DE1153909B - Vorrichtung zum Messen von Verstellwegen - Google Patents

Vorrichtung zum Messen von Verstellwegen

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DE1153909B
DE1153909B DESCH19475A DESC019475A DE1153909B DE 1153909 B DE1153909 B DE 1153909B DE SCH19475 A DESCH19475 A DE SCH19475A DE SC019475 A DESC019475 A DE SC019475A DE 1153909 B DE1153909 B DE 1153909B
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Germany
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light
optics
adjustment
photoelectric device
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DESCH19475A
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Dipl-Phys Andreas Soeder
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Carl Schenck AG
Original Assignee
Carl Schenck Maschinenfabrik GmbH
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03MCODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
    • H03M1/00Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36Forming the light into pulses
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    • HELECTRICITY
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Description

  • Vorrichtung zum Messen vonVerstellwegen Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Vermessen von Stellwegen durch Abtasten zweier relativ zueinander bewegter, gleichartiger optischer Raster mittels einer die Stellwege in eine entsprechende Anzahl von elektrischen Zählimpulsen umwandelnden fotoelektrischen Vorrichtung.
  • Um Verstellwege messen und registrieren zu können, erforderlichenfalls auch in druckfähige Zahlenfolgen zu verwandeln, ist es schon verschiedentiich vorgeschlagen worden, die Verstellwege in Form einer entsprechenden Relativbewegung gleichartiger optischer Raster abzutasten und die hierbei auftretenden Lichtimpulse mittels einer foto elektrischen Vorrichtung in eine entsprechende Anzahl von elektrischen Zählimpulsen umzuwandeln. Die Zählimpulse können sodann, dem gewünschten Zweck entsprechend, in an sich bekannter Weise weiterverarbeitet werden.
  • Bei einer bekannten Vorrichtung sind zwei rasterartige Gitter parallel zueinander angeordnet. Ein durch beide Gitter verlaufender Lichtstrahl wird bei einer Relativbewegung der beiden Gitter entsprechend dem zu messenden Verstellweg durch Moirémuster moduliert. Hierbei entstehen zyklische Intensitätsschwankungen, wobei ein kompletter Zyklus einer Gitterteilung entspricht. Durch geeignete Anordnung von zwei Fotozellen wird der Verstellweg durch Zählung der Zyklen ermittelt. Dieser Vorrichtung sowohl als auch anderen bekannten Vorrichtungen, bei denen ebenfalls die durch die Verstellbewegung erzeugten Lichtimpulse lediglich an einer einzigen Stelle erfaßt werden, haftet der wesentliche Nachteil an, daß der Feinheit der Teilung des Rasters eine Minimalgrenze gesetzt ist, bei deren Unterschreiten die Intensität des durch einen einzelnen Teilintervall des Rasters hindurchtretenden Lichtes wegen der entsprechend schmalen zu beaufschlagenden Fläche der fotoelektrischen Vorrichtung zu gering wird. Die Verwendung einer stärkeren Lichtquelle hätte jedoch in den meisten Fällen eine zu hohe thermische Belastung des Rasters zur Folge, die zu dessen baldiger Zerstörung führen und damit Meßfehler verursachen würde.
  • Zudem wächst mit einer Verfeinerung der Rasterteilung die Gefahr, daß die fotoelektrische Vorrichtung nicht nur von dem gerade zu zählenden Teilungsintervall des Rasters, sondern auch von benachbarten Intervallen beaufschlagt würde, wodurch ebenfalls eine Verfälschung der Messung entsteht.
  • Es ist weiterhin bereits vorgeschlagen worden, durch die Relativbewegung zweier Raster verschiedener Teilung Überlagerungsstreifen zu erzeugen, die als Maß für den Verstellweg dienen.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, unter Vermeidung der Nachteile bekannter Vorrichtungen die Messung auch geringer Verstellwege und die Verwendung sehr feiner Rasterteilungen zu ermöglichen und hierbei Lichtimpule genügender Intensität und eine fehlerfreie Erfassung derselben zu gewährleisten.
  • Dies wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß für den einem Teilungsintervall der Raster entsprechenden Stellweg eine Vielzahl von Lichtimpulsen erzeugt wird und daß diese über an sich bekannte optische Mittel zu einem einzigen, der foto elektrischen Vorrichtung zuzuführenden Lichtimpuls derart zusammengefaßt werden, daß die Intensität desselben der Summe der Intensitäten der Vielzahl der einzelnen Impulse entspricht. Hierdurch wird eine wesentlich bessere Lichtausbeute erreicht, da die fotoelektrische Vorrichtung mit der Intensität einer großen Zahl von Lichtimpulsen gleichzeitig beaufschlagt wird. Man kommt daher mit einer verhältnismäßig geringwertigen Lichtquelle aus, so daß der Raster thermisch nicht überbeansprucht wird und dadurch eine längere Lebensdauer erhält. Außerdem kann die fotoelektrische Vorrichtung beinahe an beliebiger Stelle hinter dem Raster angeordnet werden. Es sind keine besonderen Abdeckungsmittel nötig, die bisher erforderlich waren, um eine Beaufschlagung der fotoelektrischen Vorrichtung durch dem gerade gezählten Teilungsintervall benachbarte Intervalle zu verhindern.
  • Außerdem erübrigt sich bei der Vorrichtung nach der Erfindung die zur Ermöglichung der bisherigen Einzelabtastung erforderliche außerordentliche Präzisionsarbeit bei der Herstellung der Lagerung der fotoelektrischen Vorrichtung.
  • Die Vorrichtung nach der Erfindung kann gemäß weiterer Ausgestaltung des Erfindungsgedankens so beschaffen sein, daß ein ortsfester Raster und ein dem Verstellweg entsprechend bewegter Raster, dessen Teilung mit der Teilung des ortsfesten Rasters übereinstimmt, im Strahlengang einer aus einer Lichtquelle und einer foto elektrischen Vorrichtung bebestehenden Strahlenfalle angeordnet sind. Bei einer solchen Anordnung, bei der vorteilhafterweise ein paralleles Strahlenbündel verwendet wird, ist es zur Vermeidung von Fehlern durch Lichtstreuung zweckmäßig, den Abstand zwischen festem und beweglichem Raster möglichst klein zu halten. Bei einem größeren Abstand zwischen beiden oder wenn der eine Raster größer oder kleiner bemessen sein soll als der andere kann nach der Erfindung der eine Raster mittels einer geeigneten Optik auf dem anderen so abgebildet werden, daß möglichst gleiche Größenverhältnisse bestehen. Die Lichtimpulse, die bei der vom Verstellweg abhängigen Relativbewegung der beiden Raster zueinander entstehen, fallen wieder auf eine an geeigneter Stelle angeordnete fotoelektrische Vorrichtung, in welcher sie zur Zählung und Registrierung in elektrische Zählimpulse verwandelt werden.
  • Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung können sowohl vom Licht durchdrungene Raster mit transparenten Hell- und lichtundurchlässigen Dunkelmerkmalen als auch Raster mit das Licht reflektierenden Hell- und das Licht absorbierenden Dunkelmerkmalen oder auch Kombinationen beider Verwendung finden.
  • Um die technischen, unter Umständen nicht leicht zu verwirklichenden beiden Raster, deren Teilungen außerordentlich genau übereinstimmen und die von einem genau parallelen Strahlenbündel durchsetzt sein müssen, zu vermeiden, kann gemäß weiterer Ausgestaltung des Erfindungsgedankens die Vorrichtung so beschaffen sein, daß ein ortsfester Raster mittels einer dem Verstellweg entsprechend verstellbaren Optik auf sich selbst so abgebildet wird, daß möglichst gleiche Größenverhältnisse bestehen.
  • Einem weiteren Merkmal der Erfindung entsprechend, wird die eine von zwei sich längs der Verstellrichtung erstreckenden Hälften eines entsprechend der Verstellbewegung verstellbaren Rasters mittels einer ortsfesten Reflexionsoptik spiegelbildlich auf der anderen Hälfte so abgebildet, daß möglichst gleiche Größenverhältnisse bestehen. Auch diese die Raster aufeinander abbildenden Vorrichtungen können sowohl nach dem Lichtdurchdringungs- als auch nach dem Reflexionsprinzip aufgebaut sein.
  • Weitere Merkmale der Erfindung sind den Patentansprüchen zu entnehmen.
  • Die Erfindung ist an Hand der Zeichnungen an Ausführungsbeispielen erläutert.
  • Abb. 1 stellt eine aus der Lichtquelle 3, der Optik 4, der Optik 5 und der fotoelektrischen Vorrichtung 6 bestehende Strahlenfalle dar. Die Optiken 4 und 5 erzeugen ein genau paralleles Strahlenbündel.
  • In diesem Strahlengang befinden sich zwei mit zwei Hell-Dunkel-Merkmalen versehene Raster, und zwar ein ortsfester Raster 1 und ein entsprechend dem Verstellweg verstellbarer Raster 2. Die Teilungen stimmen bei beiden Rastern möglichst genau überein. Wird der Raster 2 relativ zum Raster 1 bewegt, dann ist in zeitlicher Folge der Lichtdurchgang durch beide abwechselnd frei und unterbrochen. Die Abb. 1 zeigt den Augenblick, in welchem der Lichtdurchgang frei ist. Man erkennt, daß die Hälfte des von der Optik 4 kommenden Lichtstromes die beiden Raster passiert und von der Optik 5 auf die fotoelektrische Vorrichtung 6 geworfen wird. Einen Augenblick später werden helle und dunkle Merkmale versetzt zueinander angeordnet sein, wodurch das Gesamtstrahlenbündel abgesperrt wird. Es entstehen also bei der Bewegung des Rasters 2 relativ zum Raster 1 Lichtimpulse, die aus einer Vielzahl von Hellmerkmalen des Rasters 2 kommen und die von der Optik 5 gesammelt und auf die fotoelektrische Vorrichtung 6 geworfen werden. Bei der Bewegung des Rasters 2 wechseln sich Lichtdurchtrittsaugenblicke und Lichtsperraugenblicke ab. Die Lichtdurch trittsaugenblicke werden von der fotoelektrischen Vorrichtung 6 in elektrische Zählimpulse verwandelt, die in einem elektronischen Zählwerk 7 gezählt und, falls erforderlich, in beliebiger Weise weiterverarbeitet werden können.
  • Abb. 2 zeigt eine Vorrichtung nach der Erfindung, die mit nur einem Raster arbeitet. Das von der Lichtquelle 3 stammende Licht tritt durch die Optik 4, wird von dem Spiegel 8 reflektiert und zum ersten Mal durch den Raster 1 geschickt. Anschließend erfolgt eine weitere Reflexion des Lichtstrahles am Spiegel 9, der so gekrümmt ist, daß der Raster auf sich selbst so abgebildet wird, daß möglichst gleiche Größenverhältnisse zwischen beiden Rastern, d. h. zwischen Raster und Bild, bestehen. Der Spiegel 9 ist entsprechend dem Verstellweg drehbar angeordnet.
  • Bei einer bestimmten, dem jeweiligen Verstellweg entsprechenden Drehung des Spiegels 9 wird daher die hinter dem Raster angeordnete Optik 5 mit einer zeitlichen Folge von Lichtimpulsen beaufschlagt, deren Anzahl wiederum ein Kriterium für den Verstellweg ist. Diese Lichtimpulse werden auf die fotoelektrische Vorrichtung 6 geworfen, die sie in elektrische Zählimpulse verwandelt und auf zuvor beschriebene Weise einem Zählwerk zuleitet.
  • Abb. 3 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung. Das von der Lichtquelle 3 kommende Licht wird von der Optik 4 durch die obere Hälfte eines bandförmigen Rasters 1 geworfen. Dieser wird entsprechend dem Verstellweg verstellt. Anschließend passiert das Strahlenbündel die Optik 10 und wird von einem dahinter angeordneten Spiegel 11 reflektiert, passiert zum zweiten Mal die Optik 10 und wird auf die untere Hälfte des Rasters 1 geworfen und durch geeignete Bemessung und Lage der - erforderlichenfalls verschiebar angeordneten - Optik 10 dort abgebildet. Statt der Optik 10 mit dahinter angeordneten Spiegel 11 kann auch eine Optik Anwendung finden, deren rückwärtige Fläche metallisiert ist.
  • Hinter der unteren Hälfte des Rasters ist wieder eine Optik 5 angeordnet, die genau wie bei den zuvor beschriebenen Beispielen die Lichtimpulse auf die fotoelektrische Vorrichtung 6 wirft. Die Lichtbündel der oberen und unteren Hälfte des Rasters 1 können durch eine Blende 12 gegeneinander abgeschirmt sein.
  • Hierbei ist besonders zu beachten, daß sich bei einer Bewegung des Rasters in der einen Richtung sein Bild mit derselben Geschwindigkeit in entgegengesetzter Richtung bewegt. Die Relativverschiebung zwischen Raster und Bild ist also bei gegebenem Verstellweg doppelt so groß wie der vom Raster zurückgelegte Weg. Daraus ergibt sich, daß der Raster nur halb so viele Hell-Dunkel-Merkmale pro Längeneinheit haben muß. als man zu zählen wünscht. Soweit die Anzeigegenauigkeit nur von der Feinheit der Teilung des Rasters abhängig ist, kann hierdurch eine Verdoppelung der Anzeigegenauigkeit erreicht werden, worin ein weiterer Vorteil der Erfindung liegt.
  • P.ATENTANSPRÜCHE 1. Vorrichtung zum Messen von Versteliwegen durch Abtasten zweier relativ zueinander bewegter, gleichartiger optischer Raster mittels einer die Stellwege in eine entsprechende Anzahl von elektrischen Zählimpulsen umwandelnden fotoelektrischen Vorrichtung, dadurch gekennzeichnet, daß für den einem Teilungsintervall der Raster entsprechenden Stellweg eine Vielzahl von Lichtimpulsen erzeugt wird und daß diese über an sich bekannte optische Mittel zu einem einzigen, der fotoelektrischen Vorrichtung zuzuführenden Lichtimpuls derart zusammengefaßt werden, daß die Intensität desselben der Summe der Intensitäten der Vielzahl der Einzelimpulse entspricht.

Claims (1)

  1. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet. daß der eine Raster (1) ortsfest und der andere Raster (2) entsprechend dem Verstellweg beweglich im Strahlengang einer an sich bekannen aus Lichtquelle (3, 4) und fotoelektrischer Einrichtung (5, 6) bestehenden Strahlenfalle angeordnet ist.
    3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in an sich bekannter Weise der eine Raster durch optische Mittel auf dem anderen so abgebildet wird, daß möglichst gleiche Größenverhältnisse zwischen Raster und Abbildung bestehen.
    4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Raster (1) mittels einer dem Verstellweg entsprechend verstellten Optik (9) auf sich selbst so abgebildet wird, daß möglichst gleiche Größenverhältnisse zwischen Raster und Bild bestehen.
    5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die eine von zwei sich längs der Verstellrichtung erstreckenden Hälften eines entsprechend der Verstellbewegung verstellbaren Rasters (1) mittels einer ortsfesten Reflexionoptik (10, 11) spiegelbildlich auf der anderen Hälfte so abgebildet wird, daß möglichst gleiche Größenverhältnisse zwischen Raster und Abbildung bestehen.
    In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Patentschriften Nr. 603 074, 836 105 890 420; USA.-Patentschrift Nr. 2206 853; Zeitschriften: »Orion«, April 1954, S. 257 bis 261, »Metalworking Production« vom 9. Juli 1955, S. 1165 und 1166, und »The Engineer« vom 29. Juli 1955, Seite 152 und 153.
    In Betracht gezogene ältere Patente: Deutsche Patente Nr. 1 030 044, 1 040 268.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2238413A1 (de) * 1971-08-17 1973-03-01 Keuffel & Esser Co Elektrooptische anzeigevorrichtung fuer differentiale bewegungen und positionen
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