DE10322935A1 - Separating wall having a gap for dividing process chambers of a vacuum deposition installation comprises measuring devices, evaluating devices, and adjusting devices - Google Patents
Separating wall having a gap for dividing process chambers of a vacuum deposition installation comprises measuring devices, evaluating devices, and adjusting devices Download PDFInfo
- Publication number
- DE10322935A1 DE10322935A1 DE2003122935 DE10322935A DE10322935A1 DE 10322935 A1 DE10322935 A1 DE 10322935A1 DE 2003122935 DE2003122935 DE 2003122935 DE 10322935 A DE10322935 A DE 10322935A DE 10322935 A1 DE10322935 A1 DE 10322935A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- gap
- cross
- sectional shape
- substrate
- devices
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/568—Transferring the substrates through a series of coating stations
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
Abstract
Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine mit einem Spalt versehene Trennwand zwischen zwei hintereinander angeordneten Prozesskammern einer Vakuumbeschichtungsanlage für Substrate, wobei die zu beschichtenden Substrate durch den Spalt von der einen in die folgende Prozesskammer geführt werden, mit Stellmitteln, um die Spaltquerschnittsform dem Querschnitt des Substrates anzupassen.The Invention relates to a partition provided with a gap between two process chambers of a vacuum coating system arranged one behind the other for substrates, the substrates to be coated through the gap from one be guided into the following process chamber, with adjusting devices, to adapt the gap cross-sectional shape to the cross-section of the substrate.
Derartige Trennwände dienen dazu, die Gasatmosphären der einzelnen Prozesskammern einer Vakuumbeschichtungsanlage voneinander zu trennen. Insbesondere die unterschiedlichen Gasatmosphären, wie sie bei reaktiven bzw. metallischen Prozessen eingesetzt werden, dürfen nicht zur Mischung gelangen, um insbesondere die Gefahr von "Picture Frame Effekten" zu minimieren.such partitions serve the gas atmospheres of the individual process chambers of a vacuum coating system from each other to separate. In particular the different gas atmospheres, such as they are used in reactive or metallic processes, allowed to do not mix, in particular to minimize the risk of "picture frame effects".
Die zu beschichtenden Substrate, also z.B. Glasscheiben, werden dazu von Prozesskammer zu Prozesskammer durch Spalte geführt, deren Querschnittsform nicht viel größer sein sollte als der Querschnitt des Substrats bezogen auf die Spaltebene, so dass der beim Durchfahren des Spaltes zwischen dem Substrat und dem Spaltrahmen verbleibende Öffnungsquerschnitt möglichst klein ist. Die zu beschichtenden Substrate, also z.B. die zu beschichtenden Glasscheiben, weisen Dicken zwischen 3 und 19 mm auf. Wenn mit einer festen Spaltgröße gearbeitet wird, muss diese wenigstens ca. 24 mm betragen, so dass auch Glasscheiben mit der Maximalglasdicke von 19 mm problemlos durch den Spalt gelangen. Dies hat aber den Nachteil, dass die verbleibende Querschnittsöffnung bei Glasdicken von nur 3 mm besonders groß wird, so dass es zu einem Austausch der Gasatmosphären in einem nicht erwünschten Maße kommt.The substrates to be coated, e.g. Panes of glass become this led from process chamber to process chamber through gaps, the Cross-sectional shape should not be much larger should be as the cross section of the substrate with respect to the fissure plane, so that when passing through the gap between the substrate and opening gap remaining in the split frame preferably is small. The substrates to be coated, e.g. the ones to be coated Glass panes have thicknesses between 3 and 19 mm. If with one fixed gap size worked , this must be at least approx. 24 mm, so that glass panes easily pass through the gap with the maximum glass thickness of 19 mm. However, this has the disadvantage that the remaining cross-sectional opening at Glass thicknesses of only 3 mm becomes particularly large, making it one Exchange of gas atmospheres in an unwanted Dimensions coming.
Es sind daher schon Anlagen in Betrieb, bei denen die lichte Höhe des Spaltes manuell verstellbar ist. Solche Anordnungen haben aber den Nachteil, dass bei einem Wechsel der Glasdicken der Prozess unterbrochen werden muss, um die manuelle Verstellung vornehmen zu können.It systems are therefore already in operation, in which the clear height of the gap is manually adjustable. However, such arrangements have the disadvantage that that the process is interrupted when the glass thickness changes to be able to make the manual adjustment.
Besonders problematisch wird die Situation, wenn die seitliche Ausdehnung der zu beschichtenden Glasscheiben nicht der Spaltbreite entspricht. In diesem Fall bleiben größere Bereiche des Spaltes frei, was zu einem besonders intensiven, aber nicht gewünschten Gasaustausch führt.Especially The situation becomes problematic when the lateral expansion the glass panes to be coated do not correspond to the gap width. In this case, larger areas remain of the gap free, resulting in a particularly intense but not desired Gas exchange leads.
Die Erfindung beruht somit auf dem Problem, die Beschichtungsqualität von Substraten zu verbessern, d.h. den Gasaustausch zwischen den einzelnen Prozesskammern deutlich zu verringern, und zwar auch dann, wenn die Beschichtungsanlage mit Substraten unterschiedlicher Querschnittsformen beschickt wird.The The invention is therefore based on the problem of the coating quality of substrates to improve, i.e. the gas exchange between the individual process chambers to reduce significantly, even if the coating system is loaded with substrates of different cross-sectional shapes.
Zur Lösung des Problems sieht die Erfindung vor, dass Messmittel die Querschnittsform des Substrates bezogen auf die Spaltebene erfassen, dass Auswertemittel aus der gemessenen Querschnittsform eine optimierte Spaltquerschnittsform ermitteln, dass die Stellmittel automatisch arbeitende Aktuatoren aufweisen und dass Steuermittel bereitgestellt sind, die auf Basis der ermittelten Spaltquerschnittsform Steuersignale für die Aktuatoren bereitstellen, so dass diese die optimierte Spaltquerschnittsform einstellen.to solution The problem of the invention provides that measuring means the cross-sectional shape of the substrate related to the fissure level capture that evaluation means an optimized gap cross-sectional shape from the measured cross-sectional shape determine that the actuator means automatically operating actuators and that control means are provided, which are based the determined gap cross-sectional shape control signals for the actuators provide so that they adjust the optimized gap cross-sectional shape.
Die Erfindung beruht somit auf der Überlegung, die bisher manuell vorgenommene Einstellung automatisch durchzuführen. Dazu bedarf es der zuvor genannten Mittel.The Invention is thus based on the consideration to carry out the previously manually made setting automatically. To the aforementioned means are required.
Bei dieser Ausgestaltung der Trennwand kann die Spaltquerschnittsform laufend den Querschnittsformen des jeweils aktuellen Substrates angepasst werden, so dass der Gasaustausch deutlich minimiert wird. Eine umständliche manuelle Verstellung der Spaltquerschnittsform entfällt.at this configuration of the partition can be the gap cross-sectional shape continuously the cross-sectional shapes of the current substrate be adjusted so that the gas exchange is significantly minimized. A cumbersome manual adjustment of the gap cross-sectional shape is not necessary.
Insbesondere für den Fall, dass Substrate unterschiedlicher Breitenausdehnungen durch den Spalt hindurch geführt werden, wird vorgeschlagen, dass der Spalt in seiner Breite in mehrere Abschnitte unterteilt ist, die jeweils wenigstens von einem Stellschieber einseitig begrenzt sind, wobei die einzelnen Stellschieber unabhängig voneinander verstellbar sind und dass dazu jedem Stellschieber ein Aktuator zugeordnet ist.In particular for the Case that substrates of different widths by passed through the gap it is proposed that the gap be divided into several in width Sections is divided, each of at least one adjusting slide are limited on one side, the individual setting slides being independent of one another are adjustable and that each actuator is assigned an actuator is.
In diesem Fall werden, wenn sich die Dicke des Substrats ändert, alle Stellschieber gleichmäßig verstellt. Sollte sich die Breitenausdehnung ändern, können einzelne Stellschieber in ihrem Bereich den Spalt vollständig schließen, so dass die effektive Spaltbreite der Breitenausdehnung des Substrates angepasst werden kann. Die Anpassung ist natürlich um so feiner, je mehr Stellschieber eingesetzt werden.In In this case, when the thickness of the substrate changes, all of them Adjustment slide adjusted evenly. Should the width change, individual setting slides can close the gap completely in their area so that the effective gap width the width of the substrate can be adjusted. The Adaptation is of course around the finer the more slide valves are used.
Der Strömungswiderstand eines Spaltes wird nicht allein durch die Querschnittsfläche der eine Blende bildenden Spaltmündung, sondern insbesondere auch durch die Spaltlänge bestimmt, die damit einen entsprechenden Einfluss auf den Trennfaktor erhält. Um eine ausreichende Trennung der beiden Prozessräume zu gewährleisten, benötigt der Spalt somit eine deutliche Ausdehnung in Transportrichtung. Ein solcher Spalt kann z.B. durch einen vorn und hinten offenen, flachen Kasten dargestellt werden, dessen obere und untere Wand jeweils durch eine sich parallel zum Substrat erstreckende Platten gebildet sind.The flow resistance of a gap is determined not only by the cross-sectional area of the gap mouth forming a diaphragm, but in particular also by the gap length, which thus has a corresponding influence on the separation factor. In order to ensure adequate separation of the two process rooms, the gap therefore requires a significant expansion in the direction of transport. Such a gap can be represented, for example, by a flat box open at the front and rear the whose upper and lower walls are each formed by a plate extending parallel to the substrate.
Um die Spalthöhe über die Länge des Spaltes der Dicke des Substrates anzupassen, kann z.B. die obere Platte gegenüber der unteren Platte mittels Aktuatoren abgesenkt werden. Wie oben schon erwähnt kann der Spalt in mehrere Abschnitte unterteilt sein, um die Breite des Spaltes an die Breite des Substrates anpassen zu können. Bei einem in Längsrichtung ausgedehnten Spalt besteht demnach die obere Platte aus mehreren einzeln sich in der Länge des Spaltes erstreckenden Streifen, die einzeln auf ihrer gesamten Länge abgesenkt werden können. Damit dabei an den stufigen Übergängen zwischen zwei benachbarten unterschiedlich stark abgesenkten Streifen keine Durchlässe entstehen, weisen die Streifen eine gewisse Höhe auf, so dass ihre Seitenwände sich unabhängig von der individuellen Höheneinstellung stets überlappen.Around the gap height over the Length of Adjusting the gap to the thickness of the substrate can e.g. the upper Plate opposite the lower plate can be lowered using actuators. As above already mentioned the gap can be divided into several sections by the width to be able to adapt the gap to the width of the substrate. at one in the longitudinal direction extended gap, the upper plate consists of several individually in the length of the Gap extending strips that are individually lowered along their entire length can be. In order to doing so at the step transitions between two there are no openings in the adjacent, differently lowered strips, the stripes have a certain height, so that their side walls are aligned independently from the individual height adjustment always overlap.
Des Weiteren besteht das Problem, dass das Substrat innerhalb eines sich in Längsrichtung ausgedehnten Spaltes nicht durch Transportrollen unterstützt werden kann so dass es dort zur Durchbiegung insbesondere von dünnen Gläsern (ca. 3 mm) bezogen auf die Längsausdehnung des Substrates kommt. Diese sind zwar nicht sehr groß, müssen aber ebenfalls bei der Festlegung der Spalthöhe berücksichtigt werden. Daher sind die obere und/oder untere Platte bzw. Streifen biegbar gestaltet und mit Aktuatoren versehen, die das Längsprofil der Platte oder der Streifen an die Durchbiegung anzupassen vermögen.Of There is also the problem that the substrate within a itself in the longitudinal direction extended gap can not be supported by transport rollers it can be used to deflect thin glasses (approx. 3 mm) based on the longitudinal expansion of the substrate comes. These are not very big, but they have to also be taken into account when determining the gap height. Therefore are the upper and / or lower plate or strip designed to be bendable and provided with actuators that the longitudinal profile of the plate or Stripes can adapt to the deflection.
Die Dichtwirkung des Spaltes lässt sich daher noch weiter verbessern, wenn zusätzlich Blenden am Ein- und/oder Ausgang des Spaltes vorgesehen werden, die aus einer durchgehenden Lippe aus einem elastisch verformbaren Material bestehen, die in Kontakt mit dem Substrat gelangen können, ohne dieses zu beschädigen. Hierbei kann es sich z.B. um einen dünnen flexiblen Vorhang handeln, der sich ggf. aus mehreren sich überlappenden Segmenten zusammensetzt.The Sealing effect of the gap leaves therefore improve even further if additional panels on the input and / or Output of the gap are provided, which consist of a continuous Lip made of an elastically deformable material that is in contact can get with the substrate without damaging it. This can e.g. a thin flexible curtain, which may consist of several overlapping Segments.
Im Folgenden wird anhand zweier Ausführungsbeispiele die Erfindung näher erläutert werden. Dazu zeigen:in the The invention is described below using two exemplary embodiments are explained in more detail. To demonstrate:
Zunächst wird
auf die
Jedem
Stellschieber
Bei
einem Substrat
In
der
Mit
Sensoren
Eine
weitere Möglichkeit,
die Gastrennung zu erhöhen,
ist in
- 11
- Trennwandpartition wall
- 22
- Spaltgap
- 33
- Substratsubstratum
- 44
- Stellschieberlock slider
- 55
- Aktuatoractuator
- 66
- Sensorsensor
- 77
- Steuer- und AuswerteeinheitTax- and evaluation unit
- 88th
- Lippelip
- 99
- Richtungspfeilarrow
- 1010
- Platteplate
- 1111
- Transportrolletransport roller
- 1212
- Blendecover
- 1313
- Lamellenslats
Claims (6)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2003122935 DE10322935A1 (en) | 2003-05-21 | 2003-05-21 | Separating wall having a gap for dividing process chambers of a vacuum deposition installation comprises measuring devices, evaluating devices, and adjusting devices |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2003122935 DE10322935A1 (en) | 2003-05-21 | 2003-05-21 | Separating wall having a gap for dividing process chambers of a vacuum deposition installation comprises measuring devices, evaluating devices, and adjusting devices |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10322935A1 true DE10322935A1 (en) | 2004-12-16 |
Family
ID=33441086
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2003122935 Withdrawn DE10322935A1 (en) | 2003-05-21 | 2003-05-21 | Separating wall having a gap for dividing process chambers of a vacuum deposition installation comprises measuring devices, evaluating devices, and adjusting devices |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE10322935A1 (en) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013106026A1 (en) * | 2013-06-11 | 2014-12-11 | Von Ardenne Gmbh | Vacuum arrangement and method for operating a vacuum arrangement |
DE102014106451A1 (en) | 2014-05-08 | 2015-11-26 | Von Ardenne Gmbh | Vacuum chamber housing |
DE102014011877A1 (en) * | 2014-08-11 | 2016-02-11 | Grenzebach Maschinenbau Gmbh | Method and device for saving energy and at the same time increasing the throughput speed in vacuum coating systems |
DE102015013799A1 (en) * | 2015-10-26 | 2017-04-27 | Grenzebach Maschinenbau Gmbh | Apparatus and method for coating overlong planar substrates, in particular glass panes, in a vacuum coating installation |
DE102018110348A1 (en) * | 2018-04-30 | 2019-10-31 | Aixtron Se | Device for introducing and removing a substrate into or out of a substrate treatment device |
WO2019211280A2 (en) | 2018-04-30 | 2019-11-07 | Aixtron Se | Device for coating a substrate with a carbon-containing coating |
-
2003
- 2003-05-21 DE DE2003122935 patent/DE10322935A1/en not_active Withdrawn
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013106026A1 (en) * | 2013-06-11 | 2014-12-11 | Von Ardenne Gmbh | Vacuum arrangement and method for operating a vacuum arrangement |
DE102014106451A1 (en) | 2014-05-08 | 2015-11-26 | Von Ardenne Gmbh | Vacuum chamber housing |
DE102014106451B4 (en) | 2014-05-08 | 2018-09-20 | VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG | Vacuum chamber housing |
DE102014011877A1 (en) * | 2014-08-11 | 2016-02-11 | Grenzebach Maschinenbau Gmbh | Method and device for saving energy and at the same time increasing the throughput speed in vacuum coating systems |
KR20170024035A (en) * | 2014-08-11 | 2017-03-06 | 그렌체바흐 마쉬넨바우 게엠베하 | Method and apparatus for saving energy while increasing the conveying speed in vacuum coating plants |
US9960020B2 (en) | 2014-08-11 | 2018-05-01 | Grenzebach Maschinenbau Gmbh | Method and apparatus for saving energy while increasing the conveying speed in vacuum coating plants |
KR101924739B1 (en) | 2014-08-11 | 2019-02-27 | 그렌체바흐 마쉬넨바우 게엠베하 | Method and apparatus for saving energy while increasing the conveying speed in vacuum coating plants |
DE102014011877B4 (en) | 2014-08-11 | 2021-08-05 | Grenzebach Maschinenbau Gmbh | Method and device for saving energy and at the same time increasing the throughput speed in vacuum coating systems |
DE102015013799A1 (en) * | 2015-10-26 | 2017-04-27 | Grenzebach Maschinenbau Gmbh | Apparatus and method for coating overlong planar substrates, in particular glass panes, in a vacuum coating installation |
US10590528B2 (en) | 2015-10-26 | 2020-03-17 | Grenzebach Maschinenbau Gmbh | Device for coating extra-long sheet-type substrates, in particular glass panes, in a vacuum coating system |
DE102018110348A1 (en) * | 2018-04-30 | 2019-10-31 | Aixtron Se | Device for introducing and removing a substrate into or out of a substrate treatment device |
WO2019211280A2 (en) | 2018-04-30 | 2019-11-07 | Aixtron Se | Device for coating a substrate with a carbon-containing coating |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
AT398317B (en) | DOUBLE SCREEN FORMER | |
DE19881989B4 (en) | An air knife orifice assembly for operation in an air knife assembly and air knife assembly | |
DE10322935A1 (en) | Separating wall having a gap for dividing process chambers of a vacuum deposition installation comprises measuring devices, evaluating devices, and adjusting devices | |
EP0738209B1 (en) | Adjustable throttle with flat channel cross-section | |
EP0438685A1 (en) | Former in a paper machine | |
DE2351369A1 (en) | COATING DEVICE | |
DE3612720C2 (en) | ||
DE2504701C2 (en) | Method and device for double-sided coating of a web moving from bottom to top | |
DE102010008989B4 (en) | The gas wiping | |
EP0163820A1 (en) | Press for exerting pressure on an area of continuously moving work pieces | |
EP1442344B1 (en) | Method and device for treating objects by means of a liquid | |
EP2091642A1 (en) | Sealing gate for strips | |
DE102013106026A1 (en) | Vacuum arrangement and method for operating a vacuum arrangement | |
WO2016124517A1 (en) | Device for coating a substrate having a large surface area | |
EP0554960B1 (en) | Ventilation grid | |
DE102020005687B4 (en) | wind spreading device | |
EP0554481B1 (en) | Counter-air current installation | |
WO2013072871A1 (en) | Ventilation device for the profiled frame of a leaf, and air exchange method at a window | |
DE102008008320A1 (en) | Transport device for horizontal vacuum coating plant, comprises rotatably arranged transport rollers sequentially arranged in a horizontal plane and directed diagonally to transport direction, and a gas barrier element | |
AT391304B (en) | DEVICE FOR HANDLING, ESPECIALLY TO PROMOTE, OF AT LEAST APPROXIMATELY VERTICALLY ALIGNED GLASS PANELS | |
DE102020005686A1 (en) | wind spreading device | |
EP2198975B1 (en) | Curtain application unit | |
DE102016114395B4 (en) | Gas separation unit and vacuum system with such a unit, method for its operation | |
DE102022100820B3 (en) | Stabilizing device and sensor structure for continuously moving metal strips | |
EP2852705B1 (en) | Cascade nozzle for applying a plurality of layers |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |