DE1061485B - High vacuum melting plant with a vertical base wall and a vacuum bell that is detachable and vacuum-tight on the side of this wall - Google Patents

Description

Vorliegende Erfindung bezieht sich auf Hochvakuum-Schmelzanlagen mit einer vertikalen Grundwand, die als Trägerin einer aus ihr horizontal ausladenden Arbeitsbühne ausgebildet ist, die einschließlich der auf ihr angeordneten Betriebseinrichtungen durch eine auf die Wand zu und von ihr weg verfahrbahre .Vakuumglocke, zu deren Abschluß die Wand bei Herstellung des Vakuums dient, gegen den umgebenden Raum abschließbar ist.The present invention relates to high vacuum melting plants with a vertical base wall, which is designed as a carrier of a horizontally projecting work platform from her, including the operating equipment arranged on it by a traversable towards the wall and away from it .Vacuum bell, to the conclusion of which the wall is used when creating the vacuum, against the surrounding Room is lockable.

Derartiger Anordnungen hat man sich bei Vakuumbedampfungsanlagen bereits bedient, um den den zu verdampfenden Stoff enthaltenden Behälter, der durchweg in Form eines langgestreckten Gefäßes mit rechteckigem Grundriß, also schiffchenartig, ausgebildet wird, unter dem zu bedampfenden Gegenstand während des Aufdampfens verfahren zu können, so daß sich gleichmäßige Schichtdicken ergeben.Such arrangements have already been used in vacuum evaporation systems to the Vaporizing substance-containing container, which is consistently in the form of an elongated vessel with a rectangular Ground plan, so boat-like, is formed under the object to be steamed during to be able to proceed the vapor deposition, so that uniform layer thicknesses result.

Im Gegensatz zu derartigen Kleinanlagen ist jedoch die Entwicklung der zum Niederschmelzen im Hochvakuum dienenden Großanlagen abweichend verlaufend. Ursprünglich ordnete man in dem größeren Unterteil zweiteiliger Rezipienten die Behandlungseinrichtungen an, während der Oberteil als Klappdeckel ausgeführt wurde. Bestanden die Behandlungseinrichtungen beispielsweise aus einem Schmelztiegel, so wurde dieser im Unterteil verschwenkbar aufgehängt, und die als Hohlachse ausgeführte Verschwenkungseinrichtung, kurz »Drehdurchführung« genannt, enthielt den Vakuumanschluß, außerdem die Energiezuführung in Form von Stromkabeln für die Induktions- bzw. Hochfrequenzbeheizung des Schmelztiegels, weiterhin die Kühlmittel- und Meßgeräteleitungen. In einer späteren Entwicklungsstufe ordnete man die Behandlungseinrichtungen auf Arbeitsbühnen an, auf die die Vakuumglocke aufsetzbar war. Sie mußte also heb- und senkbar eingerichtet sein, um die Arbeitsbühne freilegen bzw. von der Atmosphäre abschließen zu können. Es ist auch schon vorgeschlagen worden, den Hochvakuumpumpstand im Mittel eines Kreises anzuordnen, auf dem die Arbeitsbühnen verteilt angeordnet sind, so daß die heb- und senkbare sowie im Kreise verschwenkbare Vakuumglocke auf die einzelnen Arbeitsbühnen nacheinander aufsetzbar ist. Bei reihenweiser Anordnung der Arbeitsbühnen sind dagegen Pumpstand und Vakuumglocke verfahrbar, um die einzelnen Arbeitsbühnen bedienen zu können. Schließlich sind auch schon Mehrfluranordnungen vorgeschlagen worden, so daß die Möglichkeit gegeben war, den Pumpstand unterhalb einer Reihe von Arbeitsbühnen zu verfahren und jeweils an die Arbeitsbühne anzuschließen, auf die gerade eine Vakuumglocke zur Durchführung des Evakuierungsvorganges aufgesetzt ist.In contrast to such small systems, however, the development of the large-scale systems used for melting down in a high vacuum varies. Originally, the treatment facilities were arranged in the larger lower part of two-part recipients while the upper part was designed as a hinged lid. For example, if the treatment facilities consisted of a melting pot, this was suspended in the lower part so that it could pivot, and the pivoting device designed as a hollow axle, Briefly called "rotary feedthrough", contained the vacuum connection as well as the energy supply in the form of power cables for induction or high-frequency heating of the crucible, furthermore the coolant and meter lines. In a later stage of development they were sorted the treatment facilities on work platforms on which the vacuum bell could be placed. She had to thus be able to be raised and lowered in order to expose the working platform or to close it off from the atmosphere to be able to. It has also been proposed to use the high vacuum pumping station as a mean To arrange a circle on which the working platforms are distributed, so that the liftable and lowerable and a vacuum bell that can be swiveled in a circle can be placed one after the other on the individual working platforms is. If the working platforms are arranged in rows, however, the pumping station and vacuum bell can be moved, in order to be able to operate the individual work platforms. After all, there are also multi-floor plans had been proposed so that the possibility was given of the pumping station below a number of working platforms to move and to connect each to the working platform on which a vacuum bell is currently placed is in place to carry out the evacuation process.

Allen diesen Einrichtungen ist gemeinsam, daß die Hochvakuum-Schmelz anlageAll of these facilities have in common that the high vacuum melting system

mit einer vertikalen Grundwandwith a vertical base wall

und einer seitlich auf dieser Wand lösbarand one on the side of this wall detachable

und vakuumdicht aufsitzendenand vacuum-tight seated

VakuumglockeVacuum bell

Anmelder:Applicant:

Balzers VakuumBalzers vacuum

Gesellschaft mit beschränkter Haftung,
Frankfurt/M.-Süd 10, Seehofstr. 11Company with limited liability,
Frankfurt / M.-Süd 10, Seehofstr. 11

Dr. Otto Winkler, Balzers (Liechtenstein),
ist als Erfinder genannt wordenDr. Otto Winkler, Balzers (Liechtenstein),
has been named as the inventor

as Vakuumglocke heb- und senkbar ist. Dieses Heben und Senken ist aber aus einer Reihe von Gründen unerwünscht. Bildet die Vakuumglocke mit dem Pumpstand eine bauliche Einheit, so ist es schwierig, die erforderlichen Bewegungsmöglichkeiten ohne Auftreten störender Reibungskräfte zwischen den bewegten Teilen zu verwirklichen und trotzdem die zur Berührung kommenden Teile hochvakuumdicht zu verbinden. Außerdem erfordert das Heben und Senken der Vakuumglocken bei größeren Gewichten erhebliche Leistungen und Arbeitszeiten. Die genannten und eine Reihe weiterer Gründe, beispielsweise die notwendige, verhältnismäßig große Höhe des Arbeitsraumes, die Anordnung umfangreicher und sperriger Krananlagen, die Schwierigkeit der Sauberhaltung der Dichtungsflächen, die Möglichkeit des Niederschlages aufsteigender Dämpfe auf der Vakuumglocke und ihren Dichtungsflächen usw., führen zu der Aufgabe, den Hochvakuumofen so auszuführen, daß ein Heben und Senken der Vakuumglocke in Fortfall zu kommen vermag. he vacuum bell can be raised and lowered. This lifting however, sinking is undesirable for a number of reasons. Forms the vacuum bell with the pumping station a structural unit, so it is difficult to make the necessary movement without occurrence to realize disturbing frictional forces between the moving parts and still the contact to connect the coming parts in a high vacuum-tight manner. It also requires raising and lowering the Vacuum bells with larger weights, considerable performance and working hours. The mentioned and one A number of other reasons, such as the necessary, relatively large height of the work area, which Arrangement of extensive and bulky crane systems, the difficulty of keeping the sealing surfaces clean, the possibility of the precipitation of rising vapors on the bell jar and its sealing surfaces etc., lead to the task of making the high vacuum furnace so that raising and lowering the vacuum bell can come in failure.

Die sich damit ergebenden Aufgaben werden, ausgehend von Hochvakuum-Schmelzanlagen mit einer vertikalen Grundwand, die als Trägerin einer aus ihr horizontal ausladenden Arbeitsbühne ausgebildet ist, die einschließlich der auf ihr angeordneten Betriebseinrichtungen durch eine auf die Wand zu und von ihr weg verfahrbare Vakuumglocke, zu deren Abschluß die Wand bei Herstellung des Vakuums dient, gegen den umgebenden Raum abschließbar ist, dadurchThe resulting tasks are based on high vacuum melting systems with a vertical base wall, which is designed to support a working platform that extends horizontally from it, including the operating equipment arranged on it through a to and from the wall their movable vacuum bell, to which the wall is used when the vacuum is created, Can be locked from the surrounding space, thereby

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gelöst, daß erfindungsgemäß in einer Hochvakuum- Kerne bzw.. ein bequemes Blindflanschen der gerade Schmelzofenanlage die durchgehend ausgeführte Ver- nicht benutzten Durchführung. Werden Abstichtiegel tikalwand mit einer Reihe die Heiz-, Schmelz- und verwandt, so ist es zweckmäßig, an die Vakuumglocke Abgießvorrichtungen aufnehmender Arbeitsbühnen eine Kokille anzuflanschen, deren Hohlraum ebenfalls besetzt ist und daß den Arbeitsbühnen eine deren Zahl S unter das Hochvakuum gebracht wird und die den nicht erreichende Anzahl längs der Vertikalwand ver- Tiegeleinsatz aufnimmt. Man kann aber auch nach abfahrbarer Vakuumglocken zugeordnet ist. Das gleiche gefahrener Vakuumglocke in der Atmosphäre vergilt für die Hochvakuumpumpstände, so daß deren gießen, und es besteht die dritte Möglichkeit, alle wei-Anzahl ebenfalls die Zahl der Arbeitsbühnen nicht zu teren, in der Gießtechnik für derartige Fälle entwikerreichen braucht. In den meisten Fällen genügt es io kelten Einrichtungen, beispielsweise Wechselkokillen, sogar, daß den Arbeitsbühnen ein einziger, längs der Strangguß usw., anwenden zu können. Im einfachsten Vertikalwand verfahrbarer Hochv-akuumpumpstand Falle ist naturgemäß die Gießform auf der Arbeitszugeordnet ist. Dient die Vertikalwand als Trägerin bühne selbst angeordnet und nimmt ihrerseits den von Materialzugabeeinrichtungen sowie, bei Anord- Einsatz auf.solved that according to the invention in a high vacuum cores or .. a convenient blind flange straight Melting furnace system the continuously executed, unused implementation. Will be siphon tikalwand with a number of the heating, melting and related, so it is appropriate to the vacuum bell Casting devices receiving work platforms to flange a mold, the cavity of which also is occupied and that the work platforms one whose number S is brought under the high vacuum and the The crucible insert takes up a number that cannot be reached along the vertical wall. But you can also go to the drivable Is assigned vacuum bells. The same vacuum bell driven in the atmosphere pays off for the high vacuum pumping stations, so that their pour, and there is the third option, all white number also not to lower the number of working platforms that have been developed in the casting technology for such cases needs. In most cases it is sufficient to use celtic facilities, for example exchangeable molds, even that the working platforms can be used with a single one along the continuous casting, etc. In the simplest Vertical wall movable high-voltage acuumpumpstand trap is naturally assigned to the casting mold on the work is. If the vertical wall serves as a support, the stage itself is arranged and in turn takes the of material addition devices as well as, in the case of arrangement use.

nung derselben auf der Pumpstandseite, deren Durch- 15 Es ist nicht erforderlich, gerade Tiegel zur Herführungen durch sie, so fallen besondere Einrichtun- stellung der Schmelze zu verwenden. An deren Stelle gen zur Anordnung dieser Materialzugabeeinrichtun- können beispielsweise Schmelzpfannen treten, die begen fort, und es vereinfacht sich die gesamte Anlage reits eine außerhalb des Hochvakuumofens hergestellte weiterhin. Aus demselben Grunde wird man die Ver- Schmelze bzw. Vorschmelze aufnehmen. Der Inhalt tikalwand zweckmäßig als Trägerin von Bewegungs- 20 dieser Gießpfannen wird dann im Hochvakuumofen durchführungen für verschwenkbare Tiegel, Gieß- behandelt, weiterbehandelt, oder es wird aus der Vorpfannen oder sonstige bewegliche Behandlungsein- schmelze eine Zwischen- oder Endlegierung durch richtungen ausbilden. Schließlich kann außer einer Hinzulegieren weiterer Gattierungsbestandteile her-Bewegungsdurchführung für innerhalb des Vakuum- gestellt. Das Vergießen muß auch nicht auf der Arglockenraumes verschwenkbar angeordnete Einrich- 25 beitsbühne erfolgen, sondern es können auch Tiegel tungen in der Vertikalwand mindestens eine weitere oder Schmelzpfannen von der Arbeitsbühne abgehoben Bewegungsdurchführung durch sie für Einrichtungen und an anderer Stelle vergossen werden,
vorgesehen sein, deren Bewegung einen über den inne- In Einzelfällen kann es weniger auf die Heizwirren Vakuumglockenraum hinausgehenden Raum bean- kung als auf die Rührwirkung der Induktionsströme spr-ucht. Auf diese Weise ist ein Hochvakuumbehand- 30 ankommen. Hierzu kann man normale Netzfrequenlungsverfahren durchführbar, bei dem zwar während zen verwenden, weil bekanntlich die Rührwirkung eines Abschnittes des Verfahrens die Charge in vollem bei gleicher Leistungsübertragung umgekehrt propor-Ausmaß dem Hochvakuum ausgesetzt ist, bei dem tional der Wurzel aus der Frequenz ist, so daß auch aber weitere Abschnitte des Arbeitsverfahrens, die mit bei relativ geringen Leistungen ein ausreichender der erwähnten Bewegung unlösbar verbunden sind, 35 Rühreffekt erhalten wird. Die dabei übertragene Leiunter Zutritt der Atmosphäre durchgeführt werden stung reicht aus, das Material während der Entgasung können, ohne daß die Vorteile aufgehoben werden flüssig zu halten.15 It is not necessary to use straight crucibles to lead through them, so a special arrangement of the melt is used. In their place of the arrangement of this material addition device, for example, melting pans can be used which move away, and the entire system is simplified even further than one produced outside the high vacuum furnace. For the same reason, the melt or premelt will be recorded. The contents of the table wall, expediently as a support for movement of these pouring ladles, is then in the high vacuum furnace ducts for pivoting crucibles, pouring treated, further treated, or an intermediate or final alloy is formed from the preliminary ladle or other movable treatment melt through directions. Finally, besides the addition of additional components, movement can be carried out for within the vacuum. The pouring does not have to take place on the swiveling installation platform, but crucible lines in the vertical wall or at least one more melting pans lifted from the working platform can be poured through them for facilities and elsewhere,
In individual cases, it can be less due to the heat turbulence of the vacuum bell space than to the agitating effect of the induction currents. In this way a high vacuum hand 30 has arrived. For this purpose, normal Netzfrequenlungsverfahren can be carried out, in which, although use during zen, because, as is well known, the stirring action of a section of the process, the charge is exposed to the high vacuum in full with the same power transmission, inversely proportional to the extent of the high vacuum, in which the square root of the frequency is so that but also further sections of the working process, which are inextricably linked with a sufficient amount of the mentioned movement at relatively low powers, 35 stirring effect is obtained. The transfer of energy to the atmosphere is sufficient to allow the material to be kept liquid during degassing without the advantages being negated.

müssen, die durch Behandlung unter Hochvakuum Um eine Abschirmung des Induktionsfeldes von dermust, by treatment under high vacuum in order to shield the induction field from the

entstanden sind. Das gilt insbesondere für Schmelz- Schmelze durch den Mantel des Tiegels oder der Gieß- und Gießprozesse. Müssen Chargen vergossen werden, 4° pfanne zu verhindern, ist dieser zweckmäßig aus undie selbst für erfindungsgemäß getroffene Anordnungen magnetischen Werkstoffen möglichst geringer Wand-YQn Hochvakuumschmelzöfen groß sind, so nehmen stärke hergestellt. Hierzu geeignet sind besonders die Tiegel eine solche Größe an, daß ihre Verschwen- austenitische Stähle. Um einen möglichst günstigen kung innerhalb der Vakuumglocke nicht mehr durch- Ausnutzungsgrad des Rezipienten bzw. der Vakuumführbar ist, wenn man deren Größe in einem einiger- 45 glocke sicherzustellen, wird man in den Fällen, in maßen wirtschaftlich tragbaren Ausmaß halten will. denen mit fest eingebauter Induktionsspule gearbeitet In diesem Falle besteht die Möglichkeit, die zweite, wird, diese Spule zweckmäßig mit magnetischen Abdurchweg also oberhalb der ersten Durchführung lie- schirmjochen umgeben, die aus dünnem, lamelliertem gende Drehdurchführung für diesen großen Tiegel be- Transformatorenblech bestehen und so angeordnet nutzen zu können. Das Verfahren wird dann so ge- 5° sind, daß die Blechebenen von den Feldlinien nicht handhabt, daß hei vertikaler Tiegelachse zunächst die durchsetzt sind. Mit einer derartigen magnetischen Schmelze im Hochvakuum hergestellt wird. Hierauf Abschirmung kann die Induktionsspule noch stärker wird die Vakuumglacke mit der Atmosphäre geflutet der Wandung der Vakuumglocke genähert angeordnet und von der Grundplatte weggefahren. Nunmehr kann werden, so daß ein relativ großes Tiegelvolumen einder Tiegel zum Zwecke der Entleerung verschwenkt 55 gebracht werden kann.have arisen. This applies in particular to melt through the shell of the crucible or the casting and casting processes. If batches have to be poured to prevent 4 ° pan, this is advisable from undie wall YQn as low as possible even for arrangements made according to the invention for magnetic materials High vacuum furnaces are great so take starch manufactured. Are particularly suitable for this the crucibles are of such a size that their swiveled austenitic steels. To get the cheapest possible capacity within the vacuum bell is no longer feasible through the degree of utilization of the recipient or the vacuum; wants to keep it at an economically acceptable level. those worked with a built-in induction coil In this case there is the possibility of using the second, this coil expediently with magnetic passage through it that is, above the first opening, the umbrella yokes are surrounded by thin, laminated The rotary feedthrough for this large crucible is made of transformer sheet and so arranged to be able to use. The process will then be such that the sheet metal planes are not separated from the field lines handles that the vertical crucible axis is first penetrated. With such a magnetic Melt is produced in a high vacuum. The induction coil can then be shielded even more strongly the vacuum dome is flooded with the atmosphere and arranged closer to the wall of the vacuum dome and moved away from the base plate. Now it can be, so that a relatively large crucible volume einder Crucible can be pivoted 55 for the purpose of emptying.

werden, ohne daß die wieder hinzugetretene Atmo- Zur Erleichterung der Einführung der Gießpfannewithout the re-entering the atmosphere. To facilitate the introduction of the ladle

Sphäre etwas an den Eigenschaften ändert, die durch können Induktionsspule, magnetische Abschirmung die Hochvakuumbehandlung, beispielsweise in der und, wenn nötig, auch ein keramisches Isoliergewölbe, Richtung einer vollständigen Entgasung, entstanden das sich zur Vermeidung zu starker Strahlungsversind. Es ist jedoch nicht erforderlich, auf diese Mög- 60 luste über der Gießpfanne befindet, mit der Vakuumlichkeit zurückzugreifen. Man kann beispielsweise glocke fest verbunden sein und gemeinsam mit dieser a,uch den Tiegel als Abstichtiegel ausführen, so daß verfahren werden.Sphere something changes in the properties that can be caused by induction coil, magnetic shielding the high vacuum treatment, for example in the and, if necessary, also a ceramic insulating vault, Direction of complete degassing, which resulted in avoiding excessive radiation failure. However, it is not necessary to be located above the pouring ladle in this way, with the vacuum to fall back on. One can, for example, be firmly connected to the bell and together with it a, also make the crucible as a tipping crucible so that it can be moved.

der gesamte Innenraum der Vakuumglocke zur Unter- Es sei erwähnt, daß man statt der Einbringungthe entire interior of the bell jar to the under It should be mentioned that instead of the introduction

bringung von Tiegeln größter Dimension benutzt wer- einer Gießpfanne den Tiegel selbst — sei es einen den kann. Im Falle der Verwendung mehrerer Dreh- 65 schwenkbaren oder auch einen festen — mit schon durchführungen werden diese zweckmäßig einheitlich vorgeschmolzenem, flüssigem Material beschicken dimensioniert, selbst wenn dadurch eine Überdimen- kann, das dann während der Vakuumbehandlung sionierung der an sich kleineren Durchführung ent- durch die Induktionsströme umgewälzt und gegehenensteht. Man gewinnt dadurch die Möglichkeit der ver- falls warm gehalten wird. Hierbei ist eine Vorwäreinfachten Herstellung infolge Verwendung gleicher 70 mung des. Tiegels zweckmäßig.When making crucibles of the largest dimension, a pouring ladle uses the crucible itself - be it one can. In the case of using several rotatable swiveling 65 or one fixed - with already bushings will feed these appropriately uniformly pre-melted, liquid material dimensioned, even if this can result in overdimensioning, that is during the vacuum treatment sioning of the actually smaller bushing is circulated and passed by the induction currents. Thereby one gains the possibility of being kept warm if decayed. This is a prerequisite Production due to the use of the same value of the crucible is expedient.

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Falls eine längere Zeit andauernde Vakuumbehand- wirklichung dienenden Einrichtungen halten den beimIf devices that serve vacuum handling for a longer period of time hold the at

lung notwendig"-wird, ist es zweckmäßig, den Mantel Schmelzbetrieb auftretenden Überhitzungen im allge-is necessary "- it is advisable to prevent the jacket melting operation from overheating in general

der Gießpfanne'zur Vermeidung einer unzulässigen meinen nicht stand:the pouring ladle 'to avoid an inadmissible mean did not stand:

Aufheizung geschlitzt auszufuhren und über Isolier- Diese Schwierigkeiten können dadurch beseitigtHeating up slotted and over insulating These difficulties can thereby be eliminated

teile zusammenzuhalten. Der Boden der Pfanne muß 5 werden, daß ein im Boden des Tiegels- eingesetzterparts to hold together. The bottom of the pan must be 5 that one inserted into the bottom of the crucible

dann entweder als kräftiger Bodenstein ausgebildet Bodenstein mit nach unten sich verjüngender, koni-then either designed as a strong floor stone floor stone with downward tapering, conical

sein, der das Gewicht der Schmelze zu tragen vermag, scher Bohrung mittels eines Schiebers, der mit guterbe able to bear the weight of the melt, shear drilling by means of a slide, which with good

wenn er lediglich am Rand abgestützt wird, oder er Passung an die Unterseite des Steines angelegt ist,if it is only supported on the edge, or if it is fitted to the underside of the stone,

muß, falls seine mechanische Eigensteifigkeit nicht abgedichtet ist. Kennzeichnend für diesen Schieber,must if its mechanical rigidity is not sealed. Characteristic for this slide,

ausreichend sein sollte, mittels isoliert befestigter io der z. B. aus Ouarzgut oder einem anderen hochhitze-should be sufficient by means of isolated attached io the z. B. from Ouarzgut or another high-temperature

Querstäbe abgestützt sein. beständigen und temperaturwechselbeständigen Ma-Be supported by cross bars. resistant and temperature change resistant material

Bei größerer Energieübertragung kann auch bei ge- terial bestellt, ist, daß er in einen wassergekühlten schlitztem Pfannenmantel unter Umständen eine un- Metallrahmen eingesetzt ist, dessen Oberkante mit zulässige hohe Aufheizung auftreten, da das Spulen- der Oberfläche des Schiebers in einer Ebene liegt, und streufeld die Randteile des Zylindermantels durch- 15 daß dieser Schieber eine Bohrung mit einem Ausflußsetzt. Die Abmessungen des metallischen Leiters rohr nach unten besitzt. Der Metallrahmen- ist in überschreiten hier in der Regel die Eindringtiefe des einer Führung gelagert und kann über eine Vakuum-Wechselfeldes, und es ist damit die Voraussetzung durchführung unter dem Bodenstein verschoben für die Entwicklung eines erheblichen Induktionsstro- werden. Mit Hilfe dieser Vorrichtung ist man in der mes und entsprechender Energieaufnahme geschaffen. 20 Lage, den Gießstrahl jederzeit unterbrechen und die Um das auszuschließen, kann der Mantel in Einzel- Strahlstärke durch Variation der freizugebenden elemente aufgeteilt sein, z. B. in Schienen, die längs öffnung genau regulieren zu können. Bei gegebenendes Zylindermantels parallel zur Zylinderachse ange- falls auftretenden Undichtigkeiten zwischen Bodenordnet sind; sie können zur Erzielung einer genügend stein und Schieberplatte kommt ausfließendes Mahohen mechanischen Steifigkeit bei geringer Material- 25 terial an dem gekühlten Rahmen sofort zur Erdicke als U-Profile ausgebildet sein. Diese werden starrung, bildet dabei eine Abdichtung und stellt, dann durch mehrere Ringe, die mit den Schienen iso- sofern die Schieberplatte glatt und eben ausgebildet liert verbunden sind, zusammengehalten, wobei diese ist, trotzdem kein Hindernis für die Bewegung des Ringe naturgemäß keine geschlossenen Leiter bilden Schiebers dar, da er über dieses erstarrte Material dürfen. 30 weggleiten kann. Falls Materialien erschmolzen wer-In the case of greater energy transfer, it is also possible to order material, that it is in a water-cooled Slotted pan jacket under certain circumstances a non-metal frame is used, the upper edge of which with permissible high heating occur because the coil surface of the slide lies in one plane, and stray field penetrates the edge parts of the cylinder jacket so that this slide sets a bore with an outlet. The dimensions of the metallic conductor tube downwards. The metal frame is in usually exceed the depth of penetration of a guide and can use an alternating vacuum field, and it is therefore the prerequisite for implementation under the Bodenstein to be postponed for the development of a considerable induction current. With the help of this device one is in the mes and corresponding energy consumption created. 20 able to interrupt the pouring stream at any time and the In order to rule out this, the jacket can be given a single beam intensity by varying the amount to be released elements be divided, z. B. in rails to be able to regulate the longitudinal opening precisely. Given Cylinder jacket, parallel to the cylinder axis, arranges any leaks that occur between the floor are; You can achieve a sufficient amount of stone and gate valve mechanical rigidity with low material material on the cooled frame immediately to the earth thickness be designed as U-profiles. These become rigid, form a seal and provide then by several rings that are iso- provided with the rails provided the slide plate is smooth and even are connected, held together, although this is not an obstacle to the movement of the Rings, of course, do not form closed conductors, since the slide is controlled by this solidified material to be allowed to. 30 can slide away. If materials are melted

Die Isolierstücke sollten möglichst hitzebeständig den, bei denen ein Kontakt mit Graphit zulässig ist,The insulating pieces should be as heat-resistant as possible to those where contact with graphite is permitted,

sein; sie bestehen zweckmäßig aus Porzellan oder werden das Einsatzstück im Tiegelboden und diebe; they are expediently made of porcelain or are the insert in the bottom of the crucible and the

anderen isolierenden Sinterstoffen, in die metallische Schieberplatte zweckmäßig aus Graphit ausgebildet.other insulating sintered materials, expediently formed in the metallic slide plate from graphite.

Befestigungselemente eingepreßt oder eingesintert Anwendbar sind grundsätzlich alle bekannten undFastening elements pressed in or sintered in. In principle, all known and

sein können. 35 bewährten Maßnahmen der Schmelz- und Gießtechnikcould be. 35 proven measures in melting and casting technology

Falls eine noch höhere Sicherheit gegen Über- sowie ihrer Vor- und Nachtechniken, gleichgültig, obIf there is even greater security against over- and their pre- and post-techniques, it does not matter whether

hitzung notwendig ist, kann der Außenmantel der es sich um Verfahren oder Vorrichtungen handelt.Heating is necessary, the outer jacket, which is a process or device.

Gießpfanne oder es können seine Elemente mit einer Daher ist hier nur beispielsweise zu erwähnen, daß esThe ladle or its elements can therefore only be mentioned here as an example that it is

zusätzlichen Wasserkühlung vorgesehen sein. möglich ist, unter der Vakuumglocke Schleuderguß-additional water cooling can be provided. it is possible to use centrifugal casting under the vacuum bell

Erfolgt der Guß aus dem Tiegel durch Boden- 40 einrichtungen vorzusehen, wobei der Antrieb vakuumabstich, so kann das an sich durch Verwirklichung dicht durchgeführt sein kann und Ober- und Unterbekannter Vorbilder geschehen. Es wird also beispiels- teile gleicherweise in Betracht kommen. Auch ist es weise ein Metallstopfen aus dem Einsatzmaterial im nicht erforderlich, eine einzige Kokille anzuordnen. Boden des Tiegels eingesetzt, der während der Es besteht vielmehr die Möglichkeit, Gießformen für Schmelzperiode gekühlt und vor dem Abstich durch 45 Probestücke bzw. Formguß, Ingots od. dgl. auf Dreh-Induktions- oder Widerstandheizung ausgeschmolzen tellern oder -kränzen um den Tiegel "oder die Pfanne wird. Eine andere Möglichkeit besteht darin, das Ver- anzuordnen und als sogenannte Wanderkokillen unter fahren anzuwenden, das bei der sogenannten Stopfen- dem Hochvakuum nacheinander mit Schmelzgut zu pfanne zur Anwendung gekommen ist. Hier wird in füllen. In entsprechender Weise können Mehrfacheinen geeignet geformten Bodenstein mit konischer, 50 bzw. Vielfachkokillen, also Mehrheiten feststehender sich nach unten verjüngender Bohrung, wobei der Kokillen mit Verteilern für die Schmelze, zur An-Bodenstein in den Tiegelboden eingemauert ist, auf wendung kommen. Es kann auch eine Stranggußder Tiegelinnenseite ein geeignet geformtes, meist vorrichtung vorgesehen sein, bei der der Gießstrahl halbkugelförmiges Gegenstück aus einem hochhitze- seinerseits die Abdichtung gegen das Vakuum bei beständigen keramischen Material eingeschliffen, das 55 seinem Austritt aus dem evakuierten Raum bildet, auf einer Eisenstange befestigt ist, die durch den Die Strangführung ist dabei zweckmäßig wasser-Tiegel nach oben geführt ist. Diese Stange besitzt gekühlt. Sie kann an verschiedenen Stellen ihrer eine Bewehrung gegen Temperaturen und Angriff Längserstreckung mit Vakuumpumpen verbunden des Schmelzbades aus hochhitzebeständigem, gut sein, um das Vakuum mit Sicherheit aufrechtisolierendem Material. Mittels dieser Stange kann der 60 erhalten zu können. Weiter können Beschallungs-Stopfen zwecks Freigabe der öffnung im Tiegelboden vorrichtungen, Rühr- und Mischereinrichtungen, innerhalb der Schmelze hochgezogen werden. Lichtbogenbeheizungen od. dgl. vorgesehen sein, umIf the casting is carried out from the crucible by means of floor equipment, the drive is vacuum tapping, so that in itself can be carried out tightly through realization and upper and lower known Role models happen. Parts of the example will therefore come into consideration in the same way. It is too wise a metal plug from the feed material in no need to arrange a single mold. Bottom of the crucible used during the There is rather the possibility of casting molds for Melting period cooled and before tapping through 45 test pieces or castings, ingots or the like on rotary induction or resistance heating melted out plates or rings around the crucible "or the pan will. Another possibility is to order the ordinance and to use it as so-called wandering molds drive to apply the so-called plugging to the high vacuum one after the other with melting material pan has been used. Here will fill in. In a corresponding manner, multiple ones suitably shaped floor stone with conical, 50 or multiple molds, i.e. majorities of fixed ones downward tapering bore, with the mold with distributors for the melt, to the An-Bodenstein is walled into the bottom of the crucible. It can also be a continuous casting On the inside of the crucible a suitably shaped, mostly device can be provided in which the pouring stream hemispherical counterpart made of a high-temperature in turn the seal against the vacuum at Resistant ceramic material ground in, which forms 55 its exit from the evacuated space, is attached to an iron rod, which through the The strand guide is expediently water crucible is led upwards. This rod has cooled. She can be in different places of her a reinforcement against temperatures and attack longitudinal extension connected with vacuum pumps of the weld pool made of high-temperature resistant, good to maintain the vacuum with safety insulating Material. With this rod the 60 can be obtained. Sonication plugs can also be used for the purpose of clearing the opening in the bottom of the crucible, devices, stirring and mixing devices, be pulled up within the melt. Arc heating or the like. Be provided to

Beide Lösungen besitzen Nachteile. Bei deren bestimmte Sonderaufgaben lösen zu können,Both solutions have disadvantages. To be able to solve certain special tasks,

ersterer muß zunächst für jede Legierung der Vorsorge ist dagegen zu treffen, daß sehr starkeThe former must first of all for each alloy the precaution is to be taken against that very strong

geeignete Stopfen zur Verfügung stehen. Weiterhin 65 Dampf- und Rauchentwicklungen aus der Schmelze,suitable stoppers are available. Furthermore 65 steam and smoke developments from the melt,

ist keine Dosierung der ausfließenden Materialmengen die ständig bestehenbleiben, die Beobachtbarkeitthere is no dosing of the outflowing amounts of material, which remain constantly, the observability

möglich und auch die Ausflußgeschwindigkeit kann stören bzw. aufheben; dabei hat sich die Anordnungpossible and also the outflow speed can disturb or cancel it; thereby the arrangement has

nicht beliebig eingestellt werden. Die an zweiter in den Rauch- bzw. Dampfstrom einschwenkbarercannot be set arbitrarily. The second can be swiveled into the smoke or steam flow

Stelle genannte Betriebsmethode hat den Nachteil Schirme als vorteilhaft erwiesen. Diese können zu-The operating method mentioned here has the disadvantage of umbrellas as advantageous. These can be

•einer großen Betriebsunsicherheit; die zu ihrer Ver- 70 nächst gekühlt sein, daß sie als Kondensatoren wir-• a large operational uncertainty; which are initially cooled to act as capacitors.

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ken. Man kann sich aber auch darauf beschränken, Die Zeichnung zeigt eine Ausführung des Erfinihnen eine Drall- oder Ablenkplattenwirkung zu dungsgedankens am Beispiel einer Anlage mit erteilen, wobei durch netz-, sieb- oder gitterartige mehreren Arbeitsbühnen, auf der Behandlungs-Ausbildung für die Erhaltung der Durchsicht auf einrichtungen für Arbeitsgut unter Hochvakuum in Tiegel oder Pfannen gesorgt sein kann. Ordnet man 5 Form von Schmelz- und Gießeinrichtungen angedie Schirme in Sätzen an, so daß über vakuumdichte ordnet sind.ken. But you can also limit yourself to this. The drawing shows an execution of the invention a swirl or baffle plate effect on the example of a plant grant, whereby through net-, sieve- or grid-like several work platforms, on the treatment training for maintaining the view of facilities for work goods under high vacuum in Crucibles or pans can be taken care of. If one arranges 5 forms of melting and pouring devices Umbrellas in sets so that they are vacuum-tight.

Durchführungen ein verschmutzter Schirm aus- und Fig. 1 gibt eine Stirnansicht auf die GesamtanlageBushings show a dirty screen and FIG. 1 shows an end view of the entire system

ein die Durchsicht ermöglichender Schirm ein- mit einem Querschnitt durch eine der Vakuumglockena screen allowing viewing with a cross-section through one of the vacuum bells

schwenkbar wird, so dient auch das der Vergrößerung wieder;becomes pivotable, then this also serves for enlargement;

der Betriebssicherheit und -überwachung. Die gleichen io Fig. 2 entspricht einer Stirnansicht auf die gleicheoperational safety and monitoring. The same io Fig. 2 corresponds to an end view of the same

Schirme können auch als Elektroden zur Erzeugung Anlage im verkleinerten Maßstab, wobei jedoch dieScreens can also be used as electrodes for generating equipment on a reduced scale, however, with the

hochgespannter elektrostatischer, elektrodynamischer Betrachtungsrichtung· senkrecht zu derjenigen liegt,high-tension electrostatic, electrodynamic viewing direction is perpendicular to that,

oder elektromagnetischer Felder, auch gegenseitig die der Fig. 1 zugrunde gelegt wurde;or electromagnetic fields, also reciprocally on which FIG. 1 was based;

überlagert, ausgebildet werden, um auf diese Weise Fig. 3 entspricht im Maßstab der Fig. 2 einersuperimposed, are formed in this way. FIG. 3 corresponds to a scale of FIG

den Hochvakuumraum durchsichtig halten zu 15 Draufsicht auf die Gesamtanlage in der Richtung vonkeep the high vacuum space transparent to 15 Top view of the entire system in the direction of

können. oben nach unten.can. up down.

Es liegt im Wesen der Materialzugabevorrich- In allen Figuren bezeichnet 1 die vertikale Grundtungen, daß die gesamte Charge zu einem bestimmten und Abschlußwand für die horizontal auf sie zu und Zeitpunkt auch als Ganzes in den Tiegel entlassen von ihr weg beweglich angeordnete Vakuumglocke 2 werden kann. Es besteht die weitere Möglichkeit, die 20 auf ihrer einen Seite und für den Hochvakuumpump-Teilchargen oder einzelne derselben vor dem Einsatz stand 3· auf ihrer anderen Seite, wobei die Wand 1 zu verflüssigen und als Schmelzteilchargen ein- Trägerin aus ihr frei ausladender, die Behandlungszusetzen. Dies kann durch einen oder mehrere wider- einrichtungen 2 aufnehmender und mit diesen zustands- oder induktivbeheizte, zusätzliche und unab- sammen von der Vakuumglocke 2 einschließbarer hängig voneinander schwenk- bzw. kippbare Tiegel 25 Arbeitsbühnen 5 ist. Um diese Beweglichkeit der erfolgen, die mittels besonderer Vakuumdurchfüh- Vakuumglocke 2 herstellen zu können, ist sie verfahrrungen zu betätigen sind. bar eingerichtet. Sie weist zu diesem Zwecke bei 6It is in the nature of the material feed device- In all figures, 1 denotes the vertical foundation, that the entire batch to a specific and end wall for the horizontal towards it and Point in time, also released as a whole into the crucible, vacuum bell 2 arranged to be movable away from it can be. There is another option, the 20 on one side and for the high vacuum pump partial batches or some of them stood 3 · on their other side before use, with the wall 1 to liquefy and as melt part batches a carrier from it freely expansive to set the treatment. This can be done by one or more receiving devices 2 receiving and with these state- or inductively heated, additional and separate from the vacuum bell 2 enclosable pending from one another pivotable or tiltable crucible 25 working platforms 5 is. To this agility of the take place, which can be produced by means of a special vacuum bell jar 2, it is verfahrrungen are to be operated. bar furnished. For this purpose it points to 6

Bei der Entgasung großer Chargen im Gewicht von Rollen auf, die auf Schienen 7 lauf en. Die Schienen 7 einer oder mehreren Tonnen können die anfallenden sind auf einem Auflager 8 angeordnet, das seinerseits Gasmengen so beträchtlich werden, daß es unter 30 parallel zur im Ausführungsbeispiel ebenen Grund-Umständen nicht mehr rationell ist, die üblichen und Abschlußwand 1 verfahrbar ist. Zu diesem Zweck Drehschieberpumpen für die Erzeugung des Vor- weist das Auflager 8 bei 9 Rollen auf, die auf den Vakuums zu verwenden, bei dem der Betrieb von Schienen 10 verfahrbar sind. Auch der Hochvakuum-Hochvakuumdiffusionspumpen einsetzen kann. Es ist pumpstand 3 ist verfahrbar. Liegen die Berührungsdann notwendig, Dampf Strahlinjektoren, die mit 35 flächen zwischen den Flanschen^ welche die Teile des Wasserdampf oder einem organischen Treibmittel Pumpstandes 3 zur Verbindung mit den Anschlußbetrieben werden, zu verwenden, wobei zur Ein- flanschen der noch zu erwähnenden Durchführungen sparung des Dampfes bzw. zur Erreichung eines durch die Vertikalwand 1 aufweisen, sämtlich in einer besseren Wirkungsgrades eine Flüssigkeitsringpumpe Ebene, so ist es nicht erforderlich, daß der Pumpvorgeschaltet werden kann. Mit Hilfe dieser Flüssig- 40 stand eine senkrecht zur Ebene der Vertikalwand 1 keitsringpumpe, die mit Wasser oder auch mit gerichtete Beweglichkeit aufweist. Beim Ausführungsanderen Flüssigkeiten mit vorzugsweise niedrigem beispiel ist von dieser Möglichkeit nicht ausgegangen Dampfdruck zu betreiben ist, besteht die Möglichkeit, worden, so daß der Pumpstand 3 in gleicher Weise die Vorevakuierung von Atmosphärendruck bis auf beweglich ausgebildet worden ist wie die Vakuumdas für den Entgasungsvorgang notwendige Vor- 45 glocke 2. Demgemäß ist bei 11 eine Rollenführung vakuum dadurch zu beschleunigen," daß die Pumpen zwischen Pumpstand 3 und Auflager 12 vorgesehen, während dieser kurzen Periode mit gesteigerter Dreh- und auch Lager 12 ist über Rollen 13 längsverschiebzahl laufen. Sobald das gewünschte Vakuum erreicht lieh auf den Schienen 14 geführt. Der Pumpstand ist, wird auf niedrige Drehzahl umgeschaltet, so daß selbst besteht in üblicher Weise aus den beiden Vordie Pumpen von da ab auf ein möglichst starkes 50 Vakuumpumpen 15, den Sammler 16 und aus der Vakuum arbeiten. Hochvakuumdiffusionspumpe 17. Bei 18 ist eine dieDuring the degassing of large batches, the weight of rollers that run on rails 7 are used. The rails 7 one or more tons can be incurred are arranged on a support 8, which in turn Gas quantities are so considerable that it is below 30 parallel to the basic circumstances in the exemplary embodiment is no longer rational, the usual and end wall 1 is movable. To this end Rotary vane pumps for the generation of the pre-has the support 8 with 9 rollers, which on the To use vacuum in which the operation of rails 10 can be moved. Also the high vacuum high vacuum diffusion pumps can use. It is pumping station 3 is movable. If the contact is then necessary, steam jet injectors with 35 surfaces between the flanges ^ which the parts of the Steam or an organic propellant pumping station 3 for connection with the connecting companies to be used, whereby for flanging the bushings to be mentioned Saving the steam or to achieve one through the vertical wall 1, all in one better efficiency a liquid ring pump level, so it is not necessary that the pump is connected upstream can be. With the help of this liquid, a was perpendicular to the plane of the vertical wall 1 keitsring pump, which has with water or with directional mobility. When executing others Liquids with a preferably low example has not assumed this possibility Steam pressure is to operate, there is the possibility of having been so that the pumping station 3 in the same way the pre-evacuation from atmospheric pressure to mobile has been made like the vacuum Bell 2 required for the degassing process. Accordingly, at 11 there is a roller guide to accelerate vacuum by "that the pumps are provided between pumping station 3 and support 12, During this short period of increased rotation and also bearing 12 there is longitudinal displacement speed via rollers 13 to run. As soon as the desired vacuum is reached, it is guided on the rails 14. The pumping station is, is switched to low speed, so that itself consists in the usual way of the two pre-die Pumps from there on to a strongest possible vacuum pump 15, the collector 16 and out of the Working vacuum. High vacuum diffusion pump 17. At 18 is a

Der Dampf Strahlpumpsatz kann wieder zweck- Meßinstrumente tragende Tafel angedeutet, die mitThe steam jet pump set can again be indicated with the panel carrying measuring instruments

mäßig mit der Hochvakuumdiffusionspumpe ver- dem Pumpstand 3 verfahrbar ist Sie könnte auch mitCan be moved with the high vacuum diffusion pump from the pumping station 3. It could also be moved with

bunden sein, so daß er einen Bestandteil des Pump- der Grund- und Abschlußwand 1 verbunden sein,be tied so that it can be a part of the pump- the base and end wall 1,

Standes bildet, der gemeinsam mit dem Oberteil des 55 soweit sie Meßgeräte trägt, die zu den. Behandlungs-Forms stand, which together with the upper part of the 55 as far as it carries measuring devices that to the. Treatment

Vakuumraumes heb- und senkbar bzw. mit ihm ver- einrichtungen auf den Arbeitsbühnen 5 gehören. DieVacuum space can be raised and lowered or devices on the working platforms 5 belong with it. the

fahrbar oder sonstwie beweglich ist. Hochvakuumdiffusionspumpe 17 ist bei 19 an dieis mobile or otherwise movable. High vacuum diffusion pump 17 is at 19 to the

Es liegt im Wesen der Erfindung, daß dieses nicht Durchführung 20 für die Hochvakuumpumpe durch dadurch verlassen wird, daß statt eines einzigen die Vertikalwand 1 angeflanscht. Die Mündung der Hochvakuumpumpstandes mehrere Stände dieser Art 60 Durchführung 20 ist in Fig. 1 bei 21 zu erkennen. Die zur Anwendung kommen. Entscheidend ist lediglich, Vertikalwand 1 nimmt weiter die Drehdurchführung daß nicht jeder Schmelz-, Gieß-, Rühr-, Sinter- 22 für den verschwenkbaren Tiegel 23 auf. Der Tiegel Glüheinrichtung od. dgl. ein besonderer Hoch- ist mit einer Induktionswicklung versehen, um die vakuumpumpstand bzw. eine besondere Vakuum- Schmelze mit Hilfe von Induktionsströmen herstellen glocke zugeordnet ist, sondern daß durch Verringe- 65 zu können. Die zur Versorgung der Induktionsspule rung der Zahl der Pumpstände bzw. Glocken unter erforderlichen Kabel sind in der Hohlachse der die Zahl der korrespondierenden Arbeitsbühnen eine Durchführung 22 in nicht gezeichneter Weise unterVerringerung des Aufwandes eintritt, der ohne Ver- gebracht. Die Hohlachse nimmt auch die das Kühlwirklichung der Erfindung hätte getrieben werden mittel führenden Leitungen sowie die zu den Meßmüssen. 70 instrumenten führenden Leitungen auf, wobei dieIt is in the essence of the invention that this does not carry through 20 for the high vacuum pump is left in that the vertical wall 1 is flanged instead of a single one. The mouth of the High vacuum pumping station several stands of this type 60 implementation 20 can be seen in FIG. 1 at 21. the come into use. The only decisive factor is that the vertical wall 1 continues to take the rotary feedthrough that not every melting, pouring, stirring, sintering 22 for the pivotable crucible 23 on. The crucible Annealing device od. The like. A special high is provided with an induction winding to the create a vacuum pumping station or a special vacuum melt with the help of induction currents bell is assigned, but that by reducing 65 to be able. The one to supply the induction coil tion of the number of pumping stations or bells under required cables are in the hollow axis of the the number of corresponding working platforms a passage 22 in a manner not shown with reduction of the effort that occurs without being spent. The hollow axle also takes the cooling realization the invention would have to be driven by means of lines leading to the measurement. 70 lines leading to instruments, the

Claims (6)

Durchführung selbst vorteilhaft gekühlt ist. Auf der Seite des Pumpstandes 3 weiter vorgesehen ist die :schleusenartig ausgebildete Materialzugabeeinrichtung 24. Diese mündet in der Schurre 25 aus. Die .Mündung der die Schurre 25 aufnehmenden Durchführung ist in Fig. 1 bei 26 zu erkennen. Die Schurre kann als Schüttelrutsche, Förderschnecke, als Schwerkraftsförderer, Transportband od. dgl. ausgeführt ,sein. Auf der Arbeitsbühne 5 ist schließlich die Gußform 27 zu erkennen, die auch durch eine an die Glocke 2 angeflanschte Kokille ersetzt sein könnte, falls nicht an Atmosphäre vergossen wird oder falls nicht andere gießereitechnische Maßnahmen wie Strangguß einrichtungen od. dgl. Anwendung finden. Die Vakuumglocke 2 trägt noch bei 28 einen Bedienungsstand für die Bedienung, wobei die notwendigen Steuerungsorgane am Bedienungsstand 28 ■untergebracht sein können, die beispielsweise das Verfahren der Vakuumglocke 2 in zur Vertikalwand 1 senkrechter und paralleler Richtung ermöglichen und mit deren Hilfe weiter die Behandlungseinrichtungen 4 lieherrscht werden können. Die Anzeigetafel 18 vermittelt dabei der Bedienung auf dem Stand 28 die notwendigen Angaben über das gerade bestehende Vakuum, die auftretenden Temperaturen und die sonstigen für die Durchführung des Arbeitsverfahrens wesentlichen Angaben. Die Wirkungsweise der Anlage ergibt sich nach -dem Dargestellten ohne weiteres. Nachdem zunächst Vakuumglocke 2 die in Fig. 2 strichpunktiert dargestellte Lage eingenommen hat, werden die Einrichtungen 4 auf der Arbeitsbühne 5 in den zur Durchführung der unter Hochvakuum durchzuführenden Behandlung erforderlichen Zustand gebracht. Es wird also beispielsweise in den Tiegel 23 die Gattierung eingebracht, die zur Herstellung der Vorschmelze dienen soll. Hierzu wird die Vakuumglocke 2 in ihre Endlage gebracht, in der der die Hochvakuumdichtung aufnehmende Flansch und die Vakuumglocke 2 dichtend an der entsprechenden Dichtungsfläche der Vertikalwand 1 anliegen. Nunmehr wird der Hochvakuumpumpstand 3 in Betrieb genommen, d. h., es wird zunächst mittels Hilfe der Vorvakuumpumpen 15 das erforderliche Vorvakuum hergestellt und hierauf die Hochvakuumdiffusionspumpe 17 in Betrieb genommen. Sobald das notwendige Vakuum erreicht ist, wird die Induktionsspule des Tiegels 23 in Betrieb genommen, so daß sich die Vorschmelze bildet. Unter Aufrechterhaltung des Hochvakuums werden über die Teile 24, 25, 26 die weiteren Legierungsbestandteile zu den Zeitpunkten zugeführt, in denen das erforderlich ist. Ist die Endlegierung hergestellt, so wird die Hochvakuumbehandlung so lange fortgesetzt, solange das metallurgische Verfahren dies erfordert. Eine etwaige Badbewegung und Badnachwärmung im Tiegel 23 wird wieder mittels der mit der Netzfrequenz betriebenen Induktionsspule durchgeführt. Soll das Vergießen unter Hochvakuum stattfinden, so wird dies mittels der Drehdurchführung 22 für den Tiegel 23 bewirkt. Die Guß form 27 nimmt die herzustellende Endlegierung auf. Hierauf wird der Raum innerhalb der Vakuumglocke 2 geflutet, bis der Atmosphärendruck in derselben hergestellt ist. Ist das der Fall, so wird die Vakuumglocke 2 wieder in die strichpunktierte Lage der Fig. 2 verfahren. Bei Anordnung mehrerer Arbeitsbühnen sind zwischenzeitlich die Behandhmgseinrichtungen einer dieser Bühnen in den Zustand gebracht worden, der bei Herstellung des Hochvakuums bestehen soll. Es sei angenommen, dies sei bei der Arbeitsbühne der Fall, die sich in Fig. 1 nach links als erste an die Arbeitsbühne 5 anschließt. In einem solchen Falle wird also das Auflager 8 in einer Stellung der Vakuumglocke 2, die der strichpunktierten Stellung nach Fig. 2 entspricht, nach links verfahren, bis die Vakuumglocke 2 die in Fig. 1 mit strichpunktierten Linien wiedergegebene Lage erreicht. Dann werden die Arbeitsvorgänge sinngemäß wiederholt, die oben zur Darstellung gebracht wurden. FATENTANSPRÜCHE·Implementation itself is advantageously cooled. Also provided on the side of the pumping station 3 is the sluice-like material adding device 24. This opens into the chute 25. The mouth of the duct receiving the chute 25 can be seen in FIG. 1 at 26. The chute can be designed as a vibrating chute, screw conveyor, gravity conveyor, conveyor belt or the like. On the work platform 5, the casting mold 27 can finally be seen, which could also be replaced by a mold flanged to the bell 2, if the casting is not carried out in the atmosphere or if other technical foundry measures such as continuous casting facilities or the like are not used. The vacuum bell 2 also carries a control stand for operation at 28, whereby the necessary control organs can be accommodated at the control stand 28 ■ which, for example, enable the vacuum bell 2 to be moved in a direction perpendicular and parallel to the vertical wall 1 and with the help of which the treatment devices 4 continue to dominate can be. The display panel 18 provides the operator on the stand 28 with the necessary information about the current vacuum, the temperatures occurring and the other information essential for carrying out the work process. The mode of operation of the system results from what has been shown without further ado. After the vacuum bell 2 has assumed the position shown in phantom in FIG. 2, the devices 4 on the working platform 5 are brought into the state required to carry out the treatment to be carried out under high vacuum. For example, the charge that is to be used for the production of the premelt is introduced into the crucible 23. For this purpose, the bell jar 2 is brought into its end position, in which the flange receiving the high vacuum seal and the bell jar 2 are in sealing contact with the corresponding sealing surface of the vertical wall 1. The high vacuum pumping station 3 is now put into operation, i. In other words, the required fore-vacuum is first produced with the aid of the fore-vacuum pumps 15 and the high-vacuum diffusion pump 17 is then put into operation. As soon as the necessary vacuum is reached, the induction coil of the crucible 23 is put into operation, so that the premelt is formed. While maintaining the high vacuum, the other alloy constituents are fed in via the parts 24, 25, 26 at the times when this is necessary. Once the final alloy has been produced, the high vacuum treatment is continued as long as the metallurgical process requires it. Any bath movement and reheating of the bath in the crucible 23 is carried out again by means of the induction coil operated with the mains frequency. If the casting is to take place under a high vacuum, this is effected by means of the rotary leadthrough 22 for the crucible 23. The casting form 27 receives the final alloy to be produced. The space inside the bell jar 2 is then flooded until atmospheric pressure is established in the same. If this is the case, the bell jar 2 is moved back into the dot-dash position in FIG. 2. If several working platforms are arranged, the handling equipment on one of these platforms has meanwhile been brought into the state that should exist when the high vacuum is established. It is assumed that this is the case with the working platform which is the first to connect to the working platform 5 to the left in FIG. 1. In such a case, the support 8 is moved to the left in a position of the vacuum bell 2, which corresponds to the dot-dash position according to FIG. 2, until the vacuum bell 2 reaches the position shown in FIG. 1 with dash-dotted lines. Then the work processes are repeated analogously, which were shown above. LEGAL CLAIMS 1. Hochvakuum-Schmelzanlage mit einer vertikalen Grundwand, die als Trägerin einer aus ihr horizontal ausladenden Arbeitsbühne ausgebildet ist, die einschließlich der auf ihr angeordneten Betriebseinrichtungen durch eine auf die Wand zu und von ihr weg verfahrbare Vakuumglocke, zu deren Abschluß die Wand bei Herstellung des Vakuums dient, gegen den umgebenden Raum abschließbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß in einer Hochvakuum-Schmelzofenanlage die durchgehend ausgeführte Vertikalwand mit einer Reihe die Heiz-, Schmelz- und Abgießvorrichtungen aufnehmender Arbeitsbühnen besetzt ist und daß den Arbeitsbühnen eine deren Zahl nicht erreichende Anzahl längs der Vertikalwand verfahrbarer Vakuumglocken zugeordnet ist.1. High vacuum melting plant with a vertical base wall that supports one of it horizontally expansive working platform is formed, including those arranged on it Operating equipment by means of a vacuum bell that can be moved towards and away from the wall the end of which the wall serves to create the vacuum against the surrounding space is lockable, characterized in that the continuous in a high vacuum melting furnace system Executed vertical wall with a row of heating, melting and pouring devices receiving work platforms is occupied and that the work platforms do not reach a number Number of movable vacuum bells along the vertical wall is assigned. 2. Hochvakuum-Schmelzanlage nachAnspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß den Arbeitsbühnen eine deren Zahl nicht erreichende Anzahl längs der Vertikalwand verfahrbarer Hochvakuumpumpstände zugeordnet ist.2. High vacuum melting plant according to Claim 1, characterized in that the working platforms a number of high vacuum pumping stations that cannot be moved along the vertical wall assigned. 3. Hochvakuum-Schmelzanlage nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß den Arbeitsbühnen ein einziger längs der Vertikalwand verfahrbarer Hochvakuumpumpstand zugeordnet ist.3. High vacuum melting plant according to claim 1 or 2, characterized in that the working platforms a single high vacuum pumping station which can be moved along the vertical wall is assigned. 4. Hochvakuum-Schmelzanlage nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Vertikalwand Trägerin von Materialzugabeeinrichtungen sowie, bei Anordnung derselben auf der Pumpstandseite, deren Durchführungen durch sie ist.4. High vacuum melting plant according to one of claims 1 to 3, characterized in that the vertical wall carrier of material adding devices as well as, when the same is arranged the pumping station side whose bushings is through it. 5. Hochvakuum-Schmelzanlage nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Vertikalwand Trägerin von Bewegungsdurchführungen für verschwenkbare Tiegel, Gießpfannen oder sonstige bewegliche Behandlungseinrichtungen ist. 5. High vacuum melting plant according to one of claims 1 to 4, characterized in that the vertical wall carrier of movement feedthroughs for pivotable crucibles, pouring ladles or other movable treatment facilities. 6. Hochvakuum-Schmelzanlage nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß außer einer Bewegungsdurchführung für innerhalb des Vakuumglockenraumes verschwenkbar angeordnete Einrichtungen in der Vertikalwand mindestens eine weitere Bewegungsdurchführung durch sie für Einrichtungen vorgesehen ist, deren Bewegung einen über den inneren Vakuumglockenraum hinausgehenden Raum beansprucht.6. High vacuum melting plant according to one of claims 1 to 4, characterized in that except for a movement lead-through for pivoting within the vacuum bell chamber arranged devices in the vertical wall at least one further movement implementation by it is provided for devices whose movement one over the inner vacuum bell space additional space is claimed. In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentanmeldung ρ 51595 VIa/48b D (bekanntgemacht am 19. 7. 1951).Considered publications:
German patent application ρ 51595 VIa / 48b D (published July 19, 1951). Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings ©! 909 577/190 7.59©! 909 577/190 7.59