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Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung und ein Verfahren zur Kalibrierung eines Spiegelarrays mit mehreren Spiegelelementen.
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Stand der Technik
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Mikrospiegel können je nach Anwendungsfall in unterschiedliche Applikationen eingesetzt werden, wie z. B. Projektoren eines Smartphones, Headup-Displays, Barcodeleser usw.
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Für EUV-Lithographie-Anlagen sind verstellbare optische Pfade bis zum Retikel (engl.: Reticle), das auch als Maske bezeichnet wird, vorteilhaft, die durch ein Mikrospiegelarray im optischen Pfad verwirklicht werden können.
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Die Mikrospiegel können mit einer Bragg-Beschichtung versehen sein, die die Zentralwellenlängen gut reflektiert. Wellenlängen außerhalb des Reflexionsbereiches werden absorbiert und erzeugen Wärme im Mikrospiegel, die gezielt mit einem möglichst geringen Temperaturwiderstand abgeführt werden muss.
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Die Positionsgenauigkeit von dem Mikrospiegel hängt davon ab, wie gut das Mikrospiegel-Positionssensorsystem funktioniert. Das Mikrospiegel-Positionssensorsystem ist abhängig von den Fertigungstoleranzen, der Temperaturstabilität in Zusammenspiel mit der Temperaturvarianz und der Langzeitstabilität in Zusammenspiel mit der Produktlebenszeit bzw. den Zeitpunkten, wann das Gerät neu kalibriert werden muss.
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Das Dokument
DE 10 2015 204 874 A1 bezieht sich auf eine Aktuatoreinrichtung zum Verkippen eines Spiegelelements.
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Das Dokument
DE 10 2016 213 026 A1 bezieht sich auf eine Sensoreinrichtung zur Erfassung eines Kippwinkels eines Spiegelelements.
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Offenbarung der Erfindung
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Es wird eine Anordnung zur Kalibrierung eines Spiegelarrays mit mehreren Spiegelelementen. Zur Ansteuerung der Spiegelelemente kann das Spiegelarray eine Steuereinrichtung aufweisen. Die Spiegelelemente können dabei separat voneinander angesteuert werden. Die Anordnung umfasst dabei eine Detektionslichteinrichtung und eine Detektionseinrichtung. Unter Licht im Sinne dieser Erfindung ist jede Form elektromagnetischer Strahlung zu verstehen.
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Die Detektionslichteinrichtung umfasst dabei mindestens eine Detektionslichtquelle, die dazu eingerichtet ist, einen Detektionslichtstrahl zu erzeugen, welcher auf eine Reflexionsfläche der Spiegelelemente des Spiegelarrays gerichtet wird. Dadurch kann die Reflexionsfläche jedes Spiegelelements angestrahlt werden. Die Detektionslichtquelle erzeugt dabei den Detektionslichtstahl mit geeigneter Wellenlänge mit einem Absorptionsanteil von z. B. 30 % und einem Reflexionsanteil von z. B. 70 %. Vorzugsweise ist die Detektionslichteinrichtung als eine Lasereinrichtung mit mindestens einer Laserstrahlquelle ausgebildet, die dazu eingerichtet ist, einen Laserstrahl zu erzeugen.
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Dabei umfasst die Detektionseinrichtung ein erstes Detektorarray. Das erste Detektorarray weist dabei mehrere Detektoren auf, die dazu eingerichtet sind, anhand von durch einen von den Spiegelelementen des Spiegelarrays reflektierten Detektionslichtstrahl erzeugten Temperaturänderungen und/oder elektrischen Strömen, die durch photoelektrischen Effekt oder andere physikalische Effekte entstehen, die Winkelpositionen der einzelnen Spiegelelemente des Spiegelarrays zu detektieren und zu berechnen. Der Detektor im Sinne dieser Erfindung kann als Temperatursensor oder Lichtsensor ausgebildet werden. Zu dem Temperatursensor gehören beispielsweise Kaltleiter, Heißleiter, Thermoelement usw. Zu den anderen physikalischen Effekten, durch die elektrische Ströme entstehen, gehört beispielsweise der thermoelektrische Effekt. Das Detektorarray kann dabei unterschiedliche Detektoren aufweisen. Beispielsweise kann das Detektorarray sowohl Temperatursensoren als auch Lichtsensoren aufweisen, die beispielsweise als Redundanz zueinander dienen können. Unter dem Begriff „Winkelposition der einzelnen Spiegelelemente“ wird der Kippwinkel der einzelnen Spiegelelemente verstanden. Der Kippwinkel der einzelnen Spiegelelemente kann dabei azimutabhängig sein.
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Das Spiegelarray kann auch Detektoren, wie z. B. Temperatursensoren und/oder Lichtsensoren, aufweisen, die jeweils einem Spiegelelement zugeordnet sind. Diese Detektoren können verwendet werden, um zu erkennen, welches Spiegelelement des Spiegelarrays angestrahlt wird. Die Detektoren können dabei ein Teil des Spiegelarrays sein.
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Vorzugsweise ist das erste Detektorarray als ein Teil eines weiteren Spiegelarrays mit mehreren Spiegelelementen ausgebildet. Zur Ansteuerung der Spiegelelemente des weiteren Spiegelarrays kann das weiteren Spiegelarray eine Steuereinrichtung aufweisen. Die Spiegelelemente können dabei separat voneinander angesteuert werden. Dabei ist das weitere Spiegelarray optisch mit dem Spiegelarray koppelbar. Die Detektoren des ersten Detektorarrays sind dabei jeweils für ein Spiegelelement des weiteren Spiegelarrays vorgesehen. Beispielsweise kann jedes Spiegelelement mit einem Temperatursensor und/oder einem Lichtsensor versehen sein. Das weitere Spiegelarray ist mit dem Spiegelarray optisch koppelbar, wenn ein Lichtstrahl von dem Spiegelarray mindestens teilweise reflektiert und auf dem weiteren Spiegelarray abgebildet wird, oder umgekehrt, wenn ein Lichtstrahl von dem weiteren Spiegelarray mindestens teilweise reflektiert und auf dem Spiegelarray abgebildet wird.
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Vorzugsweise umfasst die erfindungsgemäße Anordnung ferner ein zweites Detektorarray. Das zweite Detektorarray ist dabei als ein Teil des Spiegelarrays ausgebildet und umfasst mehrere Detektoren, die jeweils für ein Spiegelelement vorgesehen und dazu eingerichtet sind, anhand von Temperaturänderungen der einzelnen Spiegelelemente und/oder elektrischen Strömen, die durch photoelektrischen Effekt oder andere physikalische Effekte entstehen, zu erkennen, welches Spiegelelement angestrahlt wird.
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Vorzugsweise weist die Detektionseinrichtung ferner ein drittes Detektorarray mit mehreren Detektoren auf, die dazu eingerichtet sind, anhand eines von den Spiegelelementen des weiteren Spiegelarrays reflektierten Detektionslichtstrahls die Winkelpositionen der einzelnen Spiegelelemente des weiteren Spiegelarrays zu detektieren und zu berechnen.
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Ein weiterer Aspekt der Erfindung ist die Bereitstellung eines Verfahren zur Kalibrierung eines Spiegelarrays mit mehreren Spiegelelementen. Das erfindungsgemäße Verfahren wird bevorzugt unter Verwendung der erfindungsgemäß vorgeschlagenen Anordnung ausgeführt. Entsprechend gelten im Rahmen der Anordnung beschriebene Merkmale für das Verfahren und umgekehrt gelten im Rahmen des Verfahrens beschriebene Merkmale für die Anordnung.
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Bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird zunächst ein Detektionslichtstrahl auf die Reflexionsfläche der jeweiligen Spiegelelemente des Spiegelarrays gerichtet. Vorzugsweise werden die Spiegelelemente des Spiegelarrays zu einer vorbestimmten Winkelposition angefahren, so dass der Detektionslichtstrahl auf das Detektorarray reflektiert wird.
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Anschließend werden Temperaturänderungen und/oder elektrische Ströme, welche durch den Detektionslichtstrahl und/oder den reflektierten Detektionslichtstrahl verursacht werden, erfasst. Durch die Detektoren des ersten Detektorarrays können die Temperaturänderungen erkannt werden oder die elektrischen Ströme, die durch photoelektrische oder andere physikalische Effekte erzeugt werden, detektiert werden. Somit wird erkannt, welches Spiegelelement des Spiegelarrays angestrahlt wird. Wenn das erste Detektorarray ein Teil eines weiteren Spiegelarrays ist, welches mit dem Spiegelarray optisch koppelbar ist, kann gemäß dem gleichen Prinzip ebenfalls erkannt werden, welches Spiegelelement des weiteren Spiegelarrays angestrahlt wird. Ebenfalls kann mittels des dritten Detektorarrays erkannt werden, welches Spiegelelement des weiteren Spiegelarrays angestrahlt wird.
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Danach wird die Winkelposition der jeweiligen Spiegelelemente mittels des Detektorarrays bestimmt. Da ein gesamtes Detektorarray, nämlich das erste, zweite oder dritte Detektorarray, vorliegt, kann durch eine sogenannte „Vier-Quadranten-Methode“, bei der eine x-Richtung und eine y-Richtung vordefiniert sind, die Winkelpositionen der Spiegelelemente der jeweiligen Spiegelarrays sehr genau bestimmt werden, wenn der Schwerpunkt der reflektierten relevanten Strahlung an dem Spiegelarray im Mittelpunkt der Vier-Quadranten-Methode liegt beziehungsweise auf ausgewählten Pixeln des Detektorarrays liegt.
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Vorzugsweise wird mindestens ein Positionierkennfeld für das Spiegelarray und/oder das weitere Spiegelarray erzeugt, wenn das Spiegelarray unterschiedliche Vier-Quadranten-Mittelpunkt auf dem ersten Detektorarray anfährt und/oder wenn das weitere Spiegelarray unterschiedliche Vier-Quadranten-Mittelpunkt auf dem zweiten oder dem dritten Detektorarray anfährt. Dabei wird eine geeignete Vier-Quadranten-Position erkannt, bei der die Positionsgenauigkeit genauer erkannt werden kann. Vorzugsweise werden verschiedene Positionierkennfelder auf dem Detektorarray durch geeignetes Anfahren von dem Spiegelarray und/oder dem weiteren Spiegelarray erzeugt.
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Nachdem das mindestens einen Positionierkennfeld erzeugt wird, werden Abweichungen des mindestens einen Positionierkennfeldes von einem anfänglichen Positionierkennfeld erkannt. Die Abweichungen des Positionierkennfeldes über Lebenszeit kann bei der Kalibrierung berücksichtigt werden, so dass Lebensdauereffekte kompensiert werden. Das anfänglichen Positionierkennfeld kann beispielsweise nach dem Einbau des Spiegelarrays in die Applikation durch Kalibrierung erzeugt werden. Durch diese Kalibrierung werden am Anfang der Lebenszeit die relevanten Toleranzen eliminiert.
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Vorzugsweise wird der Detektionslichtstrahl gepulst erzeugt. Dadurch können z. B. die Photoströme aus dem Grundrauschen besser ausgewertet werden.
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Es wird auch ein Beleuchtungssystem für eine Projektionsbelichtungsanlage vorgeschlagen. Das Beleuchtungssystem umfasst dabei mindestens ein Spiegelarray mit mehreren Spiegelelementen, eine Strahlungsquelle, deren Strahl direkt auf die Reflexionsfläche der Spiegelelemente des mindestens einen Spiegelarrays oder nach mindestens einer Reflexion auf die Reflexionsfläche der Spiegelelemente des mindestens einen Spiegelarrays gerichtet ist, und mindestens eine erfindungsgemäß vorgeschlagene Anordnung und/oder ist dazu eingerichtet, das erfindungsgemäße Verfahren durchzuführen.
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Vorzugsweise ist die Detektionslichtstrahlrichtung des Detektionslichtstrahls entgegengesetzt der Beleuchtungsstrahlrichtung des Beleuchtungsstrahls der Strahlungsquelle, so dass es zu keiner Störung der Belichtung vom Retikel kommt. Die Detektionslichteinrichtung kann z. B. auch nur zwischen den Belichtungspausen der Strahlungsquelle, Waferwechsel oder Lotwechsel zum Einsatz kommen.
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Vorzugsweise ist die Strahlungsquelle eine EUV-Strahlungsquelle.
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Vorzugsweise ist das dritte Detektorarray an einer für die Strahlungsquelle vorgesehenen Beleuchtungsblende um eine Blendenöffnung der Beleuchtungsblende angeordnet.
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Ferner wird eine Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie, die ein erfindungsgemäßes Beleuchtungssystem umfasst und/oder die dazu eingerichtet ist, das erfindungsgemäße Verfahren durchzuführen.
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Vorteile der Erfindung
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Mittels der erfindungsgemäßen Anordnung und des erfindungsgemäßen Verfahrens kann der Lebensdauereffekt des Spiegelelements sowie des Spiegelarrays reduziert werden und somit kann eine verbesserte Positioniergenauigkeit erreicht werden.
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Außerdem ermöglicht es eine Fehlererkennung während der Fertigung des Spiegelarrays, welche zur Diagnose des Spiegelarrays dienen kann.
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Darüber hinaus kann eine automatische Kalibrierung des Spiegelarrays mittels der erfindungsgemäßen Anordnung und des erfindungsgemäßen Verfahrens erreicht werden.
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Ferner sind Linearitätsmessungen der Kippwinkel des Spiegelelements über den Azimutwinkel unter Verwendung der erfindungsgemäßen Anordnung und des erfindungsgemäßen Verfahrens möglich.
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Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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Ausführungsformen der Erfindung werden anhand der Zeichnungen und der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert.
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Es zeigen:
- 1 eine schematische Darstellung der erfindungsgemäßen Anordnung gemäß einer ersten Ausführungsform und
- 2 eine schematische Darstellung der erfindungsgemäßen Anordnung gemäß einer zweiten Ausführungsform.
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Ausführungsformen der Erfindung
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In der nachfolgenden Beschreibung der Ausführungsformen der Erfindung werden gleiche oder ähnliche Elemente mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet, wobei auf eine wiederholte Beschreibung dieser Elemente in Einzelfällen verzichtet wird. Die Figuren stellen den Gegenstand der Erfindung nur schematisch dar.
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1 zeigt eine schematische Darstellung der erfindungsgemäßen Anordnung 100 gemäß einer ersten Ausführungsform
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Die erfindungsgemäße Anordnung 100 zur Kalibrierung eines Spiegelarrays 30 umfasst dabei eine Detektionslichteinrichtung 40 mit einer ersten Detektionslichtquelle 41 und eine Detektionseinrichtung 60 mit einem ersten Detektorarray 62. Das Spiegelarray 30 umfasst dabei mehrere Spiegelelemente 34, die jeweils eine Reflexionsfläche 36 aufweisen. Die Reflexionsfläche 36 der einzelnen Spiegelelemente 34 bilden dabei eine Gesamtflexionsfläche 38 des Spiegelarrays 30. Zur Ansteuerung der Spiegelelemente 34 kann das Spiegelarray 30 eine Steuereinrichtung (nicht dargestellt) aufweisen. Die Spiegelelemente 34 können dabei separat voneinander angesteuert werden. Die Detektionslichteinrichtung 40 kann dabei auch weitere Detektionslichtquellen aufweisen (vgl. 2). Beispielsweise kann die Detektionslichteinrichtung als Lasereinrichtung ausgebildet sein, wobei die erste Detektionslichtquelle oder gegebenenfalls weitere Detektionslichtquellen als Laserstrahlquelle ausgebildet sind. Vorzugsweise sind die Detektionslichtquellen dazu eingerichtet, jeweils einen gepulsten Detektionslichtstrahl 50 zu erzeugen.
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Die erste Detektionslichtquelle 41 ist dazu eingerichtet, einen Detektionslichtstrahl 50 zu erzeugen, welcher in einer Detektionslichtstrahlrichtung 56 auf die Reflexionsfläche 36 der Spiegelelemente 34 des Spiegelarrays 30 gerichtet wird. Dadurch kann die Reflexionsfläche 36 jedes Spiegelelements 34 angestrahlt werden.
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Das erste Detektorarray 62 weist dabei mehrere Detektoren (nicht dargestellt) wie beispielsweise Temperatursensoren und/oder Lichtsensoren auf, die dazu eingerichtet sind, anhand von durch einen von den Spiegelelementen 34 des Spiegelarrays 30 reflektierten Detektionslichtstrahl 52 erzeugten Temperaturänderungen und/oder elektrischen Strömen die Winkelpositionen der einzelnen Spiegelelemente 34 des Spiegelarrays 30 zu detektieren.
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Vorliegend sind das Spiegelarray 30 als ein ebener Spiegel ausgebildet. Das heißt, die Gesamtreflexionsfläche 38 des Spiegelarrays 30 bilde im Wesentliche eine Ebene, wenn die Spiegelelemente 34 des Spiegelarrays 30 jeweils in einem unverschwenkten Zustand sind. Die Gesamtreflexionsfläche 38 des Spiegelarrays 30 kann jedoch gekrümmt geformt werden und Wok-förmig (vgl. 2) ausgebildet sein.
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Bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird das Spiegelelement 34 des Spiegelarrays 30 so angesteuert, dass das erste Detektorarray 62 von dem vom Spiegelelement 34 reflektierte Detektionslichtstrahl 52 gescannt wird.
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Das erste Detektorarray 62 kann dabei als ein Teil eines weiteren Spiegelarrays 32 (vgl. 2) mit mehreren Spiegelelementen 34 ausgebildet.
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Da ein gesamtes Detektorarray, nämlich das erste Detektorarray 62, vorliegt, können durch eine sogenannte „Vier-Quadranten-Methode“, bei der eine x-Richtung und eine y-Richtung vordefiniert sind, die Winkelpositionen der Spiegelelemente 34 des Spiegelarrays 30 sehr genau bestimmt werden, wenn der Schwerpunkt der reflektierten relevanten Strahlung an dem Spiegelarray 30 vorzugsweise im Mittelpunkt der Vier-Quadranten-Methode liegt beziehungsweise auf ausgewählten Pixeln des Detektorarrays 62, 64 liegt.
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Das Spiegelarray 30 kann auch Detektoren, wie z. B. Temperatursensoren und/oder Lichtsensoren, aufweisen, die jeweils einem Spiegelelement 34 zugeordnet sind. Diese Detektoren können verwendet werden, um zu erkennen, welches Spiegelelement 34 des Spiegelarrays angestrahlt wird. Die Detektoren können dabei ein Teil des Spiegelarrays 30 sein.
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2 ist eine schematische Darstellung der erfindungsgemäßen Anordnung 100 gemäß einer zweiten Ausführungsform zu entnehmen. 2 zeigt dabei ein Beleuchtungssystem 200, in dem die erfindungsgemäße Anordnung 100 integriert ist.
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Das Beleuchtungssystem 200 umfasst dabei eine Strahlungsquelle 20, insbesondere eine EUV-Strahlungsquelle. Das Beleuchtungssystem 200 umfasst ferner ein Spiegelarray 30 und ein weiteres Spiegelarray 32. Die beiden Spiegelarrays 30, 32 sind dabei optisch miteinander gekoppelt und jeweils Wok-förmig ausgebildet. Für die Strahlungsquelle 20 ist eine Beleuchtungsblende 24 mit eine Blendeöffnung 26 vorgesehen. Ein Beleuchtungsstrahl 22 der Strahlungsquelle 20 ist dabei durch die Blendeöffnung 26 in einer Beleuchtungsstrahlrichtung 28 auf das weitere Spiegelarray 32 gerichtet. Da das weitere Spiegelarray 32 mit das Spiegelarray 30 optisch gekoppelt ist, wird dieser Beleuchtungsstrahl 22 von dem weiteren Spiegelarray 32 reflektiert und auf dem Spiegelarray 30 abgebildet, welche in 2 nicht näher dargestellt wird.
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Die Anordnung 100 umfasst dabei eine Detektionslichteinrichtung 40, die eine erste Detektionslichtquelle 41, eine zweite Detektionslichtquelle 42, eine dritte Detektionslichtquelle 43, eine vierte Detektionslichtquelle 44, eine fünfte Detektionslichtquelle 45 und eine sechste Detektionslichtquelle 46 umfasst. Es können noch mehrere Detektionslichtquellen angeordnet sein, wenn beispielsweise noch mehrere Spiegelarrays angeordnet sind, so dass jedes Spiegelarray beleuchtet werden kann. Dabei sind die erste und die zweite Detektionslichtquelle 41, 42 in der Nähe des weiteren Spiegelarrays 32 angeordnet. Die dritte und die vierte Detektionslichtquelle 43, 44 sind dabei in der Nähe des Spiegelarrays 30 angeordnet. Die fünfte und die sechste Detektionslichtquelle 45, 46 sind dabei an der Beleuchtungsblende 24 angeordnet. Die Detektionslichtquellen 41, 42, 43, 44, 45, 46 sind dazu eingerichtet, Detektionslichtstrahlen 50 von unterschiedlichen Richtungen zu erzeugen und auf die jeweiligen Spiegelarrays 30, 32 zu richten. Somit kann das erfindungsgemäße Verfahren in unterschiedlichen Situationen durchgeführt werden. Die Spiegelarrays 30, 32 können dabei auch separat oder in Abhängigkeit voneinander kalibriert werden.
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Die Anordnung 100 umfasst ferner eine Detektionseinrichtung 60, die ein erstes Detektorarray 62, ein zweites Detektorarray 64 und ein drittens Detektorarray 66. Das erste Detektorarray 62 ist dabei als ein Teil des weiteren Spiegelarrays 32 ausgebildet und umfasst mehrere Detektoren, wie beispielsweise Temperatursensoren und/oder Lichtsensoren, die jeweils für ein Spiegelelement 34 vorgesehen sind. Das zweite Detektorarray 64 ist dabei als ein Teil des Spiegelarrays 30 ausgebildet und umfasst mehrere Detektoren, wie beispielsweise Temperatursensoren und/oder Lichtsensoren, die jeweils für ein Spiegelelement 34 vorgesehen sind. Das dritte Detektorarray 66 ist dabei an der Beleuchtungsblende 24 um die Blendeöffnung 26 angeordnet und umfasst ebenfalls mehrere Detektoren, wie beispielsweise Temperatursensoren und/oder Lichtsensoren.
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Nachfolgend wird anhand von dem in 2 dargestellten Beleuchtungssystem 200 und der in 2 dargestellten Anordnung 100 das erfindungsgemäße Verfahren unter Verwendung eines Detektionslichtstrahls 50 von der ersten Detektionslichtquelle 41 ausgeführt. Dabei können auch andere Detektionslichtquellen verwendet werden.
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Bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird zunächst ein Detektionslichtstrahl 50 in eine Detektionslichtstrahlrichtung 56 auf die Reflexionsfläche 36 der jeweiligen Spiegelelemente 34 des Spiegelarrays 30 gerichtet. 2 ist dabei zu entnehmen, dass die Detektionslichtstrahlrichtung 56 des Detektionslichtstrahls 50 von der ersten Detektionslichtquelle 41 der Beleuchtungsstrahlrichtung 28 des Beleuchtungsstrahls 22 von der Strahlquelle 20 entgegengesetzt ist.
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Anschließend werden Temperaturänderungen und/oder elektrische Ströme, welche durch den Detektionslichtstrahl 50 verursacht werden, von dem ersten Detektorarray 62 erfasst, um zu erkennen, welches Spiegelelement 34 des Spiegelarrays 30 angestrahlt wird. Durch die Detektoren des ersten Detektorarrays 62, die jeweils für ein Spiegelelement 34 des weiteren Spiegelarrays 32 vorgesehen sind, können die Temperaturänderungen erkannt werden oder die elektrischen Ströme, die durch photoelektrische oder andere physikalische Effekte erzeugt werden, detektiert werden. Somit wird erkannt, welches Spiegelelement 34 des Spiegelarrays 30 angestrahlt wird.
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Ebenfalls kann durch das zweite Detektorarray 64 erkannt werden, welches Spiegelelement 34 des Spiegelarrays 30 durch von dem Spiegelarray 30 reflektierten Laserstrahl 52 angestrahlt wird, wenn ein Detektionslichtstrahl 50 von z. B der sechsten Detektionslichtquelle 66 erzeugt, auf die Reflexionsfläche 36 der jeweiligen Spiegelelemente 34 des weiteren Spiegelarrays 32 gerichtet und auf das Spiegelarray 30 gerichtet wird. Gemäß dem gleichen Prinzip kann mittels des dritten Detektorarrays 66, der durch von dem weiteren Spiegelarray 34 reflektierten Detektionslichtstrahl 54 bestrahlt wird, erkannt werden, welches Spiegelelement 34 des weiteren Spiegelarrays 32 angestrahlt wird.
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Danach wird die Winkelposition der jeweiligen Spiegelelemente 34 des jeweiligen Spiegelarrays 30, 32 mittels der jeweiligen Detektorarrays 62, 64, 66 bestimmt. Da ein gesamtes Detektorarray, nämlich das erste, zweite oder dritte Detektorarray 62, 64, 66, vorliegt, kann durch eine sogenannte „Vier-Quadranten-Methode“, bei der eine x-Richtung und eine y-Richtung vordefiniert sind, die Winkelpositionen der Spiegelelemente 34 der jeweiligen Spiegelarrays 30, 32 sehr genau bestimmt werden, wenn der Schwerpunkt der reflektierten relevanten Strahlung an dem Spiegelarray 30, 32 vorzugsweise im Mittelpunkt der Vier-Quadranten-Methode liegt beziehungsweise auf ausgewählten Pixeln des Detektorarrays 62, 64, 66 liegt.
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Dabei kann mindestens ein Positionierkennfeld das Spiegelarray 30 und/oder das weitere Spiegelarray 32 erzeugt, wenn das Spiegelarray 30 unterschiedliche Vier-Quadranten-Mittelpunkt auf dem ersten Detektorarray 62 anfährt und/oder wenn das weitere Spiegelarray 32 unterschiedliche Vier-Quadranten-Mittelpunkt auf dem zweiten Detektorarray 64 oder dem dritten Detektorarray 66 anfährt. Vorzugsweise werden verschiedene Positionierkennfelder auf dem Detektorarray 62, 64, 66 durch geeignetes Anfahren von dem Spiegelarray 30 und/oder dem weiteren Spiegelarray 32 erzeugt.
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Nachdem das mindestens einen Positionierkennfeld erzeugt wird, werden Abweichungen des mindestens einen Positionierkennfeldes von einem anfänglichen Positionierkennfeld erkannt. Die Abweichungen des Positionierkennfeldes über Lebenszeit kann bei der Kalibrierung berücksichtigt werden, so dass Lebensdauereffekte kompensiert werden. Das anfänglichen Positionierkennfeld kann beispielsweise nach dem Einbau des Spiegelarrays 30, 32 in die Applikation durch Kalibrierung erzeugt werden. Durch diese Kalibrierung werden am Anfang der Lebenszeit die relevanten Toleranzen eliminiert.
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Die Erfindung ist nicht auf die hier beschriebenen Ausführungsbeispiele und die darin hervorgehobenen Aspekte beschränkt. Vielmehr ist innerhalb des durch die Ansprüche angegebenen Bereichs eine Vielzahl von Abwandlungen möglich, die im Rahmen fachmännischen Handelns liegen.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- DE 102015204874 A1 [0006]
- DE 102016213026 A1 [0007]
