DE112004000430T5 - Durchflußinstrument mit Mehrfachsensoren - Google Patents
Durchflußinstrument mit Mehrfachsensoren Download PDFInfo
- Publication number
- DE112004000430T5 DE112004000430T5 DE112004000430T DE112004000430T DE112004000430T5 DE 112004000430 T5 DE112004000430 T5 DE 112004000430T5 DE 112004000430 T DE112004000430 T DE 112004000430T DE 112004000430 T DE112004000430 T DE 112004000430T DE 112004000430 T5 DE112004000430 T5 DE 112004000430T5
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- instrument
- fluid
- outlet
- pressure
- inlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
- G01F1/36—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
- G01F1/40—Details of construction of the flow constriction devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
- G01F1/36—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
- G01F1/363—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction with electrical or electro-mechanical indication
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
- G01F15/02—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature
- G01F15/022—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature using electrical means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Flow Control (AREA)
- Details Of Flowmeters (AREA)
Abstract
Instrument
zur Verwendung bei der Abtastung eines Fluiddurchflusses, das aufweist:
einen Durchflußkörper, der einen Einlaß, einen Auslaß und eine Durchflußdrossel aufweist, die den Fluiddurchfluß vom Einlaß an den Auslaß koppelt;
einen ersten Mehrfachsensor, der eine erste Abtastfläche im Einlaß aufweist, die einen Einlaßdruck und die Temperatur des Fluids abtastet;
einen zweiten Mehrfachsensor, der eine zweite Abtastfläche im Auslaß aufweist, die einen Auslaßdruck und die Temperatur des Fluids abtastet; und
eine Schaltung, die an den ersten und den zweiten Mehrfachsensor gekoppelt ist, wobei die Schaltung eine Fluiddurchflußausgabe erzeugt, die auf Ausgaben des ersten und zweiten Mehrfachsensors beruht, wobei die Fluiddurchflußausgabe eine Temperaturkorrektur als eine Funktion von mindestens einer der abgetasteten Temperaturen im Einlaß und im Auslaß aufweist.
einen Durchflußkörper, der einen Einlaß, einen Auslaß und eine Durchflußdrossel aufweist, die den Fluiddurchfluß vom Einlaß an den Auslaß koppelt;
einen ersten Mehrfachsensor, der eine erste Abtastfläche im Einlaß aufweist, die einen Einlaßdruck und die Temperatur des Fluids abtastet;
einen zweiten Mehrfachsensor, der eine zweite Abtastfläche im Auslaß aufweist, die einen Auslaßdruck und die Temperatur des Fluids abtastet; und
eine Schaltung, die an den ersten und den zweiten Mehrfachsensor gekoppelt ist, wobei die Schaltung eine Fluiddurchflußausgabe erzeugt, die auf Ausgaben des ersten und zweiten Mehrfachsensors beruht, wobei die Fluiddurchflußausgabe eine Temperaturkorrektur als eine Funktion von mindestens einer der abgetasteten Temperaturen im Einlaß und im Auslaß aufweist.
Description
- Gebiet der Erfindung
- Die Erfindung betrifft Instrumente zur Verwendung bei der Steuerung eines Fluiddurchflusses. Insbesondere betrifft die Erfindung die Steuerung des Durchflusses von hochreinen Fluiden in der Fertigung von Halbleitervorrichtungen.
- Hintergrund der Erfindung
- Instrumente wie Mengenflußsteuereinrichtungen, Druckmeßwertgeber und Temperaturmeßwertgeber werden bei der Herstellung von Halbleitervorrichtungen wie Mikroprozessoren und anwendungsspezifischen integrierten Schaltungen (ASICs) verwendet. Die Instrumente enthalten Sensoren, die verwendet werden, um den Durchfluß von verschiedenen Fluiden zu messen und zu steuern, die in den Halbleiterfertigungsprozessen verwendet werden. Fluidverbindungen mit mehreren einzelnen Sensoren herzustellen ist mühsam, erhöht die Anzahl von Fluiddichtungen um Sensoren und erhöht die Möglichkeit von Fluidundichtigkeiten und/oder Fehlern infolge von differierenden Prozeßbedingungen an den verschiedenen Sensoren. Es wird ein Verfahren zur Vereinfachung der Instrumenteninstallation und zur Reduzierung der Anzahl der Sensorverbindungen benötigt.
- Zusammenfassung der Erfindung
- Offenbart werden ein Instrument und ein Verfahren zur Steuerung eines Fluiddurchflusses bzw. Fluidflusses. Das Instrument weist einen Durchflußkörper auf, der einen Einlaß, einen Auslaß und eine Durchflußdrossel umfaßt, die den Fluiddurchfluß vom Einlaß zum Auslaß koppelt.
- Das Instrument weist einen ersten Mehrfachsensor mit einer ersten Abtastfläche im Einlaß auf, der den Druck und die Temperatur des Fluids abtastet. Das Instrument weist außerdem einen zweiten Mehrfachsensor mit einer zweiten Abtastfläche im Auslaß auf, der den Druck und die Temperatur des Fluids abtastet.
- Die ersten und zweiten Mehrfachsensoren sind mit einer Schaltung im Instrument gekoppelt. Die Schaltung erzeugt eine Fluiddurchflußausgabe, die auf Ausgaben der ersten und zweiten Mehrfachsensoren beruht. Die Fluiddurchflußausgabe weißt als eine Funktion von mindestens einer der abgetasteten Temperaturen im Einlaß und Auslaß eine Temperaturkorrektur auf.
- Diese und verschiedene andere Merkmale ebenso wie Vorteile, die die vorliegende Erfindung kennzeichnen, werden beim Lesen der folgenden detaillierten Beschreibung und der Durchsicht der zugehörigen Zeichnungen deutlich werden.
- Kurze Beschreibung der Zeichnungen
-
1 stellt eine erste Ausführungsform eines Fluiddurchflußinstruments dar. -
2 stellt eine Ausführungsform eines Mehrfachsensors dar. -
3 stellt eine Ausführungsform einer Mehrfachsensorträgerplatte dar. -
4 stellt eine zweite Ausführungsform eines Fluiddurchflußinstruments dar, das ein Ventil enthält. - Detaillierte Beschreibung von veranschaulichenden Ausführungsformen
- In den unten beschriebenen Ausführungsformen werden ein Verfahren und Instrument zur Verwendung bei der Steuerung eines Fluiddurchflusses offenbart. Das Instrument weist einen Einlaßmehrfachsensor und einen Auslaßmehrfachsensor auf, die jeweils sowohl den Druck als auch die Temperatur an beiden Enden einer Durchflußdrossel abtasten, die den Fluiddurchfluß befördert. Jeder Mehrfachsensor umfaßt sowohl einen Drucksensor als auch einen Temperatursensor, die eine gemeinsame Abtastfläche abtasten. Die Abtastfläche ist in das fließende Fluid eingetaucht, und die Temperatur, die abgetastet wird, ist sowohl die Temperatur des fließenden Fluids als auch die Temperatur des Drucksensors. Die abgetasteten Temperaturen können verwendet werden, um den Drucksensor mit einer Temperaturkorrektur zu versehen und außerdem eine Temperaturmessung bereitzustellen, die verwendet wird, um den Mengenfluß zu berechnen. Die Anzahl der Rohrleitungsverbindungen und elektrischen Verbindungen wird reduziert, indem Mehrfachsensoren verwendet werden und indem viele Funktionen in ein einzelnes Instrument gebracht werden, um die Installation zu vereinfachen.
- In den im folgenden dargestellten Ausführungsformen ist ein Instrument, das den Durchfluß von Reinfluiden (einem Gas oder einer Flüssigkeit) abtastet, genau, ohne auf einer Verminderung des Auslaßdrucks auf den atmosphärischen Druck angewiesen sein zu müssen (Eichung mit einem offenen Auslaß oder Abzug aus dem Instrument), erfordert es nicht, daß sich Gase auf oder nahe den Eichbedingungen befinden (derselbe Druck, dieselbe Temperatur oder Dichte wie die Eichbedingungen), und benötigt keine Umgehungsleitungsanordnung, wo der Durchfluß zwischen einem Hauptdurchfluß und einen abgetasteten Durchfluß in einem proportionalen Leitungszweig aufgespalten wird. In den unten dargestellten Anordnungen kann ein Instrument aufgebaut werden, in dem ein benetztes Material eines Mehrfachsensors zur Korrosionsbeständigkeit und Kompatibilität mit einer breiten Vielfalt von Reinfluiden aus Saphir besteht. In den unten dargestellten Anordnungen benötigt der Sensor kein Isolierungsfluid wie Silikonöl oder Fluorinert TM, und es gibt daher keine Gefahr, daß ein Isolierungsfluid das Reinprozeßfluid verunreinigt, selbst unter Störbedingungen, wo der Mehrfachsensor mechanisch beschädigt ist.
-
1 stellt eine erste Ausführungsform eines Fluiddurchflußinstruments100 dar, das bei der Messung oder Abtastung eines Fluiddurchflusses102 verwendet werden kann. Das Instrument100 weist einen Durchflußkörper104 auf, der einen Einlaß106 , einen Auslaß108 und eine Durchflußdrossel110 aufweist, die den Fluiddurchfluß102 vom Einlaß106 zum Auslaß108 koppelt. Die Durchflußdrossel110 ist vorzugsweise eine zylindrisch geformte Masse porösen Materials mit mehreren Poren, wie dargestellt. Der Einlaß106 und der Auslaß108 enthalten vorzugsweise zur bequemen Verbindung mit Fluidrohren Schraubanschlußstücke112 ,114 , wie Swagelok® VCO®-Anschlußstücke. Das Instrument100 kann in einer Fertigungsanlage verwendet werden, um präzise gemessene Ströme von sehr kleinen Mengen von Reinfluiden zu liefern, die in der Fertigung von Halbleitervorrichtungen verwendet werden. - Das Instrument
100 enthält einen ersten Mehrfachsensor120 mit einer ersten Abtastfläche122 im Einlaß106 . Die erste Abtastfläche122 tastet sowohl den Druck P1 als auch die Temperatur T1 des Fluiddurchflusses102 im Einlaß106 ab. Das Instrument100 enthält einen zweiten Mehrfachsensor124 mit einer zweiten Abtastfläche126 im Auslaß108 . Die zweite Abtastfläche126 tastet sowohl den Druck P2 als auch die Temperatur T2 des Fluiddurchflusses102 im Auslaß108 ab. - Die Durchflußdrossel
110 erzeugt im Fluiddurchfluß102 zwischen dem Einlaß106 und dem Auslaß108 einen Druckabfall, der auch als Druckdifferenz (P1-P2) bezeichnet wird. - Die ersten und zweiten Mehrfachsensoren
120 ,124 sind mit einer Schaltung130 im Instrument100 gekoppelt. Die Schaltung130 erzeugt vorzugsweise eine Fluiddurchflußausgabe auf der Leitung155 , die auf einer Differenz (P1-P2) zwischen dem im Einlaß106 abgetasteten Druck P1 und dem im Auslaß108 abgetasteten Druck P2 beruht. Die Fluiddurchflußausgabe auf der Lei tung155 umfaßt vorzugsweise als Funktion von mindestens einer der abgetasteten Temperaturen T1, T2 im Einlaß106 bzw. Auslaß108 eine Temperaturkorrektur, und die Fluiddurchflußausgabe repräsentiert vorzugsweise einen Mengenfluß. In einer bevorzugten Anordnung ist die Schaltung130 programmierbar, um für jede Anwendung eine gewünschte Funktion bereitzustellen. Es können Funktionsalgorithmen (aus Routinen, die in der Schaltung130 gespeichert sind) durch Befehle ausgewählt werden, die auf der Leitung155 empfangen werden, oder durch Herunterladen eines Anwendungsprogramms aus der Leitung155 zur Schaltung130 und Speichern des Anwendungsprogramms in einem nichtflüchtigen Speicher in der Schaltung130 . - Der Einlaß
106 ist abgedichtet und von der Schaltung130 durch die Mehrfachsensorträgerplatte132 getrennt. Ein erstes Loch134 geht durch die Mehrfachsensorträgerplatte132 . Der erste Mehrfachsensor120 weist einen mittleren Halsabschnitt136 , der das erste Loch134 füllt, und einen Ausgangsleitungsabschnitt138 außerhalb des Einlasses106 auf. Der mittlere Halsabschnitt136 ist vorzugsweise am ersten Loch134 abgedichtet. Diese Anordnung stellt eine Fluidisolierung bereit, so daß das fließende Fluid102 mit den mehreren Leitungen140 , die mit dem Leitungsabschnitt138 und der Schaltung130 verbunden sind, nicht in Kontakt kommt und sie nicht korrodiert. - Der Auslaß
108 ist abgedichtet und von der Schaltung130 durch die Mehrfachsensorträgerplatte132 getrennt. Ein zweites Loch144 geht durch die Mehrfachsensorträgerplatte132 . Der zweite Mehrfachsensor124 weist einen mittleren Halsabschnitt146 , der das zweite Loch144 füllt, und einen Ausgangsleitungsabschnitt148 außerhalb des Auslasses108 auf. Der mittlere Halsabschnitt146 ist vorzugsweise am ersten Loch144 abgedichtet. Diese Dichtungsanordnung stellt eine Fluidisolierung bereit, so daß das fließende Fluid102 mit den mehreren Leitungen150 , die mit dem Leitungsabschnitt148 und der Schaltung130 verbunden sind, nicht in Kontakt kommt und sie nicht korrodiert. - In einer weiteren bevorzugten Anordnung weisen die ersten und zweiten Mehrfachsensoren
120 ,124 jeweilige erste und zweite mittlere Sensorschäfte136 ,146 auf, die sich von den jeweiligen ersten und zweiten Abtastflächen122 ,126 zu jeweiligen ersten und zweiten elektrischen Verbindungsenden138 ,140 erstrecken. Die Mehrfachsensorträgerplatte132 weist erste und zweite Durchgangslöcher134 ,144 auf, die an den jeweiligen ersten und zweiten mittleren Sensorschäften136 ,146 abgedichtet sind und eine Fluidisolierung zwischen dem Fluid und den ersten und zweiten elektrischen Verbindungsenden bereitstellen. - Wie in
1 zu sehen ist, liefern die Mehrfachsensoren120 ,124 eine Messung von vier Fluideigenschaften, nämlich der Drücke P1, P2 und der Temperaturen T1, T2 mit nur zwei Sensordichtungen bei136 ,146 . Das Instrument100 verwendet nur eine Einlaßverbindung112 und eine Auslaßverbindung114 , um Messungen dieser vier Fluideigenschaften vorzunehmen. Die Verwendung der Mehrfachsensoren120 ,124 ermöglicht eine sehr kompakte „Grundfläche" für den Durchflußkörper104 im Instrument100 . In einer bevorzugten Anordnung weist der Durchflußkörper104 eine Verlegelänge „A" zwischen Einlaßanschlußstücken von nicht mehr als etwa 106 mm auf, und weist eine Breite quer zur Verlegelänge von nicht mehr als etwa 38 mm auf. Die gesamte „Grundfläche" des Durchflußinstruments (ohne Gewindeanschlußstücke) beträgt vorzugsweise etwa 38 × 106 mm. - In einer bevorzugten Anordnung erzeugt die Schaltung
130 außerdem als Funktion der Drücke P1, P2, die am Einlaß bzw. Auslaß abgetastet werden, Ausgaben AP1, AP2 des absoluten Drucks auf der Leitung155 . In einer anderen bevorzugten Anordnung erzeugt die Schaltung130 außerdem als eine Funktion von einer oder beiden Temperaturen T1, T2 eine Temperaturausgabe T auf der Leitung155 . Die Temperaturausgabe kann abhängig von den Anforderungen der Anwendung aus T1, T2, einem Durchschnitt von T1 und T2, einer Differenz zwischen T1 und T2 oder einem Verhältnis T1/T2 bestehen. Die Schaltung130 weist vorzugsweise eine Rechenschaltung152 auf, die die Ausgaben FLOW, T, AP1, AP2 berechnet und die Ausgaben an ein Modem154 liefert, das alle Ausgaben an eine einzelne serielle Busleitung155 in einem genormten Industrie-Kommunikationsprotokoll liefert, wie HART, PROFIBUS, FOUNDATION FIELDBUS, CONTROLLER AREA NETWORK (CAN) oder einem anderen genormten seriellen Kommunikationsprotokoll. In einer bevorzugten Anordnung weist die serielle Busleitung155 vorzugsweise eine industrielle genormte Zweidrahtschleife mit 4-20 mA auf, die die gesamte elektrische Stromversorgung oder Leistung für das Fluiddurchflußinstrument liefert und bidirektionale, serielle HART-Kommunikationssignale aufweist, die dem Schleifenstrom von 4-20 mA überlagert sind. In einer weiteren bevorzugten Anordnung ist die Schaltung130 so eingerichtet, daß sie eine eigensichere Schnittstelle zur Zweidrahtschleife mit 4-20 mA aufweist, und der Schaltungskomplex130 und seine Verbindungen zu den Mehrfachsensoren120 ,124 in einem explosionsgeschützten Gehäuse eingebaut sind. In einigen Anwendungen können auch mehrere analoge Ausgaben bereitgestellt werden. - In einer anderen bevorzugten Anordnung kann die Drossel
110 so bemessen sein, daß der Fluiddurchfluß102 durch die Drossel110 in einem Bereich einer Laminarströmung liegt. Diese Anordnung, die einen Laminarströmungsbereich verwendet, liefert eine lineare Beziehung zwischen dem Druckabfall (P1-P2) und dem Massendurchsatz des Fluiddurchflusses102 . Die Schwierigkeiten der Eichung und Verwendung von Durchflußmessern, die eine Quadratwurzelbeziehung zwischen dem Druckabfall und der Durchflußmenge liefern, können so vermieden werden. Die Durchflußdrossel110 weist vorzugsweise eine Masse porösen Materials wie Silizium oder Metall auf. Das besondere Material der Durchflußdrossel110 wird für eine Kompatibilität mit dem Fluid ausgewählt und weist mehrere Poren auf. - Es können abhängig davon, ob das Fluid eine Flüssigkeit oder ein Gas ist, und abhängig von der Rohrleitung und den elektrischen Schnittstellenanforderungen der Anwendung verschiedene Gestaltungen des Instruments
100 hergestellt werden. In einer bevorzugten Anordnung wird eine Geschwindigkeit des Fluids in der Masse porösen Materials110 so ausgewählt, daß sie in einem solchen Geschwindigkeitsbereich liegt, daß die Fluiddurchflußausgabe auf der Leitung155 eine Funktion des Einlaßdrucks und im wesentlichen unabhängig vom Auslaßdruck ist. In einer anderen bevorzugten Anordnung weist das Instrument100 die Mengenflußausgabe auf der Leitung155 auf, die im wesentlichen eine lineare Funktion des Einlaßdrucks ist. In noch einer anderen bevorzugten Anordnung ist der Fluiddurchfluß in der Masse porösen Materials110 eine Laminarströmung. Die Fluiddurchflußausgabe auf der Leitung155 kann eine Funktion einer Differenz zwischen dem Einlaßdruck P1 und dem Auslaßdruck P2 sein. - In einer bevorzugten Anordnung kann die Schaltung
155 programmiert werden, um eine einzelne oder mehrere Ausgaben auf der Leitung155 bereitzustellen, die aus der Gruppe der Druck-, Temperatur- und Fluiddurchflußvariablen ausgewählt werden. - Die Mehrfachsensoren
120 ,124 können zum Beispiel hergestellt werden, wie in den7 -10 des US-Patents 6,089,097 von Frick u.a. gezeigt wird, das hierdurch in seiner Gesamtheit als Verweisquelle aufgenommen ist. Ein weiteres Beispiel eines Mehrfachsensors wird unten in Verbindung mit2 beschrieben. -
2 stellt eine Ansicht mit aufgelösten Einzelteilen ei ner Ausführungsform eines Mehrfachsensors170 dar. Der Mehrfachsensor170 weist eine erste Schicht172 und eine zweite Schicht174 auf, die aus einem korrosionsbeständigen, elektrisch isolierenden Material wie synthetischen einkristallinen Aluminiumoxid (Saphir) oder Quarz besteht. In der Ansicht mit aufgelösten Einzelteilen in2 sind die Innenseiten der ersten Schicht172 und der zweiten Schicht174 dargestellt. Die Rück- (Außen)-Seiten der ersten und zweiten Schicht172 , die in2 dem Anblick verborgen sind, befinden sich außerhalb des montierten Mehrfachsensors170 und sind vorzugsweise eben und nichtssagend. - Der Mehrfachsensor
170 weist eine längliche Form auf, die sich von einem Abtastbereich176 über einen Halsabschnitt178 zu einem Leitungsendbereich180 erstreckt. Der Halsabschnitt178 , der auch als ein mittlerer Sensorschaft178 bezeichnet wird, ist vorzugsweise zum Löten an die Mehrfachsensorträgerplatte132 äußerlich metallisiert (wie zum Beispiel in3 gezeigt), wie unten in näheren Einzelheiten in Verbindung mit3 erläutert wird. Die (in2 nicht dargestellten) ebenen Rückseiten im Abtastbereich176 umfassen Abtastflächen, die einem Temperatursensor182 gegenüberliegen, und einen kapazitiven Drucksensor, der (auch als Elektroden bezeichnete) Metallkondensatorplatten184 ,186 aufweist. Ein Tafelberg oder erhabener Abschnitt190 (der graphisch durch ein gepunktetes Aussehen in2 gekennzeichnet wird) umgibt die Kondensatorplatte186 und den Temperatursensor192 . Die Kondensatorplatte186 und der Temperatursensor182 befinden sich in einem flachen Hohlraum192 , der durch den Tafelberg190 umgeben ist. Die Anordnung des Tafelbergs190 und des flachen Hohlraums192 stellen einen Abstand zwischen den Kondensatorplatten184 und186 bereit, wenn die beiden Schichten172 ,174 miteinander verbunden werden. - Der Temperatursensor
182 ist elektrisch durch Leitungen194 ,196 mit Leitungskontaktierungsflächen198 ,200 im Leitungsendbereich180 verbunden. Es gehen Leitungen194 ,196 durch den Halsabschnitt178 . - Die Kondensatorplatte
184 ist durch eine Leitung202 mit einem ersten Zwischenschichtkontakt204 elektrisch verbunden. Wenn die beiden Schichten172 ,174 miteinander verbunden werden, schafft der erste Zwischenschichtkontakt204 auf der Schicht172 einen elektrischen Kontakt mit einem zweiten Zwischenschichtkontakt206 auf der Schicht174 . Der zweite Zwischenschichtkontakt206 ist durch eine Leitung208 mit einer Leitungskontaktierungsfläche210 verbunden. Die Kondensatorplatte186 ist durch eine Leitung212 mit einer Leitungskontaktierungsfläche214 elektrisch verbunden. Die Leitungen202 ,212 gehen durch den Halsabschnitt178 . - Die beiden Schichten
172 ,174 werden vorzugsweise mittels einer direkten Verbindung zwischen polierten Saphiroberflächen des Tafelbergs190 und der Schicht172 miteinander verbunden. Eine direkte Verbindung wird bevorzugt, da kein Verbindungsmaterial benötigt wird, um die Schichten172 ,174 miteinander zu verbinden und die gesamte Außenfläche des Sensors170 im Abtastbereich176 aus Saphir besteht, das gegen eine Korrosion durch viele Fluide beständig ist, die in der Halbleiterfertigung verwendet werden. Die freiliegende Saphirabtastfläche kann im direkten Kontakt mit dem Fluid stehen, und es muß kein Isolatorfluid und keine Isolatormembran hinzugfügt werden. Nachdem die beiden Schichten172 ,174 miteinander verbunden sind, kann eine Fritte längs der Kante216 aufgetragen werden, um ein Vakuum im Hohlraum192 abzudichten, so daß der Mehrfachsensor den absoluten Druck (AP) abtastet. - Im Betrieb weist der Mehrfachsensor
170 Kondensatorplatten184 ,186 auf, die voneinander beabstandet sind, um eine Druck abtastkapazität zu bilden. Der Druck, der den Abtastbereich176 umgibt, lenkt die Schichten172 ,174 im Abtastbereich ab, um den Raum zwischen den Kondensatorplatten184 ,186 effektiv zu variieren und die Kapazität als Funktion des abgetasteten Drucks zu variieren. Der Abtastbereich176 ist im Fluid eingetaucht, und der Temperatursensor182 tastet die Temperatur sowohl des Fluids als auch des Drucksensors ab. In einer bevorzugten Anordnung tastet der Temperatursensor182 sowohl die Temperatur des Mehrfachsensors170 als auch die Temperatur des umgebenden Fluids ab und wird durch die Schaltung130 verwendet, um die Ausgabe des kapazitiven Drucksensors zu temperaturkorrigieren und außerdem die Mengenflußberechnung hinsichtlich der Temperatur zu korrigieren. - Die äußeren Abtastflächen des Mehrfachsensors
170 bestehen aus Saphir und stehen in direkten Kontakt mit dem Fluid. Die Schichten172 ,174 bilden einen Saphirmehrfachsensormantel, wobei ein kapazitiver Drucksensor und ein Temperatursensor im Saphirmehrfachsensormantel ausgebildet sind. Der Temperatursensor182 und der kapazitive Drucksensor befinden sich innerhalb des Mantels und sind vor dem Kontakt mit dem Fluid geschützt. Der Saphirmehrfachsensormantel fluidisoliert den Drucksensor und den Temperatursensor vom Fluid. - In einer bevorzugten Anordnung ist ein Mehrfachsensor
170 so bemessen, daß er eine obere Bereichsgrenze von 100 psi (ca. 6,89 bar) aufweist, um eine gute Kombination von Unempfindlichkeit und Genauigkeit für typische Reinflußbereiche in Halbleiterbearbeitungsanlagen bereitzustellen. -
3 stellt eine bevorzugte Anbringung eines Mehrfachsensors250 in einer Mehrfachsensorträgerplatte252 dar. Der Mehrfachsensor250 weist einen metallisierten Halsabschnitt254 auf, der aus einer lötbaren Oberfläche, vorzugsweise aus galvanisch abgeschiedenen Nickel besteht. Eine Entspannungsplatte256 , die vorzugsweise aus einem galvanogeformtem Metallblech besteht, ist durch eine kreisförmige Lötstelle258 an den Halsabschnitt254 gelötet. Die galvanogeformte Metallblechentspannungsplatte256 ist durch eine kreisförmige Schweißstelle260 an die Mehrfachsensorträgerplatte252 geschweißt. Die Anordnung stellt eine Fluiddichtung bereit, so daß das Druckfluid262 mit dem Druck P eine Abtastfläche264 erreichen kann, während die Leitungen266 hinter der Mehrfachsensorträgerplatte252 vom Fluid262 fluidisoliert sind. -
4 stellt eine zweite Ausführungsform eines Fluiddurchflußinstruments300 dar, das ein Ventil302 aufweist. Das Fluiddurchflußinstrument300 in vieler Hinsicht ähnlich zum Instrument100 , das in1 dargestellt wird, jedoch weist das Instrument300 ein elektrisch betätigtes Ventil302 und einen modifizierten Schaltungskomplex304 auf, der das Ventil302 steuert, um die Durchflußmenge als Funktion der Durchflußausgabe FLOW zu regeln. Der Schaltungskomplex304 stellt eine geschlossene Regelschleife bereit, die sich zur Gänze im Instrument300 befindet. In4 verwendete Bezugszahlen, die dieselben wie die in1 verwendeten Bezugszahlen sind, verweisen auf dieselben oder vergleichbare Merkmale. - Der Schaltungskomplex
304 empfängt einen Fluiddurchflußsollwert308 , der durch den Benutzer ausgewählt wird. Der Sollwert308 kann eine manuelle Einstellung oder eine elektrische Eingabe sein, die von einem Steuersystem empfangen wird, die die gewünschte Fluiddurchflußmenge für die Anwendung angibt. Der Schaltungskomplex304 weist eine Additionsstelle310 auf, die den Fluiddurchflußsollwert308 mit dem abgetasteten Fluiddurchfluß312 vergleicht und bei314 ein Differenzsignal liefert (das auch als ein Fehlersignal bezeichnet wird). Der Rechenschaltungskomplex152 steuert die Öffnung des Ventils302 als Funktion des Differenzsignals314 , um den Fluiddurchfluß des Fluids102 am Ventilauslaß316 zu regeln. - Das Ventil
302 ist mit dem Durchflußkörper gekoppelt, um Fluid vom Auslaß108 aufzunehmen. Der Schaltungskomplex304 dient als eine Steuerschaltung, die ein elektrisches Signal an das Ventil302 koppelt und den Fluiddurchfluß als Funktion der Durchflußausgabe und des Durchflußsollwerts308 steuert. Ein Algorithmus zur Steuerung der Öffnung des Ventils302 kann jede Kombination von Proportional-, Integral- und Differentialsteuerfunktionen sein, die für gewöhnlich als P-, PI-, PD-, PID-Regelung bezeichnet werden. - Die in
4 gezeigte Anordnung weist nur am Einlaß106 und Ventilauslaß316 zwei Schraubverbindungen zur Rohrleitung des Benutzers auf. Die in4 gezeigte Anordnung stellt vorzugsweise eine Abtastung des Fluiddurchflusses, eine Abtastung des Leitungsdrucks und des Auslaßdrucks, eine Abtastung der Fluidtemperatur und eine Ventilsteuerung des Durchflusses in einem einzelnen kompakten Gehäuse bereit. - In einer bevorzugten Anordnung befinden sich der Sollwert
308 (der eine Eingabe ist) und die Ausgaben T, AP1, AP2, FLOW alle auf einer einzelnen seriellen Busleitung in einem genormten Industrie-Kommunikationsprotokoll, wie HART, PROFIBUS, FOUNDATION FIELDBUS, CONTROLLER AREA NETWORK (CAN) oder einem anderen genormten seriellen Kommunikationsprotokoll. In einer bevorzugten Anordnung weist die serielle Busleitung vorzugsweise eine Zweidrahtschleife mit 4-20 mA auf, die die gesamte elektrische Stromversorgung oder Leistung für das Fluiddurchflußinstrument liefert und bidirektionale, serielle HART-Kommunikationssignale aufweist, die dem Schleifenstrom von 4-20 mA überlagert sind. In einer weiteren bevorzugten Anordnung ist die Schaltung304 so eingerichtet, daß sie eine eigensichere Schnittstelle zur Zweidrahtschleife mit 4-20 mA aufweist, und der Schaltungskomplex304 und seine Verbindungen zu den Mehr fachsensoren120 ,124 in einem explosionsgeschützten Gehäuse eingebaut sind. In einigen Anwendungen können mehrere analoge Ausgaben bereitgestellt werden. - Es ist zu verstehen, daß obwohl zahlreiche Eigenschaften und Vorteile verschiedener Ausführungsformen der Erfindung in der vorhergehenden Beschreibung zusammen mit Details der Struktur und Funktion verschiedener Ausführungsformen der Erfindung angegeben worden sind, diese Offenbarung nur veranschaulichend ist, und Änderungen im Detail, insbesondere hinsichtlich der Struktur und Anordnung von Teilen innerhalb der Prinzipien der vorliegenden Erfindung bis zum vollen Ausmaß vorgenommen werden können, das durch die breite allgemeine Bedeutung der Ausdrücke angegeben wird, in denen die beigefügten Ansprüche ausgedrückt werden. Zum Beispiel können die besonderen Elemente abhängig von der besonderen Anwendung für das Fluiddurchflußinstrument variieren, während im wesentlichen dieselbe Funktionalität aufrechterhalten wird, ohne den Rahmen und Geist der vorliegenden Erfindung zu verlassen. Die Lehren der vorliegenden Erfindung können auf andere Fluiddurchflußinstrumente angewendet werden, ohne den Rahmen und Geist der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
- Zusammenfassung
- Durchflussinstrument mit Mehrfachsensoren
- Ein Instrument (
100 ), das verwendet wird, um den Fluiddurchfluß zu steuern. Das Instrument weist eine Durchflußdrossel (110 ) zwischen einem Einlaß (106 ) und einem Auslaß (108 ) auf. Erste und zweite Mehrfachsensoren (120 ,124 ) weisen Abtastflächen (122 ,126 ) im Einlaß und Auslaß auf, die Drücke und Temperaturen des Fluiddurchflusses abtasten. Eine Schaltung (130 ) erzeugt eine Mengenflußausgabe (155 ), die auf einer Differenz zwischen dem Druck im Einlaß und dem Druck im Auslaß beruht. Die Mengenflußausgabe umfaßt eine Temperaturkorrektur als Funktion von mindestens einer der abgetasteten Temperaturen im Einlaß und Auslaß.
Claims (30)
- Instrument zur Verwendung bei der Abtastung eines Fluiddurchflusses, das aufweist: einen Durchflußkörper, der einen Einlaß, einen Auslaß und eine Durchflußdrossel aufweist, die den Fluiddurchfluß vom Einlaß an den Auslaß koppelt; einen ersten Mehrfachsensor, der eine erste Abtastfläche im Einlaß aufweist, die einen Einlaßdruck und die Temperatur des Fluids abtastet; einen zweiten Mehrfachsensor, der eine zweite Abtastfläche im Auslaß aufweist, die einen Auslaßdruck und die Temperatur des Fluids abtastet; und eine Schaltung, die an den ersten und den zweiten Mehrfachsensor gekoppelt ist, wobei die Schaltung eine Fluiddurchflußausgabe erzeugt, die auf Ausgaben des ersten und zweiten Mehrfachsensors beruht, wobei die Fluiddurchflußausgabe eine Temperaturkorrektur als eine Funktion von mindestens einer der abgetasteten Temperaturen im Einlaß und im Auslaß aufweist.
- Instrument nach Anspruch 1, wobei die Durchflußdrossel eine Masse porösen Materials aufweist, die das Fluid vom Einlaß an den Auslaß koppelt.
- Instrument nach Anspruch 2, wobei eine Geschwindigkeit des Fluids in der Masse porösen Materials in einem Geschwindigkeitsbereich liegt, so daß die Fluiddurchflußausgabe eine Funktion des Einlaßdrucks und im wesentlichen unabhängig vom Auslaßdruck ist.
- Instrument nach Anspruch 3, wobei die Fluiddurchflußausgabe im wesentlichen eine lineare Funktion des Einlaßdrucks ist.
- Instrument nach Anspruch 3, wobei der Fluiddurchfluß in der Masse porösen Materials eine Laminarströmung ist.
- Instrument nach Anspruch 1, wobei die Fluiddurchflußausgabe eine Funktion des Einlaßdrucks und des Auslaßdrucks ist.
- Instrument nach Anspruch 6, wobei die Fluiddurchflußausgabe eine Funktion einer Differenz zwischen dem Einlaßdruck und dem Auslaßdruck ist.
- Instrument nach Anspruch 1, wobei die Schaltung mehrere Ausgaben erzeugt, die aus der Gruppe von Druck-, Temperatur- und Durchflußvariablen ausgewählt sind.
- Instrument nach Anspruch 1, wobei die Schaltung eine Temperaturausgabe erzeugt.
- Instrument nach Anspruch 1, wobei die ersten und zweiten Mehrfachsensoren jeweilige erste und zweite mittlere Sensorschäfte aufweisen, die sich von der jeweiligen ersten und zweiten Abtastfläche zu jeweiligen ersten und zweiten elektrischen Verbindungsenden erstrecken, wobei das Instrument ferner eine Mehrfachsensorträgerplatte aufweist, die erste und zweite Durchgangslöcher aufweist, die an den jeweiligen ersten und zweiten mittleren Sensorschäften abgedichtet sind, wobei eine Isolierung zwischen dem Fluid und den ersten und zweiten elektrischen Verbindungsenden bereitgestellt wird.
- Instrument nach Anspruch 1, wobei die erste Abtastfläche Saphir aufweist.
- Instrument nach Anspruch 11, wobei die zweite Abtastfläche Saphir aufweist.
- Instrument nach Anspruch 1, wobei die ersten und zweiten Abtastflächen in direktem Kontakt mit dem Fluiddurchfluß stehen.
- Instrument nach Anspruch 1, wobei der erste und zweite Mehrfachsensor jeweils einen SaphirMehrfachsensormantel aufweist, wobei ein Drucksensor und ein Temperatursensor in jedem SaphirMehrfachsensormantel ausgebildet sind.
- Instrument nach Anspruch 14, wobei der SaphirMehrfachsensormantel den Drucksensor und den Temperatursensor vom Fluid fluidisoliert.
- Instrument nach Anspruch 14, wobei der Temperatursensor sowohl die Temperatur des Fluids als auch die Temperatur des Drucksensors abtastet.
- Instrument nach Anspruch 1, wobei die ersten und zweiten Mehrfachsensoren absolute Drücke abtasten.
- Instrument nach Anspruch 1, wobei die Durchflußdrossel poröses Metall mit mehreren Poren aufweist.
- Instrument nach Anspruch 17, wobei die Röhre poröses Sili zium mit mehreren Poren aufweist.
- Instrument nach Anspruch 1, das ferner aufweist: ein Ventil, das mit dem Durchflußkörper gekoppelt ist; und eine Steuerschaltung, die mit dem Ventil gekoppelt ist und den Fluiddurchfluß als eine Funktion des Auslaßfluiddurchflusses und eines Durchflußsollwerts steuert.
- Instrument nach Anspruch 20, wobei die Steuerschaltung das Ventil mit einem Proportional-Steueralgorithmus steuert.
- Instrument nach Anspruch 20, wobei die Steuerschaltung das Ventil mit einem Proportional-Integral-Steueralgorithmus steuert.
- Instrument nach Anspruch 20, wobei die Steuerschaltung das Ventil mit einem Proportional-Integral-Differential-Steueralgorithmus steuert.
- Instrument nach Anspruch 20, wobei die Steuerschaltung das Ventil mit einem Proportional-Differential-Steueralgorithmus steuert.
- Instrument nach Anspruch 20, wobei der Durchflußkörper eine Verlegelänge zwischen Einlaßanschlußstücken von nicht mehr als etwa 106 mm aufweist.
- Instrument nach Anspruch 25, wobei der Durchflußkörper eine Breite quer zur Verlegelänge von nicht mehr als etwa 28 mm aufweist.
- Verfahren zum Steuern des Fluiddurchflusses durch ein Instrument, das aufweist: Koppeln des Fluiddurchflusses von einem Einlaß an einem Auslaß durch eine Durchflußdrossel; Abtasten eines Einlaßdrucks und der Temperatur des Fluids mit einem ersten Mehrfachsensor, der eine erste Abtastfläche im Einlaß aufweist; Abtasten eines Auslaßdrucks und der Temperatur des Fluids mit einem zweiten Mehrfachsensor, der eine zweite Abtastfläche im Auslaß aufweist; Koppeln der ersten und zweiten Mehrfachsensoren mit einer Schaltung, die eine Fluiddurchflußausgabe erzeugt; und Erzeugen der Fluiddurchflußausgabe beruhend auf dem Druck, der aus der Gruppe des Einlaßdrucks und des Auslaßdrucks ausgewählt wird, wobei die Fluiddurchflußausgabe eine Temperaturkorrektur als Funktion von mindestens einer der abgetasteten Temperaturen im Einlaß und Auslaß aufweist.
- Verfahren nach Anspruch 27, das ferner das Bilden der Durchflußdrossel aus einer Masse porösen Materials aufweist.
- Verfahren nach Anspruch 28, das ferner das Auswählen einer Masse porösen Materials mit einer Porengröße aufweist, die so gestaltet ist, daß eine Geschwindigkeit des Fluids in der Masse porösen Materials in einem Geschwindigkeitsbereich liegt, so daß die Fluiddurchflußausgabe eine Funktion des Einlaßdrucks und im wesentlichen unabhängig vom Auslaßdruck ist.
- Verfahren nach Anspruch 29, wobei die Fluiddurchflußausgabe im wesentlichen eine lineare Funktion des Einlaßdrucks ist.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/387,088 US6843139B2 (en) | 2003-03-12 | 2003-03-12 | Flow instrument with multisensors |
US10/387,088 | 2003-03-12 | ||
PCT/US2004/007321 WO2004081500A2 (en) | 2003-03-12 | 2004-03-11 | Flowmeter with multisensors |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE112004000430T5 true DE112004000430T5 (de) | 2006-03-09 |
Family
ID=32961819
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE112004000430T Ceased DE112004000430T5 (de) | 2003-03-12 | 2004-03-11 | Durchflußinstrument mit Mehrfachsensoren |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6843139B2 (de) |
JP (1) | JP2006519997A (de) |
CN (1) | CN100363717C (de) |
DE (1) | DE112004000430T5 (de) |
RU (1) | RU2323416C2 (de) |
WO (1) | WO2004081500A2 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007014898A1 (de) * | 2007-03-26 | 2008-10-02 | Vega Grieshaber Kg | Messzellenanordnung, insbesondere Druckmesszellenanordnung |
DE102013010170A1 (de) * | 2013-06-19 | 2014-12-24 | Krohne Messtechnik Gmbh | Messgerät |
Families Citing this family (66)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7096738B2 (en) * | 2004-03-18 | 2006-08-29 | Rosemount Inc. | In-line annular seal-based pressure device |
CN100523742C (zh) * | 2004-03-25 | 2009-08-05 | 罗斯蒙德公司 | 用于测量管道内的过程流体的特性的*** |
US20050267413A1 (en) * | 2004-05-26 | 2005-12-01 | Wang Jong H | Flow monitoring devices and methods of use |
US7255012B2 (en) * | 2004-12-01 | 2007-08-14 | Rosemount Inc. | Process fluid flow device with variable orifice |
US7201066B1 (en) * | 2005-03-30 | 2007-04-10 | The Board Of Regents For Oklahoma State University | System for automatic tire inflation |
US20090250116A1 (en) * | 2006-07-10 | 2009-10-08 | Hong Sa-Mun | Flow rate controlling apparatus |
KR101268524B1 (ko) * | 2006-07-10 | 2013-05-28 | 삼성전자주식회사 | 유량제어장치 |
US7726186B2 (en) * | 2006-07-19 | 2010-06-01 | Degree Controls, Inc. | Airflow sensor for filter blockage detection |
US7896045B2 (en) * | 2006-11-13 | 2011-03-01 | The Board Of Regents For Oklahoma State University | Apparatus for delivering air through powered axle assemblies |
DE102007030700A1 (de) | 2007-06-30 | 2009-05-07 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Meßsystem für ein in einer Prozeßleitung strömendes Medium |
DE102007030699A1 (de) | 2007-06-30 | 2009-01-15 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Meßsystem für ein in einer Prozeßleitung strömendes Medium |
DE102007030690A1 (de) | 2007-06-30 | 2009-05-07 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Meßsystem für ein in einer Prozeßleitung strömendes Medium |
DE102007030691A1 (de) | 2007-06-30 | 2009-01-02 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Meßsystem für ein in einer Prozeßleitung strömendes Medium |
US8234298B2 (en) * | 2007-07-25 | 2012-07-31 | International Business Machines Corporation | System and method for determining driving factor in a data cube |
US7826991B2 (en) * | 2007-07-25 | 2010-11-02 | Rosemount Inc. | Temperature-averaging field device compensation |
US8215157B2 (en) * | 2007-10-04 | 2012-07-10 | Baxter International Inc. | System and method for measuring liquid viscosity in a fluid delivery system |
US20090093774A1 (en) * | 2007-10-04 | 2009-04-09 | Baxter International Inc. | Ambulatory pump with intelligent flow control |
CN101430216B (zh) * | 2007-11-05 | 2015-11-25 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 质量流量传感器及控制***及其实现质量流量控制的方法 |
US8504318B2 (en) * | 2008-03-05 | 2013-08-06 | Brooks Instruments, Llc | System, method and computer program for determining fluid flow rate using a pressure sensor and a thermal mass flow sensor |
CN102047089B (zh) * | 2008-05-27 | 2013-05-01 | 罗斯蒙德公司 | 多变量压力变送器的改进温度补偿 |
US8042401B2 (en) * | 2008-06-12 | 2011-10-25 | Rosemount, Inc. | Isolation system for process pressure measurement |
US7826986B2 (en) * | 2008-09-26 | 2010-11-02 | Advanced Energy Industries, Inc. | Method and system for operating a mass flow controller |
WO2010062583A1 (en) * | 2008-10-27 | 2010-06-03 | Rosemount, Inc. | Multivariable fluid flow measurement device with fast response flow calculation |
JP5220642B2 (ja) * | 2009-02-05 | 2013-06-26 | サーパス工業株式会社 | 差圧式流量計および流量コントローラ |
DE102009040542A1 (de) * | 2009-09-08 | 2011-03-10 | Bürkert Werke GmbH | Vorrichtung und Verfahren zum Durchflussmessen oder -regeln |
US8397586B2 (en) * | 2010-03-22 | 2013-03-19 | Honeywell International Inc. | Flow sensor assembly with porous insert |
US8656772B2 (en) | 2010-03-22 | 2014-02-25 | Honeywell International Inc. | Flow sensor with pressure output signal |
US8113046B2 (en) | 2010-03-22 | 2012-02-14 | Honeywell International Inc. | Sensor assembly with hydrophobic filter |
US8756990B2 (en) | 2010-04-09 | 2014-06-24 | Honeywell International Inc. | Molded flow restrictor |
US9003877B2 (en) | 2010-06-15 | 2015-04-14 | Honeywell International Inc. | Flow sensor assembly |
US8418549B2 (en) | 2011-01-31 | 2013-04-16 | Honeywell International Inc. | Flow sensor assembly with integral bypass channel |
US8695417B2 (en) | 2011-01-31 | 2014-04-15 | Honeywell International Inc. | Flow sensor with enhanced flow range capability |
JP2012208061A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Azbil Corp | フローセンサ |
KR101269541B1 (ko) * | 2011-05-30 | 2013-06-04 | 한국수력원자력 주식회사 | 배관 내 유체 흐름 감시 장치 및 방법 |
US8578783B2 (en) * | 2011-09-26 | 2013-11-12 | Rosemount Inc. | Process fluid pressure transmitter with separated sensor and sensor electronics |
IN2014MN01663A (de) | 2012-03-06 | 2015-05-29 | Rosemount Inc | |
US9052217B2 (en) | 2012-11-09 | 2015-06-09 | Honeywell International Inc. | Variable scale sensor |
KR101775257B1 (ko) * | 2013-03-08 | 2017-09-05 | 가부시키가이샤 후지킨 | 유체 제어 장치 및 유체 제어 장치에의 서멀 센서 설치 구조 |
US10114387B2 (en) | 2013-03-12 | 2018-10-30 | Illinois Tool Works Inc. | Mass flow controller with near field communication and/or USB interface to receive power from external device |
US9962514B2 (en) | 2013-06-28 | 2018-05-08 | Vyaire Medical Capital Llc | Ventilator flow valve |
US9442031B2 (en) | 2013-06-28 | 2016-09-13 | Rosemount Inc. | High integrity process fluid pressure probe |
US9707369B2 (en) * | 2013-06-28 | 2017-07-18 | Vyaire Medical Capital Llc | Modular flow cassette |
US9746359B2 (en) * | 2013-06-28 | 2017-08-29 | Vyaire Medical Capital Llc | Flow sensor |
US9795757B2 (en) | 2013-06-28 | 2017-10-24 | Vyaire Medical Capital Llc | Fluid inlet adapter |
US9541098B2 (en) | 2013-06-28 | 2017-01-10 | Vyaire Medical Capital Llc | Low-noise blower |
US9433743B2 (en) | 2013-06-28 | 2016-09-06 | Carefusion 303, Inc. | Ventilator exhalation flow valve |
MX2015017335A (es) * | 2013-06-28 | 2016-04-06 | Carefusion 303 Inc | Sistema ventilador. |
US10444771B2 (en) | 2013-07-12 | 2019-10-15 | John C. Karamanos | Fluid control measuring device |
JP6425723B2 (ja) * | 2013-07-19 | 2018-11-21 | ローズマウント インコーポレイテッド | 2ピース式の隔離プラグのある隔離部品を有する圧力伝送器 |
US9459170B2 (en) | 2013-09-26 | 2016-10-04 | Rosemount Inc. | Process fluid pressure sensing assembly for pressure transmitters subjected to high working pressure |
US9234776B2 (en) | 2013-09-26 | 2016-01-12 | Rosemount Inc. | Multivariable process fluid transmitter for high pressure applications |
DE102014112558A1 (de) * | 2014-09-01 | 2016-03-03 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Sensorbaugruppe für einen Sensor, Sensor sowie damit gebildetes Meßsystem |
US9638600B2 (en) | 2014-09-30 | 2017-05-02 | Rosemount Inc. | Electrical interconnect for pressure sensor in a process variable transmitter |
JP6659692B2 (ja) * | 2014-12-04 | 2020-03-04 | イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド | ワイヤレス流量制限器 |
US9952079B2 (en) | 2015-07-15 | 2018-04-24 | Honeywell International Inc. | Flow sensor |
WO2017188129A1 (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 株式会社フジキン | 流体制御装置、流体制御装置の制御方法、および、流体制御システム |
CN106404060B (zh) * | 2016-08-31 | 2019-01-15 | 贵州永红航空机械有限责任公司 | 一种流体温度和压力的通用测试装置 |
DE102016122714A1 (de) * | 2016-11-24 | 2018-05-24 | Endress + Hauser Wetzer Gmbh + Co Kg | Kommunikations-Adapter für einen Transmitter eines Feldgeräts |
DE102017111301A1 (de) * | 2017-05-23 | 2018-11-29 | B. Braun Melsungen Ag | Sensorsystem |
CN107422754B (zh) * | 2017-09-01 | 2023-11-14 | 中国人民解放军军事科学院军事医学研究院 | 一种微量气体流速控制装置及控制方法 |
US10948370B2 (en) * | 2018-04-10 | 2021-03-16 | The Boeing Company | Haptic pin field sensor and manipulator |
EP3853563A1 (de) | 2018-09-18 | 2021-07-28 | Swagelok Company | Fluidüberwachungsmodulanordnungen |
WO2020061127A1 (en) | 2018-09-19 | 2020-03-26 | Swagelok Company | Flow restricting fluid component |
KR20210109643A (ko) * | 2019-01-25 | 2021-09-06 | 램 리써치 코포레이션 | 차압 기반 유량계들 (differential-pressure-based flow meters) |
US20210396560A1 (en) * | 2020-06-17 | 2021-12-23 | Rosemount Inc | Subsea multivariable transmitter |
CN116222668A (zh) * | 2020-08-18 | 2023-06-06 | 成都一通密封股份有限公司 | 一种压力传感校正器及其压力传感校正*** |
Family Cites Families (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3792609A (en) | 1971-05-10 | 1974-02-19 | Tylan Corp | Flow splitter |
JPS6014121A (ja) * | 1983-07-05 | 1985-01-24 | Esutetsuku:Kk | 層流素子 |
JPS62226016A (ja) * | 1986-03-28 | 1987-10-05 | Toshiba Corp | 差圧式流量測定装置 |
JPH0170120U (de) * | 1987-10-27 | 1989-05-10 | ||
JP2871727B2 (ja) * | 1989-06-21 | 1999-03-17 | 東芝エンジニアリング株式会社 | 空気流量制御装置 |
JPH041526A (ja) * | 1990-04-18 | 1992-01-07 | Tokyo Gas Co Ltd | 紋り流量計に於ける温度検出機構 |
JP3182807B2 (ja) | 1991-09-20 | 2001-07-03 | 株式会社日立製作所 | 多機能流体計測伝送装置及びそれを用いた流体量計測制御システム |
JPH05107090A (ja) * | 1991-10-21 | 1993-04-27 | Nissan Motor Co Ltd | 差圧流量計 |
US5332005A (en) | 1992-11-06 | 1994-07-26 | Aalborg Instruments & Controls, Inc. | Laminar flow element and method for metering fluid flow |
JP3377574B2 (ja) | 1993-11-05 | 2003-02-17 | 株式会社技術開発総合研究所 | 差圧検出センサ |
JPH0863235A (ja) * | 1994-08-24 | 1996-03-08 | Burutsukusu Instr Kk | 差圧式質量流量コントロール装置 |
US5637802A (en) * | 1995-02-28 | 1997-06-10 | Rosemount Inc. | Capacitive pressure sensor for a pressure transmitted where electric field emanates substantially from back sides of plates |
EP0839316B1 (de) | 1995-07-17 | 2010-10-27 | Rosemount Inc. | Ein strömungssignal durch einen druckdifferenzsensor anzeigender geber unter verwendung eines vereinfachten prozesses |
US5672832A (en) * | 1996-02-15 | 1997-09-30 | Nt International, Inc. | Chemically inert flow meter within caustic fluids having non-contaminating body |
US6907383B2 (en) * | 1996-03-28 | 2005-06-14 | Rosemount Inc. | Flow diagnostic system |
JPH10300544A (ja) * | 1997-04-24 | 1998-11-13 | Hitachi Ltd | 空気流量測定方法及び装置 |
DE69714747T2 (de) | 1997-12-30 | 2003-04-30 | Qualiflow S A | Verfahren zu Herstellung von einem Sensor für einen thermischen Massendurchflussmesser |
US6152162A (en) | 1998-10-08 | 2000-11-28 | Mott Metallurgical Corporation | Fluid flow controlling |
AU1939900A (en) * | 1998-12-15 | 2000-07-03 | Daniel Industries, Inc. | Internet enabled network flow computer system |
US6119730A (en) | 1998-12-21 | 2000-09-19 | Mcmillan Company | Precision laminar flow element for use in thermal mass flow sensors and flow controllers |
US6143080A (en) | 1999-02-02 | 2000-11-07 | Silicon Valley Group Thermal Systems Llc | Wafer processing reactor having a gas flow control system and method |
JP2000315115A (ja) * | 1999-03-02 | 2000-11-14 | Stec Inc | 流量制御方法、流量制御装置および記録媒体 |
US6138990A (en) | 1999-03-25 | 2000-10-31 | Dxl Usa Inc. | Flow control valve assembly for mass flow controller |
US6363958B1 (en) | 1999-05-10 | 2002-04-02 | Parker-Hannifin Corporation | Flow control of process gas in semiconductor manufacturing |
US6119710A (en) | 1999-05-26 | 2000-09-19 | Cyber Instrument Technologies Llc | Method for wide range gas flow system with real time flow measurement and correction |
US6445980B1 (en) * | 1999-07-10 | 2002-09-03 | Mykrolis Corporation | System and method for a variable gain proportional-integral (PI) controller |
US6352001B1 (en) | 1999-08-30 | 2002-03-05 | General Electric Company | Non-iterative method for obtaining mass flow rate |
US6311568B1 (en) | 1999-09-13 | 2001-11-06 | Rosemount, Inc. | Process flow device with improved pressure measurement feature |
JP2001141532A (ja) | 1999-11-15 | 2001-05-25 | Smc Corp | 絞り構造体及び絞り構造体を組み込む流量計 |
JP2001201414A (ja) * | 2000-01-20 | 2001-07-27 | Smc Corp | 複合センサ及び複合センサを備えたフローコントローラ |
US6655207B1 (en) * | 2000-02-16 | 2003-12-02 | Honeywell International Inc. | Flow rate module and integrated flow restrictor |
JP2002054959A (ja) * | 2000-08-10 | 2002-02-20 | Kazumasa Onishi | 差圧式流量計 |
AU2001286619A1 (en) | 2000-08-22 | 2002-03-04 | Fugasity Corporation | Fluid mass flow meter with substantial measurement range |
US6609431B1 (en) * | 2000-09-29 | 2003-08-26 | Xellogy, Inc. | Flow measuring device based on predetermine class of liquid |
US6333272B1 (en) | 2000-10-06 | 2001-12-25 | Lam Research Corporation | Gas distribution apparatus for semiconductor processing |
AU2002307547A1 (en) * | 2001-04-24 | 2002-11-05 | Unit Instruments, Inc. | System and method for configuring and asapting a mass flow controller |
US6592253B2 (en) * | 2001-10-09 | 2003-07-15 | Northrop Grumman Corporation | Precision temperature probe having fast response |
US6708568B2 (en) * | 2001-11-21 | 2004-03-23 | General Electric Company | Combustion chamber dynamic pressure transducer tee probe holder and related method |
US6742394B1 (en) * | 2003-01-13 | 2004-06-01 | Power Systems Mfg, Llc | Gas turbine combustor hybrid dynamic-static probe |
-
2003
- 2003-03-12 US US10/387,088 patent/US6843139B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-03-11 CN CNB2004800049351A patent/CN100363717C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2004-03-11 RU RU2005131574/28A patent/RU2323416C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2004-03-11 WO PCT/US2004/007321 patent/WO2004081500A2/en active Application Filing
- 2004-03-11 JP JP2006507043A patent/JP2006519997A/ja active Pending
- 2004-03-11 DE DE112004000430T patent/DE112004000430T5/de not_active Ceased
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007014898A1 (de) * | 2007-03-26 | 2008-10-02 | Vega Grieshaber Kg | Messzellenanordnung, insbesondere Druckmesszellenanordnung |
US7934426B2 (en) | 2007-03-26 | 2011-05-03 | Vega Grieshaber Kg | Measurement cell system, in particular pressure measurement cell system |
DE102013010170A1 (de) * | 2013-06-19 | 2014-12-24 | Krohne Messtechnik Gmbh | Messgerät |
DE102013010170B4 (de) * | 2013-06-19 | 2015-01-08 | Krohne Messtechnik Gmbh | Messgerät |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6843139B2 (en) | 2005-01-18 |
US20040177703A1 (en) | 2004-09-16 |
CN100363717C (zh) | 2008-01-23 |
RU2323416C2 (ru) | 2008-04-27 |
CN1777790A (zh) | 2006-05-24 |
JP2006519997A (ja) | 2006-08-31 |
WO2004081500A3 (en) | 2004-11-04 |
WO2004081500A2 (en) | 2004-09-23 |
RU2005131574A (ru) | 2006-02-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE112004000430T5 (de) | Durchflußinstrument mit Mehrfachsensoren | |
DE60024490T2 (de) | Saphir drucksensor stab mit gold germanium isolationshartlotverbindung | |
DE60023688T2 (de) | Prozessdruckmessung mit verbesserter fehlerkompensation | |
DE102007029356B4 (de) | Differenzialdrucksensor mit symmetrisch vorgesehenen Sensorchips und Druckeinleitungskanälen | |
DE60019126T2 (de) | Druckwandler zum messen von differenzdruck, absolutdruck und/oder manometerdruck | |
DE112004002274B4 (de) | Integrierter Absolut- und Differenzdruck-Umsetzer | |
DE60108217T2 (de) | Kornwachstumsverfahren zur herstellung einer elektrischen verbindung für mikroelektromechanische systeme (mems) | |
DE10100321B4 (de) | Kapazitive Druckmessung mit beweglichem Dielektrikum | |
EP1618362B1 (de) | Druckaufnehmer mit temperaturkompensation | |
DE60018611T2 (de) | Verfahren und vorrichtung für einen direkt gebondeten isolierten drucksensor | |
DE69212129T2 (de) | Massenströmungsmesser mit einschnürendem Element | |
EP1941244B1 (de) | Strömungssensorelement und dessen selbstreinigung | |
DE19836547C2 (de) | Bidirektionale Erfassungsvorrichtung für eine Luftströmung | |
DE10392622T5 (de) | Barometrischer Drucksensor | |
DE112005001931B4 (de) | Automatische Lagen-Korrektur für thermische Sensoren von Massenstrom-Messeinrichtungen und Steuerungen | |
US3523245A (en) | Fluid monitoring capacitance probe having the electric circuitry mounted within the probe | |
DE10146321B4 (de) | Sensorbaustein mit einem Sensorelement, das von einem Heizelement umgeben ist | |
WO2019048202A1 (de) | Gassensor zum messen einer konzentration eines analysegases | |
DE4310324A1 (de) | Struktur eines Mikro-Pirani Sensors und dessen Temperaturkompensationsverfahren | |
WO2014102035A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur vakuumdruckmessung mit einer messzellenanordnung | |
DE112005002770T5 (de) | Thermischer Massenströmungsraten-Sensor mit festem Nebenschluss-Verhältnis | |
EP0464244B1 (de) | Sensor zur Erfassung reduzierender Gase | |
EP1097361B1 (de) | Druckmesszelle, druckmessvorrichtung sowie verfahren zur überwachung des druckes in einer kammer | |
DE10392824B4 (de) | Preiswerter kapazitiver in sich geschlossener Druckgeber | |
EP0464243A1 (de) | Sauerstoffsensor mit halbleitendem Galliumoxid |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R002 | Refusal decision in examination/registration proceedings | ||
R003 | Refusal decision now final |