DE10392876B4 - Multi-stage interferometric fluctuations interpreting process for frequency-scanning interferometer, involves performing two approximations of interference frequency relating to number of cycles - Google Patents
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Abstract
Description
Technischer Bereichtechnical Area
Die Verarbeitung von Daten, die von Frequenzabtast-Interferometern erfasst wurden, weist Umwandlungsraten von interferometrischer Abweichung auf, die zu Abweichungen in Strahlfrequenz in solche Längenmaße wie Oberflächentopografie oder Abstand gehören.The Processing data collected by frequency-sampling interferometers have conversion rates of interferometric deviation which may cause deviations in beam frequency to such length dimensions as surface topography or distance belong.
Die
Die
Die
Hintergrundbackground
Frequenzabtast-Interferometer, die auch als Wellenlängenabtast-Interferometer oder Multi- bzw. Mehrfach-Wellenlängeninterferometer bezeichnet werden, leiten von Interferenzmessungen, die bei einer Serie bzw. Folge von unterschiedlichen Strahlfrequenzen (oder Wellenlängen) erfolgten, Weglängenunterschiede zwischen interferierendem Objekt und Referenzstrahlen ab. Im Gegensatz zu herkömmlichen Interferometern, die Weglängenunterschiede zwischen Punkten innerhalb des gleichen Interferenzmusters vergleichen und zusätzliche Interferenzmuster benutzen, um Unbestimmtheiten der Vergleiche innerhalb des Musters aufzuheben, lösen Frequenzabtast-Interferometer Punkte innerhalb von Interferenzmustern individuell auf, was auf interferometrischen (zum Beispiel Intensität oder Phase) Schwankungen von korrespondierenden Punkten innerhalb von unterschiedlichen Interferenzmustern basiert, die bei unterschiedlichen Strahlfrequenzen erzeugt wurden.Frequencyscanning interferometer which also serves as a wavelength-scanning interferometer or multi-wavelength or multi-wavelength interferometer be guided by interference measurements that in a series or Sequence of different beam frequencies (or wavelengths) occurred, Path length differences between interfering object and reference beams. In contrast to usual Interferometers, the path length differences compare between points within the same interference pattern and additional Use interference patterns to determine the indeterminacy of the comparisons within of the pattern, solve Frequency scanning interferometer points within interference patterns individually based on what is interferometric (for example, intensity or phase) Fluctuations of corresponding points within different Interference patterns based at different beam frequencies were generated.
Als solcher kann ein größerer Bereich von Oberflächenrauheit und Abständen unzweideutig mit Frequenzabtast-Interferometern gemessen werden. Herkömmliche Interferometer sind typischerweise auf Messschrittweiten in der Beleuchtungsrichtung innerhalb des Umrandungsabstands ihrer Interferenzmuster begrenzt, welcher zur Wellenlänge der Beleuchtung korrespondiert. Die Messung solcher Schrittweiten durch Frequenzabtast-Interferometer ist unabhängig von der Nennwellenlänge einer Beleuchtung, welche stattdessen von dem Durchschnittsintervall zwischen den Strahlfrequenzen abhängt. Je feiner das Intervall ist, je weiter ist der Bereich der unzweideutigen Messung. Auf diese Weise können Frequenzabtast-Interferometer Messungen von rauhen oder diffusen Oberflächen bei Strahlfrequenzen liefern, die fleckige bzw. gespottete Interferenzmuster liefern, welche für herkömmliche Interferometer unlesbar sind.When such can be a larger area of surface roughness and distances unambiguously measured with frequency scanning interferometers. conventional Interferometers are typically based on measuring increments in the Direction of illumination within the border distance of their interference patterns limited, which to the wavelength the lighting corresponds. The measurement of such increments Frequency-sampling interferometer is independent of the nominal wavelength Lighting, which instead of the average interval between depends on the beam frequencies. The finer the interval, the wider the range of unambiguous Measurement. That way you can Frequencyscanning interferometer Provide measurements of rough or diffuse surfaces at beam frequencies, which provide spotty interference patterns which are conventional Interferometers are unreadable.
Frequenzabtast-Interferometer sind besonders nützlich zur Messung von Oberflächenprofilen von Testobjekten, wie Messungen von Oberflächenvariationen, die senkrecht zu einer Referenzebene oder -oberfläche erfolgen. Neueste Entwicklungen von Frequenzabtast-Interferometrie schließt die Anwendung von Bauteilen mit ein, wie beispielsweise solche wie abstimmbare Diodenlaser und CCD-Detektorarrays. Als ein Ergebnis wurden kompakte, genaue und schnelle Systeme entwickelt, welche die Fähigkeit zur Durchführung von Messungen sowohl für Bildgebenden und Nicht-Bildgebenden Anwendungen aufweisen.Frequencyscanning interferometer are especially useful for measuring surface profiles of test objects, such as measurements of surface variations that are perpendicular to a reference plane or surface. Latest developments of frequency-sampling interferometry includes the use of components, such as tunable diode lasers and CCD detector arrays. As a result compact, accurate and fast systems have been developed which the ability to carry out Measurements for both Imaging and non-imaging applications have.
Eine
bekannte Ausführung
eines Frequenzabtast-Interferometersystem
Die
Elemente des Detektorarrays
Die
lokalen interferometrischen Werte variieren in einer sinusförmigen Art
und Weise mit Veränderungen
in Strahlfrequenz, die zyklisch Bedingungen von konstruktiver und
destruktiver Interferenz durchläuft.
Die Rate von interferometrischer Variation, zum Beispiel die Frequenz
einer Intensitätsvariation,
ist eine Funktion der Weglänge
zwischen den lokalen Abschnitten des Objekt- und Referenzstrahls
Innerhalb
des Computers
Zur Berechnung der Fouriertransformationen für jede einer Anzahl von den Interferenzmustern abgetasteten Punkte ist ein beachtliche Rechenzeit erforderlich. Zum Beispiel erfordern Intensitätsdetektoarrays mit einer Matrix von Tausend mal Tausend Abtastelementen bis zu eine Million durchzuführender Fouriertransformationen. Die Rechenzeit für jede Fouriertransformation erhöht sich sowohl mit der Anzahl von unterschiedlichen aufgenommenen Interferenzmustern als auch mit der Anzahl von geprüften Fourierfrequenzabtastungen. Der Bereich von abtastbaren Interferenzfrequenzen ist abhängig von der Anzahl von aufgenommenen Interferenzmustern, und die Genauigkeit, mit welcher die Interferenzfrequenzen identifiziert bzw. bestimmt werden können, hängt ab von der Anzahl von benutzten Fourierfrequenzabtastungen. Dementsprechend kann eine Rechenzeit, die von mehrfachen Dimensionen beeinflusst wird, Messvorgänge verlangsamen, wobei die Messvorgänge zu langsam für „Echtzeit-" oder „Inline-"Untersuchungen gemacht werden.to Calculating the Fourier transforms for each of a number of the Interference patterns sampled points is a considerable amount of computing time required. For example, intensity detector arrays require a matrix from thousand times thousand scanning elements up to one million to be performed Fourier transformations. The computing time for each Fourier transformation elevated with both the number of different recorded interference patterns as well as with the number of tested Fourier frequency samples. The range of scannable interference frequencies depends on from the number of recorded interference patterns, and the accuracy, with which the interference frequencies are identified or determined can be depends from the number of used Fourier frequency samples. Accordingly can have a computing time that is influenced by multiple dimensions will, measuring operations slow down, taking the measuring processes too slow for "real-time" or "inline" investigations become.
Zusammenfassung der ErfindungSummary the invention
Zur Verarbeitung von durch Frequenzabtast-Interferometern erzeugten Daten sind signifikante Reduktionen in Rechenzeit gemacht worden. Verbesserungen wurden sowohl zur Vereinfachung als auch zur Rationalisierung der Verarbeitung geschaffen. Schnellere Messungen und Messungen mit höherer Genauigkeit sind möglich.to Processing of frequency-sampling interferometers Data have been made significant reductions in computation time. Improvements have been both simplification and rationalization of processing. Faster measurements and measurements with higher Accuracy is possible.
Eine Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein verbessertes interferometrisches Frequenzabtastsystem zur Abstands- oder Bereichesmessung zu schaffen, welches solche Systeme mit einschließt, die 3-D-Abbildungen des Oberflächenprofils eines Testobjekts erzeugen, wobei Berechnungen von Abstands- oder Bereicheswerten wird Schnelligkeit und Genauigkeit durchgeführt werden. Eine allgemeinere Aufgabe der Erfindung ist es, ein verbessertes System zur Ableitung von Abstands- oder Bereichesmessungen aus interferometrischen Daten zu schaffen.A The object of the invention is an improved interferometric To provide a frequency scanning system for distance or range measurement, which includes such systems, the 3-D images of the surface profile generate a test object, with calculations of distance or Scope will be performed on speed and accuracy. A more general object of the invention is to provide an improved System for deriving distance or range measurements from interferometric To create data.
Die Erfindung kann als ein mehrstufiges Verfahren zur Auswertung bzw. Interpretation von interferometrischen Schwankungen von Frequenzabtast-Interferometern betrieben werden. Eine Reihe von N Interferenzmustern wird zwischen Objekt- und Referenzstrahl bei N unterschiedlichen Strahlfrequenzen innerhalb eines Bereiches von Strahlfrequenzen erzeugt. Interferometrische Daten werden für einen korrespondierenden Bereich aufgenommen, der in jedem der N Interferenzmustern erscheint. Die interferometrischen Daten für den korrespondierenden Bereich durchlaufen zyklisch Bedingungen von konstruktiver und destruktiver Interferenz mit Variation in den Strahlfrequenzen. Eine erste Annäherung einer Interferenzfrequenz wird ausgeführt, die zu der Anzahl von Interferenzzyklen korrespondiert, welche die interferometrischen Daten für den korrespondierenden Bereich durch die Reihe von Strahlfrequenzen durchlaufen. Die Grenzen dieser ersten Annäherung sind festgelegt. Eine zweite Annäherung der Interferenzfrequenz wird innerhalb der Grenzen der ersten Annäherung der Interferenzfrequenz ausgeführt. Die zweite oder höhere Annäherung der Interferenzfrequenz wird dann in ein Maß umgewandelt, welches zu einem Weglängenunterschied zwischen Abschnitten des Objekt- und Referenzstrahls korrespondiert, die innerhalb des korrespondierenden Bereiches der Interferenzmuster Interferenzen bilden.The invention can be operated as a multi-stage method for the interpretation of interferometric variations of frequency-scanning interferometers. A series of N interference patterns are generated between the object and reference beams at N different beam frequencies within a range of beam frequencies. Interferometric data is for a corresponding Range that appears in each of the N interference patterns. The interferometric data for the corresponding area cyclically undergo conditions of constructive and destructive interference with variation in the beam frequencies. A first approximation of an interference frequency is performed that corresponds to the number of interference cycles that the interferometric data for the corresponding region undergo through the series of beam frequencies. The limits of this first approximation are fixed. A second approximation of the interference frequency is performed within the limits of the first approximation of the interference frequency. The second or higher approximation of the interference frequency is then converted to a measure corresponding to a path length difference between portions of the object and reference beams which form interference within the corresponding area of the interference patterns.
Die erste Annäherung approximiert vorzugsweise die Interferenzfrequenz aus einer aus der Anzahl N oder weniger ausgewählten Interferenzfrequenz. Insbesondere approximiert die erste Annäherung die Interferenzfrequenz aus einer aus N/2 ausgewählten Interferenzfrequenzen. Als solche unterscheiden sich die ausgewählten Interferenzfrequenzen innerhalb der ersten Annäherung durch ungefähr ganze Zyklen von konstruktiven und destruktiven Interferenzen innerhalb des Bereiches von Strahlfrequenzen. Die ausgewählten Interferenzfrequenzen innerhalb der zweiten Annäherung unterscheiden sich durch signifikant weniger als ganze Zyklen von konstruktiven und destruktiven Interferenzen innerhalb des Bereiches von Strahlfrequenzen.The first approach Preferably, the interference frequency approximates one the number N or less selected Interference frequency. In particular, the first approximation approximates the Interference frequency from one of N / 2 selected interference frequencies. As such, the selected interference frequencies differ within the first approach through about whole cycles of constructive and destructive interference within the range of beam frequencies. The selected interference frequencies within the second approach differ by significantly less than whole cycles of constructive and destructive interference within the range of beam frequencies.
Vorzugsweise approximiert die erste Annäherung die Interferenzfrequenz aus einer aus einem ersten Bereich von Interferenzfrequenzen, die durch ein erstes Inkrement getrennt sind, die zweite Annäherung approximiert die Interferenzfrequenz aus einer aus einem zweiten Bereich von Interferenzfrequenzen, die durch ein zweites Inkrement getrennt sind, und der zweite Bereich von Frequenzen ist annähernd gleich dem ersten Inkrement, das Interferenzfrequenzen innerhalb des ersten Bereiches trennt.Preferably approximates the first approach the interference frequency from one of a first range of interference frequencies, which are separated by a first increment approximates the second approximation the interference frequency from one of a second range of Interference frequencies separated by a second increment and the second range of frequencies are approximately equal the first increment, the interference frequencies within the first Area separates.
Ebenso bevorzugt approximiert die erste Annäherung die Interferenzfrequenz aus einer aus M1 ausgewählten Interferenzfrequenzen, und die zweite Annäherung approximiert die Interferenzfrequenz aus einer aus M2 ausgewählten Interferenzfrequenzen. Die zweite Annäherung ist im Wesentlichen in Genauigkeit gleich einer einzelnen Annäherung, welche die Interferenzfrequenz aus einer aus dem Produkt von M1 mal M2 Interferenzfrequenzen approximiert.Also preferably, the first approximation approximates the interference frequency from an interference frequency selected from M 1 , and the second approximation approximates the interference frequency from an interference frequency selected from M 2 . The second approximation is essentially equal in accuracy to a single approximation which approximates the interference frequency from one of the product of M 1 by M 2 interference frequencies.
Für mindestens eine, nämlich die erste oder zweite Annäherung, ist die Anzahl N von Strahlfrequenzen vorzugsweise gleich einer Anzahl MS von ausgewählten Interferenzfrequenzen. Der Bereich von Strahlfrequenzen kann verwendet werden, um eine untere Grenze von wirksam messbaren Weglängenunterschieden zwischen dem Objekt- und Referenzstrahl festzulegen, und ein Mittelwertsinkrement zwischen nebeneinander liegenden Strahlfrequenzen kann verwendet werden, um einen Bereich von unzweideutigen Weglängenunterschieden festzulegen. Die untere Grenze von Weglängenunterschieden zwischen Objekt- und Referenzstrahl innerhalb des unzweideutigen Bereiches ist mit einer Interferenzfrequenz von Eins oder weniger Zyklen von konstruktiver und destruktiver Interferenz innerhalb des Bereiches von Strahlfrequenzen verbunden. Die obere Grenze von Weglängenunterschieden innerhalb des unzweideutigen Bereiches ist mit einer Interferenzfrequenz von N/2 Zyklen von konstruktiver und destruktiver Interferenz innerhalb des Bereiches von Strahlfrequenzen verbunden.For at least one, the first or second approximation, the number N of beam frequencies is preferably equal to a number M S of selected interference frequencies. The range of beam frequencies may be used to establish a lower limit of effectively measurable path length differences between the object and reference beams, and an average increment between adjacent beam frequencies may be used to establish a range of unambiguous path length differences. The lower limit of path length differences between the object and reference beams within the unambiguous range is associated with an interference frequency of one or fewer cycles of constructive and destructive interference within the range of beam frequencies. The upper limit of path length differences within the unambiguous range is associated with an interference frequency of N / 2 cycles of constructive and destructive interference within the range of beam frequencies.
Zur Messung von Oberflächentopografien werden interferometrische Daten für einer Vielzahl von korrespondierenden Bereichen aufgenommen, die in jeder der N Interferenzmuster erscheinen. Die interferometrischen Daten für jeden der korrespondierenden Bereiche durchlaufen zyklisch Bedingungen von konstruktiver und destruktiver Interferenz mit der Variation in den Strahlfrequenzen. Eine Vielzahl von ersten Annäherungen von Interferenzfre quenzen wird korrespondierend zu der Anzahl von Interferenzzyklen ausgeführt, welchen die interferometrischen Daten für die korrespondierenden Bereiche durch den Bereich von Strahlfrequenzen unterzogen werden. Die individuellen Grenzen der ersten Annäherungen sind festgelegt. Eine Vielzahl von zweiten Annäherungen der Interferenzfrequenzen wird innerhalb der individuellen Grenzen der ersten Annäherungen der Interferenzfrequenz durchgeführt. Die zweiten oder höheren Annäherungen der Interferenzfrequenzen werden dann in Maße umgewandelt, die zu einem Weglängenunterschied zwischen unterschiedlichen Abschnitten des Objekt- und Referenzstrahls korrespondieren, welche innerhalb der korrespondierenden Bereiche der Interferenzmuster Interferenz erzeugen. Die Interferenzmuster können als überlappende Bilder einer Testobjektoberfläche und einer Referenzelementoberfläche zur Bildung eines Bezugs der Weglängenunterschiede zu Oberflächenhöhenvariationen an korrespondierenden Stellen der Testobjektoberfläche aufgenommen werden.to Measurement of surface topographies be interferometric data for a variety of corresponding Areas that appear in each of the N interference patterns. The interferometric data for each of the corresponding areas undergo cyclic conditions constructive and destructive interference with the variation in the beam frequencies. A variety of first approaches of interference frequencies is corresponding to the number of Interference cycles are executed, which the interferometric data for the corresponding areas be subjected to the range of beam frequencies. The individual Limits of the first approaches are set. A variety of second approximations of the interference frequencies is within the individual limits of the first approximations the interference frequency performed. The second or higher approaches of the interference frequencies are then converted into measures leading to a path length between different sections of the object and reference beams which correspond within the corresponding areas the interference pattern generate interference. The interference pattern can as overlapping Images of a test object surface and a reference element surface to provide a reference of the path length differences to surface height variations recorded at corresponding points of the test object surface become.
Ein feineres oder zusätzliches Messen in abgestuften Messungen kann durchgeführt werden, indem eine dritte Annäherung der Interferenzfrequenz innerhalb der Grenzen der zweiten Annäherung der Interferenzfrequenz ausgeführt wird. Die dritte oder höhere Annäherung der Interferenzfrequenz wird in ein Maß umgewandelt, welches zu einem Weglängenunterschied zwischen Abschnitten des Objekt- und Referenzstrahls korrespondiert, welche innerhalb des korrespondierenden Bereichs der Interferenzmuster Interferenz bilden.A finer or additional measurement in graduated measurements can be performed by a third approximation of the interference frequency is performed within the limits of the second approximation of the interference frequency. The third or higher approximation of the interference frequency is converted to a measure corresponding to a path length difference between portions of the object and reference beams which form interference within the corresponding area of the interference patterns.
Die zweite oder höhere Annäherung der Interferenzfrequenz kann ein Identifizieren von zwei dicht beieinander liegenden Annäherungen der Interferenzfrequenz und ein Interpolieren einer näheren Annäherung der Interferenzfrequenz aus den beiden dicht beieinander liegenden Annäherungen der Interferenzfrequenz aufweisen. Zum Beispiel kann die nähere Annäherung als eine Stelle identifiziert werden, an welcher eine erste Ableitung einer implizierten sinusförmigen Funktion einen Nullwert aufweist.The second or higher approach the interference frequency can be an identification of two close together lying approaches the interference frequency and interpolate a closer approximation of Interference frequency from the two close approximations have the interference frequency. For example, the closer approximation than a location is identified at which a first derivative an implied sinusoidal Function has a zero value.
Die Erfindung kann auch als ein System zur Ableitung von Längeinformationen aus interferometrischen Daten Verwendung finden, die über einem Bereich von unterschiedlichen Frequenzen aufgenommen wurden. Ein Frequenzabtast-Interferometer erzeugt eine Serie von Interferenzmustern zwischen Objekt- und Referenzstrahl über dem Bereich von unterschiedlichen Frequenzen. Ein gemeinsamer Ort innerhalb der Interferenzmuster läuft zyklisch diskret über den Bereich von unterschiedlichen Frequenzen durch Bedingungen von konstruktiver und destruktiver Interferenz bei einer Rate, die zu einer Interferenzfrequenz korrespondiert. Ein Datenerfassungssystem erfasst Datenabtastwerte von dem gemeinsamen Ort innerhalb der Serie von Interferenzmustern. Ein Prozessor wertet einen ersten Satz von Interferenzfrequenzabtastwerten gegen die Datenabtastwerte aus, um eine erste Annäherung der Interferenzfrequenz zu erhalten, die der Zyklusrate der Datenabtastwerte entspricht und wertet einen zweiten Satz von Interferenzfrequenzabtastwerten in der Nachbarschaft der ersten Annäherung der Interferenzfrequenz gegen die Datenabtastwerte aus, um die Interferenzfrequenz besser zu approximieren, welche der Zyklusrate der Datenabtastwerte entspricht. Zusätzlich setzt der Prozessor die besser approximierte Interferenzfrequenz in Bezug zu Längenunterschieden zwischen dem Objekt- und Referenzstrahl.The Invention may also be used as a system for deriving length information find use of interferometric data over a Range of different frequencies were recorded. One Frequency scanning interferometer generates a series of interference patterns between object and reference beam over the range of different Frequencies. A common place within the interference pattern runs cyclically discretely over the range of different frequencies by conditions of constructive and destructive interference at a rate that is too high an interference frequency corresponds. A data acquisition system captures data samples from the common location within the series of interference patterns. A processor evaluates a first set of Interference frequency samples against the data samples, for a first approach to obtain the interference frequency, the cycle rate of the data samples equals and evaluates a second set of interference frequency samples in the neighborhood of the first approximation of the interference frequency against the data samples to better the interference frequency to approximate which corresponds to the cycle rate of the data samples. additionally the processor sets the better approximated interference frequency in relation to differences in length between the object and reference beam.
Der erste Satz bzw. die erste Gruppe von Interferenzfrequenzabtastwerten ist vorzugsweise aus Frequenzkomponenten einer Fouriertransformation gebildet, die verglichen wurde, um eine Spitzeninterferenzfrequenz festzulegen. Die Fourierfrequenzkomponenten des ersten Satzes der Interferenzfrequenzabtastwerte sind voneinander in einem bestimmten Inkrement bzw. Zuwachs beabstandet, und die Fourierfrequenzkomponenten des zweiten Satzes der Interferenzfrequenzabtastwerte sind voneinander in einem zweiten Inkrement beabstandet, welches feiner ist als das erste Inkrement. Die Fourierfrequenzkomponenten des zweiten Satzes der Interferenzfrequenzabtastwerte umgeben einen Frequenzbereich, der annähernd gleich dem ersten Inkrement ist, um welches der erste Satz von Interferenzfrequenzabtastwerten voneinander beabstandet ist.Of the first set or the first group of interference frequency samples is preferably of frequency components of a Fourier transform which was compared to a peak interference frequency set. The Fourier frequency components of the first set of Interference frequency samples are from one another in a particular one Increment spaced, and the Fourier frequency components of the second set of interference frequency samples are from each other spaced at a second increment, which is finer than that first increment. The Fourier frequency components of the second set of Interference frequency samples surround a frequency range that nearly is equal to the first increment around which the first set of interference frequency samples spaced apart.
Vorzugsweise ist das erste Inkrement nicht größer als eine Einheitsinterferenzfrequenz. Zum Beispiel kann das erste Inkrement gleich einer Hälfte einer Einheitsinterferenzfrequenz sein. Der Prozessor korreliert vorzugsweise mindestens einen der Sätze der Interferenzfrequenzabtastwerte mit den Abtastwerten durch eine Fouriertransformation, die den Interferenzfrequenzabtastwert des Satzes identifiziert, der der Zyklusrate der Datenabtastwerte am besten entspricht. Beide Sätze der Interferenzabtastwerte werden mit den Datenabtastwerten durch die Fouriertransformation korreliert, welche den Interferenzfrequenzabtastwert eines jeden Satzes identifiziert, der der Zyklusrate der Datenabtastwerte am besten entspricht.Preferably the first increment is not larger than a unitary interference frequency. For example, the first increment equal to a half a unit interference frequency. The processor preferably correlates at least one of the sentences the interference frequency samples with the samples by a Fourier transform that determines the interference frequency sample of the Set identifies the cycle rate of the data samples at best matches. Both sentences the interference samples pass through the data samples the Fourier transform correlates the interference frequency sample of each set identifies the cycle rate of the data samples best matches.
Eine Vielzahl von gemeinsamen Orten in den Interferenzmustern kann zur Messung von Oberflächentopografien oder anderen Mehrfachpunktmessungen ausgewertet werden. Das Datenerfassungssystem erfasst individuelle Gruppen von Datenabtastwerten von der Vielzahl von gemeinsamen Orten innerhalb der Serie von Interferenzmustern. Der Prozessor wertet separat den ersten Satz von Abtastwerten der Interferenzfrequenz gegen die individuellen Gruppen von Datenabtastwerten aus, um erste Annäherungen der Interferenzfrequenzen zu erhalten, die den Zyklusraten der individuellen Gruppen von Datenabtastwerten entsprechen. Der Prozessor wertet dann separat zweite Sätze von Abtastwerten der Interferenzfrequenz in der Nachbarschaft der ersten Annäherungen der Interferenzfrequenz gegen die individuellen Gruppen von Datenabtastwerten aus, um die Interferenzfrequenzen besser zu approximieren, die den Zyklusraten der individuellen Gruppen von Datenabtastwerten entsprechen.A Variety of common locations in the interference patterns can be used for Measurement of surface topographies or other multipoint measurements. The data acquisition system detects individual groups of data samples from the plurality of common locations within the series of interference patterns. The processor separately evaluates the first set of samples of the Interference frequency against the individual groups of data samples out to first approaches to obtain the interference frequencies that correspond to the cycle rates of the individual Groups of data samples. The processor evaluates then separate second sentences of samples of the interference frequency in the neighborhood of first approximations the interference frequency against the individual groups of data samples to better approximate the interference frequencies that cause the Cycle rates of the individual groups of data samples correspond.
Der gleiche erste Satz von Abtastwerten der Interferenzfrequenz kann gegen die Gruppen von Datenabtastwerten ausgewertet werden. Jedoch werden unterschiedliche zweite Sätze von Abtastwerten der Interferenzfrequenz gegen die Gruppen von Datenabtastwerten in Übereinstimmung mit Unterschieden zwischen den ersten Annäherungen der Interferenzfrequenz verbunden mit den unterschiedlichen Gruppen von Datenabtastwerten ausgewertet. Der Prozessor bringt die besser approximierten Interferenzfrequenzen in Bezug zu Bereichsinformationen zwischen dem Objekt- und Referenzstrahl zur Ableitung von topografischen Informationen über eine Testoberfläche oder andere Mehrfachpunktinformationen.The same first set of samples of the interference frequency may be evaluated against the groups of data samples. However, different second sets of samples of the interference frequency are evaluated against the groups of data samples in accordance with differences between the first approximations of the interference frequency associated with the different groups of data samples. The processor relates the better approximated interference frequencies to area information between the object and reference beams to derive topographic in formations via a test surface or other multipoint information.
Ein dritter Satz von Abtastwerten der Interferenzfrequenz kann in der Nachbarschaft der zweiten Annäherung der Interferenzfrequenz gegen die Datenabtastwerte ausgewertet werden, um die Interferenzfrequenz gleichmäßig besser zu approximieren, die der Zyklusrate der Datenabtastwerte entspricht. Die Datenabtastwerte und Interferenzfrequenzabtastwerte von irgendeinem der Sätze werden vorzugsweise zur Optimierung einer schnellen Fouriertransformation aufgestellt.One third set of samples of the interference frequency can be in the Neighborhood of the second approach the interference frequency are evaluated against the data samples, to even better approximate the interference frequency, which corresponds to the cycle rate of the data samples. The data samples and interference frequency samples of any of the sets preferably for optimizing a fast Fourier transformation established.
Die Erfindung kann auch als ein Verfahren zum Reduzieren von Berechnungen einer Frequenztransformation zum Umwandeln interferometrischer Daten in Längenunterschiede zwischen Objekt- und Referenzstrahl ausgeführt sein. Die interferometrischen Daten werden von einer Vielzahl von Interferenzmustern erfasst, die von dem Objekt- und Referenzstrahl erzeugt werden und von Frequenzen der Strahlen unterschieden werden. Eine Folge von N Interferenzdatenpunkten wird von korrespondierenden Abschnitten der Interferenzmuster extrahiert. Die Folge von Datenpunkten durchläuft zyklisch Bedingungen von konstruktiver und destruktiver Interferenz bei einer Interferenzfrequenz, die in Beziehung zu den Weglängenunterschieden zwischen dem Test- und Referenzstrahl steht. Eine Fouriertransformation wird von dem Typ erstellt, der zur Auswertung von Frequenzbeiträgen von M Fourierabtastwerten benutzt wird, die überall im Fourierfrequenzraum auf die N Datenpunkte verteilt sind, die von den Interferenzmustern erfasst wurden. Die Fouriertransformation ist begrenzt auf die Auswertung von weniger als M Fourierfrequenzabtastwerten, die ähnlich überall in einem begrenzten Abschnitt des Fourierfrequenzraums verteilt sind. Eine Annäherung der Interferenzfrequenz wird von einem der weniger als M Fourierfrequenzabtastwerte als ein Maß des Weglängenunterschieds zwischen dem Test- und Referenzstrahl identifiziert.The Invention may also be used as a method for reducing calculations a frequency transformation for converting interferometric data in differences in length be executed between the object and reference beam. The interferometric Data is captured by a variety of interference patterns which are generated by the object and reference beams and frequencies the rays are distinguished. A sequence of N interference data points is extracted from corresponding portions of the interference patterns. The sequence of data points cycles through conditions of constructive and destructive interference at an interference frequency, that in relation to the path length differences stands between the test and reference beam. A Fourier transform is created by the type used to evaluate frequency contributions from M Fourier samples used throughout the Fourier frequency space the N data points are distributed, that of the interference patterns were recorded. The Fourier transformation is limited to the evaluation less than M Fourier frequency samples, which are similar throughout a limited portion of the Fourier frequency space are distributed. An approach the interference frequency is from one of the less than M Fourier frequency samples as a measure of path length identified between the test and reference beam.
Vorzugsweise ist die Fouriertransformation auf die Auswertung von nicht mehr als M/2 Fourierfrequenzabtastwerten begrenzt, die überall in nicht mehr als einer Hälfte des Fourierfrequenzraums gleichmäßig verteilt sind, und die Annäherung der Interferenzfrequenz wird aus den nicht mehr als M/2 Fourierfrequenzabtastwerten identifiziert. Vor der Durchführung der Fouriertransformation wird eine Durchschnittsintensität der Datenpunkte berechnet, und der Mittelwert wird von den Datenpunkten subtrahiert. Der Vorgang entfernt eine Intensitätsverzerrung, wobei die Intensitätswerte der Datenpunkte für eine bessere Angleichung für eine unverzerrte Sinuskurve belassen werden.Preferably is the Fourier transformation on the evaluation of no more limited as M / 2 Fourier frequency samples, which are everywhere in not more than one half of Fourier frequency space evenly distributed are, and the approach the interference frequency becomes not more than M / 2 Fourier frequency samples identified. Before the implementation the Fourier transform becomes an average intensity of the data points calculated and the mean is subtracted from the data points. The process removes intensity distortion, where the intensity values the data points for a better approximation for leave an undistorted sine wave.
Zur Durchführung einer Mehrfachmessung wird eine erste Annäherung der Interferenzfrequenz aus den Fourierfrequenzabtastwerten identifiziert, welche auf nicht mehr als N Fourierfrequenzabtastwerte begrenzt sind, insbesondere vorzugsweise auf N/2 Abtastwerte. Eine zweite Annäherung der Interferenzfrequenz wird aus neuen Fourierabtastwerten identifiziert, welche weiterhin den Fourierfrequenzraum in der Nachbarschaft der ersten Annäherung der Interferenzfrequenz aufteilen. Der für die zweite Annäherung in Betracht kommende Fourierfrequenzraum ist vorzugsweise gleich dem Fourierfrequenzraum zwischen den Fourierfrequenzabtastwerten der ersten Annäherung. Die Anzahl solcher Frequenzabtastwerte ist vorzugsweise gleich 2M/N Abtastwerte.to execution a multiple measurement becomes a first approximation of the interference frequency from the Fourier frequency samples which are not more than N Fourierfrequenzabtastwerte are limited, in particular preferably to N / 2 samples. A second approach of the Interference frequency is identified from new Fourier samples, which further the Fourierfrequency space in the neighborhood of first approach split the interference frequency. The one for the second approach in Coming Fourier frequency space is preferably equal to Fourier frequency space between the Fourier frequency samples of first approach. The number of such frequency samples is preferably equal to 2M / N Samples.
In
Kürze gesagt,
schaffen die bevorzugten Ausführungsformen
der Erfindung ein Wellenlänge
abtastendes interferometrisches System mit Einrichtungen zur Ableitung
einer Vielzahl von Abtastwerten von interferometrischen Daten, wie
zum Beispiel mit einem System der in
Zeichnungendrawings
Detaillierte Beschreibungdetailed description
Das
in
Der
abstimmbare Laser
Das
Detektorarray
Die
von den Elementen des Detektorarrays
Die
aufgezeichnete Intensität „I" korrespondiert zum
Beispiel zu der Intensität,
die durch ein Pixel innerhalb des von dem Objekt- und Referenzstrahl
Wird der Weglängenunterschied als „R = R1 – R2" betrachtet, so kann die Intensität „I" eines individuellen Datenpunkts wie folgt geschrieben werden: oder bei Verwendung von Frequenzbezeichnung: wobei „c" die Lichtgeschwindigkeit und „ν" die Strahlfrequenz ist.If the path length difference is considered "R = R 1 -R 2 ", the intensity "I" of an individual data point can be written as follows: or when using frequency designation: where "c" is the speed of light and "ν" is the beam frequency.
Die
durch den Kosinusterm der Gleichung (5) beschriebene Intensität „I" hängt sowohl
vom dem Weglängenunterschied „R" und der Strahlfrequenz „ν" ab. Zum Beispiel
stellt der Kosinusterm der Intensität „I" das zyklische Durchlaufen des Objekt-
und Referenzstrahls
Gleichung
(5) zeigt auch, dass die Intensität „I" zwei Basisterme aufweist: einen Verzerrungsterm,
der gleich „|A1|2 + |A2|2" ist
und einen Kosinusterm. Die sinusartige Intensitätsvariation, welche von Interesse
ist, ergibt sich aus dem Kosinusterm. Der Verzerrungsterm ist ein
Offset, der leicht durch die Berechnung des Mittelwerts „
Die abgetastete Intensität „I'(n)" innerhalb eines Interferenzmusters „n" mit entferntem Verzerrungsterm ist wie folgt:The sampled intensity "I '(n)" within a Interference pattern "n" with distortion term removed is as follows:
Wie
aus Gleichung (7B) hervorgeht, ist die Frequenz des Kosinusterms
von der Frequenz (oder) Wellenlänge
des Messstrahls
Eine diskrete Fouriertransformation zum Einschätzen der Frequenzkomponenten der Funktion „I'(n)" kann wie folgt geschrieben werden: wobei „M" die gesamte Anzahl von Frequenzkomponentenabtastwerten ist, die gleichmäßig überall im Fourierfrequenzraum verteilt sind, „m" bezeichnet einer der Ordnungs-Frequenzkomponenten in der Ordnung von 1 bis „M" überall im Fourierfrequenzraum, und „K'(m)" misst, wie gut jeder der „m" geordneten individuellen Frequenzkomponentenabtastwerte (auch als Bins bezeichnet) der Interferenzfrequenz der aufgezeichneten Datenpunktintensitäten „I'(n)" in korrespondierenden Bereichen der „n" geordneten Interferenzmuster entspricht.A discrete Fourier transform for estimating the frequency components of the function "I '(n)" can be written as follows: where "M" is the total number of frequency component samples uniformly distributed throughout the Fourier frequency space, "m" denotes one of the order frequency components in order from 1 to "M" throughout Fourier frequency space, and measures "K '(m)" how well each of the "m" ordered individual frequency component samples (also referred to as bins) corresponds to the interference frequency of the recorded data point intensities "I '(n)" in corresponding regions of the "n" ordered interference patterns.
Zwei
Interferenzfrequenzspitzen
Der
Wert des Mehrdeutigkeitsbereichsintervalls „ΔRAMB" ist gegeben als:
Der
Wert einer Bereichsauflösung „ΔRRES",
der zu einem einzelnen vollständigen
Zyklus von konstruktiver und destruktiver Interferenz innerhalb
des gesamten Bereichs (oder Bandbreite) „νTOTAL" von Strahlfrequenzen
korrespondiert, ist gegeben als:
Neue
Spitzen
Obwohl
Phasenverschiebung routinemäßig zur
Auflösung
von Interferenzzweideutigkeiten verwendet wird, erfordert die Praxis
zusätzliche
Messungen, komplizierte Messvorrichtungen und verbraucht Prozesszeit. Jedoch
durch eine Einschränkung
der Fouriertransformation auf eine Hälfte des Fourierfrequenzraums,
in dem nur eine der Spitzen
Obwohl eine Hälfte des Fourierfrequenzraums eliminiert ist, muss der Messbereich nicht geopfert werden, da ein vergleichbares Mehrdeutigkeitsbereichsintervall „ΔRAMB" aufrecht erhalten werden kann, indem die Anzahl „N" von unterschiedlichen Frequenzdatenpunkten „I(n)" erhöht wird. Die Datenerfassungszeit wird als noch geringer erwartet als diejenige, die zur Durchführung von Phasenverschiebungsvorgängen erforderlich ist. Die Berechnungen sind viel einfacher und schneller.Although one half of the Fourier frequency space is eliminated, the measurement range need not be sacrificed because a comparable ambiguity range interval "ΔR AMB " can be maintained by increasing the number "N" of different frequency data points "I (n)." The data acquisition time is called even less than what is required to perform phase shifting operations, and the calculations are much simpler and faster.
Es
kann beträchtlich
mehr Rechenzeit bei erster Durchführung einer groben Fouriertransformation
eingespart werden, um eine erste Annäherung des Ortes der Interferenzfrequenzspitze
Systemparameter,
solche wie die aktuellen Laserfrequenzen „ν", können
dann zur Umwandlung des digitalen Werts von Bin
Die Erfindung schafft auch für weitere erhöhte Messung Genauigkeit durch feineres Orten der Interferenzfrequenzspitze innerhalb eines Fourierfrequenzbins. Die Genauigkeit einer Bereichsmessung in Frequenzabtast-Interferometersystemen, die bisher vorgeschlagen worden sind, wurde primär durch die Anzahl von Fourierabtastwerten M begrenzt. Erhöhte Genauigkeit kann jedoch durch Anwendung eines Kurvenbearbeitungsalgorithmus erreicht werden oder die Anzahl von Abtastwerten kann erhöht werden. Zusätzlich kann erhöhte Geschwindigkeit dadurch erlangt werden, dass die Fourierkoeffizienten vorab berechnet werden, die für alle Abtastorte redundant sind.The Invention also creates for further increased Measuring accuracy by finer location of the interference frequency peak within a Fourier frequency bin. The accuracy of a range measurement in frequency-scanning interferometer systems previously proposed became primary is limited by the number of Fourier samples M. Increased accuracy However, this can be done by applying a curve processing algorithm can be achieved or the number of samples can be increased. additionally can be increased Speed can be obtained by the fact that the Fourier coefficients to be charged in advance for all scan locations are redundant.
Das
in der Software oder dem Programm gemäß der Erfindung enthaltene
Berechnungsverfahren, wie das, welches auf dem Computer
Das
Programm beinhaltet vorzugsweise die folgende Mathematik im Zusammenhang
mit
Dann
wird als nächstes
im Schritt
Basierend
auf der anfänglichen
Einschätzung
oder ersten Annäherung
des Spitzenortes, verfährt
das Programm weiter mit Schritt
Der
Bereichswert (oder Abstandswert) wird im Schritt
Höhere Genauigkeit
mit zusätzlicher
Zeiteinsparung in Bezug auf die Gesamtanzahl M von Frequenzabtastwerten
ist möglich
durch Verwendung der zweiten Annäherung
des Spitzenortes und der Beabstandung zwischen der zweiten Gruppe
von Abtastwerten, um eine dritte Annäherung des Ortes der Interferenzspitze
Die Anzahl von Fourierfrequenzabtastwerten bei irgendeiner der Annäherungsstufen kann eingestellt werden, um die Anwendung für eine schnelle Fouriertransformation (FFT) zu optimieren. Zum Beispiel kann die Anzahl von Fourierabtastwerten in jeder solchen Stufe (zum Beispiel MC oder MF) annähernd gleich der Anzahl von Datenabtastwerten „N" eingestellt werden.The number of Fourier frequency samples at any of the approximation stages can be adjusted to optimize the application for a fast Fourier transform (FFT). For example, the number of Fourier samples in each such stage (eg, M C or M F ) may be set approximately equal to the number of data samples "N".
Ein
alternatives Verfahren zur Suche der Spitze im Schritt
Basierend auf dem Computersoftwareprogramm, dass auf einem Computer ausgeführt wird, können Bereichs- oder Abstandsmessungen, die auf der Berechnung von Weglängenunterschieden zwischen Objekt- und Referenzstrahl basieren, angewendet werden, um ein Oberflächenprofil (das heißt topografische Information) eines Testobjekts zu erzeugen. Die Software ist auf interferometrische Intensitätsdaten, die bei einer Folge von unterschiedlichen Strahlfrequenzen erfasst wurden, zur schnellen und genauen Ableitung der Bereichsmessung durch Vergleich mit Fourierfrequenzabtastwerten einsatzfähig. Systematische Suche nach dem Spitzenwert der Fouriertransformation wird nur an den notwendigen Punkten in dem Fourierraum berechnungsmäßig ausgeführt, welche in der Nachbarschaft eines abgeschätzten Spitzenwertes liegen. Zusätzliche Genauigkeit kann durch Lokalisieren der Spitze zwischen beieinanderliegenden Fourierfrequenzabtastwerten erlangt werden, an denen die Ableitung der Frequenztransformation einen Nullwert aufweist.Based on the computer software program that is running on a computer can range or distance measurements based on the calculation of path length differences be based between object and reference beam, applied, around a surface profile (this means topographic information) of a test object. The software is on interferometric intensity data that results in a sequence were detected by different beam frequencies, for fast and accurately deriving the range measurement by comparison with Fourier frequency samples operational. Systematic search for the peak of the Fourier transform is calculated only at the necessary points in the Fourier space which in the neighborhood of an estimated peak. additional Accuracy can be achieved by locating the tip between adjacent ones Fourierfrequenzabtastwerten be obtained at which the derivative the frequency transformation has a zero value.
Obwohl die Erfindung mit Bezugnahme auf ein besonderes Frequenzabtast-Interferometer erläutert ist, ist die Erfindung auf einen weiten Bereich von anderen Frequenzabtast-Interferometerkonfigurationen anwendbar. Zum Beispiel sind besondere Vorteile der Erfindung offensichtlich für Common-Path-Ausführungen (Fizeau) von Interferometern, wie solchen, die in meiner gleichzeitigen US-Anmeldung mit Anmeldetag vom 19. Juni 2003 mit dem Titel COMMON-PATH FREQUENCY-SCANNING INTERFEROMETER offenbar sind, welche hierdurch durch Bezugnahme mit aufgenommen ist. Weitere Variationen und Modifikationen in dem Interferometersystem und in dem Computerprogramm und in dem hier beschriebenen Verfahren sind im Geist und Bereich der Erfindung kann sich der Fachmann unzweifelhaft vorstellen.Even though the invention is explained with reference to a particular frequency-scanning interferometer, the invention is applicable to a wide range of other frequency-scanning interferometer configurations applicable. For example, particular advantages of the invention are apparent for common path executions (Fizeau) of interferometers, such as those in my concurrent US application with filing date of June 19, 2003 entitled COMMON-PATH FREQUENCY SCANNING INTERFEROMETERS, which are hereby by reference is included. Other variations and modifications in the Interferometer system and in the computer program and in this one described methods are within the spirit and scope of the invention the expert can undoubtedly imagine.
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---|---|---|---|
PCT/US2003/019789 WO2004001330A2 (en) | 2002-06-24 | 2003-06-23 | Multi-stage data processing for frequency-scanning interferometer |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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DE10392876T5 DE10392876T5 (en) | 2005-07-28 |
DE10392876B4 true DE10392876B4 (en) | 2007-06-28 |
Family
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Family Applications (1)
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---|---|---|---|
DE10392876T Expired - Fee Related DE10392876B4 (en) | 2003-06-23 | 2003-06-23 | Multi-stage interferometric fluctuations interpreting process for frequency-scanning interferometer, involves performing two approximations of interference frequency relating to number of cycles |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE10392876B4 (en) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4832489A (en) * | 1986-03-19 | 1989-05-23 | Wyko Corporation | Two-wavelength phase-shifting interferometer and method |
US5473434A (en) * | 1994-05-16 | 1995-12-05 | Zygo Corporation | Phase shifting interferometer and method for surface topography measurement |
US5777742A (en) * | 1993-03-11 | 1998-07-07 | Environmental Research Institute Of Michigan | System and method for holographic imaging with discernible image of an object |
US5880841A (en) * | 1997-09-08 | 1999-03-09 | Erim International, Inc. | Method and apparatus for three-dimensional imaging using laser illumination interferometry |
US5907404A (en) * | 1997-09-08 | 1999-05-25 | Erim International, Inc. | Multiple wavelength image plane interferometry |
US5926277A (en) * | 1987-09-08 | 1999-07-20 | Erim International, Inc. | Method and apparatus for three-dimensional imaging using laser illumination interferometry |
DE69426070T2 (en) * | 1993-02-08 | 2001-06-13 | Zygo Corp | METHOD FOR TOPOGRAPHIC SURFACE MEASUREMENT BY SPACE FREQUENCY ANALYSIS OF AN INTERFEROGRAM |
US6359692B1 (en) * | 1999-07-09 | 2002-03-19 | Zygo Corporation | Method and system for profiling objects having multiple reflective surfaces using wavelength-tuning phase-shifting interferometry |
-
2003
- 2003-06-23 DE DE10392876T patent/DE10392876B4/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4832489A (en) * | 1986-03-19 | 1989-05-23 | Wyko Corporation | Two-wavelength phase-shifting interferometer and method |
US5926277A (en) * | 1987-09-08 | 1999-07-20 | Erim International, Inc. | Method and apparatus for three-dimensional imaging using laser illumination interferometry |
DE69426070T2 (en) * | 1993-02-08 | 2001-06-13 | Zygo Corp | METHOD FOR TOPOGRAPHIC SURFACE MEASUREMENT BY SPACE FREQUENCY ANALYSIS OF AN INTERFEROGRAM |
US5777742A (en) * | 1993-03-11 | 1998-07-07 | Environmental Research Institute Of Michigan | System and method for holographic imaging with discernible image of an object |
US5473434A (en) * | 1994-05-16 | 1995-12-05 | Zygo Corporation | Phase shifting interferometer and method for surface topography measurement |
US5880841A (en) * | 1997-09-08 | 1999-03-09 | Erim International, Inc. | Method and apparatus for three-dimensional imaging using laser illumination interferometry |
US5907404A (en) * | 1997-09-08 | 1999-05-25 | Erim International, Inc. | Multiple wavelength image plane interferometry |
US6359692B1 (en) * | 1999-07-09 | 2002-03-19 | Zygo Corporation | Method and system for profiling objects having multiple reflective surfaces using wavelength-tuning phase-shifting interferometry |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE10392876T5 (en) | 2005-07-28 |
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