DE10247909A1 - A contact free conveyor system for clean rooms has a permanent magnet suspension system and linear motor transport drive with magnetic braking - Google Patents
A contact free conveyor system for clean rooms has a permanent magnet suspension system and linear motor transport drive with magnetic braking Download PDFInfo
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- B65G54/00—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for
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Abstract
Description
Conveyor dienen zum Transport von, Gütern zwischen festgelegten Anfangs- und Endpunkten. Es kann sich dabei um Stück- oder Schüttgut handeln. Das vorliegende Thema betrifft Stückgüter. Deren Masse kann im Bereich von weniger als 1 kg bi zu einigen tausend kg variieren. die Umgebung für solche Transportaufgaben kann sein: Aussenraum mit Witterungseinfluss, Innenraum mit Gasen und Staub, Innenraum gepflegt und Clean-Room mit unterschiedlichen Reinheitsforderungen.Conveyors are used to transport, Goods between specified start and end points. It can be piece or bulk act. The subject at hand concerns general cargo. Their mass can range vary from less than 1 kg to a few thousand kg. the environment for such transport tasks can be: outside space with weather influence, inside space with gases and dust, neat interior and clean room with different Purity requirements.
Bereits Anfang der 70iger Jahre wurde
eine Stückgutförderanlage
für den
Werkzeugmaschinenbau als „System
Prisma
bewegt sich die Palette mit der
Geschwindigkeit v, wenn Stator und Sekundärteil außer eingriff gekommen sind.
Dieses System verfügt über ein
berührungsloses
Antriebssystem. dieses kann auch für das „Anhalten der Palette dadurch
genutzt werden, dass der Stator für die entgegen gesetzte Bewegungsrichtung
eingeschaltet wird. die Positionierung erfolgt durch mechanische
Anschläge.
Nachteilig ist einmal der Bedarf an Druckluft für die Lagerung und zum anderen
die mechanische Vorrichtung zum Positionieren.Already in the early 1970s, a general cargo conveyor system for machine tool construction was called the “System Prisma
the pallet moves at speed v when the stator and secondary section have disengaged. This system has a non-contact drive system. This can also be used to "stop the pallet by switching on the stator for the opposite direction of movement. the positioning is done by mechanical stops. Disadvantages are the need for compressed air for storage and the mechanical device for positioning.
Andere Palettentransportsysteme sind z. B. aus der Clean-Room Technik bekannt. Bei diesen erfolgt die Lagerung der Paletten – dort auch Carrier – genannt, durch Rollenpaare, von denen immer mehrere im Eingriff sind, so dass der Carrier einigermaßen „kippfest" bewegt wird. Unter „kippfest" soll verstanden werden, dass keine Bewegung stattfindet bei der sich der Carrier in Bewegungsrichtung neigt. die Antriebskraft wird mittels Reibrollen auf den Carrier übertragen. Das wird so gelöst, dass jedes x-te Rollenpaar der o.a. Lagerung von einem rotierenden Motor angetrieben wird. Diese Rollen erzeugen durch mechanische Wandlung des Drehmomentes der Rollen an der Reibfläche zwischen den Rollen und der Unterfläche des Caniers eine horizontale Kraft, die den Carrier antreibt. Durch Umkehr der Drehrichtung kann die Bewegungsrichtung umgekehrt werden. anhalten und Positionieren des Carriers erfolgt ebenfalls mittels Reibrollen. Derartige Antriebseinrichtungen werden weltweit in der Mikroelektronikindustrie z.B. zum Transport von Wafern eingesetzt Nachteilig sind bei diesen Systemen:Other pallet transport systems are z. B. known from the clean room technology. With these the Storage of the pallets - there also called carrier - through pairs of rollers, of which several are always in engagement, so that the carrier is moved to a certain extent "tilt-resistant" that there is no movement taking place at the carrier tends in the direction of movement. the driving force is increased by means of friction rollers transfer the carrier. This is solved that every xth pair of rollers of the above Bearing from a rotating motor is driven. These roles generate through mechanical transformation the torque of the rollers on the friction surface between the rollers and the bottom surface des Caniers is a horizontal force that drives the carrier. By Reversing the direction of rotation, the direction of movement can be reversed. stopping and positioning of the carrier is also done by means of Friction rollers. Such drive devices are used worldwide in the Microelectronics industry e.g. used for the transport of wafers The following are disadvantageous with these systems:
- – Der Verschleiß hervorgerufen durch die Reibungskraft der Antriebsrollenpaar- The Wear caused by the frictional force of the pair of drive rollers
- – Nicht vermeidbare Kippbewegungen des Carriers infolge der endlichen Zahl der im Eingriff befindlichen Rollenpaare- Not avoidable tilting movements of the carrier due to the finite number the engaged pairs of rollers
- – Verunreinigungen durch Lagerschmiermittel bei geschmierten Rollenlagern der Rollenpaare.- impurities through bearing lubricant for lubricated roller bearings of the roller pairs.
Die aufgeführten Nachteile bedingen eine Vereinreinigung der Clean-Room-Umgebung. Die aufgeführten nachteile der bekannten Lösungen sollen erfindungsgemäß vermieden werden. Das erfolgt durch die Kombination von:The disadvantages listed require club cleaning the clean room environment. The listed disadvantages of the known solutions should be avoided according to the invention become. This is done by combining:
- – für die Lagerung durch die Verwendung eines passiven magnetischen Tragsystems- for storage through the use of a passive magnetic support system
- – für den Antrieb durch ein berührungsloses Antriebssystem mit flachen mehrphasigen Linearmotoren- for the drive through a non-contact Drive system with flat multi-phase linear motors
- – für die Bremsung und Positionierung durch ein Wirbelstrombremssystem- for braking and positioning through an eddy current braking system
Lagerungstorage
Werden Permanentmagnete gleicher
Polarität
gegenübergestellt,
so stoßen
sie sich ab. Befinden sie sich in symmetrischer Lage zueinander,
so befinden sie sich im labilen Gleichgewicht. Geringste Kräfte reichen
aus, sie aus dieser Lage zu bewegen. Daher muss das System durch
Mechanismen in der symmetrischen Lage gehalten werden. Es liegt
eine Transportbahn vor, die von Anfang bis zum Ende beidseitig mit
Permanentmagnete gegenüber,
die geometrisch sich im gleichen Abstand wie in der Transportbahn
befinden. Es liegt ein berührungsloses
passives Lagersystem vor. Um den Carrier stabil in der gewünschten
Mittellage zu halten, wird der Carrier an den vier Ecken mit Führungsrollen versehen.
Da die Querkräfte
in der Nähe
von „Null" liegen, sind sie
nur die Kräfte
in der Größenordnung
kleiner 1 Newton zu bemessen. Hierfür sind „clean-room-taugliche" Rollenlager Stand
der Technik. Eine Querführung
des Carriers mittels Permanentmagneten ist wegen der Feststellungen
von Earnshaw (
Eine aktive Querführung ist möglich. Zu diesem Zweck wird
längs der
Fahrbahn (
Antriebdrive
Der Antrieb der Carrier erfolgt berührungslos dadurch,
dass entlang der Fahrstrecke sich Statoren von Linearmotoren befinden,
die im eingeschalteten Zustand ein magnetisches Wanderfeld in der
gewünschten
Richtung der Bewegung erzeugen. Der Carrier enthält an der Unterseite, dem Stator
gegenüberstehend,
das Sekundärteil
des Linearmotors, das zweckmäßigerweise
aus Aluminium besteht. Über
diesem ist als magnetischer Rückschluss (
Bremsen / PositionierenBraking / positioning
An der Stelle, an der der Carrier
angehalten werden soll – und
das ist immer eine Position an der auch ein Stator für den Antrieb
stehen muss, damit der stehende Carrier wieder in Bewegung gesetzt werden
kann – erfolgt
das „Bremsen" des Carriers mittels
einer Wirbelstrombremse. Hier befindet sich neben dem Antrieb Stator
eine Anordnung von Permanentmagneten. diese sind mit wechselnder
Polarität
gemäß
Im beschriebenen Antriebs- und Brems-
/ Positioniersystem mit verteilten Linearstatoren stehen die physikalischen
Größen
zu
bewegende Masse, Fahrgeschwindigkeit einerseits und Schubkraft und
Einwirkzeit für
Beschleunigung und Bremsung andererseits wegen des Impulssatzes
in einem festen Verhältnis.The physical quantities are in the described drive and brake / positioning system with distributed linear stators
mass to be moved, driving speed on the one hand and thrust and action time for acceleration and braking on the other hand because of the pulse rate in a fixed ratio.
Das bedeutet, dass mittels der Steuerung der Einwirkzeit der Schubkraft und der magnetischen Dimensionierung der Bremsanordnung Zusammenhänge bestehen, die für die jeweiligen Antriebs-, Brems und Positionieraufgabe typisch sind.This means that by means of the control of the Action time of the thrust and the magnetic dimensioning the brake arrangement correlations exist for the respective drive, braking and positioning tasks are typical.
Claims (21)
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2002147909 DE10247909A1 (en) | 2002-10-14 | 2002-10-14 | A contact free conveyor system for clean rooms has a permanent magnet suspension system and linear motor transport drive with magnetic braking |
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Publication Number | Publication Date |
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ID=32049256
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004027905A1 (en) * | 2004-06-09 | 2005-12-29 | Leybold Optics Gmbh | Conveying device for transporting substrates on a coating production line has carrier, drive and stabilizer modules with moving heads and acceleration devices |
DE102004037622A1 (en) * | 2004-08-02 | 2006-02-23 | Leybold Optics Gmbh | Process system and device for transporting substrates |
WO2009047177A1 (en) * | 2007-10-01 | 2009-04-16 | Siemens Aktiengesellschaft | Sorting system for sorting bulk goods |
WO2010049019A1 (en) * | 2008-10-27 | 2010-05-06 | Iwis Antriebssysteme Gmbh & Co. Kg | Magnetic curve guide for a conveyor chain |
CN103171900A (en) * | 2013-04-01 | 2013-06-26 | 徐建华 | Magnetic levitation conveyor |
US8839948B2 (en) | 2010-12-21 | 2014-09-23 | Laitram, L.L.C. | Closed-loop magnetic positioning of conveyor belts |
-
2002
- 2002-10-14 DE DE2002147909 patent/DE10247909A1/en not_active Ceased
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004027905A1 (en) * | 2004-06-09 | 2005-12-29 | Leybold Optics Gmbh | Conveying device for transporting substrates on a coating production line has carrier, drive and stabilizer modules with moving heads and acceleration devices |
DE102004037622A1 (en) * | 2004-08-02 | 2006-02-23 | Leybold Optics Gmbh | Process system and device for transporting substrates |
US7318517B2 (en) | 2004-08-02 | 2008-01-15 | Leybold Optics Gmbh | Process system and device for transporting substrates |
JP2008508738A (en) * | 2004-08-02 | 2008-03-21 | ライボルト オプティクス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Apparatus and process system for transporting substrates |
WO2009047177A1 (en) * | 2007-10-01 | 2009-04-16 | Siemens Aktiengesellschaft | Sorting system for sorting bulk goods |
WO2010049019A1 (en) * | 2008-10-27 | 2010-05-06 | Iwis Antriebssysteme Gmbh & Co. Kg | Magnetic curve guide for a conveyor chain |
US8839948B2 (en) | 2010-12-21 | 2014-09-23 | Laitram, L.L.C. | Closed-loop magnetic positioning of conveyor belts |
CN103171900A (en) * | 2013-04-01 | 2013-06-26 | 徐建华 | Magnetic levitation conveyor |
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---|---|---|---|
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