DE1121596B - Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen von Barren aus Silicium hoher Reinheit - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen von Barren aus Silicium hoher Reinheit

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DE1121596B
DE1121596B DE1960P0025852 DEP0025852A DE1121596B DE 1121596 B DE1121596 B DE 1121596B DE 1960P0025852 DE1960P0025852 DE 1960P0025852 DE P0025852 A DEP0025852 A DE P0025852A DE 1121596 B DE1121596 B DE 1121596B
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silicon
crucible
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quartz
graphite
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DE1960P0025852
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Jacques Coursier
Bernard Desbois
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Pechiney SA
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Pechiney SA
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    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/02Silicon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B35/00Apparatus not otherwise provided for, specially adapted for the growth, production or after-treatment of single crystals or of a homogeneous polycrystalline material with defined structure
    • C30B35/002Crucibles or containers

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DE2928089C3 (de) * 1979-07-12 1982-03-04 Heraeus Quarzschmelze Gmbh, 6450 Hanau Verbundtiegel für halbleitertechnologische Zwecke und Verfahren zur Herstellung
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