DE10313960B4

DE10313960B4 - Method for continuous remelting of material in an electron beam furnace

Info

Publication number: DE10313960B4
Application number: DE2003113960
Authority: DE
Inventors: Bernd Dipl.-Phys. Wenzel
Original assignee: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Current assignee: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Priority date: 2003-03-27
Filing date: 2003-03-27
Publication date: 2009-07-30
Anticipated expiration: 2023-03-28
Also published as: DE10313960A1

Abstract

Verfahren zum kontinuierlichen Umschmelzen von grobkristallinem Material in einem Elektronenstrahlofen unter Vakuum, bei dem Materialstücke im Elektronenstrahlofen nacheinander über eine Fördereinrichtung einem Prozessort zugeführt werden, an den aneinander liegenden Stoßflächen miteinander verschweißt werden, mittels Elektronenstrahl einer Elektronenkanone abgeschmolzen und als Schmelze in einem Schmelzbad gesammelt werden, dadurch gekennzeichnet, dass die zuzuführenden Materialstücke (1) vor dem Verschweißen gleichmäßig auf eine Vorwärmtemperatur, die mindestens etwa der Hälfte der absoluten Schmelztemperatur des Materials entspricht, jedoch kleiner als diese ist, vorgewärmt werden.A process for the continuous remelting of coarsely crystalline material in an electron beam furnace under vacuum, in which pieces of material in the electron beam furnace successively fed via a conveyor to a processor, are welded together at the abutting abutment surfaces, melted by electron beam of an electron gun and collected as a melt in a molten bath, characterized in that the material pieces (1) to be supplied are uniformly preheated prior to welding to a preheating temperature which is at least equal to but less than half the absolute melting temperature of the material.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum kontinuierlichen Umschmelzen von grobkristallinem Material in einem Elektronenstrahlofen unter Vakuum, bei dem Materialstücke im Elektronenstrahlofen nacheinander über eine Fördereinrichtung einem Prozessort zugeführt werden, an den aneinander liegenden Stoßflächen miteinander verschweißt werden, mittels Elektronenstrahl einer Elektronenkanone abgeschmolzen und als Schmelze in einem Schmelzbad gesammelt werden.The The invention relates to a process for continuous remelting of coarsely crystalline material in an electron beam oven Vacuum, in which pieces of material in the electron beam furnace successively via a conveyor to a processor supplied be welded together at the abutting abutment surfaces, melted by electron beam of an electron gun and be collected as a melt in a molten bath.

Wie in der DD 231 580 A1 beschrieben, werden Materialien aus Metall zum Reinigen von metallischen und nichtmetallischen Verunreinigungen in einem Elektronenstrahlofen unter Vakuum umgeschmolzen. Das umzuschmelzende Material, das Verunreinigung enthält, wird in stückiger Form aneinander gereiht einem Schmelzgefäß zugeführt. Aus dem Pulver oder Schlamm des umzuschmelzenden Materials, werden kurze stabförmige Presslinge hergestellt, die anschließend auf einer Zuführungsrinne dem Schmelzbad zugeführt werden. Über dem Schmelzbad wird das stabförmige Material durch die Einwirkung des Elektronenstrahls am Stabende, gegebenenfalls auch in einer reaktiven Atmosphäre, abgeschmolzen und flüssig im Schmelzbad eines Kristallisators aufgefangen. Dort erstarrt es zu einem Ingot.Like in the DD 231 580 A1 described metal materials are remelted for cleaning of metallic and non-metallic impurities in an electron beam furnace under vacuum. The material to be remelted, containing impurity, is supplied in lumpy form to a melting vessel, lined up with each other. From the powder or sludge of the material to be remelted, short rod-shaped compacts are produced, which are then fed to the molten bath on a feed channel. Above the molten bath, the rod-shaped material is melted off by the action of the electron beam at the end of the rod, if appropriate also in a reactive atmosphere, and collected in liquid form in the molten bath of a crystallizer. There it solidifies into an ingot.

Die Verunreinigungen verdampfen dabei aus der Schmelze.The Contaminants evaporate from the melt.

Das stabförmige Material wird auf der Zuführungsrinne mit gleichmäßigen Vorschub dem Abschmelzort zugeführt, so dass sich das abschmelzende Stabende immer genau über dem Schmelzbad des Kristallisators befindet. Das Hineinfallen von festen, nicht aufgeschmolzenen Stücken in den Kristallisator muss jedoch vermieden werden, da diese wegen ihrer größeren Dichte auf die Sohle des Schmelzbades sinken. Dort werden sie nicht mehr aufgeschmolzen und führen als ungereinigte Stellen im Ignot zu Fehlern. Deshalb können die Stäbe nur bis auf ein Reststück vorgeschoben und abgeschmolzen werden, welches in der Klemmvorrichtung der Fördereinrichtung verbleibt und entnommen werden muss. Für einen durchgängig kontinuierlichen und damit effizienten Betrieb des Umschmelzens werden daher die Stäbe durch Elektronenstrahlschweißen miteinander verbunden, um erst gar keine Reststücke entstehen zu lassen. Hierzu werden die einzelnen Stäbe an ihren Stoßstellen in der Schmelzkammer des Elektronenstrahlofens durch programmgesteuerte Ablenkung des Elektronenstrahles von seiner Schmelzposition auf die Stoßstellenposition verschweißt. Dabei werden die Stäbe an den Stoßstellen von oben nur in geringer Tiefe angeschmolzen und so mit einander verheftet. Wenn der Stoßbereich von oben beginnend am Schmelzort abschmilzt, fließt ein Teil des verflüssigten Materials in die noch offene Fuge zwischen den Stößen ein und verbindet beim Erstarren von oben nach unten den restlichen Fugenbereich vollständig bevor dieser reststückfrei abgeschmolzen wird.The rod-shaped Material gets on the feeder with even feed supplied to the melting point, so that the melting rod end always just above the Melting bath of the crystallizer is located. The falling in of solid, not melted pieces in the crystallizer, however, must be avoided because these because their greater density sink to the bottom of the molten bath. There they are not melted anymore and lead as unclean places in ignot to errors. That is why the Bars only until on a leftover piece advanced and melted, which in the clamping device the conveyor remains and must be removed. For a consistently continuous and thus efficient operation of the remelting are therefore the Through bars electron beam welding connected together so as not to let any remnants arise. For this become the single bars at their joints in the melting chamber of the electron beam furnace by program-controlled Distraction of the electron beam from its melting position the joint position welded. there become the bars at the joints melted from above only at shallow depths and so with each other stapled. If the butt area Starting from the top, melting at the melting point, a part flows of the liquefied Insert material into the still open joint between the bumps and connects the rest when solidifying from top to bottom Joint area completely before this rest-free is melted off.

In der DD 265 335 A1 wird ein ähnliches Verfahren zum Elektronenstrahlschmelzen von kurzen Stäben beschrieben. Auch hier werden zur Erzielung der Kontinuität des Umschmelzprozesses die Stabenden durch zeitlich und örtlich programmierte zyklische Strahlablenkung der Elektronenstrahlkanonen miteinander verheftet. In einem weiteren Programmschritt werden die bereits gehefteten Stoßstellen jedoch außerhalb der Stabauflage, wenn die Stäbe über dem Schmelzbad frei hängen, zusätzlich voll verschweißt. Damit wird die Gefahr des Hineinfallens von nicht aufgeschmolzenem Material in das Schmelzbad beim Aufschmelzen der Stoßstelle mit größerer Sicherheit vermieden.In the DD 265 335 A1 A similar method for electron beam melting of short bars is described. Again, to achieve the continuity of the Umschmelzprozesses the rod ends by timed and locally programmed cyclic beam deflection of the electron guns together. In a further program step, however, the already stapled joints are additionally fully welded outside the rod support when the rods hang freely above the molten bath. Thus, the risk of falling of unfused material in the molten pool during melting of the joint is avoided with greater certainty.

Nachteiliger Weise können mit diesen bekannten Verfahren der Umschmelzung von Materialstücken, solche die aufgrund grobkristalliner Struktur sehr temperaturspannungsempfindlich sind, wie z. B. Silizium, nicht verbunden werden. Infolge der konzentrierten örtlichen Erwärmung des Materials beim Verschweißen an an den Stößen entstehen Spannungsrisse im Material, worauf die Stäbe zerbrechen und Bruchstücke in das Schmelzbad fallen.Derogatory Way you can with these known methods of remelting of pieces of material, such due to coarse crystalline structure very sensitive to temperature stress are, such. As silicon, not be connected. As a result of the concentrated local warming of the material during welding to arise at the bumps Stress cracks in the material, whereupon the bars break and fragments in the Melt pool fall.

Zur Verarbeitung von Materialien mit grobkristalliner Struktur, die sehr temperaturempfindlich sind, wie beispielsweise Silzium, werden Stäbe aus diesem Material in einem vorangegangenen Reinigungsprozess hergestellt und sind von kleiner Länge.to Processing of materials with coarsely crystalline structure, the are very sensitive to temperature, such as silicon, be Bars out of this Material produced in a previous cleaning process and are of small length.

Diese Stäbe müssen nunmehr einzeln zugeführt und die Reststücke nach dem Umschmelzen über die Schleusen einzeln entnommen werden, was sehr zeit- und kostenaufwendig ist und gerätetechnischen Mehraufwand erfordert.These Bars must now individually supplied and the leftovers after remelting over the locks are taken individually, which is very time consuming and costly is and device technical Extra effort required.

Für photovoltaische Anwendungen benötigt man indes große Mengen gereinigtes Silizium.For photovoltaic Applications are needed however great Quantities of purified silicon.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren für das kontinuierliche Umschmelzen von Materialstücken, die aufgrund grobkristalliner Struktur sehr temperaturspannungsempfindlich sind, wie z. B. Silizium, anzugeben mit dem das Umschmelzen mittels Elektronenstrahl kostengünstig und mit höherer Produktionsleistung ermöglicht wird.Of the The invention is therefore based on the object, a method for the continuous Remelting of pieces of material, due to coarse crystalline structure very sensitive to temperature stress are, such. As silicon, specify with the remelting means Electron beam cost-effective and with higher Production capacity allows becomes.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, die zuzuführenden Materialstücke vor dem Verschweißen gleichmäßig auf eine Vorwärmtemperatur, die mindestens etwa der Hälfte der absoluten Schmelztemperatur des Materials entspricht, jedoch kleiner als diese ist, vorgewärmt werden. Durch eine gleichmäßige und langsame Erwärmung des Materials werden Temperaturspannungen im Gefüge verringert. Es wurde gefunden, dass beim Erreichen einer vorangegangenen Durchwärmung z. B. des Siliziummaterials auf ca. 800°C, was in etwa der hälftigen Schmelztemperatur von Silizium entspricht, ein Verschweißen der Stäbe möglich ist, ohne dass diese durch Temperaturspannung zerbrechen.The object is achieved by the supplied material pieces before welding evenly to a preheating temperature, the at least about half of the absolute Melting temperature of the material is equal to, but smaller than this, preheated. By a uniform and slow heating of the material temperature stresses in the structure are reduced. It has been found that when reaching a previous warming z. As the silicon material to about 800 ° C, which corresponds approximately to half the melting temperature of silicon, welding of the rods is possible without these break by thermal stress.

Es ist zweckmäßig, dass die Vorwärmtemperatur maximal der 75% der absoluten Schmelztemperatur entspricht. Damit sollte die Vorwärmtemperatur im Bereich von 50 bis 75% der Schmelztemperatur liegen.It is appropriate that the preheating temperature a maximum of 75% of the absolute melting temperature corresponds. In order to should the preheat temperature in Range of 50 to 75% of the melting temperature.

In einer anderen Variante des Verfahrens entspricht die Vorwärmtemperatur, mindestens etwa 75% der absoluten Schmelztemperatur des Materials, ist jedoch kleiner als diese.In another variant of the method corresponds to the preheating temperature, at least about 75% of the absolute melting temperature of the material, but it is smaller than this.

In einer speziellen Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens werden die Materialstücke mittels Elektronenstrahl erwärmt. Der Elektronenstrahl kann in seiner Ausrichtung und Leistung so kontrolliert dosiert werden, dass die auf das Material auftreffenden Elektronenstrahlen gezielt gleichmäßig einwirken.In a special embodiment of the method according to the invention, the pieces of material by means Heated electron beam. The electron beam can be controlled in its orientation and performance be dosed that the incident on the material electron beams act in a uniform manner.

Besonders vorteilhaft wirkt sich auf das erfindungsgemäße Verfahren aus, dass die Materialstücke allseitig erwärmt werden. Eine allseitige Wärmeeinwirkung auf die Materialstücke vermindert den Temperaturgradient im Material beim Aufwärmprozess erheblich.Especially It is advantageous for the method according to the invention that the material pieces heated on all sides become. An all-round heat effect on the pieces of material reduces the temperature gradient in the material during the warm-up process considerably.

Demzufolge ist es eine günstige Ausgestaltung der Erfindung, dass eine Zuführungsrinne der Fördereinrichtung, auf der die Materialstücke fortbewegt werden, zusätzlich erwärmt wird und die Wärmeenergie der Zuführungsrinne an diese Materialstücke übertragen wird. Zu diesem Zweck ist diese, die Materialstäbe großflächig umschließende Zuführungsrinne erfindungsgemäß aus Graphit hergestellt, was intensiv erwärmt und heiß gehalten werden kann. Die Zuführungsrinne kann dabei durch ein Elektronenstrahl, gegebenenfalls durch denjenigen, der auch das Material selbst erwärmt und verfahrensspezifisch wahlweise oder zusätzlich auch durch Heizelemente, die in der Zuführungsrinne auf der Elektronenstrahl abgewandten Rinnenseite integriert sind, beheizt werden. Die Verwendung von Heizelementen auf der dem Elektronenstrahl abgewandten Rinnenseite hält den Temperaturgradient beim Vorwärmen besonders gering.As a result, is it a cheap one Embodiment of the invention that a feed chute of the conveyor, on the pieces of material be moved in addition heated is and the heat energy the feed trough transferred to these pieces of material becomes. For this purpose, this, the material rods over a large area enclosing feed channel according to the invention of graphite produced, which intensively heated and kept hot can be. The feeder trough can by an electron beam, optionally by the one who also the material itself warmed up and process-specific optionally or additionally also by heating elements, the one in the feeder integrated on the electron beam facing away from the gutter side, be heated. The use of heating elements on the electron beam facing away from the gutter side the temperature gradient during preheating especially low.

In einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung des Verfahrens ist der Elektronenstrahl einer Elektronenkanone neben dem Abschmelzen der Stücke gleichzeitig für mindestens einen der Prozessschritte Vorwärmen, Verschweißen und Warmhalten des Schmelzbades einsetzbar. Dieses Verfahren ermöglicht einen Platz sparenden und effektiven Aufbau des Elektronenstrahlofens, da keine weiteren Heizelemente benötigt werden. Die einzelnen Prozessschritte benötigen jedoch unterschiedliche Strahlleistung und Auftreffflächen des Elektronenstrahls.In a particularly advantageous embodiment of the method is the Electron beam of an electron gun in addition to the melting of the pieces at the same time for at least one of the process steps preheating, welding and Keep warm the molten bath used. This procedure allows one Space-saving and effective construction of the electron beam furnace, since no further heating elements are needed. The single ones Process steps need However, different beam power and impact surfaces of the Electron beam.

In einer Ausgestaltung dieser erfindungsgemäßen Verfahrensweise wird die Gesamtleistung des Elektronenstrahl mit einer programmierten Ablenkungsfunktion in einzelne Leistungsteile aufgespalten, die gezielt in erforderlicher, dem jeweiligen Prozessschritt angepassten Streuung und Leistung die einzelnen Prozessorte erreichen.In An embodiment of this inventive method is the Total power of the electron beam with a programmed deflection function split into individual power units that are specifically required in, the scattering and performance adapted to the respective process step reach individual process locations.

Das erfindungsgemäße Verfahren ist zweckmäßig erweitert, indem die Zuführungsrinne um ihre Längsachse schwenkbar ist. Damit sind z. B. größere Auftreffflächen des Elektronenstrahls im Bereich des zu schweißenden Stoßes der Materialstücke während des Schweißens der Stücke realisierbar, die zu einer längeren Schweißnaht führen und die Festigkeit der Schweißnaht erhöhen. Zudem wird an den äußeren Kanten der Materialstücke durch die Neigung das Ablaufen des geschmolzenen Materials, was die Qualität der Schweißnaht an diesen Stellen verschlechtert, verhindert. Dies ist besonders wichtig beim Schweißen runder Stäbe. Auch für das Abschmelzen des Materials am Stabende und für das Erwärmen des Materials und der Zuführungsrinne gestaltet sich das Schwenken der Zuführungsrinne wegen der größere Auftreffflächen des Elektronenstrahls auf Material und Zuführungsrinne günstig.The inventive method is expediently extended, by the feed trough around its longitudinal axis is pivotable. This z. B. larger impact surfaces of the Electron beam in the area of the weld to be welded the pieces of material during the welding of the pieces feasible, resulting in a longer Weld to lead and the strength of the weld increase. In addition, at the outer edges the pieces of material by the tendency of the drainage of the molten material, what the quality the weld deteriorates in these places, prevents. This is special important in welding round bars. Also for the melting of the material at the bar end and for the heating of the material and the Feed channel designed the pivoting of the feed trough due to the larger impact area of the Electron beam on material and feed channel favorable.

In einer weiteren Verfahrensausgestaltung ist es zweckdienlich, dass zwischen aneinander auf der Zuführungsrinne liegenden Materialstücken eine keilförmige Öffnung gebildet wird, indem die Stücke mit spiegelseitig abgeschrägten Stoßflächen aneinander gereiht sind. Auch damit wird eine größere Auftrefffläche des Elektronenstrahls im Bereich des zu schweißenden Stoßes der Materialstücke erreicht. Das Material wird dort gleichmäßiger vorgewärmt und beim anschließenden Schweißen fließt das geschmolzene Material in den Keil und bildet eine breitere und damit festere Schweißnaht am Stoß der Materialstücke.In In a further embodiment of the method, it is expedient that between one another on the feed trough lying pieces of material formed a wedge-shaped opening is done by putting the pieces with bevelled on the mirror side Abutting surfaces to each other are ranked. Even so, a larger impact surface of the Achieved electron beam in the region of the weld to be welded piece of material. The Material is preheated more evenly there and at the subsequent welding flows the molten material in the wedge, forming a wider and thus firmer weld at the push of the Pieces of material.

Das erfindungsgemäße Verfahren soll nachfolgend an einem Ausführungsbeispiel erläutert werden. Die zugehörige Zeichnung in 1 zeigt das Verfahren im Schema. Das Verfahren im Ausführungsbeispiel benutzt zur Reinigung beispielsweise von Silizium einen Elektronenstrahlofen. Das Umschmelzen erfolgt unter Vakuum und unter reaktiver Atmosphäre.The method according to the invention will be explained below using an exemplary embodiment. The accompanying drawing in 1 shows the method in the diagram. The method in the embodiment uses an electron beam furnace for cleaning, for example, silicon. The remelting takes place under vacuum and under a reactive atmosphere.

Der Elektronenstrahlofen mit der Vakuumkammer und den Material schleusen zum Zuführen der Materialstücke wurde zum Zwecke der Übersichtlichkeit nicht dargestellt.Of the Electron beam furnace with the vacuum chamber and the material sluice for feeding the material pieces was for the sake of clarity not shown.

Die kurzen Materialstücke 1, die im Ausführungsbeispiel Siliziumstäbe sind, werden auf der Zuführungsrinne 2 über den Kristallisator 3, in dem sich das Schmelzbad 4 aus flüssigem Silizium befindet, geschoben. Die Zuführungsrinne 2 ist aus Graphitstücken zusammengesetzt. Die Elektronenkanone 5 emittiert den Elektronenstrahl 6, dessen Leistung durch eine programmierte Strahlablenkung in den Leistungsanteil 7 zum Vorwärmen der Siliziumstäbe, in den Leistungsanteil 8 zum Erwärmen der Graphitteile der Zuführungsrinne 2, in den Leistungsanteil 9 zum Verschweißen der Siliziumstäbe, in den Leistungsanteil 10 zum Abschmelzen der Siliziumstabenden und in den Leistungsanteil 11 zum Warmhalten der Siliziumschmelze im Kristallisator 3 aufgespalten wird. Die Leistungsanteile werden dabei in ihrer Leistung und Streuung an den jeweiligen Prozessschritt angepasst. Die Siliziumstäbe werden während des kontinuierlichen Vorschubes auf der Zuführungsrinne 2 durch die Leistungsanteile 7 und 8 des Elektronenstrahls 6 langsam und gleichmäßig auf ca. 1000°C erwärmt und anschließend durch den Leistungsanteil 9 miteinander temperaturspannungsfrei verschweißt. Am freien Stabende der verbundenen Siliziumstäbe wird mit dem Leistungsanteil 10 kontinuierlich entsprechend des Vorschubes der Siliziumstäbe das Abschmelzen des Siliziums bei einer Schmelztemperatur von ca. 1414°C vorgenommen. Während des gesamten Abschmelzprozesses wird die Siliziumschmelze im Schmelzbad 4 des Kristallisator 3 mit dem Leistungsanteil 11 des Elektronenstrahls 6 dauerhaft warm gehalten.The short pieces of material 1 , which are silicon rods in the embodiment, are on the feed trough 2 over the crystallizer 3 in which the molten bath four made of liquid silicon, pushed. The feeder trough 2 is composed of graphite pieces. The electron gun 5 emits the electron beam 6 , whose power through a programmed beam deflection in the power component 7 for preheating the silicon rods, in the power component 8th for heating the graphite parts of the feed trough 2 , in the power share 9 for welding the silicon rods, in the power component 10 for melting the silicon rod ends and in the power component 11 to keep the silicon melt in the crystallizer warm 3 is split. The performance components are adapted in their performance and dispersion to the respective process step. The silicon rods become on the feed chute during the continuous feed 2 through the performance shares 7 and 8th of the electron beam 6 heated slowly and evenly to about 1000 ° C and then by the power component 9 welded together without temperature stress. At the free rod end of the connected silicon rods is with the power component 10 the melting of the silicon at a melting temperature of about 1414 ° C continuously made in accordance with the advance of the silicon rods. During the entire Abschmelzprozesses the silicon melt in the molten bath four the crystallizer 3 with the performance share 11 of the electron beam 6 permanently kept warm.

11: Materialstückematerial pieces
22: Zuführungsrinnefeeding trough
33: KristallisatorCrystallizer
44: Schmelzbadmelting bath
55: Elektronenkanoneelectron gun
66: Elektronenstrahlelectron beam
77: Leistungsanteil zum Vorwärmen der Siliziumstäbepower component to preheat the silicon rods
88th: Leistungsanteil zum Erwärmen der Graphitteile der Zuführungsrinnepower component for heating the graphite parts of the feed trough
99: Leistungsanteil zum Verschweißen der Siliziumstäbepower component for welding the silicon rods
1010: Leistungsanteil zum Abschmelzen der Siliziumstabendenpower component for melting the silicon rod ends
1111: Leistungsanteil zum Warmhalten der Schmelze im Kristallisatorpower component to keep the melt in the crystallizer warm

Claims

Verfahren zum kontinuierlichen Umschmelzen von grobkristallinem Material in einem Elektronenstrahlofen unter Vakuum, bei dem Materialstücke im Elektronenstrahlofen nacheinander über eine Fördereinrichtung einem Prozessort zugeführt werden, an den aneinander liegenden Stoßflächen miteinander verschweißt werden, mittels Elektronenstrahl einer Elektronenkanone abgeschmolzen und als Schmelze in einem Schmelzbad gesammelt werden, dadurch gekennzeichnet, dass die zuzuführenden Materialstücke (1) vor dem Verschweißen gleichmäßig auf eine Vorwärmtemperatur, die mindestens etwa der Hälfte der absoluten Schmelztemperatur des Materials entspricht, jedoch kleiner als diese ist, vorgewärmt werden.A process for the continuous remelting of coarsely crystalline material in an electron beam furnace under vacuum, in which pieces of material in the electron beam furnace successively fed via a conveyor to a processor, are welded together at the abutting abutment surfaces, melted by electron beam of an electron gun and collected as a melt in a molten bath, characterized in that the material pieces to be supplied ( 1 ) are preheated uniformly to a preheating temperature equal to but less than or equal to at least about half of the absolute melting temperature of the material prior to welding.

Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorwärmtemperatur maximal etwa 75% der absoluten Schmelztemperatur entspricht.Method according to claim 1, characterized in that that the preheating temperature corresponds to a maximum of about 75% of the absolute melting temperature.

Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorwärmtemperatur, mindestens etwa 75% der absoluten Schmelztemperatur des Materials entspricht, jedoch klei ner als diese ist,Method according to claim 1, characterized in that that the preheating temperature, at least about 75% of the absolute melting temperature of the material corresponds, but is smaller than this,

Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Materialstücke (1) mittels Elektronenstrahl (6) erwärmt werden.Method according to claim 1 or 2, characterized in that the pieces of material ( 1 ) by electron beam ( 6 ) are heated.

Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Materialstücke (1) allseitig erwärmt werden.Method according to one of claims 1 to 4, characterized in that the pieces of material ( 1 ) are heated on all sides.

Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass eine Zuführungsrinne (2) der Fördereinrichtung, auf der die Materialstücke (1) fortbewegt werden, zusätzlich erwärmt wird und die Wärmeenergie der Zuführungsrinne (2) an die Materialstücke (1) übertragen wird.Method according to claim 5, characterized in that a feed trough ( 2 ) of the conveyor on which the pieces of material ( 1 ), is additionally heated and the heat energy of the feed trough ( 2 ) to the pieces of material ( 1 ) is transmitted.

Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Zuführungsrinne (2) mittels Elektronenstrahl (6) und/oder mittels in der Zuführungsrinne (2) angeordneten Heizelementen erwärmt wird.Method according to claim 6, characterized in that the feed channel ( 2 ) by electron beam ( 6 ) and / or by means of in the feed trough ( 2 ) arranged heating elements is heated.

Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Elektronenstrahl (6) der Elektronenkanone (5) für das Abschmelzen der Materialstücke (1) und mindestens einen der Prozessschritte Vorwärmen, Verschweißen und Warmhalten des Schmelzbades (4) eingesetzt wird.Method according to one of claims 1 to 7, characterized in that the electron beam ( 6 ) of the electron gun ( 5 ) for the melting of the pieces of material ( 1 ) and at least one of the process steps preheating, welding and keeping warm the molten bath ( four ) is used.

Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Elektronenstrahl (6) der Elektronenkanone (5) entsprechend der Prozessschritte fokussierbar und ablenkbar ist.Method according to claim 8, characterized in that the electron beam ( 6 ) of the electron gun ( 5 ) is focusable and distractable according to the process steps.

Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass eine jeweils an die Prozessschritte angepasste Leistung des Elektronenstrahls (6) einstellbar ist.A method according to claim 9, characterized in that each adapted to the process steps power of the electron beam ( 6 ) is adjustable.

Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Zuführungsrinne (2) um ihre Längsachse geschwenkt wird.Method according to one of claims 1 to 10, characterized in that the feed channel ( 2 ) is pivoted about its longitudinal axis.

Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen aneinander auf der Zuführungsrinne (2) liegenden Materialstücke (1) eine keilförmige Öffnung gebildet wird, indem die Materialstücke (1) mit spiegelseitig abgeschrägten Stoßflächen aneinander gereiht sind.Method according to one of claims 1 to 11, characterized in that between each other on the feed trough ( 2 ) pieces of material ( 1 ) a wedge-shaped opening is formed by the pieces of material ( 1 ) are lined up with mirror-sided bevelled abutting surfaces.