DE102022103351A1 - Dreidimensionales abtastsystem - Google Patents

Dreidimensionales abtastsystem Download PDF

Info

Publication number
DE102022103351A1
DE102022103351A1 DE102022103351.1A DE102022103351A DE102022103351A1 DE 102022103351 A1 DE102022103351 A1 DE 102022103351A1 DE 102022103351 A DE102022103351 A DE 102022103351A DE 102022103351 A1 DE102022103351 A1 DE 102022103351A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
bellows
scanning
scanning system
arm
scanned
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE102022103351.1A
Other languages
English (en)
Inventor
Onur Ferhanoglu
Fehmi Civitci
Ahmet Can Erten
Yigit Daghan Gökdel
Janset Savas
Oguz Gürcüoglu
Irem Deniz Derman
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Istanbul Bilgi Univ
Istanbul Bilgi Universitesi
Istanbul Teknik Univ Bilimsel Ararstirma Proje Birim
Istanbul Teknik Universitesi Bilimsel Ararstirma Proje Birim
Original Assignee
Istanbul Bilgi Univ
Istanbul Bilgi Universitesi
Istanbul Teknik Univ Bilimsel Ararstirma Proje Birim
Istanbul Teknik Universitesi Bilimsel Ararstirma Proje Birim
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Istanbul Bilgi Univ, Istanbul Bilgi Universitesi, Istanbul Teknik Univ Bilimsel Ararstirma Proje Birim, Istanbul Teknik Universitesi Bilimsel Ararstirma Proje Birim filed Critical Istanbul Bilgi Univ
Publication of DE102022103351A1 publication Critical patent/DE102022103351A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B5/00Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
    • A61B5/0059Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons using light, e.g. diagnosis by transillumination, diascopy, fluorescence
    • A61B5/0062Arrangements for scanning
    • A61B5/0064Body surface scanning
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Biophysics (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Surgery (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Abtastsystem für Sonden, die zur dreidimensionalen Abbildung von Geweben verwendet werden. Durch die Erfindung wird ein Abtastsystem entwickelt, das für eine kostengünstige und schnelle Herstellung, insbesondere mit additiven Herstellungsverfahren, geeignet ist. Das entwickelte Abtastsystem ermöglicht eine höhere Abtasttiefe als übliche mikroelektromechanische Systeme.

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Abtastsystem für Sonden, die zur dreidimensionalen Abbildung von Geweben verwendet werden.
  • Stand der Technik
  • Die dreidimensionale Abtastung von Geweben erfolgt durch eine laterale Abtastung, bei der die Laserstrahlen auf eine Ebene gerichtet werden, die sich in etwa entlang der Gewebeoberfläche erstreckt, und eine vertikale Abtastung, die es ermöglicht, die laterale Abtastung für jede Tiefe zu wiederholen, indem die Tiefe der genannten Ebene eingestellt wird. Die laterale Abtastung erfolgt in der Regel durch oszillierende Bewegungen eines Glasfaserkabelendes oder eines Spiegels oder einer Linse, die die von diesem Kabel ausgehenden Strahlen lenkt, die vertikale Abtastung erfolgt durch Veränderung des Abstands des Glasfaserkabelendes, des Spiegels oder der Linse zur Gewebeoberfläche. Dazu werden mikroelektromechanische Systeme mit piezoelektrischen Elementen oder elektromagnetischen Elementen zur lateralen Abtastung und piezoelektrischen Elementen zur vertikalen Abtastung eingesetzt.
  • In dem Dokument mit der Nummer US6633212B1 werden Strukturen offenbart, die eine magnetische Betätigung eines freistehenden Arms ermöglichen, auf dem ein Spiegel gebildet werden kann.
  • Beim dreidimensionalen Abtasten mit mikroelektromechanischen Systemen bleibt die vertikale Abtasttiefe begrenzt. Dies schränkt den effektiven Einsatz von Sonden ein, die auf mikroelektromechanischen Systemen basieren.
  • In dem Dokument mit der Nummer EP1142529A1 wird ein System beschrieben, bei dem die laterale Abtastung durch piezoelektrische Elemente erfolgt, während die vertikale Abtastung durch pneumatisches Bewegen einer Struktur erfolgen kann, die das Ende des Glasfaserkabels in der Sonde trägt.
  • In dem Dokument mit der Nummer US2005157981A1 wird ein Tastkopf offenbart, bei dem die Position einer Abdeckung, die die Linse trägt, hydraulisch oder pneumatisch verstellt werden kann, um den Brennpunkt zu ändern.
  • In dem Dokument mit der Nummer US4620769A wird ein System offenbart, bei dem eine optische Baugruppe in einer Sonde durch einen hydraulisch verstellbaren Balg betätigt wird. Durch den Druck im Innenvolumen des Balgs wird eine Kraft auf ein Bauteil des Systems ausgeübt, das in vertikaler Richtung gleitet, und die Bauteile lagern sich aneinander ab.
  • Außerdem sind die Herstellungskosten für mikroelektromechanische Systeme hoch. Die Verwendung von Sonden, die auf mikroelektromechanischen Systemen basieren, erhöht die Kosten im Diagnoseprozess, da viele medizinische Geräte Einwegartikel sind.
  • In dem Dokument mit Nummer US 10791917B2 werden optische Sondenspitzen offenbart, die für die Herstellung mit dreidimensionalen Druckverfahren geeignet sind.
  • Aus diesen Gründen sollten dreidimensionale Abtastsysteme entwickelt werden, die eine hohe vertikale Abtasttiefe vorsehen und für eine kostengünstige und schnelle Herstellung geeignet sind.
  • Aufgaben und Kurzbeschreibung der Erfindung
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein dreidimensionales Abtastsystem zu entwickeln, das eine hohe vertikale Abtasttiefe ermöglicht.
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es weiterhin, ein Abtastsystem zu entwickeln, das für eine kostengünstige und schnelle Herstellung, insbesondere mit additiven Herstellungsverfahren, geeignet ist.
  • Bei der vorliegenden Erfindung wurde ein System entwickelt, das ein optisches Element, das sich am Ende eines Arms befindet, der an einem Ende gelagert ist, und mindestens ein Element für die laterale Abtastung, das die Oszillation des Arms zur Durchführung der lateralen Abtastung ermöglicht, sowie einen Balg umfasst, dessen Länge sich durch die Wirkung einer gepumpten Flüssigkeit ändern kann, um eine vertikale Abtastung durchzuführen. Der Faltenbalg bietet eine höhere Abtasttiefe als mikroelektromechanische Systeme.
  • Das erfindungsgemäße System ist für die Herstellung mit additiven Herstellungsverfahren geeignet. Damit können die erfindungsgemäßen Abtastsysteme und die sie enthaltenden Sonden kostengünstig hergestellt werden.
  • Figurenliste
  • Das Abtastsystem, das zur Lösung der Aufgaben der vorliegenden Erfindung eingesetzt wird, ist in den beigefügten Figuren dargestellt.
    • 1 ist eine schematische Seitenansicht eines erfindungsgemäßen Abtastsystems.
    • 2 ist eine schematische Ansicht des Abtastsystems aus 1 von vorne, d. h. von der Oberfläche des abzutastenden Bereichs.
    • 3 ist eine schematische Seitenansicht des Balgs und des Arms aus 1.
    • 4 ist eine schematische Ansicht einer Sonde, die ein erfindungsgemäßes Abtastsystem enthält.
  • Die Teile in den Figuren sind einzeln nummeriert, die Entsprechungen dieser Nummern sind unten angegeben.
  • 1.
    Abtastsystem
    2.
    Stützpunkt
    3.
    Arm
    4.
    Spiegel
    5.
    Flügel
    6.
    erster Magnet
    7.
    Elektromagnet
    8.
    Balg
    9.
    Eintrittspunkt
    10.
    Schlauch
    11.
    Spritze
    12.
    Magnetgehäuse
    13.
    Kern
    14.
    Wickelung
    15.
    Brett
    16.
    Schritt
    17.
    Sonde
    18.
    Laser
    19.
    Glasfaserkabel
    20.
    Strahlteiler
    21.
    Linse
    22.
    Detektor
  • Das erfindungsgemäße Abtastsystem 1 umfasst im Wesentlichen einen Arm 3, der an einem Ende mit einem Stützpunkt 2 für die laterale Abtastung verbunden ist und sich parallel zur Oberfläche des abzutastenden Bereichs erstreckt, ein erstes optisches Element am freien Ende dieses Arms 3 und mindestens ein Element für die laterale Abtastung, das den Arm 3 in eine oszillierende Bewegung um mindestens eine Achse parallel zur Oberfläche des abzutastenden Bereichs versetzt, und einen Balg 8, der den Stützpunkt 2 zur vertikalen Abtastung in einer Richtung senkrecht zur Oberfläche des abzutastenden Bereichs bewegt.
  • Der Balg 8 erstreckt sich entlang der genannten Richtung. Der Stützpunkt 2 ist mit einem Ende des Balgs 8 verbunden. Der Stützpunkt 2 kann direkt oder indirekt mit dem entsprechenden Ende des Balgs 8 verbunden werden. Am anderen Ende des Balgs 8 befindet sich ein Eintrittspunkt 9, durch den eine Flüssigkeit fließen kann. Der Balg 8 bildet ein geschlossenes Volumen, das die Flüssigkeit aufnimmt. Die Länge zwischen den beiden Enden des Balgs 8 variiert je nach dem Druck der Flüssigkeit in dem genannten Volumen. Der Flüssigkeitsdruck kann durch eine an den Einlass 9 angeschlossene Pumpe reguliert werden.
  • Die Pumpe ist über einen Schlauch 10 mit dem Eintrittspunkt 9 verbunden, damit das Abtastsystem 1 in den Bereich gebracht werden kann, in dem die Abtastung durchgeführt werden soll. Die Pumpe kann eine Spritze 11 sein, die von einem elektronisch gesteuerten Motor angetrieben wird.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung besteht mindestens ein laterales Abtastelement aus einem ersten Magneten 6, der sich am freien Ende des Arms 3 befindet, und einem Elektromagneten 7, der sich an einer Position außerhalb des Arms 3 befindet. Die Kräfte, die auf den ersten Magneten 6 wirken, können durch die Steuerung des Elektromagneten 7 reguliert werden, so dass der Arm 3 und das erste optische Element ausgerichtet werden können, um die laterale Abtastung durchzuführen. Durch Anwendung von Wechselstrom auf den Elektromagneten 7 kann eine oszillierende Bewegung des Arms 3 ermöglicht werden.
  • Am freien Ende des Arms 3 befinden sich außerdem Flügel 5, die parallel zur Oberfläche des abzutastenden Bereichs und symmetrisch zum Arm 3 angeordnet sind. Der erste Magnet 6 erstreckt sich ebenfalls zumindest teilweise entlang dieser Flügel 5. Damit kann der Arm 3 um zwei Achsen parallel zur Oberfläche des abzutastenden Bereichs bewegt werden.
  • Vorzugsweise befindet sich am freien Ende des Balgs 8, d. h. an dem Ende, das die angetriebenen Elemente trägt, auch ein Magnetgehäuse 12, in dem der Elektromagnet 7 sitzt. Deshalb wird auch der Elektromagnet 7 zusammen mit dem Arm 3 geführt und der Abstand zwischen dem ersten Magneten 6 und dem Elektromagneten 7 wird unabhängig vom vertikalen Abtastvorgang gehalten. Der Elektromagnet 7 kann aus einem Kern 13 im Magnetgehäuse 12 und einer oder mehreren Wickelungen 14 bestehen, die den Kern 14 umgeben.
  • Der Stützpunkt 2 ist über ein Brett 15 mit dem Balg 8 verbunden. Das Brett 15 kann auch über das Magnetgehäuse 12 mit dem Balg 8 verbunden werden. Da der Balg 8 und das Brett 15 aus einem Stück bestehen können, können der Balg 8 und das Brett 15 durch Elemente verbunden werden, die einander gegenüberliegen und an ihren einander zugewandten Teilen ineinander greifen. Bei diesen Elementen kann es sich um Gewindeelemente wie eine Schraube und einen Schraubenschlitz handeln. In diesem Rahmen können der Balg 8 und die seitlichen Raupenteile der Struktur, d. h. der Stützpunkt 2, der Arm 3 und die Flügel 5, in einem Stück hergestellt und durch Verschrauben zusammengefügt werden, oder die gesamte Struktur kann in einem Stück hergestellt werden.
  • Das erfindungsgemäße Abtastsystem 1 eignet sich vor allem für die Herstellung mit additiven Herstellungsverfahren. Damit ist es möglich, Sonden 17, insbesondere Einwegsonden 17, kostengünstig und schnell herzustellen. Die einfach aufgebaute Sonde 17 kann leicht und zuverlässig montiert werden. Weiterhin kann eine begrenzte Anzahl von Sonden 17 hergestellt werden, die für spezielle Anforderungen geeignet sind. Aus diesem Grund ist der Balg 8 einheitlich aufgebaut und arbeitet einteilig und unabhängig. Das bedeutet, dass der Balg 8 eine Steifigkeit aufweist, die auch ohne externe Stützen nicht aus der Richtung senkrecht zur Oberfläche des abzutastenden Bereichs unter seinem eigenen Gewicht oder unter dem Gewicht der Flüssigkeit zusammen mit seinem eigenen Gewicht abweicht. Während der Einstellung der Länge des Balgs 8 können die Elemente, die in der Richtung senkrecht zur Oberfläche des abzutastenden Bereichs getragen werden, nur von dem Balg 8 getragen werden, ohne von dieser Richtung abzuweichen.
  • Der Balg 8 besteht aus einem Harz oder Polymermaterial mit einem Elastizitätsmodul im Bereich von 1 MPa bis 10 GPa, wenn er ausgehärtet oder verfestigt ist. Dieses Material kann z. B. Polyamid sein. Vorzugsweise ist der Arm 3 auch aus dem gleichen Material wie der Balg 8 gefertigt.
  • Der Balg 8 hat eine Form, die eine durchgehende oder getrennte axiale Symmetrie in Bezug auf die Richtung senkrecht zur Oberfläche des abzutastenden Bereichs aufweist. Vorzugsweise enthält der Balg 8 Schritte 16, die aus abwechselnd breiten und schmalen Abschnitten entlang der genannten Richtung bestehen.
  • Das Abtastsystem 1 wird durch selektives Laserschmelzen selective laser melting, Schmelzschichtung fused deposition modeling, Stereolithographie oder ein alternatives 3D-Druckverfahren hergestellt.
  • Ein Ausführungsbeispiel, bei dem das erfindungsgemäße Abtastsystem 1 in einer Sonde 17 verwendet wird, ist in 4 dargestellt. In dieser Ausführungsform der Erfindung ist das erste optische Element vorzugsweise ein Spiegel 4. Die Sonde 17 umfasst im Wesentlichen einen Laser 18, einen Strahlteiler 20 mit einem Glasfaserkabel 19 zum Spiegel 4 erzeugenden Laser 18, eine Linse 21, die den vom Spiegel 4 reflektierten Strahl fokussiert, und einen Detektor 22, der Messungen an dem Strahl durchführt, nachdem er von der Oberfläche des abzutastenden Bereichs reflektiert wurde und erneut die Linse 21, den Strahlteiler 20 und das Glasfaserkabel 19 passiert hat.
  • Bei einer solchen Sonde 17 kann ein Abtastsystem mit einem Balg 8 von 40 mm freier Länge und 50 mm freier Länge und weniger als 10 mm Durchmesser verwendet werden. In diesem Beispiel kann ein Balg 8 mit einer Wandstärke von 0,3 bis 1 mm verwendet werden. Bei Versuchen mit einem solchen Abtastsystem 8 wurde eine vertikale Abtastung von 3 mm durchgeführt. Auf der anderen Seite können erfindungsgemäß unterschiedliche vertikale Abtasttiefen durch Veränderung der Merkmale des Balgs 8, wie z.B. des Materials, der Wandstärke und der Ausgestaltung des Schritts 16, erreicht werden.
  • Durch die Verwendung der bei der lateralen und vertikalen Abtastung gewonnenen Daten des Detektors 22 können dreidimensionale Daten des abgetasteten Bereichs und entsprechende Bilder hergestellt werden.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • US 6633212 B1 [0003]
    • EP 1142529 A1 [0005]
    • US 2005157981 A1 [0006]
    • US 4620769 A [0007]
    • US 10791917 B2 [0009]

Claims (8)

  1. Ein Abtastsystem (1), das für dreidimensionale Abtastung von Geweben verwendbar ist, umfassend - einen Arm (3), der an einem Ende mit einem Stützpunkt (2) für die laterale Abtastung verbunden ist und sich parallel zur Oberfläche des abzutastenden Bereichs erstreckt, ein erstes optisches Element am freien Ende dieses Arms (3) und mindestens ein Element für die laterale Abtastung, das den Arm (3) in eine oszillierende Bewegung um mindestens eine Achse parallel zur Oberfläche des abzutastenden Bereichs versetzt, und - einen Balg (8), der den Stützpunkt (2) zur vertikalen Abtastung in einer Richtung senkrecht zur Oberfläche des abzutastenden Bereichs bewegt, gekennzeichnet durch den genannten Balg (8) in einer einheitlichen Struktur, die eine axiale Symmetrie in Bezug auf die Richtung senkrecht zur Oberfläche des abzutastenden Bereichs und eine Steifigkeit aufweist, die unter ihrem eigenen Gewicht oder unter dem Gewicht der Flüssigkeit zusammen mit ihrem eigenen Gewicht nicht von der Richtung senkrecht zur Oberfläche des abzutastenden Bereichs abweicht.
  2. Abtastsystem (1) nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch ein laterales Abtastelement, das aus einem ersten Magneten (6) am freien Ende des Arms (3) und einem Elektromagneten (7) besteht, der sich an einer Position außerhalb des Arms (3) befindet.
  3. Abtastsystem (1) nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch Flügel (5), die in Bezug auf den Arm (3) symmetrisch und parallel zur Oberfläche des abzutastenden Bereichs sind und sich am freien Ende des Arms (3) befinden, und durch einen ersten Magneten (6), der sich zumindest teilweise entlang dieser Flügel (5) erstreckt.
  4. Abtastsystem (1) nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch ein Magnetgehäuse (12) am freien Ende des Balges (8), bei dem der Elektromagnet (7) sitzt.
  5. Abtastsystem (1) nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch ein Brett (15), das den Stützpunkt (2) mit dem Balg (8) verbindet.
  6. Abtastsystem (1) nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Balg (8) und das Brett (15) einteilig sind.
  7. Abtastsystem (1) nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Balg (8) und ein Brett (15), die einander gegenüberliegend angeordnet sind und ineinandergreifende Elemente enthalten.
  8. Abtastsystem (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das erste optische Element ein Spiegel (4) ist.
DE102022103351.1A 2021-02-15 2022-02-14 Dreidimensionales abtastsystem Pending DE102022103351A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TR2021/002123 2021-02-15
TR202102123 2021-02-15

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102022103351A1 true DE102022103351A1 (de) 2022-08-18

Family

ID=82610785

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102022103351.1A Pending DE102022103351A1 (de) 2021-02-15 2022-02-14 Dreidimensionales abtastsystem

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102022103351A1 (de)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4620769A (en) 1982-12-29 1986-11-04 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Image observation system
EP1142529A1 (de) 1999-10-06 2001-10-10 Olympus Optical Co., Ltd. Sondensystem zum optischen scannen
US6633212B1 (en) 1999-09-23 2003-10-14 Arizona State University Electronically latching micro-magnetic switches and method of operating same
US20050157981A1 (en) 2001-12-28 2005-07-21 Mauna Kea Technologies Miniaturized focusing optical head in particular for endoscope
US10791917B2 (en) 2017-05-30 2020-10-06 Synaptive Medical (Barbados) Inc. Micro-optical surgical probes and micro-optical probe tips and methods of manufacture therefor

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4620769A (en) 1982-12-29 1986-11-04 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Image observation system
US6633212B1 (en) 1999-09-23 2003-10-14 Arizona State University Electronically latching micro-magnetic switches and method of operating same
EP1142529A1 (de) 1999-10-06 2001-10-10 Olympus Optical Co., Ltd. Sondensystem zum optischen scannen
US20050157981A1 (en) 2001-12-28 2005-07-21 Mauna Kea Technologies Miniaturized focusing optical head in particular for endoscope
US10791917B2 (en) 2017-05-30 2020-10-06 Synaptive Medical (Barbados) Inc. Micro-optical surgical probes and micro-optical probe tips and methods of manufacture therefor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102007010906A1 (de) Abbildungsvorrichtung zum Beeinflussen von auftreffendem Licht
DE102017114033A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Abstandsmessung für ein Laserbearbeitungssystem, und Laserbearbeitungssystem
DE102007026730A1 (de) Vorrichtung zur Erzeugung einer homogenen Winkelverteilung einer Laserstrahlung
DE102022103351A1 (de) Dreidimensionales abtastsystem
DE102016225797B4 (de) Lidar-Sensor zur Erfassung eines Objektes
DE102016008184B4 (de) Messvorrichtung und Verfahren zum Überwachen eines Bearbeitungsprozesses zur Materialbearbeitung eines Werkstücks unter synchroner Ansteuerung eines Bearbeitungsscanners und eines Referenzarmscanners sowie System zum Bearbeiten und Überwachen eines Werkstücks mit einer Messvorrichtung
WO2004030857A1 (de) Vorrichtung zum schweissen mittels laserstrahlung
WO2009129802A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum volumetrischen scannen
EP1395859B1 (de) Laserjustierbarer Aktor, optisches Bauelement und Justierverfahren
EP3293554B1 (de) Vorrichtung und verfahren zur ausrichtung eines lichtstrahls
DE10250094B4 (de) Messsystem mit einer Koppelstange
DE19829982A1 (de) Verfahren zur Ansteuerung eines Laser-Scanning-Mikroskopes mit einem kippbaren Feinfokussiertisch
WO2015071317A1 (de) Optische koppelvorrichtung und betriebsverfahren dafür
DE202014009275U1 (de) Strahlaufweiter und additive Fertigungsvorrichtung mit einem Strahlaufweiter
DE102015220303B4 (de) Mikroskop sowie Mikroskopierverfahren
DE102018130349A1 (de) Messvorrichtung für ein Rastersondenmikroskop, Rastersondenmikroskop und Verfahren zum rastersondenmikroskopischen Bestimmen einer oder mehrerer Messproben mit einem Rastersondenmikroskop
EP0382706B1 (de) Längenmesssystem
DE102008017388B4 (de) Vorrichtung zum Bewegen eines Werkstücks oder eines Werkzeugs sowie Kreuztisch
DE102007007021A1 (de) Vorrichtung mit einem mittels eines Piezoaktuators beweglichen Reflektor
WO2005033624A1 (de) Vorrichtung zum verstellen der optischen verzögerung in einem strahlengang
DE19812297A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung einesAugenabschnittes
DE102010031365A1 (de) Bauelement für ein Einspritzventil mit zwei verbundenen Bauteilen
DE102020101548A1 (de) Mikroskop sowie Verfahren zum Erzeugen eines mikroskopischen Bildes mit einer erweiterten Schärfentiefe
DE102007053124B3 (de) Kompaktes Linnik-Interferometer
DE102015103164B4 (de) Scanvorrichtung mit wenigstens einer eindimensional scannenden Scaneinheit

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R079 Amendment of ipc main class

Free format text: PREVIOUS MAIN CLASS: A61B0001000000

Ipc: G02B0026100000