DE10317268B4 - Method for error-free media input in semiconductor manufacturing processes - Google Patents

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Abstract

Verfahren zur fehlerfreien Medieneingabe in Halbleiterherstellungsprozessen, bei dem ein notwendiger Wechsel eines leeren Medienbehälters von einem Mediensensor dadurch detektiert wird, dass bei leerem Medienbehälter ein Leersignal oder bei einem ausreichenden Füllungsstand in dem Medienbehälter ein Füllungssignal erzeugt wird, und eine dem Prozess entsprechende Anlage durch einen Interrupt so lange angehalten wird, bis ein gefüllter Medienbehälter zugeführt ist, wobei eine maschinenlesbare Kodierung des Medienbehälters vor dessen Einsatz gescannt, die gescannte Kodierung des Medienbehälters mit einer Soll-Kodierung verglichen und nur bei Übereinstimmung der gescannten Kodierung mit der Soll-Kodierung der Interrupt aufgehoben wird, dadurch gekennzeichnet, dass bei dem Scanvorgang neben der Kodierung des Medienbehälters eine weitere Kodierung auf einem Verschluss des Medienbehälters, und/oder ein Endinformationscode auf einem Operator-Interface für die Einspeisung des Medienbehälters gescannt und verarbeitet werden.method for error-free media input in semiconductor manufacturing processes, in which a necessary change of an empty media container of a media sensor is detected by that when empty media container a Empty signal or at a sufficient filling level in the media container filling signal is generated, and a corresponding process by a plant Interrupt is paused until a filled media container is supplied, wherein a machine-readable encoding of the media container before its use scanned, the scanned coding of the media container with compared to a desired coding and only if the scanned match Coding with the target coding of the interrupt is canceled, characterized in that in the scanning in addition to the coding of the media container a further coding on a closure of the media container, and / or an end information code is scanned on an operator interface for the supply of the media container and processed.

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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur fehlerfreien Medieneingabe in Halbleiterherstellungsprozessen, bei dem ein notwendiger Wechsel eines leeren Medienbehälters von einem Mediensensor dadurch detektiert wird, dass bei leerem Medienbehälter ein Leersignal oder bei einem ausreichenden Füllungsstand in dem Medienbehälter ein Füllungssignal erzeugt wird. Eine dem Prozess entsprechende Anlage wird durch einen Interrupt so lange angehalten, bis ein gefüllter Medienbehälter zugeführt ist. Dabei wird eine maschinenlesbare Kodierung des Medienbehälters vor dessen Einsatz gescannt, die gescannte Kodierung des Medienbehälters mit einer Soll-Kodierung verglichen und nur bei Übereinstimmung der gescannten Kodierung mit der Soll-Kodierung der Interrupt aufgehoben.The The invention relates to a method for error-free media input in semiconductor manufacturing processes where a necessary change an empty media container is detected by a media sensor in that when empty media container a blank signal or at a sufficient filling level in the media container Fill signal generated becomes. A plant that corresponds to the process is triggered by an interrupt so long paused until a filled media container supplied is. In this case, a machine-readable coding of the media container is provided its use scanned, the scanned coding of the media container with compared to a desired coding and only if the scanned match Coding with the target coding of the interrupt canceled.

Wie in anderen Herstellungsprozessen, in denen Verbrauchsmaterialen eingesetzt werden, ist es auch in Halbleiterherstellungsprozessen erforderlich, Medien, die sich im Laufe des Prozesses verbrauchen, zu ersetzen. Insbesondere bei der Halbleiterherstellung wird eine große Anzahl verschiedenster Materialen eingesetzt, die teilweise untereinander nur in wenigen Unterscheidungsmerkmalen differieren. Für einen Operator ist es damit leicht möglich, Medien zu verwechseln.As in other manufacturing processes, where consumables It is also used in semiconductor manufacturing processes required media that are consumed in the course of the process to replace. In particular, in semiconductor manufacturing is a size Number of different materials used, some with each other only differ in a few distinguishing features. For one Operator, it is thus easily possible media to be confused.

Beispielsweise werden in fotolithographischen Prozessen Photoresistlacke eingesetzt, die sich in ihren Eigenschaften je nach Prozessführung unterscheiden. Dieser Photoresistlack wird in Flaschen bereitgestellt, die neben einer normalen Etikettierung auch noch einen maschinenlesbaren Code aufweisen, der das Einlesen der Lackeigenschaften ermöglicht.For example photoresists are used in photolithographic processes, which differ in their properties depending on the process. This Photoresist paint is provided in bottles next to one normal labeling also have a machine-readable code, the the reading of the paint properties allows.

Dieser Photoresistlack verbraucht sich während des Herstellungsprozesses. Ist eine Lackflasche leer, so wird dies in geeigneter Weise optisch und/oder akustisch angezeigt. Dies ist ein Zeichen für einen Operator, die Lackflasche zu wechseln. Er wird dazu aus einer Medieneingabeschleuse eine gefüllte Lackflasche holen, diese an der Eingabestelle der Fotolithographieanlage mit der leeren Lackflasche austauschen, entlüften und den Prozess fortsetzen. Hierzu wird mittels einer Schaltfunktion die Prozessfortführung gestartet, nachdem der Prozess während des Lackflaschenwechsels in einem Wartezustand verweilte.This Photoresist paint is consumed during the manufacturing process. If a paint bottle is empty, then this will be visually and / or in a suitable manner displayed acoustically. This is a sign for an operator, the paint bottle switch. He is from a media input lock a filled paint bottle pick them up at the entry point of the photolithography system replace the empty paint bottle, vent and continue the process. For this the process is started by means of a switching function, after the process during the Lacquer bottle change lingered in a wait state.

Dabei sieht eine Handlingvorschrift vor, die Lackflasche zu scannen, um die Eigenschaften der eingesetzten Lackflasche maschinengelesen anzuzeigen. Es ist aber möglich, den Scanvorgang zu umgehen, was aus Gründen einer schnellen Prozessführung und aus Gründen des routinierten Umganges mit den Lackflaschen in praxi häufig vorkommt.there provides a handling instruction to scan the paint bottle to machine read the properties of the paint bottle used display. But it is possible to bypass the scanning process, for the sake of fast process control and for reasons the routine handling of lacquer bottles in practice often occurs.

Ist es beim Lackflaschenwechsel zu einer Verwechselung gekommen, werden die Auswirkungen des falschen Medieneinsatzes häufig erst sehr spät, häufig erst nach Tagen festgestellt. Der dadurch entstandene Schaden ist von erheblicher Größe.is it has come to a confusion when varnish change the effects of using the wrong media are often only very late, often first determined by days. The resulting damage is from considerable size.

In JP 10-229045 A wird ein Verfahren und eine Anordnung zur Medieneingabe in Halbleiterherstellungsprozessen beschrieben. Dabei sind mehrere Trucks vorgesehen, die mit einem Host-Rechner über Tracks wechselwirkend in Verbindung stehen.In JP 10-229045 A discloses a method and arrangement for media input in semiconductor manufacturing processes. There are several Trucks designed to interact with a host computer via tracks Connection stand.

In einem Truck ist die Eingabe eines Containers vorgesehen. Dieser Container ist auf seiner äußeren Oberfläche mit einem Barcode versehen, der die Daten des Containers codiert beinhaltet. Dieser Container wird in dem Truck mittels eines Prüfsensors und eines Barcode-Scanners überwacht.In a truck is the input of a container provided. This Container is on its outer surface with provided with a bar code which encodes the data of the container. This container is in the truck by means of a test sensor and a barcode scanner.

Der Container ist über Zuführungsleitungen und über eine Photo-Resist-Zuführungszone mit einer Prozesskammer verbunden.Of the Container is over Supply lines and over a Photo-resist feeding zone connected to a process chamber.

Die Photo-Resist-Zuführungszone (14) übermittelt ein Signal über die Zuliefersituation mit Photoresist und wenn der Container leer ist, an den Host-Rechner. Wenn durch den Host-Rechner festgestellt wird, dass der Container leer ist, führt dieser eine Alarmroutine aus, gibt an die Prozesskammer ein Steuersignal und hält die Prozessausführung an.The Photo-resist feeding zone (14) a signal over the delivery situation with photoresist and when the container is empty is, to the host machine. If determined by the host computer that the Container is empty leads this one alarm routine outputs to the process chamber a control signal and stops the process execution at.

Durch das Alarmsignal wird signalisiert, dass der Container zu wechseln ist. Dies führt zur Zuführung eines neuen Containers in dem Truck. Wenn die Barcodeinformation auf dem neuen Container mit der in einer Datenbank gespeicherten Information übereinstimmt, so wird das Haltesignal für die Prozessausführung aufgehoben.By the alarm signal is signaled to change the container is. this leads to to the feeder a new container in the truck. If the barcode information on the new container with the one stored in a database Information matches, so the stop signal for the process execution canceled.

In dieser Druckschrift ist der naheliegendste Stand der Technik zusehen. Darin erfolgt ein Eingabe-Check zur Sicherung einer fehlerfreien Medieneingabe. Allerdings geschieht der Check automatisch und verhindert damit die zusätzliche Kontrollmöglichkeit durch den Operator. Außerdem werden bei diesem Verfahren zusätzliche Handlungen, die zu einer ordnungsgemäßen Medieneingabe gehören, wie beispielsweise ein Spülen oder Belüften einer Lackzuführung, nicht mit berücksichtigt. Schließlich ist eine Protokollierung der Handlungen und Identifikation des Operators, die ein zusätzliches Sicherheitsmoment darstellen, nicht vorgesehen. Außerdem sind in dieser Lösung eine Vielzahl von Verbindungen zwischen der Anlage und dem Host-Rechner erforderlich, die den Einsatz speziell gestalteter Hardware notwendig werden lässt.In This document is the most obvious state of the art watch. This is an input check to ensure a faultless Media input. However, the check happens automatically and prevents with it the extra control option through the operator. Furthermore become additional in this process Actions that belong to a proper media input, such as for example, a rinse or venting a paint feed, not taken into account. Finally is a logging of actions and identification of the operator, the one additional Safety moment represent, not provided. Besides, they are in this solution a variety of connections between the attachment and the host machine are required, which makes the use of specially designed hardware necessary.

In TW 449800 B ist ein Verfahren zur Eingabe von Photoresist beschrieben. Bei Eingabe einer neuen Photoresist-Flasche wird ein Barcode auf der neuen Flasche mit dem Barcode der verbrauchten Flasche verglichen. Stimmt der neue mit dem alten Barcode überein, wird eine Datenbank mit Daten der neuen Flasche aktualisiert. Bei fehlender Übereinstimmung werden die alten und die neuen Daten dem verantwortlichen Operator angezeigt. Durch dieses Verfahren wird eine Protokollierung ermöglicht. Allerdings wird eine Fehlerfreiheit bei der Medieneingabe nur bedingt erreicht, beispielsweise dann, wenn einmal eine Falscheingabe erfolgt ist und sich das System dann immer wieder auf die fehlerhaften Daten aktualisiert. Auch wäre eine mögliche fehlerhafte Eingabe nicht identifizierbar.In TW 449800 B is a procedure for entry be described photoresist. When entering a new photoresist bottle, a barcode on the new bottle is compared with the barcode of the spent bottle. If the new one matches the old barcode, a database will be updated with data from the new bottle. If there is no match, the old and the new data are displayed to the responsible operator. This procedure allows logging. However, freedom from error in the media input is only partially achieved, for example, when once a wrong entry has been made and then the system is updated again and again to the incorrect data. Also, a possible erroneous input would not be identifiable.

In US 5 266 780 A wird ebenfalls ein Verfahren zur Protokollierung ausgeführter Tätigkeiten beschrieben. Dabei erhält ein Arbeiter einen Arbeitszettel, der die Information über die auszuführende Tätigkeit enthält und zwar in einer für ihn lesbaren Form und zusätzlich als Barcode. Hat der Arbeiter die Tätigkeit entsprechend des Arbeitszettels ausgeführt, wird das Arbeitsergebnis ebenfalls als Barcodeinformation ausgegeben. Anschließend liest er die Barcodeinformation auf dem Arbeitszettel und die Information über das Arbeitsergebnis in einen Zentralrechner ein, der beide Informationen dann speichert. Damit wird das Arbeitsergebnis identifizierbar gespeichert. Eine Sicherheit, dass die Tätigkeit fehlerfrei ausgeführt wird, ist damit allerdings nicht verbunden, da fehlerhafte Ergebnisse zwar angezeigt, jedoch Fertigungsabläufe nicht gesperrt werden.In US 5 266 780 A It also describes a procedure for logging carried out activities. In this case, a worker receives a work sheet, which contains the information about the activity to be performed in a readable form and in addition as a barcode. If the worker has performed the activity according to the work sheet, the work result is also output as bar code information. Then he reads the barcode information on the work sheet and the information about the work result in a central computer, which then stores both information. Thus, the work result is stored identifiable. However, there is no guarantee that the activity will be carried out correctly, since incorrect results are displayed, but production processes are not blocked.

In JP 1-257330 A wird beschrieben, dass mittels eines Barcodes bestimmte Arbeitsabläufe eingegeben werden. Dabei erhält ein einzustellender Arbeitsablauf einen Barcode, der mittels eines Lesers erfasst und in eine Programmnummer umgewandelt wird. Mittels des danach ablaufenden Programms wird der ablaufende Prozess gesteuert.In JP 1-257330 A discloses that by means of a barcode certain procedures be entered. It receives a workflow to set up a barcode using a Reader and converted into a program number. through the program running thereafter controls the running process.

Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, bei höchstens gleich bleibendem anlagentechnischen Aufwand die Sicherheit bei der Vermeidung fehlerhafter Medieneingabe in Halbleiterprozessen weiter zu erhöhen.Of the Invention is therefore the object of at most the same level of plant engineering security the avoidance of incorrect media input in semiconductor processes continue to increase.

Die Aufgabe wird dadurch gelöst, dass bei dem Scanvorgang neben der Kodierung des Medienbehälters eine weitere Kodierung auf einem Verschluss des Medienbehälters, und/oder ein Endinformationscode auf einem Operator-Interface für die Einspeisung des Medienbehälters gescannt und verarbeitet werden.The Task is solved by that in the scanning next to the coding of the media container a further coding on a closure of the media container, and / or an end information code on an operator interface for the feed of the media container be scanned and processed.

Damit wird es für den Operator einerseits zwingend, den neuen Medienbehälter zu scannen. Andererseits erfolgt eine Freigabe des weiteren Prozesslaufes dann und nur dann, wenn eine mit der Soll-Kodierung übereinstimmende Kodierung festgestellt wird. Eine Beschickung des Prozesses mit falschen Medien ist damit ausgeschlossen.In order to it will be for on the other hand forcing the operator to use the new media container to scan. On the other hand, a release of the further process run if and only if one matches the target encoding Coding is detected. A loading of the process with wrong media is excluded.

In einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Soll-Kodierung in einer Datenbank gespeichert ist und mittels eines Computers die gescannte Kodierung des Medienbehälters mit dem entsprechenden Datenbankeintrag verglichen wird. Damit wird es einerseits möglich, sehr schnell neue Medien in dem entsprechenden Prozessschritt zuzulassen. Andererseits ist es mit dem Einsatz der Datenbank auch möglich, mehrere Medien gleichzeitig zuzulassen, die in dem jeweiligen Prozessschritt zueinander kompatibel sind.In A preferred embodiment of the invention provides that the target coding is stored in a database and by means of a computer with the scanned encoding of the media container with is compared to the corresponding database entry. This will be on the one hand it is possible, very much quickly allow new media in the appropriate process step. On the other hand, with the use of the database it is also possible to use several media at the same time allow each other in the respective process step are compatible.

In einer weiteren Variante des Verfahrens ist vorgesehen, dass das Leersignal oder das ausbleibende Füllsignal und/oder der Interrupt und/oder das Ende des Interrupts optisch angezeigt werden. Damit wird es dem Operator erleichtert, die verschiedenen Maschinenzustände sehr schnell zu erfassen, was insbesondere bei einer Mehrmaschinenbedienung durch den Operator von Vorteil ist.In a further variant of the method is provided that the Empty signal or the missing fill signal and / or the interrupt and / or the end of the interrupt are displayed optically. This will be it greatly facilitates the operator, the various machine conditions quickly grasp what, especially in a multi-machine operation by the operator is beneficial.

Bei dem Scanvorgang können auch mehrere Kodierungen gescannt und verarbeitet werden. Hierdurch wird es möglich, neben der für die Prozessfortsetzung signifikanten Information noch weitere Informationen von dem Medienbehälter zu erhalten. Somit kann beispielsweise eine Startinformation oder eine Endinformation für die Einspeisung des Medienbehälters gelesen werden. Aber auch eine Informationsredundanz ist damit möglich, z.B. wenn auch dem Deckel des Medienbehälters und auf dem Medienbehälter selbst Informationen enthalten sind, die entweder nur zusammen die benötigte Information ergeben oder die zueinander in Übereinstimmung sein müssen.at can scan also several codings are scanned and processed. hereby will it be possible next to the for the process continues significant information for more information from the media container to obtain. Thus, for example, a start information or a End information for the feed of the media container to be read. But also an information redundancy is possible, e.g. although the lid of the media container and on the media container itself Information is contained, which together only the required information surrender or in agreement with each other have to be.

Die Erfindung soll nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungen zeigtThe Invention will be explained in more detail with reference to an embodiment. In the associated Drawings shows

1 eine schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Anordnung, 1 a schematic representation of an arrangement according to the invention,

2 einen schematischen Ablauf des erfindungsgemäßen Verfahrens und 2 a schematic sequence of the method according to the invention and

3 das Zusammenwirken der Komponenten der Anordnung bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens. 3 the interaction of the components of the arrangement in carrying out the method according to the invention.

Das Ausführungsbeispiel bezieht sich auf die Medienbereitstellung in einem fotolithographischen Prozess bei der Halbleiterherstellung.The embodiment refers to media delivery in a photolithographic process in semiconductor manufacturing.

In einer Belackungsanlage 1 ist ein Medienbehälter in Form einer Lackflasche 2 angeordnet. Der Leerraum 3 ist über eine Stickstoffleitung 4 mit einer nicht näher dargestellten Stickstoffquelle verbunden. Im Verlaufe der Stickstoffleitung 4 ist ein steuerbares Ventil 5 angeordnet, das mit seiner Steuerleitung 6 mit einer Interfaceschaltung in Form einer Interface-Karte 7 verbunden ist.In a paint shop 1 is a media container in the form of a paint bottle 2 arranged. The white space 3 is via a nitrogen line 4 connected to a nitrogen source, not shown. In the course of the nitrogen line 4 is a controllable valve 5 arranged that with its control line 6 with an interface circuit in the form of an interface card 7 connected is.

Eine Lackleitung 8 führt zu einem Medientank in Form eines Lacktanks 9. Der Lacktank 9 ist in seinem Leeraum 10 mit einem Entlüftungsventil 11 versehen.A paint line 8th leads to a medium tank in the form of a paint tank 9 , The paint tank 9 is in his empty space 10 with a vent valve 11 Mistake.

Von dem Lacktank 9 führt eine Lackzuführleitung 12 über eine Lackpumpe 13 direkt zu einem Halbleiter-Wafer 14.From the paint tank 9 leads a paint supply line 12 over a paint pump 13 directly to a semiconductor wafer 14 ,

Für die Anordnung eines Mediensensors sind je nach Anlagentyp zwei Ausführungsformen vorgesehen:
In einer ersten Variante ist in der Lackleitung 8 ein kapazitiver Blasensensor, ein so genannter Bubble-Sensor 15 angeordnet.For the arrangement of a media sensor, two embodiments are provided depending on the type of plant:
In a first variant is in the paint line 8th a capacitive bubble sensor, a so-called bubble sensor 15 arranged.

In einer zweiten Variante ist an dem Lacktank 9 ein kapazitiver Füllstandssensor 16 angebracht.In a second variant is on the paint tank 9 a capacitive level sensor 16 appropriate.

In beiden Varianten ist entweder der Bubble-Sensor 15 oder der Füllstandssensor 16 über eine Verbindung 17 mit der Interface-Karte 7 verbunden. Die nach dem Stand der Technik vorhandene direkte Verbindung 18 der Sensoren 15 und 16 mit einem Anlagenrechner/Maincontroller 19 wurde aufgetrennt. Die Sensoren 15 und 16 sind jetzt mit der Interface-Karte 7 verbunden.In both variants is either the bubble sensor 15 or the level sensor 16 over a connection 17 with the interface card 7 connected. The existing in the prior art direct connection 18 the sensors 15 and 16 with a system computer / main controller 19 was split. The sensors 15 and 16 are now with the interface card 7 connected.

Zur Steuerung des Anlagenrechners/Maincontrollers 19 ist jetzt eine direkte Verbindung 20 zwischen Interface-Karte 7 und Anlagenrechner/Maincontroller 19 vorgesehen.For controlling the system computer / main controller 19 is now a direct connection 20 between interface card 7 and system computers / main controllers 19 intended.

Mit der Interface-Karte 7 ist weiterhin ein Operator-Interface 21 verbunden, das der optischen Anzeige des Zustandes der Belackungsanlage 1 für den Operator mittels Kontrollleuchten 22 dient. An dem Operator-Interface 21 ist auch ein Taster 23 vorgesehen, der der Bestätigung von Handlungen des Operators dient.With the interface card 7 is still an operator interface 21 connected, the visual indication of the condition of the coating plant 1 for the operator by means of indicator lights 22 serves. At the operator interface 21 is also a button 23 provided for the confirmation of actions of the operator.

Weiterhin ist die Interface-Karte 7 mit einem Computer, nämlich einem Anlagen-PC 24 verbunden. Der Anlagen-PC 24 seinerseits hat eine Verbindung zu einer Datenbank 25. Weiterhin ist an den Anlagen-PC ein Handscanner 26 angeschlossen.Furthermore, the interface card 7 with a computer, namely a plant PC 24 connected. The plant PC 24 in turn has a connection to a database 25 , Furthermore, the system PC has a handheld scanner 26 connected.

Wie in 2 im oberen Teil dargestellt, meldet die Interface-Karte 7 keinen Fehler, wenn die Lackflasche 2 einen ausreichenden Befüllungszustand aufweist.As in 2 shown in the upper part, reports the interface card 7 no mistake when the paint bottle 2 has a sufficient filling state.

Im unteren Teil von 2 ist dargestellt, welcher Vorgang abläuft, wenn die Lackflasche 2 leer wird. Der Sensor 15 oder 16 gibt ein RESIST EMPTY-Signal an die Interface-Karte 7. Diese speichert den Signalzustand, bis beim Wechsel der Lackflasche 2 ein erfolgreiches Scannen der Lackflasche 2 durchgeführt wurde, und gibt das Signal über die Verbindung 20 an den Anlagenrechner/Maincontroller 19, welcher jetzt den Fertigungsprozess anhält. Gleichzeitig wird eine rote Kontrollleuchte 22 in dem Operator-Interface 21 eingeschaltet.In the lower part of 2 is shown, which process expires when the paint bottle 2 becomes empty. The sensor 15 or 16 gives a RESIST EMPTY signal to the interface card 7 , This stores the signal state until when changing the paint bottle 2 a successful scan of the paint bottle 2 was performed, and gives the signal over the connection 20 to the system computer / main controller 19 , which now stops the manufacturing process. At the same time a red indicator light 22 in the operator interface 21 switched on.

Vom Operator wir eine entsprechende neue Lackflasche 2 aus einer nicht näher dargestellten Medieneinbringschleuse geholt. Hierbei ist es optional möglich, dass die Belackungsanlage 1 mit einem Chemikalienschrank derart vernetzt ist, dass ein nicht näher dargestelltes Check-Tool am Chemikalienschrank einen Vorschlag unterbreitet, welche Lackflasche 2 für diesen Prozess zu verwenden ist.From the operator we have a corresponding new paint bottle 2 brought from a media transfer lock, not shown. It is optionally possible that the coating plant 1 is networked with a chemical cabinet such that a check tool not shown in detail on the chemical cabinet makes a suggestion, which paint bottle 2 to use for this process.

Mittels des Handscanners 26 wird als erstes die Flaschenkappe und anschließend die Lackflasche 2 selbst gescannt.By means of the hand scanner 26 First, the bottle cap and then the paint bottle 2 itself scanned.

Eine gelbe Kontrollleuchte 22 wird eingeschaltet.A yellow indicator light 22 is turned on.

Der Operator verbindet die Stickstoffleitung 4 mit der neuen Lackflasche 2. Mittels des Tasters 23 signalisiert der Operator, dass die Stickstoffleitung 4 angeschlossen ist und der Stickstoff wird mittels des Ventils 5 von der Interface-Karte 7 frei gegeben.The operator connects the nitrogen line 4 with the new paint bottle 2 , By means of the button 23 the operator signals that the nitrogen line 4 is connected and the nitrogen is by means of the valve 5 from the interface card 7 Approved.

Mittels der Stickstoffleitung 4 wird der Leeraum 3 für eine definierte Zeit mit Stickstoff gefüllt.By means of the nitrogen line 4 becomes the white space 3 filled with nitrogen for a defined time.

Nach einem weiteren Scannen eines Bestätigungscodes auf dem Operator-Interface 21 wird eine grüne Kontrollleuchte 22 eingeschaltet. Der Alarm an der Interface-Karte 7 wird zurück gesetzt und die Belackungsanlage 1 kann ihre Arbeit fortsetzten.After another scan of a confirmation code on the operator interface 21 becomes a green indicator light 22 switched on. The alarm on the interface card 7 will be put back and the paint shop 1 can continue her work.

Wie in 3 dargestellt, leuchtet die rote Kontrollleuchte 22 auf, wenn die Lackflasche 2 verbraucht ist, wie mit Signalfluss (3) dargestellt. Es wird ein RESIST EMPTY-Signal generiert und eine Weiterleitung eines Sensorsignales, wie mit Signalfluss (1) gekennzeichnet von der Interface-Karte 7 zu dem Anlage-PC 24, wie mit Signalfluss (2) gekennzeichnet, unterbrochen. Dies wird über den Signalfluss (6) dem Anlagen-PC mitgeteilt und in Folge dessen die laufende Applikation am Bildschirm des Anlagen-PC 24 maximiert.As in 3 shown, the red indicator light is on 22 on when the paint bottle 2 is consumed, as with signal flow (3) shown. A RESIST EMPTY signal is generated and a forwarding of a sensor signal, as with signal flow (1) marked by the interface card 7 to the plant PC 24 , as with signal flow (2) marked, interrupted. This is about the signal flow (6) communicated to the plant PC and consequently the running application on the screen of the plant PC 24 maximized.

Der Operator halt eine volle Lackflasche 2 aus der Medieneinbringschleuse.The operator holds a full paint bottle 2 from the media transfer lock.

Nun muss der Operator die Freigabe der neuen Lackflasche 2 durch einen Scanvorgang überprüfen, wie dies mit Signalfluss (4) dargestellt wird.Now the operator has to release the new paint bottle 2 by scanning, check this with signal flow (4) is pictured.

Dabei werden verschiedene Teil-Scanvorgänge vorgenommen, nämlich

  • a) Bottlecap-Informationen scannen,
  • b) Scannes eines Barcodes auf der Lackflasche und
  • c) End-Informations-Scan-Code scannen.
In this case, various partial scans are made, namely
  • a) scan bottlecap information,
  • b) Scans of a barcode on the paint bottle and
  • c) Scan end information scan code.

Die gescannten Informationen werden gemäß Signalfluss (6) vom Anlagen-PC 24 mittels der Datenbank 25 überprüft, wie dies in Signalfluss (5) dargestellt ist.The scanned information becomes according to signal flow (6) from the plant PC 24 by means of the database 25 checks how this is in signal flow (5) is shown.

Wurde die richtige Lackflasche 2 angeschlossen, dann leuchtet die grüne Kontrollleuchte 22 auf, da der Anlagen-PC 24 über den Signalfluss (6) dies der Interface-Karte 7 mitteilt.Became the right paint bottle 2 connected, then the green indicator light is lit. 22 on, because the plant PC 24 over the signal flow (6) this the interface card 7 telling.

Das RESIST EMPTY-Signal kann jetzt quittiert werden. Die Belackungsanlage 1 arbeitet nun normal weiter und die Unterbrechung gemäß Signalfluss (1) und (2) wird wieder aufgehoben.The RESIST EMPTY signal can now be acknowledged. The lacquering plant 1 Now works normally and the interruption according to signal flow (1) and (2) will be canceled again.

11
BelackungsanlageBelackungsanlage
22
Lackflaschepolish bottle
33
Leerraumwhitespace
44
Stickstoffleitungnitrogen line
55
VentilValve
66
Steuerleitungcontrol line
77
Interface-KarteInterface Card
88th
Lackleitungpaint line
99
Lacktankpaint tank
1010
Leerraumwhitespace
1111
Entlüftungsventilvent valve
1212
LackzuführleitungLackzuführleitung
1313
Lackpumpepaint pump
1414
Halbleiter-WaferSemiconductor wafer
1515
Bubble-SensorBubble sensor
1616
FÜllstandssensorlevel sensor
1717
Verbindungconnection
1818
Verbindungconnection
1919
Anlagenrechner/MaincontrollerPlant computer / Main Controller
2020
Verbindungconnection
2121
Operator-InterfaceOperator interface
2222
Kontrollleuchteindicator light
2323
Tasterbutton
2424
Anlagen-PCPlant PC
2525
DatenbankDatabase
2626
Handscannerhand scanner

Claims (4)

Verfahren zur fehlerfreien Medieneingabe in Halbleiterherstellungsprozessen, bei dem ein notwendiger Wechsel eines leeren Medienbehälters von einem Mediensensor dadurch detektiert wird, dass bei leerem Medienbehälter ein Leersignal oder bei einem ausreichenden Füllungsstand in dem Medienbehälter ein Füllungssignal erzeugt wird, und eine dem Prozess entsprechende Anlage durch einen Interrupt so lange angehalten wird, bis ein gefüllter Medienbehälter zugeführt ist, wobei eine maschinenlesbare Kodierung des Medienbehälters vor dessen Einsatz gescannt, die gescannte Kodierung des Medienbehälters mit einer Soll-Kodierung verglichen und nur bei Übereinstimmung der gescannten Kodierung mit der Soll-Kodierung der Interrupt aufgehoben wird, dadurch gekennzeichnet, dass bei dem Scanvorgang neben der Kodierung des Medienbehälters eine weitere Kodierung auf einem Verschluss des Medienbehälters, und/oder ein Endinformationscode auf einem Operator-Interface für die Einspeisung des Medienbehälters gescannt und verarbeitet werden.A method for error-free media input in semiconductor manufacturing processes, in which a necessary change of an empty media container is detected by a media sensor in that when empty media container, a blank signal or at a sufficient filling level in the media container, a filling signal is generated, and a process corresponding to the process by an interrupt is stopped until a filled media container is supplied, whereby a machine-readable encoding of the media container is scanned prior to its use, the scanned encoding of the media container compared with a desired encoding and only if the scanned encoding matches the target encoding of the interrupt is canceled , characterized in that in the scanning next to the coding of the media container, a further coding on a closure of the media container, and / or an end information code on an operator interface for the supply of the med be scanned and processed. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Soll-Kodierung in einer Datenbank (25) gespeichert ist und mittels eines Computers (24) die gescannte Kodierung des Medienbehälters mit dem entsprechenden Datenbankeintrag verglichen wird.A method according to claim 1, characterized in that the target coding in a database ( 25 ) and by means of a computer ( 24 ) the scanned encoding of the media container is compared with the corresponding database entry. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Leersignal oder das ausbleidende Füllsignal und/oder der Interrupt und/oder das Ende des Interrupts optisch angezeigt wird.Method according to Claims 1 to 3, characterized that the empty signal or the missing filling signal and / or the interrupt and / or the end of the interrupt is displayed optically. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass vor dem Aufheben des Interrupts ein Stickstoff-Spülvorgang eines Leeraumes des Medienbehälters ausgelöst wird und erst nach dem Stickstoff-Spülvorgang der Interrupt aufgehoben werden kann.Method according to one of claims 1 to 3, characterized that before the interrupt is canceled, a nitrogen purge an empty space of the media container triggered and only after the nitrogen flushing process the interrupt can be canceled.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8905023B2 (en) 2007-10-05 2014-12-09 Vapotherm, Inc. Hyperthermic humidification system

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8677993B2 (en) 2007-07-18 2014-03-25 Vapotherm, Inc. Humidifier for breathing gas heating and humidification system
EP2200687B1 (en) * 2007-10-05 2015-06-17 Vapotherm, Inc. Hyperthermic humidification system
DE102014000030A1 (en) * 2014-01-05 2015-07-09 Oerlikon Trading Ag Monitoring method for the correct placement of coating systems
US10398871B2 (en) 2015-03-31 2019-09-03 Vapotherm, Inc. Systems and methods for patient-proximate vapor transfer for respiratory therapy
CN211383329U (en) 2016-10-14 2020-09-01 蒸汽热能公司 System for delivering respiratory gases

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01257330A (en) * 1988-04-06 1989-10-13 Mitsubishi Electric Corp Resist coater
US5266780A (en) * 1990-08-10 1993-11-30 Kansai Paint Company, Limited Human error preventing system using bar code reading collations
JPH10229045A (en) * 1997-01-17 1998-08-25 Samsung Electron Co Ltd Chemical supply for producing semiconductor, chemical being applied thereto, receiver managing method, photoresist utilizing computer and data managing method associated therewith
TW449800B (en) * 2000-03-02 2001-08-11 United Microelectronics Corp Photoresist management system

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01257330A (en) * 1988-04-06 1989-10-13 Mitsubishi Electric Corp Resist coater
US5266780A (en) * 1990-08-10 1993-11-30 Kansai Paint Company, Limited Human error preventing system using bar code reading collations
JPH10229045A (en) * 1997-01-17 1998-08-25 Samsung Electron Co Ltd Chemical supply for producing semiconductor, chemical being applied thereto, receiver managing method, photoresist utilizing computer and data managing method associated therewith
TW449800B (en) * 2000-03-02 2001-08-11 United Microelectronics Corp Photoresist management system

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
P.Zebisch, Dissertation, TU-München, Fakultät für Physik, S.70-72, 1995 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8905023B2 (en) 2007-10-05 2014-12-09 Vapotherm, Inc. Hyperthermic humidification system

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