DE102023203568A1 - Interferometric measuring device for measuring the roughness of a test surface - Google Patents
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 44
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 82
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 19
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 8
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 4
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 239000005337 ground glass Substances 0.000 description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 2
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000004439 roughness measurement Methods 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 2
- BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N (2r,3r,4s,5r)-2-[6-[[2-(3,5-dimethoxyphenyl)-2-(2-methylphenyl)ethyl]amino]purin-9-yl]-5-(hydroxymethyl)oxolane-3,4-diol Chemical compound COC1=CC(OC)=CC(C(CNC=2C=3N=CN(C=3N=CN=2)[C@H]2[C@@H]([C@H](O)[C@@H](CO)O2)O)C=2C(=CC=CC=2)C)=C1 BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000012067 mathematical method Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000001393 microlithography Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70591—Testing optical components
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/0209—Low-coherence interferometers
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Abstract
Eine interferometrische Messvorrichtung (10) zur Vermessung einer Rauheit einer Testoberfläche (12) umfasst ein Messobjektiv (22), welches dazu konfiguriert ist, eine Messstrahlung (18) auf die Testoberfläche zu fokussieren, sowie ein Referenzelement (42) zur Überlagerung einer Referenzstrahlung (40) mit der Messstrahlung (38a) nach deren Reflexion an der Testoberfläche umfasst. Weiterhin umfasst die Messvorrichtung einen Messdetektor (48) zur Erfassung eines durch die Überlagerung erzeugten Messinterferogramms sowie einen Monitordetektor (62) zur Erfassung eines Monitorinterferogramms (60), welches mittels einer ebenfalls an der Testoberfläche reflektierten Strahlung (38a) erzeugt wird. Dabei umfasst der Monitordetektor mindestens zehn Photodioden (80), welche bevorzugt auf einer Linie angeordnet sind.An interferometric measuring device (10) for measuring the roughness of a test surface (12) comprises a measuring objective (22) which is configured to focus a measuring radiation (18) onto the test surface, and a reference element (42) for superimposing a reference radiation (40) on the measuring radiation (38a) after it has been reflected on the test surface. The measuring device further comprises a measuring detector (48) for detecting a measuring interferogram generated by the superimposition, and a monitor detector (62) for detecting a monitor interferogram (60) which is generated by means of radiation (38a) which is also reflected on the test surface. The monitor detector comprises at least ten photodiodes (80), which are preferably arranged in a line.
Description
Hintergrund der ErfindungBackground of the invention
Die Erfindung betrifft eine interferometrische Messvorrichtung zur Vermessung einer Rauheit einer Testoberfläche.The invention relates to an interferometric measuring device for measuring the roughness of a test surface.
Bekannte Beispiele solcher Messvorrichtungen sind Weißlichtinterferometer oder phasenschiebende Interferometer, wie etwa Mirau-Interferometer. Diese Interferometer werden unter anderem für eine Passe- oder Rauheitsmessung von optischen Oberflächen verwendet. Dazu wird im Allgemeinen eine von der zu untersuchenden Oberfläche reflektierte Messwelle mit einer Referenzwelle überlagert und das dabei erzeugte Interferenzmuster erfasst. Nach einer Erfassung eines Interferenzmusters erfolgt eine Verschiebung der Phase der Referenzwelle gegenüber der Messwelle. Das nun erzeugte Interferenzmuster wird ebenfalls aufgezeichnet. Mit einer komplexen mathematischen Modellierung und iterativen Berechnung kann aus den aufgezeichneten Interferenzmustern die Oberflächentopografie der Testoberfläche rekonstruiert werden. Dabei lassen sich durch das Phasenschieben auch Oberflächenstrukturen ermitteln, welche wesentlich kleiner als die Wellenlänge der Messwelle sind.Well-known examples of such measuring devices are white light interferometers or phase-shifting interferometers, such as Mirau interferometers. These interferometers are used, among other things, for a pass or roughness measurement of optical surfaces. To do this, a measurement wave reflected from the surface to be examined is generally superimposed on a reference wave and the interference pattern generated is recorded. After an interference pattern has been recorded, the phase of the reference wave is shifted relative to the measurement wave. The interference pattern now generated is also recorded. Using complex mathematical modeling and iterative calculation, the surface topography of the test surface can be reconstructed from the recorded interference patterns. The phase shifting can also be used to determine surface structures that are significantly smaller than the wavelength of the measurement wave.
Ein Problem bei der Rauheitsmessung mit einem derartigen Interferometer sind mechanische Vibrationen, welche durch das Phasenschieben oder durch in der Umgebung betriebene Geräte, wie etwa Pumpen, Standbohrmaschinen oder Fräsmaschinen verursacht werden können. Diese können zu Störstreifen in Interferenzmustern und somit zu Fehlern bei einer ermittelten Topografie der Oberfläche führen.One problem with roughness measurements using such an interferometer is mechanical vibrations, which can be caused by phase shifting or by devices operating in the environment, such as pumps, pillar drills or milling machines. These can lead to noise stripes in interference patterns and thus to errors in the determined topography of the surface.
In
Zugrunde liegende AufgabeUnderlying task
Es ist eine Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art bereitzustellen, womit die vorgenannten Probleme gelöst werden, und vorzugsweise die Messgenauigkeit bei einer interferometrischen Vermessung einer Oberfläche verbessert wird.It is an object of the invention to provide a device of the type mentioned at the outset, whereby the aforementioned problems are solved and preferably the measurement accuracy in an interferometric measurement of a surface is improved.
Erfindungsgemäße LösungInventive solution
Die vorgenannte Aufgabe kann erfindungsgemäß beispielsweise gelöst werden mit einer interferometrischen Messvorrichtung zur Vermessung einer Rauheit einer Testoberfläche. Die Messvorrichtung umfasst ein Messobjektiv, welches dazu konfiguriert ist, eine Messstrahlung auf die Testoberfläche zu fokussieren. Das Messobjektiv umfasst ein Referenzelement zur Überlagerung einer Referenzstrahlung mit der Messstrahlung nach deren Reflexion an der Testoberfläche. Weiterhin umfasst die Messvorrichtung einen Messdetektor zur Erfassung eines durch die Überlagerung erzeugten Messinterferogramms sowie einen Monitordetektor zur Erfassung eines Monitorinterferogramms, welches mittels einer ebenfalls an der Testoberfläche reflektierten Strahlung erzeugt wird. Der Monitordetektor umfasst mindestens zehn Photodioden.The above-mentioned object can be achieved according to the invention, for example, with an interferometric measuring device for measuring the roughness of a test surface. The measuring device comprises a measuring lens which is configured to focus a measuring radiation onto the test surface. The measuring lens comprises a reference element for superimposing a reference radiation on the measuring radiation after it has been reflected on the test surface. The measuring device also comprises a measuring detector for detecting a measuring interferogram generated by the superimposition and a monitor detector for detecting a monitor interferogram which is generated by means of radiation which is also reflected on the test surface. The monitor detector comprises at least ten photodiodes.
Durch die Integration des Monitordetektors in die erfindungsgemäße interferometrische Messvorrichtung ist es möglich, Vibrationseffekte in Echtzeit zu vermessen und die dadurch im Messinterferogramm hervorgerufenen Störungen zu korrigieren. Die Verwendung von Photodioden ermöglicht die Erfassung des Monitorinterferogramms mit einer wesentlich höheren Frequenz als ein herkömmlicher Interferogrammdetektor, wie etwa eine CCD-Kamera, wodurch die mechanischen Vibrationen wesentlich besser detektiert und damit aus dem Messergebnis eliminiert werden können. Die Nutzung von mindestens zehn Photodioden ermöglicht eine präzise Auswertung des Monitorinterferogramms, insbesondere wenn dieses als Mehrstreifeninterferogramm vorliegt. So kann etwa in dem Fall, in dem das Monitorinterferogramm als Mehrstreifeninterferogramm vorliegt, mit der genannten Mindestanzahl an Photodioden eine bei ungewollter Fokusvariation aufgrund mechanischer Vibrationen auftretende Verschiebung des Interferogramms mit hoher Genauigkeit und hoher Geschwindigkeit, also hoher Abtastrate, hier auch Messfrequenz genannt, detektiert werden.By integrating the monitor detector into the interferometric measuring device according to the invention, it is possible to measure vibration effects in real time and to correct the disturbances caused in the measuring interferogram. The use of photodiodes enables the monitor interferogram to be recorded at a much higher frequency than a conventional interferogram detector, such as a CCD camera, which means that the mechanical vibrations can be detected much better and thus eliminated from the measurement result. The use of at least ten photodiodes enables precise evaluation of the monitor interferogram, particularly if it is present as a multi-strip interferogram. For example, in the case where the monitor interferogram is present as a multi-strip interferogram, the minimum number of photodiodes mentioned can be used to detect a shift in the interferogram that occurs in the event of an unwanted focus variation due to mechanical vibrations with high accuracy and high speed, i.e. high sampling rate, also referred to here as the measuring frequency.
Gemäß einer Ausführungsform umfasst der Monitordetektor mindestens einhundert Photodioden. Gemäß anderen Ausführungsformen kann der Monitordetektor mindestens zwanzig oder mindestens fünfzig Photodioden umfassen.According to one embodiment, the monitor detector comprises at least one hundred photodiodes. According to other embodiments, the monitor detector may comprise at least twenty or at least fifty photodiodes.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform sind die Photodioden auf einer Linie, insbesondere auf einer geraden Linie angeordnet.According to a further embodiment, the photodiodes are arranged on a line, in particular on a straight line.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform weisen die Photodioden eine Messfrequenz von mindestens 1 kHz, vorzugsweise mindestens 10 kHz oder mindestens 100 kHz, auf. Vibrationsfrequenzen können beispielsweise im Bereich 20 Hz bis 200 Hz liegen. Die Messfrequenz ist für diesen Fall mit mindestens 1 kHz ausreichend groß gegenüber den Vibrationsfrequenzen gewählt.According to a further embodiment, the photodiodes have a measuring frequency of at least 1 kHz, preferably at least 10 kHz or at least 100 kHz. Vibration frequencies can be in the range of 20 Hz to 200 Hz, for example. In this case, the measuring frequency is chosen to be at least 1 kHz, which is sufficiently high compared to the vibration frequencies.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist der Monitordetektor dazu konfiguriert, mechanische Vibrationen der Messvorrichtung zu detektieren.According to a further embodiment, the monitor detector is configured to detect mechanical vibrations of the measuring device.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist der Monitordetektor dazu konfiguriert, mechanische Vibrationen des Messobjektivs in Bezug auf ein die Testoberfläche aufweisendes Testobjekt in mindestens drei Starrkörperfreiheitsgraden zu detektieren. Diese umfassen vorteilhafterweise einen Verschiebungsfreiheitsgrad in Richtung der optischen Achse des Messobjektivs und zwei Kippfreiheitsgrade, deren Kippachsen parallel zur Objektebene des Messobjektivs angeordnet sind.According to a further embodiment, the monitor detector is configured to detect mechanical vibrations of the measuring objective in relation to a test object having the test surface in at least three rigid body degrees of freedom. These advantageously comprise a displacement degree of freedom in the direction of the optical axis of the measuring objective and two tilting degrees of freedom, the tilting axes of which are arranged parallel to the object plane of the measuring objective.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist die Messvorrichtung dazu konfiguriert, das Monitorinterferogramm in Form eines Mehrstreifeninterferogramms zu erzeugen. Vorteilhafterweise ist die Linie, auf der die Photodioden angeordnet sind, quer zu den Streifen des Mehrstreifeninterferogramms ausgerichtet. Bei einem derartigen Interferometer wird eine Messstrahlung in einen Prüfstrahl und einen Referenzstrahl zueinander derart verkippt aufgespalten, dass durch deren Überlagerung in einer Detektionsebene des Interferometers ein Mehrstreifeninterferenzmuster erzeugt wird.According to a further embodiment, the measuring device is configured to generate the monitor interferogram in the form of a multi-strip interferogram. The line on which the photodiodes are arranged is advantageously aligned transversely to the strips of the multi-strip interferogram. In such an interferometer, a measuring beam is split into a test beam and a reference beam that are tilted relative to one another in such a way that a multi-strip interference pattern is generated by their superposition in a detection plane of the interferometer.
Unter einem Mehrstreifeninterferenzmuster ist in diesem Text ein Interferenzmuster zu verstehen, welches mindestens eine volle Periode von sich abwechselnden Streifen konstruktiver und destruktiver Interferenz umfasst. Unter einer vollen Periode ist zu verstehen, dass die Phasendifferenz zwischen den interferierenden Wellen entlang des Mehrstreifeninterferenzmusters alle Werte zwischen 0 und 2π einnimmt. Mit anderen Worten ist unter einem Mehrstreifeninterferenzmuster ein Interferenzmuster mit mindestens zwei Streifen zu verstehen, wobei die Streifen helle Steifen (konstruktive Interferenz) oder dunkle Streifen (destruktive Interferenz) sein können. Insbesondere kann ein Mehrstreifeninterferenzmuster mindestens zwei, mindestens fünf, mindestens zehn, mindestens fünfzig oder mindestens hundert volle Perioden von sich abwechselnden Steifen konstruktiver und destruktiver Interferenz umfassen. Ein derartiges Interferenzmuster wird oft auch als Vielstreifeninterferenzmuster bezeichnet.In this text, a multi-stripe interference pattern is understood to mean an interference pattern which comprises at least one full period of alternating stripes of constructive and destructive interference. A full period means that the phase difference between the interfering waves along the multi-stripe interference pattern takes on all values between 0 and 2π. In other words, a multi-stripe interference pattern is understood to mean an interference pattern with at least two stripes, where the stripes can be bright stripes (constructive interference) or dark stripes (destructive interference). In particular, a multi-stripe interference pattern can comprise at least two, at least five, at least ten, at least fifty or at least one hundred full periods of alternating stripes of constructive and destructive interference. Such an interference pattern is often also referred to as a multi-stripe interference pattern.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist die interferometrische Messvorrichtung dazu konfiguriert, mindestens fünf Streifen, insbesondere mindestens zehn Streifen, des Mehrstreifeninterferogramms auszuwerten.According to a further embodiment, the interferometric measuring device is configured to evaluate at least five strips, in particular at least ten strips, of the multi-strip interferogram.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist die interferometrische Messvorrichtung als ein dem Fachmann bekanntes Mirau-Interferometer konfiguriert. Damit ist das Messobjektiv als Mirau-Objektiv konfiguriert.According to a further embodiment, the interferometric measuring device is configured as a Mirau interferometer known to those skilled in the art. The measuring objective is thus configured as a Mirau objective.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist das Messobjektiv ein Strahlaufspaltelement auf, an dem die Referenzstrahlung durch Reflexion aus der Messstrahlung abgespalten wird sowie eine weitere Referenzstrahlung für das Monitorinterferogramm erzeugt wird. Gemäß einer Ausführungsvariante weist das Strahlaufspaltelement eine teilweise reflektive Oberfläche auf, deren Oberflächennormale derart gegenüber einer Einfallrichtung einer Monitorstrahlung verkippt ist, dass das Monitorinterferogramm in Form eines Mehrstreifeninterferogramms erzeugt wird.According to a further embodiment, the measuring objective has a beam splitting element at which the reference radiation is split from the measuring radiation by reflection and a further reference radiation is generated for the monitor interferogram. According to a variant, the beam splitting element has a partially reflective surface whose surface normal is tilted relative to a direction of incidence of a monitor radiation in such a way that the monitor interferogram is generated in the form of a multi-stripe interferogram.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist das Strahlaufspaltelement keilförmig gestaltet.According to a further embodiment, the beam splitting element is wedge-shaped.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfasst die interferometrische Messvorrichtung eine Messstrahlungsquelle zur Erzeugung der Messstrahlung und eine Monitorstrahlungsquelle zur Erzeugung einer Monitorstrahlung, welche zur Erzeugung des Monitorinterferogramms genutzt wird.According to a further embodiment, the interferometric measuring device comprises a measuring radiation source for generating the measuring radiation and a monitoring radiation source for generating a monitoring radiation which is used to generate the monitoring interferogram.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfasst die zur Erzeugung des Monitorinterferogramms an der Testoberfläche reflektierte Strahlung die Messstrahlung.According to a further embodiment, the radiation reflected at the test surface to generate the monitor interferogram comprises the measuring radiation.
Die bezüglich der vorstehend aufgeführten Ausführungsformen, Ausführungsbeispiele bzw. Ausführungsvarianten, etc. der erfindungsgemäßen Messvorrichtung werden in der Figurenbeschreibung und den Ansprüchen erläutert. Die einzelnen Merkmale können entweder separat oder in Kombination als Ausführungsformen der Erfindung verwirklicht werden. Weiterhin können sie vorteilhafte Ausführungsformen beschreiben, die selbstständig schutzfähig sind und deren Schutz ggf. erst während oder nach Anhängigkeit der Anmeldung beansprucht wird.The embodiments, examples or variants, etc. of the measuring device according to the invention listed above are explained in the description of the figures and the claims. The individual features can be implemented either separately or in combination as embodiments of the invention. Furthermore, they can describe advantageous embodiments that are independently protectable and whose protection may only be claimed during or after the application has been filed.
Kurzbeschreibung der ZeichnungenShort description of the drawings
Die vorstehenden, sowie weitere vorteilhafte Merkmale der Erfindung werden in der nachfolgenden detaillierten Beschreibung beispielhafter erfindungsgemäßer Ausführungsbeispiele bzw. Ausführungsformen oder Ausführungsvarianten unter Bezugnahme auf die beigefügten schematischen Zeichnungen veranschaulicht. Es zeigt:
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1 ein erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel einer interferometrischen Messvorrichtung.
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1 an embodiment of an interferometric measuring device according to the invention.
Detaillierte Beschreibung erfindungsgemäßer AusführungsbeispieleDetailed description of embodiments according to the invention
In den nachstehend beschriebenen Ausführungsbeispielen bzw. Ausführungsformen oder Ausführungsvarianten sind funktionell oder strukturell einander ähnliche Elemente soweit wie möglich mit den gleichen oder ähnlichen Bezugszeichen versehen. Daher sollte zum Verständnis der Merkmale der einzelnen Elemente eines bestimmten Ausführungsbeispiels auf die Beschreibung anderer Ausführungsbeispiele oder die allgemeine Beschreibung der Erfindung Bezug genommen werden.In the embodiments or embodiments or variants described below, functionally or structurally similar elements are provided with the same or similar reference numerals as far as possible. Therefore, in order to understand the features of the individual elements of a specific embodiment, reference should be made to the description of other embodiments or the general description of the invention.
Zur Erleichterung der Beschreibung ist in der Zeichnung ein kartesisches xyz-Koordinatensystem angegeben, aus dem sich die jeweilige Lagebeziehung der in den Figuren dargestellten Komponenten ergibt. In
Die Messvorrichtung 10 umfasst eine Beleuchtungseinrichtung 16 zum Bereitstellen einer Messstrahlung 18, einen Strahlenteiler 20 zum Umlenken der Messstrahlung 18 in Richtung der Testoberfläche 12, ein Messobjektiv 22, auch Interferenzobjektiv oder Mirau-Objektiv bezeichnet, zum Fokussieren der Messstrahlung 18 auf die Testoberfläche 12 und eine Erfassungseinrichtung 24 zum Aufzeichnen und Verarbeiten von Messinterferogrammen 47.The measuring device 10 comprises an illumination device 16 for providing a measuring
Die Beleuchtungseinrichtung 16 enthält eine Messstrahlungsquelle 26, beispielsweise in Gestalt einer Leuchtdiode, und eine Mattscheibe 28 zur Homogenisierung der von der Messstrahlungsquelle 26 emittierten Strahlung. Die Messstrahlungsquelle 26 ist derart ausgebildet, dass die Messstrahlung 18 ein Spektrum an Frequenzen mit einer für eine Interferometrie geeigneten Kohärenzlänge bzw. spektralen Breite aufweist. Beispielsweise entspricht das Spektrum einem Gaußschen Spektrum mit einer maximalen Intensität bei einer Wellenlänge λ und benachbarten Frequenzen bzw. Wellenlängen mit gemäß einer Gaußkurve abnehmender Intensität. Die Wellenlänge λ mit maximaler Intensität wird im Folgenden auch als Wellenlänge λ der Messstrahlung 18 bezeichnet und kann beispielsweise im sichtbaren Wellenlängenbereich liegen. Mit einer solchen Messstrahlung 18 ist die Messvorrichtung 10 insbesondere für Weißlichtinterferometrie konfiguriert. In anderen Ausführungen kann aber auch eine monochromatische Lichtquelle, z.B. ein Laser, für phasenschiebende Interferometrie eingesetzt werden.The lighting device 16 contains a measuring
Weiterhin umfasst die Beleuchtungseinrichtung 16 eine Kondensorlinse 30, mit der möglichst viel Messstrahlung 18 möglichst gleichmäßig in den Strahlengang des Messobjektivs 22 eingekoppelt wird. Vorzugsweise bildet die Kondensorlinse 30 dafür die Messstrahlungsquelle auf die Öffnung des Messobjektivs 22 ab. Zusätzlich oder alternativ kann die Messvorrichtung 12 weitere, in
Der Strahlenteiler 20 ist so konfiguriert und in der Messvorrichtung 10 angeordnet, dass mindestens ein Anteil der von der Beleuchtungseinrichtung 16 kommenden Messstrahlung 18 in Richtung der Testoberfläche 12 umgelenkt wird. Weiterhin durchtritt mindestens ein Anteil der von der Testoberfläche 12 reflektierten Messstrahlung den Strahlenteiler 20 ohne Richtungsänderung zur Erfassungseinrichtung 24. Mit dem Strahlenteiler 20 wird somit die Messstrahlung 18 in den Strahlengang zwischen der Testoberfläche 12 und der Erfassungseinrichtung 24 eingespeist.The
Das Messobjektiv 22 fokussiert die von dem Strahlenteiler 20 kommende Messstrahlung 18 auf die Testoberfläche 12. Hierfür umfasst das Messobjektiv 22 ein oder mehrere optische Elemente, von denen in
Die Referenzwelle 40 trifft auf ein Referenzelement 42 in Gestalt eines Referenzspiegels des Interferenzobjektivs 22 und wird von diesem zum Strahlaufspaltelement 36 zurückreflektiert. Vorzugsweise entspricht die Größe des Referenzelements 42 in etwa dem von der Messwelle 38 beleuchteten Bereich der Testoberfläche 12. Das Strahlaufspaltelement 36 reflektiert wiederum die von dem Referenzspiegel 42 kommende Referenzwelle 40 zum Strahlenteiler 20 zurück. Die Messwelle 38 wird von der Testoberfläche 12 reflektiert und durchläuft dann als Messwelle 38a erneut das Messobjektiv 22 ebenfalls in Richtung des Strahlenteilers 20.The
Die reflektierte Messwelle 38a und die Referenzwelle 40 passieren den Strahlenteiler 20 zumindest teilweise ohne Richtungsänderung, passieren einen nachstehend näher erläuterten weiteren Strahlenteiler 76 eines Monitorarms 64 und laufen zur Erfassungseinrichtung 24. Eine Linse 44 der Erfassungseinrichtung 24 fokussiert die Messwelle 38a und die Referenzwelle 40 auf eine Erfassungsebene 46 eines Messdetektors 48. Der Messdetektor 48 ist in diesem Ausführungsbeispiel als CCD-Kamera oder als CMOS-Kamera ausgebildet. In der Erfassungsebene 46 entsteht für jeden Ort des beleuchteten Bereichs der Testoberfläche 12 an einem entsprechenden Pixel des Messdetektors 48 durch Überlagerung der Messwelle 38a mit der Referenzwelle 40 ein Interferenzsignal, welches sich für den gesamten beleuchteten Bereich zu einem Messinterferogramm 47 zusammensetzt.The reflected measuring wave 38a and the
Das jeweilige Interferenzsignal hängt von dem Weglängenunterschied zwischen der Messwelle 38, 38a und der Referenzwelle 40 bzw. deren Phasenunterschied ab. Während die Weglänge der Referenzwelle 40 bis zu dem Ort, an dem die Referenzwelle 40 das Messobjektiv 22 verlässt, vorgegeben ist, wird die Weglänge der Messwelle 38, 38a bis zu diesem Ort durch die Höhe der Testoberfläche 12 in z-Richtung und dem Abstand des Interferenzobjektivs 22 von der Testoberfläche 12 bestimmt. Durch eine Verschiebung 50 des Interferenzobjektivs 22 in z-Richtung lässt sich der Phasenunterschied zwischen der Messwelle 38a und der Referenzwelle 40 verändern.The respective interference signal depends on the path length difference between the measuring
Für ein solches Phasenschieben umfasst die Messvorrichtung 10 eine Phasenschiebeeinrichtung 52 zum Verändern des Phasenunterschieds zwischen der Messwelle 38a und der Referenzwelle 40. Die Phasenschiebeeinrichtung 52 enthält in diesem Ausführungsbeispiel ein Piezosystem zum Verschieben des Messobjektivs 22 entlang seiner optischen Achse und somit nach
Bei einer solchen Verschiebung 50 ändert sich der Abstand zwischen dem Strahlaufspaltelement 36 und der Testoberfläche 12 und somit die Weglänge der Messwelle 38, 38a, während die Weglänge der Referenzwelle 40 zwischen Strahlaufspaltelement 36 und Referenzelement 42 konstant bleibt.With such a displacement 50, the distance between the
Das Piezosystem umfasst eine Steuerung sowie Piezoelemente, und ist derart konfiguriert, dass eine Verschiebung des Messobjektivs 22 schrittweise um jeweils einen Bruchteil der Wellenlänge λ der Messstrahlung 18 durchführbar ist. Beispielsweise lässt sich mit dem Piezosystem eine schrittweise Verschiebung von λ/64 über mehr als eine, vorzugsweise mehr als 2 Wellenlängen für eine Vermessung der Testoberfläche 12 durchführen. Wegen des Hin- und Rückwegs der Messwelle 38, 38a zwischen dem Strahlaufspaltelement 36 und der Testoberfläche 12 entspricht eine Verschiebung von λ/64 einer Phasenverschiebung von π/16. Bei jeder eingestellten Phasenverschiebung kann der Messdetektor 48 ein in der Erfassungsebene 46 durch Überlagerung der Messwelle 38a mit der Referenzwelle 40 erzeugtes Messinterferogramm 47 erfassen. Das Messinterferogramm 47 kann je nach Ausführungsform als Mehrstreifeninterferenzmuster, welches mindestens eine volle Periode von sich abwechselnden Streifen konstruktiver und destruktiver Interferenz umfasst, oder als Interferenzmuster, bei der weniger als eine volle Periode konstruktiver und destruktiver Interferenz vorliegt, konfiguriert sein.The piezo system comprises a controller and piezo elements, and is configured in such a way that the measuring
Weiterhin umfasst die Messvorrichtung 10 eine Auswerteeinrichtung 58 zum Bestimmen der Rauheit der Testoberfläche 12 mittels der vom Messdetektor 48 aufgezeichneten Messinterferogramme 47 bei verschiedenen Phasenverschiebungen. Die Auswerteeinrichtung 58 umfasst hierfür eine geeignet konfigurierte Datenverarbeitungseinheit. Bei der Auswertung der Messinterferogramme 47 berücksichtigt die Auswerteeinrichtung weiterhin Monitorinterferogramme 60, welche mit einem Monitordetektor 62 mit einer Messfrequenz von mindestens 1 kHz, d.h. mit einer erheblich höheren Wiederholungsrate als die Messinterferogramme 47, aufgezeichnet werden. Die Berücksichtigung der Monitorinterferogramme 60 ermöglicht es, aufgrund von Vibrationen bei der Erfassung der Messinterferogramme 47 auftretende Messfehler zu korrigieren. So ermöglicht die Auswertung der Monitorinterferogramme 60 das Herausrechnen von durch Vibrationen verursachten Störungen aus dem Messergebnis der Messvorrichtung 10. Diese Vibrationen können etwa durch das Phasenschieben mittels der Phasenschiebeeinrichtung 52 oder durch in der Umgebung betriebene Geräte, wie etwa Pumpen, Standbohrmaschinen oder Fräsmaschinen verursacht werden. Mit anderen Worten rechnet die Auswerteeinrichtung 58 bei der Bestimmung der Rauheit der Testoberfläche 12 anhand der Monitorinterferogramme 60 störende Vibrationen heraus.The measuring device 10 also includes an evaluation device 58 for determining the roughness of the
Der Monitordetektor 62 ist Teil eines Monitorarms 64 der Messvorrichtung 10. In dem vorliegenden Ausführungsbeispiel umfasst der Monitorarm 64 eine eigene Strahlungsquelle, die hier Monitorstrahlungsquelle 66 bezeichnet wird. Die Monitorstrahlungsquelle 66 erzeugt Monitorstrahlung 68. Die Monitorstrahlung 68 weist eine zur Interferometrie geeignete Kohärenzlänge auf. Die Wellenlänge der Monitorstrahlung 68 kann, wie die Wellenlänge der Messstrahlung 18, beispielsweise im sichtbaren Wellenlängenbereich liegen. Gemäß einem alternativen, zeichnerisch nicht dargestellten, Ausführungsbeispiel kann die auch die Messstrahlung 18 als Monitorstrahlung 68 verwendet werden, d.h. in diesem Fall ist eine eigene Monitorstrahlungsquelle nicht notwendig.The
Die von der Monitorstrahlungsquelle 66 erzeugte Monitorstrahlung 68 wird von einer Kondensorlinse 70 kollimiert, woraufhin diese einen Strahlenteiler 72 durchläuft. Die Monitorstrahlung 68 wird daraufhin von einer weiteren Kondensorlinse 74 derart fokussiert, dass deren Strahlengang, welcher nach Reflexion an dem bereits vorstehend erwähnten Strahlenteiler 76 kurz vor dem Messobjektiv 22 einen Zwischenfokus aufweist. Die Monitorstrahlung 68 trifft damit nach Durchlaufen der Objektivlinse 34 im Wesentlichen senkrecht auf die Testoberfläche 12 auf.The
Beim Durchlaufen des Messobjektivs 22 wird an der teilweise reflektiven Oberfläche 37 des Strahlaufspaltelements 36 eine Referenzstrahlung 78 abgespalten. When passing through the measuring
Die Monitorstrahlung 68 wird an der Testoberfläche 12 reflektiert und läuft daraufhin als ausgehende Monitorstrahlung 68a im Strahlengang der eingehenden Monitorstrahlung 68 bis zum Strahlenteiler 72 zurück und wird an diesem in Reflexion auf den Monitordetektor 62 abgelenkt.The
Die Referenzstrahlung 78 läuft im Wesentlichen ebenfalls im Strahlengang der eingehenden Monitorstrahlung 68 zurück und wird ebenfalls am Strahlenteiler 72 auf den Monitordetektor 62 abgelenkt. Die teilweise reflektive Oberfläche 37 des Strahlaufspaltelements 36 weist eine Oberflächennormale auf, welche leicht gegenüber der Einfallrichtung der Monitorstrahlung 68 verkippt ist und zwar derart, dass das durch Überlagerung der Monitorstrahlung 68a mit der Referenzstrahlung 78 erzeugte Monitorinterferogramm 60 als Mehrstreifeninterferogramm ausgebildet wird. Das Strahlaufspaltelement 36 weist dazu eine leichte Keilform auf.The reference radiation 78 also essentially runs back in the beam path of the
Unter einem Mehrstreifeninterferogramm bzw. Mehrstreifeninterferenzmuster ist in diesem Text ein Interferenzmuster zu verstehen, welches mindestens eine volle Periode von sich abwechselnden Streifen konstruktiver und destruktiver Interferenz umfasst. Unter einer vollen Periode ist zu verstehen, dass die Phasendifferenz zwischen den interferierenden Wellen entlang des Mehrstreifeninterferenzmusters alle Werte zwischen 0 und 2π einnimmt. Mit anderen Worten ist unter einem Mehrstreifeninterferenzmuster ein Interferenzmuster mit mindestens zwei Streifen zu verstehen, wobei die Streifen helle Steifen (konstruktive Interferenz) oder dunkle Streifen (destruktive Interferenz) sein können. Insbesondere kann ein Mehrstreifeninterferenzmuster mindestens zwei, mindestens fünf, mindestens zehn, mindestens fünfzig oder mindestens hundert volle Perioden von sich abwechselnden Steifen konstruktiver und destruktiver Interferenz umfassen. Ein derartiges Interferenzmuster wird oft auch als Vielstreifeninterferenzmuster bezeichnet.In this text, a multi-stripe interferogram or multi-stripe interference pattern is understood to mean an interference pattern which comprises at least one full period of alternating stripes of constructive and destructive interference. A full period means that the phase difference between the interfering waves along the multi-stripe interference pattern takes on all values between 0 and 2π. In other words, a multi-stripe interference pattern is understood to mean an interference pattern with at least two stripes, where the stripes can be bright stripes (constructive interference) or dark stripes (destructive interference). In particular, a multi-stripe interference pattern can comprise at least two, at least five, at least ten, at least fifty or at least one hundred full periods of alternating stripes of constructive and destructive interference. Such an interference pattern is often also referred to as a multi-stripe interference pattern.
Der Monitordetektor 62 umfasst mindestens zehn Photodioden 80, insbesondere mindestens zwanzig oder mindestens fünfzig Photodioden 80. Diese sind in dem in
Die vorstehend erwähnte Aufzeichnung der Monitorinterferogramme 60 erfolgt mittels der Photodioden 80. Dabei werden mindestens fünf Streifen, vorzugsweise mindestens zehn Streifen, des jeweiligen Mehrstreifeninterferogramms aufgezeichnet und in der Auswerteeinrichtung 58 ausgewertet. Durch die Auswertung der Monitorinterferogramme 60 können mechanische Vibrationen des Messobjektivs 22 in Bezug auf das Objekt 14 in verschiedenen Vibrationsfreiheitsgraden bestimmt werden. Diese Vibrationsfreiheitsgrade umfassen insbesondere einen Verschiebungsfreiheitsgrad in Richtung des optischen Achse des Messobjektivs 22 sowie zwei Kippfreiheitsgrade, deren Kippachsen parallel zur Objektebene des Messobjektivs 22 angeordnet sind.The above-mentioned recording of the monitor interferograms 60 is carried out by means of the
Die vorstehende Beschreibung beispielhafter Ausführungsbeispiele, Ausführungsformen bzw. Ausführungsvarianten ist exemplarisch zu verstehen. Die damit erfolgte Offenbarung ermöglicht es dem Fachmann einerseits, die vorliegende Erfindung und die damit verbundenen Vorteile zu verstehen, und umfasst andererseits im Verständnis des Fachmanns auch offensichtliche Abänderungen und Modifikationen der beschriebenen Strukturen und Verfahren. Daher sollen alle derartigen Abänderungen und Modifikationen, insoweit sie in den Rahmen der Erfindung gemäß der Definition in den beigefügten Ansprüchen fallen, sowie Äquivalente vom Schutz der Ansprüche abgedeckt sein.The above description of exemplary embodiments, embodiments or variants is to be understood as exemplary. The disclosure made thereby enables the person skilled in the art to understand the present invention and the associated advantages, and on the other hand also includes obvious changes and modifications to the structures and methods described in the understanding of the person skilled in the art. Therefore, all such changes and modifications, insofar as they fall within the scope of the invention as defined in the appended claims, as well as equivalents, are intended to be covered by the protection of the claims.
BezugszeichenlisteList of reference symbols
- 1010
- MessvorrichtungMeasuring device
- 1212
- TestoberflächeTest surface
- 1414
- Objektobject
- 1616
- BeleuchtungseinrichtungLighting equipment
- 1818
- MessstrahlungMeasuring radiation
- 2020
- StrahlenteilerBeam splitter
- 2222
- MessobjektivMeasuring lens
- 2424
- ErfassungseinrichtungRecording device
- 2626
- MessstrahlungsquelleMeasuring radiation source
- 2828
- MattscheibeGround glass
- 3030
- KondensorlinseCondenser lens
- 3434
- ObjektivlinseObjective lens
- 3636
- StrahlaufspaltelementBeam splitter element
- 3737
- teilweise reflektive Oberflächepartially reflective surface
- 3838
- MesswelleMeasuring shaft
- 38a38a
- Messwelle nach Reflexion an der TestoberflächeMeasuring wave after reflection on the test surface
- 4040
- ReferenzwelleReference wave
- 4242
- ReferenzelementReference element
- 4444
- Linselens
- 4646
- ErfassungsebeneCapture level
- 4747
- MessinterferogrammMeasurement interferogram
- 4848
- MessdetektorMeasuring detector
- 5050
- Verschiebungshift
- 5252
- PhasenschiebeeinrichtungPhase shifter
- 5858
- AuswerteeinrichtungEvaluation device
- 6060
- MonitorinterferogrammMonitor interferogram
- 6262
- MonitordetektorMonitor detector
- 6464
- MonitorarmMonitor arm
- 6666
- MonitorstrahlungsquelleMonitor radiation source
- 6868
- MonitorstrahlungMonitor radiation
- 68a68a
- ausgehende Monitorstrahlungoutgoing monitor radiation
- 7070
- KondensorlinseCondenser lens
- 7272
- StrahlenteilerBeam splitter
- 7474
- KondensorlinseCondenser lens
- 7676
- StrahlenteilerBeam splitter
- 7878
- ReferenzstrahlungReference radiation
- 8080
- PhotodiodePhotodiode
- 8282
- gerade Liniestraight line
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDED IN THE DESCRIPTION
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Zitierte PatentliteraturCited patent literature
- DE 102019208028 A1 [0004]DE 102019208028 A1 [0004]
Claims (14)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102023203568.5A DE102023203568A1 (en) | 2023-04-19 | 2023-04-19 | Interferometric measuring device for measuring the roughness of a test surface |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102023203568.5A DE102023203568A1 (en) | 2023-04-19 | 2023-04-19 | Interferometric measuring device for measuring the roughness of a test surface |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102023203568A1 true DE102023203568A1 (en) | 2024-04-11 |
Family
ID=90355155
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102023203568.5A Pending DE102023203568A1 (en) | 2023-04-19 | 2023-04-19 | Interferometric measuring device for measuring the roughness of a test surface |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102023203568A1 (en) |
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US5777741A (en) | 1995-07-10 | 1998-07-07 | Zygo Corporation | Method and apparatus for optical interferometric measurements with reduced sensitivity to vibration |
US8120781B2 (en) | 2008-11-26 | 2012-02-21 | Zygo Corporation | Interferometric systems and methods featuring spectral analysis of unevenly sampled data |
DE102019208028A1 (en) | 2019-06-03 | 2019-07-18 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Interferometric measuring device for surfaces |
-
2023
- 2023-04-19 DE DE102023203568.5A patent/DE102023203568A1/en active Pending
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Dong Wu, Ri-hong Zhu, Lei Chen, Jin-yun Li: Transverse spatial phase-shifting method used in vibration-compensated interferometer. Optik, Volume 115, Nr. 8,2004. Seiten 343-346,https://doi.org/10.1078/0030-4026-00380 |
Mingliang Duan u.a.: Dual-channel interferometer for vibration-resistant optical measurement. Optics and Lasers in Engineering. Vol. 127, April 2020, 105981.https://doi.org/10.1016/j.optlaseng.2019.105981 |
Stanislav Tereschenko, Peter Lehmann, Pascal Gollor, Peter Kuehnhold: Vibration compensated high-resolution scanning white-light Linnik-interferometer. Proc. SPIE 10329, Optical Measurement Systems for Industrial Inspection X, 1032940 (26 June 2017); https://doi.org/10.1117/12.2270226 |
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