, indem er die Welle .T aufspaltet,
gleichzeitig ein außergewöhnliches Bild — S2 derselben Quelle.!? gibt, das sich z. B. vor 5Ί und in
einer Entfernung / von S1 befindet.
Die Vorrichtung, die von dem Kondensor und dem ersten Duplikator oder Strahlungsteiler gebildet
wird, wird so ausgewählt, daß die beiden Bilder S1
und S2 durch Lichtbündel mit gleicher Winkelöfinung
u gebildet werden. Man bringt das Objekt A in Koinzidenz mit der sekundären Quelle, die durch
das BiIdS, gebildet wird. In diesem Falle setzt die
WeIIeT1, ausgehend von S1, ihren Weg über das
Objekt hinaus ohne jegliche Deformierung fort: Σι
ist somit hier die Bezugswelle. Die Welle Σ2 hingegen,
ausgehend von S2, erreicht das Objekt innerhalb einer kreisförmigen Zone vom Radius ο = / · tg u = S1Zl1.
Das Beobachtungsobjektiv, das in Form einer Linse O dargestellt ist, bildet zwei neue Bilder S1'
und S2' von S, während der mit der Linse O gekoppelte
Wellenduplikator das B ild S1' in die Bildebene
von S2' bringt: das Bild S2' ist also ein ordentliches
Bild von S2 mittels der Linse O und das Bild S1'
ein außerordentliches Bild, das durch Dazwischenschalten des zweiten Wellenduplikators erhalten
wurde. In Wirklichkeit sind diese beiden kohärenten, sekundären Quellen nicht identisch; das BiIdS1' ist
wohl ein geometrisches Bild von S und S1, aber das
Bild S2' ist von einem Hof umgeben, der das Diffraktionsbild
des Objektes ist und der alle Informationen über dessen Phasenstruktur enthält. Die austretende
Welle Σι trägt den Abdruck des Objektes und wird
durch eine Verteilung des optischen Weges charakterisiert; diese Verteilung W (ο,Θ) ist der des Objektes
fast gleich. Man hat somit:
IV (ρ, Θ) = IV (ρ, Θ) cos un ,
wobei cos un der Schriigheitsfaktor nahe /■ ist, und Un
ist mit 1/ verknüpft durch die Gleichung η sin un = sin u,
wobei /ι der Brechungsindex des Objektes ist.
Die.Wellen -T1' und -T2', von S1' und S2' ausgesandt,
können im Innern des Raumes interferieren, der auf F i g. 1 schraffiert dargestellt ist. Das Interferenzbild
oder Interferogramm des Objektes zl kann in der Ebene A' aufgefangen werden, welche das ordentliche
Bild der Ebene A durch das Objektiv O darstellt.
Insbesondere wird das Bild eines Punktes A1 am
Rande des Feldes in /I1' gebildet.
Die Helligkeitsverteilung /(ο,Θ) in der Ebene A' ist
durch
2?!
I(ο,Θ) = I ± cos —^ [W(ο,Θ) - /F(0,0)]cosw„
gegeben, wobei λ die Wellenlänge ist, W (ο, Θ) und
cos Un bereits weiter oben definiert wurden und IV(O, 0)
die optische Dicke des Objektes im Mittelpunkt (ß == 0, Q = 0) ist. Das Vorzeichen hängt von' der
Art der Interferenzen ab, die im Mittelpunkt entweder weiß oder schwarz sein können.
Die Formel definiert die sogenannten Interferenzen mit waagerechtem Schnitt, die beobachtet werden,
wenn die Bilder S1' und S2' genau zusammenfallen.
In dem in Fig. 1 dargestellten Falle sind die Bilder S1' und S2' seitlich leicht verschoben, und in
diesem Fall ist das Interferogramm von parallelen Streifen durchzogen.
Wenn man visuell die Interferenzen beobachten will, wird man die Pupille des Auges an der Stelle der
Bilder S1' und S2' bringen.
Fig. 1 veranschaulicht die interessante Tatsache,
daß das vorgeschlagene System folgende bemerkenswerte Eigenschaften besitzt: Einerseits formt der
Kondensor C von der punktförmigen Quelle S ohne Wellenduplikator ein ordentliches Bild in der Objektebene A, andererseits wird das Bild A' des Objektes A
durch das Objektiv O gebildet, ohne daß ein zugeordneter
Wellenduplikator in Funktion tritt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das interferometrische'Verfahren der eingangs genannten
Art in der Weise zu verbessern, daß zu seiner Durch-
führung ein Interferometer herangezogen werden kann, am zugeordneten Punkt (n, (-)) und der zweite, in seinem
das in seiner Konstruktion einfacher ist, dessen Ein- Mittelpunkt (0,0) durchquert; diese beiden Strahlen
Stellungen sich leichter vornehmen lassen und dessen sind parallel, geneigt zur Achse um einen gleichen
Anwendungsbereich größer ist, wobei die von einem Winkel» und in der gleichen Azimutebene Θ ent-
solchen Gerät gelieferten Interferogramme eine höhere 5 halten. Dies zeigt deutlich, daß das Prinzip des Geräts
Stabilität besitzen. gemäß der Erfindung sich wesentlich vom bekannten
Diese Aufgabe ist bei einem solchen inter- Prinzip der Interferometer mit Defokussierung unter-
ferometrischen Verfahren dadurch gelöst, daß durch scheidet; gleichzeitig sieht man, daß das physikalische
das aus Kondensor und Strahlenteiler bestehende Prinzip der Erfindung sauberer ist, d. h. klarer definiert,
optische System ein ordentliches Bild der Lichtquelle 10 was eine bessere Betriebsweise mit sich bringt,
am Ort des zu untersuchenden Objektes und ein vor Die Wellenduplikatoren oder Strahlenteiler, die mit
dem ordentlichen Bild liegendes außerordentliches der Beobachtungsoptik bzw. mit dem Kondensor
Bild der Lichtquelle entworfen werden und daß durch gekoppelt sind, sind gemäß der Erfindung einander
das aus Objektiv und Strahlenvereiniger bestehende identisch und müssen in jedem Falle die gleichen
optische System ein ordentliches Bild des ersten »5 Eigenschaften haben. Gemäß der Erfindung muß jeder
außerordentlichen Lichtquellenbildes und ein außer- dieser Duplikatören die Möglichkeit bieten, einen
ordentliches Bild des ersten ordentlichen Lichtquellen- zusätzlichen Brennpunkt zu bilden, der vorstehend
bildes in der Austrittspiipille des Objektivs entworfen außerordentlicher Brennpunkt genannt wurde und
werden, während das Interferenzbild des Objektes in der vom ordentlichen.Brennpunkt der Linse in einer
der Bildebene des Objektivs entsteht. . 20 hinreichenden Entfernung / getrennt liegt. Außerdem
Ein Gerät zur Durchführung dieses Verfahrens muß der Duplikator so beschaffen sein, daß sein
kann als Interferometer mit piinktförmiger Referenz außerordentliches Strahlenbündel die gleiche Winkelbezeichnet
werden. ; öffnung hat wie das ordentliche Bündel, das durch die
Es kann von Interesse sein, diesbezüglich zu b.eob- Linse allein erzeugt wird. Derartige Strahlenteiler sind
achten, daß, .wenn man bei der Anordnung gemäß der 25 optische Geräte, deren Wirkungsweise entweder unab-Erfnidung,
wie sie hier beschrieben wurde, die prak- hängig von den Eigenschaften der Linsen, mit denen
tisch punktförmige Quelle durch eine ausgedehnte sie gekoppelt sind, oder stark mit diesen Linsen geQuelle ersetzt, deren Bild durch den Kondensor das blinden ist. Man kann unter anderem Vorrichtungen'
zu untersuchende Objekt bedeckt, und wenn man vorsehen, die entweder die Kombination von Spiegeln
einen beliebigen .Punkt P der besagten Quelle nimmt, 30 enthalten, die in den Interferometern vonSognac, den
daß man dann seine Bilder P1 und P1 in der Objekt- sogenannten Anüparallelwelleninterferometern, vorebene
bzw. in der Ebene des Bildes S1 wiederfindet, handen sind, oder Vorrichtungen mit doppelbrechenaber
die beiden sekundären Quellen haben dann die den Prismen als Strahlungsteiler. Es ist zweckmäßig
umgekehrte Funktion der, die gemäß tlr Erfindung zu bemerken, daß man in gewissen Fällen einen einangegeben
wurden, und die von P1 ausgehende Welle 35 zigen Duplikator oder ein gleichwertiges. Element
dient dann als Beziigswelle für die von P1 ausgehende -benutzen kann, das dann nacheinander die Rolle des
Welle. Die Bezugswelle durchquert also das Objekt ersten und des zweiten obengenannten Duplikators
und wild gestört, was aber dank der Erfindung ver- übernimmt.
mieden werden kann. Im Falle der erweiterten Quelle Die von den Linsen unabhängigen Teiler werden im
kann man auch ein Interferenzbild beobachten, das in 40 allgemeinen in den Objektraum gesetzt, d. h. zwischen
der Ebene der Ausgangspiipille S1, S1' des Gerätes den Kondensor und das Objekt oder zwischen, das
der Erfindung gebildet wird; dieses Interferenzbild ist Objekt und das Objektiv. Die Teiler fallen mit ihren
geometrisch gesehen auch das außerordentliche Bild Brennpunkten auseinander und sind von optischen
des Objektes A im Objektiv O, das durch die Teil- Elementen mit ebenen Oberflächen gebildet. Selbst-
nahme des Wellenduplikators .entstanden ish Außer- 45 verständlich kann ein derartiger Teiler auch in den
dem zeigen die vorangehenden Ausführungen, daß die . Bildraum gesetzt werden, unter der Bedingung, daß
Interferometrie gemäß der Erfindung nicht auf Ob- das Gerät, das die Zuordnung Objekt — Bild vor-
jekte mit kleinen Variationen des optischen Weges nimmt, aus einem System von Linsen mit verschie-
beschränkt ist, mit Ausnahme, was die kleine Bezugs- denen Brennpunkten, besteht.
fläche S1 im Mittelpunkt des Objektes betrifft, wo die 50 In der Zeichnung sind Duplikatören gemäß der
optische Dicke konstant bleiben muß. " Erfindung in verschiedenen beispielsweise gewählten
Man sieht übrigens, daß die Entfernung /, die das Äusführungsformen und Anwendungen schematisch
ordentliche Bild vom außerordentlichen trennt, bei veranschaulicht. Es zeigen
der Erfindung nicht die Rolle einer Defokussierung F i g. 2 bis 5 verschiedene Ausführungsformen mit
spielt; diese Entfernung /. ist ein Parameter des 55 Spiegelduplikatoren,
Gerätes, den man in Abhängigkeit der Öffnung u des F i g. 6 und 7 Duplikatören aus doppelbrechendem
Beleuchtungsstrahlenganges und des Radius ο des Material,
Objektfeldes wählt:. F i g. 8 ein Beispiel für ein afokales optisches
Element mit sphärischen halbreflektierenden Ober-
/ =- _.ϊ— _ 6o flächen,
: 'g" F i g. 9' bis 12 verschiedene Anwendungen unter
Benutzung reflektierender Oberflächen,
Die Arbeitsweise des Interferometers mit punkt- F i g. 13 einen Aufbau mit einem doppelbrechcnden
förmiger Referenz gemäß der Erfindung kann übrigens Prisma als Strahlenteiler und '
auch erklärt werden, indem man beachtet, daß die 65 F i g. 14 die Anwendung eines afokalen Systems
Intensität E (ρ,θ) in einem beliebigen Punkt (ρ,Θ) des zwischen Objekt und afokalem Dupljkator.
Interferenzbildes von der Interferenz der beiden . Im Falle der Fig. 2 ist der erste Duplikator D1
Strahlen herrührt, von denen der erste .das Objekt von zwei planen Spiegeln/H1 und wia und der zweite
Duplikator D2 von den Spiegeln m3 und /M4 gebildet;
die Entfernungen zwischen den beiden Spicgelpaaren
sind gleich. Man erhält dadurch ein erstes Bild S1
der Quelle S durch das Strahlenbündel, das den Duplikalor D1 (/?/, und ;/;,) unmittelbar durchsetzt und
das die Bezugswclle liefert. Hin zweites Bild S2 der
Quelle S bildet sich in einer Entfernung / —- S1S2, die
dem zweifachen Zwischenraum /M1, /H2, berechnet in
Luft, entspricht. Man stellt fest, daß die axiale Entfernung / weder von der Linse C noch von der Stellung
der Spiegel /M1 und /M2 in bezug auf das Objekt abhängig
ist.
Der zweite Teiler D2 (Spiegel /M3, /M4) gestattet es,
die beiden dargestellten Strahlen wieder zu vereinigen, von denen der eine den Mittelpunkt und der andere
den Punkt A1 am Rande des Gesichtsfeldes passiert.
Die beiden Bündel bilden sodann einen gemeinsamen Brennpunkt in S1', St', wo die Austritlspupillc des
Interferometers liegt, und man beobachtet in A1 das
lnterfercn/bild des Objektpunktes A1.
Die beiden Spicgelpaarc werden bc\orzugt aus zwei identischen Glasplatten gebildet, die mit halbrcüekticrenden
Schichten \ ersehen sind.
Um die Anzahl der Streifen einzustellen, kann man vorteilhaft-eine der Platten leicht kippen, was eine
leichte Scitcnverschicbung des Bildes S1 und somit
eine seitliche Verschiebung der Bilder S1 und S2 mit
sich bringt. ■
Die Dicke </ jeder Platte wird in Abhängigkeit des Objektfeldes und der Winkclöffnung wr des Bclcuchiungsbündcls
wie folgt bestimmt. Man geht von
"* i/
den Formeln η — S1A1 ■- /-te η und " — η aus,
den Formeln η — S1A1 ■- /-te η und " — η aus,
wobei μ der Brechungsindex der in Betracht gezogenen Platte ist.
Ls ist \on Interesse, den Wert der Lichtdurchlässigkeil
der Anordnung kennenzulernen. Hierzu bestimmt man den Rellexionskoeflizienten R der Spiegel»;,,
/M2. /M3 und /M4. der für diese Vorrichtung die
größte Helligkeit gewährleistet. Die Amplituden U1
und C2 der beiden Wellen des Interferometers sind
dementsprechend:
I1 T2
wobei / und τ die durchgerissenen und reflektierten
Amplituden der Spiegel Hi1 bis /M4 sind, die im vorliegenden
lall als identisch angenommen sind. Bekanntlich ist die Durchlässigkeit eines Interferometers
durch die Intensität/.«.der weißen Imerferenzstreifen
definiert:
T=)- =- 4T1R- = 4 T* (I-T)"-,
wobei 7'-- /-' und R --- r2 die Reflexionskoeffizienten
der verwendeten Spiegel >ind.
Die abgeleitete Funktion '.*' der obeneenannten
U /
Intensität I'm ist gleich Null für den Höchstwert der Durchlässigkeit T, welcher der beste Wert von R
entspricht:
UT
(Im) = 4 Γ» - 10 Γ« - 6 Γ5 = 0,
Daraus ergibt sich eine maximale Intensität In oder [
die maximale Durchlässigkeit des erfindungsgemäßen Interferometers zu: I
- 9
was T — ;, 3 und demnach R = 1Z3 ergibt.
Dies zeigt, von welcher Bedeutung die Auswahl des Reflexionskoeffizienten R der Spiegel ist; wenn man
an Stelle von R = 1J3 z. B. R ~ 1J2 benutzt, erhält
ίο man eine maximale Durchlässigkeit/.!/ ~ 6%.
. Die Güte der Durchlässigkeit eines Interferometers
des hier beschriebenen Tv ps kann beträchtlich und auf einfache Weise verbessert werden. Hierzu (F i g. 3)
wird das Spiegclpaar Di1Di2 so gelagert, daß das
Bild S2 der Quelle S sich auf dem Spiegel Di1 bildet:
man ersetzt die tcildurchlässige Fläche durch einen, undurchsichtigen, reflektierenden Belag von einer
Reflexion R1 — 1, und man beschränkt die Ausdehnung
des Belags auf die vom Bild S2 der Quelle 5
ao eingenommene Fläche. DieRellcxionskoeffizientcn der
aus Dielektrikum gefertigten Spiegel zm2, zm3 und Hi4
werden dann mit Hilfe einer Rechnung wie.die, die für das Beispiel der F ig. 2 genau beschrieben wurde,
bestimmt und liefern die maximale Intensität der weißen Streifen des Interferometers. Diese Rechnung
zeigt, daß die maximale Durchlässigkeil /.u niit
den Reflexionskoeffizienten R1 = 1, R1 = 0,19 und
R3 = A'4 - 0,43 den Betrag von 19 % "erreicht.
Der Aufbau der Fi g. 2 kann so geändert werden, daß die Untersuchung von reflektierenden Oberflächen
möglich wird. Ausgehend von der Vorrichtung der F i g. 2. die um die durch das Objekt gehende
Gerade S1A1 herumgeklappt wird, ist es gelungen,
ein Gerät zu entwickeln, das schematisch in F i g. 4 dargestellt ist und das die Untersuchung von reflektierenden
Oberflächen gestattet.
Die Spiegel ;m, und Dl1 sind durch die Entfernung /
getrennt, und der einfallende Strahl ν wird durch einen halbdurchlässigen Spiegel M in das Gerät ge-
.40 lenkt. Um das Streulicht auszuschalten, das auf die
direkte Reflexion (angegeben durch die Pfeile 1 und 2) des auf die Spiegel /M1 und /M2 fallenden Strahls zurückzuführen
ist. wurden gekreuzte Polarisatorcn .I1 undrr2
cinccsctzt, während ein ;' -Plättchen zwischen Ob-
■ ~ 4
jckt A und den Spiegel Di2 geschaltet den Weg für das
Licht freigibt, das an den Interferenzen beteiligt ist.
Diese sehr einfache Apparatur bietet jedoch auf
Grund der zusätzlichen optischen Elemente nur eine Helligkeit, die ungefähr achtmal schwächer ist als die
eines Interferometers gemäß der Lrlindung und das im Durchlicht arbeitet. Wenn man den Beleuchtungsspiegel M wegläßt und die Quelle S selbst in den
Mittelpunkt .-I0' der Bildebene setzt', kann man einen
Hclligkeitsfaktor erhalten, der nur viermal schwächer ist. ■ . ■
Trotz ihrer relativ schwachen Helligkeit eignen sich
die hier beschriebenen Geräte für die Mikroskopie mit
mittleren und starken Vergrößerungen, wo nur wenig Platz für die dazwischengeschalteten optischen Elemente
vor dem Objekt und dem Kondensor bleibt. Das Verfahren der Erfindung kann ebenfalls verwirklicht
werden'mit Duplikatoren oder Teilern mit geneigten reflektierenden Flächen, die die Anzahl der
Durchläufe der halbdurchlässigcn Spiegel auf ein Minimum herabsetzen. Diese Variante, die die Möglichkeit
einer höheren Maximaldurclilässigkeit bietet,
ist besonders vorteilhaft für Mikroskope mit schwacher
sogenannten makroskopischen Objekt: geht. jedoch bemerken, daß in diesem Falle die oben-
tion im Auf licht. Diese Vorrichtung enthält zwei halb- 5 wendig sind. ·
durchlässige Spiegel /M1 und /M2 sowie einen Umlenk- im allgemeinen kann jeder Aufbau mit geneigten
spiegel m. Die : Beleuchtungslinse C projiziert ein Spiegeln, von denen mindestens einer teildurchlässig
punkt des: reflektierenden Objektes A, während ein gleichkommt, für Anwendungen gemäß der Erfindung
zweites Bild S2 derselben Quelle S in S2 gebildet wird, io benutzt werden.
in einer Entfernung / = /M1ZMm2 — Tn1Tn2. Das Ob- Die Fig. 6 und 7 zeigen Wellenduplikatoren, die
jektivO, dessen objektseitiger Brennpunkt mit dem von den Linsen unabhängig sind und die doppel-
der Interferenzen unter der Bedingung, daß man die Der Duplicator in F i g, 6 besteht aus einem plan-
Pupille auf die zusammenfallenden Bilder S1', S2
15 parallelen Spätplättchen D, das parallel zum Objekt^
von S1 undIS4 setzt. Der Vorgang ist derselbe wh der, . steht, das als reflektierend angenommen ist. Die
der bezüglich Fig. 1 beschrieben wurde. optische Achse des Kristalls steht senkrecht zur op-
s Bündel (ein einziger Strahl, der voll ausgezogen dar-
fli = rir2r«ri = r *'
ao gestellt ist) bildet im Mittelpunkt des Objektes Λ das
ej = T1 rs /2 Z1 "=: r <a .■ Bi'd ^i der n^1 dargestellten punktförmigen Quelle S.
Die maximale Intensität ist: (at + ^1)* = rttl — RT.
bildet ein virtuelles Bild S2. Der Brechungsindex /1
mit R = T= 0,5; ■ es ist zu bemerken, daß den as liehen Brechungsindex /I0 des Spates angenommen,
beiden Reflexionen des ersten Strahls zwei Über- Der nutzbare Bereich vom Radius ρ wird durch die
tragungen des zweiten Strahls entsprechen. Bekannt- bereits genannte Formel ';/■.:[■■ , '
lieh ist die Phasendifferenz der beiden Wellen dann η == S A= I'tau >
ί ;>;'·■(
gleich π unter der Bedingung, daß die Teiler /M1 und m, * x
keine absorbierende Eigenschaften haben. Der Inter- 30 bestimmt, wobei /die Entfernung ist, die'gemäß der
ferenzstreifen, der einer Differenz der optischen Wege Achse das ordentliche Bild vom außerordentlichen,
gleich Null entspricht, ist also schwarz und achro- Bild trennt:
matisch, was vorteilhaft ist. . _ Δη . ^ ,
satoren^und^sowieein -*- -Plättchen, das zwischen 35 wobei Πο der ordentliche und :„, der außerordentliche
die Spiegel/w, und mt gesetzt ist. Diese Polarisatoren Brechungsindex des Spates ist. Die Vorrichtung ent-
und das _ -Plättchen ermöglichen es, störende Wellen hält außerdem das ^ -Plättchen, das zwischen Objekt
der Amplitude a4 auszuschalten, die als einzige 40 und Spätplättchen liegt und unter 45° gegenüber der
störend wirken können. Außer den Strahlen, die Bildebene ausgerichtet ist, sowie zwei nicht dargestellte
interferieren, Polarisatoren. Das --Plättchen gewährleistet den
und ■ .· ■ ■■ _ r~ x * * x .■ . Ausgleich der optischen Wege, indem es die Polari-
„_,„., 45 sationsebene für die Strahlen, die es zweimal durch-
a2 -I1^Uh,
queren, um 90^ dreht.
gibt es noch zwei weitere unerwünschte Strahlen: Eine derartige Vorrichtung für die Untersuchung
_ ' von durchsichtigen Objekten enthält zwei identische
ft-'i'i'i'i,· Spätplättchen, zwischen denen das untersuchte Objekt
a* = hrtr2 r±. 5° und ein ^-Plättchen angeordnet sind.
dem Interferenzbild überlagert. Diese störende Welle 55 Außerdem könnte man die Vorrichtung so gestalten,
mit der Amplitude σ« wird durch die gekreuzten daß man eine fokussierende Wirkung auf einen Teil
~ -Plättchen ausgeschaltet. findung durchquert, ausübU Ih einem ersten Fall, wie
z er in Fi g. 7a, 7 b und 7c dargestellt ist, gibt es ver-
führungsform dieser Vorrichtung, in diesem Falle derartigen Vorrichtung. Im Falle der Fi g. 7 a ent-
werden die Teiler/M1 und mt durch die zwei aufeinander hält das Interferometer gemäß der Erfindung eine
senkrecht stehenden Flächen eines gleichschenkligen doppelbrechende Linse L, die der Beleuchtungs- oder
90"-Prismas gebildet, das mit einem weiteren gleich- . der Beobachtungslinse O zugeordnet ist. '
artigen Prisma zusammengeklebt ist und das mit 65 Die Linse L besteht aus einer plankonvexen Linse L1
Totalreflexion arbeitet. Das gemäß Fig. 5b aus- aus Spat und einer plankonkaven Linse L1 aus Glas
gerüstete Interferometer kann mittels identischer mit einem Brechungsindex n, der dem ordentlichen
■..-' » 009i45/48
9 . 10
liehe Brennweite der Linse L ist unendlich, und ihre In Fig. 8 a sieht man eine Glasplatte M2 und einen
außerordentliche Brennweite ist gleich fB Glasmeniskus M1, die teildurchlässig bzw. teilreflek-
. tierend gemacht wurden (Ot1 und W2). Im vorliegenden
fB— , Falle entspricht die Vorrichtung einer divergenten
An 5 Linse mit einer Brennweite, die der Hälfte des Radius
der sphärischen, reflektierenden Oberfläche Hi1 entwobei
B der Krümmungsradius und Λ η die Doppel- spricht,
brechung ist: Dieses Element hat die gleiche Aufgabe wie die
brechung ist: Dieses Element hat die gleiche Aufgabe wie die
oben beschriebene doppelbrechende Linse.
An = /J0 — ne = 0,17 für den Spat. io Diese Vorrichtung hat eine stark fokussierende
Wirkung, aber sie hat den Nachteil einer schwachen
c- . J-o · u.. *■ in··., u · . · Helligkeit. Die Durchlässigkeit eines Interferometers
Ein unter 45 ausgerichtetes , -Plattchen ist zwi- ..„ , c c , ,6 ... . , . .. , ,
.4 gemali der Erfindung, das mit solchen bifokalen
sehen der Linse L und dem hier als reflektierend an- Elementen ausgerüstet ist, ist übrigens mit der des
genommenen Objekt A angeordnet. »5 Interferometers mit vier planen, teildurchlässigen
Das von der Quelle S kommende Licht wird durch Spiegeln identisch, das schon oben beschrieben worden
TT1 polarisiert und mit Hilfe des halbdurchlässigen ist (Fig. 2). Der beste Wert seines Reflexionskoeffi-
Spiegels M auf das Objekt A geschickt. Das vom zienten ist ebenfalls gleich 1J3.
Objekt A reflektierte Bündel durchquert den Spiegel M, Die Ausführungsform der Fig. 8 b betrifft ein
und nachdem es durch den Polarisator π., analysiert 2° bifokales Element, das es ermöglicht, die fokussierende
wurde, erreicht es die Bildebene A', die dem Objekt A Wirkung außerhalb der beiden Spiegel zu lokalisieren,
durch das hier allein betrachtete Objektiv O zu- Wie im Falle einer doppelbrechenden Linse benutzt
geordnet ist. man zwei konzentrische Oberflächen W1 und w2,
Die Wirkungsweise der doppelbrechenden Linse L, deren Wirkung auf den zweimal reflektierten Strahl
die dem Objektiv O zugeordnet ist, geht aus F i g. 7b 25 gleich derjenigen einer Linse ist, die im gemeinsamen
klar'hervor. Diese Linse befindet sich in der bild- Krümmungsmittelpunkt C der Spiegel Ot1 und Ot3
seit ige η Brennebene des Objektivst?; in diesem Fall angeordnet ist. ..· . · . · ; · '.:
wird die Brechkraft der beiden Linsen O und L nicht Die genannten Vorrichtungen eignen sich inbe-
verändcrt. Der ordentliche Strahl ergibt das BiIdS1 sondere für die Untersuchung von reflektierenden
der Quelle S und der außerordentliche Strahl das 3° Oberflächen, außer der Vorrichtung der Fig. 1, die
BiIdS2; beide Strahlen haben die gleiche Öffnung uc. mit ihren vier teildurchlässigen Spiegeln eher für die
Der Randstrahl der · außerordentlichen Welle be- Untersuchung von durchsichtigen Objekten geeignet
leuchtet den Punkt A1, der sich in einer Entfernung ρ ist. Der Grund dafür ist, daß die beiden Wellen-
vom Mittelpunkt S1 befindet. duplikatoren, die mit dem Kondensor bzw. dem
, 35 Objektiv gekoppelt sind, durch ein einziges Element
ρ = h J--, gebildet sind, wenn es sich um reflektiertes Licht
/b handelt, und daß Autokompensation durch Auto-
kollimation vorhanden ist, während die beiden Wellen-
wobei / die Brennweite des Objektivs 0 und h die duplikatoren bei durchsichtigen Objekten materiell
Pupillenhöhe ist: · 4° getrennt sind und diese auf einen Bruchteil der Wellen-
h = f sinu länge genau optisch identisch gemacht werden müssen.
Um die Untersuchung von durchsichtigen Objekten
was ergibt: zu vereinfachen, besteht eine weitere Eigenschaft des
__ /2 . ' erfindungsgemäßen Interferometers darin, daß ein
^ ~ ~r~ "e' 45 autokompensierter Duplikator verwendet wird, wie
er in Fig. 9a als Beispiel dargestellt ist. In dieser
Im1FaIIe der F i g. 7c befindet sich der optische Figur findet man wiederum alle wichtigen Bestandteile
Mittelpunkt der doppelbrechenden Linse außerhalb. eines Interferometers mit punktförmiger Referenz mit
Eine solche Linse kann also eher mit einem Mikro- afokalen Wellenduplikatoren, die in den Raum, der
skopobjektiv verbunden werden, dessen Brennebene 5» die Beleuchtungslinse von der Bebbachtungslinse'
nicht zugänglich ist. trennt, gesetzt sind.
Die Linse/, besteht aus einem Meniskus M aus S ist eine punktförmige Lichtquelle, von der der
Glas, dessen sphärische Flächen beide konzentrisch Kondensor C ein Bild S1 im Mittelpunkt des durch-
gegeniiber dem Mittelpunkt C sind; auf diesen dicken sichtigen Objektes A, das unmittelbar nach dem halb-
Meniskus sind zwei Linsen aus Spat L' und L" ge- 55 durchlässigen Spiegel m gelegen ist, bildet; ein zweites
klebt; das Ganze bildet eine Platte mit planparallelen Bild S2 der Quelle S entsteht auf der Achse des durch
Flächen. Das Bild des Mittelpunktes C in der planen w reflektierten Bündels. Die beiden Lichtbündel
Fläche der plankonvexen Linse befindet sich in C1, werden im entgegengesetzten Sinn durch zwei un-.
und alles ist genauso, als läge die Linse bei C1. durchlässige Spiegel M1 und Af2 reflektiert, so daß
Die Vorrichtungen mit doppelbrechenden Linsen 60 das durch den Spiegel m reflektierte Licht rechts
sind leicht in Mikroskopen zu benutzen, die mit herum und das durchgelassene Licht links herum im
Autokollimation arbeiten; etwas schwieriger sind sie Inneren des Dreiecks ot, Λ/1( Λ/2 (s. Pfeile) gelenkt
in Mikroskopen, für durchsichtige Objekte zu ver- ■ wird. Die beiden kohärenten Wellen, die von den
wenden, da es schwierig ist, die beiden getrennten sekundären Quellen S1 und S2 ausgehen, werden von
Linsen identisch zu machen. 65 demselben Spiegel ot wieder kombiniert und können
Im Fall der Fig. 8a und 8b wird ein bifokales in Richtung auf das Objektiv O entweichen, dessen
optisches Element benutzt, was mit Hilfe von sphä- . objektseitiger Brennpunkt mit der Objektebene".zu- ■
rischen, halbreflektierenden Oberflächen erreicht wird. sammenfällt. Die ineinander übergehenden Bilder JfJ*
11 12
und S2' der Quellen S1 und S2 bestimmen die Austritts- richtung bequem vorgenommen werden, wobei man
pupille des Interferometers. Fig. 9 b entsteht durch die beste Richtung aussucht. Die reelle Durchlässigkeit
Aufklappen des Bildes der Fig. 9a. Die Wirkungs- dieses Interferometers ist also gleich 50% mit einem
weise dieser Vorrichtung wird im einzelnen an Hand Kristallpolarisator.
Fig. 9b erklärt. Die beiden Lichtbündel sind durch 5 Für die Untersuchung von reflektierenden Obereinen
einzigen Strahl der Winkelöffnung uc dargestellt, flächen ist es vorteilhaft, den Aufbau von F i g. 11
der durch den Spiegel m verdoppelt wird. Für den zu benutzen, der* von dem Aufbau der Fig. 9 in der
durchgelasseneh .Strahl (ausgezogene Linie) befindet Stellung der Reflexionsspiegel AZ1 und A/2 abweicht,
sich das Objekt in A, während für den reflektierten die hier so angeordnet, sind, daß das Objekt A fast
Strahl (gestrichelte Linie) das Objekt nicht in A, io senkrecht beobachtet werden kann. '
sondern in (A) symmetrisch zu A in bezug auf den Es ist klar, daß die Vorrichtungen der F ig. 8, 10
Punkt M0 liegt, der sich in der Mitte der Strecke und 11 sich nicht für mikroskopische Untersuchungen
im, M1, M2, m befindet. Die Vorgänge sind die gleichen, eignen, weil das Objektiv O vom Objekt durch einen
als nähmen die beiden Strahlen denselben Weg, durch- schräggestellten Spiegel m getrennt ist, was seine
querten dasselbe Objekt in seinem Mittelpunkt bzw. 15 Leistung auf die eines Mikroskops mit schwacher
in einem seitlichen Punkt A1. Der Radius ρ des Objekt- Vergrößerung herabsetzt.
feldes wird ungefähr von Die Erfindung kann mit den zuletzt beschriebenen
„_/*■*« ,„„1,-: ; _ ο e 1/ :ct Ausführungsformen mit einem Mikroskop mit starker
ρ-itguc, wobei /-^1Af0ISt, Vergrößerung verwirklicht werden.
gegeben. *° Fig. 12 zeigt schematisch ein solches Beispiel. In
Der Aufbau der Spiegel m, M1, M2 entspricht einer diesem Fall sind die Spiegel m, M1 und M2 wie in
Anordnung von S ο g η a c, aber er wird hier ganz F i g. 9a angeordnet, aber die Linsen O und C sind
anders angewandt als bei ihm. Das Objekt A muß so hier in den Kreis eingeschaltet, anstatt sich außerhalb
weit wie möglich von M0 entfernt angeordnet werden, desselben zu befinden. Wenn man davon ausgeht, daß
oder sehr nahe von im; andererseits ist eine Linse C, 25 die Brechkraft der Linsen O und C identisch ist, so
die das reelle Bild S1 einer punktförmigen Quelle S ordnet man sie symmetrisch zum Mittelpunkt M0 an,
projiziert, unentbehrlich. Unter diesen Bedingungen um "die Interferenzen zu beobachten. Wenn S: eine
ermöglicht das Objektiv O, das eine Lupe ist, die punktförmige Lichtquelle ist, so bildet das Objektiv O
Beobachtung eines vollkommen definierten Interferenz- davon ein BiIdSx, und der Kondensor C-gibt ein
bildes und nicht eines Bildes,' das von der Über- 3° Bild S2 wieder, wobei S1 und S2 durch eine Entfernung/
lagerung der beiden verschobenen oder umgekehrten getrennt sind. Der Radius ο des (Gesichtsfeldes vom
Bilder herrührt, wie es bei den Interferometern vom Objekt, das sich an der Stelle des Bildes S1 befindet,
Typ Sognac der Fall ist. ist dann also
Im Rahmen der vorliegenden Erfindung ist die ρ — ltguc, ".'■.'■
Anzahl der Umlenkspiegel, wie M1 und M2 beliebig 35. ■
und ändert keineswegs die Wirkungsweise eines Inter- wobei uc die Öffnung des Beleuchtungsbündels dar-
ferometers gemäß der Erfindung. Das Gerät kann auf stellt. '
verschiedene Arten verwirklicht werden, wofür in den In der Praxis ist die absolute Identität der Linsen O
Bildern 10, 10a, 10b und 10c einige Beispiele an- und C nicht unbedingt erforderlich. Es genügt, wenn
gegeben sind. 40 das zusammengesetzte System, das durch die Linsen O
Die Vorrichtung der Fig. 10 enthält eine Teiler- und C gebildet wird, mit dem Mittelpunkt M0 in
gruppe £ und ein Reflexionsprisma M. Der halb- Koinzidenz gebracht wird.
durchlässige Spiegel im ist auf eine innere Kittfläche Mit dem gleichen Ziel kann man auch ein doppel-
des Teilers gesetzt". Das Objekt A ist sehr nahe bei m brechendes Prisma als Strahlenteiler verwenden,
angeordnet. Die Einstellung der Anzahl der Streifen 45 In einem derartigen Fall ist die Winkelaufspaltung
und ihrer Orientierung erfolgt auf die bekannte Weise der Strahlen im allgemeinen sehr schwach, was be-
mit einem Diasparometer K. sondere Maßnahmen verlangt, die wiederum eine
Bei der Ausführungsform der F ig., 10a ist das große Aufbaulänge mit sich bringen. Die Vorrichtung
Reflexionsprisma M1, ein Trieder mit drei aufeinander von F i g. 13 enthält ein doppelbrechendes Prisma Q,
senkrecht stehenden Flächen deren Dach das Inter- 50 X p „ h n rechtwinkiig gekreuzte Polari-
ierometer hinsichtlich der Winkel unverstellbar macht. 4 '
In F i g. 10b ist das Prisma M1 durch eine Linse O1 sätoren Jt1 und π2 und den halbdurchlässigen Spiegel M,
ersetzt, die mit einem Planspiegel M, der im Brenn- der dem Prismaß unter bezug auf das Objektivpunkt
der Linse O1 liegt, kombiniert ist. system O1, O2 zugeordnet ist, das afokal ist und eine
In Fig. 10 c besteht die Teilergruppe E1 aus einem 55 Vergrößerung g =.—1 hat; das Objekt A ist in Be-
Prismenpaar/j und P1 mit Winkeln von 30 und 60°; rührung mit dem Objektiv O2. Das von einer punkt-
die Prismen sind durch eine teildurchlässige Fläche m förmigen Lichtquelle ausgehende Licht wird über
getrennt. einen halbdurchlässigen Spiegel M auf ein doppel-
Die Helligkeit der Interferometer mit punktförmiger brechendes Prisma Q geleitet; der mittlere Strahl wird
Referenz, für die eine Anordnung verwendet wird, die 6° in zwei durch einen Winkel. 2« getrennte Strahlen
an das Interferometer von Sognac oder eine Abwand- geteilt. Auf Grund der Eigenschaften, die durch die
lung dessen erinnert, ist am stärksten im Vergleich Gesamtvorrichtung gegeben sind, durchlaufen die
mit denjenigen, die durch die Erfindung gegeben sind. beiden zueinander senkrecht polarisierten Wellen die
Theoretisch entspricht sie gleich 1; in der Praxis ist es Anordnung in der entgegengesetzten Richtung, analog
jedoch vorteilhaft, einen Polarisator (π der F i g. 10) 65 zu dem, was bei der in Fig. 9 dargestellten Voreinzusetzen,
dessen Schwingungsebene senkrecht zur richtung geschieht. Das Überschneiden der Bündel
Bildebene liegt. Die kohärente Teilung der Welle auf wird vermieden, indem man die Verdoppelung 2x
dem Spiegel im kann nur für eine einzige Vibrations- und die Brennweite der Objektive O1 und O2 unter
Berücksichtigung des Objektfeldes wählt. Zum Beispiel
wird in dem dargestellten Fall die Quelle S in einer Entfernung angeordnet, die doppelt so groß ist
wie die Brennweite des Objektivs O1. Dieses Objektiv
gibt von der Quelle S ein Bild S1 wieder, das sich in
einer Entfernung vom Objektiv O1 befindet, die doppelt
so lang ist wie die Brennweite / des Objektivs O1 und
die mit dem Objektiv O2 zusammenfällt; dabei bildet
es im Mittelpunkt des Objektes A ab und bedeckt nur
den linken Teil (in der Zeichnung) des Objektivs O2;
dies wird dadurch erreicht, daß man 2x (die durch das Prisma Q gegebene Ablenkung) einen Wert gibt, der
aus der Formel Q1 -- χ / resultiert; », ist der Radius
des Objektfeldes. Ein zweites Bild S2 der Quelle wird
auf dem symmetrischen Teil von O2 ■ gebildet, der
durch das Objekt nicht verdeckt ist.
Die Bilder S1 des Bildes S1 und S2' des Bildes S2
überdecken sich im Bildraum, und das reelle Bild der Objektinterferenzen wird dann an der zu der Quelle S
in bezug auf den Spiegel ·Λ/ symmetrischen Stelle A'
abgebildet. Das , -Plättchen, das unter das Prisma Q
gesetzt ist, ist in dem in Betracht gezogenen Fall notwendig, wo das Prisma Q auf sich selbst abgebildet
wird mit einer Vergrößerung gleich -rl.
In F i g. 13a und 13b, wo die (punktierte) Linie die Strahlcntcilungscbcnc darstellt, sieht man zwei
Möglichkeiten von doppelbrechenden Prismen, die für die Anwendung, die in Fig. 13 dargestellt ist, geeignet
sind; es kommt hier nicht in Betracht, das Prisma von Wo 11 as t ο η trotz seiner Einfachheit
zu benutzen, weil die Fläche, auf der die Streifen lokalisiert werden und auf der ebenfalls das Lichtbündel
aufgespalten wird, schräg liegt.
Diesen Nachteil vermeidet man mit dem Aufbau
der F i g. 13a. der zwei Kristallprismcn Q' und Q" mit gekreuzten Achsen enthält, die durch zwei Prismen
Q1 und Q2 aus Glas vervollständigt sind, das
einen Brechungsindex π. gleich dem mittleren Brechungsindex des benutzten Kristalls hat. Die benutzten
Kristallprismen haben einen Winkel y und die Glas-
prismen einen Winkel ; .
Man kann auch den in Fig. 13b wiedergegebenen Aufbau mit drei Kristallprismen Q3. Q1. Q$ mit gekreuzten
Achsen \erwcnden; die äußeren Prismen (λ, und (J5 haben einen Winkel y und das mittlere Prisma
Qt einen Winkel 2;·. Die Winkelaufspaltung χ ist
durch die Formel .x ^ . I /1 tg y gegeben im Falle ■
der Fig. 13a und durch χ ~ 2 I/1 te y im Falle
der Fig. 13b.
Wenn es sich um ein optisches Gerät handelt, wie z. B. ein Mikroskop, wo der Raum zwischen Objekt
und Objektiv zu klein ist., um dort einen afokalen Duplikator anordnen zu können, kann man den Aufbau
der F i g. 14 verwenden, der einen derartigen Wellenduplikator der afokalcn Bauart gemäß der
Erfindung darstellt. In diesem Fall findet man vier schräge Spiegel Λ/,; Λ/., (Umlenkspiegel) und /H1. /H2
(halbdiirchlässige Spiegel) wieder, die zwischen das
Objektiv O1 und das reelle Bild.!' des Objektes.-!,
das als reflektierend angenommen ist, geschaltet sind und das durch das Okularoc beobachtet wird; das
Objektiv O des Mikroskops bildet ein afokales
S>stem mit dem Zusatzobjcktiv O1. Die Lichtquelle S
ist punktförmig und wird ' durch den Spiegel /H1
symmetrisch in den Mittelpunkt des Bildes projiziert. L liter diesen Bedingungen wird das reelle 'Bild ^4'
des Objektes A im bildseitigen Brennpunkt des Objektivs O1 gebildet, und der Raum, der sich (in der
Zeichnung) rechts von O1 befindet, hat die gleichen
Eigenschaften wie der Raum, der sich vor dem Objekt A selbst befindet, außer was die Strahlenöffnung u
betrifft, die durch . .
sin lh =
sin U
g
mit g =
/1.
gegeben ist, wobei /, die Brennweile des Objektivs O1
und /die Brennweite des Objektivs O ist. Die punktförmige
Quelle S gestattet somit, in A' das Interferenzbild der Oberfläche A zu beobachten. Der Radius ρ
»5 des Bereichs des Intcrferenzbildes wird durch η = /tg«c'
gegeben, wobei / durch / '--- 2 w,, Λ/ο — /h„ m, bestimmt
ist und wo der Winkel uc' von der n-umerischen
Apertur μ,· des Objektivs durch die Gleichung
. Sin Ur
sin Uc
/1
^ZZ £7
abhängig ist.
Bei dem Aufbau der F i g. 14 verfügt man also über ein praktisches Mittel, um ein Interferenzmikroskop
für reflektierende Objekte herzustellen, in welchem der intcrfcromctrische Aufbau auf der Seite des-Okulars
angeordnet ist und bei welchem die Objektive leicht ausgewechselt werden können. Selbstverständlich
kann der hier als Beispiel angegebene Wellenduplikator durch jedes beliebige afokale Modell
ersetzt werden. .
Claims (8)
1. Interferometrischcs Verfahren zur Untersuchung von Objekten unter Verwendung einer
punktförmigen Lichtquelle sowie eines einem Kondensor zugeordneten Strahlenteilers und eines
dem Objektiv zugeordneten strahlcnvcreinigenden Elements, dadurch gekennzeichnet,
daß durch das aus Kondensor und Strahlenteiler bestehende optische System ein ordentliches Bild
der Lichtquelle am Ort des zu untersuchenden Objektes und ein vor dem ordentlichen Bild liegendes
außerordentliches Bild der Lichtquelle entxvorfen werden und daß durch das aus Objektiv
und Strahlenvereiniger·bestehende optische System
ein ordentliches Bild des ersten außerordentlichen Lichtquellenbildes und ein außerordentliches Bild
des ersten ordentlichen Lichtquellenbildes in der Austrittspupille des Objektivs entworfen werden,
während das Interferenzbild des Objektes in der Bildebene' des Objektivs entsteht.
2. Interferometer zur Durchführung des Verfahrens gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Strahlenteiler in an sich bekannter Weise einander gleich sind oder zumindest gleiche
Eigenschaften besitzen.
3. Interferometer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlenteiler mit ihrer
Wirkungsweise von den Eigenschaften der ihnen zugeordneten Linsen unabhängig sind.
4. Interferometer nach Anspruch 2 oder 3, da:
durch gekennzeichnet, daß die, Strahlenteiler in ihrer Wirkungsweise eng mit den ■ zugeordneten
Linsen verbunden sind. .,·/ ,;... ,
5. Interferometer nach einem; der Ansprüche 2
bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlenteiler kombinierte Spiegel wie in Interferometern
mit antiparallelen Wellen sind. .
6. Interferometer nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlenteiler
in an sich bekannter Weise aus einem Aufbau doppelbrechender Prismen bestehen.
7. Interferometer nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß ein einziger
Strahlenteiler nacheinander die Funktion des dem Kondensator zugeordneten Elements übernimmt.
8. Interferometer nach einem der Ansprüche 2 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Strahlenteiler
eine Anzahl teildurchlässiger Spiegel enthält.
Hierzu 4 Blatt Zeichnungen
009 645/48
Family
ID=
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