DE1403807C3 - pump - Google Patents

Description

2525th

Die Erfindung bezieht sich auf eine Pumpe mit einer Pumpenkammer, deren Wände zumindest teilweise aus elektrostriktivem Werkstoff bestehen, und mit Saug- und Druckventilen, über die ein Strömungsmittel abwechselnd in die Pumpenkammer eingesaugt wird. bzw. aus dieser ausgestoßen wird.The invention relates to a pump with a pump chamber, the walls of which at least partially made of electrostrictive material, and with suction and pressure valves through which a fluid is alternately sucked into the pump chamber. or is ejected from it.

Bei bekannten elektrostriktiven Pumpen dieser Art (USA.-Patentschrift 2 928 409) werden eine oder mehrere Membranen aus geschichteten elektrostriktiven Materialien verwendet, die Biegeschwingungen ausführen und somit eine Pumpwirkung ergeben. Die Pumpwirkung derartiger bekannter Pumpen ist jedoch gering, da die Volumenänderung des durch die elektrostriktive Membran begrenzten Raumes relativ gering ist.In known electrostrictive pumps of this type (US Pat. No. 2,928,409) one or multiple diaphragms made of layered electrostrictive materials used that suppress flexural vibrations execute and thus result in a pumping effect. However, the pumping action of such known pumps is small, since the change in volume of the space bounded by the electrostrictive membrane is relative is low.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einer Pumpe der eingangs genannten Art die Pumpwirkung zu vergrößern.The invention is based on the object of providing the pumping action in a pump of the type mentioned at the outset to enlarge.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Pumpenkammer von ineinandergesetzten Kugelschalen begrenzt ist, von denen zumindest eine aus einschichtigem elektrostriktivem Werkstoff besteht.This object is achieved in that the pump chamber of nested Ball shells is limited, at least one of which is made of a single-layer electrostrictive material consists.

Bei dieser Ausbildung der Pumpe wird auf Grund der kugelförmigen Gestalt die Längenänderung des elektrostriktiven Materials direkt ausgenutzt. Durch die radiale Ausdehnung und Zusammenziehung dieser Kugelschalen aus elektrostriktivem Material ergibt sich eine wesentlich größere Volumenänderung und damit eine erheblich verbesserte Pumpwirkung.With this design of the pump, the change in length of the is due to the spherical shape directly exploited electrostrictive material. Due to the radial expansion and contraction of these Ball shells made of electrostrictive material result in a significantly larger change in volume and thus a significantly improved pumping effect.

Es ist zwar bereits bekannt (USA.-Patentschrift 2 317 166), bei nach dem magnetostriktiven Prinzip arbeitenden Pumpen einen Zylinder mit Kugelkappen zu verwenden. In diesem Fall wird jedoch ein anderes Pumpprinzip verwendet, das auf der magnetostriktiven Wirkung und nicht auf der elektrostriktiven Wirkung beruht, wobei bei dieser magnetostriktiven Erregung weiterhin auf Grund der Form der Erregerspule eine Zylinderform und nicht eine Kugelform am zweckmäßigsten ist.It is already known (US Pat. No. 2,317,166), according to the magnetostrictive principle working pumps use a cylinder with spherical caps. In this case, however, a uses another pumping principle based on the magnetostrictive Effect and not based on the electrostrictive effect, with this magnetostrictive Excitation continues to be a cylindrical shape rather than a spherical shape due to the shape of the excitation coil is most appropriate.

Hine vorteilhafte Ausgestaltung des Anmeldungsgegenstandes ergibt sich dadurch, daß die Pumpenkammer von zwei ineinandergesetzten Kugelschalen aus einschichtigem elektrostriktivem Werkstoff begrenzt ist. Bei entsprechender gegenphasiger Erregung dieser beiden Kugelschalen ergibt sich eine weitere Vergrößerung der Volumenänderung der Pumpenkammer und damit der Pumpwirkung.Hine advantageous embodiment of the subject of the application results from the fact that the pump chamber consists of two nested spherical shells from single-layer electrostrictive material is limited. With appropriate antiphase excitation These two spherical shells result in a further increase in the change in volume of the pump chamber and thus the pumping effect.

Die Erfindung wird im folgenden an Hand von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen noch näher erläutert. In der Zeichnung zeigtThe invention is described below with reference to the exemplary embodiments shown in the drawing explained in more detail. In the drawing shows

F i g. 1 eine teilweise geschnittene Ansicht einer ersten Ausführungsform der Pumpe,F i g. 1 is a partially sectioned view of a first embodiment of the pump,

F i g. 2 einen Schnitt durch eine weitere Ausführungsform der Pumpe.F i g. 2 shows a section through a further embodiment of the pump.

Die Pumpenanordnung 10 nach F i g. 1 umfaßt eine Pumpe 12, die durch eine Leitung 14 mit einem Ventil 16 an einen Flüssigkeitstank 18 angeschlossen ist, in dem sich eine Flüssigkeit 20 befindet.The pump arrangement 10 according to FIG. 1 comprises a pump 12, which through a line 14 with a Valve 16 is connected to a liquid tank 18 in which a liquid 20 is located.

Die Pumpe 12 umfaßt eine äußere Kugelschale 22 aus Stahl oder einem anderen festen Werkstoff, die aus zwei über Flansche miteinander verbundenen Halbkugeln 24, 26 zusammengesetzt ist, die durch Bolzen 28 miteinander verbunden sind.The pump 12 comprises an outer spherical shell 22 made of steel or other solid material, the is composed of two hemispheres 24, 26 connected to one another via flanges, which through Bolts 28 are connected to one another.

Innerhalb der äußeren Kugelschale 22 befindet sich eine konzentrische innere Kugelschale 30, die von der inneren Oberfläche der Kugelschale 22 durch eine Vielzahl elastischer Abstandsscheiben 32 in festem Abstand gehalten wird und eine Pumpenkammer 33 bildet. Die Kugelschale 30 kann aus jedem piezoelektrischen oder elektrostriktiven Werkstoff geformt sein, wie z. B. aus Quarzkristall oder Bariumtitanat. Es wird Bariumtitanat bevorzugt, da die elektrostriktive Formänderung von Bariumtitanat unter den bekannten Werkstoffen am größten ist und sich Bariumtitanat leicht formen läßt.Within the outer spherical shell 22 there is a concentric inner spherical shell 30 which from the inner surface of the ball socket 22 through a plurality of elastic spacer washers 32 is kept at a fixed distance and forms a pump chamber 33. The spherical shell 30 can consist of any Piezoelectric or electrostrictive material be shaped, such as. B. made of quartz crystal or Barium titanate. Barium titanate is preferred because of the electrostrictive shape change of barium titanate is the largest of the known materials and is easy to shape barium titanate.

Die innere und äußere Oberfläche der inneren Kugelschale 30 ist mit Elektroden 34, 36 belegt, wobei die innere Elektrode 34 durch einen elektrischen Leiter 38, der durch die Wandungen der Kugelschalen 30 und 22 hindurchgeht, mit einem Pol eines Polwechselschalters verbunden ist. Die äußere Elektrode 36 ist durch einen elektrischen Leiter 42, der durch die äußere Kugelschale 22 hindurchgeht, mit dem anderen Pol des Polwechselschalters 40 verbunden. Dieser Polwechselschalter 40 kann entweder elektronisch oder durch einen Motor 44 od. dgl. betrieben werden und ist an eine geeignete Gleichspannungsquelle angeschlossen. The inner and outer surface of the inner spherical shell 30 is covered with electrodes 34, 36, wherein the inner electrode 34 by an electrical conductor 38, which passes through the walls of the spherical shells 30 and 22 passes through, is connected to one pole of a pole changeover switch. The outer electrode 36 is through an electrical conductor 42, which passes through the outer spherical shell 22, with the other pole of the pole change switch 40 connected. This pole change switch 40 can either be electronic Or operated by a motor 44 or the like and is connected to a suitable direct voltage source.

Die Durchführungen der Leiter 38 und 42 durch die Kugelschalen 30 und 22 sind durch Flüssigkeitsdichtungen 60 od. dgl. verschlossen, welche in die Öffnungen der Kugelschalen 30 und 22 so einpassen, daß die Flüssigkeit die Kugelschalenwandungen nicht durchdringen kann.The leadthroughs of the conductors 38 and 42 through the spherical shells 30 and 22 are or by liquid seals 60. The like. Closed, which in the Fit the openings of the spherical shells 30 and 22 so that the liquid does not touch the spherical shell walls can penetrate.

Die bekannten Eigenschaften der elektrostriktiven bzw. piezoelektrischen Stoffe und insbesondere des Bariumtitanats werden nun so ausgenutzt, daß die innere und äußere Oberfläche der Kugelschale 30 entgegengesetzt polarisiert wird. Die innere Oberfläche hat beispielsweise ein positives und die äußere Oberfläche ein negatives Vorzeichen. Diese Polarisierung ist allgemein bekannt und läßt sich durch verschiedene Maßnahmen erreichen. Ein derartiges Polarisierungsverfahren umfaßt beispielsweise das Einsetzen eines elektrostriktiven Werkstückes in einen Halter und das Tauchen des Werkstücks in ein Ölbad. Dank ihres Temperaturbereiches und ihres Spannungsflammpunktes eignen sich hierzu insbesondere Silikonöle. The known properties of electrostrictive or piezoelectric substances and in particular of Barium titanate are now used in such a way that the inner and outer surfaces of the spherical shell 30 are opposite being polarized. For example, the inner surface has a positive surface and the outer surface a negative sign. This polarization is well known and can be defined by various Achieve measures. Such a polarization method includes, for example, onset an electrostrictive workpiece in a holder and immersing the workpiece in an oil bath. thanks to Due to their temperature range and their tension flash point, silicone oils are particularly suitable for this purpose.

Das Öl wird dann über den Curie-Punkt des elek-The oil is then passed through the Curie point of the elec-

trostriktiven Werkstoffs erwärmt, normalerweise bis zu etwa 130⁰C. Dann wird eine Gleichspannung an das Werkstück angelegt, worauf dieses unter den Curie-Punkt abgekühlt wird und die Spannung gehalten wird, bis das Werkstück etwa 50° C erreicht.trostriktiven material is heated, usually up to about 130 ⁰ C. Then, a DC voltage was applied to the workpiece, then this is cooled below the Curie point and the voltage is maintained until the workpiece about 50 ° C reached.

Die Höhe der Spannung hängt von der Dicke des Werkstoffs ab. Es hat sich herausgestellt, daß 7,5 KV/cm eine optimale Spannung ist.The amount of stress depends on the thickness of the material. It turned out that 7.5 KV / cm is an optimal voltage.

Der Vorteil einer Polarisation unter Wärme besteht darin, daß eine kleinere Spannung benutzt werden kann und daß die Gefahr des Spannungsüberschlages über die Kanten geringer ist. Bei einer Kaltpolarisation würde die erforderliche Spannung ungefähr 32 KV/cm betragen.The advantage of polarization under heat is that a smaller voltage is used and that the risk of voltage flashover over the edges is lower. With a cold polarization the voltage required would be approximately 32 KV / cm.

Wenn eine auf die Oberfläche der Kugel 30 über den Schalter 40 und die Leiter 38 und 42 durch die Elektroden 34 und 36 einwirkende Gleichspannung periodisch wechselt, ändert sich die relative Polarisierung der Oberflächen nach Maßgabe der bekannten Eigenschaften dieser Werkstoffe, z. B. des Bariumtitanats, und verursacht so die abwechselnde radiale Ausdehnung und Zusammenziehung der Bariumtitanat-Kugelschale 30, während sich die Abmessungen der äußeren Kugelschale 22 nicht ändern. Auf Grund der abwechselnden Ausdehnung und Zusammenziehung der Kugelschale 30 wird die Pumpenkammer 33 zwischen der inneren und äußeren Kugelschale kleiner und größer.If one hits the surface of the ball 30 via the switch 40 and the conductors 38 and 42 through the Electrodes 34 and 36 acting DC voltage changes periodically, the relative polarization changes the surfaces according to the known properties of these materials, e.g. B. of barium titanate, and thus causes the alternating radial expansion and contraction of the barium titanate spherical shell 30, while the dimensions of the outer spherical shell 22 do not change. Due to the alternating expansion and contraction of the spherical shell 30, the pump chamber 33 between the inner and outer spherical shell smaller and larger.

Der untere Teil der äußeren Kugelschale 22 ist durch ein Saugventil 47 mit der Leitung 14 verbunden. Das Saugventil 47 steht mit der Pumpenkammer 33 in Verbindung und ermöglicht nur den Durchfluß der Flüssigkeit in diese Kammer 33 hinein. Am diametral gegenüberliegenden Punkt der Kugelschale 22 ist ein Druckventil 48 vorgesehen, durch welches die Flüssigkeit aus der Pumpenkammer 33 ausgestoßen wird, jedoch in diese Kammer nicht zurückfließen kann. Das Druckventil 48 kann wiederum an eine Flüssigkeitsleitung 49 angeschlossen sein.The lower part of the outer spherical shell 22 is connected to the line 14 by a suction valve 47. The suction valve 47 is in communication with the pump chamber 33 and only allows flow of the liquid into this chamber 33. At the diametrically opposite point of the spherical shell 22 a pressure valve 48 is provided through which the liquid is expelled from the pump chamber 33 but cannot flow back into this chamber. The pressure valve 48 can in turn to a Liquid line 49 be connected.

Bei einer Zusammenziehung der inneren Kugelschale 30 infolge einer geeigneten Änderungen der Polarität ihrer Oberfläche unter der Wirkung einer Gleichspannung wird eine Flüssigkeit in die Pumpenkammer 33 zwischen den beiden Kugelschalen durch das Saugventil 47 angesaugt. Wenn die Ladung der Elektroden 34 und 36 der Kugelschale 30 umgekehrt oder mindestens quantitativ in der entgegengesetzten Richtung geändert wird, kehrt sich der Zyklus um, die Kugelschale dehnt sich aus, das Saugventil 47 schließt sich, und Flüssigkeit wird aus der Pumpenkammer 33 durch das Druckventil 48 ausgestoßen. Da die an die Elektroden 34 und 36 angelegten Spannungen zyklisch durch den Polwechselschalter 40 geändert werden, wiederholt sich dieser Pumpvorgang mit einer Frequenz, die nur durch die Kenndaten des elektrostriktiven Materials begrenzt ist. Die Größe der Ausdehnung der Kugelschale 30 hängt von ihrer Resonanzfrequenz und von der Frequenz und Größe der den Elektroden 34 und 36 zugeführten Spannungen ab.With a contraction of the inner spherical shell 30 as a result of a suitable change in the The polarity of its surface under the action of a DC voltage causes a liquid to enter the pump chamber 33 sucked in between the two spherical shells through the suction valve 47. When the cargo of the Electrodes 34 and 36 of spherical shell 30 reversed or at least quantitatively in the opposite direction If direction is changed, the cycle is reversed, the spherical shell expands, the suction valve 47 closes and liquid is expelled from the pump chamber 33 through the pressure valve 48. As the voltages applied to electrodes 34 and 36 are cycled through the pole change switch 40 are changed, this pumping process is repeated at a frequency that is only determined by the characteristic data of the electrostrictive material is limited. The size of the expansion of the spherical shell 30 depends on their resonance frequency and on the frequency and size of the electrodes 34 and 36 supplied Tensions.

F i g. 2 zeigt eine weitere Ausführungsform der Pumpe, deren Pumpleistung doppelt so hoch ist wie die des Auführungsbeispiels nach Fig. 1, wie dies im folgenden erläutert wird.F i g. 2 shows a further embodiment of the pump, the pumping capacity of which is twice as high as that of the embodiment of FIG. 1, as shown in is explained below.

Die Ausführungsform nach Fig. 2 umfaßt eine Pumpe 12' mit einer äußeren Kugelschale 22', die aus zwei Halbkugeln 24' und 26' besteht, die durch Bolzen 28' zusammengeschraubt sind.The embodiment of Fig. 2 comprises a pump 12 'with an outer spherical shell 22', the consists of two hemispheres 24 'and 26' which are screwed together by bolts 28 '.

Die Pumpe 12' weist eine erste oder äußere Bariumtitanat-Kugelschale 50 auf, die konzentrisch innerhalb der Kugelschale 22' befestigt und hiervon durch eine Vielzahl von elastischen Abstandsscheiben 51 in Abstand gehalten wird. Zur leichteren Herstellung besteht die Kugelschale 50 aus zwei Halbkugeln, deren aufeinanderliegende Kanten durch ein geeignetes Klebemittel, z. B. einen Epoxydharzkleber oder einen anderen, in der Flüssigkeit 20The pump 12 'has a first or outer barium titanate ball socket 50, which is fastened concentrically within the spherical socket 22 'and from this by a plurality of elastic spacer washers 51 is kept at a distance. For ease of manufacture, the spherical shell 50 consists of two Hemispheres, the edges of which lie on top of one another, with a suitable adhesive, e.g. B. an epoxy resin adhesive or another, in the liquid 20

ίο unlösbaren Kleber zusammengeklebt sind. Die ganze innere Oberfläche der Kugelschale 50 ist mit einer Elektrode 52 und die ganze äußere Oberfläche mit einer Elektrode 54 belegt.ίο permanent glue is stuck together. The whole inner surface of the spherical shell 50 is with an electrode 52 and the whole outer surface with an electrode 54 occupied.

Innerhalb der Kugelschale 50 befindet sich eine elastisch befestigte konzentrische zweite Bariumtitanat-Kugelschale 56. die durch eine Anzahl von elastischen Abstandsstücken 58 ähnlich den Abstandsstücken 51 von der Kugelschale 50 in Abstand gehalten wird. Die innere und äußere Oberfläche der Kugelschale 56 weist Beläge mit Elektroden 60 bzw. 62 auf.Within the spherical shell 50 there is an elastically fastened concentric second barium titanate spherical shell 56. by a number of elastic spacers 58 similar to the spacers 51 is held at a distance from the spherical shell 50. The inner and outer surface of the spherical shell 56 has deposits with electrodes 60 and 62, respectively.

Unter Ausnutzung der elektrostriktiven Eigenschaften des Bariumtitanats werden die Kugelschalen 50 und 56 so erzeugt, daß die Innenflächen gleich polarisiert sind, d. h., beide Innenflächen können z. B. positiv sein, wenn die Außenflächen jeder Kugelschale negativ sind. The spherical shells are made using the electrostrictive properties of barium titanate 50 and 56 are generated so that the inner surfaces are polarized equally, i. i.e., both inner surfaces can e.g. B. be positive if the outer surfaces of each spherical shell are negative.

Die Innere Elektrode 60 der inneren Kugelschale 56 ist elektrisch durch Leiter 64 und 66 mit der äußeren Elektrode 54 der äußeren Kugelschale 50 und mit einem Pol des Polwechselschalters 40' verbunden, während die äußere Elektrode 62 der inneren Kugelschale 56 mit der inneren Elektrode 52 der äußeren Kugelschale 50 und durch einen Leiter 68 mit dem anderen Pol des Polwechselschalters 40' verbunden ist. Der Polwechselschalter 40' ist seinerseits an eine Gleichspannungsquelle angeschlossen. Der Schalter 40' in Fig. 2 entspricht in jeder Beziehung dem Schalter 40 nach F i g. 1 und ist mit einem Umschaltmotor 44' versehen.The inner electrode 60 of the inner spherical shell 56 is electrically connected by conductors 64 and 66 to the outer one Electrode 54 of outer spherical shell 50 and connected to one pole of pole changeover switch 40 ', while the outer electrode 62 of the inner spherical shell 56 with the inner electrode 52 of the outer Ball socket 50 and connected by a conductor 68 to the other pole of the pole change switch 40 ' is. The pole changeover switch 40 'is in turn connected to a DC voltage source. the Switch 40 'in FIG. 2 corresponds in every respect to switch 40 according to FIG. 1 and is with a changeover motor 44 'provided.

Aus der Art der Verbindung zwischen den Elektroden der äußeren und inneren Kugelschalen 50 und 56 ergibt sich, daß bei Anlegen einer positiven Gleichspannung an die innere Elektrode 60 der inneren Kugelschale 56 eine gleiche positive Spannung an die äußere Elektrode 54 der äußeren Kugelschale 50 angelegt wird. Gleichzeitig wird eine negative Spannung an die äußere Elektrode 62 der inneren Kugelschale 56 und der inneren Elektrode 52 der äußeren Kugelschale 50 zugeführt. Entsprechend dehnt sich eine Kugelschale aus, während sich die andere zusammenzieht, so daß die Pumpleistung bei der gleichen Spannung und Frequenz doppelt so hoch ist wie bei der Ausführungsform nach F i g. 1.From the type of connection between the electrodes of the outer and inner spherical shells 50 and 56 shows that when a positive DC voltage is applied to the inner electrode 60 of the inner Ball socket 56 an identical positive voltage to the outer electrode 54 of the outer ball socket 50 is created. At the same time, a negative voltage is applied to the outer electrode 62 of the inner spherical shell 56 and the inner electrode 52 of the outer Ball socket 50 supplied. Correspondingly, one spherical shell expands while the other contracts, so that the pump power is twice as high at the same voltage and frequency as in the embodiment according to FIG. 1.

Um die Flüssigkeit in die Pumpenkammer zwischen der äußeren und der inneren Bariumtitanat-Kugelschale 50 und 56 einzulassen, ist eine Rohrarmatur 70 vorgesehen, die durch die Gehäusekugelschale 22' und durch die Wandung der äußeren Bariumtitanat-Kugelschale hindurchläuft und einen Flüssigkeitsdurchfluß in die Pumpenkammer ergibt. Die Armatur 70 kann mit einem Flüssigkeitsbehälter 18 (Fig. 1) verbunden sein und ein Saugventil, wie das Saugventil 47 in Fig. 1, aufweisen. Die Flüssigkeit tritt aus der Pumpenkammer zwischen den beiden Bariumtitanat-Kugelschalen 50. 56 durch eine Rohrarmatur 72 auf, welche durch die äußere Bariunititanat-Kugelschale und die GehäusckugelsclKilc 22'To the liquid in the pump chamber between the outer and the inner barium titanate spherical shell Admit 50 and 56, a pipe fitting 70 is provided through the housing spherical shell 22 'and through the wall of the outer barium titanate spherical shell and a liquid flow results in the pump chamber. The fitting 70 can be provided with a liquid container 18 (Fig. 1) and a suction valve, such as the suction valve 47 in Fig. 1, have. The liquid exits the pump chamber between the two barium titanate spherical shells 50, 56 through a pipe fitting 72, which through the outer bari-unit titanate spherical shell and the housing cover ball 22 '

hindurchgeht und ihrerseits ein Druckventil, wie das Ventil 48 nach Fig. 1, aufweist, wo daß die Flüssigkeit nur aus der Pumpenkammer ausströmen kann.passes through and in turn a pressure valve, such as the valve 48 of Fig. 1, has where that the liquid can only flow out of the pump chamber.

Es sei bemerkt, daß der mechanische Polwechselschalter 40 auch durch eine elektronische Schaltung ersetzt werden kann, wodurch die Pumpe vollkommen ohne mechanisch bewegliche Teile arbeitet. Der Einsatz einer elektronischen Schaltung in Verbindung mit den Ausführungen nach den F i g. 1 und 2 führt zu einer Pumpenkonstruktion, die überhaupt keine beweglichen Teile umfaßt und daher vollkommen geräuschlos läuft und sich insbesondere für Unterseeboote od. dgl. eignet, wo der Geräuschpegel auf ein Mindestmaß herabgesetzt werden muß.It should be noted that the mechanical pole change switch 40 by an electronic circuit can be replaced, so that the pump works without any mechanically moving parts. the Use of an electronic circuit in conjunction with the designs according to FIGS. 1 and 2 results in a pump design that has no moving parts at all and is therefore perfect runs noiselessly and is particularly suitable for submarines or the like, where the noise level increases must be reduced to a minimum.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims (2)

Patentansprüche:Patent claims: 1. Pumpe mit einer Pumpenkammer, deren Wände zumindest teilweise aus elektrostriktivem Werkstoff bestehen, und mit Saug- und Druckventilen, über die ein Strömungsmittel abwechselnd in die Pumpenkammer eingesaugt bzw. aus dieser ausgestoßen wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Pumpenkammer (33) von ineinandergesetzten Kugelschalen (22, 30; 50, 56) begrenzt ist, von denen zumindest eine (30) aus einschichtigem elektrostriktivem Werkstoff besteht.1. Pump with a pump chamber, the walls of which are at least partially made of electrostrictive Material consist, and with suction and pressure valves, through which a fluid alternately is sucked into or ejected from the pump chamber, characterized in that that the pump chamber (33) is bounded by nested spherical shells (22, 30; 50, 56), of which at least one (30) consists of a single-layer electrostrictive material. 2. Pumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Pumpenkammer von zwei ineinandergesetzten Kugelschalen (50, 56) aus einschichtigem elektrostriktivem Werkstoff begrenzt ist.2. Pump according to claim 1, characterized in that the pump chamber of two nested Ball shells (50, 56) made of a single-layer electrostrictive material is limited.