DE1059144B - Automatic protection valve for vacuum or high vacuum systems - Google Patents
Automatic protection valve for vacuum or high vacuum systemsInfo
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- DE1059144B DE1059144B DEJ12481A DEJ0012481A DE1059144B DE 1059144 B DE1059144 B DE 1059144B DE J12481 A DEJ12481 A DE J12481A DE J0012481 A DEJ0012481 A DE J0012481A DE 1059144 B DE1059144 B DE 1059144B
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
- F04F9/00—Diffusion pumps
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
Der Gegenstand der Erfindung betrifft ein automatisch arbeitendes Schutzventil für Vakuum- oder Hochvakuumanlagen, bestehend aus einem Hauptventil zwischen mechanischer Pumpe und einem zu evakuierenden Raum oder Hochvakuumpumpe und einem zwischen mechanischer Pumpe und Hauptventil befindlichen Belüftungsventil.The object of the invention relates to an automatically operating protection valve for vacuum or High vacuum systems, consisting of a main valve between the mechanical pump and a closed evacuating space or high vacuum pump and one between mechanical pump and main valve located ventilation valve.
Beim Betrieb von Vakuumanlagen, insbesondere von Hochvakuumanlagen, kann es sehr leiclit vorkommen, daß bei Abschaltung der mechanischen Pumpe, bei Wiederinbetriebnahme oder bei Störungen derselben, das zur Abdichtung dieser Pumpe dienende Öl in flüssiger Form oder als Ölschaum vom Atmosphärendruck in den Vakuumraum gedrängt wird. Dieser Öleinbruch in den zu evakuierenden Raum kann für dessen Inhalt und auch für die Anlage selbst von großem Schaden sein und eine völlige, kostspielige und zeitraubende Säuberung der ganzen Anlage und deren Inhalt erforderlich machen. Ganz besonders verhängnisvoll ist ein solcher Öleinbruch bei Elektronenmikroskopen u. dgl.When operating vacuum systems, especially high vacuum systems, it can very easily happen that when the mechanical pump is switched off, when it is started up again or in the event of malfunctions the same, the oil used to seal this pump in liquid form or as an oil foam from Atmospheric pressure is forced into the vacuum space. This oil ingress in the evacuated Space can be very damaging to its contents and also to the system itself, and it can be utterly costly and require time-consuming cleaning of the entire system and its contents. Most notably Such an ingress of oil in electron microscopes and the like is disastrous.
Weiterhin erfordern manche Arbeiten im Vakuumraum, z. B. Vakuumdestillationen von leicht oxydierbaren Substanzen, wie auch nachgeschaltete Hochvakuumpumpen, insbesondere bei Wiederholter Einschaltung der Pumpe, ein sehr genau einzuhaltendes Vakuum im Vorvakuumraum, ehe der Rezipient bzw. die Hochvakuumpumpe eingeschaltet wird.Furthermore, some work in the vacuum space, e.g. B. Vacuum distillations of easily oxidizable Substances, as well as downstream high vacuum pumps, especially when switched on repeatedly the pump, a very precisely maintained vacuum in the fore-vacuum space before the recipient or the high vacuum pump is switched on.
Zur Lösung dieser Forderung wurden, bisher häufig die für eine einwandfreie Ftxnktion der Anlage notwendigen verschiedenen Ventilbetätigungen bei gleichzeitiger Überwachung der Meßinstrumte von Hand ausgeführt, Avas eine starke Konzentration des Bedienenden erforderte.In order to solve this requirement, the ones necessary for a perfect operation of the plant were often used up to now various valve actuations with simultaneous monitoring of the measuring instruments by hand carried out, Avas required a strong concentration of the operator.
Hierfür sind Absperrvorrichtungen nach Art eines Dreiwegehahnes bekannt, welche zwar die erforderlichen Ventilbetätigungen nur in der richtigen Reihenfolge durchzuführen gestatten, die aber von Hand betätigt werden müssen, wobei jedoch noch die richtigen Augenblicke für die verschiedenen Einzelbetätigungen vom Bedienenden nach Meßinstrumenten oder nach der Erfahrung zu bestimmen sind.For this purpose, shut-off devices in the manner of a three-way valve are known which, although the necessary Allow valve actuations to be carried out only in the correct sequence, but operated by hand must be, but still the right moments for the various individual activities to be determined by the operator according to measuring instruments or experience.
Bei plötzlichem unbemerktem Ausfall der mechanischen Pumpe waren aber trotzdem öleinbrüche in den Vakuum raum fast unvermeidbar.In the event of a sudden unnoticed failure of the mechanical pump, however, oil ingress was still in the vacuum space is almost inevitable.
Es sind auch automatisch arbeitende, von Meßinstrumenten gesteuerte Ventilkombinationen bekannt, deren technischer Aufwand an Meßgeräten, Steuermagneten, Relais, Verzögerungsgliedern usw. sehr hoch ist und die daher sehr störanfällig und kostspie-Iig sind. -There are also known automatic valve combinations controlled by measuring instruments, their technical expenditure on measuring devices, control magnets, relays, delay elements, etc. very much is high and are therefore very prone to failure and expensive. -
Insbesondere sind beispielsweise für das einwandfreie automatische Zusammenarbeiten des Belüftungsund
des Hauptventils bei Inbetrieb- oder Wiederin-Automatisches S chute ventil
für Vakuum- oder HochvakuumanlagenIn particular, for example, for the perfect automatic cooperation of the ventilation valve and the main valve when starting up or restarting the automatic safety valve
for vacuum or high vacuum systems
Anmelder:
Jenoptik Jena G.m.b.H., JenaApplicant:
Jenoptik Jena GmbH, Jena
Werner Haunstein, Jena,
und Hans Zapfe, Jena-Zwätzen,
sind als Erfinder genannt wordenWerner Haunstein, Jena,
and Hans Zapfe, Jena-Zwatzen,
have been named as inventors
betriebnahme der Anlage ebenfalls komplizierte Meß- und Steuerapparaturen erforderlich, die nach dem Einschalten der Ölhiftpumpe und dem gleichzeitigen automatischen Schließen des Belüftungsventils das Hauptventil erst dann öffnen, wenn das im Vorvakuumraum herrschende Vakuum eine Höhe erreicht hat, die die Einschaltung des Rezipienten oder eine Zusohaltung der Hochvakuumpumpe ohne Schaden für die Anlage oder deren Inhalt gestattet.operation of the system also requires complicated measuring and control equipment, which after switching on the oil shift pump and the simultaneous automatic closing of the ventilation valve, the main valve Open only when the prevailing vacuum in the fore-vacuum space has reached a level that the Switching on the recipient or keeping the high vacuum pump closed without damaging the system or their content is permitted.
Gemäß der Erfindung werden diese Mängel beseitigt und die gestellten Forderungen insbesondere hinsichtlich Zuverlässigkeit und Einfachheit dadurch erfüllt, daß das geöffnete Belüftungsventil einen einstellbaren Durchlaß besitzt, daß das Hauptventil und das Belüftungsventil zu einer Einheit zusammengefaßt sind, daß nach dem Einschalten der mechanischen Pumpe eine von dieser gesteuerte fest einstellbare Verzögerungseinrichtung erst dann das Belüftungsventil schließt, wenn im Ventilgehäuse ein aus Pumpenleistung und aus einstellbarem Belüftungsventildurchlaß resultierender, für den Weiterbetrieb der Anlage günstiger Unterdruck mit Sicherheit erreicht ist und daß das Belüftungsventil mit bekannten Mitteln so mit dem Hauptventil gekuppelt ist, daß erst unmittelbar nach dessen völligem Schließen das Hauptventil geöffnet wird und im umgekehrten Fall beim Ausschalten oder Aussetzen der mechanischen Pumpe sich unverzüglich das Piauptventil vor Öffnung des Belüftungsventils schließt.According to the invention, these deficiencies are eliminated and the demands made in particular with regard to Reliability and simplicity met in that the open vent valve has an adjustable Passage has that the main valve and the ventilation valve are combined into one unit, that after switching on the mechanical pump a fixed adjustable delay device controlled by this The ventilation valve only closes when there is a pump output in the valve housing and resulting from adjustable ventilation valve passage, for the continued operation of the system favorable negative pressure is achieved with certainty and that the ventilation valve with known means so is coupled to the main valve that only immediately after it has completely closed the main valve is opened and, conversely, when the mechanical pump is switched off or suspended immediately close the main valve before opening the ventilation valve.
Ein Ausführungsbeispiel des Gegenstandes der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt, und zwar zeigtAn embodiment of the subject matter of the invention is shown in the drawing, namely shows
Abb. 1 im Schema eine HochvakuumpumpanlageFig. 1 in the scheme of a high vacuum pumping system
909 530/106909 530/106
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEJ12481A DE1059144B (en) | 1956-11-20 | 1956-11-20 | Automatic protection valve for vacuum or high vacuum systems |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEJ12481A DE1059144B (en) | 1956-11-20 | 1956-11-20 | Automatic protection valve for vacuum or high vacuum systems |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE1059144B true DE1059144B (en) | 1959-06-11 |
Family
ID=7199129
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DEJ12481A Pending DE1059144B (en) | 1956-11-20 | 1956-11-20 | Automatic protection valve for vacuum or high vacuum systems |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE1059144B (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1266438B (en) * | 1960-01-04 | 1968-04-18 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Safety device for vacuum systems with a closing valve |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH252434A (en) * | 1944-01-12 | 1947-12-31 | Fides Gmbh | Shut-off device on a corpuscular jet apparatus working on a high vacuum pump. |
-
1956
- 1956-11-20 DE DEJ12481A patent/DE1059144B/en active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH252434A (en) * | 1944-01-12 | 1947-12-31 | Fides Gmbh | Shut-off device on a corpuscular jet apparatus working on a high vacuum pump. |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1266438B (en) * | 1960-01-04 | 1968-04-18 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Safety device for vacuum systems with a closing valve |
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