DE10313988A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung von Mikroskopen sowie Prüfprobe - Google Patents

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Abstract

Ein Verfahren zur Prüfung von Mikroskopen, insbesondere von konfokalen Mikroskopen, wobei das Mikroskop mindestens eine Lichtquelle (1), einen das Licht zur Probe (5) führenden Beleuchtungsstrahlengang (6), einen Detektor (7) und einen das Detektionslicht von der Probe (5) zum Detektor (7) führenden Detektionsstrahlengang aufweist, ist gekennzeichnet durch Zurverfügungstellen einer Prüfprobe (5) aus phosphoreszierendem Material (10), Anregen der Phosphoreszenz bis in die Sättigung der Probe (5), Detektieren des von der Probe (5) emittierten und über den Detektionsstrahlengang zum Detektor (7) kommenden Lichts und Auswerten der detektierten Signale sowie Vergleich mit vorgegebenen oder vorgebbaren Daten.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Prüfung von Mikroskopen, insbesondere von konfokalen Mikroskopen, wobei das Mikroskop mindestens eine Lichtquelle, einen das Licht zur Probe führenden Beleuchtungsstrahlengang, einen Detektor und einen das Detektionslicht von der Probe zum Detektor führenden Detektionsstrahlengang aufweist.
  • Des Weiteren betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur Prüfung von Mikroskopen, insbesondere von konfokalen Mikroskopen, unter Nutzung der Bauteile des Mikroskops, insbesondere unter Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens.
  • Schließlich betrifft die Erfindung eine Prüfprobe, insbesondere zur Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens und/oder der erfindungsgemäßen Vorrichtung.
  • Will man ein Mikroskop auf die Funktionstüchtigkeit und Qualität der jeweiligen Baugruppen prüfen, ist es grundsätzlich möglich, als Prüfeinheit eine kalibrierte Lichtquelle definierter Flächen- und/oder Volumenleuchtdichte zu verwenden. Zum Einsatz kommen könnte hier eine kalibrierte LED, die man in das Bildfeld des Mikroskops verbringt und anhand derer man die Helligkeit des so entstehenden Bildes misst. Die Effizienz von Mikroskopen wird derzeit jedoch nicht gemessen bzw. geprüft, nämlich in Ermangelung einer Standardisierung und somit in Ermangelung eines objektiven Vergleichs.
  • Wollte man ein Mikroskop anhand einer Lichtquelle prüfen, müsste die Lichtquelle auf jeden Fall kalibriert sein. Sie müsste auf genau die gleiche Weise wie bei ihrer Kalibrierung betrieben werden und müsste dabei in die gleiche Raumrichtung abstrahlen. Eine solche Lichtquelle ist teuer. Im Vorfelde der Prüfung wären aufwendige Einrichtarbeiten erforderlich. Außerdem unterliegt eine konventionelle Lichtquelle der Alterung, so dass deren Einsatz auch insoweit begrenzt ist.
  • Aus dem Stand der Technik ist für sich gesehen bekannt, Fluoreszenzdetektionssysteme zu prüfen, indem dort als Marker dienende Fluorophore als zu detektierende Objekte verwendet werden (vgl. DE 202 173 40 U1 ). Eine entsprechende Prüfung oder gar Kalibrierung anhand der so erhaltenden Fluoreszenzsignale ist jedoch in der Praxis problematisch, da die durch Bestrahlung erreichte Fluoreszenz von typischer Weise 10 ns nicht ausreicht, um eine komplette Prüfung eines Mik roskopsystems vorzunehmen. Folglich wird es unter Zugrundelegung einer fluoreszierenden Probe erforderlich sein, diese ständig zu beleuchten, wobei das Messergebnis vom Einfluss der Lichtquelle des Systems abhängt. Die dort stattfindende Alterung wird bei der Messung ebenfalls berücksichtigt, wodurch eine zuverlässige und reproduzierbare Kalibrierung jedenfalls nicht möglich ist.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Prüfung von Mikroskopen anzugeben, wonach es mit einfachen Mitteln möglich ist, Mikroskope zuverlässig und dabei reproduzierbar zu prüfen und unter Zugrundelegung der Prüfergebnisse zu kalibrieren. Des Weiteren soll eine entsprechende Vorrichtung sowie eine geeignete Prüfprobe angegeben werden.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren löst die voranstehende Aufgabe durch die Merkmale des Patentanspruches 1. In Bezug auf eine erfindungsgemäße Vorrichtung wird die voranstehende Aufgabe durch die Merkmale des Patentanspruchs 19 gelöst. Im Hinblick auf eine erfindungsgemäße Prüfprobe wird die Aufgabe durch die Merkmale des Patentanspruchs 24 gelöst.
  • Erfindungsgemäß ist in verfahrensmäßiger Hinsicht zunächst einmal erkannt worden, dass man Mikroskope unter Nutzung der einzelnen Funktionsgruppen des Mikroskops auf ihre Funktionstüchtigkeit hin überprüfen kann, wenn man nämlich eine standardisierte oder standardisierbare Prüfprobe verwendet, durch deren Detektion eine Charakterisierung des Mikroskops und somit eine Prüfung des Mikroskops möglich ist.
  • Als Prüfmittel wird hier eine ganz besondere Prüfprobe zur Verfügung gestellt, nämlich aus phosphoreszierendem Material. Phosphoreszierendes Material hat nämlich den großen Vorteil, dass es nach seiner Anregung längere Zeit leuchtet, ohne dass eine weitere Anregung erforderlich ist. Während man bis zu einer Nachleuchtdauer von etwa 10 ns von Fluoreszenz spricht, handelt es sich über diesen Zeitraum hinweg um Phosphoreszenz, die nach Anregung und in Abhängigkeit von dem konkreten Material wesentlich länger andauert.
  • Typisch für die Phosphoreszenz ist, dass bei der Anregung der angeregte Zustand in Sättigung geht. Folglich erhält man nach der Anregung in die Sättigung stets die gleiche Lichtausbeute, und zwar unabhängig davon, wie intensiv die Anregung ist bzw. war. Folglich ist – quasi automatisch – die Reproduzierbarkeit gegeben. Im Verlaufe der Zeit nimmt zwar die Lichtausbeute auch bei der Phosphoreszenz allmählich ab, jedoch ist die Lichtausbeute über eine lange Zeit hinweg nahezu konstant. Die Abnahme der Lichtausbeute erfolgt auf relativ langen Zeitskalen, die für die Prüfung des Mikroskops unerheblich sind. Je nach Zusammensetzung der Phosphore liegen die Nachleuchtdauern der Stoffe zwischen Millisekunden und mehreren Stunden. In erfindungsgemäßer Weise wird das Phänomen phosphoreszierender Materialien genutzt.
  • Entsprechend den voranstehenden Ausführungen wird in erfindungsgemäßer Weise eine Prüfprobe aus phosphoreszierendem Material zur Verfügung gestellt. Die Prüfprobe wird bis in die Sättigung angeregt. Anschließend wird das von der Probe emittierte und über den Detektionsstrahlengang des Mikroskops zum Detektor gelangende Licht detektiert, verarbeitet bzw. ausgewertet sowie mit vorgegebenen oder vorgebbaren Daten verglichen. Eine Prüfung der Qualität des Mikroskops, so beispielsweise der Optik, des Detektionsstrahlengangs, aber auch des Detektors, ist somit möglich.
  • Die phosphoreszierendes Material enthaltende Prüfprobe lässt sich auf unterschiedliche Arten anregen. So könnte die Anregung beispielsweise über radioaktiven Zerfall erfolgen. Eine thermische Anregung der Prüfprobe ist für die Praxis denkbar, wobei im Konkreten die thermische Anregung über eine die Prüfprobe tragende Heizeinrichtung, so beispielsweise über einen Heiztisch, erfolgen kann.
  • Am einfachsten lässt sich die Phosphoreszenz durch Licht anregen. So könnte die Prüfprobe durch das über den Beleuchtungsstrahlengang von der Lichtquelle des Mikroskops kommende Licht angeregt werden. Eine externe Lichtquelle ist nicht erforderlich.
  • Will man das Prüfergebnis unabhängig von der eigenen Lichtquelle des Mikroskops machen, so könnte die Prüfprobe über eine externe Lichtquelle angeregt werden. Das Licht der externen Lichtquelle lässt sich in den Beleuchtungsstrahlengang – über einen geeigneten Strahlvereiniger – einkoppeln. Ebenso ist es denkbar, die externe Lichtquelle unterhalb der Prüfprobe anzuordnen, so dass das Licht der ex ternen Lichtquelle von unterhalb der Prüfprobe auf diese trifft und das phosphoreszierende Material anregt.
  • Zur punktuellen Anregung der Prüfprobe könnte ein beliebiger Punkt über einen vorgebbaren Zeitraum hinweg beleuchtet werden. Erfolgt die Anregung über den Beleuchtungsstrahlengang des Mikroskops, könnte der Scanner „geparkt" werden, so dass der Lichtstrahl stets einen Punkt bestrahlt bzw. anregt, bis dieser in die Sättigung geht. Über einen materialspezifischen Zeitraum hinweg lässt sich dieser Punkt in idealer Weise durchgehend detektieren.
  • Zuvor ist bereits angemerkt worden, dass die Phosphoreszenz – ausgehend von dem Zustand der Sättigung – über einen Zeitraum hinweg konstant bleibt und danach in der Lichtausbeute schwächer wird. Wenngleich die Lichtausbeute im Laufe der Zeit – auf relativ langen Zeitskalen – abnimmt, sind Nachleuchtdauern zwischen Millisekunden und mehreren Stunden zu verzeichnen. Die Lichtausbeute lässt sich sogar noch in der Phase der Degradation messen, wobei es dann von Vorteil ist, wenn die Auswertung durch eine mathematische Kompensation der Degradation erfolgt, so beispielsweise über ein Anfitten einer e-Funktion.
  • Durch Detektion des von der Prüfprobe emittierten Lichts und durch entsprechende Auswertung, die einen Vergleich mit hinterlegten „Gutwerten" umfassen kann, lassen sich mikroskopspezifische Eigenschaften wie Bildhelligkeit, Auflösung Bildausleuchtung, Bildverzerrung, Effizienz, etc. überprüfen. Das Rauschen eines oder mehrer Bildpunkte oder das Rauschen zu einem Zeitpunkt innerhalb einer Fläche oder zwischen mehreren Punkten lässt sich über die Zeit bestimmen und zum Erhalt des Signal-zu-Rausch-Verhältnisses des Detektionsstrahlengangs mit den detektierten Signalen ins Verhältnis setzen. Die Güte des Detektionsstrahlengangs ist somit prüfbar bzw. messbar.
  • Im Lichte der voranstehenden Ausführungen ist es möglich, das erfindungsgemäße Verfahren zum Zwecke der Werksprüfung oder werksseitigen Geräteabnahme zu nutzen. Ebenso ist es denkbar, die Prüfung zum Zwecke der Kalibrierung des Mikroskops zu verwenden. So könnte die Prüfung nach Aktivieren eines Prüfprogramms unter Verwendung auswählbarer Prüfproben – beispielsweise aus einem vorgegebenen Sortiment von Prüfproben – automatisch durchführbar sein, nämlich unter Zugrundelegung einer geeigneten Prozesssteuerung.
  • Nach der Prüfung wird in weiter vorteilhafter Weise ein Prüfprotokoll erstellt, welches Auskunft über die Qualität einzelner Baugruppen des Mikroskops liefert.
  • Schließlich ist es denkbar, dass das Ergebnis der Prüfung in den Vorgang einer Gerätekalibrierung – automatisch – einfließt, wobei die Kalibrierung dann ebenfalls automatisch vorgenommen wird. Auf diese Weise lässt sich eine Art selbstkalibrierendes System realisieren.
  • In Bezug auf die erfindungsgemäße Vorrichtung, die mit den Merkmalen des Patentanspruches 19 die eingangs genannte Aufgabe löst, ist von Bedeutung, dass das Mikroskop selbst die Vorrichtung zum Prüfen darstellt, da nämlich sämtliche zu prüfenden Baugruppen des Mikroskops genutzt werden. Wesentlich ist die Verwendung einer geeigneten Prüfprobe aus phosphoreszierendem Material, die nach Anregung in der Sättigung über den Detektionsstrahlengang vom Detektor detektierbar ist, und zwar unter Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens.
  • Wie bereits zuvor erwähnt, lässt sich die Prüfprobe durch das über den Beleuchtungsstrahlengang von der Lichtquelle kommende Licht oder über eine externe Lichtquelle anregen. Ebenso könnte die externe Lichtquelle unterhalb der Prüfprobe bzw. des Probenträgers angeordnet sein. Ungeachtet der konkreten Anordnung der Lichtquelle kann es ich dabei um einen Laser handeln.
  • Die erfindungsgemäße Prüfprobe dient zum Einsatz in der erfindungsgemäßen Vorrichtung und zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens. Die Prüfprobe umfasst einen Probenträger und auf dem Probenträger aufgebrachtes phosphoreszierendes Material, welches in den Sättigungszustand verbringbar ist.
  • Bei dem Prüfmaterial kann es sich um Zinksulfid, Zinksilikat, Erdalkali-Phosphore, etc. handeln. Wesentlich ist jedenfalls die phosphoreszierende Eigenschaft des Materials und das Phänomen, wonach das Prüfmaterial – in den Sättigungszustand verbracht – über eine hinreichend lange Zeitspanne hinweg mit gleicher Lichtaus beute abstrahlt. Eine Reproduzierbarkeit der gleich bleibenden Lichtausbeute ist gewährleistet, und zwar ungeachtet der Intensität der Anregung.
  • Zur einfachen Handhabung ist es von Vorteil, wenn das Prüfmaterial auf einem vorzugsweise transparenten Träger aufgebracht ist. Dabei kann es sich beispielsweise um ein Glasplättchen handeln. Sofern die Prüfprobe wieder verwendet werden soll, ist es von weiterem Vorteil, wenn das Prüfmaterial gekapselt ist. Dazu könnte sich das Prüfmaterial zwischen dem Träger und einer ebenfalls transparenten Abdeckplatte befinden, wobei die Prüfprobe insgesamt gekapselt bzw. versiegelt ist. Die Prüfprobe lässt sich somit einfach handhaben und ist hinreichend geschützt.
  • Im Konkreten könnte das Prüfmaterial als vorzugsweise dünne Schicht auf dem Träger aufgebracht sein. Dabei könnte die Schicht in weiter vorteilhafter Weise mikrostrukturiert sein. Entsprechend kann das Material Punkte der Dimension 0, Linien der Dimension 1 und Flächen der Dimension 2 aufweisen, nämlich unter Berücksichtigung einer extrem dünnen Ausführung einer Mikrostrukturierung. Mit Hilfe einer so gestalteten Prüfprobe lassen sich alle gängigen Eigenschaften wie Bildhelligkeit, Auflösung, Bildausleuchtung, Bildverzerrung und dergleichen des Mikroskops überprüfen.
  • Besonders von Vorteil sind Punkte, d.h. im angeregten Zustand Leuchtpunkte, der Dimension 0, da deren Helligkeit gerade in der konfokalen Mikroskopie nicht von der Größe des Pinholes abhängt und so die Auflösung des Mikroskops getestet werden kann.
  • Für reine Effizienzmessungen könnte das Prüfmaterial als Volumenmaterial, so beispielsweise als dicke Platte, ausgeführt sein. Eine z-Auflösung ist dabei nicht erforderlich.
  • Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, die Lehre der vorliegenden Erfindung in vorteilhafter Weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu ist einerseits auf die dem Patentanspruch 1 nachgeordneten Patentansprüche und andererseits auf die nachfolgende Erläuterung verschiedener Ausführungsbeispiele von Prüfproben anhand der Zeichnung zu verweisen. In Verbindung mit der Erläuterung verschiedener Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung werden auch im Allge meinen bevorzugte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Lehre erläutert. In der Zeichnung zeigt
  • 1 in einem schematischen Blockdiagram den grundsätzlichen Aufbau einer erfindungsgemäßen Vorrichtung und die grundsätzliche Funktionsweise des erfindungsgemäßen Verfahrens,
  • 2a ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Prüfprobe mit einem Punkt der Dimension 0 (ideal),
  • 2b ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Prüfprobe mit einer Fläche der Dimension 2,
  • 2c ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Prüfprobe mit einer Punktmatrix,
  • 3 in einem schematischen Diagramm den Verlauf der Lichtausbeute eines phosphoreszierenden Materials in Abhängigkeit von der Anregung und
  • 4 in einem schematischen Diagramm den Verlauf der Lichtausbeute über den Zustand der Sättigung hinweg im Zeitverlauf.
  • 1 zeigt im Rahmen eines schematischen Diagramms eine erfindungsgemäße Vorrichtung sowie die Anwendung eines erfindungsgemäßen Verfahrens zur Prüfung von Mikroskopen, wobei hier – schematisch – ein konfokales Mikroskop dargestellt ist.
  • Das Mikroskop umfasst eine Lichtquelle 1, einen das Licht über ein Beleuchtungspinhole 2, einen Strahlteiler 3 und einen Scanner 4 zur Probe 5 führenden Beleuchtungsstrahlengang 6. Das Detektionslicht wird von der Probe 5 über den Scanner 4 und den Strahlteiler 3 durch ein Detektionspinhole 8 zum Detektor 7 geführt.
  • Erfindungsgemäß wird eine ganz besondere Probe verwendet, nämlich eine Prüfprobe 5. Die Prüfprobe 5 umfasst einen Träger 9, der als Glasplatte ausgeführt ist. Auf dem Träger 9 befindet sich das Prüfmaterial 10, bei dem es sich erfindungsgemäß um ein phosphoreszierendes Material handelt.
  • Bei dem in 1 gezeigten Ausführungsbeispiel dient die Lichtquelle 1 des Mikroskops zum Anregen des Prüfmaterials 10. Ebenso ist es möglich, zu diesem Zwecke eine gesonderte Lichtquelle zu verwenden, die in 1 nicht gezeigt ist.
  • Die 2a, 2b und 2c zeigen Prüfproben 5, auf deren Träger 9 Prüfmaterial 10 unterschiedlich angeordnet ist. Das Prüfmaterial 10 ist als dünne Schicht ausgeführt. 2a zeigt – schematisch – eine punktuelle Anordnung des Prüfmaterials 10, woraus sich bei hinreichend dünner Ausgestaltung ein Leuchtpunkt der Dimension 0 ergibt.
  • In 2b ist das Prüfmaterial 10 flächenförmig angelegt, wobei auch hier in idealer Weise eine möglichst dünne Aufbringung des Prüfmaterials 10 vorliegt. Folglich handelt es sich um eine Fläche der Dimension 2.
  • Gemäß der Darstellung in 2c ergeben einzelne Punkte des Prüfmaterials 10 eine Punktmatrix.
  • Die in den 2a, 2b und 2c gezeigten Prüfproben lassen sich als Standards zur reproduzierbaren Prüfung des Mikroskops verwenden.
  • 3 zeigt in einem Diagramm den Verlauf der Lichtausbeute 11 des phosphoreszierenden Materials durch die unterbrochene Linie (I phosphoresc.). Sobald durch Anregung, beispielsweise mittels Beleuchtung, die Sättigung erreicht ist, erhält man eine nahezu gleich bleibende Lichtausbeute 11. Die erreichte Sättigung ist in 3 durch „I saturat" gekennzeichnet. Auf der Ordinate ist die Lichtausbeute bzw. die Intensität der Lichtausbeute abgetragen.
  • 4 zeigt die Lichtausbeute 11 im Zeitverlauf. Sobald sich der angeregte Zustand des phosphoreszierenden Materials in Sättigung 12 befindet (I saturat), ist die Lichtausbeute 11 (I phosphoresc) zumindest über einen gewissen Zeitraum hinweg (Δt measure) konstant, wobei dieser Zeitraum zur Messung bzw. Prüfung gemäß der voranstehenden Beschreibung genutzt wird. Danach klingt die Lichtausbeute nach und nach ab, wobei auch in der Phase der Degradation eine Messung der Lichtausbeute und somit Prüfung des Mikroskops möglich ist. Der Kompensation dienende Funktionen finden Anwendung.
  • Schließlich sei angemerkt, dass die voranstehend erörterten Ausführungsbeispiele zum Verständnis der erfindungsgemäßen Lehre beitragen, diese jedoch nicht auf das Ausführungsbeispiele einschränken.

Claims (33)

  1. Verfahren zur Prüfung von Mikroskopen, insbesondere von konfokalen Mikroskopen, wobei das Mikroskop mindestens eine Lichtquelle (1), einen das Licht zur Probe (5) führenden Beleuchtungsstrahlengang (6), einen Detektor (7) und einen das Detektionslicht von der Probe (5) zum Detektor (7) führenden Detektionsstrahlengang aufweist, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte: – Zurverfügungstellen einer Prüfprobe (5) aus phosphoreszierendem Material (10), – Anregen der Phosphoreszenz bis in die Sättigung der Probe (5), – Detektieren des von der Probe (5) emittierten und über den Detektionsstrahlengang zum Detektor (7) kommenden Lichts und – Auswerten der detektierten Signale sowie Vergleich mit vorgegebenen oder vorgebbaren Daten.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Prüfprobe (5) thermisch angeregt wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die thermische Anregung über eine die Prüfprobe (5) tragende Heizeinrichtung erfolgt.
  4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Prüfprobe (5) durch Licht angeregt wird.
  5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Prüfprobe (5) durch das über den Beleuchtungsstrahlengang (6) von der Lichtquelle (1) des Mikroskops kommende Licht angeregt wird.
  6. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Prüfprobe (5) über eine externe Lichtquelle angeregt wird.
  7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Licht der externen Lichtquelle in den Beleuchtungsstrahlengang (6) eingekoppelt wird.
  8. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Licht der externen Lichtquelle von unterhalb der Prüfprobe (5) auf diese trifft.
  9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass ein Punkt auf der Prüfprobe (5), vorzugsweise bei „geparktem" Scanner (4), über einen vorgebbaren Zeitraum hinweg beleuchtet wird, damit dieser Punkt schnell in die Sättigung geht und über die Zeit hinweg detektierbar ist.
  10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das von der Prüfprobe (5) emittierte Licht über die Phase einer in etwa konstanten Lichtausbeute hinaus, d.h. auch in der Phase der Degradation, detektiert wird.
  11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswertung durch mathematische Kompensation der Degradation, insbesondere nach Anfitten einer e-Funktion, erfolgt.
  12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass durch Detektion des von der Prüfprobe (5) emittierten Lichts und entsprechende Auswertung mikroskopspezifische Eigenschaften wie Bildhelligkeit, Auflösung, Bildausleuchtung, Bildverzerrung, Effizienz, etc. durch Vergleich mit vorgegebenen bzw. vorgebbaren Werten prüfbar sind.
  13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Rauschen eines oder mehrerer Bildpunkte oder das Rauschen zu einem Zeitpunkt innerhalb einer Fläche oder zwischen mehreren Punkten über die Zeit bestimmt und zum Erhalt des Signal-zu-Rausch-Verhältnisses des Detektionsstrahlengangs mit den detektierbaren Signalen ins Verhältnis gesetzt wird.
  14. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Prüfung zum Zwecke der Werksprüfung oder werksseitigen Geräteabnahme dient.
  15. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Prüfung zum Zwecke der Kalibrierung dient.
  16. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Prüfung nach Aktivieren eines Prüfprogramms, unter Verwendung auswählbarer Prüfproben (5), automatisch durchführbar. ist.
  17. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass nach der Prüfung ein Prüfprotokoll erstellt wird.
  18. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass nach der Prüfung eine automatische Gerätekalibrierung erfolgt.
  19. Vorrichtung zur Prüfung von Mikroskopen, insbesondere von konfokalen Mikroskopen, unter Nutzung der Bauteile des Mikroskops, insbesondere unter Anwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 18, vorzugsweise unter Nutzung einer Prüfprobe (5) nach einem der Ansprüche 24 bis 33, wobei das Mikroskop mindestens eine Lichtquelle (1), einen das Licht zur Probe (5) führenden Beleuchtungsstrahlengang (6), einen Detektor (7) und einen das Detektionslicht von der Probe zum Detektor (7) führenden Detektionsstrahlengang aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass die Prüfprobe (5) aus phosphoreszierendem Material (10) nach Anregung in der Sättigung über den Detektionsstrahlengang vom Detektor (7) detektierbar ist.
  20. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Prüfprobe (5) durch das über den Beleuchtungsstrahlengang (6) von der Lichtquelle (1) kommende Licht anregbar ist.
  21. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Prüfprobe (5) über eine externe Lichtquelle anregbar ist.
  22. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass die externe Lichtquelle unterhalb der Prüfprobe (5) angeordnet ist.
  23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 20 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei der Lichtquelle (1) um einen Laser handelt.
  24. Prüfprobe, insbesondere zur Anwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 18, und/oder einer Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 bis 23, gekennzeichnet durch einen Probenträger (9) und auf dem Probenträger (9) aufgebrachtes phosphoreszierendes Prüfmaterial (10).
  25. Prüfprobe nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem Prüfmaterial (10) um Zinksulfid, Zinksilikat, Erdalkali-Phosphore, etc. handelt.
  26. Prüfprobe nach Anspruch 24 oder 25, dadurch gekennzeichnet, dass das Prüfmaterial (10) auf einem vorzugsweise transparenten Träger (9) aufgebracht ist.
  27. Prüfprobe nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem Träger (9) um eine Glasplatte handelt.
  28. Prüfprobe nach Anspruch 26 oder 27, dadurch gekennzeichnet, dass das Prüfmaterial (10) zwischen dem Träger (9) und einer Abdeckplatte eingeschlossen ist.
  29. Prüfprobe nach einem der Ansprüche 24 bis 28, dadurch gekennzeichnet, dass die Prüfprobe (5) insgesamt versiegelt ist.
  30. Prüfprobe nach einem der Ansprüche 26 bis 29, dadurch gekennzeichnet, dass das Prüfmaterial (10) als vorzugsweise dünne Schicht auf dem Träger (9) aufgebracht ist.
  31. Prüfprobe nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, dass die Schicht mikrostrukturiert ist.
  32. Prüfprobe nach Anspruch 30 oder 31, dadurch gekennzeichnet, dass die Schicht Punkte der Dimension 0 und/oder Linien der Dimension 1 und/oder Flächen der Dimension 2 und/oder eine Punktmatrix umfasst.
  33. Prüfprobe nach einem der Ansprüche 24 bis 29, dadurch gekennzeichnet, dass das Prüfmaterial (10) als Volumenmaterial, vorzugsweise als dicke Platte, ausgeführt ist.
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