DE112020004552T5 - Station and method for cleaning a transport container for conveying and atmospheric storage of semiconductor substrates - Google Patents

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Bertrand Bellet
Julien Bounouar
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Abstract

Eine Reinigungsstation (2) für einen Transportbehälter (3) umfasst einen Gelenkroboterarm (10), der mindestens einen Injektor (11) trägt, und eine Steuereinheit (12), die dazu konfiguriert ist, den Antrieb des Gelenkroboterarms (10) zum Einführen des mindestens einen Injektors (11) in das mit dem Beladeanschluss (8) gekoppelte starre Gehäuse (4), dessen Tür (6) zuvor entfernt worden ist, zu steuern und den mindestens einen Injektor (11) durch Folgen einer vordefinierten Bahn zu bewegen, während das Innere des starren Gehäuses (4) gleichzeitig mit dem Bewegen des Gelenkroboterarms (10) in dem starren Gehäuse (4) mit dem Reinigungsfluid überstrichen wird.A cleaning station (2) for a transport container (3) comprises an articulated robot arm (10) which carries at least one injector (11), and a control unit (12) which is configured to drive the articulated robot arm (10) to insert the at least to control an injector (11) in the rigid housing (4) coupled to the loading port (8), the door (6) of which has previously been removed, and to move the at least one injector (11) by following a predefined path while the Interior of the rigid housing (4) is swept simultaneously with the movement of the articulated robot arm (10) in the rigid housing (4) with the cleaning fluid.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Reinigungsstation für einen Transportbehälter für das Befördern und atmosphärische Lagern von Halbleitersubstraten wie beispielsweise Halbleiterwafern. Die Erfindung betrifft auch ein entsprechendes Reinigungsverfahren.The present invention relates to a cleaning station for a transport container for the transport and atmospheric storage of semiconductor substrates such as semiconductor wafers. The invention also relates to a corresponding cleaning method.

Die Transportbehälter bestimmen einen begrenzten Raum auf Atmosphärendruck, der von der äußeren Umgebung getrennt ist, für den Transport und die Lagerung eines oder mehrerer Substrate. In der Halbleiterfertigungsindustrie ermöglichen diese Behälter den Transport der Substrate von einer Einrichtung zur nächsten oder das Lagern der Substrate zwischen zwei Fertigungsschritten.The shipping containers define a confined space at atmospheric pressure, isolated from the outside environment, for the shipping and storage of one or more substrates. In the semiconductor manufacturing industry, these containers allow substrates to be transported from one facility to another or to be stored between two manufacturing steps.

Diese Transportbehälter sind aus Kunststoffmaterialien wie beispielsweise Polycarbonat gebildet, die in bestimmten Fällen die Verunreinigungen und insbesondere organische oder gasförmige Verunreinigungen, besonders jene, die von den Substraten abgegeben werden, konzentrieren können. Diese Verunreinigungen können für die Substrate sehr schädlich sein. Daher wird ein regelmäßiges Reinigen der Behälter durch Waschen mit Flüssigkeiten wie beispielsweise reinem Wasser bereitgestellt. Diese Nassreinigungsschritte erfordern das anschließende Trocknen der Behälter. Das Trocknen wird allgemein durch eine schnelle Drehung des Behälters und/oder Druckentlastung, möglicherweise in Verbindung mit Infrarotstrahlung, durchgeführt, was in einem industriellen Halbleiterfertigungsprozess viel Zeit und Aufwand erfordern kann.These transport containers are made of plastic materials such as polycarbonate, which in certain cases can concentrate the pollutants, and in particular organic or gaseous pollutants, especially those emitted by the substrates. These contaminants can be very detrimental to the substrates. Therefore, regular cleaning of the containers is provided by washing with liquids such as pure water. These wet cleaning steps require subsequent drying of the containers. Drying is generally performed by spinning the container and/or depressurizing, possibly in conjunction with infrared radiation, which can require significant time and effort in an industrial semiconductor manufacturing process.

Um die Verunreinigung in den Behältern zu reduzieren, ist bereits das Spülen ihrer inneren Atmosphäre mit einem Gas in Betracht gezogen worden, wie zum Beispiel in den Schriften EP2926370 und EP2272083 beschrieben. Diese Reinigungslösungen bieten den Vorteil, dass sie keinen anschließenden Trocknungsschritt benötigen.In order to reduce contamination in the containers, purging of their internal atmosphere with a gas has already been considered, for example in the documents EP2926370 and EP2272083 described. These cleaning solutions offer the advantage that they do not require a subsequent drying step.

Die Schrift EP2926370 schlägt die Verwendung eines parallelepipedischen Messkopfs vor, der mit Injektionsdüsen versehen ist, wobei der Messkopf von einer Schnittstelle hervorsteht, die mit dem Behälter anstelle der Tür des Behälters gekoppelt ist. Trotz eines Blasens durch die Düsen, die den Innenwänden am nächsten sind, und insbesondere an jeder der fünf Innenflächen ermöglicht der Messkopf keinen Zugang zu allen Innenflächen des Behälters. Es können ungereinigte Todbereiche innerhalb des Behälters verbleiben.The font EP2926370 proposes the use of a parallelepiped measuring head provided with injection nozzles, the measuring head protruding from an interface coupled to the container instead of the door of the container. Despite blowing through the nozzles closest to the interior walls, and particularly on each of the five interior surfaces, the probe does not allow access to all interior surfaces of the container. Uncleaned dead zones may remain inside the vessel.

Die Schrift EP2272083 schlägt die Verwendung einer Spülgasinjektionsdüse vor, die an einem festen oder beweglichen Ende eines Rohrs von der Schnittstelle angeordnet ist. Diese Lösung ist jedoch nicht vollständig zufriedenstellend, weil die Mobilität der Düse an dem Ende des Rohrs, das von der Schnittstelle hervorsteht, eingeschränkt ist und sie auch nicht gestattet, dass die Düse alle Innenflächen des Behälters erreicht.The font EP2272083 proposes the use of a purge gas injection nozzle located at a fixed or movable end of a pipe from the interface. However, this solution is not entirely satisfactory because the mobility of the nozzle is restricted at the end of the tube protruding from the interface, nor does it allow the nozzle to reach all the internal surfaces of the container.

Eines der Ziele der vorliegenden Erfindung besteht daher darin, eine Reinigungsstation und ein Reinigungsverfahren vorzuschlagen, die alle Innenflächen des atmosphärischen Transportbehälters reinigen können.One of the aims of the present invention is therefore to propose a cleaning station and a cleaning method capable of cleaning all the internal surfaces of the atmospheric transport container.

Dazu ist der Gegenstand der Erfindung eine Reinigungsstation für einen Transportbehälter für das Befördern und atmosphärische Lagern von Halbleitersubstraten vom FOUP- oder FOSB-Typ, wobei der Transportbehälter ein starres Gehäuse umfasst, das mit einer vorderen Öffnung und einer entfernbaren Tür, die es ermöglicht, die vordere Öffnung zu schließen, versehen ist, wobei die Reinigungsstation einen Beladeanschluss umfasst, der mit dem starren Gehäuse gekoppelt sein kann, dadurch gekennzeichnet, dass die Reinigungsstation ferner Folgendes umfasst:

  • - einen Gelenkroboter, der mindestens einen Injektor trägt,
  • - eine Steuereinheit, die dazu konfiguriert ist, den Antrieb des Gelenkroboterarms zum Einführen des mindestens einen Injektors in das mit dem Beladeanschluss gekoppelte starre Gehäuse, dessen Tür zuvor entfernt worden ist, zu steuern und den mindestens einen Injektor durch Folgen einer vordefinierten Bahn zu bewegen, während das Innere des starren Gehäuses gleichzeitig mit dem Bewegen des Gelenkroboterarms in dem starren Gehäuse mit einem Reinigungsfluid überstrichen wird.
To this end, the object of the invention is a cleaning station for a transport container for the handling and atmospheric storage of semiconductor substrates of the FOUP or FOSB type, the transport container comprising a rigid housing provided with a front opening and a removable door that allows the to close a front opening, the cleaning station comprising a loading port which can be coupled to the rigid housing, characterized in that the cleaning station further comprises:
  • - an articulated robot carrying at least one injector,
  • - a control unit configured to control the drive of the articulated robot arm for introducing the at least one injector into the rigid housing coupled to the loading port, the door of which has been previously removed, and to move the at least one injector by following a predefined path, while sweeping the interior of the rigid housing with a cleaning fluid simultaneously with moving the articulated robot arm in the rigid housing.

Die Station gestattet das Entfernen der organischen oder gasförmigen Verunreinigungen des Transportbehälters, insbesondere Partikel oder Gasspezies, die aus der luftgetragenen molekularen Verunreinigung (oder AMC, airborne molecular contamination) stammen.The station makes it possible to remove organic or gaseous contaminants from the transport container, in particular particles or gaseous species originating from airborne molecular contamination (or AMC).

Des Weiteren weist die Reinigungsstation keine dedizierte Kammer auf. Es ist das Gehäuse des Transportbehälters selbst, das eine Kammer bildet. Das Gehäuse kann gereinigt werden, ohne bewegt zu werden, während es mit dem Beladeanschluss gekoppelt bleibt.Furthermore, the cleaning station does not have a dedicated chamber. It is the housing of the transport container itself that forms a chamber. The housing can be cleaned without being moved while remaining coupled to the loading port.

Der Gelenkroboterarm ist programmierbar. Er kann genau bewegt werden, was es ermöglicht, der speziellen Form des Inneren des Gehäuses des Transportbehälters zu folgen. Er kann auch schnell bewegt werden, was es ermöglicht, die Behandlungszeit pro Transportbehälter zu reduzieren. Ferner kann er wiederholt und daher mit einer besseren Steuerung des Reinigungsprozesses bewegt werden. Der Abstand zwischen dem mindestens einen Injektor und dem Gehäuse wird gesteuert, was es ermöglicht, den Behälter von einem Transportbehälter zum nächsten reproduzierbar zu reinigen. Das Überstreichen des Inneren des starren Gehäuses mit dem Reinigungsfluid gleichzeitig mit dem Bewegen des Gelenkroboterarms ermöglicht es, eine gesteuerte, gleichförmige und genaue Reinigung der Innenflächen des starren Gehäuses zu erreichen.The articulated robot arm is programmable. It can be moved precisely, which makes it possible to follow the special shape of the inside of the transport container housing. It can also be moved quickly, making it possible to reduce treatment time per transport container. Further, he can be repeated and therefore with a better one Control of the cleaning process are moved. The distance between the at least one injector and the housing is controlled, which enables the container to be cleaned reproducibly from one transport container to the next. Sweeping the interior of the rigid housing with the cleaning fluid simultaneously with moving the articulated robot arm makes it possible to achieve controlled, uniform and accurate cleaning of the interior surfaces of the rigid housing.

Die Reinigungsstation kann ferner ein oder mehrere der Merkmale, alleine oder in Kombination, umfassen, die nachfolgend beschrieben werden.The cleaning station may further include one or more of the features described below, alone or in combination.

Der Gelenkroboterarm umfasst zum Beispiel mindestens drei Achsen. Ein Gelenkroboterarm, der drei Achsen aufweist, bietet zumindest eine sehr große Flexibilität der Bewegung und der Ausrichtung des mindestens einen Injektors bezüglich des Inneren des starren Gehäuses des Transportbehälters in allen dreidimensionalen Richtungen, während gleichzeitig der Abstand zwischen dem mindestens einen Injektor und dem Gehäuse beherrscht wird.For example, the articulated robot arm includes at least three axes. An articulated robotic arm having three axes offers at least a very large flexibility of movement and orientation of the at least one injector with respect to the interior of the rigid housing of the transport container in all three-dimensional directions, while at the same time controlling the distance between the at least one injector and the housing .

Der Gelenkroboterarm trägt zum Beispiel mindestens zwei Injektoren wie beispielsweise zwischen zwei und zehn Injektoren, zum Beispiel mindestens vier Injektoren, die in ein und derselben Ebene angeordnet sind. Durch die Verwendung mehrerer Injektoren wird ermöglicht, die während eines Passierens des Gelenkroboterarms überstrichene Oberfläche zu vergrößern, wodurch die Reinigungszeit verkürzt werden kann.For example, the articulated robot arm supports at least two injectors, such as between two and ten injectors, for example at least four injectors, arranged in one and the same plane. The use of multiple injectors makes it possible to increase the surface area swept while passing the articulated robot arm, as a result of which the cleaning time can be reduced.

Der Gelenkroboterarm kann mindestens einen Sensor umfassen.The articulated robot arm may include at least one sensor.

Die Reinigungsstation kann ein Mittel zum Reinigen des Endes des Gelenkroboterarms umfassen.The cleaning station may include means for cleaning the end of the articulated robot arm.

Die Reinigungsstation kann ein Türbetätigungsmittel umfassen, das dazu konfiguriert ist, die Tür von dem Gehäuse weg zu bewegen, wobei die Reinigungsstation ferner mindestens einen zusätzlichen Injektor umfasst, der zu der Stelle der Tür ausgerichtet ist, um ein Reinigungsfluid auf die Tür des Transportbehälters zu injizieren.The cleaning station may include a door actuator configured to move the door away from the housing, the cleaning station further including at least one additional injector aligned with the location of the door for injecting a cleaning fluid onto the door of the tote .

Die Reinigungsstation kann ein Türbetätigungsmittel umfassen, das dazu konfiguriert ist, die Tür von dem Gehäuse weg zu bewegen, wobei der Gelenkroboterarm so konfiguriert ist, dass er den mindestens einen der Tür zugekehrten Injektor durch Folgen einer zusätzlichen vordefinierten Bahn bei gleichzeitigem Überstreichen der Innenseite der Tür mit dem Reinigungsfluid bewegen kann.The cleaning station may include a door actuator configured to move the door away from the housing, wherein the articulated robotic arm is configured to move the at least one injector facing the door by following an additional predefined path while sweeping the inside of the door can move with the cleaning fluid.

Der Gelenkroboterarm kann dazu konfiguriert sein, die Tür zu ergreifen und sie gegenüber einen zusätzlichen Reinigungsfluidinjektor zu führen.The articulated robotic arm can be configured to grasp the door and guide it towards an additional cleaning fluid injector.

Die Reinigungsstation kann eine Einheit zur Filterung mit laminarer Strömung zum Platzieren des Gelenkroboterarms unter einer laminaren Strömung gefilterter Luft umfassen.The cleaning station may include a laminar flow filtration unit for placing the articulated robotic arm under a laminar flow of filtered air.

Die Reinigungsstation kann eine Heizeinheit umfassen, die dazu konfiguriert ist, die Innenwände des Transportbehälters zu erwärmen.The cleaning station may include a heating unit configured to heat the interior walls of the tote.

Das Reinigungsfluid ist zum Beispiel ein neutrales und trockenes Gas oder ein Gemisch aus einem Spülgas und Wasserdampf oder ein Gemisch aus Spülgas und Flüssigkeit.The cleaning fluid is, for example, a neutral and dry gas, or a mixture of a purge gas and water vapor, or a mixture of purge gas and liquid.

Die Reinigungsstation kann eine Vorrichtung zum Erzeugen eines Vorhangs aus Spülgas wie zum Beispiel trockenem Stickstoff umfassen, die mehrere in einer Reihe angeordnete Spülgasinjektoren umfasst, die dazu konfiguriert sind, einen Gasvorhang an der vorderen Öffnung des Gehäuses zu bilden. Der Gasvorhang ermöglicht es, die fluidische Verbindung zwischen dem Inneren und dem Äußeren des Transportbehälters zu reduzieren.The cleaning station may include a device for generating a curtain of purge gas, such as dry nitrogen, comprising a plurality of purge gas injectors arranged in a row and configured to form a gas curtain at the front opening of the housing. The gas curtain makes it possible to reduce the fluidic connection between the inside and the outside of the transport container.

Ein weiterer Gegenstand der Erfindung ist ein Reinigungsmodul, dadurch gekennzeichnet, dass es mindestens zwei Reinigungsstationen wie vorstehend beschrieben umfasst, wobei die Reinigungsstationen komplementäre Kopplungsmittel umfassen, die zum Aneinanderkoppeln der Reinigungsstationen konfiguriert sind.Another object of the invention is a cleaning module, characterized in that it comprises at least two cleaning stations as described above, the cleaning stations comprising complementary coupling means configured for coupling the cleaning stations to one another.

Ein noch weiterer Gegenstand der Erfindung ist ein in einer Reinigungsstation wie vorstehend beschrieben implementiertes Reinigungsverfahren, dadurch gekennzeichnet, dass:

  • - das starre Gehäuse des Transportbehälters mit dem Beladeanschluss gekoppelt ist,
  • - das Antreiben des Gelenkroboterarms dahingehend gesteuert wird, den mindestens einen Injektor in das starre Gehäuse einzuführen und den mindestens einen Injektor durch Folgen einer vordefinierten Bahn zu bewegen, während das Innere des starren Gehäuses gleichzeitig mit dem Bewegen des Gelenkroboterarms in dem starren Gehäuse mit dem Reinigungsfluid überstrichen wird.
A still further object of the invention is a cleaning method implemented in a cleaning station as described above, characterized in that:
  • - the rigid housing of the transport container is coupled to the loading connection,
  • - the driving of the articulated robot arm is controlled to insert the at least one injector into the rigid housing and to move the at least one injector by following a predefined path while cleaning the interior of the rigid housing simultaneously with the moving of the articulated robot arm in the rigid housing with the cleaning fluid is painted over.

Das Reinigungsverfahren kann ferner ein oder mehrere Merkmale, alleine oder in Kombination, umfassen, die nachfolgend beschrieben werden.The purification method may further include one or more features, alone or in combination, which are described below.

Die vordefinierte Bahn des Gelenkroboterarms kann durch Lernen programmiert werden, indem bewirkt wird, dass der Gelenkroboterarm aufeinanderfolgende kartesische Koordinaten des Gehäuses abspeichert.The predefined trajectory of the articulated robot arm can be programmed by learning, by causing the articulated robotic arm to store successive Cartesian coordinates of the housing.

Gemäß einem anderen Beispiel wird die vordefinierte Bahn des Gelenkroboterarms anhand eines vorgespeicherten Modells eines Gehäuses programmiert.According to another example, the predefined trajectory of the articulated robot arm is programmed using a pre-stored model of a housing.

Die vordefinierte Bahn ist zum Beispiel mit einem Reinigungsfluidinjektionsschema verbunden, wobei das Schema mindestens einen Parameter aus:

  • - einer Bewegungsgeschwindigkeit des mindestens einen Injektors,
  • - einem Durchfluss von durch den mindestens einen Injektor eingespritztem Reinigungsfluid,
  • - einer Injektionszeit an einer gegebenen Stelle,
  • - einem Abstand zwischen dem mindestens einen Injektor und dem starren Gehäuse

definiert.For example, the predefined trajectory is associated with a cleaning fluid injection scheme, where the scheme includes at least one parameter from:
  • - a movement speed of the at least one injector,
  • - a flow rate of cleaning fluid injected through the at least one injector,
  • - an injection time at a given site,
  • - A distance between the at least one injector and the rigid housing

Are defined.

Die bzw. das Reinigungsfluidinjektionsbahn und/oder -schema kann als eine Funktion von Informationen über den Transportbehälter wie eine Messung eines Verunreinigungsgrads des Transportbehälters ausgewählt sein.The cleaning fluid injection path and/or scheme may be selected as a function of information about the tote, such as a measurement of a contamination level of the tote.

Während des Überstreichens des starren Gehäuses mit dem Reinigungsfluid kann die Bahn des mindestens einen Injektors einen Schritt eines erweiterten Überstreichens umfassen, während dessen der mindestens eine Injektor das Innere des starren Gehäuses mit einer Bewegungsgeschwindigkeit des mindestens einen Injektors, die konstant ist, und/oder einem Abstand zwischen dem mindestens einen Injektor und dem starren Gehäuse, der konstant ist, durchläuft.During the sweeping of the rigid housing with the cleaning fluid, the path of the at least one injector may comprise an extended sweeping step, during which the at least one injector sweeps the interior of the rigid housing with a movement speed of the at least one injector that is constant and/or a Distance between the at least one injector and the rigid housing, which is constant, passes through.

Die Bahn kann ferner mindestens einen Schritt des lokalisierten Überstreichens in einem Totbereich umfassen, während dessen die Bewegungsgeschwindigkeit des mindestens einen Injektors verlangsamt ist und/oder der Abstand zwischen dem mindestens einen Injektor und dem Gehäuse reduziert ist.The trajectory may further include at least one step of localized scanning in a dead zone during which the speed of movement of the at least one injector is slowed and/or the distance between the at least one injector and the housing is reduced.

Am Ende des Überstreichens des starren Gehäuses mit dem Reinigungsfluid kann das Reinigungsverfahren einen Schritt des Aufbereitens des Transportbehälters umfassen, während dessen der Transportbehälter mit einem Spülgas wie beispielsweise trockenem Stickstoff gefüllt wird.At the end of sweeping the rigid housing with the cleaning fluid, the cleaning process may include a step of conditioning the transport container, during which the transport container is filled with a purge gas such as dry nitrogen.

Weitere Vorteile und Merkmale gehen bei Lektüre der Beschreibung eines veranschaulichenden, aber nicht einschränkenden Beispiels der vorliegenden Erfindung sowie der beigefügten Zeichnungen hervor; darin zeigen:

  • [1] 1 eine perspektivische Ansicht eines Reinigungsmoduls, das drei Reinigungsstationen umfasst, die jeweils mit einem jeweiligen Transportbehälter gekoppelt sind;
  • [2] 2 eine perspektivische Ansicht einer Reinigungsstation des Reinigungsmoduls von 1; [3] 3 eine perspektivische Ansicht eines Transportbehälters von 2 mit geöffneter Tür;
  • [4] 4 eine vergrößerte Ansicht eines Gelenkroboterarms der Reinigungsstation von 2 während der Bewegung des mindestens einen der Tür zugekehrten Injektors, der einer zusätzlichen vordefinierten Bahn folgt, um die Innenseite der Tür mit dem Reinigungsfluid zu überstreichen;
  • [5] 5 ein Flussdiagramm eines Beispiels für ein in einer Reinigungsstation implementiertes Reinigungsverfahren.
Other advantages and characteristics will appear on reading the description of an illustrative but non-limiting example of the present invention and the attached drawings; show in it:
  • [ 1 ] 1 a perspective view of a cleaning module comprising three cleaning stations, which are each coupled to a respective transport container;
  • [ 2 ] 2 a perspective view of a cleaning station of the cleaning module of 1 ; [ 3 ] 3 a perspective view of a transport container of 2 with the door open;
  • [ 4 ] 4 FIG. 12 is an enlarged view of an articulated robotic arm of the cleaning station of FIG 2 during movement of the at least one injector facing the door following an additional predefined path to sweep the inside of the door with the cleaning fluid;
  • [ 5 ] 5 a flow chart of an example of a cleaning method implemented in a cleaning station.

In diesen Figuren weisen identische Elemente die gleichen Bezugszahlen auf.In these figures, identical elements have the same reference numbers.

Die folgenden Ausführungsformen sind Beispiele. Obgleich sich die Beschreibung auf eine oder mehrere Ausführungsformen bezieht, bedeutet dies nicht zwangsweise, dass jeder Bezug die gleiche Ausführungsform betrifft oder das die Merkmale nur für eine einzige Ausführungsform gelten. Einfache Merkmale verschiedener Ausführungsformen können auch kombiniert oder ausgetauscht werden, um andere Ausführungsformen bereitzustellen.The following embodiments are examples. Although the description refers to one or more embodiments, this does not necessarily mean that every reference relates to the same embodiment or that the features apply only to a single embodiment. Simple features of different embodiments can also be combined or interchanged to provide other embodiments.

1 stellt ein Beispiel für ein Reinigungsmodul 1 dar. 1 represents an example of a cleaning module 1.

Das Reinigungsmodul 1 umfasst mindestens zwei und in dem in 1 dargestellten Beispiel drei Reinigungsstationen 2. Die Reinigungsstationen 2 können komplementäre Kopplungsmittel umfassen, die dazu konfiguriert sind, die Reinigungsstationen 2 miteinander zu koppeln.The cleaning module 1 comprises at least two and in the in 1 example shown three cleaning stations 2. The cleaning stations 2 can comprise complementary coupling means which are configured to couple the cleaning stations 2 to one another.

Jede Station 2 ermöglicht es, einen Transportbehälter für das Befördern und atmosphärische Lagern von Halbleitersubstraten des FOUP-Typs, wobei FOUP das Akronym für Front-Opening Unified Pod (nach vorn öffnender Einheitsbehälter) ist, oder des FOSB-Typs, wobei FOSB das Akronym für Front-Opening Shipping Box (nach vorne öffnende Versandbox) ist, zu reinigen.Each station 2 enables a transport container for the conveyance and atmospheric storage of semiconductor substrates of the FOUP type, where FOUP is the acronym for Front-Opening Unified Pod (front-opening unitary container), or of the FOSB type, where FOSB is the acronym for Front-Opening Shipping Box is to be cleaned.

Diese Transportbehälter 3 sind Kästen, die aus Kunststoffmaterial wie beispielsweise Polycarbonat hergestellt sind und dazu ausgeführt sind, 300 mm Halbleitersubstrate, wie zum Beispiel Silicium-Wafer, in einer kontrollierten Umgebung und zum Gestatten des Transfers dieser Wafer zwischen Maschinen für Behandlungs- oder Messzwecke aufzunehmen.These transport containers 3 are boxes made of plastic material such as polycarbonate and designed to hold 300 mm semiconductor substrates such as Sili cium wafers, in a controlled environment and to allow the transfer of these wafers between machines for processing or measurement purposes.

Die FOSB-Behälter werden dazu verwendet, die Wafer außerhalb der Fertigungsanlagen zu befördern.The FOSB boxes are used to transport the wafers outside of the fabs.

Wie besser in 3 zu sehen ist, umfasst ein Transportbehälter 3 für das Befördern und atmosphärische Lagern von Halbleitersubstraten des FOUP- und FOSB-Typs ein starres Gehäuse 4 (oder einen starren Mantel), das mit einer vorderen Öffnung 5 und einer entfernbaren Tür 6, die ein Schließen der vorderen Öffnung 5 ermöglicht, versehen ist. Die vordere Öffnung 5 ist so dimensioniert, dass Substrate eingeführt und entnommen werden können.How better in 3 As can be seen, a transport container 3 for the conveying and atmospheric storage of semiconductor substrates of the FOUP and FOSB type comprises a rigid housing 4 (or rigid shell) provided with a front opening 5 and a removable door 6 allowing a closing of the allows front opening 5 is provided. The front opening 5 is dimensioned so that substrates can be inserted and removed.

Für die Reinigung werden die Substrate aus den Transportbehältern 3 abgeführt.The substrates are removed from the transport containers 3 for cleaning.

Erneut auf 1 Bezug nehmend, ist zu sehen, dass die Reinigungsstation 2 auch eine Schnittstelle 7 umfasst, die mit einem Beladungsanschluss 8 versehen ist, der unter einem Eingang in die Reinigungsstationen 2 angeordnet ist. Der Beladungsanschluss 8 kann dadurch mit dem starren Gehäuse 4 des Transportbehälters 3 des FOUP- oder FOSB-Typs gekoppelt werden, dass es aufgenommen und positioniert werden kann.up again 1 Referring to this, it can be seen that the cleaning station 2 also comprises an interface 7 provided with a loading port 8 located under an entrance into the cleaning stations 2 . The loading port 8 can be coupled to the rigid housing 4 of the transport container 3 of the FOUP or FOSB type in that it can be picked up and positioned.

Der Beladungsanschluss 8 kann einen Erkennungssensor umfassen, der dazu konfiguriert ist, das Modell des Transportbehälters 3 zu identifizieren und insbesondere zu gewährleisten, dass er wirklich mit der den Transportbehälter 3 aufnehmenden Reinigungsstation 2 kompatibel ist. Der Erkennungssensor ist zum Beispiel eine Kamera, in der die Bildverarbeitung ermöglicht, den Inhalt eines den Transportbehälter 3 identifizierenden Etiketts zu lesen, oder ermöglicht, ein Modell des Griffs 9 des Transportbehälters 3 beispielsweise gemäß seinem Grauwert oder seiner Form zu unterscheiden.The loading port 8 may include an identification sensor configured to identify the model of the tote 3 and in particular to ensure that it is truly compatible with the cleaning station 2 receiving the tote 3 . The detection sensor is for example a camera in which the image processing allows to read the content of a label identifying the transport container 3 or allows to distinguish a model of the handle 9 of the transport container 3 according to its gray value or its shape, for example.

Ferner kann die Reinigungsstation 2 einen Anwesenheitssensor umfassen, der, sobald der Transportbehälter 3 geöffnet ist, es ermöglicht zu überprüfen, ob die Substrate tatsächlich aus ihrem starren Gehäuse 4 abgeführt geworden sind.Furthermore, the cleaning station 2 can comprise a presence sensor which, as soon as the transport container 3 is opened, makes it possible to check whether the substrates have actually been removed from their rigid housing 4.

Die Reinigungsstation 2 umfasst ferner einen Gelenkroboterarm 10, der mindestens einen Injektor 11 (4) trägt, und eine Steuereinheit 12, die dazu konfiguriert ist, den Antrieb des Gelenkroboterarms 10 zu steuern (1).The cleaning station 2 also includes an articulated robot arm 10 which has at least one injector 11 ( 4 ) carries, and a control unit 12 configured to control the drive of the articulated robot arm 10 ( 1 ).

Der Gelenkroboterarm 10 trägt zum Beispiel mindestens zwei Injektoren 11 wie beispielsweise zwischen zwei und zehn Injektoren 11, zum Beispiel mindestens vier Injektoren 11, die in ein und derselben Ebene angeordnet, zum Beispiel ausgerichtet oder versetzt angeordnet, sind. Die Verwendung von mehreren Injektoren 11 ermöglicht es, die während eines Passierens des Gelenkroboterarms 10 überstrichene Oberfläche zu vergrößern, wodurch ermöglicht wird, die Reinigungszeit zu verkürzen.The articulated robot arm 10 supports for example at least two injectors 11, for example between two and ten injectors 11, for example at least four injectors 11, arranged in one and the same plane, for example aligned or staggered. The use of multiple injectors 11 makes it possible to increase the surface area swept while passing the articulated robot arm 10, thereby making it possible to shorten the cleaning time.

Die Injektoren 11 sind mit Gas- und/oder Flüssigkeitseinlasssystemen verbunden.The injectors 11 are connected to gas and/or liquid inlet systems.

Das Reinigungsfluid ist zum Beispiel ein neutrales und trockenes Gas, zum Beispiel Stickstoff oder saubere Trockenluft oder CDA (clean dry air). Die Injektoren 11 sind auch mit Partikelfiltern zum Herausfiltern jeglicher Verunreinigungspartikel aus dem indizierten Gas versehen.The cleaning fluid is for example a neutral and dry gas, for example nitrogen or clean dry air or CDA (clean dry air). The injectors 11 are also provided with particle filters for filtering out any contaminant particles from the indicated gas.

Es ist möglich, ein nasses Gasgemisch zu injizieren, insbesondere um die Reinigung von bestimmten chemischen Verbindungen, die potenziell auf der Oberfläche des Transportbehälters 3 vorhanden sind, wie zum Beispiel Fluorwasserstoffsäure, zu gewährleisten. Dann umfasst das Reinigungsfluid ein Gemisch aus einem Spülgas wie beispielsweise trockenem Stickstoff oder Trockenluft und Wasserdampf.It is possible to inject a wet gaseous mixture, in particular to ensure the purification of certain chemical compounds potentially present on the surface of the transport container 3, such as hydrofluoric acid. Then the cleaning fluid comprises a mixture of a purge gas such as dry nitrogen or dry air and steam.

Das Reinigungsgas kann auch ein Gemisch aus Spülgas und aus Flüssigkeit umfassen. Die Flüssigkeit wie beispielsweise flüssiges Wasser wird zum Beispiel in geringen Anteilen in dem Gemisch injiziert, damit sie am Ende des Reinigungsverfahrens 100 vollständig verdampft werden kann.The purge gas may also include a mixture of purge gas and liquid. For example, the liquid, such as liquid water, is injected into the mixture in small proportions to allow it to be fully vaporized at the end of the cleaning process 100 .

Durchfluss des Gases von den Injektoren 11 ist zum Beispiel größer als 40 l/min und liegt beispielsweise zwischen 50 l/min und 60 l/min pro Injektor 11, wobei der Durchfluss mit Zunahme der Anzahl von Injektoren 11 abnimmt. Der Durchmesser eines Injektors 11 liegt zum Beispiel zwischen 0,8 mm und 1,6 mm. Der Spülgasversorgungsdruck beträgt zum Beispiel 4 bar.Flow rate of the gas from the injectors 11 is for example greater than 40 l/min and is for example between 50 l/min and 60 l/min per injector 11, the flow rate decreasing as the number of injectors 11 increases. The diameter of an injector 11 is between 0.8 mm and 1.6 mm, for example. The purge gas supply pressure is 4 bar, for example.

Der Gelenkroboterarm 10 ist zum Beispiel ein Roboterarm mit drei oder mehr Achsen, das heißt er umfasst mindestens drei Drehachsen. Ein Gelenkroboterarm 10 mit mindestens drei Achsen bietet zumindest eine sehr große Flexibilität hinsichtlich Bewegung und Ausrichtung des mindestens einen Injektors 11 bezüglich des Inneren des starren Gehäuses 4 des Transportbehälters 3 in allen dreidimensionalen Richtungen, während der Abstand zwischen dem mindestens einen Injektor 11 und dem Gehäuse 4 beherrscht wird.The articulated robot arm 10 is, for example, a robot arm with three or more axes, that is, it includes at least three axes of rotation. An articulated robot arm 10 with at least three axes offers at least a very high degree of flexibility in terms of movement and orientation of the at least one injector 11 with respect to the interior of the rigid housing 4 of the transport container 3 in all three-dimensional directions, while the distance between the at least one injector 11 and the housing 4 is mastered.

Der Gelenkroboterarm 10 ist zum Beispiel motorisiert oder verwendet Druckluftzylinder. Er ist programmierbar. Er kann genau bewegt werden, was es ermöglicht, der speziellen Form des Inneren des Gehäuses 4 des Transportbehälters 3 zu folgen. Er kann auch schnell bewegt werden, was es ermöglicht, die Behandlungszeit pro Transportbehälter 3 zu reduzieren. Er kann auch wiederholt und daher mit einer besseren Steuerung des Reinigungsprozesses bewegt werden.The articulated robot arm 10 is motorized or uses air cylinders, for example. It's programmable. It can be moved precisely which makes it possible to follow the specific shape of the interior of the housing 4 of the transport container 3. It can also be moved quickly, making it possible to reduce the treatment time per transport container 3. It can also be moved repeatedly and therefore with better control of the cleaning process.

Die Steuereinheit 12 ist dazu konfiguriert, den Antrieb des Gelenkroboterarms 10 zum Einführen des mindestens einen Injektors 11 in das mit dem Beladeanschluss 8 gekoppelte starre Gehäuse 4, dessen Tür zuvor entfernt worden ist, zu steuern und den mindestens einen Injektor 11 durch Folgen einer vordefinierten Bahn zu bewegen, während das Innere des starren Gehäuses 4 gleichzeitig mit dem Bewegen des Gelenkroboterarms 10 in dem starren Gehäuse 4 mit einem Reinigungsfluid überstrichen wird. Die vordefinierten Bahn ist zum Beispiel die Bewegung, die die allgemeine innere Form des Transportgehäuses 3 reproduziert, wodurch ermöglicht wird, die gesamte Innenfläche des Gehäuses 4 des Transportbehälters 3 zu überstreichen. Das Überstreichen des Inneren des starren Gehäuses 4 mit dem Reinigungsfluid gleichzeitig mit dem Bewegen des Gelenkroboterarms 10 ermöglicht es, eine gesteuerte, gleichförmige und genaue Reinigung der Innenflächen des starren Gehäuses 4 zu erreichen.The control unit 12 is configured to control the drive of the articulated robot arm 10 for inserting the at least one injector 11 into the rigid housing 4 coupled to the loading port 8, the door of which has been previously removed, and the at least one injector 11 by following a predefined path while sweeping the inside of the rigid housing 4 with a cleaning fluid simultaneously with moving the articulated robot arm 10 in the rigid housing 4 . The predefined trajectory is, for example, the movement that reproduces the general internal shape of the transport case 3, thereby making it possible to sweep the entire internal surface of the case 4 of the transport case 3. Sweeping the interior of the rigid housing 4 with the cleaning fluid simultaneously with moving the articulated robot arm 10 enables controlled, uniform and accurate cleaning of the internal surfaces of the rigid housing 4 to be achieved.

Die Bewegungen des Gelenkroboterarms 10, die die vordefinierte Bahn definieren, können durch Lernen programmiert werden. Dieses Verfahren ermöglicht es, die Bahnen dadurch zu erzeugen, das bewirkt wird, dass der Gelenkroboterarm 10 aufeinanderfolgende kartesische Koordinaten des Gehäuses 4 abspeichert. Dieser Lernschritt kann in der Phase der Werksfreigabe durchgeführt werden.The movements of the articulated robot arm 10 that define the predefined path can be programmed through learning. This method makes it possible to generate the trajectories by causing the articulated robot arm 10 to memorize consecutive Cartesian coordinates of the housing 4 . This learning step can be carried out in the factory release phase.

Ein anderes Verfahren ermöglicht es, die Bahn anhand eines vorgespeicherten Modells eines Gehäuses 4 zu programmieren. Dieses vorgespeicherte Modell eines Gehäuses 4 ist zum Beispiel ein CAD-Modell des Gehäuses 4.Another method makes it possible to program the trajectory using a pre-stored model of a housing 4 . This pre-stored model of a housing 4 is, for example, a CAD model of the housing 4.

Gemäß einem anderen Beispiel wird das vorgespeicherte Modell eines Gehäuses 4 unter Verwendung eines Sensors des Gelenkroboterarms 10, wie beispielsweise eines optischen Sensors wie einer Kamera oder beispielsweise eines Fühlers oder eines Näherungssensors oder eines Schallsensors, erhalten.According to another example, the pre-stored model of a housing 4 is obtained using a sensor of the articulated robot arm 10, such as an optical sensor like a camera, or for example a feeler or a proximity sensor or a sound sensor.

Der Sensor des Gelenkroboterarms 10 kann auch den Erkennungssensor bilden, der dazu konfiguriert ist, zum Beispiel durch Fühlen von vier Punkten des Gehäuses 4 das Modell des Transportbehälters 3 zu identifizieren.The sensor of the articulated robot arm 10 can also constitute the recognition sensor configured to identify the model of the transport container 3 by sensing four points of the housing 4, for example.

Die Reinigungsstation 2 kann auch ein Türbetätigungsmittel umfassen, das dazu konfiguriert ist, die Tür 6 von dem mit dem Beladungsanschluss 8 gekoppelten Gehäuse 4 weg zu bewegen.The cleaning station 2 may also include a door actuator configured to move the door 6 away from the housing 4 coupled to the load port 8 .

Das Türbetätigungsmittel umfasst zum Beispiel einen motorisierten Linearaktuator 17zum Bewegen der Tür 6 durch eine lineare, beispielsweise horizontale, Translationsbewegung (4).The door operating means comprises, for example, a motorized linear actuator 17 for moving the door 6 through a linear, e.g. horizontal, translational movement ( 4 ).

Gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel ist der Gelenkroboterarm 10 dazu konfiguriert, dadurch das Türbetätigungsmittel zu bilden, dass ermöglicht wird, an einer dedizierten Stelle der Reinigungsstation 2 die Tür 6 von dem Gehäuse 4 des Transportbehälters 3 weg zu bewegen.According to another embodiment, the articulated robotic arm 10 is configured to form the door operating means by enabling the door 6 to be moved away from the housing 4 of the transport container 3 at a dedicated location of the cleaning station 2 .

Das Türbetätigungsmittel kann auch dazu konfiguriert sein, die Verriegelungsglieder der Tür 6 zu verriegeln und freizugeben. Die Türverriegelungsglieder, die an sich bekannt sind, umfassen zum Beispiel Rastverriegelungsglieder, die von der Tür 6 getragen werden und durch radiales oder laterales Schieben und Ineingriffbringen in dem starren Gehäuse 4 des Transportbehälters 3 betätigt werden, wenn der Transportbehälter 3 geschlossen ist. Nach Freigabe der Verriegelungsglieder wird durch das Türbetätigungsmittel die Tür 6 umkehrbar fixiert. Die Tür 6 kann dann von der vorderen Öffnung 5, zum Beispiel ihr gegenüber, abgenommen werden.The door operating means can also be configured to lock and release the locking members of the door 6 . The door latches, which are known per se, comprise, for example, latches carried by the door 6 and actuated by sliding radially or laterally and engaging in the rigid housing 4 of the tote 3 when the tote 3 is closed. After releasing the locking members, the door 6 is reversibly fixed by the door operating means. The door 6 can then be detached from the front opening 5, for example opposite it.

Ferner kann die Reinigungsstation 2 ein Mittel zum Reinigen des Endes 13 des Gelenkroboterarms 10 wie beispielsweise eines Gassprühkopfs, das in einem dedizierten Bereich der Reinigungsstation 2 angeordnet ist, umfassen.Furthermore, the cleaning station 2 may comprise a means for cleaning the end 13 of the articulated robot arm 10 such as a gas spray head arranged in a dedicated area of the cleaning station 2 .

Mehrere Lösungen zum Reinigen der Tür 6 des Transportbehälters 3 sind möglich.Several solutions for cleaning the door 6 of the transport container 3 are possible.

Gemäß einem ersten Beispiel umfasst die Reinigungsstation 2 mindestens einen zusätzlichen Injektor, der auf die Stelle der Tür 6 ausgerichtet ist, um ein Reinigungsfluid auf die Tür 6 des Transportbehälters 3 zu injizieren. Somit ist es möglich, gleichzeitig die Tür 6 des Transportbehälters 3 zu reinigen.According to a first example, the cleaning station 2 comprises at least one additional injector aimed at the location of the door 6 in order to inject a cleaning fluid onto the door 6 of the transport container 3 . It is thus possible to clean the door 6 of the transport container 3 at the same time.

Gemäß einem anderen Beispiel ist der Gelenkroboterarm 10 so konfiguriert, dass er den der Tür 6 zugekehrten mindestens einen Injektor 11 durch Folgen einer zusätzlichen vordefinierten Bahn bewegen kann, während die Innenseite der Tür mit dem Reinigungsfluid überstrichen wird (siehe 4).According to another example, the articulated robot arm 10 is configured so that it can move the at least one injector 11 facing the door 6 by following an additional predefined path while sweeping the inside of the door with the cleaning fluid (see FIG 4 ).

Gemäß noch einem weiteren Beispiel ist der Gelenkroboterarm 10 dazu konfiguriert, die Tür 6 zu ergreifen und sie gegenüber einen zusätzlichen Reinigungsfluidinjektor zu führen.According to yet another example, the articulated robotic arm 10 is configured to grasp the door 6 and guide it towards an additional cleaning fluid injector.

Zum Verbessern des Lösens der Verunreinigungen und/oder zum Verstärken des Entgasens der Gasspezies, die aus der luftgetragenen molekularen Verunreinigung stammen, und/oder zum Beschleunigen des Verdampfens der durch den mindestens einen Injektor 11 initiierten nassen oder flüssigen Gasgemische kann die Reinigungsstation 2 weiterhin eine Heizeinheit umfassen, die dazu konfiguriert ist, Innenwände des Transportbehälters 3 zu erwärmen, wie beispielsweise eine Infrarotlampe.To improve the dissolution of the contaminants and/or to enhance the degassing of the gas species originating from the airborne molecular contaminant and/or to accelerate the evaporation of the wet or liquid gas mixtures initiated by the at least one injector 11, the cleaning station 2 can also have a heating unit configured to heat inner walls of the transport container 3, such as an infrared lamp.

Wenn das Reinigungsfluid ein Trockengas ist, kann die Heizeinheit des Weiteren dazu konfiguriert sein, das Reinigungsfluid zu erwärmen.Further, when the cleaning fluid is a dry gas, the heating unit may be configured to heat the cleaning fluid.

Die Reinigungsstation 2 kann auch einen Partikelsammler zum Erleichtern des Abführens der Verunreinigungspartikel und/oder einen Partikelzähler und/oder einen Analysator von Gasspezies, die aus der luftgetragenen molekularen Verunreinigung stammen, umfassen, um den Reinheitszustand des Transportbehälters 3 vor und/oder nach der Reinigung zu überprüfen. Der Partikelsammler ist zum Beispiel unter dem Boden der Reinigungsstation 2 angeordnet oder kann von dem Gelenkroboterarm 10 getragen werden.The cleaning station 2 may also include a particle collector to facilitate the removal of the contaminant particles and/or a particle counter and/or an analyzer of gas species originating from the airborne molecular contaminant to assess the cleanliness status of the transport container 3 before and/or after cleaning check over. The particle collector is arranged under the floor of the cleaning station 2, for example, or can be carried by the articulated robot arm 10.

Die Reinigungsstation 2 kann eine Vorrichtung zum Erzeugen eines Vorhangs 18 aus Spülgas wie zum Beispiel trockenem Stickstoff umfassen, die mehrere in einer Reihe angeordnete Spülgasinjektoren umfasst, die dazu konfiguriert sind, einen Gasvorhang an der vorderen Öffnung 5 des Gehäuses 4 zu bilden. Der Gasvorhang ermöglicht es, die fluidische Verbindung zwischen dem Inneren und dem Äußeren des Transportbehälters 3 zu reduzieren. Die Vorrichtung zum Erzeugen eines Spülgasvorhangs ist zum Beispiel am Beladeanschluss 8 angeordnet (2).The cleaning station 2 may include a device for generating a curtain 18 of purge gas, such as dry nitrogen, comprising a plurality of purge gas injectors arranged in a row and configured to form a gas curtain at the front opening 5 of the housing 4 . The gas curtain makes it possible to reduce the fluidic connection between the inside and the outside of the transport container 3 . The device for generating a flushing gas curtain is arranged, for example, at the loading connection 8 ( 2 ).

Die Reinigungsstation 2 kann eine Einheit 14 zur Filterung mit laminarer Strömung zum Platzieren des Gelenkroboterarms 10 unter einer laminaren Strömung gefilterter Luft umfassen (1 und 2). Die Einheit 14 zur Filterung mit laminarer Strömung umfasst Luftfilter zum Herausfiltern der aus der Außenluft stammenden Partikel, die in die Reinigungsstation 2 Eindringen. Die Einheit 14 zur Filterung mit laminarer Strömung umfasst ferner ein Strömungsverteilungsmittel zum Verteilen der gefilterten Luft in einer laminaren Strömung, zum Beispiel vom oberen Ende der Reinigungsstation 2 nach unten. Die Einheit 14 zur Filterung mit laminarer Strömung ermöglicht somit das Eindringen jeglicher durch die Zirkulation der Luft oder durch die sich in der Reinigungsstation 2 bewegenden Komponenten erzeugten Partikel und das Steuern ihres Abführens.The cleaning station 2 may include a laminar flow filtration unit 14 for placing the articulated robotic arm 10 under a laminar flow of filtered air ( 1 and 2 ). The laminar flow filtration unit 14 includes air filters for filtering out the particles coming into the cleaning station 2 coming from the outside air. The laminar flow filtration unit 14 further comprises flow distribution means for distributing the filtered air in a laminar flow, for example from the top of the cleaning station 2 downwards. The laminar flow filtration unit 14 thus allows any particles generated by the circulation of the air or by the moving components in the cleaning station 2 to penetrate and control their evacuation.

Die Steuereinheit 12 der Reinigungsstation 2, die die Schnittstelle 7, den Gelenkroboterarm 10, das Injizieren des Reinigungsfluid in dem mindestens einen Injektor 11 steuert, kann mit einer Nutzerschnittstelle 15 verbunden sein, die zum Beispiel insbesondere einen Bildschirm und eine Tastatur umfasst, die in 1 zu sehen sind.The control unit 12 of the cleaning station 2, which controls the interface 7, the articulated robot arm 10, the injection of the cleaning fluid in the at least one injector 11, can be connected to a user interface 15 which, for example, in particular comprises a screen and a keyboard, which in 1 you can see.

Die Reinigungsstation 2 kann auch einen Schaltschrank 16 umfassen, der es ermöglicht, alle oder einige der elektrischen Komponenten der Reinigungsstation 2 mit Energie zu versorgen und unterzubringen. Der Schaltschrank 16 ist vorzugsweise von der Einheit 14 zur Filterung mit laminarer Strömung entfernt, wodurch eine Verunreinigung des Gelenkroboterarms 10 durch die in dem Schaltschrank 16 untergebrachten verschiedenen Komponenten vermieden wird. Die Steuereinheit 12, die Nutzerschnittstelle 15 und der Schaltschrank 16 können mehreren Reinigungsstationen 2 gemein sein (1).The cleaning station 2 may also include an electrical cabinet 16 that allows all or some of the electrical components of the cleaning station 2 to be powered and housed. The cabinet 16 is preferably remote from the laminar flow filtration unit 14 thereby avoiding contamination of the articulated robot arm 10 from the various components housed in the cabinet 16 . The control unit 12, the user interface 15 and the switch cabinet 16 can be common to several cleaning stations 2 ( 1 ).

Es wird nunmehr ein Beispiel für das in einer Reinigungsstation 2 implementierte Reinigungsverfahren 100 (5) beschrieben.An example of the cleaning method 100 ( 5 ) described.

Das starre Gehäuse 4 des Transportbehälters 3 wird mit dem Beladeanschluss 8 gekoppelt. Dazu platziert ein Bediener oder ein Roboter den Transportbehälter 3 auf dem Beladeanschluss 8. Der Beladeanschluss 8 positioniert und überprüft das Modell des Transportbehälters 3, klemmt dann das starre Gehäuse 4 des Transportbehälters 3 fest und rückt es gegen den Eingang der Reinigungsstation 2 vor.The rigid housing 4 of the transport container 3 is coupled to the loading port 8 . To do this, an operator or robot places the tote 3 onto the loading port 8. The loading port 8 positions and verifies the model of the tote 3, then clamps the rigid body 4 of the tote 3 and advances it towards the entrance of the cleaning station 2.

Dann gibt das Türbetätigungsmittel die Tür 6 frei und bewegt sie von dem Gehäuse 4 weg.Then the door operating means releases the door 6 and moves it away from the housing 4 .

Dann wird das Antreiben des Gelenkroboterarms 10 dahingehend gesteuert, den mindestens einen Injektor 11 in das starre Gehäuse 4 einzuführen und den mindestens einen Injektor 11 durch Folgen einer vordefinierten Bahn zu bewegen, während das Innere des starren Gehäuses 4 gleichzeitig mit dem Bewegen des Gelenkroboterarms 10 in dem starren Gehäuse 4 mit dem Reinigungsfluid überstrichen wird (Reinigungsschritt 101). Die vordefinierte Bahn ist zum Beispiel die die allgemeine innere Form des Transportbehälters 3 reproduzieren der Bewegung, wodurch ermöglicht wird, die gesamte Innenfläche des Gehäuses 4 des Transportbehälters 3 zu überstreichen.Then, the driving of the articulated robot arm 10 is controlled so as to insert the at least one injector 11 into the rigid housing 4 and to move the at least one injector 11 by following a predefined trajectory while the inside of the rigid housing 4 is moved simultaneously with the moving of the articulated robot arm 10 in the rigid housing 4 is swept over with the cleaning fluid (cleaning step 101). The predefined trajectory is, for example, the movement reproducing the general internal shape of the transport container 3, thereby making it possible to sweep the entire internal surface of the housing 4 of the transport container 3.

Der Gelenkroboterarm 10 kann so gesteuert werden, dass der Abstand zwischen dem mindestens einen Injektor 11 und dem gekoppelten starren Gehäuse 4 kleiner als oder gleich zwanzig mm wie beispielsweise 15 mm +\-5 mm ist.The articulated robotic arm 10 can be controlled such that the distance between the at least one injector 11 and the coupled rigid housing 4 is less than or equal to twenty mm, such as 15 mm +/- 5 mm.

Die vordefinierte Bahn kann mit einem Reinigungsfluidinjektionsschema verbunden sein, wobei das Schema mindestens einen Parameter aus:

  • - einer Bewegungsgeschwindigkeit des mindestens einen Injektors 11,
  • - einem Durchfluss von durch den mindestens einen Injektor 11 eingespritztem Reinigungsfluid,
  • - einer Injektionszeit an einer gegebenen Stelle,
  • - einem Abstand zwischen dem mindestens einen Injektor 11 und dem starren Gehäuse 4

definiert.The predefined trajectory may be associated with a cleaning fluid injection scheme, where the scheme includes at least one parameter from:
  • - a movement speed of the at least one injector 11,
  • - a flow rate of cleaning fluid injected through the at least one injector 11,
  • - an injection time at a given site,
  • - a distance between the at least one injector 11 and the rigid housing 4

Are defined.

Die bzw. das Reinigungsfluidinjektionsbahn und/oder -schema kann als eine Funktion von Informationen über den Transportbehälter 3 wie eine Messung eines Verunreinigungsgrads des Transportbehälters 3 oder wie die Herkunft des Transportbehälters 3 ausgewählt sein.The cleaning fluid injection path and/or scheme may be selected as a function of information about the tote 3 such as a measurement of a contamination level of the tote 3 or such as the origin of the tote 3 .

Die Herkunft des Behälters 3 wird zum Beispiel mittels des Erkennungssensors des Beladeanschlusses 8 der Schnittstelle 7 und des Sensors des Gelenkroboterarms 10 identifiziert. Es ist zum Beispiel möglich, die Reinigungsfluidinjektionszeiten für die Transportbehälter 3, die aus bestimmten verunreinigenden Fertigungsschritten stammende Substrate befördert und gelagert haben, zu verlängern.The origin of the container 3 is identified, for example, by means of the detection sensor of the loading port 8 of the interface 7 and the sensor of the articulated robot arm 10. For example, it is possible to increase the cleaning fluid injection times for the transport containers 3 that have transported and stored substrates originating from certain contaminating manufacturing steps.

Die Messung des Verunreinigungsgrads des Transportbehälters 3 wird zum Beispiel vorher durchgeführt und/oder durch einen Partikelzähler der Reinigungsstation 2, der zum Beispiel am Ausgang des Partikelsammlers angeordnet ist, und/oder durch einen Analysator für Gasspezies durchgeführt. Der Reinigungsfluiddurchfluss wird im Falle von hohen Partikelmessungen oder im Falle von hohen Gasverunreinigungsmessungen zum Beispiel erhöht oder gepulst.The measurement of the degree of contamination of the transport container 3 is carried out, for example, beforehand and/or by a particle counter of the cleaning station 2, placed for example at the exit of the particle collector, and/or by a gas species analyzer. For example, the cleaning fluid flow is increased or pulsed in the case of high particle measurements or in the case of high gas contaminant measurements.

Gemäß einem Ausführungsbeispiel kann während des Überstreichens des starren Gehäuses 4 mit dem Reinigungsfluid (Reinigungsschritt 101) die Bahn des mindestens einen Injektors 11 einen Schritt 101a eines erweiterten Überstreichens umfassen, während dessen der mindestens eine Injektor 11 das Innere des starren Gehäuses 4 mit einer Bewegungsgeschwindigkeit des mindestens einen Injektors 11, die konstant ist, und/oder mit einem Abstand zwischen dem mindestens einen Injektor 11 und dem starren Gehäuse 4, der konstant ist, durchläuft.According to one embodiment, during the sweeping of the rigid housing 4 with the cleaning fluid (cleaning step 101), the trajectory of the at least one injector 11 may comprise a step 101a of an extended sweeping, during which the at least one injector 11 sweeps the interior of the rigid housing 4 with a moving speed of the at least one injector 11, which is constant, and/or with a distance between the at least one injector 11 and the rigid housing 4, which is constant.

Eine Variation des Abstands zwischen dem mindestens einen Injektor 11 und dem starren Gehäuse 4 um einen mittleren Abstand von unter 20% kann zum Beispiel als „konstanter Abstand“ bezeichnet werden. Der mittlere Abstand beträgt zum Beispiel 15 mm +/-5 mm.A variation in the distance between the at least one injector 11 and the rigid housing 4 by an average distance of less than 20% can be referred to as a “constant distance”, for example. The mean distance is, for example, 15 mm +/-5 mm.

Eine Variation der Geschwindigkeit zwischen dem mindestens einen Injektor 11 und dem starren Gehäuse 4 um eine mittlere Geschwindigkeit von unter 20% kann zum Beispiel als „konstante Geschwindigkeit“ bezeichnet werden. Die mittlere (Translations-)Geschwindigkeit beträgt zum Beispiel 10 cm/s +/-5 cm/s.A variation in the speed between the at least one injector 11 and the rigid housing 4 by an average speed of less than 20% can be referred to as “constant speed”, for example. The average (translation) speed is, for example, 10 cm/s +/-5 cm/s.

Die Bahn kann ferner mindestens einen Schritt 101b des lokalisierten Überstreichens in einem Totbereich umfassen, während dessen bezüglich der Abstände und der Geschwindigkeit des Schritts 101a des erweiterten Überstreichens die Bewegungsgeschwindigkeit des mindestens einen Injektors 11 verlangsamt ist und/oder der Abstand zwischen dem mindestens einen Injektor 11 und dem Gehäuse 4 reduziert ist. Der mittlere Abstand wird zum Beispiel durch zwei dividiert, und/oder die mittlere Geschwindigkeit wird mit drei multipliziert.The trajectory may further include at least one step 101b of localized scanning in a dead zone, during which, with respect to the distances and speed of step 101a of extended scanning, the speed of movement of the at least one injector 11 is slowed down and/or the distance between the at least one injector 11 and the housing 4 is reduced. For example, the mean distance is divided by two and/or the mean speed is multiplied by three.

Der Totbereich befindet sich zum Beispiel an den Substratstützfingern oder in den Ecken des Gehäuses 4 oder an den Filtern der Spülanschlüsse des Gehäuses 4.The dead zone is, for example, at the substrate support fingers or in the corners of the housing 4 or at the filters of the housing 4 purge ports.

Der mindestens eine Schritt 101b des lokalisierten Überstreichens folgt zum Beispiel dem Schritt 101a des erweiterten Überstreichens (5). Die Totbereiche können während des Schritts 101a des erweiterten Überstreichens, insbesondere, wenn die Reinigungsstation 2 einen Partikelzähler oder einen Gasspeziesanalysator umfasst, identifiziert werden.The at least one localized sweep step 101b follows, for example, the extended sweep step 101a ( 5 ). The dead zones may be identified during the extended sweep step 101a, particularly when the cleaning station 2 includes a particle counter or a gas species analyzer.

Der mindestens eine Schritt 101b des lokalisierten Überstreichens kann gleichzeitig mit dem Schritt 101 des erweiterten Überstreichens erfolgen. Somit deckt der mindestens eine Injektor 11 zum Beispiel das Innere des starren Gehäuses 4 mit einer Bewegungsgeschwindigkeit und einem Abstand, die konstant sind, ab, wobei die Bewegungsgeschwindigkeit des mindestens einen Injektors 11 verlangsamt ist und/oder der Abstand zwischen dem mindestens einen Injektor 11 und dem Gehäuse 4 in den Totbereichen reduziert ist.The at least one localized sweeping step 101b may occur concurrently with the extended sweeping step 101 . Thus, the at least one injector 11 covers, for example, the inside of the rigid housing 4 with a movement speed and a distance that are constant, the movement speed of the at least one injector 11 being slowed down and/or the distance between the at least one injector 11 and the housing 4 is reduced in the dead zones.

Am Ende des Überstreichens des starren Gehäuses 4 mit dem Reinigungsfluid kann das Reinigungsverfahren 100 einen Schritt 102 des Aufbereitens des Transportbehälters 3 umfassen, während dessen der Transportbehälter 3 mit einem Spülgas wie beispielsweise trockenem Stickstoff gefüllt wird. Das Füllen mit Spülgas kann über Spülgasinjektionsanschlüsse des Beladeanschlusses 8 erfolgen, die dazu konfiguriert sind, ein Spülgas durch die Ladeanschlüsse des Gehäuses 4 des Transportbehälters 3 zu injizieren. Der Aufbereitungsschritt 102 kann während des Reinigens der Tür 6 gleichzeitig durchgeführt werden.At the end of sweeping the rigid housing 4 with the cleaning fluid, the cleaning method 100 may comprise a step 102 of conditioning the transport container 3, during which the transport container 3 is filled with a purge gas such as dry nitrogen. Filling with purge gas can be done via purge gas injection ports of the loading port 8, which are configured to inject a purge gas through the charging ports of the housing 4 of the transport container 3 to inject. The conditioning step 102 can be performed simultaneously while the door 6 is being cleaned.

Es ist auch möglich, das Gehäuse 3, dessen Tür 6 geöffnet ist, durch andere Mittel zu füllen, zum Beispiel mittels eines Spülgasinjektionsanschlusses der sich gegenüber der vorderen Öffnung 5 des Gehäuses 4 befindet. Diese Ausführungsform bietet den Vorteil, dass gestattet wird, dass der Transportbehälter 3 während der wenigen Sekunden, die zum Reinigen der Tür 6 benötigt werden, zeitgleich mit Spülgas gefüllt wird.It is also possible to fill the housing 3, the door 6 of which is open, by other means, for example by means of a purge gas injection port located opposite the front opening 5 of the housing 4. This embodiment offers the advantage of allowing the transport container 3 to be simultaneously filled with purge gas during the few seconds needed to clean the door 6 .

Somit versteht sich, dass die Reinigungsstation 2 die Reinigung der organischen und gasförmigen Verunreinigungen des Transportbehälters 3 gestattet. Des Weiteren weist die Reinigungsstation 2 keine dedizierte Kammer auf. Es ist das Gehäuse 4 des Transportbehälters 3 selbst, das eine Kammer bildet. Das Gehäuse 4 kann gereinigt werden, ohne bewegt zu werden, während es mit dem Beladeanschluss 8 gekoppelt bleibt.It is thus clear that the cleaning station 2 allows the organic and gaseous impurities in the transport container 3 to be cleaned. Furthermore, the cleaning station 2 does not have a dedicated chamber. It is the housing 4 of the transport container 3 itself that forms a chamber. The housing 4 can be cleaned without being moved while remaining coupled to the loading port 8 .

Der Abstand zwischen dem mindestens einen Injektor 11 und dem Gehäuse 4 wird gesteuert, wodurch ermöglicht wird, Behälter reproduzierbar von einem Transportbehälter 3 zum nächsten zu reinigen.The distance between the at least one injector 11 and the housing 4 is controlled, making it possible to clean containers reproducibly from one transport container 3 to the next.

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  • EP 2272083 [0004, 0006]EP 2272083 [0004, 0006]

Claims (20)

Reinigungsstation (2) für einen Transportbehälter (3) für das Befördern und atmosphärische Lagern von Halbleitersubstraten vom FOUP- oder FOSB-Typ, wobei der Transportbehälter (3) ein starres Gehäuse (4) umfasst, das mit einer vorderen Öffnung (5) und einer entfernbaren Tür (6), die es ermöglicht, die vordere Öffnung (5) zu schließen, versehen ist, wobei die Reinigungsstation (2) einen Beladeanschluss (8) umfasst, der mit dem starren Gehäuse (4) gekoppelt sein kann, dadurch gekennzeichnet, dass die Reinigungsstation (2) ferner Folgendes umfasst: - einen Gelenkroboterarm (10), der mindestens einen Injektor (11) trägt, - eine Steuereinheit (12), die dazu konfiguriert ist, den Antrieb des Gelenkroboterarms (10) zum Einführen des mindestens einen Injektors (11) in das mit dem Beladeanschluss (8) gekoppelte starre Gehäuse (4), dessen Tür (6) zuvor entfernt worden ist, zu steuern und den mindestens einen Injektor (11) durch Folgen einer vordefinierten Bahn zu bewegen, während das Innere des starren Gehäuses (4) gleichzeitig mit dem Bewegen des Gelenkroboterarms (10) in dem starren Gehäuse (4) mit dem Reinigungsfluid überstrichen wird.Cleaning station (2) for a transport container (3) for the conveyance and atmospheric storage of semiconductor substrates of the FOUP or FOSB type, the transport container (3) comprising a rigid housing (4) provided with a front opening (5) and a removable door (6) enabling the front opening (5) to be closed, the cleaning station (2) comprising a loading port (8) which can be coupled to the rigid housing (4), characterized in that in that the cleaning station (2) further comprises: - an articulated robotic arm (10) carrying at least one injector (11), - a control unit (12) configured to drive the articulated robotic arm (10) to insert the at least one Injector (11) into the loading port (8) coupled rigid housing (4) whose door (6) has previously been removed to control and to move the at least one injector (11) by following a predefined path while the interior of rigid housing (4) is swept over with the cleaning fluid simultaneously with the movement of the articulated robot arm (10) in the rigid housing (4). Reinigungsstation (2) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass der Gelenkroboterarm (10) mindestens drei Achsen umfasst.Cleaning station (2) according to the preceding claim, characterized in that the articulated robot arm (10) comprises at least three axes. Reinigungsstation (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Gelenkroboterarm (10) mindestens zwei Injektoren (11) trägt, wie beispielsweise zwischen zwei und zehn Injektoren (11), zum Beispiel mindestens vier Injektoren (11), die in ein und derselben Ebene angeordnet sind.Cleaning station (2) according to any one of the preceding claims, characterized in that the articulated robot arm (10) carries at least two injectors (11), such as between two and ten injectors (11), for example at least four injectors (11) arranged in a and arranged in the same plane. Reinigungsstation (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Gelenkroboterarm (10) mindestens einen Sensor umfasst.Cleaning station (2) according to one of the preceding claims, characterized in that the articulated robot arm (10) comprises at least one sensor. Reinigungsstation (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie ein Mittel zum Reinigen des Endes (13) des Gelenkroboterarms (10) umfasst.Cleaning station (2) according to any one of the preceding claims, characterized in that it comprises means for cleaning the end (13) of the articulated robot arm (10). Reinigungsstation (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie ein Türbetätigungsmittel umfasst, das dazu konfiguriert ist, die Tür (6) von dem Gehäuse (4) weg zu bewegen, wobei die Reinigungsstation (2) auch mindestens einen zusätzlichen Injektor umfasst, der zu der Stelle der Tür (6) ausgerichtet ist, um ein Reinigungsfluid auf die Tür (6) des Transportbehälters (3) zu injizieren.A cleaning station (2) as claimed in any one of the preceding claims, characterized in that it comprises door actuating means configured to move the door (6) away from the housing (4), the cleaning station (2) also having at least one additional injector aligned to the location of the door (6) to inject a cleaning fluid onto the door (6) of the transport container (3). Reinigungsstation (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass sie ein Türbetätigungsmittel umfasst, das dazu konfiguriert ist, die Tür (6) von dem Gehäuse (4) weg zu bewegen, wobei der Gelenkroboterarm (10) so konfiguriert ist, dass er den mindestens einen der Tür (6) zugekehrten Injektor (11) durch Folgen einer zusätzlichen vordefinierten Bahn bei gleichzeitigem Überstreichen der Innenseite der Tür (6) mit dem Reinigungsfluid bewegen kann.Cleaning station (2) according to one of Claims 1 until 5 , characterized in that it comprises a door operating means configured to move the door (6) away from the housing (4), the articulated robotic arm (10) being configured to move the at least one of the door (6) facing injector (11) by following an additional predefined path while sweeping the inside of the door (6) with the cleaning fluid. Reinigungsstationen (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Gelenkroboterarm (10) dazu konfiguriert ist, die Tür (6) zu ergreifen und sie gegenüber einen zusätzlichen Reinigungsfluidinjektor zu führen.Cleaning stations (2) according to one of Claims 1 until 5 , characterized in that the articulated robotic arm (10) is configured to grip the door (6) and guide it towards an additional cleaning fluid injector. Reinigungsstation (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie eine Einheit (14) zur Filterung mit laminarer Strömung zum Platzieren des Gelenkroboterarms (10) unter einer laminaren Strömung gefilterter Luft umfasst.Cleaning station (2) according to any one of the preceding claims, characterized in that it comprises a laminar flow filtration unit (14) for placing the articulated robotic arm (10) under a laminar flow of filtered air. Reinigungsstation (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie eine Heizeinheit umfasst, die dazu konfiguriert ist, die Innenwände des Transportbehälters (3) zu erwärmen.Cleaning station (2) according to any one of the preceding claims, characterized in that it comprises a heating unit configured to heat the inner walls of the transport container (3). Reinigungsstation (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Reinigungsfluid zum Beispiel ein neutrales und trockenes Gas oder ein Gemisch aus einem Spülgas und Wasserdampf oder ein Gemisch aus Spülgas und Flüssigkeit ist.Cleaning station (2) according to one of the preceding claims, characterized in that the cleaning fluid is, for example, a neutral and dry gas or a mixture of a flushing gas and water vapor or a mixture of flushing gas and liquid. Reinigungsstation (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie eine Vorrichtung zum Erzeugen eines Vorhangs (18) aus Spülgas umfasst, die mehrere in einer Reihe angeordnete Spülgasinjektoren umfasst, die dazu konfiguriert sind, einen Gasvorhang an der vorderen Öffnung (5) des Gehäuses (4) zu bilden.Cleaning station (2) according to any one of the preceding claims, characterized in that it comprises a device for generating a curtain (18) of purge gas, comprising a plurality of purge gas injectors arranged in a row and configured to generate a gas curtain at the front opening (5 ) of the housing (4). Reinigungsmodul (1), dadurch gekennzeichnet, dass es mindestens zwei Reinigungsstationen (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche umfasst, wobei die Reinigungsstationen (2) komplementäre Kopplungsmittel umfassen, die zum Aneinanderkoppeln der Reinigungsstationen (2) konfiguriert sind.Cleaning module (1), characterized in that it comprises at least two cleaning stations (2) according to any one of the preceding claims, the cleaning stations (2) comprising complementary coupling means configured for coupling the cleaning stations (2) to one another. In einer Reinigungsstation (2) nach einem der Ansprüche 1 bis 12 implementiertes Reinigungsverfahren (100), dadurch gekennzeichnet, dass: - das starre Gehäuse (4) des Transportbehälters (3) mit dem Beladeanschluss (8) gekoppelt ist, - das Antreiben des Gelenkroboterarms (10) dahingehend gesteuert wird, den mindestens einen Injektor (11) in das starre Gehäuse (4) einzuführen und den mindestens einen Injektor (11) durch Folgen einer vordefinierten Bahn zu bewegen, während das Innere des starren Gehäuses (4) gleichzeitig mit dem Bewegen des Gelenkroboterarms (10) in dem starren Gehäuse (4) mit dem Reinigungsfluid überstrichen wird.In a cleaning station (2) according to one of Claims 1 until 12 implemented cleaning method (100), characterized in that: - the rigid housing (4) of the transport container (3) is coupled to the loading connection (8), - the driving of the articulated robot arm (10) is controlled to insert the at least one injector (11) into the rigid housing (4) and to move the at least one injector (11) by following a predefined path while the interior of the rigid housing ( 4) being swept over with the cleaning fluid simultaneously with the movement of the articulated robot arm (10) in the rigid housing (4). Reinigungsverfahren (100) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die vordefinierte Bahn des Gelenkroboterarms (10) durch Lernen programmiert wird, indem bewirkt wird, dass der Gelenkroboterarm (10) aufeinanderfolgende kartesische Koordinaten des Gehäuses (4) abspeichert, oder die vordefinierte Bahn des Gelenkroboterarms (10) anhand eines vorgespeicherten Modells eines Gehäuses (4) programmiert wird.Cleaning method (100) according to the preceding claim, characterized in that the predefined trajectory of the articulated robotic arm (10) is programmed by learning by causing the articulated robotic arm (10) to memorize successive Cartesian coordinates of the housing (4), or the predefined trajectory of the articulated robot arm (10) is programmed using a pre-stored model of a housing (4). Reinigungsverfahren (100) nach einem der Ansprüche 14 und 15, dadurch gekennzeichnet, dass die vordefinierte Bahn mit einem Reinigungsfluidinjektionsschema verbunden ist, wobei das Schema mindestens einen Parameter aus: - einer Bewegungsgeschwindigkeit des mindestens einen Injektors (11), - einem Durchfluss von durch den mindestens einen Injektor (11) eingespritztem Reinigungsfluid, - einer Injektionszeit an einer gegebenen Stelle, - einem Abstand zwischen dem mindestens einen Injektor (11) und dem starren Gehäuse (4) definiert.Purification method (100) according to any one of Claims 14 and 15 , characterized in that the predefined path is associated with a cleaning fluid injection scheme, the scheme including at least one of: - a speed of movement of the at least one injector (11), - a flow rate of cleaning fluid injected by the at least one injector (11), - a injection time at a given point, - a distance between the at least one injector (11) and the rigid housing (4). Reinigungsverfahren (100) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die bzw. das Reinigungsfluidinjektionsbahn und/oder -schema als eine Funktion von Informationen über den Transportbehälter (3) wie eine Messung eines Verunreinigungsgrads des Transportbehälters (3) ausgewählt ist.Cleaning method (100) according to the preceding claim, characterized in that the cleaning fluid injection path and/or scheme is selected as a function of information about the transport container (3), such as a measurement of a contamination level of the transport container (3). Reinigungsverfahren (100) nach einem der Ansprüche 14 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass während des Überstreichens des starren Gehäuses (4) mit dem Reinigungsfluid die Bahn des mindestens einen Injektors (11) einen Schritt (101a) eines erweiterten Überstreichens umfasst, während dessen der mindestens eine Injektor (11) das Innere des starren Gehäuses (4) mit einer Bewegungsgeschwindigkeit des mindestens einen Injektors (11), die konstant ist, und/oder einem Abstand zwischen dem mindestens einen Injektor (11) und dem starren Gehäuse (4), der konstant ist, durchläuft.Purification method (100) according to any one of Claims 14 until 17 , characterized in that during the sweeping of the rigid housing (4) with the cleaning fluid, the path of the at least one injector (11) comprises a step (101a) of extended sweeping, during which the at least one injector (11) cleans the interior of the rigid housing (4) with a movement speed of the at least one injector (11) which is constant and/or a distance between the at least one injector (11) and the rigid housing (4) which is constant. Reinigungsverfahren (100) nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Bahn ferner mindestens einen Schritt (101b) des lokalisierten Überstreichens in einem Totbereich umfasst, während dessen die Bewegungsgeschwindigkeit des mindestens einen Injektors (11) verlangsamt ist und/oder der Abstand zwischen dem mindestens einen Injektor (11) und dem Gehäuse (4) reduziert ist.Cleaning method (100) according to the preceding claim, characterized in that the path further comprises at least one step (101b) of localized sweeping in a dead zone during which the speed of movement of the at least one injector (11) is slowed down and/or the distance between the at least one injector (11) and the housing (4) is reduced. Reinigungsverfahren (100) nach einem der Ansprüche 14 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass am Ende des Überstreichens des starren Gehäuses (4) mit dem Reinigungsfluid das Reinigungsverfahren (100) einen Schritt (102) des Aufbereitens des Transportbehälters (3) umfasst, während dessen der Transportbehälter (3) mit einem Spülgas gefüllt wird.Purification method (100) according to any one of Claims 14 until 19 , characterized in that at the end of the sweeping of the rigid housing (4) with the cleaning fluid, the cleaning process (100) comprises a step (102) of preparing the transport container (3), during which the transport container (3) is filled with a flushing gas.
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