DE10311521B4

DE10311521B4 - Sensorelement, insbesondere Ölstandssensorelement, sowie Fluidsensor damit

Info

Publication number: DE10311521B4
Application number: DE10311521A
Authority: DE
Inventors: Heinz Eisenschmid; Michael Stumber
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 2003-03-17
Filing date: 2003-03-17
Publication date: 2010-11-11
Anticipated expiration: 2023-03-18
Also published as: US20040231402A1; DE10311521A1

Abstract

Sensorelement, insbesondere Ölzustandsensorelement, mit mindestens einem Sensierbereich (50), wobei der Sensierbereich
– bei Betrieb zumindest zeitweise und zumindest bereichsweise mit einem Fluid, insbesondere einem Öl, in Kontakt steht, und
– bei Betrieb eine das Fluid hinsichtlich zumindest einer physikalischen, insbesondere elektrischen, und/oder chemischen Eigenschaft charakterisierende Messgröße erfasst, und
– zumindest bereichsweise eine unmittelbar auf einer Kunststoffoberfläche (20, 24, 25, 27, 28) aufgebrachte Metallisierung (40) oder metallische Struktur (29) aufweist,
dadurch gekennzeichnet, dass
der Sensierbereich mittels MID-Technik erzeugt wurde.

Description

Die Erfindung betrifft ein Sensorelement, insbesondere ein Ölzustandssensorelement, sowie einen Fluidsensor mit einem derartigen Sensorelement nach den unabhängigen Ansprüchen.
Stand der Technik
Es sind Ölzustandssensoren bekannt, die neben einem umspritzten Stanzgitter zur Messung elektrischer Eigenschaften eines Öls wie einer Dielektrizitätskonstante oder einer Leitfähigkeit oder auch eines Füllstandes in einem Reservoir zusätzlich Bauteile zur Viskositätsmessung des Öls, einen Temperatursensor mit negativem Temperaturkoeffizienten (NTC-Widerstand), eine Leiterbahn mit einer darauf aufgebrachten Auswerteelektronik und ein mehrteiliges Gehäuse mit einem Stecker aufweisen. Ein derartiger Ölzustandssensor ist in 1 in Explosionsdarstellung erläutert.
Aus der DE 202 11 518 U1 ist ein als Hall-Sensor ausgebildeter Positionssensor bekannt. Bei diesem Sensor enthält ein als MID-Bauteil ausgebildeter länglicher Schltungsträger ein längliches Trägerelement aus spritzgegossenem Kunststoffmaterial als tragende Struktur für das Sensorelement. Der längliche Schaltungsträger übernimmt dabei die Funktion des Sensorgehäuses und stellt die für den Betrieb des Sensors erforderlichen Schaltungen und die zugehörigen Schaltungskomponenten für das Sensorelement zur Verfügung. Auf der Oberfläche des Trägerelements verlaufen dabei mehrere Leiterbahnen, die zur elektrischen Kontaktierung des Sensorelements dienen.
Aus der Schrift EP 1 255 107 A2 ist ein Sensor zur Erfassung eines Ölzustands in einer Ölwanne bekannt. Dabei werden verschiedene mittels geeigneter Abstandshalter voneinander beanstandete Röhren zur Erfassung des Ölzustands verwendet. Der Sensor wird dabei dazu verwendet, die Füllstand des Öls in der Ölwanne zu erfassen.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung war die Bereitstellung eines Sensorelementes, insbesondere eines Ölzustandssensorelementes, sowie eines Fluidsensors mit einem derartigen Sensorelement, der sich gegenüber dem Stand der Technik durch einen vereinfachten Aufbau mit einer verringerten Zahl von einzelnen Bauteilen sowie ein vereinfachtes und kostengünstigeres Herstellungsverfahren auszeichnet.
Vorteile der Erfindung
Das erfindungsgemäße Sensorelement und der erfindungsgemäße Fluidsensor mit einem derartigen Sensorelement hat gegenüber dem Stand der Technik den Vorteil, dass Technik weniger Bauteile und weniger Montageschritte zu dessen Herstellung erforderlich sind, so dass eine höhere Zuverlässigkeit bzw. geringere Störanfälligkeit gegeben ist und geringere Fertigungsschwankungen erreicht werden. So lässt sich insbesondere unter Einsatz einer MID-Technik (”Moulded Interconnect Device”) die bisher erforderliche separate Leiterplatte einsparen und deren Funktion beispielsweise auf der Abdeckung des Grundkörpers oder im Innenraum des Hohlkörpers integrieren.
Dadurch wird auch die Schwierigkeit überwunden, dass das derzeit eingesetzte Leiterplattenkonzept gemäß 1 bei stark schwankenden Temperaturen, wie sie bei Betrieb am Einbauort auftreten, vergleichsweise störanfällig ist.
Weiter ist vorteilhaft, dass in den Hohlkörper aus Kunststoff durch geeignete Metallisierung bzw. zusätzlich vorgesehene oder integrierte Abschirmbauteile die EMV-Beständigkeit (”Elektromagnetische Verträglichkeit”) des Sensorelementes bzw. Fluidsensors deutlich erhöht werden kann. Insbesondere lassen sich durch einen derartigen Hohlkörper bei Bedarf sowohl mechanische Störgrößen wie auch elektromagnetische Felder von dem Sensierbereich abschirmen.
Bei der erwähnten MID-Technik zum Aufbringen der Metallisierung bzw. metallischen Struktur auf der Kunststoffoberfläche ist zudem vorteilhaft, dass sich durch selektive Metallisierung der Kunststoffoberfläche Leiterbahnen wie Drähte oder Platinen, Stecker oder auch der Sensierbereich des Sensorelementes besonders einfach und kostengünstig erzeugen lassen.
Besonders vorteilhaft ist dabei, wenn im Rahmen der MID-Technik ein 2-Komponenten-Spritzguss mit einer metallisierbaren Komponente eingesetzt wird, wobei die Metallisierung bzw. metallische Struktur dann über stromlose oder galvanische Abscheidung eines Metalls oder durch Heißprägen auf der Oberfläche des Kunststoffes erzeugt wird.
Schließlich bietet vor allem die MID-Technik auch die Möglichkeit der Integration von funktionstragenden Bauelementen wie dem Sensierbereich in das Gehäuse des Sensorelementes oder des Fluidsensors, und es können auch elektrische Verbindungen oder Bauelemente wie Leiterbahnen, Stecker, Widerstände und Kapazitäten in ein derartiges Gehäuse in Form eines Kunststoff-Spritzguss-Bauteils integriert bzw. auf dessen Oberfläche erzeugt werden. Insbesondere lassen sich damit auch aus dem Stand der Technik bekannte Kondensatorstrukturen wie Interdigitalkondensatorstrukturen auf der Oberfläche des Kunststoffbauteils erzeugen. Solche Kondensatorstrukturen eignen sich besonders gut zur Füllstandsmessung und/oder zur Messung elektrischer Eigenschaften des Fluides, mit dem das Sensorelement in dem Sensierbereich bei Betrieb in Kontakt steht.
Im Übrigen ist bei dem erfindungsgemäßen Sensorelement und dem erfindungsgemäßen Fluidsensor vorteilhaft, dass neben den erläuterten Kosteneinsparungen und einer erhöhten Zuverlässigkeit auch eine größere Designfreiheit bei der Wahl einer optimalen Geometrie des Sensierbereiches, beispielsweise zur Füllstandserfassung, erreicht wird. Dadurch kann die Strukturierung der im Sensierbereich auf der Kunststoffoberfläche aufgebrachten Metallisierung bzw. die Ausbildung der metallischen Struktur, insbesondere in Form eines Interdigitalkondensators, hinsichtlich der Reduzierung eines Anhaftens des untersuchten Fluids an der Metallisierung bzw. metallischen Struktur, was durch Kapillarkräfte und Adhäsion verursacht wird, innerhalb vergleichsweise weiter Grenzen optimiert werden. Dies führt ebenfalls zu einem verringerten Messfehler und gibt auch die Möglichkeit, im Fall der Ausführung der metallischen Struktur als Interdigitalkondensator dessen Kapazität zu vergrößern.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den in den Unteransprüchen genannten Maßnahmen.
Zeichnungen
Die Erfindung wird anhand der Zeichnungen und der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigt 1 eine Explosionsdarstellung eines Ölzustandssensors nach dem Stand der Technik, 2 eine perspektivische Ansicht eines Ausführungsbeispiels eines als Ölzustandssensor ausgebildeten Fluidsensors, 3 eine Prinzipskizze eines Ausschnittes eines Sensierbereiches eines Sensorelementes, 4 ein zu 3 alternatives Ausführungsbeispiel, 5 ein weiteres, zu 3 bzw. 4 alternatives Ausführungsbeispiel, 6 ein zu den 3 bis 5 alternatives Ausführungsbeispiel und 7 ein weiteres, zu den 3 bis 6 alternatives Ausführungsbeispiel. Die 8 zeigt die Integration eines weiteren Sensorelementes in einem Fluidsensor in einer Prinzipskizze im Schnitt.
Ausführungsbeispiele
Die 1 zeigt eine Explosionsdarstellung eines Ölzustandssensors gemäß dem Stand der Technik mit einer Abdeckung 10 in Form eines Hohlkörpers aus einem Kunststoffspritzgussteil mit mehreren Zutrittsöffnungen 21 für das zu analysierende Öl, einem Stanzgitter 11 oder einer Kapazitätsmessplatine 11 in Form einer senkrecht aufragenden Struktur, mit der eine kapazitive Messung des Füllstandes des Öls in einem Reservoir möglich ist, Kontaktstiften 12 zur Verbindung des Stanzgitters 11 oder der Kapazitätsmessplatine 11 mit einem nicht dargestellten Stecker, einer Platine 13 mit einer Auswerteelektronik, d. h. beispielsweise ASIC- und/oder SMD-Bauteilen, sowie einem metallischen Deckel 14. In einer Umgebung des Deckels 14 ist weiter eine nicht dargestellte Referenzkapazität zur Kalibrierung des Ölzustandssensors gemäß 1 vorgesehen. Die Kontaktstifte 12 dienen zur Weiterleitung des Ausgangssignals des Ölzustandssensors gemäß 1 an externe Bauteile über den Stecker.
Daneben sind in 1 neben dem Stanzgitter 11 oder der Kapazitätsmessplatine 11 zur kapazitiven Füllstandsmessung auch weitere, nicht dargestellte Sensorelemente zur Temperatur- und/oder Viskositätsmessung mit der Platine 13 verbunden, die die Auswerteschaltung trägt.
Die 2 zeigt als erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung einen Ölzustandssensor als Fluidsensor 5. Dabei ist ein Grundkörper 23 in Form eines Tragkörpers aus Metall vorgesehen, mit dem ein Hohlkörper 20 aus 2-Komponenten-Spritzgusskunststoff mit einer metallisierbaren Komponente verbunden ist. Der Hohlkörper 20 weist Zutrittsöffnungen 21 auf, die einen Zutritt eines Fluids wie eines Öls eines Kraftfahrzeuges, beispielsweise aus der Ölwanne, in das Innere des Hohlkörpers 20 ermöglichen. Auf der dem Hohlkörper 20 abgewandten Seite des Grundkörpers 23 ist weiter eine Abdeckung 24 in Form einer Kunststoffplatte vorgesehen. Daneben weist der Fluidsensor 5 gemäß 2 eine Steckverbindung 22 auf, mit der über einen passenden Stecker und externe Bauelemente eine von dem Fluidsensor 5 bereit gestellte Messgröße erfassbar ist. Im Inneren des Hohlkörpers 20 ist in einem bei Betrieb des Fluidsensors 5 zumindest zeitweise und zumindest bereichsweise mit dem Fluid in Kontakt stehender Sensierbereich 50 vorgesehen, mit dem zumindest eine eine physikalische, insbesondere elektrische, und/oder chemische Eigenschaft des Fluids charakterisierende Messgröße erfassbar ist. Diese Messgröße ist beispielsweise eine Dielektrizitätskonstante des Fluids, eine elektrische oder thermische Leitfähigkeit des Fluids oder eine Kapazität zur kapazitiven Messung des Füllstandes des Fluids in einem Reservoir wie einer Ölwanne.
Im Einzelnen ist im Inneren des Hohlkörpers 20 in dem Sensierbereich 50 zumindest bereichsweise eine unmittelbar auf der Kunststoffoberfläche des Hohlkörpers 20 mittels MID-Technik aufgebrachte Metallisierung 40, insbesondere in Form von Leiterbahnen, oder metallische Struktur 29 vorgesehen, die bevorzugt durch stromlose oder galvanische Abscheidung eines Metalls auf der Oberfläche des Kunststoffes oder alternativ durch Heißprägen erzeugt worden ist. Besonders bevorzugt ist die metallische Struktur 29 zumindest bereichsweise als Interdigitalkondensator ausgebildet.
Insgesamt bildet der Hohlkörper 20 zusammen mit dem Grundkörper 23 und der Abdeckung 24 ein Gehäuse, das den Sensierbereich 50 vor mechanischen Einwirkungen und, bei geeigneter Wahl des Materials des Hohlkörpers 20 und/oder zusätzlichem Aufbringen von Abschirmstrukturen, elektromagnetischen Feldern abschirmt. Auf diese Weise erhöht der Hohlkörper 20 auch die elektromagnetische Verträglichkeit des Fluidsensors 5.
Besonders bevorzugt besteht der Hohlkörper 20 und die Abdeckung 24 jeweils aus einem durch Spritzguss formbaren Kunststoff, insbesondere einem 2-Komponenten-Spritzguss-Kunststoff mit einer metallisierbaren Komponente.
Die 3 erläutert ein erstes Ausführungsbeispiel für die Ausbildung des Sensierbereiches 50 des Fluidsensors 5 gemäß 2.
Dazu ist zunächst in vereinfachter Darstellung der Hohlkörper 20 als Hohlzylinder dargestellt, dessen Innenseite oberflächlich ganzflächig metallisiert ist. Sofern eine EMV-Problematik nicht besteht, kann auf diese Metallisierung bei Bedarf jedoch auch verzichtet werden. Weiterhin sind im Inneren dieses als Hohlzylinder ausgebildeten Hohlkörpers 20 zwei parallel zueinander beabstandet verlaufende Stäbe 25 vorgesehen, die zunächst jeweils zumindest oberflächlich, insbesondere vollständig, aus Kunststoff bestehen. Die Stäbe 25 können auch als Prismen oder Hohlzylinder ausgebildet sein und je nach Einzelfall auch einen von 3 abweichenden Querschnitt aufweisen. Weiter sind die Stäbe 25 auf der Kunststoffoberfläche jeweils ganzflächig mit einer Metallisierung 40 versehen, d. h. die beiden Stäbe 25 gemäß 3 bilden miteinander einen Kondensator, dessen Kapazität sich bei einem Eintauchen der beiden Stäbe 25 in ein Fluid wie ein Öl verändert. Durch diese Veränderung der Kapazität kann ein Füllstand oder eine physikalische oder chemische Eigenschaft des Öls wie dessen Dielektrizitätskonstante oder Leitfähigkeit erfasst werden.
Die 4 erläutert ein zu 3 alternatives Ausführungsbeispiel, wobei einer der beiden Stäbe 25 gemäß 3 zusätzlich oberflächlich mit einer zusätzlichen, auf der Metallisierung 40 aufgebrachten Isolierschicht 26, beispielsweise aus Kunststoff, versehen ist. Auf diese Weise ist die gemessene Kapazität im Wesentlichen durch die an der derart gebildeten Elektrode vorliegende Doppelschicht gegeben, die direkt Füllstandsab hängig ist. Insofern kann in 4 auf den zweiten, nicht mit der Isolierschicht 26 versehenen Stab 25 auch verzichtet werden. Ansonsten unterscheidet sich der Aufbau in 3 nicht von dem Aufbau gemäß 4.
Die 5 erläutert ein weiteres, zu den 3 bzw. 4 alternatives Ausführungsbeispiel, wobei einerseits die Innenseite des Hohlkörpers 20 ganzflächig metallisiert ist, und wobei andererseits im Inneren des Hohlkörpers 20 ein bevorzugt konzentrisch zu dem Hohlkörper 20 angeordneter Stab oder Hohlzylinder 27 vorgesehen ist, der oberflächlich auf seiner der Innenseite des Hohlkörpers 20 zugewandten Außenseite mit einer Metallisierung 40 versehen ist. Der Hohlzylinder 27 gemäß 5 besteht bevorzugt zumindest oberflächlich erneut aus Kunststoff, auf dem direkt die Metallisierung 40 aufgebracht ist. Der Hohlkörper 20 bildet auf diese Weise mit dem Hohlzylinder 27 einen Kondensator, dessen Kapazität von den physikalischen und/oder chemischen Eigenschaften eines Fluids abhängig ist, in das dieser Kondensator zumindest bereichsweise eintaucht.
Die 6 erläutert ein weiteres, zu den 3, 4 oder 5 alternatives Ausführungsbeispiel, wobei nunmehr ausgehend von 3 im Inneren des wahlweise auf der Innenseite metallisierten Hohlkörpers 20 eine Halterung 28 in Form einer Platte aus Kunststoff vorgesehen ist, auf deren Oberfläche eine metallische Struktur 29 in Form eines Interdigitalkondensators angeordnet ist. Die Randbereiche der Platte 28 sind weiter bereichsweise metallisiert, um eine elektrische Kontaktierung des Interdigitalkondensators 29 zu ermöglichen. Weiterhin kann auch hier insbesondere unter EMV-Aspekten vorgesehen sein, dass die innere Oberfläche des Hohlkörpers 20 ganzflächig metallisiert ist.
Die 7 zeigt ein letztes Ausführungsbeispiel für einen Sensierbereich 50, wobei hier die Innenseite des Hohlkörpers 20 direkt auf der Kunststoffoberfläche mit der metallischen Struktur 29 in Form eines Interdigitalkondensators versehen ist, die mit Hilfe einer MID-Technik erzeugt wurde. Dieses Ausführungsbeispiel zeichnet sich durch einen besonders einfachen Aufbau und eine besonders kostengünstige Herstellung aus.
In den 3 bis 7 ist im Übrigen angedeutet, dass das Innere des Hohlkörpers 20 durch mindestens eine Zutrittsöffnung 21 für das Fluid zugänglich ist, wie dies bereits in 2 gezeigt ist.
Die 8 erläutert schließlich, wie der Fluidsensor 5 gemäß 2 neben einem ersten Sensorelement mit einem Sensierbereich 50 entsprechend einem der mit Hilfe der 3 bis 7 erläuterten Ausführungsbeispiele bereichsweise mindestens ein weiteres Sensorelement 30 aufweist, das zur Bereitstellung einer weiteren, das Fluid bei Betrieb hinsichtlich einer physikalischen, insbesondere elektrischen, und/oder chemischen Eigenschaft charakterisierende Messgröße bereit stellt. Diese Messgröße ist beispielsweise eine Temperatur, eine thermische oder elektrische Leitfähigkeit, eine Dielektrizitätskonstante oder eine Viskosität des Fluids. Bevorzugt ist das weitere Sensorelement als Temperatursensor mit negativem Temperaturkoeffizienten ausgebildet.
Im Einzelnen zeigt 8 einen Bereich der Innenseite des Hohlkörpers 20 gemäß 2, der mit einer Zutrittsöffnung 60, die mit einer der Zutrittsöffnungen 21 gemäß 2 identisch sein kann, versehen ist. Über diese Zutrittsöffnung 60 ist das weitere Sensorelement 30 bei Betrieb des Fluidsensors 5 dem Fluid zumindest zeitweilig und zumindest bereichsweise ausgesetzt. Daneben zeigt 8, dass auf der Oberfläche des Hohlkörpers 20 aus Kunststoff bereichsweise Leiterbahnen 31 vorgesehen sind, die bevorzugt ausgehend von einem 2-Komponenten-Spritzguss mit einer metallisierbaren Komponente und nachfolgende stromlose oder galvanische Abscheidung oder nachfolgendes Heißprägen auf der Oberfläche des Kunststoffes erzeugt worden sind. Das weitere Sensorelement 30 ist über einen elektrisch leitfähigen Klebstoff 32 und mit diesem Klebstoff 32 in Verbindung stehende Leiterbahnen über die Leiterbahnen 31 elektrisch kontaktierbar bzw. ansteuerbar. Bevorzugt wird das weitere Sensorelement 30 durch übliche Flip-Chip-Technik mit den Leiterbahnen 31 auf der Kunststoffoberfläche 20 verbunden. Im übrigen sei noch erwähnt, dass zum Anbringen des weiteren Sensorelementes 30 anstelle der Innenseite des Hohlkörpers 20 auch die dem Innenraum des Hohlkörpers 20 zugewandte Seite der Abdeckung 24 aus Kunststoff eingesetzt werden kann.
Zusammenfassend wurde in den vorstehend erwähnten Ausführungsbeispielen mit Hilfe der MID-Technik jeweils erreicht, die in 1 noch erforderliche Leiterplatine 13 direkt durch Leiterbahnen auf einer Kunststoffoberfläche zu ersetzen und auch die in 1 noch erforderliche Kapazitätsmessplatine 11 direkt auf einer Kunststoffoberfläche, insbesondere der Innenseite des Hohlkörpers 20, aufzubringen. Daneben können auch gegebenenfalls vorhandene weitere Sensorelemente 30 direkt auf den bereichsweise metallisierten Kunststoff aufgebracht werden. Dies vereinfacht wesentlich die Aufbau- und Verbindungstechnik und reduziert die Herstellungskosten des Fluidsensors 5.

Claims

Sensorelement, insbesondere Ölzustandsensorelement, mit mindestens einem Sensierbereich (50), wobei der Sensierbereich – bei Betrieb zumindest zeitweise und zumindest bereichsweise mit einem Fluid, insbesondere einem Öl, in Kontakt steht, und – bei Betrieb eine das Fluid hinsichtlich zumindest einer physikalischen, insbesondere elektrischen, und/oder chemischen Eigenschaft charakterisierende Messgröße erfasst, und – zumindest bereichsweise eine unmittelbar auf einer Kunststoffoberfläche (20, 24, 25, 27, 28) aufgebrachte Metallisierung (40) oder metallische Struktur (29) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensierbereich mittels MID-Technik erzeugt wurde.
Sensorelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Hohlkörper (20) vorgesehen ist, der zusammen mit einem Grundkörper (23), insbesondere einem mit einer dem Hohlkörper (40) abgewandten Abdeckung (24) versehenen Grundkörper (23), ein Gehäuse bildet, das den Sensierbereich (50) vor Störgrößen wie mechanischen Einwirkungen und/oder elektromagnetischen Feldern abschirmt.
Sensorelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Kunststoffoberfläche (20, 24, 25, 26, 27, 28) Teil einer inneren Oberfläche eines mit mindestens einer Zutrittsöffnung (21) für das Fluid versehenen Hohlkörpers (20), insbesondere des das Gehäuse bildenden Hohlkörpers (20), ist.
Sensorelement nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Hohlkörper (20) und/oder die Abdeckung (24) aus Kunststoff besteht.
Sensorelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dass die aufgebrachte Metallisierung (40) in Form einer strukturierten metallischen Schicht, insbesondere einer zu einem Interdigitalkondensator (29) strukturierten metallischen Schicht, ausgebildet ist.
Sensorelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Mehrzahl von jeweils einen Sensierbereich (50) bildenden oder jeweils einem Sensierbereich (50) zugeordneten Stäben (25), Prismen oder Hohlzylindern (27) vorgesehen ist, die zumindest oberflächlich aus Kunststoffbestehen, und die zumindest bereichsweise oberflächlich, insbesondere ganzflächig oder in Form einer Interdigitalstruktur (29), metallisiert oder mit der metallischen Struktur (29, 40) versehen sind.
Sensorelement nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass zwei parallel zueinander verlaufende oder zwei konzentrisch zueinander angeordnete Stäbe (25), Prismen oder Hohlzylinder (27) vorgesehen sind, die zu einem Kondensator verschaltet und insbesondere im Inneren des Hohlkörpers (20) angeordnet sind.
Sensorelement nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Stab (25), Hohlzylinder (27) oder Prisma oberflächlich über der auf der Kunststoffoberfläche vorgesehenen Metallisierung (40) oder metallischen Struktur (29) eine Isolierschicht (26), insbesondere aus Kunststoff, aufweist.
Sensorelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine den Sensierbereich (50) bildende oder diesem zugeordnete Halterung (28), insbesondere in Form einer Platte, vorgesehen ist, die zumindest oberflächlich aus Kunststoff besteht, wobei auf dieser Oberfläche aus Kunststoff die Metallisierung (40) oder metallische Struktur (29), insbesondere in Form eines Interdigitalkondensators (29), angeordnet ist.
Sensorelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mit dem Sensierbereich (50) eine Dielektrizitätskonstante und/oder eine elektrische oder thermische Leitfähigkeit des Fluids und/oder ein Füllstand des Fluids in einem Reservoir messbar ist.
Fluidsensor mit – einem ersten Sensorelement nach einem Ansprüche 1 bis 10 zur Erfassung einer ersten die physikalische, und insbesondere elektrische, und/oder chemische Eigenschaft charakterisierende Messgröße eines Fluids bei Betrieb des Fluidsensors und – einem von dem ersten Sensorelement verschiedenen zweiten Sensorelement (30) zur Erfassung einer weiteren hinsichtlich zumindest einer physikalischen, insbesondere elektrischen, und/oder chemischen Eigenschaft charakterisierende Messgröße des Fluids.
Fluidsensor nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Sensorelement (30) ein Viskositätssensorelement oder ein Temperatursensorelement ist.
Fluidsensor nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Sensorelement (30) mit einer auf einer Kunststoffoberfläche (20, 24), insbesondere einer auf der Oberfläche der Abdeckung (24) aus Kunststoffaufgebrachten Metallisierung (31, 40) oder metallischen Struktur (29) elektrisch leitend verbunden und darüber elektrisch ansteuerbar und/oder auslesbar ist.
Fluidsensor nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallisierung (31, 40) oder metallische Struktur (29) in Form einer Leiterbahn oder eines Interdigitalkondensators (29) ausgebildet ist.
Fluidsensor nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Sensorelement (30) über einen elektrisch leitfähigen Klebstoff (32) mit der Metallisierung (31, 40) oder der metallischen Struktur (29) verbunden ist.
Fluidsensor nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Sensorelement (30) durch Flip-Chip-Technik mit der Metallisierung (31, 40) oder der metallischen Struktur (29) auf der Kunststoffoberfläche (20, 24) verbunden ist.
Fluidsensor nach einem der Ansprüche 11 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Sensorelement (30) mit dem Fluid bei Betrieb zumindest zeitweise und zumindest bereichsweise über eine Zutrittsöffnung (60) in Kontakt steht.
Fluidsensor nach einem der Ansprüche 11 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallisierung (31, 40) oder metallische Struktur (29) des zweiten Sensorelements (30) mittels MID-Technik auf die Kunststoffoberfläche (20, 24, 25, 26, 27, 28) aufgebracht ist.