DE10249105B4 - Mikrofluides System und Verfahren zur Herstellung eines solchen - Google Patents

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Abstract

Mikrofluides System, insbesondere Mikro-Flußsensor, mit einer Ein/Ausgangsöffnung (2) in einem Wafer (3) und einem Anschlußelement (1) für die Ein-/Ausgangsöffnung (2, wobei das Anschlußelement (1) einen Mantel (6) mit einem Vorsprung (4) aufweist, und wobei zwischen dem Vorsprung (4) und dem Wafer (3) eine Klebverbindung (8) vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß das Anschlußelement (1) in einem Bereich (7) auf der Oberfläche des Wafers (3) aufliegt und die Oberfläche des Wafers (3) im Bereich (7) der Ein-/Ausgangsöffnung (2 so abdeckt, daß ein Eintritt von Kleber in die Ein-/Ausgangsöffnung (2 bei Herstellung der Klebverbindung (8) verhindert ist.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein mikrofluides System und ein Verfahren zur Herstellung eines solchen.
  • Mikroelektromechanische Systeme (micro-electro-mechanical systems = MEMS) gewinnen zunehmend an Bedeutung, beispielsweise in der Medizin oder der Analysetechnik. Zu den MEMS gehören auch die mikrofluiden Systeme (microfluidic systems) wie beispielsweise Mikropumpen, Mikroventile, Mikrofilter und Mikrosensoren. Ein bislang nicht befriedigend gelöstes Problem besteht aber darin, diese Mikrogeräte an die "Makrowelt" oder andere MEMS-Geräte anzuschließen.
  • Es sind verschiedene Anschlußsysteme für mikrofluide Systeme vorgeschlagen worden. Eine Möglichkeit besteht beispielsweise in der Bondung von Glaskapillaren auf einen Glas- oder Siliziumwafer (Dziuban, Górecka-Drzazga, Nieradko, Małecki, Mróz, Silicon-Glass Components for Gas Chromatograph, The 14th European Conference on Solid-State Tranducers, Eurosensors XIV, Proceedings, August 2000, S. 37-38). Dies ist allerdings sehr aufwendig, schwer durchzuführen und führt häufig zu unbefriedigenden Ergebnissen. Eine weitere Möglichkeit besteht darin, eine Kapillare in die Fluid-Ein- bzw. Ausgangsöffnung in einem Wafer einzuführen und am Rand der Kapillare mit dem Wafer zu verkleben. Der Kleber muß dabei mit in die Ein-/Ausgangsöffnung fließen, was bei einem viskosen Kleber schwierig ist. Niedrigviskose (dünnflüssige) Kleber fließen dagegen häufig am Rand der Kapillare entlang in die Ein-/Ausgangsöffnung und verstopfen diese. Darüber hinaus weisen diese Anschlüsse ein vergleichsweise großes Totvolumen (nicht durchströmtes Volumen) auf, wenn die Kapillare nicht weit genug eingeführt wird oder nicht exakt an die Ein-/Ausgangsöffnung angepaßt ist.
  • Tsai und Lin (2001, J. Micromech. Microeng. 11, S. 577-581) beschreiben einen Anschluß, bei dem zur Abdichtung einer in die Ein-/Ausgangsöffnung eines Wafers eingeführten Kapillare ein spezieller Polyester-Film mit einer Polyvinylidenchlorid(PVDC)-Schicht eingesetzt wird. Die Kapillare wird zusätzlich noch wie oben beschrieben verklebt. Dieser Anschluß ist vergleichsweise aufwendig in der Herstellung.
  • Yao et al. (2000, In: MEMS 2000, S. 624-627, Miyazaki, Japan) haben ein Anschlußsystem vorgeschlagen, bei dem eine O-Ring-Dichtung aus Silikon in die Ein-/Ausgangsöffnung eines Siliziumwafers integriert ist. Dieser Anschluß ist ebenfalls aufwendig in der Herstellung und nicht für hohe Drücke geeignet.
  • Zwei weitere Anschlußsysteme sind von Puntambekar und Ahn beschrieben worden (2000, In: Micro Total Analysis Systems 2000 – Proceedings Of The μTas 2000 Symposium, Held In Enschede, The Netherlands, 14-18 May 2000, Hrsg: Berg et al., MESA Monographs, Kluwer Academic Publishers, Niederlande, S. 323-326). Bei dem ersten Anschlußsystem werden zwei Glaswafer mit übereinander liegenden Bohrungen aneinander gebondet, wobei die Bohrung des einen Glaswafers einen größeren Querschnitt aufweist als die des darüber liegenden. Dann wird bei Temperaturen von 310 °C und unter Druck ein Rohr aus thermoplastischem Kunststoff (z.B. Polyetheretherketon, PEEK) in die Bohrungen eingepaßt, so daß im Bereich der größeren Bohrung eine Art Flansch gebildet wird. Eine zweite Möglichkeit besteht in der Einpassung des Kunststoffrohres in die photolithographisch strukturierte Öffnung eines Polycarbonatwafers. Dies wird ebenfalls bei erhöhtem Druck und erhöhter Temperatur (180 °C) durchgeführt. In das Kunststoffrohr können dann Kapillaren eingeführt werden. Diese Anschlüsse weisen zwar ein geringes Totvolumen auf, sind aber aufwendig in der Herstellung und erfordern eine genaue Justierung bei der Herstellung der Verbindung.
  • Meng et al. (2000, In: Micro Total Analysis Systems 2000 – Proceedings Of The μTas 2000 Symposium, Held In Enschede, The Netherlands, 14-18 May 2000, Hrsg: Berg et al., MESA Monographs, Kluwer Academic Publishers, Niederlande, S. 41-44) beschreiben Standard-Anschlußelemente, bei denen Siliziumwafer so strukturiert werden, daß sie auf der einen Seite ein Rohr aufnehmen und auf der anderen Seite mit der Ein-/Ausgangsöffnung eines Wafers, insbesondere eines Siliziumwafers, verbunden werden können. Der strukturierte Wafer mit dem Anschlußrohr kann in die Ein-/Ausgangsöffnung eines Wafers eingepaßt und beispielsweise verklebt werden. Meng et al. beschreiben auch die Herstellung eines Kunststoff-Anschlußelements mit Hilfe einer PTFE(Polytetrafluorethylen)-beschichteten Form, die aus Siliziumwafern hergestellt wird. Das Anschlußelement kann anschließend an den Ein-/Ausgang eines Si-Wafers angeschmolzen werden. Die resultierenden Verbindungen sind häufig nicht totvolumenfrei und es kann bei dem Rückschmelzen des Kunststoffes zum Verblocken der Ein-/Ausgangsöffnung kommen.
  • Aus WO 01/09598 A1 ist eine mikrofluide Vorrichtung bekannt, die eine Ein/Ausgangsöffnung in einem mikrofluidischen Bauelement und ein Anschlusselement für die Ein-/Ausgangsöffnung aufweist, wobei das Anschlusselement die Oberfläche der mikrofluidischen Vorrichtung im Bereich der Ein/Ausgangsöffnung abdeckt und einen Mantel mit einem Vorsprung aufweist. Zwischen dem Vorsprung und dem mikrofluidischen Bauelement ist eine Klebverbindung vorgesehen.
  • Aus US 6 428 053 B1 ist ein mikrotechnisch hergestellter Fluidkoppler mit einer Ein-/Ausgangsöffnung in einem Wafer bekannt, der ein Anschlusselement für die Ein-/Ausgangsöffnung aufweist, wobei das Anschlusselement die Oberfläche des Wafers im Bereich der Ein-/Ausgangsöffnung abdeckt und einen Mantel mit einem Vorsprung aufweist. Zwischen dem Vorsprung und dem Wafer ist eine Klebverbindung vorgesehen.
  • Es wäre wünschenswert, ein mikrofluides System zur Verfügung zu haben, deren Anschlüsse die Nachteile des Standes der Technik (z.B. aufwendige Herstellung oder Handhabung, Verblocken der Ein-/Ausgangsöffnung, großes Totvolumen) nicht aufweisen.
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein mikrofluides System, insbesondere einen Mikro-Flußsensor, mit einem Anschlußsystem bereitzustellen, das leicht herzustellen, unkompliziert in der Handhabung und sicher in der Anwendung ist, und das ein möglichst geringes Totvolumen aufweist.
  • Die Aufgabe wird gelöst durch ein mikrofluides System mit einer Ein/Ausgangsöffnung in einem Wafer und einem Anschlußelement für die Ein/Ausgangsöffnung, wobei das Anschlußelement die Oberfläche des Wafers im Bereich der Ein-/Ausgangsöffnung abdeckt und einen Mantel mit einem Vorsprung aufweist, wobei zwischen dem Vorsprung und dem Wafer eine Klebverbindung vorgesehen ist.
  • Das erfindungsgemäße mikrofluide System stellt ein Anschlußelement bereit, an das die Fluidquelle (das Fluid kann gasförmig oder auch flüssig sein) mit Hilfe üblicher Systeme (z.B. Kapillaren, Schläuche und dergleichen) angeschlossen werden kann. Es kann sich hierbei um weitere Mikrogeräte, beispielsweise einen Mikro-Gaschromatographen handeln. Der Anschluß kann aber je nach Einsatzzweck auch direkt an eine Gas- oder Flüssigkeitsquelle erfolgen, beispielsweise im Fall einer Mikropumpe oder eines Mikroventils. Das Anschlußelement erzeugt vor allem ein sehr geringes Totvolumen, was insbesondere für Mikrosensoren von großer Bedeutung ist, da nicht voll durchströmte Bereiche (Totvolumina) häufig zu verfälschten Meßergebnissen führen.
  • Nach einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung liegt das Anschlußelement in einem Bereich in der Nähe der Ein-/Ausgangsöffnung auf der Oberfläche des Wafers auf, so daß auch dünnflüssiger Kleber, der zwischen Wafer und Anschlußelement aufgebracht wird, nicht in die Ein-/Ausgangsöffnung hineinlaufen kann. Ein Verblocken der Öffnung ist damit ausgeschlossen. Dennoch ist die Verbindung ausreichend stabil, um ein Lösen des Anschlußelements vom Wafer zu verhindern. Die Herstellung der Klebverbindung ist zudem einfach, da der entsprechende Bereich zwischen dem Vorsprung und der Waferoberfläche leicht zugänglich ist. Der Kleber kann ein Polymerharz sein, das selbstaushärtend ist oder unter Lichteinwirkung (z.B. UV-Licht) aushärtet bzw. beschleunigt aushärtet.
  • Der abgedeckte Bereich ist bevorzugt ringförmig um die Ein-/Ausgangsöffnung ausgebildet. Es ist aber beispielsweise auch möglich, in Systemen, in denen kein hoher Druck erforderlich ist, nur eine Auflage in bestimmten Bereichen oder punktuell zu schaffen.
  • Der Vorsprung an dem Mantel des Anschlußelements ist bevorzugt umlaufend um den Mantel ausgebildet, so daß eine Art Kragen oder Rippe über den ganzen Umfang des Anschlußelementes gebildet wird. Dadurch wird es ermöglicht, die Klebverbindung ringförmig vorzusehen, um über den gesamten Umfang eine Verbindung mit der Waferoberfläche herzustellen.
  • In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform sind das Anschlußelement und die Klebverbindung aus einem identischen Polymerharz hergestellt. Beide Komponenten weisen daher einen identischen Ausdehnungskoeffizienten auf, wodurch sich Probleme wie z.B. das Lösen der Verbindung bei Temperaturwechseln vermeiden lassen. Neben der Verhinderung unterschiedlicher Ausdehnung mit in der Folge möglicherweise auftretenden Rissen und dergleichen besteht ein weiterer Vorteil darin, daß nur eine geringe Anzahl verschiedener Materialien eingesetzt werden muß, was zu einer Reduktion der Herstellungskosten und einer Vereinfachung der Herstellung führt.
  • Das Polymerharz, aus dem der ausgehärtete Kleber und das Anschlußelement bestehen, ist bevorzugt ein photoinitiiert aushärtendes Polymerharz (Photopolymer). Unter Photopolymeren werden Polymere verstanden, deren Eigenschaften sich unter Lichteinfluß ändern. Im vorliegenden Fall betrifft dies hauptsächlich die durch Licht, insbesondere UV-Licht, initiierte bzw. verstärkte Polymerisation. Dabei können als Ausgangssubstanzen Monomere, Oligomere, aber auch Polymere selbst, dienen. Durch die Verwendung von photoreaktiven Polymeren kann das Anschlußelement auf einfache und sehr präzise Weise mit Hilfe von Stereoli thographieverfahren hergestellt werden. Besonders vorteilhaft wird hierbei das sogenannte Rapid Micro Product Development-Verfahren eingesetzt. Hierbei wird ein flüssiges photoreaktives Material (Acrylate und Epoxide) mit Hilfe eines UV-Laserstrahls schichtweise ausgehärtet. Durch schrittweises Überlagern mehrerer Schichten ausgehärteten Materials entstehen dreidimensionale Bauteile. Auch komplexe Bauteile können in einem Stück gefertigt werden. Der Laserstrahl wird mit Hilfe eines Computers gesteuert. Als Ausgangsmaterialien eignen sich photoreaktive Acrylate und Epoxide, die dem Fachmann auf diesem Gebiet bekannt sind.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform ist der Wafer aus Glas, Glaswafer haben den Vorteil, daß sie durchsichtig und preiswerter als Si-Wafer sind. Bevorzugt finden Borosilikatgläser Verwendung. Eine typische Zusammensetzung für derartiges Glas umfaßt beispielsweise (%): 80,6 SiO2, 12,6 B2O3, 4,2 Na2O, 2,2 Al2O3. Häufig werden Wafer aus diesem Glas eingesetzt. Es war bislang schwierig, Glas-Wafer in zufriedenstellender Weise mit Anschlüssen zu versehen. Insofern ist es vorteilhaft, daß die Klebverbindung zwischen Anschlußelement und Wafer bei dem erfindungsgemäßen mikrofluiden System nunmehr besonders stabil ist, wenn der Wafer aus einem derartigen Glas besteht. Somit wird ein Abreißen des Anschlusses wirksam verhindert.
  • In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform weist das Anschlußelement ein Einsatzelement auf, das in die Ein-/Ausgangsöffnung des Wafers eingeführt ist. Besonders bevorzugt ist das Einsatzelement dabei mit einer Seitenfläche und/oder Kante gegen eine Wand der Ein-/Ausgangsöffnung gepresst. Das Einsatzelement dient hier nicht nur zur Führung bzw. Justierung bei der Herstellung der Verbindung zwischen Anschlußelement und Wafer, sondern auch zur Minimierung bzw. Beseitigung des möglichen Totvolumens. Das Einsatzelement kann dabei im Längsschnitt konisch zulaufen und beispielsweise kegelförmig ausgebildet sein, so daß die Seitenfläche des Vorsprungs fest an der Wand einer kreisförmigen, ebenfalls konisch zulaufenden, Ein-/Ausgangsöffnung anliegt. Es ist aber beispielsweise auch möglich, das Einsatzelement in Form eines Zylinders auszubilden, der lediglich mit der Kante seiner Grundfläche an die Wand der Ein-/Ausgangsöffnung gepresst ist, so daß die Bildung von Totvolumen minimiert oder verhindert wird. Die Seitenfläche bzw. die Kante liegt dabei vorteilhaft umflaufend über den ganzen Umfang der Ein-/Ausgangsöffnung an der Wand an.
  • Die Form des Einsatzelements kann je nach der Gestalt der Ein/Ausgangsöffnung variieren. Beispielsweise kann eine im Querschnitt kreisförmige oder quadratische Form vorgesehen sein. Für den Fall, daß es nicht auf die Vermeidung von Totvolumina ankommt, kann das Einsatzelement auch eine beliebige Form unabhängig von der Form der Ein-/Ausgangsöffnung aufweisen. Es muß lediglich in die Öffnung einführbar ausgestaltet sein.
  • In einer Ausführungsform der Erfindung ist in dem Anschlußelement ein innerer Kanal ausgebildet, der zur Ein-/Ausgangsöffnung hin konisch zuläuft. Hierdurch kann auf besonders einfache Weise ein Anschluß beispielsweise einer Kapillare an das mikrofluide System hergestellt werden. Die Kapillare wird hierzu einfach soweit in den inneren Kanal eingeführt, daß eine formschlüssige Verbindung erzeugt wird. Bei Bedarf kann die Kapillare auch noch zusätzlich verklebt werden.
  • Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist an dem Mantel des Anschlußelements mindestens ein Vorsprung vorgesehen. Dieser ist bevorzugt in Form eines Wulstes, besonders bevorzugt eines ringförmig umlaufenden Wulstes, beispielsweise an dem vom Wafer abgewandten Ende des Anschlußelements, ausgestaltet. Es können aber auch beispielsweise spiralförmige Strukturen, Noppen und dergleichen vorgesehen sein. Der Vorsprung dient dazu, eine zuverlässigere Anbindung beispielsweise eines Schlauches zu ermöglichen, der von außen auf das Anschlußelement aufgeschoben wird. Ein versehentliches Ablösen bzw. Abrutschen des Schlauches wird so erschwert oder verhindert.
  • Das komplette Anschlußelement mit Vorsprung und gegebenenfalls Einsatzelement kann in einem Stück durch Stereolithographie-Verfahren gefertigt werden. Das aufwendige und schwierige Zusammenfügen von Einzelteilen entfällt. Ebensowenig wird beispielsweise eine Form oder dergleichen benötigt. Die Software des Computers, der den Laserstrahl steuert, muß lediglich mit den 3-D-Daten des Anschlußstücks versorgt werden.
  • Das Anschlußelement besitzt bevorzugt die Gestalt von zwei, im Falle der Ausführungsform mit Einsatzelement drei, übereinanderliegenden Zylindern mit jeweils größer werdenden Querschnitten. Es kann aber auch andere Formen aufweisen, beispielsweise im Querschnitt quadratisch sein. Der Kanal für das Fluid befindet sich dabei bevorzugt im Bereich der gemeinsamen Mittelachse.
  • Bei der Herstellung der Verbindung zwischen dem Anschlußelement und dem Wafer wird das Anschlußelement zunächst auf dem Wafer gegenüber der Ein/Ausgangsöffnung so angeordnet, daß eine ringförmige, möglichst geschlossene, Fläche um die Ein-/Ausgangsöffnung abgedeckt ist. Dann wird der Kleber, bevorzugt ein flüssiger Kleber aus Polymerharz bzw. Monomeren des Polymerharzes, zwischen Wafer und Vorsprung des Anschlußelements aufgebracht. Anschließend läßt man den Kleber, gegebenenfalls unter Bestrahlung mit UV-Licht, aushärten.
  • Die Erfindung wird im Folgenden anhand der in den 1 bis 3 dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigt:
  • 1 einen Längsschnitt durch ein mikrofluides System gemäß der Erfindung,
  • 2: eine weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen mikrofluiden Systems,
  • 3: eine veränderte Ausführungsform gemäß 2.
  • In 1 ist ein erfindungsgemäßes mikrofluides System dargestellt. Das aus einem Stück mit Hilfe des Rapid-Micro-Product-Development-Verfahrens hergestellte Anschlußelement 1 ist zylindrisch und weist einen Mantel 6 mit einem umlaufenden Vorsprung 4 in Form eines Kragens auf. Der Durchmesser des Anschlußelements 1 in Höhe des Kragens 4 beträgt 800 μm. Unterhalb des Kragens 4, auf der dem Wafer 3 zugewandten Seite, hat das Anschlußelement 1 einen geringeren Durchmesser, beispielsweise 360 μm. Die Höhe des Anschlußelements 1 beträgt etwa 1,5 mm.
  • Das Anschlußelement 1 ist mit einem Einsatzelement 10 versehen, das vorzugsweise zylindrisch und in die Ein-/Ausgangsöffnung 2 des Glas-Wafers 3 eingeführt ist. Das Einsatzelement 10 weist einen Durchmesser von 136 μm auf und ist mit der Kante 13 gegen die Wand 14 der Ein-/Ausgangsöffnung 2 gepresst. Je nach Geometrie der Ein-/Ausgangsöffnung 2 kann hierbei ein Raum 11 entstehen, der im ungünstigen Falle ein Totvolumen bildet. Insofern sollte das Einsatzelement 10 den Raum 11 möglichst vollständig verschließen, indem die Kante 13 derart gegen die Wand 14 gepresst wird, daß der Raum 11 gegen die Ein/Auslaßöffnung 2 abgeschlossen wird. Nach einer hier nicht näher gezeigten Ausführungsform der Erfindung kann das Einsatzelement 10 auch formschlüssig in die Ein-/Auslaßöffnung eingesetzt sein, so daß die Seitenfläche 12 an der Wand 14 anliegt und ein Totvolumen 11 von vornherein vermieden wird.
  • In dem Anschlußelement 1 ist ein innerer Kanal 16 ausgebildet, der einen Durchmesser von 100 μm aufweisen kann. Der Kanal 16 führt zur Ein-/Ausgangsöffnung 2 des Wafers 3. Von der Ein-/Ausgangsöffnung setzt sich ein Kanal 15 fort, der in den Wafer 3 eingebracht ist. Dabei kann ein Glas-Wafer 3 mit einem Si-Wafer 17 durch Bondung derart verbunden sein, daß sich zwischen dem Si-Wafer 17 und dem Glas-Wafer 3 ein gemeinsamer geschlossener Kanal 18 ergibt, durch den Fluid strömen kann.
  • Das Anschlußelement 1 liegt in einem ringförmigen Bereich 7 um die Ein-/Ausgangsöffnung 2 auf der Oberfläche des Wafers 3 auf und verhindert auf diese Weise einen Eintritt des Klebers in die Ein-/Ausgangsöffnung 2 bei Herstellung der Klebverbindung 8. Die Klebverbindung 8 wird zwischen dem Vorsprung 4 bzw. der von dem Vorsprung 4 gebildeten Schulter 9 und der Oberfläche des Wafers 3 hergestellt.
  • 2 zeigt eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen mikrofluiden Systems, bei der der innere Kanal 16 des Anschlußelements 1 zur Ein-/Ausgangsöffnung 2 des Wafers 3 hin konisch zuläuft. In einen solchermaßen ausge formten inneren Kanal 16 kann beispielsweise eine Kapillare direkt eingeführt werden, so daß eine formschlüssige Verbindung zwischen der Außenwand der Kapillare und der Wandung des inneren Kanals 16 ausgebildet werden kann.
  • 3 zeigt eine Ausführungsform gemäß 2 des erfindungsgemäßen mikrofluiden Systems, bei der an dem Mantel 6 des Anschlußelementes 1 eine Verdickung 5 in Form eines ringförmig umlaufenden Wulstes (Ringwulst), vorgesehen ist. Dieser verhindert oder erschwert beispielsweise das Ablösen eines auf das Anschlußelement 1 aufgezogenen Schlauches.
    • 1
    Anschlußelement
    2
    Ein-/Ausgangsöffnung
    3
    Wafer
    4
    Vorsprung
    5
    Verdickung
    6
    Mantel
    7
    Bereich auf der Oberfläche des Wafers
    8
    Klebverbindung
    9
    Schulter
    10
    Einsatzelement
    11
    Totvolumen
    12
    Seitenfläche
    13
    Kante
    14
    Wand
    15
    Kanal
    16
    Kanal
    17
    Si-Wafer
    18
    Kanal

Claims (21)

  1. Mikrofluides System, insbesondere Mikro-Flußsensor, mit einer Ein/Ausgangsöffnung (2) in einem Wafer (3) und einem Anschlußelement (1) für die Ein-/Ausgangsöffnung (2, wobei das Anschlußelement (1) einen Mantel (6) mit einem Vorsprung (4) aufweist, und wobei zwischen dem Vorsprung (4) und dem Wafer (3) eine Klebverbindung (8) vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß das Anschlußelement (1) in einem Bereich (7) auf der Oberfläche des Wafers (3) aufliegt und die Oberfläche des Wafers (3) im Bereich (7) der Ein-/Ausgangsöffnung (2 so abdeckt, daß ein Eintritt von Kleber in die Ein-/Ausgangsöffnung (2 bei Herstellung der Klebverbindung (8) verhindert ist.
  2. Mikrofluides System nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Bereich (7) ringförmig um die Ein-/Ausgangsöffnung (2) ausgebildet ist.
  3. Mikrofluides System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorsprung (4) um den Mantel (6) umlaufend ausgebildet ist.
  4. Mikrofluides System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Anschlußelement (1) und die Klebverbindung (8) aus einem identischen Polymerharz bestehen.
  5. Mikrofluides System nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Polymerharz ein photoinitiiert aushärtendes Polymerharz (Photopolymer) ist.
  6. Mikrofluides System nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Polymerharz ein durch Bestrahlung mit UV-Licht aushärtendes Polymerharz ist.
  7. Mikrofluides System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Wafer (3) ein Glaswafer, bevorzugt ein Borosilikatglaswafer, ist.
  8. Mikrofluides System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Anschlußelement (1) ein Einsatzelement (10) aufweist, das in die Ein-/Ausgangsöffnung (2) eingeführt ist.
  9. Mikrofluides System nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Einsatzelement (10) mit einer Seitenfläche (12) und/oder Kante (13) gegen eine Wand (14) der Ein-/Ausgangsöffnung (2) gepresst ist.
  10. Mikrofluides System nach einem der Ansprüche 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Einsatzelement (10) einen kreisförmigen oder quadratischen Querschnitt aufweist.
  11. Mikrofluides System nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Einsatzelement (10) im Längsschnitt konisch ist.
  12. Mikrofluides System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Anschlußelement ein innerer Kanal (16) ausgebildet ist, der zur Ein-/Ausgangsöffnung (2) hin konisch zuläuft.
  13. Mikrofluides System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß an dem Mantel (6) eine Verdickung (5), bevorzugt in Form eines ringförmig umlaufenden Wulstes, ausgebildet ist.
  14. Mikrofluides System nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Anschlußelement (1) einstückig ist.
  15. Verfahren zur Herstellung eines mikrofluiden Systems, insbesondere eines Mikro-Flußsensors, mit einer Ein-/Ausgangsöffnung in einem Wafer und einem einen Mantel mit einem Vorsprung aufweisenden Anschlußelement für die Ein-/Ausgangsöffnung, wobei man das Anschlußelement im Bereich der Ein-/Ausgangsöffnung auf der Oberfläche des Wafers auflegt und zwischen dem Vorsprung und dem Wafer eine Klebverbindung herstellt, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche des Wafers im Bereich der Ein-/Ausgangsöffnung mit dem Anschlußelement so abgedeckt wird, daß ein Eintritt von Kleber in die Ein-/Ausgangsöffnung bei Herstellung der Klebverbindung verhindert ist.
  16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß für die Herstellung der Klebverbindung ein Polymerharz verwendet wird, das mit dem für die Herstellung des Anschlußelements verwendeten Polymerharz identisch ist.
  17. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß das Polymerharz photoinitiiert, vorzugsweise durch Bestrahlung mit UV-Licht, ausgehärtet wird.
  18. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß ein Anschlußelement verwendet wird, das durch Photopolymerisation flüssiger Monomere mit Hilfe eines Stereolithographie-Verfahrens, bevorzugt mit dem Rapid-Micro-Product-Development-Verfahren, in einem Stück hergestellt ist.
  19. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß als Wafer ein Glaswafer, bevorzugt ein Borosilikatglaswafer, verwendet wird.
  20. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß das Anschlußelement mit Hilfe eines am Anschlußelement vorgesehenen Einsatzelements in die Ein-/Ausgangsöffnung eingeführt wird.
  21. Verfahren nach einem der Ansprüche 15 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß das Einsatzelement mit einer Seitenfläche und/oder Kante gegen eine Wand der Ein-/Ausgangsöffnung gepresst wird.
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