DE10233190A1

DE10233190A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Überwachen einer Abweichung einer Eigenschaft eines zu bearbeitenden physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft, Computerprogramm-Element und Computerlesbares Speichermedium

Info

Publication number: DE10233190A1
Application number: DE2002133190
Authority: DE
Inventors: Norbert Burgermann; Manfred Braun; Heinz Untermoser
Original assignee: Infineon Technologies AG
Current assignee: Infineon Technologies AG
Priority date: 2002-07-22
Filing date: 2002-07-22
Publication date: 2004-02-19

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Überwachen einer Abweichung einer Eigenschaft eines zu bearbeitenden physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft, ein Computerprogramm-Element und ein computerlesbares Speichermedium. Bei dem Verfahren zum Überwachen einer Abweichung einer Eigenschaft eines zu bearbeitenden physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft, wobei jedem physikalischen Objekt in einem Überwachungsprogramm ein logisches Objekt zugeordnet ist, wobei in einer ersten und einer zweiten Bearbeitungsphase das physikalische Objekt überwacht wird, wird im Falle einer in der ersten Bearbeitungsphase ermittelten Abweichung einer Eigenschaft des physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft dem logischen Objekt eine erste Abweichungs-Kennzeichnung zugeordnet. Ferner wird im Falle einer in der zweiten Bearbeitungsphase ermittelten Abweichung einer Eigenschaft des physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft dem logischen Objekt eine zweite Abweichungs-Kennzeichnung zugeordnet. Die Bearbeitung des physikalischen Objekts wird im Falle einer in einer der Bearbeitungsphasen ermittelten Abweichung unterbrochen, bis die Abweichungs-Kennzeichnung der anderen Bearbeitungsphase dem Überwachungsprogramm bereitgestellt wird.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Überwachen einer Abweichung einer Eigenschaft eines zu bearbeitenden physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft, eine Vorrichtung zum Überwachen einer Abweichung einer Eigenschaft eines zu bearbeitenden physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft, ein Computerprogramm-Element sowie ein Computerlesbares Speichermedium.
Ein solches Verfahren und eine solche Vorrichtung zum Bearbeiten des physikalischen Objekts insbesondere im Rahmen der Fertigung von Wafern ist aus [1] bekannt.
Bei diesem Verfahren wird mittels eines Computerprogramms Workstream^TM der Firma Consilium^TM die Bearbeitung bzw. Herstellung einer Vielzahl von Wafern unterstützt, überwacht und gesteuert.
Üblicherweise werden Wafer während ihrer Bearbeitung zu jeweils einer Wafer-Gruppe mit einer Vielzahl von Wafern gruppiert, die im weiteren auch als Los bezeichnet wird.
Jedem Los wird eine für das Los eindeutige Identifizierungsnummer, im Weiteren auch als Los-Kennzeichnung bezeichnet, zugeordnet.
Weiterhin wird in dem aus [1] bekannten Bearbeitungsprogramm jedem physikalischen Objekt, d.h. jedem Los, ein logisches Objekt, welches das physikalische Objekt in dem Bearbeitungsprogramm Workstream^TM repräsentiert, zugeordnet.
Während der Wafer-Fertigung werden die Wafer eines Loses einer Vielzahl von Bearbeitungsphasen, beispielsweise unterschiedlichen Bearbeitungsschritten zum Aufbringen unterschiedlicher Materialien (beispielsweise mittels eines Abscheide-Verfahrens, beispielsweise eines Abscheide-Verfahren aus der Gasphase, eines Sputter-Verfahrens, etc.) sowie unterschiedlichen Strukturierungs-Verfahren unter Einsatz von Photolithographie und unterschiedlichen Technologien zum Entfernen von Materialien, beispielsweise Nassätzen oder Trockenätzen, chemisch-mechanisches Polieren, allgemeinen mechanischen, physikalischen oder chemischen Material-Abtrageverfahren, unterzogen.
Gemäß dem in [1] beschriebenen Bearbeitungsprogramm werden jedem logischen Objekt und damit jedem physikalischen Objekt für jeden Bearbeitungsschritt jeweils Bearbeitungsgrößen erzeugt und dem logischen Objekt zugeordnet, mit denen beispielsweise der Bearbeitungszustand sowie Historieninformation oder weitere den Bearbeitungsschritt beschreibende Information, wie beispielsweise Information über das Bearbeitungsergebnis des oder der Wafer während des jeweiligen Bearbeitungsschritts, angegeben wird.
Das Bearbeitungsprogramm wird parallel zum tatsächlichen physikalischen Bearbeiten, d.h. dem Durchführen der einzelnen Prozessschritte zum Herstellen der Wafer, durchgeführt.
Auf diese Weise wird es möglich, dass ein Operator, der für einen Prozessschritt im Rahmen der Herstellung eines Wafers verantwortlich ist, unter Verwendung des Bearbeitungsprogramms eine schnelle und üblicherweise verlässliche Information über die jeweils zu bearbeitenden Wafer erhält.
Weiterhin ist in dem in [1] beschriebenen Programm auch eine Produktions-Regelung vorgesehen, d.h. es wird abhängig von möglicherweise entstehendem Ausschuss während der Herstellung von Wafern die Zufuhr weiterer Wafer für die Herstellung und Bearbeitung der Wafer-Rohlinge (beispielsweise unbearbeitete Silizium-Scheiben) gesteuert.
Wird ein entsprechender fehlerhafter Wafer, d.h. entstandener Ausschuss während der Herstellung festgestellt, so werden aus einem Lagerbestand, in dem die Wafer-Rohlinge gelagert sind, entsprechend der in dem Bearbeitungsprogramm vorgegebenen und gespeicherten Produktions-Bedarfsangabe weitere Scheiben für die Produktion von Wafern zugeführt, d.h. es werden weitere Lose gebildet und den Bearbeitungsschritten zum Herstellen der Wafer unterzogen.
Auf diese Weise wird anschaulich unter Verwendung des Bearbeitungsprogramms der Wafer bzw. das Los mit einer Mehrzahl von Wafern hergestellt bzw. bearbeitet.
Tritt bei der Bearbeitung eines Loses eine Abweichung einer Ist-Eigenschaft eines Los-Elements (z.B. eines Wafers des Loses) von einer Soll-Eigenschaft auf, so wird von einer Abweichung gesprochen.
Wird in einer der Bearbeitungsphasen eine Abweichung erkannt, so wird diese gemäß dem Stand der Technik in ein Abweichungs-Buch eingetragen. Die Abstimmung zwischen unterschiedlichen Bearbeitungsphasen des Los-Elements erfolgt dann dahingehend, dass anhand der manuellen Zusammenschau der Abweichungs-Bücher durch Bearbeiter der unterschiedlichen Bearbeitungsphasen entschieden wird, ob ein Los weiterbearbeitet werden soll, oder als Ausschuss angesehen werden soll.
Diese Verwaltung von Abweichungen ist uneffizient, produziert eine große Menge von Papier und verhindert einen Anstieg der Produktivität. Ferner ist das Abstimmen zwischen unterschiedlichen Bearbeitungsphasen aufwändig. Fällt eine große Menge an Abweichungs-Daten an, so ist es schwer, darüber die Übersicht zu bewahren. Die Erstellung von Statistiken hinsichtlich von Abweichungen bzw. das nachträgliche Beurteilen von in der Vergangenheit aufgetretenen Abweichungen erfordert einen hohen Personal- und Kostenaufwand.
Der Erfindung liegt das Problem zugrunde, die Überwachung von Abweichungen während unterschiedlicher Bearbeitungsphasen eines physikalischen Objekts mit verringertem Aufwand und erhöhter Effizienz durchzuführen.
Das Problem wird durch ein Verfahren zum Überwachen einer Abweichung einer Eigenschaft eines zu bearbeitenden physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft, durch eine Vorrichtung zum Überwachen einer Eigenschaft eines zu bearbeitenden physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft, durch ein Programm-Element sowie durch ein Computerlesbares Speichermedium mit den Merkmalen gemäß den unabhängigen Patentansprüchen gelöst.
Erfindungsgemäß ist ein Verfahren zum Überwachen einer Abweichung einer Eigenschaft eines zu bearbeitenden physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft geschaffen, wobei jedem physikalischem Objekt in einem Überwachungsprogramm ein logisches Objekt zugeordnet ist, und wobei in einer ersten und einer zweiten Bearbeitungsphase das physikalische Objekt überwacht wird. Gemäß dem Verfahren wird im Falle einer in der ersten Bearbeitungsphase ermittelten Abweichung einer Eigenschaft des physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft dem logischen Objekt eine erste Abweichungs-Kennzeichnung zugeordnet. Ferner wird im Falle einer in der zweiten Bearbeitungsphase ermittelten Abweichung einer Eigenschaft des physikalischen Objekts von der Soll-Eigenschaft dem logischen Objekt eine zweite Abweichungs-Kennzeichnung zugeordnet. Die Bearbeitung des physikalischen Objekts wird im Falle einer in einer der Bearbeitungsphasen ermittelten Abweichung unterbrochen, bis die Abweichungs- Kennzeichnung der anderen Bearbeitungsphase dem Überwachungsprogramm bereitgestellt wird.
Ferner ist erfindungsgemäß eine Vorrichtung zum Überwachen einer Abweichung einer Eigenschaft eines zu bearbeitenden physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft bereitgestellt. Die Vorrichtung weist einen Prozessor auf, der derart eingerichtet ist, dass die oben beschriebenen Verfahrensschritte durchgeführt werden können.
Darüber hinaus ist erfindungsgemäß ein Computerlesbares Speichermedium geschaffen, in dem ein Programm zum Überwachen einer Abweichung einer Eigenschaft eines zu bearbeitenden physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft enthalten ist. Das Programm ist derart eingerichtet, dass es, wenn es von einem Prozessor ausgeführt wird, die oben beschriebenen Verfahrensschritte aufweist.
Ein Programm-Element (Computerprogramm-Element) zum Überwachen einer Eigenschaft eines zu bearbeitenden physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft weist die oben beschriebenen Verfahrensschritte auf, wenn es von einem Prozessor ausgeführt wird.
Erfindungsgemäß ist jedem physikalischen Objekt in einem Überwachungsprogramm ein logisches Objekt zugeordnet. Anders ausgedrückt bedeutet dies, dass in dem Bearbeitungsprogramm jeweils ein logisches Objekt in Form einer eindeutigen Kennung (Identifier) vorgesehen ist, um ein physikalisches Objekt zur Behandlung in dem Bearbeitungsprogramm zu repräsentieren.
Die Erfindung kann sowohl mittels eines Computerprogramms, d.h. einer Software, als auch mittels einer oder mehrerer spezieller elektrischer Schaltungen, d.h. in Hardware oder in beliebig hybrider Form, d.h. mittels Software-Komponenten und Hardware-Komponenten, realisiert werden.
Eine Grundidee der Erfindung besteht anschaulich darin, das Erfassen, Überwachen und Dokumentieren von Abweichungen dadurch zu realisieren, dass jedem physikalischen Objekt (z.B. den Halbleiter-Wafern eines Loses) ein logisches Objekt (beispielsweise ein mit Daten gefüllter Speicherabschnitt in einer Datenbank) zugeordnet wird, wenn eine Abweichung auftritt. Um zu beurteilen, ob es sinnvoll ist, trotz der Abweichung das physikalische Objekt weiter zu prozessieren oder es alternativ als Ausschuss zu deklarieren, werden Instanzen unterschiedlicher Bearbeitungsphasen des physikalischen Objekts dazu herangezogen, den Sachverhalt gemeinsam zu beurteilen, wobei jede Instanz ihre Beurteilung bezogen auf die ihr zugeordnete Bearbeitungsphase beurteilt. Mit anderen Worten soll dem physikalischen Objekt im Falle des Ermittelns einer Abweichung in einer ersten Bearbeitungsphase auch eine Beurteilung einer Instanz einer zweiten Bearbeitungsphase folgen. Hierfür wird erfindungsgemäß in der ersten Bearbeitungsphase entsprechend der ermittelten Abweichung einer Eigenschaft des physikalischen Objekts dem zugehörigen logischen Objekt eine erste Abweichungs-Kennzeichnung zugeordnet. In einer zweiten Bearbeitungsphase wird dem physikalischen Objekt eine zweite Abweichungs-Kennzeichnung entsprechend ihrer Beurteilung der Abweichung zugeordnet. Liegen beide Abweichungs-Kennzeichnungen der Bearbeitungsphasen vor, so steht eine ausreichend sichere Entscheidungsgrundlage zur Verfügung, ob das zugehörige physikalische Objekt weiter prozessiert werden soll oder beispielsweise als Ausschuss deklariert werden soll. Fehlt dagegen eine Abweichungs-Kennzeichnung einer Bearbeitungsphase, so macht das weitere Prozessieren des physikalischen Objekts bis zum Eintreffen der fehlenden Abweichungs-Kennzeichnung keinen Sinn. Daher wird erfindungsgemäß in einem solchen Fall die Weiterbearbeitung des physikalischen Objekts unterbrochen, bis dem Überwachungsprogramm auch die Abweichungs-Kennzeichnung der anderen Bearbeitungsphase bereitgestellt ist.
Dadurch ist das Qualitäts-Monitoring während des Herstellens eines physikalischen Objekts, beispielsweise eines Loses von Halbleiter-Wafern, erheblich vereinfacht und daher effizienter gestaltet.
Bevorzugte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.
Im Weiteren wird das erfindungsgemäße Verfahren näher beschrieben. Ausgestaltungen des Verfahrens gelten entsprechend auch für die erfindungsgemäße Vorrichtung, das erfindungsgemäße Computerlesbare Speichermedium und das erfindungsgemäße Programm-Element.
Im Falle einer in mindestens einer weiteren Bearbeitungsphase ermittelten Abweichung einer Eigenschaft des physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft wird dem logischen Objekt mindestens eine weitere Abweichungs-Kennzeichnung zugeordnet. Die Bearbeitung des physikalischen Objekts wird im Falle einer während einer der Bearbeitungsphasen ermittelten Abweichung unterbrochen, bis die Abweichungs-Kennzeichnung aller anderen Bearbeitungsphasen dem Überwachungsprogramm bereitgestellt werden.
Mit anderen Worten ist die Erfindung nicht auf zwei Bearbeitungsphasen beschränkt, sondern kann bei beliebig vielen Bearbeitungsphasen zur Anwendung kommen. Erst wenn alle Bearbeitungsphasen ihre Bewertung in Form einer zugehörigen Abweichungs-Kennzeichnung abgegeben haben, ist eine gemeinsame Beurteilung sinnvoll, ob sich eine Weiterprozessierung des physikalischen Objekts lohnt, ob diese stattdessen als Ausschuss angesehen werden soll bzw. ob diese einer Nachbearbeitung unterzogen werden soll. Solange nicht alle Beurteilungen aller Bearbeitungsphasen vorliegen wird die Weiterbearbeitung des physikalischen Objekts unterbrochen.
Ferner kann das physikalische Objekt eine Mehrzahl physikalischer Objekt-Elemente aufweisen, wobei gemäß dem Verfahren bei mindestens einer Abweichung in mindestens einer der Bearbeitungsphasen mindestens einer Eigenschaft mindestens eines der physikalischen Objekt-Elemente von einer Soll-Eigenschaft dem logischen Objekt mindestens eine Element-Abweichungs-Kennzeichnung zugeordnet wird.
Gemäß der Erfindung kann entweder das physikalische Objekt als Ganzes (beispielsweise ein gesamtes Los von Halbleiter-Wafern) oder einzelne Elemente des physikalischen Objekts (beispielsweise einzelne Halbleiter-Wafer eines Loses) hinsichtlich einer Abweichung untersucht werden. Dadurch ist es möglich, dass beim Auftreten einer Abweichung in nur einem Teil der Elemente des physikalischen Objekts nicht die Entscheidung über das gesamte physikalische Objekt getroffen werden muss, sondern dass selektiv einzelne Objekt-Elemente mit einer Abweichung individualisiert werden, für die dann entschieden wird, ob sich eine Weiterprozessierung lohnt oder nicht.
Als physikalisches Objekt oder als physikalisches Objekt-Element wird vorzugsweise mindestens ein Halbleiter-Wafer verwendet. Wird beispielsweise als physikalisches Objekt ein Los von Halbleiter-Wafern verwendet, so sind die physikalischen Objekt-Elemente die einzelnen Halbleiter-Wafer. Wird beispielsweise als physikalisches Objekt ein Halbleiter-Wafer verwendet, so sind die physikalischen Objekt-Elemente die einzelnen Chips des Halbleiter-Wafers.
Das physikalische Objekt wird vorzugsweise unter Verwendung eines Workstream^TM-Steuerprogramms, wie es in [1] beschrieben ist, bearbeitet.
Mit anderen Worten kann die Erfindung in ein Produktionssteuerungssystem eingebettet werden, wie es in [1] beschrieben ist.
Das Überwachungsprogramm kann aus den Abweichungs-Kennzeichnungen und/oder aus den Element-Abweichungs-Kennzeichnungen eine Abweichungsprotokoll-Datei generieren.
Dies bedeutet, dass aus den von den einzelnen Bearbeitungsphasen gelieferten Informationen in Form der Abweichungs-Kennzeichnungen eine Abweichungsprotokoll-Datei erstellt werden kann, die als Qualitäts-Monitoring-Protokoll ("quality monitoring protocol", QMP) bezeichnet werden kann. Diese enthält in übersichtlicher Weise die von den einzelnen Bearbeitungsphasen bereitgestellten Informationen und ermöglicht es einem Bearbeiter, unter Verwendung der Vorzüge der Computertechnologie, auf die breite Masse von Informationen schnell und übersichtlich zugreifen zu können. Beispielsweise kann auf die von den Bearbeitungsphasen gelieferten Daten über eine Windows^TM-Oberfläche zugegriffen werden. Die Daten werden in dem Überwachungsprogramm vorzugsweise in Datenbank-Format abgespeichert. Die Auswertung bzw. Weiterverarbeitung der Informationen kann über entsprechende Software-Tools erfolgen, wie beispielsweise Microsoft Excel^TM.
Das Überwachungsprogramm enthält vorzugsweise Bearbeitungs-Steuerinformation, das dem Überwachungsprogramm von einem Bearbeitungs-Steuersystem bereitgestellt wird.
Für eine umfassende Beurteilung der Abweichungs-Daten durch einen Bearbeiter ist es vorteilhaft, dass diesem alle relevanten Informationen in einer Abweichungsprotokoll-Datei zusammengefasst bereitgestellt sind. Insbesondere können beispielsweise Kopfdaten des Produktionssteuerungs-Systems in der Abweichungsprotokoll-Datei enthalten sein.
Bei dem Verfahren kann ferner als Abweichung eine Abweichung von einer Soll-Eigenschaft gemäß einem vorgegebenen Fehler-Katalog, eine Abweichung einer optisch wahrnehmbaren Eigenschaft und/oder eine Abweichung eines Produktionssteuerungs-Parameters angesehen werden.
Als Abweichung von einer zu erzeugenden Qualität wird insbesondere der Unterschied zwischen einem Ist- und einem Soll-Wert angesehen. Ein Qualitätsmangel ist jegliche Abweichung vom Soll-Zustand, sowohl im Endprodukt als auch bei allen Teilfertigungs-Schritten. Abweichungen, das heißt Qualitätsmängel, können insbesondere Abweichungen gemäß einem vorgegebenen Fehlerkatalog, optische Auffälligkeiten (beispielsweise sichtbar fehlerhafte Pads eines Chip-Produkts), ein Los-bezogenes Qualitätsrisiko aufgrund einer Störung in einem Material oder bei einer Anlage, eine Abweichung von einem spezifizierten Fertigungsablauf, etc. sein.
Gemäß dem Verfahren kann das physikalische Objekt oder mindestens ein physikalisches Objekt-Element in mindestens einer Abweichungs-Kennzeichnung in mindestens einer der Bearbeitungsphasen aufgrund einer Abweichung als möglicherweise qualitätsvermindert, nachzubearbeitend oder zu verwerfend und aus der Bearbeitung zu entfernend gekennzeichnet werden.
Mit anderen Worten kann basierend auf der Art der Abweichung bzw. des Qualitätsmangels bzw. basierend auf den von den Bearbeitungsphasen bereitgestellten Informationen entschieden werden, ob das gesamte Los oder einzelne Elemente des Loses einem definierten Reparaturprozess (Nacharbeit) unterworfen werden, ob ein definierter Verwurfsprozess (Kennzeichnung als Ausschuss) durchgeführt werden soll oder ob ein Qualitätsrisiko für die weitere Verarbeitung akzeptiert werden soll.
Die Abweichungsprotokoll-Datei (eine elektronische Datei) kann mittels einer externen Software-Einheit weiterverarbeitet werden. Ferner kann die Abweichungsprotokoll-Datei mittels einer Such-Einrichtung (beispielsweise einer SQL-Suche, "structured query language") hinsichtlich vorgebbarer Suchkriterien durchsucht werden. Die Abweichungsprotokoll-Datei kann mittels einer graphischen Benutzeroberfläche einem Benutzer dargestellt werden. Auch kann die Abweichungsprotokoll-Datei unter Verwendung einer Drucker-Einrichtung ganz oder teilweise ausgedruckt werden.
Mittels Zusammenfassens der von den Bearbeitungsphasen bereitgestellten Informationen hinsichtlich der Abweichung in einer gemeinsamen Abweichungsprotokoll-Datei ist eine Weiterverarbeitung der Informationen mittels angeschlossener Peripherie-Geräte oder sonstiger Computer-Einrichtungen ermöglicht, wodurch der Komfort und die Effizienz der Dokumentation von Abweichungen weiter erhöht wird.
Im Falle des Fehlens einer Abweichungs-Kennzeichnung für eine Bearbeitungsphase kann einer dieser Bearbeitungsphase zugeordneten Bearbeitungs-Instanz eine entsprechende Benachrichtigung übermittelt werden. Wird beispielsweise die Abweichung von einer Sensor-Einrichtung detektiert, so kann beim Fehlen der zugehörigen Abweichungs-Kennzeichnung der zugehörigen Bearbeitungsphase einem hierfür zuständigen Mitarbeiter eine entsprechende Benachrichtigung beispielsweise per E-Mail zugesandt werden. Dadurch wird sichergestellt, dass der Bearbeiter möglichst schnell über das Vorliegen einer Abweichung in Kenntnis gesetzt wird, so dass es dem Bearbeiter ermöglicht wird, seine Abweichungs-Kennzeichnung dem System zu übermitteln. Dadurch kann die Zeit, während der die Weiterprozessierung des physikalischen Objekts unterbrochen ist, minimiert werden, wodurch die Produktivität erhöht wird.
Im Falle des Unterbrechens der Bearbeitung des physikalischen Objekts wird das physikalische Objekt vorzugsweise in einer Zwischenlager-Einrichtung zwischengelagert, bis die Abweichungs-Kennzeichnung dem Überwachungsprogramm bereitgestellt wird.
Um die Produktions-Anlage und das Produktionssteuerungssystem auch beim Vorliegen einer Abweichung von Elementen eines Loses möglichst effizient zu nutzen, wird beim Vorliegen einer Abweichung und beim gleichzeitigen Fehlen einer oder mehrerer Abweichungs-Kennzeichnungen das physikalische Objekt aus dem Produktionssteuerungssystem entfernt und in einer Zwischenlager-Einrichtung zwischengelagert, bis alle erforderlichen Informationen bzw. Beurteilungen hinsichtlich der Abweichung vorliegen, auf Basis welcher entschieden werden kann, ob das physikalische Objekt weiterbearbeitet werden kann. Indem das eine Abweichung aufweisende physikalische Objekt aus dem Produktionssteuerungssystem entfernt wird, können in der Produktions-Anlage andere physikalische Objekte bearbeitet werden, wodurch der Zeitraum des Stillstands der Produktions-Anlage beim Auftreten einer Abweichung minimiert ist.
Vorzugsweise wird dem physikalischen Objekt eine Zwischenlager-Adresse zugeordnet, mittels derer das physikalische Objekt in der Zwischenlager-Einrichtung aufgefunden werden kann.
Bei dem Verfahren kann mindestens eine einer Bearbeitungsphase zugeordnete Bearbeitungs-Instanz dem Überwachungsprogramm eine Abweichung mittels einer graphischen Benutzeroberfläche bereitstellen. Zum Beispiel kann ein Bearbeiter während einer Bearbeitungsphase die Abweichungs-Kennzeichnung über eine graphische Benutzer-Oberfläche eingeben, was den Komfort erhöht und ein möglichst schnelles und zentral gesteuertes Bereitstellen der relevanten Informationen durch die unterschiedlichen Bearbeitungsphasen ermöglicht.
Als graphische Benutzeroberfläche kann beispielsweise eine Windows^TM-Benutzeroberfläche, eine Unix^TM-Benutzeroberfläche oder eine Linux^TM-Benutzeroberfläche verwendet werden.
Als Abweichungsprotokoll-Datei kann eine Excel^TM-Datei generiert werden, in der vorzugsweise dem physikalischen Objekt oder einem physikalischen Objekt-Element zugeordnete Graphikdaten zum Dokumentieren einer Abweichung enthalten sind.
Wenn beispielsweise während einer Halbleiter-Prozessierung bei einem oder mehreren Halbleiter-Wafern eines Halbleiter-Loses optisch sichtbare Abweichungen der Leiterbahnen von einem gewünschten Aussehen festgestellt werden, so kann eine Bilddatei in einem beliebigen Bildformat (beispielsweise in dem JPEG-Format) der Abweichungsprotokoll-Datei hinzugefügt werden, in der die aufgetretenen Abweichungen graphisch sichtbar sind (z.B. eine elektronenmikroskopische Aufnahme eines Wafers), um auch zu einem späteren Zeitpunkt eine genaue Rückverfolgung bzw. Analyse der aufgetretenen Abweichung vornehmen zu können.
Zusammenfassend ist ein losbegleitendes Monitoring-System bereitgestellt, das auch einen Eingriff in die Prozessliniensteuerung ermöglicht. Beim Auftreten einer Abweichung, das heißt eines von einem Operator oder einer Maschine erkannten Fehlers, wird dieser Fehler von einem Techniker bewertet, und die Bewertung der Abweichung des physikalischen Objekts in Form einer Abweichungs-Kennzeichnung in der zugehörigen Bearbeitungsphase einem Überwachungsprogramm bereitgestellt. Bei dem Techniker kann es sich beispielsweise um Einzelprozess-Techniker, um Fertigungs-Personal oder um Instandhaltungs-Techniker handeln. Basierend auf den von den einzelnen Bearbeitungsphasen gelieferten Informationen hinsichtlich der Abweichung kann zentral überwacht werden, ob dem physikalischen Objekt die Freigabe erteilt wird, weiterprozessiert zu werden, oder ob das physikalische Objekt anderweitig behandelt wird (Kennzeichnung als Ausschuss, Nachbearbeitung etc.).
Dadurch ist ein technisches Frühwarnsystem geschaffen, mit dem auftretende Abweichungen bei einem Herstellungsverfahren von physikalischen Objekten wie Halbleiter-Wafern möglichst frühzeitig erkannt und umfassend bewertet werden können. Kopfdaten aus dem Produktionssteuerungssystem (Workstream^TM) können dem Überwachungsprogramm bereitgestellt werden. Bis zur Klärung einer Abweichung steuert das Überwachungsprogramm eine "Parkoperation" des physikalischen Objekts. Die Abweichungs-Kennzeichnungen bzw. die Abweichungsprotokoll-Datei (Qualitäts-Monitoring-Protokoll) basiert vorzugsweise auf Schlagworten. Kontrollierte, betroffene und ausgefallene Wafer können markiert werden. Ferner ist eine Verbindung zu einer Bilddatenbank (Bildspeicherung) ermöglicht. Auch sonstige Anlagen-Dateien zum genauen Kennzeichnen der Abweichung (beispielsweise Textdateien mit Anmerkungen von Bearbeitern) können in dem Qualitäts-Monitoring-Protokoll enthalten sein. Nachrichten an einzelne Bearbeitungsphasen können von dem Qualitäts-Monitoring-Protokoll aus getriggert werden. Ferner kann ein Fehlerkatalog vorgegeben werden, der eine Anzahl charakteristischer Abweichungs-Typen enthält, so dass die einzelnen Bearbeitungsphasen aus diesem Fehlerkatalog schnell und effizient den aktuell auftretenden Fehler auswählen können und eine möglichst schnelle Beurteilungsgrundlage für die Frage liefern können, ob ein physikalisches Objekt weiterbearbeitet werden soll oder nicht. Ferner ist erfindungsgemäß eine Direktabfrage auf der Basis von Auswahlkriterien und Filtern ermöglicht. Die Daten der Abweichungsprotokoll-Datei ("quality monitoring protocol") können beispielsweise als Microsoft Excel^TM-Datei ausgegeben werden. Ferner ist ein Ausdruck auf einem Drucker möglich. Auf die Datenbank der Abweichungsprotokoll-Datei kann unter Verwendung von SQL-Abfragen zugegriffen werden. Beispielsweise kann ein Client (z.B. bedient von einem Bearbeiter) an einen Server (in dem die Datenbank implementiert ist) die Abfrage richten, alle im letzten Monat prozessierten Lose von Halbleiter-Wafern in Datenbank-Form auszugeben, bei denen aufgrund einer fehlerhaften Lithographie Ausschuss entstanden ist.
Gemäß der Erfindung können die Daten in einer zentralen Datenbank gespeichert werden. Ruf diese zentral gespeicherte Datenbank kann anschaulich übergreifend zugegriffen werden, d.h. zum Beispiel von Client-Computern aus, die mit einem die zentrale Datenbank aufweisenden Server-Computer gekoppelt sind.
Bezogen auf den Bereich der Wafer-Fertigung sind unter anderem folgende mögliche Bearbeitungsschritte vorgesehen, die entsprechend einem Arbeitsplan zur Beschreibung der einzelnen Bearbeitungsschritte enthalten sein können, beispielsweise mit einer genauen Angabe weiterer Bearbeitungsparameter (z.B. Prozessbedingungen wie Temperatur, Druck, Zeitdauer des Bearbeitungsschritts, etc.):

– Verfahren zur Erzeugung von Schichten (beispielsweise Verfahren zur Abscheidung aus der Gasphase (CVD-Verfahren), thermische Oxidation, Aufdampfverfahren, (putter-Verfahren, Verfahren zur Schleuderbeschichtung, Schichterzeugung mittels Ionenimplantation, Schichterzeugung mittels Wafer-Bonding und Rückätzen, Temperverfahren, etc.),
– Lithographie-Verfahren (beispielsweise Schritte zum Ausbilden von Photoresiststrukturen, optische Belichtungsverfahren, Röntgenlithographieverfahren, Ionenlithographieverfahren, etc.),
– Verfahren zum Entfernen von Schichten (beispielsweise Nassätzen, nasschemisches Ätzen, chemisch-mechanisches Polieren, Trockenätzen, physikalisches Trockenätzen, chemisches Trockenätzen, chemisch-physikalisches Trockenätzen, etc.),
– Dotieren einer Schicht mittels Dotier-Atomen (beispielsweise thermische Dotierung, Dotierung mittels Ionenimplantation, Aktivierung und Diffusion von Dotier-Atomen, Diffusion von nicht-dotierenden Stoffen, etc.),
– Reinigungsschritte.

Zur Herstellung eines vorgegebenen Produkts, d.h. einer bestimmten Art eines Wafers, ist somit in einem Arbeitsplan eine Folge von Bearbeitungsschritten angegeben, die erforderlich sind, um aus den Wafer-Rohlingen den jeweils gewünschten Wafer, d.h. das jeweilige Produkt, zu fertigen.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Weiteren näher erläutert.
Es zeigen:
1 ein System zum Überwachen eines physikalischen Objekts gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung,
2 ein System zum Überwachen eines mit einem Produktionssteuerungs-System bearbeiteten Wafer-Loses gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung,
3 eine schematische Ansicht der Bildschirmaufteilung einer Abweichungsprotokoll-Datei gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung,
4 ein schematisches Ablaufdiagramm beim Auftreten eines Fehlers während der Bearbeitung eines physikalischen Objekts,
5A bis 5D Benutzeroberflächen zum Eingeben von Abweichungs-Kennzeichnungen in unterschiedlichen Bearbeitungsphasen,
6 eine Benutzeroberfläche mit Bildinformation bezüglich einer Abweichung,
7A eine Benutzeroberfläche zum Eingeben von Suchkriterien für eine Suche in einer Datenbank,
7B, 7C Benutzeroberflächen mit Ergebnissen einer Suche,
8A, 8B E-Mail-Fenster gemäß Benachrichtigungen an unterschiedliche Bearbeitungsphasen.
Im Weiteren wird bezugnehmend auf 1 ein Überwachungssystem 100 zum Überwachen einer Abweichung einer Eigenschaft eines zu bearbeitenden physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft beschrieben.
In 1 ist ein Los als zu bearbeitendes physikalisches Objekt 101 gezeigt, das neun Halbleiter Wafer als physikalische Objekt-Elemente 101a bis 101i enthält. In einem Überwachungsprogramm ist ein logisches Objekt 102 mit ersten bis neunten logischen Objekt-Elementen 102a bis 102i enthalten. Jedem physikalischen Objekt-Element 101a bis 101j ist ein zugehöriges logisches Objekt-Element 102a bis 102i zugeordnet. Gemäß dem beschriebenen Ausführungsbeispiel wird das physikalische Objekt 101 wird in einer ersten und in einer zweiten Bearbeitungsphase überwacht. Im Falle einer in der ersten Bearbeitungsphase ermittelten Abweichung einer Eigenschaft eines oder mehrerer physikalischer Objekt-Elemente von einer Soll-Eigenschaft wird dem zugehörigen logischen Objekt-Element eine erste Abweichungs-Kennzeichnung zugeordnet. Bei dem wie in 1 gezeigten Szenario wird bei dem vierten physikalischen Objekt-Element 101d eine Abweichung in einer ersten Bearbeitungsphase, die von einer ersten Überwachungs-Einrichtung 103 überwacht wird, ermittelt. Daher wird dem vierten logischen Objekt-Element 102d eine erste Abweichungs-Kennzeichnung 104a entsprechend der ersten Abweichungs-Kennzeichnung zugeordnet. Die Weiterbearbeitung des physikalischen Objekt-Elements 101d wird aufgrund der in der ersten Bearbeitungsphase ermittelten Abweichung unterbrochen, bis die Abweichungs-Kennzeichnung einer zweiten Bearbeitungsphase, die von einer zweiten Überwachungs-Einrichtung 105 überwacht wird, dem Überwachungs-Programm bereitgestellt wird.
Sobald die zweite Überwachungs-Einrichtung 105 dem logischen Objekt 102 eine zweite Abweichungs-Kennzeichnung 104b bereitgestellt hat, kann die Bearbeitung des vierten logischen Objekts 102d fortgesetzt werden. Ein entsprechendes Steuersignal kann einer die Bearbeitung des physikalischen Objekts 101 steuernden Produktionssteuerungsanlage mittels einer Kommunikationsverbindung 106 übermittelt werden.
Im Weiteren wird bezugnehmend auf 2 ein Produktionssteuerungssystem 200 gemäß einem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung beschrieben.
Das Produktionssteuerungssystem 200 weist eine Wafer-Produktionssteuerung (Workstream^TM) auf, welche die Prozessierung von Halbleiter-Wafern steuert.
Während der Bearbeitung werden die Halbleiter-Wafer in einer Abscheide-Bearbeitungseinheit 202 prozessiert, wobei halbleitertechnologisch eine Schicht auf den Wafern abgeschieden wird. Ferner werden die Wafer in einer Lithographie-Bearbeitungseinheit 203 bearbeitet, wobei die bei der Abscheide-Bearbeitung aufgebrachte Schicht mit einer Photoresist-Schicht überzogen wird, die ferner strukturiert wird. In einer nachfolgenden Ätz-Bearbeitung in einer Ätz-Bearbeitungseinheit 204 werden von Photoresist freie Oberflächenbereiche der Halbleiter-Wafer geätzt. Die Abscheide-Bearbeitungseinheit wird von einer Abscheide-Überwachung 205 überwacht, die Lithographie-Bearbeitung wird von einer Lithographie-Überwachung 206 überwacht und die Ätz-Bearbeitung wird von einer Ätz-Überwachung 207 überwacht. Die Überwachungen 205 bis 207 weisen jeweils eine Sensor-Einrichtung auf, von denen jede einen oder mehrere für den jeweiligen Bearbeitungsschritt charakteristischen Parameter erfasst und hinsichtlich einer Abweichung von einem Soll-Wert überprüfen.
Tritt eine Abweichung auf, so können die Überwachungen 205 bis 207 einem Überwachungs-Computer 208 diese Informationen in Form von Abscheide-Abweichungs-Kennzeichnungen, Lithographie-Abweichungs-Kennzeichnungen bzw. Ätzabweichungs-Kennzeichnungen übermitteln. In dem Überwachungs-Computer 208 ist ein Überwachungsprogramm 209 enthalten, das Kopfdaten 210, ein logisches Objekt 211 und Steuersoftware 212 aufweist. Die Kopfdaten 210 können von der Wafer-Produktionssteuerungsanlage 201 übermittelt werden und enthalten allgemeine, insbesondere von einzelnen Bearbeitungsphasen unabhängige Bearbeitungsinformation. Ferner enthält das Überwachungs-Programm 209 Steuersoftware 212, mittels dem das Steuerprogramm sowohl mit den Überwachungen 205 bis 207 als auch mit angeschlossenen Peripheriegeräten 214 bis 217 sowie mit der Wafer-Produktionssteuerungsanlage 201 kommunizieren kann.
Gemäß dem beschriebenen Ausführungsbeispiel wird ein Los aus sechs Halbleiter-Wafern als zu bearbeitendes physikalisches Objekt in der Produktionssteuerungsanlage 201 bearbeitet. Entsprechend sind in dem logischen Objekt 211 erste bis sechste logische Objekt-Elemente 213a bis 213f vorgesehen, wobei jeweils ein logisches Objekt-Element einem der sechs Wafer des Loses zugeordnet ist.
Gemäß dem vorliegenden Szenario erfolgt die Prozessierung der Wafer sowohl in der Abscheide-Bearbeitungseinheit 202 als auch in der Lithographie-Bearbeitungseinheit 203 fehlerlos. Daher werden von der Abscheide-Überwachung 205 und der Lithographie-Überwachung 206 keine Abweichungen der prozessierten Wafer von Soll-Parametern detektiert, und es wird zunächst weder von der Abscheide-Bearbeitungseinheit 202 noch von der Lithographie-Bearbeitungseinheit 203 eine Abweichungs-Kennzeichnung an den Überwachungs-Computer 208 übermittelt. Während der Ätz-Bearbeitung detektiert jedoch die Ätz-Bearbeitungseinheit 204 eine Abweichung hinsichtlich der Tiefe der Ätzstrukturen in zwei der sechs Wafer der Charge, nämlich in dem dritten und dem fünften Wafer. Dies wird von der Ätz-Überwachung 207 erkannt, so dass die Ätz-Überwachung 207 dem Überwachungsprogramm 209 eine Ätzabweichungs-Kennzeichnung bezüglich des dritten und des fünften Wafers übermittelt. Diese Information wird in dem dritten logischen Objekt-Element 213c für den dritten Wafer bzw. in dem fünften logischen Objekt-Element 213e für den fünften Wafer gespeichert.
Infolge des bei dem Ätzen aufgetretenen Problems ist im Weiteren zu entscheiden, ob die Prozessierung des Wafer-Loses fortgesetzt wird und ein möglicher Qualitätsmangel aufgrund der Abweichung akzeptiert wird oder ob die fehlerhaften Wafer als Ausschuss deklariert werden sollen. Hierfür ist neben der Beurteilung der Ätz-Überwachung 207 eine zusätzliche Beurteilung des Sachverhalts durch die Abscheide-Überwachung 205 und die Lithographie-Überwachung 206 erforderlich. Diese sind dem Überwachungsprogramm 209 jedoch noch nicht bereitgestellt. Um eine kostenintensive Weiterprozessierung der möglicherweise fehlerhaften Wafer zu verhindern, wird die Bearbeitung des Loses unterbrochen. Die Wafer werden in ein Zwischenlager-Regal eingeräumt. In der Produktionssteuerungsanlage 202 kann während des Zwischenlagerns die Prozessierung einer weiteren Charge von Wafern begonnen werden.
Um eine möglichst schnelle Weiterprozessierung der teilprozessierten Wafer des mit der Abweichung behafteten Loses zu gewährleisten, sind die Abweichungs-Kennzeichnungen der Abscheide-Überwachung 205 und der Lithographie-Überwachung 206 erforderlich. Die Steuersoftware 212 des Überwachungsprogramms 209 erkennt, dass für den möglicherweise fehlerhaften dritten und fünften Wafer des Loses in dem dritten und fünften logischen Objekt-Element 213c, 231e die Informationen der Abscheide-Überwachung 205 und der Lithographie-Überwachung 205 fehlen. Daher übermittelt der Überwachungs-Computer 208 über eine erste Kommunikationsverbindung 218 der Abscheide-Überwachung 205 eine E-Mail, in der darauf hingewiesen wird, dass für die mit der Ätztiefe-Abweichung behafteten Charge von Halbleiter-Wafern die Beurteilung der Abscheide-Überwachung noch fehlt. Ferner wird über eine zweite Kommunikationsverbindung 219 der Lithographie-Überwachung 206 eine entsprechende Nachricht übermittelt. Eine Übermittlung einer solchen Nachricht über eine dritte Kommunikationsverbindung 220 an die Ätz-Überwachung 207 ist gemäß dem beschriebenen Szenario entbehrlich, da die Ätzabweichungs-Kennzeichnung in den dritten und fünften logischen Objekt-Elementen 213c, 213e bereits vorliegt. Über eine vierte Kommunikations-Verbindung 221 zwischen dem Überwachungs-Computer 208 und der Wafer-Produktionssteuerungsanlage 201 können einerseits Kopfdaten 210 bezüglich des Fertigungsprozesses übermittelt werden, und es kann Steuerungs-Information hinsichtlich des Unterbrechens/Fortsetzens des Bearbeitungs-Prozesses übermittelt werden.
Das Überwachungs-Programm 209 generiert aus den von den Überwachungen 205 bis 207 bzw. der Produktionssteuerungsanlage 201 übermittelten Informationen ein Qualitäts-Überwachungs-Protokoll (auch als Abweichungsprotokoll-Datei bezeichnet), in dem die relevanten Informationen in Datenbank-Format zusammengefasst sind.
Sobald die Abscheide-Abweichungs-Kennzeichnung der Abscheide-Überwachung 205 sowie die Lithographie-Abweichungs-Kennzeichnung der Lithographie-Überwachung 206 dem Überwachungs-Computer 208 bereitgestellt sind, und sobald eine Entscheidung darüber getroffen ist, wie mit dem mit einer Abweichung behafteten Los von Wafern verfahren werden soll, werden die entsprechenden Wafer des Loses entweder als Ausschuss deklariert, oder es wird die Prozessierung der Wafer in der Produktionssteuerungsanlage 201 fortgesetzt.
Über eine Sucheinrichtung 214, mittels der eine Suche in einer Datenbank durchgeführt werden kann, kann in dem Qualitäts-Monitoring-Protokoll, das von dem Überwachungsprogramm 209 generiert ist, eine SQL-Datenbanksuche durchgeführt werden. Dies erfolgt über eine fünfte Kommunikationsverbindung 222, die zwischen dem Überwachungs-Computer 208 und der Sucheinrichtung 214 vorgesehen ist.
Ferner kann über eine sechste Kommunikationsverbindung 223 zwischen dem Überwachungs-Computer 208 und einem externen Drucker 215 Information des Qualitäts-Monitoring-Protokolls ausgedruckt werden. Über eine siebte Kommunikationsverbindung 224 zwischen dem Überwachungs-Computer 208 und einer graphischen Benutzeroberfläche 216 ist es einem Benutzer ermöglicht, auf das Qualitäts-Überwachungs-Protokoll (Qualitäts-Monitoring-Protokoll) zuzugreifen bzw. Daten in die Datenbank einzugeben. Auch können mittels der graphischen Benutzeroberfläche dem Überwachungs-Computer 208 Abweichungs-Kennzeichnungen übermittelt werden.
Ferner ist es über eine achte Kommunikations-Verbindung 225 zwischen Überwachungs-Computer 208 und externer Software 217 ermöglicht, die in dem Qualitäts-Monitoring-Protokoll des Überwachungsprogramms 209 enthaltenen Daten mittels der externen Software 217 weiterzuverarbeiten.
Im Weiteren wird bezugnehmend auf 3 beschrieben, wie die Bildschirmaufteilung eines QMP ("quality monitoring protocol") aussehen kann.
Bei der QMP-Bildschirmaufteilung 300 sind entlang einer gemäß 3 horizontalen Achse unterschiedliche Tätigkeitsschritte bzw. Bearbeitungsphasen beim Bearbeiten einer Wafer-Charge aufgetragen, nämlich Erfassen, AMX (Anlagenmatrix), PMX (Produktmatrix) und QS (Qualitätssicherung). Entlang einer gemäß 3 vertikalen Achse sind unterschiedliche Reaktionsmöglichkeiten auf das Auftreten einer Abweichung aufgetragen, nämlich das Akzeptieren eines Risikos einer fehlerhaften Charge, das Durchführen eines Versuchs, das Leisten von Nacharbeit (Ausbesserung), das Deklarieren des Loses oder einzelner Los-Elemente als Ausfall oder eine externe Information (QMP, quality monitoring protocol). Die Aufteilung des Bildschirms in einzelne Funktionsblöcke dient dazu, die unterschiedlichen Reaktionen auf eine Abweichung strukturell auseinanderhalten zu können. Daher sind in den Spalten in 3 die einzelnen Tätigkeitsschritte und in den Zeilen die erkannte Abweichungsart aufgetragen. Es ist möglich, von einer Abweichungsart in eine andere Abweichungsart wechseln zu können.
Im Weiteren wird bezugnehmend auf 4 ein schematisches Ablaufdiagramm 400 beschrieben, wie es gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung beim Erkennen einer Abweichung durchgeführt wird.
Tritt in einem physikalischen Objekt-Element eines zu bearbeitenden physikalischen Objekts eine Abweichung auf, 401, so wird diese Abweichung von einem Operator erkannt und bewertet, wodurch eine erste Abweichungs-Kennzeichnung QMPA 402 generiert wird. Ferner wird in Schritt 403 über eine Weiterverarbeitung des physikalischen Objekts angesichts der aufgetretenen Abweichung entschieden. Wird die Entscheidung Ja 404 getroffen, so erfolgt eine Fortsetzung der Bearbeitung des physikalischen Objekt-Elements, wird die Entscheidung Nein 405 getroffen, so wird ein Unterbrechen des Bearbeitens des physikalischen Objekts festgelegt. Anschließend wird von einer AMX-Instanz (Anlagenmatrix) eine Analyse und Bewertung durchgeführt, wird eine zweite Abweichungs-Kennzeichnung QMPB 406 generiert. Beim Fehlen einer Abzeichnungs-Kennzeichnung durch die AMX-Instanz wird ein Losstop 407 am Ende einer Bearbeitungsphase generiert, das heißt ein Unterbrechen der Bearbeitung des physikalischen Objekts, bis zum Vorliegen der fehlenden Abzeichnungs-Kennzeichnung, festgelegt. Ferner wird eine E-Mail 408 an mindestens eine zuständige Person mit der Aufforderung verschickt, die fehlende Abzeichnungs-Kennzeichnung bereitzustellen. Ferner wird von der AMX-Instanz eine Risikobewertung 409 hinsichtlich der Fortsetzung der Prozessierung des physikalischen Objekts durchgeführt. Im Falle der Entscheidung Nein 410 wird die Bearbeitung des physikalischen Objekt-Elements fortgesetzt, im Falle der Entscheidung Ja 411 muss von einer PMX-Instanz (Produktmatrix) eine zusätzliche Analyse und Bewertung der Abweichung vorgenommen werden. Als Ergebnis davon wird eine dritte Abweichungs-Kennzeichnung QMPC 412 generiert. Beim Fehlen einer Abzeichnungs-Kennzeichnung wird 413 das Los am Ende einer Bearbeitungsstrecke gestoppt, bis die fehlende Abzeichnungs-Kennzeichnung 412 vorliegt. Ferner wird an zuständige Personen eine E-Mail 414 verschickt, in der auf das Fehlen einer Abzeichnungs-Kennzeichnung hingewiesen wird. Ferner wird von der PMX-Instanz (Produktmatrix) eine Zuverlässigkeitsbewertung 415 vorgenommen. Hierbei wird ermittelt, ob eine Beurteilungsinstanz (Qualitätssicherung) mit eingebunden wird. Ist die Antwort auf die Frage, ob die Beurteilungsinstanz eingebunden wird, Nein 416, so ist eine vierte Abweichungs-Kennzeichnung QMPD 418 nicht erforderlich. Ist die Antwort Ja 417, so wird die Abweichung von einer Beurteilungs-Instanz (Qualitätssicherung) beurteilt. Von dieser wird eine vierte Abweichungs-Kennzeichnung QMPD 418 erstellt. Basierend auf dieser wird entschieden, ob das Los gestoppt wird 419 oder ob die Bearbeitung des physikalischen Objekt-Elements fortgesetzt wird.
Im Weiteren werden bezugnehmend auf 5A bis 5D Benutzeroberflächen bezüglich der ersten bis vierten Abweichungs-Kennzeichnungen aus 4 beschrieben.
In 5A ist eine erste Benutzeroberfläche 500 entsprechend der ersten Abweichungs-Kennzeichnung 402 aus 4 gezeigt, wie sie von dem Operator zum Erkennen und Bewerten einer Abweichung bereitgestellt wird (QMPA). Die erste Benutzeroberfläche 500 enthält eine Vielzahl von Fenstern, in denen unter Verwendung von Computer, Maus bzw. Tastatur von dem Operator Information bezüglich der Abweichung einzelner Wafer eines Wafer-Loses während einer Prozessierung des Loses bereitgestellt werden kann.
In Losnummer-Teilfenstern 501 sind die unterschiedlichen Losnummern entsprechend unterschiedlicher Chargen von Wafern aufgeführt und können unter Verwendung einer Computermaus angeklickt bzw. eingegeben werden. In Bearbeiter-Teilfenstern 502 kann der Name, die Telefonnummer eines Operators eingegeben werden. In Zeit-Teilfenstern 503 können Datum und Zeit des Auftretens einer Abweichung eingegeben werden. In Wafer-Kennzeichnungs-Teilfenstern 504 kann die Anzahl kontrollierter Wafer, die Anzahl betroffener Wafer, die Anzahl ausgefallener Wafer eines Loses, etc. angegeben werden. In Abweichungsparameter-Teilfenstern 505 können Ist- und Soll-Werte, Einheiten und Stärke der Abweichungen bestimmter Wafer eines Loses angegeben werden. Ferner kann in Abweichungs-Teilfenstern 506 Information bezüglich der Art der Abweichung, die Beschreibung der Abweichung, die ergriffenen Maßnahmen, Ergebnisse aus den getroffenen Maßnahmen bzw. eine Zuordnung einer Abweichung zu einem Fehlerkatalog enthalten sein bzw. eingetragen werden.
Im Weiteren wird bezugnehmend auf 5B eine zweite Benutzeroberfläche 520 beschrieben, die zum Bereitstellen bzw. Anzeigen von Information als zweite Abweichungs-Kennzeichnung 406 der AMX-Instanz (Anlagenmatrix) dient.
Die zweite Benutzeroberfläche 520 enthält eine Vielzahl von Eingabefenstern, die auch in der in 5A gezeigten Benutzeroberfläche 500 identisch oder ähnlich enthalten sind. Diese sind mit den gleichen Bezugsziffern versehen.
Zusätzlich zu den in 5A gezeigten Teilfenstern sind bei der zweiten Benutzeroberfläche 520 Analyseinformations-Teilfenster 521 bereitgestellt, in denen Analyse-Maßnahmen, eine mögliche Fehlerursache und durchgeführte Aktionen eingetragen werden können. In Risikobewertungs-Teilfenster 522 können Informationen hinsichtlich der Risikobewertung seitens der AMX-Instanz eingefügt werden.
Im Weiteren wird die in 5C gezeigte Benutzeroberfläche 540 beschrieben, die zum Bereitstellen der dritten Abweichungs-Kennzeichnung 412 durch die PMX-Instanz (Produktmatrix) bereitgestellt wird. Ferner kann in Beurteilungs-Informations-Teilfenstern 541 PMX-spezifische Information eingefügt werden.
In 5D ist eine vierte Benutzeroberfläche 560 gezeigt, in welche die vierte Abweichungs-Kennzeichung 418 der Qualitäts-Sicherungsinstanz eingefügt werden kann. Zusätzlich zu einigen in den zuvor beschriebenen Benutzeroberfläche enthaltenen Teilfenstern enthält die Benutzeroberfläche 560 ein Qualitäts-Teilfenster 561.
Im Weiteren wird bezugnehmend auf 6 eine Benutzeroberfläche 600 eines Qualitäts-Monitoring-Protokolls gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung beschrieben.
In der Benutzeroberfläche 600 ist eine Los-Kennzeichnung 601 zur Kennzeichnung eines Loses von Wafern gezeigt. Ferner ist unter dem Stichwort "Alu-Einkerbungen" eine bei dem zugehörigen Los auftretende Abweichung 602 spezifiziert. Darüber hinaus ist in einem Graphik-Teilfenster 603 eine Aufnahme eines prozessierten Wafers des Loses gemäß der Los-Kennzeichnung 601 gezeigt, bei dem die ermittelten Alu-Einkerbungen als Abweichungen graphisch sichtbar sind. Dadurch ist einem Bearbeiter mittels der in dem Graphik-Teilfenster 603 gezeigten Graphik des Typs "jpg" nähere Information über die aufgetretene Abweichung bereitgestellt Ferner kann die Abweichung in Form einer Graphik-Datei archiviert werden.
Im Weiteren wird bezugnehmend auf 7A bis 7C beschrieben, wie ein Benutzer unter Verwendung eines Qualitäts-Monitoring-Protokolls (Abweichungs-Datenbank) der Erfindung eine gezielte Suche durchführen kann, um in der Datenbank enthaltene Information hinsichtlich einer Abweichung eines beliebigen Loses aufzufinden.
In 7A ist eine Benutzeroberfläche 700 gezeigt, in die ein Benutzer ihm bekannte Information hinsichtlich Abweichungen bzw. hinsichtlich eines Loses eingeben kann, um in einer Datenbank nach Losen zu suchen, die eine bestimmte Abweichung aufweisen. Hierfür sind Los-Kennzeichnungs-Suchfelder 701 vorgesehen, in die der Benutzer Information hinsichtlich eines Loses wie eine Losnummer, einen Typ, einen Arbeitsplan, eine Prozessklasse, eine Fertigungseinheit, eine Anlage etc. eingeben kann. Ferner sind Abweichungs-Suchfenster 702 vorgesehen, in die Informationen hinsichtlich einer aufgetretenen Abweichung eingegeben werden können. Insbesondere kann auf einen Fehlerkatalog zugegriffen werden, in dem der Benutzer aus einer vorgegebenen Liste von Abweichungen eine jeweils zutreffende aussuchen kann. Ferner kann ein Benutzer in Zeit-Suchfenster 703 Informationen hinsichtlich Datum bzw. Zeit der Prozessierung eines Loses eingegeben werden können. Mittels Aktivierens eines Such-Knopfs 704 kann die Suche entsprechend der in die Suchfenster 701 bis 703 eingegebenen Information durchgeführt werden.
Im Weiteren wird bezugnehmend auf 7B eine Benutzeroberfläche 710 beschrieben, wie sie nach Eingabe von Such-Information in die Suchfelder 701 bis 703 und nach Aktivieren des Such-Knopfs 704 erhalten wird. In tabellarischer Übersicht ist das Ergebnis der Suche dargestellt. In Loskennzeichnungs-Ergebnisfenstern 711 sind spaltenweise Lose aufgeführt, welche die mittels der Benutzeroberfläche 700 vorgegebenen Suchkriterien erfüllen. In Abweichungs-Ergebnisfenstern 712 sind aufgetretene Abweichungen entsprechend dieser Loskennzeichnungs-Ergebnisfenster 711 spaltenweise aufgetragen. In Zeitergebnis-Fenstern 713 sind Zeitdaten entsprechend der Informationen, die in die Benutzeroberfläche 700 eingegeben worden sind, enthalten. Mittels eines Drucker-Knopfes 714 können Informationen der Benutzeroberfläche 710 mittels eines angeschlossenen Druckers ausgedruckt werden.
In jeder Zeile der matrixförmigen Darstellung von Suchinformation in der Benutzeroberfläche 710 sind Ergebnisse für ein jeweiliges Los aufgetragen, wohingegen in den Spalten der Benutzeroberfläche 710 Information hinsichtlich unterschiedlicher Kriterien aufgetragen ist.
Im Weiteren wird bezugnehmend auf 7C eine Benutzeroberfläche 720 beschrieben, in dem Ergebnis-Information einer Suche für ein einer Los-Spalte 715 aus 7B zugeordnetes Los mit der Los-Kennzeichnung "VB113874" dargestellt ist. In Loskennzeichnungs-Fenstern 721 ist Information zur Kennzeichnung eines bestimmten Loses von Halbleiter-Wafern, bei denen eine Abweichung aufgetreten ist, enthalten. Ferner ist in Abweichungs-Teilfenstern 722 Information hinsichtlich der bei dem Los aufgetretenen Abweichung dargestellt. In Zeit-Teilfenstern 723 ist Zeitinformation bezüglich des Auftretens einer Abweichung der betroffenen Wafer dargestellt. In einem Bildinformations-Teilfenster 724 ist Information hinsichtlich einer Graphik-Datei "4478.JPG" enthalten, die graphische Information hinsichtlich einer Abweichung des betroffenen Loses enthält.
Es ist anzumerken, dass in den in 5A bis 7C dargestellten Benutzeroberflächen weitere Information dargestellt ist, auf die in dieser Beschreibung nicht explizit Bezug genommen ist.
Im Weiteren wird bezugnehmend auf 8A ein E-Mail-Fenster 800 mit einem E-Mail-Text beschrieben, wie er an Anlagenmatrix-Mitarbeiter im Falle des Auftretens einer Abweichung versandt wird, wenn ein Qualitäts-Monitoring-Protokoll QMPB der Anlagenmatrix nicht rechtzeitig bereitgestellt ist und ein Los daher gesperrt wird. Ferner enthält die E-Mail die Aufforderung, das zugehörige Los in ein QMP-Stop-Regal zu legen.
In 8B ist ein E-Mail-Fenster 810 mit einer E-Mail gezeigt, wie sie an PMX-Mitarbeiter verschickt wird, wenn in der Produktmatrix zu einer aufgetretenen Abweichung eine Abweichungs-Kennzeichnung (ein Qualitäts-Monitoring-Protokoll QMPC) fehlt.
Zusammenfassend sind erfindungsgemäß ein Verfahren, eine Vorrichtung, ein Computerlesbares Speichermedium und ein Programm-Element bereitgestellt, mit dem ein Qualitäts-Monitoring-Protokoll für die Dokumentation von Abweichungen erstellbar ist. Mit dem Qualitäts-Monitoring-Protokoll der Erfindung ist eine Möglichkeit zum Erfassen und Überwachen von Ausfallscheiben während der Prozessierung eines Loses von Halbleiter-Wafern geschaffen. Eine Basis für die Buchung von Auswahlscheiben ist das Produktionssteuerungssystem (PPS) Workstream^TM, welches die eigentlich Abbuchung der ausgefallenen Wafer vom betroffenen Los vornimmt. Mittels Eingebens einer verminderten Menge in einer Workstream^TM-Transaktion wird ein Folgebildschirm geöffnet, in dem Anzahl der ausgefallenen Scheiben einem Ausfallgrund oder mehreren Ausfallgründen zugeordnet werden. Dann ist es möglich, je nach verwendeter Konfiguration von Workstream^TM die Ausfallgründe in einer oder mehreren Ebenen einzugeben. Ferner ist es möglich, das Los nur mit einer reduzierten Menge weiter zu prozessieren.
Erfindungsgemäß ist es möglich, eine Ausfallerfassung in einem Qualitäts-Monitoring-Protokoll-PC zu dokumentieren. Ein Ausfall kann auf zwei unterschiedliche Weisen angetriggert werden: Gemäß Fall 1 wird vom Qualitäts-Monitoring-Protokoll-PC aus ein Mangel erkannt, der nach entsprechender Analyse zu der Entscheidung führt, eine bestimmte Menge als Ausfall von Los abzubuchen. Die Ausfallbuchung selbst erfolgt nachträglich im Workstream^TM durch eine Losabmelde-Transaktion und der Eingabe der ausgefallenen Wafer mit entsprechendem Ausfallgrund. Gemäß Fall 2 wird während des Abmelden eines Loses von einem beendeten Arbeitsschritt bzw. von einer Gruppe von Teilarbeitsschritten eine Ausfallbuchung vorgenommen, bei der in einem Workstream^TM-Folgebildschirm ein Ausfallgrund eingegeben wird. Da zu dieser Ausfallbuchung noch kein QMP besteht, erfolgt automatisch die Erstellung eines QMP mit dem Ausfallgrund aus Workstream^TM.
Erfindungsgemäß ist die Dokumentation bzw. Erfassung eines Ausfalls bzw. einer Abweichung für beide Fälle möglich.
Für Fall 1 gilt, dass für ein bereits erstelltes Qualitäts-Monitoring-Protokoll (QMP) aus einem Mangelverdacht heraus entschieden wird, Scheiben aus Ausfall abzubuchen. Dazu wird zum Beispiel in einem Bildschirm ein entsprechendes Feld angeklickt, wenn Scheiben aus einem Los verworfen werden sollen. Daraufhin erscheint ein Fenster mit den Scheibennummern, in dem die betroffenen Wafer bereits markiert sind, und die Wafer, die weggeworfen werden sollen, markiert werden können.
Mittels eines regelmäßigen Batch-Jobs wird geprüft, ob Ausfallsätze vorhanden sind. Ist das der Fall, so wird geprüft, ob für eine bestimmte Losnummer ein Qualitäts-Monitoring-Protokoll mit markiertem Ausfall vorliegt, bei dem die Mindermenge gleich der markierten Menge im QMP ist und die vorgegebene Ausfalloperation gleich der aktuellen Operation ist, auf der sich das Los gerade befindet.
Grundsätzlich wird erfindungsgemäß versucht, die Produktion bzw. Prozessierung eines Loses so wenig wie möglich zu stören bzw. zu stoppen.
Eine Ausfallmarkierung kann in einer Oracle-Datenbank je QMP ein Feld sein, in dem entsprechend dem Bildschirm, in welchem der Ausfall markiert wurde, der zugehörige Bildschirm-Buchstabe hinterlegt wird (z.B. der Buchstabe "B", wenn im "QMPB" Bildschirm markiert wurde).
In einer Übersichts-Darstellung der Wafer eines Loses können diese Wafer markiert werden, um ihnen entsprechende Kennzeichnungen zuzuweisen. Beispielsweise können kontrollierte Wafer in einem Bildschirm markiert werden und beispielsweise als rot-markierte Wafer dargestellt werden. Wird mit diesem Los ein zweites Qualitäts-Monitoring-Protokoll erzeugt, so erscheinen alle tatsächlich ausgefallenen Wafer in schwarz und alle für Ausfall vorgesehenen Wafer in der Ausfallkennzeichnung in der Farbe rot. Die schwarzen Wafer können nicht mehr markiert werden. Betroffene Wafer können in diesem Bildschirm des zweiten Qualitäts-Monitoring-Protokolls markiert werden und beispielsweise als rotmarkierte Wafer erscheinen. Die zuvor kontrollierten Wafer im gleichen Qualitäts-Monitoring-Protokoll können rosa dargestellt werden. Es können auch Wafer als betroffen markiert werden, die zuvor nicht kontrolliert wurden. Die für einen Ausfall gedachten Wafer können in einem Bildschirm markiert werden und können als rotmarkierte Wafer erscheinen. Die zuvor kontrollierten und betroffenen Wafer können im gleichen Qualitäts-Monitoring-Protokoll rosa dargestellt werden. Wird mit demselben Los ein zweites Qualitäts-Monitoring-Protokoll erzeugt, so können die in den vorangegangenen Qualitäts-Monitoring-Protokolls für Ausfall markierten Wafer als rot erscheinen. Die Wafer, die tatsächlich abgebucht worden sind, werden im QMP in den Fenstern betroffene Wafer, kontrollierte Wafer, ausgefallene Wafer mit der Farbe schwarz gekennzeichnet. Diese Wafer können nicht mehr markiert werden. Ferner ist eine Rücknahme von Wafer-Markierungen bei den rot-markierten Wafern möglich. Diese Funktionalität ist vorzugsweise nur in dem Bildschirm QMPB, QMPC und QMPD möglich.
Ferner ist anzumerken, dass erfindungsgemäß bei Benutzeroberflächen (wie beispielsweise den in 5A bis 7C beschriebenen) bestimmte Felder bereits mit Information vorbelegt sein kann (beispielsweise Felder "Telefonnummer" und "Abteilung"). Diese vorbelegten Informationen sollen allerdings überschreibbar sein. Hinsichtlich der Such-Maschine, die bezugnehmend auf 7A bis 7C beschrieben ist, sollte ein Zusammenfassungs-Knopf 705 (vgl. 7A) vorgesehen sein, der alle QMPs zu diesem Los einschließt (angeklickt, wie in 7A) oder nicht einschließt (nicht angeklickt, nicht gezeigt).
Wenn ein QMP abgeschlossen wird, so werden die entsprechenden Bildschirme "eingefroren", so dass eine Veränderung der Daten an diesen Bildschirmen nicht möglich ist. Allerdings sollte derjenige, der ein QMP abgeschlossen hat, nachträglich noch das Schlagwort ändern können oder Texte ergänzen können.
Die QMPs sind sowohl durch die AMX-Mitarbeiter (Anlagenmatrix) als auch durch die PMX-Mitarbeiter (Produktmatrix) abzuschließen, falls das durch einen entsprechenden Eintrag in einer INI-Datei so vorgesehen ist (getrennt für Abschluss AMX und Abschluss PMX).
Die Bestätigung eines solchen Abschlusses erfolgt durch eigene Felder in den Bildschirmen QMPB und QMPC.
Die Verständigung von AMX-Mitarbeitern und PMX-Mitarbeitern kann nach einem mehrstufigen System erfolgen. Sind Lose noch in der laufenden Fertigung, so erfolgt eine erste Verständigung nach einer einstellbaren Zeit (INI-Datei) ab QMP-Gründung (Datum und Uhrzeit QMPA) mittels Einbuchens dieser Informationen und/oder mittels Versendens von E-Mails. Führt dies nicht zum gewünschten Erfolg, d.h. wird ein QMP nicht abgeschlossen, so wird dieser Mailversand in regelmäßigen Abständen wiederholt (Zeitintervall einstellbar in INI-Datei).
Läuft ein Los mit einem nicht-abgeschlossenen QMP auf, so wird das Los automatisch gestoppt und körperlich auf einen speziellen QMP-Lagerplatz gestellt. Die Verständigung der AMX-Mitarbeiter und der PMX-Mitarbeiter erfolgt erneut mittels gezielten Verschickens von E-Mails mit dem zusätzlichen Hinweis, dass dieses Los gestoppt wurde und auf die Bearbeitung durch die AMX-Mitarbeiter bzw. PMX-Mitarbeiter wartet. Die gestoppten Lose können körperlich aus dem Fertigungsfluss genommen werden und in spezielle QMP-Regale zwischengelagert werden. Bei einem Stop der Lose können diese auf einem definierten Platz abgelegt werden und beim Wiederaktivieren (z.B. durch eine zugewiesene Identifizierungs-Kennzeichnung) dort wiedergefunden werden.
Bei den nicht-abgeschlossenen QMP-Losen im Fertigungsfluss können AMX-Mitarbeiter bzw. PMX-Mitarbeiter verständigt werden. Wenn beispielsweise binnen 48 Stunden nach Neuerstellung eines QMPs (dieser Zeitwert ist in einer INI-Datei einstellbar) beispielsweise ein QMPB durch die AMX-Mitarbeiter nicht abgeschlossen worden ist, können per Festlegung in einer INI-Datei bestimmte Aktionen ausgelöst werden. Beispielsweise kann eine Liste von Losen generiert werden, bei denen nach 48 Stunden bezogen auf den Zeitpunkt einer QMPA-Erstellung ein QMPB-Bildschirm durch die AMX-Mitarbeiter nicht abgeschlossen worden ist. Ein solcher Job kann beispielsweise jeden Tag um 5.30 Uhr, 13.30 Uhr und um 21.30 Uhr laufen. Ferner kann an AMX-Mitarbeiter eine E-Mail versandt werden. Bei einem Los, für das 48 Stunden nach dem Zeitpunkt der QMPA-Erstellung der QMPB-Bildschirm durch die AMX-Mitarbeiter nicht abgeschlossen wurde, kann eine E-Mail verschickt werden. Die E-Mail-Adresse kann beispielsweise mit Hilfe einer vorbelegten Tabelle ermittelt werden. Der zu versendende Mailtext kann beispielsweise in einem INI-File hinterlegt werden und daher auch noch später ohne Programmänderung modifiziert werden. Dabei ist zu beachten, dass gewisse Informationsbausteine wie Losnummer, Datum usw. als Platzhalter vorzusehen sind, die dann vor dem eigentlichen Mail-Versand vom Programm automatisch mit den richtigen, aktuellen Daten gefüllt werden. Der Mailtext kann die Information enthalten, dass bei einem bestimmten Los nach Ablauf einer bestimmten Zeit der QMPB-Bildschirm durch den AMX-Mitarbeiter noch nicht abgeschlossen worden ist. Ferner kann mitgeteilt werden, dass das Los sich auf einer bestimmten Operation befindet, und es kann darauf hingewiesen werden, dass der QMPB-Bildschirm so schnell wie möglich bearbeitet und abgeschlossen werden soll.
Auch für die PMX-Mitarbeiter kann eine 48-Stunden Regel eingeführt werden. Eine zu prüfende Operation und ein Fertigungsbereich können per INI-Datei oder per Tabelle festgelegt werden. Ist beispielsweise binnen 48 Stunden bezogen auf ein PMX-Triggerdatum ein QMPC-Bildschirm durch die PMX Mitarbeiter noch nicht abgeschlossen worden, können per Festlegung mittels einer INI-Datei bestimmte Aktionen ausgelöst werden. Beispielsweise kann eine Liste jener Lose generiert werden, bei denen nach 48 Stunden bezogen auf das PMX-Triggerdatum der QMPC-Bildschirm durch die PMX- Mitarbeiter noch nicht abgeschlossen wurde. Dieser Job kann beispielsweise jeden Tag um 5.30 Uhr, 13.30 Uhr und 21.30 Uhr laufen, was in einer INI-Datei einstellbar ist. Je nach gefundenem Los, bei dem nach diesen 48 Stunden bezogen auf das PMCX-Trägerdatum der QMPC-Bildschirm durch die PMX-Mitarbeiter nicht abgeschlossen wurde, kann eine E-Mail verschickt werden, wobei die zugehörige E-Mail-Adresse beispielsweise mittels einer Tabelle "PMX-Mail" ermittelt werden kann. Welcher Mailtext versendet werden soll, ist programmtechnisch vorzusehen, so dass diese Textpassagen (beispielsweise in einem INI-File hinterlegt) auch noch später ohne Programmänderung modifiziert werden können. Dabei ist wiederum zu beachten, dass gewisse Komponenten wie Losnummer, Datum usw. als Platzhalter vorgesehen werden sollen, die dann vor dem eigentlichen Mail-Versand vom Programm automatisch mit den im Einzelfall zutreffenden aktuellen Daten gefüllt werden. Bezüglich des Mailtexts an die PMX-Mitarbeiter kann angemerkt werden, dass ein bestimmtes Los zu einem bestimmten Zeitpunkt zu einer Operation bewegt worden ist und dass nach Ablauf von einer bestimmten Anzahl von Stunden der QMPC-Bildschirm durch den PMX-Mitarbeiter leider noch nicht abgeschlossen worden ist. Ferner kann der PMX-Mitarbeiter darauf hingewiesen werden, dass sich das Los mittlerweile auf einer bestimmten Operation befindet. Und er kann aufgefordert werden, den QMP-Bildschirm so rasch wie möglich zu bearbeiten und abzuschließen.
Wird ein Los zu einer letzten Operation in einem Fertigungsbereich bewegt, wird dies gemeldet, wenn für dieses Los die QMPs noch nicht abgeschlossen sind. Ferner wird nach einem vorgegebenen Schema geprüft, an welche Mitarbeiter eine entsprechende E-Mail zu versenden ist. Es wird zunächst geprüft, wie viele QMPs eines Loses noch nicht abgeschlossen sind. Für jedes der nicht abgeschlossenen QMPs wird ermittelt, ob es noch offene QMPBs gibt. Trifft dies nicht zu, so wird eine Mail an die PMX-Mitarbeiter geschickt. Trifft dies zu, so wird (bei Nichtvorliegen eines Ausnahme- Tatbestands) geprüft, ob dieses Los in einem Scheibenfertigungsbereich erstellt wurde. Falls nein, so wird eine Mail an die PMX-Mitarbeiter geschickt. Falls ja, wird gefragt, ob es noch ein offenes QMPC gibt. Falls nein, so wird eine E-Mail an die AMX-Mitarbeiter geschickt. Falls ja, wird sowohl eine Mail an die AMX-Mitarbeiter als auch an die PMX-Mitarbeiter geschickt.
Die Ablauflogik für eine PMX-Bestätigung erfolgt abhängig von einer Risikobewertung. Ein entsprechender Trigger kann z.B. gesetzt werden, falls eine Risiko-Kennzahl größer als eine vorgegebene Schwelle ist, falls eine Bedeutungs-Kennzahl größer als eine vorgegebene Schwelle ist, falls eine Häufigkeits-Kennzahl höher als eine vorgegebene Schwelle ist. Entsprechende Kennzahlen können in einer INI-Datei enthalten sein. Wirksam wird dies, wenn der QMPB-Bildschirm durch den AMX-Mitarbeiter bereits bestätigt worden ist. Trifft eine Bedingung zu, so geht das Los auf "Halt". Die Information, dass eine Sperrung stattgefunden hat, ist dem QMP-System zu übermitteln. In regelmäßigen Abständen (von beispielsweise eine Stunde) läuft von QMP aus ein Job, der entsprechend einer Liste E-Mails für die noch nicht abgeschlossenen QMPs an die PMX-Mitarbeiter verschickt. Für jedes noch offene QMP ist eine eigene Mail zu verschicken. Diese Mail wird alle 24 Stunden (festgelegt in einer INI-Datei) wiederholt. Diese Wiederholung kann unterdrückt werden mit einer Verzögerungszeit (z.B. maximal 9 Tage) im QMPC-Bildschirm, beispielsweise weil auf eine REM-Analyse (elektronenmikroskopische Untersuchung) gewartet werden muss.
Welcher Mailtext versendet wird, ist programmtechnisch so vorzusehen, dass diese Textpassagen z.B. in einem INI-File hinterlegt werden und auch noch später, ohne Programmänderung modifiziert werden können. Dabei ist zu beachten, dass gewisse Komponenten der Mail wie Losnummer, Datum usw. als Platzhalter eingefügt werden, die dann vor dem eigentlichen Mail-Versand automatisch mit den jeweils zutreffenden aktuellen Daten gefüllt werden. Beispielsweise kann bei einem hohen Risiko an die PMX-Mitarbeiter eine Mail abgesendet werden, die Information enthält, dass ein Los wegen hohem Risiko bei einer Operation im Fertigungsbereich gesperrt worden ist, verbunden mit der Aufforderung, das Los umgehend zu bearbeiten und den QMPC-Bildschirm auszufüllen und abzuschließen.
Kein Los darf die Linie verlassen, ohne dass alle QMPs eines Loses abgeschlossen sind. Dazu ist in Workstream^TM eine entsprechende Maßnahme zu setzen und dem Operator ein Hinweis zu geben, in welches Regal das Los zu hinterlegen ist. Ferner sind die verantwortlichen AMX-Mitarbeiter bzw. PMX-Mitarbeiter per E-Mail zu verständigen. Hierbei wird an die zugehörigen AMX-Mitarbeiter die in 8A gezeigte E-Mail versandt, an die zugehörigen PMX-Mitarbeiter wird die in 8B gezeigte E-Mail versandt.
Mit dem Anhalten des Loses wird in den in 8A, 8B gezeigten E-Mail-Messages auch ein Hinweis gegeben, dass dieses Los nicht in ein Ablieferregal, sondern in das QMP-Stop/Release-Regal zu stellen ist.
Sind bei einem gestoppten Los alle noch offenen QMPs abgeschlossen worden, so ist dieses Los in der Fertigung wieder zu aktivieren und in den normalen Fertigungsfluss wieder einzugliedern. Hierfür wird regelmäßig ein Job am QMP-Server gestartet, der überprüft, ob es Lose gibt, bei denen alle QMPs abgeschlossen sind. Daraus kann ein Trigger abgeleitet werden. Die Triggerinformation startet ein Programm, welches die zuständige Liniensteuerung (z.B. einen Operator) in der Fertigung per E-Mail informiert, dass dieses Los aus dem QMP-Stop/Release Regal zu entnehmen ist und wieder in den Fertigungsfluss zurückzuführen ist. Welcher Mailtext versendet werden soll, ist programmtechnisch so vorzusehen, dass diese Textpassagen beispielsweise in einem INI-File hinterlegt werden und auch noch später ohne Programmänderung modifiziert werden können. Dabei ist zu beachten, dass gewisse Teile wie Losnummer, Datum usw. als Platzhalter vorzusehen sind, die dann vor dem eigentlichen Mail-Versand vom Programm automatisch mit den richtigen aktuellen Daten gefüllt werden.
Ferner ist das System der Erfindung derart eingerichtet, dass ein Datentransfer zu Microsoft Excel^TM ermöglicht ist.
Trifft die Bedingung zu, dass nicht alle QMPBs durch die AMX-Mitarbeiter abgeschlossen sind, so geht ein Los auf Halt. Trifft die Bedingung zu, dass nicht alle QMPCs durch die PMX-Mitarbeiter abgeschlossen sind, so geht das Los auch auf Halt. Die Information, dass eine Sperrung stattgefunden hat, ist dem QMP-System mitzuteilen.
In regelmäßigen Zeitabständen (beispielsweise 1 Stunde) läuft von QMP aus ein Job, der entsprechend einer Liste die Mails für die noch nicht abgeschlossenen QMPs an die AMX-Mitarbeiter verschickt. Für jedes noch offene QMP ist eine eigene Mail zu verschicken, die beispielsweise alle 24 Stunden (festgelegt in einer INI-Datei) wiederholt wird. Diese Wiederholung kann unterdrückt werden mit einer Verzögerungszeit, beispielsweise weil auf eine REM-Analyse (Untersuchung mit Elektronenmikroskopie) gewartet werden muss. Um diese Funktionalität zu realisieren, ist ein Batch-Job zu implementieren.
Zusammenfassend ist erfindungsgemäß die Ausfalldokumentation in ein System integriert, die AMX-Mitarbeiter und PMX-Mitarbeiter sind in den Prozessverlauf eingebunden und ein Antriggern von E-Mails ist aus dem QMP heraus ermöglicht. Hinsichtlich der Bewertung bzw. des Abschlusses eines QMP-Loses sind alle QMPs durch die AMX-Mitarbeiter abzuschließen. Ferner müssen die PMX-Mitarbeiter zusätzlich bestätigen, wenn die Risikobewertung dies erfordert. Kein Los darf die Linie verlassen, ohne dass alle QMPs des Loses abgeschlossen sind.
Im Falle von nichtabgeschlossenen QMPs sind mittels E-Mails AMX-Mitarbeiter und PMX-Mitarbeiter zu verständigen.
In diesem Dokument ist folgende Veröffentlichung zitiert:
[1] Systembeschreibung des Programmpakets Workstream Open^TM der Firma Consilium^TM, Mai 1993

100: Überwachungs-System
101: physikalisches Objekt
101a: erstes physikalisches Objekt-Element
101b: zweites physikalisches Objekt-Element
101c: drittes physikalisches Objekt-Element
101d: viertes physikalisches Objekt-Element
101e: fünftes physikalisches Objekt-Element
101f: sechstes physikalisches Objekt-Element
101g: siebtes physikalisches Objekt-Element
101h: achtes physikalisches Objekt-Element
101i: neuntes physikalisches Objekt-Element
102: logisches Objekt
102a: erstes logisches Objekt-Element
102b: zweites logisches Objekt-Element
102c: drittes logisches Objekt-Element
102d: viertes logisches Objekt-Element
102e: fünftes logisches Objekt-Element
102f: sechstes logisches Objekt-Element
102g: siebtes logisches Objekt-Element
102h: achtes logisches Objekt-Element
102i: neuntes logisches Objekt-Element
103: erste Überwachungs-Einrichtung
104a: erste Abweichungs-Kennzeichnung
104b: zweite Abweichungs-Kennzeichnung
105: zweite Überwachungs-Einrichtung
106: Kommunikationsverbindung
200: Produktionssteuerungssystem
201: Wafer-Produktionssteuerungsanlage
202: Abscheide-Bearbeitungseinheit
203: Lithographie-Bearbeitungseinheit
204: Ätz-Bearbeitungseinheit
205: Abscheide-Überwachung
206: Lithographie-Überwachung
207: Ätz-Überwachung
208: Überwachungs-Computer
209: Überwachungsprogramm
210: Kopfdaten
211: logisches Objekt
212: Steuer-Software
213a: erstes logisches Objekt-Element
213b: zweites logisches Objekt-Element
213c: drittes logisches Objekt-Element
213d: viertes logisches Objekt-Element
213e: fünftes logisches Objekt-Element
213f: sechstes logisches Objekt-Element
214: Sucheinrichtung
215: Drucker
216: graphische Benutzeroberfläche
217: externe Software
218: erste Kommunikationsverbindung
219: zweite Kommunikationsverbindung
220: dritte Kommunikationsverbindung
221: vierte Kommunikationsverbindung
222: fünfte Kommunikationsverbindung
223: sechste Kommunikationsverbindung
224: siebte Kommunikationsverbindung
225: achte Kommunikationsverbindung
300: QMP-Bildschirmaufteilung
400: Ablaufdiagramm
401: Erkennen einer Abweichung
402: erste Abweichungs-Kennzeichnung
403: Weiterverarbeitung
404: Ja
405: Nein
406: zweite Abweichungs-Kennzeichnung
407: Losstop
408: Email-Verschickung
409: Risikobewertung
410: Nein
411: Ja
412: dritte Abweichungs-Kennzeichnung
413: Losstop
414: Email-Verschickung
415: Zuverlässigkeitsbewertung
416: Nein
417: Ja
418: vierte Abweichungs-Kennzeichnung
500: erste Benutzeroberfläche
501: Losnummer-Teilfenster
502: Bearbeiter-Teilfenster
503: Zeit-Teilfenster
504: Waferkennzeichnungs-Teilfenster
505: Abweichungsparameter-Teilfenster
506: Abweichungsbezeichnungs-Teilfenster
520: zweite Benutzeroberfläche
521: Analyseinformations-Teilfenster
522: Risikobewertungs-Teilfenster
540: dritte Benutzeroberfläche
541: Beurteilungsinformations-Teilfenster
560: vierte Benutzeroberfläche
561: Qualitäts-Teilfenster
600: Benutzeroberfläche
601: Los-Kennzeichnung
602: Abweichung
603: Graphik-Teilfenster
700: Benutzeroberfläche
701: Loskennzeichnungs-Suchfelder
702: Abweichungs-Suchfenster
703: Zeit-Suchfenster
704: Such-Knopf
705: Zusammenfassungs-Knopf
710: Benutzeroberfläche
711: Loskennzeichnungs-Ergebnisfenster
712: Abweichungs-Ergebnisfenster
713: Zeit-Ergebnisfenster
714: Drucken-Knopf
715: Los-Spalte
720: Benutzeroberfläche
721: Loskennzeichnungs-Teilfenster
722: Abweichungs-Teilfenster
723: Zeit-Teilfenster
724: Bildinformations-Teilfenster
800: Email-Fenster
810: Email-Fenster

Claims

Verfahren zum Überwachen einer Abweichung einer Eigenschaft eines zu bearbeitenden physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft, wobei jedem physikalischen Objekt in einem Überwachungsprogramm ein logisches Objekt zugeordnet ist, wobei in einer ersten und einer zweiten Bearbeitungsphase das physikalische Objekt überwacht wird, wobei gemäß dem Verfahren – im Falle einer in der ersten Bearbeitungsphase ermittelten Abweichung einer Eigenschaft des physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft dem logischen Objekt eine erste Abweichungs-Kennzeichnung zugeordnet wird; – im Falle einer in der zweiten Bearbeitungsphase ermittelten Abweichung einer Eigenschaft des physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft dem logischen Objekt eine zweite Abweichungs-Kennzeichnung zugeordnet wird; – die Bearbeitung des physikalischen Objekts im Falle einer in einer der Bearbeitungsphasen ermittelten Abweichung unterbrochen wird, bis die Abweichungs-Kennzeichnung der anderen Bearbeitungsphase dem Überwachungsprogramm bereitgestellt wird.
Verfahren nach Anspruch 1, – bei dem im Falle einer in mindestens einer weiteren Bearbeitungsphase ermittelten Abweichung einer Eigenschaft des physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft dem logischen Objekt mindestens eine weitere Abweichungs-Kennzeichnung zugeordnet wird; – die Bearbeitung des physikalischen Objekts im Falle einer in einer der Bearbeitungsphasen ermittelten Abweichung unterbrochen wird, bis die Abweichungs-Kennzeichnung aller anderen Bearbeitungsphasen dem Überwachungsprogramm bereitgestellt werden.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei dem das physikalische Objekt eine Mehrzahl physikalischer Objekt-Elemente aufweist, wobei gemäß dem Verfahren bei mindestens einer Abweichung in mindestens einer der Bearbeitungsphasen mindestens einer Eigenschaft mindestens eines der physikalischen Objekt-Elemente von einer Soll-Eigenschaft dem logischen Objekt mindestens eine Element-Abweichungs-Kennzeichnung zugeordnet wird.
Verfahren nach Anspruch 3, bei dem als physikalisches Objekt oder als physikalisches Objekt-Element mindestens ein Halbleiter-Wafer verwendet wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem das physikalische Objekt unter Verwendung eines Workstream^TM-Steuerprogramms bearbeitet wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 3 bis 5, bei dem das Überwachungsprogramm aus den Abweichungs-Kennzeichnungen und/oder aus den Element-Abweichungs-Kennzeichnungen eine Abweichungsprotokoll-Datei generiert.
Verfahren nach Anspruch 6, bei dem die Abweichungsprotokoll-Datei Bearbeitungssteuer-Information enthält, die dem Überwachungsprogramm von einem Bearbeitungssteuersystem bereitgestellt wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, bei der als Abweichung – eine Abweichung von einer Soll-Eigenschaft gemäß einem vorgegebenen Fehlerkatalog; – eine Abweichung einer optisch wahrnehmbaren Eigenschaft; und/oder – eine Abweichung eines Produktionssteuerungs-Parameters angesehen wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 3 bis 8, bei dem das physikalische Objekt oder mindestens ein physikalisches Objekt-Element in mindestens einer Abweichungs-Kennzeichnung in mindestens einer der Bearbeitungsphasen aufgrund einer Abweichung als – möglicherweise qualitätsvermindert; – nachzubearbeitend; oder – zu verwerfend und aus der Bearbeitung zu entfernend gekennzeichnet wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 9, bei dem die Abweichungsprotokoll-Datei mittels einer – externen Software-Einheit weiterverarbeitet wird; – Such-Einrichtung hinsichtlich vorgebbarer Suchkriterien durchsucht wird; – graphischen Benutzeroberfläche einem Benutzer dargestellt wird; und/oder – Drucker-Einrichtung ausgedruckt wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, bei dem im Falle des Fehlens einer Abweichungs-Kennzeichnung für eine Bearbeitungsphase an eine dieser Bearbeitungsphase zugeordneten Bearbeitungs-Instanz eine entsprechende Benachrichtigung übermittelt wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, bei dem im Falle des Unterbrechens der Bearbeitung des physikalischen Objekts das physikalische Objekt in einer Zwischenlager-Einrichtung zwischengelagert wird, bis die Abweichungs-Kennzeichnung dem Überwachungsprogramm bereitgestellt wird.
Verfahren nach Anspruch 12, bei dem einem physikalischen Objekt eine Zwischenlager-Adresse zugeordnet wird, mittels derer das physikalische Objekt in der Zwischenlager-Einrichtung auffindbar ist.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 13, bei dem mindestens eine einer Bearbeitungsphase zugeordnete Bearbeitungs-Instanz dem Überwachungsprogramm eine Abweichung mittels einer graphischen Benutzeroberfläche bereitstellt.
Verfahren nach Anspruch 14, bei dem als graphische Benutzeroberfläche eine – Windows^TM-Benutzeroberfläche; – Unix^TM-Benutzeroberfläche; oder – Linux^TM-Benutzeroberfläche verwendet wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 15, bei dem als Abweichungsprotokoll-Datei eine Excel^TM-Datei generiert wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 16, bei dem die Abweichungsprotokoll-Datei dem physikalischen Objekt oder einem physikalischem Objekt-Element zugeordnete Graphik-Daten zum Dokumentieren einer Abweichung enthält.
Vorrichtung zum Überwachen einer Abweichung einer Eigenschaft eines zu bearbeitenden physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft, wobei jedem physikalischen Objekt in einem Überwachungsprogramm ein logisches Objekt zugeordnet ist, wobei in einer ersten und einer zweiten Bearbeitungsphase das physikalische Objekt überwacht wird, mit einem Prozessor, der derart eingerichtet ist, dass folgende Verfahrensschritte durchführbar sind: – im Falle einer in der ersten Bearbeitungsphase ermittelten Abweichung einer Eigenschaft des physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft wird dem logischen Objekt eine erste Abweichungs-Kennzeichnung zugeordnet; – im Falle einer in der zweiten Bearbeitungsphase ermittelten Abweichung einer Eigenschaft des physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft wird dem logischen Objekt eine zweite Abweichungs-Kennzeichnung zugeordnet; – die Bearbeitung des physikalischen Objekts wird im Falle einer in einer der Bearbeitungsphasen ermittelten Abweichung unterbrochen, bis die Abweichungs-Kennzeichnung der anderen Bearbeitungsphase dem Überwachungsprogramm bereitgestellt wird.
Computerlesbares Speichermedium, in dem ein Programm zum Überwachen einer Abweichung einer Eigenschaft eines zu bearbeitenden physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft, wobei jedem physikalischen Objekt in einem Überwachungsprogramm ein logisches Objekt zugeordnet ist, wobei in einer ersten und einer zweiten Bearbeitungsphase das physikalische Objekt überwacht wird, gespeichert ist, das, wenn es von einem Prozessor ausgeführt wird, folgende Verfahrensschritte aufweist: – im Falle einer in der ersten Bearbeitungsphase ermittelten Abweichung einer Eigenschaft des physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft wird dem logischen Objekt eine erste Abweichungs-Kennzeichnung zugeordnet; – im Falle einer in der zweiten Bearbeitungsphase ermittelten Abweichung einer Eigenschaft des physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft wird dem logischen Objekt eine zweite Abweichungs-Kennzeichnung zugeordnet; – die Bearbeitung des physikalischen Objekts wird im Falle einer in einer der Bearbeitungsphasen ermittelten Abweichung unterbrochen, bis die Abweichungs-Kennzeichnung der anderen Bearbeitungsphase dem Überwachungsprogramm bereitgestellt wird.
Programm-Element zum Überwachen einer Abweichung einer Eigenschaft eines zu bearbeitenden physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft, wobei jedem physikalischen Objekt in einem Überwachungsprogramm ein logisches Objekt zugeordnet ist, wobei in einer ersten und einer zweiten Bearbeitungsphase das physikalische Objekt überwacht wird, wenn es von einem Prozessor ausgeführt wird, folgende Verfahrensschritte aufweist: – im Falle einer in der ersten Bearbeitungsphase ermittelten Abweichung einer Eigenschaft des physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft wird dem logischen Objekt eine erste Abweichungs-Kennzeichnung zugeordnet; – im Falle einer in der zweiten Bearbeitungsphase ermittelten Abweichung einer Eigenschaft des physikalischen Objekts von einer Soll-Eigenschaft wird dem logischen Objekt eine zweite Abweichungs-Kennzeichnung zugeordnet; – die Bearbeitung des physikalischen Objekts wird im Falle einer in einer der Bearbeitungsphasen ermittelten Abweichung unterbrochen, bis die Abweichungs-Kennzeichnung der anderen Bearbeitungsphase dem Überwachungsprogramm bereitgestellt wird.