DE10210209A1

DE10210209A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Streulichtinspektion transparenter Prüflinge

Info

Publication number: DE10210209A1
Application number: DE2002110209
Authority: DE
Inventors: Michael Gerhard
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2002-03-01
Filing date: 2002-03-01
Publication date: 2003-09-11

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Streulichtinspektion transparenter Prüflinge, wobei ein Prüflichtstrahl (2) durch den Prüfling (3) hindurchgeleitet wird, der an einer Eintrittsfläche (5) in selbigen eintritt und an einer von der Eintrittsfläche beabstandeten Austrittsfläche (7) aus selbigem austritt. DOLLAR A Erfindungsgemäß wird von einem Inspektionsauswerteteil (8) Streulicht erfasst und ausgewertet, welches von einem vorgebbaren Inspektionsbereich (9) des Prüflings stammt, der einen vom Prüflichtstrahl durchlaufenden Prüflingvolumenbereich umfasst, und den Prüfling nicht-parallel zur Prüflichtstrahlrichtung durch die Prüflichtstrahl-Eintrittsfläche (5) oder die Prüflichtstrahl-Austrittsfläche (7) verlässt. DOLLAR A Verwendung z. B. zur quantitativen Streulichtinspektion von Rohlingen für Optikkomponenten von Mikrolithographie-Belichtungsanlagen.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Streulichtinspektion transparenter Prüflinge, bei dem ein Prüflichtstrahl durch den Prüfling hindurchgeleitet wird, wobei er an einer Eintrittsfläche in selbigen eintritt und an einer von der Eintrittsfläche beabstandeten Austrittsfläche aus selbigem austritt, sowie auf eine zur Durchführung eines solchen Verfahrens geeignete Vorrichtung.
Es ist eine Vorgehensweise dieser Art bekannt, bei der optische Gläser und Kristalle visuell auf Streulicht geprüft werden. Dazu wird mit einer Lampe hoher Lichtleistung, z. B. einer Hg-Lampe, ein Prüflichtstrahl erzeugt, der durch den Prüfling hindurchgeleitet wird, während senkrecht dazu das Streulicht visuell von inspizierendem Personal beobachtet wird. Oftmals handelt es sich um zylinderförmige Substrate mit polierten Stirnflächen und einer gesägten, rauen Mantelfläche. Typischerweise bildet dabei, wenn es sich bei dem Substrat um einen Rohling für ein optisches Element, wie eine Linse oder dgl. handelt, die Zylinderlängsachse die spätere optische Achse des fertigen optischen Elements. Der Prüflichtstrahl wird quer zur Zylinderlängsachse durch die raue Mantelfläche hindurch in das Substrat hinein und aus diesem herausgeleitet, während in Richtung der Zylinderlängsachse das Streulicht visuell beobachtet wird. Beim Einstrahlen kommt es an der rauen Mantelfläche zu einer relativ großen Streuung, so dass sich Licht über den gesamten Rohling oder jedenfalls über einen großen Teil desselben ausbreitet. Eine Trennung von Volumen- und Oberflächenstreulicht ist dem Inspektionspersonal nur durch ständiges Bewegen des Substrats möglich, wobei die visuelle Beobachtung und Bewertung sehr stark von der einzelnen Inspektionsperson, von den Umgebungsbedingungen sowie von Größe und Zustand des Substrats abhängt. Eine Automatisierung und damit Quantifizierung der Streulichtinspektion ist mit dieser herkömmlichen Anordnungsgeometrie kaum möglich, da Oberflächenstreulicht nicht oder nur sehr schwer vom meist hauptsächlich interessierenden Volumenstreulicht zu trennen ist, mit dem sich Aussagen über Defekte im Inneren des Substrats und damit über die optische Qualität des Substrats gewinnen lassen.
Ein automatisiertes Verfahren der eingangs genannten Art und eine zugehörige Vorrichtung sind in der Patentschrift US 5.471.298 beschrieben. Dort wird Streulicht unter einem vorgebbaren Inspektionswinkel von vorzugsweise 90° zur Prüflichtstrahlrichtung von einer Inspektionsoptik erfasst und durch einen nachgeschalteten Bildauswerteteil ausgewertet. Dabei tritt das erfasste Streulicht aus dem Substrat über eine Substratoberfläche aus, die zwischen der Eintritts- und der Austrittsfläche für den Prüflichtstrahl liegt, analog zum oben geschilderten Fall der herkömmlichen visuellen Inspektion.
Der Erfindung liegt als technisches Problem die Bereitstellung eines Verfahrens und einer Vorrichtung der eingangs genannten Art zugrunde, mit denen sich transparente Prüflinge automatisiert und damit objektiviert mittels quantitativer Streulichtinspektion in ihrer Qualität bzw. ihren optischen Eigenschaften bewerten lassen und die hierzu insbesondere eine schwerpunktmäßige Berücksichtigung von Volumenstreulicht weitgehend ohne störenden Oberflächenstreulichteinfluss ermöglichen.
Die Erfindung löst dieses Problem durch die Bereitstellung eines Streulichtinspektionsverfahrens mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und einer Streulichtinspektionsvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 8. Erfindungsgemäß wird speziell solches Streulicht erfasst und ausgewertet, das von einem vorgebbaren Inspektionsbereich des Prüflings stammt, der einen vom Prüflichtstrahl durchlaufenen Volumenbereich umfasst, und das Substrat nicht-parallel zur Prüflichtstrahlrichtung durch die Prüflichtstrahl-Eintrittsfläche oder die Prüflichtstrahl-Austrittsfläche des Substrats verlässt.
Diese Vorgehensweise erlaubt eine automatisierte und sehr zuverlässige Bewertung der Qualität transparenter Substrate bzw. der optischen Eigenschaften von entsprechenden Optikkomponenten durch eine Streulichtinspektion, die durch Einstellung eines geeigneten Inspektionsbereichs in der Lage ist, hauptsächlich Volumenstreulicht zur Auswertung heranzuziehen. Störende Oberflächenstreulichteinflüsse lassen sich außerdem dadurch vermeiden oder jedenfalls minimal halten, dass dasjenige Streulicht erfasst und ausgewertet wird, welches durch eine der Substratoberflächen das Substrat verlässt, die dem Eintritt und dem Austritt des Prüflichtstrahls dienen. Diese Eintritts- bzw. Austrittsfläche ist z. B. bei Rohlingen für optische Elemente meist ohnehin bereits sehr glatt und damit streulichtarm, z. B. durch Polieren, da diese Flächen auch im späteren Einsatz des optischen Elements als Lichteintrittsfläche bzw. Lichtaustrittsfläche fungieren. In Fällen, in denen eine derartige streulichtarme Substratoberfläche nicht schon bereits vorhanden ist, kann sie für die Streulichtinspektion erzeugt werden, wenn notwendig, wobei es schon genügen kann, nur den vom Inspektionsbereich und/oder von der Durchleitung des Prüflichtstrahls betroffenen Oberflächenbereich zu glätten.
Eine Weiterbildung der Erfindung nach Anspruch 2 bzw. 9 sieht die Verwendung eines Prüflichtstrahls im sichtbaren, grünen Wellenlängenbereich vor, was sich günstig auf die Empfindlichkeit auswirkt, da nicht nur das menschliche Auge, sondern auch übliche Strahlungsdetektoren, wie Fotomultiplier, dort am empfindlichsten sind.
In einer Weiterbildung der Erfindung nach Anspruch 3 bzw. 10 wird als Prüflichtstrahl ein Laserlichtstrahl mit einer Leistung von 30 mW oder mehr eingesetzt. Bei dieser hohen Leistung ist der Laserstrahl sowohl in Luft als auch in maximal streuungsarmen Prüflingen sichtbar, wenn seine Wellenlänge im sichtbaren Bereich liegt.
In einer Weiterbildung der Erfindung nach Anspruch 4 bzw. 11 beinhaltet die Inspektionsoptik ein auf die Wellenlänge des Prüflichtstrahls abgestimmtes Filter, das dafür sorgt, dass nicht auf den Prüflichtstrahl zurückgehendes Streulicht anderer Wellenlängen keinen Einfluss auf die Streulichtinspektion haben kann.
In einer Weiterbildung der Erfindung nach Anspruch 5 bzw. 12 ist auf der von der Inspektionsoptik abgewandten Seite des Prüflings eine Strahlfalle vorgesehen, mit der verhindert werden kann, dass außerhalb des Prüflings generiertes Streulicht den Inspektionsvorgang stört.
In einer Weiterbildung der Erfindung nach Anspruch 6 ist die Verwendung von Referenzprüflingen vorgesehen, für die gegebenenfalls ein höherer Herstellungs- und/oder Inspektionsmessaufwand lohnt, um anschließend die an diesen gewonnenen Inspektionsmessergebnisse als Referenz zur Kalibrierung von in Serie an normalen Prüflingen erhaltenen Inspektionsmessergebnissen zu verwenden.
In einer Weiterbildung der Erfindung nach Anspruch 7 bzw. 13 kann eine Reduktion des Oberflächenstreulichteinflusses der Prüflichtstrahl-Eintrittsfläche und/oder der Prüflichtstrahl-Austrittsfläche erreicht werden, indem mindestens diejenige dieser beiden Flächen, über die das erfasste Streulicht austritt, mit einer streuungsarmen Platte unter Zwischenfügung eines Immersionsöls kontaktiert wird.
In einer Weiterbildung der Erfindung nach Anspruch 14 ist die Inspektionsoptik als telezentrische Optik ausgelegt. Mit dieser Maßnahme wird der Inspektionsbereich in seiner Ausdehnung fixiert, d. h. es wird unabhängig von der Entfernung des Prüflings stets ein gleich großer Volumenbereich inspiziert.
Eine vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung ist in den Zeichnungen dargestellt und wird neben anderen möglichen Ausführungsformen nachfolgend beschrieben. Hierbei zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung eines Streulichtinspektionsvorgangs an einem Prüfling mit einer zugehörigen Vorrichtung und
Fig. 2 eine schematische, detailliertere Darstellung eines Streulichtauswerteteils der Streulichtinspektionsvorrichtung von Fig. 1.
Fig. 1 zeigt schematisch einen Messplatz zur Streulichtinspektion transparenter Prüflinge mittels quantitativer Streulichterfassung, insbesondere von Volumenstreulicht, um basierend darauf Aussagen über die optische Qualität des transparenten Prüflings machen zu können. Hierfür ist eine Streulichtinspektionsvorrichtung vorgesehen, die als Prüflichtquelle einen Laser 1 beinhaltet, der auf eine Leistung von mindestens 30 mW ausgelegt ist und einen Prüflichtstrahl 2 mit einem Durchmesser von ca. 1 mm emittiert. Zweckmäßig ist die Verwendung eines frequenzverdoppelten Festkörperlasers, der einen im sichtbaren, grünen Wellenlängenbereich z. B. bei 560 nm liegenden Prüflichtstrahl erzeugt. Im grünen Wellenlängenbereich ist das menschliche Auge am empfindlichsten, gleiches gilt für die meisten herkömmlichen Detektoren, insbesondere Fotomultiplier. Die relativ hohe Laserleistung von mindestens 30 mW hat dann zur Folge, dass der Prüflichtstrahl 2 sowohl in Luft als auch in maximal streuungsarmen Substraten bzw. Prüflingen sichtbar ist.
Beispielhaft ist in Fig. 1 ein scheibenförmiger bzw. zylindrischer Rohling 3 als zu inspizierender Prüfling teilweise gezeigt. Der Prüflichtstrahl 2 tritt an einer Eintrittsstelle 4 einer dadurch als Eintrittsfläche definierten Stirnfläche 5 in den Prüfling 3 ein und aus diesem an einer Austrittsstelle 6 der dadurch als Austrittsfläche definierten, gegenüberliegenden Stirnfläche 7 wieder aus. Innerhalb des Prüflings 3 verläuft der Prüflichtstrahl somit längs der Verbindungslinie zwischen Eintrittsstelle 4 und Austrittsstelle 6.
Zur Erfassung und Auswertung von im Prüfling 3 durch den Prüflichtstrahl 2 verursachtem Streulicht dient ein Inspektionsauswerteteil 8, der so ausgelegt und angeordnet ist, dass er nur dasjenige Streulicht erfasst und auswertet, das innerhalb eines Inspektionsbereichs 9 zwischen Eintrittsstelle 4 und Austrittsstelle 6 vom Prüflichtstrahl 2 erzeugt wird, d. h. der Inspektionsbereich 9 umfasst den gesamten Bereich der Verbindungslinie zwischen Eintrittsstelle 4 und Austrittsstelle 6 oder einen Teil desselben. Dazu ist der Inspektionsauswerteteil 8 mit einem in Fig. 1 gepunktet angedeuteten, telezentrischen Erfassungsbereich 10 ausgelegt, dessen Schnittmenge mit der besagten Prüflichtstrahl- Verbindungslinie den Inspektionsbereich 9 definiert.
Die Blickrichtung des Inspektionsauswerteteil 8, d. h. die Längsrichtung von dessen Erfassungsbereich 10, ist unter einem Winkel α und damit nicht-parallel zum Prüflichtstrahl 2 eingestellt. Der Inspektionsauswerteteil 8 bleibt dadurch frei vom aus dem Prüfling 3 austretenden Prüflichtstrahl 2. Des weiteren ist der Erfassungsbereich 10 bevorzugt so eingestellt, dass der Inspektionsbereich 9 zwar den größten Teil der Verbindungslinie zwischen Eintrittsstelle 4 und Austrittsstelle 6 enthält, jedoch nicht die Eintrittsstelle 4 und die Austrittsstelle 6 selbst. Diese beiden Stellen sind für einen Betrachter, der etwa in der Blickrichtung des Inspektionsauswerteteils 8 auf den Prüfling 3 schaut, als leuchtende Punkte erkennbar, verursacht durch die Oberflächenstreuung an der Eintrittsstelle 4 bzw. der Austrittsstelle 6. Diese ist allerdings relativ gering. Insbesondere ist die Eintrittsstelle 4 ausreichend streulichtarm, so dass der Prüflichtstrahl dort keine merkliche, streuungsbedingte Aufweitung erfährt. Zwischen Ein- und Austrittsstelle 4, 6 ist der Prüflichtstrahl 2 als dünne leuchtende Linie zu erkennen, was durch Volumenstreuung verursacht ist. Diese Volumenstreuung stellt die hauptsächlich für die Qualitätsbeurteilung des Prüflings wichtige Streulichtkomponente dar, die zu diesem Zweck vom Inspektionsauswerteteil 8 in der geschilderten Weise erfasst wird, ohne merkliche Störeinflüsse durch Oberflächenstreueffekte des Prüflichtstrahls 2 an der Eintrittsstelle 4 und der Austrittsstelle 6.
Der Inspektionsauswerteteil 8 ist zudem so ausgelegt, das sein Erfassungsbereich 10 den Prüfling 3 an dessen vergleichsweise glatter, streuungsarmer, stirnseitiger Prüflichtstrahl-Austrittsfläche 7 trifft, d. h. nur das an dieser Stirnfläche 7 aus dem Prüfling 3 unter dem Inspektionswinkel α zur Prüflichtstrahlrichtung austretende Streulicht wird vom Inspektionsauswerteteil 8 erfasst und ausgewertet. Da diese stirnseitige Oberfläche 7 des Prüflings 3 im Fall eines Rohlings für eine Optikkomponente ohnehin bereits sehr plan geschliffen bzw. poliert ist und die für die Streulichtbeobachtung maßgebliche Streulichtaustrittsstelle nicht beleuchtet ist, ergeben sich für den Austrittsbereich des Streulichts aus dem Prüfling 3 über diese Stirnfläche 7 in der Regel keine störenden Oberflächenstreulichteffekte. Gleiches gilt für eine alternativ mögliche Streulichtinspektion von der eintrittsseitigen Stirnfläche 5 her. Da die Inspektion in jedem Fall keine Streulichterfassung über eine Mantelfläche 11 des Prüflings 3 zwischen seinen Stirnflächen 5, 7 beinhaltet, hat die häufig höhere Oberflächenrauhigkeit der typischerweise gesägten Mantelfläche 11 keinen Einfluss auf die Streulichtinspektion.
Falls dennoch ein zu starker Oberflächenstreulichteffekt an den Stirnflächen 5, 7 des Prüflings 3 auftreten sollte, weil es aus Geometriegründen nicht möglich ist, die Oberflächenstreuung auszublenden, wie bei dünnen Rohlingen oder sehr kleinen Inspektionswinkeln, kann an die eine und/oder die andere der beiden optischen Stirnflächen 5, 7 des Prüflings 3 je eine hochgradig plan polierte Platte unter Zwischenfügung eines Immersionsöls angebracht werden. Dies minimiert jegliches Oberflächenstreulicht an den Stirnflächen. Außerdem kann mit dieser Maßnahme der Inspektionswinkel α bei sonst gleichbleibenden Systemparametern verkleinert werden.
Fig. 2 zeigt schematisch eine vorteilhafte Realisierung für den Inspektionsauswerteteil 8 mit den oben erwähnten Eigenschaften. Wie aus Fig. 2 zu erkennen, beinhaltet in diesem Fall der Inspektionsauswerteteil 8 eine telezentrische Optik 12 mit vorgeschalteter Aperturblende 13 zur Abbildung des in den so definierten Erfassungsbereich 10 fallenden Bereichs der Verbindungslinie zwischen Eintrittsstelle 4 und Austrittsstelle 6 des Prüflichtstrahls 2 im Prüfling 3 auf einen als Strahlungsdetektor fungierenden Fotomultiplier 14. Die telezentrische Optik 12 sorgt dafür, dass unabhängig von der Entfernung des Prüflings 3 immer der gleich große Inspektionsbereich im Prüflingvolumen detektiert wird, d. h. nur im Erfassungsbereich 10 liegendes Streulicht gelangt zum Detektor 14. Eine zusätzliche, herkömmliche und daher nicht näher gezeigte Justieroptik gewährleistet, dass tatsächlich im wesentlichen nur das gewünschte Volumenstreulicht und keine störenden Oberflächenreflexe zum Detektor 14 gelangen. Vor dem Detektor 14 ist ein Interferenzfilter 15 angeordnet, das nur Licht aus dem Wellenlängenbereich des Lasers 1durchlässt und somit dafür sorgt, dass kein Licht anderer Wellenlänge, wie z. B. Raumlicht, auf den Detektor 14 fällt. Dies erlaubt ohne weiteres eine Inspektion bei Raumlicht bzw. Tageslicht.
Über einen Strahlteiler 16 kann ein Teil des erfassten Streulichts zwischen der telezentrischen Optik 12 und dem Detektor 14 zu einer visuellen Kontrolleinheit 17 ausgekoppelt werden, an welcher es für Prüfpersonal möglich ist, das eingefangene Volumenstreulicht visuell zu kontrollieren.
Zur Untersuchung des gesamten Prüflings 3 kann der Prüflichtstrahl 2 in nicht näher gezeigter Weise mit Hilfe eines geeignet beweglichen Spiegels über die gesamte Prüflingsausdehnung hinweg abrasternd geführt werden, und/oder der Prüfling 3 wird an einem xy-Translationstisch montiert und geeignet verfahren. Die vom Detektor 14 erhaltenen Streulichtwerte können ausgelesen und z. B. in Form von zweidimensionalen Streulichtkarten zur Auswertung aufgenommen werden.
Als weiterer Schutz gegen Störlichteinflüsse ist auf der dem Inspektionsauswerteteil 8 gegenüberliegenden Seite des Prüflings 3 eine den Erfassungsbereich 10 abschließende Strahlfalle 18 vorgesehen, z. B. in Form eines schwarzen Filzes. Diese verhindert, dass Umgebungslicht durch den Prüfling hindurch zum Inspektionsauswerteteil 8 gelangt.
Unter dem Inspektionswinkel α, mit dem die Streulichtinspektion vorgenommen wird, ist, wie sich für den Fachmann versteht, ein vorgebbarer, variabler Winkelbereich zu verstehen, der abhängig vom Anwendungsfall geeignet zwischen 0° und 90° je ausschließlich vorgegeben werden kann, meist in einem Winkelbereich von ca. 2° bis ca. 70°. Für die Praxis taugliche Werte des Inspektionswinkels α sind von der Dicke des Prüflings 3 abhängig, beispielsweise ist für Prüflinge 3 mit einer Dicke von 40 mm ein Inspektionswinkel kleiner 30° nicht mehr empfehlenswert.
Für in der Halbleiterlithographie typischerweise verwendete optische Materialien sind deutlich kleinere Inspektionswinkel und kürzere Wellenlängen wünschenswert, z. B. im UV-Wellenlängenbereich von 157 nm. Ein erfindungsgemäßer Streulichtaufbau für diesen Wellenlängenbereich ist für eine Serienprüfung von in Serie produzierten Prüflingen bzw. Rohlingen jedoch sehr aufwendig. Um den Aufwand vertretbar zu halten, bietet sich die Verwendung von Standardreferenzen, d. h. von Referenzprüflingen an, die mit größerem Aufwand genau gefertigt und vermessen werden können und anschließend als Referenz für Serienprüfungen dienen.
Dazu werden ausgewählte Substrate bzw. Prüflinge verschiedener Streustärken an ihren relevanten Oberflächen sehr gut poliert, so dass die Oberflächenstreuung vernachlässigbar ist. Dieser Aufwand ist für eine begrenzte Anzahl von Referenzprüflingen vertretbar. Anschließend wird an geeigneten, aufwendigen Messplätzen die (Volumen-)Streuung winkelaufgelöst für die interessierende Strahlung, wie UV-Strahlung, an den Referenzprüflingen erfasst. Die an den Referenzprüflingen gewonnenen, winkelaufgelösten Messergebnisse für die interessierende Strahlung dienen dann zusammen mit einem unter Serienprüfungsgegebenheiten am jeweiligen Referenzprüfling aufzunehmenden Messwert, z. B. einem unter einem Inspektionswinkel von 30° bei einer Prüflichtstrahl- Wellenlänge von 560 nm gewonnenen Messwert, als Kalibriertabelle für in Serie hergestellte und zu inspizierende Prüflinge. Mit anderen Worten können die Serienprüflinge mit geringem Aufwand in erfindungsgemäßer Weise z. B. mit einer Prüflichtwellenlänge von 560 nm unter einem Inspektionswinkel von 30° inspiziert werden, und anhand der Kalibriertabelle kann dann auf deren optische Eigenschaften für die eigentlich interessierende UV-Strahlung geschlossen werden, mit der im späteren Einsatz der Prüflinge z. B. als optische Komponente in Mikrolithographie- Belichtungsanlagen gearbeitet wird.

Claims

1. Verfahren zur Streulichtinspektion transparenter Prüflinge, bei dem
ein Prüflichtstrahl (2) durch den Prüfling (3) hindurchgeleitet wird, wobei er an einer Eintrittsfläche (5) in selbigen eintritt und an einer von der Eintrittsfläche beabstandeten Austrittsfläche (7) aus selbigem austritt,
dadurch gekennzeichnet, dass
Streulicht erfasst und ausgewertet wird, welches von einem vorgebbaren Inspektionsbereich (9) des Prüflings stammt, der einen vom Prüflichtstrahl (2) durchlaufenen Prüflingvolumenbereich umfasst, und den Prüfling nicht-parallel zur Prüflichtstrahlrichtung durch die Prüflichtstrahl-Eintrittsfläche (5) oder die Prüflichtstrahl-Austrittsfläche (7) des Prüflings verlässt.

2. Verfahren nach Anspruch 1, weiter dadurch gekennzeichnet, dass als Prüflichtstrahl (2) ein solcher im Wellenlängenbereich sichtbaren, grünen Lichts verwendet wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, weiter dadurch gekennzeichnet, dass als Prüflichtstrahl (2) ein Laserlichtstrahl mit einer Leistung von mindestens 30 mW verwendet wird.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, weiter dadurch gekennzeichnet, dass bei der Streulichtinspektion selektiv Streulicht aus dem Wellenlängenbereich des Prüflichtstrahls erfasst und ausgewertet wird.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, weiter dadurch gekennzeichnet, dass der Prüfling (3) von einer Inspektionsseite her inspiziert und auf der gegenüberliegenden Seite eine Strahlfalle (18) positioniert wird.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, weiter dadurch gekennzeichnet, dass oberflächenstreuungsarme Referenzprüflinge erzeugt werden, deren Volümenstreuverhalten winkelaufgelöst für einen vorgebbaren ersten Wellenlängenbereich aufgenommen wird, und die aufgenommenen, winkelaufgelösten Messergebnisse eines jeweiligen Referenzprüflings zusammen mit einem am jeweiligen Referenzprüfling unter Serieneinsatzbedingungen bei einem vorgebbaren zweiten Wellenlängenbereich erhaltenen Messergebnisse als Kalibrierwerte bei der Streulichtinspektion von in Serie hergestellten und mit einem im zweiten Wellenlängenbereich liegenden Prüflichtstrahl inspizierten Prüflingen zur Beurteilung von deren Verhalten im ersten Wellenlängenbereich herangezogen werden.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, weiter dadurch gekennzeichnet, dass die Prüflichtstrahl-Eintrittsfläche und/oder die Prüflichtstrahl-Austrittsfläche des Prüflings mit einer jeweiligen, hochgradig streuungsarmen Platte unter Zwischenfügung eines Immersionsöls kontaktiert werden.

8. Vorrichtung zum Streulichtinspektion transparenter Prüflinge, mit
einer Prüflichtstrahlquelle (1) zur Erzeugung eines Prüflichtstrahls (2), der durch den Prüfling (3) hindurchgeleitet wird, wobei er an einer Eintrittsfläche (5) in selbigen eintritt und an einer von der Eintrittsfläche beabstandeten Austrittsfläche (7) aus selbigem austritt,
gekennzeichnet durch
einen Inspektionsauswerteteil (8), der zur Erfassung und Auswertung von Streulicht eingerichtet ist, welches von einem vorgebbaren Inspektionsbereich (9) des Prüflings stammt, der einen vom Prüflichtstrahl durchlaufenen Prüflingvolumenbereich umfasst, und den Prüfling nicht-parallel zur Prüflichtstrahlrichtung durch die Prüflichtstrahl-Eintrittsfläche oder die Prüflichtstrahl-Austrittsfläche des Prüflings verlässt.

9. Vorrichtung nach Anspruch 1, weiter dadurch gekennzeichnet, dass die Prüflichtstrahlquelle (1) zur Emission von sichtbarem Licht im grünen Wellenlängenbereich ausgelegt ist.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, weiter dadurch gekennzeichnet, dass die Prüflichtstrahlquelle ein Laser mit einer Leistung von mindestens 30 mW ist.

11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 10, weiter dadurch gekennzeichnet, dass der Inspektionsauswerteteil ein selektiv auf den Wellenlängenbereich des Prüflichtstrahls abgestimmtes Filter (15) beinhaltet.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 11, weiter gekennzeichnet durch eine Strahlfalle (18) auf einer dem Inspektionsauswerteteil (8) gegenüberliegenden Prüflingsseite.

13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 12, weiter gekennzeichnet durch eine oder mehrere, oberflächenstreulichtarme, an der Prüflichtstrahl-Eintrittsfläche und/oder der Prüflichtstrahl-Austrittsfläche unter Zwischenfügung eines Immersionsöls anzubringende Platten.

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 13, weiter dadurch gekennzeichnet, dass der Inspektionsauswerteteil eine telezentrische Optik (12) aufweist.