DE102022124609A1

DE102022124609A1 - Linsenfassung, Laservorrichtung, Verfahren zum Herstellen einer monolithischen Linsenfassung, Verfahren zum Herstellen einer Linsenfassung

Info

Publication number: DE102022124609A1
Application number: DE102022124609.4A
Authority: DE
Inventors: Marco Bornschein; Frank Schröder; Stephan Fahr; Matthias Bening
Original assignee: Jenoptik Optical Systems GmbH
Current assignee: Jenoptik Optical Systems GmbH
Priority date: 2022-09-26
Filing date: 2022-09-26
Publication date: 2024-03-28
Also published as: WO2024068120A1

Abstract

Eine Linsenfassung (100) weist einen Außenring (105), einen Innenring (110) und zumindest einen Verbindungssteg (115) auf. Der Innenring (110) ist zum Aufnehmen einer Linse ausgebildet. Der Außenring (105) und der Innenring (110) sind über den zumindest einen Verbindungssteg (115) miteinander verbunden. Der Verbindungssteg (115) formt einen eine erste Länge aufweisenden ersten Abschnitt, einen eine zweite Länge aufweisenden zweiten Abschnitt und einen eine Zwischenlänge aufweisenden Zwischenabschnitt aus. Der Zwischenabschnitt ist zwischen dem ersten Abschnitt und dem zweiten Abschnitt angeordnet. Der erste Abschnitt ist mit dem Innenring (110) verbunden. Der zweite Abschnitt ist mit dem Außenring (105) verbunden. Dabei unterscheidet sich eine Form eines Querschnitts des Zwischenabschnitts in einer Zwischenschnittebene von einer Form eines ersten Querschnitts des ersten Abschnitts in einer ersten Schnittebene und von einer Form eines zweiten Querschnitts des zweiten Abschnitts in einer zweiten Schnittebene.

Description

Stand der Technik
Die Erfindung geht von einer Linsenfassung, einer Laservorrichtung, einem Verfahren zum Herstellen einer monolithischen Linsenfassung und einem Verfahren zum Herstellen einer Linsenfassung nach Gattung der unabhängigen Ansprüche aus.
Die DE 10 2015 115 929 B3 beschreibt eine monolithische Linsenfassung.
Vor diesem Hintergrund werden mit dem hier vorgestellten Ansatz eine verbesserte Linsenfassung, eine verbesserte Laservorrichtung, ein verbessertes Verfahren zum Herstellen einer monolithischen Linsenfassung und ein verbessertes Verfahren zum Herstellen einer Linsenfassung gemäß den Hauptansprüchen vorgestellt. Durch die in den abhängigen Ansprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der im unabhängigen Anspruch angegebenen Vorrichtung möglich.
Vorteilhafterweise kann die Linsenfassung ein zuverlässiges Aufnehmen einer Linse ermöglichen, wobei die Linse spannungsentkoppelt von der Linsenfassung gehalten werden kann.
Es wird eine Linsenfassung vorgestellt, die einen Außenring, einen Innenring und zumindest einen Verbindungssteg aufweist. Der Innenring ist zum Aufnehmen einer Linse ausgebildet. Der Außenring und der Innenring sind über den zumindest einen Verbindungssteg miteinander verbunden. Der Verbindungssteg formt einen eine erste Länge aufweisenden ersten Abschnitt, einen eine zweite Länge aufweisenden zweiten Abschnitt und einen eine Zwischenlänge aufweisenden Zwischenabschnitt aus. Der Zwischenabschnitt ist zwischen dem ersten Abschnitt und dem zweiten Abschnitt angeordnet. Der erste Abschnitt ist mit dem Innenring verbunden. Der zweite Abschnitt ist mit dem Außenring verbunden. Dabei unterscheidet sich eine Form eines Querschnitts des Zwischenabschnitts in einer Zwischenschnittebene von einer Form eines ersten Querschnitts des ersten Abschnitts in einer ersten Schnittebene und von einer Form eines zweiten Querschnitts des zweiten Abschnitts in einer zweiten Schnittebene.
Die Linsenfassung kann beispielsweise für eine Vorrichtung zur Halbleiterinspektion verwendet werden und ausgebildet sein, um eine Linse aufzunehmen. Unter einer Linse kann man ein in wenigstens einem Bereich transmittierendes optisches Element verstehen. Die Linse kann eine Brechkraft aufweisen oder als ein Keil oder eine Planplatte ausgebildet sein. Die Linse kann, muss aber nicht, reflektierende Bereiche aufweisen. Die Linse kann, muss aber nicht, absorbierende Bereiche aufweisen. Die Linse kann beispielsweise als eine Abbildungslinse vorgesehen sein oder als Teil eines Abbildungsobjektivs. Ebenfalls kann die Linse eine Projektionslinse oder ein Teil eines Projektionsobjektivs sein. Die Linse kann ein optisches Element zur Lenkung oder Formung eines Strahls, beispielsweise eines Laserstrahls, darstellen. Zur Lenkung und Formung kann auch ein Objektiv oder ein Teleskop verwendet werden und somit können mehrere Linsen zum Einsatz kommen. Bei der Verwendung mehrerer Linsen kann für jede der Linsen eine eigene Linsenfassung vorgesehen sein. Prinzipiell sind statt eines Lasers auch andere Lichtquellen möglich. Der Innenring der Linsenfassung kann elastische Elemente zum Aufnehmen der Linse aufweisen, damit die Linse zuverlässig in dem Innenring gehalten werden kann. Der Verbindungssteg kann zwischen dem Innenring und dem Außenring der Linsenfassung angeordnet sein. Über den Außenring kann die Linsenfassung beispielsweise an einem Objektivgehäuse befestigt werden. Der Verbindungssteg ermöglicht eine mechanische Entkopplung des Innenrings von dem Außenring, so dass die Linse umweltstabil von dem Innenring gehalten werden kann. Der Verbindungssteg kann als ein gebogener Balken ausgeformt sein. Die Schnittebenen können senkrecht zu einer Balkenlängsrichtung gewählt werden. Die Balkenlängsrichtung kann beim gebogenen Balken als Tangentiale einer Balkenmittellinie aufgefasst werden. Die Balkenmittellinie, die auch als Balkenachse bezeichnet werden kann, kann im Sinne der Biegebalkentheorie die neutrale Faser beim Verbiegen des Balkens darstellen. Die Balkenmittellinie kann vorteilhaft auf einer Kreislinie um eine Achse der Linsenfassung, beispielsweise eine mittig verlaufende Längsachse, liegen. Dann kann die Schnittebene durch die radiale Richtung und die Längsachse aufgespannt sein. Die Längsachse kann der optischen Achse der aufzunehmenden Linse entsprechen. Die Querschnitte des ersten Abschnitts und des zweiten Abschnitts können rechteckig ausgeformt sein. Der Querschnitt des Zwischenabschnitts kann ebenfalls rechteckig ausgeformt sein, jedoch andere Kantenlängen und/oder Abmessungen als die Querschnitte des ersten Abschnitts und des zweiten Abschnitts aufweisen, oder beispielsweise trogförmig ausgeformt sein.
Die Linsenfassung kann eine spannungsentkoppelte monolithische Fassung für optische Komponenten darstellen. Die Linsenfassung kann beispielsweise für Teleskope, Objektive bzw. optische Systeme eingesetzt werden. Genauer gesagt kann das Haupteinsatzgebiet der Linsenfassung das Fassen optischer Komponenten mit hoher Spannungsdoppelbrechungsspezifikation sein. Hierbei ist die Verwendung von wenigstens drei Verbindungsstegen zum mechanischen Entkoppeln einer in dem Innenring gelagerten optischen Linse von einer Deformation des Außenrings aufgrund einer auf den Außenring einwirkenden radialen und/oder axialen Kraftverteilung, insbesondere einer ungleichmäßigen radialen und /oder axialen Kraftverteilung besonders bevorzugt. Dadurch kann eine unerwünschte Spannungsdoppelbrechung des Lichts in der Linse minimiert werden.
Mit dem hier vorgestellten Ansatz kann in radialer Richtung ein kleiner Bauraum für den Verbindungssteg realisiert werden, wodurch bei gleichem Fassungsaußendurchmesser eine größere Linse montiert werden kann. Ein weiterer Vorteil ist, dass der Fertigungsaufwand und somit auch die Kosten für die Linsenfassung niedrig gehalten werden können.
Die Linsenfassung kann monolithisch ausgeformt sein. Dabei kann die Linsenfassung einen Ringkörper aufweisen, der durch Materialausnehmungen in den Außenring, den Innenring und den zumindest einen Verbindungssteg unterteilt sein kann. Vorteilhafterweise kann die Linsenfassung somit kostengünstig und einfach hergestellt werden.
Die Linsenfassung kann wenigstens drei, insbesondere genau drei, um jeweils einen Versetzungswinkel zueinander versetzt angeordnete Verbindungsstege aufweisen, über die der Innenring mit dem Außenring verbunden sein kann. Die Verbindungsstege können gleichartig ausgeformt sein und eine stabile Verbindung zwischen Innenring und Außenring ermöglichen. Durch die Verwendung von mindestens drei Verbindungsstegen kann eine mechanische Entkopplung einer in dem Innenring gelagerten optischen Linse von einer Deformation des Außenrings aufgrund einer auf den Außenring einwirkenden radialen und/oder axialen Kraftverteilung ermöglicht werden.
Besonders bevorzugt ist eine Ausführungsform mit starrem Innenring. Auch der Außenring kann starr ausgeführt sein, während die Verbindungsstege elastisch verformbar sein und als Festkörpergelenke wirken können.
Der Querschnitt des Zwischenabschnitts kann in radialer Richtung bezüglich einer Achse der Linsenfassung die gleiche Ausdehnung wie der erste Querschnitt des ersten Abschnitts aufweisen und zusätzlich oder alternativ kann der Querschnitt des Zwischenabschnitts in axialer Richtung bezüglich der Achse der Linsenfassung gegenüber dem ersten Querschnitt des ersten Abschnitts eine Verjüngung aufweisen. Vorteilhafterweise kann somit eine gute Entkopplungseigenschaft erreicht werden.
Der erste Querschnitt des ersten Abschnitts kann eine größere axiale als radiale Ausdehnung bezüglich der Achse der Linsenfassung aufweisen und zusätzlich oder alternativ kann der Querschnitt des Zwischenabschnitts eine kleinere axiale als radiale Ausdehnung bezüglich der Achse der Linsenfassung aufweisen. Dabei kann der Querschnitt des Zwischenabschnitts axial weniger ausgedehnt sein, als der erste bzw. zweite Abschnitt. Die radiale Ausdehnung kann sehr dünn sein, sodass radial und/oder axial eine sehr dünne Ausdehnung realisiert werden kann. Vorteilhafterweise kann somit ein erforderlicher Bauraum geringgehalten werden.
Der Querschnitt des Zwischenabschnitts kann eine kleinere Querschnittsfläche aufweisen als der erste Querschnitt des ersten Abschnitts und zusätzlich oder alternativ als der zweite Querschnitt des zweiten Abschnitts. Vorteilhafterweise kann somit Bauraum eingespart werden.
Der erste Querschnitt und der zweite Querschnitt können gleich ausgeformt sein. Zusätzlich oder alternativ können die erste Länge und die zweite Länge gleich sein. Dies erleichtert die Herstellung.
Der Zwischenabschnitt kann kürzer als der erste Abschnitt und kürzer als der zweite Abschnitt ausgebildet sein. Vorteilhafterweise kann somit eine gute Dämpfungseigenschaft gegenüber einer Übertragung von Spannungen oder Deformationen über den Verbindungssteg erreicht werden.
Der erste Abschnitt und zusätzlich oder alternativ der Zwischenabschnitt und zusätzlich oder alternativ der zweite Abschnitt können frei von einer Radialkomponente tangential ausgebildet sein. Dies erleichtert die Herstellung.
Der Zwischenabschnitt kann zumindest im Bereich der Zwischenschnittebene eine Aussparung aufweisen. Die Aussparung kann in axialer Richtung oder in radialer Richtung ausgerichtet sein. Die Aussparung kann eine beliebige Form aufweisen, beispielsweise einen runden Querschnitt aufweisen. Die Aussparung kann als ein Durchgangsloch oder ein Sackloch realisiert sein. Durch die Aussparung lässt sich die Übertragung von Deformationen und Spannungen über den Verbindungssteg hinweg reduzieren.
Die Aussparung kann beispielsweise als ein Bohrloch, Fräsloch oder Erodierloch ausgeformt sein. Die Aussparung kann somit schnell und zuverlässig ausgeformt werden.
Der Verbindungssteg kann im Bereich der Zwischenschnittebene eine Engstelle aufweisen, die eine Biegesteifigkeit des Verbindungsstegs beeinflussen kann. Vorteilhafterweise kann der Verbindungssteg somit Deformationen der Linse entkoppeln.
Eine erste Seite des Zwischenabschnitts kann zumindest eine erste Aussparung und zusätzlich oder alternativ kann eine zweite Seite des Zwischenabschnitts zumindest eine zweite Aussparung aufweisen. Dabei können die erste Aussparung und die zweite Aussparung gegenüberliegend oder versetzt zueinander angeordnet sein. Auch können die Aussparungen gleich groß ausgeformt sein oder alternativ eine unterschiedliche Größe aufweisen. Je nach Ausformung und Anordnung der Aussparungen können unterschiedliche Entkopplungseigenschaften realisiert werden.
Vorteilhaft können genau zwei Aussparungen pro Verbindungssteg als gegenüberliegende Sacklöcher oder genau eine Aussparung als Sackloch pro Verbindungssteg ausgeführt sein, wobei diese vorteilhaft in axialer Richtung angebracht sein können. Sind zwei Sacklöcher pro Verbindungssteg vorgesehen, so können diese vorteilhaft koaxial zueinander sein. Der Verbindungssteg kann als ein Biegebalken ausgeformt sein. Ein solcher Biegebalken ist einerseits stabil genug um eine sichere Verbindung zwischen Innenring und Außenring zu ermöglichen und andererseits flexibel genug um eine mechanische Entkopplung zwischen Innenring und Außenring zu ermöglichen.
Gemäß einer Ausführungsform kann der Verbindungssteg abgesehen von zumindest einer Aussparung in dem Zwischenabschnitt eine sich über den Zwischenabschnitt sowie den ersten Abschnitt und den zweiten Abschnitt erstreckende plane Oberfläche aufweisen.
Eine Laservorrichtung zum Aussenden eines Laserstrahls kann eine Ausführungsform einer hierin genannten Linsenfassung und eine von der Linsenfassung aufgenommene Linse zum Leiten des Laserstrahls aufweisen. Die Laservorrichtung kann beispielsweise für eine Halbleiterinspektion verwendet werden. Auch durch eine solche Ausführungsform können die Vorteile des hier beschriebenen Ansatzes sehr effizient realisiert werden.
Ein Verfahren zum Herstellen einer monolithischen Linsenfassung umfasst einen Schritt des Bereitstellens, einen Schritt des Herstellens, einen Schritt des tangentialen Einschlitzens und einen Schritt des weiteren tangentialen Einschlitzens. Im Schritt des Bereitstellens werden ein Rohling mit einem innenliegenden Aufnahmeabschnitt für ein optisches Element, insbesondere für eine Linse, und ein außenliegender Fassungsabschnitt bereitgestellt, wobei der Rohling eine Achse aufweist. Im Schritt des Herstellens wird eine Mehrzahl, wenigstens drei bezüglich der Achse symmetrisch angeordnete einseitig oder beidseitig aufeinander zulaufend angeordnete Ausnehmungen hergestellt. Im Schritt des tangentialen Einschlitzens wird der Rohling mit einer in mehreren Sektoren unterteilten Nut auf einem äußeren Radius eingeschlitzt. Im Schritt des weiteren tangentialen Einschlitzens wird der Rohling mit einer in die mehrteiligen Sektoren unterteilten Nut auf einem inneren Radius eingeschlitzt. Dabei sind die Ausnehmungen zwischen dem inneren und dem äußeren Radius innerhalb der Sektoren angeordnet. Auch durch eine solche Ausführungsform können die Vorteile des hier beschriebenen Ansatzes sehr effizient realisiert werden.
Bevorzugt können als Festkörper ausgebildete elastische Elemente am Innenring angebracht sein, insbesondere mit einer weiteren Biegebalkenfunktion ausgestattete blattfederförmige Konturen. Insbesondere können diese weiteren Biegebalken mit einer Balkenlänge in axialer Richtung einer Balkenbreite in tangentialer Richtung und einer im Vergleich zur Balkenbreite geringen Balkenhöhe in radialer Richtung ausgebreitet sein. Somit können diese weiteren Biegebalken am freien Ende in radialer Richtung ausfedern. An den freien Enden der weiteren Biegebalken kann die Linse anliegen. Somit können Durchmessertoleranzen der Linse ausgeglichen werden, ohne dass die Linse eine übermäßige mechanische Spannung erfährt. Den freien Enden der weiteren Biegebalken kann jeweils ein festes Ende gegenüberliegen und an dem Innenring angeordnet sein.
Ein Verfahren zum Herstellen einer Ausführungsform einer hierin genannten Linsenfassung umfasst einen Schritt des Bereitstellens eines monolithischen Rohlings, einen Schritt des Ausformens von zumindest einer Aussparung an einer Oberfläche des Rohlings und einen Schritt des Einschlitzens des Rohlings, um den Außenring, den Innenring und den zumindest einen Verbindungssteg auszuformen. Dabei ist die Aussparung im Bereich des Zwischenabschnitts des Verbindungsstegs angeordnet. Auch durch eine solche Ausführungsform können die Vorteile des hier beschriebenen Ansatzes sehr effizient realisiert werden. Wenn die Aussparung vor dem Einschlitzen des Rohlings ausgeformt wird, kann die hohe Stabilität des Rohlings ausgenutzt werden, um die Aussparung mit hoher Genauigkeit ausformen zu können. Im Schritt des Einschlitzens können mehrere Nuten ausgeformt werden, beispielsweise durch einen Stanzvorgang oder ein Laserschneiden.
Gemäß einer Ausführungsform kann auch eine Herstellung im 3-D Druck bzw. im Sinterverfahren ermöglicht werden, deren Genauigkeiten zunehmend verbessert werden kann. Zumindest eine Kombination aus 3-D Druck bzw. Sinterverfahren mit anschließender mechanischen Bearbeitung, beispielsweise mittels Erodieren oder Laserbearbeitung kann eine fertigungstechnische Variante darbieten.
Ausführungsbeispiele des hier vorgestellten Ansatzes sind in den Zeichnungen dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigt:

1 eine Draufsichtsdarstellung eines Ausführungsbeispiels einer Linsenfassung;
2a eine Schnittdarstellung einer Seitenansicht eines Ausführungsbeispiels einer Linsenfassung;
2b eine Draufsichtsdarstellung eines Ausführungsbeispiels einer Linsenfassung;
3 eine Draufsichtsdarstellung eines Verbindungsstegs für ein Ausführungsbeispiel eines Ausschnitts einer Linsenfassung;
4 eine schematische Schnittdarstellung einer Seitenansicht eines Zwischenabschnitts für ein Ausführungsbeispiel einer Linsenfassung;
5 eine schematische Schnittdarstellung einer Seitenansicht eines Zwischenabschnitts für ein Ausführungsbeispiel einer Linsenfassung;
6 eine schematische Schnittdarstellung einer Seitenansicht eines Zwischenabschnitts für ein Ausführungsbeispiel einer Linsenfassung;
7 eine schematische Schnittdarstellung einer Seitenansicht eines Zwischenabschnitts für ein Ausführungsbeispiel einer Linsenfassung;
8 eine schematische Schnittdarstellung einer Draufsicht eines Zwischenabschnitts für ein Ausführungsbeispiel einer Linsenfassung;
9 eine schematische Darstellung einer Seitenansicht eines Ausführungsbeispiels einer Laservorrichtung;
10 ein Ablaufdiagramm eines Ausführungsbeispiels eines Verfahrens zum Herstellen einer monolithischen Linsenfassung; und
11 ein Ablaufdiagramm eines Ausführungsbeispiels eines Verfahrens zum Herstellen einer Linsenfassung.

In der nachfolgenden Beschreibung günstiger Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden für die in den verschiedenen Figuren dargestellten und ähnlich wirkenden Elemente gleiche oder ähnliche Bezugszeichen verwendet, wobei auf eine wiederholte Beschreibung dieser Elemente verzichtet wird.
Umfasst ein Ausführungsbeispiel eine „und/oder“-Verknüpfung zwischen einem ersten Merkmal und einem zweiten Merkmal, so ist dies so zu lesen, dass das Ausführungsbeispiel gemäß einer Ausführungsform sowohl das erste Merkmal als auch das zweite Merkmal und gemäß einer weiteren Ausführungsform entweder nur das erste Merkmal oder nur das zweite Merkmal aufweist.
1 zeigt eine Draufsichtsdarstellung eines Ausführungsbeispiels einer Linsenfassung 100. Die Linsenfassung 100 ist ausgebildet, um eine Linse aufzunehmen. Die Linsenfassung 100 kann beispielsweise in einem Objektiv oder einem Teleskop eingesetzt werden. Beispielsweise kann die Linsenfassung 100 für eine Vorrichtung für eine Halbleiterinspektion verwendet werden.
Grundsätzlich dient die Linsenfassung 100 der mechanischen Halterung zumindest einer optischen Einzellinse bzw. Kittgruppen. Für Linsensysteme, an deren Abbildungsqualität hohe Ansprüche gestellt werden, ist es darüber hinaus von Bedeutung, dass die Linsen umweltstabil und dabei möglichst deformationsfrei und spannungsfrei gefasst sind. Dazu wird unter anderem zumindest eine Entkopplungsstruktur eingesetzt, die zwischen einem inneren und einem äußeren Fassungsteil angeordnet ist.
Die hier dargestellte Linsenfassung 100 weist dementsprechend einen Außenring 105, einen Innenring 110 und als Entkopplungsstruktur zumindest einen Verbindungssteg 115 auf. Der Verbindungssteg 115 ist zwischen dem Innenring 110 und dem Außenring 105 angeordnet, sodass der Außenring 105 und der Innenring 110 über den Verbindungssteg 115 miteinander verbunden sind. Der Innenring 110 ist ausgebildet, um eine Linse aufzunehmen. Dazu formt der Innenring 110 beispielsweise eine Mehrzahl von elastischen Elementen 120 aus, um die Linse zuverlässig aufzunehmen.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel werden als Festkörper ausgebildete elastische Elemente 120 am Innenring 110 angebracht, insbesondere mit einer weiteren Biegebalkenfunktion ausgestattete blattfederförmige Konturen. Insbesondere sind die elastischen Elemente 120 als Biegebalken ausgebildet und können dementsprechend auch als Biegebalken bezeichnet werden. Die elastischen Elemente 120 sind mit einer Balkenlänge in axialer Richtung, einer Balkenbreite in tangentialer Richtung und einer im Vergleich zur Balkenbreite geringen Balkenhöhe in radialer Richtung ausgebreitet. Somit können die elastischen Elemente 120 am freien Ende in radialer Richtung ausfedern. An den freien Enden der elastischen Elemente 120 kann die Linse anliegen. Somit können Durchmessertoleranzen der Linse und Ausdehnungsunterschiede bei Temperaturschwankungen ausgeglichen werden, ohne dass die Linse eine übermäßige mechanische Spannung erfährt. Den freien Enden der elastischen Elemente 120 kann jeweils ein festes Ende gegenüberliegen und an dem Innenring 110 angeordnet sein.
Gemäß dem hier dargestellten Ausführungsbeispiel weist die Linsenfassung 100 eine Mehrzahl, hier beispielhaft insgesamt drei Verbindungsstege 115, 125, 135 auf, die versetzt zueinander angeordnet sind. Dabei weisen die Verbindungsstege 115, 125, 135 beispielhaft alle dieselbe Form auf.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel ist die Linsenfassung 100 monolithisch ausgeformt. In anderen Worten ausgedrückt repräsentiert die Linsenfassung 100 eine monolithische Verbindung vom Außenring 105, der auch als äußerer Fassungsteil bezeichnet werden kann, zum Innenring 110, der auch als innerer Fassungsteil bezeichnet werden kann, über zumindest den einen Verbindungssteg 115, der auch als radialer Biegebalken bezeichnet werden kann. Dieser Verbindungssteg 115 zeichnet sich gemäß einem Ausführungsbeispiel dadurch aus, dass der Verbindungssteg 115 zumindest eine Aussparung 130 aufweist, um zusätzliche Deformationen zu entkoppeln. Optional weist der Verbindungssteg 115 beidseitig symmetrisch eine entsprechende Aussparung 130 auf.
Der Vorteil dieser Lösung besteht darin, dass der radiale Bauraum klein ist und so im Gegensatz zu alternativen Lösungen mit einem größeren Bauraumbedarf bei gleichem Fassungsaußendurchmesser eine größere Linse montiert werden kann. Ein weiterer Vorteil ist, dass der Fertigungsaufwand und somit auch die Kosten für diese Lösung niedriger sind.
2a zeigt eine Schnittdarstellung eines Ausführungsbeispiels einer Seitenansicht einer Linsenfassung 100. Dabei ähnelt oder entspricht die Linsenfassung 100 der Linsenfassung aus 1.
Der Außenring 105, der Innenring 110 und der Verbindungssteg 115 sind beispielhaft geschnitten dargestellt. Eine Achse 200 ist beispielhaft dargestellt. Die Achse 200 verläuft dabei mittig durch die Linsenfassung 100 und stellt somit eine Längsachse dar. Die Achse 200 verläuft durch einen Mittelpunkt des Innenrings und des Außenrings der Linsenfassung 100.
2b zeigt eine Draufsichtdarstellung eines Ausführungsbeispiels einer Linsenfassung 100. Dabei ähnelt oder entspricht die Linsenfassung 100 der Linsenfassung aus 1.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel weist die Linsenfassung 100 eine Linse 205 auf, die von dem Innenring 110 aufgenommen ist. An einer Außenfläche des Außenrings 105 sind beispielhaft drei Kraftkomponenten 210, 220, 230 angeordnet, beispielsweise jeweils um einen Winkel von 120 Grad verteilt an dem Außenring 105. Dabei repräsentiert die erste Kraftkomponente eine erste Kraft F1, die zweite Kraftkomponente 220 eine zweite Kraft F2 und die dritte Kraftkomponente eine dritte Kraft F3. Dabei sind die Kraftkomponenten 210, 220, 230 beispielhaft derart an dem Außenring 105 angeordnet, dass beispielweise die erste Kraftkomponente 210 zwischen dem dritten Verbindungssteg 135 und dem zweiten Verbindungssteg 125 angeordnet ist, die zweite Kraftkomponente 220 zwischen dem Verbindungssteg 115 und dem dritten Verbindungssteg 135 angeordnet ist und die dritte Kraftkomponente 230 zwischen dem zweiten Verbindungssteg 125 und dem ersten Verbindungssteg 115 angeordnet ist.
Die Kräfte F1, F2, F3 sind beispielsweise ausgebildet, um auf den Außenring 105 zu wirken und somit eine Deformation des Außenrings 105 zu bewirken (die Deformation wurde in der 2b angedeutet durch Unrundheit der Außenkontur des Außenrings 105).
Beispielhaft zeigt 2b eine Aufspannsituation der Linsenfassung 100 in einem Bohrfutter einer Drehmaschine mit einer Kräfteeinleitung von den drei Kräften F1, F2 und F3 mit den jeweiligen Kraftkomponenten Fx, Fy, Fz.
Somit wird in 2b schematisch eine asymmetrische Krafteinwirkung über den Außenring 105 angedeutet. Hierbei sind F1, F2 und F3 Kräfte, welche wie hier dargestellt über eine Aufspannvorrichtung, Bohrfutter, einer Drehmaschine eingebracht werden. Dabei setzen sich die Kräfte aus den jeweiligen x, y, und z-Richtungskomponenten Fx, Fy und Fz zusammen. Eine x-y-z-Achse 240 ist beispielhaft dargestellt. Die Krafteinleitung erfolgt unter unterschiedlichsten Winkeln, je nach Vorspannungssituation im Bohrfutter. Die Kräfte F1, F2, F3 führen zumindest zu einer elastischen Formveränderung im Bereich der Krafteinleitungszonen. Damit die resultierenden Spannungen sich nicht auf die gesamte Linsenfassung 100 auswirken und Spannungen an die Linse 205 übertragen werden, findet erfindungsgemäß eine Spannungsentkoppelung zum Innenring 110 durch die Verbindungsstege 115, 125, 135 und die elastischen Elemente 120 statt.
Somit können Kräfte, hier beispielhaft die Kräfte F1, F2, F3, deren Gesamtwirkung keine Beschleunigung, kein Drehmoment, aber eine Deformation des Außenringes ergibt, abgefangen werden.
3 zeigt eine Draufsichtsdarstellung eines Verbindungsstegs 115 für ein Ausführungsbeispiel eines Ausschnitts einer Linsenfassung. Dabei ähnelt oder entspricht der Verbindungssteg 115 dem Verbindungssteg aus einer der vorangegangenen Figuren.
Der Verbindungssteg 115 ist beispielsweise als ein Biegebalken ausgeformt. Ferner formt der Verbindungssteg 115 einen ersten Abschnitt 300, einen zweiten Abschnitt 305 und einen Zwischenabschnitt 310 aus. Dabei ist der Zwischenabschnitt 310 zwischen dem ersten Abschnitt 300 und dem zweiten Abschnitt 305 angeordnet. Der erste Abschnitt 300 und der zweite Abschnitt 305 weisen beispielsweise dieselbe Form und Länge auf. Dabei ist der erste Abschnitt 300 mit dem Innenring verbunden und der zweite Abschnitt 305 ist mit dem Außenring 105 verbunden.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel weist der Zwischenabschnitt 310 zumindest im Bereich einer Zwischenschnittebene 320 eine andere Form als die die Abschnitte 300, 305 auf. Beispielsweise unterscheidet sich eine Form eines Querschnitts des Zwischenabschnitts 310 in der Zwischenschnittebene 320 von einer Form eines ersten Querschnitts des ersten Abschnitts 300 in einer ersten Schnittebene 330 und von einer Form eines zweiten Querschnitts des zweiten Abschnitts 305 in einer zweiten Schnittebene 325.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel weist der Zwischenabschnitt 310 zumindest auf Höhe der Zwischenschnittebene 320 eine Aussparung 130 auf, durch die die sich von den Abschnitten 300, 305 unterscheidende Form des Zwischenabschnitts 310 hervorgerufen wird. Die Aussparung 130 ist beispielsweise als ein Sackloch ausgeführt und beispielhaft als ein Bohrloch, Fräsloch oder Erodierloch ausgeformt.
Der Verbindungssteg 115 weist entlang seiner Längserstreckungsrichtung eine Krümmung auf, die einem Kreisbogen um die Längsachse der Linsenfassung folgt. Beispielsweise erstreckt sich der Verbindungssteg 115 über einen auf die Längsachse bezogenen Mittelpunktswinkel von mehr als 10° und weniger als 60°.
Beispielhaft weist der Verbindungssteg 115 eine Länge auf, die mindestens dem 5-fachen der Breite des Verbindungsstegs 115 entspricht und/oder eine Länge, die weniger als dem 20-fachen der Breite des Verbindungsstegs 115 entspricht.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel wird der Verbindungssteg 115 durch zwei Schlitze 315, 335 ausgeformt. Dabei verläuft ein erster Schlitz 335 entlang eines inneren Rands des Verbindungsstegs 115 und trennt den Verbindungsstegs 115 abgesehen von einem inneren Verbindungsbereich zu dem Innenring 105 von dem Innenring 115 ab. Ein zweiter Schlitz 315 verläuft entlang eines äußeren Rands des Verbindungsstegs 115 und trennt den Verbindungsstegs 115 abgesehen von einem äußeren Verbindungsbereich zu dem Außenring 105 von dem Außenring 105 ab. Der innere Verbindungsbereich verläuft radial bezüglich der Längsachse und der äußere Verbindungsbereich entlang eines Kreisbogens um die Längsachse. Entlang der Ränder des Verbindungsstegs 115 verlaufen die Schlitze 315, 335 entlang Kreislinien um die Längsachse der Linsenfassung.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel weist der Verbindungssteg 115 auf der in 3 gezeigten Oberseite, abgesehen von der zumindest einen Aussparung 130, über seine gesamte Länge eine plane Oberfläche auf. Optional weist der Verbindungssteg 115 auf einer der in 3 gezeigten Oberseite gegenüberliegenden Unterseite, abgesehen von zumindest einer optionalen weiteren Aussparung, über seine gesamte Länge ebenfalls eine plane Oberfläche auf. Gemäß einem Ausführungsbeispiel gehen die Oberflächen des Verbindungsstegs 115 an der Oberseite und der Unterseite in den Verbindungsbereichen nahtlos und geradlinig in entsprechende Oberflächen des Außenrings 105 und des Innenrings 115 über.
4 zeigt eine schematische Schnittdarstellung einer Seitenansicht eines Zwischenabschnitts 310 entlang einer Längserstreckung eines Verbindungsstegs für ein Ausführungsbeispiel einer Linsenfassung. Dabei ähnelt oder entspricht der Zwischenabschnitt 310 dem Zwischenabschnitt aus 4.
Der Zwischenabschnitt 310 weist eine erste Seite 400 und eine zweite Seite 405 aus. In der an sich planen Oberfläche der ersten Seite 400 ist die Aussparung 130 ausgeformt und in der an sich planen Oberfläche der zweiten Seite 405 ist eine zweite Aussparung 410 ausgeformt. Die Aussparungen 130, 410 sind gemäß dem hier gezeigten Ausführungsbeispiel direkt gegenüberliegend zueinander angeordnet und weisen beispielhaft denselben Durchmesser auf. Aufgrund der Aussparungen 130, 410 weist der Verbindungssteg eine Verjüngung auf.
Ein Ausschnitt 415 des Zwischenabschnitts 310 ist in 5 vergrößert dargestellt.
5 zeigt eine schematische Schnittdarstellung einer Seitenansicht eines Zwischenabschnitts 310 für ein Ausführungsbeispiel einer Linsenfassung. Genauer gesagt zeigt 5 den in 4 dargestellten Ausschnitt 415 des Zwischenabschnitts 310. Lediglich beispielhaft stellen die Aussparungen 130, 410 Bohrungen da. Dabei repräsentiert t_B1 eine Tiefe der Bohrung der Aussparung 130 und t_B2 eine Tiefe der Bohrung der zweiten Aussparung 410. Gemäß dem hier gezeigten Ausführungsbeispiel ist t_B1 kleiner als t_B2. Alternativ sind t_B1 und t_B2 gleich groß oder t_B1 ist größer als t_B2 Oder t_B1 ist gleich null oder t_B2 ist gleich null. Letztere Fälle entsprechen einer einseitigen Sacklochbohrung, die hier nicht dargestellt ist.
6 zeigt eine schematische Schnittdarstellung einer Seitenansicht eines Zwischenabschnitts 310 entlang einer Längserstreckung eines Verbindungsstegs für ein Ausführungsbeispiel einer Linsenfassung. Dabei ähnelt oder entspricht der Zwischenabschnitt 310 dem Zwischenabschnitt aus 4, mit Ausnahme dessen, dass die Aussparungen 130, 410 entlang der Längsachse versetzt zueinander angeordnet sind.
Durch d₁ wird ein Versatz zwischen den Aussparungen 130, 410 entlang der Längserstreckung des Verbindungsstegs repräsentiert. Durch d₂ wird eine im Bereich der zweiten Aussparung 410 verbleibende Dicke des Verbindungssteges repräsentiert. Dabei entspricht die Dicke d₁ der Dicke d₂ oder d₁ ist größer als d₂ oder d₁ ist kleiner als d₂. Die Anzahl der Aussparungen 130, 410 kann geeignet gewählt werden, wobei die Anzahl der Aussparungen N_B größer gleich 1 ist.
7 zeigt eine schematische Schnittdarstellung entlang einer Längserstreckung eines Verbindungsstegs eines Zwischenabschnitts 310 für ein Ausführungsbeispiel einer Linsenfassung. Die Aussparungen 130, 410 sind gemäß dem hier gezeigten Ausführungsbeispiel direkt gegenüberliegend zueinander angeordnet und weisen eine unterschiedliche Größe auf. Genauer gesagt weisen die Aussparungen 130, 410 einen unterschiedlichen Durchmesser auf. Dabei repräsentiert Ø₂ einen Durchmesser der ersten Aussparung 130 und Ø₁ einen weiteren Durchmesser der zweiten Aussparung 410. Gemäß dem hier gezeigten Ausführungsbeispiel ist Ø₁ kleiner als Ø₂. Alternativ ist Ø₁ größer als Ø₂ oder Ø₁ entspricht Ø₂.
Ferner ist die zweite Aussparung 410 beispielhaft tiefer ausgeformt als die Aussparung 130.
8 zeigt eine schematische Draufsicht auf einen Zwischenabschnitts 310 für ein Ausführungsbeispiel einer Linsenfassung. Gemäß dem hier dargestellten Ausführungsbeispiel weist der Zwischenabschnitt 310 eine Mehrzahl von Aussparungen auf.
Beispielsweise zeigt die Draufsicht die erste Seite 400 des Verbindungsstegs. Dabei entspricht die Aussparung 130 beispielsweise der in 3 gezeigten Aussparung. Die weiteren Aussparungen 800, 805, 810 sind unterschiedlich zu der Aussparung 130 ausgeformt. Genauer gesagt weisen die Aussparungen 130, 800, 805, 810 unterschiedliche Positionen und Durchmesser auf. Dabei weist die Aussparung 800 einen größeren Durchmesser als die Aussparung 130 und die Aussparung 805 auf. Die Aussparung 805 weist beispielsweise einen kleineren Durchmesser als die anderen Aussparungen 130, 800 auf. Die Aussparung 810 ist halbkreisförmig ausgeformt, wobei die Aussparungen 130, 800, 805 kreisförmig ausgeformt sind.
Gemäß einem Ausführungsbeispiel erstreckt sich die Aussparung 810 durchgängig über einen die erste Seite 400 und die gegenüberliegende zweite Seite erstreckenden Rand des Verbindungsstegs. In diesem Fall stellt die Aussparung 810 eine über den Rand verlaufende Nut dar.
9 zeigt eine schematische Darstellung einer Seitenansicht eines Ausführungsbeispiels einer Laservorrichtung 900. Dabei weist die Laservorrichtung 900 einen Laser 915 und eine Linsenfassung 100 auf, wobei die Linsenfassung 100 der Linsenfassung aus einer der vorstehend beschriebenen Figuren ähnelt oder entspricht. Ferner weist die Laservorrichtung 900 eine Linse 205 auf. Die Linse 205 ist von dem Innenring der Linsenfassung 100 aufgenommen und ausgebildet, um einen Laserstrahl 910 zu leiten, beispielsweise zu fokussieren. Die Linsenfassung 100 samt Linse 205 ist Teil eines Objektivs 920. Beispielsweise ist die Linsenfassung 100 über den Außenring mit einem Gehäuse des Objektivs 920 verbunden.
Die Laservorrichtung 900 ist beispielsweise für eine Halbleiterinspektion verwendbar. Dabei kommt die Linsenfassung 100 beispielsweise zum Einsatz, wenn ein optisches Bauteil eine hohe Anforderung in der Passe bzw. Spannungsdoppelbrechung aufweist und äußere Deformationen von dem optischen Bauteil fernzuhalten sind.
10 zeigt ein Ablaufdiagramm eines Ausführungsbeispiels eines Verfahrens 1000 zum Herstellen einer monolithischen Linsenfassung. Das Verfahren 1000 umfasst einen Schritt 1005 des Bereitstellens, einen Schritt 1010 des Herstellens, einen Schritt 1015 des tangentialen Einschlitzens und einen Schritt 1020 des weiteren tangentialen Einschlitzens. Im Schritt 1005 des Bereitstellens werden ein Rohling mit einem innenliegenden Aufnahmeabschnitt für ein optisches Element, insbesondere für eine Linse, und ein außenliegender Fassungsabschnitt bereitgestellt, wobei der Rohling eine Achse aufweist. Im Schritt 1010 des Herstellens wird eine Mehrzahl, wenigstens drei bezüglich der Achse symmetrisch angeordnete einseitig oder beidseitig aufeinander zulaufend angeordnete Ausnehmungen hergestellt. Im Schritt 1015 des tangentialen Einschlitzens wird der Rohling mit einer in mehreren Sektoren unterteilten Nut auf einem äußeren Radius eingeschlitzt. Im Schritt 1020 des weiteren tangentialen Einschlitzens wird der Rohling mit einer in die mehrteiligen Sektoren unterteilten Nut auf einem inneren Radius eingeschlitzt.
Dabei sind die Ausnehmungen zwischen dem inneren und dem äußeren Radius innerhalb der Sektoren angeordnet.
11 zeigt ein Ablaufdiagramm eines Ausführungsbeispiels eines weiteren Verfahrens 1100 zum Herstellen einer Linsenfassung. Die Linsenfassung ähnelt oder entspricht hierbei der Linsenfassung aus einer der hierin beschriebenen Figuren.
Das Verfahren 1100 umfasst einen Schritt 1105 des Bereitstellens eines monolithischen Rohlings, einen Schritt 1110 des Ausformens von zumindest einer Aussparung an einer Oberfläche des Rohlings und einen Schritt 1115 des Einschlitzens des Rohlings. Im Schritt 1110 des Ausformens werden eine oder mehrere Aussparungen in einer Oberfläche oder beispielsweise in zwei einander gegenüberliegenden Oberflächen des Rohlings ausgeformt und zwar an Positionen, die in einem für einen Zwischenabschnitt eines Verbindungsstegs vorgesehenen Bereich liegen. Durch den Schritt 1115 des Einschlitzens, werden den Rohling komplett durchdringende Schlitze erzeugt, durch die der zumindest eine Verbindungssteg freigestellt wird, wie es beispielsweise in 2 gezeigt ist. Der Schritt des Herstellens 1010 der Ausnehmungen erfolgt beispielsweise vor dem Schritt des tangentialen Einschlitzens 1015 und vor dem Schritt des weiteren tangentialen Einschlitzens 1020.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

DE 102015115929 B3 [0002]

Claims

Linsenfassung (100), wobei die Linsenfassung (100) die folgenden Merkmale aufweist: einen Außenring (105); einen Innenring (110), der zum Aufnehmen einer Linse (205) ausgebildet ist; und zumindest einen Verbindungssteg (115) über den der Außenring (105) und der Innenring (110) miteinander verbunden sind, wobei der Verbindungssteg (115) einen eine erste Länge aufweisenden ersten Abschnitt (300), einen eine zweite Länge aufweisenden zweiten Abschnitt (305) und einen eine Zwischenlänge aufweisenden Zwischenabschnitt (310) ausformt, wobei der Zwischenabschnitt (310) zwischen dem ersten Abschnitt (300) und dem zweiten Abschnitt (305) angeordnet ist, wobei der erste Abschnitt (300) mit dem Innenring (110) verbunden ist und wobei der zweite Abschnitt (305) mit dem Außenring (105) verbunden ist, wobei sich eine Form eines Querschnitts des Zwischenabschnitts (310) in einer Zwischenschnittebene (320) von einer Form eines ersten Querschnitts des ersten Abschnitts (300) in einer ersten Schnittebene (330) und von einer Form eines zweiten Querschnitts des zweiten Abschnitts (305) in einer zweiten Schnittebene (325) unterscheidet.
Linsenfassung (100) gemäß Anspruch 1, wobei die Linsenfassung (100) monolithisch ausgeformt ist und wobei die Linsenfassung (100) einen Ringkörper aufweist, der durch Materialausnehmungen in den Außenring (105), den Innenring (110) und den zumindest einen Verbindungssteg (115) unterteilt ist.
Linsenfassung (100) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei die Linsenfassung (100) wenigstens drei, insbesondere genau drei, um jeweils einen Versetzungswinkel zueinander versetzt angeordnete Verbindungsstege (115, 125, 135) aufweist, über die der Innenring (110) mit dem Außenring (105) verbunden ist.
Linsenfassung (100) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei der Querschnitt des Zwischenabschnitts (310) in radialer Richtung bezüglich einer Achse (200) der Linsenfassung (100) die gleiche Ausdehnung wie der erste Querschnitt des ersten Abschnitts (300) aufweist und/oder wobei der Querschnitt des Zwischenabschnitts (310) in axialer Richtung bezüglich der Achse (200) der Linsenfassung (100) gegenüber dem ersten Querschnitt des ersten Abschnitts (300) eine Verjüngung aufweist.
Linsenfassung (100) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei der erste Querschnitt des ersten Abschnitts (300) eine größere axiale als radiale Ausdehnung bezüglich der Achse (200) der Linsenfassung (100) aufweist und/oder wobei der Querschnitt des Zwischenabschnitts (310) eine kleinere axiale als radiale Ausdehnung bezüglich der Achse (200) der Linsenfassung (100) aufweist und/oder wobei der Querschnitt des Zwischenabschnitts (310) eine kleinere Querschnittsfläche aufweist als der erste Querschnitt des ersten Abschnitts (300) und/oder als der zweite Querschnitt des zweiten Abschnitts (305).
Linsenfassung (100) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei der erste Querschnitt und der zweite Querschnitt gleich ausgeformt sind und/oder wobei die erste Länge und die zweite Länge gleich sind und/oder wobei der Zwischenabschnitt (310) kürzer als der erste Abschnitt (300) und/oder kürzer als der zweite Abschnitt (305) ausgebildet ist.
Linsenfassung (100) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei der erste Abschnitt (300) und/oder der Zwischenabschnitt (310) und/oder der zweite Abschnitt (305) frei von einer Radialkomponente tangential ausgebildet sind.
Linsenfassung (100) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei der Zwischenabschnitt (310) zumindest im Bereich der Zwischenschnittebene (320) wenigstens eine, insbesondere genau eine oder genau zwei, Aussparung(en) (130) aufweist, insbesondere wobei die Aussparung (130) als ein Bohrloch, Fräsloch oder Erodierloch, insbesondere als ein Sackloch ausgeformt ist.
Linsenfassung (100) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei der Verbindungssteg (115) im Bereich der Zwischenschnittebene (320) eine Engstelle aufweist, die eine Biegesteifigkeit des Verbindungsstegs (115) beeinflusst.
Linsenfassung (100) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei eine erste Seite (400) des Zwischenabschnitts (310) zumindest eine erste Aussparung (130) und/oder eine zweite Seite (405) des Zwischenabschnitts (310) zumindest eine zweite Aussparung (410) aufweist, wobei die erste Aussparung (130) und die zweite Aussparung (410) gegenüberliegend oder versetzt zueinander angeordnet sind und/oder eine unterschiedliche Größe aufweisen.
Linsenfassung (100) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei der Verbindungssteg (115) als ein Biegebalken ausgeformt ist, der abgesehen von zumindest einer Aussparung (130; 410) eine plane Oberfläche aufweist.
Laservorrichtung (900) zum Aussenden eines Laserstrahls (910), wobei die Laservorrichtung (900) eine Linsenfassung (100) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche und eine von der Linsenfassung (100) aufgenommene Linse (205) zum Leiten des Laserstrahls (910) aufweist.
Verfahren (1000) zum Herstellen einer monolithischen Linsenfassung, umfassend: Bereitstellen (1005) eines Rohlings mit einem innenliegenden Aufnahmeabschnitt für ein optisches Element, insbesondere für eine Linse (205), und einem außenliegenden Fassungsabschnitt, wobei der Rohling eine Achse (200) aufweist; Herstellen (1010) von einer Mehrzahl, wenigstens drei bezüglich der Achse (200) symmetrisch angeordneten einseitig oder beidseitig aufeinander zulaufend angeordneten Ausnehmungen; tangentiales Einschlitzen (1015) des Rohlings mit einer in mehreren Sektoren unterteilten Nut auf einem äußeren Radius; und tangentiales Einschlitzen (1020) des Rohlings mit einer in die mehreren Sektoren unterteilten Nut auf einem inneren Radius, wobei die Ausnehmungen zwischen dem inneren und dem äußeren Radius innerhalb der Sektoren angeordnet sind, insbesondere wobei der Schritt des Herstellens (1010) der Ausnehmungen vor dem Schritt des tangentialen Einschlitzens (1015) und vor dem Schritt des weiteren tangentialen Einschlitzens (1020) erfolgt.
Verfahren (1100) zum Herstellen einer Linsenfassung (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 13, wobei das Verfahren (1100) die folgenden Schritte umfasst: Bereitstellen (1105) eines monolithischen Rohlings; Ausformen (1110) zumindest einer Aussparung (130) an einer Oberfläche des Rohlings; und Einschlitzen (1115) des Rohlings, um den Außenring (105), den Innenring (110) und den zumindest einen Verbindungssteg (115) auszuformen, wobei die Aussparung (130) im Bereich des Zwischenabschnitts (310) des Verbindungsstegs (115) angeordnet ist.
Verwendung von wenigstens drei Verbindungsstegen (115, 125, 135) zum mechanischen Entkoppeln einer in einem Innenring (110) gelagerten optischen Linse (205) von einer Deformation eines Außenrings (105) aufgrund einer auf den Außenring (105) einwirkenden radialen und/oder axialen Kraftverteilung (F1, F2, F3), insbesondere einer ungleichmäßigen radialen und/oder axialen Kraftverteilung, wobei der Außenring (105) und der Innenring (110) über die Verbindungsstege (115, 125, 135) miteinander verbunden sind, wobei die Verbindungsstege (115, 125, 135) je einen eine erste Länge aufweisenden ersten Abschnitt (300), einen eine zweite Länge aufweisenden zweiten Abschnitt (305) und einen eine Zwischenlänge aufweisenden Zwischenabschnitt (310) ausformen, wobei der Zwischenabschnitt (310) zwischen dem ersten Abschnitt (300) und dem zweiten Abschnitt (305) angeordnet ist, wobei der erste Abschnitt (300) mit dem Innenring (110) verbunden ist und wobei der zweite Abschnitt (305) mit dem Außenring (105) verbunden ist, wobei sich eine Form eines Querschnitts des Zwischenabschnitts (310) in einer Zwischenschnittebene (320) von einer Form eines ersten Querschnitts des ersten Abschnitts (300) in einer ersten Schnittebene (330) und von einer Form eines zweiten Querschnitts des zweiten Abschnitts (305) in einer zweiten Schnittebene (325) unterscheidet.