DE10215284B4 - Method and apparatus for drying substrates - Google Patents
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Abstract
Verfahren
zum Trocknen von Substraten (S), wobei die Substrate (S) in einem
mindestens ein Trägerelement
(2, 3) sowie mindestens ein Trägergegenelement
(4) aufweisenden Träger
(T) aufgenommen sind, welcher in eine Behandlungsflüssigkeit
eingetaucht ist, mit folgenden Schritten:
a) Erzeugen einer
Relativbewegung zwischen dem Träger (T)
und einer Oberfläche
(FO) der Behandlungsflüssigkeit, bis
das Trägergegenelement
(4) sich vollständig
oberhalb der Oberfläche
(FO) der Behandlungsflüssigkeit
befindet und das Trägerelement
(2, 3) in die Behandlungsflüssigkeit eingetaucht
ist,
b) Abheben der Substrate (S) vom eingetauchten Trägerelement
(2, 3) mittels einer ersten Hubeinrichtung, so dass die Substrate
(S) im Träger
(T) in einer am Trägerelement (2,
3) vorgesehenen Haltevorrichtung (5) von einer ersten Position in
eine zweite Position verschoben werden,
c) weitere Relativbewegung
zwischen dem Träger
(T) und der Oberfläche
(FO) der Behandlungsflüssigkeit
bis das Trägerelement
(2, 3) sich vollständig
oberhalb der Oberfläche
(FO) der Behandlungsflüssigkeit
befindet und
d) Abstützen
der Substrate...Method for drying substrates (S), wherein the substrates (S) are accommodated in a carrier (T) having at least one carrier element (2, 3) and at least one carrier counter element (4), which is immersed in a treatment liquid, with the following steps :
a) generating a relative movement between the carrier (T) and a surface (FO) of the treatment liquid until the counter carrier element (4) is completely above the surface (FO) of the treatment liquid and the carrier element (2, 3) is immersed in the treatment liquid .
b) lifting the substrates (S) from the immersed carrier element (2, 3) by means of a first lifting device, so that the substrates (S) in the carrier (T) in a holding device (5) provided on the carrier element (2, 3) of a first Position to be moved to a second position,
c) further relative movement between the carrier (T) and the surface (FO) of the treatment liquid until the carrier element (2, 3) is completely above the surface (FO) of the treatment liquid and
d) supporting the substrates ...
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Trocknen von Substraten.The The invention relates to a method and an apparatus for drying of substrates.
Aus
der
Das bekannte Verfahren ist zeitaufwendig, weil nacheinander die Substrate und dann der Träger getrocknet werden. Beim Verfahren werden in der Behandlungsflüssigkeit mitunter Gasbläschen gebildet oder erzeugt. Diese können an der Oberfläche der Substrate anhaften. Es kann infolgedessen insbesondere bei dünnen Substraten ein Auftrieb entstehen, welcher die Substrate aus dem Träger heraushebt. Beim Herausheben der im Träger aufgenommenen Substrate können diese außerdem uner wünschterweise aneinanderliegen. Dabei kann Behandlungsflüssigkeit herausgeschleppt werden. Ein kontrolliertes rückstandsfreies Trocknen findet an den Kontaktstellen nachteiligerweise nicht statt.The known method is time consuming, because successively the substrates and then dried the carrier become. In the process, in the treatment liquid sometimes gas bubbles formed or generated. these can on the surface of the Attach substrates. As a result, it can be used especially on thin substrates create a lift, which lifts the substrates out of the carrier. When lifting out in the vehicle recorded substrates can these as well undesirably against one another. In this case, treatment liquid can be dragged out. A controlled residue-free Drying disadvantageously does not take place at the contact points.
Aus
der
Bei dem aus der WO 98/14282 bekannten Verfahren ist zusätzlich ein Tropfen-Ableitelement vorgesehen, mit dem eventuell an der Unterkante der Substrate hängende Tropfen beim Herausheben derselben über der Flüssigkeitsoberfläche abgeleitet werden können.at the method known from WO 98/14282 is additionally a Drop-discharge provided, with the possibly at the lower edge the substrates hanging Drops when lifting them are derived above the liquid surface can.
Bei den beiden vorgenannten Verfahren werden die Substrate zum Trocknen vollständig vom Träger abgehoben und in ein Aufnahmeelement geschoben. Sie werden nach dem Trocknen des Trägers wieder auf diesem abgestützt. Diese Verfahren bergen das Risiko von Fehlfunktionen. Es kann beim Überführen in das Aufnahmeelement zum Verkanten oder zum Bruch von Substraten kommen. Durch die Gleitbewegung innerhalb des Aufnahmeelements können sich Partikel lösen; es kann zu unerwünschten Kontaminationen auf der Oberfläche der Substrate kommen.at The two aforementioned methods are the substrates for drying Completely from the carrier lifted and pushed into a receptacle. They are going to drying the carrier again supported on this. These procedures carry the risk of malfunction. It can when transferring into the receiving element for tilting or breaking of substrates come. Due to the sliding movement within the receiving element can Dissolve particles; it can be too unwanted Contaminations on the surface the substrates come.
Die
Erzeugen einer Relativbewegung
zwischen dem Träger
und einer Oberfläche
der Behandlungsflüssigkeit bis
das Trägerelement
noch in die Behandlungsflüssigkeit
eingetaucht ist; Abheben der Substrate von eingetauchten Trägerelement
mittels einer ersten Hubeinrichtung, so dass die Substrate vom Träger abgehoben
werden;
weitere Relativbewegung zwischen dem Träger und der
Oberseite der Behandlungsflüssigkeit,
bis der Träger
sich vollständig
oberhalb der Oberfläche
der Behandlungsflüssigkeit
befindet und
Abstützen
der Substrate auf das oberhalb der Oberfläche der Behandlungsflüssigkeit
befindliche Trägerelement,
wobei die Substrate in am Trägerelement vorgesehenen
Haltevorrichtungen verschoben werden.The
Generating a relative movement between the support and a surface of the treatment liquid until the support member is still immersed in the treatment liquid; Lifting the substrates from submerged carrier element by means of a first lifting device, so that the substrates are lifted from the carrier;
further relative movement between the carrier and the top of the treatment liquid until the carrier is completely above the surface of the treatment liquid and
Supporting the substrates on the carrier element located above the surface of the treatment liquid, the substrates being displaced in holding devices provided on the carrier element.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung anzugeben, mit denen auf einfache Weise ein unerwünschtes Herausheben von Substraten aus dem Träger vermieden werden kann. Außerdem soll beim Herausheben des Trägers aus der Behandlungsflüssigkeit ein Aneinanderliegen der Substrate vermieden werden. Ein weiteres Ziel der Erfindung ist es, eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens bereitzustellen, die möglichst einfach aufgebaut ist.task the invention is to provide a method and a device, with which in a simple way an undesirable lifting of substrates from the carrier can be avoided. Furthermore should when lifting the carrier from the treatment liquid Aneinanderliegen the substrates are avoided. Another one The aim of the invention is to provide a device for carrying out the To provide method that is as simple as possible.
Die verfahrensseitige Aufgabe wird mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Zweckmäßige Ausgestaltungen ergeben sich aus den Merkmalen der Ansprüche 2 bis 15.The procedural task is with the features of claim 1 solved. Advantageous embodiments emerge from the features of claims 2 to 15.
Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht ein vollständiges Trocknen der Substrate. Gleichzeitig wird ein Herausheben der in die Behandlungsflüssigkeit eingetauchten Substrate aus dem Träger sicher vermieden. Ein Aneinanderliegen beim Herausheben wird ebenfalls vermieden.The inventive method allows a complete one Drying the substrates. At the same time a lifting of the in the treatment liquid Submerged substrates from the carrier safely avoided. A juxtaposition when lifting is also avoided.
Nach einer Ausgestaltung sind das Trägerelement und die Haltevorrichtung beim Verschieben der Substrate von der zweiten Position in die erste Position trocken. Damit wird verhindert, dass eventuell am Trägerelement anhaftende Behandlungsflüssigkeit die Substrate nach dem Herausheben wieder benetzt. Eine durch eine solche Benetzung verursachte unerwünschte Kontamination der Substrate wird vermieden.According to one embodiment, the carrier element and the holding device are dry when moving the substrates from the second position to the first position. This prevents eventu ell adhering to the carrier element treatment liquid wets the substrates after lifting again. An undesirable contamination of the substrates caused by such wetting is avoided.
Zweckmäßigerweise werden die Substrate zwischen der ersten und zweiten Position mittels der ersten Hubeinrichtung um höchstens 10 mm, vorzugsweise 3 bis 5 mm, verschoben. Die vorerwähnten Merkmale ermöglichen die Durchführung des Verfahrens mit einer konstruktiv besonders einfach ausgeführten Vorrichtung.Conveniently, the substrates between the first and second position by means the first lifting device at most 10 mm, preferably 3 to 5 mm, shifted. The aforementioned features enable the implementation the method with a structurally particularly simple running device.
Nach einer weiteren Ausgestaltung werden die Substrate kontinuierlich angehoben. An den Substraten anhaftende Behandlungsflüssigkeit wird in einer kontinuierlichen Bewegung abgezogen. Damit wird verhindert, dass sich an der Grenzlinie der Behandlungsflüssigkeit zum Substrat Kontaminationen anreichern und auf dem Substrat ablagern können.To In a further embodiment, the substrates are continuous raised. On the substrates adhering treatment liquid is subtracted in a continuous motion. This prevents that accumulate contamination at the boundary line of the treatment liquid to the substrate and can deposit on the substrate.
Nach einer weiteren Ausgestaltung werden die Substrate so langsam angehoben, dass ein daran anhaftender Behandlungsflüssigkeitsfilm bis zum Abheben des Substrats von der Oberfläche der Behandlungsflüssigkeit stets in Verbindung der im Behandlungsbecken aufgenommenen Behandlungsflüssigkeit bleibt. Es wird so die Bildung isolierter Tropfen auf der Oberfläche der Substrate vermieden. Bei einer Verdunstung derartiger Tropfen besteht die Gefahr, dass Kontaminationen auf der Oberfläche des Substrats zurückbleiben.To In another embodiment, the substrates are raised so slowly, that an adhering treatment liquid film until lifting of the substrate from the surface the treatment liquid always in connection with the treatment liquid received in the treatment tank remains. It will be the formation of isolated drops on the surface of the Substrates avoided. At an evaporation of such drops the risk that contaminants will remain on the surface of the substrate.
Es hat sich als zweckmäßig erwiesen, dass die Geschwindigkeit beim Herausheben zwischen 0,1 und 20 mm/sec, vorzugsweise zwischen 0,5 mm/sec und 3,0 mm/sec, beträgt. Bei einer solchen Geschwindigkeit kann in der Regel ein unerwünschtes Abreißen des am Substrat anhaftenden Behandlungsflüssigkeitsfilms vermieden werden.It has proved to be useful that the lifting speed is between 0.1 and 20 mm / sec, preferably between 0.5 mm / sec and 3.0 mm / sec. at Such a speed can usually be an undesirable Tear off of the adhering to the substrate treatment liquid film can be avoided.
Zweckmäßigerweise werden die Substrate mittels der ersten Hubeinrichtung vollständig aus der Behandlungsflüssigkeit herausgehoben. Damit kann erreicht werden, dass die Substrate bereits vollständig trocken sind, wenn sie nachfolgend wieder vom Träger übernommen werden.Conveniently, The substrates are completely by means of the first lifting device the treatment liquid lifted. This can be achieved that the substrates already Completely are dry when they are subsequently taken over again by the wearer.
Nach einer weiteren besonders vorteilhaften Ausgestaltung weist das Trägergegenelement eine weitere Haltevorrichtung auf. In diesem Fall werden die Substrate beim Schritt lit. b in der weiteren Haltevorrichtung von einer ersten in eine zweite Position und beim Schritt lit. d von der zweiten in die erste Position verschoben. Die Substrate werden in diesem Fall also zu jedem Zeitpunkt während des Heraushebens sowohl am Trägerelement als auch am Trägergegenelement in Haltevorrichtungen gehalten. Damit wird sichergestellt, dass die Substrate jederzeit in einer vertikalen voneinander beabstandeten parallelen Position im Träger gehalten werden.To a further particularly advantageous embodiment, the carrier counter-element another holding device. In this case, the substrates become at step lit. b in the further holding device of a first in a second position and at step lit. d from the second moved to the first position. The substrates are in this case so at any time during the lifting out both on the support element as well as on the counter carrier element held in holding devices. This will ensure that the substrates at any time in a vertical spaced apart parallel position in the carrier being held.
Die Haltevorrichtung und/oder die weitere Haltevorrichtung können aus nebeneinander liegenden Zähnen oder schlitzartigen Ausnehmungen gebildet sein.The Holding device and / or the further holding device can be made adjacent teeth or slot-like recesses may be formed.
Vorteilhafterweise ist/sind das Trägergegenelement und ggf. die daran vorgesehene weitere Haltevorrichtung beim Schritt lit. b trocken. So wird eine unerwünschte Benetzung der bereits trockenen Substrate sicher vermieden.advantageously, is / are the counter carrier element and possibly the further holding device provided thereon in the step lit. b dry. Thus, an unwanted wetting of the already dry substrates safely avoided.
An einer Unterkante der Substrate eventuell hängende Tropfen können mittels eines sich von der Substratstützleiste erstreckenden Tropfenableitelements abgeleitet werden. Auch diese Maßnahme stellt ein vollständiges und kontaminationsfreies Trocknen der Substrate sicher.At a lower edge of the substrates possibly hanging drops can by means of one from the substrate support bar extending droplet derivation elements are derived. These too Measure a complete one and contamination-free drying of the substrates safely.
Nach einer weiteren besonders vorteilhaften Ausgestaltung ist zur Erzeugung der Relativbewegung eine zweite den in die Behandlungsflüssigkeit eingetauchten Träger tragende Hubeinrichtung vorgesehen, mittels derer der Träger angehoben wird. Die Bewegung der ersten Hubeinrichtung relativ zur ersten Hubeinrichtung kann mittels einer Steuereinrichtung gesteuert werden, die eine fest am Behandlungsbecken angebrachte Kulissenführung aufweist. Zweckmäßigerweise weist die erste Hubeinrichtung zwei parallel zu einem an der zweiten Hubeinrichtung vorgesehenen Hubarm verlaufende Wellen auf, an denen endständig jeweils ein Hebel vorgesehen ist, der zum Drehen der Wellen um einen vorgegebenen Winkel mit daran vorgesehenen Zapfen in die Kulissenführung eingreift. Eine solche Steuereinrichtung kann ohne großen Aufwand realisiert werden. Zur Betätigung der ersten Hubeinrichtung sind keine gesonderten Motoren oder Pneumatikzylinder erforderlich. Das vorgeschlagene Verfahren kann mittels einer konstruktiv besonders einfach ausgeführten Vorrichtung realisiert werden.To Another particularly advantageous embodiment is for generating the relative movement a second submerged in the treatment liquid carrier supporting lifting device provided by means of which the carrier is raised becomes. The movement of the first lifting device relative to the first Lifting device can be controlled by means of a control device, which has a firmly attached to the treatment basin slotted guide. Conveniently, the first lifting device has two parallel to one at the second Hubeinrichtung provided lifting arm extending waves on which terminally in each case a lever is provided which is for rotating the shafts around a predetermined angle engages with it provided pins in the slotted guide. Such a control device can be realized without much effort. For operation the first lifting device are not separate motors or pneumatic cylinders required. The proposed method can by means of a constructive very simple Device can be realized.
Nach einer weiteren Ausgestaltung weist die erste Hubeinrichtung eine Aufnahme für den Träger auf. Die Aufnahme kann an den Wellen befestigte Aufnahmehebel zum Heben und Senken des darauf aufgenommenen Trägers aufweisen. So kann der Träger zum Abstützen der Substrate auf dem Trägerelement beim Schritt lit. d mittels der ersten Hubeinrichtung abgesenkt werden.To In a further embodiment, the first lifting device has a Recording for the wearer. The holder can be attached to the shafts lifting lever for lifting and lowering the carrier received thereon. So can the wearer to support the substrates on the support element at step lit. D lowered by means of the first lifting device become.
Ferner weist die erste Hubeinrichtung vorteilhafterweise eine fest am Hubarm angebrachte Substratstützleiste auf, auf der die Substrate bei relativ zum Hubarm abgesenktem Träger abgestützt werden können.Further the first lifting device advantageously has a fixed to the lifting arm attached substrate support bar on, on which the substrates are supported at relative to the lifting arm lowered carrier can.
Nach einer alternativen Ausführungsform kann zur Erzeugung der Relativbewegung auch Behandlungsflüssigkeit aus dem Behandlungsbecken entfernt werden. Dazu kann z. B. ein Boden des Behandlungsbeckens ein Ablauf mit einem steuerbaren Ventil vorgesehen sein. Durch entsprechende Ansteuerung des Ventils kann eine kontinuierliche Absenkung der Oberfläche der Behandlungsflüssigkeit relativ zum z. B. auf den Boden des Behandlungsbeckens abgestellten Träger erreicht werden. Die erste Hubeinrichtung ist in diesem Fall ebenfalls im Bereich des Bodens des Behandlungsbeckens unterhalb des Trägers angebracht.According to an alternative embodiment For the production of the relative movement, treatment liquid can also be removed from the treatment tank. This can z. B. a bottom of the treatment tank a drain can be provided with a controllable valve. By appropriate control of the valve, a continuous lowering of the surface of the treatment liquid relative to the z. B. parked on the floor of the treatment tank carrier can be achieved. The first lifting device is also mounted in this case in the region of the bottom of the treatment basin below the carrier.
Die vorrichtungsseitige Aufgabe der Erfindung wird mit den Merkmalen des Anspruchs 16 gelöst. Zweckmäßige Ausgestaltungen ergeben sich aus den Merkmalen der Ansprüche 18 bis 52.The Device-side object of the invention is with the features of claim 16 solved. Advantageous embodiments result from the features of claims 18 to 52.
Die vorgeschlagene Vorrichtung ist besonders einfach und kompakt ausgebildet.The proposed device is particularly simple and compact.
Nach einer Ausgestaltung ist eine Steuereinrichtung zur Steuerung der Bewegung der ersten Hubeinrichtung relativ zur zweiten Hubeinrichtung vorgesehen. Mittels der Steuereinrichtung ist die Bewegung der ersten Hubeinrichtung relativ zur zweiten Hubeinrichtung zweckmäßigerweise derart steuerbar, dass die Substrate im Träger vom Trägerelement abgehoben und in einer am Trägerelement vorgesehenen Haltevorrichtung von einer ersten Position in eine zweite Position verschiebbar sind, wenn ein Trägergegenelement sich vollständig oberhalb einer Oberfläche der Behandlungsflüssigkeit befindet und das Trägerelement in die Behandlungsflüssigkeit eingetaucht ist, und die Substrate in der Haltevorrichtung von der zweiten Position wieder in die erste Position verschiebbar und auf das Trägerelement abstützbar sind, wenn das Trägerelement oberhalb der Flüssigkeitsoberfläche sich befindet. Eine solche Steuereinrichtung ermöglicht ein vollständig trockenes Herausheben der Substrate aus der Behandlungsflüssigkeit.To an embodiment is a control device for controlling the Movement of the first lifting device relative to the second lifting device intended. By means of the control device is the movement of the first Lifting device relative to the second lifting device expediently Controlled such that the substrates in the carrier lifted from the support element and in one on the carrier element provided holding device from a first position into a second position are displaced when a counter carrier element is completely above a surface the treatment liquid located and the support element into the treatment liquid immersed, and the substrates in the fixture of the second position back to the first position and on the carrier element supportable are when the carrier element above the surface of the liquid itself located. Such a control device allows a completely dry Lifting out the substrates from the treatment liquid.
Bei einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung weist die Steuereinrichtung eine fest am Behandlungsbecken angebrachte Kulissenführung auf. Die erste Hubeinrichtung weist zweckmäßigerweise zwei parallel zu einem an der ersten Hubeinrichtung vorgesehenen Hubarm verlaufende Wellen auf, an denen endständig jeweils ein Hebel vorgesehen ist, der zum Drehen der Wellen um einen vorgegebenen Winkel mit daran vorgesehenen Zapfen in die Kulissenführung eingreift. Eine solche mechanische Steuerung der ersten Hubeinrichtung ist besonders einfach realisierbar. Sie ist reparaturunanfällig.at a particularly advantageous embodiment, the control device a firmly attached to the treatment basin slotted guide on. The first lifting device expediently has two parallel to a provided on the first lifting device lifting arm extending Waves on where terminal in each case a lever is provided which is for rotating the shafts around a predetermined angle engages with it provided pins in the slotted guide. Such a mechanical control of the first lifting device is particularly easy to implement. It is not prone to repair.
Die erste Hubeinrichtung kann eine Aufnahme für den Träger aufweisen, wobei die Aufnahme an den Wellen befestigte Aufnahmehebel zum Heben und Senken des darauf aufgenommenen Trägers aufweisen kann. Die erste Hubeinrichtung kann ferner eine fest am Hubarm angebrachte Substratstützleiste aufweisen. Zweckmäßigerweise ist der Träger mittels der Aufnahmehebel relativ zur Substratstützleiste in der Höhe um höchstens 10 mm, vorzugsweise um 3 bis 5 mm, bewegbar. Mit den vorer wähnten Merkmalen kann die Vorrichtung besonders einfach und effizient ausgestaltet werden.The first lifting device may have a receptacle for the carrier, wherein the recording Mounted lever mounted on the shafts for lifting and lowering the have recorded on it carrier can. The first lifting device may also be a fixedly mounted on the lifting arm Substrate supporting strip exhibit. Conveniently, is the carrier by means of the take-up lever relative to the substrate support bar in height by at most 10 mm, preferably 3 to 5 mm, movable. With the aforementioned features The device can be designed particularly simple and efficient become.
Nach einer weiteren Ausgestaltung ist an der Substratstützleiste ein sich davon erstreckendes Tropfenableitelement vorgesehen. Bei einem solchen Tropfenableitelement kann es sich um eine flexible Kunststoffzunge handeln, welche an einem tiefsten Punkt der Substrate anliegt, wenn diese auf der Substratstützleiste abgestützt sind. Die Substratstützleiste kann nach Art eines U-Profils mit zwei parallel zueinander angeordneten Stützschenkeln ausgebildet sein. Ein die Stützschenkel verbindender Boden des U-Profils kann eine Vielzahl von Durchbrüchen aufweisen. Das gewährleistet ein Ablaufen der Behandlungsflüssigkeit beim Herausheben der Substratstützleiste.To a further embodiment is on the substrate support bar an extending therefrom Tropfenableitelement provided. at Such a droplet discharge element may be a flexible one Act plastic tongue, which at a lowest point of the substrates is present, if they are supported on the substrate support bar. The substrate support bar can be arranged in the manner of a U-profile with two parallel to each other Support legs formed be. A the support legs connecting bottom of the U-profile may have a variety of breakthroughs. That guarantees a drainage of the treatment liquid when lifting out the substrate support bar.
Die Substratstützleiste ist zweckmäßigerweise aus einem besonders verschleißfesten Kunststoff, vorzugsweise aus Ultem®, hergestellt. Dadurch wird eine Beschädigung der Substratstützleiste durch das wiederkehrende Abstützen von scharfkantigen Substraten vermieden.The substrate support strip is suitably made of a highly wear-resistant plastic, preferably of Ultem ®. As a result, damage to the substrate support bar is avoided by the recurrent support of sharp-edged substrates.
Das Trägerelement und das Trägergegenelement können mindestens zwei einander gegenüberliegende Wände des Trägers verbinden. Das Trägergegenelement ist zweckmäßigerweise bezüglich des Trägerelements so angeordnet oder ausgebildet, dass damit eine Bewegung der Substrate in Vertikalrichtung begrenzbar ist, und die Substrate lediglich schräg bezüglich der Vertikalrichtung be- bzw. entladbar sind. Ein solcher Träger lässt sich einfach handhaben. Es wird gleichzeitig damit ein Aufschwimmen der Substrate in der Behandlungsflüssigkeit sicher vermieden.The support element and the carrier counter element can at least two opposing ones Walls of the carrier connect. The carrier counter element is expediently concerning the support element arranged or formed so as to allow movement of the substrates can be limited in the vertical direction, and the substrates only obliquely with respect to the Vertical direction can be loaded or unloaded. Such a carrier can be easy to handle. It is at the same time a floating up of the Substrates in the treatment liquid safely avoided.
Das Trägerelement kann als Haltemittel schlitzartige Ausnehmungen oder Zähne aufweisen. Die Zähne sind zweckmäßigerweise so auf dem Trägerelement angebracht, dass ein Zahngrund der Zähne auf der oberen Scheitellinie des Trägerelements liegt. Das Trägergegenelement kann in Richtung des Trägerelements weisende als schlitzartige Ausnehmungen oder Zähne ausgebildete weitere Haltemittel aufweisen. Die Zähne können so auf dem Trägergegenelement angebracht sein, dass ein Zahngrund der Zähne auf einer unteren Scheitellinie des Trägergegenelements liegt. Die vorgeschlagene Ausbildung der Haltemittel gewährleistet, dass Behandlungsflüssigkeit beim Herausheben der Haltemittel schnell und zuverlässig davon abläuft, auch wenn die Substrate zumindest teilweise in die Haltemittel eingreifen.The support member may have slot-like recesses or teeth as holding means. The teeth are expediently mounted on the carrier element such that a tooth base of the teeth lies on the upper apex line of the carrier element. The carrier counter-element may have, in the direction of the carrier element, further retaining means which are designed as slot-like recesses or teeth. The teeth may be mounted on the backing counter member such that a tooth root of the teeth lies on a lower crest line of the backing member. The proposed design of the holding means ensures that treatment liquid when lifting the holding means quickly and reliably expires, even if the substrates at least partially in the holding intervene.
Nach einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung ist das Trägergegenelement bezüglich des Trägerelements so angeordnet oder ausgebildet, dass die Substrate stets in den Haltemitteln und/oder den weiteren Haltemitteln gehalten werden. Der Abstand des Trägergegenelements zum Trägerelement ist durch die Geometrie und Größe der Substrate vorgegeben. Indem die Substrate gleichzeitig in die Haltemittel und die weiteren Haltemittel eingreifen, wird stets eine vertikale parallele Ausrichtung der Substrate gewährleistet, wobei diese sich während des Heraushebens aus der Behandlungsflüssigkeit zu keinem Zeitpunkt berühren können. Bei einer Berührung der Substrate kann es unerwünschterweise zu einem Herausschleppen von Behandlungsflüssigkeit zwischen zwei aneinanderliegenden Substraten kommen.To A further advantageous embodiment is the carrier counter-element in terms of the carrier element arranged or formed so that the substrates are always in the Holding means and / or the other holding means are kept. The distance of the counter carrier element to the support element is due to the geometry and size of the substrates specified. By placing the substrates in the holding means at the same time and the other holding means intervene, is always a vertical ensures parallel alignment of the substrates, these being while the lifting out of the treatment liquid at any time touch can. At a touch of the Substrates can be unwanted to drag out treatment liquid between two adjacent ones Substrates come.
Nach einem weiteren Ausgestaltungsmerkmal weist das Trägerelement einen im Wesentlichen vertikal nach unten sich erstreckenden Ablaufsteg auf. In ähnlicher Weise kann das Trä gergegenelement einen im Wesentlichen vertikal nach oben sich erstreckenden weiteren Ablaufsteg aufweisen. Eine Breite des Ablauflaufstegs und/oder des weiterer Ablaufstegs kann zur Mitte des Trägerelements bzw. des Trägergegenelements hin zunehmen. Die vorgenannten Merkmale erleichtern ein vollständiges Ablaufen von Behandlungsflüssigkeit vom Trägerelement bzw. Trägergegenelement.To a further embodiment feature, the carrier element a substantially vertically downwardly extending gutter on. In similar Way, the Trä can counter-element a substantially vertically upwardly extending further Have runway. A width of the drainage and / or the Further drainage web can be to the center of the carrier element or the counter carrier element increase. The aforementioned features facilitate complete drainage of treatment liquid from the carrier element or carrier counter element.
Nach einer weiteren Ausgestaltung können die Kanten der Wände abgeschrägt sein. Zweckmäßigerweise fallen die Unterkanten der Wände beidseits einer mittig angeordneten U-förmigen ersten Ausnehmung schräg ab. Ein wesentlicher Abschnitt der Seitenkanten der Wände verläuft vorteilhafterweise vertikal. Auch diese Merkmale tragen zu einem erleichtertem Ablaufen von Behandlungsflüssigkeit vom Träger bei.To In another embodiment, the Edges of the walls bevelled be. Conveniently, fall the lower edges of the walls on both sides of a centrally disposed U-shaped first recess obliquely. One significant portion of the side edges of the walls is advantageously vertical. These features also contribute to a facilitated drainage of treatment liquid from carrier at.
Die Seitenkanten können in einem oberen Abschnitt in einander gegenüberliegender Anordnung zweite Ausnehmungen zum Eingriff einer Greifvorrichtung aufweisen. Eine Oberkante der Wände kann eine dritte Ausnehmung zum Eingreifen einer Be- bzw. Entladevorrichtung für Substrate aufweisen. Die dritte Ausnehmung wird zweckmäßigerweise durch wenigstens zwei schräg zu den Seitenkanten verlaufende Ausnehmungskanten begrenzt. Diese Merkmale ermöglichen ein schräges Be- bzw. Entladen der Substrate bei aus dem Behandlungsbad herausgehobenem Träger. Gleichzeitig wird ein Aufschwimmen der Substrate im Behandlungsbad vermieden. Bei in das Behandlungsbad eingetauchtem Träger stoßen die Substrate bei einer Schrägbewegung an der Wand des Behandlungsbeckens an. Sie werden im Behandlungsbad jederzeit sicher im Träger gehalten.The Side edges can in an upper portion in opposing arrangement second Having recesses for engagement of a gripping device. A Top of the walls can a third recess for engaging a loading and unloading device for substrates exhibit. The third recess is expediently by at least two at an angle limited to the side edges extending recess edges. These features enable a weird one Loading or unloading the substrates when lifted out of the treatment bath Carrier. At the same time, a floating of the substrates in the treatment bath avoided. When submerged in the treatment bath carrier encounter the Substrates in an oblique motion on the wall of the treatment tank. They are in the treatment bath always safe in the carrier held.
Das Trägerelement und/oder das Trägergegenelement können aus einer mit einem ersten Kunststoff ummantelten Versteifungs struktur gebildet sein. Die Versteifungsstruktur kann aus einem mit Kohlefaser verstärkten zweiten Kunststoff hergestellt sein. Diese Merkmale wirken einer Verformung des Trägerelements bzw. des Trägergegenelements entgegen. Es ist eine Benutzung eines solchen Trägers auch in heißen Behandlungsflüssigkeiten möglich.The support element and / or the counter carrier element can from a coated with a first plastic stiffening structure be formed. The stiffening structure can be made of one with carbon fiber increased be made of second plastic. These features seem one Deformation of the carrier element or the counter carrier element opposite. It is a use of such a carrier even in hot treatment liquids possible.
Nach einer weiteren Ausgestaltung können die Wände aus dem ersten Kunststoff hergestellt sein. Der erste Kunststoff ist zweckmäßigerweise gegen Säuren und Basen resistent. Er kann vorzugsweise aus der folgenden Gruppe ausgewählt sein: PFA, PTFE und PVDF.To In another embodiment, the Walls off be made of the first plastic. The first plastic is expediently against acids and bases resistant. He can preferably be from the following group selected be: PFA, PTFE and PVDF.
Nach einer weiteren konstruktiven Ausgestaltung verbinden vier Trägerelemente die Wände. Es können zwei untere Trägerelemente in der Nähe einer Unterkante der Wände und zwei obere Trägerelemente in der Nähe eines unteren Abschnitts der Seitenkanten der Wände angebracht sein. Das Trägergegenelement ist zweckmäßigerweise in der Nähe einer Oberkante der Seitenwände angebracht.To another constructive embodiment connect four support elements the walls. It can two lower support elements near one Bottom edge of the walls and two upper support members near be attached to a lower portion of the side edges of the walls. The carrier counter element is expediently near an upper edge of the side walls appropriate.
Nach einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung ist das Trägergegenelement bezüglich einer die Anordnung oder Ausbildung des/der Trägerelements/e betreffenden und parallel zu dieser/diesen verlaufenden Symmetrieebene versetzt angeordnet. Ein solcher Träger ist besonders einfach ausgestaltet. Er ist relativ kostengünstig herstellbar.To a particularly advantageous embodiment is the carrier counter-element in terms of one concerning the arrangement or formation of the carrier element / s and offset parallel to this / this extending plane of symmetry arranged. Such a carrier is very simple. He is relatively inexpensive to produce.
Nach einer weiteren – selbstständigen – vorrichtungsseitigen Lösung ist eine Vorrichtung zum Trocknen von Substraten vorgesehen, wobei die Substrate in einem mindestens ein Trägerelement sowie mindestens ein Trägergegenelement aufweisenden Träger aufgenommen sind, welcher in einer Behandlungsflüssig keit eingetaucht ist, wobei eine Steuerung vorgesehen ist a) zum Erzeugen einer Relativbewegung zwischen dem Träger und einer Oberfläche der Behandlungsflüssigkeit bis das Trägergegenelement sich vollständig oberhalb der Oberfläche der Behandlungsflüssigkeit findet und das Trägerelement in die Behandlungsflüssigkeit eingetaucht ist, b) zum Abheben der Substrate vom eingetauchten Trägerelement mittels einer ersten Hubeinrichtung, so dass die Substrate im Träger in einer am Trägerelement vorgesehenen Haltevorrichtung von einer ersten Position in eine zweite Position verschoben werden, c) zur Erzeugung einer weiteren Relativbewegung zwischen dem Träger und der Oberfläche der Behandlungsflüssigkeit, bis das Trägerelement sich vollständig oberhalb der Oberfläche der Behandlungsflüssigkeit befindet, und d) zum Abstützen der Substrate auf das oberhalb der Oberfläche der Behandlungsflüssigkeit befindliche Trägerelement, wobei die Substrate in der am Trägerelement vorgesehenen Haltevorrichtung von der zweiten Position wieder in die erste Position verschoben werden.After a further - independent - device-side solution, a device for drying substrates is provided, wherein the substrates are accommodated in a at least one carrier element and at least one carrier counter element having carrier, which is immersed in a speed keits keit, wherein a control is provided a) Producing a relative movement between the carrier and a surface of the treatment liquid until the carrier counter element is completely above the surface of the treatment liquid and the carrier element is immersed in the treatment liquid, b) for lifting the substrates from the immersed carrier element by means of a first lifting device, so that the substrates in Carrier are moved in a holding device provided on the support member from a first position to a second position, c) for generating a further relative movement between the carrier and the surface e of the treatment liquid until the support member is completely above the surface of the treatment liquid, and d) for supporting the substrates on the above the surface of the Be holding liquid located carrier element, wherein the substrates are moved in the provided on the support member holding device from the second position back to the first position.
Bei der vorgenannten Vorrichtung kann die Steuereinrichtung sowohl die erste Hubeinrichtung als auch ein am Boden des Behandlungsbeckens vorgesehenes steuerbares Ventil steuern. Die Steuerung erfolgt derart, dass damit die vorgenannten Verfahrensschritte zum Trocknen der Substrate durchgeführt werden. Bei der Steuereinrichtung handelt es sich zweckmäßigerweise um eine programmierbare oder auch fest programmierte Steuerung, welche einen Mikroprozessor aufweist.at the aforementioned device, the control device both the first lifting device as well as provided at the bottom of the treatment tank control controllable valve. The control is done in such a way that it the aforementioned process steps are carried out for drying the substrates. The control device is expediently a programmable or also hard-coded control, which has a microprocessor.
Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:following Be exemplary embodiments of Invention explained in more detail with reference to the drawings. Show it:
In
den
Wie
insbesondere aus den
Auf
den Trägerelementen
Die
an den Wänden
Die
Trägerelemente
Unterkanten
Seitenkanten
An
einer Oberkante
In
Die
Zähne
Die
gezeigte Anordnung der Zähne
Im
Rahmen der vorliegenden Erfindung ist es selbstverständlich möglich, die
Anzahl und Ausbildung der Trägerelemente
Mit
dem im Rahmen der vorliegenden Erfindung vorgeschlagenen Träger wird
auf einfache Weise eine unerwünschte
Vertikalbewegung von Substraten S in einem Behandlungsbad unterbunden. Gleichzeitig
ist ein einfaches Be- und Entladen der Vorrichtung möglich, ohne
dass dazu ein Niederhalteelement, wie das Trägergegenelement
An
den einen Enden sind die Wellen
Auf
den Lagerhaltern
Ein
Behandlungsbecken ist in
Die
Funktion der Vorrichtung wird nun in Zusammensicht mit den
In
einer ersten Phase des Trocknungsverfahrens sind die Substrate S
vollständig
unterhalb der Flüssigkeitsoberfläche FO untergetaucht.
Die Stützschenkel
In
einer zweiten Phase des Trocknungsverfahrens wird der Hubarm
Sobald
das Trägergegenelement
Während des
Durchtritts der Trägerelemente
Anschließend wird
der noch in die Behandlungsflüssigkeit
eintauchende restliche Abschnitt des Substrats S mittels der Trägerelemente
Mit
dem vorgeschlagenen Verfahren wird beim Durchtritt des Trägergegenelements
Mit
dem vorgeschlagenen Verfahren wird auch ein unerwünschtes
Aufschwimmen der Substrate S im Behandlungsbad vermieden. Im Falle
eines Auftriebs von Substraten S durch anhaftende Wasserstoffbläschen wird
das Substrat S in seiner Aufwärtsbewegung
bzw. Vertikalbewegung durch das Trägergegenelement
Das vorbeschriebene Verfahren kann selbstverständlich auch nur unter Verwendung der ersten Hubeinrichtung durchgeführt werden. Diese kann in diesem Fall z. B. am Boden des Behandlungsbeckens angeordnet sein. Die Relativbewegung zwischen dem Träger T und der Oberfläche FO der Behandlungsflüssigkeit kann auch durch Ablassen der Behandlungsflüssigkeit aus dem Behandlungsbecken durch ein (hier nicht gezeigtes) steuerbares Ventil erreicht werden, mit dem ein im Boden des Behandlungsbeckens vorgesehener Abfluss verschliessbar ist. Sowohl das Ventil als auch die erste Hubeinrichtung können in diesem Fall durch eine geeignete Steuereinrichtung entsprechend den vorgenannten Verfahrensschritten gesteuert werden.The Of course, the above-described method can also be used only the first lifting device are performed. This can be in this Case z. B. be arranged at the bottom of the treatment tank. The Relative movement between the carrier T and the surface FO of the treatment liquid may also be by draining the treatment liquid from the treatment tank be achieved by a (not shown here) controllable valve, with the drain provided in the bottom of the treatment tank is lockable. Both the valve and the first lifting device can in this case by a suitable control device accordingly be controlled the aforementioned method steps.
- 11
- Wandwall
- 22
- unteres Trägerelementlower support element
- 33
- oberes Trägerelementupper support element
- 44
- TrägergegenelementCounter carrier element
- 55
- Zahntooth
- 66
- Abschrägungbevel
- 7a, b7a, b
- Ablaufstegdrain away
- 88th
- Unterkantelower edge
- 99
- erste Ausnehmungfirst recess
- 1010
- Seitenkanteside edge
- 1111
- zweite Ausnehmungsecond recess
- 1212
- Oberkantethe top edge
- 1313
- dritte Ausnehmungthird recess
- 14a, b14a, b
- AusnehmungskantenAusnehmungskanten
- 1515
- Versteifungsstrukturstiffening structure
- 1616
- Ummantelungjacket
- 1717
- oberer Scheitelpunktupper vertex
- 1818
- Zahngrundtooth root
- 1919
- unterer Scheitelpunktlower vertex
- 2020
- Hubarmlifting arm
- 2121
- Hubstangelifting rod
- 2222
- Lagerhalterstorekeeper
- 2323
- Wellewave
- 2424
- Führungsnaseguide nose
- 2525
- Hebellever
- 2626
- Zapfenspigot
- 2727
- Kulissenführunglink guide
- 2828
- KulissenführungsplatteLink guide plate
- 2929
- Aufnahmehebelup lever
- 3030
- Führungsrolleleadership
- 3131
- SubstratstützleisteSubstrate supporting strip
- 31a31a
- Bodenground
- 31b31b
- Stützschenkelsupport legs
- VV
- Vertikalrichtungvertical direction
- SRSR
- Schrägrichtungoblique direction
- SS
- Substratsubstratum
- Ee
- Symmetrieebeneplane of symmetry
- ZAZA
- Zentralachsecentral axis
- TT
- Trägercarrier
- FOFO
- Flüssigkeitsoberflächeliquid surface
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-
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