DE10344616A1 - Bauelement mit einer regelbaren Dünnschichtkapazität - Google Patents

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Ralf Schmidt
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    • H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P1/00—Auxiliary devices
    • H01P1/18—Phase-shifters
    • H01P1/181—Phase-shifters using ferroelectric devices

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Abstract

Mit der vorliegenden Erfindung wird ein Bauelement mit mindestens einer regelbaren Dünnschichtkapazität vorgeschlagen, das sich aufgrund seines einfachen Designs besonders kostengünstig herstellen lässt. DOLLAR A Die Bauelementstruktur ist auf einem Substrat realisiert und umfasst mindestens eine erste elektrisch leitende Schicht und eine zweite elektrisch leitende Schicht, die durch mindestens eine ferroelektrische Zwischenschicht (8) voneinander getrennt sind. In der ersten elektrisch leitenden Schicht ist mindestens eine erste Elektrode (4, 5) der Dünnschichtkapazität ausgebildet, während mindestens eine zweite Elektrode (7) der Dünnschichtkapazität in der zweiten elektrisch leitenden Schicht ausgebildet ist. Erfindungsgemäß wird die Kondensatoroberfläche der Dünnschichtkapazität ausschließlich durch den Überlappungsbereich der ersten und der zweiten Elektrode definiert.
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