DE10225848A1 - Device for removing e.g. photoactive layers from top of flat substrates using dissolvent, places substrates so that they protrude over conveyor shaft so that dissolvent is guided away from conveyor - Google Patents

Abstract

The substrates (21) themselves, or adjoined guide members, protrude over at least one side of a conveyor shaft (16), so that dissolvent (28) flowing from the substrate flows past the conveyor shaft, with a lateral spacing between the flow and the shaft. An independent claim is included for a method of removing layers from the surface of flat substrates.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung sowie ein Verfahren zum Lösen von Schichten von flächigen Substraten unter Aufbringung von Lösemittel gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1 sowie Anspruch 14. Lösemittel können hier beliebige Mittel sein, mit denen die Schichten ablösbar sind, beispielsweise Laugen oder Säuren. Die Schichten selber können auf unterschiedliche Art und Weise aufgebracht oder strukturiert werden. Sie können beispielsweise elektrochemisch aufgebracht und elektrochemisch oder mittels Laser strukturiert sein. The invention relates to a device and a method for releasing of layers of flat substrates with the application of Solvents according to the preamble of claim 1 and claim 14. Solvents can be any means with which the layers are removable, for example alkalis or acids. The layers themselves can be applied or structured in different ways become. For example, they can be applied electrochemically and be structured electrochemically or by means of a laser.

Es sind Verfahren bekannt, bei denen beispielsweise photoaktive Schichten nach einem Belichtungsvorgang sowie einem Ätzvorgang darunter liegender Metallschichten von dem Substrat entfernt werden sollen. Die Substrate werden beispielsweise auf Transportmitteln liegend durch entsprechende Anlagen transportiert. Von oben wird Lösemittel auf die Substrate gesprüht. Die photoaktiven Schichten lösen sich durch die Wirkung des Lösemittels und werden mit diesem von den Substraten seitlich heruntergeschwemmt. Methods are known in which, for example, photoactive Layers after an exposure process and an etching process underlying metal layers are removed from the substrate should. The substrates are, for example, lying on means of transport transported through appropriate facilities. From above becomes solvent sprayed on the substrates. The photoactive layers dissolve the effect of the solvent and with this from the substrates washed down to the side.

Dabei besteht das Problem, dass die Schichten zwar abgelöst sind, in sich jedoch noch zusammenhängend sein können. Diese zusammenhängenden, länglichen oder flächigen Schichten geraten zum Teil in die Transportmittel und andere Bereiche der Anlage, wo sie mit großem Aufwand entfernt werden müssen oder sogar die Funktion behindern können. The problem is that the layers are detached in can still be connected. This contiguous, elongated or flat layers sometimes get into the Means of transport and other areas of the facility where they are great Effort must be removed or even hinder the function can.

Aufgabe und LösungTask and solution

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine eingangs genannte Vorrichtung sowie ein eingangs genanntes Verfahren zu schaffen, mit denen Probleme beim Ablösen von Schichten von Substraten vermieden werden können. The invention has for its object one mentioned To create device and a method mentioned at the beginning with which avoided problems when stripping layers of substrates can be.

Gelöst wird diese Aufgabe durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 14. Vorteilhafte sowie bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den weiteren Ansprüchen angegeben und werden im folgenden näher erläutert. Der Wortlaut der Ansprüche wird durch ausdrückliche Bezugnahme zum Inhalt der Beschreibung gemacht. This problem is solved by a device with the features of claim 1 and a method with the features of Claim 14. Advantageous and preferred embodiments of the Invention are specified in the further claims and are in following explained in more detail. The wording of the claims is through express reference made to the content of the description.

Erfindungsgemäß stehen die Substrate selber und/oder daran anschließende flächige oder flächenwirksame Leitelemente über mindestens eine Seite der Transportmittel hinaus über. Mittels der Leitelemente kann sozusagen die Fläche und damit die Lösemittel-Leitfunktion der Substrate zumindest zu der einen Seite hin erweitert werden. Dieses Überstehen bewirkt, dass Lösemittel, welches von dem Substrat herunterfließt, mit einem seitlichen Abstand zu den Transportmitteln an diesen vorbeifließt. Erfindungsgemäß wird also durch Gestaltung oder Positionierung der Substrate auf den Transportmitteln, insbesondere mit verringerter Breite der Transportmittel, und/oder durch die Verwendung der vorgenannten Leitelemente der Lösemittelfluss an den Transportmitteln vorbei gelenkt. Dies weist den Vorteil auf, dass Schichtbestandteile, die in dem Lösemittelfluss enthalten sind, dann nicht mehr an die Transportmittel gelangen und diese somit nicht mehr negativ beeinträchtigen oder stören können. According to the invention, the substrates themselves and / or thereon subsequent planar or area-guiding elements over at least one side of the means of transport beyond. Using the guide elements so to speak, the area and thus the solvent management function of the Substrates are expanded at least to one side. This Survival causes solvent to be released from the substrate flows down, with a lateral distance to the means of transport on these flows past. According to the invention by design or Positioning of the substrates on the means of transport, especially with reduced width of the means of transport, and / or through the use of the aforementioned guide elements of the solvent flow on the means of transport directed past. This has the advantage that layer components that are contained in the solvent flow, then no longer to the Transport means arrive and thus no longer adversely affect or can disturb.

Bevorzugt fließt das Lösemittel über die Substratseiten bzw. die daran anschließenden Leitelemente und fällt nach deren End- oder Außenkanten nach unten. Dieser Lösemittelfluss ist erfindungsgemäß auch nach dem Passieren der Kante in der vertikalen Projektion außerhalb der Transportmittel zu halten. The solvent preferably flows over or on the sides of the substrate subsequent guiding elements and falls after their final or Outer edges down. This solvent flow is also according to the invention passing the edge in the vertical projection outside the To keep transportation.

Ist beispielsweise bei vorhandenen Anlagen oder vorgegebenen Anlagenmaßen sowie Substratgrößen eine Änderung dieser Dimensionen nicht möglich, so können die vorerwähnten Leitelemente vorgesehen sein. Diese sollten im wesentlichen spaltlos sowie flüssigkeitsdicht an die Seite der Substrate anschließen bzw. diese als Fläche fortführen. Dadurch wird der Lösemittelfluss über die Substrate von den Leitelementen aufgenommen und erfindungsgemäß weitergeleitet. Is, for example, with existing systems or given Plant dimensions and substrate sizes change these dimensions not possible, the aforementioned guide elements can be provided his. These should be essentially gap-free and liquid-tight connect the side of the substrates or continue them as a surface. As a result, the solvent flow across the substrates from the Guiding elements recorded and forwarded according to the invention.

Die Leitelemente können beispielsweise seitlich stumpf an die Substrate anstoßen. Ebenso ist es möglich, sie aufliegend bzw. überlappend auszubilden. Besonders vorteilhaft verlaufen flächige Leitelemente zwischen den Substraten und den Transportmitteln. Dazu können die Transportmittel einen Einschnitt aufweisen zu den Substraten hin. In dieser Lücke und somit unterhalb der Ebene der Substrate sind die Leitelemente angeordnet. Die Leitelemente stehen seitlich über die Substrate und die Transportmittel über. Solche Leitelemente haben vorteilhaft keinen Kontakt zu den Substraten und sind unbeweglich angeordnet, beispielsweise als breite Blechstreifen. The guide elements can, for example, be blunt to the side of the substrates nudge. It is also possible to lay them on or overlap them train. Flat guiding elements run particularly advantageously between the substrates and the means of transport. You can do that Transport means have an incision towards the substrates. In this gap and thus below the level of the substrates are the guide elements arranged. The guide elements are laterally above the substrates and the Means of transport about. Such guide elements advantageously have none Contact to the substrates and are immovably arranged, for example as wide strips of sheet metal.

Damit ein Transport der Substrate durch die Leitelemente nicht negativ beeinträchtigt wird, können sich diese mit den Substraten mitbewegen. Dabei sollte bei einem Kontakt zwischen Substraten und Leitelementen keine Relativbewegung zwischen den beiden auftreten, so dass die Substrate nicht einseitig gebremst werden. Beispielsweise ist es möglich, die Leitelemente als umlaufende breite Kunststoffbänder, ähnlich einem Förderband oder dergleichen, auszubilden. Die Umlaufgeschwindigkeit sollte dabei der Transportgeschwindigkeit der Substrate entsprechen. So that a transport of the substrates through the guide elements is not negative is affected, they can move with the substrates. In this case, there should be contact between substrates and guide elements no relative movement occurs between the two, so the Substrates are not braked on one side. For example it is possible, the guide elements as all-round wide plastic straps, similar a conveyor belt or the like. The Circulation speed should be the transport speed of the substrates correspond.

Alternativ zu solchen Leitelementen, die einen gewissen zusätzlichen konstruktiven Aufwand bedeuten, können die Substrate selber an der mindestens einen Seite des abfließenden Lösemittelflusses über die Transportmittel überstehen. Vorteilhaft stehen sie dabei mit ihrer gesamten Länge in Transportrichtung über die Transportmittel über, so dass der gesamte Lösemittelfluss in Richtung auf diese Seite zu über die gesamte Seitenbreite abfließen kann. As an alternative to such guidance elements, which have a certain additional constructive effort, the substrates themselves on the at least one side of the flowing solvent flow over the Survive means of transport. They are advantageous with theirs entire length in the direction of transport over the means of transport so that the total solvent flow towards this side too over the entire page width can flow off.

Der Überstand über die Transportmittel ist mit einigen Zentimetern bereits ausreichend. Als vorteilhaft werden beispielsweise 5 cm bis 20 cm angesehen. Bezogen bzw. gemessen wird der Überstand auf bewegte Teile der Transportmittel bzw. diejenigen Transportmittel, die die Substrate direkt tragen und transportieren. The overhang over the means of transport is a few centimeters already sufficient. For example, 5 cm to 20 cm are advantageous considered. The supernatant is related or measured to moving Parts of the means of transport or those means of transport that the Carry and transport substrates directly.

Durch den Überstand über die Transportmittel kann ein Lösemittelfluss an den Transportmitteln vorbei erzeugt werden. Vorteilhaft kann des weiteren eine Abtrennung vorgesehen sein zwischen den Transportmitteln einerseits und dem Lösemittelfluss bzw. der vertikalen Projektion des Substrats oder der Leitmittel andererseits. Diese Abtrennung verhindert, dass Lösemittel, aus welchem Grund auch immer, beispielsweise von einer Anlagenwand abprallt und an die Transportmittel spritzt. Vorteilhaft befindet sich die Abtrennung relativ nah an den Transportmitteln selber. Sie kann auch als Punkt angesehen werden, über welchen die Substrate oder Leitelemente mindestens reichen müssen. Eine Abtrennung kann als Trennwand ausgeführt sein und von unten bis kurz vor das Substrat oder die Leitmittel reichen. Ein Spalt sollte hier auf alle Fälle vorgesehen sein, um wiederum einen ungestörten Transport der Substrate zu ermöglichen. A solvent flow can result from the protrusion over the means of transport are generated past the means of transport. The can be advantageous a further separation can be provided between the Means of transport on the one hand and the solvent flow or the vertical projection the substrate or the conductive means on the other hand. This separation prevents solvents, for whatever reason, bounces off a system wall, for example, and sprays it onto the means of transport. The separation is advantageously relatively close to the Means of transport itself. It can also be viewed as a point over which the substrates or guide elements must at least be sufficient. A The partition can be designed as a partition and from bottom to short reach in front of the substrate or the conductive agent. There should be a gap here on everyone Cases should be provided in order to in turn transport the To enable substrates.

Ein Lösemittelfluss wird mit hierfür vorgesehenen Mitteln im wesentlichen, vorteilhaft ausschließlich, zu der Seite hin erzeugt, welche den Überstand über die Transportmittel aufweist. Durch diesen Lösemittelfluss wird sichergestellt, dass wenigstens ein Teil, vorteilhaft die komplette Menge, des Lösemittels zu dieser Seite fließt. A solvent flow is carried out with the provided means in the essential, advantageously exclusively, generated to the side that the Has protruding beyond the means of transport. Through this Solvent flow ensures that at least part, advantageously the complete amount of solvent flows to this side.

Einerseits ist es möglich, dass die vorgenannten Mittel so ausgebildet sein, dass sie einen Lösemittelfluss selbsttätig in der gewünschten Richtung erzeugen. Dies reduziert den konstruktiven Aufwand. Dies kann beispielsweise dadurch erreicht werden, dass ein Substrat bzw. die Transportebene und damit die Transportmittel selber der Substrate eine Neigung zu der Seite mit dem Überstand hin aufweisen. Die Neigung braucht nicht besonders ausgeprägt zu sein. Ein Winkel von 10° bis 30° sollte ausreichen. On the one hand, it is possible for the aforementioned means to be designed in this way be that they automatically flow in the desired solvent Generate direction. This reduces the design effort. This can can be achieved, for example, in that a substrate or the Transport level and thus the means of transport itself of the substrates Tilt to the side with the protrusion. The inclination need not be particularly pronounced. An angle from 10 ° to 30 ° should be enough.

Andererseits ist es möglich, die Mittel für eine aktive Erzeugung des Lösemittelflusses auszubilden. Als vorteilhaft wird es hier angesehen, wenn das Lösemittel mit einer zu der Seite gerichteten Strahlrichtung aufgebracht wird. Dies kann beispielsweise in einem Winkel zwischen 90° und 30° zur Substratoberseite hin erfolgen. Wird das Lösemittel über mehrere Düsen oder Reihen von Düsen aufgebracht, so ist es auch möglich, manche der Düsen direkt auf die Substratoberfläche zu richten und manche der Düsen schräg, um vor allem den vorher erwähnten Lösemittelfluss zu erzeugen. Im übrigen ist es möglich, sämtliche Möglichkeiten von Düsenanordnungen einzusetzen. On the other hand, it is possible to use the means for an active generation of the Form solvent flow. It is considered advantageous here if the solvent has a jet direction to the side is applied. This can be at an angle between, for example 90 ° and 30 ° to the top of the substrate. If the solvent is over multiple nozzles or rows of nozzles, so it is possible to direct some of the nozzles directly onto the substrate surface and some of the nozzles at an angle, especially to the one mentioned above To generate solvent flow. In addition, it is possible to all Possibilities of using nozzle arrangements.

Eine weitere Methode zur aktiven Erzeugung eines Lösemittelflusses zu einer Seite hin ist ein Anblasen mit Druckluft oder dergleichen von der Seite. So kann Lösemittel, das sich auf der Substratoberseite sammelt, zur Seite weggeblasen werden. Another method to actively generate a solvent flow too one side is blowing with compressed air or the like from the Page. Solvent that collects on the top of the substrate can be blown away to the side.

Als Transportmittel werden vorteilhaft rotierende und zumindest teilweise angetriebene Transportwellen eingesetzt. Sie können an den Enden dünner ausgebildete Wellenachsen aufweisen, mit welchen sie jeweils gelagert sind. Ein Antrieb der Transportwellen kann über eine der Wellenachsen erfolgen, beispielsweise mittels eines Getriebes oder Zahnriemens. Die Substrate liegen in aller Regel direkt auf den Transportmitteln auf. Rotating and at least partially are advantageously used as means of transport driven transport shafts used. You can at the ends have thinner shaft axes with which they each are stored. The transport shafts can be driven via one of the Shaft axes take place, for example by means of a gear or Toothed belt. The substrates are usually directly on the Means of transport.

Mittels einer Auffangeinrichtung kann Lösemittel, welches von den Substraten abgeflossen ist, aufgefangen werden. Dabei sind die gelösten Schichtbestandteile enthalten. Bevorzugt ist die Auffangeinrichtung an der Seite der Transportmittel vorgesehen, die den Überstand aufweist. Somit kommt das Lösemittel von dem Substrat direkt in die Auffangeinrichtung. By means of a collecting device, solvent which is from the Substrates has drained off, are collected. Here are the solved Layer components included. The collecting device is preferably on the side of the means of transport provided which has the protrusion. Thus the solvent comes directly from the substrate into the Catcher.

Des weiteren kann eine Filtereinrichtung für das Lösemittel vorgesehen sein mit einem Hydrozyklon und einem Filter. Die Filtereinrichtung hat vor allem den Zweck, das Lösemittel zur weiteren Verwendung zurückzugewinnen. Dem Hydrozyklon kann vorteilhaft eine Zerkleinerungsvorrichtung vorgeschaltet werden. Mit der Zerkleinerungsvorrichtung werden die Schichtbestandteile zerkleinert, damit sie anschließend besser ausgeschieden werden können. Furthermore, a filter device for the solvent can be provided be with a hydrocyclone and a filter. The filter device has especially the purpose of using the solvent for further use recover. The hydrocyclone can advantageously be a Shredding device are connected upstream. With the shredding device the layer components are crushed so that they are better afterwards can be eliminated.

Als Zerkleinerungsvorrichtung kann eine Schneideinrichtung Verwendung finden, welche umlaufende Schneiden aufweist, um den notwendigen Durchsatz zu erreichen. Die umlaufenden Schneiden sind vorteilhaft an drehenden Scheiben angeordnet, beispielsweise nach Art von Rotorblättern. A cutting device can be used as the shredding device Find use which has circumferential cutting edges to the to achieve the necessary throughput. The circumferential cutting edges are advantageous arranged on rotating disks, for example in the manner of Rotor blades.

Als Filter kann ein Bandfilter verwendet werden. Dieser weist vorteilhaft eine Sammeleinrichtung für ausgefilterte Schichtbestandteile auf. Dies kann beispielsweise ein entnehmbarer Container oder dergleichen sein, aus welchem die ausgefilterten Schichtbestandteile einer entsprechenden Weiterverwertung oder Abfallzuführung entnommen werden können. A band filter can be used as a filter. This advantageously shows a collecting device for filtered layer components. This can be, for example, a removable container or the like, from which the filtered layer components of a appropriate recycling or waste disposal can.

Somit kann gemäß einer beispielhaften Ausführung der Erfindung eine Vorrichtung geschaffen werden zum Lösen von Schichten von der Oberseite von Substraten. Dazu wird Lösemittel mit Düsen schräg auf die Substrate gespritzt. Die Substrate sind auf Transportwellen gelegt und werden von diesen transportiert. Zumindest mit einem seitlichen Ende stehen die Substrate über die Transportwellen in diesem Bereich über. Von dem Substrat fließendes Lösemittel, welches längliche oder flächige Schichtbestandteile enthält, strömt durch den Überstand der Substrate an den Transportmitteln vorbei. So kann ein Verunreinigen oder Verstopfen der Transportmittel verhindert werden. Thus, according to an exemplary embodiment of the invention, a Be created for releasing layers from the Top of substrates. For this purpose, solvent is sprayed onto the nozzle Sprayed substrates. The substrates are placed on transport shafts and are transported by them. At least with one side end the substrates protrude beyond the transport waves in this area. Solvent flowing from the substrate, which is elongated or flat Contains layer components, flows through the supernatant of the substrates past the means of transport. So can contaminate or Clogging of the means of transport can be prevented.

Diese und weitere Merkmale von bevorzugten Weiterbildungen der Erfindung gehen außer aus den Ansprüchen auch aus der Beschreibung und den Zeichnungen hervor, wobei die einzelnen Merkmale jeweils für sich allein oder zu mehreren in Form von Unterkombinationen bei einer Ausführungsform der Erfindung und auf anderen Gebieten verwirklicht sein und vorteilhafte sowie für sich schutzfähige Ausführungen darstellen können, für die hier Schutz beansprucht wird. These and other features of preferred developments of the In addition to the claims, the invention also results from the description and the drawings, the individual features for alone or in pairs in the form of sub-combinations in one Embodiment of the invention and implemented in other fields be and advantageous as well as protective designs can represent, for which protection is claimed here.

Kurzbeschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden im folgenden näher erläutert. In den Zeichnungen zeigen: Embodiments of the invention are shown in the drawings and are explained in more detail below. The drawings show:

Fig. 1 eine erfindungsgemäße Vorrichtung mit einem Substrat, das an einem Ende über Transportwellen übersteht, sowie schräg gerichteten Lösemitteldüsen, Fig. 1 shows a device according to the invention with a substrate, which protrudes at one end on transport shafts, as well as obliquely solvent nozzle,

Fig. 2 eine Abwandlung der Vorrichtung aus Fig. 1 mit Leitelementen und Fig. 2 shows a modification of the device of Fig. 1 with guide elements and

Fig. 3 eine Abwandlung der Vorrichtung aus Fig. 1 mit einem Substrat, das an beiden Seiten über die Transportwellen übersteht, sowie gerade gestellten Lösemitteldüsen. FIG. 3 shows a modification of the device from FIG. 1 with a substrate which projects over the transport shafts on both sides, and solvent nozzles which have just been placed.

Detaillierte Beschreibung der AusführungsbeispieleDetailed description of the exemplary embodiments

Die Darstellungen der Ausführungsbeispiele sind schematisch gehalten. Sie dienen vor allem dazu, das Erfindungsprinzip an sich für den Fachmann zu offenbaren. The representations of the exemplary embodiments are kept schematic. Above all, they serve the principle of invention itself for the Professional to reveal.

In Fig. 1 ist eine Vorrichtung 11 dargestellt, mit der beispielsweise photoaktive Schichten nach einem Belichtungs- und einem Ätzvorgang durch Aufbringung von Lösemittel abgelöst und entfernt werden. Die Vorrichtung 11 weist Anlagewände 12 auf. Zwischen den Anlagewänden 12 befindet sich eine Behandlungskammer 13. In Fig. 1, an apparatus 11 is shown, replaced with, for example, photoactive layer by an exposure and an etching process by application of solvent and be removed. The device 11 has contact walls 12 . A treatment chamber 13 is located between the contact walls 12 .

Auf Lagerwänden 14 sind Wellenachsen 15 drehbar gelagert. Die Wellenachsen 15 sind an den Transportwellen 16 angeordnet und dienen sowohl zur Lagerung als auch zum Antreiben derselben. Shaft axes 15 are rotatably mounted on bearing walls 14 . The shaft axes 15 are arranged on the transport shafts 16 and serve both for storage and for driving the same.

An der rechten Seite der Transportwelle 16 ist ein Antrieb 17 vorgesehen. Dieser besteht auf an sich bekannte Art und Weise aus einem Kegelzahnrad 18 auf der Wellenachse 15. Daran greift ein Gegenkegelzahnrad 19 an, welches mit einem Antriebsmotor oder dergleichen verbunden ist. A drive 17 is provided on the right side of the transport shaft 16 . This consists, in a manner known per se, of a bevel gear 18 on the shaft axis 15 . A mating bevel gear 19 acts thereon, which is connected to a drive motor or the like.

Mittels des Antriebs 17 werden die Transportwellen 16 in Rotation versetzt, wobei in einer Vorrichtung 11 eine Vielzahl von Transportwellen 16 in der gleichen Ebene hintereinander angeordnet sind. Auf den Transportwellen 16 liegt ein flächiges Substrat 21. Wie in der Zeichnung gut zu erkennen ist, steht das linke seitliche Ende 22 des Substrats 21 mit einigem Abstand über die Transportwelle 16 sowie die linke Wellenachse 15 und das Lager 14 über. Means of the drive 17, the transport shafts are rotated 16, wherein a plurality of transport shafts 16 in the same plane are arranged one behind the other in a device. 11 A flat substrate 21 lies on the transport shafts 16 . As can be clearly seen in the drawing, the left lateral end 22 of the substrate 21 projects over the transport shaft 16 as well as the left shaft axis 15 and the bearing 14 at some distance.

Eine Abtrennung 24 ist als von unten hoch ragende Wand links neben dem Lager 14 vorgesehen. Dabei überragt das Substrat 21 auch noch die Abtrennung 24. Zwischen den beiden besteht ein geringer Luftspalt. A partition 24 is provided as a wall protruding from below to the left of the bearing 14 . The substrate 21 also projects beyond the partition 24 . There is a small air gap between the two.

Oberhalb des Substrats 21 und mit einem gewissen Abstand dazu sind feststehende Düsen 26 über die gesamte Breite des Substrats vorgesehen sowie eine verstellbare Düse 27 ganz rechts. Aufbau und Funktionsweise dieser Düsen sind dem Fachmann bekannt und brauchen deswegen hier nicht näher erläutert zu werden. Die Düsen stoßen Lösemittel 28 als aufgefächerten Strahl aus. Die Lösemittelstrahlen sind strichpunktiert dargestellt. Wie zu erkennen ist, treffen sie in einem Winkel zwischen ungefähr 90° und ungefähr 45° auf die Substratoberfläche. Sämtliche Düsen 26 sowie die verstellbare Düse 27 sind in etwa in der gleichen Richtung ausgerichtet. Dies muss jedoch nicht zwangsläufig so sein, sie können auch unterschiedlich oder oszillierend sein. Fixed nozzles 26 are provided over the entire width of the substrate above the substrate 21 and at a certain distance from it, as well as an adjustable nozzle 27 on the far right. The structure and mode of operation of these nozzles are known to the person skilled in the art and therefore need not be explained in more detail here. The nozzles expel solvent 28 as a fanned jet. The solvent jets are shown in dash-dot lines. As can be seen, they strike the substrate surface at an angle between approximately 90 ° and approximately 45 °. All nozzles 26 and the adjustable nozzle 27 are aligned in approximately the same direction. However, this does not necessarily have to be the case, they can also be different or oscillating.

Aus Fig. 1 ist leicht ersichtlich, dass ein Lösemittelfluss zum linken Ende 22 des Substrats 21 hin erzeugt wird. Der Lösemittelfluss wird hier dadurch erzeugt, dass das Lösemittel 28 schräg auf das Substrat gespritzt wird, wobei das schräge Aufspritzen sich über die gesamte Breite des Substrats 21 erstreckt. Die verstellbare Düse 27 ist in etwa auf die rechte Endkante 22 des Substrats 21 gerichtet. So trifft ein besonders gerichteter Strahl auf diese Endkante 22 bzw. den Bereich der Endkante und verhindert einen Übertritt des Lösemittelflusses über diese rechte Endkante. From Fig. 1 it is readily apparent that a solvent flow to the left end 22 of substrate 21 back is generated. The solvent flow is generated here by the solvent 28 being sprayed obliquely onto the substrate, the oblique spraying extending over the entire width of the substrate 21 . The adjustable nozzle 27 is directed approximately at the right end edge 22 of the substrate 21 . A particularly directed jet strikes this end edge 22 or the region of the end edge and prevents the solvent flow from passing over this right end edge.

Durch den erzeugten Lösemittelfluss, der an sich in Fig. 1 nicht eingezeichnet ist, strömt das Lösemittel 28 über das linke seitliche Ende 22 des Substrats 21 zwischen linke Anlagewand 12 und die linke Abtrennung 24. Darunter kann eine an sich bekannte Auffangeinrichtung vorgesehen sein. Due to the generated solvent flow, which is not shown per se in FIG. 1, the solvent 28 flows over the left lateral end 22 of the substrate 21 between the left contact wall 12 and the left partition 24 . Below this, a collecting device known per se can be provided.

Die Abwandlung einer Vorrichtung 111 in Fig. 2 ist, wie zu erkennen ist, im wesentlichen gleich ausgebildet wie die Vorrichtung 11 aus Fig. 1. Bemerkenswert ist hier, dass das linke seitliche Ende 122 des Substrats 121 nicht bis über die Wellenachsen 115, nicht einmal bis über die Transportwellen 116 überragt. As can be seen, the modification of a device 111 in FIG. 2 is essentially the same as the device 11 from FIG. 1. It is remarkable here that the left lateral end 122 of the substrate 121 does not extend beyond the shaft axes 115 , not once towering over the transport shafts 116 .

In Fig. 2 überragt das Substrat die Transportmittel 116 und 115 nicht. Dafür ist hier ein flächiges Leitelement 130 vorgesehen. Wie zu erkennen ist, weist die Transportwelle 116 an ihrem linken Ende zu der Wellenachse 115 hin einen Einschnitt 131 mit einer Durchmesserreduzierung auf. Der Einschnitt 131 kann auch durch eine nach rechts gezogene Wellenachse 115 mit entsprechend verkürzter Transportwelle 116 erreicht werden. In dem dadurch gebildeten Zwischenraum zwischen Substrat 121 bzw. seinem linken seitlichen Ende 122 und der Transportwelle 116 verläuft das Leitelement 130. Es schirmt sozusagen die Transportwelle 116 ab. Von oben über das linke seitliche Ende 122 fließendes Lösemittel gelangt auf das Leitelement 130. Durch eine leichte Schrägstellung des Leitelements 130 nach links unten fließt das Lösemittel nach links ab und ausserhalb der Abtrennung 124 nach unten in eine Auffangeinrichtung oder dergleichen. In FIG. 2, the substrate 116 and 115 does not extend beyond the means of transport. A flat guide element 130 is provided for this. As can be seen, the transport shaft 116 has an incision 131 with a diameter reduction at its left end towards the shaft axis 115 . The incision 131 can also be achieved by a shaft axis 115 drawn to the right with a correspondingly shortened transport shaft 116 . The guide element 130 runs in the intermediate space formed thereby between the substrate 121 or its left lateral end 122 and the transport shaft 116 . It shields the transport shaft 116, so to speak. Solvent flowing from above via the left side end 122 reaches the guide element 130 . Due to a slight inclination of the guide element 130 towards the bottom left, the solvent flows off to the left and outside the partition 124 down into a collecting device or the like.

Auch dadurch wird sozusagen eine Art Verlängerung bzw. Fortsetzung der Fläche des Substrats 121 nach links über die Transportwelle 116, die Wellenachse und vor allem auch das Lager 114 hinaus erreicht. Das Leitelement sollte einen gewissen Abstand zu der Substratunterseite aufweisen. An der Transportwelle 116 kann es anliegen, beispielsweise um einen dichtenden Anschluss herzustellen. This also results in a kind of extension or continuation of the surface of the substrate 121 to the left beyond the transport shaft 116 , the shaft axis and, above all, the bearing 114 . The guide element should have a certain distance from the underside of the substrate. It can rest on the transport shaft 116 , for example in order to produce a sealing connection.

In Fig. 3 ist eine Vorrichtung 211 dargestellt. Wie zu erkennen ist, reicht hier das Substrat 221 mit seinen beiden Enden 222 sowohl links als auch rechts über die Transportwellen 216 sowie die Wellenachsen 215 über. Hier kann also ein Lösemittelfluss über beide Substratenden 222 übertreten und läuft auf alle Fälle an den Transportmitteln 216 vorbei. Somit braucht kein expliziter Lösemittelfluss erzeugt zu werden und die Düsen 226 sowie 227 können direkt und im wesentlichen senkrecht in der Zielrichtung auf das Substrat 221 zu gerichtet sein. A device 211 is shown in FIG. 3. As can be seen, the substrate 221 extends with its two ends 222 both to the left and to the right over the transport shafts 216 and the shaft axes 215 . A solvent flow can therefore pass over both substrate ends 222 and in any case runs past the transport means 216 . Thus, no explicit solvent flow needs to be generated and the nozzles 226 and 227 can be directed directly and essentially perpendicularly in the target direction onto the substrate 221 .

Um einen Antrieb 217 mit entsprechend geringer Bauhöhe nach oben zu realisieren, sind an der rechten Wellenachse 215 der Transportwelle 216 ein Achsenritzel 234 sowie ein Kegelzahnrad 235 und ein Gegenkegelzahnrad 236 vorgesehen. Hier ist eben zu beachten, das kein Teil der Wellenachsen 215, der Lagerwände 214 oder des Antriebs 217 über die Oberkante des Transportwellen 216 hinaus und somit an die Unterseite der Substrate 221 reicht. Diese sind mechanisch sehr empfindlich und müssen deswegen geschützt werden. A drive 217 to be realized with a correspondingly low structural height upwards, the conveying shaft 216, a pinion shaft 234 and a bevel gear 235 and a mating bevel gear 236 provided on the right shaft axis 215th It should be noted here that no part of the shaft axes 215 , the bearing walls 214 or the drive 217 extends beyond the upper edge of the transport shaft 216 and thus to the underside of the substrates 221 . These are mechanically very sensitive and must therefore be protected.

In Abwandlung der Vorrichtung 211 aus Fig. 3 ist es leicht vorzustellen, dass die Transportwellen 216 lediglich nach links oder rechts geneigt werden müssen, wie zuvor angesprochen worden ist, um einen Lösemittelfluss zur Seite hin zu erzeugen. In a modification of the device 211 from FIG. 3, it is easy to imagine that the transport shafts 216 only have to be inclined to the left or right, as previously mentioned, in order to generate a solvent flow to the side.

Es ist noch zu beachten, dass das Abströmen des Lösemittels über die Seiten und über die Transportmittel hinaus diese nicht beeinträchtigt. Ein Vorteil der Erzeugung eines Lösemittelflusses nach Fig. 1 oder Fig. 2 im Gegensatz zu Fig. 3 ist jedoch, dass dann nur geringe Mengen von Lösemittel mit entsprechend enthaltenen Schichtbestandteilen nach vorne oder nach hinten über die Substrate doch noch auf die Transportwellen gelangen können. Als Abhilfe könnten hier aufeinanderfolgende Substrate mit Vorder- und Endkante im wesentlichen direkt aneinander stoßen. Alternativ ist durch Erzeugung eines Lösungsmittelflusses zu versuchen, das Lösemittel hauptsächlich zu den Seiten hin abzutransportieren. It should also be noted that the outflow of the solvent over the sides and beyond the means of transport does not affect them. An advantage of generating a solvent flow according to FIG. 1 or FIG. 2 in contrast to FIG. 3 is, however, that only small amounts of solvent with correspondingly contained layer components can still reach the transport waves via the substrates, forwards or backwards. As a remedy, successive substrates with the leading and trailing edges could essentially meet directly here. Alternatively, by generating a solvent flow, an attempt should be made to remove the solvent mainly to the sides.

Claims (17)

1. Vorrichtung zum Lösen von Schichten von der Oberseite von flächigen Substraten (21) unter Aufbringung von Lösemittel (28), beispielsweise zum Entfernen von photoaktiven Schichten nach einem Belichtungsvorgang und einem Ätzvorgang, wobei die Substrate auf Transportmitteln (16) transportiert werden, dadurch gekennzeichnet, dass die Substrate (21) selber oder daran anschließende Leitelemente (130) über mindestens eine Seite der Transportmittel (16) hinaus überstehen derart, dass von dem Substrat abfließendes Lösemittel (28) mit seitlichem Abstand zu den Transportmitteln an diesen vorbeiströmt. 1. Device for detaching layers from the top of flat substrates ( 21 ) with the application of solvent ( 28 ), for example for removing photoactive layers after an exposure process and an etching process, the substrates being transported on transport means ( 16 ), characterized that the substrates ( 21 ) themselves or adjoining guide elements ( 130 ) protrude beyond at least one side of the transport means ( 16 ) such that solvent ( 28 ) flowing away from the substrate flows past them at a lateral distance from the transport means. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Leitelemente (130) an einen Seitenbereich (22) der Substrate (21) anschließen, vorzugsweise spaltlos oder flüssigkeitsdicht, wobei insbesondere die Leitelemente flächig sind und unbeweglich zwischen den Substraten und den Transportmitteln (16) unterhalb der Substrate angeordnet sind. 2. Device according to claim 1, characterized in that the guide elements ( 130 ) connect to a side region ( 22 ) of the substrates ( 21 ), preferably without a gap or liquid-tight, the guide elements in particular being flat and immovable between the substrates and the transport means ( 16 ) are arranged below the substrates. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Substrate (21) selber an der mindestens einen Seite (22) über die Transportmittel (16) überstehen, insbesondere über ihre gesamte Länge in Transportrichtung hinweg. 3. Device according to claim 1, characterized in that the substrates ( 21 ) themselves on the at least one side (22) project beyond the transport means ( 16 ), in particular over their entire length in the transport direction. 4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Überstand über die Transportmittel (16) in der vertikalen Projektion einige Zentimeter beträgt, vorzugsweise 5 cm bis 20 cm, wobei insbesondere der Überstand auf bewegte Teile der Transportmittel bezogen ist. 4. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the protrusion over the transport means ( 16 ) in the vertical projection is a few centimeters, preferably 5 cm to 20 cm, the protrusion in particular being related to moving parts of the transport means. 5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Abtrennung (24) zwischen der vertikalen Projektion des Substrats (21) oder der Leitmittel (130) und den Transportmitteln (16), vorzugsweise eine von unten bis kurz vor das Substrat oder die Leitmittel reichende Trennwand. 5. Device according to one of the preceding claims, characterized by a separation ( 24 ) between the vertical projection of the substrate ( 21 ) or the guide means ( 130 ) and the transport means ( 16 ), preferably one from below to just before the substrate or the guide means reaching partition. 6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch Mittel zur Erzeugung eines Lösemittelflusses im wesentlichen, vorzugsweise ausschließlich, zu der Seite mit dem Überstand über die Transportmittel (16) hin, wobei insbesondere ausschließlich an dieser Seite ein Überstand vorgesehen ist. 6. Device according to one of the preceding claims, characterized by means for generating a solvent flow substantially, preferably exclusively, to the side with the protrusion over the transport means ( 16 ), in particular a protrusion being provided exclusively on this side. 7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zur Erzeugung eines Lösemittelflusses ausgebildet sind zur Erzeugung eines selbsttätigen Lösemittelflusses zu der Seite mit dem Überstand hin, vorzugsweise mit einer seitlichen Neigung des Substrats (21) zu der Seite mit dem Überstand hin. 7. The device according to claim 6, characterized in that the means for generating a solvent flow are designed to generate an automatic solvent flow to the side with the protrusion, preferably with a lateral inclination of the substrate ( 21 ) to the side with the protrusion. 8. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel (26, 27) zur Erzeugung des Lösemittelflusses für eine aktive Erzeugung des Lösemittelflusses zu der Seite mit dem Überstand hin ausgebildet sind, wobei vorzugsweise das Lösemittel (28) mit einer zur Seite gerichteten Strahlrichtung aufgebracht wird, insbesondere in einem Winkel zwischen 90° und 30° zur Substratoberseite hin. 8. The device according to claim 6, characterized in that the means ( 26 , 27 ) for generating the solvent flow for an active generation of the solvent flow to the side with the protrusion are formed, preferably the solvent ( 28 ) with one directed to the side Beam direction is applied, in particular at an angle between 90 ° and 30 ° to the substrate top. 9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportmittel rotierende, zumindest teilweise angetriebene Transportwellen (16) sind, wobei sie vorzugsweise an den Enden dünnere Wellenachsen (15) aufweisen, mit denen die Transportwellen gelagert sind, wobei insbesondere ein Antrieb der Transportwellen über eine der Wellenachsen erfolgt. 9. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the transport means are rotating, at least partially driven transport shafts ( 16 ), preferably having at the ends thinner shaft axes ( 15 ) with which the transport shafts are mounted, in particular a drive the transport waves take place via one of the shaft axes. 10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Auffangeinrichtung vorgesehen ist für von den Substraten (21) abgeflossenes Lösemittel (28) mit darin gelösten Schichtbestandteilen, wobei vorzugsweise die Auffangeinrichtung an einer Seite der Transportmittel (16) angeordnet ist, insbesondere an der Seite mit dem Überstand. 10. Device according to one of the preceding claims, characterized in that a collecting device is provided for from the substrates ( 21 ) flowed off solvent ( 28 ) with layer components dissolved therein, wherein the collecting device is preferably arranged on one side of the transport means ( 16 ), in particular on the side with the supernatant. 11. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Filtereinrichtung für das abgeflossene Lösemittel (16) vorgesehen ist, die einen Hydrozyklon und einen Filter aufweist, wobei vorzugsweise dem Hydrozyklon eine Zerkleinerungsvorrichtung für die Schichtbestandteile in dem Lösemittel vorgeschaltet ist. 11. The device according to any one of the preceding claims, characterized in that a filter device for the drained solvent ( 16 ) is provided, which has a hydrocyclone and a filter, wherein preferably a comminution device for the layer components in the solvent is connected upstream of the hydrocyclone. 12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Zerkleinerungsvorrichtung eine Schneideinrichtung mit umlaufenden Schneiden, vorzugsweise drehenden Messerscheiben, aufweist. 12. The apparatus according to claim 11, characterized in that the Shredding device with a cutting device circumferential cutting edges, preferably rotating knife disks, having. 13. Vorrichtung nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Filter ein Bandfilter ist, vorzugsweise mit einer Sammeleinrichtung für ausgefilterte Schichtbestandteile. 13. The apparatus according to claim 11 or 12, characterized in that that the filter is a band filter, preferably with a Collecting device for filtered layer components. 14. Verfahren zum Lösen von Schichten von der Oberseite von flächigen Substraten (21) unter Aufbringung von die Schichten lösendem Lösemittel (28), wobei die Substrate auf Transportmitteln (16) transportiert werden, dadurch gekennzeichnet, dass ein Lösemittelfluss über eine Seite (22) der Substrate (21) hinaus erzeugt wird, wobei der Lösemittelfluss in der vertikalen Projektion außerhalb der Transportmittel (16) auf dieser Seite und mit Abstand zu den Transportmitteln verläuft. 14. A method for detaching layers from the top of flat substrates ( 21 ) by applying solvent ( 28 ) which removes the layers, the substrates being transported on transport means ( 16 ), characterized in that a solvent flow over one side (22) of the substrates ( 21 ) is generated, the solvent flow in the vertical projection running outside the transport means ( 16 ) on this side and at a distance from the transport means. 15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass der Lösemittelfluss durch eine Schrägstellung des Substrats (21) zu der Seite (22) mit dem Lösemittelfluss hin erzeugt wird, wobei vorzugsweise der Lösemittelfluss selbsttätig eintritt. 15. The method according to claim 14, characterized in that the solvent flow is generated by an inclination of the substrate ( 21 ) to the side (22) with the solvent flow, wherein preferably the solvent flow occurs automatically. 16. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass der Lösemittelfluss durch seitlich gerichtetes Strahlen oder Spritzen des Lösemittels (28) erzeugt wird, wobei er vorzugsweise das Lösemittel über Düsen (26, 27) ausgebracht wird und insbesondere alle Düsen zur Seite gerichtet sind. 16. The method according to claim 14, characterized in that the solvent flow is generated by laterally directed blasting or spraying of the solvent ( 28 ), wherein the solvent is preferably applied via nozzles ( 26 , 27 ) and in particular all nozzles are directed to the side. 17. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass ein Lösemittelfluss über eine Seite (22) der Substrate (21) hinaus an den Transportmitteln (16) vorbei dadurch erzeugt wird, dass die Substrate selber oder flüssigkeitsleitend daran anschließende Leitelemente (130) in der vertikalen Projektion seitlich über die Transportmittel überstehen. 17. The method according to any one of claims 14 to 16, characterized in that a solvent flow over one side (22) of the substrates ( 21 ) past the transport means ( 16 ) is generated by the fact that the substrates themselves or liquid-conducting adjoining guide elements ( 130 ) project laterally in the vertical projection over the means of transport.