DE102019219209A1 - Surface profile measuring device for measuring the mirror of an imaging optic - Google Patents

Abstract

Eine Oberflächenprofil-Messeinrichtung (15) dient zur Vermessung von Spiegeln einer abbildenden Optik. Die Messeinrichtung hat ein diffraktives optisches Element (DOE) (16), welches eine Prüfwellenfront (17) erzeugt. Letztere steht senkrecht auf einem Soll-Oberflächenprofil einer jeweiligen Nutz-Reflexionsfläche (20) des Spiegels. Es resultiert eine Oberflächenprofil-Messeinrichtung, mit der in handhabbarer Weise eine hochpräzise Messung der Nutz-Reflexionsflächen der Spiegel ermöglicht wird.A surface profile measuring device (15) is used to measure mirrors of an imaging optic. The measuring device has a diffractive optical element (DOE) (16) which generates a test wave front (17). The latter is perpendicular to a target surface profile of a respective useful reflection surface (20) of the mirror. The result is a surface profile measuring device with which a highly precise measurement of the useful reflection surfaces of the mirrors is made possible in a manageable manner.

Description

Die Erfindung betrifft eine Oberflächenprofil-Messeinrichtung zur Vermessung der Spiegel einer abbildenden Optik. Ferner betrifft die Erfindung eine Projektionsbelichtungsanlage mit einem derartigen optischen System, ein Verfahren zur Herstellung eines mikro- bzw. nanostrukturierten Bauteils mit Hilfe einer derartigen Projektionsbelichtungsanlage sowie ein mikro- bzw. nanostrukturiertes Bauteil, hergestellt nach einem derartigen Verfahren.The invention relates to a surface profile measuring device for measuring the mirror of an imaging optical system. The invention further relates to a projection exposure system with such an optical system, a method for producing a micro- or nanostructured component with the aid of such a projection exposure system, and a micro- or nanostructured component produced using such a method.

Abbildende Optiken bzw. Projektionsoptiken der eingangs genannten Art sind bekannt aus der US 2016/0085061 A1 , der DE 10 2012 202 675 A1 , der DE 10 2009 011 328 A1 , der US 8 027 022 B2 und der US 6 577 443 B2 . Eine Beleuchtungsoptik für eine Projektionsbelichtungsanlage ist bekannt aus der DE 10 2009 045 096 A1 .Imaging optics or projection optics of the type mentioned are known from the US 2016/0085061 A1 , the DE 10 2012 202 675 A1 , the DE 10 2009 011 328 A1 , the US 8 027 022 B2 and the US 6 577 443 B2 , A lighting optic for a projection exposure system is known from the DE 10 2009 045 096 A1 ,

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Oberflächenprofil-Messeinrichtung zur Vermessung der Spiegel einer abbildenden Optik zu schaffen, mit der in handhabbarer Weise eine hochpräzise Messung der Nutz-Reflexionsflächen der Spiegel ermöglicht wird.It is an object of the present invention to provide a surface profile measuring device for measuring the mirrors of an imaging optic, with which a highly precise measurement of the useful reflection surfaces of the mirrors is made possible in a manageable manner.

Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß gelöst durch eine Oberflächenprofil-Messeinrichtung mit den in Anspruch 1 angegebenen Merkmalen.This object is achieved according to the invention by a surface profile measuring device with the features specified in claim 1.

Erfindungsgemäß wurde zum einen erkannt, dass ein diffraktives optisches Element DOE die Möglichkeit bietet, auch komplexere Topographien einer Nutz-Reflexionsfläche zu vermessen. Die Oberflächenprofil-Messeinrichtung kann so ausgeführt werden, dass das mindestens eine DOE kompakt ausgeführt sein kann. Dies gewährleistet einen fertigungstechnisch handhabbaren Aufbau der Oberflächenprofil-Messeinrichtung.On the one hand, it was recognized according to the invention that a diffractive optical element DOE offers the possibility of also measuring more complex topographies of a useful reflection surface. The surface profile measuring device can be designed such that the at least one DOE can be made compact. This ensures that the surface profile measuring device can be constructed in terms of production technology.

Die abbildende Optik, die mit der Oberflächenprofil-Messeinrichtung vermessen wird, hat eine Mehrzahl von Spiegeln zur Abbildung eines Objektes in ein Bildfeld, wobei alle Spiegel Nutz-Reflexionsflächen aufweisen, die so verlaufen, dass sie mit der Oberflächenprofil-Messeinrichtung vermessen werden können. Eine solche abbildende Optik kann insgesamt mit hoher Präzision der Nutz-Reflexionsflächen gefertigt werden.The imaging optics, which are measured with the surface profile measuring device, have a plurality of mirrors for imaging an object in an image field, all mirrors having useful reflection surfaces which run in such a way that they can be measured with the surface profile measuring device. Such an imaging optics can be manufactured with high precision of the useful reflection surfaces.

Bei der abbildenden Optik genügen alle Punkte auf den Nutz-Reflexionsflächen aller Spiegel der abbildenden Optik folgender Relation: $$\text{NA}\ge \left(\text{r}-{\text{d}}_{\text{max}}\right){\text{/a}}_{\text{min}}\text{ für r}\le {\text{d}}_{\text{max}}$$

$$\text{NA}\ge \left(\text{r}-{\text{d}}_{\text{max}}\right){\text{/a}}_{\text{max}}\text{ für r}\ge {\text{d}}_{\text{max}}$$

With the imaging optics, all points on the useful reflection surfaces of all mirrors of the imaging optics satisfy the following relation: $$\text{N / A}\ge \left(\text{r}-{\text{d}}_{\text{Max}}\right){\text{/ a}}_{\text{min}}\text{for r}\le {\text{d}}_{\text{Max}}$$

$$\text{N / A}\ge \left(\text{r}-{\text{d}}_{\text{Max}}\right){\text{/ a}}_{\text{Max}}\text{for r}\ge {\text{d}}_{\text{Max}}$$

Es kann, da die Spiegel der abbildenden Optik diese Relation erfüllen, mit Hilfe eines reproduzierbaren Algorithmus eine Vorschrift für die Abhängigkeit eines minimalen und eines maximalen Arbeitsabstandes vom jeweils vorgegebenen Radius des DOE bestimmt werden. Soweit ein vorgegebener Bereich von Arbeitsabständen des DOE zur Nutz-Reflexionsfläche bei der Oberflächenprofil-Messeinrichtung möglich ist, kann der kleinste Radius des DOE bestimmt werden, für den sich mit der Messeinrichtung realisierbare Arbeitsabstände ergeben. Es wird dann vermieden, dass ein hinsichtlich seines Radius unnötig zu großes DOE für die Vermessung der Nutz-Reflexionsflächen der abbildenden Optik gefertigt wird. Als Mittelpunkt der Nutz-Reflexionsfläche und/oder als Mittelpunkt des DOE kann ein Flächenschwerpunkt der jeweiligen Komponente herangezogen werden.Since the mirrors of the imaging optics fulfill this relation, a rule for the dependence of a minimum and a maximum working distance on the respectively given radius of the DOE can be determined with the aid of a reproducible algorithm. Insofar as a predetermined range of working distances of the DOE to the useful reflection surface is possible in the surface profile measuring device, the smallest radius of the DOE can be determined, for which there are working distances that can be achieved with the measuring device. It is then avoided that a DOE which is unnecessarily large in terms of its radius is produced for measuring the useful reflection surfaces of the imaging optics. A center of gravity of the respective component can be used as the center of the useful reflection surface and / or as the center of the DOE.

Die Oberflächenprofil-Messeinrichtung kann mit einer abbildenden Optik ausgerüstet sein, die insbesondere bei der Projektionslithographie, speziell bei der EUV-Lithografie zum Einsatz kommen kann.The surface profile measuring device can be equipped with imaging optics, which can be used in particular in projection lithography, especially in EUV lithography.

Eine Ausführung der Nutz-Reflexionsflächen nach Anspruch 2 ermöglicht eine besonders bequeme Vermessung dieser Nutz-Reflexionsflächen in der Oberflächenprofil-Messeinrichtung.An embodiment of the useful reflection surfaces according to claim 2 enables a particularly convenient measurement of these useful reflection surfaces in the surface profile measuring device.

Ein minimaler Arbeitsabstand des DOE zur Nutz-Reflexionsfläche, bei dem die Oberflächenprofil-Messeinrichtung ein verwertbares Messergebnis liefern kann, kann klein sein, was zu einem einfachen Messaufbau führt.A minimum working distance of the DOE to the useful reflection surface, at which the surface profile measuring device can deliver a usable measurement result, can be small, which leads to a simple measurement setup.

Der Arbeitsabstand kann in einem Bereich liegen, bei dem einerseits eine Vermessung möglich ist, ohne dass sich die Komponenten gegenseitig stören und andererseits eine kompakte Oberflächenprofil-Messeinrichtung resultiert. The working distance can be in a range in which measurement is possible on the one hand without the components interfering with one another and on the other hand resulting in a compact surface profile measuring device.

Der Radius des DOE kann klein ausgeführt sein, was dessen Herstellungskosten senkt.The radius of the DOE can be made small, which lowers its manufacturing costs.

Spiegelanzahlen der Messeinrichtung nach den Ansprüchen 3 bis 5 haben sich insbesondere zum Einsatz in der Projektionslithographie als besonders geeignet herausgestellt. Es lassen sich kleine Abbildungsfehler bei einem hinsichtlich der Spiegelhalterungen gut realisierbaren Aufbau verwirklichen.Number of mirrors of the measuring device according to claims 3 to 5 have proven to be particularly suitable for use in projection lithography. Small aberrations can be realized with a structure that is easy to implement with regard to the mirror mounts.

Die Vorteile einer Oberflächenprofil-Messeinrichtung nach den Ansprüchen 6 und 7, einer Projektionsbelichtungsanlage nach Anspruch 8, eines Herstellungsverfahrens nach Anspruch 9 sowie eines Bauteils nach Anspruch 10 entsprechend denen, die vorstehend unter Bezugnahme auf die Oberflächenprofil-Messeinrichtung sowie die abbildende Optik bereits erläutert wurden.The advantages of a surface profile measuring device according to claims 6 and 7, a projection exposure system according to claim 8, a manufacturing method according to claim 9 and a component according to claim 10 correspond to those already explained above with reference to the surface profile measuring device and the imaging optics.

Hergestellt werden kann insbesondere ein Halbleiter-Bauteil, beispielsweise ein Speicherchip.In particular, a semiconductor component, for example a memory chip, can be produced.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnung näher erläutert. In dieser zeigen:

• 1 schematisch eine Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-Mikrolithographie;
• 2 eine zu prüfende optische Oberfläche einer optischen Komponente in Form einer Nutz-Reflexionsfläche, die innerhalb der Projektionsbelichtungsanlage nach 1 zum Einsatz kommt, zusammen mit einem diffraktiven optischen Element zur Erzeugung einer Prüfwellenfront in einer schematischen Seitenansicht;
• 3 schematisch einen Strahlengang innerhalb einer Oberflächenprofil-Messeinrichtung zur Vermessung einer zu prüfenden optischen Oberfläche unter Verwendung eines diffraktiven optischen Elements nach 2;
• 4 bis 7 Abstandsverhältnisse zwischen der zu prüfenden optischen Oberfläche und dem diffraktiven optischen Element, jeweils in einer zu 2 ähnlichen Darstellung, einerseits für eine konkave zu prüfende optische Oberfläche (4 und 5) und andererseits für eine konvexe zu prüfende optische Oberfläche (6 und 7).
• 8 eine Schnittdarstellung einer zu prüfenden konkaven optischen Oberfläche zusammen mit Parametern, die zur Herleitung eines Kriteriums für eine Abstandsbedingung für das diffraktive optische Element herangezogen werden;
• 9 in einer zu 8 ähnlichen Darstellung eine konvexe zu prüfende optische Oberfläche mit ebenfalls zur Herleitung des Kriteriums genutzten Parametern;
• 10 in einem r/NA-Diagramm zulässige Kombinationen aus einer numerischen Apertur NA (Tangens eines Winkels einer Oberflächennormale an einem Punkt der zu prüfenden Oberfläche zu einer optischen Achse) und einem Abstand r des zu prüfenden Punktes vom Mittelpunkt der zu prüfenden Spiegelfläche, bei denen eine optische Oberfläche mittels der Messeinrichtung nach 3 geprüft werden kann;
• 11 in einem zu 10 ähnlichen r/NA-Diagramm die Parameterbereiche, die von Spiegeln einer Ausführung einer Projektionsoptik für die Projektionsbelichtungsanlage nach 1 eingenommen werden, zur Entscheidung, ob diese in einem zulässigen Bereich entsprechend dem nach 10 liegen;
• 12 in einem d_max/a-Diagramm die Abhängigkeit eines Arbeitsabstandes a des diffraktiven optischen Elements zu einer zu prüfenden optischen Fläche von einem Radius d_max des diffraktiven optischen Elements, ausgehend von minimalen und maximalen Werten für den Arbeitsabstand, die aus der Darstellung nach 11 folgen;
• 13 in einem Meridionalschnitt eine Ausführung einer abbildenden Optik, die als Projektionsobjektiv in der Projektionsbelichtungsanlage nach 1 einsetzbar ist, wobei ein Abbildungsstrahlengang für Hauptstrahlen und für einen oberen und einen unteren Komastrahl dreier ausgewählter Feldpunkte dargestellt ist;
• 14 in einer zu 11 ähnlichen Darstellung die Bereiche der jeweiligen Spiegel M1 bis M11 der Projektionsoptik nach 13, die im r/NA-Diagramm eingenommen werden;
• 15 in einer zu 12 ähnlichen Darstellung die Abhängigkeit des Arbeitsabstandes vom DOE-Radius für die Spiegeldaten nach 14;
• 16 in einer zu 13 ähnlichen Darstellung eine weitere Ausführung einer abbildenden Optik, einsetzbar als Projektionsoptik in der Projektionsbelichtungsanlage in 1;
• 17 in einer zu 14 ähnlichen Darstellung ein r/NA-Diagramm für die Spiegel der Projektionsoptik nach 16;
• 18 in einer zu 15 ähnlichen Darstellung ein d_max/a-Diagramm für die Spiegelwerte nach 17;
• 19 in einer zu 13 ähnlichen Darstellung eine weitere Ausführung einer abbildenden Optik, einsetzbar als Projektionsoptik in der Projektionsbelichtungsanlage in 1;
• 20 in einer zu 14 ähnlichen Darstellung ein r/NA-Diagramm für die Spiegel der Projektionsoptik nach 19;
• 21 in einer zu 15 ähnlichen Darstellung ein d_max/a-Diagramm für die Spiegelwerte nach 20;
• 22 in einer zu 13 ähnlichen Darstellung eine weitere Ausführung einer abbildenden Optik, einsetzbar als Projektionsoptik in der Projektionsbelichtungsanlage in 1;
• 23 in einer zu 14 ähnlichen Darstellung ein r/NA-Diagramm für die Spiegel der Projektionsoptik nach 22;
• 24 in einer zu 15 ähnlichen Darstellung ein d_max/a-Diagramm für die Spiegelwerte nach 23;
• 25 die d_max/a-Daten nach den 15, 18, 21 und 24, eingetragen in ein einziges d_max/a-Diagramm.

Exemplary embodiments of the invention are explained in more detail below with reference to the drawing. In this show:

• 1 schematically a projection exposure system for EUV microlithography;
• 2 an optical surface to be tested of an optical component in the form of a useful reflection surface, which is inside the projection exposure system 1 is used together with a diffractive optical element to generate a test wave front in a schematic side view;
• 3 schematically after a beam path within a surface profile measuring device for measuring an optical surface to be tested using a diffractive optical element 2 ;
• 4 to 7 Distance ratios between the optical surface to be tested and the diffractive optical element, each in one to 2 similar representation, on the one hand for a concave optical surface to be tested ( 4 and 5 ) and on the other hand for a convex optical surface to be tested ( 6 and 7 ).
• 8th a sectional view of a concave optical surface to be tested together with parameters that are used to derive a criterion for a distance condition for the diffractive optical element;
• 9 in one too 8th similar representation a convex optical surface to be tested with parameters also used to derive the criterion;
• 10 In an r / NA diagram, admissible combinations of a numerical aperture NA (tangent of an angle of a surface normal at a point of the surface to be tested to an optical axis) and a distance r of the point to be tested from the center of the mirror surface to be tested, in which a optical surface by means of the measuring device 3 can be checked;
• 11 in one too 10 Similar to the r / NA diagram, the parameter ranges from mirrors to a design of projection optics for the projection exposure system 1 to be taken to decide whether this is within an allowable range according to the 10 lie;
• 12 in a d _max / a diagram the dependence of a working distance a of the diffractive optical element on an optical surface to be tested on a radius d _max of the diffractive optical element, based on minimum and maximum values for the working distance, which are shown in the illustration 11 consequences;
• 13 in a meridional section an embodiment of an imaging optic, which is used as a projection lens in the projection exposure system 1 can be used, an imaging beam path for main beams and for an upper and a lower coma beam of three selected field points being shown;
• 14 in one too 11 similar representation the areas of the respective mirrors M1 to M11 according to the projection optics 13 that are taken up in the r / NA diagram;
• 15 in one too 12 similar depiction of the dependence of the working distance on the DOE radius for the mirror data 14 ;
• 16 in one too 13 another representation of an imaging optics, can be used as projection optics in the projection exposure system in a similar representation 1 ;
• 17 in one too 14 a r / NA diagram for the mirror of the projection optics 16 ;
• 18 in one too 15 a similar representation ad _max / a diagram for the mirror values 17 ;
• 19 in one too 13 similar representation another embodiment of an imaging optics, usable as projection optics in the projection exposure system in 1 ;
• 20 in one too 14 a r / NA diagram for the mirror of the projection optics 19 ;
• 21 in one too 15 a similar representation ad _max / a diagram for the mirror values 20 ;
• 22 in one too 13 similar representation another embodiment of an imaging optics, usable as projection optics in the projection exposure system in 1 ;
• 23 in one too 14 a r / NA diagram for the mirror of the projection optics 22 ;
• 24 in one too 15 similar representation ad _max / a diagram for the mirror values 23 ;
• 25 the d _max / a data according to the 15 . 18 . 21 and 24 , plotted in a single d _max / a diagram.

Eine Projektionsbelichtungsanlage 1 für die Mikrolithographie hat eine Lichtquelle 2 für Beleuchtungslicht bzw. Abbildungslicht 3. Bei der Lichtquelle 2 handelt es sich um eine EUV-Lichtquelle, die Licht in einem Wellenlängenbereich beispielsweise zwischen 5 nm und 30 nm, insbesondere zwischen 5 nm und 15 nm, erzeugt. Bei der Lichtquelle 2 kann es sich insbesondere um eine Lichtquelle mit einer Wellenlänge von 13,5 nm oder um eine Lichtquelle mit einer Wellenlänge von 6,9 nm handeln. Auch andere EUV-Wellenlängen sind möglich. Generell sind sogar beliebige Wellenlängen, zum Beispiel sichtbare Wellenlängen oder auch andere Wellenlängen, die in der Mikrolithographie Verwendung finden können (z. B. DUV, tiefes Ultraviolett) und für die geeigneten Laserlichtquellen und/oder LED-Lichtquellen zur Verfügung stehen (beispielsweise 365 nm, 248 nm, 193 nm, 157 nm, 129 nm, 109 nm), für das in der Projektionsbelichtungsanlage 1 geführte Beleuchtungslicht 3 möglich. Ein Strahlengang des Beleuchtungslichts 3 ist in der 1 äußerst schematisch dargestellt.A projection exposure system 1 for microlithography has a light source 2 for illuminating light or imaging light 3 , At the light source 2 is an EUV light source that generates light in a wavelength range, for example between 5 nm and 30 nm, in particular between 5 nm and 15 nm. At the light source 2 it can in particular be a light source with a wavelength of 13.5 nm or a light source with a wavelength of 6.9 nm. Other EUV wavelengths are also possible. In general, there are even any wavelengths, for example visible wavelengths or other wavelengths that can be used in microlithography (e.g. DUV, deep ultraviolet) and are available for the suitable laser light sources and / or LED light sources (e.g. 365 nm , 248 nm, 193 nm, 157 nm, 129 nm, 109 nm), for that in the projection exposure system 1 led lighting light 3 possible. An optical path of the illuminating light 3 is in the 1 represented very schematically.

Zur Führung des Beleuchtungslichts 3 von der Lichtquelle 2 hin zu einem Objektfeld 4 in einer Objektebene 5 dient eine Beleuchtungsoptik 6. Mit einer Projektionsoptik bzw. abbildenden Optik 7 wird das Objektfeld 4 in ein Bildfeld 8 in einer Bildebene 9 mit einem vorgegebenen, gegebenenfalls anamorphotischen Verkleinerungsmaßstab abgebildet.For guiding the illuminating light 3 from the light source 2 towards an object field 4 in an object plane 5 serves as lighting optics 6 , With projection optics or imaging optics 7 becomes the object field 4 in an image field 8th in one image plane 9 mapped with a given, possibly anamorphic, scale of reduction.

Zur Erleichterung der Beschreibung der Projektionsbelichtungsanlage 1 sowie der verschiedenen Ausführungen der Projektionsoptik 7 ist in der Zeichnung ein kartesisches xyz-Koordinatensystem angegeben, aus dem sich die jeweilige Lagebeziehung der in den Figuren dargestellten Komponenten ergibt. In der 1 verläuft die x-Richtung senkrecht zur Zeichenebene in diese hinein. Die y-Richtung verläuft nach links und die z-Richtung nach oben.To facilitate the description of the projection exposure system 1 as well as the different versions of the projection optics 7 a Cartesian xyz coordinate system is indicated in the drawing, from which the respective positional relationship of the components shown in the figures results. In the 1 The x-direction runs perpendicular to the plane of the drawing. The y direction is left and the z direction is up.

Das Objektfeld 4 und das Bildfeld 8 sind rechteckförmig. Alternativ ist es auch möglich, das Objektfeld 4 und Bildfeld 8 gebogen bzw. gekrümmt, also insbesondere teilringförmig auszuführen. Das Objektfeld 4 und das Bildfeld 8 haben ein xy-Aspektverhältnis größer als 1. Das Objektfeld 4 hat also eine längere Objektfelddimension in der x-Richtung und eine kürzere Objektfelddimension in der y-Richtung. Diese Objektfelddimensionen verlaufen längs der Feldkoordinaten x und y.The object field 4 and the image field 8th are rectangular. Alternatively, it is also possible to use the object field 4 and image field 8th curved or curved, that is to say in particular to be designed in the form of a partial ring. The object field 4 and the image field 8th have an xy aspect ratio greater than 1. The object field 4 thus has a longer object field dimension in the x direction and a shorter object field dimension in the y direction. These object field dimensions run along the field coordinates x and y ,

Für die Projektionsoptik 7 kann eines der in den 13, 16, 19 oder 22 dargestellten Ausführungsbeispiele eingesetzt werden, die nachfolgend noch näher erläutert werden.For the projection optics 7 can one of the in the 13 . 16 . 19 or 22 illustrated embodiments are used, which are explained in more detail below.

Die Projektionsoptik 7 nach 13 ist anamorphotisch ausgeführt. In der yz-Ebene, also in der Meridionalebene des Schnitts nach 2 hat die Projektionsoptik 7 einen Verkleinerungsmaßstab |β_y| von 8. In der Meridionalebene yz wird das Objektfeld 4 also um einen Faktor 8 verkleinert auf das Bildfeld 8 abgebildet. In der senkrecht auf der Meridionalebene stehenden Sagittalebene xz beträgt ein Verkleinerungsmaßstab der Projektionsoptik 7 |β_x| 4. Das Objektfeld 4 wird in dieser Ebene xz also um einen Faktor 4 verkleinert in das Bildfeld 8 zwischen der Objektebene 5 und der Bildebene 9 abgebildet. Auch andere ganzzahlige oder nicht ganzzahlige absolute Verkleinerungsmaßstäbe β_x, β_y sind möglich, wie nachfolgend anhand der weiteren Ausführungsbeispiele erläutert.The projection optics 7 to 13 is anamorphic. In the yz plane, i.e. in the meridional plane of the cut after 2 has the projection optics 7 a reduction scale | β _y | of 8. In the meridional plane Y Z becomes the object field 4 so by a factor 8th reduced to the image field 8th displayed. In the sagittal plane perpendicular to the meridional plane xz is a scale down the projection optics 7 | β _x | 4. The object field 4 becomes xz by a factor in this plane 4 reduced in the image field 8th between the object plane 5 and the image plane 9 displayed. Other integer or non-integer absolute reduction scales β _x , β _y are also possible, as explained below using the further exemplary embodiments.

Das Bildfeld 8 hat eine x-Erstreckung von z.B. 26 mm und eine y-Erstreckung von z.B. 2 mm.The image field 8th has an x-extension of eg 26 mm and a y-extension of eg 2 mm.

Die Bildebene 9 ist bei der Projektionsoptik 7 in den Ausführungen nach den 13ff. parallel zur Objektebene 5 angeordnet. Abgebildet wird hierbei ein mit dem Objektfeld 4 zusammenfallender Ausschnitt einer Reflexionsmaske 10, die auch als Retikel bezeichnet wird. Das Retikel 10 wird von einem Retikelhalter 10a getragen. Der Retikelhalter 10a wird von einem Retikelverlagerungsantrieb 10b verlagert.The image plane 9 is with the projection optics 7 in the versions according to 13ff , parallel to the object level 5 arranged. It is shown here with the object field 4 coincident section of a reflection mask 10 , which is also called a reticle. The reticle 10 is from a reticle holder 10a carried. The reticle holder 10a is powered by a reticle displacement drive 10b relocated.

Die Abbildung durch die Projektionsoptik 7 erfolgt auf die Oberfläche eines Substrats 11 in Form eines Wafers, der von einem Substrathalter 12 getragen wird. Der Substrathalter 12 wird von einem Wafer- bzw. Substratverlagerungsantrieb 12a verlagert.The image through the projection optics 7 takes place on the surface of a substrate 11 in the form of a wafer by a substrate holder 12 will be carried. The substrate holder 12 is driven by a wafer or substrate transfer drive 12a relocated.

In der 1 ist schematisch zwischen dem Retikel 10 und der Projektionsoptik 7 ein in diese einlaufendes Strahlenbündel 13 des Beleuchtungslichts 3 und zwischen der Projektionsoptik 7 und dem Substrat 11 ein aus der Projektionsoptik 7 auslaufendes Strahlenbündel 14 des Beleuchtungslichts 3 dargestellt. Eine bildfeldseitige numerische Apertur (NA) der Projektionsoptik 7 ist in der 1 nicht maßstäblich wiedergegeben.In the 1 is schematic between the reticle 10 and the projection optics 7 a beam of rays entering this 13 of the illuminating light 3 and between the projection optics 7 and the substrate 11 one from the projection optics 7 leaking ray bundle 14 of the illuminating light 3 shown. A numerical aperture (NA) of the projection optics on the field of view 7 is in the 1 not drawn to scale.

Die Projektionsbelichtungsanlage 1 ist vom Scannertyp. Sowohl das Retikel 10 als auch das Substrat 11 werden beim Betrieb der Projektionsbelichtungsanlage 1 in der y-Richtung gescannt. Auch ein Steppertyp der Projektionsbelichtungsanlage 1, bei dem zwischen einzelnen Belichtungen des Substrats 11 eine schrittweise Verlagerung des Retikels 10 und des Substrats 11 in der y-Richtung erfolgt, ist möglich. Diese Verlagerungen erfolgen synchronisiert zueinander durch entsprechende Ansteuerung der Verlagerungsantriebe 10b und 12a.The projection exposure system 1 is of the scanner type. Both the reticle 10 as well as the substrate 11 during the operation of the projection exposure system 1 scanned in the y direction. Also a stepper type of projection exposure system 1 , where between individual exposures of the substrate 11 a gradual relocation of the reticle 10 and the substrate 11 in the y direction is possible. These relocations are synchronized with each other by appropriate control of the relocation drives 10b and 12a ,

2 zeigt schematisch einen Prüfstrahlengang einer Oberflächenprofil-Messeinrichtung 15, die insgesamt in der 3 dargestellt ist, im Bereich eines diffraktiven optischen Elements (DOE) 16, welches zur Erzeugung einer Prüfwellenfront 17 aus einer einfallenden ebenen Wellenfront 18 genutzt wird. Die Prüfwellenfront von Prüflicht 19 ist dabei so gestaltet, dass das Prüflicht 19 an jedem Punkt einer zu prüfenden optischen Oberfläche 20, solange diese einem Soll-Oberflächenprofil entspricht, mit senkrechter Inzidenz auftrifft. Bei der zu prüfenden optischen Oberfläche 20 kann es sich um eine optische Oberfläche einer der optischen Komponenten der Projektionsbelichtungsanlage 1 handeln und insbesondere um eine Nutz-Reflexionsfläche eines der Spiegel der Projektionsoptik 7. 2 schematically shows a test beam path of a surface profile measuring device 15 that total in the 3 is shown in the area of a diffractive optical element (DOE) 16 which is used to generate a test wave front 17 from an incident flat wave front 18 is being used. The test wave front of test light 19 is designed so that the test light 19 at every point of an optical surface to be tested 20 , as long as this corresponds to a target surface profile, with a vertical incidence. For the optical surface to be tested 20 can be an optical surface of one of the optical components of the projection exposure system 1 act and in particular a useful reflection surface of one of the mirrors of the projection optics 7 ,

Bei dem DOE 16 kann es sich um ein computergeneriertes DOE handeln, d.h., das DOE trägt ein komplexes Muster, welches mittels eines Computers berechnet worden ist. Ein derartiges DOE 16 kann mit einem Elektronenstrahlschreiber gefertigt sein.At the DOE 16 can be a computer-generated DOE, ie the DOE has a complex pattern that has been calculated using a computer. Such a DOE 16 can be made with an electron beam recorder.

Die Oberflächenprofil-Messeinrichtung 15 ist nach Art eines Fizeau-Interferometers aufgebaut. Von einer Lichtquelle 21 erzeugtes Prüflicht wird zunächst mit Hilfe einer Kondensoroptik 22 in die ebene Wellenfront 18, also in ein Bündel parallel verlaufender Einzelstrahlen, überführt. Die ebene Wellenfront 18 durchläuft zunächst einen Strahlteiler 23 und trifft anschließend auf eine Referenzplatte 24. Von einer ebenen optischen Fläche dieser Referenzplatte 24 retroreflektiertes Prüflicht 19 wird als ein Lichtanteil zur Oberflächenprofil-Messung der zu prüfenden optischen Oberfläche 20 genutzt. Dieser Referenz-Prüflichtanteil wird vom Strahlteiler 23 hin zu einer weiteren Kondensoroptik 25 und zu einer Kamera 26 geführt. Die Referenzplatte 24 durchtretendes Prüflicht 19 tritt, immer noch als ebene Wellenfront 18, in das DOE 16 ein. Mit dem DOE 16 wird die Prüfwellenfront 17 erzeugt. Nach Retroreflexion der Prüfwellenfront 17 an der zu prüfenden optischen Oberfläche 20 durchtritt das Prüflicht wiederum das DOE 16 und die Referenzplatte 24, wobei der vom Strahlteiler 23 reflektierte Anteil dieses von der zu prüfenden optischen Oberfläche 20 reflektierten Prüflichts 19 mit dem an der Referenzplatte 24 retroreflektierten Messanteil des Prüflichts 19 interferiert. Das Interferenzmuster des Referenzplatten-Prüflichtanteils einerseits und des Oberflächenprofil-Prüflichtanteils andererseits wird mit der Kamera 26 aufgenommen und stellt ein Maß für die Qualität einer Einhaltung eines vorgegebenen Soll-Oberflächenprofils durch das vermessene Ist-Oberflächenprofil der zu prüfenden optischen Oberfläche 20 dar.The surface profile measuring device 15 is built like a Fizeau interferometer. From a light source 21 The test light generated is first created using condenser optics 22 in the flat wavefront 18 , i.e. into a bundle of parallel individual rays. The flat wavefront 18 first passes through a beam splitter 23 and then hits a reference plate 24 , From a flat optical surface of this reference plate 24 retroreflected test light 19 is used as a light component for surface profile measurement of the optical surface to be tested 20 used. This reference test light component is from the beam splitter 23 towards another condenser optics 25 and to a camera 26 guided. The reference plate 24 passing test light 19 occurs, still as a flat wavefront 18 , in the DOE 16 on. With the DOE 16 becomes the test wave front 17 generated. After retroreflection of the test wave front 17 on the optical surface to be tested 20 the test light in turn passes through the DOE 16 and the reference plate 24 , with that from the beam splitter 23 reflected portion of this from the optical surface to be tested 20 reflected test light 19 with that on the reference plate 24 retroreflected portion of the test light 19 interferes. The interference pattern of the reference plate test light component on the one hand and the surface profile test light component on the other hand is checked with the camera 26 recorded and provides a measure of the quality of compliance with a predetermined target surface profile by the measured actual surface profile of the optical surface to be tested 20 represents.

Die 4 bis 7 zeigen zulässige Abstandsverhältnisse zwischen dem DOE 16 und der zu prüfenden optischen Oberfläche 20 einerseits für eine konkave zu prüfende optische Oberfläche 20 (4 und 5) und andererseits für eine konvexe zu prüfende optische Oberfläche 20 (vgl. 6 und 7).The 4 to 7 show permissible distance relationships between the DOE 16 and the optical surface to be tested 20 on the one hand for a concave optical surface to be tested 20 ( 4 and 5 ) and on the other hand for a convex optical surface to be tested 20 (see. 6 and 7 ).

4 zeigt die Situation, bei der bei einer konkaven optischen Oberfläche 20 ein Arbeitsabstand a_min gerade so groß ist, dass das DOE 16 mit einem Durchmesser von 2d_max nach Retroreflexion an der zu prüfenden optischen Fläche 20 gerade vollständig ausgeleuchtet wird. Wegen der senkrechten Inzidenz bei einem Soll-Oberflächenprofil der optischen Fläche 20 entspricht dies der Vorgabe, dass mittels des DOE 16 die gesamte zu prüfende Fläche 20 mit Prüflicht 19 beleuchtet werden kann. Bei kleinerem Arbeitsabstand a als in der 4 dargestellt, könnte die zu prüfende optische Oberfläche 20 nach 4 nicht mit Hilfe des DOE 16 vollständig geprüft werden. 4 shows the situation with a concave optical surface 20 a working distance a _min is just so big that the DOE 16 with a diameter of 2d _max after retroreflection on the optical surface to be tested 20 is currently fully illuminated. Because of the vertical incidence of a target surface profile of the optical surface 20 this corresponds to the requirement that the DOE 16 the entire area to be tested 20 with test light 19 can be illuminated. With a smaller working distance a than in 4 could represent the optical surface to be tested 20 to 4 not with the help of the DOE 16 be fully checked.

5 zeigt die Situation nach 4 mit größerem Arbeitsabstand a > a_min. 5 shows the situation 4 with a larger working distance a> a _min .

6 zeigt die Situation bei zu vermessender konvexer optischer Oberfläche, wobei dort das DOE 16 einen Arbeitsabstand a_max zur zu prüfenden optischen Oberfläche 20 einnimmt, bei dem diese Oberfläche 20 gerade noch insgesamt mit Hilfe des DOE 16 vermessen werden kann. 6 shows the situation with a convex optical surface to be measured, where the DOE 16 a working distance a _max to the optical surface to be tested 20 occupies with this surface 20 just barely overall with the help of the DOE 16 can be measured.

7 zeigt die Situation für einen Arbeitsabstand a < a_max , bei der bei der Prüfung der konvexen optischen Oberfläche 20 lediglich ein Teil des DOE 16 genutzt wird. 7 shows the situation for a working distance a < a _max , when testing the convex optical surface 20 only part of the DOE 16 is being used.

Bei konkaver optischer Oberfläche 20 liegt also ein minimal zulässiger Arbeitsabstand a_min vor, der bei einem bestimmten DOE mit Durchmesser 2d_max nicht unterschritten werden darf und bei konvexer zu prüfender optischer Oberfläche 20 ein maximaler Arbeitsabstand a_max , der bei Verwendung eines bestimmten DOE 16 nicht überschritten werden darf.With a concave optical surface 20 there is therefore a minimum permissible working distance a _min before that with a certain DOE with diameter 2d _max must not be undercut and with a convex optical surface to be tested 20 a maximum working distance a _max that when using a specific DOE 16 must not be exceeded.

Anhand der 8 und 9 werden nachfolgend Parameter erläutert, die zur Abschätzung zulässiger Bereiche für den Arbeitsabstand a einerseits und für den Radius r andererseits des DOE 16 herangezogen werden. r ist der Abstand eines zu prüfenden Punktes P auf der zu prüfenden optischen Oberfläche 20 von einem Mittelpunkt oder Flächenschwerpunkt Z der zu prüfenden optischen Oberfläche 20, also beispielsweise einer zu prüfenden Spiegelfläche. Eine optische Achse oA verbindet einen Mittelpunkt der zu prüfenden optischen Oberfläche 20 mit einem Mittelpunkt oder Flächenschwerpunkt Z_D des DOE 16.Based on 8th and 9 parameters are explained below, which are used to estimate the permissible ranges for the working distance a on the one hand and for the radius r of the DOE on the other 16 be used. r is the distance of a point to be checked P on the optical surface to be tested 20 from a center or centroid Z the optical surface to be tested 20 , for example a mirror surface to be tested. An optical axis oA connects a center of the optical surface to be tested 20 with a center or centroid Z _{D of} the DOE 16 ,

α ist der Winkel zwischen einer Normalen N auf der zu prüfenden optischen Oberfläche 20 durch den Punkt P und der optischen Achse oA. Der Tangens dieses Winkels, tan a, wird nachfolgend als NA bezeichnet. Ein divergierender Strahl (konkave reflektierende zu prüfende optische Oberfläche 20, vgl. 8) hat gemäß der hier verwendeten Vorzeichenkonvention eine negative NA und ein konvergierender Strahl (konvexe reflektierende zu prüfende optische Oberfläche 20, vgl. 9) hat eine positive NA.α is the angle between a normal N on the optical surface to be tested 20 through the point P and the optical axis oA. The tangent of this angle, tan a, is hereinafter referred to as NA. A diverging beam (concave reflective optical surface to be tested 20 , see. 8th ) has a negative NA and a converging beam (convex reflecting optical surface to be tested 20 , see. 9 ) has a positive NA.

Bei negativer NA (konvexe reflektierende zu prüfende optische Oberfläche 20) wird mit wachsendem Arbeitsabstand a eine notwendige Ausleuchtung auf den DOE immer größer (vgl. 6 und 7).With negative NA (convex reflective optical surface to be tested 20 ) as the working distance a increases, the necessary illumination on the DOE increases (cf. 6 and 7 ).

Beim minimal möglichen Arbeitsabstand a_min gilt: $$\text{r}-{\text{NAa}}_{\text{min}}\le {\text{d}}_{\text{max}}$$

At the minimum possible working distance a _min applies: $$\text{r}-{\text{NAa}}_{\text{min}}\le {\text{d}}_{\text{Max}}$$

Soweit dieses Kriterium (1) mit einem DOE mit Radius d_max und mit Arbeitsabstand a_min erfüllt ist, kann die entsprechende optische Oberfläche 20 geprüft werden.As far as this criterion ( 1 ) with a DOE with radius d _max and with working distance a _min the corresponding optical surface can be met 20 being checked.

Bei positiver NA (konkave reflektierende zu prüfende optische Oberfläche 20), gilt entsprechend: $$\text{r}-{\text{NAa}}_{\text{max}}\le {\text{d}}_{\text{max}}$$

With positive NA (concave reflective optical surface to be tested 20 ), Shall apply accordingly: $$\text{r}-{\text{NAa}}_{\text{Max}}\le {\text{d}}_{\text{Max}}$$

Soweit dieses Kriterium (2) bei einer konkaven zu prüfenden optischen Oberfläche 20 erfüllt ist, kann diese Oberfläche mit dem DOE mit d_max geprüft werden.As far as this criterion ( 2 ) with a concave optical surface to be tested 20 this surface can be met with the DOE d _max being checked.

Eine Kombination der beiden Gleichungen (1) und (2) ergibt eine minimal prüfbare NA als Funktion des Radius r des zu prüfenden Punktes P auf der optischen Oberfläche 20: $$\begin{array}{l}\text{NA}\ge \left(\text{r}-{\text{d}}_{\text{max}}\right){\text{/a}}_{\text{min}}\text{ für r}\le {\text{d}}_{\text{max}}\\ \text{NA}\ge \left(\text{r}-{\text{d}}_{\text{max}}\right){\text{/a}}_{\text{max}}\text{ für r}\ge {\text{d}}_{\text{max}}\end{array}$$

A combination of the two equations (1) and (2) results in a minimally testable NA as a function of the radius r of the point P to be tested on the optical surface 20 : $$\begin{array}{l}\text{N / A}\ge \left(\text{r}-{\text{d}}_{\text{Max}}\right){\text{/ a}}_{\text{min}}\text{for r}\le {\text{d}}_{\text{Max}}\\ \text{N / A}\ge \left(\text{r}-{\text{d}}_{\text{Max}}\right){\text{/ a}}_{\text{Max}}\text{for r}\ge {\text{d}}_{\text{Max}}\end{array}$$

10 verdeutlicht einen prüfbaren Parameterbereich (r, NA), der die beiden Relationen (3) sowie eine maximal mögliche NA_max aufgrund der nach unten begrenzten Strukturgröße auf den DOE 16 berücksichtigt. 10 illustrates a testable parameter range (r, NA), which the two relations ( 3 ) and a maximum possible NA _max due to the structure size limited to the DOE 16 considered.

Die Steigungen skalieren für Punktabstände r < d_max mit einem Faktor 1/a_min und für Punktabstände r > d_max mit einem Faktor 1/a_max. Aus diesen Steigungen lässt sich also jeweils auf den minimal möglichen Arbeitsabstand a_min und auf den maximal möglichen Arbeitsabstand a_max rückschließen.The slopes scale for point distances r < d _max with a factor 1 / a _min and for point distances r> d _max with a factor of 1 / a _max . From these gradients it is possible to determine the minimum possible working distance a _min and the maximum possible working distance a _max draw conclusions.

11 zeigt eine Auftragung der Untergrenzen für die prüfbare NA anhand der obigen beiden Relationen (3) für schematisch dargestellte (r, NA)-Bereiche von Spiegelflächen M1-M5 einer Projektionsoptik 7 für die Projektionsbelichtungsanlage 1. Diese (r, NA)-Bereiche sind lediglich beispielhaft eingezeichnet. Anhand dieser (r, NA)-Bereiche der Spiegel M1 bis M5 und für einen vorgegebenen Radius d_max des DOE 16 folgen Grenzsteigungen für Geraden 27, 28, aus denen die Arbeitsabstandswerde a_min und a_max bestimmt werden können. 11 shows a plot of the lower limits for the testable NA based on the above two relations ( 3 ) for schematically represented (r, NA) areas of mirror surfaces M1 - M5 projection optics 7 for the projection exposure system 1 , These (r, NA) areas are only shown as examples. Based on these (r, NA) areas of the mirror M1 to M5 and for a given radius d _max of the DOE 16 follow gradient slopes for straight lines 27 . 28 that make up the working distance a _min and a _max can be determined.

12 zeigt wie abhängig vom Radius d_max des DOE 16 sich verschiedene Paarungen a_min , a_max anhand eines Auftrags nach 11 ergeben. Unterhalb eines Radius d_max,0 muss das DOE 16 in seinem Abstand zur zu prüfenden optischen Oberfläche 20 zwischen den Arbeitsabstands-Werten a_min und a_max für den jeweiligen Radiuswert d_max verstellbar sein. Dies ist für einen Radius d_max,1 in der 12 dargestellt, für den sich ein maximaler Arbeitsabstand a_max,1 und ein minimaler Arbeitsabstand a_min,1 ergeben. Zwischen diesen Werten a_min,1 und a_max,1 muss eine Arbeitsabstands-Verstellung des DOE 16 mit Radius d_max,1 erfolgen, wenn die Spiegel, beispielsweise die Spiegel M1 bis M5 der Projektionsoptik nach 11, hinsichtlich ihres Oberflächenprofils mit der Oberflächenprofil-Messeinrichtung 15 nach 3 vermessen werden sollen. 12 shows how dependent on the radius d _max of the DOE 16 different pairings a _min . a _max based on an order 11 result. Below a radius d _{max, 0} the DOE 16 in its distance from the optical surface to be tested 20 between the working distance values a _min and a _max for the respective radius value d _max be adjustable. This is for a radius d _{max, 1} in the 12 shown for which there is a maximum working distance a _{max, 1} and a minimal working distance a _{min, 1} result. Between these values a _{min, 1} and a _{max, 1} a working distance adjustment of the DOE 16 with radius d _{max, 1} take place when the mirror, for example the mirror M1 to M5 according to the projection optics 11 , with regard to their surface profile with the surface profile measuring device 15 to 3 should be measured.

Für DOEs 16 mit einem Radius ≥ d_max,0 ist keine Verstellung des Arbeitsabstandes a mehr notwendig, sondern es kann für alle Spiegel der gleiche Arbeitsabstand, beispielsweise ao in der 12, verwendet werden.For DOEs 16 with a radius ≥ d _{max, 0, it} is no longer necessary to adjust the working distance a, but the same working distance can be used for all mirrors, for example ao in the 12 , be used.

13 zeigt das optische Design einer ersten Ausführung der Projektionsoptik 7. Dargestellt ist in der 13 der Strahlengang jeweils dreier Einzelstrahlen 29, die von drei in der 13 zueinander in der y-Richtung beabstandeten Objektfeldpunkten ausgehen. Dargestellt sind Hauptstrahlen 30, also Einzelstrahlen 29, die durch das Zentrum einer Pupille in einer Pupillenebene der Projektionsoptik 7 verlaufen, sowie jeweils ein oberer und ein unterer Komastrahl, also Strahlen, die durch den oberen bzw. unteren Rand der Pupille gehen, dieser beiden Objektfeldpunkte. Ausgehend vom Objektfeld 4 schließen die Hauptstrahlen 16 mit einer Normalen auf die Objektebene 5 einen Winkel CRAO von 5,05 ° ein. 13 shows the optical design of a first version of the projection optics 7 , Is shown in the 13 the beam path of three individual beams 29 that of three in the 13 object field points spaced apart from one another in the y direction. Main rays are shown 30 , i.e. single beams 29 passing through the center of a pupil in a pupil plane of the projection optics 7 run, as well as an upper and a lower coma ray, i.e. rays that go through the upper and lower edge of the pupil, these two object field points. Starting from the object field 4 close the main rays 16 with a normal to the object level 5 an angle of CRAO of 5.05 °.

Die Projektionsoptik 7 hat eine bildseitige numerische Apertur von 0,55.The projection optics 7 has a numerical aperture of 0.55 on the image side.

Die Projektionsoptik 7 nach 13 hat insgesamt elf Spiegel, die in der Reihenfolge des Strahlengangs der Einzelstrahlen 29, ausgehend vom Objektfeld 4, mit M1 bis M11 durchnummeriert sind. Eine abbildende Optik 7 kann auch eine andere Spiegelanzahl haben, beispielsweise vier Spiegel, sechs Spiegel, acht Spiegel oder zehn Spiegel.The projection optics 7 to 13 has a total of eleven mirrors in the order of the beam path of the individual beams 29 , starting from the object field 4 , numbered M1 to M11. An imaging look 7 can also have a different number of mirrors, for example four mirrors, six mirrors, eight mirrors or ten mirrors.

Dargestellt sind in der 13 die berechneten Reflexionsflächen der Spiegel M1 bis M11. Genutzt wird ggf. nur ein Teilbereich dieser berechneten Reflexionsflächen. Lediglich dieser tatsächlich genutzte Bereich der Reflexionsflächen ist bei den realen Spiegeln M1 bis M11 tatsächlich vorhanden. Diese Nutz-Reflexionsflächen werden in bekannter Weise von Spiegelkörpern getragen.Are shown in the 13 the calculated reflection areas of the mirrors M1 to M11 , If necessary, only a partial area of these calculated reflection surfaces is used. Only this actually used area of the reflection surfaces is in the real mirrors M1 to M11 actually exist. These useful reflection surfaces are carried in a known manner by mirror bodies.

Bei der Projektionsoptik 7 nach 13 sind die Spiegel M1, M10 und M11 als Spiegel für normalen Einfall ausgeführt, also als Spiegel, auf die das Abbildungslicht 3 mit einem Einfallswinkel trifft, der kleiner ist als 45 °. Insgesamt hat die Projektionsoptik 7 nach 13 also drei Spiegel M1, M10 und M11 für normalen Einfall.With projection optics 7 to 13 are the mirrors M1 . M10 and M11 designed as a mirror for normal incidence, so as a mirror on which the imaging light 3 with an angle of incidence that is less than 45 °. Overall, the projection optics 7 to 13 so three mirrors M1 . M10 and M11 for normal ideas.

Die Spiegel M2, M3, M4, M5, M6, M7, M8 und M9 sind Spiegel für streifenden Einfall des Beleuchtungslichts 3, also Spiegel, auf die das Beleuchtungslicht 3 mit Einfallswinkeln auftritt, die größer sind als 60 °. Ein typischer Einfallswinkel der Einzelstrahlen 29 des Abbildungslichts 3 auf den Spiegeln M2 bis M9 für streifenden Einfall liegt im Bereich von 80 °. Insgesamt hat die Projektionsoptik 7 nach 13 genau acht Spiegel M2 bis M9 für streifenden Einfall.The mirror M2 . M3 . M4 . M5 . M6 . M7 . M8 and M9 are mirrors for grazing incidence of illuminating light 3 , so mirrors on which the illuminating light 3 occurs with angles of incidence that are greater than 60 °. A typical angle of incidence of the individual rays 29 of the picture light 3 on the mirrors M2 to M9 for grazing incidence is in the range of 80 °. Overall, the projection optics 7 to 13 exactly eight mirrors M2 to M9 for grazing ideas.

Die Spiegel M2 bis M9 reflektieren das Abbildungslicht 3 so, dass sich die Ausfallswinkel der Einzelstrahlen 29 auf den jeweiligen Spiegeln M2 bis M9 addieren, sich also in ihrer Umlenkwirkung verstärken.The mirror M2 to M9 reflect the image light 3 so that the angle of reflection of the individual rays 29 on the respective mirrors M2 to M9 add up, so reinforce their deflecting effect.

Die Spiegel M2 bis M9 für streifenden Einfall haben jeweils große absolute Radiuswerte, weichen von einer ebenen Fläche also vergleichsweise gering ab. Diese Spiegel M2 bis M9 tragen zur spezifischen und insbesondere zur lokalen Abbildungsfehlerkorrektur bei. The mirror M2 to M9 for grazing incidence each have large absolute radius values, so they deviate comparatively slightly from a flat surface. These mirrors M2 to M9 contribute to the specific and in particular to the local imaging error correction.

Zur Charakterisierung einer umlenkenden Wirkung der Spiegel der Projektionsoptik 7 wird nachfolgend anhand der jeweils dargestellten Meridionalschnitte eine Umlenkrichtung der Führungsstrahlen definiert. Gesehen in der jeweils einfallenden Strahlrichtung im Meridionalschnitt beispielsweise nach 13 wird eine umlenkende Wirkung des jeweiligen Spiegels im Uhrzeigersinn, also eine Ablenkung nach rechts, mit dem Kürzel „R“ gekennzeichnet. Der Spiegel M2 der Projektionsoptik 7 hat beispielsweise eine solche umlenkende Wirkung „R“. Eine umlenkende Wirkung eines Spiegels entgegen dem Uhrzeigersinn, also nach links, gesehen aus der jeweils auf diesen Spiegel einfallenden Strahlrichtung, wird mit dem Kürzel „L“ gekennzeichnet. Der Spiegel M1 der Projektionsoptik 7 ist ein Beispiel für die umlenkende Wirkung „L“. Eine schwach oder überhaupt nicht umlenkende Wirkung eines Spiegels mit einem Faltwinkel f, für den gilt: -1° <f<1°, wird mit dem Kürzel „0“ gekennzeichnet. Der Spiegel M10 der Projektionsoptik 7 ist ein Beispiel für die umlenkende Wirkung „0“. Insgesamt hat die Projektionsoptik 7 für die Spiegel M1 bis M11 folgende Abfolge umlenkender Wirkungen: LRRRRRRRR0R.To characterize a deflecting effect of the mirror of the projection optics 7 In the following, a deflection direction of the guide beams is defined on the basis of the meridional sections shown. Seen in the incident beam direction in the meridional section, for example 13 is a deflecting effect of the respective mirror clockwise, ie a deflection to the right, with the abbreviation " R "Marked. The mirror M2 the projection optics 7 has such a redirecting effect " R ". A deflecting effect of a mirror counterclockwise, ie to the left, seen from the beam direction incident on this mirror, is identified by the abbreviation "L". The mirror M1 the projection optics 7 is an example of the redirecting effect " L ". A weak or non-deflecting effect of a mirror with a folding angle f, for which the following applies: -1 ° <f <1 °, is identified by the abbreviation "0". The mirror M10 the projection optics 7 is an example of the redirecting effect "0". Overall, the projection optics 7 for the mirrors M1 to M11 following sequence of diverting effects: LRRRRRRRR0R.

Grundsätzlich können alle beschriebenen Ausführungsbeispiele der Projektionsoptiken um eine Ebene, die parallel zur xz-Ebene verläuft, gespiegelt werden, ohne dass sich hierbei grundlegende Abbildungseigenschaften ändern. Allerdings ändert sich dann natürlich die Abfolge der umlenkenden Wirkungen, die beispielsweise bei einer Projektionsoptik, die durch entsprechende Spiegelung aus der Projektionsoptik 7 hervorgeht, folgende Reihenfolge hat: RLLLLLLLL0L.In principle, all of the exemplary embodiments of the projection optics described can be mirrored about a plane that runs parallel to the xz plane without changing the basic imaging properties. However, the sequence of the deflecting effects then changes, of course, for example in the case of projection optics, by corresponding reflection from the projection optics 7 results in the following order: RLLLLLLLL0L.

Die Spiegel M1 bis M11 tragen eine die Reflektivität der Spiegel M1 bis M11 für das Abbildungslicht 3 optimierende Beschichtung. Hierbei kann es sich um eine Ruthenium-Beschichtung, um eine Molybdän-Beschichtung oder um eine Molybdän-Beschichtung mit einer obersten Schicht aus Ruthenium handeln. Bei den Spiegeln M2 bis M9 für streifenden Einfall kann eine Beschichtung mit beispielsweise einer Lage aus Molybdän oder Ruthenium zum Einsatz kommen. Diese hoch reflektierenden Schichten insbesondere der Spiegel M1, M10 und M11 für normalen Einfall können als Mehrlagen-Schichten ausgeführt sein, wobei aufeinanderfolgende Schichten aus unterschiedlichen Materialien gefertigt sein können. Auch alternierende Materialschichten können zum Einsatz kommen. Eine typische Mehrlagenschicht kann fünfzig Bi-Lagen aus jeweils einer Schicht Molybdän und einer Schicht Silizium aufweisen. Eine Mehrlagenschicht kann mit einer zusätzlichen Deckschicht z.B. aus Ruthenium vorsehen sein.The mirror M1 to M11 carry the reflectivity of the mirror M1 to M11 for the imaging light 3 optimizing coating. This can be a ruthenium coating, a molybdenum coating or a molybdenum coating with an uppermost layer of ruthenium. With the mirrors M2 to M9 a coating with, for example, a layer of molybdenum or ruthenium can be used for grazing incidence. These highly reflective layers especially the mirrors M1 . M10 and M11 for normal incidence can be designed as multi-layer layers, successive layers can be made of different materials. Alternating layers of material can also be used. A typical multi-layer layer can have fifty bi-layers each consisting of a layer of molybdenum and a layer of silicon. A multi-layer layer can be provided with an additional cover layer, for example made of ruthenium.

Zur Berechnung einer Gesamt-Reflektivität der Projektionsoptik 7 wird eine Systemtransmission wie folgt berechnet: Eine Spiegel-Reflektivität wird in Abhängigkeit vom Einfallswinkel eines Führungsstrahls, also eines Hauptstrahls eines zentralen Objektfeldpunktes, an jeder Spiegelfläche bestimmt und multiplikativ zur Systemtransmission zusammengefasst.To calculate a total reflectivity of the projection optics 7 A system transmission is calculated as follows: A mirror reflectivity is determined as a function of the angle of incidence of a guide beam, that is to say a main beam of a central object field point, on each mirror surface and is multiplied to form the system transmission.

Weitere Informationen zur Systemtransmission finden sich in der US 2016/0085061 A1 .Further information on system transmission can be found in the US 2016/0085061 A1 ,

Weitere Informationen zur Reflexion an einem GI-Spiegel (Spiegel für streifenden Einfall) finden sich in der WO 2012/126867 A . Weitere Informationen zur Reflektivität von NI-Spiegeln (Normal Incidence Spiegeln) finden sich in der DE 101 55 711 A .Further information on reflection from a GI mirror (mirror for grazing incidence) can be found in the WO 2012/126867 A , Further information on the reflectivity of NI mirrors (normal incidence mirrors) can be found in the DE 101 55 711 A ,

Eine Gesamt-Reflektivität bzw. Systemtransmission der Projektionsoptik 7, die sich als Produkt der Reflektivitäten aller Spiegel M1 bis M11 der Projektionsoptik 7 ergibt, beträgt z.B. R =7,68 %.An overall reflectivity or system transmission of the projection optics 7 that prove to be the product of the reflectivities of all mirrors M1 to M11 the projection optics 7 results, for example, is R = 7.68%.

Der Spiegel M11, also der im Abbildungsstrahlengang letzte Spiegel vor dem Bildfeld 8, hat eine Durchtrittsöffnung 31 zum Durchtritt des Abbildungslichts 3, das vom drittletzten Spiegel M9 hin zum vorletzten Spiegel M10 reflektiert wird. Der Spiegel M11 wird um die Durchtrittsöffnung 31 herum reflektiv genutzt. Alle anderen Spiegel M1 bis M10 haben keine Durchtrittsöffnung und werden in einem lückenlos zusammenhängenden Bereich reflektiv genutzt.The mirror M11 , i.e. the last mirror in front of the image field in the imaging beam path 8th , has a passage opening 31 for the passage of the imaging light 3 from the third to last mirror M9 towards the penultimate mirror M10 is reflected. The mirror M11 is around the passage opening 31 used around reflectively. All other mirrors M1 to M10 have no through opening and are used reflectively in a seamlessly connected area.

Im Abbildungsstrahlengang zwischen den Spiegeln M10 und M11 ist eine Blende AS angeordnet, die sowohl die Funktion einer Aperturblende als auch die Funktion einer Obskurationsblende hat. Die Blende AS gibt also einerseits die bildseitige numerische Apertur der Projektionsoptik 7 vor und gibt andererseits die Größe einer inneren Pupillenobskuration vor.In the imaging beam path between the mirrors M10 and M11 A diaphragm AS is arranged, which has both the function of an aperture diaphragm and the function of an obscuration diaphragm. The aperture AS thus gives the numerical aperture of the projection optics on the one hand 7 and on the other hand specifies the size of an internal pupil obscuration.

Die Spiegel M1 bis M11 sind als nicht durch eine rotationssymmetrische Funktion beschreibbare Freiformfläche ausgeführt. Es sind auch andere Ausführungen der Projektionsoptik 7 möglich, bei denen mindestens einer der Spiegel M1 bis M11 als rotationssymmetrische Asphäre ausgeführt ist. Auch alle Spiegel M1 bis M11 können als derartige Asphären ausgeführt sein. The mirror M1 to M11 are designed as a free-form surface that cannot be described by a rotationally symmetrical function. There are other types of projection optics 7 possible where at least one of the mirrors M1 to M11 is designed as a rotationally symmetrical asphere. All mirrors too M1 to M11 can be designed as such aspheres.

Eine Freiformfläche kann durch folgende Freiformflächengleichung (Gleichung 1) beschrieben werden: $$\begin{array}{l}Z=\frac{c_x{x}^2+c_y{y}^2}{1+\sqrt{1-\left(1+k_x\right){\left(c_{x}x\right)}^2-\left(1+k_y\right){\left(c_{y}y\right)}^2}}\\ +C_{1}x+C_{2}y\\ +{\text{C}}_3{\text{x}}^2+{\text{C}}_4\text{xy}+{\text{C}}_5{\text{y}}^2\\ +{\text{C}}_6{\text{x}}^3+\dots +{\text{C}}_9{\text{y}}^3\\ +{\text{C}}_{10}{\text{x}}^4+\dots +{\text{C}}_{12}{\text{x}}^2{\text{y}}^2+\dots +{\text{C}}_{14}{\text{y}}^4\\ +{\text{C}}_{15}{\text{x}}^5+\dots +{\text{C}}_{20}{\text{y}}^5\\ +{\text{C}}_{21}{\text{x}}^6+\dots +{\text{C}}_{24}{\text{x}}^3{\text{y}}^3+\dots +{\text{C}}_{27}{\text{y}}^6\\ +\dots \end{array}$$

A freeform surface can be described by the following freeform surface equation (equation 1): $$\begin{array}{l}Z=\frac{c_x{x}^2+{\mathrm{<figure-callout\; id="2"\; label="c\; y\; y"\; filenames="DE102019219209A1\_0011.png,DE102019219209A1\_0016.png"\; state="\{\{state\}\}">c\; </figure-callout>}}_y{y}^{}{}^2}{1+\sqrt{1-\left(1+k_x\right){\left(c_{x}x\right)}^2-\left(1+k_y\right){\left(c_{y}y\right)}^2}}\\ +C_{1}x+C_{2}y\\ +{\text{C}}_3{\text{x}}^2+{\text{<figure-callout id="4" label="C" filenames="DE102019219209A1\_0011.png,DE102019219209A1\_0023.png" state="{{state}}">C</figure-callout>}}_4\text{xy}+{\text{C}}_5{\text{<figure-callout id="2" label="y" filenames="DE102019219209A1\_0011.png,DE102019219209A1\_0016.png" state="{{state}}">y</figure-callout>}}^2\\ +{\text{C}}_6{\text{x}}^3+...+{\text{C}}_9{\text{<figure-callout id="3" label="y" filenames="DE102019219209A1\_0011.png,DE102019219209A1\_0017.png" state="{{state}}">y</figure-callout>}}^3\\ +{\text{C}}_{10}{\text{x}}^4+...+{\text{C}}_{12}{\text{x}}^2{\text{<figure-callout id="2" label="y" filenames="DE102019219209A1\_0011.png,DE102019219209A1\_0016.png" state="{{state}}">y</figure-callout>}}^2+...+{\text{C}}_{14}{\text{<figure-callout id="4" label="y" filenames="DE102019219209A1\_0011.png,DE102019219209A1\_0023.png" state="{{state}}">y</figure-callout>}}^4\\ +{\text{C}}_{15}{\text{x}}^5+...+{\text{C}}_{20}{\text{<figure-callout id="5" label="y" filenames="DE102019219209A1\_0011.png,DE102019219209A1\_0017.png" state="{{state}}">y</figure-callout>}}^5\\ +{\text{C}}_{21}{\text{x}}^6+...+{\text{C}}_{24}{\text{x}}^3{\text{<figure-callout id="3" label="y" filenames="DE102019219209A1\_0011.png,DE102019219209A1\_0017.png" state="{{state}}">y</figure-callout>}}^3+...+{\text{C}}_{27}{\text{<figure-callout id="6" label="y" filenames="DE102019219209A1\_0011.png" state="{{state}}">y</figure-callout>}}^6\\ +...\end{array}$$

Für die Parameter dieser Gleichung (1) gilt:

• Z ist die Pfeilhöhe der Freiformfläche am Punkt x, y, wobei x² + y² = r². r ist hierbei der Abstand zur Referenzachse der Freiformflächengleichung
• (x = 0; y = 0).

The following applies to the parameters of this equation (1):

• Z is the arrow height of the free-form surface at point x, y, where x ² + y ² = r ² . r is the distance to the reference axis of the free-form surface equation
• (x = 0; y = 0).

In der Freiformflächengleichung (1) bezeichnen C₁, C₂, C₃... die Koeffizienten der Freiformflächen-Reihenentwicklung in den Potenzen von x und y.In the freeform surface equation ( 1 ) denote C ₁ , C ₂ , C ₃ ... the coefficients of the free-form surface series expansion in the powers of x and y.

Im Falle einer konischen Grundfläche ist c_x, c_y eine Konstante, die der Scheitelpunktkrümmung einer entsprechenden Asphäre entspricht. Es gilt also c_x = 1/R_x und c_y = 1/R_y. k_x und k_y entsprechen jeweils einer konischen Konstante einer entsprechenden Asphäre. Die Gleichung (1) beschreibt also eine bikonische Freiformfläche.In the case of a conical base, c _x , c _{y is} a constant that corresponds to the apex curvature of a corresponding asphere. So c _x = 1 / R _x and c _y = 1 / R _y . k _x and k _y each correspond to a conical constant of a corresponding asphere. Equation (1) thus describes a biconical free-form surface.

Eine alternativ mögliche Freiformfläche kann aus einer rotationssymmetrischen Referenzfläche erzeugt werden. Derartige Freiformflächen für Reflexionsflächen der Spiegel von Projektionsoptiken von Projektionsbelichtungsanlagen für die Mikrolithographie sind bekannt aus der US 2007-0058269 A1 .An alternatively possible free-form surface can be generated from a rotationally symmetrical reference surface. Such free-form surfaces for reflection surfaces of the mirrors of projection optics of projection exposure systems for microlithography are known from the US 2007-0058269 A1 ,

Alternativ können Freiformflächen auch mit Hilfe zweidimensionaler Spline-Oberflächen beschrieben werden. Beispiele hierfür sind Bezier-Kurven oder nichtuniforme rationale Basis-Splines (non-uniform rational basis splines, NURBS). Zweidimensionale Spline-Oberflächen können beispielsweise durch ein Netz von Punkten in einer xy-Ebene und zugehörigen z-Werte oder durch diese Punkte und ihnen zugehörige Steigungen beschrieben werden. Abhängig vom jeweiligen Typ der Spline-Oberfläche wird die vollständige Oberfläche durch Interpolation zwischen den Netzpunkten unter Verwendung z. B. von Polynomen oder Funktionen, die bestimmte Eigenschaften hinsichtlich ihrer Kontinuität und Differenzierbarkeit haben, gewonnen. Beispiele hierfür sind analytische Funktionen.Alternatively, free-form surfaces can also be described using two-dimensional spline surfaces. Examples include Bezier curves or non-uniform rational basis splines (NURBS). Two-dimensional spline surfaces can be described, for example, by a network of points in an xy plane and associated z values or by these points and their associated slopes. Depending on the type of spline surface, the entire surface is interpolated between the network points using e.g. B. from polynomials or functions that have certain properties with regard to their continuity and differentiability. Examples of this are analytical functions.

Die optischen Designdaten der Reflexionsflächen der Spiegel M1 bis M11 der Projektionsoptik 7 können den nachfolgenden Tabellen entnommen werden.The optical design data of the reflection surfaces of the mirrors M1 to M11 the projection optics 7 can be found in the following tables.

Die erste dieser Tabellen gibt zu den optischen Oberflächen der optischen Komponenten Scheitelpunktsradien (Radiusx = R_x, Radiusy = R_y) und Brechkraftwerte (Powerx, Powery) an. Negative Radienwerte bedeuten zum einfallenden Beleuchtungslicht 3 hin konkave Kurven im Schnitt der jeweiligen Oberfläche mit der betrachteten Ebene (xz, yz), die von einer Flächennormalen im Scheitelpunkt mit der jeweiligen Krümmungsrichtung (x, y) aufgespannt wird. Die beiden Radien Radiusx, Radiusy können explizit verschiedene Vorzeichen haben.The first of these tables gives vertex radii (Radiusx = R _x , Radiusy = R _y ) and refractive power values (Powerx, Powery) for the optical surfaces of the optical components. Negative radius values mean the incident illuminating light 3 towards concave curves in the section of the respective surface with the plane under consideration (xz, yz), which is spanned by a surface normal at the apex with the respective direction of curvature (x, y). The two radii Radiusx, Radiusy can explicitly have different signs.

Die Scheitelpunkte an jeder optischen Fläche sind definiert als Auftreffpunkte eines Führungsstrahls, der von einer Objektfeldmitte entlang einer Symmetrieebene x=0, also der Zeichenebene der 13 (Meridionalebene) hin zum Bildfeld 8 geht. The vertices on each optical surface are defined as the points of incidence of a guide beam, which extends from an object field center along a plane of symmetry x = 0, that is to say the plane of the drawing 13 (Meridional level) towards the image field 8th goes.

Die Brechkräfte Powerx (P_x), Powery (P_y) an den Scheitelpunkten sind definiert als: $${\text{P}}_{\text{x}}=-\frac{2\text{cos }AOI}{R_x}$$

$${\text{P}}_{\text{y}}=-\frac{2}{R_y\text{cos }AOI}$$

The refractive powers Powerx (P _x ), Powery (P _y ) at the vertices are defined as: $${\text{P}}_{\text{x}}=-\frac{2\text{cos}AOI}{R_x}$$

$${\text{P}}_{\text{y}}=-\frac{2}{R_y\text{cos}AOI}$$

AOI bezeichnet hierbei einen Einfallswinkel des Führungsstrahls zur Oberflächennormalen.AOI here designates an angle of incidence of the guide beam to the surface normal.

In der zweiten Tabelle ist der Betrag angegeben, längs dem der jeweilige Spiegel, ausgehend von einer Bezugsfläche in der y-Richtung dezentriert (D_y), in der z-Richtung verschoben (D_z) und verkippt (α_x, α_y, α_z) wurde. Dies entspricht einer Parallelverschiebung und einer Verkippung beim Freiformflächen-Designverfahren. Verschoben wird dabei in y- und in z-Richtung in mm und verkippt um die x-Achse, um die y-Achse und um die z-Achse. Der Verdrehwinkel ist dabei in Grad angegeben. Es wird zunächst dezentriert, dann verkippt. Die Bezugsfläche bei der Dezentrierung ist jeweils die erste Fläche der angegebenen optischen Designdaten. Auch für das Objektfeld 4 (Retikel) ist eine Dezentrierung in y- und in z-Richtung angegeben. Neben den den einzelnen Spiegeln M1 bis M11 zugeordneten Werten sind in dieser Tabelle auch die Objektebene (Retikel) als erste Fläche, die Bildebene (Wafer) als letzte Fläche und eine Blendenfläche (mit der Bezeichnung „Blende“) als Anordnungsebene für eine Apertur- bzw. Obskurationsblende tabelliert.The second table shows the amount along which the respective mirror, starting from a reference surface in the y direction, decentres (D _y ), is displaced in the z direction (D _z ) and tilted (α _x , α _y , α _z ) was. This corresponds to a parallel shift and a tilt in the free-form surface design process. It is shifted in the y- and z-directions in mm and tilts around the x-axis, around the y-axis and around the z-axis. The angle of rotation is given in degrees. It is first decentred, then tilted. The reference surface for decentration is the first surface of the specified optical design data. Also for the object field 4 (Reticle) is a decentering in the y and z directions. In addition to the individual mirrors M1 to M11 assigned values, the object plane (reticle) as the first surface, the image plane (wafer) as the last surface and a diaphragm surface (with the designation “diaphragm”) as the arrangement plane for an aperture or obscuration diaphragm are tabulated in this table.

Die dritte Tabelle (Tabellen 3a bis 3d) gibt für die Spiegel M1 bis M11 die Freiformflächen-Koeffizienten C_n, zugeordnet jeweils zu den Polynomen x^k, y^l an. Koeffizienten C_n, die nicht tabelliert sind, haben jeweils den Wert 0.The third table (tables 3a to 3d) gives the mirrors M1 to M11 the free-form surface coefficients C _n , each assigned to the polynomials x ^k , y ^l . Coefficients C _n that are not tabulated each have the value 0 ,

Die vierte Tabelle gibt eine Berandung der Blende AS als Polygonzug in lokalen Koordinaten xy an. Die Blende wird noch wie oben beschrieben dezentriert und verkippt. In dieser Tabelle sind die Koordinaten in zwei Spalten angeben. Die erste Spalte (bestehend aus einer x- und einer y-Koordinate) enthält die Koordinaten der Eckpunkte 1 bis N/2 des Polgyons, die zweite Spalte die Koordinaten der Eckpunkte N/2+1 bis N. Jede Zeile enthält damit also vier Zahlen, nämlich x_i, y_i, x_i+N/2, y_i+N/2.The fourth table specifies a boundary of the aperture AS as a polygon in local coordinates xy. The aperture is decentred and tilted as described above. In this table, the coordinates are given in two columns. The first column (consisting of an x and a y coordinate) contains the coordinates of the corner points 1 to N / 2 of the Polgyon, the second column contains the coordinates of the corner points N / 2 + 1 to N. Each line thus contains four numbers, namely x _i , y _i , x _{i + N / 2} , y _{i + N / 2} ,

Designdaten zur Projektionsoptik 7Design data for projection optics 7

Tabelle 1 zu Fig. 13 Radien der Flächen Radius_x [mm] Power_x [1/mm] Radius_y [mm] Power_y [1/mm] M01 -2040.20900218 0.00096456 -1515.66144807 0.00129838 M02 1036.37010406 -0.00037229 2516.39279105 -0.00015332 M03 1413.68350479 -0.00034929 -2068.41082885 0.00023873 M04 4928.82800656 -0.00005491 -2936.70570608 0.00009216 M05 -29217.05866801 0.00001064 -3491.03061308 0.00008904 M06 -2002.08814048 0.00019567 -2066.00251402 0.00018962 M07 -1028.25646712 0.00038949 -2233.55453117 0.00017931 M08 -770.90066368 0.00051807 -3934.06322074 0.00010152 M09 -1068.49147476 0.00040907 21312.57666467 -0.00002051 M10 495.99026738 -0.00403229 348.59138657 -0.00573731 M11 -705.74289010 0.00281155 -704.17424262 0.00281782 Table 1 to Fig. 13 Radii of the surfaces Radius _x [mm] Power _x [1 / mm] Radius _y [mm] Power _y [1 / mm] M01 -2040.20900218 0.00096456 -1515.66144807 0.00129838 M02 1036.37010406 -0.00037229 2516.39279105 -0.00015332 M03 1413.68350479 -0.00034929 -2068.41082885 0.00023873 M04 4928.82800656 -0.00005491 -2936.70570608 0.00009216 M05 -29217.05866801 0.00001064 -3491.03061308 0.00008904 M06 -2002.08814048 0.00019567 -2066.00251402 0.00018962 M07 -1028.25646712 0.00038949 -2233.55453117 0.00017931 M08 -770.90066368 0.00051807 -3934.06322074 0.00010152 M09 -1068.49147476 0.00040907 21312.57666467 -0.00002051 M10 495.99026738 -0.00403229 348.59138657 -0.00573731 M11 -705.74289010 0.00281155 -704.17424262 0.00281782

Dezentrierungen (Ort, Winkel) der Flächen Decentrations (location, angle) of the surfaces

Tabelle 2 zu Fig. 13 D_x [mm] D_y [mm] D_z [mm] Retikel 0.000000000 -2262.221348555 2301.171945316 M01 0.000000000 -2100.408213766 433.513603324 M02 0.000000000 -1819.175380081 1441.524601686 M03 0.000000000 -1645.441459514 1665.088034463 M04 0.000000000 -1235.249341926 1844.461178432 M05 0.000000000 -834.941079583 1900.907919937 M06 -0.000000000 -420.815922987 1827.013255523 M07 -0.000000000 -108.773350387 1627.572648437 M08 -0.000000000 43.321786154 1407.365444601 M09 -0.000000000 103.484725720 1107.501609512 M10 0.000000000 -144.317265766 106.080344427 Blende 0.000000000 -105.199574013 258.452634484 M11 0.000000000 -0.000000000 668.228858160 Wafer 0.000000000 0.000000000 0.000000000 α_x [°] α_y [°] α_z [°] Retikel 0.000000000 -0.000000000 180.000000000 M01 174.681366324 0.000000000 -0.000000000 M02 63.279896281 0.000000000 0.000000000 M03 37.884041096 -0.000000000 0.000000000 M04 15.822781013 -0.000000000 0.000000000 M05 -1.045435930 -0.000000000 0.000000000 M06 -21.350812859 -0.000000000 0.000000000 M07 -43.976004012 -0.000000000 0.000000000 M08 -67.011321802 -0.000000000 -0.000000000 M09 268.723099982 -0.000000000 -0.000000000 M10 165.851524015 0.000000000 -0.000000000 Blende 3.664944691 180.000000000 0.000000000 M11 -7.199142260 0.000000000 0.000000000 Wafer 0.000000000 0.000000000 0.000000000 Tabelle 3a zu Fig. 13 Freiformkoeffizienten der Flächen Koeffizient Formel M01 M02 M03 C2 y -8.9430080540e-05 -5.9300616209e-04 -8.3633138289e-04 C3 x² 5.0558861220e-08 -9.4671733889e-08 -9.6537998956e-06 C5 y² -1.3152210505e-06 1.7098440815e-05 1.0784891152e-05 C7 x² y 3.4297305855e-08 3.5917116656e-07 -2.7257355486e-07 C9 y³ -9.0162167489e-09 2.2420887956e-07 -5.0093654948e-08 C10 x⁴ -4.4532441192e-12 1.7698652127e-10 1.714087291 1e-10 C12 x² y² 3.8452523536e-11 1.3390934884e-10 5.6722888664e-12 C14 y⁴ -2.8494460042e-11 8.7917077235e-10 -2.0587564114e-10 C16 x⁴ y -6.9189125065e-17 9.8897130791e-14 5.2238567824e-13 C18 x² y³ 8.1401786184e-14 -2.0428928946e-13 -5.0213122665e-13 C20 y⁵ -1.0811707018e-13 1.8715487547e-12 1.0121793460e-12 C21 x⁶ -1.1138360143e-18 2.3396746763e-16 4.4813978634e-15 C23 x⁴ y² -2.6074745351e-17 -6.8385058331e-15 2.4058522407e-16 C25 x² y⁴ 1.4293890017e-16 -3.2837862611e-15 3.0817252599e-15 C27 y⁶ 7.8682912551e-17 4.6136094659e-15 -5.5353670385e-15 C29 x⁶ y -4.1155494726e-21 -1.2443093279e-17 1.8352832183e-17 C31 x⁴ y³ -8.5487815500e-20 -4.9172891899e-17 8.6504235493e-18 C33 x² y⁵ 2.7301920532e-20 6.0453463725e-18 -2.0893566134e-17 C35 y⁷ -2.0694511091e-21 -1.9713402246e-17 5.0211389664e-17 C36 x⁸ 3.8191383097e-24 -6.9093379883e-20 -3.6583090289e-19 C38 x⁶ y² 9.2971801722e-23 -1.3042473148e-19 3.0438714046e-20 C40 x⁴ y⁴ 5.1925346145e-22 -1.6271618020e-19 -1.8768057288e-19 C42 x² y⁶ 6.3281374448e-22 2.6762293363e-19 3.8476758754e-19 C44 y⁸ -1.0244767036e-20 3.7309588022e-19 -4.1652080105e-20 C46 x⁸ y 8.1539130345e-26 5.3551782433e-22 -9.4553767890e-22 C48 x⁶ y³ 1.4232751281e-24 3.5480998457e-22 1.4125671643e-22 C50 x⁴ y⁵ 2.9892627307e-24 -1.0232202702e-21 2.3448597271e-21 C52 x² y⁷ -1.6507570725e-23 7.5963431260e-22 -2.7670147894e-21 C54 y⁹ 2.1649092706e-23 4.7801589165e-21 -7.1730546884e-21 C55 x¹⁰ -1.1321066082e-28 9.7454498591e-24 6.8205538215e-23 C57 x⁸ y² -3.1773429292e-27 -8.4808980988e-25 7.6007775786e-24 C59 x⁶ y⁴ -2.6047609001e-26 -2.7798585510e-23 7.5220654030e-23 C61 x⁴ y⁶ -9.2299835516e-26 -4.4022773912e-23 6.6297458953e-23 C63 x² y⁸ -2.5400307931e-26 -3.8392066923e-23 -1.0436076544e-22 C65 y¹⁰ 1.8230738137e-24 -9.0258238947e-23 8.5740405667e-23 C67 x¹⁰ y -1.1826959959e-30 -2.9171390410e-26 2.4879317704e-25 C69 x⁸ y³ -3.9284700882e-29 -2.3677868105e-25 -6.2980972250e-26 C71 x⁶ y⁵ -1.6024080456e-28 -2.6015526612e-25 -4.4806608521e-25 C73 x⁴ y⁷ 1.5799386713e-28 -1.5306845113e-25 -8.4502105596e-25 C75 x² y⁹ 3.3841329787e-27 -5.6235108265e-26 1.9266756937e-24 C77 y¹¹ -1.9025919439e-27 -1.3098970894e-24 1.1841619351e-25 C78 x¹² 2.2832310273e-33 -8.8334770210e-28 -8.6003363497e-27 C80 x¹⁰ y² 6.7577140002e-32 3.5321128424e-28 -7.0527675406e-28 C82 x⁸ y⁴ 6.7924438639e-31 3.2773866607e-27 -1.3373031866e-26 C84 x⁶ y⁶ 3.3627153242e-30 5.3150824125e-27 -2.7210733444e-26 C86 x⁴ y⁸ 4.4719548066e-30 3.5582756127e-27 -6.5386840717e-27 C88 x² y¹⁰ -1.2632720093e-29 6.1622510770e-27 8.6673764330e-27 C90 y¹² -1.6933279459e-28 9.0988743347e-27 -1.2290297994e-26 C92 x¹² y 6.8181390032e-36 6.5903225714e-31 -3.2183980117e-29 C94 x¹⁰ y³ 5.6172062321e-34 2.1095005364e-29 6.3326071438e-30 C96 x⁸ y⁵ 3.5453607513e-33 3.8585614764e-29 6.1948427324e-29 C98 x⁶ y⁷ 6.8932650471e-33 1.8454706427e-29 8.3416000938e-29 C100 x⁴ y⁹ -6.3364616548e-32 3.094954801 1e-32 9.5514745295e-29 C102 x²y¹¹ -3.7780057795e-31 1.9989646005e-29 -3.7942951709e-28 C104 y¹³ 2.2287201401e-31 1.8618148755e-28 1.0544165481e-28 C105 x¹⁴ -2.9332253075e-38 4.9572503830e-32 6.6332653997e-31 C107 x¹² y² -8.8454056125e-37 -1.0865975991e-32 1.1174674853e-32 C109 x¹⁰ y⁴ -1.0652316765e-35 -2.4622035387e-31 1.2885775509e-30 C111 x⁸ y⁶ -7.0761415477e-35 -4.6010432319e-31 3.7338835797e-30 C113 x⁶ y⁸ -1.4749982213e-34 -5.3471961996e-31 4.2967214651e-30 C115 x⁴ y¹⁰ 2.6270301246e-34 7.8668092584e-32 -3.1396150039e-31 C117 x² y¹² 1.3811930942e-33 -5.2835033319e-31 7.9742364247e-31 C119 y¹⁴ 1.0987272303e-32 -2.0502481018e-31 3.3042027707e-31 C121 x¹⁴ y 1.7029427158e-41 1.5334015646e-35 2.4021877547e-33 C123 x¹² y³ -4.0570585976e-39 -8.9665678548e-34 -7.7714944120e-35 C125 x¹⁰ y⁵ -3.8580975907e-38 -2.7925621047e-33 -5.2051951153e-33 C127 x⁸ y⁷ -1.4207742790e-37 -1.6433682788e-33 -3.1013285565e-33 C129 x⁶ y⁹ -3.6172436929e-38 -3.5591626433e-34 -1.0221217036e-32 C131 x⁴ y¹¹ 5.8171175588e-36 4.8024491282e-33 4.7230878336e-35 C133 x² y¹³ 1.9658015387e-35 -1.7201485320e-33 3.4199811951e-32 C135 y¹⁵ -1.2050974076e-35 -1.3597564699e-32 -1.2536150233e-32 C136 x¹⁶ 2.3008356074e-43 -1.6613205488e-36 -2.9885157559e-35 C138 x¹⁴ y² 7.1032678037e-42 -3.9724300296e-37 3.4392032759e-36 C140 x¹² y⁴ 9.8174617927e-41 9.5244295829e-36 -6.8758486912e-35 C142 x¹⁰ y⁶ 8.6034659247e-40 2.1798481509e-35 -2.5361095046e-34 C144 x⁸ y⁸ 2.8641604517e-39 3.8431512889e-35 -4.3659247626e-34 C146 x⁶ y¹⁰ -2.3499996414e-39 1.1713389761e-35 -3.2868436635e-34 C148 x⁴ y¹² -3.1676797262e-38 -1.9984401116e-35 1.0896448427e-34 C150 x² y¹⁴ -6.8986379272e-38 3.9752205145e-35 -2.2030951344e-34 C152 y¹⁶ -4.4241183528e-37 -3.1647307284e-35 7.3011498586e-35 C154 x¹⁶ y -3.7720248259e-46 -1.0292967571e-39 -9.3443016310e-38 C156 x¹⁴ y³ 1.2306007462e-44 1.8594098847e-38 -1.8333109745e-38 C158 x¹² y⁵ 2.0106202528e-43 9.6043739093e-38 2.1218396645e-37 C160 x¹⁰ y⁷ 9.6789489765e-43 7.5630909246e-38 3.9155507377e-38 C162 x⁸ y⁹ 4.0913039497e-42 6.5912290378e-38 1.8106235994e-38 C164 x⁶y¹¹ -8.5282843939e-42 -2.9246523295e-37 8.9770833512e-37 C166 x⁴ y¹³ -2.2469869003e-40 -6.3232712723e-37 -1.2184663039e-36 C168 x²y¹⁵ -5.0890154722e-40 2.0109432069e-37 -7.9597408218e-37 C170 y¹⁷ 3.1559867430e-40 4.2430363520e-37 2.1444734614e-37 C171 x¹⁸ -9.9124410471e-49 3.0359466288e-41 7.2433685284e-40 C173 x¹⁶y² -3.2244985743e-47 2.5578706513e-41 -2.7316163745e-40 C175 x¹⁴y⁴ -4.9025425610e-46 -1.6021117616e-40 1.9375720965e-39 C177 x¹²y⁶ -5.3932534659e-45 -4.9980694834e-40 7.9717805079e-39 C179 x¹⁰y⁸ -2.8330110124e-44 -1.2143353521e-39 1.9854679799e-38 C181 x⁸y¹⁰ -1.4134241444e-44 -1.0261639292e-39 2.0965948368e-38 C183 x⁶ y¹² 2.9962175377e-43 -7.4560707390e-40 1.1127105484e-38 C185 x⁴ y¹⁴ 1.0429976656e-42 -8.5128337180e-40 -3.0020579193e-39 C187 x² y¹⁶ 1.6860758149e-42 -1.4510245604e-39 1.1564667201e-38 C189 y¹⁸ 9.9350651840e-42 2.1333654743e-39 -4.4593035755e-39 C191 x¹⁸ y 1.2246653034e-51 1.3635410002e-44 1.4660052153e-42 C193 x¹⁶ y³ -6.0716417235e-51 -1.4930508976e-43 7.5849878997e-43 C195 x¹⁴ y⁵ -3.7504105176e-49 -1.2493127520e-42 -3.1011100405e-42 C197 x¹² y⁷ -2.3601395017e-48 -1.4004503931e-42 2.8300900595e-42 C199 x¹⁰y⁹ -1.4445097575e-47 -1.9018033002e-42 1.3747448396e-42 C201 x⁸y¹¹ -6.7940993337e-47 2.6256257237e-42 7.855499741 le-42 C203 x⁶ y¹³ 2.2365574244e-46 1.9415996854e-41 -3.9661181070e-41 C205 x⁴y¹⁵ 3.2133292499e-45 2.0650924925e-41 8.1503745341e-41 C207 x²y¹⁷ 5.2598318251e-45 -1.3670804642e-41 -3.4484622170e-41 C209 y¹⁹ -3.4198517055e-45 -1.7216563860e-43 1.9888792824e-41 C210 x²⁰ 1.7874453650e-54 -2.3273795616e-46 -7.3267397515e-45 C212 x¹⁸ y² 6.3129589103e-53 -3.4467820548e-46 6.5289943852e-45 C214 x¹⁶ y⁴ 1.0219415327e-51 7.1733866157e-46 -2.2249074802e-44 C216 x¹⁴ y⁶ 1.3274435819e-50 3.9464965369e-45 -8.2465974358e-44 C218 x¹² y⁸ 1.0322588919e-49 1.3410799329e-44 -3.3133900328e-43 C220 x¹⁰ y¹⁰ 2.1265959384e-49 1.4827514395e-44 -4.0366920553e-43 C222 x⁸ y¹² -7.5885242348e-49 3.1471272394e-44 -4.3262677192e-43 C224 x⁶ y¹⁴ -5.1918866464e-48 8.4325690216e-44 -2.9981169793e-44 C226 x⁴ y¹⁶ -1.0883737598e-47 7.2732442776e-44 -2.5921724594e-43 C228 x² y¹⁸ -1.6118139300e-47 -2.9899768993e-44 2.3699637069e-44 C230 y²⁰ -9.5649221992e-47 -1.1436355894e-44 -3.0619429885e-44 Tabelle 3b zu Fig. 13 Koeffizient Formel M04 M05 M06 C2 y 6.9952126392e-04 1.0331146304e-03 -2.7881184105e-04 C3 x² 1.3118461310e-06 1.1014954146e-06 -9.8939273197e-06 C5 y² 6.0003237805e-06 5.4391218522e-06 -9.0109398270e-06 C7 x² y -6.9936759576e-08 -7.1187071372e-08 -2.6270405188e-07 C9 y³ -1.1010455607e-08 -6.4679095664e-08 1.7142408056e-08 C10 x⁴ -1.4697672367e-10 1.139803571 1e-10 -1.6971042656e-11 C12 x² y ² 1.1882225030e-11 -1.8678162811e-10 -5.6494769946e-11 C14 y⁴ -2.6747316393e-10 -1.3691407752e-10 -2.9716551694e-10 C16 x⁴ y 1.1825481562e-12 1.6521868514e-13 -3.9455807486e-13 C18 x² y ³ -9.8278844316e-13 -3.1316284448e-13 -7.2891099790e-13 C20 y⁵ -4.8954561298e-14 -4.6421550403e-13 2.7648293529e-14 C21 x⁶ 3.7176558986e-15 7.4916167240e-16 -1.1534033064e-15 C23 x⁴ y ² -3.6386015303e-15 -1.5606394596e-15 -2.2609361749e-16 C25 x² y⁴ 7.3081272391e-16 -1.7387124740e-15 -6.1768423857e-17 C27 y⁶ -1.7607515194e-15 1.5480269306e-16 -1.5376862205e-15 C29 x⁶ y -7.4134625766e-18 -5.1520779899e-18 1.0662993341e-18 C31 x⁴ y ³ 1.5508428253e-17 -8.1081238685e-18 1.3591429042e-18 C33 x² y ⁵ -1.3314073219e-17 -4.6752748826e-18 -1.0052159223e-17 C35 y⁷ -9.5030454433e-19 -6.4991728386e-18 -1.5580558341e-18 C36 x⁸ -8.5846272300e-20 -1.9130510403e-20 8.7667170539e-21 C38 x⁶ y ² 1.1452623370e-19 -7.0790139548e-20 2.9617856883e-20 C40 x⁴ y⁴ -3.8895982229e-20 -1.0132115473e-19 -7.4891452078e-20 C42 x² y ⁶ -1.6495933965e-20 -7.4899280951e-20 4.4978183086e-20 C44 y⁸ 1.3340926264e-21 -9.3392648269e-21 1.0469041532e-19 C46 x⁸ y -7.6180362292e-22 1.6664740519e-22 1.4442574524e-22 C48 x⁶ y ³ -1.8628293092e-22 1.9817168518e-21 -2.2139216172e-22 C50 x⁴ y ⁵ 8.2535031230e-23 1.8931855413e-21 1.0056784140e-21 C52 x² y ⁷ -3.5397694944e-22 4.7096958555e-22 1.7329696405e-21 C54 y⁹ -7.2404418043e-24 -1.9037158154e-22 1.4620467418e-21 C55 x¹⁰ 1.1914454399e-23 2.6229312321e-24 -8.6137998957e-25 C57 x⁸ y² -6.9597010168e-24 1.0437680826e-23 -7.3963466449e-24 C59 x⁶ y⁴ -6.5444094142e-24 2.2291414650e-23 2.8225860864e-24 C61 x⁴ y⁶ 2.0053101510e-24 1.5841857826e-23 1.9851532388e-23 C63 x² y⁸ 5.8139657435e-24 6.2038758987e-24 -1.8390050300e-23 C65 y¹⁰ -1.9675662041e-24 -1.0613641871e-24 -2.3968026494e-23 C67 x¹⁰ y 1.0457112252e-25 -8.2752849313e-27 -2.4109359817e-26 C69 x⁸ y³ -4.5551793557e-27 -3.1755833751e-25 2.7809836243e-27 C71 x⁶ y⁵ -1.4118512385e-26 -6.2523426147e-25 4.9739915975e-26 C73 x⁴ y⁷ 3.0292033559e-26 -4.0196317129e-25 -3.8424839019e-25 C75 x² y⁹ 3.4569543886e-26 -1.0672556288e-25 -4.1104521224e-25 C77 y¹¹ 1.7127326674e-27 7.1413272209e-26 -3.1667710269e-25 C78 x¹² -1.3666181213e-27 -2.6570107436e-28 5.4251667325e-29 C80 x¹⁰ y² 5.1896318495e-28 -9.0739326136e-28 8.3736205539e-28 C82 x⁸ y⁴ 1.3307780295e-27 -2.3711899762e-27 1.0753214453e-27 C84 x⁶ y⁶ 7.5362917549e-28 -2.6280202677e-27 -2.5824770321e-27 C86 x⁴ y⁸ -7.3378151358e-28 -1.0884556316e-27 -4.2344933011e-27 C88 x² y¹⁰ -7.7334745920e-28 4.5608019476e-29 2.8887063207e-27 C90 y¹² 1.6857481335e-28 3.5004105619e-28 2.5806272031e-27 C92 x¹² y -8.3449328159e-30 -3.1219106665e-31 2.2452444838e-30 C94 x¹⁰ y³ -3.2024197101e-31 2.7161974516e-29 5.0603532056e-30 C96 x⁸ y⁵ 6.9351116334e-30 8.1346227389e-29 -9.8351804982e-30 C98 x⁶ y⁷ 2.2908064613e-30 9.8664361059e-29 1.0930026566e-30 C100 x⁴ y⁹ -3.2211655602e-30 4.6707454771e-29 5.9215434606e-29 C102 x²y¹¹ -3.6264948729e-30 1.4290848913e-29 5.3723266046e-29 C104 y¹³ -2.6003023797e-31 -7.6026547059e-30 4.0479281385e-29 C105 x¹⁴ 9.4944304055e-32 1.6479709035e-32 -1.7479997184e-33 C107 x¹² y² -2.2379567610e-32 4.6649845790e-32 -4.5709256933e-32 C109 x¹⁰ y⁴ -1.2744733257e-31 9.4053121629e-32 -1.1375402961e-31 C111 x⁸ y⁶ -1.3676405733e-31 1.4112588441e-31 -9.5167890265e-32 C113 x⁶ y⁸ -4.8044027096e-32 2.1027942386e-32 6.4999375185e-31 C115 x⁴ y¹⁰ 8.6017199655e-32 -2.6787661182e-32 4.6975928348e-31 C117 x² y¹² 6.0854450474e-32 -6.6568569170e-32 -1.7582233590e-31 C119 y¹⁴ -1.0284469876e-32 -4.0793161454e-32 -1.4522306730e-31 C121 x¹⁴ y 3.1267214731e-34 4.6779505863e-35 -1.1529495476e-34 C123 x¹² y³ 9.6455428904e-35 -1.2719508659e-33 -5.3633688223e-34 C125 x¹⁰ y⁵ -8.4809376935e-34 -5.3720614030e-33 -2.1940958088e-34 C127 x⁸ y⁷ -5.3080027005e-34 -9.2387885901e-33 1.2908461191e-33 C129 x⁶ y⁹ -2.8306036038e-34 -8.2587639537e-33 4.4597140346e-34 C131 x⁴ y¹¹ 2.5516377677e-34 -3.0985001122e-33 -3.9090838599e-33 C133 x² y¹³ 1.9016823907e-34 -1.1195051035e-33 -4.2912120440e-33 C135 y¹⁵ 1.1401270729e-35 4.1574916874e-34 -2.9489453121e-33 C136 x¹⁶ -3.7265498406e-36 -6.3347025333e-37 1.6588405050e-38 C138 x¹⁴ y² 5.4687452275e-37 -1.5048036293e-36 1.1308012971e-36 C140 x¹² y⁴ 7.3815464374e-36 6.5609320018e-37 3.0591998365e-36 C142 x¹⁰ y⁶ 9.6594125271e-36 4.3080993087e-36 1.4798911506e-35 C144 x⁸ y⁸ 9.9699512579e-36 1.1790305226e-35 -9.4870136557e-36 C146 x⁶ y¹⁰ 1.4809001485e-36 1.7193036202e-35 -5.9312845637e-35 C148 x⁴ y¹² -5.3263042665e-36 7.9974811876e-36 -2.8252685550e-35 C150 x² y¹⁴ -2.7513716463e-36 6.3462970192e-36 -1.5733400633e-37 C152 y¹⁶ 3.9060276253e-37 2.2267955893e-36 2.2391133152e-36 C154 x¹⁶ y -3.8184194689e-39 -1.6721718261e-39 3.1182364210e-39 C156 x¹⁴ y³ -5.1564129843e-39 3.0378335191e-38 2.1281069730e-38 C158 x¹² y⁵ 4.0722029175e-38 1.7841790380e-37 3.9494509080e-38 C160 x¹⁰ y⁷ 3.7024162093e-38 3.9017208083e-37 3.9057839063e-38 C162 x⁸ y⁹ 2.8413931724e-38 4.9978754062e-37 -1.7216300602e-37 C164 x⁶y¹¹ 1.1635179260e-38 3.454746161 1e-37 -1.6857715545e-37 C166 x⁴ y¹³ -1.0472531019e-38 1.1160346663e-37 9.0902257907e-38 C168 x²y¹⁵ -4.9961393802e-39 4.4383205734e-38 1.8689023660e-37 C170 y¹⁷ -2.7777464071e-40 -1.2136040019e-38 1.1427093579e-37 C171 x¹⁸ 7.2762753642e-41 1.3738916674e-41 5.1565791718e-43 C173 x¹⁶y² -1.4586519280e-41 2.8742426268e-41 -4.7695707059e-42 C175 x¹⁴y⁴ -2.4114463208e-40 -1.3581385313e-40 2.4490031886e-41 C177 x¹²y⁶ -3.5836736081e-40 -5.7144070907e-40 -2.6739924502e-40 C179 x¹⁰y⁸ -4.7600963443e-40 -1.1693425742e-39 -3.5229547771e-40 C181 x⁸ y¹⁰ -3.7596891271e-40 -1.5023824797e-39 6.7284587568e-40 C183 x⁶ y¹² 2.2965320951e-42 -1.2500491983e-39 1.6457449415e-39 C185 x⁴ y¹⁴ 1.6408441449e-40 -4.0487450550e-40 7.9087634051e-40 C187 x² y¹⁶ 6.4952344991e-41 -2.6240326567e-40 4.1882636033e-40 C189 y¹⁸ -8.6069414747e-42 -5.7472487238e-41 1.3520144487e-40 C191 x¹⁸ y -3.2384129934e-44 2.1162947420e-44 -3.4667014951e-44 C193 x¹⁶ y³ 7.3098323445e-44 -2.8674401027e-43 -3.0739542985e-43 C195 x¹⁴ y⁵ -6.7817409394e-43 -2.3335942840e-42 -7.8653432441e-43 C197 x¹² y⁷ -9.1569622497e-43 -6.3052888556e-42 -2.8236272989e-42 C199 x¹⁰y⁹ -6.8368446744e-43 -1.0028700320e-41 -3.4782208787e-43 C201 x⁸y¹¹ -6.0695043608e-43 -1.0452711912e-41 1.0729041894e-41 C203 x⁶ y¹³ -1.1243757108e-43 -5.6319889339e-42 8.1709910206e-42 C205 x⁴y¹⁵ 1.6548470920e-43 -1.7044270537e-42 3.2019513666e-43 C207 x² y¹⁷ 4.8737594427e-44 -7.0483673470e-43 -3.3802779038e-42 C209 y¹⁹ 3.9918457086e-45 1.6104753006e-43 -1.8130601364e-42 C210 x²⁰ -4.7235429464e-46 -1.3307943610e-46 -1.0478119004e-47 C212 x¹⁸ y² 3.9586362177e-46 -2.4442659611e-46 -1.8420028836e-46 C214 x¹⁶ y⁴ 3.3941722435e-45 2.4451863348e-45 -1.4737332033e-45 C216 x¹⁴ y⁶ 5.7155008237e-45 1.2590788987e-44 -1.4259191305e-45 C218 x¹² y⁸ 8.1990077123e-45 2.9455198615e-44 -8.1792036792e-45 C220 x¹⁰ y¹⁰ 9.1833877961e-45 4.2557829591e-44 8.5222371201e-45 C222 x⁸ y¹² 5.3420745478e-45 4.3755324130e-44 2.0833855022e-44 C224 x⁶ y¹⁴ -5.4403510624e-46 2.6107537616e-44 1.2000800965e-44 C226 x⁴ y¹⁶ -1.9941894701e-45 6.9729556204e-45 -6.1010760750e-45 C228 x² y¹⁸ -6.0407488688e-46 4.2532564203e-45 -1.1308868621e-44 C230 y²⁰ 7.9400040808e-47 4.7288812647e-46 -4.8723262955e-45 Tabelle 3c zu Fig. 13 Koeffizient Formel M07 M08 M09 C2 y 4.3627027337e-04 -1.0632171428e-03 8.9419242028e-04 C3 x² -4.5402171319e-06 5.8780258307e-06 -1.7538264074e-05 C5 y² -1.3605674185e-05 2.3164312563e-05 1.8652495835e-05 C7 x² y -2.8378579520e-07 -2.2805798314e-07 -5.6384195351e-07 C9 y³ 5.6095276650e-08 1.3014960125e-07 -2.0914874120e-07 C10 x⁴ -2.4903698983e-10 -5.6233353377e-11 2.9650398466e-10 C12 x² y² -3.4260769794e-10 1.0059267029e-10 3.1786146971e-10 C14 y⁴ -4.8173750889e-10 -1.0178535231e-09 8.7799534073e-10 C16 x⁴ y -7.8487511292e-13 -2.2319419218e-14 -6.3459414043e-13 C18 x² y³ -2.8805305567e-12 -3.4355740650e-13 -2.7527279746e-12 C20 y⁵ -1.2821457030e-12 2.4889570661e-12 -4.3739280313e-12 C21 x⁶ -3.3611126899e-17 2.5412342217e-17 -5.8715438440e-16 C23 x⁴ y² -4.4118206337e-15 2.5027261618e-16 1.9433491797e-15 C25 x² y⁴ -1.2553883238e-14 7.7344004515e-15 1.8300426409e-14 C27 y⁶ -4.3517854425e-15 -1.6315091888e-14 2.4888658312e-14 C29 x⁶ y -3.4440758625e-18 -3.3475429937e-18 9.7484347219e-18 C31 x⁴ y³ -3.1499613386e-17 1.1876887127e-17 -3.3191946749e-17 C33 x² y⁵ -7.2010728991e-17 -2.1822883960e-17 -1.2964433394e-16 C35 y⁷ -6.1789526426e-17 5.9782197156e-17 -1.5832252145e-16 C36 x⁸ -8.8196610825e-21 5.6210296572e-21 3.8021705428e-20 C38 x⁶ y² -4.9277830145e-20 -2.9993168714e-19 -9.8295503271e-21 C40 x⁴ y⁴ -1.4147472237e-19 -4.0886993235e-19 3.0552850512e-19 C42 x² y⁶ -4.6675444374e-19 -1.1032040092e-18 8.6246357605e-19 C44 y⁸ 2.2291136570e-20 -6.3654662395e-19 6.7386139272e-19 C46 x⁸ y 2.4912433771e-22 8.0922809021e-22 -3.9995163332e-21 C48 x⁶ y³ 6.4088130291e-22 -3.6508621802e-22 -4.3044422469e-21 C50 x⁴ y⁵ -4.3354706284e-22 5.1729693392e-21 1.3585260716e-21 C52 x² y⁷ -1.4987195359e-21 9.9802937998e-21 -5.4718620278e-21 C54 y⁹ 9.4618304149e-21 2.0895023827e-21 -7.9248655696e-23 C55 x¹⁰ 7.3816254748e-25 -8.4502313971e-25 -9.3178053010e-24 C57 x⁸ y² 2.8631327837e-24 6.0019728677e-23 5.2637896639e-24 C59 x⁶ y⁴ 7.7190900241e-24 6.2250109761e-23 8.7051666474e-24 C61 x⁴ y⁶ -5.2745640237e-23 2.3481969025e-22 -3.9545655605e-23 C63 x² y⁸ 2.9884261915e-23 4.2586160453e-22 5.8177233121e-23 C65 y¹⁰ -1.2952849804e-22 1.6732687183e-22 4.6080646117e-23 C67 x¹⁰ y -2.6118481737e-26 -1.1976198787e-25 7.9744854811e-25 C69 x⁸ y³ -6.4018380588e-26 -2.1249786483e-25 1.6369799930e-24 C71 x⁶ y⁵ -3.3526250123e-25 -1.3000479720e-24 -2.1336593838e-25 C73 x⁴ y⁷ -2.2162275936e-25 -2.8679478945e-24 -1.0232728177e-24 C75 x² y⁹ -1.2452504928e-24 -8.1813823028e-24 2.3477264967e-25 C77 y¹¹ -6.7244994884e-25 -2.6974629844e-25 -1.1190824576e-24 C78 x¹² -4.8294823165e-29 1.0030616198e-28 1.3508956937e-27 C80 x¹⁰ y² -2.5861453147e-28 -6.5453529304e-27 1.6947961815e-27 C82 x⁸ y⁴ -2.5653242016e-27 -8.6151125110e-27 -2.4248397372e-27 C84 x⁶ y⁶ 7.9473722665e-28 -1.3778237973e-26 4.9453512231e-27 C86 x⁴ y⁸ 7.9707301692e-27 -4.4041574378e-26 1.7355600975e-26 C88 x² y¹⁰ -1.1653437610e-26 -5.3049847366e-26 -1.6189642142e-26 C90 y¹² 3.1517619662e-26 -4.8783557900e-26 2.2990840714e-27 C92 x¹² y 1.5638477109e-30 1.0597676789e-29 -9.2983011757e-29 C94 x¹⁰ y³ 4.4977548487e-31 5.0313753845e-29 -3.0481496232e-28 C96 x⁸ y⁵ 1.1542824691e-29 1.6975593630e-28 -1.1821484047e-28 C98 x⁶ y⁷ 8.1772574849e-29 3.6030450012e-28 1.6130830238e-28 C100 x⁴ y⁹ 5.2449268549e-29 1.1047736236e-27 4.1586538621e-29 C102 x²y¹¹ 3.1277391772e-28 2.2781815297e-27 1.7580359840e-29 C104 y¹³ -5.0030552619e-29 6.8130980223e-29 1.0724743931e-28 C105 x¹⁴ 2.3522479106e-33 -8.4265563577e-33 -1.1352118226e-31 C107 x¹² y² 1.4537954259e-32 3.9711146848e-31 -5.5365812735e-31 C109 x¹⁰ y⁴ 1.6744862986e-31 7.2166504425e-31 -8.9973316629e-32 C111 x⁸ y⁶ 4.4656635312e-31 -1.3351405959e-31 2.7984504773e-31 C113 x⁶ y⁸ -4.5477884376e-31 -1.8701820143e-31 -1.5849957931e-30 C115 x⁴ y¹⁰ 3.5705276711e-31 -1.7709009771e-30 -1.7122176734e-30 C117 x² y¹² 1.6653793860e-30 -4.4915901944e-30 2.9091285674e-30 C119 y¹⁴ -3.8816741463e-30 7.6344889993e-30 -7.0834972499e-31 C121 x¹⁴ y -5.4391011838e-35 -5.5828751427e-34 6.4825445700e-33 C123 x¹² y³ 1.3340450925e-34 -4.7742891723e-33 2.9433391516e-32 C125 x¹⁰ y⁵ 1.0630448760e-33 -1.4575723815e-32 2.1628250047e-32 C127 x⁸ y⁷ -1.6047928652e-33 -1.1751813521e-32 1.6866296062e-33 C129 x⁶ y⁹ -1.3945114984e-32 -7.0923298192e-32 -3.1451680844e-32 C131 x⁴ y¹¹ -1.2486547606e-33 -1.5593980773e-31 1.1803250259e-32 C133 x² y¹³ -3.9945910763e-32 -2.7852871164e-31 -2.3011316441e-32 C135 y¹⁵ 1.1662288016e-32 -1.7401834572e-32 -4.3354526981e-33 C136 x¹⁶ -7.2427482001e-38 4.0356382778e-37 5.8911372089e-36 C138 x¹⁴ y² -5.0418341814e-37 -1.2314368537e-35 6.3307114529e-35 C140 x¹² y⁴ -3.9726615304e-36 -2.2272950071e-35 7.1666849771e-35 C142 x¹⁰ y⁶ -1.6675351106e-35 2.1665500905e-35 -1.4181344236e-35 C144 x⁸ y⁸ -4.3606955187e-35 2.7632928039e-34 -9.2535454178e-35 C146 x⁶ y¹⁰ 1.6069593091e-35 4.1135106946e-34 3.7374470785e-34 C148 x⁴ y¹² -2.2390214251e-34 1.7376603307e-33 -9.5814515552e-35 C150 x² y¹⁴ -1.4309125022e-34 1.7531922223e-33 -8.9730761155e-35 C152 y¹⁶ 2.5702458568e-34 -5.9550731828e-34 6.2965814400e-35 C154 x¹⁶ y 9.6489692166e-40 1.5886479990e-38 -2.5264618786e-37 C156 x¹⁴ y³ -6.5574998546e-39 2.0974178393e-37 -1.4401665390e-36 C158 x¹² y⁵ -5.9286065474e-38 7.9595730901e-37 -1.4637453470e-36 C160 x¹⁰ y⁷ -1.4361044960e-37 -4.7728445714e-37 -1.2646189534e-36 C162 x⁸ y⁹ 1.5441274115e-37 9.3793306664e-37 2.1019675458e-36 C164 x⁶y¹¹ 7.9696850943e-37 2.0219757331e-36 5.9639537257e-37 C166 x⁴ y¹³ -1.2613044575e-36 3.0002486918e-36 -8.0856861337e-38 C168 x²y¹⁵ 2.4510795251e-36 9.6593844954e-36 1.9254863749e-36 C170 y¹⁷ -7.5881168175e-37 2.2786946029e-36 -1.6856683976e-37 C171 x¹⁸ 1.1886880421e-42 -1.0021717414e-41 -1.8560532838e-40 C173 x¹⁶ y² 8.1825648854e-42 1.4123138225e-40 -3.3425492178e-39 C175 x¹⁴y⁴ 1.2431859200e-41 -4.6525834008e-40 -6.3456538583e-39 C177 x¹²y⁶ -7.3598416885e-41 -6.3942667261e-40 -3.5774518743e-39 C179 x¹⁰y⁸ 3.0525335633e-40 -8.1428215131e-39 1.2241342320e-38 C181 x⁸ y¹⁰ 3.2950232068e-39 -1.8919313542e-38 -1.1454074836e-38 C183 x⁶ y¹² 1.3005368683e-39 -5.4758694133e-38 -1.7480459756e-38 C185 x⁴ y¹⁴ 1.4310109834e-38 -1.4092504299e-37 1.3533377779e-38 C187 x² y¹⁶ 6.7980134233e-39 -1.1937491626e-37 -9.0616955073e-39 C189 y¹⁸ -8.5638678996e-39 1.7862090383e-38 -6.9115414270e-40 C191 x¹⁸ y -6.3883926262e-45 -1.8639634073e-43 4.2818680365e-42 C193 x¹⁶ y³ 1.1105211950e-43 -3.4723420795e-42 2.8395812276e-41 C195 x¹⁴ y⁵ 7.6979947415e-43 -1.8340253594e-41 3.5002832086e-41 C197 x¹² y⁷ 2.1718110412e-43 1.8000730062e-41 5.5262412730e-41 C199 x¹⁰y⁹ 1.0061838369e-41 6.8645180715e-41 -4.4215878881e-41 C201 x⁸y¹¹ -5.7692072460e-42 5.8508395088e-41 -4.7553037974e-41 C203 x⁶ y¹³ 2.0777744793e-41 4.2228609486e-40 3.7863425864e-41 C205 x⁴y¹⁵ 1.0483565704e-40 7.1149760513e-40 -1.0321499360e-40 C207 x² y¹⁷ -5.5267328959e-41 3.4250835671e-40 1.4669732445e-41 C209 y¹⁹ 2.0516209130e-41 -1.0906315795e-40 4.6639561355e-42 C210 x²⁰ -7.8647719948e-48 1.0057614572e-46 2.8750832519e-45 C212 x¹⁸ y² -2.2279117376e-47 4.0681220401e-46 6.9380452974e-44 C214 x¹⁶ y⁴ 7.5713231640e-46 2.7605021553e-44 1.7023016877e-43 C216 x¹⁴ y⁶ 1.6252246807e-45 4.3378533934e-44 2.0234584011e-43 C218 x¹² y⁸ 1.2976914513e-45 -1.1551954236e-43 -3.0057140602e-43 C220 x¹⁰ y¹⁰ 3.4776212806e-44 -3.5315980473e-44 1.0445638895e-43 C222 x⁸ y¹² -9.2749979422e-44 -2.0180488774e-43 3.7322990281e-43 C224 x⁶ y¹⁴ 1.8579225117e-43 -9.3499935217e-43 5.7696476748e-44 C226 x⁴ y¹⁶ 6.5554014130e-44 -1.1063324084e-42 2.3317538816e-43 C228 x² y¹⁸ -1.2639245086e-43 -1.9093048106e-43 -7.7808388962e-46 C230 y²⁰ 1.355370691 le-43 1.1219589419e-43 -7.3006954671e-45 Tabelle 3d zu Fig. 13 Koeffizient Formel M10 M11 C2 y 3.0670192030e-04 8.3827467538e-14 C3 x² -3.8528532925e-05 3.3002942187e-06 C5 y² -3.5113915798e-05 2.8096169979e-06 C7 x² y 1.5620848889e-06 6.8063439480e-09 C9 y³ -4.8467119962e-07 -1.0693885787e-08 C10 x⁴ 4.7113312387e-09 -1.9824343l83e-11 C12 x² y² 9.5524326734e-09 -4.7384412206e-11 C14 y⁴ 7.7833155970e-09 -2.4204728782e-11 C16 x⁴ y 1.8194883819e-11 2.1125826244e-14 C18 x² y³ 9.1033306889e-12 1.8158583933e-15 C20 y⁵ -2.0466030521e-11 -1.2934610687e-14 C21 x⁶ 5.6654806622e-14 -5.0403471467e-17 C23 x⁴ y² 2.2796735765e-13 -1.6530444278e-16 C25 x² y⁴ 2.7388132273e-13 -1.7509850531e-16 C27 y⁶ 1.6074410990e-13 -5.5860234472e-17 C29 x⁶ y 2.8289812464e-16 4.1273571409e-20 C31 x⁴ y³ 5.5750183694e-16 5.6375550555e-20 C33 x² y⁵ -2.6220262433e-16 -7.2368203826e-21 C35 y⁷ -4.3008403334e-16 -1.5781942870e-20 C36 x⁸ 2.4176266270e-18 -1.0188739191e-22 C38 x⁶ y² 6.8941006881e-18 -4.5193027785e-22 C40 x⁴ y⁴ 9.5407082622e-18 -7.0134738927e-22 C42 x² y⁶ 9.7375365753e-18 -4.6015252315e-22 C44 y⁸ 1.0769039133e-17 -1.4406927046e-22 C46 x⁸ y 1.0698644541e-20 7.9736465169e-26 C48 x⁶ y³ 2.1930253184e-20 1.5506043755e-25 C50 x⁴ y⁵ -4.3828727994e-20 -4.7336578100e-26 C52 x² y⁷ -8.4153857207e-20 -1.9460570478e-25 C54 y⁹ -1.1397832489e-19 -7.2030581682e-26 C55 x¹⁰ -5.0508207199e-22 -2.3994795272e-28 C57 x⁸ y² -4.5077240898e-22 -1.2192960517e-27 C59 x⁶ y⁴ -4.3308510070e-22 -2.7758275151e-27 C61 x⁴ y⁶ 1.5218726492e-22 -3.2690323368e-27 C63 x² y⁸ -2.4327923181e-23 -1.9582111043e-27 C65 y¹⁰ -1.7153584008e-21 1.2563460679e-28 C67 x¹⁰ y 6.1379998058e-26 2.9550171006e-31 C69 x⁸ y³ -3.6562185851e-24 1.5812493186e-30 C71 x⁶ y⁵ 8.3666857090e-24 4.0062760562e-30 C73 x⁴ y⁷ 3.7771283255e-23 5.8474186753e-30 C75 x² y⁹ 3.1754359277e-23 3.4308124880e-30 C77 y¹¹ 3.6264189220e-23 6.8796580754e-31 C78 x¹² 1.229300933 1e-25 -1.3506745174e-34 C80 x¹⁰ y² 1.4931416607e-25 -2.2290061121e-33 C82 x⁸ y⁴ 2.5144870907e-25 1.6999297348e-33 C84 x⁶ y⁶ 2.1193008397e-25 8.3769557287e-33 C86 x⁴ y⁸ -8.7536637358e-27 2.1142584486e-32 C88 x² y¹⁰ 1.1634645621e-25 1.2933797404e-32 C90 y¹² 3.5307905637e-25 -4.5201306552e-33 C92 x¹² y -8.9864979646e-29 -1.4100927761e-36 C94 x¹⁰ y³ 9.5093022472e-28 -1.5507236395e-35 C96 x⁸ y⁵ 6.1474586368e-28 -4.4557413604e-35 C98 x⁶ y⁷ -7.7048806132e-27 -9.5931040064e-35 C100 x⁴ y⁹ -1.5219268610e-26 -1.0322115459e-34 C102 x² y¹¹ -1.0922116917e-26 -4.5479915020e-35 C104 y¹³ -9.0998061019e-27 -7.0107904421e-36 C105 x¹⁴ -1.7823245750e-29 -2.3936973544e-39 C107 x¹² y² -2.6184207954e-29 3.8117597055e-39 C109 x¹⁰ y⁴ -5.1985377617e-29 -1.3315592727e-37 C111 x⁸ y⁶ -6.0120770483e-29 -2.6748104412e-37 C113 x⁶ y⁸ -2.8666825959e-29 -4.9455743532e-37 C115 x⁴ y¹⁰ 4.2361497961e-29 -5.1762888888e-37 C117 x² y¹² -5.9774924420e-30 -2.0178747020e-37 C119 y¹⁴ -3.3808533807e-29 2.9980440282e-38 C121 x¹⁴ y 1.8665865537e-32 8.7022676667e-42 C123 x¹² y³ -7.6407723617e-32 1.5868362832e-40 C125 x¹⁰ y⁵ -3.0321980147e-31 4.3347699881e-40 C127 x⁸ y⁷ 6.2443524207e-31 9.0086162280e-40 C129 x⁶ y⁹ 2.5105200723e-30 1.3495361793e-39 C131 x⁴ y¹¹ 3.2667833701e-30 1.0010892754e-39 C133 x² y¹³ 2.0988856167e-30 3.3128331656e-40 C135 y¹⁵ 1.3097929613e-30 3.3099630301e-41 C136 x¹⁶ 1.5445351050e-33 -2.9865975685e-45 C138 x¹⁴ y² 2.9451918331e-33 -2.0240429582e-43 C140 x¹² y⁴ 6.9628538017e-33 7.5782232576e-43 C142 x¹⁰ y⁶ 9.5388810915e-33 1.8576760309e-42 C144 x⁸ y⁸ 9.0730617364e-33 3.7538220218e-42 C146 x⁶ y¹⁰ -1.2642162304e-33 6.0130269124e-42 C148 x⁴ y¹² -1.4918667987e-32 4.6034881864e-42 C150 x² y¹⁴ -4.1999601884e-33 1.3830191576e-42 C152 y¹⁶ 1.2078069158e-34 -1.4779550510e-43 C154 x¹⁶ y -1.3606513376e-36 -4.0242745965e-48 C156 x¹⁴ y³ 2.0568487922e-36 -6.9432335550e-46 C158 x¹² y⁵ 3.1451539514e-35 -2.2088816925e-45 C160 x¹⁰ y⁷ -7.0005578928e-37 -4.3371999123e-45 C162 x⁸ y⁹ -1.8233122452e-34 -7.8958817566e-45 C164 x⁶ y¹¹ -3.5986696747e-34 -8.7250234174e-45 C166 x⁴ y¹³ -3.7346697350e-34 -4.8945034904e-45 C168 x² y¹⁵ -2.2443699776e-34 -1.3158969032e-45 C170 y¹⁷ -1.0320310239e-34 -7.5219973819e-47 C171 x¹⁸ -7.3082772364e-38 4.2840141452e-50 C173 x¹⁶y² -1.7901839251e-37 1.1341228118e-48 C175 x¹⁴y⁴ -5.1009839430e-37 -2.9040146283e-48 C177 x¹²y⁶ -7.7029814292e-37 -9.7506368116e-48 C179 x¹⁰ y⁸ -9.4686795008e-37 -1.8058496908e-47 C181 x⁸ y¹⁰ -5.6356136680e-37 -3.4224856855e-47 C183 x⁶ y¹² 1.1426556051e-36 -3.9162171658e-47 C185 x⁴ y¹⁴ 2.3350016709e-36 -2.2281259843e-47 C187 x² y¹⁶ 9.5697040715e-37 -5.4077434854e-48 C189 y¹⁸ 2.5907545498e-37 3.8036124447e-49 C191 x¹⁸ y 3.5190759065e-41 -3.4696241679e-53 C193 x¹⁶ y³ 1.5953396507e-41 1.2739742132e-51 C195 x¹⁴ y⁵ -1.0419563163e-39 5.0427999622e-51 C197 x¹² y⁷ -1.6310687493e-39 9.6918040024e-51 C199 x¹⁰ y⁹ 4.1734196895e-39 1.7873875340e-50 C201 x⁸ y¹¹ 1.3746894196e-38 2.6138487422e-50 C203 x⁶ y¹³ 1.9552599414e-38 2.1444892006e-50 C205 x⁴ y¹⁵ 1.7657112313e-38 9.5327971600e-51 C207 x² y¹⁷ 1.0082898809e-38 2.1537220826e-51 C209 y¹⁹ 3.4033600694e-39 4.3475313340e-53 C210 x²⁰ 1.4606665265e-42 -1.4459441162e-55 C212 x¹⁸ y² 4.4506085788e-42 -2.7106927162e-54 C214 x¹⁶ y⁴ 1.5364404393e-41 2.5459349858e-54 C216 x¹⁴ y⁶ 2.5630855208e-41 1.7094946247e-53 C218 x¹² y⁸ 3.3905546714e-41 3.1867446397e-53 C220 x¹⁰ y¹⁰ 3.8493078351e-41 6.6406559406e-53 C222 x⁸ y¹² -9.1333699019e-42 1.0570753593e-52 C224 x⁶ y¹⁴ -1.0695825866e-40 9.1459357772e-53 C226 x⁴ y¹⁶ -1.3604044376e-40 4.1435205616e-53 C228 x² y¹⁸ -6.1188301506e-41 8.4557337127e-54 C230 y²⁰ -1.5104588567e-41 -4.4103418310e-55 Tabelle 4 zu Fig. 13 Koordinaten des Blendenrandes x_i [mm] y_i [mm] x_i+N/2 [mm] y_i+N/2 [mm] 41.517951 4.363712 -41.257230 -4.336310 40.955912 8.705448 -40.450463 -8.598011 39.931182 12.974427 -39.211498 -12.740588 38.450937 17.119460 -37.559233 -16.722448 36.529051 21.090058 -35.515559 -20.504918 34.185992 24.837577 -33.104824 -24.052063 31.448432 28.316295 -30.353517 -27.330429 28.351378 31.487395 -27.290183 -30.308818 24.925311 34.306747 -23.947874 -32.961421 21.215144 36.745707 -20.354007 -35.254174 17.264722 38.777201 -16.547772 -37.166905 13.120049 40.379358 -12.567398 -38.678475 8.828620 41.535393 -8.453667 -39.771377 4.438912 42.233423 -4.249615 -40.432387 0.000000 42.466479 0.000000 -40.653160 -4.438912 42.233423 4.249615 -40.432387 -8.828620 41.535393 8.453667 -39.771377 -13.120049 40.379358 12.567398 -38.678475 -17.264722 38.777201 16.547772 -37.166905 -21.215144 36.745707 20.354007 -35.254174 -24.925311 34.306747 23.947874 -32.961421 -28.351378 31.487395 27.290183 -30.308818 -31.448432 28.316295 30.353517 -27.330429 -34.185992 24.837577 33.104824 -24.052063 -36.529051 21.090058 35.515559 -20.504918 -38.450937 17.119460 37.559233 -16.722448 -39.931182 12.974427 39.211498 -12.740588 -40.955912 8.705448 40.450463 -8.598011 -41.517951 4.363712 41.257230 -4.336310 -41.616613 0.000000 41.616613 0.000000  Table 2 for Fig. 13 D _x [mm] D _y [mm] D _z [mm] reticle 0.000000000 -2262.221348555 2301.171945316 M01 0.000000000 -2100.408213766 433.513603324 M02 0.000000000 -1819.175380081 1441.524601686 M03 0.000000000 -1645.441459514 1665.088034463 M04 0.000000000 -1235.249341926 1844.461178432 M05 0.000000000 -834.941079583 1900.907919937 M06 -0.000000000 -420.815922987 1827.013255523 M07 -0.000000000 -108.773350387 1627.572648437 M08 -0.000000000 43.321786154 1407.365444601 M09 -0.000000000 103.484725720 1107.501609512 M10 0.000000000 -144.317265766 106.080344427 cover 0.000000000 -105.199574013 258.452634484 M11 0.000000000 -0.000000000 668.228858160 wafer 0.000000000 0.000000000 0.000000000 α _x [°] α _y [°] α _z [°] reticle 0.000000000 -0.000000000 180.000000000 M01 174.681366324 0.000000000 -0.000000000 M02 63.279896281 0.000000000 0.000000000 M03 37.884041096 -0.000000000 0.000000000 M04 15.822781013 -0.000000000 0.000000000 M05 -1.045435930 -0.000000000 0.000000000 M06 -21.350812859 -0.000000000 0.000000000 M07 -43.976004012 -0.000000000 0.000000000 M08 -67.011321802 -0.000000000 -0.000000000 M09 268.723099982 -0.000000000 -0.000000000 M10 165.851524015 0.000000000 -0.000000000 cover 3.664944691 180.000000000 0.000000000 M11 -7.199142260 0.000000000 0.000000000 wafer 0.000000000 0.000000000 0.000000000  Table 3a to Fig. 13 Free-form coefficients of the surfaces coefficient formula M01 M02 M03 C2 y -8.9430080540e-05 -5.9300616209e-04 -8.3633138289e-04 C3 x ² 5.0558861220e-08 -9.4671733889e-08 -9.6537998956e-06 C5 y ² -1.3152210505e-06 1.7098440815e-05 1.0784891152e-05 C7 x ² y 3.4297305855e-08 3.5917116656e-07 -2.7257355486e-07 C9 y ³ -9.0162167489e-09 2.2420887956e-07 -5.0093654948e-08 C10 x ⁴ -4.4532441192e-12 1.7698652127e-10 1.714087291 1e-10 C12 x ² y ² 3.8452523536e-11 1.3390934884e-10 5.6722888664e-12 C14 y ⁴ -2.8494460042e-11 8.7917077235e-10 -2.0587564114e-10 C16 x ⁴ y -6.9189125065e-17 9.8897130791e-14 5.2238567824e-13 C18 x ² y ³ 8.1401786184e-14 -2.0428928946e-13 -5.0213122665e-13 C20 y ⁵ -1.0811707018e-13 1.8715487547e-12 1.0121793460e-12 C21 x ⁶ -1.1138360143e-18 2.3396746763e-16 4.4813978634e-15 C23 x ⁴ y ² -2.6074745351e-17 -6.8385058331e-15 2.4058522407e-16 C25 x ² y ⁴ 1.4293890017e-16 -3.2837862611e-15 3.0817252599e-15 C27 y ⁶ 7.8682912551e-17 4.6136094659e-15 -5.5353670385e-15 C29 x ⁶ y -4.1155494726e-21 -1.2443093279e-17 1.8352832183e-17 C31 x ⁴ y ³ -8.5487815500e-20 -4.9172891899e-17 8.6504235493e-18 C33 x ² y ⁵ 2.7301920532e-20 6.0453463725e-18 -2.0893566134e-17 C35 y ⁷ -2.0694511091e-21 -1.9713402246e-17 5.0211389664e-17 C36 x ⁸ 3.8191383097e-24 -6.9093379883e-20 -3.6583090289e-19 C38 x ⁶ y ² 9.2971801722e-23 -1.3042473148e-19 3.0438714046e-20 C40 x ⁴ y ⁴ 5.1925346145e-22 -1.6271618020e-19 -1.8768057288e-19 C42 x ² y ⁶ 6.3281374448e-22 2.6762293363e-19 3.8476758754e-19 C44 y ⁸ -1.0244767036e-20 3.7309588022e-19 -4.1652080105e-20 C46 x ⁸ y 8.1539130345e-26 5.3551782433e-22 -9.4553767890e-22 C48 x ⁶ y ³ 1.4232751281e-24 3.5480998457e-22 1.4125671643e-22 C50 x ⁴ y ⁵ 2.9892627307e-24 -1.0232202702e-21 2.3448597271e-21 C52 x ² y ⁷ -1.6507570725e-23 7.5963431260e-22 -2.7670147894e-21 C54 y ⁹ 2.1649092706e-23 4.7801589165e-21 -7.1730546884e-21 C55 x ¹⁰ -1.1321066082e-28 9.7454498591e-24 6.8205538215e-23 C57 x ⁸ y ² -3.1773429292e-27 -8.4808980988e-25 7.6007775786e-24 C59 x ⁶ y ⁴ -2.6047609001e-26 -2.7798585510e-23 7.5220654030e-23 C61 x ⁴ y ⁶ -9.2299835516e-26 -4.4022773912e-23 6.6297458953e-23 C63 x ² y ⁸ -2.5400307931e-26 -3.8392066923e-23 -1.0436076544e-22 C65 y ¹⁰ 1.8230738137e-24 -9.0258238947e-23 8.5740405667e-23 C67 x ¹⁰ y -1.1826959959e-30 -2.9171390410e-26 2.4879317704e-25 C69 x ⁸ y ³ -3.9284700882e-29 -2.3677868105e-25 -6.2980972250e-26 C71 x ⁶ y ⁵ -1.6024080456e-28 -2.6015526612e-25 -4.4806608521e-25 C73 x ⁴ y ⁷ 1.5799386713e-28 -1.5306845113e-25 -8.4502105596e-25 C75 x ² y ⁹ 3.3841329787e-27 -5.6235108265e-26 1.9266756937e-24 C77 y ¹¹ -1.9025919439e-27 -1.3098970894e-24 1.1841619351e-25 C78 x ¹² 2.2832310273e-33 -8.8334770210e-28 -8.6003363497e-27 C80 x ¹⁰ y ² 6.7577140002e-32 3.5321128424e-28 -7.0527675406e-28 C82 x ⁸ y ⁴ 6.7924438639e-31 3.2773866607e-27 -1.3373031866e-26 C84 x ⁶ y ⁶ 3.3627153242e-30 5.3150824125e-27 -2.7210733444e-26 C86 x ⁴ y ⁸ 4.4719548066e-30 3.5582756127e-27 -6.5386840717e-27 C88 x ² y ¹⁰ -1.2632720093e-29 6.1622510770e-27 8.6673764330e-27 C90 y ¹² -1.6933279459e-28 9.0988743347e-27 -1.2290297994e-26 C92 x ¹² y 6.8181390032e-36 6.5903225714e-31 -3.2183980117e-29 C94 x ¹⁰ y ³ 5.6172062321e-34 2.1095005364e-29 6.3326071438e-30 C96 x ⁸ y ⁵ 3.5453607513e-33 3.8585614764e-29 6.1948427324e-29 C98 x ⁶ y ⁷ 6.8932650471e-33 1.8454706427e-29 8.3416000938e-29 C100 x ⁴ y ⁹ -6.3364616548e-32 3.094954801 1e-32 9.5514745295e-29 C102 x ² y ¹¹ -3.7780057795e-31 1.9989646005e-29 -3.7942951709e-28 C104 y ¹³ 2.2287201401e-31 1.8618148755e-28 1.0544165481e-28 C105 x ¹⁴ -2.9332253075e-38 4.9572503830e-32 6.6332653997e-31 C107 x ¹² y ² -8.8454056125e-37 -1.0865975991e-32 1.1174674853e-32 C109 x ¹⁰ y ⁴ -1.0652316765e-35 -2.4622035387e-31 1.2885775509e-30 C111 x ⁸ y ⁶ -7.0761415477e-35 -4.6010432319e-31 3.7338835797e-30 C113 x ⁶ y ⁸ -1.4749982213e-34 -5.3471961996e-31 4.2967214651e-30 C115 x ⁴ y ¹⁰ 2.6270301246e-34 7.8668092584e-32 -3.1396150039e-31 C117 x ² y ¹² 1.3811930942e-33 -5.2835033319e-31 7.9742364247e-31 C119 y ¹⁴ 1.0987272303e-32 -2.0502481018e-31 3.3042027707e-31 C121 x ¹⁴ y 1.7029427158e-41 1.5334015646e-35 2.4021877547e-33 C123 x ¹² y ³ -4.0570585976e-39 -8.9665678548e-34 -7.7714944120e-35 C125 x ¹⁰ y ⁵ -3.8580975907e-38 -2.7925621047e-33 -5.2051951153e-33 C127 x ⁸ y ⁷ -1.4207742790e-37 -1.6433682788e-33 -3.1013285565e-33 C129 x ⁶ y ⁹ -3.6172436929e-38 -3.5591626433e-34 -1.0221217036e-32 C131 x ⁴ y ¹¹ 5.8171175588e-36 4.8024491282e-33 4.7230878336e-35 C133 x ² y ¹³ 1.9658015387e-35 -1.7201485320e-33 3.4199811951e-32 C135 y ¹⁵ -1.2050974076e-35 -1.3597564699e-32 -1.2536150233e-32 C136 x ¹⁶ 2.3008356074e-43 -1.6613205488e-36 -2.9885157559e-35 C138 x ¹⁴ y ² 7.1032678037e-42 -3.9724300296e-37 3.4392032759e-36 C140 x ¹² y ⁴ 9.8174617927e-41 9.5244295829e-36 -6.8758486912e-35 C142 x ¹⁰ y ⁶ 8.6034659247e-40 2.1798481509e-35 -2.5361095046e-34 C144 x ⁸ y ⁸ 2.8641604517e-39 3.8431512889e-35 -4.3659247626e-34 C146 x ⁶ y ¹⁰ -2.3499996414e-39 1.1713389761e-35 -3.2868436635e-34 C148 x ⁴ y ¹² -3.1676797262e-38 -1.9984401116e-35 1.0896448427e-34 C150 x ² y ¹⁴ -6.8986379272e-38 3.9752205145e-35 -2.2030951344e-34 C152 y ¹⁶ -4.4241183528e-37 -3.1647307284e-35 7.3011498586e-35 C154 x ¹⁶ y -3.7720248259e-46 -1.0292967571e-39 -9.3443016310e-38 C156 x ¹⁴ y ³ 1.2306007462e-44 1.8594098847e-38 -1.8333109745e-38 C158 x ¹² y ⁵ 2.0106202528e-43 9.6043739093e-38 2.1218396645e-37 C160 x ¹⁰ y ⁷ 9.6789489765e-43 7.5630909246e-38 3.9155507377e-38 C162 x ⁸ y ⁹ 4.0913039497e-42 6.5912290378e-38 1.8106235994e-38 C164 x ⁶ y ¹¹ -8.5282843939e-42 -2.9246523295e-37 8.9770833512e-37 C166 x ⁴ y ¹³ -2.2469869003e-40 -6.3232712723e-37 -1.2184663039e-36 C168 x ² y ¹⁵ -5.0890154722e-40 2.0109432069e-37 -7.9597408218e-37 C170 y ^17th 3.1559867430e-40 4.2430363520e-37 2.1444734614e-37 C171 x ¹⁸ -9.9124410471e-49 3.0359466288e-41 7.2433685284e-40 C173 x ¹⁶ y ² -3.2244985743e-47 2.5578706513e-41 -2.7316163745e-40 C175 x ¹⁴ y ⁴ -4.9025425610e-46 -1.6021117616e-40 1.9375720965e-39 C177 x ¹² y ⁶ -5.3932534659e-45 -4.9980694834e-40 7.9717805079e-39 C179 x ¹⁰ y ⁸ -2.8330110124e-44 -1.2143353521e-39 1.9854679799e-38 C181 x ⁸ y ¹⁰ -1.4134241444e-44 -1.0261639292e-39 2.0965948368e-38 C183 x ⁶ y ¹² 2.9962175377e-43 -7.4560707390e-40 1.1127105484e-38 C185 x ⁴ y ¹⁴ 1.0429976656e-42 -8.5128337180e-40 -3.0020579193e-39 C187 x ² y ¹⁶ 1.6860758149e-42 -1.4510245604e-39 1.1564667201e-38 C189 y ^18th 9.9350651840e-42 2.1333654743e-39 -4.4593035755e-39 C191 x ¹⁸ y 1.2246653034e-51 1.3635410002e-44 1.4660052153e-42 C193 x ¹⁶ y ³ -6.0716417235e-51 -1.4930508976e-43 7.5849878997e-43 C195 x ¹⁴ y ⁵ -3.7504105176e-49 -1.2493127520e-42 -3.1011100405e-42 C197 x ¹² y ⁷ -2.3601395017e-48 -1.4004503931e-42 2.8300900595e-42 C199 x ¹⁰ y ⁹ -1.4445097575e-47 -1.9018033002e-42 1.3747448396e-42 C201 x ⁸ y ¹¹ -6.7940993337e-47 2.6256257237e-42 7.855499741 le-42 C203 x ⁶ y ¹³ 2.2365574244e-46 1.9415996854e-41 -3.9661181070e-41 C205 x ⁴ y ¹⁵ 3.2133292499e-45 2.0650924925e-41 8.1503745341e-41 C207 x ² y ¹⁷ 5.2598318251e-45 -1.3670804642e-41 -3.4484622170e-41 C209 y ^19th -3.4198517055e-45 -1.7216563860e-43 1.9888792824e-41 C210 x ²⁰ 1.7874453650e-54 -2.3273795616e-46 -7.3267397515e-45 C212 x ¹⁸ y ² 6.3129589103e-53 -3.4467820548e-46 6.5289943852e-45 C214 x ¹⁶ y ⁴ 1.0219415327e-51 7.1733866157e-46 -2.2249074802e-44 C216 x ¹⁴ y ⁶ 1.3274435819e-50 3.9464965369e-45 -8.2465974358e-44 C218 x ¹² y ⁸ 1.0322588919e-49 1.3410799329e-44 -3.3133900328e-43 C220 x ¹⁰ y ¹⁰ 2.1265959384e-49 1.4827514395e-44 -4.0366920553e-43 C222 x ⁸ y ¹² -7.5885242348e-49 3.1471272394e-44 -4.3262677192e-43 C224 x ⁶ y ¹⁴ -5.1918866464e-48 8.4325690216e-44 -2.9981169793e-44 C226 x ⁴ y ¹⁶ -1.0883737598e-47 7.2732442776e-44 -2.5921724594e-43 C228 x ² y ¹⁸ -1.6118139300e-47 -2.9899768993e-44 2.3699637069e-44 C230 y ²⁰ -9.5649221992e-47 -1.1436355894e-44 -3.0619429885e-44  Table 3b for Fig. 13 coefficient formula M04 M05 M06 C2 y 6.9952126392e-04 1.0331146304e-03 -2.7881184105e-04 C3 x ² 1.3118461310e-06 1.1014954146e-06 -9.8939273197e-06 C5 y ² 6.0003237805e-06 5.4391218522e-06 -9.0109398270e-06 C7 x ² y -6.9936759576e-08 -7.1187071372e-08 -2.6270405188e-07 C9 y ³ -1.1010455607e-08 -6.4679095664e-08 1.7142408056e-08 C10 x ⁴ -1.4697672367e-10 1.139803571 1e-10 -1.6971042656e-11 C12 x ² y ² 1.1882225030e-11 -1.8678162811e-10 -5.6494769946e-11 C14 y ⁴ -2.6747316393e-10 -1.3691407752e-10 -2.9716551694e-10 C16 x ⁴ y 1.1825481562e-12 1.6521868514e-13 -3.9455807486e-13 C18 x ² y ³ -9.8278844316e-13 -3.1316284448e-13 -7.2891099790e-13 C20 y ⁵ -4.8954561298e-14 -4.6421550403e-13 2.7648293529e-14 C21 x ⁶ 3.7176558986e-15 7.4916167240e-16 -1.1534033064e-15 C23 x ⁴ y ² -3.6386015303e-15 -1.5606394596e-15 -2.2609361749e-16 C25 x ² y ⁴ 7.3081272391e-16 -1.7387124740e-15 -6.1768423857e-17 C27 y ⁶ -1.7607515194e-15 1.5480269306e-16 -1.5376862205e-15 C29 x ⁶ y -7.4134625766e-18 -5.1520779899e-18 1.0662993341e-18 C31 x ⁴ y ³ 1.5508428253e-17 -8.1081238685e-18 1.3591429042e-18 C33 x ² y ⁵ -1.3314073219e-17 -4.6752748826e-18 -1.0052159223e-17 C35 y ⁷ -9.5030454433e-19 -6.4991728386e-18 -1.5580558341e-18 C36 x ⁸ -8.5846272300e-20 -1.9130510403e-20 8.7667170539e-21 C38 x ⁶ y ² 1.1452623370e-19 -7.0790139548e-20 2.9617856883e-20 C40 x ⁴ y ⁴ -3.8895982229e-20 -1.0132115473e-19 -7.4891452078e-20 C42 x ² y ⁶ -1.6495933965e-20 -7.4899280951e-20 4.4978183086e-20 C44 y ⁸ 1.3340926264e-21 -9.3392648269e-21 1.0469041532e-19 C46 x ⁸ y -7.6180362292e-22 1.6664740519e-22 1.4442574524e-22 C48 x ⁶ y ³ -1.8628293092e-22 1.9817168518e-21 -2.2139216172e-22 C50 x ⁴ y ⁵ 8.2535031230e-23 1.8931855413e-21 1.0056784140e-21 C52 x ² y ⁷ -3.5397694944e-22 4.7096958555e-22 1.7329696405e-21 C54 y ⁹ -7.2404418043e-24 -1.9037158154e-22 1.4620467418e-21 C55 x ¹⁰ 1.1914454399e-23 2.6229312321e-24 -8.6137998957e-25 C57 x ⁸ y ² -6.9597010168e-24 1.0437680826e-23 -7.3963466449e-24 C59 x ⁶ y ⁴ -6.5444094142e-24 2.2291414650e-23 2.8225860864e-24 C61 x ⁴ y ⁶ 2.0053101510e-24 1.5841857826e-23 1.9851532388e-23 C63 x ² y ⁸ 5.8139657435e-24 6.2038758987e-24 -1.8390050300e-23 C65 y ¹⁰ -1.9675662041e-24 -1.0613641871e-24 -2.3968026494e-23 C67 x ¹⁰ y 1.0457112252e-25 -8.2752849313e-27 -2.4109359817e-26 C69 x ⁸ y ³ -4.5551793557e-27 -3.1755833751e-25 2.7809836243e-27 C71 x ⁶ y ⁵ -1.4118512385e-26 -6.2523426147e-25 4.9739915975e-26 C73 x ⁴ y ⁷ 3.0292033559e-26 -4.0196317129e-25 -3.8424839019e-25 C75 x ² y ⁹ 3.4569543886e-26 -1.0672556288e-25 -4.1104521224e-25 C77 y ¹¹ 1.7127326674e-27 7.1413272209e-26 -3.1667710269e-25 C78 x ¹² -1.3666181213e-27 -2.6570107436e-28 5.4251667325e-29 C80 x ¹⁰ y ² 5.1896318495e-28 -9.0739326136e-28 8.3736205539e-28 C82 x ⁸ y ⁴ 1.3307780295e-27 -2.3711899762e-27 1.0753214453e-27 C84 x ⁶ y ⁶ 7.5362917549e-28 -2.6280202677e-27 -2.5824770321e-27 C86 x ⁴ y ⁸ -7.3378151358e-28 -1.0884556316e-27 -4.2344933011e-27 C88 x ² y ¹⁰ -7.7334745920e-28 4.5608019476e-29 2.8887063207e-27 C90 y ¹² 1.6857481335e-28 3.5004105619e-28 2.5806272031e-27 C92 x ¹² y -8.3449328159e-30 -3.1219106665e-31 2.2452444838e-30 C94 x ¹⁰ y ³ -3.2024197101e-31 2.7161974516e-29 5.0603532056e-30 C96 x ⁸ y ⁵ 6.9351116334e-30 8.1346227389e-29 -9.8351804982e-30 C98 x ⁶ y ⁷ 2.2908064613e-30 9.8664361059e-29 1.0930026566e-30 C100 x ⁴ y ⁹ -3.2211655602e-30 4.6707454771e-29 5.9215434606e-29 C102 x ² y ¹¹ -3.6264948729e-30 1.4290848913e-29 5.3723266046e-29 C104 y ¹³ -2.6003023797e-31 -7.6026547059e-30 4.0479281385e-29 C105 x ¹⁴ 9.4944304055e-32 1.6479709035e-32 -1.7479997184e-33 C107 x ¹² y ² -2.2379567610e-32 4.6649845790e-32 -4.5709256933e-32 C109 x ¹⁰ y ⁴ -1.2744733257e-31 9.4053121629e-32 -1.1375402961e-31 C111 x ⁸ y ⁶ -1.3676405733e-31 1.4112588441e-31 -9.5167890265e-32 C113 x ⁶ y ⁸ -4.8044027096e-32 2.1027942386e-32 6.4999375185e-31 C115 x ⁴ y ¹⁰ 8.6017199655e-32 -2.6787661182e-32 4.6975928348e-31 C117 x ² y ¹² 6.0854450474e-32 -6.6568569170e-32 -1.7582233590e-31 C119 y ¹⁴ -1.0284469876e-32 -4.0793161454e-32 -1.4522306730e-31 C121 x ¹⁴ y 3.1267214731e-34 4.6779505863e-35 -1.1529495476e-34 C123 x ¹² y ³ 9.6455428904e-35 -1.2719508659e-33 -5.3633688223e-34 C125 x ¹⁰ y ⁵ -8.4809376935e-34 -5.3720614030e-33 -2.1940958088e-34 C127 x ⁸ y ⁷ -5.3080027005e-34 -9.2387885901e-33 1.2908461191e-33 C129 x ⁶ y ⁹ -2.8306036038e-34 -8.2587639537e-33 4.4597140346e-34 C131 x ⁴ y ¹¹ 2.5516377677e-34 -3.0985001122e-33 -3.9090838599e-33 C133 x ² y ¹³ 1.9016823907e-34 -1.1195051035e-33 -4.2912120440e-33 C135 y ¹⁵ 1.1401270729e-35 4.1574916874e-34 -2.9489453121e-33 C136 x ¹⁶ -3.7265498406e-36 -6.3347025333e-37 1.6588405050e-38 C138 x ¹⁴ y ² 5.4687452275e-37 -1.5048036293e-36 1.1308012971e-36 C140 x ¹² y ⁴ 7.3815464374e-36 6.5609320018e-37 3.0591998365e-36 C142 x ¹⁰ y ⁶ 9.6594125271e-36 4.3080993087e-36 1.4798911506e-35 C144 x ⁸ y ⁸ 9.9699512579e-36 1.1790305226e-35 -9.4870136557e-36 C146 x ⁶ y ¹⁰ 1.4809001485e-36 1.7193036202e-35 -5.9312845637e-35 C148 x ⁴ y ¹² -5.3263042665e-36 7.9974811876e-36 -2.8252685550e-35 C150 x ² y ¹⁴ -2.7513716463e-36 6.3462970192e-36 -1.5733400633e-37 C152 y ¹⁶ 3.9060276253e-37 2.2267955893e-36 2.2391133152e-36 C154 x ¹⁶ y -3.8184194689e-39 -1.6721718261e-39 3.1182364210e-39 C156 x ¹⁴ y ³ -5.1564129843e-39 3.0378335191e-38 2.1281069730e-38 C158 x ¹² y ⁵ 4.0722029175e-38 1.7841790380e-37 3.9494509080e-38 C160 x ¹⁰ y ⁷ 3.7024162093e-38 3.9017208083e-37 3.9057839063e-38 C162 x ⁸ y ⁹ 2.8413931724e-38 4.9978754062e-37 -1.7216300602e-37 C164 x ⁶ y ¹¹ 1.1635179260e-38 3.454746161 1e-37 -1.6857715545e-37 C166 x ⁴ y ¹³ -1.0472531019e-38 1.1160346663e-37 9.0902257907e-38 C168 x ² y ¹⁵ -4.9961393802e-39 4.4383205734e-38 1.8689023660e-37 C170 y ^17th -2.7777464071e-40 -1.2136040019e-38 1.1427093579e-37 C171 x ¹⁸ 7.2762753642e-41 1.3738916674e-41 5.1565791718e-43 C173 x ¹⁶ y ² -1.4586519280e-41 2.8742426268e-41 -4.7695707059e-42 C175 x ¹⁴ y ⁴ -2.4114463208e-40 -1.3581385313e-40 2.4490031886e-41 C177 x ¹² y ⁶ -3.5836736081e-40 -5.7144070907e-40 -2.6739924502e-40 C179 x ¹⁰ y ⁸ -4.7600963443e-40 -1.1693425742e-39 -3.5229547771e-40 C181 x ⁸ y ¹⁰ -3.7596891271e-40 -1.5023824797e-39 6.7284587568e-40 C183 x ⁶ y ¹² 2.2965320951e-42 -1.2500491983e-39 1.6457449415e-39 C185 x ⁴ y ¹⁴ 1.6408441449e-40 -4.0487450550e-40 7.9087634051e-40 C187 x ² y ¹⁶ 6.4952344991e-41 -2.6240326567e-40 4.1882636033e-40 C189 y ^18th -8.6069414747e-42 -5.7472487238e-41 1.3520144487e-40 C191 x ¹⁸ y -3.2384129934e-44 2.1162947420e-44 -3.4667014951e-44 C193 x ¹⁶ y ³ 7.3098323445e-44 -2.8674401027e-43 -3.0739542985e-43 C195 x ¹⁴ y ⁵ -6.7817409394e-43 -2.3335942840e-42 -7.8653432441e-43 C197 x ¹² y ⁷ -9.1569622497e-43 -6.3052888556e-42 -2.8236272989e-42 C199 x ¹⁰ y ⁹ -6.8368446744e-43 -1.0028700320e-41 -3.4782208787e-43 C201 x ⁸ y ¹¹ -6.0695043608e-43 -1.0452711912e-41 1.0729041894e-41 C203 x ⁶ y ¹³ -1.1243757108e-43 -5.6319889339e-42 8.1709910206e-42 C205 x ⁴ y ¹⁵ 1.6548470920e-43 -1.7044270537e-42 3.2019513666e-43 C207 x ² y ¹⁷ 4.8737594427e-44 -7.0483673470e-43 -3.3802779038e-42 C209 y ^19th 3.9918457086e-45 1.6104753006e-43 -1.8130601364e-42 C210 x ²⁰ -4.7235429464e-46 -1.3307943610e-46 -1.0478119004e-47 C212 x ¹⁸ y ² 3.9586362177e-46 -2.4442659611e-46 -1.8420028836e-46 C214 x ¹⁶ y ⁴ 3.3941722435e-45 2.4451863348e-45 -1.4737332033e-45 C216 x ¹⁴ y ⁶ 5.7155008237e-45 1.2590788987e-44 -1.4259191305e-45 C218 x ¹² y ⁸ 8.1990077123e-45 2.9455198615e-44 -8.1792036792e-45 C220 x ¹⁰ y ¹⁰ 9.1833877961e-45 4.2557829591e-44 8.5222371201e-45 C222 x ⁸ y ¹² 5.3420745478e-45 4.3755324130e-44 2.0833855022e-44 C224 x ⁶ y ¹⁴ -5.4403510624e-46 2.6107537616e-44 1.2000800965e-44 C226 x ⁴ y ¹⁶ -1.9941894701e-45 6.9729556204e-45 -6.1010760750e-45 C228 x ² y ¹⁸ -6.0407488688e-46 4.2532564203e-45 -1.1308868621e-44 C230 y ²⁰ 7.9400040808e-47 4.7288812647e-46 -4.8723262955e-45  Table 3c for Fig. 13 coefficient formula M07 M08 M09 C2 y 4.3627027337e-04 -1.0632171428e-03 8.9419242028e-04 C3 x ² -4.5402171319e-06 5.8780258307e-06 -1.7538264074e-05 C5 y ² -1.3605674185e-05 2.3164312563e-05 1.8652495835e-05 C7 x ² y -2.8378579520e-07 -2.2805798314e-07 -5.6384195351e-07 C9 y ³ 5.6095276650e-08 1.3014960125e-07 -2.0914874120e-07 C10 x ⁴ -2.4903698983e-10 -5.6233353377e-11 2.9650398466e-10 C12 x ² y ² -3.4260769794e-10 1.0059267029e-10 3.1786146971e-10 C14 y ⁴ -4.8173750889e-10 -1.0178535231e-09 8.7799534073e-10 C16 x ⁴ y -7.8487511292e-13 -2.2319419218e-14 -6.3459414043e-13 C18 x ² y ³ -2.8805305567e-12 -3.4355740650e-13 -2.7527279746e-12 C20 y ⁵ -1.2821457030e-12 2.4889570661e-12 -4.3739280313e-12 C21 x ⁶ -3.3611126899e-17 2.5412342217e-17 -5.8715438440e-16 C23 x ⁴ y ² -4.4118206337e-15 2.5027261618e-16 1.9433491797e-15 C25 x ² y ⁴ -1.2553883238e-14 7.7344004515e-15 1.8300426409e-14 C27 y ⁶ -4.3517854425e-15 -1.6315091888e-14 2.4888658312e-14 C29 x ⁶ y -3.4440758625e-18 -3.3475429937e-18 9.7484347219e-18 C31 x ⁴ y ³ -3.1499613386e-17 1.1876887127e-17 -3.3191946749e-17 C33 x ² y ⁵ -7.2010728991e-17 -2.1822883960e-17 -1.2964433394e-16 C35 y ⁷ -6.1789526426e-17 5.9782197156e-17 -1.5832252145e-16 C36 x ⁸ -8.8196610825e-21 5.6210296572e-21 3.8021705428e-20 C38 x ⁶ y ² -4.9277830145e-20 -2.9993168714e-19 -9.8295503271e-21 C40 x ⁴ y ⁴ -1.4147472237e-19 -4.0886993235e-19 3.0552850512e-19 C42 x ² y ⁶ -4.6675444374e-19 -1.1032040092e-18 8.6246357605e-19 C44 y ⁸ 2.2291136570e-20 -6.3654662395e-19 6.7386139272e-19 C46 x ⁸ y 2.4912433771e-22 8.0922809021e-22 -3.9995163332e-21 C48 x ⁶ y ³ 6.4088130291e-22 -3.6508621802e-22 -4.3044422469e-21 C50 x ⁴ y ⁵ -4.3354706284e-22 5.1729693392e-21 1.3585260716e-21 C52 x ² y ⁷ -1.4987195359e-21 9.9802937998e-21 -5.4718620278e-21 C54 y ⁹ 9.4618304149e-21 2.0895023827e-21 -7.9248655696e-23 C55 x ¹⁰ 7.3816254748e-25 -8.4502313971e-25 -9.3178053010e-24 C57 x ⁸ y ² 2.8631327837e-24 6.0019728677e-23 5.2637896639e-24 C59 x ⁶ y ⁴ 7.7190900241e-24 6.2250109761e-23 8.7051666474e-24 C61 x ⁴ y ⁶ -5.2745640237e-23 2.3481969025e-22 -3.9545655605e-23 C63 x ² y ⁸ 2.9884261915e-23 4.2586160453e-22 5.8177233121e-23 C65 y ¹⁰ -1.2952849804e-22 1.6732687183e-22 4.6080646117e-23 C67 x ¹⁰ y -2.6118481737e-26 -1.1976198787e-25 7.9744854811e-25 C69 x ⁸ y ³ -6.4018380588e-26 -2.1249786483e-25 1.6369799930e-24 C71 x ⁶ y ⁵ -3.3526250123e-25 -1.3000479720e-24 -2.1336593838e-25 C73 x ⁴ y ⁷ -2.2162275936e-25 -2.8679478945e-24 -1.0232728177e-24 C75 x ² y ⁹ -1.2452504928e-24 -8.1813823028e-24 2.3477264967e-25 C77 y ¹¹ -6.7244994884e-25 -2.6974629844e-25 -1.1190824576e-24 C78 x ¹² -4.8294823165e-29 1.0030616198e-28 1.3508956937e-27 C80 x ¹⁰ y ² -2.5861453147e-28 -6.5453529304e-27 1.6947961815e-27 C82 x ⁸ y ⁴ -2.5653242016e-27 -8.6151125110e-27 -2.4248397372e-27 C84 x ⁶ y ⁶ 7.9473722665e-28 -1.3778237973e-26 4.9453512231e-27 C86 x ⁴ y ⁸ 7.9707301692e-27 -4.4041574378e-26 1.7355600975e-26 C88 x ² y ¹⁰ -1.1653437610e-26 -5.3049847366e-26 -1.6189642142e-26 C90 y ¹² 3.1517619662e-26 -4.8783557900e-26 2.2990840714e-27 C92 x ¹² y 1.5638477109e-30 1.0597676789e-29 -9.2983011757e-29 C94 x ¹⁰ y ³ 4.4977548487e-31 5.0313753845e-29 -3.0481496232e-28 C96 x ⁸ y ⁵ 1.1542824691e-29 1.6975593630e-28 -1.1821484047e-28 C98 x ⁶ y ⁷ 8.1772574849e-29 3.6030450012e-28 1.6130830238e-28 C100 x ⁴ y ⁹ 5.2449268549e-29 1.1047736236e-27 4.1586538621e-29 C102 x ² y ¹¹ 3.1277391772e-28 2.2781815297e-27 1.7580359840e-29 C104 y ¹³ -5.0030552619e-29 6.8130980223e-29 1.0724743931e-28 C105 x ¹⁴ 2.3522479106e-33 -8.4265563577e-33 -1.1352118226e-31 C107 x ¹² y ² 1.4537954259e-32 3.9711146848e-31 -5.5365812735e-31 C109 x ¹⁰ y ⁴ 1.6744862986e-31 7.2166504425e-31 -8.9973316629e-32 C111 x ⁸ y ⁶ 4.4656635312e-31 -1.3351405959e-31 2.7984504773e-31 C113 x ⁶ y ⁸ -4.5477884376e-31 -1.8701820143e-31 -1.5849957931e-30 C115 x ⁴ y ¹⁰ 3.5705276711e-31 -1.7709009771e-30 -1.7122176734e-30 C117 x ² y ¹² 1.6653793860e-30 -4.4915901944e-30 2.9091285674e-30 C119 y ¹⁴ -3.8816741463e-30 7.6344889993e-30 -7.0834972499e-31 C121 x ¹⁴ y -5.4391011838e-35 -5.5828751427e-34 6.4825445700e-33 C123 x ¹² y ³ 1.3340450925e-34 -4.7742891723e-33 2.9433391516e-32 C125 x ¹⁰ y ⁵ 1.0630448760e-33 -1.4575723815e-32 2.1628250047e-32 C127 x ⁸ y ⁷ -1.6047928652e-33 -1.1751813521e-32 1.6866296062e-33 C129 x ⁶ y ⁹ -1.3945114984e-32 -7.0923298192e-32 -3.1451680844e-32 C131 x ⁴ y ¹¹ -1.2486547606e-33 -1.5593980773e-31 1.1803250259e-32 C133 x ² y ¹³ -3.9945910763e-32 -2.7852871164e-31 -2.3011316441e-32 C135 y ¹⁵ 1.1662288016e-32 -1.7401834572e-32 -4.3354526981e-33 C136 x ¹⁶ -7.2427482001e-38 4.0356382778e-37 5.8911372089e-36 C138 x ¹⁴ y ² -5.0418341814e-37 -1.2314368537e-35 6.3307114529e-35 C140 x ¹² y ⁴ -3.9726615304e-36 -2.2272950071e-35 7.1666849771e-35 C142 x ¹⁰ y ⁶ -1.6675351106e-35 2.1665500905e-35 -1.4181344236e-35 C144 x ⁸ y ⁸ -4.3606955187e-35 2.7632928039e-34 -9.2535454178e-35 C146 x ⁶ y ¹⁰ 1.6069593091e-35 4.1135106946e-34 3.7374470785e-34 C148 x ⁴ y ¹² -2.2390214251e-34 1.7376603307e-33 -9.5814515552e-35 C150 x ² y ¹⁴ -1.4309125022e-34 1.7531922223e-33 -8.9730761155e-35 C152 y ¹⁶ 2.5702458568e-34 -5.9550731828e-34 6.2965814400e-35 C154 x ¹⁶ y 9.6489692166e-40 1.5886479990e-38 -2.5264618786e-37 C156 x ¹⁴ y ³ -6.5574998546e-39 2.0974178393e-37 -1.4401665390e-36 C158 x ¹² y ⁵ -5.9286065474e-38 7.9595730901e-37 -1.4637453470e-36 C160 x ¹⁰ y ⁷ -1.4361044960e-37 -4.7728445714e-37 -1.2646189534e-36 C162 x ⁸ y ⁹ 1.5441274115e-37 9.3793306664e-37 2.1019675458e-36 C164 x ⁶ y ¹¹ 7.9696850943e-37 2.0219757331e-36 5.9639537257e-37 C166 x ⁴ y ¹³ -1.2613044575e-36 3.0002486918e-36 -8.0856861337e-38 C168 x ² y ¹⁵ 2.4510795251e-36 9.6593844954e-36 1.9254863749e-36 C170 y ^17th -7.5881168175e-37 2.2786946029e-36 -1.6856683976e-37 C171 x ¹⁸ 1.1886880421e-42 -1.0021717414e-41 -1.8560532838e-40 C173 x ¹⁶ y ² 8.1825648854e-42 1.4123138225e-40 -3.3425492178e-39 C175 x ¹⁴ y ⁴ 1.2431859200e-41 -4.6525834008e-40 -6.3456538583e-39 C177 x ¹² y ⁶ -7.3598416885e-41 -6.3942667261e-40 -3.5774518743e-39 C179 x ¹⁰ y ⁸ 3.0525335633e-40 -8.1428215131e-39 1.2241342320e-38 C181 x ⁸ y ¹⁰ 3.2950232068e-39 -1.8919313542e-38 -1.1454074836e-38 C183 x ⁶ y ¹² 1.3005368683e-39 -5.4758694133e-38 -1.7480459756e-38 C185 x ⁴ y ¹⁴ 1.4310109834e-38 -1.4092504299e-37 1.3533377779e-38 C187 x ² y ¹⁶ 6.7980134233e-39 -1.1937491626e-37 -9.0616955073e-39 C189 y ^18th -8.5638678996e-39 1.7862090383e-38 -6.9115414270e-40 C191 x ¹⁸ y -6.3883926262e-45 -1.8639634073e-43 4.2818680365e-42 C193 x ¹⁶ y ³ 1.1105211950e-43 -3.4723420795e-42 2.8395812276e-41 C195 x ¹⁴ y ⁵ 7.6979947415e-43 -1.8340253594e-41 3.5002832086e-41 C197 x ¹² y ⁷ 2.1718110412e-43 1.8000730062e-41 5.5262412730e-41 C199 x ¹⁰ y ⁹ 1.0061838369e-41 6.8645180715e-41 -4.4215878881e-41 C201 x ⁸ y ¹¹ -5.7692072460e-42 5.8508395088e-41 -4.7553037974e-41 C203 x ⁶ y ¹³ 2.0777744793e-41 4.2228609486e-40 3.7863425864e-41 C205 x ⁴ y ¹⁵ 1.0483565704e-40 7.1149760513e-40 -1.0321499360e-40 C207 x ² y ¹⁷ -5.5267328959e-41 3.4250835671e-40 1.4669732445e-41 C209 y ^19th 2.0516209130e-41 -1.0906315795e-40 4.6639561355e-42 C210 x ²⁰ -7.8647719948e-48 1.0057614572e-46 2.8750832519e-45 C212 x ¹⁸ y ² -2.2279117376e-47 4.0681220401e-46 6.9380452974e-44 C214 x ¹⁶ y ⁴ 7.5713231640e-46 2.7605021553e-44 1.7023016877e-43 C216 x ¹⁴ y ⁶ 1.6252246807e-45 4.3378533934e-44 2.0234584011e-43 C218 x ¹² y ⁸ 1.2976914513e-45 -1.1551954236e-43 -3.0057140602e-43 C220 x ¹⁰ y ¹⁰ 3.4776212806e-44 -3.5315980473e-44 1.0445638895e-43 C222 x ⁸ y ¹² -9.2749979422e-44 -2.0180488774e-43 3.7322990281e-43 C224 x ⁶ y ¹⁴ 1.8579225117e-43 -9.3499935217e-43 5.7696476748e-44 C226 x ⁴ y ¹⁶ 6.5554014130e-44 -1.1063324084e-42 2.3317538816e-43 C228 x ² y ¹⁸ -1.2639245086e-43 -1.9093048106e-43 -7.7808388962e-46 C230 y ²⁰ 1.355370691 le-43 1.1219589419e-43 -7.3006954671e-45  Table 3d for Fig. 13 coefficient formula M10 M11 C2 y 3.0670192030e-04 8.3827467538e-14 C3 x ² -3.8528532925e-05 3.3002942187e-06 C5 y ² -3.5113915798e-05 2.8096169979e-06 C7 x ² y 1.5620848889e-06 6.8063439480e-09 C9 y ³ -4.8467119962e-07 -1.0693885787e-08 C10 x ⁴ 4.7113312387e-09 -1.9824343l83e-11 C12 x ² y ² 9.5524326734e-09 -4.7384412206e-11 C14 y ⁴ 7.7833155970e-09 -2.4204728782e-11 C16 x ⁴ y 1.8194883819e-11 2.1125826244e-14 C18 x ² y ³ 9.1033306889e-12 1.8158583933e-15 C20 y ⁵ -2.0466030521e-11 -1.2934610687e-14 C21 x ⁶ 5.6654806622e-14 -5.0403471467e-17 C23 x ⁴ y ² 2.2796735765e-13 -1.6530444278e-16 C25 x ² y ⁴ 2.7388132273e-13 -1.7509850531e-16 C27 y ⁶ 1.6074410990e-13 -5.5860234472e-17 C29 x ⁶ y 2.8289812464e-16 4.1273571409e-20 C31 x ⁴ y ³ 5.5750183694e-16 5.6375550555e-20 C33 x ² y ⁵ -2.6220262433e-16 -7.2368203826e-21 C35 y ⁷ -4.3008403334e-16 -1.5781942870e-20 C36 x ⁸ 2.4176266270e-18 -1.0188739191e-22 C38 x ⁶ y ² 6.8941006881e-18 -4.5193027785e-22 C40 x ⁴ y ⁴ 9.5407082622e-18 -7.0134738927e-22 C42 x ² y ⁶ 9.7375365753e-18 -4.6015252315e-22 C44 y ⁸ 1.0769039133e-17 -1.4406927046e-22 C46 x ⁸ y 1.0698644541e-20 7.9736465169e-26 C48 x ⁶ y ³ 2.1930253184e-20 1.5506043755e-25 C50 x ⁴ y ⁵ -4.3828727994e-20 -4.7336578100e-26 C52 x ² y ⁷ -8.4153857207e-20 -1.9460570478e-25 C54 y ⁹ -1.1397832489e-19 -7.2030581682e-26 C55 x ¹⁰ -5.0508207199e-22 -2.3994795272e-28 C57 x ⁸ y ² -4.5077240898e-22 -1.2192960517e-27 C59 x ⁶ y ⁴ -4.3308510070e-22 -2.7758275151e-27 C61 x ⁴ y ⁶ 1.5218726492e-22 -3.2690323368e-27 C63 x ² y ⁸ -2.4327923181e-23 -1.9582111043e-27 C65 y ¹⁰ -1.7153584008e-21 1.2563460679e-28 C67 x ¹⁰ y 6.1379998058e-26 2.9550171006e-31 C69 x ⁸ y ³ -3.6562185851e-24 1.5812493186e-30 C71 x ⁶ y ⁵ 8.3666857090e-24 4.0062760562e-30 C73 x ⁴ y ⁷ 3.7771283255e-23 5.8474186753e-30 C75 x ² y ⁹ 3.1754359277e-23 3.4308124880e-30 C77 y ¹¹ 3.6264189220e-23 6.8796580754e-31 C78 x ¹² 1.229300933 1e-25 -1.3506745174e-34 C80 x ¹⁰ y ² 1.4931416607e-25 -2.2290061121e-33 C82 x ⁸ y ⁴ 2.5144870907e-25 1.6999297348e-33 C84 x ⁶ y ⁶ 2.1193008397e-25 8.3769557287e-33 C86 x ⁴ y ⁸ -8.7536637358e-27 2.1142584486e-32 C88 x ² y ¹⁰ 1.1634645621e-25 1.2933797404e-32 C90 y ¹² 3.5307905637e-25 -4.5201306552e-33 C92 x ¹² y -8.9864979646e-29 -1.4100927761e-36 C94 x ¹⁰ y ³ 9.5093022472e-28 -1.5507236395e-35 C96 x ⁸ y ⁵ 6.1474586368e-28 -4.4557413604e-35 C98 x ⁶ y ⁷ -7.7048806132e-27 -9.5931040064e-35 C100 x ⁴ y ⁹ -1.5219268610e-26 -1.0322115459e-34 C102 x ² y ¹¹ -1.0922116917e-26 -4.5479915020e-35 C104 y ¹³ -9.0998061019e-27 -7.0107904421e-36 C105 x ¹⁴ -1.7823245750e-29 -2.3936973544e-39 C107 x ¹² y ² -2.6184207954e-29 3.8117597055e-39 C109 x ¹⁰ y ⁴ -5.1985377617e-29 -1.3315592727e-37 C111 x ⁸ y ⁶ -6.0120770483e-29 -2.6748104412e-37 C113 x ⁶ y ⁸ -2.8666825959e-29 -4.9455743532e-37 C115 x ⁴ y ¹⁰ 4.2361497961e-29 -5.1762888888e-37 C117 x ² y ¹² -5.9774924420e-30 -2.0178747020e-37 C119 y ¹⁴ -3.3808533807e-29 2.9980440282e-38 C121 x ¹⁴ y 1.8665865537e-32 8.7022676667e-42 C123 x ¹² y ³ -7.6407723617e-32 1.5868362832e-40 C125 x ¹⁰ y ⁵ -3.0321980147e-31 4.3347699881e-40 C127 x ⁸ y ⁷ 6.2443524207e-31 9.0086162280e-40 C129 x ⁶ y ⁹ 2.5105200723e-30 1.3495361793e-39 C131 x ⁴ y ¹¹ 3.2667833701e-30 1.0010892754e-39 C133 x ² y ¹³ 2.0988856167e-30 3.3128331656e-40 C135 y ¹⁵ 1.3097929613e-30 3.3099630301e-41 C136 x ¹⁶ 1.5445351050e-33 -2.9865975685e-45 C138 x ¹⁴ y ² 2.9451918331e-33 -2.0240429582e-43 C140 x ¹² y ⁴ 6.9628538017e-33 7.5782232576e-43 C142 x ¹⁰ y ⁶ 9.5388810915e-33 1.8576760309e-42 C144 x ⁸ y ⁸ 9.0730617364e-33 3.7538220218e-42 C146 x ⁶ y ¹⁰ -1.2642162304e-33 6.0130269124e-42 C148 x ⁴ y ¹² -1.4918667987e-32 4.6034881864e-42 C150 x ² y ¹⁴ -4.1999601884e-33 1.3830191576e-42 C152 y ¹⁶ 1.2078069158e-34 -1.4779550510e-43 C154 x ¹⁶ y -1.3606513376e-36 -4.0242745965e-48 C156 x ¹⁴ y ³ 2.0568487922e-36 -6.9432335550e-46 C158 x ¹² y ⁵ 3.1451539514e-35 -2.2088816925e-45 C160 x ¹⁰ y ⁷ -7.0005578928e-37 -4.3371999123e-45 C162 x ⁸ y ⁹ -1.8233122452e-34 -7.8958817566e-45 C164 x ⁶ y ¹¹ -3.5986696747e-34 -8.7250234174e-45 C166 x ⁴ y ¹³ -3.7346697350e-34 -4.8945034904e-45 C168 x ² y ¹⁵ -2.2443699776e-34 -1.3158969032e-45 C170 y ^17th -1.0320310239e-34 -7.5219973819e-47 C171 x ¹⁸ -7.3082772364e-38 4.2840141452e-50 C173 x ¹⁶ y ² -1.7901839251e-37 1.1341228118e-48 C175 x ¹⁴ y ⁴ -5.1009839430e-37 -2.9040146283e-48 C177 x ¹² y ⁶ -7.7029814292e-37 -9.7506368116e-48 C179 x ¹⁰ y ⁸ -9.4686795008e-37 -1.8058496908e-47 C181 x ⁸ y ¹⁰ -5.6356136680e-37 -3.4224856855e-47 C183 x ⁶ y ¹² 1.1426556051e-36 -3.9162171658e-47 C185 x ⁴ y ¹⁴ 2.3350016709e-36 -2.2281259843e-47 C187 x ² y ¹⁶ 9.5697040715e-37 -5.4077434854e-48 C189 y ^18th 2.5907545498e-37 3.8036124447e-49 C191 x ¹⁸ y 3.5190759065e-41 -3.4696241679e-53 C193 x ¹⁶ y ³ 1.5953396507e-41 1.2739742132e-51 C195 x ¹⁴ y ⁵ -1.0419563163e-39 5.0427999622e-51 C197 x ¹² y ⁷ -1.6310687493e-39 9.6918040024e-51 C199 x ¹⁰ y ⁹ 4.1734196895e-39 1.7873875340e-50 C201 x ⁸ y ¹¹ 1.3746894196e-38 2.6138487422e-50 C203 x ⁶ y ¹³ 1.9552599414e-38 2.1444892006e-50 C205 x ⁴ y ¹⁵ 1.7657112313e-38 9.5327971600e-51 C207 x ² y ¹⁷ 1.0082898809e-38 2.1537220826e-51 C209 y ^19th 3.4033600694e-39 4.3475313340e-53 C210 x ²⁰ 1.4606665265e-42 -1.4459441162e-55 C212 x ¹⁸ y ² 4.4506085788e-42 -2.7106927162e-54 C214 x ¹⁶ y ⁴ 1.5364404393e-41 2.5459349858e-54 C216 x ¹⁴ y ⁶ 2.5630855208e-41 1.7094946247e-53 C218 x ¹² y ⁸ 3.3905546714e-41 3.1867446397e-53 C220 x ¹⁰ y ¹⁰ 3.8493078351e-41 6.6406559406e-53 C222 x ⁸ y ¹² -9.1333699019e-42 1.0570753593e-52 C224 x ⁶ y ¹⁴ -1.0695825866e-40 9.1459357772e-53 C226 x ⁴ y ¹⁶ -1.3604044376e-40 4.1435205616e-53 C228 x ² y ¹⁸ -6.1188301506e-41 8.4557337127e-54 C230 y ²⁰ -1.5104588567e-41 -4.4103418310e-55  Table 4 for Fig. 13 Coordinates of the aperture edge x _i [mm] y _i [mm] x _{i + N / 2} [mm] y _{i + N / 2} [mm] 41.517951 4.363712 -41.257230 -4.336310 40.955912 8.705448 -40.450463 -8.598011 39.931182 12.974427 -39.211498 -12.740588 38.450937 17.119460 -37.559233 -16.722448 36.529051 21.090058 -35.515559 -20.504918 34.185992 24.837577 -33.104824 -24.052063 31.448432 28.316295 -30.353517 -27.330429 28.351378 31.487395 -27.290183 -30.308818 24.925311 34.306747 -23.947874 -32.961421 21.215144 36.745707 -20.354007 -35.254174 17.264722 38.777201 -16.547772 -37.166905 13.120049 40.379358 -12.567398 -38.678475 8.828620 41.535393 -8.453667 -39.771377 4.438912 42.233423 -4.249615 -40.432387 0.000000 42.466479 0.000000 -40.653160 -4.438912 42.233423 4.249615 -40.432387 -8.828620 41.535393 8.453667 -39.771377 -13.120049 40.379358 12.567398 -38.678475 -17.264722 38.777201 16.547772 -37.166905 -21.215144 36.745707 20.354007 -35.254174 -24.925311 34.306747 23.947874 -32.961421 -28.351378 31.487395 27.290183 -30.308818 -31.448432 28.316295 30.353517 -27.330429 -34.185992 24.837577 33.104824 -24.052063 -36.529051 21.090058 35.515559 -20.504918 -38.450937 17.119460 37.559233 -16.722448 -39.931182 12.974427 39.211498 -12.740588 -40.955912 8.705448 40.450463 -8.598011 -41.517951 4.363712 41.257230 -4.336310 -41.616613 0.000000 41.616613 0.000000

Die Spiegel M1, M5 bis M8 und M11 haben negative Radiuswerte, sind also grundsätzlich Konkavspiegel. Die Spiegel M2 und M10 haben positive Radiuswerte, sind grundsätzlich also Konvexspiegel. Die Spiegel M3, M4, M9 haben R_x , R_y-Radiuswerte mit jeweils sich unterscheidenden Vorzeichen, haben also grundsätzlich die Form jeweils einer Sattelfläche.The mirror M1 . M5 to M8 and M11 have negative radius values, so they are basically concave mirrors. The mirror M2 and M10 have positive radius values, so they are basically convex mirrors. The mirror M3 . M4 . M9 to have R _x , R _y radius values, each with a different sign, basically have the shape of a saddle surface.

Eine Berandung einer Blendenfläche der Blende (vgl. auch die Tabelle 4 zur 13) ergibt sich durch Durchstoßpunkte an der Blendenfläche aller Strahlen des Beleuchtungslichts 3, die bildseitig am Feldmittelpunkt mit einer vollen bildseitigen telezentrischen Apertur in Richtung der Blendenfläche propagieren. Bei der Ausführung der Blende als Aperturblende handelt es sich bei der Berandung um eine innere Berandung.A boundary of an aperture surface of the aperture (see also Table 4 for 13 ) results from puncture points on the diaphragm surface of all rays of the illuminating light 3 that propagate on the image side at the center of the field with a full image-side telecentric aperture in the direction of the diaphragm surface. When the diaphragm is designed as an aperture diaphragm, the border is an inner border.

Die Blende AS kann in einer Ebene liegen oder auch dreidimensional ausgeführt sein. Die Ausdehnung der Blende AS kann in Scanrichtung (y) kleiner sein als in crossScanrichtung (x).The aperture AS can lie in one plane or can also be three-dimensional. The extent of the aperture AS can be smaller in the scan direction (y) than in the crossScan direction (x).

Weitere Daten der Projektionsoptik 7 ergeben sich aus der nachfolgenden Tabelle 5: Tabelle 5 zu Fig. 13 NA Numerische Apertur 0.55 |βx| Vergrößerungsmaßstab in Crossscanrichtung 4 |βy| Vergrößerungsmaßstab in Scanrichtung 8 RMS gescannte Wellenfrontabweichung 8 mλ EP Lage der Eintrittspupille -2.3 m N Anzahl der Spiegel 11 Further data of the projection optics 7 are shown in Table 5 below: Table 5 for FIG. 13 N / A Numerical aperture 00:55 | Βx | Magnification scale in cross scan direction 4 βy | | Magnification scale in the scan direction 8th RMS scanned wavefront deviation 8 mλ EP Location of the entrance pupil -2.3 m N Number of mirrors 11

Der in der Tabelle 5 angegebene Wert NA bezeichnet die bildseitige numerische Apertur der Projektionsoptik. Es handelt sich hier also um eine andere Größe als die oben eingeführte Größe NA, die ein Maß ist für einen Winkel zwischen einer Normalen auf der zu prüfenden optischen Oberfläche und einer optischen Achse.The value NA given in Table 5 denotes the numerical aperture of the projection optics on the image side. It is therefore a different size than the size NA introduced above, which is a measure of an angle between a normal on the optical surface to be tested and an optical axis.

Die Projektionsoptik 7 ist ausgelegt auf eine Wellenlänge des Beleuchtungslichts 3 von 13,5 nm.The projection optics 7 is designed for a wavelength of the illuminating light 3 of 13.5 nm.

Der mittlere Wellenfrontfehler RMS (gescannte Wellenfrontabweichung) ist ein Maß für die Abbildungsqualität der Projektionsoptik 7.The mean wavefront error RMS (scanned wavefront deviation) is a measure of the imaging quality of the projection optics 7 ,

Die negativen Werte in der Tabelle 5 für die Positionen der Eintrittspupille bedeuten, dass die Eintrittspupille sowohl in der xz-Ebene (Wert EP(x)) als auch in der yz-Ebene (Wert EP(y)) im Abbildungslichtstrahlengang vor dem Objektfeld 4 liegt. Ein positiver Wert für EP würde bedeuten, dass die Eintrittspupille in der jeweiligen Ebene im Abbildungslichtstrahlengang nach dem Objektfeld 4 liegt.The negative values in Table 5 for the positions of the entrance pupil mean that the entrance pupil both in the xz plane (value EP (x)) and in the yz plane (value EP (y)) in the imaging light beam path in front of the object field 4 lies. A positive value for EP would mean that the entrance pupil in the respective plane in the imaging light beam path after the object field 4 lies.

Die Projektionsoptik 7 ist bildseitig näherungsweise telezentrisch.The projection optics 7 is approximately telecentric on the image side.

14 zeigt in einer hinsichtlich der (r, NA)-Bereiche ähnlichen Darstellung wie 11 die tatsächlichen (r, NA)-Bereiche für die genutzten optischen Oberflächen, also die Reflexionsflächen der Spiegel M1 bis M11. 14 shows in a similar representation with respect to the (r, NA) areas as 11 the actual (r, NA) areas for the optical surfaces used, i.e. the reflection surfaces of the mirrors M1 to M11 ,

15 zeigt in einem d_max/a-Diagramm, welches demjenigen der 12 entspricht, die Abhängigkeit der Arbeitsabstände a_min , a_max für einen jeweils vorgegebenen Radius d_max des DOE 16 entsprechend dem, was vorstehend zu 12 erläutert wurde, für die tatsächlichen (r, NA)-Bereiche der Spiegel M1 bis M11 nach 14. Soweit ein Arbeitsabstand zwischen Werten a_min = 70 mm und a_max = 1000 mm verstellbar ist, kann mit einem DOE 16 mit einem Radius d_max von 180 mm gearbeitet werden. Soweit überhaupt keine Arbeitsabstands-Verstellung innerhalb der Oberflächenprofil-Messeinrichtung 15 gewünscht ist, muss ein DOE 16 mit einem Radius d_max von etwa 260 mm eingesetzt werden. 15 shows in a _max / a diagram which corresponds to that of the 12 corresponds to the dependence of the working distances a _min . a _max for a given radius d _max of the DOE 16 according to what above about 12 was explained for the actual (r, NA) ranges of the mirrors M1 to M11 to 14 , If a working distance between a _min = 70 mm and a _max = 1000 mm can be adjusted, a DOE 16 with a radius d _max of 180 mm. So far no working distance adjustment within the surface profile measuring device 15 a DOE is required 16 with a radius d _max of about 260 mm can be used.

Die 16 zeigt eine weitere Ausführung einer Projektionsoptik 32, die anstelle der Projektionsoptik 7 bei der Projektionsbelichtungsanlage 1 zum Einsatz kommen kann. Komponenten und Funktionen, die denjenigen entsprechen, die vorstehend unter Bezugnahme auf die 1 bis 15 bereits erläutert wurden, tragen die gleichen Bezugsziffern und werden nicht nochmals im Einzelnen diskutiert.The 16 shows a further embodiment of a projection optics 32 that instead of the projection optics 7 in the projection exposure system 1 can be used. Components and functions corresponding to those described above with reference to the 1 to 15 have already been explained, have the same reference numbers and will not be discussed again in detail.

Vom Grundaufbau entspricht die Projektionsoptik 32 der Projektionsoptik 7.The projection optics correspond to the basic structure 32 the projection optics 7 ,

Die optischen Designdaten ergeben sich aus den nachfolgenden Tabellen 1 bis 5, die wiederum vom Grundaufbau her den Tabellen 1 bis 5 zur Ausführung nach 13 entsprechen. Tabelle 1 zu Fig. 16 Radien der Flächen Radius_x [mm] Power_x [1/mm] Radius_y [mm] Power_y [1/mm] M01 -2021.87501371 0.00097336 -1520.93967559 0.00129395 M02 1002.16276589 -0.00039379 2384.39445642 -0.00016551 M03 1314.58510328 -0.00036891 -2101.99084278 0.00023072 M04 3774.64486736 -0.00007142 -2915.44747324 0.00009246 M05 -54391.95049590 0.00000586 -3431.01042024 0.00009284 M06 -1916.08078452 0.00020237 -1976.59537885 0.00019617 M07 -1016.86544995 0.00038296 -2157.85069272 0.00018046 M08 -767.50947340 0.00050993 -4482.58916000 0.00008731 M09 -1080.18670019 0.00041822 45503.37193117 -0.00000993 M10 490.57896095 -0.00407673 344.90317246 -0.00579861 M11 -704.89628154 0.00281516 -704.68069605 0.00281602 Tabelle 2 zu Fig. 16 Dezentrierungen (Ort, Winkel) der Flächen D_x [mm] D_y [mm] D_z [mm] Retikel 0.000000000 -2267.139931885 2300.433352748 M01 0.000000000 -2100.940998589 437.191257986 M02 0.000000000 -1824.889718473 1440.428584933 M03 0.000000000 -1652.430719454 1663.271155610 M04 0.000000000 -1244.022039697 1843.597056605 M05 0.000000000 -831.420724290 1899.954415792 M06 0.000000000 -433.182523805 1828.015957247 M07 -0.000000000 -115.754707787 1627.420430346 M08 -0.000000000 35.622424325 1410.636874243 M09 -0.000000000 100.212788641 1122.048344747 M10 0.000000000 -148.504171004 107.297107593 Blende 0.000000000 -108.365021588 259.403508738 M11 0.000000000 0.000000000 670.050313257 Wafer 0.000000000 0.000000000 0.000000000 α_x [°] α_y [°] α_z [°] Retikel -0.000000000 -0.000000000 180.000000000 M01 174.856211953 0.000000000 -0.000000000 M02 63.439364884 0.000000000 0.000000000 M03 38.043284781 -0.000000000 0.000000000 M04 15.800479044 -0.000000000 0.000000000 M05 -1.230834398 -0.000000000 0.000000000 M06 -21.265020970 -0.000000000 0.000000000 M07 -43.682179870 -0.000000000 0.000000000 M08 -66.229088205 -0.000000000 -0.000000000 M09 269.421973314 -0.000000000 -0.000000000 M10 165.722753014 0.000000000 -0.000000000 Blende 3.280517175 180.000000000 0.000000000 M11 -7.391356018 0.000000000 0.000000000 Wafer 0.000000000 0.000000000 0.000000000 Tabelle 3a zu Fig. 16 Freiformkoeffizienten der Flächen Koeffizient Formel M01 M02 M03 C2 y -2.4117833867e-04 -5.3430320537e-03 -1.4111911276e-03 C3 x² 1.0586894430e-07 1.4483417946e-06 -1.2686859562e-05 C5 y² -1.1529125244e-06 -1.9038158550e-05 1.9202920208e-05 C7 x² y 3.4611634108e-08 4.3424076576e-07 -2.4172021823e-07 C9 y³ -1.3784586770e-08 1.8714134563e-07 -8.4220506880e-08 C10 x⁴ -4.0447993573e-12 1.3567700193e-10 2.3279789646e-10 C12 x² y² 4.0871816601e-11 3.0697485793e-10 -3.9817189859e-12 C14 y⁴ -2.0985142265e-11 6.8877230615e-10 -1.3652527865e-10 C16 x⁴ y -7.3590066436e-16 -6.9935456587e-14 6.9675166213e-13 C18 x² y³ 7.3164080091e-14 5.1752558006e-13 -6.1806551283e-13 C20 y⁵ -1.3864879593e-13 1.1508907358e-12 7.3525568213e-13 C21 x⁶ -8.5326099454e-19 -6.3565264535e-16 1.8303075303e-15 C23 x⁴ y² -2.7445000404e-17 -8.2273856254e-15 -1.4376923029e-15 C25 x² y⁴ 1.4553057895e-16 -3.7518907937e-16 3.4191272281e-15 C27 y⁶ -1.5853764338e-16 4.8134873278e-16 -4.6319295187e-15 C29 x⁶ y -3.4848622615e-21 -1.5846559982e-17 2.1674109828e-17 C31 x⁴ y³ -6.9142170911e-20 -5.4878655770e-17 3.5982270766e-17 C33 x² y⁵ 3.1837171341e-19 2.2195437302e-18 -1.2484292582e-17 C35 y⁷ -2.4799590072e-19 -4.9770543535e-17 2.9355001240e-17 C36 x⁸ -9.8895827193e-24 1.3721679459e-19 1.8396137526e-19 C38 x⁶ y² 4.8172008429e-24 1.9186187100e-19 3.5939011165e-19 C40 x⁴ y⁴ 4.4118194591e-23 -5.3300244698e-20 2.8126053937e-19 C42 x² y⁶ -7.8933131436e-23 4.9660922029e-21 -6.0062323624e-20 C44 y⁸ 2.4045366948e-21 -4.5851717152e-19 -1.8732777544e-19 C46 x⁸y 1.5152931947e-25 1.7043624040e-21 -1.2302405024e-21 C48 x⁶ y³ 1.2199898356e-24 1.1004689383e-21 -6.9044431649e-21 C50 x⁴ y⁵ -1.9236747700e-24 -7.3315319570e-22 -7.6163436240e-21 C52 x²y⁷ -3.3494988192e-23 2.1288485030e-21 -1.0569726989e-21 C54 y⁹ 2.8885952297e-24 -2.3214088100e-21 -1.6773720182e-21 C55 x¹⁰ 2.2269729277e-28 -1.3716891114e-23 -2.3984139781e-23 C57 x⁸ y² 2.1942719073e-28 -4.6846375601e-23 -5.8727281204e-23 C59 x⁶ y⁴ -2.1830095146e-27 -6.3537757712e-23 -1.0852789317e-22 C61 x⁴ y⁶ 7.2071195553e-27 -2.1957825816e-23 -7.5259313757e-23 C63 x²y⁸ 1.2356594035e-25 4.3527267232e-23 5.8943487348e-23 C65 y¹⁰ 2.9826349856e-25 2.5985963804e-24 1.2232695927e-22 C67 x¹⁰ y -2.6514062614e-30 -1.2967488803e-25 1.4855372718e-25 C69 x⁸ y³ -3.6724375220e-29 -2.2174303032e-25 1.0552182596e-24 C71 x⁶ y⁵ -2.0047253548e-29 -9.7938142894e-26 1.5050588274e-24 C73 x⁴y⁷ 7.5752858590e-28 5.7236979140e-26 1.3533022273e-24 C75 x² y⁹ 3.6437558319e-27 -1.6115792398e-25 2.5057013445e-25 C77 y¹¹ 1.4836129698e-27 -6.9006079732e-26 -1.3358693451e-24 C78 x¹² -2.9745683457e-33 7.7863518689e-28 1.2749866678e-27 C80 x¹⁰ y² -5.1493564798e-33 4.3016738688e-27 7.0562250175e-27 C82 x⁸ y⁴ 3.3636238985e-33 7.8020012342e-27 1.5686363033e-26 C84 x⁶ y⁶ -4.0645088150e-31 6.0304387537e-27 2.5831626641e-26 C86 x⁴y⁸ -4.5459490219e-30 -9.6202242428e-28 8.4092378359e-27 C88 x²y¹⁰ -2.2591227996e-29 -7.5697395821e-27 -2.1541041531e-26 C90 y¹² -2.1052707201e-29 -2.0173857452e-27 -3.0109638733e-27 C92 x¹² y 2.5190612078e-35 5.5975281449e-30 -8.4252331664e-30 C94 x¹⁰ y³ 5.2733084032e-34 1.3499881173e-29 -9.0634413265e-29 C96 x⁸ y⁵ 1.2953592898e-33 1.0234066706e-29 -1.4300036944e-28 C98 x⁶y⁷ -9.9371249736e-33 -2.5750399964e-29 -2.1693110474e-28 C100 x⁴ y⁹ -7.4706174056e-32 -2.1027601919e-29 -1.4834329766e-28 C102 x²y¹¹ -2.5989470286e-31 -8.9807084841e-30 1.3645470253e-28 C104 y¹³ -3.7161670831e-32 1.9258073322e-30 1.2088372677e-28 C105 x¹⁴ 2.3410832531e-38 -2.5608019911e-32 -1.7200211538e-32 C107 x¹² y² 5.7529919141e-38 -2.0767146044e-31 -4.8279494724e-31 C109 x¹⁰ y⁴ 1.7999271064e-37 -4.9336580509e-31 -1.2305404479e-30 Clll x⁸ y⁶ 9.0473070921e-36 -6.1334518155e-31 -2.6071598193e-30 C113 x⁶ y⁸ 9.3287363061e-35 -3.7346997100e-31 -2.8909069661e-30 C115 x⁴ y¹⁰ 5.4144058132e-34 2.7405178861e-31 2.2189728550e-31 C117 x² y¹² 1.5155947230e-33 6.3215744975e-31 1.3869742966e-30 C119 y¹⁴ 1.2848508391e-33 1.9851353034e-31 -3.6066643528e-31 C121 x¹⁴ y -1.2309476389e-40 -1.2598503356e-34 2.6180386632e-34 C123 x¹² y³ -3.6595343261e-39 -3.6319987479e-34 3.9901721995e-33 C125 x¹⁰ y⁵ -1.6238588871e-38 -4.8190231627e-34 7.2751385938e-33 C127 x⁸ y⁷ 4.5987268282e-38 1.3828277551e-33 1.1490258788e-32 C129 x⁶ y⁹ 7.2825710327e-37 3.0236912025e-33 1.7785140912e-32 C131 x⁴ y¹¹ 3.2215332633e-36 2.9346600692e-33 1.7901538148e-33 C133 x² y¹³ 8.5480772074e-36 3.1005350953e-33 -1.5704787528e-32 C135 y¹⁵ -2.2452920390e-37 6.1585499893e-34 -3.6828737730e-33 C136 x¹⁶ -9.9989219247e-44 4.5004388524e-37 -8.2793138094e-37 C138 x¹⁴ y² -3.1299123653e-43 5.1334045211e-36 1.7356114083e-35 C140 x¹² y⁴ -1.3787323902e-42 1.5221924778e-35 5.3262662859e-35 C142 x¹⁰ y⁶ -6.9221645042e-41 2.5562636927e-35 1.1288097190e-34 C144 x⁸ y⁸ -9.8366527458e-40 3.0368413370e-35 2.1043283117e-34 C146 x⁶ y¹⁰ -5.6467860699e-39 1.4894647576e-35 1.2118280719e-34 C148 x⁴ y¹² -2.4887739787e-38 -9.7653505754e-36 -2.6510206475e-35 C150 x² y¹⁴ -4.9656900043e-38 -1.5810295404e-35 -2.5863797049e-36 C152 y¹⁶ -4.0693774313e-38 -7.6870325474e-36 2.4412118190e-35 C154 x¹⁶ y 2.4037939882e-46 1.1476918063e-39 -3.4011078818e-39 C156 x¹⁴ y³ 9.7994110849e-45 3.5843010705e-39 -6.8957100406e-38 C158 x¹² y⁵ 6.4274553566e-44 7.6943656280e-39 -1.5638281213e-37 C160 x¹⁰ y⁷ -3.5821575627e-45 -2.1638004484e-38 -2.0940087253e-37 C162 x⁸ y⁹ -2.3955149218e-42 -8.7551406073e-38 -4.8305968311e-37 C164 x⁶ y¹¹ -1.5063713409e-41 -1.1990020470e-37 -4.8025949327e-37 C166 x⁴ y¹³ -5.1470139964e-41 -1.5576655999e-37 3.1618652245e-37 C168 x² y¹⁵ -1.1016189653e-40 -1.5593452944e-37 4.6486230777e-37 C170 y¹⁷ 1.0486005681e-41 -5.7575753602e-38 -2.6485043104e-38 C171 x¹⁸ 1.7851779165e-49 -3.2518284418e-42 2.3843090985e-41 C173 x¹⁶ y² 6.5051510592e-49 -5.1142048408e-41 -2.5088647504e-40 C175 x¹⁴ y⁴ 2.0765981177e-48 -1.8245537540e-40 -9.8392433967e-40 C177 x¹² y⁶ 1.6200140565e-46 -3.7755139386e-40 -1.8896355275e-39 C179 x¹⁰ y⁸ 3.4909214099e-45 -6.6451886280e-40 -4.6225236755e-39 C181 x⁸ y¹⁰ 2.5096271295e-44 -7.7924587048e-40 -5.2057061194e-39 C183 x⁶ y¹² 1.1382309698e-43 -5.2533848213e-40 -1.5502130644e-39 C185 x⁴y¹⁴ 4.1568658097e-43 -3.8264311193e-40 -1.0431217799e-39 C187 x²y¹⁶ 6.4719156638e-43 -3.3037153389e-40 -1.3124993570e-39 C189 y¹⁸ 5.0265853345e-43 -1.1416911765e-40 -6.4527485487e-41 Tabelle 3b zu Fig. 16 Koeffizient Formel M04 M05 M06 C2 y 2.7282833852e-04 1.5389339803e-03 2.6696211732e-03 C3 x² 1.1902583488e-07 4.3466574373e-07 -4.8046564569e-06 C5 y² 5.4343723735e-06 3.6737032202e-06 3.7407592106e-06 C7 x² y -9.0272650301e-08 -9.7373704197e-08 -2.5453610489e-07 C9 y³ -1.0100220464e-08 -7.5260805131e-08 2.3802584752e-08 C10 x⁴ -2.4076375377e-10 4.0358927910e-11 -1.6676746014e-11 C12 x² y² 3.1758952732e-11 -2.3996704498e-10 -7.6073037086e-12 C14 y⁴ -2.8836307612e-10 -1.4844794937e-10 -2.8454062791e-10 C16 x⁴ y 1.2821317227e-12 1.8686249163e-13 -3.2863696719e-13 C18 x² y³ -1.2457817622e-12 -3.6769546389e-13 -7.7468306234e-13 C20 y⁵ 1.6113276817e-14 -4.0633004919e-13 -5.3616334382e-14 C21 x⁶ 4.2861406664e-15 3.5763015669e-16 -1.2077554683e-15 C23 x⁴ y² -3.9440958783e-15 -2.0487368290e-15 -4.2775007118e-16 C25 x² y⁴ 4.1096924414e-16 -2.1469964558e-15 3.1605488783e-16 C27 y⁶ -2.1098635675e-15 -5.1872768232e-16 -1.1455208261e-15 C29 x⁶ y -1.0287275728e-17 -3.9103800351e-18 1.7896981342e-18 C31 x⁴ y³ 2.0538261481e-17 -2.7570753401e-18 4.3861122567e-18 C33 x² y⁵ -1.2857269220e-17 -1.4476752380e-18 -8.6900136668e-18 C35 y⁷ 6.7617894334e-19 -5.7333774775e-18 2.1069176670e-18 C36 x⁸ -1.3127841901e-19 7.5289155805e-21 3.5916712486e-22 C38 x⁶ y² 1.3130246826e-19 4.5994773273e-20 1.5454685009e-20 C40 x⁴ y⁴ 2.4526104081e-20 3.4162183514e-21 -3.9121011257e-20 C42 x² y⁶ 6.2278993542e-20 -3.6478307842e-20 6.0305205168e-20 C44 y⁸ -9.2107678716e-21 8.2311654070e-20 -4.1797858834e-20 C46 x⁸ y -2.8853390485e-22 -5.2963353944e-23 6.7784214540e-23 C48 x⁶ y³ -7.0440015302e-22 -4.4058985810e-23 8.7776751858e-23 C50 x⁴ y⁵ -1.0133865492e-21 -1.3360068590e-21 7.7458055586e-22 C52 x² y⁷ -1.2565628943e-21 -3.3381408186e-22 7.6366021320e-24 C54 y⁹ -8.3264617897e-23 4.5124072312e-22 3.2965018606e-22 C55 x¹⁰ 1.2932007024e-23 2.9516831422e-26 -1.8984927492e-25 C57 x⁸ y² -4.9799374832e-24 -6.7001000910e-24 -8.6257518635e-25 C59 x⁶ y⁴ -1.3887984363e-23 -3.7096829228e-24 3.7921778405e-24 C61 x⁴ y⁶ -1.2549559722e-23 1.2014471384e-23 -9.6135023830e-25 C63 x² y⁸ -8.4188077260e-24 3.6841718264e-24 -1.0298167590e-23 C65 y¹⁰ -1.6215029958e-24 -1.0283510861e-23 3.0277573186e-24 C67 x¹⁰ y 2.6141473056e-26 6.1096186379e-27 -7.4581076126e-27 C69 x⁸ y³ 2.9326911854e-26 -2.1254398912e-26 -2.0081631358e-26 C71 x⁶ y⁵ 1.1409068838e-25 1.5338022959e-25 -4.9566440631e-26 C73 x⁴ y⁷ 1.8327990792e-25 2.4038288653e-25 -1.4824477106e-25 C75 x² y⁹ 8.5165207337e-26 6.1308534020e-28 -1.4511447167e-26 C77 y¹¹ 2.5025226561e-27 -6.1169403597e-26 -3.6353010747e-26 C78 x¹² -9.5979548228e-28 -7.6647081954e-29 1.9691740518e-29 C80 x¹⁰y² 2.4903261178e-29 5.3277671645e-28 5.8629465583e-29 C82 x⁸ y⁴ 1.6075063752e-27 5.6388201551e-28 -3.6168364234e-28 C84 x⁶y⁶ 1.3184440645e-27 -1.5092689310e-27 -1.1044669878e-27 C86 x⁴ y⁸ 1.1294234412e-27 -2.2645639111e-27 5.6588658570e-28 C88 x² y¹⁰ 6.7814375370e-28 -3.3555547765e-28 1.0797956527e-27 C90 y¹² 7.2206917540e-29 6.2935819276e-28 -4.6937614905e-28 C92 x¹² y -1.8335692259e-30 -5.0120320912e-31 4.5075398257e-31 C94 x¹⁰ y³ -1.3795894405e-30 2.6205683093e-30 1.3581749440e-30 C96 x⁸ y⁵ -4.5645041535e-30 -7.0229895459e-30 -3.4893767171e-31 C98 x⁶ y⁷ -1.3284024097e-29 -2.5418440741e-29 7.4819921687e-30 C100 x⁴ y⁹ -1.2118978852e-29 -1.8219707825e-29 1.4237803680e-29 C102 x²y¹¹ -4.1331322565e-30 2.0467369149e-30 2.0813116798e-30 C104 y¹³ -1.2112242630e-32 3.7294494680e-30 3.4054742793e-30 C105 x¹⁴ 4.3387094219e-32 5.8770694530e-33 -9.5412048211e-34 C107 x¹² y² 1.7516435523e-32 -2.4153318225e-32 -1.8855296065e-33 C109 x¹⁰ y⁴ -9.3882106425e-32 -4.5779394395e-32 1.6336240681e-32 C111 x⁸ y⁶ -9.5872914742e-32 7.6790288786e-32 7.8672586635e-32 C113 x⁶ y⁸ -6.5788000585e-32 2.1838270725e-31 9.2243038577e-32 C115 x⁴ y¹⁰ -6.7970375185e-32 1.7153231369e-31 -5.9860715798e-32 C117 x² y¹² -2.9207736038e-32 1.7527719524e-32 -4.1614084537e-32 C119 y¹⁴ -2.3532939123e-33 -2.2713234839e-32 3.3577865320e-32 C121 x¹⁴ y 6.2176526300e-35 1.8418692558e-35 -1.2963841541e-35 C123 x¹² y³ 5.1710024893e-35 -1.0763053480e-34 -4.5544163351e-35 C125 x¹⁰ y⁵ 4.6883328805e-35 7.6982072026e-35 1.1983277869e-34 C127 x⁸ y⁷ 3.8964792801e-34 1.0023335346e-33 3.3061525416e-34 C129 x⁶ y⁹ 6.1777812396e-34 1.3742716398e-33 -4.1210539013e-34 C131 x⁴ y¹¹ 3.6961729706e-34 6.0525325578e-34 -7.3933875840e-34 C133 x² y¹³ 9.1756412376e-35 -1.2489321224e-34 -2.7424274227e-34 C135 y¹⁵ -3.4407078310e-36 -1.1468725046e-34 -1.4335811108e-34 C136 x¹⁶ -1.0990102912e-36 -1.8781672730e-37 2.2842333000e-38 C138 x¹⁴ y² -9.7754322460e-37 5.4952412716e-37 1.7463590214e-38 C140 x¹² y⁴ 2.6849189615e-36 1.8361616978e-36 -3.3975776246e-37 C142 x¹⁰ y⁶ 3.8759041416e-36 -1.6733596754e-36 -1.1847679752e-36 C144 x⁸ y⁸ 2.2819947501e-36 -8.5120917565e-36 -3.4828731775e-36 C146 x⁶ y¹⁰ 2.2727672891e-36 -1.1037044961e-35 -2.8335811469e-36 C148 x⁴ y¹² 1.9865886745e-36 -6.1130480438e-36 7.3439036084e-37 C150 x² y¹⁴ 6.1871762398e-37 -5.2960848363e-37 1.3959883155e-37 C152 y¹⁶ 3.3630903934e-38 4.4985123039e-37 -1.4119261177e-36 C154 x¹⁶ y -8.4904257450e-40 -2.3350375781e-40 1.4343442851e-40 C156 x¹⁴ y³ -9.4062340183e-40 1.4882177437e-39 6.2973879380e-40 C158 x¹² y⁵ 4.5771048992e-40 1.3639502182e-39 -2.6173344716e-39 C160 x¹⁰ y⁷ -3.2429091009e-39 -1.2906189590e-38 -1.7095397825e-38 C162 x⁸ y⁹ -1.0068313898e-38 -2.8993397404e-38 -1.9841690523e-38 C164 x⁶y¹¹ -9.2909847072e-39 -2.4415559205e-38 7.7924424318e-39 C166 x⁴ y¹³ -3.9914253487e-39 -7.3385954155e-39 2.0300783648e-38 C168 x² y¹⁵ -7.8508117164e-40 2.0629652313e-39 7.8379103374e-39 C170 y¹⁷ 8.4500691197e-41 1.5037856500e-39 2.8744106584e-39 C171 x¹⁸ 1.2196950209e-41 2.1738511630e-42 -2.0116749825e-43 C173 x¹⁶ y² 1.6684573777e-41 -4.7447153335e-42 1.9497508649e-43 C175 x¹⁴ y⁴ -2.9177184795e-41 -2.7844115164e-41 3.1582493786e-42 C177 x¹² y^{6 _}6.2201225290e-41 5.6576554289e-42 -1.3309686956e-41 C179 x¹⁰ y⁸ -4.1199388194e-41 1.2535120425e-40 -4.4014299047e-41 C181 x⁸ y¹⁰ -2.6040910073e-41 2.1574120443e-40 -1.6632682111e-41 C183 x⁶ y¹² -3.1573006007e-41 1.9158076652e-40 4.2928189795e-41 C185 x⁴ y¹⁴ -2.1349585054e-41 8.5009771551e-41 4.4852551207e-41 C187 x² y¹⁶ -4.9296076694e-42 6.9024445158e-42 3.0232573782e-41 C189 y¹⁸ -8.7116777832e-44 -3.6115197767e-42 2.1118754350e-41 Tabelle 3c zu Fig. 16 Koeffizient Formel M07 M08 M09 C2 y -1.2928467054e-06 1.3565735759e-05 5.0340250516e-04 C3 x² -4.4241035168e-06 5.3958237765e-06 -1.2953113747e-05 C5 y² -1.1940992739e-05 2.1313956417e-05 2.5242416890e-05 C7 x² y -2.8016598298e-07 -2.2114113666e-07 -5.1240651878e-07 C9 y³ -2.6043749856e-09 1.0136236494e-07 -2.5195136292e-07 C10 x⁴ -2.2283226502e-10 -4.3633393176e-11 2.3013239383e-10 C12 x² y² -3.8493863737e-10 6.8569364126e-11 5.1244326562e-10 C14 y⁴ -7.5076408486e-10 -9.6900998148e-10 1.1372064116e-09 C16 x⁴ y -7.1344309421e-13 2.5155925333e-14 -8.7851557369e-13 C18 x² y ³ -3.3688250060e-12 -2.4808771805e-13 -3.5534788692e-12 C20 y⁵ -1.9609370059e-12 2.4478580386e-12 -5.6047788388e-12 C21 x⁶ 1.0039370781e-16 1.6247532209e-16 -5.0526485680e-16 C23 x⁴ y² -4.6993560813e-15 2.0285298063e-17 3.6963833198e-15 C25 x² y⁴ -1.2871164637e-14 4.4851414256e-15 2.3478317588e-14 C27 y⁶ -6.3403681449e-15 -1.7224727989e-14 3.2116786519e-14 C29 x⁶ y -1.3089237454e-18 2.4447711745e-19 -1.0814659316e-17 C31 x⁴ y³ -2.6263843958e-17 1.3515178419e-17 -6.6198246379e-17 C33 x² y⁵ -6.1617779798e-17 -2.4418792407e-17 -1.8761463254e-16 C35 y⁷ -7.8104382070e-17 1.3907402439e-16 -2.0581003616e-16 C36 x⁸ 4.9176031445e-21 -6.3024870960e-21 -3.6702647625e-20 C38 x⁶ y² -5.8040934802e-20 -1.8432669061e-19 -1.9314133881e-19 C40 x⁴ y⁴ -3.1811800221e-19 9.4827712698e-20 1.4702081844e-19 C42 x² y⁶ -9.4723958075e-19 -6.8980074431e-19 1.0992547189e-18 C44 y⁸ -4.1554248656e-19 3.9815549246e-19 1.2867383240e-18 C46 x⁸y -7.8315567990e-23 1.4006237424e-22 1.5954270262e-21 C48 x⁶ y³ -5.1700731014e-22 -1.0359194882e-21 6.0381776830e-21 C50 x⁴ y⁵ -7.0915435382e-21 1.1892153024e-20 9.0353663705e-21 C52 x² y⁷ -8.7681550074e-21 -9.0168125783e-21 -1.5933002360e-21 C54 y⁹ 7.5829864438e-21 -3.1116050781e-20 -8.6171388522e-21 C55 x¹⁰ -4.3545732127e-25 4.0192972143e-25 5.4014344966e-24 C57 x⁸ y² 2.3670093780e-24 2.8041424093e-23 4.6284225175e-23 C59 x⁶ y⁴ 2.0407883599e-24 -2.9540844054e-23 4.9530722049e-23 C61 x⁴ y⁶ 1.0752873234e-23 2.1831057923e-23 2.9195277089e-23 C63 x² y⁸ 7.4556951460e-23 3.7675396322e-22 6.1021082708e-23 C65 y¹⁰ 3.3573736760e-23 -1.3914765112e-22 7.6314459813e-23 C67 x¹⁰ y 7.0523029782e-27 -2.1039848175e-26 -1.8806697855e-25 C69 x⁸ y³ -5.1120510311e-27 4.4065214495e-26 -8.4711153541e-25 C71 x⁶ y⁵ 4.7607691345e-25 -1.1335467065e-24 -2.2672822455e-24 C73 x⁴ y⁷ 1.7253876885e-24 -3.5654134720e-24 -2.7391145892e-24 C75 x² y⁹ 8.4418449720e-25 3.6776206120e-24 -1.4508569423e-24 C77 y¹¹ -9.3557466237e-25 6.0615215027e-24 -5.5941410345e-25 C78 x¹² 2.4623668778e-29 -1.5287860244e-29 -4.6221039246e-28 C80 x¹⁰ y² -1.7037036006e-28 -2.1392728226e-27 -5.3600670403e-27 C82 x⁸ y⁴ -2.7209408328e-28 1.3506735181e-27 -6.6925409001e-27 C84 x⁶ y⁶ 3.7726745590e-27 1.8415679743e-26 3.7839470738e-27 C86 x⁴ y⁸ 3.6363644534e-27 -9.7664731738e-27 1.1081281094e-26 C88 x² y¹⁰ -7.9058474706e-27 -9.1086011494e-26 7.3946625545e-27 C90 y¹² -4.3916603660e-27 9.4587068861e-27 1.7990938471e-27 C92 x¹² y -4.4196911079e-31 1.3378995404e-30 1.3329731513e-29 C94 x¹⁰ y³ -2.3334939034e-31 5.7620633674e-30 5.9146849554e-29 C96 x⁸ y⁵ -1. 1752275722e-29 3.4905873110e-29 1.9345311258e-28 C98 x⁶ y⁷ -1.0968548910e-28 2.1383268335e-28 3.0888566705e-28 C100 x⁴ y⁹ -1.9120244973e-28 6.0669411873e-28 2.0157454731e-28 C102 x²y¹¹ -7.2628037037e-29 -5.1921119125e-28 1.8905229464e-29 C104 y¹³ 5.2282996929e-29 -5.8829572707e-28 -1.0319666753e-30 C105 x¹⁴ -7.1730510944e-34 -8.6159234091e-36 2.3542664303e-32 C107 x¹² y² 5.0901377652e-33 8.3608220928e-32 3.5948945297e-31 C109 x¹⁰ y⁴ 3.6988937357e-32 -1.0944827505e-32 6.1569115750e-31 C111 x⁸ y⁶ -3.0511512669e-31 -1.2230829157e-30 -3.7420282281e-31 C113 x⁶ y⁸ -1.2280564935e-30 -4.8053374985e-30 -1.4121956631e-30 C115 x⁴ y¹⁰ -1.0868381709e-30 2.6672330455e-30 -1.2209964722e-30 C117 x² y¹² 2.4993064820e-31 1.1329178779e-29 -3.4891225950e-32 C119 y¹⁴ 2.4058757756e-31 7.2202654292e-31 5.3710925724e-32 C121 x¹⁴ y 1.3662519089e-35 -4.1522062964e-35 -5.1658376076e-34 C123 x¹² y³ 8.4627390874e-35 -5.2974118571e-34 -2.2747902174e-33 C125 x¹⁰ y⁵ 6.0644636384e-35 -9.3325415663e-34 -8.0552659469e-33 C127 x⁸ y⁷ 4.6107027602e-34 8.2476593282e-33 -1.7834266808e-32 C129 x⁶ y⁹ 3.1725946712e-33 -1.3196897367e-32 -1.6953457730e-32 C131 x⁴ y¹¹ 4.8481971159e-33 -5.0580325629e-32 -5.9085165209e-33 C133 x² y¹³ 2.1708021047e-33 1.6852647946e-33 -1.7820201788e-33 C135 y¹⁵ -1.5160743575e-33 2.4448897151e-32 -5.9513453486e-34 C136 x¹⁶ 1.0078817874e-38 1.4750506400e-38 -6.1923504103e-37 C138 x¹⁴ y² -1.2489157723e-39 -1.4870438226e-36 -1.3105146156e-35 C140 x¹² y⁴ -1.0136625167e-36 1.9459595213e-36 -2.8597761144e-35 C142 x¹⁰ y⁶ 3.8425332188e-36 1.4132352026e-35 1.3872667758e-35 C144 x⁸ y⁸ 4.2157759108e-35 1.6726047890e-34 9.2356844817e-35 C146 x⁶ y¹⁰ 8.5782975353e-35 3.2784292250e-34 1.0765171613e-34 C148 x⁴ y¹² 5.2738172117e-35 -1.5050821068e-34 4.2887945140e-35 C150 x² y¹⁴ -4.2376001477e-36 -5.5623385828e-34 1.8434469559e-36 C152 y¹⁶ -6.8337084374e-36 -8.3289541921e-35 1.5710912931e-36 C154 x¹⁶ y -1.6891226944e-40 5.0232461440e-40 8.4536020034e-39 C156 x¹⁴ y³ -2.5350778498e-39 1.1564255088e-38 3.8982020025e-38 C158 x¹² y⁵ -6.9320644966e-39 3.5376133311e-38 1.2613782086e-37 C160 x¹⁰ y⁷ 5.5617108092e-38 -4.1393415431e-37 3.6898736749e-37 C162 x⁸ y⁹ 2.6365881557e-37 -1.4349555784e-36 4.4289256257e-37 C164 x⁶ y¹¹ 3.6217320464e-37 -6.2476327539e-37 1.7514184439e-37 C166 x⁴ y¹³ 1.3768608818e-37 2.4737734805e-36 6.6369331434e-38 C168 x² y¹⁵ -3.7524277584e-38 2.5579632597e-36 5.5265897014e-38 C170 y¹⁷ 1.8220365355e-38 -2.2789600008e-37 2.3516805992e-39 C171 x¹⁸ -5.8799582146e-44 -2.7067986284e-43 6.4811808212e-42 C173 x¹⁶ y² -1.8372816083e-42 7.7026629500e-42 2.0530336094e-40 C175 x¹⁴ y⁴ -8.6289695589e-42 -9.9003370487e-41 5.2520889824e-40 C177 x¹² y⁶ 1.1125243448e-43 8.9787803907e-41 -1.1003775870e-40 C179 x¹⁰ y⁸ 1.6727944413e-40 1.6156110856e-39 -2.0391022233e-39 C181 x⁸ y¹⁰ 4.7115554982e-40 2.3586583378e-39 -2.7471070578e-39 C183 x⁶ y¹² 4.7664170396e-40 -9.8212317226e-40 -1.5209640604e-39 C185 x⁴ y¹⁴ 1.1409963547e-40 -5.6613194013e-39 -5.3436389084e-40 C187 x² y¹⁶ -3.9361862609e-41 -3.4549277435e-39 -1.6601363257e-40 C189 y¹⁸ 8.2289516275e-41 1.0481336167e-39 -1.1291884753e-41 Tabelle 3d zu Fig. 16 Koeffizient Formel M10 M11 C2 y 1.8461140639e-02 3.9917837744e-03 C3 x² -1.3701391933e-05 3.3234354534e-06 C5 y² -7.3599539755e-05 4.8300310601e-06 C7 x² y 1.6656302251e-06 9.9242295270e-09 C9 y³ -4.2720363830e-07 -8.6588184914e-09 C10 x⁴ 4.9116736142e-09 -1.8474617488e-11 C12 x² y² 9.5299632964e-09 -4.377698l530e-11 C14 y⁴ 7.5176207435e-09 -2.1360125724e-11 C16 x⁴ y 2.0736480504e-11 2.6615991740e-14 C18 x² y³ 1.4279884313e-11 1.0196002972e-14 C20 y⁵ -1.63l5505788e-11 -8.2989753870e-15 C21 x⁶ 6.7761176724e-14 -4.7585292226e-17 C23 x⁴y² 2.4823727588e-13 -1.5583134116e-16 C25 x² y⁴ 2.8662427875e-13 -1.6411587159e-16 C27 y⁶ 1.7366526793e-13 -5.2045019363e-17 C29 x⁶ y 2.9776328650e-16 4.9926483763e-20 C31 x⁴ y³ 6.5110932078e-16 7.8421892444e-20 C33 x² y⁵ -1.3920946157e-16 1.3102850738e-20 C35 y⁷ -3.7378282108e-16 -5.0786871147e-21 C36 x⁸ -4.4566498629e-19 -9.1950229846e-23 C38 x⁶ y² 5.1697902875e-18 -4.0791596986e-22 C40 x⁴ y⁴ 9.2582195481e-18 -6.6062315876e-22 C42 x² y⁶ 1.0519934804e-17 -4.4837425087e-22 C44 y⁸ 3.3352213516e-18 -1.1054185394e-22 C46 x⁸ y 3.7628645647e-20 1.2804883345e-25 C48 x⁶ y³ 4.8374367835e-20 3.2735256994e-25 C50 x⁴ y⁵ 1.8822712602e-20 2.4142835350e-25 C52 x² y⁷ -8.0891514887e-21 5.1104449700e-26 C54 y⁹ -7.7373794983e-21 -1.7029688116e-26 C55 x¹⁰ 4.0873117465e-22 -3.2048417513e-28 C57 x⁸ y² 6.1981117845e-22 -1.7642326217e-27 C59 x⁶ y⁴ 5.3313924249e-22 -2.9157661392e-27 C61 x⁴ y⁶ 4.0737352457e-22 -2.4710224855e-27 C63 x² y⁸ 1.8668316772e-23 -1.1373187869e-27 C65 y¹⁰ 2.0359219885e-22 -2.1918726794e-28 C67 x¹⁰ y -5.5967728585e-24 -1.7881721045e-31 C69 x⁸ y³ -7.1440316954e-24 -6.9131974991e-31 C71 x⁶ y⁵ 8.1099005288e-25 -6.0527951481e-31 C73 x⁴ y⁷ 7.3001084088e-25 -1.0715730401e-31 C75 x² y⁹ -5.0534662949e-24 -7.4378014590e-32 C77 y¹¹ -2.7194966907e-24 1.3877381632e-31 C78 x¹² -5.3301121412e-26 1.0103290256e-33 C80 x¹⁰ y² -1.3157566557e-25 7.6685725886e-33 C82 x⁸ y⁴ -9.0957736457e-26 8.2585688251e-33 C84 x⁶ y⁶ 2.2502832343e-27 -9.7093762097e-34 C86 x⁴ y⁸ 3.0370247015e-26 -5.7139832115e-33 C88 x² y¹⁰ 9.3521289335e-26 -2.7786239880e-33 C90 y¹² -1.3903691879e-26 -8.5389550359e-34 C92 x¹² y 6.5600453137e-28 3.2895572016e-36 C94 x¹⁰ y³ 1.2272930225e-27 1.6860556465e-35 C96 x⁸ y⁵ -7.0589616358e-29 2.7966526549e-35 C98 x⁶ y⁷ -1.5970271149e-27 2.0396000326e-35 C100 x⁴ y⁹ -1.9415374410e-28 6.8988115799e-36 C102 x² y¹¹ 7.2387813186e-28 8.0998109806e-37 C104 y¹³ -5.9900573790e-29 -1.8843883418e-36 C105 x¹⁴ 4.1365280681e-30 -1.1219024600e-38 C107 x¹² y² 1.8679902002e-29 -9.2701169143e-38 C109 x¹⁰ y⁴ 1.9219477748e-29 -1.8966224184e-37 C111 x⁸ y⁶ 1.2456241690e-30 -1.7672832808e-37 C113 x⁶ y⁸ -5.3117368042e-30 -7.8809704116e-38 C115 x⁴ y¹⁰ -4.1876786164e-30 -2.2025771420e-38 C117 x² y¹² -1.6999513302e-29 -6.4709222854e-39 C119 y¹⁴ 1.8240099507e-30 4.9554897659e-39 C121 x¹⁴ y -3.6644130634e-32 -1.1457188254e-41 C123 x¹² y³ -7.6621192598e-32 -7.6608534215e-41 C125 x¹⁰ y⁵ 5.3300749221e-32 -1.6949527832e-40 C127 x⁸y⁷ 3.1603186118e-31 -1.7704745660e-40 C129 x⁶ y⁹ 2.9757170081e-31 -9.2340778882e-41 C131 x⁴ y¹¹ -1.6885959057e-32 -2.4593172334e-41 C133 x² y¹³ -8.3824507957e-32 -1.3094293032e-42 C135 y¹⁵ 2.9739923643e-32 9.2551900703e-42 C136 x¹⁶ -1.6028488922e-34 4.0285780568e-44 C138 x¹⁴ y² -1.2418629928e-33 3.7482153122e-43 C140 x¹² y⁴ -1.4851903725e-33 9.2553367634e-43 C142 x¹⁰ y⁶ 4.5304153225e-34 1.0550847894e-42 C144 x⁸ y⁸ 2.3747428976e-33 5.2166084654e-43 C146 x⁶ y¹⁰ 1.0523692121e-33 5.0291610965e-44 C148 x⁴ y¹² 5.4510157310e-34 -2.4369813325e-44 C150 x² y¹⁴ 1.8783046545e-33 8.9970826557e-46 C152 y¹⁶ -1.1275250157e-34 -3.0521613949e-44 C154 x¹⁶ y 8.1556551502e-37 2.4539448381e-47 C156 x¹⁴ y³ 1.6893840748e-36 1.9380097838e-46 C158 x¹² y⁵ -4.1423571618e-36 5.4202984561e-46 C160 x¹⁰ y⁷ -1.9231242471e-35 7.8553845868e-46 C162 x ⁸y⁹ -2.8482340321e-35 6.3619707392e-46 C164 x⁶ y¹¹ -1.6130176334e-35 2.8738793557e-46 C166 x⁴ y¹³ 1.6832796389e-36 6.8962087195e-47 C168 x²y¹⁵ 3.2033363556e-36 1.5945144413e-48 C170 y¹⁷ -1.5364967772e-36 -1.7588045510e-47 C171 x¹⁸ 2.3169616892e-39 -7.6233898846e-50 C173 x¹⁶ y² 3.2306046557e-38 -7.7122589902e-49 C175 x¹⁴ y⁴ 3.9896608411e-38 -2.4177718170e-48 C177 x¹² y⁶ -4.9069013055e-38 -3.9075845354e-48 C179 x¹⁰ y⁸ -1.8632748866e-37 -3.5870062262e-48 C181 x⁸ y¹⁰ -2.0013399962e-37 -2.0035164493e-48 C183 x⁶ y¹² -2.3813479864e-38 -8.7190985302e-49 C185 x⁴ y¹⁴ -2.1898884361e-38 -3.5012980001e-49 C187 x² y¹⁶ -8.0916126044e-38 -1.0747037830e-49 C189 y¹⁸ 8.1145422653e-40 4.8655744453e-50 Tabelle 4 zu Fig. 16 Koordinaten des Blendenrandes x_i [mm] y_i [mm] X_i+N/2 [mm] y_i+N/2 [mm] 41.524693 4.364421 -40.584578 -4.265611 41.379452 8.795474 -39.447971 -8.384925 40.700472 13.224385 -37.921781 -12.321534 39.528633 17.599281 -36.074243 -16.061288 37.900863 21.882073 -33.855890 -19.546707 35.744666 25.970020 -31.366745 -22.789274 33.146872 29.845578 -28.576381 -25.730289 30.096010 33.425005 -25.563369 -28.390997 26.627968 36.650254 -22.329634 -30.734104 22.787275 39.468717 -18.904720 -32.743936 18.625902 41.834461 -15.318786 -34.406556 14.201956 43.709127 -11.602850 -35.709901 9.578343 45.062559 -7.787347 -36.636586 4.821468 45.873202 -3.909574 -37.197109 0.000000 46.133936 0.000000 -37.376482 -4.821468 45.873202 3.909574 -37.197109 -9.578343 45.062559 7.787347 -36.636586 -14.201956 43.709127 11.602850 -35.709901 -18.625902 41.834461 15.318786 -34.406556 -22.787275 39.468717 18.904720 -32.743936 -26.627968 36.650254 22.329634 -30.734104 -30.096010 33.425005 25.563369 -28.390997 -33.146872 29.845578 28.576381 -25.730289 -35.744666 25.970020 31.366745 -22.789274 -37.900863 21.882073 33.855890 -19.546707 -39.528633 17.599281 36.074243 -16.061288 -40.700472 13.224385 37.921781 -12.321534 -41.379452 8.795474 39.447971 -8.384925 -41.524693 4.364421 40.584578 -4.265611 -41.252424 0.000000 41.252424 0.000000 Tabelle 5 zu Fig. 16 NA Numerische Apertur 0.55 |βx| Vergrößerungsmaßstab in Crossscanrichtung 4 |βy| Vergrößerungsmaßstab in Scanrichtung 8 RMS gescannte Wellenfrontabweichung 8 mλ EP Lage der Eintrittspupille -2.3 m N Anzahl der Spiegel 11 The optical design data result from the following tables 1 to 5, which in turn are based on the basic structure of tables 1 to 5 for execution 13  correspond.  Table 1 to Fig. 16 Radii of the surfaces Radius _x [mm] Power _x [1 / mm] Radius _y [mm] Power _y [1 / mm] M01 -2021.87501371 0.00097336 -1520.93967559 0.00129395 M02 1002.16276589 -0.00039379 2384.39445642 -0.00016551 M03 1314.58510328 -0.00036891 -2101.99084278 0.00023072 M04 3774.64486736 -0.00007142 -2915.44747324 0.00009246 M05 -54391.95049590 0.00000586 -3431.01042024 0.00009284 M06 -1916.08078452 0.00020237 -1976.59537885 0.00019617 M07 -1016.86544995 0.00038296 -2157.85069272 0.00018046 M08 -767.50947340 0.00050993 -4482.58916000 0.00008731 M09 -1080.18670019 0.00041822 45503.37193117 -0.00000993 M10 490.57896095 -0.00407673 344.90317246 -0.00579861 M11 -704.89628154 0.00281516 -704.68069605 0.00281602  Table 2 for Fig. 16 Decentrations (location, angle) of the surfaces D _x [mm] D _y [mm] D _z [mm] reticle 0.000000000 -2267.139931885 2300.433352748 M01 0.000000000 -2100.940998589 437.191257986 M02 0.000000000 -1824.889718473 1440.428584933 M03 0.000000000 -1652.430719454 1663.271155610 M04 0.000000000 -1244.022039697 1843.597056605 M05 0.000000000 -831.420724290 1899.954415792 M06 0.000000000 -433.182523805 1828.015957247 M07 -0.000000000 -115.754707787 1627.420430346 M08 -0.000000000 35.622424325 1410.636874243 M09 -0.000000000 100.212788641 1122.048344747 M10 0.000000000 -148.504171004 107.297107593 cover 0.000000000 -108.365021588 259.403508738 M11 0.000000000 0.000000000 670.050313257 wafer 0.000000000 0.000000000 0.000000000 α _x [°] α _y [°] α _z [°] reticle -0.000000000 -0.000000000 180.000000000 M01 174.856211953 0.000000000 -0.000000000 M02 63.439364884 0.000000000 0.000000000 M03 38.043284781 -0.000000000 0.000000000 M04 15.800479044 -0.000000000 0.000000000 M05 -1.230834398 -0.000000000 0.000000000 M06 -21.265020970 -0.000000000 0.000000000 M07 -43.682179870 -0.000000000 0.000000000 M08 -66.229088205 -0.000000000 -0.000000000 M09 269.421973314 -0.000000000 -0.000000000 M10 165.722753014 0.000000000 -0.000000000 cover 3.280517175 180.000000000 0.000000000 M11 -7.391356018 0.000000000 0.000000000 wafer 0.000000000 0.000000000 0.000000000  Table 3a to Fig. 16 Free-form coefficients of the surfaces coefficient formula M01 M02 M03 C2 y -2.4117833867e-04 -5.3430320537e-03 -1.4111911276e-03 C3 x ² 1.0586894430e-07 1.4483417946e-06 -1.2686859562e-05 C5 y ² -1.1529125244e-06 -1.9038158550e-05 1.9202920208e-05 C7 x ² y 3.4611634108e-08 4.3424076576e-07 -2.4172021823e-07 C9 y ³ -1.3784586770e-08 1.8714134563e-07 -8.4220506880e-08 C10 x ⁴ -4.0447993573e-12 1.3567700193e-10 2.3279789646e-10 C12 x ² y ² 4.0871816601e-11 3.0697485793e-10 -3.9817189859e-12 C14 y ⁴ -2.0985142265e-11 6.8877230615e-10 -1.3652527865e-10 C16 x ⁴ y -7.3590066436e-16 -6.9935456587e-14 6.9675166213e-13 C18 x ² y ³ 7.3164080091e-14 5.1752558006e-13 -6.1806551283e-13 C20 y ⁵ -1.3864879593e-13 1.1508907358e-12 7.3525568213e-13 C21 x ⁶ -8.5326099454e-19 -6.3565264535e-16 1.8303075303e-15 C23 x ⁴ y ² -2.7445000404e-17 -8.2273856254e-15 -1.4376923029e-15 C25 x ² y ⁴ 1.4553057895e-16 -3.7518907937e-16 3.4191272281e-15 C27 y ⁶ -1.5853764338e-16 4.8134873278e-16 -4.6319295187e-15 C29 x ⁶ y -3.4848622615e-21 -1.5846559982e-17 2.1674109828e-17 C31 x ⁴ y ³ -6.9142170911e-20 -5.4878655770e-17 3.5982270766e-17 C33 x ² y ⁵ 3.1837171341e-19 2.2195437302e-18 -1.2484292582e-17 C35 y ⁷ -2.4799590072e-19 -4.9770543535e-17 2.9355001240e-17 C36 x ⁸ -9.8895827193e-24 1.3721679459e-19 1.8396137526e-19 C38 x ⁶ y ² 4.8172008429e-24 1.9186187100e-19 3.5939011165e-19 C40 x ⁴ y ⁴ 4.4118194591e-23 -5.3300244698e-20 2.8126053937e-19 C42 x ² y ⁶ -7.8933131436e-23 4.9660922029e-21 -6.0062323624e-20 C44 y ⁸ 2.4045366948e-21 -4.5851717152e-19 -1.8732777544e-19 C46 x ⁸ y 1.5152931947e-25 1.7043624040e-21 -1.2302405024e-21 C48 x ⁶ y ³ 1.2199898356e-24 1.1004689383e-21 -6.9044431649e-21 C50 x ⁴ y ⁵ -1.9236747700e-24 -7.3315319570e-22 -7.6163436240e-21 C52 x ² y ⁷ -3.3494988192e-23 2.1288485030e-21 -1.0569726989e-21 C54 y ⁹ 2.8885952297e-24 -2.3214088100e-21 -1.6773720182e-21 C55 x ¹⁰ 2.2269729277e-28 -1.3716891114e-23 -2.3984139781e-23 C57 x ⁸ y ² 2.1942719073e-28 -4.6846375601e-23 -5.8727281204e-23 C59 x ⁶ y ⁴ -2.1830095146e-27 -6.3537757712e-23 -1.0852789317e-22 C61 x ⁴ y ⁶ 7.2071195553e-27 -2.1957825816e-23 -7.5259313757e-23 C63 x ² y ⁸ 1.2356594035e-25 4.3527267232e-23 5.8943487348e-23 C65 y ¹⁰ 2.9826349856e-25 2.5985963804e-24 1.2232695927e-22 C67 x ¹⁰ y -2.6514062614e-30 -1.2967488803e-25 1.4855372718e-25 C69 x ⁸ y ³ -3.6724375220e-29 -2.2174303032e-25 1.0552182596e-24 C71 x ⁶ y ⁵ -2.0047253548e-29 -9.7938142894e-26 1.5050588274e-24 C73 x ⁴ y ⁷ 7.5752858590e-28 5.7236979140e-26 1.3533022273e-24 C75 x ² y ⁹ 3.6437558319e-27 -1.6115792398e-25 2.5057013445e-25 C77 y ¹¹ 1.4836129698e-27 -6.9006079732e-26 -1.3358693451e-24 C78 x ¹² -2.9745683457e-33 7.7863518689e-28 1.2749866678e-27 C80 x ¹⁰ y ² -5.1493564798e-33 4.3016738688e-27 7.0562250175e-27 C82 x ⁸ y ⁴ 3.3636238985e-33 7.8020012342e-27 1.5686363033e-26 C84 x ⁶ y ⁶ -4.0645088150e-31 6.0304387537e-27 2.5831626641e-26 C86 x ⁴ y ⁸ -4.5459490219e-30 -9.6202242428e-28 8.4092378359e-27 C88 x ² y ¹⁰ -2.2591227996e-29 -7.5697395821e-27 -2.1541041531e-26 C90 y ¹² -2.1052707201e-29 -2.0173857452e-27 -3.0109638733e-27 C92 x ¹² y 2.5190612078e-35 5.5975281449e-30 -8.4252331664e-30 C94 x ¹⁰ y ³ 5.2733084032e-34 1.3499881173e-29 -9.0634413265e-29 C96 x ⁸ y ⁵ 1.2953592898e-33 1.0234066706e-29 -1.4300036944e-28 C98 x ⁶ y ⁷ -9.9371249736e-33 -2.5750399964e-29 -2.1693110474e-28 C100 x ⁴ y ⁹ -7.4706174056e-32 -2.1027601919e-29 -1.4834329766e-28 C102 x ² y ¹¹ -2.5989470286e-31 -8.9807084841e-30 1.3645470253e-28 C104 y ¹³ -3.7161670831e-32 1.9258073322e-30 1.2088372677e-28 C105 x ¹⁴ 2.3410832531e-38 -2.5608019911e-32 -1.7200211538e-32 C107 x ¹² y ² 5.7529919141e-38 -2.0767146044e-31 -4.8279494724e-31 C109 x ¹⁰ y ⁴ 1.7999271064e-37 -4.9336580509e-31 -1.2305404479e-30 Clll x ⁸ y ⁶ 9.0473070921e-36 -6.1334518155e-31 -2.6071598193e-30 C113 x ⁶ y ⁸ 9.3287363061e-35 -3.7346997100e-31 -2.8909069661e-30 C115 x ⁴ y ¹⁰ 5.4144058132e-34 2.7405178861e-31 2.2189728550e-31 C117 x ² y ¹² 1.5155947230e-33 6.3215744975e-31 1.3869742966e-30 C119 y ¹⁴ 1.2848508391e-33 1.9851353034e-31 -3.6066643528e-31 C121 x ¹⁴ y -1.2309476389e-40 -1.2598503356e-34 2.6180386632e-34 C123 x ¹² y ³ -3.6595343261e-39 -3.6319987479e-34 3.9901721995e-33 C125 x ¹⁰ y ⁵ -1.6238588871e-38 -4.8190231627e-34 7.2751385938e-33 C127 x ⁸ y ⁷ 4.5987268282e-38 1.3828277551e-33 1.1490258788e-32 C129 x ⁶ y ⁹ 7.2825710327e-37 3.0236912025e-33 1.7785140912e-32 C131 x ⁴ y ¹¹ 3.2215332633e-36 2.9346600692e-33 1.7901538148e-33 C133 x ² y ¹³ 8.5480772074e-36 3.1005350953e-33 -1.5704787528e-32 C135 y ¹⁵ -2.2452920390e-37 6.1585499893e-34 -3.6828737730e-33 C136 x ¹⁶ -9.9989219247e-44 4.5004388524e-37 -8.2793138094e-37 C138 x ¹⁴ y ² -3.1299123653e-43 5.1334045211e-36 1.7356114083e-35 C140 x ¹² y ⁴ -1.3787323902e-42 1.5221924778e-35 5.3262662859e-35 C142 x ¹⁰ y ⁶ -6.9221645042e-41 2.5562636927e-35 1.1288097190e-34 C144 x ⁸ y ⁸ -9.8366527458e-40 3.0368413370e-35 2.1043283117e-34 C146 x ⁶ y ¹⁰ -5.6467860699e-39 1.4894647576e-35 1.2118280719e-34 C148 x ⁴ y ¹² -2.4887739787e-38 -9.7653505754e-36 -2.6510206475e-35 C150 x ² y ¹⁴ -4.9656900043e-38 -1.5810295404e-35 -2.5863797049e-36 C152 y ¹⁶ -4.0693774313e-38 -7.6870325474e-36 2.4412118190e-35 C154 x ¹⁶ y 2.4037939882e-46 1.1476918063e-39 -3.4011078818e-39 C156 x ¹⁴ y ³ 9.7994110849e-45 3.5843010705e-39 -6.8957100406e-38 C158 x ¹² y ⁵ 6.4274553566e-44 7.6943656280e-39 -1.5638281213e-37 C160 x ¹⁰ y ⁷ -3.5821575627e-45 -2.1638004484e-38 -2.0940087253e-37 C162 x ⁸ y ⁹ -2.3955149218e-42 -8.7551406073e-38 -4.8305968311e-37 C164 x ⁶ y ¹¹ -1.5063713409e-41 -1.1990020470e-37 -4.8025949327e-37 C166 x ⁴ y ¹³ -5.1470139964e-41 -1.5576655999e-37 3.1618652245e-37 C168 x ² y ¹⁵ -1.1016189653e-40 -1.5593452944e-37 4.6486230777e-37 C170 y ^17th 1.0486005681e-41 -5.7575753602e-38 -2.6485043104e-38 C171 x ¹⁸ 1.7851779165e-49 -3.2518284418e-42 2.3843090985e-41 C173 x ¹⁶ y ² 6.5051510592e-49 -5.1142048408e-41 -2.5088647504e-40 C175 x ¹⁴ y ⁴ 2.0765981177e-48 -1.8245537540e-40 -9.8392433967e-40 C177 x ¹² y ⁶ 1.6200140565e-46 -3.7755139386e-40 -1.8896355275e-39 C179 x ¹⁰ y ⁸ 3.4909214099e-45 -6.6451886280e-40 -4.6225236755e-39 C181 x ⁸ y ¹⁰ 2.5096271295e-44 -7.7924587048e-40 -5.2057061194e-39 C183 x ⁶ y ¹² 1.1382309698e-43 -5.2533848213e-40 -1.5502130644e-39 C185 x ⁴ y ¹⁴ 4.1568658097e-43 -3.8264311193e-40 -1.0431217799e-39 C187 x ² y ¹⁶ 6.4719156638e-43 -3.3037153389e-40 -1.3124993570e-39 C189 y ^18th 5.0265853345e-43 -1.1416911765e-40 -6.4527485487e-41  Table 3b for Fig. 16 coefficient formula M04 M05 M06 C2 y 2.7282833852e-04 1.5389339803e-03 2.6696211732e-03 C3 x ² 1.1902583488e-07 4.3466574373e-07 -4.8046564569e-06 C5 y ² 5.4343723735e-06 3.6737032202e-06 3.7407592106e-06 C7 x ² y -9.0272650301e-08 -9.7373704197e-08 -2.5453610489e-07 C9 y ³ -1.0100220464e-08 -7.5260805131e-08 2.3802584752e-08 C10 x ⁴ -2.4076375377e-10 4.0358927910e-11 -1.6676746014e-11 C12 x ² y ² 3.1758952732e-11 -2.3996704498e-10 -7.6073037086e-12 C14 y ⁴ -2.8836307612e-10 -1.4844794937e-10 -2.8454062791e-10 C16 x ⁴ y 1.2821317227e-12 1.8686249163e-13 -3.2863696719e-13 C18 x ² y ³ -1.2457817622e-12 -3.6769546389e-13 -7.7468306234e-13 C20 y ⁵ 1.6113276817e-14 -4.0633004919e-13 -5.3616334382e-14 C21 x ⁶ 4.2861406664e-15 3.5763015669e-16 -1.2077554683e-15 C23 x ⁴ y ² -3.9440958783e-15 -2.0487368290e-15 -4.2775007118e-16 C25 x ² y ⁴ 4.1096924414e-16 -2.1469964558e-15 3.1605488783e-16 C27 y ⁶ -2.1098635675e-15 -5.1872768232e-16 -1.1455208261e-15 C29 x ⁶ y -1.0287275728e-17 -3.9103800351e-18 1.7896981342e-18 C31 x ⁴ y ³ 2.0538261481e-17 -2.7570753401e-18 4.3861122567e-18 C33 x ² y ⁵ -1.2857269220e-17 -1.4476752380e-18 -8.6900136668e-18 C35 y ⁷ 6.7617894334e-19 -5.7333774775e-18 2.1069176670e-18 C36 x ⁸ -1.3127841901e-19 7.5289155805e-21 3.5916712486e-22 C38 x ⁶ y ² 1.3130246826e-19 4.5994773273e-20 1.5454685009e-20 C40 x ⁴ y ⁴ 2.4526104081e-20 3.4162183514e-21 -3.9121011257e-20 C42 x ² y ⁶ 6.2278993542e-20 -3.6478307842e-20 6.0305205168e-20 C44 y ⁸ -9.2107678716e-21 8.2311654070e-20 -4.1797858834e-20 C46 x ⁸ y -2.8853390485e-22 -5.2963353944e-23 6.7784214540e-23 C48 x ⁶ y ³ -7.0440015302e-22 -4.4058985810e-23 8.7776751858e-23 C50 x ⁴ y ⁵ -1.0133865492e-21 -1.3360068590e-21 7.7458055586e-22 C52 x ² y ⁷ -1.2565628943e-21 -3.3381408186e-22 7.6366021320e-24 C54 y ⁹ -8.3264617897e-23 4.5124072312e-22 3.2965018606e-22 C55 x ¹⁰ 1.2932007024e-23 2.9516831422e-26 -1.8984927492e-25 C57 x ⁸ y ² -4.9799374832e-24 -6.7001000910e-24 -8.6257518635e-25 C59 x ⁶ y ⁴ -1.3887984363e-23 -3.7096829228e-24 3.7921778405e-24 C61 x ⁴ y ⁶ -1.2549559722e-23 1.2014471384e-23 -9.6135023830e-25 C63 x ² y ⁸ -8.4188077260e-24 3.6841718264e-24 -1.0298167590e-23 C65 y ¹⁰ -1.6215029958e-24 -1.0283510861e-23 3.0277573186e-24 C67 x ¹⁰ y 2.6141473056e-26 6.1096186379e-27 -7.4581076126e-27 C69 x ⁸ y ³ 2.9326911854e-26 -2.1254398912e-26 -2.0081631358e-26 C71 x ⁶ y ⁵ 1.1409068838e-25 1.5338022959e-25 -4.9566440631e-26 C73 x ⁴ y ⁷ 1.8327990792e-25 2.4038288653e-25 -1.4824477106e-25 C75 x ² y ⁹ 8.5165207337e-26 6.1308534020e-28 -1.4511447167e-26 C77 y ¹¹ 2.5025226561e-27 -6.1169403597e-26 -3.6353010747e-26 C78 x ¹² -9.5979548228e-28 -7.6647081954e-29 1.9691740518e-29 C80 x ¹⁰ y ² 2.4903261178e-29 5.3277671645e-28 5.8629465583e-29 C82 x ⁸ y ⁴ 1.6075063752e-27 5.6388201551e-28 -3.6168364234e-28 C84 x ⁶ y ⁶ 1.3184440645e-27 -1.5092689310e-27 -1.1044669878e-27 C86 x ⁴ y ⁸ 1.1294234412e-27 -2.2645639111e-27 5.6588658570e-28 C88 x ² y ¹⁰ 6.7814375370e-28 -3.3555547765e-28 1.0797956527e-27 C90 y ¹² 7.2206917540e-29 6.2935819276e-28 -4.6937614905e-28 C92 x ¹² y -1.8335692259e-30 -5.0120320912e-31 4.5075398257e-31 C94 x ¹⁰ y ³ -1.3795894405e-30 2.6205683093e-30 1.3581749440e-30 C96 x ⁸ y ⁵ -4.5645041535e-30 -7.0229895459e-30 -3.4893767171e-31 C98 x ⁶ y ⁷ -1.3284024097e-29 -2.5418440741e-29 7.4819921687e-30 C100 x ⁴ y ⁹ -1.2118978852e-29 -1.8219707825e-29 1.4237803680e-29 C102 x ² y ¹¹ -4.1331322565e-30 2.0467369149e-30 2.0813116798e-30 C104 y ¹³ -1.2112242630e-32 3.7294494680e-30 3.4054742793e-30 C105 x ¹⁴ 4.3387094219e-32 5.8770694530e-33 -9.5412048211e-34 C107 x ¹² y ² 1.7516435523e-32 -2.4153318225e-32 -1.8855296065e-33 C109 x ¹⁰ y ⁴ -9.3882106425e-32 -4.5779394395e-32 1.6336240681e-32 C111 x ⁸ y ⁶ -9.5872914742e-32 7.6790288786e-32 7.8672586635e-32 C113 x ⁶ y ⁸ -6.5788000585e-32 2.1838270725e-31 9.2243038577e-32 C115 x ⁴ y ¹⁰ -6.7970375185e-32 1.7153231369e-31 -5.9860715798e-32 C117 x ² y ¹² -2.9207736038e-32 1.7527719524e-32 -4.1614084537e-32 C119 y ¹⁴ -2.3532939123e-33 -2.2713234839e-32 3.3577865320e-32 C121 x ¹⁴ y 6.2176526300e-35 1.8418692558e-35 -1.2963841541e-35 C123 x ¹² y ³ 5.1710024893e-35 -1.0763053480e-34 -4.5544163351e-35 C125 x ¹⁰ y ⁵ 4.6883328805e-35 7.6982072026e-35 1.1983277869e-34 C127 x ⁸ y ⁷ 3.8964792801e-34 1.0023335346e-33 3.3061525416e-34 C129 x ⁶ y ⁹ 6.1777812396e-34 1.3742716398e-33 -4.1210539013e-34 C131 x ⁴ y ¹¹ 3.6961729706e-34 6.0525325578e-34 -7.3933875840e-34 C133 x ² y ¹³ 9.1756412376e-35 -1.2489321224e-34 -2.7424274227e-34 C135 y ¹⁵ -3.4407078310e-36 -1.1468725046e-34 -1.4335811108e-34 C136 x ¹⁶ -1.0990102912e-36 -1.8781672730e-37 2.2842333000e-38 C138 x ¹⁴ y ² -9.7754322460e-37 5.4952412716e-37 1.7463590214e-38 C140 x ¹² y ⁴ 2.6849189615e-36 1.8361616978e-36 -3.3975776246e-37 C142 x ¹⁰ y ⁶ 3.8759041416e-36 -1.6733596754e-36 -1.1847679752e-36 C144 x ⁸ y ⁸ 2.2819947501e-36 -8.5120917565e-36 -3.4828731775e-36 C146 x ⁶ y ¹⁰ 2.2727672891e-36 -1.1037044961e-35 -2.8335811469e-36 C148 x ⁴ y ¹² 1.9865886745e-36 -6.1130480438e-36 7.3439036084e-37 C150 x ² y ¹⁴ 6.1871762398e-37 -5.2960848363e-37 1.3959883155e-37 C152 y ¹⁶ 3.3630903934e-38 4.4985123039e-37 -1.4119261177e-36 C154 x ¹⁶ y -8.4904257450e-40 -2.3350375781e-40 1.4343442851e-40 C156 x ¹⁴ y ³ -9.4062340183e-40 1.4882177437e-39 6.2973879380e-40 C158 x ¹² y ⁵ 4.5771048992e-40 1.3639502182e-39 -2.6173344716e-39 C160 x ¹⁰ y ⁷ -3.2429091009e-39 -1.2906189590e-38 -1.7095397825e-38 C162 x ⁸ y ⁹ -1.0068313898e-38 -2.8993397404e-38 -1.9841690523e-38 C164 x ⁶ y ¹¹ -9.2909847072e-39 -2.4415559205e-38 7.7924424318e-39 C166 x ⁴ y ¹³ -3.9914253487e-39 -7.3385954155e-39 2.0300783648e-38 C168 x ² y ¹⁵ -7.8508117164e-40 2.0629652313e-39 7.8379103374e-39 C170 y ^17th 8.4500691197e-41 1.5037856500e-39 2.8744106584e-39 C171 x ¹⁸ 1.2196950209e-41 2.1738511630e-42 -2.0116749825e-43 C173 x ¹⁶ y ² 1.6684573777e-41 -4.7447153335e-42 1.9497508649e-43 C175 x ¹⁴ y ⁴ -2.9177184795e-41 -2.7844115164e-41 3.1582493786e-42 C177 x ¹² y ^{6 _} 6.2201225290e-41 5.6576554289e-42 -1.3309686956e-41 C179 x ¹⁰ y ⁸ -4.1199388194e-41 1.2535120425e-40 -4.4014299047e-41 C181 x ⁸ y ¹⁰ -2.6040910073e-41 2.1574120443e-40 -1.6632682111e-41 C183 x ⁶ y ¹² -3.1573006007e-41 1.9158076652e-40 4.2928189795e-41 C185 x ⁴ y ¹⁴ -2.1349585054e-41 8.5009771551e-41 4.4852551207e-41 C187 x ² y ¹⁶ -4.9296076694e-42 6.9024445158e-42 3.0232573782e-41 C189 y ^18th -8.7116777832e-44 -3.6115197767e-42 2.1118754350e-41  Table 3c for Fig. 16 coefficient formula M07 M08 M09 C2 y -1.2928467054e-06 1.3565735759e-05 5.0340250516e-04 C3 x ² -4.4241035168e-06 5.3958237765e-06 -1.2953113747e-05 C5 y ² -1.1940992739e-05 2.1313956417e-05 2.5242416890e-05 C7 x ² y -2.8016598298e-07 -2.2114113666e-07 -5.1240651878e-07 C9 y ³ -2.6043749856e-09 1.0136236494e-07 -2.5195136292e-07 C10 x ⁴ -2.2283226502e-10 -4.3633393176e-11 2.3013239383e-10 C12 x ² y ² -3.8493863737e-10 6.8569364126e-11 5.1244326562e-10 C14 y ⁴ -7.5076408486e-10 -9.6900998148e-10 1.1372064116e-09 C16 x ⁴ y -7.1344309421e-13 2.5155925333e-14 -8.7851557369e-13 C18 x ² y ³ -3.3688250060e-12 -2.4808771805e-13 -3.5534788692e-12 C20 y ⁵ -1.9609370059e-12 2.4478580386e-12 -5.6047788388e-12 C21 x ⁶ 1.0039370781e-16 1.6247532209e-16 -5.0526485680e-16 C23 x ⁴ y ² -4.6993560813e-15 2.0285298063e-17 3.6963833198e-15 C25 x ² y ⁴ -1.2871164637e-14 4.4851414256e-15 2.3478317588e-14 C27 y ⁶ -6.3403681449e-15 -1.7224727989e-14 3.2116786519e-14 C29 x ⁶ y -1.3089237454e-18 2.4447711745e-19 -1.0814659316e-17 C31 x ⁴ y ³ -2.6263843958e-17 1.3515178419e-17 -6.6198246379e-17 C33 x ² y ⁵ -6.1617779798e-17 -2.4418792407e-17 -1.8761463254e-16 C35 y ⁷ -7.8104382070e-17 1.3907402439e-16 -2.0581003616e-16 C36 x ⁸ 4.9176031445e-21 -6.3024870960e-21 -3.6702647625e-20 C38 x ⁶ y ² -5.8040934802e-20 -1.8432669061e-19 -1.9314133881e-19 C40 x ⁴ y ⁴ -3.1811800221e-19 9.4827712698e-20 1.4702081844e-19 C42 x ² y ⁶ -9.4723958075e-19 -6.8980074431e-19 1.0992547189e-18 C44 y ⁸ -4.1554248656e-19 3.9815549246e-19 1.2867383240e-18 C46 x ⁸ y -7.8315567990e-23 1.4006237424e-22 1.5954270262e-21 C48 x ⁶ y ³ -5.1700731014e-22 -1.0359194882e-21 6.0381776830e-21 C50 x ⁴ y ⁵ -7.0915435382e-21 1.1892153024e-20 9.0353663705e-21 C52 x ² y ⁷ -8.7681550074e-21 -9.0168125783e-21 -1.5933002360e-21 C54 y ⁹ 7.5829864438e-21 -3.1116050781e-20 -8.6171388522e-21 C55 x ¹⁰ -4.3545732127e-25 4.0192972143e-25 5.4014344966e-24 C57 x ⁸ y ² 2.3670093780e-24 2.8041424093e-23 4.6284225175e-23 C59 x ⁶ y ⁴ 2.0407883599e-24 -2.9540844054e-23 4.9530722049e-23 C61 x ⁴ y ⁶ 1.0752873234e-23 2.1831057923e-23 2.9195277089e-23 C63 x ² y ⁸ 7.4556951460e-23 3.7675396322e-22 6.1021082708e-23 C65 y ¹⁰ 3.3573736760e-23 -1.3914765112e-22 7.6314459813e-23 C67 x ¹⁰ y 7.0523029782e-27 -2.1039848175e-26 -1.8806697855e-25 C69 x ⁸ y ³ -5.1120510311e-27 4.4065214495e-26 -8.4711153541e-25 C71 x ⁶ y ⁵ 4.7607691345e-25 -1.1335467065e-24 -2.2672822455e-24 C73 x ⁴ y ⁷ 1.7253876885e-24 -3.5654134720e-24 -2.7391145892e-24 C75 x ² y ⁹ 8.4418449720e-25 3.6776206120e-24 -1.4508569423e-24 C77 y ¹¹ -9.3557466237e-25 6.0615215027e-24 -5.5941410345e-25 C78 x ¹² 2.4623668778e-29 -1.5287860244e-29 -4.6221039246e-28 C80 x ¹⁰ y ² -1.7037036006e-28 -2.1392728226e-27 -5.3600670403e-27 C82 x ⁸ y ⁴ -2.7209408328e-28 1.3506735181e-27 -6.6925409001e-27 C84 x ⁶ y ⁶ 3.7726745590e-27 1.8415679743e-26 3.7839470738e-27 C86 x ⁴ y ⁸ 3.6363644534e-27 -9.7664731738e-27 1.1081281094e-26 C88 x ² y ¹⁰ -7.9058474706e-27 -9.1086011494e-26 7.3946625545e-27 C90 y ¹² -4.3916603660e-27 9.4587068861e-27 1.7990938471e-27 C92 x ¹² y -4.4196911079e-31 1.3378995404e-30 1.3329731513e-29 C94 x ¹⁰ y ³ -2.3334939034e-31 5.7620633674e-30 5.9146849554e-29 C96 x ⁸ y ⁵ -1. 1752275722e-29 3.4905873110e-29 1.9345311258e-28 C98 x ⁶ y ⁷ -1.0968548910e-28 2.1383268335e-28 3.0888566705e-28 C100 x ⁴ y ⁹ -1.9120244973e-28 6.0669411873e-28 2.0157454731e-28 C102 x ² y ¹¹ -7.2628037037e-29 -5.1921119125e-28 1.8905229464e-29 C104 y ¹³ 5.2282996929e-29 -5.8829572707e-28 -1.0319666753e-30 C105 x ¹⁴ -7.1730510944e-34 -8.6159234091e-36 2.3542664303e-32 C107 x ¹² y ² 5.0901377652e-33 8.3608220928e-32 3.5948945297e-31 C109 x ¹⁰ y ⁴ 3.6988937357e-32 -1.0944827505e-32 6.1569115750e-31 C111 x ⁸ y ⁶ -3.0511512669e-31 -1.2230829157e-30 -3.7420282281e-31 C113 x ⁶ y ⁸ -1.2280564935e-30 -4.8053374985e-30 -1.4121956631e-30 C115 x ⁴ y ¹⁰ -1.0868381709e-30 2.6672330455e-30 -1.2209964722e-30 C117 x ² y ¹² 2.4993064820e-31 1.1329178779e-29 -3.4891225950e-32 C119 y ¹⁴ 2.4058757756e-31 7.2202654292e-31 5.3710925724e-32 C121 x ¹⁴ y 1.3662519089e-35 -4.1522062964e-35 -5.1658376076e-34 C123 x ¹² y ³ 8.4627390874e-35 -5.2974118571e-34 -2.2747902174e-33 C125 x ¹⁰ y ⁵ 6.0644636384e-35 -9.3325415663e-34 -8.0552659469e-33 C127 x ⁸ y ⁷ 4.6107027602e-34 8.2476593282e-33 -1.7834266808e-32 C129 x ⁶ y ⁹ 3.1725946712e-33 -1.3196897367e-32 -1.6953457730e-32 C131 x ⁴ y ¹¹ 4.8481971159e-33 -5.0580325629e-32 -5.9085165209e-33 C133 x ² y ¹³ 2.1708021047e-33 1.6852647946e-33 -1.7820201788e-33 C135 y ¹⁵ -1.5160743575e-33 2.4448897151e-32 -5.9513453486e-34 C136 x ¹⁶ 1.0078817874e-38 1.4750506400e-38 -6.1923504103e-37 C138 x ¹⁴ y ² -1.2489157723e-39 -1.4870438226e-36 -1.3105146156e-35 C140 x ¹² y ⁴ -1.0136625167e-36 1.9459595213e-36 -2.8597761144e-35 C142 x ¹⁰ y ⁶ 3.8425332188e-36 1.4132352026e-35 1.3872667758e-35 C144 x ⁸ y ⁸ 4.2157759108e-35 1.6726047890e-34 9.2356844817e-35 C146 x ⁶ y ¹⁰ 8.5782975353e-35 3.2784292250e-34 1.0765171613e-34 C148 x ⁴ y ¹² 5.2738172117e-35 -1.5050821068e-34 4.2887945140e-35 C150 x ² y ¹⁴ -4.2376001477e-36 -5.5623385828e-34 1.8434469559e-36 C152 y ¹⁶ -6.8337084374e-36 -8.3289541921e-35 1.5710912931e-36 C154 x ¹⁶ y -1.6891226944e-40 5.0232461440e-40 8.4536020034e-39 C156 x ¹⁴ y ³ -2.5350778498e-39 1.1564255088e-38 3.8982020025e-38 C158 x ¹² y ⁵ -6.9320644966e-39 3.5376133311e-38 1.2613782086e-37 C160 x ¹⁰ y ⁷ 5.5617108092e-38 -4.1393415431e-37 3.6898736749e-37 C162 x ⁸ y ⁹ 2.6365881557e-37 -1.4349555784e-36 4.4289256257e-37 C164 x ⁶ y ¹¹ 3.6217320464e-37 -6.2476327539e-37 1.7514184439e-37 C166 x ⁴ y ¹³ 1.3768608818e-37 2.4737734805e-36 6.6369331434e-38 C168 x ² y ¹⁵ -3.7524277584e-38 2.5579632597e-36 5.5265897014e-38 C170 y ^17th 1.8220365355e-38 -2.2789600008e-37 2.3516805992e-39 C171 x ¹⁸ -5.8799582146e-44 -2.7067986284e-43 6.4811808212e-42 C173 x ¹⁶ y ² -1.8372816083e-42 7.7026629500e-42 2.0530336094e-40 C175 x ¹⁴ y ⁴ -8.6289695589e-42 -9.9003370487e-41 5.2520889824e-40 C177 x ¹² y ⁶ 1.1125243448e-43 8.9787803907e-41 -1.1003775870e-40 C179 x ¹⁰ y ⁸ 1.6727944413e-40 1.6156110856e-39 -2.0391022233e-39 C181 x ⁸ y ¹⁰ 4.7115554982e-40 2.3586583378e-39 -2.7471070578e-39 C183 x ⁶ y ¹² 4.7664170396e-40 -9.8212317226e-40 -1.5209640604e-39 C185 x ⁴ y ¹⁴ 1.1409963547e-40 -5.6613194013e-39 -5.3436389084e-40 C187 x ² y ¹⁶ -3.9361862609e-41 -3.4549277435e-39 -1.6601363257e-40 C189 y ^18th 8.2289516275e-41 1.0481336167e-39 -1.1291884753e-41  Table 3d for Fig. 16 coefficient formula M10 M11 C2 y 1.8461140639e-02 3.9917837744e-03 C3 x ² -1.3701391933e-05 3.3234354534e-06 C5 y ² -7.3599539755e-05 4.8300310601e-06 C7 x ² y 1.6656302251e-06 9.9242295270e-09 C9 y ³ -4.2720363830e-07 -8.6588184914e-09 C10 x ⁴ 4.9116736142e-09 -1.8474617488e-11 C12 x ² y ² 9.5299632964e-09 -4.377698l530e-11 C14 y ⁴ 7.5176207435e-09 -2.1360125724e-11 C16 x ⁴ y 2.0736480504e-11 2.6615991740e-14 C18 x ² y ³ 1.4279884313e-11 1.0196002972e-14 C20 y ⁵ -1.63l5505788e-11 -8.2989753870e-15 C21 x ⁶ 6.7761176724e-14 -4.7585292226e-17 C23 x ⁴ y ² 2.4823727588e-13 -1.5583134116e-16 C25 x ² y ⁴ 2.8662427875e-13 -1.6411587159e-16 C27 y ⁶ 1.7366526793e-13 -5.2045019363e-17 C29 x ⁶ y 2.9776328650e-16 4.9926483763e-20 C31 x ⁴ y ³ 6.5110932078e-16 7.8421892444e-20 C33 x ² y ⁵ -1.3920946157e-16 1.3102850738e-20 C35 y ⁷ -3.7378282108e-16 -5.0786871147e-21 C36 x ⁸ -4.4566498629e-19 -9.1950229846e-23 C38 x ⁶ y ² 5.1697902875e-18 -4.0791596986e-22 C40 x ⁴ y ⁴ 9.2582195481e-18 -6.6062315876e-22 C42 x ² y ⁶ 1.0519934804e-17 -4.4837425087e-22 C44 y ⁸ 3.3352213516e-18 -1.1054185394e-22 C46 x ⁸ y 3.7628645647e-20 1.2804883345e-25 C48 x ⁶ y ³ 4.8374367835e-20 3.2735256994e-25 C50 x ⁴ y ⁵ 1.8822712602e-20 2.4142835350e-25 C52 x ² y ⁷ -8.0891514887e-21 5.1104449700e-26 C54 y ⁹ -7.7373794983e-21 -1.7029688116e-26 C55 x ¹⁰ 4.0873117465e-22 -3.2048417513e-28 C57 x ⁸ y ² 6.1981117845e-22 -1.7642326217e-27 C59 x ⁶ y ⁴ 5.3313924249e-22 -2.9157661392e-27 C61 x ⁴ y ⁶ 4.0737352457e-22 -2.4710224855e-27 C63 x ² y ⁸ 1.8668316772e-23 -1.1373187869e-27 C65 y ¹⁰ 2.0359219885e-22 -2.1918726794e-28 C67 x ¹⁰ y -5.5967728585e-24 -1.7881721045e-31 C69 x ⁸ y ³ -7.1440316954e-24 -6.9131974991e-31 C71 x ⁶ y ⁵ 8.1099005288e-25 -6.0527951481e-31 C73 x ⁴ y ⁷ 7.3001084088e-25 -1.0715730401e-31 C75 x ² y ⁹ -5.0534662949e-24 -7.4378014590e-32 C77 y ¹¹ -2.7194966907e-24 1.3877381632e-31 C78 x ¹² -5.3301121412e-26 1.0103290256e-33 C80 x ¹⁰ y ² -1.3157566557e-25 7.6685725886e-33 C82 x ⁸ y ⁴ -9.0957736457e-26 8.2585688251e-33 C84 x ⁶ y ⁶ 2.2502832343e-27 -9.7093762097e-34 C86 x ⁴ y ⁸ 3.0370247015e-26 -5.7139832115e-33 C88 x ² y ¹⁰ 9.3521289335e-26 -2.7786239880e-33 C90 y ¹² -1.3903691879e-26 -8.5389550359e-34 C92 x ¹² y 6.5600453137e-28 3.2895572016e-36 C94 x ¹⁰ y ³ 1.2272930225e-27 1.6860556465e-35 C96 x ⁸ y ⁵ -7.0589616358e-29 2.7966526549e-35 C98 x ⁶ y ⁷ -1.5970271149e-27 2.0396000326e-35 C100 x ⁴ y ⁹ -1.9415374410e-28 6.8988115799e-36 C102 x ² y ¹¹ 7.2387813186e-28 8.0998109806e-37 C104 y ¹³ -5.9900573790e-29 -1.8843883418e-36 C105 x ¹⁴ 4.1365280681e-30 -1.1219024600e-38 C107 x ¹² y ² 1.8679902002e-29 -9.2701169143e-38 C109 x ¹⁰ y ⁴ 1.9219477748e-29 -1.8966224184e-37 C111 x ⁸ y ⁶ 1.2456241690e-30 -1.7672832808e-37 C113 x ⁶ y ⁸ -5.3117368042e-30 -7.8809704116e-38 C115 x ⁴ y ¹⁰ -4.1876786164e-30 -2.2025771420e-38 C117 x ² y ¹² -1.6999513302e-29 -6.4709222854e-39 C119 y ¹⁴ 1.8240099507e-30 4.9554897659e-39 C121 x ¹⁴ y -3.6644130634e-32 -1.1457188254e-41 C123 x ¹² y ³ -7.6621192598e-32 -7.6608534215e-41 C125 x ¹⁰ y ⁵ 5.3300749221e-32 -1.6949527832e-40 C127 x ⁸ y ⁷ 3.1603186118e-31 -1.7704745660e-40 C129 x ⁶ y ⁹ 2.9757170081e-31 -9.2340778882e-41 C131 x ⁴ y ¹¹ -1.6885959057e-32 -2.4593172334e-41 C133 x ² y ¹³ -8.3824507957e-32 -1.3094293032e-42 C135 y ¹⁵ 2.9739923643e-32 9.2551900703e-42 C136 x ¹⁶ -1.6028488922e-34 4.0285780568e-44 C138 x ¹⁴ y ² -1.2418629928e-33 3.7482153122e-43 C140 x ¹² y ⁴ -1.4851903725e-33 9.2553367634e-43 C142 x ¹⁰ y ⁶ 4.5304153225e-34 1.0550847894e-42 C144 x ⁸ y ⁸ 2.3747428976e-33 5.2166084654e-43 C146 x ⁶ y ¹⁰ 1.0523692121e-33 5.0291610965e-44 C148 x ⁴ y ¹² 5.4510157310e-34 -2.4369813325e-44 C150 x ² y ¹⁴ 1.8783046545e-33 8.9970826557e-46 C152 y ¹⁶ -1.1275250157e-34 -3.0521613949e-44 C154 x ¹⁶ y 8.1556551502e-37 2.4539448381e-47 C156 x ¹⁴ y ³ 1.6893840748e-36 1.9380097838e-46 C158 x ¹² y ⁵ -4.1423571618e-36 5.4202984561e-46 C160 x ¹⁰ y ⁷ -1.9231242471e-35 7.8553845868e-46 C162 x ⁸ y ⁹ -2.8482340321e-35 6.3619707392e-46 C164 x ⁶ y ¹¹ -1.6130176334e-35 2.8738793557e-46 C166 x ⁴ y ¹³ 1.6832796389e-36 6.8962087195e-47 C168 x ² y ¹⁵ 3.2033363556e-36 1.5945144413e-48 C170 y ^17th -1.5364967772e-36 -1.7588045510e-47 C171 x ¹⁸ 2.3169616892e-39 -7.6233898846e-50 C173 x ¹⁶ y ² 3.2306046557e-38 -7.7122589902e-49 C175 x ¹⁴ y ⁴ 3.9896608411e-38 -2.4177718170e-48 C177 x ¹² y ⁶ -4.9069013055e-38 -3.9075845354e-48 C179 x ¹⁰ y ⁸ -1.8632748866e-37 -3.5870062262e-48 C181 x ⁸ y ¹⁰ -2.0013399962e-37 -2.0035164493e-48 C183 x ⁶ y ¹² -2.3813479864e-38 -8.7190985302e-49 C185 x ⁴ y ¹⁴ -2.1898884361e-38 -3.5012980001e-49 C187 x ² y ¹⁶ -8.0916126044e-38 -1.0747037830e-49 C189 y ^18th 8.1145422653e-40 4.8655744453e-50  Table 4 for Fig. 16 Coordinates of the aperture edge x _i [mm] y _i [mm] X _{i + N / 2} [mm] y _{i + N / 2} [mm] 41.524693 4.364421 -40.584578 -4.265611 41.379452 8.795474 -39.447971 -8.384925 40.700472 13.224385 -37.921781 -12.321534 39.528633 17.599281 -36.074243 -16.061288 37.900863 21.882073 -33.855890 -19.546707 35.744666 25.970020 -31.366745 -22.789274 33.146872 29.845578 -28.576381 -25.730289 30.096010 33.425005 -25.563369 -28.390997 26.627968 36.650254 -22.329634 -30.734104 22.787275 39.468717 -18.904720 -32.743936 18.625902 41.834461 -15.318786 -34.406556 14.201956 43.709127 -11.602850 -35.709901 9.578343 45.062559 -7.787347 -36.636586 4.821468 45.873202 -3.909574 -37.197109 0.000000 46.133936 0.000000 -37.376482 -4.821468 45.873202 3.909574 -37.197109 -9.578343 45.062559 7.787347 -36.636586 -14.201956 43.709127 11.602850 -35.709901 -18.625902 41.834461 15.318786 -34.406556 -22.787275 39.468717 18.904720 -32.743936 -26.627968 36.650254 22.329634 -30.734104 -30.096010 33.425005 25.563369 -28.390997 -33.146872 29.845578 28.576381 -25.730289 -35.744666 25.970020 31.366745 -22.789274 -37.900863 21.882073 33.855890 -19.546707 -39.528633 17.599281 36.074243 -16.061288 -40.700472 13.224385 37.921781 -12.321534 -41.379452 8.795474 39.447971 -8.384925 -41.524693 4.364421 40.584578 -4.265611 -41.252424 0.000000 41.252424 0.000000  Table 5 for Fig. 16 N / A Numerical aperture 00:55 | Βx | Magnification scale in cross scan direction 4 βy | | Magnification scale in the scan direction 8th RMS scanned wavefront deviation 8 mλ EP Location of the entrance pupil -2.3 m N Number of mirrors 11

17 zeigt in einer der 14 entsprechenden Darstellung ein r/NA-Diagramm der Parameterbereiche für die Reflexionsflächen der Siegel M1 bis M11 der Projektionsoptik 32. 17 shows in one of the 14 corresponding r / NA diagram of the parameter ranges for the reflection surfaces of the seals M1 to M11 the projection optics 32 ,

18 zeigt die sich hieraus ergebenden Verhältnisse für die Abhängigkeit der Arbeitsabstände a_min , a_max für ein DOE 16 mit jeweiligem Radius d_max zum Vermessen der Reflexionsflächen der Spiegel M1 bis M11 der Projektionsoptik 32. 18 shows the resulting conditions for the dependency of the working distances a _min . a _max for a DOE 16 with respective radius d _max for measuring the reflective surfaces of the mirrors M1 to M11 the projection optics 32 ,

Die 19 zeigt eine weitere Ausführung einer Projektionsoptik 33, die anstelle der Projektionsoptik 7 bei der Projektionsbelichtungsanlage 1 zum Einsatz kommen kann. Komponenten und Funktionen, die denjenigen entsprechen, die vorstehend unter Bezugnahme auf die 1 bis 18 bereits erläutert wurden, tragen die gleichen Bezugsziffern und werden nicht nochmals im Einzelnen diskutiert.The 19 shows a further embodiment of a projection optics 33 that instead of the projection optics 7 in the projection exposure system 1 can be used. Components and functions corresponding to those described above with reference to the 1 to 18 have already been explained, have the same reference numbers and will not be discussed again in detail.

Die optischen Designdaten ergeben sich aus den nachfolgenden Tabellen 1 bis 5, die wiederum vom Grundaufbau her den Tabellen 1 bis 5 zur Ausführung nach 13 entsprechen. Tabelle 1 zu Fig. 19 Radien der Flächen Radius_x [mm] Power_x [1/mm] Radius_y [mm] Power_y [1/mm] M01 -1661.91077969 0.00116245 -1153.49927788 0.00167481 M02 923.83373300 -0.00054446 54856.80930725 -0.00000917 M03 1502.31213724 -0.00038647 -2268.01960781 0.00025599 M04 -1655.97790297 0.00118492 -1057.12450351 0.00185618 M05 3320.86285999 -0.00014360 -13276.95688066 0.00003592 M06 8159.63996600 -0.00004709 -37538.80464475 0.00001024 M07 892.68440578 -0.00224043 461.95919028 -0.00432939 M08 -715.86640491 0.00276694 -692.82804554 0.00285895 Tabelle 2 zu Fig. 19 Dezentrierungen (Ort, Winkel) der Flächen D_x [mm] D_y [mm] D_z [mm] Retikel -0.000000000 1054.205884744 1961.640338641 M01 -0.000000000 934.780600565 572.613683078 Blende -0.000000000 758.555971980 949.203099358 M02 -0.000000000 663.283683616 1152.798565844 M03 -0.000000000 245.458533918 1454.039598875 M04 -0.000000000 -853.277997208 1493.154570523 M05 -0.000000000 -294.803156448 1240.396686968 M06 -0.000000000 -100.027781976 991.629185763 M07 0.000000000 149.964488151 114.482957483 M08 0.000000000 -0.000000000 640.662367313 α_x [°] α_y [0] α_z [°] Retikel -0.000015541 -0.000000000 -0.000000000 M01 10.081561082 180.000000000 0.000000000 Blende 35.571743694 180.000000000 -0.000000000 M02 -50.356712414 -0.000000000 -0.000000000 M03 -18.914743192 -0.000000000 180.000000000 M04 76.805146517 -0.000000000 0.000000000 M05 -38.145632246 -0.000000000 180.000000000 M06 -63.016266874 -0.000000000 -0.000000000 M07 15.907889948 180.000000000 0.000000000 M08 7.953944974 0.000000000 0.000000000 Tabelle 3a zu Fig. 19 Freiformkoeffizienten der Flächen Koeffizient Formel M01 M02 M03 C7 x² y 3.9945299758e-08 -2.0661599703e-07 -4.3029932967e-07 C9 y³ -4.5551588304e-08 -8.7724060620e-08 1.4931935108e-07 C10 x⁴ 8.2590463687e-11 4.2773693086e-10 4.7368344079e-11 C12 x² y² 4.4983579613e-11 3.0410983529e-10 1.6750399430e-10 C14 y⁴ -2.5061248236e-10 1.5715326826e-10 1.6768214858e-10 C16 x⁴ y 1.1639846272e-13 1.4597326405e-13 -7.7411498038e-13 C18 x² y³ -4.5590816878e-14 -5.4626407096e-14 1.3469518710e-12 C20 y⁵ -1.5589484023e-12 2.5582837157e-13 -5.2158841151e-13 C21 x⁶ 1.8720918779e-16 9.9081325143e-16 -1.4438602309e-15 C23 x⁴ y² 6.6647081494e-16 3.0044620902e-15 3.4825296097e-15 C25 x² y⁴ 1.2589687472e-15 3.6909902320e-15 -3.3154397009e-15 C27 y⁶ 2.5679148918e-15 -1.2489355078e-15 -3.5293470921e-16 C29 x⁶ y -2.4110703927e-19 9.8844525495e-18 3.9161130826e-18 C31 x⁴ y³ -3.0085270085e-19 8.9717395183e-18 -3.7747443649e-18 C33 x² y⁵ -1.5970825148e-17 -3.9041387067e-19 -8.1060944299e-18 C35 y⁷ 1.5920428733e-17 -4.5296716474e-18 1.9538141940e-17 C36 x⁸ 5.1600876660e-22 -8.5851891379e-21 -3.4468769570e-21 C38 x⁶ y² 2.4065668933e-21 2.7804970033e-20 7.3452242791e-21 C40 x⁴ y⁴ 2.5664551099e-20 5.5469177261e-20 -5.5958433473e-20 C42 x² y⁶ -3.7631366353e-20 -1.5089909416e-20 1.3999618217e-19 C44 y⁸ 8.2246311128e-20 7.0186107311e-20 -7.2489878368e-20 C46 x⁸y -5.6577595423e-24 1.6364768376e-22 5.5360460872e-23 C48 x⁶ y³ -5.0302756800e-23 1.4671535292e-22 -7.0988562509e-23 C50 x⁴ y⁵ -6.4270430579e-24 -2.2496657246e-24 4.2243375307e-22 C52 x²y⁷ -9.8580448838e-22 7.3349216337e-23 -3.8508564760e-22 C54 y⁹ -1.7371583229e-21 -4.0101524526e-22 -3.1099061909e-22 C55 x¹⁰ -3.5592822334e-27 9.3583580499e-25 -4.4257029427e-26 C57 x⁸ y² -1.2690589133e-25 1.4242847693e-24 3.5269211621e-26 C59 x⁶ y⁴ -7.3603054304e-25 6.6848439665e-25 3.9094786352e-25 C61 x⁴ y⁶ -1.2827747636e-24 -1.9722733517e-25 7.2818045420e-25 C63 x²y⁸ -1.9383382518e-23 2.7930377021e-24 -3.5603404178e-24 C65 y¹⁰ -1.7423010817e-23 2.7359715140e-24 1.4800249968e-24 C67 x¹⁰ y 1.1745731529e-28 2.0230403948e-27 -2.8593129151e-28 C69 x⁸y³ 2.0522860943e-27 9.3733374775e-27 -2.8762499387e-27 C71 x⁶ y⁵ 1.1475764030e-26 1.2731509910e-26 3.0769574024e-27 C73 x⁴y⁷ 1.6814911284e-26 8.3649263483e-27 -1.7218873453e-26 C75 x² y⁹ 8.2395300215e-26 -1.5092075263e-26 2.5094786383e-26 C77 y¹¹ 3.0355373829e-25 -1.0409684437e-26 5.1165505084e-27 C78 x¹² 4.6286463691e-32 -1.0780539237e-29 6.2561931275e-31 C80 x¹⁰ y² 4.2315207407e-30 -4.1427108536e-30 -6.6826531686e-30 C82 x⁸y⁴ 3.4414777780e-29 2.8165500140e-29 6.8608802559e-31 C84 x⁶ y⁶ 8.3077929597e-29 7.2168298967e-29 -4.8916284834e-29 C86 x⁴ y⁸ 4.1395889539e-28 4.9992377928e-29 5.1251847026e-29 C88 x² y¹⁰ 3.3573592941e-27 4.2085832096e-29 2.4351974799e-29 C90 y¹² 3.9726585180e-27 1.4862489483e-29 4.9614639784e-29 C92 x¹² y -1.4979839075e-33 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C94 x¹⁰ y³ -4.5739544365e-32 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C96 x⁸ y⁵ -4.5336086552e-31 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C98 x⁶ y⁷ -1.4279641848e-30 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C100 x⁴ y⁹ -1.6598163278e-30 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C102 x² y¹¹ -8.5995379414e-30 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C104 y¹³ -2.1055928079e-29 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C105 x¹⁴ -3.9730491662e-37 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C107 x¹² y^{2 _}7.5745894492e-35 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C109 x¹⁰ y⁴ -8.0562535009e-34 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C111 x⁸ y⁶ -2.8902955136e-33 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C113 x⁶ y⁸ -3.7844495740e-33 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C115 x⁴ y¹⁰ -5.0855307379e-32 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C117 x² y¹² -2.8961468074e-31 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C119 y¹⁴ -3.0634564544e-31 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C121 x¹⁴ y 7.1832263530e-39 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C123 x¹² y³ 3.4421861634e-37 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C125 x¹⁰ y⁵ 4.9809426007e-36 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C127 x⁸ y⁷ 2.5928836365e-35 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C129 x⁶ y⁹ 5.5196989471e-35 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C131 x⁴ y¹¹ 7.8196303236e-35 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C133 x² y¹³ 2.7112124069e-34 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C135 y¹⁵ 5.6538825580e-34 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C136 x¹⁶ 2.5841660563e-42 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C138 x¹⁴ y² 5.5225795596e-40 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C140 x¹² y⁴ 7.1442060742e-39 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C142 x¹⁰ y⁶ 3.7813975580e-38 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C144 x⁸ y⁸ 4.7235262364e-38 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C146 x⁶ y¹⁰ 1.1804320260e-37 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C148 x⁴ y¹² 2.4637978295e-36 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C150 x² y¹⁴ 8.9389326209e-36 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C152 y¹⁶ 8.3799452497e-36 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 Tabelle 3b zu Fig. 19 Koeffizient Formel M04 M05 M06 C7 x² y 9.4925726854e-09 1.3761763078e-07 -1.5948720173e-08 C9 y³ -3.4993025635e-07 2.1347126104e-07 5.1065663441e-09 C10 x⁴ -3.9279577678e-12 5.6722928246e-11 1.3776626115e-10 C12 x² y² 1.4541032617e-10 -4.2877373836e-10 -2.9616811348e-11 C14 y⁴ -4.0747414658e-10 2.9044138518e-11 -9.7425041762e-11 C16 x⁴ y -3.8954177118e-14 2.6323962750e-14 1.8658291877e-13 C18 x² y³ 1.2529762275e-14 2.0478928548e-13 4.7924538697e-13 C20 y⁵ -9.6780549689e-13 -3.1428942154e-13 9.6389216923e-14 C21 x⁶ 8.1703696015e-18 -4.3199606581e-16 -4.4198255188e-16 C23 x⁴ y² 2.9885864519e-17 5.2640807298e-16 4.1626087954e-17 C25 x² y⁴ -3.2963700322e-16 4.9406696765e-16 -1.9984632012e-15 C27 y⁶ 7.5827768452e-16 -1.8493520103e-15 1.2672943926e-15 C29 x⁶ y -2.8868621981e-20 1.5697365952e-18 2.4993524884e-18 C31 x⁴ y³ 3.0911137788e-19 -6.1471242729e-18 4.7944638865e-18 C33 x² y⁵ -1.4333211928e-17 2.4387764418e-19 1.0796931106e-17 C35 y⁷ -4.0855474200e-16 1.2076539419e-17 -6.2287127101e-18 C36 x⁸ 1.0297189076e-23 -2.4370358953e-21 -3.6454197418e-20 C38 x⁶ y² -3.4010841511e-23 1.2629835586e-20 -9.3506417975e-21 C40 x⁴ y⁴ 1.5745516493e-20 -1.3415947017e-20 3.6704497228e-20 C42 x² y⁶ 5.8227879791e-19 -3.7200565090e-19 -3.9445792374e-20 C44 y⁸ 3.0613036747e-19 1.5395967426e-18 1.9430341273e-20 C46 x⁸ y 1.0919033938e-25 -1.3434793963e-23 -1.0079158692e-21 C48 x⁶ y³ -1.3068385690e-24 5.4841246400e-23 -1.1419582473e-21 C50 x⁴ y⁵ -3.4196503637e-22 2.0059427526e-21 -6.3673898686e-22 C52 x² y⁷ 1.0456519620e-21 1.2449216095e-22 8.1465691947e-23 C54 y⁹ 6.3141304538e-20 -2.3291711758e-20 -6.3291988690e-23 C55 x¹⁰ 9.3669798996e-29 3.9799614868e-26 1.6869503684e-24 C57 x⁸ y² -4.9002959132e-27 -2.4732107164e-25 3.5762509971e-24 C59 x⁶ y⁴ -1.3186346990e-25 -4.5757911827e-24 -5.8472824895e-24 C61 x⁴ y⁶ -2.6448891247e-24 1.3454697374e-24 1.4551842773e-25 C63 x² y⁸ -1.0086595810e-22 6.4406471859e-23 -6.0730347091e-25 C65 y¹⁰ -1.9969511207e-23 1.4095705970e-24 -3.7866595600e-25 C67 x¹⁰ y -1.0439184750e-30 2.6290638507e-28 1.6574025319e-26 C69 x⁸ y³ -3.5057599827e-29 7.2690225973e-27 1.0655151696e-25 C71 x⁶ y⁵ 1.8748350509e-27 1.2832757800e-26 6.2297691827e-26 C73 x⁴ y⁷ 7.3540601081e-26 -2.9257721735e-25 1.9089176207e-26 C75 x² y⁹ -9.6147623646e-25 -3.5636839850e-25 3.2774255845e-27 C77 y¹¹ -1.4455137771e-23 1.8439633587e-24 4.3447208187e-27 C78 x¹² -9.3466486722e-34 -7.3525060545e-32 -1.5381856685e-28 C80 x¹⁰ y² 7.2802371648e-32 -4.9748213120e-30 -4.5929511797e-28 C82 x⁸ y⁴ 3.9911768677e-30 -1.9302580173e-29 1.0313462657e-27 C84 x⁶ y⁶ 6.1466353119e-29 8.5252339786e-29 -7.9741117207e-29 C86 x⁴ y⁸ 5.6285369471e-28 1.6274332730e-27 -6.0965655791e-29 C88 x² y¹⁰ 2.5070868392e-26 -7.3934958176e-28 -3.8836794747e-30 C90 y¹² -2.4887585365e-26 -8.6558392435e-27 -1.0287537456e-29 C92 x¹² y 1.1545355790e-35 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C94 x¹⁰ y³ -4.5478873965e-34 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C96 x⁸ y⁵ -5.1348009716e-32 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C98 x⁶ y⁷ -1.3304907154e-30 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C100 x⁴ y⁹ -1.2638055578e-29 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C102 x² y¹¹ 3.1860410929e-28 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C104 y¹³ 2.3102454972e-27 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C105 x¹⁴ 3.5566084973e-39 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C107 x¹² y² -4.4805783948e-37 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C109 x¹⁰ y⁴ -2.0409546384e-35 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C111 x⁸ y⁶ -3.5470311695e-34 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C113 x⁶ y⁸ -4.8584982927e-34 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C115 x⁴ y¹⁰ -4.4487877665e-32 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C117 x² y¹² -4.6684231866e-30 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C119 y¹⁴ 3.8607680355e-30 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C121 x¹⁴ y -4.9697771975e-41 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C123 x¹² y³ 4.4822331023e-39 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C125 x¹⁰ y⁵ 4.3397611202e-37 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C127 x⁸ y⁷ 1.1446782009e-35 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C129 x⁶ y⁹ 1.5198281621e-34 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C131 x⁴ y¹¹ 3.6499205617e-35 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C133 x² y¹³ -4.0388690685e-32 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C135 y¹⁵ -1.8300329420e-31 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C136 x¹⁶ -3.2861740095e-45 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C138 x¹⁴ y² 1.0373883514e-42 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C140 x¹² y⁴ -2.6904569292e-41 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C142 x¹⁰ y⁶ -2.6557470545e-39 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C144 x⁸ y⁸ -5.4430020072e-38 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C146 x⁶ y¹⁰ -8.3615198342e-37 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C148 x⁴ y¹² 1.1790373017e-35 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C150 x² y¹⁴ 4.7254080908e-34 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 C152 y¹⁶ 2.4067020654e-34 0.0000000000e+00 0.0000000000e+00 Tabelle 3c zu Fig. 19 Koeffizient Formel M07 M08 C7 x² y 1.5498365918e-06 -1.9642708868e-08 C9 y³ 9.3132174074e-07 -6.6801481082e-09 C10 x⁴ 2.2129714203e-09 -3.7158465994e-11 C12 x² y² 8.6999348226e-09 -8.6118313471e-11 C14 y⁴ 7.3260984567e-09 -4.6261584549e-11 C16 x⁴ y 1.2263119874e-11 -4.2305299828e-14 C18 x² y³ 3.3578086763e-11 -6.7929145223e-14 C20 y⁵ 2.8601194512e-11 -3.4223339704e-14 C21 x⁶ 1.2964491519e-14 -8.2089990441e-17 C23 x⁴ y² 1.0933166791e-13 -2.8592961795e-16 C25 x² y⁴ 2.3000552463e-13 -3.0597197721e-16 C27 y⁶ 1.3185384719e-13 -1.0720872044e-16 C29 x⁶ y 1.4419137567e-16 -9.3193819536e-20 C31 x ⁴ y³ 7.0261169187e-16 -2.3652141717e-19 C33 x² y⁵ 1.2423986637e-15 -2.3250431078e-19 C35 y⁷ 7.3654742351e-16 -8.1754139055e-20 C36 x⁸ 1.0192622099e-19 -1.6440629802e-22 C38 x⁶ y² 1.5501663046e-18 -7.7744748902e-22 C40 x⁴ y⁴ 5.5424713508e-18 -1.2599140747e-21 C42 x²y⁶ 7.9756669057e-18 -8.8859695008e-22 C44 y⁸ 5.3697303271e-18 -2.5754171404e-22 C46 x⁸ y 2.2102251123e-21 -1.8918954047e-25 C48 x⁶ y³ 1.3274980445e-20 -6.0598746237e-25 C50 x⁴ y⁵ 3.0307765479e-20 -8.6153339247e-25 C52 x²y⁷ 4.4296353609e-20 -5.9313224060e-25 C54 y⁹ 1.6638092267e-20 -1.0508091330e-25 C55 x¹⁰ 1.9918593979e-24 -3.1758813085e-28 C57 x⁸ y² 3.0332181356e-23 -1.6811000032e-27 C59 x⁶ y⁴ 1.3835959910e-22 -3.6274436334e-27 C61 x⁴ y⁶ 3.5038229219e-22 -3.8703269868e-27 C63 x² y⁸ 5.0572497660e-22 -2.3447211543e-27 C65 y¹⁰ 5.2431022104e-23 -3.3246168440e-28 C67 x¹⁰ y -2.0278931782e-27 -5.8138822262e-31 C69 x⁸ y³ 2.1850530399e-25 -2.8777280286e-30 C71 x⁶ y⁵ 2.0701049148e-24 -5.8879172260e-30 C73 x⁴ y⁷ 7.0898405166e-24 -6.3033921938e-30 C75 x² y⁹ 6.0731215730e-24 -3.1363825269e-30 C77 y¹¹ 1.3622774710e-24 -7.4393913305e-31 C78 x¹² -3.2598234250e-30 -1.0139664035e-33 C80 x¹⁰ y² -2.1124616300e-28 -7.7072411806e-33 C82 x⁸ y⁴ 1.2869314271e-27 -2.1182603015e-32 C84 x⁶ y⁶ 1.4748410018e-26 -3.0699024643e-32 C86 x⁴ y⁸ 2.1375482651e-26 -2.4769147923e-32 C88 x² y¹⁰ -1.1368826757e-26 -7.4408585745e-33 C90 y¹² -3.5628081566e-28 -1.8406242224e-33 C92 x¹² y 1.3942580053e-30 6.1041465020e-37 C94 x¹⁰ y³ 1.0643788768e-29 3.7776464862e-36 C96 x⁸ y⁵ -1.9113665140e-30 1.1081197452e-35 C98 x⁶ y⁷ -2.5715082035e-28 1.7396064889e-35 C100 x⁴ y⁹ -8.5737266078e-28 1.7519214350e-35 C102 x² y¹¹ -6.5283901129e-28 7.1303840947e-36 C104 y¹³ -3.1602102745e-29 -1.4297418340e-37 C105 x¹⁴ 3.7517936897e-34 1.0894763844e-39 C107 x¹² y² 4.0271051736e-32 1.2525190673e-38 C109 x¹⁰ y⁴ 2.1695076379e-31 4.2744342445e-38 C111 x⁸ y⁶ 7.3162528484e-32 7.8180249630e-38 C113 x⁶ y⁸ -1.6674512973e-30 8.6634697048e-38 C115 x⁴ y¹⁰ -2.4049560736e-30 5.7597610027e-38 C117 x² y¹² 1.2510133251e-30 3.2906932713e-39 C119 y¹⁴ 1.5156363537e-30 -1.9828946953e-39 C121 x¹⁴ y -6.8240323204e-36 -7.1665512524e-42 C123 x¹² y³ 2.4032976505e-35 -4.5171617208e-41 C125 x¹⁰ y⁵ 1.5561032071e-33 -1.3697774238e-40 C127 x⁸ y⁷ 1.2337336767e-32 -2.3681863102e-40 C129 x⁶ y⁹ 4.6402303276e-32 -2.5387748501e-40 C131 x⁴ y¹¹ 8.9854285735e-32 -1.7557046765e-40 C133 x² y¹³ 6.8671882071e-32 -6.5559763687e-41 C135 y¹⁵ 1.3901267036e-32 -5.8290511366e-42 C136 x¹⁶ 1.0909295465e-39 -1.0152340841e-44 C138 x¹⁴ y² -5.2478962719e-37 -1.0217162981e-43 C140 x¹² y⁴ -2.3177019139e-36 -4.0162594013e-43 C142 x¹⁰ y⁶ 1.2355378938e-35 -8.7185956129e-43 C144 x⁸ y⁸ 1.1536377636e-34 -1.1822445241e-42 C146 x⁶ y¹⁰ 3.6616962148e-34 -1.0246734539e-42 C148 x⁴ y¹² 5.2608955009e-34 -5.6977012821e-43 C150 x² y¹⁴ 2.8978019321e-34 -1.5179401663e-43 C152 y¹⁶ 3.0212158565e-35 -1.2991628720e-44 Tabelle 4 zu Fig. 19 Koordinaten des Blendenrandes x_i [mm] y_i [mm] x_i+N/2 [mm] y_i+N/2 [mm] 38.552894 4.052072 -38.357964 -4.031585 35.302333 7.503742 -34.945379 -7.427870 30.342005 9.858715 -30.270397 -9.835448 25.499290 11.353015 -25.444788 -11.328749 21.001026 12.124948 -21.439964 -12.378369 17.435475 12.667614 -17.669041 -12.837309 14.438947 13.000886 -14.685215 -13.222627 11.823047 13.130824 -12.231194 -13.584117 9.574983 13.178834 -9.941387 -13.683146 7.637693 13.228872 -7.951189 -13.771863 5.930018 13.319039 -6.119478 -13.744572 4.329010 13.323322 -4.479435 -13.786285 2.824225 13.286936 -2.928894 -13.779362 1.397615 13.297416 -1.451145 -13.806726 0.000000 13.237505 0.000000 -13.755174 -1.397615 13.297416 1.451145 -13.806726 -2.824225 13.286936 2.928894 -13.779362 -4.329010 13.323322 4.479435 -13.786285 -5.930018 13.319039 6.119478 -13.744572 -7.637693 13.228872 7.951189 -13.771863 -9.574983 13.178834 9.941387 -13.683146 -11.823047 13.130824 12.231194 -13.584117 -14.438947 13.000886 14.685215 -13.222627 -17.435475 12.667614 17.669041 -12.837309 -21.001026 12.124948 21.439964 -12.378369 -25.499290 11.353015 25.444788 -11.328749 -30.342005 9.858715 30.270397 -9.835448 -35.302333 7.503742 34.945379 -7.427870 -38.552894 4.052072 38.357964 -4.031585 -39.097057 0.000000 39.097057 0.000000 Tabelle 5 zu Fig. 19 NA Numerische Apertur 0.55 |βx| Vergrößerungsmaßstab in Crossscanrichtung 4 |βy| Vergrößerungsmaßstab in Scanrichtung 8 RMS gescannte Wellenfrontabweichung 8 mλ EP Lage der Eintrittspupille -2.2 m N Anzahl der Spiegel 8 The optical design data result from the following tables 1 to 5, which in turn are based on the basic structure of tables 1 to 5 for execution 13 correspond. Table 1 for Fig. 19 Radii of the surfaces Radius _x [mm] Power _x [1 / mm] Radius _y [mm] Power _y [1 / mm] M01 -1661.91077969 0.00116245 -1153.49927788 0.00167481 M02 923.83373300 -0.00054446 54856.80930725 -0.00000917 M03 1502.31213724 -0.00038647 -2268.01960781 0.00025599 M04 -1655.97790297 0.00118492 -1057.12450351 0.00185618 M05 3320.86285999 -0.00014360 -13276.95688066 0.00003592 M06 8159.63996600 -0.00004709 -37538.80464475 0.00001024 M07 892.68440578 -0.00224043 461.95919028 -0.00432939 M08 -715.86640491 0.00276694 -692.82804554 0.00285895 Table 2 for Fig. 19 Decentrations (location, angle) of the surfaces D _x [mm] D _y [mm] D _z [mm] reticle -0.000000000 1054.205884744 1961.640338641 M01 -0.000000000 934.780600565 572.613683078 cover -0.000000000 758.555971980 949.203099358 M02 -0.000000000 663.283683616 1152.798565844 M03 -0.000000000 245.458533918 1454.039598875 M04 -0.000000000 -853.277997208 1493.154570523 M05 -0.000000000 -294.803156448 1240.396686968 M06 -0.000000000 -100.027781976 991.629185763 M07 0.000000000 149.964488151 114.482957483 M08 0.000000000 -0.000000000 640.662367313 α _x [°] α _y [0] α _z [°] reticle -0.000015541 -0.000000000 -0.000000000 M01 10.081561082 180.000000000 0.000000000 cover 35.571743694 180.000000000 -0.000000000 M02 -50.356712414 -0.000000000 -0.000000000 M03 -18.914743192 -0.000000000 180.000000000 M04 76.805146517 -0.000000000 0.000000000 M05 -38.145632246 -0.000000000 180.000000000 M06 -63.016266874 -0.000000000 -0.000000000 M07 15.907889948 180.000000000 0.000000000 M08 7.953944974 0.000000000 0.000000000 Table 3a to Fig. 19 Free-form coefficients of the surfaces coefficient formula M01 M02 M03 C7 x ² y 3.9945299758e-08 -2.0661599703e-07 -4.3029932967e-07 C9 y ³ -4.5551588304e-08 -8.7724060620e-08 1.4931935108e-07 C10 x ⁴ 8.2590463687e-11 4.2773693086e-10 4.7368344079e-11 C12 x ² y ² 4.4983579613e-11 3.0410983529e-10 1.6750399430e-10 C14 y ⁴ -2.5061248236e-10 1.5715326826e-10 1.6768214858e-10 C16 x ⁴ y 1.1639846272e-13 1.4597326405e-13 -7.7411498038e-13 C18 x ² y ³ -4.5590816878e-14 -5.4626407096e-14 1.3469518710e-12 C20 y ⁵ -1.5589484023e-12 2.5582837157e-13 -5.2158841151e-13 C21 x ⁶ 1.8720918779e-16 9.9081325143e-16 -1.4438602309e-15 C23 x ⁴ y ² 6.6647081494e-16 3.0044620902e-15 3.4825296097e-15 C25 x ² y ⁴ 1.2589687472e-15 3.6909902320e-15 -3.3154397009e-15 C27 y ⁶ 2.5679148918e-15 -1.2489355078e-15 -3.5293470921e-16 C29 x ⁶ y -2.4110703927e-19 9.8844525495e-18 3.9161130826e-18 C31 x ⁴ y ³ -3.0085270085e-19 8.9717395183e-18 -3.7747443649e-18 C33 x ² y ⁵ -1.5970825148e-17 -3.9041387067e-19 -8.1060944299e-18 C35 y ⁷ 1.5920428733e-17 -4.5296716474e-18 1.9538141940e-17 C36 x ⁸ 5.1600876660e-22 -8.5851891379e-21 -3.4468769570e-21 C38 x ⁶ y ² 2.4065668933e-21 2.7804970033e-20 7.3452242791e-21 C40 x ⁴ y ⁴ 2.5664551099e-20 5.5469177261e-20 -5.5958433473e-20 C42 x ² y ⁶ -3.7631366353e-20 -1.5089909416e-20 1.3999618217e-19 C44 y ⁸ 8.2246311128e-20 7.0186107311e-20 -7.2489878368e-20 C46 x ⁸ y -5.6577595423e-24 1.6364768376e-22 5.5360460872e-23 C48 x ⁶ y ³ -5.0302756800e-23 1.4671535292e-22 -7.0988562509e-23 C50 x ⁴ y ⁵ -6.4270430579e-24 -2.2496657246e-24 4.2243375307e-22 C52 x ² y ⁷ -9.8580448838e-22 7.3349216337e-23 -3.8508564760e-22 C54 y ⁹ -1.7371583229e-21 -4.0101524526e-22 -3.1099061909e-22 C55 x ¹⁰ -3.5592822334e-27 9.3583580499e-25 -4.4257029427e-26 C57 x ⁸ y ² -1.2690589133e-25 1.4242847693e-24 3.5269211621e-26 C59 x ⁶ y ⁴ -7.3603054304e-25 6.6848439665e-25 3.9094786352e-25 C61 x ⁴ y ⁶ -1.2827747636e-24 -1.9722733517e-25 7.2818045420e-25 C63 x ² y ⁸ -1.9383382518e-23 2.7930377021e-24 -3.5603404178e-24 C65 y ¹⁰ -1.7423010817e-23 2.7359715140e-24 1.4800249968e-24 C67 x ¹⁰ y 1.1745731529e-28 2.0230403948e-27 -2.8593129151e-28 C69 x ⁸ y ³ 2.0522860943e-27 9.3733374775e-27 -2.8762499387e-27 C71 x ⁶ y ⁵ 1.1475764030e-26 1.2731509910e-26 3.0769574024e-27 C73 x ⁴ y ⁷ 1.6814911284e-26 8.3649263483e-27 -1.7218873453e-26 C75 x ² y ⁹ 8.2395300215e-26 -1.5092075263e-26 2.5094786383e-26 C77 y ¹¹ 3.0355373829e-25 -1.0409684437e-26 5.1165505084e-27 C78 x ¹² 4.6286463691e-32 -1.0780539237e-29 6.2561931275e-31 C80 x ¹⁰ y ² 4.2315207407e-30 -4.1427108536e-30 -6.6826531686e-30 C82 x ⁸ y ⁴ 3.4414777780e-29 2.8165500140e-29 6.8608802559e-31 C84 x ⁶ y ⁶ 8.3077929597e-29 7.2168298967e-29 -4.8916284834e-29 C86 x ⁴ y ⁸ 4.1395889539e-28 4.9992377928e-29 5.1251847026e-29 C88 x ² y ¹⁰ 3.3573592941e-27 4.2085832096e-29 2.4351974799e-29 C90 y ¹² 3.9726585180e-27 1.4862489483e-29 4.9614639784e-29 C92 x ¹² y -1.4979839075e-33 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C94 x ¹⁰ y ³ -4.5739544365e-32 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C96 x ⁸ y ⁵ -4.5336086552e-31 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C98 x ⁶ y ⁷ -1.4279641848e-30 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C100 x ⁴ y ⁹ -1.6598163278e-30 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C102 x ² y ¹¹ -8.5995379414e-30 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C104 y ¹³ -2.1055928079e-29 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C105 x ¹⁴ -3.9730491662e-37 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C107 x ¹² y ^{2 _} 7.5745894492e-35 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C109 x ¹⁰ y ⁴ -8.0562535009e-34 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C111 x ⁸ y ⁶ -2.8902955136e-33 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C113 x ⁶ y ⁸ -3.7844495740e-33 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C115 x ⁴ y ¹⁰ -5.0855307379e-32 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C117 x ² y ¹² -2.8961468074e-31 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C119 y ¹⁴ -3.0634564544e-31 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C121 x ¹⁴ y 7.1832263530e-39 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C123 x ¹² y ³ 3.4421861634e-37 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C125 x ¹⁰ y ⁵ 4.9809426007e-36 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C127 x ⁸ y ⁷ 2.5928836365e-35 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C129 x ⁶ y ⁹ 5.5196989471e-35 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C131 x ⁴ y ¹¹ 7.8196303236e-35 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C133 x ² y ¹³ 2.7112124069e-34 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C135 y ¹⁵ 5.6538825580e-34 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C136 x ¹⁶ 2.5841660563e-42 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C138 x ¹⁴ y ² 5.5225795596e-40 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C140 x ¹² y ⁴ 7.1442060742e-39 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C142 x ¹⁰ y ⁶ 3.7813975580e-38 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C144 x ⁸ y ⁸ 4.7235262364e-38 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C146 x ⁶ y ¹⁰ 1.1804320260e-37 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C148 x ⁴ y ¹² 2.4637978295e-36 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C150 x ² y ¹⁴ 8.9389326209e-36 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C152 y ¹⁶ 8.3799452497e-36 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 Table 3b for Fig. 19 coefficient formula M04 M05 M06 C7 x ² y 9.4925726854e-09 1.3761763078e-07 -1.5948720173e-08 C9 y ³ -3.4993025635e-07 2.1347126104e-07 5.1065663441e-09 C10 x ⁴ -3.9279577678e-12 5.6722928246e-11 1.3776626115e-10 C12 x ² y ² 1.4541032617e-10 -4.2877373836e-10 -2.9616811348e-11 C14 y ⁴ -4.0747414658e-10 2.9044138518e-11 -9.7425041762e-11 C16 x ⁴ y -3.8954177118e-14 2.6323962750e-14 1.8658291877e-13 C18 x ² y ³ 1.2529762275e-14 2.0478928548e-13 4.7924538697e-13 C20 y ⁵ -9.6780549689e-13 -3.1428942154e-13 9.6389216923e-14 C21 x ⁶ 8.1703696015e-18 -4.3199606581e-16 -4.4198255188e-16 C23 x ⁴ y ² 2.9885864519e-17 5.2640807298e-16 4.1626087954e-17 C25 x ² y ⁴ -3.2963700322e-16 4.9406696765e-16 -1.9984632012e-15 C27 y ⁶ 7.5827768452e-16 -1.8493520103e-15 1.2672943926e-15 C29 x ⁶ y -2.8868621981e-20 1.5697365952e-18 2.4993524884e-18 C31 x ⁴ y ³ 3.0911137788e-19 -6.1471242729e-18 4.7944638865e-18 C33 x ² y ⁵ -1.4333211928e-17 2.4387764418e-19 1.0796931106e-17 C35 y ⁷ -4.0855474200e-16 1.2076539419e-17 -6.2287127101e-18 C36 x ⁸ 1.0297189076e-23 -2.4370358953e-21 -3.6454197418e-20 C38 x ⁶ y ² -3.4010841511e-23 1.2629835586e-20 -9.3506417975e-21 C40 x ⁴ y ⁴ 1.5745516493e-20 -1.3415947017e-20 3.6704497228e-20 C42 x ² y ⁶ 5.8227879791e-19 -3.7200565090e-19 -3.9445792374e-20 C44 y ⁸ 3.0613036747e-19 1.5395967426e-18 1.9430341273e-20 C46 x ⁸ y 1.0919033938e-25 -1.3434793963e-23 -1.0079158692e-21 C48 x ⁶ y ³ -1.3068385690e-24 5.4841246400e-23 -1.1419582473e-21 C50 x ⁴ y ⁵ -3.4196503637e-22 2.0059427526e-21 -6.3673898686e-22 C52 x ² y ⁷ 1.0456519620e-21 1.2449216095e-22 8.1465691947e-23 C54 y ⁹ 6.3141304538e-20 -2.3291711758e-20 -6.3291988690e-23 C55 x ¹⁰ 9.3669798996e-29 3.9799614868e-26 1.6869503684e-24 C57 x ⁸ y ² -4.9002959132e-27 -2.4732107164e-25 3.5762509971e-24 C59 x ⁶ y ⁴ -1.3186346990e-25 -4.5757911827e-24 -5.8472824895e-24 C61 x ⁴ y ⁶ -2.6448891247e-24 1.3454697374e-24 1.4551842773e-25 C63 x ² y ⁸ -1.0086595810e-22 6.4406471859e-23 -6.0730347091e-25 C65 y ¹⁰ -1.9969511207e-23 1.4095705970e-24 -3.7866595600e-25 C67 x ¹⁰ y -1.0439184750e-30 2.6290638507e-28 1.6574025319e-26 C69 x ⁸ y ³ -3.5057599827e-29 7.2690225973e-27 1.0655151696e-25 C71 x ⁶ y ⁵ 1.8748350509e-27 1.2832757800e-26 6.2297691827e-26 C73 x ⁴ y ⁷ 7.3540601081e-26 -2.9257721735e-25 1.9089176207e-26 C75 x ² y ⁹ -9.6147623646e-25 -3.5636839850e-25 3.2774255845e-27 C77 y ¹¹ -1.4455137771e-23 1.8439633587e-24 4.3447208187e-27 C78 x ¹² -9.3466486722e-34 -7.3525060545e-32 -1.5381856685e-28 C80 x ¹⁰ y ² 7.2802371648e-32 -4.9748213120e-30 -4.5929511797e-28 C82 x ⁸ y ⁴ 3.9911768677e-30 -1.9302580173e-29 1.0313462657e-27 C84 x ⁶ y ⁶ 6.1466353119e-29 8.5252339786e-29 -7.9741117207e-29 C86 x ⁴ y ⁸ 5.6285369471e-28 1.6274332730e-27 -6.0965655791e-29 C88 x ² y ¹⁰ 2.5070868392e-26 -7.3934958176e-28 -3.8836794747e-30 C90 y ¹² -2.4887585365e-26 -8.6558392435e-27 -1.0287537456e-29 C92 x ¹² y 1.1545355790e-35 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C94 x ¹⁰ y ³ -4.5478873965e-34 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C96 x ⁸ y ⁵ -5.1348009716e-32 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C98 x ⁶ y ⁷ -1.3304907154e-30 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C100 x ⁴ y ⁹ -1.2638055578e-29 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C102 x ² y ¹¹ 3.1860410929e-28 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C104 y ¹³ 2.3102454972e-27 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C105 x ¹⁴ 3.5566084973e-39 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C107 x ¹² y ² -4.4805783948e-37 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C109 x ¹⁰ y ⁴ -2.0409546384e-35 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C111 x ⁸ y ⁶ -3.5470311695e-34 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C113 x ⁶ y ⁸ -4.8584982927e-34 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C115 x ⁴ y ¹⁰ -4.4487877665e-32 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C117 x ² y ¹² -4.6684231866e-30 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C119 y ¹⁴ 3.8607680355e-30 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C121 x ¹⁴ y -4.9697771975e-41 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C123 x ¹² y ³ 4.4822331023e-39 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C125 x ¹⁰ y ⁵ 4.3397611202e-37 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C127 x ⁸ y ⁷ 1.1446782009e-35 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C129 x ⁶ y ⁹ 1.5198281621e-34 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C131 x ⁴ y ¹¹ 3.6499205617e-35 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C133 x ² y ¹³ -4.0388690685e-32 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C135 y ¹⁵ -1.8300329420e-31 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C136 x ¹⁶ -3.2861740095e-45 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C138 x ¹⁴ y ² 1.0373883514e-42 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C140 x ¹² y ⁴ -2.6904569292e-41 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C142 x ¹⁰ y ⁶ -2.6557470545e-39 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C144 x ⁸ y ⁸ -5.4430020072e-38 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C146 x ⁶ y ¹⁰ -8.3615198342e-37 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C148 x ⁴ y ¹² 1.1790373017e-35 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C150 x ² y ¹⁴ 4.7254080908e-34 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 C152 y ¹⁶ 2.4067020654e-34 0.0000000000e + 00 0.0000000000e + 00 Table 3c for Fig. 19 coefficient formula M07 M08 C7 x ² y 1.5498365918e-06 -1.9642708868e-08 C9 y ³ 9.3132174074e-07 -6.6801481082e-09 C10 x ⁴ 2.2129714203e-09 -3.7158465994e-11 C12 x ² y ² 8.6999348226e-09 -8.6118313471e-11 C14 y ⁴ 7.3260984567e-09 -4.6261584549e-11 C16 x ⁴ y 1.2263119874e-11 -4.2305299828e-14 C18 x ² y ³ 3.3578086763e-11 -6.7929145223e-14 C20 y ⁵ 2.8601194512e-11 -3.4223339704e-14 C21 x ⁶ 1.2964491519e-14 -8.2089990441e-17 C23 x ⁴ y ² 1.0933166791e-13 -2.8592961795e-16 C25 x ² y ⁴ 2.3000552463e-13 -3.0597197721e-16 C27 y ⁶ 1.3185384719e-13 -1.0720872044e-16 C29 x ⁶ y 1.4419137567e-16 -9.3193819536e-20 C31 x ⁴ y ³ 7.0261169187e-16 -2.3652141717e-19 C33 x ² y ⁵ 1.2423986637e-15 -2.3250431078e-19 C35 y ⁷ 7.3654742351e-16 -8.1754139055e-20 C36 x ⁸ 1.0192622099e-19 -1.6440629802e-22 C38 x ⁶ y ² 1.5501663046e-18 -7.7744748902e-22 C40 x ⁴ y ⁴ 5.5424713508e-18 -1.2599140747e-21 C42 x ² y ⁶ 7.9756669057e-18 -8.8859695008e-22 C44 y ⁸ 5.3697303271e-18 -2.5754171404e-22 C46 x ⁸ y 2.2102251123e-21 -1.8918954047e-25 C48 x ⁶ y ³ 1.3274980445e-20 -6.0598746237e-25 C50 x ⁴ y ⁵ 3.0307765479e-20 -8.6153339247e-25 C52 x ² y ⁷ 4.4296353609e-20 -5.9313224060e-25 C54 y ⁹ 1.6638092267e-20 -1.0508091330e-25 C55 x ¹⁰ 1.9918593979e-24 -3.1758813085e-28 C57 x ⁸ y ² 3.0332181356e-23 -1.6811000032e-27 C59 x ⁶ y ⁴ 1.3835959910e-22 -3.6274436334e-27 C61 x ⁴ y ⁶ 3.5038229219e-22 -3.8703269868e-27 C63 x ² y ⁸ 5.0572497660e-22 -2.3447211543e-27 C65 y ¹⁰ 5.2431022104e-23 -3.3246168440e-28 C67 x ¹⁰ y -2.0278931782e-27 -5.8138822262e-31 C69 x ⁸ y ³ 2.1850530399e-25 -2.8777280286e-30 C71 x ⁶ y ⁵ 2.0701049148e-24 -5.8879172260e-30 C73 x ⁴ y ⁷ 7.0898405166e-24 -6.3033921938e-30 C75 x ² y ⁹ 6.0731215730e-24 -3.1363825269e-30 C77 y ¹¹ 1.3622774710e-24 -7.4393913305e-31 C78 x ¹² -3.2598234250e-30 -1.0139664035e-33 C80 x ¹⁰ y ² -2.1124616300e-28 -7.7072411806e-33 C82 x ⁸ y ⁴ 1.2869314271e-27 -2.1182603015e-32 C84 x ⁶ y ⁶ 1.4748410018e-26 -3.0699024643e-32 C86 x ⁴ y ⁸ 2.1375482651e-26 -2.4769147923e-32 C88 x ² y ¹⁰ -1.1368826757e-26 -7.4408585745e-33 C90 y ¹² -3.5628081566e-28 -1.8406242224e-33 C92 x ¹² y 1.3942580053e-30 6.1041465020e-37 C94 x ¹⁰ y ³ 1.0643788768e-29 3.7776464862e-36 C96 x ⁸ y ⁵ -1.9113665140e-30 1.1081197452e-35 C98 x ⁶ y ⁷ -2.5715082035e-28 1.7396064889e-35 C100 x ⁴ y ⁹ -8.5737266078e-28 1.7519214350e-35 C102 x ² y ¹¹ -6.5283901129e-28 7.1303840947e-36 C104 y ¹³ -3.1602102745e-29 -1.4297418340e-37 C105 x ¹⁴ 3.7517936897e-34 1.0894763844e-39 C107 x ¹² y ² 4.0271051736e-32 1.2525190673e-38 C109 x ¹⁰ y ⁴ 2.1695076379e-31 4.2744342445e-38 C111 x ⁸ y ⁶ 7.3162528484e-32 7.8180249630e-38 C113 x ⁶ y ⁸ -1.6674512973e-30 8.6634697048e-38 C115 x ⁴ y ¹⁰ -2.4049560736e-30 5.7597610027e-38 C117 x ² y ¹² 1.2510133251e-30 3.2906932713e-39 C119 y ¹⁴ 1.5156363537e-30 -1.9828946953e-39 C121 x ¹⁴ y -6.8240323204e-36 -7.1665512524e-42 C123 x ¹² y ³ 2.4032976505e-35 -4.5171617208e-41 C125 x ¹⁰ y ⁵ 1.5561032071e-33 -1.3697774238e-40 C127 x ⁸ y ⁷ 1.2337336767e-32 -2.3681863102e-40 C129 x ⁶ y ⁹ 4.6402303276e-32 -2.5387748501e-40 C131 x ⁴ y ¹¹ 8.9854285735e-32 -1.7557046765e-40 C133 x ² y ¹³ 6.8671882071e-32 -6.5559763687e-41 C135 y ¹⁵ 1.3901267036e-32 -5.8290511366e-42 C136 x ¹⁶ 1.0909295465e-39 -1.0152340841e-44 C138 x ¹⁴ y ² -5.2478962719e-37 -1.0217162981e-43 C140 x ¹² y ⁴ -2.3177019139e-36 -4.0162594013e-43 C142 x ¹⁰ y ⁶ 1.2355378938e-35 -8.7185956129e-43 C144 x ⁸ y ⁸ 1.1536377636e-34 -1.1822445241e-42 C146 x ⁶ y ¹⁰ 3.6616962148e-34 -1.0246734539e-42 C148 x ⁴ y ¹² 5.2608955009e-34 -5.6977012821e-43 C150 x ² y ¹⁴ 2.8978019321e-34 -1.5179401663e-43 C152 y ¹⁶ 3.0212158565e-35 -1.2991628720e-44 Table 4 for Fig. 19 Coordinates of the aperture edge x _i [mm] y _i [mm] x _{i + N / 2} [mm] y _{i + N / 2} [mm] 38.552894 4.052072 -38.357964 -4.031585 35.302333 7.503742 -34.945379 -7.427870 30.342005 9.858715 -30.270397 -9.835448 25.499290 11.353015 -25.444788 -11.328749 21.001026 12.124948 -21.439964 -12.378369 17.435475 12.667614 -17.669041 -12.837309 14.438947 13.000886 -14.685215 -13.222627 11.823047 13.130824 -12.231194 -13.584117 9.574983 13.178834 -9.941387 -13.683146 7.637693 13.228872 -7.951189 -13.771863 5.930018 13.319039 -6.119478 -13.744572 4.329010 13.323322 -4.479435 -13.786285 2.824225 13.286936 -2.928894 -13.779362 1.397615 13.297416 -1.451145 -13.806726 0.000000 13.237505 0.000000 -13.755174 -1.397615 13.297416 1.451145 -13.806726 -2.824225 13.286936 2.928894 -13.779362 -4.329010 13.323322 4.479435 -13.786285 -5.930018 13.319039 6.119478 -13.744572 -7.637693 13.228872 7.951189 -13.771863 -9.574983 13.178834 9.941387 -13.683146 -11.823047 13.130824 12.231194 -13.584117 -14.438947 13.000886 14.685215 -13.222627 -17.435475 12.667614 17.669041 -12.837309 -21.001026 12.124948 21.439964 -12.378369 -25.499290 11.353015 25.444788 -11.328749 -30.342005 9.858715 30.270397 -9.835448 -35.302333 7.503742 34.945379 -7.427870 -38.552894 4.052072 38.357964 -4.031585 -39.097057 0.000000 39.097057 0.000000 Table 5 for Fig. 19 N / A Numerical aperture 00:55 | Βx | Magnification scale in cross scan direction 4 βy | | Magnification scale in the scan direction 8th RMS scanned wavefront deviation 8 mλ EP Location of the entrance pupil -2.2 m N Number of mirrors 8th

Die Projektionsoptik 33 nach 19 hat insgesamt acht Spiegel M1 bis M8. Die Spiegel M1, M4, M7 und M8 sind als Spiegel für normalen Einfall ausgeführt (NI-Spiegel). Die anderen Spiegel M2, M3 und M5, M6 sind als Spiegel für streifenden Einfall ausgeführt (GI-Spiegel). Die Projektionsoptik 33 hat also vier NI-Spiegel und vier Gl-Spiegel.The projection optics 33 to 19 has a total of eight mirrors M1 to M8 , The mirror M1 . M4 . M7 and M8 are designed as a mirror for normal incidence (NI mirror). The other mirrors M2 . M3 and M5 . M6 are designed as a mirror for grazing incidence (GI mirror). The projection optics 33 So has four NI mirrors and four Gl mirrors.

Die GI-Spiegel M2 und M3 einerseits und die GI-Spiegel M5, M6 andererseits reflektieren das Abbildungslicht 3 so, dass sich die Ausfallswinkel der Einzelstrahlen 29 auf diesen Spiegeln addieren, sich also in ihrer Umlenkwirkung verstärken.The GI mirror M2 and M3 one hand and the GI mirror M5 . M6 on the other hand reflect the imaging light 3 so that the angle of reflection of the individual rays 29 add up on these mirrors, thus reinforcing their deflecting effect.

Die Projektionsoptik 33 hat für die Spiegel M1 bis M8 folgende Abfolge umlenkender Wirkungen: LRRRLLOR.The projection optics 33 has for the mirror M1 to M8 following sequence of diverting effects: LRRRLLOR.

Außer dem Spiegel M8 mit der Durchtrittsöffnung 31 haben alle anderen Spiegel M1 bis M7 keine Durchtrittsöffnung und werden in einem lückenlos zusammenhängenden Bereich reflektiv genutzt.Except for the mirror M8 with the passage opening 31 have all other mirrors M1 to M7 no passage opening and are used reflectively in a seamlessly connected area.

Eine Apertur- und Obskurationsblende AS liegt bei der Projektionsoptik 33 im Strahlengang zwischen den Spiegeln M1 und M2.An aperture and obscuration aperture AS lies with the projection optics 33 in the beam path between the mirrors M1 and M2 ,

Die Spiegel M1, M4 und M8 haben negative Radiuswerte, sind also grundsätzlich Konkavspiegel. Die Spiegel M2 und M7 haben positive Radiuswerte, sind grundsätzlich also Konvexspiegel. Die Spiegel M3, M5 und M6 haben R_x, R_y-Radiuswerte mit jeweils sich unterscheidenden Vorzeichen, haben also grundsätzlich die Form jeweils einer Sattelfläche.The mirror M1 . M4 and M8 have negative radius values, so they are basically concave mirrors. The mirror M2 and M7 have positive radius values, so they are basically convex mirrors. The mirror M3 . M5 and M6 have R _x , R _y radius values, each with a different sign, so they basically have the shape of a saddle surface.

20 zeigt wiederum in einer Darstellung, die derjenigen der 14 entspricht, die r/NA-Parameterbereiche für die Reflexionsflächen der Spiegel M1 bis M8 der Projektionsoptik 33. 20 shows again in a representation that that of 14 corresponds to the r / NA parameter ranges for the reflection surfaces of the mirrors M1 to M8 the projection optics 33 ,

21 zeigt die sich hieraus ergebende Abhängigkeit der Arbeitsabstände a_min , a_max für einen jeweiligen Radius d_max des DOE 16 zum Einsatz in der Oberflächenprofil-Messeinrichtung 15 beim Vermessen der Spiegel M1 bis M8 der Projektionsoptik 33. 21 shows the resulting dependency of the working distances a _min . a _max for a respective radius d _max of the DOE 16 for use in the surface profile measuring device 15 when measuring the mirrors M1 to M8 the projection optics 33 ,

Die 22 zeigt eine weitere Ausführung einer Projektionsoptik 34, die anstelle der Projektionsoptik 7 bei der Projektionsbelichtungsanlage 1 zum Einsatz kommen kann. Komponenten und Funktionen, die denjenigen entsprechen, die vorstehend unter Bezugnahme auf die 1 bis 21 bereits erläutert wurden, tragen die gleichen Bezugsziffern und werden nicht nochmals im Einzelnen diskutiert.
Vom Grundaufbau entspricht die Projektionsoptik 34 der Projektionsoptik 7, hat allerdings einen GI-Spiegel weniger zwischen dem ersten und dem zweiten NI-Spiegel im Strahlengang.The 22 shows a further embodiment of a projection optics 34 that instead of the projection optics 7 in the projection exposure system 1 can be used. Components and functions corresponding to those described above with reference to the 1 to 21 have already been explained, have the same reference numbers and will not be discussed again in detail.
The projection optics correspond to the basic structure 34 the projection optics 7 , however, has one GI mirror less between the first and the second NI mirror in the beam path.

Die optischen Designdaten ergeben sich aus den nachfolgenden Tabellen 1 bis 5, die wiederum vom Grundaufbau her den Tabellen 1 bis 5 zur Ausführung nach 13 entsprechen. Tabelle 1 zu Fig. 22 Radien der Flächen Radius_x [mm] Power_x [1/mm] Radius_y [mm] Power_y [1/mm] M01 -1955.67234121 0.00101235 -1182.58612508 0.00167415 M02 1332.76813752 -0.00037743 1572.15797158 -0.00031996 M03 982.15283589 -0.00052531 5020.24913430 -0.00010277 M04 1747.73577792 -0.00023700 -4403.56473913 0.00009406 M05 -2264.30960675 0.00021812 -2643.38866401 0.00018684 M06 -1290.18089904 0.00030826 -2099.52528941 0.00018943 M07 -675.22745761 0.00069816 -14372.19004101 0.00003280 M08 -578.42313486 0.00088042 7659.02539918 -0.00006649 M09 2342.77343015 -0.00085369 281.55462636 -0.00710342 M10 -691.09776780 0.00283880 -636.16696116 0.00308392 Tabelle 2 zu Fig. 22 Dezentrierungen (Ort, Winkel) der Flächen D_x [mm] D_y [mm] D_z [mm] Retikel 0.000000000 -1756.045897182 2302.953426272 M01 0.000000000 -1621.104404397 798.146642395 M02 0.000000000 -1463.885903653 1594.792809833 M03 0.000000000 -1324.657608298 1758.974508076 M04 0.000000000 -1070.628928032 1850.444730788 M05 0.000000000 -477.940553101 1807.931646952 M06 -0.000000000 -8.327759680 1506.487885322 M07 -0.000000000 143.731149891 1284.109160779 M08 -0.000000000 174.150796414 1039.771650849 M09 0.000000000 -192.366914115 150.809868427 Blende 0.000000000 -151.476725100 249.986018082 M10 0.000000000 0.000000000 617.381687300 Wafer 0.000000000 0.000000000 0.000000000 α_x [°] α_y [°] α_z [°] Retikel 0.045951605 -0.000000000 0.000000000 M01 176.980162148 0.000000000 -0.000000000 M02 64.268857578 0.000000000 0.000000000 M03 34.752227503 -0.000000000 0.000000000 M04 7.850046771 -0.000000000 0.000000000 M05 -18.399550760 -0.000000000 0.000000000 M06 -44.166334141 -0.000000000 0.000000000 M07 -69.269800635 -0.000000000 0.000000000 M08 262.345217583 -0.000000000 -0.000000000 M09 157.593713942 0.000000000 -0.000000000 Blende -22.406286058 180.000000000 0.000000000 M10 -11.203143029 0.000000000 0.000000000 Wafer 0.000000000 0.000000000 0.000000000 Tabelle 3a zu Fig. 22 Freiformkoeffizienten der Flächen Koeffizient Formel M01 M02 M03 C7 x² y 3.5881466534e-08 2.3530302972e-07 6.4499654749e-07 C9 y³ -9.2758179076e-09 1.4809188181e-06 8.8825165749e-07 C10 x⁴ -1.0452892207e-11 1.0694821569e-10 1.3497133075e-09 C12 x² y² 4.7916375592e-11 -1.1135428075e-09 7.9758478351e-10 C14 y⁴ -8.6203279356e-11 7.3519303054e-09 -1.4194212742e-09 C16 x⁴ y -7.5347263757e-15 1.5156573573e-13 6.3915444645e-12 C18 x² y³ 3.1395369084e-14 -1.3006789179e-11 -9.2762569365e-13 C20 y⁵ -4.5298542968e-14 4.5098587998e-11 1.2905323382e-11 C21 x⁶ -2.8192630836e-18 6.7622816113e-16 2.9162300791e-15 C23 x⁴ y² -1.3252543457e-17 2.7270360608e-15 1.4447924002e-14 C25 x² y⁴ 2.6726478096e-16 -1.0019202384e-13 1.8720599353e-14 C27 y⁶ 1.8130858239e-16 3.3326201761e-13 -3.8460928074e-14 C29 x⁶ y 1.0868204249e-20 4.8683208901e-18 1.2810995313e-17 C31 x⁴ y³ -1.3480398781e-19 3.0819651020e-17 4.8313628820e-17 C33 x² y⁵ -5.0819096432e-19 -8.1126354373e-16 4.5404128662e-17 C35 y⁷ 1.7282372408e-18 2.7946856406e-15 4.4836462380e-16 C36 x⁸ 2.4632508660e-23 -1.3425075299e-20 3.5271138578e-20 C38 x⁶ y² 1.8684799145e-23 8.0521666964e-20 1.2925045038e-20 C40 x⁴ y⁴ -3.8987574509e-22 3.1033751450e-19 4.6757670872e-19 C42 x² y⁶ -2.9524333897e-22 -7.2264717056e-18 1.7009858658e-18 C44 y⁸ 3.9645953972e-21 2.3768103242e-17 1.0764911547e-18 C46 x⁸ y -8.4731647437e-26 4.5343405478e-23 4.0584095895e-22 C48 x⁶ y³ -6.2469253456e-25 1.5047096717e-21 2.2666281716e-21 C50 x⁴ y⁵ 1.7921488811e-24 5.8000867901e-21 7.4084523719e-21 C52 x² y⁷ -1.7334435545e-23 -5.4830346051e-20 6.1338678913e-21 C54 y⁹ -1.2091689067e-22 2.1127771796e-19 4.6720682151e-20 C55 x¹⁰ -7.3296526206e-28 8.1153440165e-25 -8.1604437592e-25 C57 x⁸ y² -1.5140145992e-27 2.1942705574e-24 -2.5325042770e-24 C59 x⁶ y⁴ 2.0917309906e-26 1.4686826180e-23 -3.1453526525e-23 C61 x⁴ y⁶ 1.5909334862e-25 9.4096073659e-24 -1.9011312036e-22 C63 x² y⁸ 2.3740019619e-25 -4.0013358940e-22 -3.3914498830e-22 C65 y¹⁰ -3.7296744859e-25 1.9007543715e-21 -6.5673091243e-22 C67 x¹⁰ y 1.9708547105e-30 -1.7702060151e-27 8.8710884777e-27 C69 x⁸ y³ 1.5677463815e-29 -2.4965079355e-26 -1.6603344974e-25 C71 x⁶ y⁵ -9.1634142168e-29 -2.5530038273e-26 -1.1071178048e-24 C73 x⁴ y⁷ -2.1177633589e-28 -1.6904980368e-24 -3.6870215595e-24 C75 x² y⁹ 1.3688067605e-27 -5.9501295517e-24 -1.8871564359e-24 C77 y¹¹ 6.9283881940e-27 1.1866727811e-23 -1.3551692093e-23 C78 x¹² 1.1739298330e-32 -3.6245210012e-29 6.2848036955e-29 C80 x¹⁰ y² 4.8700871324e-32 -1.9438553315e-28 4.9584988428e-28 C82 x⁸ y⁴ -3.2615171114e-31 -6.5947280554e-28 9.1274721323e-28 C84 x⁶ y⁶ -3.8900585790e-30 4.5863149586e-27 1.0918513367e-26 C86 x⁴ y⁸ -1.5983435221e-29 -1.1617343492e-26 5.6341008900e-26 C88 x² y¹⁰ -1.1317380867e-29 -7.4172029768e-26 9.0022372680e-26 C90 y¹² 3.5751102309e-29 5.0821362171e-26 5.7267661515e-26 C92 x¹² y -1.8959796121e-35 1.4291646219e-32 -4.5583224977e-31 C94 x¹⁰ y³ -2.0234552015e-34 -9.3664519357e-32 6.6473654611e-30 C96 x⁸ y⁵ 5.9395913772e-34 -6.0652832297e-30 6.9887504691e-29 C98 x⁶ y⁷ 9.9486219523e-33 1.3482669833e-28 3.9583821174e-28 C100 x⁴ y⁹ -1.4813324423e-33 2.7195380408e-28 1.1830588595e-27 C102 x² y¹¹ -5.8709745171e-32 -4.7041938947e-28 8.0830644088e-28 C104 y¹³ -3.0032784701e-31 1.2407625997e-27 2.8259009945e-27 C105 x¹⁴ -9.9002767718e-38 8.1681924951e-34 -1.7456598754e-33 C107 x¹² y² -6.0190108376e-37 6.2641470190e-33 -2.2189855171e-32 C109 x¹⁰ y⁴ 1.9489728523e-36 2.9374831907e-32 4.2455678433e-32 C111 x⁸ y⁶ 4.3104873090e-35 -1.7715685298e-31 6.0489389836e-32 C113 x⁶ y⁸ 2.4122151507e-34 6.2925060132e-31 -4.3159641062e-31 C115 x⁴ y¹⁰ 7.1133926527e-34 3.3806054821e-30 -2.7098260083e-30 C117 x² y¹² 1.1394512805e-34 -4.3075011185e-30 -6.8044020721e-30 C119 y¹⁴ -1.9830057884e-33 2.3029413313e-29 7.4661746034e-30 C121 x¹⁴ y 6.8826724935e-41 4.4336728245e-37 9.9211897487e-36 C123 x¹² y³ 8.4087581379e-40 4.9538296089e-36 -7.4529124206e-35 C125 x¹⁰ y⁵ 1.0009836443e-39 2.6004440804e-34 -1.5349010437e-33 C127 x⁸ y⁷ -6.0762530687e-38 -2.5448153832e-33 -1.0888142030e-32 C129 x⁶ y⁹ -1.7289615051e-37 -9.5445367203e-33 -5.5569723221e-32 C131 x⁴ y¹¹ 2.2386377981e-37 5.8617335995e-34 -1.3735203053e-31 C133 x² y¹³ 1.1336153085e-36 -5.5211037906e-32 -1.0994539230e-31 C135 y¹⁵ 5.3540648023e-36 1.7210367081e-31 -1.8377198054e-31 C136 x¹⁶ 3.3762071232e-43 -7.2695815636e-39 1.7375993846e-38 C138 x¹⁴ y² 2.8624287581e-42 -8.0646100782e-38 4.5276956817e-37 C140 x¹² y⁴ 2.0330803015e-42 -5.4048415959e-37 -1.8924882558e-36 C142 x¹⁰ y⁶ -1.6970229299e-40 1.8253613424e-36 -1.0707055494e-35 C144 x⁸ y⁸ -1.2892509043e-39 -1.2285542264e-35 -6.8938785211e-35 C146 x⁶ y¹⁰ -5.1817920186e-39 -7.7927866215e-35 -2.9175044194e-34 C148 x⁴ y¹² -1.3013061019e-38 -8.2679540187e-35 -6.3751498698e-34 C150 x² y¹⁴ 6.9113380856e-39 -2.5333084000e-34 -3.8374090157e-34 C152 y¹⁶ 4.2700919715e-38 4.6025816924e-34 -1.0997078567e-33 Tabelle 3b zu Fig. 22 Koeffizient Formel M04 M05 M06 C7 x² y -3.0743439637e-08 -1.1227729289e-07 -1.4203948617e-07 C9 y³ 9.5227170932e-08 -7.1463263074e-08 1.9577391476e-08 C10 x⁴ 2.6251603142e-10 2.9659069018e-10 -3.2707169691e-10 C12 x² y² 4.2639615292e-10 -2.8366346070e-10 -5.8501486223e-10 C14 y⁴ -3.0130935883e-10 1.1625740578e-11 7.4571313249e-11 C16 x⁴ y 5.3664644830e-13 -1.8614869680e-12 -9.5339366607e-13 C18 x² y³ -2.8447498714e-13 7.5612760071e-13 -4.4266503302e-13 C20 y⁵ 8.2157733491e-13 -2.6855259878e-14 8.8124060071e-13 C21 x⁶ 2.5687269038e-16 -9.1074605853e-16 -7.4898748255e-16 C23 x⁴ y² 3.8079411838e-15 6.3809847825e-15 -1.4085578638e-15 C25 x² y⁴ 3.4615533267e-15 -2.8460464571e-15 2.7560293387e-16 C27 y⁶ -2.8324863307e-15 -6.5211111561e-16 5.0879921208e-15 C29 x⁶ y 2.8361870482e-19 9.7796549655e-18 -1.6855098863e-18 C31 x ⁴ y³ 2.2874376703e-18 -2.5958030502e-17 -4.4491976030e-18 C33 x² y⁵ -7.2298153766e-18 4.4121465242e-18 1.2146888963e-17 C35 y⁷ 1.2455976972e-17 1.5541468774e-18 2.9623416245e-17 C36 x⁸ -6.5328764717e-21 1.0064812081e-20 2.6187223990e-22 C38 x⁶ y² 7.0806425863e-21 -7.1704487862e-20 -9.4412169509e-21 C40 x⁴ y⁴ 5.2190536613e-20 9.2085803293e-20 6.2900865046e-21 C42 x² y⁶ 4.9134192307e-20 -1.8972489894e-21 1.2279686298e-19 C44 y⁸ -6.6639866374e-20 -3.7096388079e-21 1.7981722489e-19 C46 x⁸ y 5.6693298249e-23 -9.4253277275e-23 -1.4682929334e-23 C48 x⁶ y³ 3.0720901794e-22 3.9142064340e-22 -2.2154106790e-23 C50 x⁴ y⁵ 8.9439282546e-23 -2.9209370165e-22 1.9838718603e-22 C52 x² y⁷ -9.3090507211e-25 -1.8708159813e-23 9.1804907492e-22 C54 y⁹ 1.1445803765e-22 -3.7891085497e-23 8.1847302258e-22 C55 x¹⁰ -8.8011278066e-25 4.2692776096e-26 -1.6285891630e-26 C57 x⁸ y² -4.2221712001e-25 8.4163424880e-25 -5.0703499794e-26 C59 x⁶ y⁴ -8.6648568953e-25 -1.9504804880e-24 -5.8799882818e-26 C61 x⁴ y⁶ 6.8533365489e-25 5.9411774151e-25 6.7373468179e-25 C63 x² y⁸ 1.5694966819e-24 2.8570645854e-25 3.4057798034e-25 C65 y¹⁰ 1.1533859617e-24 1.9773824572e-25 -8.2261366551e-25 C67 x¹⁰ y -2.1845088848e-27 4.2844527180e-28 3.8222359033e-29 C69 x⁸ y³ -1.0381816960e-26 -4.7384748496e-27 4.4889861708e-29 C71 x⁶ y⁵ -1.8951435305e-27 9.5057011705e-27 -1.8255264189e-27 C73 x⁴ y⁷ -9.6490286295e-27 1.1310336618e-27 -1.1778510724e-26 C75 x² y⁹ -3.1093519457e-26 -9.4611435578e-28 -4.3316312008e-26 C77 y¹¹ 1.5767223569e-26 3.4413639304e-27 -1.6434127257e-26 C78 x¹² 2.8781608965e-29 -2.6970558930e-30 3.1408870900e-31 C80 x¹⁰ y² -2.8024036532e-29 -8.1588491813e-30 7.6789302411e-31 C82 x⁸ y⁴ 7.5362831987e-29 3.4823369774e-29 1.2281597805e-30 C84 x⁶ y⁶ 7.3754162466e-30 -1.9077046512e-29 -4.0660837360e-30 C86 x⁴ y⁸ 4.5602923808e-30 -9.2937113246e-30 5.6038244982e-30 C88 x² y¹⁰ 7.0677356452e-29 -9.1532000075e-30 6.0670579416e-29 C90 y¹² -2.0232696754e-28 -7.8510980462e-30 4.1297992662e-28 C92 x¹² y -3.8720620259e-33 3.8000365047e-33 -9.1758313160e-34 C94 x¹⁰ y³ 2.8944124424e-31 4.0810264863e-32 -5.4045330496e-33 C96 x⁸ y⁵ 4.4256856221e-31 -2.2948221137e-31 4.2961977553e-32 C98 x⁶ y⁷ 1.2095192270e-33 -6.6407088394e-32 4.0748381738e-31 C100 x⁴ y⁹ 1.1879897493e-30 -4.1092953151e-32 2.2732229065e-30 C102 x² y¹¹ 9.4960509308e-31 -6.8385327926e-34 6.1055819416e-30 C104 y¹³ -1.8277266593e-31 -1.4218363625e-31 5.7367307996e-30 C105 x¹⁴ -4.2667650777e-34 4.9850131261e-35 -4.0702955976e-36 C107 x¹² y² 2.0626228284e-33 6.8659162313e-35 -1.2456633144e-35 C109 x¹⁰ y⁴ -3.2482657588e-33 -5.5567400123e-34 2.5613594178e-36 C111 x⁸ y⁶ -2.7903442624e-33 1.5824229134e-34 5.7749265876e-34 C113 x⁶ y⁸ 1.9675443798e-33 -1.1536914252e-34 4.9624697187e-33 C115 x⁴ y¹⁰ -5.5939319777e-33 2.5043987344e-34 2.1594448354e-32 C117 x² y¹² -6.5995799349e-34 1.1323316851e-34 5.3362178583e-32 C119 y¹⁴ 5.5419631633e-33 -8.5454319521e-35 2.3713418948e-32 C121 x¹⁴ y -1.4491236865e-37 -7.5906883032e-38 6.2549166703e-39 C123 x¹² y³ -2.5164848423e-36 -2.6605111401e-37 8.0991458717e-38 C125 x¹⁰ y⁵ -1.1713760241e-35 2.6847885389e-36 2.6627880621e-37 C127 x⁸ y⁷ 3.7262423434e-36 2.2401404754e-36 2.5310337889e-36 C129 x⁶ y⁹ -8.1575991223e-36 9.3555571291e-37 2.3301037632e-35 C131 x⁴ y¹¹ -2.2293318745e-35 6.5550845170e-37 8.2274524618e-35 C133 x² y¹³ -3.3996998626e-35 -3.3051865054e-37 1.9846114433e-34 C135 y¹⁵ 4.3533378444e-36 2.4285005073e-36 1.4809374376e-35 C136 x¹⁶ 2.3419913587e-39 -3.3036657628e-40 1.9589862393e-41 C138 x¹⁴ y² -4.2031724349e-38 -3.4365184655e-40 8.4927526343e-41 C140 x¹² y⁴ 4.5944922383e-38 4.4060709894e-39 4.1184030416e-40 C142 x¹⁰ y⁶ 8.6758838498e-38 7.4649941483e-39 3.3225652290e-40 C144 x⁸ y⁸ -3.5189315122e-38 1.8426407624e-39 3.4366045141e-39 C146 x⁶ y¹⁰ 1.8030651735e-38 7.3745286879e-39 4.2160848600e-38 C148 x⁴ y¹² 1.3546486695e-37 -8.5301339166e-39 1.1490855882e-37 C150 x² y¹⁴ 9.0337524043e-38 3.0376488313e-39 2.8170647818e-37 C152 y¹⁶ -7.8567183100e-38 4.9024134558e-39 -7.3584114877e-38 Tabelle 3c zu Fig. 22 Koeffizient Formel M07 M08 M09 C7 x² y -1.5188691404e-07 -9.3258971157e-07 1.9578178763e-06 C9 y³ 1.7403804436e-07 -4.1799664421e-07 4.1975177840e-07 C10 x⁴ -1.1750199776e-10 2.9863093699e-10 1.0840276727e-09 C12 x² y² 1.3421838791e-09 -4.5794654357e-10 3.2527366471e-09 C14 y⁴ -1.1061290780e-09 1.7368550780e-09 1.4416399958e-08 C16 x⁴ y 1.3143751010e-12 -1.9708139073e-12 -5.6281531390e-13 C18 x² y³ -2.0717121019e-12 -2.2485368366e-12 3.9127026878e-11 C20 y⁵ 3.7490334640e-12 -9.4292469842e-12 -2.0202792484e-11 C21 x⁶ 3.2675805988e-16 1.2937831776e-15 2.5854509303e-15 C23 x⁴ y² 2.8195206261e-16 -6.6893526558e-15 5.7745756873e-14 C25 x² y⁴ 3.0318542107e-14 1.0854159056e-14 9.1868779087e-15 C27 y⁶ -2.9685858332e-14 5.1404452447e-14 4.6925404845e-13 C29 x⁶ y 2.3328100929e-18 4.5791377772e-18 4.5011024006e-17 C31 x⁴ y³ 7.2960880877e-17 -1.1732605986e-17 1.1409863617e-17 C33 x² y⁵ -9.2288588357e-17 -7.2620593764e-17 1.6441065093e-15 C35 y⁷ 9.3724187526e-17 -2.7061497882e-16 -1.8067701138e-15 C36 x⁸ -2.6791124481e-22 2.3543000968e-21 1.5597705068e-20 C38 x⁶ y² 8.3554744543e-20 -9.9017656263e-21 -5.3416638330e-20 C40 x⁴ y⁴ -1.2025911967e-19 6.5497663709e-20 3.4192621172e-18 C42 x² y⁶ 9.4245044303e-19 2.6056246223e-19 -5.8447889846e-18 C44 y⁸ -4.5018301806e-19 1.1498004386e-18 1.4589517952e-17 C46 x⁸ y 5.1561357091e-23 6.6666096618e-23 -2.7908258926e-22 C48 x⁶ y³ 5.1475941307e-23 -8.2640555298e-23 4.6228648247e-21 C50 x⁴ y⁵ 3.0376346785e-21 7.0081464284e-22 -1.4045985443e-20 C52 x² y⁷ -2.2073901869e-21 4.1168558710e-21 6.1509065060e-20 C54 y⁹ 1.0056887225e-20 -1.7338012518e-21 -1.4827512543e-20 C55 x¹⁰ 2.4140967326e-26 -3.4157847736e-26 2.8203450208e-25 C57 x⁸ y² 1.2271831870e-25 2.1226458887e-25 4.5171135961e-24 C59 x⁶ y⁴ 6.4856221453e-24 -4.1854466650e-24 -3.3338722026e-23 C61 x⁴ y⁶ 1.8498207514e-24 -2.1861823511e-23 2.7580513404e-22 C63 x² y⁸ 5.1516780041e-23 -6.2271899380e-23 8.6186224313e-22 C65 y¹⁰ -1.7226463934e-22 2.0481421723e-23 2.1207059239e-21 C67 x¹⁰ y -1.3829005624e-29 -1.0379725409e-27 7.5891140059e-27 C69 x⁸ y³ 3.5969912975e-27 3.3958366008e-27 -4.9777364086e-27 C71 x⁶ y⁵ 7.2802827944e-27 1.4643920022e-26 5.5832532848e-25 C73 x⁴ y⁷ 1.3970457663e-25 -1.0196321275e-25 1.6341976087e-24 C75 x² y⁹ -6.2114380651e-25 -4.8561446873e-25 7.6205721040e-24 C77 y¹¹ -7.1345733035e-25 -6.9616169291e-25 -1.1354154947e-23 C78 x¹² -2.4317498558e-31 -2.8583827836e-32 -1.6424868926e-29 C80 x¹⁰ y² 7.7547459089e-31 1.7750384625e-30 9.8672369874e-29 C82 x⁸ y⁴ -5.0316062236e-29 7.3711487105e-29 2.2432848015e-27 C84 x⁶ y⁶ -1.5854347694e-28 5.5832400001e-28 1.3414271361e-27 C86 x⁴ y⁸ -2.0716579975e-27 3.2922483401e-27 -3.1942499897e-26 C88 x² y¹⁰ 1.6718164578e-27 6.9461550783e-27 -3.1938346965e-25 C90 y¹² 2.2572880798e-26 3.4015526230e-27 -3.1122426268e-25 C92 x¹² y 4.6367087665e-34 9.6848962069e-33 -7.8365625412e-32 C94 x¹⁰ y³ 1.6933420641e-32 -2.2943356929e-32 -1.0684662731e-30 C96 x⁸ y⁵ -5.3595944483e-31 -2.3386615554e-31 -1.2297529822e-29 C98 x⁶ y⁷ -3.3397415134e-30 4.6269878621e-30 -1.8139945834e-29 C100 x⁴ y⁹ 5.6401487002e-30 4.3163908666e-29 -6.9063912338e-28 C102 x² y¹¹ 8.5542579970e-29 7.3160887144e-29 -8.8070917912e-28 C104 y¹³ -4.7848595611e-29 3.0592689963e-29 1.1305366969e-28 C105 x¹⁴ 2.0326147211e-36 4.6920232753e-36 4.5893054805e-34 C107 x¹² y² 3.9940368813e-35 -1.2368393682e-34 -4.8414684018e-33 C109 x¹⁰ y⁴ 8.4148697188e-34 -1.3074928001e-33 -8.9178298527e-32 C111 x⁸ y⁶ 5.1933620055e-33 -1.5161541516e-32 -2.6211908807e-31 C113 x⁶ y⁸ 5.5899848663e-32 -1.3845488738e-31 -5.0535241092e-31 C115 x⁴ y¹⁰ 2.8584807253e-31 -6.3187738913e-31 1.1709289572e-29 C117 x² y¹² -9.9274939889e-31 -8.4845589661e-31 4.6698920281e-29 C119 y¹⁴ 2.2550823762e-32 -2.0190897308e-31 4.7735051366e-29 C121 x¹⁴ y 1.6350148469e-38 -4.5287873235e-38 5.0875516605e-37 C123 x¹² y³ 2.2555889825e-37 3.1598134043e-37 3.1230080571e-35 C125 x¹⁰ y⁵ 1.6075548475e-35 4.5931847898e-36 3.4611532158e-34 C127 x⁸ y⁷ 1.4659597323e-34 1.7262396129e-35 8.9347721832e-35 C129 x⁶ y⁹ 5.8558385506e-34 -5.0106175493e-34 9.9757938547e-33 C131 x⁴ y¹¹ -1.8072358235e-33 -1.0384452123e-33 6.5323016261e-32 C133 x² y¹³ 5.1984184777e-33 -1.1150896717e-33 8.2903229678e-32 C135 y¹⁵ -7.2451497851e-33 -7.7712346828e-34 -7.4780708211e-33 C136 x¹⁶ -2.5782207921e-42 -4.4006146745e-41 -4.7452226302e-39 C138 x¹⁴ y² -6.0145403297e-41 1.3068803476e-39 7.5353650472e-38 C140 x¹² y⁴ 7.7859221262e-40 1.0994439646e-38 1.6781741581e-36 C142 x¹⁰ y⁶ 1.1832591342e-37 1.0204747374e-37 8.2795995326e-36 C144 x⁸ y⁸ 5.3217220884e-37 1.2986426591e-36 3.7929477957e-35 C146 x⁶ y¹⁰ -2.3287571077e-36 9.4450446073e-36 -3.7052966905e-35 C148 x⁴ y¹² 1.2028256981e-35 2.1368179017e-35 -1.1057027429e-33 C150 x² y¹⁴ -7.4771428175e-36 2.0405126951e-35 -2.9585010206e-33 C152 y¹⁶ 3.1136507871e-35 5.3965208933e-36 -2.3973636658e-33 Tabelle 3d zu Fig. 22 Koeffizient Formel M10 C7 x² y -1.6579626302e-08 C9 y³ 4.3312395399e-10 C10 x⁴ -1.0348255623e-11 C12 x² y² -9.7517735604e-11 C14 y⁴ -5.4139773101e-11 C16 x⁴ y 2.6558031888e-17 C18 x² y³ 4.0147399875e-15 C20 y⁵ 1.2610973372e-14 C21 x⁶ -4.6016434822e-17 C23 x⁴ y² -3.1382920103e-16 C25 x² y⁴ -4.1569359979e-16 C27 y⁶ -1.4899623186e-16 C29 x⁶ y 1.7641025100e-20 C31 x⁴ y³ 5.4076749357e-20 C33 x² y⁵ 6.9531681354e-20 C35 y⁷ 3.4820367246e-20 C36 x⁸ -1.5566659972e-22 C38 x⁶ y² -9.1057899766e-22 C40 x⁴ y⁴ -1.8184549099e-21 C42 x² y⁶ -1.4201606814e-21 C44 y⁸ -3.6973362206e-22 C46 x⁸ y -1.4343946367e-27 C48 x⁶ y³ 1.9747299347e-25 C50 x⁴ y⁵ 2.9282947710e-25 C52 x² y⁷ 2.1715261455e-25 C54 y⁹ 1.2269026461e-25 C55 x¹⁰ -3.8192047887e-28 C57 x⁸ y² -2.1622587061e-27 C59 x⁶ y⁴ -5.2538572574e-27 C61 x⁴ y⁶ -6.1381825163e-27 C63 x² y⁸ -3.5342647196e-27 C65 y¹⁰ -8.8500841167e-28 C67 x¹⁰ y 9.4708714960e-32 C69 x⁸ y³ 1.0262828186e-30 C71 x⁶ y⁵ 2.4325905308e-30 C73 x⁴ y⁷ 3.2240670444e-30 C75 x² y⁹ 2.2980753459e-30 C77 y¹¹ 3.7695979849e-31 C78 x¹² -1.0302127883e-33 C80 x¹⁰ y² -1.0831679709e-32 C82 x⁸ y⁴ -3.6849268691e-32 C84 x⁶ y⁶ -6.2836900430e-32 C86 x⁴ y⁸ -5.8280724024e-32 C88 x² y¹⁰ -2.5287860007e-32 C90 y¹² -3.1973080671e-33 C92 x¹² y -2.7505045375e-37 C94 x¹⁰ y³ -2.1986499712e-36 C96 x⁸ y⁵ -4.8604375784e-36 C98 x⁶ y⁷ -1.0402458174e-35 C100 x⁴ y⁹ -1.2839625979e-35 C102 x² y¹¹ -7.5737581535e-36 C104 y¹³ -6.8960803910e-37 C105 x¹⁴ 4.4335371163e-40 C107 x¹² y² 1.6148747239e-38 C109 x¹⁰ y⁴ 8.4364126852e-38 C111 x⁸ y⁶ 1.9946576677e-37 C113 x⁶ y⁸ 2.6915438695e-37 C115 x⁴ y¹⁰ 2.0713716890e-37 C117 x² y¹² 7.0024353577e-38 C119 y¹⁴ 3.6660799300e-39 C121 x¹⁴ y 1.4989920666e-42 C123 x¹² y³ 2.0894407753e-41 C125 x¹⁰ y⁵ 6.7328739625e-41 C127 x⁸ y⁷ 1.3772784178e-40 C129 x⁶ y⁹ 1.7200855054e-40 C131 x⁴ y¹¹ 1.3322088306e-40 C133 x² y¹³ 5.8375358156e-41 C135 y¹⁵ 9.3048801656e-42 C136 x¹⁶ -1.4741404657e-44 C138 x¹⁴ y² -1.6200040890e-43 C140 x¹² y⁴ -7.6253963307e-43 C142 x¹⁰ y⁶ -1.9402345144e-42 C144 x⁸ y⁸ -2.9971559544e-42 C146 x⁶ y¹⁰ -2.9091845243e-42 C148 x⁴ y¹² -1.7063496850e-42 C150 x² y¹⁴ -5.2026170357e-43 C152 y¹⁶ -5.5216469046e-44 Tabelle 4 zu Fig. 22 Koordinaten des Blendenrandes x_i [mm] y_i [mm] x_i+N/2 [mm] y_i+N/2 [mm] 36.373562 3.823015 -36.407091 -3.826539 35.361267 7.516269 -35.455312 -7.536259 33.705403 10.951549 -33.851199 -10.998921 31.477433 14.014656 -31.742650 -14.132738 28.795598 16.625147 -29.192388 -16.854233 25.973031 18.870511 -26.401487 -19.181803 22.959575 20.672894 -23.482771 -21.143982 19.932405 22.137179 -20.445166 -22.706658 16.944227 23.321728 -17.426418 -23.985406 13.968678 24.194460 -14.449676 -25.027573 11.045658 24.808953 -11.483941 -25.793355 8.234909 25.344443 -8.553226 -26.324122 5.446458 25.623571 -5.666904 -26.660688 2.707074 25.756090 -2.823392 -26.862781 0.000000 25.774575 0.000000 -26.890420 -2.707074 25.756090 2.823392 -26.862781 -5.446458 25.623571 5.666904 -26.660688 -8.234909 25.344443 8.553226 -26.324122 -11.045658 24.808953 11.483941 -25.793355 -13.968678 24.194460 14.449676 -25.027573 -16.944227 23.321728 17.426418 -23.985406 -19.932405 22.137179 20.445166 -22.706658 -22.959575 20.672894 23.482771 -21.143982 -25.973031 18.870511 26.401487 -19.181803 -28.795598 16.625147 29.192388 -16.854233 -31.477433 14.014656 31.742650 -14.132738 -33.705403 10.951549 33.851199 -10.998921 -35.361267 7.516269 35.455312 -7.536259 -36.373562 3.823015 36.407091 -3.826539 -36.646788 0.000000 36.646788 0.000000 Tabelle 5 zu Fig. 22 NA Numerische Apertur 0.55 |βx| Vergrößerungsmaßstab in Crossscanrichtung 4.8 |βy| Vergrößerungsmaßstab in Scanrichtung 7.5 RMS gescannte Wellenfrontabweichung 8 m λ EP Lage der Eintrittspupille -2.4 m N Anzahl der Spiegel 10 The optical design data result from the following tables 1 to 5, which in turn are based on the basic structure of tables 1 to 5 for execution 13  correspond.  Table 1 of FIG. 22 Radii of the surfaces Radius _x [mm] Power _x [1 / mm] Radius _y [mm] Power _y [1 / mm] M01 -1955.67234121 0.00101235 -1182.58612508 0.00167415 M02 1332.76813752 -0.00037743 1572.15797158 -0.00031996 M03 982.15283589 -0.00052531 5020.24913430 -0.00010277 M04 1747.73577792 -0.00023700 -4403.56473913 0.00009406 M05 -2264.30960675 0.00021812 -2643.38866401 0.00018684 M06 -1290.18089904 0.00030826 -2099.52528941 0.00018943 M07 -675.22745761 0.00069816 -14372.19004101 0.00003280 M08 -578.42313486 0.00088042 7659.02539918 -0.00006649 M09 2342.77343015 -0.00085369 281.55462636 -0.00710342 M10 -691.09776780 0.00283880 -636.16696116 0.00308392  Table 2 for Fig. 22 Decentrations (location, angle) of the surfaces D _x [mm] D _y [mm] D _z [mm] reticle 0.000000000 -1756.045897182 2302.953426272 M01 0.000000000 -1621.104404397 798.146642395 M02 0.000000000 -1463.885903653 1594.792809833 M03 0.000000000 -1324.657608298 1758.974508076 M04 0.000000000 -1070.628928032 1850.444730788 M05 0.000000000 -477.940553101 1807.931646952 M06 -0.000000000 -8.327759680 1506.487885322 M07 -0.000000000 143.731149891 1284.109160779 M08 -0.000000000 174.150796414 1039.771650849 M09 0.000000000 -192.366914115 150.809868427 cover 0.000000000 -151.476725100 249.986018082 M10 0.000000000 0.000000000 617.381687300 wafer 0.000000000 0.000000000 0.000000000 α _x [°] α _y [°] α _z [°] reticle 0.045951605 -0.000000000 0.000000000 M01 176.980162148 0.000000000 -0.000000000 M02 64.268857578 0.000000000 0.000000000 M03 34.752227503 -0.000000000 0.000000000 M04 7.850046771 -0.000000000 0.000000000 M05 -18.399550760 -0.000000000 0.000000000 M06 -44.166334141 -0.000000000 0.000000000 M07 -69.269800635 -0.000000000 0.000000000 M08 262.345217583 -0.000000000 -0.000000000 M09 157.593713942 0.000000000 -0.000000000 cover -22.406286058 180.000000000 0.000000000 M10 -11.203143029 0.000000000 0.000000000 wafer 0.000000000 0.000000000 0.000000000  Table 3a to FIG. 22 Free-form coefficients of the surfaces coefficient formula M01 M02 M03 C7 x ² y 3.5881466534e-08 2.3530302972e-07 6.4499654749e-07 C9 y ³ -9.2758179076e-09 1.4809188181e-06 8.8825165749e-07 C10 x ⁴ -1.0452892207e-11 1.0694821569e-10 1.3497133075e-09 C12 x ² y ² 4.7916375592e-11 -1.1135428075e-09 7.9758478351e-10 C14 y ⁴ -8.6203279356e-11 7.3519303054e-09 -1.4194212742e-09 C16 x ⁴ y -7.5347263757e-15 1.5156573573e-13 6.3915444645e-12 C18 x ² y ³ 3.1395369084e-14 -1.3006789179e-11 -9.2762569365e-13 C20 y ⁵ -4.5298542968e-14 4.5098587998e-11 1.2905323382e-11 C21 x ⁶ -2.8192630836e-18 6.7622816113e-16 2.9162300791e-15 C23 x ⁴ y ² -1.3252543457e-17 2.7270360608e-15 1.4447924002e-14 C25 x ² y ⁴ 2.6726478096e-16 -1.0019202384e-13 1.8720599353e-14 C27 y ⁶ 1.8130858239e-16 3.3326201761e-13 -3.8460928074e-14 C29 x ⁶ y 1.0868204249e-20 4.8683208901e-18 1.2810995313e-17 C31 x ⁴ y ³ -1.3480398781e-19 3.0819651020e-17 4.8313628820e-17 C33 x ² y ⁵ -5.0819096432e-19 -8.1126354373e-16 4.5404128662e-17 C35 y ⁷ 1.7282372408e-18 2.7946856406e-15 4.4836462380e-16 C36 x ⁸ 2.4632508660e-23 -1.3425075299e-20 3.5271138578e-20 C38 x ⁶ y ² 1.8684799145e-23 8.0521666964e-20 1.2925045038e-20 C40 x ⁴ y ⁴ -3.8987574509e-22 3.1033751450e-19 4.6757670872e-19 C42 x ² y ⁶ -2.9524333897e-22 -7.2264717056e-18 1.7009858658e-18 C44 y ⁸ 3.9645953972e-21 2.3768103242e-17 1.0764911547e-18 C46 x ⁸ y -8.4731647437e-26 4.5343405478e-23 4.0584095895e-22 C48 x ⁶ y ³ -6.2469253456e-25 1.5047096717e-21 2.2666281716e-21 C50 x ⁴ y ⁵ 1.7921488811e-24 5.8000867901e-21 7.4084523719e-21 C52 x ² y ⁷ -1.7334435545e-23 -5.4830346051e-20 6.1338678913e-21 C54 y ⁹ -1.2091689067e-22 2.1127771796e-19 4.6720682151e-20 C55 x ¹⁰ -7.3296526206e-28 8.1153440165e-25 -8.1604437592e-25 C57 x ⁸ y ² -1.5140145992e-27 2.1942705574e-24 -2.5325042770e-24 C59 x ⁶ y ⁴ 2.0917309906e-26 1.4686826180e-23 -3.1453526525e-23 C61 x ⁴ y ⁶ 1.5909334862e-25 9.4096073659e-24 -1.9011312036e-22 C63 x ² y ⁸ 2.3740019619e-25 -4.0013358940e-22 -3.3914498830e-22 C65 y ¹⁰ -3.7296744859e-25 1.9007543715e-21 -6.5673091243e-22 C67 x ¹⁰ y 1.9708547105e-30 -1.7702060151e-27 8.8710884777e-27 C69 x ⁸ y ³ 1.5677463815e-29 -2.4965079355e-26 -1.6603344974e-25 C71 x ⁶ y ⁵ -9.1634142168e-29 -2.5530038273e-26 -1.1071178048e-24 C73 x ⁴ y ⁷ -2.1177633589e-28 -1.6904980368e-24 -3.6870215595e-24 C75 x ² y ⁹ 1.3688067605e-27 -5.9501295517e-24 -1.8871564359e-24 C77 y ¹¹ 6.9283881940e-27 1.1866727811e-23 -1.3551692093e-23 C78 x ¹² 1.1739298330e-32 -3.6245210012e-29 6.2848036955e-29 C80 x ¹⁰ y ² 4.8700871324e-32 -1.9438553315e-28 4.9584988428e-28 C82 x ⁸ y ⁴ -3.2615171114e-31 -6.5947280554e-28 9.1274721323e-28 C84 x ⁶ y ⁶ -3.8900585790e-30 4.5863149586e-27 1.0918513367e-26 C86 x ⁴ y ⁸ -1.5983435221e-29 -1.1617343492e-26 5.6341008900e-26 C88 x ² y ¹⁰ -1.1317380867e-29 -7.4172029768e-26 9.0022372680e-26 C90 y ¹² 3.5751102309e-29 5.0821362171e-26 5.7267661515e-26 C92 x ¹² y -1.8959796121e-35 1.4291646219e-32 -4.5583224977e-31 C94 x ¹⁰ y ³ -2.0234552015e-34 -9.3664519357e-32 6.6473654611e-30 C96 x ⁸ y ⁵ 5.9395913772e-34 -6.0652832297e-30 6.9887504691e-29 C98 x ⁶ y ⁷ 9.9486219523e-33 1.3482669833e-28 3.9583821174e-28 C100 x ⁴ y ⁹ -1.4813324423e-33 2.7195380408e-28 1.1830588595e-27 C102 x ² y ¹¹ -5.8709745171e-32 -4.7041938947e-28 8.0830644088e-28 C104 y ¹³ -3.0032784701e-31 1.2407625997e-27 2.8259009945e-27 C105 x ¹⁴ -9.9002767718e-38 8.1681924951e-34 -1.7456598754e-33 C107 x ¹² y ² -6.0190108376e-37 6.2641470190e-33 -2.2189855171e-32 C109 x ¹⁰ y ⁴ 1.9489728523e-36 2.9374831907e-32 4.2455678433e-32 C111 x ⁸ y ⁶ 4.3104873090e-35 -1.7715685298e-31 6.0489389836e-32 C113 x ⁶ y ⁸ 2.4122151507e-34 6.2925060132e-31 -4.3159641062e-31 C115 x ⁴ y ¹⁰ 7.1133926527e-34 3.3806054821e-30 -2.7098260083e-30 C117 x ² y ¹² 1.1394512805e-34 -4.3075011185e-30 -6.8044020721e-30 C119 y ¹⁴ -1.9830057884e-33 2.3029413313e-29 7.4661746034e-30 C121 x ¹⁴ y 6.8826724935e-41 4.4336728245e-37 9.9211897487e-36 C123 x ¹² y ³ 8.4087581379e-40 4.9538296089e-36 -7.4529124206e-35 C125 x ¹⁰ y ⁵ 1.0009836443e-39 2.6004440804e-34 -1.5349010437e-33 C127 x ⁸ y ⁷ -6.0762530687e-38 -2.5448153832e-33 -1.0888142030e-32 C129 x ⁶ y ⁹ -1.7289615051e-37 -9.5445367203e-33 -5.5569723221e-32 C131 x ⁴ y ¹¹ 2.2386377981e-37 5.8617335995e-34 -1.3735203053e-31 C133 x ² y ¹³ 1.1336153085e-36 -5.5211037906e-32 -1.0994539230e-31 C135 y ¹⁵ 5.3540648023e-36 1.7210367081e-31 -1.8377198054e-31 C136 x ¹⁶ 3.3762071232e-43 -7.2695815636e-39 1.7375993846e-38 C138 x ¹⁴ y ² 2.8624287581e-42 -8.0646100782e-38 4.5276956817e-37 C140 x ¹² y ⁴ 2.0330803015e-42 -5.4048415959e-37 -1.8924882558e-36 C142 x ¹⁰ y ⁶ -1.6970229299e-40 1.8253613424e-36 -1.0707055494e-35 C144 x ⁸ y ⁸ -1.2892509043e-39 -1.2285542264e-35 -6.8938785211e-35 C146 x ⁶ y ¹⁰ -5.1817920186e-39 -7.7927866215e-35 -2.9175044194e-34 C148 x ⁴ y ¹² -1.3013061019e-38 -8.2679540187e-35 -6.3751498698e-34 C150 x ² y ¹⁴ 6.9113380856e-39 -2.5333084000e-34 -3.8374090157e-34 C152 y ¹⁶ 4.2700919715e-38 4.6025816924e-34 -1.0997078567e-33  Table 3b of FIG. 22 coefficient formula M04 M05 M06 C7 x ² y -3.0743439637e-08 -1.1227729289e-07 -1.4203948617e-07 C9 y ³ 9.5227170932e-08 -7.1463263074e-08 1.9577391476e-08 C10 x ⁴ 2.6251603142e-10 2.9659069018e-10 -3.2707169691e-10 C12 x ² y ² 4.2639615292e-10 -2.8366346070e-10 -5.8501486223e-10 C14 y ⁴ -3.0130935883e-10 1.1625740578e-11 7.4571313249e-11 C16 x ⁴ y 5.3664644830e-13 -1.8614869680e-12 -9.5339366607e-13 C18 x ² y ³ -2.8447498714e-13 7.5612760071e-13 -4.4266503302e-13 C20 y ⁵ 8.2157733491e-13 -2.6855259878e-14 8.8124060071e-13 C21 x ⁶ 2.5687269038e-16 -9.1074605853e-16 -7.4898748255e-16 C23 x ⁴ y ² 3.8079411838e-15 6.3809847825e-15 -1.4085578638e-15 C25 x ² y ⁴ 3.4615533267e-15 -2.8460464571e-15 2.7560293387e-16 C27 y ⁶ -2.8324863307e-15 -6.5211111561e-16 5.0879921208e-15 C29 x ⁶ y 2.8361870482e-19 9.7796549655e-18 -1.6855098863e-18 C31 x ⁴ y ³ 2.2874376703e-18 -2.5958030502e-17 -4.4491976030e-18 C33 x ² y ⁵ -7.2298153766e-18 4.4121465242e-18 1.2146888963e-17 C35 y ⁷ 1.2455976972e-17 1.5541468774e-18 2.9623416245e-17 C36 x ⁸ -6.5328764717e-21 1.0064812081e-20 2.6187223990e-22 C38 x ⁶ y ² 7.0806425863e-21 -7.1704487862e-20 -9.4412169509e-21 C40 x ⁴ y ⁴ 5.2190536613e-20 9.2085803293e-20 6.2900865046e-21 C42 x ² y ⁶ 4.9134192307e-20 -1.8972489894e-21 1.2279686298e-19 C44 y ⁸ -6.6639866374e-20 -3.7096388079e-21 1.7981722489e-19 C46 x ⁸ y 5.6693298249e-23 -9.4253277275e-23 -1.4682929334e-23 C48 x ⁶ y ³ 3.0720901794e-22 3.9142064340e-22 -2.2154106790e-23 C50 x ⁴ y ⁵ 8.9439282546e-23 -2.9209370165e-22 1.9838718603e-22 C52 x ² y ⁷ -9.3090507211e-25 -1.8708159813e-23 9.1804907492e-22 C54 y ⁹ 1.1445803765e-22 -3.7891085497e-23 8.1847302258e-22 C55 x ¹⁰ -8.8011278066e-25 4.2692776096e-26 -1.6285891630e-26 C57 x ⁸ y ² -4.2221712001e-25 8.4163424880e-25 -5.0703499794e-26 C59 x ⁶ y ⁴ -8.6648568953e-25 -1.9504804880e-24 -5.8799882818e-26 C61 x ⁴ y ⁶ 6.8533365489e-25 5.9411774151e-25 6.7373468179e-25 C63 x ² y ⁸ 1.5694966819e-24 2.8570645854e-25 3.4057798034e-25 C65 y ¹⁰ 1.1533859617e-24 1.9773824572e-25 -8.2261366551e-25 C67 x ¹⁰ y -2.1845088848e-27 4.2844527180e-28 3.8222359033e-29 C69 x ⁸ y ³ -1.0381816960e-26 -4.7384748496e-27 4.4889861708e-29 C71 x ⁶ y ⁵ -1.8951435305e-27 9.5057011705e-27 -1.8255264189e-27 C73 x ⁴ y ⁷ -9.6490286295e-27 1.1310336618e-27 -1.1778510724e-26 C75 x ² y ⁹ -3.1093519457e-26 -9.4611435578e-28 -4.3316312008e-26 C77 y ¹¹ 1.5767223569e-26 3.4413639304e-27 -1.6434127257e-26 C78 x ¹² 2.8781608965e-29 -2.6970558930e-30 3.1408870900e-31 C80 x ¹⁰ y ² -2.8024036532e-29 -8.1588491813e-30 7.6789302411e-31 C82 x ⁸ y ⁴ 7.5362831987e-29 3.4823369774e-29 1.2281597805e-30 C84 x ⁶ y ⁶ 7.3754162466e-30 -1.9077046512e-29 -4.0660837360e-30 C86 x ⁴ y ⁸ 4.5602923808e-30 -9.2937113246e-30 5.6038244982e-30 C88 x ² y ¹⁰ 7.0677356452e-29 -9.1532000075e-30 6.0670579416e-29 C90 y ¹² -2.0232696754e-28 -7.8510980462e-30 4.1297992662e-28 C92 x ¹² y -3.8720620259e-33 3.8000365047e-33 -9.1758313160e-34 C94 x ¹⁰ y ³ 2.8944124424e-31 4.0810264863e-32 -5.4045330496e-33 C96 x ⁸ y ⁵ 4.4256856221e-31 -2.2948221137e-31 4.2961977553e-32 C98 x ⁶ y ⁷ 1.2095192270e-33 -6.6407088394e-32 4.0748381738e-31 C100 x ⁴ y ⁹ 1.1879897493e-30 -4.1092953151e-32 2.2732229065e-30 C102 x ² y ¹¹ 9.4960509308e-31 -6.8385327926e-34 6.1055819416e-30 C104 y ¹³ -1.8277266593e-31 -1.4218363625e-31 5.7367307996e-30 C105 x ¹⁴ -4.2667650777e-34 4.9850131261e-35 -4.0702955976e-36 C107 x ¹² y ² 2.0626228284e-33 6.8659162313e-35 -1.2456633144e-35 C109 x ¹⁰ y ⁴ -3.2482657588e-33 -5.5567400123e-34 2.5613594178e-36 C111 x ⁸ y ⁶ -2.7903442624e-33 1.5824229134e-34 5.7749265876e-34 C113 x ⁶ y ⁸ 1.9675443798e-33 -1.1536914252e-34 4.9624697187e-33 C115 x ⁴ y ¹⁰ -5.5939319777e-33 2.5043987344e-34 2.1594448354e-32 C117 x ² y ¹² -6.5995799349e-34 1.1323316851e-34 5.3362178583e-32 C119 y ¹⁴ 5.5419631633e-33 -8.5454319521e-35 2.3713418948e-32 C121 x ¹⁴ y -1.4491236865e-37 -7.5906883032e-38 6.2549166703e-39 C123 x ¹² y ³ -2.5164848423e-36 -2.6605111401e-37 8.0991458717e-38 C125 x ¹⁰ y ⁵ -1.1713760241e-35 2.6847885389e-36 2.6627880621e-37 C127 x ⁸ y ⁷ 3.7262423434e-36 2.2401404754e-36 2.5310337889e-36 C129 x ⁶ y ⁹ -8.1575991223e-36 9.3555571291e-37 2.3301037632e-35 C131 x ⁴ y ¹¹ -2.2293318745e-35 6.5550845170e-37 8.2274524618e-35 C133 x ² y ¹³ -3.3996998626e-35 -3.3051865054e-37 1.9846114433e-34 C135 y ¹⁵ 4.3533378444e-36 2.4285005073e-36 1.4809374376e-35 C136 x ¹⁶ 2.3419913587e-39 -3.3036657628e-40 1.9589862393e-41 C138 x ¹⁴ y ² -4.2031724349e-38 -3.4365184655e-40 8.4927526343e-41 C140 x ¹² y ⁴ 4.5944922383e-38 4.4060709894e-39 4.1184030416e-40 C142 x ¹⁰ y ⁶ 8.6758838498e-38 7.4649941483e-39 3.3225652290e-40 C144 x ⁸ y ⁸ -3.5189315122e-38 1.8426407624e-39 3.4366045141e-39 C146 x ⁶ y ¹⁰ 1.8030651735e-38 7.3745286879e-39 4.2160848600e-38 C148 x ⁴ y ¹² 1.3546486695e-37 -8.5301339166e-39 1.1490855882e-37 C150 x ² y ¹⁴ 9.0337524043e-38 3.0376488313e-39 2.8170647818e-37 C152 y ¹⁶ -7.8567183100e-38 4.9024134558e-39 -7.3584114877e-38  Table 3c of FIG. 22 coefficient formula M07 M08 M09 C7 x ² y -1.5188691404e-07 -9.3258971157e-07 1.9578178763e-06 C9 y ³ 1.7403804436e-07 -4.1799664421e-07 4.1975177840e-07 C10 x ⁴ -1.1750199776e-10 2.9863093699e-10 1.0840276727e-09 C12 x ² y ² 1.3421838791e-09 -4.5794654357e-10 3.2527366471e-09 C14 y ⁴ -1.1061290780e-09 1.7368550780e-09 1.4416399958e-08 C16 x ⁴ y 1.3143751010e-12 -1.9708139073e-12 -5.6281531390e-13 C18 x ² y ³ -2.0717121019e-12 -2.2485368366e-12 3.9127026878e-11 C20 y ⁵ 3.7490334640e-12 -9.4292469842e-12 -2.0202792484e-11 C21 x ⁶ 3.2675805988e-16 1.2937831776e-15 2.5854509303e-15 C23 x ⁴ y ² 2.8195206261e-16 -6.6893526558e-15 5.7745756873e-14 C25 x ² y ⁴ 3.0318542107e-14 1.0854159056e-14 9.1868779087e-15 C27 y ⁶ -2.9685858332e-14 5.1404452447e-14 4.6925404845e-13 C29 x ⁶ y 2.3328100929e-18 4.5791377772e-18 4.5011024006e-17 C31 x ⁴ y ³ 7.2960880877e-17 -1.1732605986e-17 1.1409863617e-17 C33 x ² y ⁵ -9.2288588357e-17 -7.2620593764e-17 1.6441065093e-15 C35 y ⁷ 9.3724187526e-17 -2.7061497882e-16 -1.8067701138e-15 C36 x ⁸ -2.6791124481e-22 2.3543000968e-21 1.5597705068e-20 C38 x ⁶ y ² 8.3554744543e-20 -9.9017656263e-21 -5.3416638330e-20 C40 x ⁴ y ⁴ -1.2025911967e-19 6.5497663709e-20 3.4192621172e-18 C42 x ² y ⁶ 9.4245044303e-19 2.6056246223e-19 -5.8447889846e-18 C44 y ⁸ -4.5018301806e-19 1.1498004386e-18 1.4589517952e-17 C46 x ⁸ y 5.1561357091e-23 6.6666096618e-23 -2.7908258926e-22 C48 x ⁶ y ³ 5.1475941307e-23 -8.2640555298e-23 4.6228648247e-21 C50 x ⁴ y ⁵ 3.0376346785e-21 7.0081464284e-22 -1.4045985443e-20 C52 x ² y ⁷ -2.2073901869e-21 4.1168558710e-21 6.1509065060e-20 C54 y ⁹ 1.0056887225e-20 -1.7338012518e-21 -1.4827512543e-20 C55 x ¹⁰ 2.4140967326e-26 -3.4157847736e-26 2.8203450208e-25 C57 x ⁸ y ² 1.2271831870e-25 2.1226458887e-25 4.5171135961e-24 C59 x ⁶ y ⁴ 6.4856221453e-24 -4.1854466650e-24 -3.3338722026e-23 C61 x ⁴ y ⁶ 1.8498207514e-24 -2.1861823511e-23 2.7580513404e-22 C63 x ² y ⁸ 5.1516780041e-23 -6.2271899380e-23 8.6186224313e-22 C65 y ¹⁰ -1.7226463934e-22 2.0481421723e-23 2.1207059239e-21 C67 x ¹⁰ y -1.3829005624e-29 -1.0379725409e-27 7.5891140059e-27 C69 x ⁸ y ³ 3.5969912975e-27 3.3958366008e-27 -4.9777364086e-27 C71 x ⁶ y ⁵ 7.2802827944e-27 1.4643920022e-26 5.5832532848e-25 C73 x ⁴ y ⁷ 1.3970457663e-25 -1.0196321275e-25 1.6341976087e-24 C75 x ² y ⁹ -6.2114380651e-25 -4.8561446873e-25 7.6205721040e-24 C77 y ¹¹ -7.1345733035e-25 -6.9616169291e-25 -1.1354154947e-23 C78 x ¹² -2.4317498558e-31 -2.8583827836e-32 -1.6424868926e-29 C80 x ¹⁰ y ² 7.7547459089e-31 1.7750384625e-30 9.8672369874e-29 C82 x ⁸ y ⁴ -5.0316062236e-29 7.3711487105e-29 2.2432848015e-27 C84 x ⁶ y ⁶ -1.5854347694e-28 5.5832400001e-28 1.3414271361e-27 C86 x ⁴ y ⁸ -2.0716579975e-27 3.2922483401e-27 -3.1942499897e-26 C88 x ² y ¹⁰ 1.6718164578e-27 6.9461550783e-27 -3.1938346965e-25 C90 y ¹² 2.2572880798e-26 3.4015526230e-27 -3.1122426268e-25 C92 x ¹² y 4.6367087665e-34 9.6848962069e-33 -7.8365625412e-32 C94 x ¹⁰ y ³ 1.6933420641e-32 -2.2943356929e-32 -1.0684662731e-30 C96 x ⁸ y ⁵ -5.3595944483e-31 -2.3386615554e-31 -1.2297529822e-29 C98 x ⁶ y ⁷ -3.3397415134e-30 4.6269878621e-30 -1.8139945834e-29 C100 x ⁴ y ⁹ 5.6401487002e-30 4.3163908666e-29 -6.9063912338e-28 C102 x ² y ¹¹ 8.5542579970e-29 7.3160887144e-29 -8.8070917912e-28 C104 y ¹³ -4.7848595611e-29 3.0592689963e-29 1.1305366969e-28 C105 x ¹⁴ 2.0326147211e-36 4.6920232753e-36 4.5893054805e-34 C107 x ¹² y ² 3.9940368813e-35 -1.2368393682e-34 -4.8414684018e-33 C109 x ¹⁰ y ⁴ 8.4148697188e-34 -1.3074928001e-33 -8.9178298527e-32 C111 x ⁸ y ⁶ 5.1933620055e-33 -1.5161541516e-32 -2.6211908807e-31 C113 x ⁶ y ⁸ 5.5899848663e-32 -1.3845488738e-31 -5.0535241092e-31 C115 x ⁴ y ¹⁰ 2.8584807253e-31 -6.3187738913e-31 1.1709289572e-29 C117 x ² y ¹² -9.9274939889e-31 -8.4845589661e-31 4.6698920281e-29 C119 y ¹⁴ 2.2550823762e-32 -2.0190897308e-31 4.7735051366e-29 C121 x ¹⁴ y 1.6350148469e-38 -4.5287873235e-38 5.0875516605e-37 C123 x ¹² y ³ 2.2555889825e-37 3.1598134043e-37 3.1230080571e-35 C125 x ¹⁰ y ⁵ 1.6075548475e-35 4.5931847898e-36 3.4611532158e-34 C127 x ⁸ y ⁷ 1.4659597323e-34 1.7262396129e-35 8.9347721832e-35 C129 x ⁶ y ⁹ 5.8558385506e-34 -5.0106175493e-34 9.9757938547e-33 C131 x ⁴ y ¹¹ -1.8072358235e-33 -1.0384452123e-33 6.5323016261e-32 C133 x ² y ¹³ 5.1984184777e-33 -1.1150896717e-33 8.2903229678e-32 C135 y ¹⁵ -7.2451497851e-33 -7.7712346828e-34 -7.4780708211e-33 C136 x ¹⁶ -2.5782207921e-42 -4.4006146745e-41 -4.7452226302e-39 C138 x ¹⁴ y ² -6.0145403297e-41 1.3068803476e-39 7.5353650472e-38 C140 x ¹² y ⁴ 7.7859221262e-40 1.0994439646e-38 1.6781741581e-36 C142 x ¹⁰ y ⁶ 1.1832591342e-37 1.0204747374e-37 8.2795995326e-36 C144 x ⁸ y ⁸ 5.3217220884e-37 1.2986426591e-36 3.7929477957e-35 C146 x ⁶ y ¹⁰ -2.3287571077e-36 9.4450446073e-36 -3.7052966905e-35 C148 x ⁴ y ¹² 1.2028256981e-35 2.1368179017e-35 -1.1057027429e-33 C150 x ² y ¹⁴ -7.4771428175e-36 2.0405126951e-35 -2.9585010206e-33 C152 y ¹⁶ 3.1136507871e-35 5.3965208933e-36 -2.3973636658e-33  Table 3d for Fig. 22 Formula M10 coefficient C7 x ² y -1.6579626302e-08 C9 y ³ 4.3312395399e-10 C10 x ⁴ -1.0348255623e-11 C12 x ² y ² -9.7517735604e-11 C14 y ⁴ -5.4139773101e-11 C16 x ⁴ y 2.6558031888e-17 C18 x ² y ³ 4.0147399875e-15 C20 y ⁵ 1.2610973372e-14 C21 x ⁶ -4.6016434822e-17 C23 x ⁴ y ² -3.1382920103e-16 C25 x ² y ⁴ -4.1569359979e-16 C27 y ⁶ -1.4899623186e-16 C29 x ⁶ y 1.7641025100e-20 C31 x ⁴ y ³ 5.4076749357e-20 C33 x ² y ⁵ 6.9531681354e-20 C35 y ⁷ 3.4820367246e-20 C36 x ⁸ -1.5566659972e-22 C38 x ⁶ y ² -9.1057899766e-22 C40 x ⁴ y ⁴ -1.8184549099e-21 C42 x ² y ⁶ -1.4201606814e-21 C44 y ⁸ -3.6973362206e-22 C46 x ⁸ y -1.4343946367e-27 C48 x ⁶ y ³ 1.9747299347e-25 C50 x ⁴ y ⁵ 2.9282947710e-25 C52 x ² y ⁷ 2.1715261455e-25 C54 y ⁹ 1.2269026461e-25 C55 x ¹⁰ -3.8192047887e-28 C57 x ⁸ y ² -2.1622587061e-27 C59 x ⁶ y ⁴ -5.2538572574e-27 C61 x ⁴ y ⁶ -6.1381825163e-27 C63 x ² y ⁸ -3.5342647196e-27 C65 y ¹⁰ -8.8500841167e-28 C67 x ¹⁰ y 9.4708714960e-32 C69 x ⁸ y ³ 1.0262828186e-30 C71 x ⁶ y ⁵ 2.4325905308e-30 C73 x ⁴ y ⁷ 3.2240670444e-30 C75 x ² y ⁹ 2.2980753459e-30 C77 y ¹¹ 3.7695979849e-31 C78 x ¹² -1.0302127883e-33 C80 x ¹⁰ y ² -1.0831679709e-32 C82 x ⁸ y ⁴ -3.6849268691e-32 C84 x ⁶ y ⁶ -6.2836900430e-32 C86 x ⁴ y ⁸ -5.8280724024e-32 C88 x ² y ¹⁰ -2.5287860007e-32 C90 y ¹² -3.1973080671e-33 C92 x ¹² y -2.7505045375e-37 C94 x ¹⁰ y ³ -2.1986499712e-36 C96 x ⁸ y ⁵ -4.8604375784e-36 C98 x ⁶ y ⁷ -1.0402458174e-35 C100 x ⁴ y ⁹ -1.2839625979e-35 C102 x ² y ¹¹ -7.5737581535e-36 C104 y ¹³ -6.8960803910e-37 C105 x ¹⁴ 4.4335371163e-40 C107 x ¹² y ² 1.6148747239e-38 C109 x ¹⁰ y ⁴ 8.4364126852e-38 C111 x ⁸ y ⁶ 1.9946576677e-37 C113 x ⁶ y ⁸ 2.6915438695e-37 C115 x ⁴ y ¹⁰ 2.0713716890e-37 C117 x ² y ¹² 7.0024353577e-38 C119 y ¹⁴ 3.6660799300e-39 C121 x ¹⁴ y 1.4989920666e-42 C123 x ¹² y ³ 2.0894407753e-41 C125 x ¹⁰ y ⁵ 6.7328739625e-41 C127 x ⁸ y ⁷ 1.3772784178e-40 C129 x ⁶ y ⁹ 1.7200855054e-40 C131 x ⁴ y ¹¹ 1.3322088306e-40 C133 x ² y ¹³ 5.8375358156e-41 C135 y ¹⁵ 9.3048801656e-42 C136 x ¹⁶ -1.4741404657e-44 C138 x ¹⁴ y ² -1.6200040890e-43 C140 x ¹² y ⁴ -7.6253963307e-43 C142 x ¹⁰ y ⁶ -1.9402345144e-42 C144 x ⁸ y ⁸ -2.9971559544e-42 C146 x ⁶ y ¹⁰ -2.9091845243e-42 C148 x ⁴ y ¹² -1.7063496850e-42 C150 x ² y ¹⁴ -5.2026170357e-43 C152 y ¹⁶ -5.5216469046e-44  Table 4 for Fig. 22 Coordinates of the aperture edge x _i [mm] y _i [mm] x _{i + N / 2} [mm] y _{i + N / 2} [mm] 36.373562 3.823015 -36.407091 -3.826539 35.361267 7.516269 -35.455312 -7.536259 33.705403 10.951549 -33.851199 -10.998921 31.477433 14.014656 -31.742650 -14.132738 28.795598 16.625147 -29.192388 -16.854233 25.973031 18.870511 -26.401487 -19.181803 22.959575 20.672894 -23.482771 -21.143982 19.932405 22.137179 -20.445166 -22.706658 16.944227 23.321728 -17.426418 -23.985406 13.968678 24.194460 -14.449676 -25.027573 11.045658 24.808953 -11.483941 -25.793355 8.234909 25.344443 -8.553226 -26.324122 5.446458 25.623571 -5.666904 -26.660688 2.707074 25.756090 -2.823392 -26.862781 0.000000 25.774575 0.000000 -26.890420 -2.707074 25.756090 2.823392 -26.862781 -5.446458 25.623571 5.666904 -26.660688 -8.234909 25.344443 8.553226 -26.324122 -11.045658 24.808953 11.483941 -25.793355 -13.968678 24.194460 14.449676 -25.027573 -16.944227 23.321728 17.426418 -23.985406 -19.932405 22.137179 20.445166 -22.706658 -22.959575 20.672894 23.482771 -21.143982 -25.973031 18.870511 26.401487 -19.181803 -28.795598 16.625147 29.192388 -16.854233 -31.477433 14.014656 31.742650 -14.132738 -33.705403 10.951549 33.851199 -10.998921 -35.361267 7.516269 35.455312 -7.536259 -36.373562 3.823015 36.407091 -3.826539 -36.646788 0.000000 36.646788 0.000000  Table 5 for Fig. 22 N / A Numerical aperture 00:55 | Βx | Magnification scale in cross scan direction 4.8 βy | | Magnification scale in the scan direction 7.5 RMS scanned wavefront deviation 8 m λ EP Location of the entrance pupil -2.4 m N Number of mirrors 10

Die Projektionsoptik 34 hat insgesamt zehn Spiegel M1 bis M10.The projection optics 34 has a total of ten mirrors M1 to M10 ,

Die Spiegel M1, M9 und M10 sind als NI-Spiegel und die Spiegel M2 bis M8 sind als GI-Spiegel ausgeführt. Die Spiegel M2 bis M8 reflektieren das Abbildungslicht 3 so, dass sich die Ausfallswinkel der Einzelstrahlen 29 auf den jeweiligen Spiegeln M2 bis M8 addieren, sich also in ihrer Umlenkwirkung verstärken. The mirror M1 . M9 and M10 are as NI mirrors and the mirrors M2 to M8 are designed as GI mirrors. The mirror M2 to M8 reflect the image light 3 so that the angle of reflection of the individual rays 29 on the respective mirrors M2 to M8 add up, so reinforce their deflecting effect.

Die Projektionsoptik 34 hat für die Spiegel M1 bis M10 folgende Abfolge umlenkender Wirkungen: LRRRRRRR0R.The projection optics 34 has for the mirror M1 to M10 following sequence of diverting effects: LRRRRRRR0R.

Der Spiegel M10 hat die Durchtrittsöffnung 31. Alle anderen Spiegel M1 bis M9 haben keine Durchtrittsöffnung und werden in einem lückenlos zusammenhängenden Bereich reflektiv genutzt.The mirror M10 has the passage opening 31 , All other mirrors M1 to M9 have no through opening and are used reflectively in a seamlessly connected area.

Eine Apertur- und Obskurationsblende AS ist bei der Projektionsoptik 34 im Abbildungsstrahlengang zwischen den Spiegeln M9 und M10 angeordnet.An aperture and obscuration aperture AS is in the projection optics 34 in the imaging beam path between the mirrors M9 and M10 arranged.

Die Spiegel M1, M5, M6, M7 und M10 haben negative Radiuswerte, sind also grundsätzlich Konkavspiegel. Die Spiegel M2, M3 und M9 haben positive Radiuswerte, sind grundsätzlich also Konvexspiegel. Die Spiegel M4 und M8 haben R_x, R_y-Radiuswerte mit jeweils sich unterscheidenden Vorzeichen, haben also grundsätzlich die Form jeweils einer Sattelfläche.The mirror M1 . M5 . M6 . M7 and M10 have negative radius values, so they are basically concave mirrors. The mirror M2 . M3 and M9 have positive radius values, so they are basically convex mirrors. The mirror M4 and M8 have R _x , R _y radius values, each with a different sign, so they basically have the shape of a saddle surface.

23 gibt für die Spiegel M1 bis M10 der Projektionsoptik 34 wiederum die r/NA-Parameterbereiche an. Die 24 gibt anhand dieser Daten wiederum die Abhängigkeit der Arbeitsabstände a_min , amax für ein DOE 16 mit vorgegebenem Radius d_max beim Einsatz in der Oberflächenprofil-Messeinrichtung 15 zum Vermessen der Reflexionsflächen der Spiegel M1 bis M10 der Projektionsoptik 34 wieder. 23 gives for the mirrors M1 to M10 the projection optics 34 again the r / NA parameter ranges. The 24 gives the dependence of the working distances based on this data a _min , amax for a DOE 16 with a given radius d _max when used in the surface profile measuring device 15 for measuring the reflective surfaces of the mirrors M1 to M10 the projection optics 34 again.

25 zeigt für alle vorstehend beschriebenen Projektionsoptik-Ausführungen 7, 32, 33 und 34 die Abhängigkeiten der Arbeitsabstände a_min , amax vom DOE-Radius d_max , eingetragen in ein a/d_max-Diagramm. Den Kurven in der 25 sind jeweils die Bezugsziffern 7, 32, 33 und 34 der zugehörigen Projektionsoptiken zugeordnet. 25 shows for all projection optics versions described above 7 . 32 . 33 and 34 the dependencies of the working distances a _min , amax from the DOE radius d _max , entered in an a / d _max diagram. The curves in the 25 are the reference numbers 7 . 32 . 33 and 34 associated with the associated projection optics.

Hieraus ergibt sich beispielsweise, dass die Projektionsoptik 34 mit dem vom Radius her kleinsten DOE 16 bei ein und demselben Arbeitsabstand im Bereich von 400 mm vermessen werden kann. Das zugehörige DOE 16 hat einen Radius im Bereich von 220 mm. Bei der Projektionsoptik 33 ergibt sich für ein DOE mit einem Radius d_max im Bereich von 235 mm die Möglichkeit, ohne Arbeitsabstandsvariation die Oberflächenprofil-Messung durchzuführen bei einem Arbeitsabstand ebenfalls im Bereich von 400 mm.It follows, for example, that the projection optics 34 with the smallest DOE in radius 16 can be measured at the same working distance in the range of 400 mm. The associated DOE 16 has a radius in the range of 220 mm. With projection optics 33 results for a DOE with a radius d _max in the range of 235 mm the possibility to carry out the surface profile measurement without working distance variation at a working distance also in the range of 400 mm.

Mit einem DOE 16 mit einem Radius, der kleiner ist als 300 mm und der beispielsweise 300 mm, 280 mm oder 270 mm beträgt, können die Reflexionsflächen aller Spiegel der vorstehend erläuterten Ausführungsbeispiele ohne Arbeitsabstandsveränderung vermessen werden.With a DOE 16 With a radius which is smaller than 300 mm and which is, for example, 300 mm, 280 mm or 270 mm, the reflection surfaces of all mirrors of the exemplary embodiments explained above can be measured without changing the working distance.

Eine Vermessung der Reflexionsflächen der Spiegel bleibt möglich bis zu einem Radius d_max des DOE im Bereich von 180 mm, wobei dann hohe Anforderungen an eine Arbeitsabstandseinstellung gestellt werden. Bei einem Radius d_max im Bereich von 190 mm oder im Bereich von 200 mm sind diese Arbeitsabstands-Anforderungen, wie die 25 zeigt, bereits relaxiert.It is still possible to measure the reflection surfaces of the mirrors up to a radius d _max of the DOE in the range of 180 mm, which places high demands on a working distance setting. With a radius d _max in the range of 190 mm or in the range of 200 mm, these working distance requirements are like that 25 shows, already relaxed.

Zur Herstellung eines mikro- oder nanostrukturierten Bauteils wird die Projektionsbelichtungsanlage 1 folgendermaßen eingesetzt: Zunächst werden die Reflexionsmaske 10 beziehungsweise das Retikel und das Substrat beziehungsweise der Wafer 11 bereitgestellt. Anschließend wird eine Struktur auf dem Retikel 10 auf eine lichtempfindliche Schicht des Wafers 11 mithilfe der Projektionsbelichtungsanlage 1 projiziert. Durch Entwicklung der lichtempfindlichen Schicht wird dann eine Mikro- oder Nanostruktur auf dem Wafer 11 und somit das mikrostrukturierte Bauteil erzeugt.The projection exposure system is used to manufacture a micro- or nano-structured component 1 used as follows: First, the reflection mask 10 or the reticle and the substrate or the wafer 11 provided. Then a structure on the reticle 10 on a photosensitive layer of the wafer 11 using the projection exposure system 1 projected. By developing the light-sensitive layer, a micro- or nanostructure is then created on the wafer 11 and thus creates the microstructured component.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturPatent literature cited

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Claims (10)

Oberflächenprofil-Messeinrichtung (15) - mit einer abbildenden Optik (7; 32; 33; 34) -- mit einer Mehrzahl von Spiegeln (M1 bis M11; M1 bis M8; M1 bis M10) zur Abbildung eines Objektfeldes (4) in ein Bildfeld (8), -- wobei die Oberflächenprofil-Messeinrichtung (15) zur Vermessung der Spiegel (M1 bis M11; M1 bis M8; M1 bis M10) ausgeführt ist und wobei alle Spiegel (M1 bis M11; M1 bis M8; M1 bis M10) Nutz-Reflexionsflächen (20) aufweisen, die derart verlaufen, dass sie mit der Oberflächenprofil-Messeinrichtung (15) vermessen werden können, - mit einem diffraktiven optischen Element (DOE) (16), welches eine Prüfwellenfront (17) erzeugt, die senkrecht auf einem Soll-Oberflächenprofil einer jeweiligen Nutz-Reflexionsfläche (20) des Spiegels (M1 bis M11; M1 bis M8; M1 bis M10) steht. - wobei alle Punkte (P) auf den Nutz-Reflexionsflächen (20) aller Spiegel (M1 bis M11; M1 bis M8; M1 bis M10) der abbildenden Optik (7; 32; 33; 34) folgender Relation genügen: $$\text{NA}\ge \left(\text{r}-{\text{d}}_{\text{max}}\right){\text{/a}}_{\text{min}}\text{ für r}\le {\text{d}}_{\text{max}}$$

$$\text{NA}\ge \left(\text{r}-{\text{d}}_{\text{max}}\right){\text{/a}}_{\text{max}}\text{ für r}\ge {\text{d}}_{\text{max}}$$

wobei: - NA der Tangens eines Winkels (α) einer Oberflächennormalen (N) zu einer Verbindungsachse (oA) zwischen einem Mittelpunkt (Z) der Nutz-Reflexionsfläche (20) und einem Mittelpunkt (Z_D) des DOE (16) durch den jeweiligen Punkt (P) auf der Nutz-Reflexionsfläche (20) ist, - r einen Abstand des Punktes (P) von der optischen Achse (oA) angibt - d_max der Radius des DOE (16) ist, - amax ein maximaler Arbeitsabstand des DOE (16) zur Nutz-Reflexionsfläche (20) ist, bei dem die Oberflächenprofil-Messeinrichtung (15) ein verwertbares Messergebnis liefern kann, - a_min ein minimaler Arbeitsabstand des DOE (16) zur Nutz-Reflexionsfläche (20) ist, bei dem die Oberflächenprofil-Messeinrichtung (15) ein verwertbares Messergebnis liefern kann.Surface profile measuring device (15) - with imaging optics (7; 32; 33; 34) - with a plurality of mirrors (M1 to M11; M1 to M8; M1 to M10) for imaging an object field (4) in an image field (8), - the surface profile measuring device (15) being designed to measure the mirrors (M1 to M11; M1 to M8; M1 to M10) and all mirrors (M1 to M11; M1 to M8; M1 to M10) Have useful reflection surfaces (20) which run in such a way that they can be measured with the surface profile measuring device (15), - with a diffractive optical element (DOE) (16), which generates a test wave front (17) that is perpendicular to a target surface profile of a respective useful reflection surface (20) of the mirror (M1 to M11; M1 to M8; M1 to M10). - All points (P) on the useful reflection surfaces (20) of all mirrors (M1 to M11; M1 to M8; M1 to M10) of the imaging optics (7; 32; 33; 34) meet the following relation: $$\text{N / A}\ge \left(\text{r}-{\text{d}}_{\text{Max}}\right){\text{/ a}}_{\text{min}}\text{for r}\le {\text{d}}_{\text{Max}}$$

$$\text{N / A}\ge \left(\text{r}-{\text{d}}_{\text{Max}}\right){\text{/ a}}_{\text{Max}}\text{for r}\ge {\text{d}}_{\text{Max}}$$

where: - NA the tangent of an angle (α) of a surface normal (N) to a connecting axis (oA) between a center (Z) of the useful reflection surface (20) and a center (Z _D ) of the DOE (16) by the respective Point (P) on the useful reflection surface (20), - r indicates a distance of the point (P) from the optical axis (oA) - d _{max is} the radius of the DOE (16), - amax is a maximum working distance of the DOE (16) to the useful reflection surface (20), in which the surface profile measuring device (15) can deliver a usable measurement result, - a _{min is} a minimum working distance of the DOE (16) to the useful reflection surface (20), in which the Surface profile measuring device (15) can deliver a usable measurement result. Oberflächenprofil-Messeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass alle Spiegel (M1 bis M11; M1 bis M8; M1 bis M10) Nutz-Reflexionsflächen (20) aufweisen, die derart verlaufen, dass sie alle mit der Oberflächenprofil-Messeinrichtung (15) mit genau ein und demselben Arbeitsabstand (a) des DOE (16) zur Nutz-Reflexionsfläche (20), bei dem die Oberflächenprofil-Messeinrichtung (15) ein verwertbares Messergebnis liefern kann, vermessen werden können.Surface profile measuring device after Claim 1 , characterized in that all mirrors (M1 to M11; M1 to M8; M1 to M10) have useful reflection surfaces (20) which run in such a way that they are all with the surface profile measuring device (15) with exactly the same working distance ( a) of the DOE (16) to the useful reflection surface (20), in which the surface profile measuring device (15) can deliver a usable measurement result, can be measured. Oberflächenprofil-Messeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 2, gekennzeichnet durch mindestens acht Spiegel (M1 bis M11; M1 bis M8; M1 bis M10).Surface profile measuring device according to one of the Claims 1 to 2 , characterized by at least eight mirrors (M1 to M11; M1 to M8; M1 to M10). Oberflächenprofil-Messeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, gekennzeichnet durch höchstens vier NI-Spiegel (M1, M10, M11, M1, M4, M7, M8, M1, M9, M10).Surface profile measuring device according to one of the Claims 1 to 3 , characterized by a maximum of four NI mirrors (M1, M10, M11, M1, M4, M7, M8, M1, M9, M10). Oberflächenprofil-Messeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet durch mindestens vier GI-Spiegel (M2 bis M9; M2, M3, M5, M6; M2 bis M8).Surface profile measuring device according to one of the Claims 1 to 4 , characterized by at least four GI mirrors (M2 to M9; M2, M3, M5, M6; M2 to M8). Oberflächenprofil-Messeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5 , gekennzeichnet durch eine Beleuchtungsoptik (6) zur Beleuchtung des Objektfeldes (4) mit Beleuchtungs- und Abbildungslicht (3).Surface profile measuring device according to one of the Claims 1 to 5 , characterized by lighting optics (6) for illuminating the object field (4) with illuminating and imaging light (3). Oberflächenprofil-Messeinrichtung nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch eine EUV-Lichtquelle (2).Surface profile measuring device after Claim 6 , characterized by an EUV light source (2). Projektionsbelichtungsanlage für die Projektionslithografie mit einer Oberflächenprofil-Messeinrichtung nach Anspruch 1 bis 7.Projection exposure system for projection lithography with a surface profile measuring device Claim 1 to 7 , Verfahren zur Herstellung eines strukturierten Bauteils mit folgenden Verfahrensschritten: - Bereitstellen eines Retikels (10) und eines Wafers (11), - Projizieren einer Struktur auf dem Retikel (10) auf eine lichtempfindliche Schicht des Wafers (11) mithilfe der Projektionsbelichtungsanlage nach Anspruch 8, - Erzeugen einer Mikro- bzw. Nanostruktur auf dem Wafer (11).Method for producing a structured component with the following method steps: - providing a reticle (10) and a wafer (11), - projecting a structure on the reticle (10) onto a light-sensitive layer of the wafer (11) using the projection exposure system Claim 8 , - Generation of a micro or nanostructure on the wafer (11). Strukturiertes Bauteil, hergestellt nach einem Verfahren nach Anspruch 9. Structured component, manufactured according to a process Claim 9 ,

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