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Hochvakuumpumpstand mit Treibmittelpumpen Es ist bekannt, daß bei
Vakuumpumpständen, in denen Treibmittelpumpen mit mechanischen Vorpunlpen zur Erzeugung
eines hohen Vakuums zusamille:larbeiten, während des Betriebs verschiedene meh'
oder weniger schnell verlaufende Störungen auftreten können, welche je nach ihrer
Art eine Zerstörung des Einsatzgutes im Hochvakuumrezipienten oder durch Verschlechterung
des Arbeitsvakuums eine Qualitätsminderung des Einsatzgutes herbeifuhren.
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Grundsätzlich sollen in diesem Zusammenhang schnell verlaufende Störungen
dann angenommen werden, wenn innerhalb kürzester Zeit eine wesentliche Beschädigung
oder Zerstörung des Einsatzgutes im, Rezipienten auftritt, während bei langsam verlaufenden
Störungen erst nach längerer Zeit eine Beeinträchtigung der Qualität des Einsatzgutes
feststellbar sein soll. Im Sinne dieser Ausführungen sind als schnelle Störungen
anzusehen: a) Ausfall des gesamten Stromversorgungsnetzes, b) größerer Lufteinbruch
im Vorvakuum oder im Hochvakuum, c) Ausfall der rotierenden Vorpumpen. Langsame
Störungen sind dagegen: d) Ausfall der Heizung bei den Treibmittelpunlpen der Hochvakuumstufe,
e) Kühl`v asserausfall bei den Treibmittelpumpen der Hochvakuumstufe, f) langsamer
Druckanstieg auf der Hochvakuumseite dlarch geringen Lufteinbruch.
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In der Patent- und Fachliteratur der Vakuumtechnik sind daher bereits
eine Anzahl von Sicherheitsvorrichtungen vorgeschlagen worden, mit deren Hilfe einzelne
Störungen gemeldet oder durch entsprechend selbständig eingeleitete Gegenrnaßnahmen
hinsichtlich ihrer Auswirkung beschränkt oder beseitigt werden können. Man kennt
beispielsweise bereits eine Temperaturüberwachung des in Treibmittelpumpen verwendeten
flüssigen Treibmittels, wobei eine Abschaltung der Heizung erfolgt, wenn die Treibmitteltemperatur
übel- einen zulässigen Maximalwer t ansteigt. Es ist auch vorgeschlagen worden,
Absperrventile selbsttätig zu schließen, wenn im Rezipienten ein plötzlicher Druckanstieg
auftritt. Außerdem sind Vorrichtungen zur UTberv-acllung der Kühlwassertemperatur
vorbekannt, so daß Störungen, die durch einen Ausfall des Kühlwassers bei einer
Treibmittelpumpe auftreten, rechtzeitig erkannt und beseitigt werden können.
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Es werden z. B. Elektromagnetventile verwendet, die durch Federdruck
selbsttätig schließen, wenn die elektrische Spannung ausfällt oder wenn der Betätigungsstrom
durch einen Steuerkreis, der von einer Druckmeßeinrichtung beeinflußt wird, unterbrochen
wird. Ein solches Ventil kann zwar innerhalb eines Hochvakuumpumpstandes vorteilhaft
eingesetzt werden; eine umfassende Sicherungsschaltung läßt sich ;edoch mit diesem
Bauelement nur in Kombination, mit weiteren Mitteln erreichen. Bekannt sind ferner
Absperrvorrichtungen auf der Hochvakuumseite einer Diffusionspumpe, welch den Pumpeninnenraum
bei Lufteinbrüchen im Vakuumrezipienten absperren. Zur Schaltung der Hochvakuumpumpstufe
sind auch bereits Schutzschaltungen entwickelt worden, bei dienen ein Vorvakuummesser
dazu verwendet wird, bei Erreichung des für die Inbetriebsetzung der Hochvakuumpumpe
nötigen Vorvakuums in der folgenden Vakuumstufe einen Sicherheitsschalter zu schließen,
wodurch der elektrische Strom für die Betätigung eines Elektromagneten eingeschaltet
wird, der als Stellmotor für ein Ventil in der Hochvakuumleitung dienst. Dabei ist
die Anzugskraft dieses Elektromagneten so bemessen, daß sie die Rückstellkraft einer
Rückstellfeder dann zu überwinden vermag und das Hochvakuumabsperrventil öffnet,
wenn durch Erreichung des nötigen Vorvakuums der Ventildeckel entsprechend entlastet
wird. Zusätzlich ist ein Sperrschalter derart vorgesehen, daß bei Inbetriebnahme
der Hochvakuumpumpe die Stromzuführung zu einem weiteren Elektromagneten, der ein
Belüftungsventil des Rezipienten steuert, unterbrochen wird. In stromlosem Zustand
dieses Elektromagneten schließt eine Rückstellfeder das Belüftungsventil. Mit einer
solchen Schaltung ist es möglich, einen Rezipienten stufenweise auszupumpen, wobei
die Hochvakuumpumpe in Betrieb genommen wird, nachdem durch die Vorvakuumpumpe im
Vakuumrezipienten ein entsprechendes Vorvakuum hergestellt worden ist. Beim Auftreten
von Störungen auf der Hochvakuumseite wird zwar
das Absperrventil
zur Diffusionspumpe geschlossen, eine derart aufgebaute Schaltung kann jedoch zwischen
rasch verlaufenden Störungen auf der Vorv akuumseite und langsam verlaufenden Störungen
auf der Hochvakuumseite in keiner Weise untersehei, den, insbesondere ist eine Totalabschaltung
des Pumpstandes mit den angegebenen Schaltmitteln nicht möglich. Bei allen vorbekannten
Ausführungen handelt es sich um einzelne Sicherungsmaßnahmen für bestimmte Teile
eines Vakuumpumpstandes, ohne daß bisher eine universelle Sicherheitsschaltung bekannt
war, die sämtliche auftretenden Fehler nach dem Grad ihrer Wichtigkeit berücksichtigt.
Bei den vorbekannten Ausführungen können jederzeit Störungen auftreten, welche auf
die gerade überwachte Betriebsgröße keinen oder zunächst keinen Einfluß haben, so
daß z. B. eine Zerstörung des Einsatzgutes im Rezipienten häufig, trotz einwandfreier
Funktion der Sicherheitsvorrichtung, entsteht.
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Eine wirksame Sicherung eines derartigen Hochvakuumpumpstandes ist
daher nur dann gegeben, wenn es gelingt, die wichtigsten Betriebsgrößen in ihrem
Zusammenwirken gleichzeitig zu überwachen und beim Auftreten einer Störung eine
entsprechende Gegenmaßnahme zu treffen. Selbstverständlich soll eine derartige Gegenmaßnahme
dem Umfang der Störung angemessen sein, so daß kostspielige Stillegungen des gesamten
Pumpstandes beim Auftreten von nur geringfügigen Störungen vermieden werden. Es
ist außerdem wünschenswert, eine derartige Sicherungsschaltung so aufzubauen, daß
bei kurzzeitigem Netzausfall noch keine Abschaltung des Hochvakuumpumpstandes erfolgt.
Diese soll vielmehr erst dann durchgeführt werden, wenn durch längeren Ausfall des
Stromversorgungsnetzes ein Absinken oder völliges Aufhören der Saugleistung der
Pumpen auftritt, wobei das Einsatzgut im Rezipienten durch den nachfolgenden Druckanstieg
und den aus der Diffus.ionspumpe zurückschlagenden Treibmitteldampf gefährdet wird.
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Die Erfindung betrifft einen Hochvakuumpumpstand, bestehend aus einer
mit mindestens einer rotierenden mechanischen Pumpe bestückten Vorvakuumstufe und
einer mit mindestens einer Hochvakuumpumpe, insbesondere Treibmittelpumpe, ausgerüsteten
Hochvakuumstufe, welche durch entsprechende Absperrorgane und Druckmeßorgane enthaltende
Verbindungsleitungen miteinander und mit einem Hochvakuumrezipienten verbunden sind.
Das Kennzeichnende der Erfindung wird darin gesehen, daß eine Sicherungsschaltung
derart vorgesehen ist, daß der Hochvakuumpumpstand bei rasch verlaufenden Störungen
über an sich bekannte Mittel auf der Vorv akuumseite abgeschaltet wird und daß bei
langsam verlaufenden Störungen auf der Hochvakuumseite lediglich eine Abschaltung
der Hochvakuumstufe erfolgt. Durch diese Trennung des Schaltvorganges in eine völlige
Abschaltung des gesamten Purnpstandes und in eine Abschaltung der Hochvakuumstufe
wird eine sehr vorteilhafte Anpassung an die im praktischen Betrieb auftretenden
Störungen nach dem Maß ihrer Auswirkung erreicht. Es hat sich gezeigt, daß eine
solche Unterteilung für die Mehrzahl aller Fälle äußerst günstig erscheint. Eine
derartige Schaltung kann vorteilhaft so ausgebildet sein, daß das völlige Abschalten
des Pumpstandes bei raschen Störungen durch das Schließen des Hoehvakuumventils
zwischen dem Rezipienten und der Hochvakuumstufe, durch Unterbrechung der Heizung
der Treibmittelpumpe bzw. -pumpen in der Hochvakuumstufe, durch Einschalten einer
Schnellkühlung und durch Schließen des Vorvakuumventils erfolgt. In diesem Falle
wird also bei einer schnellen Störung, z. B. bei einem größeren Lufteinbruch auf
der Hochvakuumseite, der gesamte Pump@tand abgeschaltet und außerdem durch eine
Schnellkühlung das in den Treibmittelpumpen vorhandene flüssige Treibmittel abgekühlt,
so daß die Auswirkungen des Lufteinbruchs für den Pumpstand weitgehend unwirksam
bleiben. In diesem Falle muß nach Beseitigung der Störung neu angefahren werden,
was bei der Abschaltung der Hochvakuumstufe infolge von langsam verlaufenden Störungen
nicht erforderlich ist.
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Das Abschalten der Hochvakuumstufe kann zweckmäßig durch das Schließen
des Hochvakuumventils zwischen dem Rezipienten und der Hochvakuumstufe und durch
die Unterbrechung der Heizung der Treibmieelpumpe oder -pumpen in der Hochvakuumstufe
vorgenommen werden.
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Zur Schaltung der Betriebsgrößen (Betätigungsstrom der Magnetventile,
Motorenstrom der Vorpumpen, elektrische Heizung der Treibmittelpumpe, Schnellkühlung)
können zwei Relais vorgesehen sein, wobei die Arbeitswicklung des ersten Relais
von einem bekannten Druckmeßorgan in der Vorvakuumleitung gesteuert wird. Eine solche
Anordnung ist zur Schaltung der Hochvakuumpumpenstufe eines Pumpstandes bereits
bekannt, und eine Weiterbildung im Sinne der Erfindung besteht darin, daß die Steuerung
der Arbeitswicklung des ersten Relais zusätzlich über einen an mindestens einer
rotierenden Pumpe der Vorvakuumstufe angebrachten Fliehkraftschalter erfolgt und
daß die Arbeitswicklung des zweiten Relais über an sich bekannte Druckmeßorgane
in der Hochvakuumleitung sowie durch thermische Meßorgane in der Hochvakuumpumpenstufe
und durch einen Kontaktsatz des ersten Relais gesteuert wird. Die an sich bekannten
Druckmeßorgane können in der verschiedensten Weise nach den verschiedensten Meßprinzipien
arbeitend ausgeführt sein. Sie werden in dieser Sicherungsschaltung lediglich als
Ein-Aus-Schalter verwendet und sind daher derart auszuwählen, daß sich eine möglichst
treppenartige Scharliku.rv e, d. h. eine sprunghafte Änderung der Anzeigegröße beim
Erreichen eines eingestellten, vorgegebenen Wertes der Meßgröße (Druck, Temperatur)
ergibt.
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Es mag vorteilhaft sein, die Relaiskontakte an beiden Relais derart
auszubilden, daß die Abschaltung des Pumpstandes oder seiner Hochvakuumstufe durch
Arbeitsstromimpulse erfolgt. Hierdurch wird sichergestellt, daß nur gewünschte Signalimpulse
eine Schaltwirkung herbeiführen können, während etwa durch Störungen hervorgerufene
Stromunterbrechungen zunächst nicht in dieser Weise wirksam sind.
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Bei einem derartigen Hochvakuumpumpstand kann vorteilhaft ein zusätzliches
Netzrelais vorgesehen sein, welches bei Netzausfall unabhängig von der Stellung
des ersten und zweiten Relais eine völlige Abschaltung des Pumpstandes herbeiführt.
Im Betrieb treten jedoch manchmal kurzzeitige Unterbrechungen der N etzspannung
auf, wobei die Diffusionspumpen des Pumpstandes durch ihre thermische Trägheit zunächst
weiterarbeiten, so daß keine Gefährdung des Rezipienteneinsatzgutes oder des Hochvakuumpumpstandes
auftritt. Es wäre daher unter Umständen unzweckmäßig, das Netzrelais so auszubilden,
daß bei jeder Störung der Pumpstand sofort völlig abgeschaltet wird. Eine Weiterbildung
der Erfindung sieht daher vor, das Netzrelais als einschaltverzögertes Relais auszubilden,
dessen Verzögerungszeit zwischen
10 und 30 Sekunden, vorzugsweise
bei 20 Sekunden, liegt. Hierdurch wird sichergestellt, daß kurzzeitige Unterbrechungen
der Netzspannung keine anhaltende Abschaltung des Pumpstandes auslösen können.
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Es hat sich ferner als vorteilhaft erwiesen, als an sich bekanntes
Meßorgan in der Vorvakuumleitung einen Glimmstreckendruckmesser zu verwenden, welcher
beim Unterschreiten eines vorgegebenen Vorvakuumdruckwertes über an sich bekannte
Schaltmittel einen Arbeitsstromimpuls an das erste Relais aussendet. Außerdem erscheint
es unter Umständen zweckmäßig, als an sich bekannte Meßorgane in der Hochvakuumleitung
ein Penning-Vakuummeter und einen weiteren Glimmstreckendruckmesser gleichwirkend
vorzusehen, welche über an sich bekannte Schaltmittel einen Arbeitsstromimpuls an
das zweite Relais aussenden, wenn eines der beiden Meßorgane auf die Unterschreitung
eines vorgegebenen Hochvakuumdruckwertes anspricht. Hierdurch ist eine doppelte
Sicherheit für die Aussendung des notwendigen Schaltimpulses gegeben. Selbstverständlich
bleibt jeweils der nachfolgende, gleichwirkende Impuls unwirksam, nachdem der vorangegangene
bereits den gewünschten Schaltvorgang eingeleitet hat.
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Es ist ferner unter Umständen zweckmäßig, als ein thermisches Meßorgan
ein Differentialthermoelement vorzusehen, dessen eine Meßstelle am Boden des Siedegefäßes
der Treibmittelpumpe und dessen andere Meßstelle an ihrem Kühlwasseraustritt liegt,.
so daß dieses Differentialthermoelement über eine an sich bekannte Kompensationsschaltung
einen Arbeitsstromimpuls an das zweite Relais aussendet, wenn die Temperatur am
Pumpenboden der Treibmittelpumpe einen jeweils fest vorgegebenen Wert übersteigt
oder unterschreitet. Zur Überwachung der Kühlwassertemperatur kann zusätzlich ein
Thermoschalter angeordnet sein.
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Beim Anfahren des Pumpstandes (Vorevakuierung) können unter Umständen
trotz ordnungsgemäßem Betrieb an den Meßgliedern Fehlimpulse auftreten, welche unwirksam
gemacht werden müssen, damit eine reibungslose Aufeinanderfolge der einzelnen Betriebszustände
gewährleistet ist. Beispielsweise wird das an sich bekannte Meßorgan in der Vorvakuumleitung
beim Anfahren des Pumpstandes zunächst den Fehlimpuls geben, welcher der Störung
»Lufteinbruch im Vorvakuum« entspricht. Da die Überwachung zunächst nur von dem
Betriebszustand der eigentlichen Feinevakuierung ausgeht, welcher den größten Teil
der Gesamtpumpzeit einnimmt, muß dafür gesorgt werden, daß dieser beim Anfahren
zunächst entstehende Fehlimpuls (ebenso wie andere Fehlimpulse von der Hochvakuumseite
her) zunächst unwirksam bleibt und erst dann weitergeleitet werden kann, wenn eine
echte Störung eintritt, nachdem vorher ein einwandfreies Varv akuum hergestellt
ist. Es wird daher vorgeschlagen, daß die von den Meßorganen auf der Vorvakuumseite
und auf der Hochvakuumseite ausgehenden Signalleitungen über einen Auswahlschalter
geführt werden, welcher in den einzelnen Stellungen nur die Signale derjenigen Meßorgane
zum ersten und zweiten Relais weiterleitet, die dem am Auswahlschalter eingestellten
Betriebszustand des Hochvakuumpumpstandes (z. B. Vorevakuierung) entsprechen, so
daß die bei einem bestimmten Betriebszustand (z. B. Anfahren) notwendigerweise auftretenden
Fehlimpulse (z. B. vom Druckmeßsystem auf der Hochvakuumseite) unwirksam bleiben.
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Man kann die auftretenden Fehlimpulse jedoch auch dazu ausnutzen,
um über ein an sich bekanntes, von Impulsen gesteuertes Zwischenschaltwerk die Aufeinanderfolge
der einzelnen Betriebszustände automatisch herbeizuführen. Beispielsweise werden
zunächst nur die Vorvakuumpumpen eingeschaltet, und der negative Impuls beim Erreichen
des als untere Grenze eingestellten zulässigen Vorvakuumdruckes schaltet ein Schaltwerk,
etwa nach der Art der in der Fernsprechtechnik bekannten Drehwähler, um einen Schritt
weiter. In dieser Stellung des Schaltwerks wird das Vorvakuumventil geöffnet und
die Heizung der Treibmittelpumpen eingeschaltet. Auf diese Weise kann der gesamte
Pumpvorgang mit Vorevakuierung, Endevakuierung und Absperrung des evakuierten Rezipienten
völlig selbständig durchgeführt werden, und es ist außerdem die Sicherheit vorhanden,
daß der Pumpstand beim Auftreten von unvorhergesehenen Störungen in wirksamster
Weise selbsttätig die erforderlichen Gegenmaßnahmen einleitet. Hat eine Störungsschaltung
zur Abschaltung des gesamten Pumpstandes geführt, so muß selbstverständlich die
Wiedereinschaltung nach Beseitigung der Störung von Hand vorgenommen werden.
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In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel des Gegenstandes der
Erfindung schematisch dargestellt. Es zeigt Fig. 1 einen Hochvakuumpumpstand mit
Sicherungsschaltung, Fig. 2 ein Schaltschema der Relais und der Meßstellen in einem
Hochvakuumpumpstand nach Fig. 1. In Fig. 1 ist ein einfach aufgebauter Hochvakuumpumpstand
dargestellt, bei dem eine rotierende Vorpumpe 1 mit einer Diffusionspumpe 2 zusammenwirkt.
In einer Verbindungsleitung 3 zwischen der Vorpumpe 1 und der Diffusionspumpe 2
sind ein Glimms.treckendruckschalter 4 und ein Magnetventil 5 eingeschaltet. Auf
die Diffusionspumpe 2 ist ein Hochvakuumaufsatz 6 mit Anschlußflansch 7 zum Hochvakuumrezipienten
aufgesetzt, in dem ein ebenfalls. magnetisch betätigtes. Telifervenitil 8 und die
beiden gleichwirkenden Druckmeßsysteme, nämlich: ein Glimmstreckendruckschalter
10 (M2) und ein Penning-Druckschalter 11 (M5) entsprechend angeordnet sind.
Im Boden 12 der Diffusionspumpe 2 ist eine Kühlspirale eingebettet, der über Zuleitungen
13 und Abflußleitung 14 zur raschen Abkühlung Kühlwasser zugeführt werden kann.
Der Kühlwasserzufluß über die Zuleitungen 13 wird durch ein weiteres Magnetventil
15
gesteuert. Die Heizwicklung der Diffusionspumpe ist mit 16 bezeichnet.
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Die Magnetventile 5, 8 und 15 sind über Arbeits-bzw. Ruhestromkontakte
VV1, N1, N2, HV1, VV2, N4 mit entsprechenden Stromquellen, vorzugsweise Gleichstromquellen,
verbunden.
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Die einzelnen Meßsysteme, welche, wie bereits beschrieben, nur als
Ein-Aus-Schalter wirken sollen, sind mit M1, 31121 11T3, M4 und M5 bezeichnet. Dabei
ist zu beachten, daß die beiden Glimmstreckendruckschalter 4 und 10 parallel geschaltet
sind und jeweils den gleichen Schaltimpuls 1A2 liefern. Mit M1 ist ein Fliehkraftschalter
19 an der rotierenden Vorpumpe 1 verbunden. M3 erhält seinen Arbeitsimpuls von einem
Thermoschalter 20 im Kühlwassermantel 21 der Diffusionspumpe 2. Der Schaltimpuls
M4 geht von einem Differentialthermoelement 22 aus (hier nur schematisch angedeutet),
das mit seiner einen Meßstelle 23 am Kühlwassermantel 21 und mit seiner anderen
Meßstelle 24 am Pumpenboden 12 anliegt. Diese Anordnung ergibt eine besonders wirksame
Überwachung der Temperaturverhältnisse. Bei der tatsächlichen Ausführung ist im
Zusammenhang mit dem Differentialthermoelement
22 noch ein Kompensationsverstärker
vorgesehen.
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Die Meßsysteme des Aufbaus nach Fig. 1 erscheinen als einfache Schalter
nunmehr in dem Relaisschaltplan nach Fig. 2. Dort sind drei Relais HV, VV
und N
vorgesehen, welche über die zugeordneten Kontaktsätze die entsprechenden
Magnetventile und sonstigen Regelglieder steuern. Beispielsweise wird der Kontakt
hhi vom Vorvakuumrelais VV gesteuert, während der Kontakt 11'3 in Fig. 1
mit dem Netzrelais N in Fig. 2 zusammenwirkt.
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Tritt nun z_ B. ein Lufteinbruch in der Vorvakuumleitung 3 auf, so
sendet der Glimmstreckendruckschalter 4 einen Impuls aus, d. h., in der vereinfachten
Darstellung in Fig. 2 wird der Schalter 1W2 geSchlossen. Dadurch gelangt die von
dem Netzanschluß 17 entnommene und mit Hilfe eines Gleichrichters 18: gleichgerichtete
Spannung an die Arbeitswicklung des Vorv akuumrelais VV. Die mit diesem Relais zusammenwirkenden
Kontakte VV" VV., VV, und TVl4 werden betätigt und damit zunächst der Stromkreis
des`Magnetventils 5 unterbrochen, wodurch das Magnetventil e in seine Absperrstellung
gebracht wird. Der zugehörige Kontakt Ni bleibt davon unabhängig so länge geschlossen,
bis das Netzrelais N beim -Aus= fall der Spannung abfällt. Es kommt ferner - die
Arbeitswicklung -des Magnetventils 15 über den Schaltkontakt VV, unter Strom (der
Kontakt 1V4 wird durch das Relais N geschlossen gehalten). Dadurch öffnet das Magnetventil
15, und der Wasserdurchfluß über die Leitungen 13, 14' wird zur. Schnellkühlung
der Bodenplatte 12 der Diffusionspumpe 2 freibegeben. Durch - das Schließen des
Arbeitskontaktes VV', gelangt auch die Wicklung des Höehvakuumrelais HV unter Strom,
und die zugeordneten Kontakte Werden um besteuert. Der Ruhekontakt HV, öffnet, wird
die Arbeitswicklung des Tellerventils 8 stromlos, so daß dessen Schließung -und
damit die Absp errung des Hochvakuumrezipienten erfolgt .(1\'._, :vird dabei vorn
Netzrelais 1T gehalten).
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Durch Öffnen des Arbeitskontaktes Hh2 wird die. Heizung 15 der Diffusionspumpe
2 abgeschaltet, wähsend der Arbeitskontakt i1'3 vom Netzrelais Ar weiterhin geschlossen.
gehalten wird. Zur Vermeidung 'Von Relaispendelungen sind die Arbeitskontakte Hh,
und 1'l'4 vorgesehen, mit deren Hilfe sich die Anker der Relais nach dem Schaltvorgang
festhalten.
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Durch den beschriebenen Vorgang ist nun eine Ab-Schaltung sämtlicher
wichtiger Betriebseinheiten des Hochvakuumpumpstandes vorgenommen worden.
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Zur Überwachung der mechanischen Vorpumpe ist an dieser ein Fliehkraftschalter
19 vorgesehen, der beim Stillstand der Pumpe einen Arbeitsimpuls an den hlernmen
a71 auslöst, wodurch ebenfalls wie beim Ansprechen von 1112 eine Gesamtabschaltung
- des Pumpstandes eintritt.
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Beim Ansprechen eines der Meßglieder 1V3, :'1i14 oder :l1, wird zur
Teilabschaltung des Pumpstandes nur das Hochvakuumrelais Hb' erregt. Seine zugeordneten
Kontaktsätze HVi, HIV, und HV" führen dann die Absperrung der Hochvakuumstufe herbei.
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Bei Netzausfall fällt schließlich das Netzrelais N ab, wodurch die
Anbei tskontakte Ni i, iV2, N3 und 1\T4 öffnen. Auch hier wird also eine Abschaltung
des ganzen Pumpenstandes, allerdings ohne Anwendung der schnell wirkenden Schutzmittel
(Schnellkühlung), -: eranlaßt, so daß nach Wiedereinschaltung des Netzes der Pumpstand
- nach Ablauf der Einschaltverzögerungszeit, d. h. wenn die Vorpumpe 1 die Vorvakuumleitung
3 unter den Ansprechdruck des Glimmstrecken-