DE112009000963B4 - Grenzschallwellenvorrichtung - Google Patents

Abstract

Grenzschallwellenvorrichtung, die Folgendes umfaßt: ein piezoelektrisches Substrat das aus einkristallinem LiTaO3 besteht, eine erste Mediumschicht, die auf dem piezoelektrischen Substrat angeordnet ist und aus einem Dielektrikum besteht, eine zweite Mediumschicht, die auf der ersten Mediumschicht angeordnet ist und aus einem Dielektrikum besteht, das eine Schallgeschwindigkeit aufweist, die eine andere ist als die Schallgeschwindigkeit des Dielektrikums, aus dem die erste Mediumschicht besteht, und mindestens eine Interdigitalelektrode, die an der Grenze zwischen dem piezoelektrischen Substrat und der ersten Mediumschicht angeordnet ist, wobei die Schallgeschwindigkeit der ersten Mediumschicht geringer ist als die Schallgeschwindigkeit von LiTaO3, die Schallgeschwindigkeit der zweiten Mediumschicht größer ist als die Schallgeschwindigkeit von LiTaO3 und die Ungleichheit (h/λ) × a ≤ 0,05 gilt, wobei H die Dicke der ersten Mediumschicht ist, h die Dicke der Interdigitalelektrode ist, λ die Periode von Elektrodenfingern der Interdigitalelektrode ist und a das Verhältnis der Dichte eines Metalls, aus dem die Interdigitalelektrode besteht, zur Dichte von Au ist, wobei, wenn das LiTaO3 Eulersche Winkel (0° ± 5°, θ, 0° ± 25°) hat, die normalisierte Dicke (h/λ) × a der Interdigitalelektrode mit Bezug auf den Wert von H/λ und den Wert von θ innerhalb eines der in den Tabellen 1 bis 10 unten gezeigten Bereiche liegt: ...

Description

• TECHNISCHES GEBIET
• Die vorliegende Erfindung betrifft Grenzschallwellenvorrichtungen, die beispielsweise in Resonatoren und Filtern eingesetzt werden, und betrifft insbesondere eine Grenzschallwellenvorrichtung mit einer trimedialen Struktur, wobei eine erste Mediumschicht und eine zweite Mediumschicht auf einem aus LiTaO₃ bestehenden piezoelektrischen Substrat angeordnet sind.
• ALLGEMEINER STAND DER TECHNIK
• In den vergangenen Jahren sind Grenzschallwellenvorrichtungen an die Stelle von Oberflächenschallwellenvorrichtungen getreten und haben zunehmend an Aufmerksamkeit gewonnen. Die Grenzschallwellenvorrichtungen brauchen keine Gehäuse, die Resonanzräume aufweisen. Darum lassen sich mit Hilfe von Grenzschallwellenvorrichtungen kompakte Resonatoren und Filter realisieren.
• Patentdokument 1 unten offenbart eine beispielhafte Grenzschallwellenvorrichtung mit einer trimedialen Struktur, wobei eine erste Mediumschicht und eine zweite Mediumschicht auf einem piezoelektrischen Substrat angeordnet sind. Mit Bezug auf 31 sind (nicht gezeigte) Interdigitalelektroden auf einem piezoelektrischen Substrat 1001 angeordnet, und eine polykristalline Siliziumoxidschicht, die als eine erste Mediumschicht 1002 dient, und eine polykristalline Siliziumschicht, die als eine zweite Mediumschicht 1003 dient, sind auf dem piezoelektrischen Substrat 1001 angeordnet. Die IDT-Elektroden sind an der Grenzfläche zwischen dem piezoelektrischen Substrat und der polykristallinen Siliziumoxidschicht angeordnet.
• Das Vorhandensein der polykristallinen Siliziumschicht ermöglicht es, die Energie einer durch die IDT-Elektroden angeregten Grenzschallwelle auf das Volumen der ersten Mediumschicht 1002, die aus der polykristallinen Siliziumoxidschicht besteht, zu begrenzen, wie in 31 gezeigt.
• Selbst wenn die Qualität der polykristallinen Siliziumschicht nachläßt, ist es unwahrscheinlich, daß sich die elektrischen Eigenschaften verschlechtern. Da die polykristalline Siliziumoxidschicht und die polykristalline Siliziumschicht die IDT-Elektroden schützen, ist die Zuverlässigkeit hoch. Die Verwendung der trimedialen Struktur ist für die Verwendung höherer Frequenzen effektiv.
• Weitere Grenzschallwellenvorrichtungen sind aus den Patentdokumenten 2 und 3 bekannt. Patentdokument 4 lehrt einen möglichen Schichtaufbau von Elektrodenstrukturen eines mit akustischen Oberflächenwellen arbeitenden Bauelementes.
  
  Patentdokument 1: WO 98/52279 A1
  Patentdokument 2: EP 1 879 291 A1
  Patentdokument 3: US 2007/0159026 A1
  Patentdokument 4: DE 10 2004 058 016 A1
• OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
• Patentdokument 1 sagt nichts über eine Änderung von Eigenschaften in Abhängigkeit von der Dicke der IDT-Elektroden. Es ist jedoch dargelegt worden, daß, wenn IDT-Elektroden eine vergrößerte Dicke haben oder aus einem hochdichten Metall bestehen, ein unerwünschtes Transversalmodusbrummen in einer solchen herkömmlichen Grenzschallwellenvorrichtung angeregt wird, wie in Patentdokument 1 offenbart ist. In der trimedialen Struktur, in der – wie in Patentdokument 1 offenbart – LiTaO₃ verarbeitet ist, ist keine klare Konfiguration zu erkennen, die in der Lage ist, gute Eigenschaften zu erbringen.
• Angesichts der Probleme, mit der die oben angesprochene herkömmliche Technik behaftet ist, ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Grenzschallwellenvorrichtung bereitzustellen, die eine trimediale Struktur aufweist, die ein piezoelektrisches Substrat enthält, das aus einkristallinem LiTaO₃ besteht, und die ein Transversalmodusbrummen unterdrücken kann, das innerhalb der Frequenzkennlinie auftritt. Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die Ausbreitungskonstante α zu verkleinern. Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, den elektromechanischen Kopplungskoeffizienten K² zu vergrößern, um das Durchlaßband zu verbreitern.
• Die vorliegende Erfindung stellt eine Grenzschallwellenvorrichtung bereit, die Folgendes enthält: ein piezoelektrisches Substrat, das aus einkristallinem LiTaO₃ besteht, eine erste Mediumschicht, die auf dem piezoelektrischen Substrat angeordnet ist und aus einem Dielektrikum besteht, eine zweite Mediumschicht, die auf der ersten Mediumschicht angeordnet ist und aus einem Dielektrikum besteht, das eine Schallgeschwindigkeit aufweist, die eine andere ist als die Schallgeschwindigkeit des Dielektrikums, aus dem die erste Mediumschicht besteht, und mindestens eine Interdigitalelektrode, die an der Grenze zwischen dem piezoelektrischen Substrat und der ersten Mediumschicht angeordnet ist. Die Schallgeschwindigkeit der ersten Mediumschicht ist geringer als die Schallgeschwindigkeit von LiTaO₃. Die Schallgeschwindigkeit der zweiten Mediumschicht ist größer als die Schallgeschwindigkeit von LiTaO₃. Es gilt die Ungleichheit (h/λ) × a ≤ 0,05, wobei H die Dicke der ersten Mediumschicht ist, h die Dicke der Interdigitalelektrode ist, λ die Periode von Elektrodenfingern der Interdigitalelektrode ist und a das Verhältnis der Dichte eines Metalls, aus dem die Interdigitalelektrode besteht, zur Dichte von Au ist, wobei in der Grenzschallwellenvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung, wenn das LiTaO₃ Eulersche Winkel (0° ± 5°, θ, 0° ± 25°) hat, die normalisierte Dicke (h/λ) × a der Interdigitalelektrode mit Bezug auf den Wert von H/λ und den Wert von θ bevorzugt innerhalb eines der in den Tabellen 1 bis 10 unten gezeigten Bereiche liegt. [Tabelle 1] Für [0,05 ≤ H/λ < 0,15]

  Wenn 0 ≤ θ < 75,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05.
  Wenn 75,5 ≤ θ < 76,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,014 oder 0,021 bis 0,05.
  Wenn 76,5 ≤ θ < 77,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,014 oder 0,022 bis 0,05.
  Wenn 77,5 ≤ θ < 78,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0135 oder 0,023 bis 0,05.
  Wenn 78,5 ≤ θ < 79,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,013 oder 0,024 bis 0,05.
  Wenn 79,5 ≤ θ < 80,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,013 oder 0,025 bis 0,05.
  Wenn 80,5 ≤ θ < 81,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,013 oder 0,0255 bis 0,05.
  Wenn 81,5 ≤ θ < 82,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,013 oder 0,026 bis 0,05.
  Wenn 82,5 ≤ θ < 83,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,013 oder 0,0265 bis 0,05.
  Wenn 83,5 ≤ θ < 84,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,013 oder 0,027 bis 0,05.
  Wenn 84,5 ≤ θ < 85,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,013 oder 0,0275 bis 0,05.
  Wenn 85,5 ≤ θ < 86,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,013 oder 0,028 bis 0,05.
  Wenn 86,5 ≤ θ < 87,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,013 oder 0,0285 bis 0,05.
  Wenn 87,5 ≤ θ < 88,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0135 oder 0,029 bis 0,05.
  Wenn 88,5 ≤ θ < 90,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0135 oder 0,0295 bis 0,05.
  Wenn 90,5 ≤ θ < 91,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,014 oder 0,03 bis 0,05.
  Wenn 91,5 ≤ θ < 92,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,014 oder 0,0305 bis 0,05.
  Wenn 92,5 ≤ θ < 93,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0145 oder 0,0305 bis 0,05.
  Wenn 93,5 ≤ θ < 94,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0145 oder 0,031 bis 0,05.
  Wenn 94,5 ≤ θ < 95,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,015 oder 0,031 bis 0,05.
  Wenn 95,5 ≤ θ < 96,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0155 oder 0,0315 bis 0,05.
  Wenn 96,5 ≤ θ < 97,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,016 oder 0,0315 bis 0,05.
  Wenn 97,5 ≤ θ < 98,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0165 oder 0,032 bis 0,05.
  Wenn 98,5 ≤ θ < 99,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,017 oder 0,032 bis 0,05.
  Wenn 99,5 ≤ θ < 100,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0175 oder 0,032 bis 0,05.
  Wenn 100,5 ≤ θ < 101,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,018 oder 0,0325 bis 0,05.
  Wenn 101,5 ≤ θ < 102,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0185 oder 0,0325 bis 0,05.
  Wenn 102,5 ≤ θ < 103,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,019 oder 0,0325 bis 0,05.
  Wenn 103,5 ≤ θ < 104,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0195 oder 0,0325 bis 0,05.
  Wenn 104,5 ≤ θ < 105,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0205 oder 0,033 bis 0,05.
  Wenn 105,5 ≤ θ < 106,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0215 oder 0,033 bis 0,05.
  Wenn 106,5 ≤ θ < 107,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0225 oder 0,033 bis 0,05.
  Wenn 107,5 ≤ θ < 108,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0235 oder 0,033 bis 0,05.
  Wenn 108,5 ≤ θ < 109,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,024 oder 0,0325 bis 0,05.
  Wenn 109,5 ≤ θ < 110,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,026 oder 0,0325 bis 0,05.
  Wenn 110,5 ≤ θ < 111,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,028 oder 0,032 bis 0,05.
  Wenn 111,5 ≤ θ < 112,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0295 oder 0,0305 bis 0,05.
  Wenn 112,5 ≤ θ < 180	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05.

  [Tabelle 2] Für [0,15 ≤ H/λ < 0,25]

  Wenn 0 ≤ θ < 1,5	(h/λ) × a ist 0,024 bis 0,05.
  Wenn 1,5 ≤ θ < 3,5	(h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,05.
  Wenn 3,5 ≤ θ < 4,5	(h/λ) × a ist 0,023 bis 0,05.
  Wenn 4,5 ≤ θ < 5,5	(h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,05.
  Wenn 5,5 ≤ θ < 6,5	(h/λ) × a ist 0,022 bis 0,05.
  Wenn 6,5 ≤ θ < 7,5	(h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,05.
  Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5	(h/λ) × a ist 0,021 bis 0,05.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	(h/λ) × a ist 0,02 bis 0,05.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	(h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,05.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5	(h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,05.
  Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5	(h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,05.
  Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5	(h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,05.
  Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5	(h/λ) × a ist 0,015 bis 0,05.
  Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5	(h/λ) × a ist 0,013 bis 0,05.
  Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5	(h/λ) × a ist 0,011 bis 0,05.
  Wenn 16,5 ≤ θ < 54,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05.
  Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5	(h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5	(h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,05.
  Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5	(h/λ) × a ist 0,017 bis 0,05.
  Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5	(h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,05.
  Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5	(h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,05.
  Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5	(h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,05.
  Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5	(h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,05.
  Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5	(h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,05.
  Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5	(h/λ) × a ist 0,023 bis 0,05.
  Wenn 63,5 ≤ θ < 64,5	(h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,05.
  Wenn 64,5 ≤ θ < 65,5	(h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,05.
  Wenn 65,5 ≤ θ < 66,5	(h/λ) × a ist 0,025 bis 0,05.
  Wenn 66,5 ≤ θ < 67,5	(h/λ) × a ist 0,0255 bis 0,05.
  Wenn 67,5 ≤ θ < 68,5	(h/λ) × a ist 0,026 bis 0,05.
  Wenn 68,5 ≤ θ < 69,5	(h/λ) × a ist 0,0265 bis 0,05.
  Wenn 69,5 ≤ θ < 70,5	(h/λ) × a ist 0,027 bis 0,05.
  Wenn 70,5 ≤ θ < 72,5	(h/λ) × a ist 0,0275 bis 0,05.
  Wenn 72,5 ≤ θ < 73,5	(h/λ) × a ist 0,028 bis 0,05.
  Wenn 73,5 ≤ θ < 74,5	(h/λ) × a ist 0,0285 bis 0,05.
  Wenn 74,5 ≤ θ < 76,5	(h/λ) × a ist 0,029 bis 0,05.
  Wenn 76,5 ≤ θ < 78,5	(h/λ) × a ist 0,0295 bis 0,05.
  Wenn 78,5 ≤ θ < 79,5	(h/λ) × a ist 0,03 bis 0,05.
  Wenn 79,5 ≤ θ < 81,5	(h/λ) × a ist 0,0305 bis 0,05.
  Wenn 81,5 ≤ θ < 83,5	(h/λ) × a ist 0,031 bis 0,05.
  Wenn 83,5 ≤ θ < 86,5	(h/λ) × a ist 0,0315 bis 0,05.
  Wenn 86,5 ≤ θ < 88,5	(h/λ) × a ist 0,032 bis 0,05.
  Wenn 88,5 ≤ θ < 92,5	(h/λ) × a ist 0,0325 bis 0,05.
  Wenn 92,5 ≤ θ < 97,5	(h/λ) × a ist 0,033 bis 0,05.
  Wenn 97,5 ≤ θ < 98,5	(h/λ) × a ist 0,005 oder 0,0335 bis 0,05
  Wenn 98,5 ≤ θ < 99,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,006 oder 0,0335 bis 0,05.
  Wenn 99,5 ≤ θ < 100,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0065 oder 0,0335 bis 0,05.
  Wenn 100,5 ≤ θ < 101,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,007 oder 0,0335 bis 0,05.
  Wenn 101,5 ≤ θ < 102,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0075 oder 0,0335 bis 0,05.
  Wenn 102,5 ≤ θ < 103,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0085 oder 0,0335 bis 0,05.
  Wenn 103,5 ≤ θ < 104,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,009 oder 0,0335 bis 0,05.
  Wenn 104,5 ≤ θ < 105,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,01 oder 0,0335 bis 0,05.
  Wenn 105,5 ≤ θ < 106,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,011 oder 0,0335 bis 0,05.
  Wenn 106,5 ≤ θ < 107,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,012 oder 0,0335 bis 0,05.
  Wenn 107,5 ≤ θ < 108,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0125 oder 0,0335 bis 0,05.
  Wenn 108,5 ≤ θ < 109,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0135 oder 0,033 bis 0,05.
  Wenn 109,5 ≤ θ < 110,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0145 oder 0,033 bis 0,05.
  Wenn 110,5 ≤ θ < 111,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,016 oder 0,0325 bis 0,05.
  Wenn 111,5 ≤ θ < 112,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0175 oder 0,0325 bis 0,05.
  Wenn 112,5 ≤ θ < 113,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,019 oder 0,032 bis 0,05.
  Wenn 113,5 ≤ θ < 114,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0215 oder 0,031 bis 0,05.
  Wenn 114,5 ≤ θ < 115,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,024 oder 0,028 bis 0,05.
  Wenn 115,5 ≤ θ < 155,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05.
  Wenn 155,5 ≤ θ < 156,5	(h/λ) × a ist 0,0105 bis 0,05.
  Wenn 156,5 ≤ θ < 157,5	(h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 157,5 ≤ θ < 158,5	(h/λ) × a ist 0,015 bis 0,05.
  Wenn 158,5 ≤ θ < 159,5	(h/λ) × a ist 0,016 bis 0,05.
  Wenn 159,5 ≤ θ < 160,5	(h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,05.
  Wenn 160,5 ≤ θ < 161,5	(h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,05.
  Wenn 161,5 ≤ θ < 162,5	(h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,05.
  Wenn 162,5 ≤ θ < 163,5	(h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,05.
  Wenn 163,5 ≤ θ < 164,5	(h/λ) × a ist 0,021 bis 0,05.
  Wenn 164,5 ≤ θ < 165,5	(h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,05.
  Wenn 165,5 ≤ θ < 166,5	(h/λ) × a ist 0,022 bis 0,05.
  Wenn 166,5 ≤ θ < 167,5	(h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,05.
  Wenn 167,5 ≤ θ < 168,5	(h/λ) × a ist 0,023 bis 0,05.
  Wenn 168,5 ≤ θ < 169,5	(h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,05.
  Wenn 169,5 ≤ θ < 171,5	(h/λ) × a ist 0,024 bis 0,05.
  Wenn 171,5 ≤ θ < 179,5	(h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,05.
  Wenn 179,5 ≤ θ < 180	(h/λ) × a ist 0,024 bis 0,05.

  [Tabelle 3] Für [0,25 ≤ H/λ < 0,35]

  Wenn 0 ≤ θ < 0,5	(h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,05.
  Wenn 0,5 ≤ θ < 3,5	(h/λ) × a ist 0,024 bis 0,05.
  Wenn 3,5 ≤ θ < 4,5	(h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,05.
  Wenn 4,5 ≤ θ < 6,5	(h/λ) × a ist 0,023 bis 0,05.
  Wenn 6,5 ≤ θ < 7,5	(h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,05.
  Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5	(h/λ) × a ist 0,022 bis 0,05.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	(h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,05.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	(h/λ) × a ist 0,021 bis 0,05.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5	(h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,05.
  Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5	(h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,05.
  Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5	(h/λ) × a ist 0,019 bis 0,05.
  Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5	(h/λ) × a ist 0,018 bis 0,05.
  Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5	(h/λ) × a ist 0,017 bis 0,05.
  Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5	(h/λ) × a ist 0,016 bis 0,05.
  Wenn 16,5 ≤ θ < 17,5	(h/λ) × a ist 0,015 bis 0,05.
  Wenn 17,5 ≤ θ < 18,5	(h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,05.
  Wenn 18,5 ≤ θ < 19,5	(h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,05.
  Wenn 19,5 ≤ θ < 20,5	(h/λ) × a ist 0,0095 bis 0,05.
  Wenn 20,5 ≤ θ < 21,5	(h/λ) × a ist 0,006 bis 0,05.
  Wenn 21,5 ≤ θ < 50,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05.
  Wenn 50,5 ≤ θ < 51,5	(h/λ) × a ist 0,008 bis 0,05.
  Wenn 51,5 ≤ θ < 52,5	(h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5	(h/λ) × a ist 0,015 bis 0,05.
  Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5	(h/λ) × a ist 0,017 bis 0,05.
  Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5	(h/λ) × a ist 0,018 bis 0,05.
  Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5	(h/λ) × a ist 0,019 bis 0,05.
  Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5	(h/λ) × a ist 0,02 bis 0,05.
  Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5	(h/λ) × a ist 0,021 bis 0,05.
  Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5	(h/λ) × a ist 0,022 bis 0,05.
  Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5	(h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,05.
  Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5	(h/λ) × a ist 0,023 bis 0,05.
  Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5	(h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,05.
  Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5	(h/λ) × a ist 0,024 bis 0,05.
  Wenn 63,5 ≤ θ < 64,5	(h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,05.
  Wenn 64,5 ≤ θ < 65,5	(h/λ) × a ist 0,025 bis 0,05.
  Wenn 65,5 ≤ θ < 66,5	(h/λ) × a ist 0,0255 bis 0,05.
  Wenn 66,5 ≤ θ < 67,5	(h/λ) × a ist 0,026 bis 0,05.
  Wenn 67,5 ≤ θ < 68,5	(h/λ) × a ist 0,0265 bis 0,05.
  Wenn 68,5 ≤ θ < 70,5	(h/λ) × a ist 0,027 bis 0,05.
  Wenn 70,5 ≤ θ < 71,5	(h/λ) × a ist 0,0275 bis 0,05.
  Wenn 71,5 ≤ θ < 73,5	(h/λ) × a ist 0,028 bis 0,05.
  Wenn 73,5 ≤ θ < 75,5	(h/λ) × a ist 0,0285 bis 0,05.
  Wenn 75,5 ≤ θ < 77,5	(h/λ) × a ist 0,029 bis 0,05.
  Wenn 77,5 ≤ θ < 79,5	(h/λ) × a ist 0,0295 bis 0,05.
  Wenn 79,5 ≤ θ < 82,5	(h/λ) × a ist 0,3 bis 0,05.
  Wenn 82,5 ≤ θ < 85,5	(h/λ) × a ist 0,305 bis 0,05.
  Wenn 85,5 ≤ θ < 89,5	(h/λ) × a ist 0,031 bis 0,05.
  Wenn 89,5 ≤ θ < 102,5	(h/λ) × a ist 0,0351 bis 0,05.
  Wenn 102,5 ≤ θ < 103,5	(h/λ) × a ist 0,005 oder 0,0315 bis 0,05.
  Wenn 103,5 ≤ θ < 104,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,006 oder 0,0315 bis 0,05.
  Wenn 104,5 ≤ θ < 105,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,007 oder 0,0315 bis 0,05.
  Wenn 105,5 ≤ θ < 106,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,008 oder 0,031 bis 0,05.
  Wenn 106,5 ≤ θ < 107,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,009 oder 0,031 bis 0,05.
  Wenn 107,5 ≤ θ < 108,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,01 oder 0,0305 bis 0,05.
  Wenn 108,5 ≤ θ < 109,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0115 oder 0,0305 bis 0,05.
  Wenn 109,5 ≤ θ < 110,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0125 oder 0,03 bis 0,05.
  Wenn 110,5 ≤ θ < 111,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,014 oder 0,029 bis 0,05.
  Wenn 111,5 ≤ θ < 112,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,016 oder 0,028 bis 0,05.
  Wenn 112,5 ≤ θ < 113,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0185 oder 0,0265 bis 0,05.
  Wenn 113,5 ≤ θ < 152,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05.
  Wenn 152,5 ≤ θ < 153,5	(h/λ) × a ist 0,008 bis 0,05.
  Wenn 153,5 ≤ θ < 154,5	(h/λ) × a ist 0,0105 bis 0,05.
  Wenn 154,5 ≤ θ < 155,5	(h/λ) × a ist 0,012 bis 0,05.
  Wenn 155,5 ≤ θ < 156,5	(h/λ) × a ist 0,035 bis 0,05.
  Wenn 156,5 ≤ θ < 157,5	(h/λ) × a ist 0,015 bis 0,05.
  Wenn 157,5 ≤ θ < 158,5	(h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,05.
  Wenn 158,5 ≤ θ < 159,5	(h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,05.
  Wenn 159,5 ≤ θ < 160,5	(h/λ) × a ist 0,018 bis 0,05.
  Wenn 160,5 ≤ θ < 161,5	(h/λ) × a ist 0,019 bis 0,05.
  Wenn 161,5 ≤ θ < 162,5	(h/λ) × a ist 0,02 bis 0,05.
  Wenn 162,5 ≤ θ < 163,5	(h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,05.
  Wenn 163,5 ≤ θ < 164,5	(h/λ) × a ist 0,021 bis 0,05.
  Wenn 164,5 ≤ θ < 165,5	(h/λ) × a ist 0,022 bis 0,05.
  Wenn 165,5 ≤ θ < 166,5	(h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,05.
  Wenn 166,5 ≤ θ < 168,5	(h/λ) × a ist 0,023 bis 0,05.
  Wenn 168,5 ≤ θ < 169,5	(h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,05.
  Wenn 169,5 ≤ θ < 171,5	(h/λ) × a ist 0,024 bis 0,05.
  Wenn 171,5 ≤ θ < 180	(h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,05.

  [Tabelle 4] Für [0,35 ≤ H/λ < 0,45]

  Wenn 0 ≤ θ < 2,5	(h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,05.
  Wenn 2,5 ≤ θ < 4,5	(h/λ) × a ist 0,023 bis 0,05.
  Wenn 4,5 ≤ θ < 5,5	(h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,05.
  Wenn 5,5 ≤ θ < 7,5	(h/λ) × a ist 0,022 bis 0,05.
  Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5	(h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,05.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	(h/λ) × a ist 0,021 bis 0,05.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	(h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,05.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5	(h/λ) × a ist 0,02 bis 0,05.
  Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5	(h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,05.
  Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5	(h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,05.
  Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5	(h/λ) × a ist 0,018 bis 0,05.
  Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5	(h/λ) × a ist 0,017 bis 0,05.
  Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5	(h/λ) × a ist 0,016 bis 0,05.
  Wenn 16,5 ≤ θ < 17,5	(h/λ) × a ist 0,015 bis 0,05.
  Wenn 17,5 ≤ θ < 18,5	(h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,05.
  Wenn 18,5 ≤ θ < 19,5	(h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 19,5 ≤ θ < 20,5	(h/λ) × a ist 0,0105 bis 0,05.
  Wenn 20,5 ≤ θ < 21,5	(h/λ) × a ist 0,008 bis 0,05.
  Wenn 21,5 ≤ θ < 22,5	(h/λ) × a ist 0,0055 bis 0,05.
  Wenn 22,5 ≤ θ < 49,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05.
  Wenn 49,5 ≤ θ < 50,5	(h/λ) × a ist 0,0055 bis 0,05.
  Wenn 50,5 ≤ θ < 51,5	(h/λ) × a ist 0,011 bis 0,05.
  Wenn 51,5 ≤ θ < 52,5	(h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,05.
  Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5	(h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,05.
  Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5	(h/λ) × a ist 0,017 bis 0,05.
  Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5	(h/λ) × a ist 0,018 bis 0,05.
  Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5	(h/λ) × a ist 0,019 bis 0,05.
  Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5	(h/λ) × a ist 0,02 bis 0,05.
  Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5	(h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,05.
  Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5	(h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,05.
  Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5	(h/λ) × a ist 0,022 bis 0,05.
  Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5	(h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,05.
  Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5	(h/λ) × a ist 0,023 bis 0,05.
  Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5	(h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,05.
  Wenn 63,5 ≤ θ < 64,5	(h/λ) × a ist 0,024 bis 0,05.
  Wenn 64,5 ≤ θ < 65,5	(h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,05.
  Wenn 65,5 ≤ θ < 67,5	(h/λ) × a ist 0,025 bis 0,05.
  Wenn 67,5 ≤ θ < 68,5	(h/λ) × a ist 0,0255 bis 0,05.
  Wenn 68,5 ≤ θ < 69,5	(h/λ) × a ist 0,026 bis 0,05.
  Wenn 69,5 ≤ θ < 71,5	(h/λ) × a ist 0,0265 bis 0,05.
  Wenn 71,5 ≤ θ < 72,5	(h/λ) × a ist 0,027 bis 0,05.
  Wenn 72,5 ≤ θ < 74,5	(h/λ) × a ist 0,0275 bis 0,05.
  Wenn 74,5 ≤ θ < 76,5	(h/λ) × a ist 0,028 bis 0,05.
  Wenn 76,5 ≤ θ < 79,5	(h/λ) × a ist 0,0285 bis 0,05.
  Wenn 79,5 ≤ θ < 82,5	(h/λ) × a ist 0,029 bis 0,05.
  Wenn 82,5 ≤ θ < 86,5	(h/λ) × a ist 0,0295 bis 0,05.
  Wenn 86,5 ≤ θ < 101,5	(h/λ) × a ist 0,03 bis 0,05.
  Wenn 101,5 ≤ θ < 103,5	(h/λ) × a ist 0,0295 bis 0,05.
  Wenn 103,5 ≤ θ < 104,5	(h/λ) × a ist 0,005 oder 0,0295 bis 0,05
  Wenn 104,5 ≤ θ < 105,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,006 oder 0,029 bis 0,05.
  Wenn 105,5 ≤ θ < 106,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,007 oder 0,0285 bis 0,05.
  Wenn 106,5 ≤ θ < 107,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0085 oder 0,0285 bis 0,05.
  Wenn 107,5 ≤ θ < 108,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0095 oder 0,028 bis 0,05.
  Wenn 108,5 ≤ θ < 109,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,011 oder 0,027 bis 0,05.
  Wenn 109,5 ≤ θ < 110,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,013 oder 0,0265 bis 0,05.
  Wenn 110,5 ≤ θ < 111,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0145 oder 0,0255 bis 0,05.
  Wenn 111,5 ≤ θ < 112,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,019 oder 0,0215 bis 0,05.
  Wenn 112,5 ≤ θ < 151,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05.
  Wenn 151,5 ≤ θ < 152,5	(h/λ) × a ist 0,0055 bis 0,05.
  Wenn 152,5 ≤ θ < 153,5	(h/λ) × a ist 0,0075 bis 0,05.
  Wenn 153,5 ≤ θ < 154,5	(h/λ) × a ist 0,01 bis 0,05.
  Wenn 154,5 ≤ θ < 155,5	(h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,05.
  Wenn 155,5 ≤ θ < 156,5	(h/λ) × a ist 0,013 bis 0,05.
  Wenn 156,5 ≤ θ < 157,5	(h/λ) × a ist 0,014 bis 0,05.
  Wenn 157,5 ≤ θ < 158,5	(h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,05.
  Wenn 158,5 ≤ θ < 159,5	(h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,05.
  Wenn 159,5 ≤ θ < 160,5	(h/λ) × a ist 0,017 bis 0,05.
  Wenn 160,5 ≤ θ < 161,5	(h/λ) × a ist 0,018 bis 0,05.
  Wenn 161,5 ≤ θ < 162,5	(h/λ) × a ist 0,018 bis 0,05.
  Wenn 162,5 ≤ θ < 163,5	(h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,05.
  Wenn 163,5 ≤ θ < 164,5	(h/λ) × a ist 0,02 bis 0,05.
  Wenn 164,5 ≤ θ < 165,5	(h/λ) × a ist 0,021 bis 0,05.
  Wenn 165,5 ≤ θ < 166,5	(h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,05.
  Wenn 166,5 ≤ θ < 168,5	(h/λ) × a ist 0,022 bis 0,05.
  Wenn 168,5 ≤ θ < 169,5	(h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,05.
  Wenn 169,5 ≤ θ < 171,5	(h/λ) × a ist 0,023 bis 0,05.
  Wenn 171,5 ≤ θ < 175,5	(h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,05.
  Wenn 175,5 ≤ θ < 178,5	(h/λ) × a ist 0,024 bis 0,05.
  Wenn 178,5 ≤ θ < 180	(h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,05.

  [Tabelle 5] Für [0,45 ≤ H/λ < 0,55]

  Wenn 0 ≤ θ < 2,5	(h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,045.
  Wenn 2,5 ≤ θ < 4,5	(h/λ) × a ist 0,022 bis 0,045.
  Wenn 4,5 ≤ θ < 6,5	(h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,045.
  Wenn 6,5 ≤ θ < 7,5	(h/λ) × a ist 0,021 bis 0,045.
  Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5	(h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,045.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	(h/λ) × a ist 0,02 bis 0,045.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	(h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,045.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5	(h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5	(h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5	(h/λ) × a ist 0,018 bis 0,045.
  Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5	(h/λ) × a ist 0,017 bis 0,045.
  Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5	(h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,045.
  Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5	(h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,045.
  Wenn 16,5 ≤ θ < 17,5	(h/λ) × a ist 0,0145 bis 0,045.
  Wenn 17,5 ≤ θ < 18,5	(h/λ) × a ist 0,013 bis 0,045.
  Wenn 18,5 ≤ θ < 19,5	(h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,045.
  Wenn 19,5 ≤ θ < 20,5	(h/λ) × a ist 0,01 bis 0,045.
  Wenn 20,5 ≤ θ < 21,5	(h/λ) × a ist 0,008 bis 0,045.
  Wenn 21,5 ≤ θ < 50,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 50,5 ≤ θ < 51,5	(h/λ) × a ist 0,0105 bis 0,045.
  Wenn 51,5 ≤ θ < 52,5	(h/λ) × a ist 0,013 bis 0,045.
  Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5	(h/λ) × a ist 0,015 bis 0,045.
  Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5	(h/λ) × a ist 0,016 bis 0,045.
  Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5	(h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,045.
  Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5	(h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5	(h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5	(h/λ) × a ist 0,02 bis 0,045.
  Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5	(h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,045.
  Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5	(h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,045.
  Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5	(h/λ) × a ist 0,022 bis 0,045.
  Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5	(h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,045.
  Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5	(h/λ) × a ist 0,023 bis 0,045.
  Wenn 63,5 ≤ θ < 65,5	(h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,045.
  Wenn 65,5 ≤ θ < 66,5	(h/λ) × a ist 0,024 bis 0,045.
  Wenn 66,5 ≤ θ < 67,5	(h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,045.
  Wenn 67,5 ≤ θ < 69,5	(h/λ) × a ist 0,025 bis 0,045.
  Wenn 69,5 ≤ θ < 70,5	(h/λ) × a ist 0,0255 bis 0,045.
  Wenn 70,5 ≤ θ < 72,5	(h/λ) × a ist 0,026 bis 0,045.
  Wenn 72,5 ≤ θ < 74,5	(h/λ) × a ist 0,0265 bis 0,045.
  Wenn 74,5 ≤ θ < 76,5	(h/λ) × a ist 0,027 bis 0,045.
  Wenn 76,5 ≤ θ < 79,5	(h/λ) × a ist 0,0275 bis 0,045.
  Wenn 79,5 ≤ θ < 82,5	(h/λ) × a ist 0,028 bis 0,045.
  Wenn 82,5 ≤ θ < 87,5	(h/λ) × a ist 0,0285 bis 0,045.
  Wenn 87,5 ≤ θ < 96,5	(h/λ) × a ist 0,029 bis 0,045.
  Wenn 96,5 ≤ θ < 100,5	(h/λ) × a ist 0,0285 bis 0,045.
  Wenn 100,5 ≤ θ < 102,5	(h/λ) × a ist 0,028 bis 0,045.
  Wenn 102,5 ≤ θ < 103,5	(h/λ) × a ist 0,0275 bis 0,045.
  Wenn 103,5 ≤ θ < 153,5	(h/λ) × a ist 0,05 bis 0,045.
  Wenn 153,5 ≤ θ < 154,5	(h/λ) × a ist 0,075 bis 0,045.
  Wenn 154,5 ≤ θ < 155,5	(h/λ) × a ist 0,095 bis 0,045.
  Wenn 155,5 ≤ θ < 156,5	(h/λ) × a ist 0,011 bis 0,045.
  Wenn 156,5 ≤ θ < 157,5	(h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,045.
  Wenn 157,5 ≤ θ < 158,5	(h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,045.
  Wenn 158,5 ≤ θ < 159,5	(h/λ) × a ist 0,0145 bis 0,045.
  Wenn 159,5 ≤ θ < 160,5	(h/λ) × a ist 0,016 bis 0,045.
  Wenn 160,5 ≤ θ < 161,5	(h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,045.
  Wenn 161,5 ≤ θ < 162,5	(h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,045.
  Wenn 162,5 ≤ θ < 163,5	(h/λ) × a ist 0,018 bis 0,045.
  Wenn 163,5 ≤ θ < 164,5	(h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 164,5 ≤ θ < 165,5	(h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,045.
  Wenn 165,5 ≤ θ < 166,5	(h/λ) × a ist 0,02 bis 0,045.
  Wenn 166,5 ≤ θ < 167,5	(h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,045.
  Wenn 167,5 ≤ θ < 168,5	(h/λ) × a ist 0,021 bis 0,045.
  Wenn 168,5 ≤ θ < 170,5	(h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,045.
  Wenn 170,5 ≤ θ < 172,5	(h/λ) × a ist 0,022 bis 0,045.
  Wenn 172,5 ≤ θ < 175,5	(h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,045.
  Wenn 175,5 ≤ θ < 179,5	(h/λ) × a ist 0,023 bis 0,045.
  Wenn 179,5 ≤ θ < 180	(h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,045.

  [Tabelle 6] Für [0,55 ≤ H/λ < 0,65]

  Wenn 0 ≤ θ < 0,5	(h/λ) × a ist 0,022 bis 0,045.
  Wenn 0,5 ≤ θ < 3,5	(h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,045.
  Wenn 3,5 ≤ θ < 5,5	(h/λ) × a ist 0,021 bis 0,045.
  Wenn 5,5 ≤ θ < 6,5	(h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,045.
  Wenn 6,5 ≤ θ < 7,5	(h/λ) × a ist 0,02 bis 0,045.
  Wenn 7,5 ≤ θ < 9,5	(h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,045.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	(h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5	(h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5	(h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,045.
  Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5	(h/λ) × a ist 0,017 bis 0,045.
  Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5	(h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,045.
  Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5	(h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,045.
  Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5	(h/λ) × a ist 0,0145 bis 0,045.
  Wenn 16,5 ≤ θ < 17,5	(h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,045.
  Wenn 17,5 ≤ θ < 18,5	(h/λ) × a ist 0,012 bis 0,045.
  Wenn 18,5 ≤ θ < 19,5	(h/λ) × a ist 0,011 bis 0,045.
  Wenn 19,5 ≤ θ < 20,5	(h/λ) × a ist 0,009 bis 0,045.
  Wenn 20,5 ≤ θ < 21,5	(h/λ) × a ist 0,0065 bis 0,045.
  Wenn 21,5 ≤ θ < 50,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 50,5 ≤ θ < 51,5	(h/λ) × a ist 0,0085 bis 0,045.
  Wenn 51,5 ≤ θ < 52,5	(h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,045.
  Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5	(h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,045.
  Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5	(h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,045.
  Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5	(h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,045.
  Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5	(h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,045.
  Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5	(h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5	(h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5	(h/λ) × a ist 0,02 bis 0,045.
  Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5	(h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,045.
  Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5	(h/λ) × a ist 0,021 bis 0,045.
  Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5	(h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,045.
  Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5	(h/λ) × a ist 0,022 bis 0,045.
  Wenn 63,5 ≤ θ < 64,5	(h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,045.
  Wenn 64,5 ≤ θ < 65,5	(h/λ) × a ist 0,023 bis 0,045.
  Wenn 65,5 ≤ θ < 67,5	(h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,045.
  Wenn 67,5 ≤ θ < 68,5	(h/λ) × a ist 0,024 bis 0,045.
  Wenn 68,5 ≤ θ < 70,5	(h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,045.
  Wenn 70,5 ≤ θ < 72,5	(h/λ) × a ist 0,025 bis 0,045.
  Wenn 72,5 ≤ θ < 73,5	(h/λ) × a ist 0,0255 bis 0,045.
  Wenn 73,5 ≤ θ < 75,5	(h/λ) × a ist 0,026 bis 0,045.
  Wenn 75,5 ≤ θ < 78,5	(h/λ) × a ist 0,0265 bis 0,045.
  Wenn 78,5 ≤ θ < 81,5	(h/λ) × a ist 0,027 bis 0,045.
  Wenn 81,5 ≤ θ < 85,5	(h/λ) × a ist 0,0275 bis 0,045.
  Wenn 85,5 ≤ θ < 95,5	(h/λ) × a ist 0,028 bis 0,045.
  Wenn 95,5 ≤ θ < 98,5	(h/λ) × a ist 0,0275 bis 0,045.
  Wenn 98,5 ≤ θ < 101,5	(h/λ) × a ist 0,027 bis 0,045.
  Wenn 101,5 ≤ θ < 102,5	(h/λ) × a ist 0,0265 bis 0,045.
  Wenn 102,5 ≤ θ < 103,5	(h/λ) × a ist 0,026 bis 0,045.
  Wenn 103,5 ≤ θ < 154,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 154,5 ≤ θ < 155,5	(h/λ) × a ist 0,0055 bis 0,045.
  Wenn 155,5 ≤ θ < 156,5	(h/λ) × a ist 0,008 bis 0,045.
  Wenn 156,5 ≤ θ < 157,5	(h/λ) × a ist 0,01 bis 0,045.
  Wenn 157,5 ≤ θ < 158,5	(h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,045.
  Wenn 158,5 ≤ θ < 159,5	(h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,045.
  Wenn 159,5 ≤ θ < 160,5	(h/λ) × a ist 0,014 bis 0,045.
  Wenn 160,5 ≤ θ < 161,5	(h/λ) × a ist 0,015 bis 0,045.
  Wenn 161,5 ≤ θ < 162,5	(h/λ) × a ist 0,016 bis 0,045.
  Wenn 162,5 ≤ θ < 163,5	(h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,045.
  Wenn 163,5 ≤ θ < 164,5	(h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,045.
  Wenn 164,5 ≤ θ < 165,5	(h/λ) × a ist 0,018 bis 0,045.
  Wenn 165,5 ≤ θ < 166,5	(h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 166,5 ≤ θ < 168,5	(h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,045.
  Wenn 168,5 ≤ θ < 169,5	(h/λ) × a ist 0,02 bis 0,045.
  Wenn 169,5 ≤ θ < 170,5	(h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,045.
  Wenn 171,5 ≤ θ < 172,5	(h/λ) × a ist 0,021 bis 0,045.
  Wenn 172,5 ≤ θ < 175,5	(h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,045.
  Wenn 175,5 ≤ θ < 180	(h/λ) × a ist 0,022 bis 0,045.

  [Tabelle 7] Für [0,65 ≤ H/λ < 0,75]

  Wenn 0 ≤ θ < 1,5	(h/λ) × a ist 0,021 bis 0,045.
  Wenn 1,5 ≤ θ < 4,5	(h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,045.
  Wenn 4,5 ≤ θ < 5,5	(h/λ) × a ist 0,02 bis 0,045.
  Wenn 5,5 ≤ θ < 7,5	(h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,045.
  Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5	(h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	(h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	(h/λ) × a ist 0,018 bis 0,045.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5	(h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,045.
  Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5	(h/λ) × a ist 0,017 bis 0,045.
  Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5	(h/λ) × a ist 0,016 bis 0,045.
  Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5	(h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,045.
  Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5	(h/λ) × a ist 0,0145 bis 0,045.
  Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5	(h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,045.
  Wenn 16,5 ≤ θ < 17,5	(h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,045.
  Wenn 17,5 ≤ θ < 18,5	(h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,045.
  Wenn 18,5 ≤ θ < 19,5	(h/λ) × a ist 0,0095 bis 0,045.
  Wenn 19,5 ≤ θ < 20,5	(h/λ) × a ist 0,0075 bis 0,045.
  Wenn 20,5 ≤ θ < 21,5	(h/λ) × a ist 0,0055 bis 0,045.
  Wenn 21,5 ≤ θ < 50,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 50,5 ≤ θ < 51,5	(h/λ) × a ist 0,0065 bis 0,045.
  Wenn 51,5 ≤ θ < 52,5	(h/λ) × a ist 0,0105 bis 0,045.
  Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5	(h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,045.
  Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5	(h/λ) × a ist 0,014 bis 0,045.
  Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5	(h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,045.
  Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5	(h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,045.
  Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5	(h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,045.
  Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5	(h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5	(h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5	(h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,045.
  Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5	(h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,045.
  Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5	(h/λ) × a ist 0,021 bis 0,045.
  Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5	(h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,045.
  Wenn 63,5 ≤ θ < 64,5	(h/λ) × a ist 0,022 bis 0,045.
  Wenn 64,5 ≤ θ < 66,5	(h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,045.
  Wenn 66,5 ≤ θ < 67,5	(h/λ) × a ist 0,023 bis 0,045.
  Wenn 67,5 ≤ θ < 68,5	(h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,045.
  Wenn 68,5 ≤ θ < 70,5	(h/λ) × a ist 0,024 bis 0,045.
  Wenn 70,5 ≤ θ < 72,5	(h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,045.
  Wenn 72,5 ≤ θ < 74,5	(h/λ) × a ist 0,025 bis 0,045.
  Wenn 74,5 ≤ θ < 76,5	(h/λ) × a ist 0,0255 bis 0,045.
  Wenn 76,5 ≤ θ < 79,5	(h/λ) × a ist 0,026 bis 0,045.
  Wenn 79,5 ≤ θ < 82,5	(h/λ) × a ist 0,0265 bis 0,045.
  Wenn 82,5 ≤ θ < 95,5	(h/λ) × a ist 0,027 bis 0,045.
  Wenn 95,5 ≤ θ < 98,5	(h/λ) × a ist 0,0265 bis 0,045.
  Wenn 98,5 ≤ θ < 100,5	(h/λ) × a ist 0,026 bis 0,045.
  Wenn 100,5 ≤ θ < 101,5	(h/λ) × a ist 0,0255 bis 0,045.
  Wenn 101,5 ≤ θ < 157,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 157,5 ≤ θ < 158,5	(h/λ) × a ist 0,0075 bis 0,045.
  Wenn 158,5 ≤ θ < 159,5	(h/λ) × a ist 0,01 bis 0,045.
  Wenn 159,5 ≤ θ < 160,5	(h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,045.
  Wenn 160,5 ≤ θ < 161,5	(h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,045.
  Wenn 161,5 ≤ θ < 162,5	(h/λ) × a ist 0,014 bis 0,045.
  Wenn 162,5 ≤ θ < 163,5	(h/λ) × a ist 0,015 bis 0,045.
  Wenn 163,5 ≤ θ < 164,5	(h/λ) × a ist 0,016 bis 0,045.
  Wenn 164,5 ≤ θ < 165,5	(h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,045.
  Wenn 165,5 ≤ θ < 166,5	(h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,045.
  Wenn 166,5 ≤ θ < 167,5	(h/λ) × a ist 0,018 bis 0,045.
  Wenn 167,5 ≤ θ < 168,5	(h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 168,5 ≤ θ < 169,5	(h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 169,5 ≤ θ < 170,5	(h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,045.
  Wenn 170,5 ≤ θ < 172,5	(h/λ) × a ist 0,02 bis 0,045.
  Wenn 172,5 ≤ θ < 175,5	(h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,045.
  Wenn 175,5 ≤ θ < 180	(h/λ) × a ist 0,021 bis 0,045.

  [Tabelle 8] Für [0,75 ≤ H/λ < 0,85]

  Wenn 0 ≤ θ < 3,5	(h/λ) × a ist 0,02 bis 0,045.
  Wenn 3,5 ≤ θ < 5,5	(h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,045.
  Wenn 5,5 ≤ θ < 6,5	(h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 6,5 ≤ θ < 8,5	(h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	(h/λ) × a ist 0,018 bis 0,045.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	(h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,045.
  Wenn 105 ≤ θ < 11,5	(h/λ) × a ist 0,017 bis 0,045.
  Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5	(h/λ) × a ist 0,016 bis 0,045.
  Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5	(h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,045.
  Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5	(h/λ) × a ist 0,0145 bis 0,045.
  Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5	(h/λ) × a ist 0,014 bis 0,045.
  Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5	(h/λ) × a ist 0,013 bis 0,045.
  Wenn 16,5 ≤ θ < 17,5	(h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,045.
  Wenn 17,5 ≤ θ < 18,5	(h/λ) × a ist 0,0105 bis 0,045.
  Wenn 18,5 ≤ θ < 19,5	(h/λ) × a ist 0,0085 bis 0,045.
  Wenn 19,5 ≤ θ < 20,5	(h/λ) × a ist 0,0065 bis 0,045.
  Wenn 20,5 ≤ θ < 51,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 51,5 ≤ θ < 52,5	(h/λ) × a ist 0,0085 bis 0,045.
  Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5	(h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,045.
  Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5	(h/λ) × a ist 0,013 bis 0,045.
  Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5	(h/λ) × a ist 0,0145 bis 0,045.
  Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5	(h/λ) × a ist 0,016 bis 0,045.
  Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5	(h/λ) × a ist 0,017 bis 0,045.
  Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5	(h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,045.
  Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5	(h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5	(h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5	(h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,045.
  Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5	(h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,045.
  Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5	(h/λ) × a ist 0,021 bis 0,045.
  Wenn 63,5 ≤ θ < 65,5	(h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,045.
  Wenn 65,5 ≤ θ < 66,5	(h/λ) × a ist 0,022 bis 0,045.
  Wenn 66,5 ≤ θ < 67,5	(h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,045.
  Wenn 67,5 ≤ θ < 68,5	(h/λ) × a ist 0,023 bis 0,045.
  Wenn 68,5 ≤ θ < 70,5	(h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,045.
  Wenn 70,5 ≤ θ < 72,5	(h/λ) × a ist 0,024 bis 0,045.
  Wenn 72,5 ≤ θ < 74,5	(h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,045.
  Wenn 74,5 ≤ θ < 76,5	(h/λ) × a ist 0,025 bis 0,045.
  Wenn 76,5 ≤ θ < 79,5	(h/λ) × a ist 0,0255 bis 0,045.
  Wenn 79,5 ≤ θ < 83,5	(h/λ) × a ist 0,026 bis 0,045.
  Wenn 83,5 ≤ θ < 96,5	(h/λ) × a ist 0,0265 bis 0,045.
  Wenn 96,5 ≤ θ < 98,5	(h/λ) × a ist 0,026 bis 0,045.
  Wenn 98,5 ≤ θ < 99,5	(h/λ) × a ist 0,025 bis 0,045.
  Wenn 99,5 ≤ θ < 100,5	(h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,045.
  Wenn 100,5 ≤ θ < 159,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 159,5 ≤ θ < 160,5	(h/λ) × a ist 0,0055 bis 0,045.
  Wenn 160,5 ≤ θ < 161,5	(h/λ) × a ist 0,009 bis 0,045.
  Wenn 161,5 ≤ θ < 162,5	(h/λ) × a ist 0,011 bis 0,045.
  Wenn 162,5 ≤ θ < 163,5	(h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,045.
  Wenn 163,5 ≤ θ < 164,5	(h/λ) × a ist 0,014 bis 0,045.
  Wenn 164,5 ≤ θ < 165,5	(h/λ) × a ist 0,015 bis 0,045.
  Wenn 165,5 ≤ θ < 166,5	(h/λ) × a ist 0,016 bis 0,045.
  Wenn 166,5 ≤ θ < 167,5	(h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,045.
  Wenn 167,5 ≤ θ < 168,5	(h/λ) × a ist 0,017 bis 0,045.
  Wenn 168,5 ≤ θ < 169,5	(h/λ) × a ist 0,018 bis 0,045.
  Wenn 169,5 ≤ θ < 171,5	(h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 171,5 ≤ θ < 172,5	(h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 172,5 ≤ θ < 174,5	(h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,045.
  Wenn 174,5 ≤ θ < 180	(h/λ) × a ist 0,02 bis 0,045.

  [Tabelle 9] Für [0,85 ≤ H/λ < 0,95]

  Wenn 0 ≤ θ < 2,5	(h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,045.
  Wenn 2,5 ≤ θ < 4,5	(h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 4,5 ≤ θ < 6,5	(h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 6,5 ≤ θ < 7,5	(h/λ) × a ist 0,018 bis 0,045.
  Wenn 7,5 ≤ θ < 9,5	(h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,045.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	(h/λ) × a ist 0,017 bis 0,045.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5	(h/λ) × a ist 0,016 bis 0,045.
  Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5	(h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,045.
  Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5	(h/λ) × a ist 0,015 bis 0,045.
  Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5	(h/λ) × a ist 0,014 bis 0,045.
  Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5	(h/λ) × a ist 0,013 bis 0,045.
  Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5	(h/λ) × a ist 0,012 bis 0,045.
  Wenn 16,5 ≤ θ < 17,5	(h/λ) × a ist 0,011 bis 0,045.
  Wenn 17,5 ≤ θ < 18,5	(h/λ) × a ist 0,009 bis 0,045.
  Wenn 18,5 ≤ θ < 19,5	(h/λ) × a ist 0,007 bis 0,045.
  Wenn 19,5 ≤ θ < 51,5	(h/λ) × a ist 0,007 bis 0,045.
  Wenn 51,5 ≤ θ < 52,5	(h/λ) × a ist 0,0065 bis 0,045.
  Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5	(h/λ) × a ist 0,0105 bis 0,045.
  Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5	(h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,045.
  Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5	(h/λ) × a ist 0,014 bis 0,045.
  Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5	(h/λ) × a ist 0,015 bis 0,045.
  Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5	(h/λ) × a ist 0,016 bis 0,045.
  Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5	(h/λ) × a ist 0,017 bis 0,045.
  Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5	(h/λ) × a ist 0,018 bis 0,045.
  Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5	(h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5	(h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5	(h/λ) × a ist 0,02 bis 0,045.
  Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5	(h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,045.
  Wenn 63,5 ≤ θ < 64,5	(h/λ) × a ist 0,021 bis 0,045.
  Wenn 64,5 ≤ θ < 65,5	(h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,045.
  Wenn 65,5 ≤ θ < 66,5	(h/λ) × a ist 0,022 bis 0,045.
  Wenn 66,5 ≤ θ < 68,5	(h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,045.
  Wenn 68,5 ≤ θ < 70,5	(h/λ) × a ist 0,023 bis 0,045.
  Wenn 70,5 ≤ θ < 72,5	(h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,045.
  Wenn 72,5 ≤ θ < 74,5	(h/λ) × a ist 0,024 bis 0,045.
  Wenn 74,5 ≤ θ < 76,5	(h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,045.
  Wenn 76,5 ≤ θ < 79,5	(h/λ) × a ist 0,025 bis 0,045.
  Wenn 79,5 ≤ θ < 82,5	(h/λ) × a ist 0,0255 bis 0,045.
  Wenn 82,5 ≤ θ < 92,5	(h/λ) × a ist 0,026 bis 0,045.
  Wenn 92,5 ≤ θ < 95,5	(h/λ) × a ist 0,0255 bis 0,045.
  Wenn 95,5 ≤ θ < 97,5	(h/λ) × a ist 0,025 bis 0,045.
  Wenn 97,5 ≤ θ < 98,5	(h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,045.
  Wenn 98,5 ≤ θ < 163,5	(h/λ) × a ist 0,05 bis 0,045.
  Wenn 163,5 ≤ θ < 164,5	(h/λ) × a ist 0,0105 bis 0,045.
  Wenn 164,5 ≤ θ < 165,5	(h/λ) × a ist 0,012 bis 0,045.
  Wenn 165,5 ≤ θ < 166,5	(h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,045.
  Wenn 166,5 ≤ θ < 167,5	(h/λ) × a ist 0,015 bis 0,045.
  Wenn 167,5 ≤ θ < 168,5	(h/λ) × a ist 0,016 bis 0,045.
  Wenn 168,5 ≤ θ < 169,5	(h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,045.
  Wenn 169,5 ≤ θ < 170,5	(h/λ) × a ist 0,017 bis 0,045.
  Wenn 170,5 ≤ θ < 171,5	(h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,045.
  Wenn 171,5 ≤ θ < 172,5	(h/λ) × a ist 0,018 bis 0,045.
  Wenn 172,5 ≤ θ < 174,5	(h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 174,5 ≤ θ < 176,5	(h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 176,5 ≤ θ < 180	(h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,045.

  [Tabelle 10] Für [0,95 ≤ H/λ < 1,00]

  Wenn 0 ≤ θ < 1,5	(h/λ) × a ist 0,019 bis 0,04.
  Wenn 1,5 ≤ θ < 4,5	(h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,04.
  Wenn 4,5 ≤ θ < 6,5	(h/λ) × a ist 0,018 bis 0,04.
  Wenn 6,5 ≤ θ < 7,5	(h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,04.
  Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5	(h/λ) × a ist 0,017 bis 0,04.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	(h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,04.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	(h/λ) × a ist 0,016 bis 0,04.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5	(h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,04.
  Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5	(h/λ) × a ist 0,015 bis 0,04.
  Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5	(h/λ) × a ist 0,014 bis 0,04.
  Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5	(h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,04.
  Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5	(h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,04.
  Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5	(h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,04.
  Wenn 16,5 ≤ θ < 17,5	(h/λ) × a ist 0,01 bis 0,04.
  Wenn 17,5 ≤ θ < 18,5	(h/λ) × a ist 0,008 bis 0,04.
  Wenn 18,5 ≤ θ < 19,5	(h/λ) × a ist 0,006 bis 0,04.
  Wenn 19,5 ≤ θ < 52,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,04.
  Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5	(h/λ) × a ist 0,009 bis 0,04.
  Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5	(h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,04.
  Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5	(h/λ) × a ist 0,013 bis 0,04.
  Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5	(h/λ) × a ist 0,0145 bis 0,04.
  Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5	(h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,04.
  Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5	(h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,04.
  Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5	(h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,04.
  Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5	(h/λ) × a ist 0,018 bis 0,04.
  Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5	(h/λ) × a ist 0,019 bis 0,04.
  Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5	(h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,04.
  Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5	(h/λ) × a ist 0,02 bis 0,04.
  Wenn 63,5 ≤ θ < 64,5	(h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,04.
  Wenn 64,5 ≤ θ < 65,5	(h/λ) × a ist 0,021 bis 0,04.
  Wenn 65,5 ≤ θ < 66,5	(h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,04.
  Wenn 66,5 ≤ θ < 68,5	(h/λ) × a ist 0,022 bis 0,04.
  Wenn 68,5 ≤ θ < 69,5	(h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,04.
  Wenn 69,5 ≤ θ < 71,5	(h/λ) × a ist 0,023 bis 0,04.
  Wenn 71,5 ≤ θ < 73,5	(h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,04.
  Wenn 73,5 ≤ θ < 75,5	(h/λ) × a ist 0,024 bis 0,04.
  Wenn 75,5 ≤ θ < 78,5	(h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,04.
  Wenn 78,5 ≤ θ < 81,5	(h/λ) × a ist 0,025 bis 0,04.
  Wenn 81,5 ≤ θ < 92,5	(h/λ) × a ist 0,0255 bis 0,04.
  Wenn 92,5 ≤ θ < 94,5	(h/λ) × a ist 0,025 bis 0,04.
  Wenn 94,5 ≤ θ < 95,5	(h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,04.
  Wenn 95,5 ≤ θ < 166,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,04.
  Wenn 166,5 ≤ θ < 167,5	(h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,04.
  Wenn 167,5 ≤ θ < 168,5	(h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,04.
  Wenn 168,5 ≤ θ < 169,5	(h/λ) × a ist 0,015 bis 0,04.
  Wenn 169,5 ≤ θ < 170,5	(h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,04.
  Wenn 170,5 ≤ θ < 171,5	(h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,04.
  Wenn 171,5 ≤ θ < 172,5	(h/λ) × a ist 0,017 bis 0,04.
  Wenn 172,5 ≤ θ < 173,5	(h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,04.
  Wenn 173,5 ≤ θ < 175,5	(h/λ) × a ist 0,018 bis 0,04.
  Wenn 175,5 ≤ θ < 178,5	(h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,04.
  Wenn 178,5 ≤ θ < 180	(h/λ) × a ist 0,019 bis 0,04

• Darum kann die Dämpfungskonstante α auf 0,06 dB/λ oder weniger reduziert werden.
• Die vorliegende Erfindung stellt ferner eine Grenzschallwellenvorrichtung bereit, die Folgendes enthält: ein piezoelektrisches Substrat, das aus einkristallinem LiTaO₃ besteht, eine erste Mediumschicht, die auf dem piezoelektrischen Substrat angeordnet ist und aus einem Dielektrikum besteht, eine zweite Mediumschicht, die auf der ersten Mediumschicht angeordnet ist und aus einem Dielektrikum besteht, das eine Schallgeschwindigkeit aufweist, die eine andere ist als die Schallgeschwindigkeit des Dielektrikums, aus dem die erste Mediumschicht besteht, und mindestens eine Interdigitalelektrode, die an der Grenze zwischen dem piezoelektrischen Substrat und der ersten Mediumschicht angeordnet ist. Die Schallgeschwindigkeit der ersten Mediumschicht ist geringer als die Schallgeschwindigkeit von LiTaO₃. Die Schallgeschwindigkeit der zweiten Mediumschicht ist größer als die Schallgeschwindigkeit von LiTaO₃. Es gilt die Ungleichheit (h/λ) × a ≤ 0,05, wobei H die Dicke der ersten Mediumschicht ist, h die Dicke der Interdigitalelektrode ist, λ die Periode von Elektrodenfingern der Interdigitalelektrode ist und a das Verhältnis der Dichte eines Metalls, aus dem die Interdigitalelektrode besteht, zur Dichte von Au ist, wobei in der Grenzschallwellenvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung, wenn das LiTaO₃ Eulersche Winkel (0° ± 5°, θ, 0° ± 25°) hat, die normalisierte Dicke (h/λ) × a der Interdigitalelektrode mit Bezug auf den Wert von H/λ und den Wert von θ bevorzugt innerhalb eines der in den Tabellen 11 bis 20 unten gezeigten Bereiche liegt. [Tabelle 11] Für [0,05 ≤ H/λ < 0,15]

  Wenn 0 ≤ θ < 48,5	(h/λ) × a existiert nicht.
  Wenn 48,5 ≤ θ < 49,5	(h/λ) × a ist 0,04 bis 0,0415.
  Wenn 49,5 ≤ θ < 50,5	(h/λ) × a ist 0,0255 bis 0,05.
  Wenn 50,5 ≤ θ < 51,5	(h/λ) × a ist 0,02 bis 0,05.
  Wenn 51,5 ≤ θ < 52,5	(h/λ) × a ist 0,016 bis 0,05.
  Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5	(h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,05.
  Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5	(h/λ) × a ist 0,011 bis 0,05.
  Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5	(h/λ) × a ist 0,0095 bis 0,05.
  Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5	(h/λ) × a ist 0,008 bis 0,05.
  Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5	(h/λ) × a ist 0,0065 bis 0,05.
  Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5	(h/λ) × a ist 0,0055 bis 0,05.
  Wenn 58,5 ≤ θ < 122,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05.
  Wenn 122,5 ≤ θ < 123,5	(h/λ) × a ist 0,0055 bis 0,05.
  Wenn 123,5 ≤ θ < 124,5	(h/λ) × a ist 0,007 bis 0,05.
  Wenn 124,5 ≤ θ < 125,5	(h/λ) × a ist 0,0055 bis 0,05.
  Wenn 125,5 ≤ θ < 129,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05.
  Wenn 129,5 ≤ θ < 130,5	(h/λ) × a ist 0,0105 bis 0,05.
  Wenn 130,5 ≤ θ < 132,5	(h/λ) × a ist 0,012 bis 0,05.
  Wenn 132,5 ≤ θ < 142,5	(h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,05.
  Wenn 142,5 ≤ θ < 143,5	(h/λ) × a ist 0,012 bis 0,05.
  Wenn 143,5 ≤ θ < 144,5	(h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 144,5 ≤ θ < 146,5	(h/λ) × a ist 0,013 bis 0,05.
  Wenn 146,5 ≤ θ < 150,5	(h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,05.
  Wenn 150,5 ≤ θ < 152,5	(h/λ) × a ist 0,013 bis 0,05.
  Wenn 152,5 ≤ θ < 154,5	(h/λ) × a ist 0,005 oder 0,013 bis 0,05.
  Wenn 154,5 ≤ θ < 155,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0055 oder 0,013 bis 0,05.
  Wenn 155,5 ≤ θ < 156,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0055 oder 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 156,5 ≤ θ < 157,5	(h/λ) × a ist 0,005 oder 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 157,5 ≤ θ < 158,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0055 oder 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 158,5 ≤ θ < 159,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,006 oder 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 159,5 ≤ θ < 160,5	(h/λ) × a ist 0,005 oder 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 160,5 ≤ θ < 161,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0055 oder 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 161,5 ≤ θ < 162,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0065 oder 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 162,5 ≤ θ < 163,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0055 oder 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 163,5 ≤ θ < 171,5	(h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 171,5 ≤ θ < 172,5	(h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,0485.
  Wenn 172,5 ≤ θ < 173,5	(h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,0455.
  Wenn 173,5 ≤ θ < 174,5	(h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,042.
  Wenn 174,5 ≤ θ < 175,5	(h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,038.
  Wenn 175,5 ≤ θ < 176,5	(h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,032.
  Wenn 176,5 ≤ θ < 180	(h/λ) × a ist 0,013 bis 0,0145.

  [Tabelle 12] Für [0,15 ≤ H/λ < 0,25]

  Wenn 0 ≤ θ < 0,5	(h/λ) × a ist 0,01 bis 0,0345.
  Wenn 0,5 ≤ θ < 1,5	(h/λ) × a ist 0,014 bis 0,0285.
  Wenn 1,5 ≤ θ < 45,5	(h/λ) × a existiert nicht.
  Wenn 45,5 ≤ θ < 46,5	(h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,05.
  Wenn 46,5 ≤ θ < 47,5	(h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,05.
  Wenn 47,5 ≤ θ < 48,5	(h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,05.
  Wenn 48,5 ≤ θ < 49,5	(h/λ) × a ist 0,008 bis 0,05.
  Wenn 49,5 ≤ θ < 130,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05.
  Wenn 130,5 ≤ θ < 131,5	(h/λ) × a ist 0,006 bis 0,05.
  Wenn 131,5 ≤ θ < 132,5	(h/λ) × a ist 0,007 bis 0,05.
  Wenn 132,5 ≤ θ < 142,5	(h/λ) × a ist 0,0075 bis 0,05.
  Wenn 142,5 ≤ θ < 144,5	(h/λ) × a ist 0,008 bis 0,05.
  Wenn 144,5 ≤ θ < 148,5	(h/λ) × a ist 0,0085 bis 0,05.
  Wenn 148,5 ≤ θ < 157,5	(h/λ) × a ist 0,008 bis 0,05.
  Wenn 157,5 ≤ θ < 166,5	(h/λ) × a ist 0,0075 bis 0,05.
  Wenn 166,5 ≤ θ < 169,5	(h/λ) × a ist 0,007 bis 0,05.
  Wenn 169,5 ≤ θ < 170,5	(h/λ) × a ist 0,0065 bis 0,05.
  Wenn 170,5 ≤ θ < 171,5	(h/λ) × a ist 0,007 bis 0,05.
  Wenn 171,5 ≤ θ < 172,5	(h/λ) × a ist 0,0075 bis 0,05.
  Wenn 172,5 ≤ θ < 175,5	(h/λ) × a ist 0,008 bis 0,05.
  Wenn 175,5 ≤ θ < 176,5	(h/λ) × a ist 0,008 bis 0,0485.
  Wenn 176,5 ≤ θ < 177,5	(h/λ) × a ist 0,0085 bis 0,0455.
  Wenn 177,5 ≤ θ < 178,5	(h/λ) × a ist 0,0085 bis 0,0425.
  Wenn 178,5 ≤ θ < 179,5	(h/λ) × a ist 0,0085 bis 0,0385.
  Wenn 179,5 ≤ θ < 180	(h/λ) × a ist 0,009 bis 0,0345.

  [Tabelle 13] Für [0,25 ≤ H/λ < 0,35]

  Wenn 0 ≤ θ < 0,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0455.
  Wenn 0,5 ≤ θ < 1,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0445.
  Wenn 1,5 ≤ θ < 2,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,041.
  Wenn 2,5 ≤ θ < 3,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,037.
  Wenn 3,5 ≤ θ < 4,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,032.
  Wenn 4,5 ≤ θ < 5,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,025.
  Wenn 5,5 ≤ θ < 42,5	(h/λ) × a existiert nicht.
  Wenn 42,5 ≤ θ < 43,5	(h/λ) × a ist 0,023 bis 0,05.
  Wenn 43,5 ≤ θ < 44,5	(h/λ) × a ist 0,015 bis 0,05.
  Wenn 44,5 ≤ θ < 45,5	(h/λ) × a ist 0,01 bis 0,05.
  Wenn 45,5 ≤ θ < 46,5	(h/λ) × a ist 0,006 bis 0,05.
  Wenn 46,5 ≤ θ < 179,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05.
  Wenn 179,5 ≤ θ < 180	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,048.

  [Tabelle 14] Für [0,35 ≤ H/λ < 0,45]

  Wenn 0 ≤ θ < 2,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 2,5 ≤ θ < 3,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0475.
  Wenn 3,5 ≤ θ < 4,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,044.
  Wenn 4,5 ≤ θ < 5,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,04.
  Wenn 5,5 ≤ θ < 6,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0355.
  Wenn 6,5 ≤ θ < 7,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,029.
  Wenn 7,5 ≤ θ < 39,5	(h/λ) × a existiert nicht.
  Wenn 39,5 ≤ θ < 40,5	(h/λ) × a ist 0,0355 bis 0,05.
  Wenn 40,5 ≤ θ < 41,5	(h/λ) × a ist 0,021 bis 0,05.
  Wenn 41,5 ≤ θ < 42,5	(h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,05.
  Wenn 42,5 ≤ θ < 43,5	(h/λ) × a ist 0,008 bis 0,05.
  Wenn 43,5 ≤ θ < 180	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05.

  [Tabelle 15] Für [0,45 ≤ H/λ < 0,55]

  Wenn 0 ≤ θ < 7,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5	(h/λ) × a ist 0,006 bis 0,045.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	(h/λ) × a ist 0,0105 bis 0,045.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 38,5	(h/λ) × a ist 0,0455 bis 0,045.
  Wenn 38,5 ≤ θ < 39,5	(h/λ) × a ist 0,0265 bis 0,045.
  Wenn 39,5 ≤ θ < 40,5	(h/λ) × a ist 0,016 bis 0,045.
  Wenn 41,5 ≤ θ < 180	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045.

  [Tabelle 16] Für [0,55 ≤ H/λ < 0,65]

  Wenn 0 ≤ θ < 8,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	(h/λ) × a ist 0,006 bis 0,045.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	(h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,045.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 36,5	(h/λ) × a ist 0,0455 bis 0,045.
  Wenn 36,5 ≤ θ < 37,5	(h/λ) × a ist 0,044 bis 0,045.
  Wenn 37,5 ≤ θ < 38,5	(h/λ) × a ist 0,026 bis 0,045.
  Wenn 38,5 ≤ θ < 39,5	(h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,045.
  Wenn 39,5 ≤ θ < 40,5	(h/λ) × a ist 0,009 bis 0,045.
  Wenn 40,5 ≤ θ < 180	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045.

  [Tabelle 17] Für [0,65 ≤ H/λ < 0,75]

  Wenn 0 ≤ θ < 7,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0435.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0385.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	(h/λ) × a ist 0,009 bis 0,032.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 36,5	(h/λ) × a existiert nicht.
  Wenn 36,5 ≤ θ < 37,5	(h/λ) × a ist 0,0305 bis 0,045.
  Wenn 37,5 ≤ θ < 38,5	(h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 38,5 ≤ θ < 39,5	(h/λ) × a ist 0,0105 bis 0,045.
  Wenn 39,5 ≤ θ < 40,5	(h/λ) × a ist 0,0055 bis 0,045.
  Wenn 40,5 ≤ θ < 180	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045.

  [Tabelle 18] Für [0,75 ≤ H/λ < 0,85]

  Wenn 0 ≤ θ < 8,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0405.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	(h/λ) × a ist 0,009 bis 0,035.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5	(h/λ) × a ist 0,017 bis 0,023.
  Wenn 11,5 ≤ θ < 35,5	(h/λ) × a existiert nicht.
  Wenn 35,5 ≤ θ < 36,5	(h/λ) × a ist 0,042 bis 0,045.
  Wenn 36,5 ≤ θ < 37,5	(h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,045.
  Wenn 37,5 ≤ θ < 38,5	(h/λ) × a ist 0,014 bis 0,045.
  Wenn 38,5 ≤ θ < 39,5	(h/λ) × a ist 0,0075 bis 0,045.
  Wenn 39,5 ≤ θ < 180	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045.

  [Tabelle 19] Für [0,85 ≤ H/λ < 0,95]

  Wenn 0 ≤ θ < 8,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	(h/λ) × a ist 0,007 bis 0,0415.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	(h/λ) × a ist 0,01 bis 0,036.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5	(h/λ) × a ist 0,018 bis 0,0255.
  Wenn 11,5 ≤ θ < 35,5	(h/λ) × a existiert nicht.
  Wenn 35,5 ≤ θ < 36,5	(h/λ) × a ist 0,037 bis 0,045.
  Wenn 36,5 ≤ θ < 37,5	(h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,045.
  Wenn 37,5 ≤ θ < 38,5	(h/λ) × a ist 0,012 bis 0,045.
  Wenn 38,5 ≤ θ < 39,5	(h/λ) × a ist 0,006 bis 0,045.
  Wenn 39,5 ≤ θ < 180	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045.

  [Tabelle 20] Für [0,95 ≤ H/λ < 1,00]

  Wenn 0 ≤ θ < 7,5	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,04.
  Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5	(h/λ) × a ist 0,007 bis 0,04.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	(h/λ) × a ist 0,009 bis 0,04.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	(h/λ) × a ist 0,012 bis 0,04.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5	(h/λ) × a ist 0,02 bis 0,04.
  Wenn 11,5 ≤ θ < 35,5	(h/λ) × a existiert nicht.
  Wenn 35,5 ≤ θ < 36,5	(h/λ) × a ist 0,034 bis 0,04.
  Wenn 36,5 ≤ θ < 37,5	(h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,04.
  Wenn 37,5 ≤ θ < 38,5	(h/λ) × a ist 0,0105 bis 0,04.
  Wenn 38,5 ≤ θ < 180	(h/λ) × a ist 0,005 bis 0,04.

• In diesem Fall kann der elektromechanische Kopplungskoeffizient K² auf 0,02 oder mehr justiert werden, und das Durchlaßband kann verbreitert werden.
• In der Grenzschallwellenvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung bestehen für das Dielektrikum, aus dem die erste Mediumschicht besteht, keine besonderen Vorgaben; bevorzugt ist es SiO₂. Dadurch kann der absolute Wert des Frequenz-Temperaturkoeffizienten der Grenzschallwellenvorrichtung klein sein, weil LiTaO₃ einen negativen Frequenz-Temperaturkoeffizienten hat und SiO₂ einen positiven Frequenz-Temperaturkoeffizienten hat. Darum können Veränderungen der Eigenschaften infolge einer Temperaturänderung reduziert werden.
• In der Grenzschallwellenvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung bestehen für das Dielektrikum, aus dem die zweite Mediumschicht besteht, keine besonderen Vorgaben; bevorzugt ist es mindestens eines aus der Gruppe, die aus SiN, SiON, AlN, AlO, Si, SiC, diamantartigem Kohlenstoff und Polysilizium besteht. In diesem Fall kann eine Grenzschallwelle durch einen Wellenleitereffekt auf das Volumen einer SiO₂-Schicht beschränkt werden.
• In der vorliegenden Erfindung können die Eulerschen Winkel (φ, θ, ψ) Eulersche Winkel sein, deren Grenzschallwelleneigenschaften in einem bevorzugten Eulerschen Winkelbereich der Gleichung (A) unten entsprechen.
• Gleichung (A)
• F(φ, θ, ψ) = F(60° + φ, –θ, ψ) = F(60° – φ, –θ, 180° – ψ) = F(φ, 180° + θ, 180° – ψ) = F(φ, θ, 180° + ψ)
• In der Grenzschallwellenvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung gelten für ein Elektrodenmaterial keine besonderen Vorgaben; und eine IDT-Elektrode besteht bevorzugt aus Pt. Dadurch wird die Zuverlässigkeit erhöht.
• Die IDT-Elektrode kann einen Al-Film, der auf der Seite der ersten Mediumschicht angeordnet ist, und einen Pt-Film, der auf der Seite des piezoelektrischen Substrats angeordnet ist, enthalten. Dadurch kann der Einfügungsverlust gering gehalten werden.
• Die IDT-Elektrode kann einen Pt-Film, der auf der Seite der ersten Mediumschicht angeordnet ist, und einen Al-Film, der auf der Seite des piezoelektrischen Substrats angeordnet ist, enthalten. Dadurch können im Vergleich zu dem Fall, wo nur die Pt-Schicht verwendet wird, sowohl der absolute Wert des Frequenz-Temperaturkoeffizienten TCF als auch der Einfügungsverlust klein gehalten werden.
• Die IDT-Elektrode enthält bevorzugt einen Metallaminatfilm, der durch Übereinanderlegen mehrerer Metallschichten gebildet wird, und der Metallaminatfilm enthält bevorzugt eine Schicht, die an das piezoelektrische Substrat anstößt, eine Schicht, die an die erste Mediumschicht anstößt, und eine Metallschicht, die an mindestens einer Position zwischen den Metallschichten angeordnet ist und die aus mindestens einem aus der Gruppe Ti, Ni, und NiCr besteht. Dies ermöglicht eine wirksame Verstärkung der Adhäsion der IDT-Elektrode an dem piezoelektrischen Substrat, der Adhäsion der IDT-Elektrode an der ersten Mediumschicht oder der Adhäsion der Metallschichten. Darum kann die Zuverlässigkeit der Grenzschallwellenvorrichtung erhöht werden.
• (Vorteile)
• Die Grenzschallwellenvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung hat eine trimediale Struktur, wobei die erste und die zweite Mediumschicht auf einem piezoelektrischen Substrat abgeschieden sind. Darum kann die Grenzschallwellenvorrichtung höhere Frequenzen verarbeiten und hat eine höhere Zuverlässigkeit. Die Schallgeschwindigkeit der ersten Mediumschicht ist geringer als die Schallgeschwindigkeit von LiTaO₃, die Schallgeschwindigkeit der zweiten Mediumschicht ist größer als die Schallgeschwindigkeit von LiTaO₃, und (h/λ) × a ist 0,05 oder weniger. Darum kann ein Transversalmodusbrummen wirksam unterdrückt werden. Wenn das LiTaO₃ Eulersche Winkel (0° ± 5°, θ, 0° ± 25°) hat, so liegt die normalisierte Dicke (h/λ) × a der Interdigitalelektrode mit Bezug auf den Wert von H/λ und den Wert von θ innerhalb eines der in den Tabellen 1 bis 10 oben gezeigten Bereiche. Darum kann die Dämpfungskonstante α auf 0,06 dB/λ oder weniger reduziert werden. Die normalisierte Dicke (h/λ) × a der Interdigitalelektrode liegt mit Bezug auf den Wert von H/λ und den Wert von θ innerhalb eines der in den Tabellen 11 bis 20 oben gezeigten Bereiche. Darum kann der elektromechanische Kopplungskoeffizient K² auf 0,02 oder mehr justiert werden, und das Durchlaßband kann verbreitert werden. Dementsprechend kann eine Grenzschallwellenvorrichtung mit guten Resonanzeigenschaften und Filterungseigenschaften bereitgestellt werden.
• KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
• 1(a) und 1(b) sind eine schematische vordere Schnittansicht bzw. eine schematische horizontale Schnittansicht einer Grenzschallwellenvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
• 2 ist eine teilweise geöffnete vordere Schnittansicht, die die Dicke H einer ersten Mediumschicht, die Dicke h einer IDT-Elektrode und die Periode λ von Elektrodenfingern gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung veranschaulicht.
• 3 ist ein Diagramm, das die Veränderung des Ausbreitungsverlusts α bei Veränderung der Dicke von IDT-Elektroden in Beispiel 1 zeigt.
• 4 ist ein Diagramm, das die Veränderung der Frequenzkennlinie bei Verwendung von IDT-Elektroden zeigt, die aus Au bestehen und die eine normalisierte Dicke (%) von 4,0% oder 2,5% haben.
• 5 ist ein Diagramm, das die Beziehung zwischen der normalisierten Dicke h/λ (%) und dem elektromechanischen Koeffizienten K² von IDT-Elektroden zeigt.
• 6 ist ein Diagramm, das die Impedanzkennlinie bei Verwendung von Au-Filmen mit einer normalisierten Dicke von 2,5% oder 3,0% als IDT-Elektroden zeigt.
• 7 ist ein Smith'sches Impedanzdiagramm eines Einzelanschluß-Grenzschallwellenresonators, der eine erste Mediumschicht enthält, die aus SiO₂ mit Eulerschen Winkeln (0°, 132°, 0°) besteht, und die eine normalisierte Dicke H/λ von 40% hat, und IDT-Elektroden enthält, die aus Pt bestehen und die eine normalisierte Dicke (h/λ) × a von 3,0% haben.
• 8 ist ein Smith'sches Impedanzdiagramm eines Einzelanschluß-Grenzschallwellenresonators, der eine erste Mediumschicht enthält, die aus SiO₂ mit Eulerschen Winkeln (0°, 132°, 0°) besteht, und die eine normalisierte Dicke H/λ von 40% hat, und IDT-Elektroden enthält, die aus Pt bestehen und die eine normalisierte Dicke (h/λ) × a von 5,0% haben.
• 9 ist ein Smith'sches Impedanzdiagramm eines Einzelanschluß-Grenzschallwellenresonators, der eine erste Mediumschicht enthält, die aus SiO₂ mit Eulerschen Winkeln (0°, 132°, 0°) besteht, und die eine normalisierte Dicke H/λ von 40% hat, und IDT-Elektroden enthält, die aus Pt bestehen und die eine normalisierte Dicke (h/λ) × a von 6,0% haben.
• 10 ist ein Diagramm, das die Verteilung des Ausbreitungsverlusts α in dem Fall zeigt, wo die normalisierte Dicke H/λ (%) eines SiO₂-Films, der als eine erste Mediumschicht verwendet wird, 10% beträgt und θ der Eulerschen Winkel (0°, θ, 0°) von LiTaO₃ und die normalisierte Dicke h/λ von IDT-Elektroden variiert werden.
• 11 ist ein Diagramm, das die Verteilung des Ausbreitungsverlusts α in dem Fall zeigt, wo die normalisierte Dicke H/λ (%) eines SiO₂-Films, der als eine erste Mediumschicht verwendet wird, 20% beträgt und θ der Eulerschen Winkel (0°, θ, 0°) von LiTaO₃ und die normalisierte Dicke h/λ von IDT-Elektroden variiert werden.
• 12 ist ein Diagramm, das die Verteilung des Ausbreitungsverlusts α in dem Fall zeigt, wo die normalisierte Dicke H/λ (%) eines SiO₂-Films, der als eine erste Mediumschicht verwendet wird, 30 beträgt und θ der Eulerschen Winkel (0°, θ, 0°) von LiTaO₃ und die normalisierte Dicke h/λ von IDT-Elektroden variiert werden.
• 13 ist ein Diagramm, das die Verteilung des Ausbreitungsverlusts α in dem Fall zeigt, wo die normalisierte Dicke H/λ (%) eines SiO₂-Films, der als eine erste Mediumschicht verwendet wird, 40% beträgt und θ der Eulerschen Winkel (0°, θ, 0°) von LiTaO₃ und die normalisierte Dicke h/λ von IDT-Elektroden variiert werden.
• 14 ist ein Diagramm, das die Verteilung des Ausbreitungsverlusts α in dem Fall zeigt, wo die normalisierte Dicke H/λ (%) eines SiO₂-Films, der als eine erste Mediumschicht verwendet wird, 50% beträgt und θ der Eulerschen Winkel (0°, θ, 0°) von LiTaO₃ und die normalisierte Dicke h/λ von IDT-Elektroden variiert werden.
• 15 ist ein Diagramm, das die Verteilung des Ausbreitungsverlusts α in dem Fall zeigt, wo die normalisierte Dicke H/λ (%) eines SiO₂-Films, der als eine erste Mediumschicht verwendet wird, 60% beträgt und θ der Eulerschen Winkel (0°, θ, 0°) von LiTaO₃ und die normalisierte Dicke h/λ von IDT-Elektroden variiert werden.
• 16 ist ein Diagramm, das die Verteilung des Ausbreitungsverlusts α in dem Fall zeigt, wo die normalisierte Dicke H/λ (%) eines SiO₂-Films, der als eine erste Mediumschicht verwendet wird, 70% beträgt und θ der Eulerschen Winkel (0°, θ, 0°) von LiTaO₃ und die normalisierte Dicke h/λ von IDT-Elektroden variiert werden.
• 17 ist ein Diagramm, das die Verteilung des Ausbreitungsverlusts α in dem Fall zeigt, wo die normalisierte Dicke H/λ (%) eines SiO₂-Films, der als eine erste Mediumschicht verwendet wird, 80% beträgt und θ der Eulerschen Winkel (0°, θ, 0°) von LiTaO₃ und die normalisierte Dicke h/λ von IDT-Elektroden variiert werden.
• 18 ist ein Diagramm, das die Verteilung des Ausbreitungsverlusts α in dem Fall zeigt, wo die normalisierte Dicke H/λ (%) eines SiO₂-Films, der als eine erste Mediumschicht verwendet wird, 90% beträgt und θ der Eulerschen Winkel (0°, θ, 0°) von LiTaO₃ und die normalisierte Dicke h/λ von IDT-Elektroden variiert werden.
• 19 ist ein Diagramm, das die Verteilung des Ausbreitungsverlusts α in dem Fall zeigt, wo die normalisierte Dicke H/λ (%) eines SiO₂-Films, der als eine erste Mediumschicht verwendet wird, 100% beträgt und θ der Eulerschen Winkel (0°, θ, 0°) von LiTaO₃ und die normalisierte Dicke h/λ von IDT-Elektroden variiert werden.
• 20 ist ein Diagramm, das die Verteilung des elektromechanischen Koeffizienten K² in dem Fall zeigt, wo die normalisierte Dicke H/λ (%) eines SiO₂-Films, der als eine erste Mediumschicht verwendet wird, 20% beträgt und θ der Eulerschen Winkel (0°, θ, 0°) von LiTaO₃ und die normalisierte Dicke h/λ von IDT-Elektroden variiert werden.
• 21 ist ein Diagramm, das die Verteilung des elektromechanischen Koeffizienten K² in dem Fall zeigt, wo die normalisierte Dicke H/λ (%) eines SiO₂-Films, der als eine erste Mediumschicht verwendet wird, 30% beträgt und θ der Eulerschen Winkel (0°, θ, 0°) von LiTaO₃ und die normalisierte Dicke h/λ von IDT-Elektroden variiert werden.
• 22 ist ein Diagramm, das die Verteilung des elektromechanischen Koeffizienten K² in dem Fall zeigt, wo die normalisierte Dicke H/λ (%) eines SiO₂-Films, der als eine erste Mediumschicht verwendet wird, 40% beträgt und θ der Eulerschen Winkel (0°, θ, 0°) von LiTaO₃ und die normalisierte Dicke h/λ von IDT-Elektroden variiert werden.
• 23 ist ein Diagramm, das die Verteilung des elektromechanischen Koeffizienten K² in dem Fall zeigt, wo die normalisierte Dicke H/λ (%) eines SiO₂-Films, der als eine erste Mediumschicht verwendet wird, 50% beträgt und θ der Eulerschen Winkel (0°, θ, 0°) von LiTaO₃ und die normalisierte Dicke h/λ von IDT-Elektroden variiert werden.
• 24 ist ein Diagramm, das die Verteilung des elektromechanischen Koeffizienten K² in dem Fall zeigt, wo die normalisierte Dicke H/λ (%) eines SiO₂-Films, der als eine erste Mediumschicht verwendet wird, 60% beträgt und θ der Eulerschen Winkel (0°, θ, 0°) von LiTaO₃ und die normalisierte Dicke h/λ von IDT-Elektroden variiert werden.
• 25 ist ein Diagramm, das die Verteilung des elektromechanischen Koeffizienten K² in dem Fall zeigt, wo die normalisierte Dicke H/λ (%) eines SiO₂-Films, der als eine erste Mediumschicht verwendet wird, 70% beträgt und θ der Eulerschen Winkel (0°, θ, 0°) von LiTaO₃ und die normalisierte Dicke h/λ von IDT-Elektroden variiert werden.
• 26 ist ein Diagramm, das die Verteilung des elektromechanischen Koeffizienten K² in dem Fall zeigt, wo die normalisierte Dicke H/λ (%) eines SiO₂-Films, der als eine erste Mediumschicht verwendet wird, 80% beträgt und θ der Eulerschen Winkel (0°, θ, 0°) von LiTaO₃ und die normalisierte Dicke h/λ von IDT-Elektroden variiert werden.
• 27 ist ein Diagramm, das die Verteilung des elektromechanischen Koeffizienten K² in dem Fall zeigt, wo die normalisierte Dicke H/λ (%) eines SiO₂-Films, der als eine erste Mediumschicht verwendet wird, 90% beträgt und θ der Eulerschen Winkel (0°, θ, 0°) von LiTaO₃ und die normalisierte Dicke h/λ von IDT-Elektroden variiert werden.
• 28 ist ein Diagramm, das die Verteilung des elektromechanischen Koeffizienten K² in dem Fall zeigt, wo die normalisierte Dicke H/λ (%) eines SiO₂-Films, der als eine erste Mediumschicht verwendet wird, 100% beträgt und θ der Eulerschen Winkel (0°, θ, 0°) von LiTaO₃ und die normalisierte Dicke h/λ von IDT-Elektroden variiert werden.
• 29 ist ein Diagramm, das die Beziehung zwischen dem elektromechanischen Koeffizienten K² von Grenzschallwellenvorrichtungen, die IDT-Elektroden enthalten, die auf LiTaO₃ mit Eulerschen Winkeln (0°, 132°, ψ°) abgeschieden sind und die aus Au bestehen, ψ, und der normalisierten Dicke (%) der IDT-Elektroden zeigt.
• 30 ist ein Diagramm, das Ergebnisse zeigt, die unter Verwendung von IDT-Elektroden mit einer normalisierten Dicke von 3,0%, die den in 29 gezeigten Ergebnissen entnommen wurden, erhalten wurden.
• 31 ist eine Veranschaulichung, die die Energieverteilung einer herkömmlichen Grenzschallwellenvorrichtung zeigt.
• Bezugszeichenliste

1

Grenzschallwellenvorrichtung

2

piezoelektrisches Substrat

3

erste Mediumschicht

4

zweite Mediumschicht

5

IDT-Elektroden

6 und 7

Reflektoren

• BESTE ARTEN DER AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
• Die vorliegende Erfindung wird aus der folgenden Beschreibung beispielhafter Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung unter Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen besser ersichtlich.
• 1(a) und 1(b) sind eine schematische vordere Schnittansicht bzw. eine schematische horizontale Schnittansicht einer Grenzschallwellenvorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
• Die Grenzschallwellenvorrichtung 1 enthält ein piezoelektrisches Substrat 2, das aus einkristallinem LiTaO₃ besteht. Eine erste Mediumschicht 3 und eine zweite Mediumschicht 4 sind in dieser Reihenfolge auf dem piezoelektrischen Substrat 2 angeordnet. Das heißt, die Grenzschallwellenvorrichtung 1 dieser Ausführungsform hat eine trimediale Struktur.
• In dieser Ausführungsform besteht die erste Mediumschicht 3 aus SiO₂. Die Schallgeschwindigkeit von SiO₂ beträgt etwa 3750 (m/s). Für das Dielektrikum zur Verwendung in der ersten Mediumschicht 3 gibt es keine besonderen Vorgaben; bevorzugt ist es SiO₂. SiO₂ hat einen positiven Frequenz-Temperaturkoeffizienten, und LiTaO₃ hat einen negativen Frequenz-Temperaturkoeffizienten. Dadurch kann der absolute Wert des Frequenz-Temperaturkoeffizienten klein sein. Darum können Veränderungen der Eigenschaften infolge von Temperaturänderungen reduziert werden.
• In dieser Ausführungsform besteht die zweite Mediumschicht 4 aus SiN. Die Schallgeschwindigkeit von SiN beträgt etwa 6000 (m/s). Das Material, aus dem die zweite Mediumschicht 4 besteht, kann eines mit einer Schallgeschwindigkeit sein, die eine andere ist als die Schallgeschwindigkeit des Dielektrikums, aus dem die erste Mediumschicht 3 besteht. Das Dielektrikum ist bevorzugt mindestens eines aus der Gruppe SiN, SiON, AlN, AlO, Si, SiC, diamantartiger Kohlenstoff und Polysilizium. Die Verwendung von einem aus der obigen Gruppe ermöglicht es, eine Welle durch einen hochgradigen Wellenleitereffekt räumlich zu begrenzen.
• Die IDT-Elektroden 5 und die Reflektoren 6 und 7 befinden sich an der Grenzfläche zwischen dem piezoelektrischen Substrat 2 und der ersten Mediumschicht 3. Das heißt, die Grenzschallwellenvorrichtung 1 enthält die IDT-Elektroden 5 und die Reflektoren 6 und 7 in der Form einer Elektrodestruktur.
• Wie in 1(b) zu sehen, sind die Reflektoren 6 und 7 auf beiden Seiten der Ausbreitungsrichtung einer Grenzschallwelle angeordnet, wodurch ein Einzelanschluß-Grenzschallwellenresonator gebildet wird.
• Die Grenzschallwellenvorrichtung der vorliegenden Erfindung ist nicht auf den Grenzschallwellenresonator beschränkt und ist auf verschiedene Grenzschallwellenvorrichtungen, wie zum Beispiel Grenzschallwellenfilter, anwendbar. Darum kann die Elektrodestruktur zweckentsprechend in Abhängigkeit von den Funktionen der Grenzschallwellenvorrichtung modifiziert werden.
• Die herkömmliche Grenzschallwellenvorrichtung, die im Patentdokument 1 offenbart ist und die trimediale Struktur hat, hat das Problem, daß, wie oben beschrieben, ein Transversalmodusbrummen eintritt, wenn die IDT-Elektroden eine vergrößerte Dicke haben oder aus einem hochdichten Metall bestehen. Die Erfinder haben intensiv Strukturen zum Unterdrücken eines Transversalmodusbrummens in Grenzschallwellenvorrichtungen mit trimedialen Strukturen untersucht. Im Ergebnis dieser Untersuchungen haben die Erfinder festgestellt, daß das Transversalmodusbrummen wirksam unterdrückt werden kann, wenn die Schallgeschwindigkeit der ersten Mediumschicht 3 geringer ist als die Schallgeschwindigkeit von LiTaO₃, die Schallgeschwindigkeit der zweiten Mediumschicht 4 größer ist als die Schallgeschwindigkeit von LiTaO₃ und (h/λ) × a 0,05 oder weniger beträgt, das heißt, 5% oder weniger, in Prozent ausgedrückt, wobei H die Dicke der ersten Mediumschicht 3 ist, h die Dicke der IDT-Elektroden ist, λ die Periode von Elektrodenfingern der IDT-Elektroden ist und a das Verhältnis der Dichte der IDT-Elektroden zur Dichte von Au ist, wie in 2 gezeigt, die eine teilweise geöffnete vordere Schnittansicht ist. Dies hat zur Entstehung der vorliegenden Erfindung geführt. Die vorliegende Erfindung wird im Folgenden anhand von Experimenten ausführlicher beschrieben.
• (Experiment 1)
• LiTaO₃ mit Eulerschen Winkeln (0°, 132°, 0°) wurde als jedes aus LiTaO₃ bestehende piezoelektrische Substrat verwendet. SiO₂-Filme mit einer normalisierten Dicke H/λ von 0,4 wurden als erste Mediumschicht verwendet. Für IDT-Elektroden 5 wurden Au-Filme mit einer normalisierten Dicke h/λ von 0,005 bis 0,05 verwendet. Die zweiten Mediumschichten 4 waren SiN-Filme mit einer Dicke von 3000 nm, das heißt, einer normalisierten Dicke von 1,58 (1,58 Mal die Wellenlänge, das heißt, 158% der Wellenlänge in Prozent).
• Die Beziehung zwischen der Dicke (h/λ) (%) der IDT-Elektroden und dem Ausbreitungsverlust α von Grenzschallwellenvorrichtungen, die in der oben beschriebenen Weise hergestellt wurden, wurde ermittelt. Der Ausdruck h/λ (%) bezieht sich auf ein Verhältnis, das durch die Formel (h/λ) × 100 dargestellt wird. Die Ergebnisse sind in 3 gezeigt.
• Wie aus 3 zu erkennen ist, verringert die Reduzierung von h/λ von 4,0% auf 2,5%, das heißt von 0,04 auf 0,25, den Ausbreitungsverlust α von 0,024 auf 0,011, das heißt um 0,013 (dB/λ).
• Es wurde die Frequenzkennlinie von Längsmodusfiltern vom Resonatortyp gemessen, in denen Au-Filme, die jeweils eine normalisierte Dicke h/λ (%) von 2,5% oder 4,0% aufweisen, als IDT-Elektroden verwendet wurden. Die Ergebnisse sind in 4 gezeigt. Wie aus 4 zu erkennen ist, hat das Längsmodusfilter vom Resonatortyp mit den Au-Filmen, die die IDT-Elektroden bilden und eine normalisierte Dicke h/λ (%) von 4,0% aufweisen, einen Mindest-Einfügungsverlust von 2,55 dB, während das Längsmodusfilter vom Resonatortyp mit den Au-Filmen, die die IDT-Elektroden bilden und eine kleinere normalisierte Dicke h/λ (%) von 2,5% aufweisen, einen verbesserten Mindest-Einfügungsverlust von 2,35 dB hat.
• Diese Ausführungsform zeigt, daß, wenn IDT-Elektroden aus Au, was ein relativ schweres Metall ist, in einer solchen Weise hergestellt werden, daß ihre normalisierte Dicke h/λ 4,0% oder weniger beträgt, die Reduzierung ihrer normalisierten Dicke h/λ den Ausbreitungsverlust α verringert.
• (Experiment 2)
• In Grenzschallwellenvorrichtungen 1 mit der gleichen Mediumstruktur wie im Fall von Experiment 1 wurde die Änderung des elektromechanischen Kopplungskoeffizienten K² ermittelt, indem die normalisierte Dicke h/λ (%) von IDT-Elektroden aus Au innerhalb eines Bereichs von 0,5% bis 5% in der gleichen Weise wie im Fall von Experiment 1 variiert wurde. Die Ergebnisse sind in 5 gezeigt. Wie aus 5 zu erkennen ist, verkleinert die Reduzierung der normalisierten Dicke h/λ (%) der IDT-Elektroden von 3,0% auf 2,5% den elektromechanischen Kopplungskoeffizienten K² von 6,45% auf 6,3%. Das heißt, der elektromechanische Kopplungskoeffizient K² kann durch Justieren der normalisierten Dicke h/λ (%) der IDT-Elektroden 5 gesteuert werden. 6 ist ein Diagramm, das die Impedanzkennlinie von Grenzschallwellenvorrichtungen zeigt, die in der gleichen, oben beschriebenen Weise hergestellt wurden, außer daß die IDT-Elektroden 5 aus Au eine normalisierte Dicke h/λ (%) von 2,5% oder 3,0% aufwiesen.
• Wie aus 6 zu erkennen ist, verbessert die Veränderung der normalisierten Dicke h/λ (%) der IDT-Elektroden von 3,0% auf 2,5% das Bandbreitenverhältnis um 0,2%. Es ist bekannt, daß die Gleichung (elektromechanischer Kopplungskoeffizient) = (Bandbreitenverhältnis) × 2 im wesentlichen für den elektromechanischen Kopplungskoeffizienten und das Bandbreitenverhältnis gilt. Dies zeigt, daß die Erhöhung des elektromechanischen Kopplungskoeffizienten K² das Bandbreitenverhältnis vergrößert.
• (Experiment 3)
• In Experiment 3 wurde die Abhängigkeit des Ausbreitungsverlusts α und des elektromechanischen Kopplungskoeffizienten K² von der normalisierten Dicke h/λ der IDT-Elektroden ermittelt, indem θ der Eulerschen Winkel (0°, θ, 0°) des verwendeten LiTaO₃ und die normalisierte Dicke h/λ der IDT-Elektroden anhand der Ergebnisse der Experimente 1 und 2 variiert wurden. Die Ergebnisse sind in den 10 bis 28 gezeigt.
• 10 bis 19 sind Diagramme, die jeweils die Beziehung zwischen θ, der normalisierten Dicke h/λ von IDT-Elektroden und dem Ausbreitungsverlust α zeigen, wobei θ ermittelt wird, wenn die normalisierte Dicke H/λ (%) von SiO₂, das als eine erste Mediumschicht verwendet wird, 10%, 20%, 30%, 40%, 50%, 60%, 70%, 80%, 90% oder 100% beträgt.
• In den 10 bis 19 stellen Symbole, die Regionen bezeichnen, die von Konturlinien umgeben sind, jeweils den Bereich des Ausbreitungsverlusts einer entsprechenden der Regionen dar. Zum Beispiel entspricht der Ausbreitungsverlust α einer jeden Region A13 bis A20 dem von A13 bis A20, die in Tabelle 21 unten gezeigt sind. Das heißt, der Ausbreitungsverlust α von Region A13 beträgt 0,07 bis 0,08 (dB/λ). Wie aus 10 zu erkennen ist, beträgt der Ausbreitungsverlust von Region A13 0,07 bis 0,08 und ist am größten; und Region A13, Region A14, Region A15, Region A16, Region A17, Region A18, Region A19, und Region A20 sind in absteigender Folge des Ausbreitungsverlusts α in dieser Reihenfolge angeordnet.
• 10 veranschaulicht, daß zum Justieren des Ausbreitungsverlusts α auf 0,06 dB/λ oder weniger die Regionen A15 bis A20 verwendet werden können. Das heißt, der Eulerschen Winkel und die normalisierte Dicke h/λ der IDT-Elektroden können so gewählt werden, daß Regionen A15 bis A20 erhalten werden.
• Gleichermaßen veranschaulichen die 11 bis 19, daß der Ausbreitungsverlust α auf 0,06 dB/λ oder weniger justiert werden kann, indem θ der Eulerschen Winkel und die normalisierte Dicke h/λ der IDT-Elektroden in Abhängigkeit von der normalisierten Dicke H/λ (%) des SiO₂, das als die erste Mediumschicht 3 verwendet wird, ausgewählt werden.
• Wenn h/λ in den 12 und 13 größer als 0,05 ist, so treten keine Grenzschallwellen als Leckverlust aus, und darum ist der Ausbreitungsverlust α gleich 0. Gleichermaßen treten, wenn h/λ in den 14 bis 18 größer als 0,045 ist und h/λ in 19 größer als 0,04 ist, keine Grenzschallwellen als Leckverlust aus, und darum ist der Ausbreitungsverlust α gleich 0. Das heißt, obgleich bei einer Elektrodendicke von 6% oder mehr, wie in 3 gezeigt, keine Grenzschallwellen als Leckverlust austreten, ermöglicht es eine Vergrößerung der normalisierten Dicke einer SiO₂-Schicht, daß eine Grenzschallwelle auch bei einer kleineren Elektrodendicke nicht als Leckverlust austritt. [Tabelle 21] Ausbreitungsverlust α

  		A41	0,09–0,1	A71	0,09–0,1	B11	0,09–0,1
  		A42	0,08–0,09	A72	0,08–0,09	B12	0,08–0,09
  A13	0,07–0,08	A43	0,07–0,08	A73	0,07–0,08	B13	0,07–0,08
  A14	0,06–0,07	A44	0,06–0,07	A74	0,06–0,07	B14	0,06–0,07
  A15	0,05–0,06	A45	0,05–0,06	A75	0,05–0,06	B15	0,05–0,06
  A16	0,04–0,05	A46	0,04–0,05	A76	0,04–0,05	B16	0,04–0,05
  A17	0,03–0,04	A47	0,03–0,04	A77	0,03–0,04	B17	0,03–0,04
  A18	0,02–0,03	A48	0,02–0,03	A78	0,02–0,03	B18	0,02–0,03
  A19	0,01–0,02	A49	0,01–0,02	A79	0,01–0,02	B19	0,01–0,02
  A20	0–0,01	A50	0–0,01	A80	0–0,01	B20	0–0,01
  A21	0,09–0,1	A51	0,09–0,1	A81	0,09–0,1
  A22	0,08–0,09	A52	0,08–0,09	A82	0,08–0,09
  A23	0,07–0,08	A53	0,07–0,08	A83	0,07–0,08
  A24	0,06–0,07	A54	0,06–0,07	A84	0,06–0,07
  A25	0,05–0,06	A55	0,05–0,06	A85	0,05–0,06
  A26	0,04–0,05	A56	0,04–0,05	A86	0,04–0,05
  A27	0,03–0,04	A57	0,03–0,04	A87	0,03–0,04
  A28	0,02–0,03	A58	0,02–0,03	A88	0,02–0,03
  A29	0,01–0,02	A59	0,01–0,02	A89	0,01–0,02
  A30	0–0,01	A60	0–0,01	A90	0–0,01
  A31	0,09–0,1	A61	0,09–0,1	A91	0,09–0,1
  A32	0,08–0,09	A62	0,08–0,09	A92	0,08–0,09
  A33	0,07–0,08	A63	0,07–0,08	A93	0,07–0,08
  A34	0,06–0,07	A64	0,06–0,07	A94	0,06–0,07
  A35	0,05–0,06	A65	0,05–0,06	A95	0,05–0,06
  A36	0,04–0,05	A66	0,04–0,05	A96	0,04–0,05
  A37	0,03–0,04	A67	0,03–0,04	A97	0,03–0,04
  A38	0,02–0,03	A68	0,02–0,03	A98	0,02–0,03
  A39	0,01–0,02	A69	0,01–0,02	A99	0,01–0,02
  A40	0–0,01	A70	0–0,01	A100	0–0,01

• 10 bis 19 veranschaulichen, daß θ der Eulerschen Winkel und die normalisierte Dicke h/λ der IDT-Elektroden aus in den Tabellen 23 bis 32 gezeigten Bereichen in Abhängigkeit von der normalisierten Dicke H/λ von SiO₂-Filmen so ausgewählt werden können, daß der Ausbreitungsverlust α auf 0,06 dB/λ oder weniger reduziert werden kann.
• 20 bis 28 sind Diagramme, die jeweils zeigen, wie sich der elektromechanische Kopplungskoeffizient K² in Abhängigkeit von θ der Eulerschen Winkel (0°, θ, 0°) und der normalisierten Dicke h/λ von IDT-Elektroden verändert, wenn die normalisierte Dicke H/λ (%) von SiO₂-Filmen 20%, 30%, 40%, 50%, 60%, 70%, 80%, 90% oder 100% beträgt. Die Regionen B21 bis B100 und C11 bis C30, die in den 20 bis 28 gezeigt sind, deuten jeweils den Bereich der in Tabelle 22 unten gezeigten elektromechanischen Kopplungskoeffizienten K² an. Zum Beispiel entspricht Region B21 in Tabelle 22 Region B21 in 20 und gibt an, daß der elektromechanische Kopplungskoeffizient K² von 0,09 bis 0,1 reicht.
• 20 bis 28 veranschaulichen jenen θ der Eulerschen Winkel, der notwendig ist, um einen elektromechanischen Kopplungskoeffizienten K² von 2% oder mehr zu erhalten, und die normalisierte Dicke h/λ der IDT-Elektroden kann in Abhängigkeit von der normalisierten Dicke H/λ der SiO₂-Filme ausgewählt werden. [Tabelle 22] Elektromechanischer Kopplungskoeffizient K²

  B21	0,09–0,1	B51	0,09–0,1	B81	0,09–0,1
  B22	0,08–0,09	B52	0,08–0,09	B82	0,08–0,09
  B23	0,07–0,08	B53	0,07–0,08	B83	0,07–0,08
  B24	0,06–0,07	B54	0,06–0,07	B84	0,06–0,07
  B25	0,05–0,06	B55	0,05–0,06	B85	0,05–0,06
  B26	0,04–0,05	B56	0,04–0,05	B86	0,04–0,05
  B27	0,03–0,04	B57	0,03–0,04	B87	0,03–0,04
  B28	0,02–0,03	B58	0,02–0,03	B88	0,02–0,03
  B29	0,01–0,02	B59	0,01–0,02	B89	0,01–0,02
  B30	0–0,01	B60	0–0,01	B90	0–0,01
  B31	0,09–0,1	B61	0,09–0,1	B91	0,09–0,1
  B32	0,08–0,09	B62	0,08–0,09	B92	0,08–0,09
  B33	0,07–0,08	B63	0,07–0,08	B93	0,07–0,08
  B34	0,06–0,07	B64	0,06–0,07	B94	0,06–0,07
  B35	0,05–0,06	B65	0,05–0,06	B95	0,05–0,06
  B36	0,04–0,05	B66	0,04–005	B96	0,04–0,05
  B37	0,03–0,04	B67	0,03–0,04	B97	0,03–0,04
  B38	0,02–0,03	B68	0,02–0,03	B98	0,02–0,03
  B39	0,01–0,02	B69	0,01–0,02	B99	0,01–0,02
  B40	0–0,01	B70	0–0,01	B100	0–0,01
  B41	0,09–0,1	B71	0,09–0,1	C11	0,09–0,1
  B42	0,08–0,09	B72	0,08–0,09	C12	0,03–0,n09
  B43	0,07–0,08	B73	0,07–0,08	C13	0,07–0,08
  B44	0,06–0,07	B74	0,06–0,07	C14	0,06–0,07
  B45	0,05–0,06	B75	0,05–0,06	C15	0,05–0,06
  B46	0,04–0,05	B76	0,04–0,05	C16	0,04–0,05
  B47	0,03–0,04	B77	0,03–0,04	C17	0,03–0,04
  B48	0,02–0,03	B78	0,02–0,03	C18	0,02–0,03
  B49	0,01–0,02	B79	0,01–0,02	C19	0,01–0,02
  B50	0–0,01	B80	0–0,01	C20	0–0,01

• Die Veränderung der elektromechanischen Kopplungskoeffizienten K² wurde dadurch ermittelt, daß die Eulerschen Winkel von LiTaO₃ auf (0°, 132°, ψ) eingestellt und ψ der Eulerschen Winkel und die normalisierte Dicke h/λ der IDT-Elektroden variiert wurden.
• 29 ist ein Diagramm, das die Beziehung zwischen ψ der Eulerschen Winkel, dem elektromechanischen Kopplungskoeffizienten K² und der normalisierten Dicke (h/λ) (%) der IDT-Elektroden zeigt. 29 veranschaulicht, daß, um den elektromechanischen Kopplungskoeffizienten K² auf 2% oder mehr einzustellen, sein ψ und die normalisierte Dicke h/λ der IDT-Elektroden auf einen Bereich eingestellt werden können, bei dem K² 0,02 oder mehr ist.
• 30 ist das Diagramm einer Kurve, bei der es sich um eine der mehreren Kurven aus 29 handelt und die zeigt, daß die normalisierte Dicke von IDT-Elektroden 3,0% beträgt. 29 zeigt Ergebnisse, die von IDT-Elektroden mit einer normalisierten Dicke von 0,5% bis 5,0% erhalten wurden; allerdings sind die Ergebnisse unklar. Darum wurde die Kurve, die zeigt, daß die normalisierte Dicke von IDT-Elektroden 3,0% beträgt, ausgewählt und in 30 gezeigt.
• 30 veranschaulicht, daß K² auf 0,02 oder mehr justiert werden kann, wenn ψ der Eulerschen Winkel innerhalb eines Bereichs von 0° ± 25° liegt.
• Anhand der in den 10 bis 19 gezeigten Ergebnisse kann der Ausbreitungsverlust α auf 0,06 oder weniger justiert werden, indem θ der Eulerschen Winkel und die normalisierte Dicke h/λ der IDT-Elektroden wie in Tabelle 23 gezeigt ausgewählt werden, wenn die normalisierte Dicke H/λ von SiO₂ 0,05 bis weniger als 0,15 mißt. [Tabelle 23] Für [0,05 ≤ H/λ < 0,15]

  Wenn 0 ≤ θ < 75,5	h/λ ist 0,005 bis 0,05.
  Wenn 75,5 ≤ θ < 76,5	h/λ ist 0,005 bis 0,014 oder 0,021 bis 0,05.
  Wenn 76,5 ≤ θ < 77,5	h/λ ist 0,005 bis 0,014 oder 0,022 bis 0,05.
  Wenn 77,5 ≤ θ < 78,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0135 oder 0,023 bis 0,05.
  Wenn 78,5 ≤ θ < 79,5	h/λ ist 0,005 bis 0,013 oder 0,024 bis 0,05.
  Wenn 79,5 ≤ θ < 80,5	h/λ ist 0,005 bis 0,013 oder 0,025 bis 0,05.
  Wenn 80,5 ≤ θ < 81,5	h/λ ist 0,005 bis 0,013 oder 0,0255 bis 0,05.
  Wenn 81,5 ≤ θ < 82,5	h/λ ist 0,005 bis 0,013 oder 0,026 bis 0,05.
  Wenn 82,5 ≤ θ < 83,5	h/λ ist 0,005 bis 0,013 oder 0,0265 bis 0,05.
  Wenn 83,5 ≤ θ < 84,5	h/λ ist 0,005 bis 0,013 oder 0,027 bis 0,05.
  Wenn 84,5 ≤ θ < 85,5	h/λ ist 0,005 bis 0,013 oder 0,0275 bis 0,05.
  Wenn 85,5 ≤ θ < 86,5	h/λ ist 0,005 bis 0,013 oder 0,028 bis 0,05.
  Wenn 86,5 ≤ θ < 87,5	h/λ ist 0,005 bis 0,013 oder 0,0285 bis 0,05.
  Wenn 87,5 ≤ θ < 88,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0135 oder 0,029 bis 0,05.
  Wenn 88,5 ≤ θ < 90,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0135 oder 0,0295 bis 0,05.
  Wenn 90,5 ≤ θ < 91,5	h/λ ist 0,005 bis 0,014 oder 0,03 bis 0,05.
  Wenn 91,5 ≤ θ < 92,5	h/λ ist 0,005 bis 0,014 oder 0,0305 bis 0,05.
  Wenn 92,5 ≤ θ < 93,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0145 oder 0,0305 bis 0,05.
  Wenn 93,5 ≤ θ < 94,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0145 oder 0,031 bis 0,05.
  Wenn 94,5 ≤ θ < 95,5	h/λ ist 0,005 bis 0,015 oder 0,031 bis 0,05.
  Wenn 95,5 ≤ θ < 96,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0155 oder 0,0315 bis 0,05.
  Wenn 96,5 ≤ θ < 97,5	h/λ ist 0,005 bis 0,016 oder 0,0315 bis 0,05.
  Wenn 97,5 ≤ θ < 98,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0165 oder 0,032 bis 0,05.
  Wenn 98,5 ≤ θ < 99,5	h/λ ist 0,005 bis 0,017 oder 0,032 bis 0,05.
  Wenn 99,5 ≤ θ < 100,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0175 oder 0,032 bis 0,05.
  Wenn 100,5 ≤ θ < 101,5	h/λ ist 0,005 bis 0,018 oder 0,0325 bis 0,05.
  Wenn 101,5 ≤ θ < 102,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0185 oder 0,0325 bis 0,05.
  Wenn 102,5 ≤ θ < 103,5	h/λ ist 0,005 bis 0,019 oder 0,0325 bis 0,05.
  Wenn 103,5 ≤ θ < 104,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0195 oder 0,0325 bis 0,05.
  Wenn 104,5 ≤ θ < 105,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0205 oder 0,033 bis 0,05.
  Wenn 105,5 ≤ θ < 106,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0215 oder 0,033 bis 0,05.
  Wenn 106,5 ≤ θ < 107,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0225 oder 0,033 bis 0,05.
  Wenn 107,5 ≤ θ < 108,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0235 oder 0,033 bis 0,05.
  Wenn 108,5 ≤ θ < 109,5	h/λ ist 0,005 bis 0,024 oder 0,0325 bis 0,05.
  Wenn 109,5 ≤ θ < 110,5	h/λ ist 0,005 bis 0,026 oder 0,0325 bis 0,05.
  Wenn 110,5 ≤ θ < 111,5	h/λ ist 0,005 bis 0,028 oder 0,032 bis 0,05.
  Wenn 111,5 ≤ θ < 112,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0295 oder 0,0305 bis 0,05.
  Wenn 112,5 ≤ θ < 180	h/λ ist 0,005 bis 0,05.

• Gleichermaßen kann der Ausbreitungsverlust α auf 0,06 oder weniger justiert werden, indem θ der Eulerschen Winkel und die normalisierte Dicke h/λ der IDT-Elektroden wie in den Tabellen 24 bis 32 gezeigt ausgewählt werden, wenn die normalisierte Dicke H/λ von SiO₂-Filmen 0,15 bis weniger als 0,25, 0,25 bis weniger als 0,35, 0,35 bis weniger als 0,45, 0,45 bis weniger als 0,55, 0,55 bis weniger als 0,65, 0,65 bis weniger als 0,75, 0,75 bis weniger als 0,85, bis weniger als 0,95 oder 0,95 bis weniger als 1,00 mißt. [Tabelle 24] Für [0,15 ≤ H/λ < 0,25]

  Wenn 0 ≤ θ < 1,5	h/λ ist 0,024 bis 0,05.
  Wenn 1,5 ≤ θ < 3,5	h/λ ist 0,0235 bis 0,05.
  Wenn 3,5 ≤ θ < 4,5	h/λ ist 0,023 bis 0,05.
  Wenn 4,5 ≤ θ < 5,5	h/λ ist 0,0225 bis 0,05.
  Wenn 5,5 ≤ θ < 6,5	h/λ ist 0,022 bis 0,05.
  Wenn 6,5 ≤ θ < 7,5	h/λ ist 0,0215 bis 0,05.
  Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5	h/λ ist 0,021 bis 0,05.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	h/λ ist 0,02 bis 0,05.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	h/λ ist 0,0195 bis 0,05.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5	h/λ ist 0,0185 bis 0,05.
  Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5	h/λ ist 0,0175 bis 0,05.
  Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5	h/λ ist 0,0165 bis 0,05.
  Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5	h/λ ist 0,015 bis 0,05.
  Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5	h/λ ist 0,013 bis 0,05.
  Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5	h/λ ist 0,011 bis 0,05.
  Wenn 16,5 ≤ θ < 54,5	h/λ ist 0,005 bis 0,05.
  Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5	h/λ ist 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5	h/λ ist 0,0155 bis 0,05.
  Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5	h/λ ist 0,017 bis 0,05.
  Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5	h/λ ist 0,0185 bis 0,05.
  Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5	h/λ ist 0,0195 bis 0,05.
  Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5	h/λ ist 0,0205 bis 0,05.
  Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5	h/λ ist 0,0215 bis 0,05.
  Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5	h/λ ist 0,0225 bis 0,05.
  Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5	h/λ ist 0,023 bis 0,05.
  Wenn 63,5 ≤ θ < 64,5	h/λ ist 0,0235 bis 0,05.
  Wenn 64,5 ≤ θ < 65,5	h/λ ist 0,0245 bis 0,05.
  Wenn 65,5 ≤ θ < 66,5	h/λ ist 0,025 bis 0,05.
  Wenn 66,5 ≤ θ < 67,5	h/λ ist 0,0255 bis 0,05.
  Wenn 67,5 ≤ θ < 68,5	h/λ ist 0,026 bis 0,05.
  Wenn 68,5 ≤ θ < 69,5	h/λ ist 0,0265 bis 0,05.
  Wenn 69,5 ≤ θ < 70,5	h/λ ist 0,027 bis 0,05.
  Wenn 70,5 ≤ θ < 72,5	h/λ ist 0,0275 bis 0,05.
  Wenn 72,5 ≤ θ < 73,5	h/λ ist 0,028 bis 0,05.
  Wenn 73,5 ≤ θ < 74,5	h/λ ist 0,0285 bis 0,05.
  Wenn 74,5 ≤ θ < 76,5	h/λ ist 0,029 bis 0,05.
  Wenn 76,5 ≤ θ < 78,5	h/λ ist 0,0295 bis 0,05.
  Wenn 78,5 ≤ θ < 79,5	h/λ ist 0,03 bis 0,05.
  Wenn 79,5 ≤ θ < 81,5	h/λ ist 0,0305 bis 0,05.
  Wenn 81,5 ≤ θ < 83,5	h/λ ist 0,031 bis 0,05.
  Wenn 83,5 ≤ θ < 86,5	h/λ ist 0,0315 bis 0,05.
  Wenn 86,5 ≤ θ < 88,5	h/λ ist 0,032 bis 0,05.
  Wenn 88,5 ≤ θ < 92,5	h/λ ist 0,0325 bis 0,05.
  Wenn 92,5 ≤ θ < 97,5	h/λ ist 0,033 bis 0,05.
  Wenn 97,5 ≤ θ < 98,5	h/λ ist 0,005 oder 0,0335 bis 0,05.
  Wenn 98,5 ≤ θ < 99,5	h/λ ist 0,005 bis 0,006 oder 0,0335 bis 0,05.
  Wenn 99,5 ≤ θ < 100,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0065 oder 0,0335 bis 0,05.
  Wenn 100,5 ≤ θ < 101,5	h/λ ist 0,005 bis 0,007 oder 0,0335 bis 0,05.
  Wenn 101,5 ≤ θ < 102,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0075 oder 0,0335 bis 0,05.
  Wenn 102,5 ≤ θ < 103,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0085 oder 0,0335 bis 0,05.
  Wenn 103,5 ≤ θ < 104,5	h/λ ist 0,005 bis 0,009 oder 0,0335 bis 0,05.
  Wenn 104,5 ≤ θ < 105,5	h/λ ist 0,005 bis 0,01 oder 0,0335 bis 0,05.
  Wenn 105,5 ≤ θ < 106,5	h/λ ist 0,005 bis 0,011 oder 0,0335 bis 0,05.
  Wenn 106,5 ≤ θ < 107,5	h/λ ist 0,005 bis 0,012 oder 0,0335 bis 0,05.
  Wenn 107,5 ≤ θ < 108,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0125 oder 0,0335 bis 0,05.
  Wenn 108,5 ≤ θ < 109,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0135 oder 0,033 bis 0,05.
  Wenn 109,5 ≤ θ < 110,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0145 oder 0,033 bis 0,05.
  Wenn 110,5 ≤ θ < 111,5	h/λ ist 0,005 bis 0,016 oder 0,0325 bis 0,05.
  Wenn 111,5 ≤ θ < 112,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0175 oder 0,0325 bis 0,05.
  Wenn 112,5 ≤ θ < 113,5	h/λ ist 0,005 bis 0,019 oder 0,032 bis 0,05.
  Wenn 113,5 ≤ θ < 114,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0215 oder 0,031 bis 0,05.
  Wenn 114,5 ≤ θ < 115,5	h/λ ist 0,005 bis 0,024 oder 0,028 bis 0,05.
  Wenn 115,5 ≤ θ < 155,5	h/λ ist 0,005 bis 0,05.
  Wenn 155,5 ≤ θ < 156,5	h/λ ist 0,0105 bis 0,05.
  Wenn 156,5 ≤ θ < 157,5	h/λ ist 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 157,5 ≤ θ < 158,5	h/λ ist 0,015 bis 0,05.
  Wenn 158,5 ≤ θ < 159,5	h/λ ist 0,016 bis 0,05.
  Wenn 159,5 ≤ θ < 160,5	h/λ ist 0,0175 bis 0,05.
  Wenn 160,5 ≤ θ < 161,5	h/λ ist 0,0185 bis 0,05.
  Wenn 161,5 ≤ θ < 162,5	h/λ ist 0,0195 bis 0,05.
  Wenn 162,5 ≤ θ < 163,5	h/λ ist 0,0205 bis 0,05.
  Wenn 163,5 ≤ θ < 164,5	h/λ ist 0,021 bis 0,05.
  Wenn 164,5 ≤ θ < 165,5	h/λ ist 0,0215 bis 0,05.
  Wenn 165,5 ≤ θ < 166,5	h/λ ist 0,022 bis 0,05.
  Wenn 166,5 ≤ θ < 167,5	h/λ ist 0,0225 bis 0,05.
  Wenn 167,5 ≤ θ < 168,5	h/λ ist 0,023 bis 0,05.
  Wenn 168,5 ≤ θ < 169,5	h/λ ist 0,0235 bis 0,05.
  Wenn 169,5 ≤ θ < 171,5	h/λ ist 0,024 bis 0,05.
  Wenn 171,5 ≤ θ < 179,5	h/λ ist 0,0245 bis 0,05.
  Wenn 179,5 ≤ θ < 180	h/λ ist 0,024 bis 0,05.

  [Tabelle 25] Für [0,25 ≤ H/λ < 0,35]

  Wenn 0 ≤ θ < 0,5	h/λ ist 0,0245 bis 0,05.
  Wenn 0,5 ≤ θ < 3,5	h/λ ist 0,024 bis 0,05.
  Wenn 3,5 ≤ θ < 4,5	h/λ ist 0,0235 bis 0,05.
  Wenn 4,5 ≤ θ < 6,5	h/λ ist 0,023 bis 0,05.
  Wenn 6,5 ≤ θ < 7,5	h/λ ist 0,0225 bis 0,05.
  Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5	h/λ ist 0,022 bis 0,05.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	h/λ ist 0,0215 bis 0,05.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	h/λ ist 0,021 bis 0,05.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5	h/λ ist 0,0205 bis 0,05.
  Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5	h/λ ist 0,0195 bis 0,05.
  Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5	h/λ ist 0,019 bis 0,05.
  Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5	h/λ ist 0,018 bis 0,05.
  Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5	h/λ ist 0,017 bis 0,05.
  Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5	h/λ ist 0,016 bis 0,05.
  Wenn 16,5 ≤ θ < 17,5	h/λ ist 0,015 bis 0,05.
  Wenn 17,5 ≤ θ < 18,5	h/λ ist 0,0135 bis 0,05.
  Wenn 18,5 ≤ θ < 19,5	h/λ ist 0,0115 bis 0,05.
  Wenn 19,5 ≤ θ < 20,5	h/λ ist 0,0095 bis 0,05.
  Wenn 20,5 ≤ θ < 21,5	h/λ ist 0,006 bis 0,05.
  Wenn 21,5 ≤ θ < 50,5	h/λ ist 0,005 bis 0,05.
  Wenn 50,5 ≤ θ < 51,5	h/λ ist 0,008 bis 0,05.
  Wenn 51,5 ≤ θ < 52,5	h/λ ist 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5	h/λ ist 0,015 bis 0,05.
  Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5	h/λ ist 0,017 bis 0,05.
  Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5	h/λ ist 0,018 bis 0,05.
  Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5	h/λ ist 0,019 bis 0,05.
  Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5	h/λ ist 0,02 bis 0,05.
  Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5	h/λ ist 0,021 bis 0,05.
  Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5	h/λ ist 0,022 bis 0,05.
  Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5	h/λ ist 0,0225 bis 0,05.
  Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5	h/λ ist 0,023 bis 0,05.
  Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5	h/λ ist 0,0235 bis 0,05.
  Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5	h/λ ist 0,024 bis 0,05.
  Wenn 63,5 ≤ θ < 64,5	h/λ ist 0,0245 bis 0,05.
  Wenn 64,5 ≤ θ < 65,5	h/λ ist 0,025 bis 0,05.
  Wenn 65,5 ≤ θ < 66,5	h/λ ist 0,0255 bis 0,05.
  Wenn 66,5 ≤ θ < 67,5	h/λ ist 0,026 bis 0,05.
  Wenn 67,5 ≤ θ < 68,5	h/λ ist 0,0265 bis 0,05.
  Wenn 68,5 ≤ θ < 70,5	h/λ ist 0,027 bis 0,05.
  Wenn 70,5 ≤ θ < 71,5	h/λ ist 0,0275 bis 0,05.
  Wenn 71,5 ≤ θ < 73,5	h/λ ist 0,028 bis 0,05.
  Wenn 73,5 ≤ θ < 75,5	h/λ ist 0,0285 bis 0,05.
  Wenn 75,5 ≤ θ < 77,5	h/λ ist 0,029 bis 0,05.
  Wenn 77,5 ≤ θ < 79,5	h/λ ist 0,0295 bis 0,05.
  Wenn 79,5 ≤ θ < 82,5	h/λ ist 0,3 bis 0,05.
  Wenn 82,5 ≤ θ < 85,5	h/λ ist 0,305 bis 0,0,5
  Wenn 85,5 ≤ θ < 89,5	h/λ ist 0,031 bis 0,05.
  Wenn 89,5 ≤ θ < 102,5	h/λ ist 0,0351 bis 0,05.
  Wenn 102,5 ≤ θ < 103,5	h/λ ist 0,005 oder 0,0315 bis 0,05.
  Wenn 103,5 ≤ θ < 104,5	h/λ ist 0,005 bis 0,006 oder 0,0315 bis 0,05.
  Wenn 104,5 ≤ θ < 105,5	h/λ ist 0,005 bis 0,007 oder 0,0315 bis 0,05.
  Wenn 105,5 ≤ θ < 106,5	h/λ ist 0,005 bis 0,008 oder 0,031 bis 0,05.
  Wenn 106,5 ≤ θ < 107,5	h/λ ist 0,005 bis 0,009 oder 0,031 bis 0,05.
  Wenn 107,5 ≤ θ < 108,5	h/λ ist 0,005 bis 0,01 oder 0,0305 bis 0,05.
  Wenn 108,5 ≤ θ < 109,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0115 oder 0,0305 bis 0,05.
  Wenn 109,5 ≤ θ < 110,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0125 oder 0,03 bis 0,05.
  Wenn 110,5 ≤ θ < 111,5	h/λ ist 0,005 bis 0,014 oder 0,029 bis 0,05.
  Wenn 111,5 ≤ θ < 112,5	h/λ ist 0,005 bis 0,016 oder 0,028 bis 0,05.
  Wenn 112,5 ≤ θ < 113,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0185 oder 0,0265 bis 0,05.
  Wenn 113,5 ≤ θ < 152,5	h/λ ist 0,005 bis 0,05.
  Wenn 152,5 ≤ θ < 153,5	h/λ ist 0,008 bis 0,05.
  Wenn 153,5 ≤ θ < 154,5	h/λ ist 0,0105 bis 0,05.
  Wenn 154,5 ≤ θ < 155,5	h/λ ist 0,012 bis 0,05.
  Wenn 155,5 ≤ θ < 156,5	h/λ ist 0,035 bis 0,05.
  Wenn 156,5 ≤ θ < 157,5	h/λ ist 0,015 bis 0,05.
  Wenn 157,5 ≤ θ < 158,5	h/λ ist 0,0165 bis 0,05.
  Wenn 158,5 ≤ θ < 159,5	h/λ ist 0,0175 bis 0,05.
  Wenn 159,5 ≤ θ < 160,5	h/λ ist 0,018 bis 0,05.
  Wenn 160,5 ≤ θ < 161,5	h/λ ist 0,019 bis 0,05.
  Wenn 161,5 ≤ θ < 162,5	h/λ ist 0,02 bis 0,05.
  Wenn 162,5 ≤ θ < 163,5	h/λ ist 0,0205 bis 0,05.
  Wenn 163,5 ≤ θ < 164,5	h/λ ist 0,021 bis 0,05.
  Wenn 164,5 ≤ θ < 165,5	h/λ ist 0,022 bis 0,05.
  Wenn 165,5 ≤ θ < 166,5	h/λ ist 0,0225 bis 0,05.
  Wenn 166,5 ≤ θ < 168,5	h/λ ist 0,023 bis 0,05.
  Wenn 168,5 ≤ θ < 169,5	h/λ ist 0,0235 bis 0,05.
  Wenn 169,5 ≤ θ < 171,5	h/λ ist 0,024 bis 0,05.
  Wenn 171,5 ≤ θ < 180	h/λ ist 0,0245 bis 0,05.

  [Tabelle 26] Für [0,35 ≤ H/λ < 0,45]

  Wenn 0 ≤ θ < 2,5	h/λ ist 0,0235 bis 0,05.
  Wenn 2,5 ≤ θ < 4,5	h/λ ist 0,023 bis 0,05.
  Wenn 4,5 ≤ θ < 5,5	h/λ ist 0,0225 bis 0,05.
  Wenn 5,5 ≤ θ < 7,5	h/λ ist 0,022 bis 0,05.
  Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5	h/λ ist 0,0215 bis 0,05.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	h/λ ist 0,021 bis 0,05.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	h/λ ist 0,0205 bis 0,05.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5	h/λ ist 0,02 bis 0,05.
  Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5	h/λ ist 0,0195 bis 0,05.
  Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5	h/λ ist 0,0185 bis 0,05.
  Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5	h/λ ist 0,018 bis 0,05.
  Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5	h/λ ist 0,017 bis 0,05.
  Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5	h/λ ist 0,016 bis 0,05.
  Wenn 16,5 ≤ θ < 17,5	h/λ ist 0,015 bis 0,05.
  Wenn 17,5 ≤ θ < 18,5	h/λ ist 0,0135 bis 0,05.
  Wenn 18,5 ≤ θ < 19,5	h/λ ist 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 19,5 ≤ θ < 20,5	h/λ ist 0,0105 bis 0,05.
  Wenn 20,5 ≤ θ < 21,5	h/λ ist 0,008 bis 0,05.
  Wenn 21,5 ≤ θ < 22,5	h/λ ist 0,0055 bis 0,05.
  Wenn 22,5 ≤ θ < 49,5	h/λ ist 0,005 bis 0,05.
  Wenn 49,5 ≤ θ < 50,5	h/λ ist 0,0055 bis 0,05.
  Wenn 50,5 ≤ θ < 51,5	h/λ ist 0,011 bis 0,05.
  Wenn 51,5 ≤ θ < 52,5	h/λ ist 0,0135 bis 0,05.
  Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5	h/λ ist 0,0155 bis 0,05.
  Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5	h/λ ist 0,017 bis 0,05.
  Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5	h/λ ist 0,018 bis 0,05.
  Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5	h/λ ist 0,019 bis 0,05.
  Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5	h/λ ist 0,02 bis 0,05.
  Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5	h/λ ist 0,0205 bis 0,05.
  Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5	h/λ ist 0,0215 bis 0,05.
  Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5	h/λ ist 0,022 bis 0,05.
  Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5	h/λ ist 0,0225 bis 0,05.
  Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5	h/λ ist 0,023 bis 0,05.
  Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5	h/λ ist 0,0235 bis 0,05.
  Wenn 63,5 ≤ θ < 64,5	h/λ ist 0,024 bis 0,05.
  Wenn 64,5 ≤ θ < 65,5	h/λ ist 0,0245 bis 0,05.
  Wenn 65,5 ≤ θ < 67,5	h/λ ist 0,025 bis 0,05.
  Wenn 67,5 ≤ θ < 68,5	h/λ ist 0,0255 bis 0,05.
  Wenn 68,5 ≤ θ < 69,5	h/λ ist 0,026 bis 0,05.
  Wenn 69,5 ≤ θ < 71,5	h/λ ist 0,0265 bis 0,05.
  Wenn 71,5 ≤ θ < 72,5	h/λ ist 0,027 bis 0,05.
  Wenn 72,5 ≤ θ < 74,5	h/λ ist 0,0275 bis 0,05.
  Wenn 74,5 ≤ θ < 76,5	h/λ ist 0,028 bis 0,05.
  Wenn 76,5 ≤ θ < 79,5	h/λ ist 0,0285 bis 0,05.
  Wenn 79,5 ≤ θ < 82,5	h/λ ist 0,029 bis 0,05.
  Wenn 82,5 ≤ θ < 86,5	h/λ ist 0,0295 bis 0,05.
  Wenn 86,5 ≤ θ < 101,5	h/λ ist 0,03 bis 0,05.
  Wenn 101,5 ≤ θ < 103,5	h/λ ist 0,0295 bis 0,05.
  Wenn 103,5 ≤ θ < 104,5	h/λ ist 0,005 oder 0,0295 bis 0,05.
  Wenn 104,5 ≤ θ < 105,5	h/λ ist 0,005 bis 0,006 oder 0,029 bis 0,05.
  Wenn 105,5 ≤ θ < 106,5	h/λ ist 0,005 bis 0,007 oder 0,0285 bis 0,05.
  Wenn 106,5 ≤ θ < 107,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0085 oder 0,0285 bis 0,05.
  Wenn 107,5 ≤ θ < 108,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0095 oder 0,028 bis 0,05.
  Wenn 108,5 ≤ θ < 109,5	h/λ ist 0,005 bis 0,011 oder 0,027 bis 0,05.
  Wenn 109,5 ≤ θ < 110,5	h/λ ist 0,005 bis 0,013 oder 0,0265 bis 0,05.
  Wenn 110,5 ≤ θ < 111,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0145 oder 0,0255 bis 0,05.
  Wenn 111,5 ≤ θ < 112,5	h/λ ist 0,005 bis 0,019 oder 0,0215 bis 0,05.
  Wenn 112,5 ≤ θ < 151,5	h/λ ist 0,005 bis 0,05.
  Wenn 151,5 ≤ θ < 152,5	h/λ ist 0,0055 bis 0,05.
  Wenn 152,5 ≤ θ < 153,5	h/λ ist 0,0075 bis 0,05.
  Wenn 153,5 ≤ θ < 154,5	h/λ ist 0,01 bis 0,05.
  Wenn 154,5 ≤ θ < 155,5	h/λ ist 0,0115 bis 0,0,5
  Wenn 155,5 ≤ θ < 156,5	h/λ ist 0,013 bis 0,05.
  Wenn 156,5 ≤ θ < 157,5	h/λ ist 0,014 bis 0,05.
  Wenn 157,5 ≤ θ < 158,5	h/λ ist 0,0155 bis 0,05.
  Wenn 158,5 ≤ θ < 159,5	h/λ ist 0,0165 bis 0,05.
  Wenn 159,5 ≤ θ < 160,5	h/λ ist 0,017 bis 0,05.
  Wenn 160,5 ≤ θ < 161,5	h/λ ist 0,018 bis 0,05.
  Wenn 161,5 ≤ θ < 162,5	h/λ ist 0,018 bis 0,05.
  Wenn 162,5 ≤ θ < 163,5	h/λ ist 0,0195 bis 0,05.
  Wenn 163,5 ≤ θ < 164,5	h/λ ist 0,02 bis 0,05.
  Wenn 164,5 ≤ θ < 165,5	h/λ ist 0,021 bis 0,05.
  Wenn 165,5 ≤ θ < 166,5	h/λ ist 0,0215 bis 0,05.
  Wenn 166,5 ≤ θ < 168,5	h/λ ist 0,022 bis 0,05.
  Wenn 168,5 ≤ θ < 169,5	h/λ ist 0,0225 bis 0,05.
  Wenn 169,5 ≤ θ < 171,5	h/λ ist 0,023 bis 0,05.
  Wenn 171,5 ≤ θ < 175,5	h/λ ist 0,0235 bis 0,05.
  Wenn 175,5 ≤ θ < 178,5	h/λ ist 0,024 bis 0,05.
  Wenn 178,5 ≤ θ < 180	h/λ ist 0,0235 bis 0,05.

  [Tabelle 27] Für [0,45 ≤ H/λ < 0,55]

  Wenn 0 ≤ θ < 2,5	h/λ ist 0,0225 bis 0,045.
  Wenn 2,5 ≤ θ < 4,5	h/λ ist 0,022 bis 0,045.
  Wenn 4,5 ≤ θ < 6,5	h/λ ist 0,0215 bis 0,045.
  Wenn 6,5 ≤ θ < 7,5	h/λ ist 0,021 bis 0,045.
  Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5	h/λ ist 0,0205 bis 0,045.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	h/λ ist 0,02 bis 0,045.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	h/λ ist 0,0195 bis 0,045.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5	h/λ ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5	h/λ ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5	h/λ ist 0,018 bis 0,045.
  Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5	h/λ ist 0,017 bis 0,045.
  Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5	h/λ ist 0,0165 bis 0,045.
  Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5	h/λ ist 0,0155 bis 0,045.
  Wenn 16,5 ≤ θ < 17,5	h/λ ist 0,0145 bis 0,045.
  Wenn 17,5 ≤ θ < 18,5	h/λ ist 0,013 bis 0,045.
  Wenn 18,5 ≤ θ < 19,5	h/λ ist 0,0115 bis 0,045.
  Wenn 19,5 ≤ θ < 20,5	h/λ ist 0,01 bis 0,045.
  Wenn 20,5 ≤ θ < 21,5	h/λ ist 0,008 bis 0,045.
  Wenn 21,5 ≤ θ < 50,5	h/λ ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 50,5 ≤ θ < 51,5	h/λ ist 0,0105 bis 0,045.
  Wenn 51,5 ≤ θ < 52,5	h/λ ist 0,013 bis 0,045.
  Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5	h/λ ist 0,015 bis 0,045.
  Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5	h/λ ist 0,016 bis 0,045.
  Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5	h/λ ist 0,0175 bis 0,045.
  Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5	h/λ ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5	h/λ ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5	h/λ ist 0,02 bis 0,045.
  Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5	h/λ ist 0,0205 bis 0,045.
  Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5	h/λ ist 0,0215 bis 0,045.
  Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5	h/λ ist 0,022 bis 0,045.
  Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5	h/λ ist 0,0225 bis 0,045.
  Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5	h/λ ist 0,023 bis 0,045.
  Wenn 63,5 ≤ θ < 65,5	h/λ ist 0,0235 bis 0,045.
  Wenn 65,5 ≤ θ < 66,5	h/λ ist 0,024 bis 0,045.
  Wenn 66,5 ≤ θ < 67,5	h/λ ist 0,0245 bis 0,045.
  Wenn 67,5 ≤ θ < 69,5	h/λ ist 0,025 bis 0,045.
  Wenn 69,5 ≤ θ < 70,5	h/λ ist 0,0255 bis 0,045.
  Wenn 70,5 ≤ θ < 72,5	h/λ ist 0,026 bis 0,045.
  Wenn 72,5 ≤ θ < 74,5	h/λ ist 0,0265 bis 0,045.
  Wenn 74,5 ≤ θ < 76,5	h/λ ist 0,027 bis 0,045.
  Wenn 76,5 ≤ θ < 79,5	h/λ ist 0,0275 bis 0,045.
  Wenn 79,5 ≤ θ < 82,5	h/λ ist 0,028 bis 0,045.
  Wenn 82,5 ≤ θ < 87,5	h/λ ist 0,0285 bis 0,045.
  Wenn 87,5 ≤ θ < 96,5	h/λ ist 0,029 bis 0,045.
  Wenn 96,5 ≤ θ < 100,5	h/λ ist 0,0285 bis 0,045.
  Wenn 100,5 ≤ θ < 102,5	h/λ ist 0,028 bis 0,045.
  Wenn 102,5 ≤ θ < 103,5	h/λ ist 0,0275 bis 0,045.
  Wenn 103,5 ≤ θ < 153,5	h/λ ist 0,05 bis 0,045.
  Wenn 153,5 ≤ θ < 154,5	h/λ ist 0,075 bis 0,045.
  Wenn 154,5 ≤ θ < 155,5	h/λ ist 0,095 bis 0,045.
  Wenn 155,5 ≤ θ < 156,5	h/λ ist 0,011 bis 0,045.
  Wenn 156,5 ≤ θ < 157,5	h/λ ist 0,0125 bis 0,045.
  Wenn 157,5 ≤ θ < 158,5	h/λ ist 0,0135 bis 0,045.
  Wenn 158,5 ≤ θ < 159,5	h/λ ist 0,0145 bis 0,045.
  Wenn 159,5 ≤ θ < 160,5	h/λ ist 0,016 bis 0,045.
  Wenn 160,5 ≤ θ < 161,5	h/λ ist 0,0165 bis 0,045.
  Wenn 161,5 ≤ θ < 162,5	h/λ ist 0,0175 bis 0,045.
  Wenn 162,5 ≤ θ < 163,5	h/λ ist 0,018 bis 0,045.
  Wenn 163,5 ≤ θ < 164,5	h/λ ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 164,5 ≤ θ < 165,5	h/λ ist 0,0195 bis 0,045.
  Wenn 165,5 ≤ θ < 166,5	h/λ ist 0,02 bis 0,045.
  Wenn 166,5 ≤ θ < 167,5	h/λ ist 0,0205 bis 0,045.
  Wenn 167,5 ≤ θ < 168,5	h/λ ist 0,021 bis 0,045.
  Wenn 168,5 ≤ θ < 170,5	h/λ ist 0,0215 bis 0,045.
  Wenn 170,5 ≤ θ < 172,5	h/λ ist 0,022 bis 0,045.
  Wenn 172,5 ≤ θ < 175,5	h/λ ist 0,0225 bis 0,045.
  Wenn 175,5 ≤ θ < 179,5	h/λ ist 0,023 bis 0,045.
  Wenn 179,5 ≤ θ < 180	h/λ ist 0,0225 bis 0,045.

  [Tabelle 28] Für [0,55 ≤ H/λ < 0,65]

  Wenn 0 ≤ θ < 0,5	h/λ ist 0,022 bis 0,045.
  Wenn 0,5 ≤ θ < 3,5	h/λ ist 0,0215 bis 0,045.
  Wenn 3,5 ≤ θ < 5,5	h/λ ist 0,021 bis 0,045.
  Wenn 5,5 ≤ θ < 6,5	h/λ ist 0,0205 bis 0,045.
  Wenn 6,5 ≤ θ < 7,5	h/λ ist 0,02 bis 0,045.
  Wenn 7,5 ≤ θ < 9,5	h/λ ist 0,0195 bis 0,045.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	h/λ ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5	h/λ ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5	h/λ ist 0,0175 bis 0,045.
  Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5	h/λ ist 0,017 bis 0,045.
  Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5	h/λ ist 0,0165 bis 0,045.
  Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5	h/λ ist 0,0155 bis 0,045.
  Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5	h/λ ist 0,0145 bis 0,045.
  Wenn 16,5 ≤ θ < 17,5	h/λ ist 0,0135 bis 0,045.
  Wenn 17,5 ≤ θ < 18,5	h/λ ist 0,012 bis 0,045.
  Wenn 18,5 ≤ θ < 19,5	h/λ ist 0,011 bis 0,045.
  Wenn 19,5 ≤ θ < 20,5	h/λ ist 0,009 bis 0,045.
  Wenn 20,5 ≤ θ < 21,5	h/λ ist 0,0065 bis 0,045.
  Wenn 21,5 ≤ θ < 50,5	h/λ ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 50,5 ≤ θ < 51,5	h/λ ist 0,0085 bis 0,045.
  Wenn 51,5 ≤ θ < 52,5	h/λ ist 0,0115 bis 0,045.
  Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5	h/λ ist 0,0135 bis 0,045.
  Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5	h/λ ist 0,0155 bis 0,045.
  Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5	h/λ ist 0,0165 bis 0,045.
  Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5	h/λ ist 0,0175 bis 0,045.
  Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5	h/λ ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5	h/λ ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5	h/λ ist 0,02 bis 0,045.
  Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5	h/λ ist 0,0205 bis 0,045.
  Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5	h/λ ist 0,021 bis 0,045.
  Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5	h/λ ist 0,0215 bis 0,045.
  Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5	h/λ ist 0,022 bis 0,045.
  Wenn 63,5 ≤ θ < 64,5	h/λ ist 0,0225 bis 0,045.
  Wenn 64,5 ≤ θ < 65,5	h/λ ist 0,023 bis 0,045.
  Wenn 65,5 ≤ θ < 67,5	h/λ ist 0,0235 bis 0,045.
  Wenn 67,5 ≤ θ < 68,5	h/λ ist 0,024 bis 0,045.
  Wenn 68,5 ≤ θ < 70,5	h/λ ist 0,0245 bis 0,045.
  Wenn 70,5 ≤ θ < 72,5	h/λ ist 0,025 bis 0,045.
  Wenn 72,5 ≤ θ < 73,5	h/λ ist 0,0255 bis 0,045.
  Wenn 73,5 ≤ θ < 75,5	h/λ ist 0,026 bis 0,045.
  Wenn 75,5 ≤ θ < 78,5	h/λ ist 0,0265 bis 0,045.
  Wenn 78,5 ≤ θ < 81,5	h/λ ist 0,027 bis 0,045.
  Wenn 81,5 ≤ θ < 85,5	h/λ ist 0,0275 bis 0,045.
  Wenn 85,5 ≤ θ < 95,5	h/λ ist 0,028 bis 0,045..
  Wenn 95,5 ≤ θ < 98,5	h/λ ist 0,0275 bis 0,045.
  Wenn 98,5 ≤ θ < 101,5	h/λ ist 0,027 bis 0,045.
  Wenn 101,5 ≤ θ < 102,5	h/λ ist 0,0265 bis 0,045.
  Wenn 102,5 ≤ θ < 103,5	h/λ ist 0,026 bis 0,045.
  Wenn 103,5 ≤ θ < 154,5	h/λ ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 154,5 ≤ θ < 155,5	h/λ ist 0,0055 bis 0,045.
  Wenn 155,5 ≤ θ < 156,5	h/λ ist 0,008 bis 0,045.
  Wenn 156,5 ≤ θ < 157,5	h/λ ist 0,01 bis 0,045.
  Wenn 157,5 ≤ θ < 158,5	h/λ ist 0,0115 bis 0,045.
  Wenn 158,5 ≤ θ < 159,5	h/λ ist 0,0125 bis 0,045.
  Wenn 159,5 ≤ θ < 160,5	h/λ ist 0,014 bis 0,045.
  Wenn 160,5 ≤ θ < 161,5	h/λ ist 0,015 bis 0,045.
  Wenn 161,5 ≤ θ < 162,5	h/λ ist 0,016 bis 0,045.
  Wenn 162,5 ≤ θ < 163,5	h/λ ist 0,0165 bis 0,045.
  Wenn 163,5 ≤ θ < 164,5	h/λ ist 0,0175 bis 0,045.
  Wenn 164,5 ≤ θ < 165,5	h/λ ist 0,018 bis 0,045.
  Wenn 165,5 ≤ θ < 166,5	h/λ ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 166,5 ≤ θ < 168,5	h/λ ist 0,0195 bis 0,045.
  Wenn 168,5 ≤ θ < 169,5	h/λ ist 0,02 bis 0,045.
  Wenn 169,5 ≤ θ < 170,5	h/λ ist 0,0205 bis 0,045.
  Wenn 171,5 ≤ θ < 172,5	h/λ ist 0,021 bis 0,045.
  Wenn 172,5 ≤ θ < 175,5	h/λ ist 0,0215 bis 0,045.
  Wenn 175,5 ≤ θ < 180	h/λ ist 0,022 bis 0,045.

  [Tabelle 29] Für [0,65 ≤ H/λ < 0,75]

  Wenn 0 ≤ θ < 1,5	h/λ ist 0,021 bis 0,045.
  Wenn 1,5 ≤ θ < 4,5	h/λ ist 0,0205 bis 0,045.
  Wenn 4,5 ≤ θ < 5,5	h/λ ist 0,02 bis 0,045.
  Wenn 5,5 ≤ θ < 7,5	h/λ ist 0,0195 bis 0,045.
  Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5	h/λ ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	h/λ ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	h/λ ist 0,018 bis 0,045.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5	h/λ ist 0,0175 bis 0,045.
  Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5	h/λ ist 0,017 bis 0,045.
  Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5	h/λ ist 0,016 bis 0,045.
  Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5	h/λ ist 0,0155 bis 0,045.
  Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5	h/λ ist 0,0145 bis 0,045.
  Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5	h/λ ist 0,0135 bis 0,045.
  Wenn 16,5 ≤ θ < 17,5	h/λ ist 0,0125 bis 0,045.
  Wenn 17,5 ≤ θ < 18,5	h/λ ist 0,0115 bis 0,045.
  Wenn 18,5 ≤ θ < 19,5	h/λ ist 0,0095 bis 0,045.
  Wenn 19,5 ≤ θ < 20,5	h/λ ist 0,0075 bis 0,045.
  Wenn 20,5 ≤ θ < 21,5	h/λ ist 0,0055 bis 0,045.
  Wenn 21,5 ≤ θ < 50,5	h/λ ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 50,5 ≤ θ < 51,5	h/λ ist 0,0065 bis 0,045.
  Wenn 51,5 ≤ θ < 52,5	h/λ ist 0,0105 bis 0,045.
  Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5	h/λ ist 0,0125 bis 0,045.
  Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5	h/λ ist 0,014 bis 0,045.
  Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5	h/λ ist 0,0155 bis 0,045.
  Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5	h/λ ist 0,0165 bis 0,045.
  Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5	h/λ ist 0,0175 bis 0,045.
  Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5	h/λ ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5	h/λ ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5	h/λ ist 0,0195 bis 0,045.
  Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5	h/λ ist 0,0205 bis 0,045.
  Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5	h/λ ist 0,021 bis 0,045.
  Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5	h/λ ist 0,0215 bis 0,045.
  Wenn 63,5 ≤ θ < 64,5	h/λ ist 0,022 bis 0,045.
  Wenn 64,5 ≤ θ < 66,5	h/λ ist 0,0225 bis 0,045.
  Wenn 66,5 ≤ θ < 67,5	h/λ ist 0,023 bis 0,045.
  Wenn 67,5 ≤ θ < 68,5	h/λ ist 0,0235 bis 0,045.
  Wenn 68,5 ≤ θ < 70,5	h/λ ist 0,024 bis 0,045.
  Wenn 70,5 ≤ θ < 72,5	h/λ ist 0,0245 bis 0,045.
  Wenn 72,5 ≤ θ < 74,5	h/λ ist 0,025 bis 0,045.
  Wenn 74,5 ≤ θ < 76,5	h/λ ist 0,0255 bis 0,045.
  Wenn 76,5 ≤ θ < 79,5	h/λ ist 0,026 bis 0,045.
  Wenn 79,5 ≤ θ < 82,5	h/λ ist 0,0265 bis 0,045.
  Wenn 82,5 ≤ θ < 95,5	h/λ ist 0,027 bis 0,045.
  Wenn 95,5 ≤ θ < 98,5	h/λ ist 0,0265 bis 0,045.
  Wenn 98,5 ≤ θ < 100,5	h/λ ist 0,026 bis 0,045.
  Wenn 100,5 ≤ θ < 101,5	h/λ ist 0,0255 bis 0,045.
  Wenn 101,5 ≤ θ < 157,5	h/λ ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 157,5 ≤ θ < 158,5	h/λ ist 0,0075 bis 0,045.
  Wenn 158,5 ≤ θ < 159,5	h/λ ist 0,01 bis 0,045.
  Wenn 159,5 ≤ θ < 160,5	h/λ ist 0,0115 bis 0,045.
  Wenn 160,5 ≤ θ < 161,5	h/λ ist 0,0125 bis 0,045.
  Wenn 161,5 ≤ θ < 162,5	h/λ ist 0,014 bis 0,045.
  Wenn 162,5 ≤ θ < 163,5	h/λ ist 0,015 bis 0,045.
  Wenn 163,5 ≤ θ < 164,5	h/λ ist 0,016 bis 0,045.
  Wenn 164,5 ≤ θ < 165,5	h/λ ist 0,0165 bis 0,045.
  Wenn 165,5 ≤ θ < 166,5	h/λ ist 0,0175 bis 0,045.
  Wenn 166,5 ≤ θ < 167,5	h/λ ist 0,018 bis 0,045.
  Wenn 167,5 ≤ θ < 168,5	h/λ ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 168,5 ≤ θ < 169,5	h/λ ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 169,5 ≤ θ < 170,5	h/λ ist 0,0195 bis 0,045.
  Wenn 170,5 ≤ θ < 172,5	h/λ ist 0,02 bis 0,045.
  Wenn 172,5 ≤ θ < 175,5	h/λ ist 0,0205 bis 0,045.
  Wenn 175,5 ≤ θ < 180	h/λ ist 0,021 bis 0,045.

  [Tabelle 30] Für [0,75 ≤ H/λ < 0,85]

  Wenn 0 ≤ θ < 3,5	h/λ ist 0,02 bis 0,045.
  Wenn 3,5 ≤ θ < 5,5	h/λ ist 0,0195 bis 0,045.
  Wenn 5,5 ≤ θ < 6,5	h/λ ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 6,5 ≤ θ < 8,5	h/λ ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	h/λ ist 0,018 bis 0,045.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	h/λ ist 0,0175 bis 0,045.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5	h/λ ist 0,017 bis 0,045.
  Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5	h/λ ist 0,016 bis 0,045.
  Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5	h/λ ist 0,0155 bis 0,045.
  Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5	h/λ ist 0,0145 bis 0,045.
  Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5	h/λ ist 0,014 bis 0,045.
  Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5	h/λ ist 0,013 bis 0,045.
  Wenn 16,5 ≤ θ < 17,5	h/λ ist 0,0115 bis 0,045.
  Wenn 17,5 ≤ θ < 18,5	h/λ ist 0,0105 bis 0,045.
  Wenn 18,5 ≤ θ < 19,5	h/λ ist 0,0085 bis 0,045.
  Wenn 19,5 ≤ θ < 20,5	h/λ ist 0,0065 bis 0,045.
  Wenn 20,5 ≤ θ < 51,5	h/λ ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 51,5 ≤ θ < 52,5	h/λ ist 0,0085 bis 0,045.
  Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5	h/λ ist 0,0115 bis 0,045.
  Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5	h/λ ist 0,013 bis 0,045.
  Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5	h/λ ist 0,0145 bis 0,045.
  Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5	h/λ ist 0,016 bis 0,045.
  Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5	h/λ ist 0,017 bis 0,045.
  Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5	h/λ ist 0,0175 bis 0,045.
  Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5	h/λ ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5	h/λ ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5	h/λ ist 0,0195 bis 0,045.
  Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5	h/λ ist 0,0205 bis 0,045.
  Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5	h/λ ist 0,021 bis 0,045.
  Wenn 63,5 ≤ θ < 65,5	h/λ ist 0,0215 bis 0,045.
  Wenn 65,5 ≤ θ < 66,5	h/λ ist 0,022 bis 0,045.
  Wenn 66,5 ≤ θ < 67,5	h/λ ist 0,0225 bis 0,045.
  Wenn 67,5 ≤ θ < 68,5	h/λ ist 0,023 bis 0,045.
  Wenn 68,5 ≤ θ < 70,5	h/λ ist 0,0235 bis 0,045.
  Wenn 70,5 ≤ θ < 72,5	h/λ ist 0,024 bis 0,045.
  Wenn 72,5 ≤ θ < 74,5	h/λ ist 0,0245 bis 0,045.
  Wenn 74,5 ≤ θ < 76,5	h/λ ist 0,025 bis 0,045.
  Wenn 76,5 ≤ θ < 79,5	h/λ ist 0,0255 bis 0,045.
  Wenn 79,5 ≤ θ < 83,5	h/λ ist 0,026 bis 0,045.
  Wenn 83,5 ≤ θ < 96,5	h/λ ist 0,0265 bis 0,045.
  Wenn 96,5 ≤ θ < 98,5	h/λ ist 0,026 bis 0,045.
  Wenn 98,5 ≤ θ < 99,5	h/λ ist 0,025 bis 0,045.
  Wenn 99,5 ≤ θ < 100,5	h/λ ist 0,0245 bis 0,045.
  Wenn 100,5 ≤ θ < 159,5	h/λ ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 159,5 ≤ θ < 160,5	h/λ ist 0,0055 bis 0,045.
  Wenn 160,5 ≤ θ < 161,5	h/λ ist 0,009 bis 0,045.
  Wenn 161,5 ≤ θ < 162,5	h/λ ist 0,011 bis 0,045.
  Wenn 162,5 ≤ θ < 163,5	h/λ ist 0,0125 bis 0,045.
  Wenn 163,5 ≤ θ < 164,5	h/λ ist 0,014 bis 0,045.
  Wenn 164,5 ≤ θ < 165,5	h/λ ist 0,015 bis 0,045.
  Wenn 165,5 ≤ θ < 166,5	h/λ ist 0,016 bis 0,045.
  Wenn 166,5 ≤ θ < 167,5	h/λ ist 0,0165 bis 0,045.
  Wenn 167,5 ≤ θ < 168,5	h/λ ist 0,017 bis 0,045.
  Wenn 168,5 ≤ θ < 169,5	h/λ ist 0,018 bis 0,045.
  Wenn 169,5 ≤ θ < 171,5	h/λ ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 171,5 ≤ θ < 172,5	h/λ ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 172,5 ≤ θ < 174,5	h/λ ist 0,0195 bis 0,045.
  Wenn 174,5 ≤ θ < 180	h/λ ist 0,02 bis 0,045.

  [Tabelle 31] Für [0,85 ≤ H/λ < 0,95]

  Wenn 0 ≤ θ < 2,5	h/λ ist 0,0195 bis 0,045.
  Wenn 2,5 ≤ θ < 4,5	h/λ ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 4,5 ≤ θ < 6,5	h/λ ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 6,5 ≤ θ < 7,5	h/λ ist 0,018 bis 0,045.
  Wenn 7,5 ≤ θ < 9,5	h/λ ist 0,0175 bis 0,045.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	h/λ ist 0,017 bis 0,045.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5	h/λ ist 0,016 bis 0,045.
  Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5	h/λ ist 0,0155 bis 0,045.
  Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5	h/λ ist 0,015 bis 0,045.
  Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5	h/λ ist 0,014 bis 0,045.
  Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5	h/λ ist 0,013 bis 0,045.
  Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5	h/λ ist 0,012 bis 0,045.
  Wenn 16,5 ≤ θ < 17,5	h/λ ist 0,011 bis 0,045.
  Wenn 17,5 ≤ θ < 18,5	h/λ ist 0,009 bis 0,045.
  Wenn 18,5 ≤ θ < 19,5	h/λ ist 0,007 bis 0,045.
  Wenn 19,5 ≤ θ < 51,5	h/λ ist 0,007 bis 0,045.
  Wenn 51,5 ≤ θ < 52,5	h/λ ist 0,0065 bis 0,045.
  Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5	h/λ ist 0,0105 bis 0,045.
  Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5	h/λ ist 0,0125 bis 0,045.
  Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5	h/λ ist 0,014 bis 0,045.
  Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5	h/λ ist 0,015 bis 0,045.
  Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5	h/λ ist 0,016 bis 0,045.
  Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5	h/λ ist 0,017 bis 0,045.
  Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5	h/λ ist 0,018 bis 0,045.
  Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5	h/λ ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5	h/λ ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5	h/λ ist 0,02 bis 0,045.
  Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5	h/λ ist 0,0205 bis 0,045.
  Wenn 63,5 ≤ θ < 64,5	h/λ ist 0,021 bis 0,045.
  Wenn 64,5 ≤ θ < 65,5	h/λ ist 0,0215 bis 0,045.
  Wenn 65,5 ≤ θ < 66,5	h/λ ist 0,022 bis 0,045.
  Wenn 66,5 ≤ θ < 68,5	h/λ ist 0,0225 bis 0,045.
  Wenn 68,5 ≤ θ < 70,5	h/λ ist 0,023 bis 0,045.
  Wenn 70,5 ≤ θ < 72,5	h/λ ist 0,0235 bis 0,045.
  Wenn 72,5 ≤ θ < 74,5	h/λ ist 0,024 bis 0,045.
  Wenn 74,5 ≤ θ < 76,5	h/λ ist 0,0245 bis 0,045.
  Wenn 76,5 ≤ θ < 79,5	h/λ ist 0,025 bis 0,045.
  Wenn 79,5 ≤ θ < 82,5	h/λ ist 0,0255 bis 0,045.
  Wenn 82,5 ≤ θ < 92,5	h/λ ist 0,026 bis 0,045.
  Wenn 92,5 ≤ θ < 95,5	h/λ ist 0,0255 bis 0,045.
  Wenn 95,5 ≤ θ < 97,5	h/λ ist 0,025 bis 0,045.
  Wenn 97,5 ≤ θ < 98,5	h/λ ist 0,0245 bis 0,045.
  Wenn 98,5 ≤ θ < 163,5	h/λ ist 0,05 bis 0,045.
  Wenn 163,5 ≤ θ < 164,5	h/λ ist 0,0105 bis 0,045.
  Wenn 164,5 ≤ θ < 165,5	h/λ ist 0,012 bis 0,045.
  Wenn 165,5 ≤ θ < 166,5	h/λ ist 0,0135 bis 0,045.
  Wenn 166,5 ≤ θ < 167,5	h/λ ist 0,015 bis 0,045.
  Wenn 167,5 ≤ θ < 168,5	h/λ ist 0,016 bis 0,045.
  Wenn 168,5 ≤ θ < 169,5	h/λ ist 0,0165 bis 0,045.
  Wenn 169,5 ≤ θ < 170,5	h/λ ist 0,017 bis 0,045.
  Wenn 170,5 ≤ θ < 171,5	h/λ ist 0,0175 bis 0,045.
  Wenn 171,5 ≤ θ < 172,5	h/λ ist 0,018 bis 0,045.
  Wenn 172,5 ≤ θ < 174,5	h/λ ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 174,5 ≤ θ < 176,5	h/λ ist 0,019 bis 0,045.
  Wenn 176,5 ≤ θ < 180	h/λ ist 0,0195 bis 0,045.

  [Tabelle 32] Für [0,95 ≤ H/λ < 1,00]

  Wenn 0 ≤ θ < 1,5	h/λ ist 0,019 bis 0,04.
  Wenn 1,5 ≤ θ < 4,5	h/λ ist 0,0185 bis 0,04.
  Wenn 4,5 ≤ θ < 6,5	h/λ ist 0,018 bis 0,04.
  Wenn 6,5 ≤ θ < 7,5	h/λ ist 0,0175 bis 0,04.
  Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5	h/λ ist 0,017 bis 0,04.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	h/λ ist 0,0165 bis 0,04.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	h/λ ist 0,016 bis 0,04.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5	h/λ ist 0,0155 bis 0,04.
  Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5	h/λ ist 0,015 bis 0,04.
  Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5	h/λ ist 0,014 bis 0,04.
  Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5	h/λ ist 0,0135 bis 0,04.
  Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5	h/λ ist 0,0125 bis 0,04.
  Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5	h/λ ist 0,0115 bis 0,04.
  Wenn 16,5 ≤ θ < 17,5	h/λ ist 0,01 bis 0,04.
  Wenn 17,5 ≤ θ < 18,5	h/λ ist 0,008 bis 0,04.
  Wenn 18,5 ≤ θ < 19,5	h/λ ist 0,006 bis 0,04.
  Wenn 19,5 ≤ θ < 52,5	h/λ ist 0,005 bis 0,04.
  Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5	h/λ ist 0,009 bis 0,04.
  Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5	h/λ ist 0,0115 bis 0,04.
  Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5	h/λ ist 0,013 bis 0,04.
  Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5	h/λ ist 0,0145 bis 0,04.
  Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5	h/λ ist 0,0155 bis 0,04.
  Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5	h/λ ist 0,0165 bis 0,04.
  Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5	h/λ ist 0,0175 bis 0,04.
  Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5	h/λ ist 0,018 bis 0,04.
  Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5	h/λ ist 0,019 bis 0,04.
  Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5	h/λ ist 0,0195 bis 0,04.
  Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5	h/λ ist 0,02 bis 0,04.
  Wenn 63,5 ≤ θ < 64,5	h/λ ist 0,0205 bis 0,04.
  Wenn 64,5 ≤ θ < 65,5	h/λ ist 0,021 bis 0,04.
  Wenn 65,5 ≤ θ < 66,5	h/λ ist 0,0215 bis 0,04.
  Wenn 66,5 ≤ θ < 68,5	h/λ ist 0,022 bis 0,04.
  Wenn 68,5 ≤ θ < 69,5	h/λ ist 0,0225 bis 0,04.
  Wenn 69,5 ≤ θ < 71,5	h/λ ist 0,023 bis 0,04.
  Wenn 71,5 ≤ θ < 73,5	h/λ ist 0,0235 bis 0,04.
  Wenn 73,5 ≤ θ < 75,5	h/λ ist 0,024 bis 0,04.
  Wenn 75,5 ≤ θ < 78,5	h/λ ist 0,0245 bis 0,04.
  Wenn 78,5 ≤ θ < 81,5	h/λ ist 0,025 bis 0,04.
  Wenn 81,5 ≤ θ < 92,5	h/λ ist 0,0255 bis 0,04.
  Wenn 92,5 ≤ θ < 94,5	h/λ ist 0,025 bis 0,04.
  Wenn 94,5 ≤ θ < 95,5	h/λ ist 0,0245 bis 0,04.
  Wenn 95,5 ≤ θ < 166,5	h/λ ist 0,005 bis 0,04.
  Wenn 166,5 ≤ θ < 167,5	h/λ ist 0,0115 bis 0,04.
  Wenn 167,5 ≤ θ < 168,5	h/λ ist 0,0135 bis 0,04.
  Wenn 168,5 ≤ θ < 169,5	h/λ ist 0,015 bis 0,04.
  Wenn 169,5 ≤ θ < 170,5	h/λ ist 0,0155 bis 0,04.
  Wenn 170,5 ≤ θ < 171,5	h/λ ist 0,0165 bis 0,04.
  Wenn 171,5 ≤ θ < 172,5	h/λ ist 0,017 bis 0,04.
  Wenn 172,5 ≤ θ < 173,5	h/λ ist 0,0175 bis 0,04.
  Wenn 173,5 ≤ θ < 175,5	h/λ ist 0,018 bis 0,04.
  Wenn 175,5 ≤ θ < 178,5	h/λ ist 0,0185 bis 0,04.
  Wenn 178,5 ≤ θ < 180	h/λ ist 0,019 bis 0,04.

• Die Ergebnisse aus den 20 bis 28 zeigen, daß, um den elektromechanischen Kopplungskoeffizienten K² auf 2% oder mehr zu justieren, θ der Eulerschen Winkel und die normalisierte Dicke h/λ der IDT-Elektroden in Abhängigkeit von der normalisierten Dicke H/λ von SiO₂-Filmen, wie in den Tabellen 33 bis 42 gezeigt, kombiniert werden können. [Tabelle 33] Für [0,05 ≤ H/λ < 0,15]

  Wenn 0 ≤ θ < 48,5	h/λ existiert nicht.
  Wenn 48,5 ≤ θ < 49,5	h/λ ist 0,04 bis 0,0415.
  Wenn 49,5 ≤ θ < 50,5	h/λ ist 0,0255 bis 0,05.
  Wenn 50,5 ≤ θ < 51,5	h/λ ist 0,02 bis 0,05.
  Wenn 51,5 ≤ θ < 52,5	h/λ ist 0,016 bis 0,05.
  Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5	h/λ ist 0,0135 bis 0,05.
  Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5	h/λ ist 0,011 bis 0,05.
  Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5	h/λ ist 0,0095 bis 0,05.
  Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5	h/λ ist 0,008 bis 0,05.
  Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5	h/λ ist 0,0065 bis 0,05.
  Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5	h/λ ist 0,0055 bis 0,05.
  Wenn 58,5 ≤ θ < 122,5	h/λ ist 0,005 bis 0,05.
  Wenn 122,5 ≤ θ < 123,5	h/λ ist 0,0055 bis 0,05.
  Wenn 123,5 ≤ θ < 124,5	h/λ ist 0,007 bis 0,05.
  Wenn 124,5 ≤ θ < 125,5	h/λ ist 0,0055 bis 0,05.
  Wenn 125,5 ≤ θ < 129,5	h/λ ist 0,005 bis 0,05.
  Wenn 129,5 ≤ θ < 130,5	h/λ ist 0,0105 bis 0,05.
  Wenn 130,5 ≤ θ < 132,5	h/λ ist 0,012 bis 0,05.
  Wenn 132,5 ≤ θ < 142,5	h/λ ist 0,0115 bis 0,05.
  Wenn 142,5 ≤ θ < 143,5	h/λ ist 0,012 bis 0,05.
  Wenn 143,5 ≤ θ < 144,5	h/λ ist 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 144,5 ≤ θ < 146,5	h/λ ist 0,013 bis 0,05.
  Wenn 146,5 ≤ θ < 150,5	h/λ ist 0,0135 bis 0,05.
  Wenn 150,5 ≤ θ < 152,5	h/λ ist 0,013 bis 0,05.
  Wenn 152,5 ≤ θ < 154,5	h/λ ist 0,005 oder 0,013 bis 0,05.
  Wenn 154,5 ≤ θ < 155,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0055 oder 0,013 bis 0,05.
  Wenn 155,5 ≤ θ < 156,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0055 oder 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 156,5 ≤ θ < 157,5	h/λ ist 0,005 oder 0,0125 bis 0,05
  Wenn 157,5 ≤ θ < 158,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0055 oder 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 158,5 ≤ θ < 159,5	h/λ ist 0,005 bis 0,006 oder 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 159,5 ≤ θ < 160,5	h/λ ist 0,005 oder 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 160,5 ≤ θ < 161,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0055 oder 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 161,5 ≤ θ < 162,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0065 oder 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 162,5 ≤ θ < 163,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0055 oder 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 163,5 ≤ θ < 171,5	h/λ ist 0,0125 bis 0,05.
  Wenn 171,5 ≤ θ < 172,5	h/λ ist 0,0125 bis 0,0485.
  Wenn 172,5 ≤ θ < 173,5	h/λ ist 0,0125 bis 0,0455.
  Wenn 173,5 ≤ θ < 174,5	h/λ ist 0,0125 bis 0,042.
  Wenn 174,5 ≤ θ < 175,5	h/λ ist 0,0125 bis 0,038.
  Wenn 175,5 ≤ θ < 176,5	h/λ ist 0,0125 bis 0,032.
  Wenn 176,5 ≤ θ < 180	h/λ ist 0,013 bis 0,0145.

  [Tabelle 34] Für [0,15 ≤ H/λ < 0,25]

  Wenn 0 ≤ θ < 0,5	h/λ ist 0,01 bis 0,0345.
  Wenn 0,5 ≤ θ < 1,5	h/λ ist 0,014 bis 0,0285.
  Wenn 1,5 ≤ θ < 45,5	h/λ existiert nicht.
  Wenn 45,5 ≤ θ < 46,5	h/λ ist 0,0235 bis 0,05.
  Wenn 46,5 ≤ θ < 47,5	h/λ ist 0,0165 bis 0,05.
  Wenn 47,5 ≤ θ < 48,5	h/λ ist 0,0115 bis 0,05.
  Wenn 48,5 ≤ θ < 49,5	h/λ ist 0,008 bis 0,05.
  Wenn 49,5 ≤ θ < 130,5	h/λ ist 0,005 bis 0,05.
  Wenn 130,5 ≤ θ < 131,5	h/λ ist 0,006 bis 0,05.
  Wenn 131,5 ≤ θ < 132,5	h/λ ist 0,007 bis 0,05.
  Wenn 132,5 ≤ θ < 142,5	h/λ ist 0,0075 bis 0,05.
  Wenn 142,5 ≤ θ < 144,5	h/λ ist 0,008 bis 0,05.
  Wenn 144,5 ≤ θ < 148,5	h/λ ist 0,0085 bis 0,05.
  Wenn 148,5 ≤ θ < 157,5	h/λ ist 0,008 bis 0,05.
  Wenn 157,5 ≤ θ < 166,5	h/λ ist 0,0075 bis 0,05.
  Wenn 166,5 ≤ θ < 169,5	h/λ ist 0,007 bis 0,05.
  Wenn 169,5 ≤ θ < 170,5	h/λ ist 0,0065 bis 0,05.
  Wenn 170,5 ≤ θ < 171,5	h/λ ist 0,007 bis 0,05.
  Wenn 171,5 ≤ θ < 172,5	h/λ ist 0,0075 bis 0,05.
  Wenn 172,5 ≤ θ < 175,5	h/λ ist 0,008 bis 0,05.
  Wenn 175,5 ≤ θ < 176,5	h/λ ist 0,008 bis 0,0485.
  Wenn 176,5 ≤ θ < 177,5	h/λ ist 0,0085 bis 0,0455.
  Wenn 177,5 ≤ θ < 178,5	h/λ ist 0,0085 bis 0,0425.
  Wenn 178,5 ≤ θ < 179,5	h/λ ist 0,0085 bis 0,0385.
  Wenn 179,5 ≤ θ < 180	h/λ ist 0,009 bis 0,0345.

  [Tabelle 35] Für [0,25 ≤ H/λ < 0,35]

  Wenn 0 ≤ θ < 0,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0455.
  Wenn 0,5 ≤ θ < 1,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0445.
  Wenn 1,5 ≤ θ < 2,5	h/λ ist 0,005 bis 0,041.
  Wenn 2,5 ≤ θ < 3,5	h/λ ist 0,005 bis 0,037.
  Wenn 3,5 ≤ θ < 4,5	h/λ ist 0,005 bis 0,032.
  Wenn 4,5 ≤ θ < 5,5	h/λ ist 0,005 bis 0,025.
  Wenn 5,5 ≤ θ < 42,5	h/λ existiert nicht.
  Wenn 42,5 ≤ θ < 43,5	h/λ ist 0,023 bis 0,05.
  Wenn 43,5 ≤ θ < 44,5	h/λ ist 0,015 bis 0,05.
  Wenn 44,5 ≤ θ < 45,5	h/λ ist 0,01 bis 0,05.
  Wenn 45,5 ≤ θ < 46,5	h/λ ist 0,006 bis 0,05.
  Wenn 46,5 ≤ θ < 179,5	h/λ ist 0,005 bis 0,05.
  Wenn 179,5 ≤ θ < 180	h/λ ist 0,005 bis 0,048.

  [Tabelle 36] Für [0,35 ≤ H/λ < 0,45]

  Wenn 0 ≤ θ < 2,5	h/λ ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 2,5 ≤ θ < 3,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0475.
  Wenn 3,5 ≤ θ < 4,5	h/λ ist 0,005 bis 0,044.
  Wenn 4,5 ≤ θ < 5,5	h/λ ist 0,005 bis 0,04.
  Wenn 5,5 ≤ θ < 6,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0355.
  Wenn 6,5 ≤ θ < 7,5	h/λ ist 0,005 bis 0,029.
  Wenn 7,5 ≤ θ < 39,5	h/λ existiert nicht.
  Wenn 39,5 ≤ θ < 40,5	h/λ ist 0,0355 bis 0,05.
  Wenn 40,5 ≤ θ < 41,5	h/λ ist 0,021 bis 0,05.
  Wenn 41,5 ≤ θ < 42,5	h/λ ist 0,0135 bis 0,05.
  Wenn 42,5 ≤ θ < 43,5	h/λ ist 0,008 bis 0,05.
  Wenn 43,5 ≤ θ < 180	h/λ ist 0,005 bis 0,05.

  [Tabelle 37] Für [0,45 ≤ H/λ < 0,55]

  Wenn 0 ≤ θ < 7,5	h/λ ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5	h/λ ist 0,006 bis 0,045.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	h/λ ist 0,0105 bis 0,045.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 38,5	h/λ ist 0,0455 bis 0,045.
  Wenn 38,5 ≤ θ < 39,5	h/λ ist 0,0265 bis 0,045.
  Wenn 39,5 ≤ θ < 40,5	h/λ ist 0,016 bis 0,045.
  Wenn 41,5 ≤ θ < 180	h/λ ist 0,005 bis 0,045.

  [Tabelle 38] Für [0,55 ≤ H/λ < 0,65]

  Wenn 0 ≤ θ < 8,5	h/λ ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	h/λ ist 0,006 bis 0,045.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	h/λ ist 0,0115 bis 0,045.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 36,5	h/λ ist 0,0455 bis 0,045.
  Wenn 36,5 ≤ θ < 37,5	h/λ ist 0,044 bis 0,045.
  Wenn 37,5 ≤ θ < 38,5	h/λ ist 0,026 bis 0,045.
  Wenn 38,5 ≤ θ < 39,5	h/λ ist 0,0155 bis 0,045.
  Wenn 39,5 ≤ θ < 40,5	h/λ ist 0,009 bis 0,045.
  Wenn 40,5 ≤ θ < 180	h/λ ist 0,005 bis 0,045.

  [Tabelle 39] Für [0,65 ≤ H/λ < 0,75]

  Wenn 0 ≤ θ < 7,5	h/λ ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0435.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0385.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	h/λ ist 0,009 bis 0,032.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 36,5	h/λ existiert nicht.
  Wenn 36,5 ≤ θ < 37,5	h/λ ist 0,0305 bis 0,045.
  Wenn 37,5 ≤ θ < 38,5	h/λ ist 0,0185 bis 0,045.
  Wenn 38,5 ≤ θ < 39,5	h/λ ist 0,0105 bis 0,045.
  Wenn 39,5 ≤ θ < 40,5	h/λ ist 0,0055 bis 0,045.
  Wenn 40,5 ≤ θ < 180	h/λ ist 0,005 bis 0,045.

  [Tabelle 40] Für [0,75 ≤ H/λ < 0,85]

  Wenn 0 ≤ θ < 8,5	h/λ ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	h/λ ist 0,005 bis 0,0405.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	h/λ ist 0,009 bis 0,035.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5	h/λ ist 0,017 bis 0,023.
  Wenn 11,5 ≤ θ < 35,5	h/λ existiert nicht.
  Wenn 35,5 ≤ θ < 36,5	h/λ ist 0,042 bis 0,045.
  Wenn 36,5 ≤ θ < 37,5	h/λ ist 0,0245 bis 0,045.
  Wenn 37,5 ≤ θ < 38,5	h/λ ist 0,014 bis 0,045.
  Wenn 38,5 ≤ θ < 39,5	h/λ ist 0,0075 bis 0,045.
  Wenn 39,5 ≤ θ < 180	h/λ ist 0,005 bis 0,045.

  [Tabelle 41] Für [0,85 ≤ H/λ < 0,95]

  Wenn 0 ≤ θ < 8,5	h/λ ist 0,005 bis 0,045.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	h/λ ist 0,007 bis 0,0415.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	h/λ ist 0,01 bis 0,036.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5	h/λ ist 0,018 bis 0,0255.
  Wenn 11,5 ≤ θ < 35,5	h/λ existiert nicht.
  Wenn 35,5 ≤ θ < 36,5	h/λ ist 0,037 bis 0,045.
  Wenn 36,5 ≤ θ < 37,5	h/λ ist 0,0215 bis 0,045.
  Wenn 37,5 ≤ θ < 38,5	h/λ ist 0,012 bis 0,045.
  Wenn 38,5 ≤ θ < 39,5	h/λ ist 0,006 bis 0,045.
  Wenn 39,5 ≤ θ < 180	h/λ ist 0,005 bis 0,045.

  [Tabelle 42] Für [0,95 ≤ H/λ < 1,00]

  Wenn 0 ≤ θ < 7,5	h/λ ist 0,005 bis 0,04.
  Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5	h/λ ist 0,007 bis 0,04.
  Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5	h/λ ist 0,009 bis 0,04.
  Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5	h/λ ist 0,012 bis 0,04.
  Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5	h/λ ist 0,02 bis 0,04.
  Wenn 11,5 ≤ θ < 35,5	h/λ existiert nicht.
  Wenn 35,5 ≤ θ < 36,5	h/λ ist 0,034 bis 0,04.
  Wenn 36,5 ≤ θ < 37,5	h/λ ist 0,0195 bis 0,04.
  Wenn 37,5 ≤ θ < 38,5	h/λ ist 0,0105 bis 0,04.
  Wenn 38,5 ≤ θ < 180	h/λ ist 0,005 bis 0,04.

• In den Experimenten 1 bis 3 bestanden die IDT-Elektroden aus Au. Die IDT-Elektroden können aber auch aus einem anderen Metall bestehen. Wenn die IDT-Elektroden aus einem anderen Metall als Au bestehen, so kann der Bereich von (h/λ) × a als der Bereich von h/λ der aus Au bestehenden IDT-Elektroden für die normalisierte Dicke h/λ ausgewählt werden. Das heißt, der Bereich von (h/λ) × a kann wie in den Tabellen 1 bis 20 gezeigt ausgewählt werden. Im vorliegenden Text steht a für das Verhältnis der Dichte eines Metalls, aus dem die IDT-Elektroden bestehen, zur Dichte von Au.
• Die Grund, warum der Bereich von (h/λ) × a anstelle des Bereichs von h/λ verwendet werden kann, wenn die IDT-Elektroden aus einem anderen Metall als Au bestehen, ist, daß im wesentlichen die gleiche Grenzschallwellengeschwindigkeit wie die Grenzschallwellengeschwindigkeit der aus Au bestehenden IDT-Elektroden erhalten wird, indem man die Dicke der IDT-Elektroden, die auf die Dichte des Metalls angewendet wird, normalisiert.
• Wenn die IDT-Elektroden aus einem anderen Metall als Au bestehen, so kann (h/λ) × a anstelle von h/λ, das für Au verwendet wird, verwendet werden. Elektroden, einschließlich der IDT-Elektroden, können jeweils einen Metallaminatfilm enthalten, der durch Übereinanderlegen mehrerer Metallschichten gebildet wird, die bevorzugt jeweils aus Pt bzw. Al bestehen. Der Metallaminatfilm enthält bevorzugt Pt-Schichten und Al-Schichten als Hauptelektrodenschichten. Dadurch kann der Widerstand der Elektrodenfinger reduziert werden, und dadurch wiederum können ihre Eigenschaften verbessert werden. Die Pt-Schichten können auf der Seite des piezoelektrischen Substrats oder auf der Seite der ersten Mediumschicht angeordnet sein. Zwischen zwei der Al-Schichten kann eine Pt-Schicht angeordnet sein.
• Der Metallaminatfilm, der durch Übereinanderlegen der Metallschichten gebildet wird, enthält bevorzugt eine Schicht, die an das piezoelektrische Substrat anstößt, eine Schicht, die an die erste Mediumschicht anstößt, und eine Metallschicht, die an mindestens einer Position zwischen den Metallschichten angeordnet ist und die aus mindestens einem aus der Gruppe Ti, Ni, und NiCr besteht. Die Metallschicht weist eine ausgezeichnete Adhäsion auf und ist in der Lage, die Adhäsion an dem piezoelektrischen Substrat, die Adhäsion an der ersten Mediumschicht oder die Adhäsion zwischen den Metallschichten zu erhöhen.
• Von den Erfindern durchgeführte Experimente haben bestätigt, daß im wesentlichen die gleichen Ergebnisse erhalten werden, selbst wenn φ und ψ der Eulerschen Winkel mit Bezug auf Eulersche Winkel (0°, θ, 0°) geringfügig von 0° abweichen. Das heißt, wenn φ innerhalb eines Bereichs von 0° ± 5° liegt und ψ innerhalb eines Bereichs von 0° ± 25° liegt, so erhält man im wesentlichen die gleichen Ergebnisse.
• Die Eulerschen Winkel von LiTaO₃ können Eulersche Winkel sein, deren Grenzschallwelleneigenschaften der Gleichung (A) unten entsprechen.
• Gleichung (A)
• F(φ, θ, ψ) = F(60° + φ, –θ, ψ) = F(60° – φ, –θ, 180° – ψ) = F(φ, 180° + θ, 180° – ψ) = F(φ, θ, 180° + ψ)
• (Experiment 4)
• Grenzschallwellenvorrichtungen wurden im wesentlichen in der gleichen Weise wie im Fall von Experiment 1 hergestellt, außer daß die IDT-Elektroden aus Pt hergestellt wurden und Pt-Filme enthielten und die normalisierte Dicke h/λ der IDT-Elektroden so justiert wurde, daß (h/λ) × a 3,0%, 5,0% oder 6,0% war. Die normalisierte Dicke H/λ (%) von SiO₂ sowie jene von Experiment 1 betrug 40%. Die Eulerschen Winkel von LiTaO₃ maßen (0°, 132°, 0°). 7 bis 9 zeigen die Smith'schen Impedanzdiagramme der Grenzschallwellenvorrichtungen, bei denen die normalisierte Dicke der Pt-Filme 3,0%, 5,0% oder 6,0% betrug.
• Wie aus den 7 bis 9 zu erkennen ist, kann ein Transversalmodusbrummen durch Reduzieren von (h/λ) × a von 6,0% auf 5,0% oder weniger wirksam unterdrückt werden.
• Es ist somit zu erkennen, daß in einer Struktur, die durch Abscheiden einer ersten und einer zweiten Mediumschicht auf LiTaO₃ gebildet wird, ein Transversalmodusbrummen wirksam unterdrückt werden kann, indem man die normalisierte Dicke (h/λ) × a von IDT-Elektroden auf 5% oder weniger, das heißt, 0,05 oder weniger, justiert.
• In jedem der Experimente 1 bis 4 wurde die erste Mediumschicht 3 aus SiO₂ gebildet, und die zweite Mediumschicht 4 wurde aus SiN gebildet. Bei Verwendung von SiON und AlN anstelle von SiN wurden im wesentlichen die gleichen Ergebnisse erhalten.
• Darum kann eine zweite Mediumschicht 4 aus mindestens einem aus der Gruppe SiN, SiON, AlN, AlO, Si, SiC, diamantartiger Kohlenstoff und Polysilizium gebildet werden.

Claims (9)

1. Grenzschallwellenvorrichtung, die Folgendes umfaßt: ein piezoelektrisches Substrat das aus einkristallinem LiTaO₃ besteht, eine erste Mediumschicht, die auf dem piezoelektrischen Substrat angeordnet ist und aus einem Dielektrikum besteht, eine zweite Mediumschicht, die auf der ersten Mediumschicht angeordnet ist und aus einem Dielektrikum besteht, das eine Schallgeschwindigkeit aufweist, die eine andere ist als die Schallgeschwindigkeit des Dielektrikums, aus dem die erste Mediumschicht besteht, und mindestens eine Interdigitalelektrode, die an der Grenze zwischen dem piezoelektrischen Substrat und der ersten Mediumschicht angeordnet ist, wobei die Schallgeschwindigkeit der ersten Mediumschicht geringer ist als die Schallgeschwindigkeit von LiTaO₃, die Schallgeschwindigkeit der zweiten Mediumschicht größer ist als die Schallgeschwindigkeit von LiTaO₃ und die Ungleichheit (h/λ) × a ≤ 0,05 gilt, wobei H die Dicke der ersten Mediumschicht ist, h die Dicke der Interdigitalelektrode ist, λ die Periode von Elektrodenfingern der Interdigitalelektrode ist und a das Verhältnis der Dichte eines Metalls, aus dem die Interdigitalelektrode besteht, zur Dichte von Au ist, wobei, wenn das LiTaO₃ Eulersche Winkel (0° ± 5°, θ, 0° ± 25°) hat, die normalisierte Dicke (h/λ) × a der Interdigitalelektrode mit Bezug auf den Wert von H/λ und den Wert von θ innerhalb eines der in den Tabellen 1 bis 10 unten gezeigten Bereiche liegt: [Tabelle 1] Für [0,05 ≤ H/λ < 0,15] Wenn 0 ≤ θ < 75,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05. Wenn 75,5 ≤ θ < 76,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,014 oder 0,021 bis 0,05. Wenn 76,5 ≤ θ < 77,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,014 oder 0,022 bis 0,05. Wenn 77,5 ≤ θ < 78,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0135 oder 0,023 bis 0,05. Wenn 78,5 ≤ θ < 79,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,013 oder 0,024 bis 0,05. Wenn 79,5 ≤ θ < 80,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,013 oder 0,025 bis 0,05. Wenn 80,5 ≤ θ < 81,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,013 oder 0,0255 bis 0,05. Wenn 81,5 ≤ θ < 82,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,013 oder 0,026 bis 0,05. Wenn 82,5 ≤ θ < 83,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,013 oder 0,0265 bis 0,05. Wenn 83,5 ≤ θ < 84,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,013 oder 0,027 bis 0,05. Wenn 84,5 ≤ θ < 85,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,013 oder 0,0275 bis 0,05. Wenn 85,5 ≤ θ < 86,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,013 oder 0,028 bis 0,05. Wenn 86,5 ≤ θ < 87,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,013 oder 0,0285 bis 0,05. Wenn 87,5 ≤ θ < 88,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0135 oder 0,029 bis 0,05. Wenn 88,5 ≤ θ < 90,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0135 oder 0,0295 bis 0,05. Wenn 90,5 ≤ θ < 91,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,014 oder 0,03 bis 0,05. Wenn 91,5 ≤ θ < 92,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,014 oder 0,0305 bis 0,05. Wenn 92,5 ≤ θ < 93,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0145 oder 0,0305 bis 0,05. Wenn 93,5 ≤ θ < 94,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0145 oder 0,031 bis 0,05. Wenn 94,5 ≤ θ < 95,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,015 oder 0,031 bis 0,05. Wenn 95,5 ≤ θ < 96,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0155 oder 0,0315 bis 0,05. Wenn 96,5 ≤ θ < 97,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,016 oder 0,0315 bis 0,05. Wenn 97,5 ≤ θ < 98,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0165 oder 0,032 bis 0,05. Wenn 98,5 ≤ θ < 99,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,017 oder 0,032 bis 0,05. Wenn 99,5 ≤ θ < 100,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0175 oder 0,032 bis 0,05. Wenn 100,5 ≤ θ < 101,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,018 oder 0,0325 bis 0,05. Wenn 101,5 ≤ θ < 102,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0185 oder 0,0325 bis 0,05. Wenn 102,5 ≤ θ < 103,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,019 oder 0,0325 bis 0,05. Wenn 103,5 ≤ θ < 104,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0195 oder 0,0325 bis 0,05. Wenn 104,5 ≤ θ < 105,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0205 oder 0,033 bis 0,05. Wenn 105,5 ≤ θ < 106,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0215 oder 0,033 bis 0,05. Wenn 106,5 ≤ θ < 107,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0225 oder 0,033 bis 0,05. Wenn 107,5 ≤ θ < 108,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0235 oder 0,033 bis 0,05. Wenn 108,5 ≤ θ < 109,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,024 oder 0,0325 bis 0,05. Wenn 109,5 ≤ θ < 110,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,026 oder 0,0325 bis 0,05. Wenn 110,5 ≤ θ < 111,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,028 oder 0,032 bis 0,05. Wenn 111,5 ≤ θ < 112,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0295 oder 0,0305 bis 0,05. Wenn 112,5 ≤ θ < 180 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05. [Tabelle 2] Für [0,15 < H/λ < 0,25] Wenn 0 ≤ θ < 1,5 (h/λ) × a ist 0,024 bis 0,05. Wenn 1,5 ≤ θ < 3,5 (h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,05. Wenn 3,5 ≤ θ < 4,5 (h/λ) × a ist 0,023 bis 0,05. Wenn 4,5 ≤ θ < 5,5 (h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,05. Wenn 5,5 ≤ θ < 6,5 (h/λ) × a ist 0,022 bis 0,05. Wenn 6,5 ≤ θ < 7,5 (h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,05. Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5 (h/λ) × a ist 0,021 bis 0,05. Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5 (h/λ) × a ist 0,02 bis 0,05. Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5 (h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,05. Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5 (h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,05. Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5 (h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,05. Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5 (h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,05. Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5 (h/λ) × a ist 0,015 bis 0,05. Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5 (h/λ) × a ist 0,013 bis 0,05. Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5 (h/λ) × a ist 0,011 bis 0,05. Wenn 16,5 ≤ θ < 54,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05. Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5 (h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,05. Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5 (h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,05. Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5 (h/λ) × a ist 0,017 bis 0,05. Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5 (h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,05. Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5 (h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,05. Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5 (h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,05. Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5 (h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,05. Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5 (h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,05. Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5 (h/λ) × a ist 0,023 bis 0,05. Wenn 63,5 ≤ θ < 64,5 (h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,05. Wenn 64,5 ≤ θ < 65,5 (h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,05. Wenn 65,5 ≤ θ < 66,5 (h/λ) × a ist 0,025 bis 0,05. Wenn 66,5 ≤ θ < 67,5 (h/λ) × a ist 0,0255 bis 0,05. Wenn 67,5 ≤ θ < 68,5 (h/λ) × a ist 0,026 bis 0,05. Wenn 68,5 ≤ θ < 69,5 (h/λ) × a ist 0,0265 bis 0,05. Wenn 69,5 ≤ θ < 70,5 (h/λ) × a ist 0,027 bis 0,05. Wenn 70,5 ≤ θ < 72,5 (h/λ) × a ist 0,0275 bis 0,05. Wenn 72,5 ≤ θ < 73,5 (h/λ) × a ist 0,028 bis 0,05. Wenn 73,5 ≤ θ < 74,5 (h/λ) × a ist 0,0285 bis 0,05. Wenn 74,5 ≤ θ < 76,5 (h/λ) × a ist 0,029 bis 0,05. Wenn 76,5 ≤ θ < 78,5 (h/λ) × a ist 0,0295 bis 0,05. Wenn 78,5 ≤ θ < 79,5 (h/λ) × a ist 0,03 bis 0,05. Wenn 79,5 ≤ θ < 81,5 (h/λ) × a ist 0,0305 bis 0,05. Wenn 81,5 ≤ θ < 83,5 (h/λ) × a ist 0,031 bis 0,05. Wenn 83,5 ≤ θ < 86,5 (h/λ) × a ist 0,0315 bis 0,05. Wenn 86,5 ≤ θ < 88,5 (h/λ) × a ist 0,032 bis 0,05. Wenn 88,5 ≤ θ < 92,5 (h/λ) × a ist 0,0325 bis 0,05. Wenn 92,5 ≤ θ < 97,5 (h/λ) × a ist 0,033 bis 0,05. Wenn 97,5 ≤ θ < 98,5 (h/λ) × a ist 0,005 oder 0,0335 bis 0,05 Wenn 98,5 ≤ θ < 99,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,006 oder 0,0335 bis 0,05. Wenn 99,5 ≤ θ < 100,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0065 oder 0,0335 bis 0,05. Wenn 100,5 ≤ θ < 101,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,007 oder 0,0335 bis 0,05. Wenn 101,5 ≤ θ < 102,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0075 oder 0,0335 bis 0,05. Wenn 102,5 ≤ θ < 103,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0085 oder 0,0335 bis 0,05. Wenn 103,5 ≤ θ < 104,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,009 oder 0,0335 bis 0,05. Wenn 104,5 ≤ θ < 105,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,01 oder 0,0335 bis 0,05. Wenn 105,5 ≤ θ < 106,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,011 oder 0,0335 bis 0,05. Wenn 106,5 ≤ θ < 107,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,012 oder 0,0335 bis 0,05. Wenn 107,5 ≤ θ < 108,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0125 oder 0,0335 bis 0,05. Wenn 108,5 ≤ θ < 109,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0135 oder 0,033 bis 0,05. Wenn 109,5 ≤ θ < 110,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0145 oder 0,033 bis 0,05. Wenn 110,5 ≤ θ < 111,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,016 oder 0,0325 bis 0,05. Wenn 111,5 ≤ θ < 112,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0175 oder 0,0325 bis 0,05. Wenn 112,5 ≤ θ < 113,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,019 oder 0,032 bis 0,05. Wenn 113,5 ≤ θ < 114,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0215 oder 0,031 bis 0,05. Wenn 114,5 ≤ θ < 115,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,024 oder 0,028 bis 0,05. Wenn 115,5 ≤ θ < 155,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05. Wenn 155,5 ≤ θ < 156,5 (h/λ) × a ist 0,0105 bis 0,05. Wenn 156,5 ≤ θ < 157,5 (h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,05. Wenn 157,5 ≤ θ < 158,5 (h/λ) × a ist 0,015 bis 0,05. Wenn 158,5 ≤ θ < 159,5 (h/λ) × a ist 0,016 bis 0,05. Wenn 159,5 ≤ θ < 160,5 (h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,05. Wenn 160,5 ≤ θ < 161,5 (h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,05. Wenn 161,5 ≤ θ < 162,5 (h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,05. Wenn 162,5 ≤ θ < 163,5 (h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,05. Wenn 163,5 ≤ θ < 164,5 (h/λ) × a ist 0,021 bis 0,05. Wenn 164,5 ≤ θ < 165,5 (h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,05. Wenn 165,5 ≤ θ < 166,5 (h/λ) × a ist 0,022 bis 0,05. Wenn 166,5 ≤ θ < 167,5 (h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,05. Wenn 167,5 ≤ θ < 168,5 (h/λ) × a ist 0,023 bis 0,05. Wenn 168,5 ≤ θ < 169,5 (h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,05. Wenn 169,5 ≤ θ < 171,5 (h/λ) × a ist 0,024 bis 0,05. Wenn 171,5 ≤ θ < 179,5 (h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,05. Wenn 179,5 ≤ θ < 180 (h/λ) × a ist 0,024 bis 0,05. [Tabelle 3] Für [0,25 ≤ H/λ < 0,35] Wenn 0 ≤ θ < 0,5 (h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,05. Wenn 0,5 ≤ θ < 3,5 (h/λ) × a ist 0,024 bis 0,05. Wenn 3,5 ≤ θ < 4,5 (h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,05. Wenn 4,5 ≤ θ < 6,5 (h/λ) × a ist 0,023 bis 0,05. Wenn 6,5 ≤ θ < 7,5 (h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,05. Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5 (h/λ) × a ist 0,022 bis 0,05. Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5 (h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,05. Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5 (h/λ) × a ist 0,021 bis 0,05. Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5 (h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,05. Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5 (h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,05. Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5 (h/λ) × a ist 0,019 bis 0,05. Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5 (h/λ) × a ist 0,018 bis 0,05. Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5 (h/λ) × a ist 0,017 bis 0,05. Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5 (h/λ) × a ist 0,016 bis 0,05. Wenn 16,5 ≤ θ < 17,5 (h/λ) × a ist 0,015 bis 0,05. Wenn 17,5 ≤ θ < 18,5 (h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,05. Wenn 18,5 ≤ θ < 19,5 (h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,05. Wenn 19,5 ≤ θ < 20,5 (h/λ) × a ist 0,0095 bis 0,05. Wenn 20,5 ≤ θ < 21,5 (h/λ) × a ist 0,006 bis 0,05. Wenn 21,5 ≤ θ < 50,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05. Wenn 50,5 ≤ θ < 51,5 (h/λ) × a ist 0,008 bis 0,05. Wenn 51,5 ≤ θ < 52,5 (h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,05. Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5 (h/λ) × a ist 0,015 bis 0,05. Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5 (h/λ) × a ist 0,017 bis 0,05. Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5 (h/λ) × a ist 0,018 bis 0,05. Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5 (h/λ) × a ist 0,019 bis 0,05. Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5 (h/λ) × a ist 0,02 bis 0,05. Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5 (h/λ) × a ist 0,021 bis 0,05. Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5 (h/λ) × a ist 0,022 bis 0,05. Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5 (h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,05. Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5 (h/λ) × a ist 0,023 bis 0,05. Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5 (h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,05. Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5 (h/λ) × a ist 0,024 bis 0,05. Wenn 63,5 ≤ θ < 64,5 (h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,05. Wenn 64,5 ≤ θ < 65,5 (h/λ) × a ist 0,025 bis 0,05. Wenn 65,5 ≤ θ < 66,5 (h/λ) × a ist 0,0255 bis 0,05. Wenn 66,5 ≤ θ < 67,5 (h/λ) × a ist 0,026 bis 0,05. Wenn 67,5 ≤ θ < 68,5 (h/λ) × a ist 0,0265 bis 0,05. Wenn 68,5 ≤ θ < 70,5 (h/λ) × a ist 0,027 bis 0,05. Wenn 70,5 ≤ θ < 71,5 (h/λ) × a ist 0,0275 bis 0,05. Wenn 71,5 ≤ θ < 73,5 (h/λ) × a ist 0,028 bis 0,05. Wenn 73,5 ≤ θ < 75,5 (h/λ) × a ist 0,0285 bis 0,05. Wenn 75,5 ≤ θ < 77,5 (h/λ) × a ist 0,029 bis 0,05. Wenn 77,5 ≤ θ < 79,5 (h/λ) × a ist 0,0295 bis 0,05. Wenn 79,5 ≤ θ < 82,5 (h/λ) × a ist 0,3 bis 0,05. Wenn 82,5 ≤ θ < 85,5 (h/λ) × a ist 0,305 bis 0,05. Wenn 85,5 ≤ θ < 89,5 (h/λ) × a ist 0,031 bis 0,05. Wenn 89,5 ≤ θ < 102,5 (h/λ) × a ist 0,0351 bis 0,05. Wenn 102,5 ≤ θ < 103,5 (h/λ) × a ist 0,005 oder 0,0315 bis 0,05. Wenn 103,5 ≤ θ < 104,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,006 oder 0,0315 bis 0,05. Wenn 104,5 ≤ θ < 105,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,007 oder 0,0315 bis 0,05. Wenn 105,5 ≤ θ < 106,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,008 oder 0,031 bis 0,05. Wenn 106,5 ≤ θ < 107,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,009 oder 0,031 bis 0,05. Wenn 107,5 ≤ θ < 108,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,01 oder 0,0305 bis 0,05. Wenn 108,5 ≤ θ < 109,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0115 oder 0,0305 bis 0,05. Wenn 109,5 ≤ θ < 110,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0125 oder 0,03 bis 0,05. Wenn 110,5 ≤ θ < 111,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,014 oder 0,029 bis 0,05. Wenn 111,5 ≤ θ < 112,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,016 oder 0,028 bis 0,05. Wenn 112,5 ≤ θ < 113,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0185 oder 0,0265 bis 0,05. Wenn 113,5 ≤ θ < 152,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05. Wenn 152,5 ≤ θ < 153,5 (h/λ) × a ist 0,008 bis 0,05. Wenn 153,5 ≤ θ < 154,5 (h/λ) × a ist 0,0105 bis 0,05. Wenn 154,5 ≤ θ < 155,5 (h/λ) × a ist 0,012 bis 0,05. Wenn 155,5 ≤ θ < 156,5 (h/λ) × a ist 0,035 bis 0,05. Wenn 156,5 ≤ θ < 157,5 (h/λ) × a ist 0,015 bis 0,05. Wenn 157,5 ≤ θ < 158,5 (h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,05. Wenn 158,5 ≤ θ < 159,5 (h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,05. Wenn 159,5 ≤ θ < 160,5 (h/λ) × a ist 0,018 bis 0,05. Wenn 160,5 ≤ θ < 161,5 (h/λ) × a ist 0,019 bis 0,05. Wenn 161,5 ≤ θ < 162,5 (h/λ) × a ist 0,02 bis 0,05. Wenn 162,5 ≤ θ < 163,5 (h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,05. Wenn 163,5 ≤ θ < 164,5 (h/λ) × a ist 0,021 bis 0,05. Wenn 164,5 ≤ θ < 165,5 (h/λ) × a ist 0,022 bis 0,05. Wenn 165,5 ≤ θ < 166,5 (h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,05. Wenn 166,5 ≤ θ < 168,5 (h/λ) × a ist 0,023 bis 0,05. Wenn 168,5 ≤ θ < 169,5 (h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,05. Wenn 169,5 ≤ θ < 171,5 (h/λ) × a ist 0,024 bis 0,05. Wenn 171,5 ≤ θ < 180 (h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,05. [Tabelle 4] Für [0,35 ≤ H/λ < 0,45] Wenn 0 ≤ θ < 2,5 (h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,05. Wenn 2,5 ≤ θ < 4,5 (h/λ) × a ist 0,023 bis 0,05. Wenn 4,5 ≤ θ < 5,5 (h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,05. Wenn 5,5 ≤ θ < 7,5 (h/λ) × a ist 0,022 bis 0,05. Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5 (h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,05. Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5 (h/λ) × a ist 0,021 bis 0,05. Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5 (h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,05. Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5 (h/λ) × a ist 0,02 bis 0,05. Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5 (h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,05. Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5 (h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,05. Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5 (h/λ) × a ist 0,018 bis 0,05. Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5 (h/λ) × a ist 0,017 bis 0,05. Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5 (h/λ) × a ist 0,016 bis 0,05. Wenn 16,5 ≤ θ < 17,5 (h/λ) × a ist 0,015 bis 0,05. Wenn 17,5 ≤ θ < 18,5 (h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,05. Wenn 18,5 ≤ θ < 19,5 (h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,05. Wenn 19,5 ≤ θ < 20,5 (h/λ) × a ist 0,0105 bis 0,05. Wenn 20,5 ≤ θ < 21,5 (h/λ) × a ist 0,008 bis 0,05. Wenn 21,5 ≤ θ < 22,5 (h/λ) × a ist 0,0055 bis 0,05. Wenn 22,5 ≤ θ < 49,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05. Wenn 49,5 ≤ θ < 50,5 (h/λ) × a ist 0,0055 bis 0,05. Wenn 50,5 ≤ θ < 51,5 (h/λ) × a ist 0,011 bis 0,05. Wenn 51,5 ≤ θ < 52,5 (h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,05. Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5 (h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,05. Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5 (h/λ) × a ist 0,017 bis 0,05. Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5 (h/λ) × a ist 0,018 bis 0,05. Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5 (h/λ) × a ist 0,019 bis 0,05. Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5 (h/λ) × a ist 0,02 bis 0,05. Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5 (h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,05. Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5 (h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,05. Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5 (h/λ) × a ist 0,022 bis 0,05. Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5 (h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,05. Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5 (h/λ) × a ist 0,023 bis 0,05. Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5 (h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,05. Wenn 63,5 ≤ θ < 64,5 (h/λ) × a ist 0,024 bis 0,05. Wenn 64,5 ≤ θ < 65,5 (h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,05. Wenn 65,5 ≤ θ < 67,5 (h/λ) × a ist 0,025 bis 0,05. Wenn 67,5 ≤ θ < 68,5 (h/λ) × a ist 0,0255 bis 0,05. Wenn 68,5 ≤ θ < 69,5 (h/λ) × a ist 0,026 bis 0,05. Wenn 69,5 ≤ θ < 71,5 (h/λ) × a ist 0,0265 bis 0,05. Wenn 71,5 ≤ θ < 72,5 (h/λ) × a ist 0,027 bis 0,05. Wenn 72,5 ≤ θ < 74,5 (h/λ) × a ist 0,0275 bis 0,05. Wenn 74,5 ≤ θ < 76,5 (h/λ) × a ist 0,028 bis 0,05. Wenn 76,5 ≤ θ < 79,5 (h/λ) × a ist 0,0285 bis 0,05. Wenn 79,5 ≤ θ < 82,5 (h/λ) × a ist 0,029 bis 0,05. Wenn 82,5 ≤ θ < 86,5 (h/λ) × a ist 0,0295 bis 0,05. Wenn 86,5 ≤ θ < 101,5 (h/λ) × a ist 0,03 bis 0,05. Wenn 101,5 ≤ θ < 103,5 (h/λ) × a ist 0,0295 bis 0,05. Wenn 103,5 ≤ θ < 104,5 (h/λ) × a ist 0,005 oder 0,0295 bis 0,05 Wenn 104,5 ≤ θ < 105,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,006 oder 0,029 bis 0,05. Wenn 105,5 ≤ θ < 106,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,007 oder 0,0285 bis 0,05. Wenn 106,5 ≤ θ < 107,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0085 oder 0,0285 bis 0,05. Wenn 107,5 ≤ θ < 108,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0095 oder 0,028 bis 0,05. Wenn 108,5 ≤ θ < 109,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,011 oder 0,027 bis 0,05. Wenn 109,5 ≤ θ < 110,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,013 oder 0,0265 bis 0,05. Wenn 110,5 ≤ θ < 111,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0145 oder 0,0255 bis 0,05. Wenn 111,5 ≤ θ < 112,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,019 oder 0,0215 bis 0,05. Wenn 112,5 ≤ θ < 151,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05. Wenn 151,5 ≤ θ < 152,5 (h/λ) × a ist 0,0055 bis 0,05. Wenn 152,5 ≤ θ < 153,5 (h/λ) × a ist 0,0075 bis 0,05. Wenn 153,5 ≤ θ < 154,5 (h/λ) × a ist 0,01 bis 0,05. Wenn 154,5 ≤ θ < 155,5 (h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,05. Wenn 155,5 ≤ θ < 156,5 (h/λ) × a ist 0,013 bis 0,05. Wenn 156,5 ≤ θ < 157,5 (h/λ) × a ist 0,014 bis 0,05. Wenn 157,5 ≤ θ < 158,5 (h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,05. Wenn 158,5 ≤ θ < 159,5 (h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,05. Wenn 159,5 ≤ θ < 160,5 (h/λ) × a ist 0,017 bis 0,05. Wenn 160,5 ≤ θ < 161,5 (h/λ) × a ist 0,018 bis 0,05. Wenn 161,5 ≤ θ < 162,5 (h/λ) × a ist 0,018 bis 0,05. Wenn 162,5 ≤ θ < 163,5 (h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,05. Wenn 163,5 ≤ θ < 164,5 (h/λ) × a ist 0,02 bis 0,05. Wenn 164,5 ≤ θ < 165,5 (h/λ) × a ist 0,021 bis 0,05. Wenn 165,5 ≤ θ < 166,5 (h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,05. Wenn 166,5 ≤ θ < 168,5 (h/λ) × a ist 0,022 bis 0,05. Wenn 168,5 ≤ θ < 169,5 (h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,05. Wenn 169,5 ≤ θ < 171,5 (h/λ) × a ist 0,023 bis 0,05. Wenn 171,5 ≤ θ < 175,5 (h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,05. Wenn 175,5 ≤ θ < 178,5 (h/λ) × a ist 0,024 bis 0,05. Wenn 178,5 ≤ θ < 180 (h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,05. [Tabelle 5] Für [0,45 ≤ H/λ < 0,55] Wenn 0 ≤ θ < 2,5 (h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,045. Wenn 2,5 ≤ θ < 4,5 (h/λ) × a ist 0,022 bis 0,045. Wenn 4,5 ≤ θ < 6,5 (h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,045. Wenn 6,5 ≤ θ < 7,5 (h/λ) × a ist 0,021 bis 0,045. Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5 (h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,045. Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5 (h/λ) × a ist 0,02 bis 0,045. Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5 (h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,045. Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5 (h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045. Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5 (h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045. Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5 (h/λ) × a ist 0,018 bis 0,045. Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5 (h/λ) × a ist 0,017 bis 0,045. Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5 (h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,045. Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5 (h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,045. Wenn 16,5 ≤ θ < 17,5 (h/λ) × a ist 0,0145 bis 0,045. Wenn 17,5 ≤ θ < 18,5 (h/λ) × a ist 0,013 bis 0,045. Wenn 18,5 ≤ θ < 19,5 (h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,045. Wenn 19,5 ≤ θ < 20,5 (h/λ) × a ist 0,01 bis 0,045. Wenn 20,5 ≤ θ < 21,5 (h/λ) × a ist 0,008 bis 0,045. Wenn 21,5 ≤ θ < 50,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045. Wenn 50,5 ≤ θ < 51,5 (h/λ) × a ist 0,0105 bis 0,045. Wenn 51,5 ≤ θ < 52,5 (h/λ) × a ist 0,013 bis 0,045. Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5 (h/λ) × a ist 0,015 bis 0,045. Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5 (h/λ) × a ist 0,016 bis 0,045. Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5 (h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,045. Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5 (h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045. Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5 (h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045. Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5 (h/λ) × a ist 0,02 bis 0,045. Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5 (h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,045. Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5 (h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,045. Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5 (h/λ) × a ist 0,022 bis 0,045. Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5 (h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,045. Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5 (h/λ) × a ist 0,023 bis 0,045. Wenn 63,5 ≤ θ < 65,5 (h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,045. Wenn 65,5 ≤ θ < 66,5 (h/λ) × a ist 0,024 bis 0,045. Wenn 66,5 ≤ θ < 67,5 (h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,045. Wenn 67,5 ≤ θ < 69,5 (h/λ) × a ist 0,025 bis 0,045. Wenn 69,5 ≤ θ < 70,5 (h/λ) × a ist 0,0255 bis 0,045. Wenn 70,5 ≤ θ < 72,5 (h/λ) × a ist 0,026 bis 0,045. Wenn 72,5 ≤ θ < 74,5 (h/λ) × a ist 0,0265 bis 0,045. Wenn 74,5 ≤ θ < 76,5 (h/λ) × a ist 0,027 bis 0,045. Wenn 76,5 ≤ θ < 79,5 (h/λ) × a ist 0,0275 bis 0,045. Wenn 79,5 ≤ θ < 82,5 (h/λ) × a ist 0,028 bis 0,045. Wenn 82,5 ≤ θ < 87,5 (h/λ) × a ist 0,0285 bis 0,045. Wenn 87,5 ≤ θ < 96,5 (h/λ) × a ist 0,029 bis 0,045. Wenn 96,5 ≤ θ < 100,5 (h/λ) × a ist 0,0285 bis 0,045. Wenn 100,5 ≤ θ < 102,5 (h/λ) × a ist 0,028 bis 0,045. Wenn 102,5 ≤ θ < 103,5 (h/λ) × a ist 0,0275 bis 0,045. Wenn 103,5 ≤ θ < 153,5 (h/λ) × a ist 0,05 bis 0,045. Wenn 153,5 ≤ θ < 154,5 (h/λ) × a ist 0,075 bis 0,045. Wenn 154,5 ≤ θ < 155,5 (h/λ) × a ist 0,095 bis 0,045. Wenn 155,5 ≤ θ < 156,5 (h/λ) × a ist 0,011 bis 0,045. Wenn 156,5 ≤ θ < 157,5 (h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,045. Wenn 157,5 ≤ θ < 158,5 (h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,045. Wenn 158,5 ≤ θ < 159,5 (h/λ) × a ist 0,0145 bis 0,045. Wenn 159,5 ≤ θ < 160,5 (h/λ) × a ist 0,016 bis 0,045. Wenn 160,5 ≤ θ < 161,5 (h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,045. Wenn 161,5 ≤ θ < 162,5 (h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,045. Wenn 162,5 ≤ θ < 163,5 (h/λ) × a ist 0,018 bis 0,045. Wenn 163,5 ≤ θ < 164,5 (h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045. Wenn 164,5 ≤ θ < 165,5 (h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,045. Wenn 165,5 ≤ θ < 166,5 (h/λ) × a ist 0,02 bis 0,045. Wenn 166,5 ≤ θ < 167,5 (h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,045. Wenn 167,5 ≤ θ < 168,5 (h/λ) × a ist 0,021 bis 0,045. Wenn 168,5 ≤ θ < 170,5 (h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,045. Wenn 170,5 ≤ θ < 172,5 (h/λ) × a ist 0,022 bis 0,045. Wenn 172,5 ≤ θ < 175,5 (h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,045. Wenn 175,5 ≤ θ < 179,5 (h/λ) × a ist 0,023 bis 0,045. Wenn 179,5 ≤ θ < 180 (h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,045. [Tabelle 6] Für [0,55 ≤ H/λ < 0,65] Wenn 0 ≤ θ < 0,5 (h/λ) × a ist 0,022 bis 0,045. Wenn 0,5 ≤ θ < 3,5 (h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,045. Wenn 3,5 ≤ θ < 5,5 (h/λ) × a ist 0,021 bis 0,045. Wenn 5,5 ≤ θ < 6,5 (h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,045. Wenn 6,5 ≤ θ < 7,5 (h/λ) × a ist 0,02 bis 0,045. Wenn 7,5 ≤ θ < 9,5 (h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,045. Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5 (h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045. Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5 (h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045. Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5 (h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,045. Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5 (h/λ) × a ist 0,017 bis 0,045. Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5 (h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,045. Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5 (h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,045. Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5 (h/λ) × a ist 0,0145 bis 0,045. Wenn 16,5 ≤ θ < 17,5 (h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,045. Wenn 17,5 ≤ θ < 18,5 (h/λ) × a ist 0,012 bis 0,045. Wenn 18,5 ≤ θ < 19,5 (h/λ) × a ist 0,011 bis 0,045. Wenn 19,5 ≤ θ < 20,5 (h/λ) × a ist 0,009 bis 0,045. Wenn 20,5 ≤ θ < 21,5 (h/λ) × a ist 0,0065 bis 0,045. Wenn 21,5 ≤ θ < 50,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045. Wenn 50,5 ≤ θ < 51,5 (h/λ) × a ist 0,0085 bis 0,045. Wenn 51,5 ≤ θ < 52,5 (h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,045. Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5 (h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,045. Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5 (h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,045. Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5 (h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,045. Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5 (h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,045. Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5 (h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045. Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5 (h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045. Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5 (h/λ) × a ist 0,02 bis 0,045. Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5 (h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,045. Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5 (h/λ) × a ist 0,021 bis 0,045. Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5 (h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,045. Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5 (h/λ) × a ist 0,022 bis 0,045. Wenn 63,5 ≤ θ < 64,5 (h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,045. Wenn 64,5 ≤ θ < 65,5 (h/λ) × a ist 0,023 bis 0,045. Wenn 65,5 ≤ θ < 67,5 (h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,045. Wenn 67,5 ≤ θ < 68,5 (h/λ) × a ist 0,024 bis 0,045. Wenn 68,5 ≤ θ < 70,5 (h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,045. Wenn 70,5 ≤ θ < 72,5 (h/λ) × a ist 0,025 bis 0,045. Wenn 72,5 ≤ θ < 73,5 (h/λ) × a ist 0,0255 bis 0,045. Wenn 73,5 ≤ θ < 75,5 (h/λ) × a ist 0,026 bis 0,045. Wenn 75,5 ≤ θ < 78,5 (h/λ) × a ist 0,0265 bis 0,045. Wenn 78,5 ≤ θ < 81,5 (h/λ) × a ist 0,027 bis 0,045. Wenn 81,5 ≤ θ < 85,5 (h/λ) × a ist 0,0275 bis 0,045. Wenn 85,5 ≤ θ < 95,5 (h/λ) × a ist 0,028 bis 0,045. Wenn 95,5 ≤ θ < 98,5 (h/λ) × a ist 0,0275 bis 0,045. Wenn 98,5 ≤ θ < 101,5 (h/λ) × a ist 0,027 bis 0,045. Wenn 101,5 ≤ θ < 102,5 (h/λ) × a ist 0,0265 bis 0,045. Wenn 102,5 ≤ θ < 103,5 (h/λ) × a ist 0,026 bis 0,045. Wenn 103,5 ≤ θ < 154,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045. Wenn 154,5 ≤ θ < 155,5 (h/λ) × a ist 0,0055 bis 0,045. Wenn 155,5 ≤ θ < 156,5 (h/λ) × a ist 0,008 bis 0,045. Wenn 156,5 ≤ θ < 157,5 (h/λ) × a ist 0,01 bis 0,045. Wenn 157,5 ≤ θ < 158,5 (h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,045. Wenn 158,5 ≤ θ < 159,5 (h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,045. Wenn 159,5 ≤ θ < 160,5 (h/λ) × a ist 0,014 bis 0,045. Wenn 160,5 ≤ θ < 161,5 (h/λ) × a ist 0,015 bis 0,045. Wenn 161,5 ≤ θ < 162,5 (h/λ) × a ist 0,016 bis 0,045. Wenn 162,5 ≤ θ < 163,5 (h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,045. Wenn 163,5 ≤ θ < 164,5 (h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,045. Wenn 164,5 ≤ θ < 165,5 (h/λ) × a ist 0,018 bis 0,045. Wenn 165,5 ≤ θ < 166,5 (h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045. Wenn 166,5 ≤ θ < 168,5 (h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,045. Wenn 168,5 ≤ θ < 169,5 (h/λ) × a ist 0,02 bis 0,045. Wenn 169,5 ≤ θ < 170,5 (h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,045. Wenn 171,5 ≤ θ < 172,5 (h/λ) × a ist 0,021 bis 0,045. Wenn 172,5 ≤ θ < 175,5 (h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,045. Wenn 175,5 ≤ θ < 180 (h/λ) × a ist 0,022 bis 0,045. [Tabelle 7] Für [0,65 ≤ H/λ < 0,75] Wenn 0 ≤ θ < 1,5 (h/λ) × a ist 0,021 bis 0,045. Wenn 1,5 ≤ θ < 4,5 (h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,045. Wenn 4,5 ≤ θ < 5,5 (h/λ) × a ist 0,02 bis 0,045. Wenn 5,5 ≤ θ < 7,5 (h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,045. Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5 (h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045. Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5 (h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045. Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5 (h/λ) × a ist 0,018 bis 0,045. Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5 (h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,045. Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5 (h/λ) × a ist 0,017 bis 0,045. Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5 (h/λ) × a ist 0,016 bis 0,045. Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5 (h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,045. Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5 (h/λ) × a ist 0,0145 bis 0,045. Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5 (h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,045. Wenn 16,5 ≤ θ < 17,5 (h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,045. Wenn 17,5 ≤ θ < 18,5 (h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,045. Wenn 18,5 ≤ θ < 19,5 (h/λ) × a ist 0,0095 bis 0,045. Wenn 19,5 ≤ θ < 20,5 (h/λ) × a ist 0,0075 bis 0,045. Wenn 20,5 ≤ θ < 21,5 (h/λ) × a ist 0,0055 bis 0,045. Wenn 21,5 ≤ θ < 50,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045. Wenn 50,5 ≤ θ < 51,5 (h/λ) × a ist 0,0065 bis 0,045. Wenn 51,5 ≤ θ < 52,5 (h/λ) × a ist 0,0105 bis 0,045. Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5 (h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,045. Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5 (h/λ) × a ist 0,014 bis 0,045. Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5 (h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,045. Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5 (h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,045. Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5 (h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,045. Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5 (h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045. Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5 (h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045. Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5 (h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,045. Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5 (h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,045. Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5 (h/λ) × a ist 0,021 bis 0,045. Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5 (h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,045. Wenn 63,5 ≤ θ < 64,5 (h/λ) × a ist 0,022 bis 0,045. Wenn 64,5 ≤ θ < 66,5 (h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,045. Wenn 66,5 ≤ θ < 67,5 (h/λ) × a ist 0,023 bis 0,045. Wenn 67,5 ≤ θ < 68,5 (h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,045. Wenn 68,5 ≤ θ < 70,5 (h/λ) × a ist 0,024 bis 0,045. Wenn 70,5 ≤ θ < 72,5 (h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,045. Wenn 72,5 ≤ θ < 74,5 (h/λ) × a ist 0,025 bis 0,045. Wenn 74,5 ≤ θ < 76,5 (h/λ) × a ist 0,0255 bis 0,045. Wenn 76,5 ≤ θ < 79,5 (h/λ) × a ist 0,026 bis 0,045. Wenn 79,5 ≤ θ < 82,5 (h/λ) × a ist 0,0265 bis 0,045. Wenn 82,5 ≤ θ < 95,5 (h/λ) × a ist 0,027 bis 0,045. Wenn 95,5 ≤ θ < 98,5 (h/λ) × a ist 0,0265 bis 0,045. Wenn 98,5 ≤ θ < 100,5 (h/λ) × a ist 0,026 bis 0,045. Wenn 100,5 ≤ θ < 101,5 (h/λ) × a ist 0,0255 bis 0,045. Wenn 101,5 ≤ θ < 157,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045. Wenn 157,5 ≤ θ < 158,5 (h/λ) × a ist 0,0075 bis 0,045. Wenn 158,5 ≤ θ < 159,5 (h/λ) × a ist 0,01 bis 0,045. Wenn 159,5 ≤ θ < 160,5 (h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,045. Wenn 160,5 ≤ θ < 161,5 (h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,045. Wenn 161,5 ≤ θ < 162,5 (h/λ) × a ist 0,014 bis 0,045. Wenn 162,5 ≤ θ < 163,5 (h/λ) × a ist 0,015 bis 0,045. Wenn 163,5 ≤ θ < 164,5 (h/λ) × a ist 0,016 bis 0,045. Wenn 164,5 ≤ θ < 165,5 (h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,045. Wenn 165,5 ≤ θ < 166,5 (h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,045. Wenn 166,5 ≤ θ < 167,5 (h/λ) × a ist 0,018 bis 0,045. Wenn 167,5 ≤ θ < 168,5 (h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045. Wenn 168,5 ≤ θ < 169,5 (h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045. Wenn 169,5 ≤ θ < 170,5 (h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,045. Wenn 170,5 ≤ θ < 172,5 (h/λ) × a ist 0,02 bis 0,045. Wenn 172,5 ≤ θ < 175,5 (h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,045. Wenn 175,5 ≤ θ < 180 (h/λ) × a ist 0,021 bis 0,045. [Tabelle 8] Für [0,75 ≤ H/λ < 0,85] Wenn 0 ≤ θ < 3,5 (h/λ) × a ist 0,02 bis 0,045. Wenn 3,5 ≤ θ < 5,5 (h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,045. Wenn 5,5 ≤ θ < 6,5 (h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045. Wenn 6,5 ≤ θ < 8,5 (h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045. Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5 (h/λ) × a ist 0,018 bis 0,045. Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5 (h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,045. Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5 (h/λ) × a ist 0,017 bis 0,045. Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5 (h/λ) × a ist 0,016 bis 0,045. Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5 (h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,045. Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5 (h/λ) × a ist 0,0145 bis 0,045. Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5 (h/λ) × a ist 0,014 bis 0,045. Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5 (h/λ) × a ist 0,013 bis 0,045. Wenn 16,5 ≤ θ < 17,5 (h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,045. Wenn 17,5 ≤ θ < 18,5 (h/λ) × a ist 0,0105 bis 0,045. Wenn 18,5 ≤ θ < 19,5 (h/λ) × a ist 0,0085 bis 0,045. Wenn 19,5 ≤ θ < 20,5 (h/λ) × a ist 0,0065 bis 0,045. Wenn 20,5 ≤ θ < 51,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045. Wenn 51,5 ≤ θ < 52,5 (h/λ) × a ist 0,0085 bis 0,045. Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5 (h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,045. Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5 (h/λ) × a ist 0,013 bis 0,045. Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5 (h/λ) × a ist 0,0145 bis 0,045. Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5 (h/λ) × a ist 0,016 bis 0,045. Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5 (h/λ) × a ist 0,017 bis 0,045. Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5 (h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,045. Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5 (h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045. Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5 (h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045. Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5 (h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,045. Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5 (h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,045. Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5 (h/λ) × a ist 0,021 bis 0,045. Wenn 63,5 ≤ θ < 65,5 (h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,045. Wenn 65,5 ≤ θ < 66,5 (h/λ) × a ist 0,022 bis 0,045. Wenn 66,5 ≤ θ < 67,5 (h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,045. Wenn 67,5 ≤ θ < 68,5 (h/λ) × a ist 0,023 bis 0,045. Wenn 68,5 ≤ θ < 70,5 (h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,045. Wenn 70,5 ≤ θ < 72,5 (h/λ) × a ist 0,024 bis 0,045. Wenn 72,5 ≤ θ < 74,5 (h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,045. Wenn 74,5 ≤ θ < 76,5 (h/λ) × a ist 0,025 bis 0,045. Wenn 76,5 ≤ θ < 79,5 (h/λ) × a ist 0,0255 bis 0,045. Wenn 79,5 ≤ θ < 83,5 (h/λ) × a ist 0,026 bis 0,045. Wenn 83,5 ≤ θ < 96,5 (h/λ) × a ist 0,0265 bis 0,045. Wenn 96,5 ≤ θ < 98,5 (h/λ) × a ist 0,026 bis 0,045. Wenn 98,5 ≤ θ < 99,5 (h/λ) × a ist 0,025 bis 0,045. Wenn 99,5 ≤ θ < 100,5 (h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,045. Wenn 100,5 ≤ θ < 159,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045. Wenn 159,5 ≤ θ < 160,5 (h/λ) × a ist 0,0055 bis 0,045. Wenn 160,5 ≤ θ < 161,5 (h/λ) × a ist 0,009 bis 0,045. Wenn 161,5 ≤ θ < 162,5 (h/λ) × a ist 0,011 bis 0,045. Wenn 162,5 < θ < 163,5 (h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,045. Wenn 163,5 ≤ θ < 164,5 (h/λ) × a ist 0,014 bis 0,045. Wenn 164,5 ≤ θ < 165,5 (h/λ) × a ist 0,015 bis 0,045. Wenn 165,5 ≤ θ < 166,5 (h/λ) × a ist 0,016 bis 0,045. Wenn 166,5 ≤ θ < 167,5 (h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,045. Wenn 167,5 ≤ θ < 168,5 (h/λ) × a ist 0,017 bis 0,045. Wenn 168,5 ≤ θ < 169,5 (h/λ) × a ist 0,018 bis 0,045. Wenn 169,5 ≤ θ < 171,5 (h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045. Wenn 171,5 ≤ θ < 172,5 (h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045. Wenn 172,5 ≤ θ < 174,5 (h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,045. Wenn 174,5 ≤ θ < 180 (h/λ) × a ist 0,02 bis 0,045. [Tabelle 9] Für [0,85 ≤ H/λ < 0,95] Wenn 0 ≤ θ < 2,5 (h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,045. Wenn 2,5 ≤ θ < 4,5 (h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045. Wenn 4,5 ≤ θ < 6,5 (h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045. Wenn 6,5 ≤ θ < 7,5 (h/λ) × a ist 0,018 bis 0,045. Wenn 7,5 ≤ θ < 9,5 (h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,045. Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5 (h/λ) × a ist 0,017 bis 0,045. Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5 (h/λ) × a ist 0,016 bis 0,045. Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5 (h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,045. Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5 (h/λ) × a ist 0,015 bis 0,045. Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5 (h/λ) × a ist 0,014 bis 0,045. Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5 (h/λ) × a ist 0,013 bis 0,045. Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5 (h/λ) × a ist 0,012 bis 0,045. Wenn 16,5 ≤ θ < 17,5 (h/λ) × a ist 0,011 bis 0,045. Wenn 17,5 ≤ θ < 18,5 (h/λ) × a ist 0,009 bis 0,045. Wenn 18,5 ≤ θ < 19,5 (h/λ) × a ist 0,007 bis 0,045. Wenn 19,5 ≤ θ < 51,5 (h/λ) × a ist 0,007 bis 0,045. Wenn 51,5 ≤ θ < 52,5 (h/λ) × a ist 0,0065 bis 0,045. Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5 (h/λ) × a ist 0,0105 bis 0,045. Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5 (h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,045. Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5 (h/λ) × a ist 0,014 bis 0,045. Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5 (h/λ) × a ist 0,015 bis 0,045. Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5 (h/λ) × a ist 0,016 bis 0,045. Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5 (h/λ) × a ist 0,017 bis 0,045. Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5 (h/λ) × a ist 0,018 bis 0,045. Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5 (h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045. Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5 (h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045. Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5 (h/λ) × a ist 0,02 bis 0,045. Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5 (h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,045. Wenn 63,5 ≤ θ < 64,5 (h/λ) × a ist 0,021 bis 0,045. Wenn 64,5 ≤ θ < 65,5 (h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,045. Wenn 65,5 ≤ θ < 66,5 (h/λ) × a ist 0,022 bis 0,045. Wenn 66,5 ≤ θ < 68,5 (h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,045. Wenn 68,5 ≤ θ < 70,5 (h/λ) × a ist 0,023 bis 0,045. Wenn 70,5 ≤ θ < 72,5 (h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,045. Wenn 72,5 ≤ θ < 74,5 (h/λ) × a ist 0,024 bis 0,045. Wenn 74,5 ≤ θ < 76,5 (h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,045. Wenn 76,5 ≤ θ < 79,5 (h/λ) × a ist 0,025 bis 0,045. Wenn 79,5 ≤ θ < 82,5 (h/λ) × a ist 0,0255 bis 0,045. Wenn 82,5 ≤ θ < 92,5 (h/λ) × a ist 0,026 bis 0,045. Wenn 92,5 ≤ θ < 95,5 (h/λ) × a ist 0,0255 bis 0,045. Wenn 95,5 ≤ θ < 97,5 (h/λ) × a ist 0,025 bis 0,045. Wenn 97,5 ≤ θ < 98,5 (h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,045. Wenn 98,5 ≤ θ < 163,5 (h/λ) × a ist 0,05 bis 0,045. Wenn 163,5 ≤ θ < 164,5 (h/λ) × a ist 0,0105 bis 0,045. Wenn 164,5 ≤ θ < 165,5 (h/λ) × a ist 0,012 bis 0,045. Wenn 165,5 ≤ θ < 166,5 (h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,045. Wenn 166,5 ≤ θ < 167,5 (h/λ) × a ist 0,015 bis 0,045. Wenn 167,5 ≤ θ < 168,5 (h/λ) × a ist 0,016 bis 0,045. Wenn 168,5 ≤ θ < 169,5 (h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,045. Wenn 169,5 ≤ θ < 170,5 (h/λ) × a ist 0,017 bis 0,045. Wenn 170,5 ≤ θ < 171,5 (h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,045. Wenn 171,5 ≤ θ < 172,5 (h/λ) × a ist 0,018 bis 0,045. Wenn 172,5 ≤ θ < 174,5 (h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045. Wenn 174,5 ≤ θ < 176,5 (h/λ) × a ist 0,019 bis 0,045. Wenn 176,5 ≤ θ < 180 (h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,045. [Tabelle 10] Für [0,95 ≤ H/λ < 1,00] Wenn 0 ≤ θ < 1,5 (h/λ) × a ist 0,019 bis 0,04. Wenn 1,5 ≤ θ < 4,5 (h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,04. Wenn 4,5 ≤ θ < 6,5 (h/λ) × a ist 0,018 bis 0,04. Wenn 6,5 ≤ θ < 7,5 (h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,04. Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5 (h/λ) × a ist 0,017 bis 0,04. Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5 (h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,04. Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5 (h/λ) × a ist 0,016 bis 0,04. Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5 (h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,04. Wenn 11,5 ≤ θ < 12,5 (h/λ) × a ist 0,015 bis 0,04. Wenn 12,5 ≤ θ < 13,5 (h/λ) × a ist 0,014 bis 0,04. Wenn 13,5 ≤ θ < 14,5 (h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,04. Wenn 14,5 ≤ θ < 15,5 (h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,04. Wenn 15,5 ≤ θ < 16,5 (h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,04. Wenn 16,5 ≤ θ < 17,5 (h/λ) × a ist 0,01 bis 0,04. Wenn 17,5 ≤ θ < 18,5 (h/λ) × a ist 0,008 bis 0,04. Wenn 18,5 ≤ θ < 19,5 (h/λ) × a ist 0,006 bis 0,04. Wenn 19,5 ≤ θ < 52,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,04. Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5 (h/λ) × a ist 0,009 bis 0,04. Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5 (h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,04. Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5 (h/λ) × a ist 0,013 bis 0,04. Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5 (h/λ) × a ist 0,0145 bis 0,04. Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5 (h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,04. Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5 (h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,04. Wenn 58,5 ≤ θ < 59,5 (h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,04. Wenn 59,5 ≤ θ < 60,5 (h/λ) × a ist 0,018 bis 0,04. Wenn 60,5 ≤ θ < 61,5 (h/λ) × a ist 0,019 bis 0,04. Wenn 61,5 ≤ θ < 62,5 (h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,04. Wenn 62,5 ≤ θ < 63,5 (h/λ) × a ist 0,02 bis 0,04. Wenn 63,5 ≤ θ < 64,5 (h/λ) × a ist 0,0205 bis 0,04. Wenn 64,5 ≤ θ < 65,5 (h/λ) × a ist 0,021 bis 0,04. Wenn 65,5 ≤ θ < 66,5 (h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,04. Wenn 66,5 ≤ θ < 68,5 (h/λ) × a ist 0,022 bis 0,04. Wenn 68,5 ≤ θ < 69,5 (h/λ) × a ist 0,0225 bis 0,04. Wenn 69,5 ≤ θ < 71,5 (h/λ) × a ist 0,023 bis 0,04. Wenn 71,5 ≤ θ < 73,5 (h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,04. Wenn 73,5 ≤ θ < 75,5 (h/λ) × a ist 0,024 bis 0,04. Wenn 75,5 ≤ θ < 78,5 (h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,04. Wenn 78,5 ≤ θ < 81,5 (h/λ) × a ist 0,025 bis 0,04. Wenn 81,5 ≤ θ < 92,5 (h/λ) × a ist 0,0255 bis 0,04. Wenn 92,5 ≤ θ < 94,5 (h/λ) × a ist 0,025 bis 0,04. Wenn 94,5 ≤ θ < 95,5 (h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,04. Wenn 95,5 ≤ θ < 166,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,04. Wenn 166,5 ≤ θ < 167,5 (h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,04. Wenn 167,5 ≤ θ < 168,5 (h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,04. Wenn 168,5 ≤ θ < 169,5 (h/λ) × a ist 0,015 bis 0,04. Wenn 169,5 ≤ θ < 170,5 (h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,04. Wenn 170,5 ≤ θ < 171,5 (h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,04. Wenn 171,5 ≤ θ < 172,5 (h/λ) × a ist 0,017 bis 0,04. Wenn 172,5 ≤ θ < 173,5 (h/λ) × a ist 0,0175 bis 0,04. Wenn 173,5 ≤ θ < 175,5 (h/λ) × a ist 0,018 bis 0,04. Wenn 175,5 ≤ θ < 178,5 (h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,04. Wenn 178,5 ≤ θ < 180 (h/λ) × a ist 0,019 bis 0,04
2. Grenzschallwellenvorrichtung, die Folgendes umfaßt: ein piezoelektrisches Substrat das aus einkristallinem LiTaO₃ besteht, eine erste Mediumschicht, die auf dem piezoelektrischen Substrat angeordnet ist und aus einem Dielektrikum besteht, eine zweite Mediumschicht, die auf der ersten Mediumschicht angeordnet ist und aus einem Dielektrikum besteht, das eine Schallgeschwindigkeit aufweist, die eine andere ist als die Schallgeschwindigkeit des Dielektrikums, aus dem die erste Mediumschicht besteht, und mindestens eine Interdigitalelektrode, die an der Grenze zwischen dem piezoelektrischen Substrat und der ersten Mediumschicht angeordnet ist, wobei die Schallgeschwindigkeit der ersten Mediumschicht geringer ist als die Schallgeschwindigkeit von LiTaO₃, die Schallgeschwindigkeit der zweiten Mediumschicht größer ist als die Schallgeschwindigkeit von LiTaO₃ und die Ungleichheit (h/λ) × a ≤ 0,05 gilt, wobei H die Dicke der ersten Mediumschicht ist, h die Dicke der Interdigitalelektrode ist, λ die Periode von Elektrodenfingern der Interdigitalelektrode ist und a das Verhältnis der Dichte eines Metalls, aus dem die Interdigitalelektrode besteht, zur Dichte von Au ist, wobei, wenn das LiTaO₃ Eulersche Winkel (0° ± 5°, θ, 0° ± 25°) hat, die normalisierte Dicke (h/λ) × a der Interdigitalelektrode mit Bezug auf den Wert von H/λ und den Wert von θ innerhalb eines der in den Tabellen 11 bis 20 unten gezeigten Bereiche liegt: [Tabelle 11] Für [0,05 ≤ H/λ < 0,15] Wenn 0 ≤ θ < 48,5 (h/λ) × a existiert nicht. Wenn 48,5 ≤ θ < 49,5 (h/λ) × a ist 0,04 bis 0,0415. Wenn 49,5 ≤ θ < 50,5 (h/λ) × a ist 0,0255 bis 0,05. Wenn 50,5 ≤ θ < 51,5 (h/λ) × a ist 0,02 bis 0,05. Wenn 51,5 ≤ θ < 52,5 (h/λ) × a ist 0,016 bis 0,05. Wenn 52,5 ≤ θ < 53,5 (h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,05. Wenn 53,5 ≤ θ < 54,5 (h/λ) × a ist 0,011 bis 0,05. Wenn 54,5 ≤ θ < 55,5 (h/λ) × a ist 0,0095 bis 0,05. Wenn 55,5 ≤ θ < 56,5 (h/λ) × a ist 0,008 bis 0,05. Wenn 56,5 ≤ θ < 57,5 (h/λ) × a ist 0,0065 bis 0,05. Wenn 57,5 ≤ θ < 58,5 (h/λ) × a ist 0,0055 bis 0,05. Wenn 58,5 ≤ θ < 122,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05. Wenn 122,5 ≤ θ < 123,5 (h/λ) × a ist 0,0055 bis 0,05. Wenn 123,5 ≤ θ < 124,5 (h/λ) × a ist 0,007 bis 0,05. Wenn 124,5 ≤ θ < 125,5 (h/λ) × a ist 0,0055 bis 0,05. Wenn 125,5 ≤ θ < 129,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05. Wenn 129,5 ≤ θ < 130,5 (h/λ) × a ist 0,0105 bis 0,05. Wenn 130,5 ≤ θ < 132,5 (h/λ) × a ist 0,012 bis 0,05. Wenn 132,5 ≤ θ < 142,5 (h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,05. Wenn 142,5 ≤ θ < 143,5 (h/λ) × a ist 0,012 bis 0,05. Wenn 143,5 ≤ θ < 144,5 (h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,05. Wenn 144,5 ≤ θ < 146,5 (h/λ) × a ist 0,013 bis 0,05. Wenn 146,5 ≤ θ < 150,5 (h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,05. Wenn 150,5 ≤ θ < 152,5 (h/λ) × a ist 0,013 bis 0,05. Wenn 152,5 ≤ θ < 154,5 (h/λ) × a ist 0,005 oder 0,013 bis 0,05. Wenn 154,5 ≤ θ < 155,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0055 oder 0,013 bis 0,05. Wenn 155,5 ≤ θ < 156,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0055 oder 0,0125 bis 0,05. Wenn 156,5 ≤ θ < 157,5 (h/λ) × a ist 0,005 oder 0,0125 bis 0,05. Wenn 157,5 ≤ θ < 158,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0055 oder 0,0125 bis 0,05. Wenn 158,5 ≤ θ < 159,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,006 oder 0,0125 bis 0,05. Wenn 159,5 ≤ θ < 160,5 (h/λ) × a ist 0,005 oder 0,0125 bis 0,05. Wenn 160,5 ≤ θ < 161,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0055 oder 0,0125 bis 0,05. Wenn 161,5 ≤ θ < 162,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0065 oder 0,0125 bis 0,05. Wenn 162,5 ≤ θ < 163,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0055 oder 0,0125 bis 0,05. Wenn 163,5 ≤ θ < 171,5 (h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,05. Wenn 171,5 ≤ θ < 172,5 (h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,0485. Wenn 172,5 ≤ θ < 173,5 (h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,0455. Wenn 173,5 ≤ θ < 174,5 (h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,042. Wenn 174,5 ≤ θ < 175,5 (h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,038. Wenn 175,5 ≤ θ < 176,5 (h/λ) × a ist 0,0125 bis 0,032. Wenn 176,5 ≤ θ < 180 (h/λ) × a ist 0,013 bis 0,0145. [Tabelle 12] Für [0,15 ≤ H/λ < 0,25] Wenn 0 ≤ θ < 0,5 (h/λ) × a ist 0,01 bis 0,0345. Wenn 0,5 ≤ θ < 1,5 (h/λ) × a ist 0,014 bis 0,0285. Wenn 1,5 ≤ θ < 45,5 (h/λ) × a existiert nicht. Wenn 45,5 ≤ θ < 46,5 (h/λ) × a ist 0,0235 bis 0,05. Wenn 46,5 ≤ θ < 47,5 (h/λ) × a ist 0,0165 bis 0,05. Wenn 47,5 ≤ θ < 48,5 (h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,05. Wenn 48,5 ≤ θ < 49,5 (h/λ) × a ist 0,008 bis 0,05. Wenn 49,5 ≤ θ < 130,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05. Wenn 130,5 ≤ θ < 131,5 (h/λ) × a ist 0,006 bis 0,05. Wenn 131,5 ≤ θ < 132,5 (h/λ) × a ist 0,007 bis 0,05. Wenn 132,5 ≤ θ < 142,5 (h/λ) × a ist 0,0075 bis 0,05. Wenn 142,5 ≤ θ < 144,5 (h/λ) × a ist 0,008 bis 0,05. Wenn 144,5 ≤ θ < 148,5 (h/λ) × a ist 0,0085 bis 0,05. Wenn 148,5 ≤ θ < 157,5 (h/λ) × a ist 0,008 bis 0,05. Wenn 157,5 ≤ θ < 166,5 (h/λ) × a ist 0,0075 bis 0,05. Wenn 166,5 ≤ θ < 169,5 (h/λ) × a ist 0,007 bis 0,05. Wenn 169,5 ≤ θ < 170,5 (h/λ) × a ist 0,0065 bis 0,05. Wenn 170,5 ≤ θ < 171,5 (h/λ) × a ist 0,007 bis 0,05. Wenn 171,5 ≤ θ < 172,5 (h/λ) × a ist 0,0075 bis 0,05. Wenn 172,5 ≤ θ < 175,5 (h/λ) × a ist 0,008 bis 0,05. Wenn 175,5 ≤ θ < 176,5 (h/λ) × a ist 0,008 bis 0,0485. Wenn 176,5 ≤ θ < 177,5 (h/λ) × a ist 0,0085 bis 0,0455. Wenn 177,5 ≤ θ < 178,5 (h/λ) × a ist 0,0085 bis 0,0425. Wenn 178,5 ≤ θ < 179,5 (h/λ) × a ist 0,0085 bis 0,0385. Wenn 179,5 ≤ θ < 180 (h/λ) × a ist 0,009 bis 0,0345. [Tabelle 13] Für [0,25 ≤ H/λ < 0,35] Wenn 0 ≤ θ < 0,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0455. Wenn 0,5 ≤ θ < 1,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0445. Wenn 1,5 ≤ θ < 2,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,041. Wenn 2,5 ≤ θ < 3,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,037. Wenn 3,5 ≤ θ < 4,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,032. Wenn 4,5 ≤ θ < 5,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,025. Wenn 5,5 ≤ θ < 42,5 (h/λ) × a existiert nicht. Wenn 42,5 ≤ θ < 43,5 (h/λ) × a ist 0,023 bis 0,05. Wenn 43,5 ≤ θ < 44,5 (h/λ) × a ist 0,015 bis 0,05. Wenn 44,5 ≤ θ < 45,5 (h/λ) × a ist 0,01 bis 0,05. Wenn 45,5 ≤ θ < 46,5 (h/λ) × a ist 0,006 bis 0,05. Wenn 46,5 ≤ θ < 179,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05. Wenn 179,5 ≤ θ < 180 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,048. [Tabelle 14] Für [0,35 ≤ H/λ < 0,45] Wenn 0 ≤ θ < 2,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045. Wenn 2,5 ≤ θ < 3,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0475. Wenn 3,5 ≤ θ < 4,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,044. Wenn 4,5 ≤ θ < 5,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,04. Wenn 5,5 ≤ θ < 6,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0355. Wenn 6,5 ≤ θ < 7,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,029. Wenn 7,5 ≤ θ < 39,5 (h/λ) × a existiert nicht. Wenn 39,5 ≤ θ < 40,5 (h/λ) × a ist 0,0355 bis 0,05. Wenn 40,5 ≤ θ < 41,5 (h/λ) × a ist 0,021 bis 0,05. Wenn 41,5 ≤ θ < 42,5 (h/λ) × a ist 0,0135 bis 0,05. Wenn 42,5 ≤ θ < 43,5 (h/λ) × a ist 0,008 bis 0,05. Wenn 43,5 ≤ θ < 180 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,05. [Tabelle 15] Für [0,45 ≤ H/λ < 0,55] Wenn 0 ≤ θ < 7,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045. Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5 (h/λ) × a ist 0,006 bis 0,045. Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5 (h/λ) × a ist 0,0105 bis 0,045. Wenn 9,5 ≤ θ < 38,5 (h/λ) × a ist 0,0455 bis 0,045. Wenn 38,5 ≤ θ < 39,5 (h/λ) × a ist 0,0265 bis 0,045. Wenn 39,5 ≤ θ < 40,5 (h/λ) × a ist 0,016 bis 0,045. Wenn 41,5 ≤ θ < 180 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045. [Tabelle 16] Für [0,55 ≤ H/λ < 0,65] Wenn 0 ≤ θ < 8,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045. Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5 (h/λ) × a ist 0,006 bis 0,045. Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5 (h/λ) × a ist 0,0115 bis 0,045. Wenn 10,5 ≤ θ < 36,5 (h/λ) × a ist 0,0455 bis 0,045. Wenn 36,5 ≤ θ < 37,5 (h/λ) × a ist 0,044 bis 0,045. Wenn 37,5 ≤ θ < 38,5 (h/λ) × a ist 0,026 bis 0,045. Wenn 38,5 ≤ θ < 39,5 (h/λ) × a ist 0,0155 bis 0,045. Wenn 39,5 ≤ θ < 40,5 (h/λ) × a ist 0,009 bis 0,045. Wenn 40,5 ≤ θ < 180 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045. [Tabelle 17] Für [0,65 ≤ H/λ < 0,75] Wenn 0 ≤ θ < 7,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045. Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0435. Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0385. Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5 (h/λ) × a ist 0,009 bis 0,032. Wenn 10,5 ≤ θ < 36,5 (h/λ) × a existiert nicht. Wenn 36,5 ≤ θ < 37,5 (h/λ) × a ist 0,0305 bis 0,045. Wenn 37,5 ≤ θ < 38,5 (h/λ) × a ist 0,0185 bis 0,045. Wenn 38,5 ≤ θ < 39,5 (h/λ) × a ist 0,0105 bis 0,045. Wenn 39,5 ≤ θ < 40,5 (h/λ) × a ist 0,0055 bis 0,045. Wenn 40,5 ≤ θ < 180 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045. [Tabelle 18] Für [0,75 ≤ H/λ < 0,85] Wenn 0 ≤ θ < 8,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045. Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,0405. Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5 (h/λ) × a ist 0,009 bis 0,035. Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5 (h/λ) × a ist 0,017 bis 0,023. Wenn 11,5 ≤ θ < 35,5 (h/λ) × a existiert nicht. Wenn 35,5 ≤ θ < 36,5 (h/λ) × a ist 0,042 bis 0,045. Wenn 36,5 ≤ θ < 37,5 (h/λ) × a ist 0,0245 bis 0,045. Wenn 37,5 ≤ θ < 38,5 (h/λ) × a ist 0,014 bis 0,045. Wenn 38,5 ≤ θ < 39,5 (h/λ) × a ist 0,0075 bis 0,045. Wenn 39,5 ≤ θ < 180 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045. [Tabelle 19] Für [0,85 ≤ H/λ < 0,95] Wenn 0 ≤ θ < 8,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045. Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5 (h/λ) × a ist 0,007 bis 0,0415. Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5 (h/λ) × a ist 0,01 bis 0,036. Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5 (h/λ) × a ist 0,018 bis 0,0255. Wenn 11,5 ≤ θ < 35,5 (h/λ) × a existiert nicht. Wenn 35,5 ≤ θ < 36,5 (h/λ) × a ist 0,037 bis 0,045. Wenn 36,5 ≤ θ < 37,5 (h/λ) × a ist 0,0215 bis 0,045. Wenn 37,5 ≤ θ < 38,5 (h/λ) × a ist 0,012 bis 0,045. Wenn 38,5 ≤ θ < 39,5 (h/λ) × a ist 0,006 bis 0,045. Wenn 39,5 ≤ θ < 180 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,045. [Tabelle 20] Für [0,95 ≤ H/λ < 1,00] Wenn 0 ≤ θ < 7,5 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,04. Wenn 7,5 ≤ θ < 8,5 (h/λ) × a ist 0,007 bis 0,04. Wenn 8,5 ≤ θ < 9,5 (h/λ) × a ist 0,009 bis 0,04. Wenn 9,5 ≤ θ < 10,5 (h/λ) × a ist 0,012 bis 0,04. Wenn 10,5 ≤ θ < 11,5 (h/λ) × a ist 0,02 bis 0,04. Wenn 11,5 ≤ θ < 35,5 (h/λ) × a existiert nicht. Wenn 35,5 ≤ θ < 36,5 (h/λ) × a ist 0,034 bis 0,04. Wenn 336,5 ≤ θ < 37,5 (h/λ) × a ist 0,0195 bis 0,04. Wenn 37,5 ≤ θ < 38,5 (h/λ) × a ist 0,0105 bis 0,04. Wenn 38,5 ≤ θ < 180 (h/λ) × a ist 0,005 bis 0,04.
3. Grenzschallwellenvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Dielektrikum, aus dem die erste Mediumschicht besteht, überwiegend SiO₂ enthält.
4. Grenzschallwellenvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das Dielektrikum, aus dem die zweite Mediumschicht besteht, überwiegend mindestens eines der Gruppe SiN, SiON, AlN, AlO, Si, SiC, diamantartiger Kohlenstoff und Polysilizium enthält.
5. Grenzschallwellenvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Eulerschen Winkel des LiTaO₃ Eulersche Winkel sind, deren Grenzschallwelleneigenschaften der Gleichung (A) unten entsprechen: Gleichung (A) F(φ, θ, ψ) = F(60° + φ, –θ, ψ) = F(60° – φ, –θ, 180° – ψ) = F(φ, 180° + θ, 180° – ψ) = F(φ, θ, 180° + ψ)
6. Grenzschallwellenvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Interdigitalelektrode aus Pt besteht.
7. Grenzschallwellenvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Interdigitalelektrode einen Al-Film, der auf der Seite der ersten Mediumschicht angeordnet ist, und einen Pt-Film, der auf der Seite des piezoelektrischen Substrats angeordnet ist, enthält und aus dem Pt-Film und dem Al-Film besteht.
8. Grenzschallwellenvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Interdigitalelektrode einen Pt-Film, der auf der Seite der ersten Mediumschicht angeordnet ist, und einen Al-Film, der auf der Seite des piezoelektrischen Substrats angeordnet ist, enthält und aus dem Pt-Film und dem Al-Film besteht.
9. Grenzschallwellenvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei die Interdigitalelektrode einen Metallaminatfilm enthält, der durch Übereinanderlegen mehrerer Metallschichten gebildet wird, und der Metallaminatfilm eine Schicht, die an das piezoelektrische Substrat anstößt, eine Schicht, die an die erste Mediumschicht anstößt, und eine Metallschicht, die an mindestens einer Position zwischen den Metallschichten angeordnet ist und die aus mindestens einem aus der Gruppe Ti, Ni, und NiCr besteht, enthält.

Images