DE1155611B - Process for making circular divisions - Google Patents

Process for making circular divisions

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DE1155611B
DE1155611B DEA28775A DEA0028775A DE1155611B DE 1155611 B DE1155611 B DE 1155611B DE A28775 A DEA28775 A DE A28775A DE A0028775 A DEA0028775 A DE A0028775A DE 1155611 B DE1155611 B DE 1155611B
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Franz Theiler
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Continental Elektronidustrie AG
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Continental Elektronidustrie AG
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/2002Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image
    • G03F7/201Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image characterised by an oblique exposure; characterised by the use of plural sources; characterised by the rotation of the optical device; characterised by a relative movement of the optical device, the light source, the sensitive system or the mask

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Description

Verfahren zur Herstellung von Kreisteilungen Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung fein unterteilter Kreisteilungen, unter Verwendung einer Teileinrichtung, bei der der Träger der Teilung relativ zur Markiervorrichtung der Teilungseinrichtung absatzweise und jeweils um ein ganzzahliges Vielfaches des kleinsten Teilungsintervalls verdreht wird und die Unterteilungsmarken der Kreisteilung nacheinander bei ruhendem Teilungsträger auf diesen aufgebracht werden.Process for the production of circular divisions Subject matter of the invention is a method of making finely divided circular divisions, using a dividing device in which the carrier of the division is relative to the marking device the dividing device intermittently and in each case by an integral multiple of the smallest division interval is rotated and the subdivision marks of the circular division be applied to this one after the other with the graduation carrier at rest.

Es ist ein Verfahren dieser Art bekannt, welches der Beseitigung des sogenannten periodischen Fehlers dient. Dieser periodische Fehler hat seine Ursache in der zum Aufbringen der Teilstriche der Kreisteilung auf den Kreisteilungsträger verwendeten Teilmaschine, deren Räderwerk mit periodisch sich auswirkenden Fehlern behaftet ist. Er kann dadurch reduziert werden, daß auf dem Teilungsträger mindestens zwei konzentrische Kreisteilungen aufgebracht werden, wobei die einzelnen Kreisteilungen in der Teilungsebene um das Teilungszentrum gegeneinander verdreht sind und in ihrer Gesamtheit die komplette Kreisteilung ergeben. Bei jeder Einzelteilung ist der Abstand der Intervalle ein ganzzahliges Vielfaches des kleinsten Teilungsintervalls der kompletten Kreisteilung. Es werden also die Einzelteilungen so ineinandergeschachtelt, daß beispielsweise ihre jeweiligen Anfangspunkte um bestimmte Winkel gegeneinander versetzt sind. Dann weist die gesamte Kreisteilung im Mittel einen kleineren periodischen Fehler auf als jede Einzelteilung. Es muß also für jede Ablesung der arithmetische Mittelwert entsprechend mehrerer benachbarter Teilstriche gebildet werden. Zur Herstellung einer solchen Kreisteilung wird zunächst eine Einzelteilung erzeugt, bei der das Teilungsintervall ein ganzzahliges Vielfaches des kleinsten Teilungsintervalls der Gesamtteilung ist, bei der aber dieses Vielfache als Teiler in der Gesamtheit aller kleinsten Teilungsintervalle enthalten sein muß, d. h. bei der nach einer Umdrehung der letzte und der erste Teilstrich zusammenfällt. Anschließend wird dann der Kreisteilungsträger in bezug auf die Teilmaschinenachse um einen bestimmten Winkel gedreht, und in dieser neuen Aufspannung wird die zweite Teilung in analoger Weise aufgebracht. Dieser Vorgang wird entsprechend mehrmals wiederholt. Der Nachteil dieses Verfahrens ist darin zu sehen, daß nach jeder Herstellung einer Einzelteilung der Teilungsträger umgespannt werden muß. Die Erfahrung lehrt, daß der Teilungsprozeß keinesfalls durch zusätzlich eingeschaltete Arbeitsprozesse unterbrochen werden darf. Daher können Veränderungen und kleine Verschiebungen in den Lagern auftreten, welche die Qualität einer Kreisteilung merklich reduzieren. Es ist dabei zu bedenken, daß bei den heutzutage üblichen Kreisteilungen die Genauigkeiten Bruchteile von 1/looo mm betragen müssen.A method of this type is known which eliminates the so-called periodic error is used. This periodic error has its cause in the for applying the tick marks of the circular division on the circular division carrier used submachine, whose gear train with periodically affecting errors is afflicted. It can be reduced by having at least two concentric circular divisions are applied, the individual circular divisions are twisted against each other in the division plane around the division center and in their Totality result in the complete circle division. The distance is for each individual division of the intervals is an integral multiple of the smallest division interval of the complete circular division. So the individual divisions are nested in one another, that, for example, their respective starting points relative to each other at certain angles are offset. Then the entire circle division has a smaller periodic on average Error on than any item division. So it must be the arithmetic for every reading Mean value can be formed according to several adjacent tick marks. For the production With such a circular division, an individual division is first generated in which the Division interval an integer multiple of the smallest division interval of the Total division is, in which, however, this multiple as a divisor in the totality of all the smallest division intervals must be included, d. H. at the one turn the last and the first graduation coincide. Then the circle division carrier is then rotated with respect to the sub-machine axis by a certain angle, and in this The second division is applied in an analogous manner after the new clamping. This The process is repeated several times accordingly. The disadvantage of this procedure is to see that after each production of an individual division of the graduation carrier must be reconnected. Experience teaches that the process of division is by no means through additionally activated work processes may be interrupted. Hence can Changes and small shifts in the bearings occur, which affect the quality noticeably reduce a circle division. It should be borne in mind that these days usual circular divisions the accuracies must be fractions of 1 / looo mm.

Die Aufgabe der Erfindung bestand nun darin, nicht die periodischen, sondern den zufälligen Fehler bei der Herstellung von Kreisteilungen zu vermindern. Es ist eine Erfahrungstatsache, daß besonders fein unterteilte Teilungen, die auf einer Vorrichtung hergestellt werden, die bei grob geteilten Maßstäben gute Teilungen liefert, eine Fehlerverteilung aufweisen, die sich hinsichtlich ihrer Qualität von der der groben Teilung im negativen Sinne unterscheiden. Diesem Befund liegt die Erkenntnis zugrunde, daß das Führungsvermögen der Lager der Teilvorrichtungen bei kleinen Verdrehungen des Teilungsträgers nicht genügend zur Wirkung kommt. Der Ölfilm in den Lagern wird bei mehreren sehr kleinen Verdrehungen der Achse wesentlich anders beansprucht als bei größeren. Bei kleinen Verdrehungen können sich zufällige Verschiebungen des Ölfilms nicht genügend ausgleichen. Auf diese Weise treten geringe Achsverlagerungen ein, die zu zufälligen Fehlern in der Kreisteilung führen. Dieser Umstand störte in der Vergangenheit weniger, denn der Bedarf an solchen fein unterteilten Kreisteilungen war gering. Lediglich bei astronomischen Instrumenten wurden Teilungen verwendet, die beispielsweise eine 1"/1.- oder auch eine ","",-Teilung aufwiesen. Bei diesen Kreisen hat man die Fehlerverteilung bestimmt. Diese Bestimmungsverfahren sind aber umständlich und sehr zeitraubend. In neuerer Zeit nun wird der Wunsch nach fein unterteilten Kreisteilungen mit weitgehender Fehlerfreiheit immer größer. Darüber hinaus haben sich auch Kreisteilungen eingeführt, die durch objektiv wirksame Hilfsmittel abgelesen werden können. Diesen Teilungen liegen bekannte Dualzahl- oder ähnliche Zahlensysteme zugrunde, die durch elektronische Zählwerke in einfacher Weise abtastbar sind. Teilungen dieser Art weisen geometrische Ja-Nein-Konfigurationen auf, die bei einer bekannten Ausführungsform (vgl. Bell Laboratories Record, April 1954, S. 126 bis 131) aus auf dem Träger der Teilung auf konzentrischen Kreisen angeordneten Teilungsmarken bestehen. Die Marken erstrecken sich über mit wachsendem Radius abnehmende Winkelbereiche, wobei ihre Anzahl nach einer Potenz der Grundzahl des gerade verwendeten Zahlensystems zunimmt. Die Anzahl der auf dem äußeren Umfang des Kreises anzubringenden Marken ist also außerordentlich groß und die Intervallbreite extrem klein. Es besteht somit auch zur Anfertigung solcher Teilungen das Bedürfnis nach einem einwandfrei wirkenden Verfahren, das es gestattet eine große Anzahl von Teilungsmarkierungen auf dem Träger der Teilung so anzubringen, daß die einzelnen Teilstriche möglichst frei von zufälligen Fehlern sind.The object of the invention was now to not the periodic, but rather to reduce the accidental error in the creation of circular divisions. It is a fact of experience that particularly finely subdivided divisions that on a device can be produced, the good divisions with roughly divided scales supplies, have an error distribution which, in terms of their quality, differs from that of the coarse division in the negative sense. This finding lies in the Recognition that the management ability of the stock of the sub-fixtures at small rotations of the graduation carrier are not sufficiently effective. The oil film in the bearings, the axis becomes significantly different if there are several very small rotations stressed than with larger ones. In the case of small rotations, random displacements can occur of the oil film not sufficiently compensate. In this way, slight misalignments occur which lead to random errors in the circle division. This fact bothered In the past less because of the need for such finely divided circular divisions was low. Divisions were only used for astronomical instruments, which, for example, had a 1 "/1.- or also a", "", - division. With these The error distribution has been determined in circles. However, these determination methods are cumbersome and very time consuming. In recent times now the desire for fine Subdivided circles with almost no errors greater. In addition, district divisions have also been introduced, which are objectively effective Aids can be read. These divisions are well-known binary numbers or similar number systems based on electronic counters in simple Way are scannable. Partitions of this type have yes-no geometric configurations on, which in a known embodiment (see. Bell Laboratories Record, April 1954, p. 126 to 131) from on the support of the graduation on concentric circles arranged division marks exist. The brands stretch over with growing Radius decreasing angular ranges, their number after a power of the basic number of the number system currently used increases. The number of on the outer perimeter The marks to be applied to the circle are therefore extremely large and the width of the interval extremely small. There is therefore also a need to produce such divisions after a properly working process that allows a large number of To attach division markings on the carrier of the division so that the individual Tick marks are as free as possible from random errors.

Gemäß der Erfindung geschieht das dadurch, daß der Teilungsträger mehrmals um seine Achse gedreht wird, wobei das ganzzahlige Vielfache des kleinsten Teilungsintervalls teilerfremd zur Gesamtzahl der in der Kreisteilung enthaltenen kleinsten Teilungsintervalle ist, so daß sich an jede Umdrehung die nächstfolgende kontinuierlich, d. h. ohne einen zusätzlichen dazwischengeschalteten Arbeitsgang anschließen kann.According to the invention, this is done in that the graduation carrier is rotated several times around its axis, whereby the integer multiple of the smallest Division interval prime to the total number of those contained in the circular division smallest division intervals, so that at each revolution the next following continuous, d. H. without an additional work step in between can connect.

Es werde angenommen, daß eine 360°-Teilung in Intervalle des Winkels 1°/8o zu unterteilen ist. Nach den älteren bekannten Verfahren wurden die einzelnen Teilungsmarken Strich für Strich nacheinander in ihrer richtigen Reihenfolge auf dem Träger der Teilung aufgebacht. Bei derartig kleinen Winkeln kommt aber das Führungsvermögen der Drehachsen bzw. der Lagerungen nicht genügend zur Wirkung. Wird nun die Teilung dadurch hergestellt, daß die Verdrehung nicht um 1°/3o erfolgt, sondern um 81°/8o- also um den 31mal größeren Betrag als bisher, so wird der erwähnte Fehlereinfiuß ausgeschaltet. Nach 31 Umläufen des Trägers entsteht dann eine vollständige Teilung, die sämtliche Teilstriche enthält. Das Verfahren ist natürlich bei jeder beliebigen Teilung anwendbar, also sowohl bei Altgrad- als auch bei Neugradteilungen (360° bzw. 400°). Es bereitet auch keinerlei Schwierigkeiten, größere Teilungsintervalle durch Teilstriche unterschiedlicher Strichlänge zu kennzeichnen; denn für das Aufbringen dieser Teilstriche ist der Abstand zweier Teilungsmarken gleicher Strichlänge ebenfalls konstant. Selbstverständlich ist es auch gleichgültig, ob der Teilungsträger unter der ruhenden Markierungsvorrichtung gedreht wird oder umgekehrt. Auch ist der Erfindungsvorschlag nicht an die Verwendung einer besonderen Teileinrichtung, beispielsweise einer mit mechanisch wirksamer Markiervorrichtung, gebunden. So kann auch der Teilstrich auf fotografischem Wege durch Projektion auf eine auf dem Träger vorhandene lichtempfindliche Schicht aufgebracht werden. über die Größe desjenigen Betrages, um den die Verdrehung erfolgen muß, läßt sich allgemeingültig nichts aussagen. Es kommt hierbei auf die individuelle Ausbildung der verwendeten Teileinrichtung und auf die Feinheit der herzustellenden Kreisteilung an.It is assumed that a 360 ° division in intervals of the angle 1 ° / 8o is to be subdivided. According to the older known procedures, the individual Graduation marks, line by line, one after the other in their correct order the bearer of the division brought up. At such small angles, however, the leadership comes the axes of rotation or the bearings are not sufficiently effective. Will now be the division produced by the fact that the rotation does not take place by 1 ° / 3o, but by 81 ° / 8o- so the amount mentioned is 31 times larger than before switched off. After 31 revolutions of the carrier, a complete division occurs, which contains all tick marks. The procedure is, of course, with any one Division can be used, i.e. for both degrees and gradations (360 ° or 400 °). There is also no problem with larger intervals of division to be identified by tick marks of different length; because for applying these graduation marks are also the distance between two division marks of the same line length constant. Of course, it is also unimportant whether the graduation carrier is under the stationary marking device is rotated or vice versa. Also is the inventive proposal not to the use of a special sub-device, for example one with mechanically effective marking device, bound. So can the graduation photographic way by projection onto a light-sensitive material present on the support Layer are applied. about the size of the amount by which the rotation must take place, nothing can be said in general terms. It depends on the individual training of the partial device used and the fineness of the the circular division to be made.

Claims (1)

PATENTANSPRUCH: Verfahren zur Herstellung fein unterteilter Kreisteilungen unter Verwendung einer Teileinrichtung, bei der der Teilungsträger relativ zur Markiervorrichtung der Teileinrichtung absatzweise und jeweils um ein ganzzahliges Vielfaches des kleinsten Teilungsintervalls verdreht wird und die Unterteilungsmarken der Kreisteilung nacheinander, bei ruhendem Teilungsträger auf diesem aufgebracht werden, dadurch gekennzeichnet, daß der Teilungsträger mehrmals um seine Achse gedreht wird, wobei das ganzzahlige Vielfache des kleinsten Teilungsintervalls nicht als Teiler in der Gesamtzahl der in der Kreisteilung enthaltenen kleinsten Teilungsintervalle enthalten ist, so daß sich an jede Umdrehung die nächstfolgende kontinuierlich, d. h. ohne einen zusätzlichen dazwischengeschalteten Arbeitsgang anschließen kann. In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Auslegeschrift Nr. 1089 557; schweizerische Patentschrift Nr. 278 986.PATENT CLAIM: A process for producing finely divided circle divisions by using a part of device in which the graduation carrier batchwise relative to the marking device of the dividing means and rotated by an integer multiple of the smallest pitch interval, respectively, and the division marks of the circular scale are sequentially applied to this at rest graduation support, characterized characterized in that the graduation carrier is rotated several times around its axis, whereby the integer multiple of the smallest graduation interval is not included as a divisor in the total number of the smallest graduation intervals contained in the circular graduation, so that the next following rotation is continuous, i.e. without an additional intervening Can connect operation. Documents considered: German Auslegeschrift No. 1089 557; Swiss patent specification No. 278 986.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH278986A (en) * 1950-03-09 1951-11-15 Kern & Co Ag Angle measuring instrument.
DE1089557B (en) * 1955-07-28 1960-09-22 Zeiss Carl Fa Process for the production of scales

Patent Citations (2)

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