DE102020133358A1 - Process for the pressure and gas-tight separation of a first and a second hydraulic path in a differential pressure sensor - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur druck- und gasdichten Trennung von einem ersten und einem zweiten hydraulischen Pfad (26a, 26b) in einem Drucksensor (1), wobei der erste hydraulische Pfad (26a) einen ersten Druck (p1) zu einer ersten Druckbeaufschlagungsfläche (13a) eines drucksensitiven Messelements (13) überträgt, wobei der zweite hydraulische Pfad (26b) einen zweiten Druck (p2) zu einer zweiten Druckbeaufschlagungsfläche (13b) eines drucksensitiven Messelements (13) überträgt, wobei ein erster Teilbereich von zumindest einem der beiden hydraulischen Pfade (26a, 26b) in einer ersten Komponente (2; 9a1) des Drucksensors (1) und wobei ein zweiter Teilbereich von zumindest einem der beiden hydraulischen Pfade (26a, 26b) in einer zweiten Komponente (3; 9a2) des Drucksensors (1) angeordnet ist, wobei die erste Komponente (2; 9a1) und die zweite Komponente (3; 9a2) derart zueinander positioniert werden, dass die beiden Teilbereiche des zumindest einen hydraulischen Pfades (26a, 26b) aneinandergrenzen, wobei mittels eines Strahlschweißverfahrens eine umlaufende Schweißnaht im Bereich der aneinandergrenzenden Flächen der beiden Komponenten (2, 3; 9a1, 9a2) des Drucksensors (1) geschweißt wird, wobei der Schweißstrahl zum Verbinden der beiden Komponenten (2, 3; 9a1, 9a2) im Wesentlichen quer durch zumindest einen der beiden hydraulischen Pfade (26a, 26b) geführt wird, so dass sich die Schweißnaht zu beiden Seiten des zumindest einen hydraulischen Pfades (26a, 26b) erstreckt, ohne den hydraulischen Pfad (26a, 26b) zu verschließen.The invention relates to a method for the pressure-tight and gas-tight separation of a first and a second hydraulic path (26a, 26b) in a pressure sensor (1), the first hydraulic path (26a) applying a first pressure (p1) to a first pressure application surface ( 13a) of a pressure-sensitive measuring element (13), with the second hydraulic path (26b) transmitting a second pressure (p2) to a second pressure application surface (13b) of a pressure-sensitive measuring element (13), with a first partial area of at least one of the two hydraulic paths (26a, 26b) in a first component (2; 9a1) of the pressure sensor (1) and wherein a second partial area of at least one of the two hydraulic paths (26a, 26b) in a second component (3; 9a2) of the pressure sensor (1) is arranged, with the first component (2; 9a1) and the second component (3; 9a2) being positioned relative to one another in such a way that the two partial areas of the at least one hydraulic path (26a, 26 b) adjoin one another, with a circumferential weld seam being made in the area of the adjoining surfaces of the two components (2, 3; 9a1, 9a2) of the pressure sensor (1), the welding beam for connecting the two components (2, 3; 9a1, 9a2) being guided essentially transversely through at least one of the two hydraulic paths (26a, 26b), so that the weld seam extends to both sides of the at least one hydraulic path (26a, 26b) without closing the hydraulic path (26a, 26b).
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur druck- und gasdichten Trennung von einem ersten und einem zweiten hydraulischen Pfad in einem Differenzdrucksensor. Desweiteren betrifft die Erfindung einen Differenzdrucksensor, der nach dem erfindungsgemäßen Verfahren gefertigt ist. Bei dem Differenzdrucksensor kann es sich um einen koplanaren oder eine bipolaren Differenzdrucksensor handeln.The invention relates to a method for pressure-tight and gas-tight separation of a first and a second hydraulic path in a differential pressure sensor. Furthermore, the invention relates to a differential pressure sensor that is manufactured using the method according to the invention. The differential pressure sensor can be a coplanar or a bipolar differential pressure sensor.
In der Automatisierungstechnik kommen unterschiedliche Ausgestaltungen von Drucksensoren in unterschiedlichen Anwendungen zum Einsatz. Bei Absolutdrucksensoren wird ein zu messender Druck absolut, d. h. als ein Druckunterschied gegenüber dem Vakuum erfasst. Mit einem Relativdruckmessaufnehmer wird ein zu messender Druck in Form eines Druckunterschiedes gegenüber einem Referenzdruck bestimmt - bei vielen Anwendungen ist dies der Atmosphärendruck am Einsatzort. Es wird also bei Absolutdruckmessanordnungen ein zu messender Druck bezogen auf einen festen Bezugsdruck, den Vakuumdruck, und bei Relativdruckmessanordnungen ein zu messender Druck bezogen auf einen variablen Bezugsdruck, z. B. den Umgebungsdruck, erfasst.Different configurations of pressure sensors are used in different applications in automation technology. With absolute pressure sensors, a pressure to be measured is absolute, i. H. recorded as a pressure difference versus vacuum. With a relative pressure sensor, a pressure to be measured is determined in the form of a pressure difference compared to a reference pressure - in many applications this is the atmospheric pressure at the place of use. In the case of absolute pressure measuring arrangements, therefore, a pressure to be measured is referred to a fixed reference pressure, the vacuum pressure, and in the case of relative pressure measuring arrangements, a pressure to be measured is referred to a variable reference pressure, e.g. B. the ambient pressure recorded.
Eine Differenzdrucksensor erfasst die Differenz zwischen zwei Prozessdrücken. Differenzdruckmessaufnehmer kommen beispielsweise in Tanks zur Füllstandsmessung oder in Rohrleitungen zur Durchflussmessung zum Einsatz. Auch ist es bekannt, bei z.B. einem Differenzdrucksensor zusätzlich den Absolutdruck zu bestimmen, um Messfehler aufgrund des statischen Drucks kompensieren zu können. Eine Vielzahl unterschiedlicher Drucksensoren wird von der Anmelderin z.B. unter der Bezeichnung CERABAR oder DELTABAR angeboten und vertrieben.A differential pressure sensor records the difference between two process pressures. Differential pressure sensors are used, for example, in tanks to measure fill levels or in pipelines to measure flow. It is also known to additionally determine the absolute pressure, e.g. with a differential pressure sensor, in order to be able to compensate for measurement errors due to the static pressure. A large number of different pressure sensors are offered and sold by the applicant, e.g. under the designation CERABAR or DELTABAR.
Aus der
Ist das Gerät einem Differenzdruck unterhalb oder im Bereich des Differenzdruck-Nennwertes ausgesetzt, dann wird dieser Differenzdruck der Druckmessaufnehmereinrichtung über die Verbindungskanäle übermittelt. Die Zusatzmembranen entfalten eine geringe Wirkung, die in erster Näherung vernachlässigbar ist. Übersteigt die Druckdifferenz infolge einer Überlast den Druckdifferenz-Nennwert um einen vorgegebenen Wert, dann wird bei der Trennmembrane auf der Hochdruckseite die unter ihr befindliche Druckvermittler-Flüssigkeit in die ihr zugeordnete Vorkammer gedrückt. Die herausgedrückte Flüssigkeit gelangt über den Verbindungskanal und den Zusatzkanal zur Zusatzmembrane auf der Niederdruckseite und veranlasst diese, sich abzuheben. Somit befindet die sich auf der Hochdruckseite unter der Trennmembrane herausgedrückte Flüssigkeit im Überlastfall unter der sich abhebenden Zusatzmembrane auf der Niederdruckseite. Eine Überlastung der Druckmessaufnehmereinrichtung wird folglich vermieden. Die Wandlerkammer ist bei der Deutschen Patentanmeldung in das Messwerk integriert.If the device is exposed to a differential pressure below or in the range of the nominal differential pressure value, then this differential pressure is transmitted to the pressure sensor device via the connecting channels. The additional membranes develop a small effect, which is negligible in a first approximation. If the pressure difference exceeds the nominal pressure difference value by a predetermined value as a result of an overload, the pressure transmitter liquid located below it is pressed into the antechamber assigned to it on the high-pressure side of the separating membrane. The liquid that is pushed out reaches the auxiliary diaphragm on the low-pressure side via the connection channel and the auxiliary channel, causing it to lift. Thus, in the event of an overload, the liquid that is pressed out on the high-pressure side under the separating diaphragm is under the lifting additional diaphragm on the low-pressure side. Consequently, an overload of the pressure sensor device is avoided. In the case of the German patent application, the converter chamber is integrated into the measuring mechanism.
Aus der
Kritisch bei den bekannten Ausgestaltungen ist die gas- und druckdichte Trennung der beiden unterschiedlichen hydraulischen Pfade: im Falle des Differenzdrucksensors muss die Hochdruckseite (Plusseite) von der Niederdruckseite (Minusseite) gas- und druckdicht getrennt werden. Bei einem Relativdrucksensor bzw. Absolutdrucksensor ist gleichfalls eine gas- und druckdichte Trennung von Messdruckseite und Relativdruckseite bzw. Messdruckseite und Absolutdruckseite/Vakuum erforderlich.The gas-tight and pressure-tight separation of the two different hydraulic paths is critical in the known configurations: in the case of the differential pressure sensor, the high-pressure side (plus side) must be separated gas-tight and pressure-tight from the low-pressure side (minus side). In the case of a relative pressure sensor or absolute pressure sensor, a gas and pressure-tight separation of the measurement pressure side and relative pressure side or measurement pressure side and absolute pressure side/vacuum is also required.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein einfaches Verfahren zur Fertigung eines Differenzdrucksensors vorzuschlagen. Weiterhin wird ein einfach zu fertigender Differenzdrucksensor vorgeschlagen.The object of the invention is to propose a simple method for manufacturing a differential pressure sensor. Furthermore, a differential pressure sensor that is easy to manufacture is proposed.
Die Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren zur druck- und gasdichten Trennung von einem ersten und einem zweiten hydraulischen Pfad in einem Drucksensor, wobei der erste hydraulische Pfad einen ersten Druck zu einer ersten Druckbeaufschlagungsfläche eines drucksensitiven Messelements überträgt, wobei der zweite hydraulische Pfad einen zweiten Druck zu einer zweiten Druckbeaufschlagungsfläche eines drucksensitiven Messelements überträgt. Ein erster Teilbereich von zumindest einem der beiden hydraulischen Pfade ist in einer ersten Komponente des Drucksensors und ein zweiter Teilbereich von zumindest einem der beiden hydraulischen Pfade ist in einer zweiten Komponente des Drucksensors angeordnet. Die erste Komponente und die zweite Komponente werden derart zu einander positioniert, dass die beiden Teilbereiche des zumindest einen hydraulischen Pfades aneinandergrenzen. Mittels eines Strahlschweißverfahrens - üblicherweise von außen - wird eine umlaufende Schweißnaht im Bereich der aneinandergrenzenden Flächen der beiden Komponenten des Drucksensors geschweißt. Der Schweißstrahl zum Verbinden der beiden Komponenten wird im Wesentlichen quer durch zumindest einen der beiden hydraulischen Pfade geführt, so dass sich die Schweißnaht zu beiden Seiten des zumindest einen hydraulischen Pfades erstreckt, ohne den hydraulischen Pfad zu verschließen. The object is achieved by a method for the pressure-tight and gas-tight separation of a ers th and a second hydraulic path in a pressure sensor, wherein the first hydraulic path transmits a first pressure to a first pressurizing surface of a pressure sensitive sensing element, wherein the second hydraulic path transmits a second pressure to a second pressurizing surface of a pressure sensitive sensing element. A first partial area of at least one of the two hydraulic paths is arranged in a first component of the pressure sensor and a second partial area of at least one of the two hydraulic paths is arranged in a second component of the pressure sensor. The first component and the second component are positioned relative to one another in such a way that the two partial areas of the at least one hydraulic path adjoin one another. A circumferential weld seam is welded in the area of the adjoining surfaces of the two components of the pressure sensor by means of a beam welding process - usually from the outside. The welding beam for connecting the two components is guided essentially transversely through at least one of the two hydraulic paths, so that the weld seam extends on both sides of the at least one hydraulic path without closing off the hydraulic path.
Es wird also durch den hydraulischen Pfad hindurchgeschweißt. Als Schweißstrahl wird bevorzugt ein Elektronen- oder ein Laserstrahl -durchaus auch im Vakuum- verwendet.It is therefore welded through the hydraulic path. An electron beam or a laser beam is preferably used as the welding beam - also in a vacuum.
Mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens ist es möglich, mit -in vielen Fällen- einer einzigen umlaufenden Schweißnaht die erste und die zweite Komponente druck- und gasdicht miteinander zu verbinden. Mittels des Strahlschweißverfahrens ist es möglich, durch einen hydraulischen Pfad hindurchzuschweißen, ohne diesen zu verschließen. Falls erforderlich, können die aufeinandertreffenden Teilbereiche eines hydraulischen Pfades in den Grenzbereichen aufgeweitet werden. Möglich ist z.B. eine Aufweitung in Form einer entsprechend dimensionierten Stufenbohrung. Weiterhin können Fasen vorgesehen sein, die zur Aufnahme von überflüssigem Schweißgut dienen.Using the method according to the invention, it is possible to connect the first and the second component to one another in a pressure-tight and gas-tight manner with—in many cases—a single circumferential weld seam. Using the beam welding process, it is possible to weld through a hydraulic path without closing it. If necessary, the meeting sections of a hydraulic path can be widened in the border areas. For example, an expansion in the form of an appropriately dimensioned stepped bore is possible. Furthermore, chamfers can be provided, which serve to accommodate excess weld metal.
Eine Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens sieht vor, dass die Energie bzw. die Leistung des Schweißstrahl auf die für die Schweißnaht erforderliche Schweißtiefe abgestimmt wird. Alternativ oder additiv wird die Energie bzw. die Leistung des Schweißstrahls über die Tiefe der Schweißnaht variiert. So wird die Energiezufuhr insbesondere im Bereich des hydraulischen Pfades reduziert. Allgemein lässt sich sagen, dass die Energie bzw. Leistung des Schweißstrahls so abgestimmt ist, dass der Innendurchmesser des hydraulischen Pfades bzw. der Kapillarbohrung auch im Bereich der Schweißnaht im Wesentlichen den gleichen Innendurchmesser aufweist wie der restliche hydraulische Pfad bzw. die restliche Kapillarbohrung.An embodiment of the method according to the invention provides that the energy or the power of the welding beam is matched to the welding depth required for the weld seam. Alternatively or additionally, the energy or power of the welding beam is varied over the depth of the weld. In this way, the energy supply is reduced, particularly in the area of the hydraulic path. In general, it can be said that the energy or power of the welding beam is coordinated in such a way that the inner diameter of the hydraulic path or the capillary bore essentially has the same inner diameter in the area of the weld seam as the rest of the hydraulic path or the rest of the capillary bore.
Im Prinzip gibt es zwei Möglichkeiten der Anordnung der Wandlerkammer: Entweder ist die Wandlerkammer in den Grundkörper des Messwerks integriert, also in eine korrespondierende Ausnehmung im Messwerk eingefügt, oder die Wandlerkammer schließt sich an den vom Prozess abgewandten Bereich des Messwerks an. Bevorzugt ist übrigens der Grundkörper des Messwerks als Prozessanschluss ausgestaltet. Der Prozessanschluss ist mit einem Gehäuseadapter gas- und druckdicht verbunden.In principle, there are two options for arranging the converter chamber: either the converter chamber is integrated into the base body of the measuring mechanism, i.e. inserted into a corresponding recess in the measuring mechanism, or the converter chamber is attached to the area of the measuring mechanism facing away from the process. Incidentally, the base body of the measuring mechanism is preferably designed as a process connection. The process connection is connected to a housing adapter in a gas-tight and pressure-tight manner.
Gemäß einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird die umlaufende Schweißstrahl zum Verbinden der beiden Komponenten bei der Integration der Wandlerkammer in das Messwerk axial - und zwar bevorzugt von oben - geführt wird. Alternativ wird die umlaufende Schweißnaht zum Verbinden der beiden Komponenten radial geführt. Diese Ausgestaltung kommt bevorzugt bei dem Aufsetzen der Wandlerkammer auf das Messwerk zur Anwendung. Welche Schweißnahtführung angewendet wird, hängt von der Ausgestaltung von erster und zweiter Komponente und der Anbindung der hydraulischen Pfade an die Druckmesszelle bzw. an das drucksensitive Messelement ab. Bevorzugt erfolgt pro hydraulischem Pfad maximal eine Durchschweißung quer zur Ausrichtung des hydraulischen Pfads. Muß durch beide hydraulischen Pfade durchgeschweißt werden, so sind die hydraulischen Pfade bevorzugt derart orientiert, dass in einem umlaufenden Schweißprozess durch beide hydraulischen Pfade hindurchgeschweißt wird.According to one embodiment of the method according to the invention, the circulating welding beam for connecting the two components is guided axially—preferably from above—when the converter chamber is integrated into the measuring mechanism. Alternatively, the circumferential weld seam is guided radially to connect the two components. This configuration is preferably used when the converter chamber is placed on the measuring mechanism. Which welding seam is used depends on the design of the first and second components and the connection of the hydraulic paths to the pressure measuring cell or to the pressure-sensitive measuring element. There is preferably a maximum of one penetration welding per hydraulic path transverse to the orientation of the hydraulic path. If welding has to be carried out through both hydraulic paths, the hydraulic paths are preferably oriented in such a way that welding is carried out through both hydraulic paths in a circumferential welding process.
Der nach dem erfindungsgemäßen Verfahren gefertigte Differenzdrucksensor weist einen ersten hydraulischen Pfad, über den ein erster Druck zu einer ersten Druckbeaufschlagungsfläche eines drucksensitiven Messelements übertragen wird. Weiterhin hat er einen zweiten hydraulischen Pfad, über den ein zweiter Druck zu einer zweiten Druckbeaufschlagungsfläche eines drucksensitiven Messelements übertragen wird. Ein erster Teilbereich von zumindest einem der beiden hydraulischen Pfade ist in einer ersten Komponente des Drucksensors angeordnet; ein zweiter Teilbereich von zumindest einem der beiden hydraulischen Pfade ist in einer zweiten Komponente des Drucksensors angeordnet ist. Eine gas- und druckdichte Trennung des ersten hydraulischen Pfades von dem zweiten hydraulischen Pfad erfolgt über eine durch ein Schweißverfahren erzeugte umlaufende Schweißnaht, wobei der Schweißstrahl im Bereich der beiden aneinander grenzenden Flächen bzw. der miteinander zu verbindenden Flächen von erster Komponenten und zweiter Komponente durch zumindest einen der beiden hydraulischen Pfade im Wesentlichen quer hindurchgeführt wird. Die Schweißung erfolgt als quer durch den zumindest einen hydraulischen Pfad hindurch. Die Energie bzw. die Leistung des Schweißstrahls ist so bemessen, dass durch die Schweißung der zumindest eine hydraulische Pfad nicht verschlossen wird.The differential pressure sensor manufactured according to the method according to the invention has a first hydraulic path, via which a first pressure is transmitted to a first pressure-loading surface of a pressure-sensitive measuring element. Furthermore, it has a second hydraulic path, via which a second pressure is transmitted to a second pressure application surface of a pressure-sensitive measuring element. A first partial area of at least one of the two hydraulic paths is arranged in a first component of the pressure sensor; a second partial area of at least one of the two hydraulic paths is arranged in a second component of the pressure sensor. A gas-tight and pressure-tight separation of the first hydraulic path from the second hydraulic path takes place via a circumferential weld seam produced by a welding process, with the welding beam in the area of the two adjoining surfaces or the surfaces to be connected of first components and second component is passed substantially transversely through at least one of the two hydraulic paths. The weld occurs across the at least one hydraulic path. The energy or the power of the welding beam is measured in such a way that the at least one hydraulic path is not closed by the welding.
Als bevorzugte Verbindungstechnik wird das Strahlschweißen, insbesondere ein Laser- oder auch ein Elektronenstrahlschweißen - je nach Ausgestaltung radial von außen oder axial von oben - angesehen.Beam welding, in particular laser or electron beam welding—radially from the outside or axially from above, depending on the configuration—is considered to be the preferred joining technique.
Bevorzugt handelt es sich bei der ersten Komponente um ein Messwerk und bei der zweiten Komponente um eine Wandlerkammer. Das drucksensitive Messelement ist in der Wandlerkammer angeordnet ist. Der Ölbedarf innerhalb der Wandlerkammer lässt sich erheblich reduzieren, wenn das drucksensitive Messelement in einen im Wesentlichen komplementär ausgestalteten Füllkörper eingebettet wird.The first component is preferably a measuring unit and the second component is a converter chamber. The pressure-sensitive measuring element is arranged in the converter chamber. The oil requirement within the converter chamber can be significantly reduced if the pressure-sensitive measuring element is embedded in a substantially complementary packing.
Insbesondere wird vorgeschlagen, dass es sich bei den hydraulischen Pfaden im Grundkörper des Messwerks und der Wandlerkammer um Kapillarbohrungen handelt, wobei korrespondierende Kapillarbohrungen im Bereich ihrer aufeinandertreffenden Grenzflächen von z.B. Grundkörper des Messwerks und Grundkörper der Wandlerkammer zu Stufenbohrungen bzw. zu vergrößerten Bohrungen erweitert sind. Bevorzugt sind die Kapillarbohrungen oder die Stufenbohrungen oder die aufgeweiteten Kapillarbohrungen so ausgestaltet und/oder dimensioniert sind, dass die Innendurchmesser der Kapillarbohrungen nach einem druck- und gasdichten Strahlverschweißen von Messwerk und Wandlerkammer auch im Bereich der miteinander verbundenen Kapillarbohrungen zumindest näherungsweise dem Innendurchmesser der Kapillarbohrungen von Messwerk und Wandlerkammer entsprechen. Durch die Aufweitung der Kapillarbohrungen, z.B. zu Stufenbohrungen, im Bereich der angrenzenden Kapillarbohrungen wird das Verbinden / Verschweißen der aneinanderstoßenden Kapillarbohrungen erleichtert.In particular, it is proposed that the hydraulic paths in the base body of the measuring mechanism and the converter chamber are capillary bores, with corresponding capillary bores being enlarged in the area of their meeting boundary surfaces, e.g. The capillary bores or the stepped bores or the widened capillary bores are preferably designed and/or dimensioned in such a way that the inner diameter of the capillary bores after a pressure-tight and gas-tight jet welding of the measuring mechanism and transducer chamber, also in the area of the interconnected capillary bores, is at least approximately the inner diameter of the capillary bores of the measuring mechanism and converter chamber correspond. The widening of the capillary bores, e.g. to form stepped bores, in the area of the adjacent capillary bores makes it easier to connect / weld the adjacent capillary bores.
Eine Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Drucksensors schlägt vor, dass die beiden Druckbeaufschlagungsflächen des drucksensitiven Messelements in Längsrichtung des Drucksensors gesehen hintereinanderliegend angeordnet sind. Hierdurch wird es beispielsweise möglich, einen der beiden hydraulischen Pfade unmittelbar auf der ersten der beiden Druckbeaufschlagungsflächen enden zu lassen. Hierdurch entfällt es, den ersten hydraulischen Pfad durch die Gehäusewandung in die Wandlerkammer hineinzuführen. Folglich entfällt auch das Durchschweißen durch den entsprechenden hydraulischen Pfad hindurch.One embodiment of the pressure sensor according to the invention proposes that the two pressure application surfaces of the pressure-sensitive measuring element are arranged one behind the other, viewed in the longitudinal direction of the pressure sensor. This makes it possible, for example, to let one of the two hydraulic paths end directly on the first of the two pressure application surfaces. This eliminates the need to introduce the first hydraulic path through the housing wall into the converter chamber. Consequently, there is also no need to weld through the corresponding hydraulic path.
Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden Figuren näher erläutert. Es zeigt:
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1 : einen koplanaren Differenzdrucksensor mit Überlastschutz, der nach dem erfindungsgemäßen Verfahren gefertigt ist, -
2 : eine schematische Darstellung einer ersten Anordnung, bei der die Wandlerkammer an das Messwerk angebaut ist, -
3 : eine schematische Darstellung einer zweiten Anordnung, bei der die Wandlerkammer an das Messwerk angebaut ist, -
4 : eine schematische Darstellung einer dritten Anordnung, bei der die Wandlerkammer an das Messwerk angebaut ist, -
5a ,5b ,5c ,5d : unterschiedliche Anordnungen von Wandlerkammer und Messwerk bei einem bipolaren Differenzdrucksensor ohne Überlastschutz, -
6a ,6b ,6c ,6d : unterschiedliche Anordnungen von Wandlerkammer und Messwerk bei einem bipolaren Differenzdrucksensor mit Überlastschutz im Messwerk, -
7 : eine Ausgestaltung eines bipolaren Differenzdrucksensors mit ringförmiger Überlastmembrane im Messwerk, -
8a ,8b ,8c ,8d : unterschiedliche Anordnungen von Wandlerkammer und Messwerk bei einem bipolaren Differenzdrucksensor mit Überlastschutz im Messwerk, -
9a ,9b ,9c ,9d : unterschiedliche Anordnungen von Wandlerkammer und Messwerk bei einem bipolaren Differenzdrucksensor mit Überlastschutz im Messwerk, -
10a ,10b ,10c ,10d ,10e : unterschiedliche Anordnungen von Wandlerkammer und Messwerk bei einem bipolarer Differenzdrucksensor mit Überlastschutz im Messwerk.
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1 : a coplanar differential pressure sensor with overload protection, which is manufactured according to the method according to the invention, -
2 : a schematic representation of a first arrangement, in which the converter chamber is attached to the measuring mechanism, -
3 : a schematic representation of a second arrangement, in which the converter chamber is attached to the measuring mechanism, -
4 : a schematic representation of a third arrangement, in which the converter chamber is attached to the measuring mechanism, -
5a ,5b ,5c ,5d : different configurations of the converter chamber and measuring unit in a bipolar differential pressure sensor without overload protection, -
6a ,6b ,6c ,6d : Different configurations of the converter chamber and measuring unit in a bipolar differential pressure sensor with overload protection in the measuring unit, -
7 : an embodiment of a bipolar differential pressure sensor with a ring-shaped overload membrane in the measuring unit, -
8a ,8b ,8c ,8d : Different configurations of the converter chamber and measuring unit in a bipolar differential pressure sensor with overload protection in the measuring unit, -
9a ,9b ,9c ,9d : Different configurations of the converter chamber and measuring unit in a bipolar differential pressure sensor with overload protection in the measuring unit, -
10a ,10b ,10c ,10d ,10e : Different configurations of the converter chamber and measuring unit in a bipolar differential pressure sensor with overload protection in the measuring unit.
Wesentliche Komponenten des Differenzdruckmessaufnehmers 1 sind das Messwerk 2 und die Wandlerkammer 3. An oder in einem vom Prozess zugewandten Endbereich des Grundkörpers 9a des Messwerks 2 ist ein koplanares Doppelmembransystem mit zwei Doppelmembranen 4a, 4b vorgesehen. Im entgegengesetzten Endbereich des Messwerks 2 ist die Wandlerkammer 3 in einer Ausnehmung des Grundkörpers 9a des Messwerks 2 fixiert. In der Wandlerkammer 3 ist eine Differenzdruckmesszelle 12 mit einem drucksensitiven Messelement 13 angeordnet, wobei das drucksensitive Messelement 13 eine erste Druckbeaufschlagungsfläche 13a und eine zweite Druckbeaufschlagungsfläche 13b aufweist. Das Messwerk 2 mit integrierter Wandlerkammer 3 bildet den Prozessadapter 21.Essential components of the
Die beiden Doppelmembranen 4a, 4b bestehen jeweils aus einer Prozessmembrane 5a, 5b bzw. einer Trennmembrane 5a, 5b und einer in Richtung der Druckwirkung hinter der Trennmembrane 5a, 5b angeordneten Überlastmembrane 6a, 6b. Zwischen der ersten Trennmembrane 5a und der ersten Überlastmembrane 6a ist eine erste Druckkammer 7a und zwischen der ersten Überlastmembrane 6a und dem Grundkörper 9a eine erste Zusatzdruckkammer 8a bzw. Überdruckkammer 8a ausgebildet. Weiterhin ist zwischen der zweiten Trennmembrane 5b und der zweiten Überlastmembrane 6b eine zweite Druckkammer 7b und zwischen der zweiten Überlastmembrane 6b und dem Grundkörper 9a eine zweite Zusatzdruckkammer 8b bzw. eine zweite Überdruckkammer 8b ausgebildet.The two double diaphragms 4a, 4b each consist of a
Der ersten Zusatzdruckkammer 8a ist eine erste Verbindungskapillare 10a und der zweiten Zusatzdruckkammer 8b ist eine zweite Verbindungskapillare 10b zugeordnet. Der ersten Druckkammer 7a ist eine erste Hilfskapillare 11a zugeordnet. Der zweiten Druckkammer 7b ist eine zweite Hilfskapillare 11 b zugeordnet. Die druckübertragende Kopplung/Kreuzung zwischen der ersten Hilfskapillare 11a und der zweiten Verbindungskapillare 10b bzw. zwischen der zweiten Hilfskapillare 11b und der ersten Verbindungskapillare 10a ist in dem Messwerk 2 zwischen den Doppelmembranen 4a, 4b und der Wandlerkammer 3 realisiert.The first
Die Druckübertragung und die Begrenzung des Überdrucks auf ein Maß, durch das das drucksensitive Messelement 13 nicht beschädigt bzw. zerstört wird, arbeiten bei der gezeigten Lösung parallel, wobei druckdynamisch sichergestellt ist, dass der Überdruck PeÜL begrenzt ist, bevor er das in der Druckmesszelle 12 angeordnete drucksensitive Messelement 13 erreicht. Die Begrenzung des Überdrucks PeÜL erfolgt über eine entsprechend vorgegebene Vorspannung der Überlastmembranen 6a, 6b. Diese sind so vorgespannt, dass sie im normalen Messbetrieb vollflächig und formschlüssig an dem Grundkörper 9, insbesondere in dem entsprechenden Bett des Grundkörpers 9, anliegen und sich erst dann von dem Grundkörper 9 abheben, wenn der vorgegebene kritische Grenzdruck überschritten wird. Bis zu diesem Grenzdruck ist eine Unversehrtheit des drucksensitiven Messelements 13 sichergestellt.The pressure transmission and the limitation of the overpressure to a level that does not damage or destroy the pressure-
Im regulären Messbetrieb liegen - wie bereits erwähnt - die Überlastmembranen 6a, 6b am Grundkörper 9 des Messwerks 2 im Wesentlichen vollflächig an. Die Anlage ist bevorzugt weitgehend formschlüssig, die Überlastmembranen 6a, 6b sind entsprechend vorgespannt. Der Messdruck p1, p2 gelangt über die Trennmembranen 5a, 5b, die Druckkammern 7a, 7b, die Verbindungskapillaren 10a, 10b und die Hilfskapillaren 11a, 11b an die Rückseite der Zusatzdruckkammern 8a, 8b und parallel zu der Wandler-Kammer 3 bzw. zu dem drucksensitive Messelement 13.As already mentioned, in regular measuring operation the
Die Überlastmembranen 6a, 6b und das drucksensitive Messelement 13 liegen hydraulisch parallel, es wirkt daher an beiden jeweils der gleiche Druck. An den Überlastmembranen 6a, 6b und dem Messelement 13 bildet sich der Differenzdruck dp aus p1-p2. Das drucksensitive Messelement 13 lenkt sich in Abhängigkeit von dem Differenzdruck aus. Da die Überlastmembranen 6a, 6b vorgespannt sind, wird ihre Auslenkung bis zu einem festgelegten Wert zwangsweise verhindert. Natürlich ist die Vorspannung auch größer als der Messbereich des Differenzdruckmessaufnehmers.The
Das drucksensitive Messelement 13 erhält über die Druckkammer 7b und die Verbindungskapillaren 11b, 10a die Druckinformation für die Plusseite - erster hydraulischer Pfad 26a. Über die Druckkammer 7a und die Verbindungskapillaren 11a, 10b wird die Druckinformation zur Minusseite des drucksensitiven Messelementes 13 übertragen - zweiter hydraulischer Pfad 26b. Die Wirkung der Parallelpfade über die Zusatzdruckkammern 8a, 8b sind aufgrund der vorgespannten und der näherungsweisen formschlüssigen Auflage der Überlastmembranen 6a, 6b auf dem Grundkörper 9a des Messwerks 2 nahezu vernachlässigbar.The pressure-
Um eine noch größere Sicherheit zu haben, dass der Überdruck begrenzt wird, bevor er den sensitiven Bereich des Druckchips erreicht, haben die Verbindungskapillaren 10a,10b ebenso wie die Hilfskapillaren 11a, 11b bevorzugt entsprechend angepasste Kapillargeometrien, die in Richtung des druckempfindlichen Chips 13 eine Bremsfunktion erfüllen. Insbesondere sind die üblicherweise als Kapillarbohrungen ausgeführten Verbindungs- und Hilfskapillaren 10a, 10b, 11a, 11b im Grundkörper 9a von Messwerk 2 und im Grundkörper 9b von der Wandlerkammer 3 geeignet in Länge und Durchmesser dimensioniert. Im dargestellten Fall ist den beiden Druckbeaufschlagungsflächen 13a, 13b des drucksensitiven Messelements alternativ oder zusätzlich jeweils eine Dynamikbremse 18 vorgeschaltet. Die Dynamikbremsen 18 sind in den Kapillarbohrungen angeordnet, bevorzugt relativ nahe an dem drucksensitiven Messelement 13. Die Dynamikbremsen 18 verzögern die Weiterleitung des Drucks, insbesondere eines Überdrucks PeÜL. Sie schützen das drucksensitive Messelement 13 vor im Prozess auftretenden Druckspitzen.In order to have even greater certainty that the overpressure is limited before it reaches the sensitive area of the pressure chip, the connecting
Bei den Dynamikbremsen 18 kann es sich um Sintermetalleinsätze handeln. Bei einem Einsatz des Differenzdruckmessaufnehmers 1 im explosionsgefährdeten Bereich werden die Dynamikbremsen 18 aus einem nicht leitfähigen Material gefertigt. In diesem Fall erfüllen die Dynamikbremsen 18 dann also eine Doppelfunktion: Eine verzögerte Weiterleitung des Drucks und einen Explosionsschutz, der entsprechend der benötigten Explosionsschutzart ausgestaltet ist.The
Weiterhin sind die Befüllungsbohrungen 14a, 14b zu sehen. Über diese Befüllungsbohrungen 14a, 14b wird das Kapillarsystem des Differenzdruckmesssaufnehmers 1 mit einer hydraulischen Übertragungsflüssigkeit 16 befüllt. Die Befüllungsbohrungen 14a, 14b verlaufen seitlich im Messwerk 2. In den gezeigten Ausgestaltungen verlaufen die Befüllungsbohrungen 14a, 14b im Wesentlichen parallel zur Grundfläche des Prozessanschlusses 21 bzw. des Messwerks 2. Die Befüllungsbohrungen 14a, 14b sind durch Verschlusselemente 15a, 15b abgedichtet. Die Endbereiche der Befüllungsbohrungen 14a, 14b sind im montierten Differenzdruckmessaufnehmer 1 durch den Gehäuseadapter 22 korrosionsgeschützt. Das üblicherweise erforderliche Verkappen der Befüllungsbohrungen 14a, 14b zur Umwelt hin kann aufgrund der Abdeckung durch den Gehäuseadapter 22 entfallen.Furthermore, the filling
Um den Bedarf an Hydraulikflüssigkeit gering zu halten, sind die Verschlusselemente 15a, 15b möglichst nahe an den Kreuzungspunkten der Kapillaren 10a, 10b, 11a, 11b vorgesehen. Eventuell werden auch zwecks Ölminimierung noch Füllelemente in die Befüllungsbohrungen 14a, 14b eingebracht. Als druckdichter, gas- oder zumindest flüssigkeitsdichter Verschluss ist jeweils ein bevorzugt kugelförmiges Verschlusselement 15a, 15b vorgesehen, das in die jeweilige Befüllungsbohrung 14a, 14b gedrückt und anschließend verstemmt wird. Prinzipiell stehen auch andere Verfahren zum Verschließen der Öffnungen zur Verfügung. Schweißen wird allerdings insofern als kritisch angesehen, da infolge der Temperaturerhöhung negative Rückwirkungen auf die definierten Eigenschaften der Übertragungsflüssigkeit 16 auftreten können.In order to keep the need for hydraulic fluid low, the
Im vom Prozess abgewandten Endbereich des Grundkörpers 9a des Messwerks 2 befindet sich die Wandlerkammer 3. Sie ist in eine entsprechende Ausnehmung möglichst passgenau eingefügt. Die beiden Druckbeaufschlagungsflächen 13a, 13b des drucksensitiven Messelements 13 der Druckmesszelle 12 sind in Längsrichtung L des Differenzdruckmessaufnehmers 1 hintereinander angeordnet. Durch diese Anordnung lässt sich auf eine einfache Art und Weise eine Plus-Minus-Trennung der ersten Druckbeaufschlagungsfläche 13a von der zweiten Druckbeaufschlagungsfläche 13b erreichen.The
Der an der Trennmembrane 5a anliegende Druck p1 wird über die Hilfskapillare 11a und die mit ihr koppelnde Verbindungskapillare 10b hydraulisch zur Minusseite bzw. zur zweiten Druckbeaufschlagungsfläche 13b übertragen. Der an der zweiten Trennmembrane 5b anliegende Druck p2 wird über die Hilfskapillare 11b und die Kopplung zur Verbindungskapillare 10a unmittelbar durch eine Öffnung in der Stirnseite der Wandlerkammer 3 zur Plusseite bzw. zur ersten Druckbeaufschlagungsfläche 13a des drucksensitiven Messelements 13 übertragen. Die Kapillaren 10a, 10b, 11a, 11b und die entsprechenden Verbindungen / Kopplungen verlaufen nahezu vollständig im monolithisch aufgebauten Grundkörper 9a des Messwerks 2. Somit sind in dem Grundkörper 9a des Messwerks 2 vier Längsbohrungen und zwei koppelnde Querbohrungen vorgesehen. Die Querbohrungen befinden sich bevorzugt im schmäler dimensionierten Hals des Messwerks 2.The pressure p1 applied to the separating
In der Wandlerkammer 3 verläuft lediglich eine Kapillarbohrung 26b, die im gezeigten Fall aus einer Querbohrung und einer Längsbohrung besteht. Über die Kapillarbohrung 26b wird der Druck p1 zur zweiten Druckbeaufschlagungsfläche 13b übertragen. Für alle gezeigten Ausgestaltungen gilt: Durch die geringe Anzahl an Kapillarbohrungen wird die Fertigung erheblich vereinfacht. Das benötigte Ölvolumen ist aufgrund der geringen Dimensionierung der Längs- und Querbohrungen gering bzw. minimiert.Only one
Der als Prozessanschluss 21 des Differenzdruckmessaufnehmers 1 ausgestaltete Grundkörper 9a des Messwerks 2 ist mit dem Gehäuseadapter 22 über die umlaufende Schweißverbindung bzw. Fügung 20 druck- und gasdicht verbunden. Im Falle einer Schweißung erfolgt diese bevorzugt radial von der Seite her, indem die Schweißapparatur und die zu schweißenden Komponenten relativ zueinander gedreht werden.The
Die Wandlerkammer 3 ist in einer Ausnehmung 29 des Grundkörpers 9a des Messwerks 2 angeordnet und dort mittels einer umlaufenden axialen Schweißnaht 19 druck- und gasdicht befestigt. Bevorzugt weist die Kapillarbohrung 11b, 26b, die vom Grundkörper 9a des Messwerks 2 in den Grundkörper 9b der Wandlerkammer 3 und von dort zur zweiten Druckbeaufschlagungsfläche 13b führt, zumindest im Übergangsbereich von Messwerk 2 und Wandlerkammer 3 einen vergrößerten Durchmesser auf. Im gezeigten Fall ist die Kapillarbohrung 26b in der Wandlerkammer 3 zu einer Stufenbohrung 19 aufgeweitet. Alternativ wird keine Aufweitung verwendet. Möglich ist auch die Verwendung einer Fase, in der überschüssiges Schweißmaterial aufgenommen wird.The
Die Verschweißung erfolgt mittels eines Strahlschweißprozesses, bevorzugt wird Elektronenstrahlschweißen oder Laserschweißen eingesetzt, und zwar von der vom Prozess abgewandten Stirnseite des Messwerks 2 her. Die Schweißung von oben erfolgt axial über einen direkten Zugang im seitlichen Randbereich von Wandlerkammer 3 und angrenzender Seitenwand der Ausnehmung zur Aufnahme der Wandlerkammer 3 im Grundkörper 9a des Messwerks 2. Der Schweißstrahl wird im gezeigten Fall quer durch die gestufte Kapillarbohrung 26b bzw. die Stufenbohrung 19 bzw. die Kapillarbohrung 26b hindurchgeführt. Alternativen bei allen beschriebenen Ausgestaltungen sind: die Stufenbohrung entfällt, oder es ist eine Fase vorgesehen, in der überschüssiges Material aufgenommen werden kann.The welding takes place by means of a beam welding process, electron beam welding or laser welding is preferably used, specifically from the front side of the measuring
Durch die Erweiterung der Kapillarbohrung 26b bzw. durch die Stufenbohrung 19 lässt sich im Bereich der Schweißnaht 17 vermeiden, dass die Kapillarbohrung 26b durch den Schweißprozess verschlossen wird. Insbesondere ist die Kapillarbohrung 26b bzw. im gezeigten Fall mit Stufenbohrung 19 so ausgestaltet und/oder dimensioniert, dass der Innendurchmesser der Kapillarbohrung 11b, 26b nach dem druck- und gasdichten Schweißen auch im Bereich der miteinander verbundenen Kapillarbohrungen 11 b, 26b von Messwerk 2 und Wandlerkammer 3 zumindest näherungsweise dem Innendurchmesser der gekoppelten Kapillarbohrungen 11b, 26 entspricht. Durch die Erweiterung der Kapillarbohrung 26b im Messwerk 2 wird auch ein Volumenausgleich für die Minusseite geschaffen. Zudem steht mit der Zugangsbohrung 24, die nachfolgend mit einem Verschlusselement 25 abgedichtet wird, ein weiterer Befüllzugang für die Befüllung des Kapillarsystems mit Hydraulikflüssigkeit 16 zur Verfügung. Weitere interessante Vorteile des erfindungsgemäßen Verfahrens sind aus der parallel eingereichten Anmeldung der Anmelderin zu entnehmen. Diese sind dem Offenbarungsgehalt der vorliegenden Patentanmeldung hinzuzurechnen.The enlargement of the
Die in den nachfolgenden Figuren
Die erfindungsgemäße Verschweißung von Wandlerkammer 3 und Messwerk erfolgt bevorzugt mittels Laserstrahl oder E-Beam. Sie erfolgt bei den in den Figuren
Bei der in
Bei der in
Bei der in
Es versteht sich von selbst, dass die zuvor genannten Ausgestaltungen des koplanaren Differenzdrucksensors 1 mit Überlastschutz auch ohne Überlastschutz im Messwerk 2 ausgestaltet sein können. Bevorzugt wird dann der Überlastschutz über das drucksensitive Messelement 13, also den Druckchip, realisiert.It goes without saying that the aforementioned configurations of the coplanar
In den Figuren
Eine weitere Ausführungsform eines bipolaren einteiligen Differenzdrucksensors 1 mit Doppelmembranen 4a, 4b und Überlastschutz im Messwerk 2 ist in den Figuren
In den nachfolgenden Figuren
Ein einseitig z.B. an der Trennmembrane 5b auftretender Überdruck, der zur Schädigung des drucksensitiven Messelements 13 führen würde, wird mittels einer hydraulischen Übertragungsflüssigkeit 16 auf die Rückseite der auf der Gegenseite liegenden Überlastmembrane 6b übertragen. Diese hebt von ihrem Bett am Gehäuse 9a des Messwerks 2 ab, und die aus der Druckkammer 7a hinausbewegte Übertragungsflüssigkeit 16 wird in die Zusatzdruckkammer 8b verschoben. Hierdurch wird sichergestellt, dass an der ersten Druckbeaufschlagungsfläche 13a des drucksensitiven Messelements 13 somit auch im Überlastfall nur der maximal zulässige Druck anliegt. Gegebenenfalls sind auch noch Dynamikbremsen in den bzw. die hydraulischen Pfade 26a, 26b eingebaut. Diese sind in den Figuren nicht gesondert eingezeichnet.An overpressure occurring on one side, e.g. This lifts off its bed on the
Die in den
Die in den
In den Figuren
Bei den in den Figuren
In den Figuren sind die Einfüllbohrungen und die entsprechenden Verschlusselemente beispielhaft und schematisch eingezeichnet. Die Lage der Einfüllbohrungen kann unterschiedlich sein. Eine fachlich qualifizierte Person weiß, wo diese Einfüllbohrungen vorteilhafterweise - also unter der Prämisse: so weinig Ölvorlage wie möglich - anzuordnen sind.In the figures, the filling bores and the corresponding closure elements are drawn in as examples and schematically. The position of the filling holes can be different. A professionally qualified person knows where these filling holes are best to be located - i.e. under the premise: as little oil as possible.
BezugszeichenlisteReference List
- 11
- Differenzdruckmessaufnehmerdifferential pressure sensor
- 22
- Messwerkmeasuring mechanism
- 33
- Wandlerkammerconverter chamber
- 44
- Doppelmembransystemdouble membrane system
- 4a, 4b4a, 4b
- erste Doppelmembrane, zweite Doppelmembranefirst double diaphragm, second double diaphragm
- 5a, 5b5a, 5b
- erste Trennmembrane, zweite Trennmembranefirst separating diaphragm, second separating diaphragm
- 6a, 6b6a, 6b
- erste Überlastmembrane, zweite Überlastmembranefirst overload diaphragm, second overload diaphragm
- 7a, 7b7a, 7b
- erste Druckkammer, zweite Druckkammerfirst pressure chamber, second pressure chamber
- 8a, 8b8a, 8b
- erste Zusatzdruckkammer, zweite Zusatzdruckkammerfirst additional pressure chamber, second additional pressure chamber
- 9a9a
- Grundkörper des Messwerksbody of the measuring mechanism
- 9b9b
- Grundkörper der WandlerkammerMain body of the converter chamber
- 10a, 10b10a, 10b
- erste Verbindungskapillare, zweite Verbindungskapillarefirst connection capillary, second connection capillary
- 11a, 11b11a, 11b
- erste Hilfskapillare, zweite Hilfskapillare,first auxiliary capillary, second auxiliary capillary,
- 1212
- Differenzdruckmesszelledifferential pressure measuring cell
- 1313
- drucksensitives Messelementpressure-sensitive measuring element
- 14a, 14b14a, 14b
- Befüllungsbohrungfilling hole
- 15a, 15b15a, 15b
- Verschlusselementclosure element
- 1616
- Übertragungsflüssigkeittransmission fluid
- 1717
- Schweißungweld
- 1818
- Dynamikbremsedynamic brake
- 1919
- Stufenbohrungstepped bore
- 2020
- Fügungcoincidence
- 2121
- Prozessanschlussprocess connection
- 2222
- Gehäuseadapterhousing adapter
- 2323
- Stromdurchführungcurrent feedthrough
- 2424
- Zugangsbohrung zu KapillarbohrungAccess hole to capillary hole
- 2525
- Verschlusselement der ZugangsbohrungAccess hole closure element
- 26a26a
- Kapillarbohrung im Grundkörper des MesswerksCapillary bore in the body of the measuring element
- 26b26b
- Kapillarbohrung im Grundkörper der WandlerkammerCapillary bore in the body of the converter chamber
- 2727
- Kappe, insbesondere isolierende KappeCap, in particular insulating cap
- 2828
- Sensorelektroniksensor electronics
- 2929
- Ausnehmung im Grundkörper des MesswerksRecess in the body of the measuring mechanism
- 3030
- Füllkörperrandom packing
- 3131
- SchweißnahtWeld
- 3232
-
Schweißnaht für Verbindung von mittlerer Überlastmembrane 6 und der rechten Komponente des MesswerksWelding seam for connecting the
middle overload diaphragm 6 and the right-hand component of the measuring mechanism - 3333
- Schweißnaht für die Schweißung der linken Komponente des Messwerks (Membranträger) mit der rechten Komponente des Messwerks (MembranträgerWeld seam for welding the left component of the measuring mechanism (diaphragm support) with the right component of the measuring mechanism (diaphragm support
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDED IN DESCRIPTION
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list of documents cited by the applicant was generated automatically and is included solely for the better information of the reader. The list is not part of the German patent or utility model application. The DPMA assumes no liability for any errors or omissions.
Zitierte PatentliteraturPatent Literature Cited
- DE 3222620 A1 [0004]DE 3222620 A1 [0004]
- WO 2018/165122 A1 [0006]WO 2018/165122 A1 [0006]
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-
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- 2021-11-26 WO PCT/EP2021/083083 patent/WO2022128398A1/en active Application Filing
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WO2022128398A1 (en) | 2022-06-23 |
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