DE10218936B4 - Verfahren zur Herstellung elektromechanischer Wandler - Google Patents
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Abstract
Verfahren zur Herstellung elektromechanischer Wandler, wobei in eine Form ein Schichtstapel (1, 2, 3, 4) eingebracht wird, bei dem aus einem piezoelektrischen keramischen Material hergestellte Fasern (3) mit einer auf einer Trägerschicht (1) vorgesehenen Elektrode (2) in Kontakt sind, wobei die Fasern (3) mit einem fließfähigen Kunststoff umgeben werden und der Kunststoff zur Bildung einer Matrix anschließend ausgehärtet wird, dadurch gekennzeichnet, dass
a) als Kunststoff ein Kunststoff verwendet wird, der in einen viskoelastischen Zustand mit folgenden Parameter überführbar ist:
Speichermodul G' bei 1 Hz: > 1 Pa, vorzugsweise > 1000 Pa,
Verlustmodul G'' bei 1 Hz: > 100 Pa, vorzugsweise > 5000 Pa,
b) der Kunststoff im viskoelastischen Zustand durch Aufbringen eines Drucks auf den Schichtstapel (1, 2, 3, 4) verpresst wird und
c) der Kunststoff verfestigt und der gebildete Schichtverbund entformt wird.
a) als Kunststoff ein Kunststoff verwendet wird, der in einen viskoelastischen Zustand mit folgenden Parameter überführbar ist:
Speichermodul G' bei 1 Hz: > 1 Pa, vorzugsweise > 1000 Pa,
Verlustmodul G'' bei 1 Hz: > 100 Pa, vorzugsweise > 5000 Pa,
b) der Kunststoff im viskoelastischen Zustand durch Aufbringen eines Drucks auf den Schichtstapel (1, 2, 3, 4) verpresst wird und
c) der Kunststoff verfestigt und der gebildete Schichtverbund entformt wird.
Description
- Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung elektromechanischer Wandler nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
- Ein solches Verfahren ist aus der
US 6,048,622 bekannt. Bei dem bekannten Verfahren wird auf einen aus Polytetrafluorethylen hergestellten Boden einer Form eine aus Polyimid hergestellte Folie gelegt, die an ihrer dem Formhohlraum zugewandten Seite mit einer Elektrode versehen ist. Auf die Elektrode werden in paralleler Ausrichtung piezoelektrische Fasern gelegt. Dann wird flüssiges Epoxidharz in die Form gegossen. Zur Beschleunigung des Aushärtens wird das Epoxidharz etwa eine Stunde lang auf eine Temperatur von 60° C erwärmt. Nach dem Aushärten wird das gebildete Komposit entformt. - Die so hergestellten Komposite weisen einen mangelhaften elektrischen Kontakt zwischen den Fasern und der Elektrode auf. Das kann insbesondere anhand von Hysteresemessungen nachgewiesen werden. Es wird angenommen, dass sich bei der Herstellung des Komposits zwischen den Fasern und der Elektrode eine Schicht aus Epoxidharz ausbildet.
- Um diesem Nachteil entgegenzuwirken, ist es aus der.
US 6,048,622 auch bekannt, zunächst lediglich aus den Fasern und dem Epoxidharz ein Komposit herzustellen. Das Komposit wird anschließend an seiner Ober- und Unterseite abgeschliffen, so dass die Fasern oberflächlich freigelegt sind. Anschließend wird mittels Aufdampfen bzw. Sputtern eine die Elektrode bildende Metallschicht auf die Ober- und Unterseite aufgebracht. – Dieses Verfahren erfordert einen hohen Zeit- und Kostenaufwand. - Aus der WO 00/02265 ist ein weiteres Verfahren zur Herstellung elektromechanischer Wandler bekannt. Dabei werden die piezoelektrischen Fasern abschnittsweise mit einem leitfähigen Klebstoff umgossen, der nach dem Aushärten die Elektrode bildet. Bei elektromechanischen Wandlern sind die Elektroden üblicherweise fein strukturiert. Die Herstellung fein strukturierter Elektroden durch Umgießen der Fasern ist zeitaufwändig und kompliziert. Das bekannte Verfahren ermöglicht nicht die kostengünstige Massenfertigung elektromechanischer Wandler.
- Aufgabe der Erfindung ist es, die Nachteile nach dem Stand der Technik zu beseitigen. Es soll insbesondere ein Verfahren angegeben werden, mit dem elektromechanische Wandler einfach, schnell und kostengünstig hergestellt werden können. Die Herstellung soll möglichst in einem Endlosverfahren durchführbar sein. Nach einem weiteren Ziel der Erfindung sollen die elektromechanischen Wandler außerdem eine verbesserte mechanische und piezoelektrische Qualität aufweisen.
- Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. Zweckmäßige Ausgestaltungen ergeben sich aus den Merkmalen der Ansprüche 2 bis 20.
- Nach Maßgabe der Erfindung sind die folgenden Schritte vorgesehen:
- a) als Kunststoff ein Kunststoff verwendet wird, der in einen viskoelastischen Zustand mit folgenden Parameter überführbar ist: Speichermodul G' bei 1 Hz: > 1 Pa, vorzugsweise > 1000 Pa, Verlustmodul G'' bei 1 Hz: > 100 Pa, vorzugsweise > 5000 Pa,
- b) der Kunststoff im viskoelastischen Zustand durch Aufbringen eines Drucks auf den Schichtstapel verpresst wird und
- c) der Kunststoff verfestigt und der gebildete Schichtverbund entformt wird.
- Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren können hochflexible dünne mechanische Wandler hergestellt werden. Die hohe Flexibilität der elektromechanischen Wandler wirkt einer Materialermüdung entgegen und erhöht deren Lebensdauer. Die Elektroden können einfach, z.B. mittels Siebdruck, auf die Trägerschicht aufgebracht werden. Indem der elektromechanische Wandler durch Verpressen eines Kunststoffs im viskoelastischen Zustand mit den vorgenannten Parametern hergestellt wird, wird ein besonders guter Kontakt zwischen den Fasern und der Elektrode erreicht. Es ist ein ausgeprägter Piezoeffekt messbar. Das vorgeschlagene Verfahren kann einfach und mit geringem Kostenaufwand durchgeführt werden.
- Das Speichermodul G' beschreibt den elastischen Anteil der viskoelastischen Eigenschaft. Bei den nach dem Stand der Technik verwendeten Epoxidharzen ist der elastische Anteil äußerst gering. Das Speichermodul G' eines Epoxidharzes liegt im Bereich von 0,1 Pa. Insbesondere die durch das Speichermodul G' beschriebene Elastizität des Kunststoffs trägt dazu bei, dass dieser nicht zwischen die Fasern und die Elektrode fließt; die Fasern liegen ohne Ausbildung einer Zwischenschicht unmittelbar an der Elektrode an. Es wird ein verbesserter elektrischer Kontakt gewährleistet. Das Verlustmodul G'' beträgt bei einem nach dem Stand der Technik verwendeten Epoxidharz etwa 20 Pa. Im erfindungsgemäß vorgeschlagenen viskoelastischen Zustand weist der Kunststoff ein dem viskosen Anteil der viskoelastischen Eigenschaft beschreibenden Verlustmodul G'' von mehr als 100 Pa, vorzugsweise mehr als 5000 Pa, auf. Das Verpressen des Kunststoffs im viskoelastischen Zustand trägt wesentlich zu den verbesserten Eigenschaften des elektromechanischen Wandlers bei.
- Der Kunststoff ist zweckmäßigerweise ein thermoplastischer Kunststoff, der durch Aufheizen auf eine Temperatur oberhalb der Glasübergangstemperatur in den viskoelastischen Zustand überführt wird. Im Temperaturbereich oberhalb der Glasübergangstemperatur zeigen die meisten thermoplastischen Kunststoffe zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens geeignete viskoelastische Eigenschaften.
- Als thermoplastischer Kunststoff kann einer der folgenden Kunststoffe verwendet werden: Polyethylen (PE), Polypropylen (PP), Polystyrol (PS), Polyvinylchlorid (PVC), Polyacrylnitril (PAN), Polyamid (PA), Polyester (PES), Polyacrylate, Polyimide (PEI), Polymethylmethacrylat (PMMA), Polyurethan (PUR), Polycarbonat (PC), Fluorkunststoffe (PTFE, PFA, PVDF), Polyetheretherketon (PEEK), Schwefelpolymere (PSU, PES).
- Es ist aber auch mögliche, dass der Kunststoff ein Harz ist, das durch Abkühlen oder Zumischen eines Verstärkungskomponente in den viskoelastischen Zustand überführt wird. Der Kunststoff kann im ausgehärteten Zustand ein duroplastischer Kunststoff sein. Nach einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung ist das Harz aus einem der folgenden Kunststoffe gebildet: Formaldehyd-Formmassen (PF, RF, CF, XF, FF, MF, UF, MUF, MUPF), ungesättigtes Polyester-Harz (UP), Vinyl-Harz (VE), Vinylesterurethane (VU), Epoxid-Harz (EP), Diallyphtalat-Harz, Allylester (PDAP), Silikon-Harz (SI). Dem Harz kann als Verstärkungskomponente eine der folgenden Stoffe zugesetzt werden: Kohlenstoff, PAN, Polyester, Glasfaser, Aramid oder mindestens einem der vorgenannten Kunststoffe. Die Verstär kungskomponente kann aber auch aus einem der folgenden Stoffe hergestellt sein: Kohlenstoff, PAN, Polyester, Glasfaser, Aramid. Die Verstärkungskomponente kann z.T. auch als Vlies oder Gewebe vorliegen.
- Es hat sich weiter als zweckmäßig erwiesen, dass beim Schritt fit. b ein Druck von 1 bis 50 bar, vorzugsweise 5 bis 10 bar, auf den Schichtstapel aufgebracht wird. Ein solcher Druck führt zu einer ausreichenden Verdichtung und zu einer innigen Verbindung des Kunststoffs mit den Fasern. Der Kunststoff dämpft im viskoelastischen Zustand den aufgebrachten Druck. Es kommt nicht zur Ausbildung von Druckspitzen an den Fasern. Im vorgeschlagenen Druckbereich kommt es nicht zu einer Zerstörung der Fasern. Der Druck kann für eine Dauer von 1 Millisekunde bis 300 Sekunden, vorzugsweise 0,1 bis 180 Sekunden, aufgebracht werden.
- Weiter hat es sich als zweckmäßig erwiesen, dass die Trägerschicht aus einem Material hergestellt ist, dessen Schmelzpunkt höher als der des Kunststoffs ist. Die Trägerschicht kann durch die, vorzugsweise als Vlies oder Gewebe ausgebildete, Verstärkungskomponente gebildet sein. In diesem Fall wird die Trägerschicht Bestandteil des elektromechanischen Wandlers. Nach einer alternativen Ausführungsform kann es aber auch sein, dass die Trägerschicht nach der Verfestigung des Kunststoffs vom Schichtverbund entfernt wird. In diesem Fall kann die Trägerschicht kann auch aus einem, ggf. mit einem Trennmittel beschichteten, Werkzeugstahl hergestellt sein. Nach einem weiteren vorteilhaften Ausgestaltungsmerkmal ist die Trägerschicht aus PTFE (Polytetrafluorethylen) hergestellt. Die darauf ursprünglich aufgebrachte Elektrode löst sich ohne weiteres von einer solchen Trägerschicht ab.
- Die Elektroden können ferner auf einem beliebigen anderen Trägermaterial aufgebracht werden. Es ist auch möglich als Trägermaterial z.B. den thermoplastischen Kunststoff zu verwenden.
- Die Elektrode kann mittels eines Druckverfahrens, vorzugsweise mittels Siebdruck, auf die Trägerschicht aufgedruckt sein. Die Anschlüsse der Elektrode werden zweckmäßigerweise vor dem Schritt lit. b jeweils mit Kabeln oder Metallfolien verbunden.
- Weiter hat es sich als zweckmäßig erwiesen, zumindest den Schritt lit. b unter Vakuum durchzuführen. Damit wird einem unerwünschten Einschluss von Gasblasen in das Komposit entgegengewirkt. Ferner ist es von Vorteil, dass der Druck unter Vermittlung einer aus PTFE hergestellten Platte auf den Schichtstapel aufgebracht wird. Alternativ dazu kann die Platte auch aus einem Werkzeugstahl hergestellt sein, der mit einem geeigneten Trennmittel beschichtet ist. Eine solche Platte verklebt mit dem Schichtstapel nicht. Es ist eine einfache Entformung möglich. Ferner kann so der Druck gleichmäßig über die Fläche verteilt auf den Schichtstapel aufgebracht werden.
- Nach einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung sind die Fasern nach einem Sol-Gel-Verfahren hergestellt. Derartige Fasern sind besonders elastisch. Sie eignen sich besonders zur Herstellung eines elektromechanischen Wandlers mit einer aus thermoplastischem Kunststoff gebildeten Matrix. Hinsichtlich der Herstellung der Fasern nach dem Sol-Gel-Verfahren wird auf die
US 5,945,025 und dieDE 196 35 748 verwiesen, deren Offenbarungsgehalt hiermit einbezogen wird. - Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel des Verfahrens anhand der Zeichnung näher erläutert. Hierin zeigen:
-
1 Verschiedene Ansichten einer Trägerschicht mit Elektrode, -
2a –c schematische Ansichten verschiedener Verfahrensschritte, -
3a –g verschiedene Schichtabfolgen zur Durchführung des Verfahrens und -
4 eine elektronenmikroskopische Aufnahme eines elektromechanischen Wandlers. - In
1 ist eine beispielsweise aus PTFE hergestellter Trägerschicht1 mit strukturierten Elektroden2a ,2b versehen. Die Elektroden2a ,2b können aus einer Leitpaste oder Leitkleber auf der Basis von Silber oder Kohlenstoff bestehen, welcher z.B. mittels eines Siebdruckverfahrens auf die Trägerschicht1 aufgedruckt worden ist. Die beiden Elektroden2a und2b sind jeweils nach Art eines Rechens ausgebildet. Die Rechen der beiden Elektroden2a und2b greifen ineinander. Die Anschlussbereiche der Elektroden2a ,2b können mit einem (hier nicht gezeigten) Draht oder mit einer Metallfolie kontaktiert sein. - In den
2a bis2c sind in schematischen Schnittansichten die wesentlichen Schritte des Verfahrens gezeigt. - In
2a ist ein Schichtstapel gebildet aus der Trägerschicht1 mit den darauf aufgedruckten Elektroden2 . Auf den Elektroden2 liegen in paralleler Anordnung aus einem kerami schen Material hergestellte piezoelektrische Fasern3 . Die Fasern3 sind wiederum überlagert von einer aus einem thermoplastischen Kunststoff hergestellten Kunststoffschicht4 . Die Trägerschicht1 ist im vorliegenden Beispiel aus PTFE hergestellt. Die Elektroden2 sind durch Aufdrucken einer Leitpaste auf der Basis von mit Epoxid-Harz gebundenem Silber auf die Trägerschicht1 aufgebracht. Die piezoelektrischen Fasern3 sind nach einem Sol-Gel-Verfahren hergestellt. Sie bestehen z.B. aus Blei-Zirkonat-Titanat (PZT). Ihr Durchmesser liegt im Bereich zwischen 5 und 150 μm. Die Herstellung solcher Fasern ist z.B. in derDE 196 35 748 beschrieben. Die Kunststoffschicht4 ist im vorliegenden Beispiel aus Polyethylen hergestellt. - Der Schichtstapel wird auf eine Temperatur aufgeheizt, die etwa 10 bis 50°C oberhalb der Glasübergangstemperatur liegt, hier z.B. 140°C. Die Kunststoffschicht
4 erweicht bei dieser Temperatur und wird in einen viskoelastischen Zustand überführt. Unter Vermittlung (hier nicht gezeigten) Teflonplatte wird nun ein Druck von etwa 10 bar auf die Kunststoffschicht4 ausgeübt. - Aus
2b ist ersichtlich, dass durch den ausgeübten Druck die Kunststoffschicht4 verformt wird. Sie umgibt die Fasern3 und die Elektroden2 . - Nach dem Abkühlen wird die aus PTFE gebildete Trägerschicht
1 abgezogen, anschließend werden in einem weiteren (hier nicht gezeigten) Verfahrensschritt die Elektroden2 kontaktiert. Selbstverständlich ist es auch möglich, die Elektroden2 vor dem in2a gezeigten Schritt des Heispressens mit einem Draht zu verbinden. In diesem Fall wird der Draht vorteilhafterweise zum Teil ebenfalls Bestandteil des Komposits. Die Verbindung zwischen dem Draht und den Elektroden2 ist besonders haltbar. - Die
3a bis3g zeigen verschiedene Möglichkeiten des Aufbaus des Schichtstapels.3a zeigt den bereits in2a bisc beschriebenen Schichtstapel. In3b ist die Elektrode2 auf der Kunststoffschicht4 aufgedruckt. - Bei dem in
3c gezeigten Ausführungsbeispiel, sind die Fasern3 beidseitig mit Elektroden2 versehen. Die eine Elektrode2 ist auf der Trägerschicht1 , die andere Elektrode2 auf der Kunststoffschicht4 angebracht. - Bei dem in
3d gezeigten Ausführungsbeispiel eines Schichtstapels sind die Elektroden2 jeweils auf der Oberfläche der Kunststoffschicht4 angebracht. Die Fasern3 sind wiederum beidseits mit den Elektroden2 in Kontakt. - Bei denen in
3b ,3c und3d gezeigten Schichtstapeln wird jeweils die auf der Kunststoffschicht4 angebrachte Elektrode nach dem Heispressen integraler Bestandteil des Komposits. - Die in den
3e –3g gezeigten Ausführungsbeispiele zeigen Schichtstapel zur Herstellung von elektromechanischen Wandlern mit jeweils zwei einander gegenüberliegenden aus den Fasern3 gebildeten Schichten. Die Kunststoffschicht4 kann dabei in der Mitte angeordnet sein (siehe3e und3g ). Sie kann aber auch eine Ober- und Unterseite des Schichtstapels bilden (siehe3f ). Bei den in den3e und3f gezeigten Ausführungsbeispielen ist die Elektrode2 jeweils auf der Trägerschicht3 aufgebracht. In diesem Fall ist die Trägerschicht zweckmäßigerweise als Verstärkungskomponente z.B. in Form eines aus Fasern hergestellten Vlieses oder Gewebes aus gebildet. Bei dem in3g gezeigten Ausführungsbeispiel ist die Elektrode auf der Kunststoffschicht4 aufgebracht. - Das vorliegende Verfahren ermöglicht auf einfache und kostengünstige Weise die Herstellung elektromechanischer Wandler im Endlosverfahren. Das Verpressen eines thermoplastischen Kunststoffs im viskoelastischen Zustand führt überraschenderweise weder zu einer Zerstörung noch zu einem Umfließen der Fasern
3 im Kontaktbereich zu den Elektroden2 . Es bildet sich ein besonders guter elektrischer Kontakt zwischen den Fasern3 und den Elektroden2 aus. Das wird insbesondere auf die elastischen Eigenschaften des thermoplastischen Kunststoffs beim Verpressen zurückgeführt. -
4 zeigt eine rasterelektronenmikroskopische Aufnahme eines nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten elektromechanischen Wandlers. Deutlich erkennbar haben eine Vielzahl von Fasern3 einen unmittelbaren Flächenkontakt mit der Elektrode z. Bei einem kleinen Anteil der Fasern3 ist zwischen deren Oberfläche und der Elektrode eine aus dem thermoplastischen Kunststoff4 bestehende Schicht ausgebildet. Insgesamt weist der gezeigte elektromechanische Wandler im Vergleich zu nach dem Stand der Technik bekannten elektromechanischen Wandlern einen drastisch verbesserten Kontakt der Fasern3 zur Elektrode2 auf. Die piezoelektrischen Eigenschaften sind erheblich verbessert. -
- 1
- Trägerschicht
- 2, 2a, 2b
- Elektrode
- 3
- Faser
- 4
- Kunststoffschicht
Claims (20)
- Verfahren zur Herstellung elektromechanischer Wandler, wobei in eine Form ein Schichtstapel (
1 ,2 ,3 ,4 ) eingebracht wird, bei dem aus einem piezoelektrischen keramischen Material hergestellte Fasern (3 ) mit einer auf einer Trägerschicht (1 ) vorgesehenen Elektrode (2 ) in Kontakt sind, wobei die Fasern (3 ) mit einem fließfähigen Kunststoff umgeben werden und der Kunststoff zur Bildung einer Matrix anschließend ausgehärtet wird, dadurch gekennzeichnet, dass a) als Kunststoff ein Kunststoff verwendet wird, der in einen viskoelastischen Zustand mit folgenden Parameter überführbar ist: Speichermodul G' bei 1 Hz: > 1 Pa, vorzugsweise > 1000 Pa, Verlustmodul G'' bei 1 Hz: > 100 Pa, vorzugsweise > 5000 Pa, b) der Kunststoff im viskoelastischen Zustand durch Aufbringen eines Drucks auf den Schichtstapel (1 ,2 ,3 ,4 ) verpresst wird und c) der Kunststoff verfestigt und der gebildete Schichtverbund entformt wird. - Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Kunststoff ein thermoplastischer Kunststoff ist, der durch Aufheizen auf eine Temperatur oberhalb der Glasübergangstemperatur in den viskoelastischen Zustand überführt wird.
- Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei als thermoplastischer Kunststoff einer der folgenden Kunststoffe verwendet wird: Polyethylen (PE), Polypropylen (PP), Polystyrol (PS), Polyvinylchlorid (PVC), Polyacrylnitril (PAN), Polyamid (PA), Polyester (PES), Polyacrylate, Polyimide (PEI), Polymethylmethacrylat (PMMA), Polyurethan (PUR}, Polycarbonat (PC), Fluorkunststoffe (PTFE, PFA, PVDF), Polyetheretherketon (PEEK), Schwefelpolymere (PSU, PES).
- Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Kunststoff ein Harz ist, das durch Abkühlen oder Zumischen einer Verstärkungskomponente in den viskoelastischen Zustand überführt wird.
- Verfahren nach Anspruch 4, wobei der Kunststoff im ausgehärteten Zustand ein duroplastischer Kunststoff ist.
- Verfahren nach einem der Ansprüche 4 oder 5, wobei das Harz aus einem der folgenden Kunststoffe gebildet ist: Formaldehyd-Formmassen (PF, RF, CF, XF, FF, MF, UF, MUF, MUPF), ungesättigtes Polyester-Harz (UP), Vinyl-Harz (VE), Vinylesterurethane (VU), Epoxid-Harz (EP), Diallyphtalat-Harz, Allylester (PDAP), Silikon-Harz (SI).
- Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 6, wobei dem Harz als Verstärkungskomponente einer der folgenden Stoffe zugesetzt wird: Kurz- oder Langfasern, Fasergelege, Fasergewirke, Fasergeflecht, Fasergewebe, Faservlies, Fasermatten, Granulat, Sphären, Pulver oder Schäume.
- Verfahren nach Anspruch 7, wobei die Verstärkungskomponente aus dem der folgenden Stoffe hergestellt ist: Kohlenstoff, PAN, Polyester, Glasfaser, Aramid oder mindestens einem der in Anspruch 6 genannten Kunststoffe.
- Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei beim Schritt lit. c ein Druck von 1 bis 50 bar, vorzugsweise 5 bis 10 bar, auf den Schichtstapel (
1 ,2 ,3 ,4 ) aufgebracht wird. - Verfahren nach Anspruch 9, wobei der Druck für eine Dauer von 1 Millisekunde bis 300 Sekunden, vorzugsweise 0,1 bis 180 Sekunden, aufgebracht wird.
- Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Trägerschicht (
1 ) aus einem Material hergestellt ist, deren Schmelzpunkt höher als der des Kunststoffs ist. - Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Trägerschicht (
1 ) durch die, vorzugsweise als Vlies oder Gewebe ausgebildete, Verstärkungskomponente gebildet ist. - Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei nach Verfestigung des Kunststoffs die Trägerschicht (
1 ) vom Schichtverbund entfernt wird. - Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Trägerschicht (
1 ) aus einem, ggf. mit einem Trennmittel beschichteten, Werkzeugstahl hergestellt ist. - Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Trägerschicht (
1 ) aus PTFE hergestellt ist. - Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Elektrode (
2 ) mittels eines Druckverfahrens, vorzugsweise mittels Siebdruck, auf die Trägerschicht (1 ) aufgedruckt ist. - Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Anschlüsse der Elektrode (
2 ) vor dem Schritt lit. b jeweils mit Kabeln oder Metallfolien verbunden werden - Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei zumindest der Schritt lit. b unter Vakuum durchgeführt wird.
- Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Druck unter Vermittlung einer aus PTFE hergestellten Platte auf den Schichtstapel (
1 ,2 ,3 ,4 ) aufgebracht wird. - Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Fasern (
3 ) nach einem Sol-Gel-Verfahren hergestellt werden.
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