DE102019129658A1 - Vorrichtung zur optischen In-Situ Analyse eines Prozessgases - Google Patents

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Abstract

Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur optischen In-Situ Analyse einer Prozessgaskomponente eines Prozessgases umfasst einen Gasführungskanal und einen Lichtsender zur Aussendung eines Lichtstrahls in eine Messstrecke, einen Lichtempfänger zum Empfang von Streu- und/oder Transmissionslicht aus der Messstrecke und eine Auswerteeinheit zur Bestimmung von Daten der Prozessgaskomponente aus der empfangenen Lichtintensität. Die Messstrecke ist in einem gasdichten Gehäuse angeordnet ist, das wenigstens eine Öffnung zum Gasführungskanal hin aufweist. In der Öffnung ist ein Filter angeordnet. Mittels einer Gasfördereinrichtung wird Prozessgas auf einem ersten Gasförderweg durch das Filter in das gasdichte Gehäuse und wieder aus diesem heraus, gefördert. Erfindungsgemäß ist zumindest im Bereich der Öffnung eine einer Anströmseite des Filters gegenüberliegende Wandung angeordnet, so dass zwischen Filter und Wandung ein Zwischenraum gebildet ist. in diesem Zwischenraum wird mit der Gasfördereinrichtung oder einer zweiten Gasfördereinrichtung das Prozessgas auf einem zweiten Gasförderweg durch den Zwischenraum gefördert, wodurch eine zweite Gasströmung im Bereich des Filters entlang des Filters gebildet ist.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur optischen In-Situ Analyse einer Prozessgaskomponente eines Prozessgases, das in einem Gasführungskanal geführt ist, mit einem Lichtsender zur Aussendung eines Lichtstrahls in eine Messstrecke, einem Lichtempfänger zum Empfang von Streu- und/oder Transmissionslicht aus der Messstrecke und einer Auswerteeinheit zur Bestimmung von Daten der Prozessgaskomponente aus der empfangenen Lichtintensität, wobei die Messstrecke in einem gasdichten Gehäuse angeordnet ist, das wenigstens eine Öffnung zum Gasführungskanal hin aufweist und in der Öffnung ein Filter angeordnet ist und eine Gasfördereinrichtung vorgesehen ist, mit der Prozessgas auf einem ersten Gasförderweg durch das Filter in das gasdichte Gehäuse und wieder aus diesem heraus, förderbar ist, so dass eine erste Gasströmung durch die Messstrecke geführt ist.
  • Mit solchen Vorrichtungen werden bestimmte Gasanteile, z. B. Schwefelwasserstoff, Kohlenmonoxid, SO2, NH3, NO, N02, HCl, HF oder dergleichen, mittels optischer Transmission oder Lichtstreuung gemessen. Zumeist wird dabei die Konzentration dieser Gasanteile ermittelt. Anwendungsgebiete sind zum Beispiel Emissionsmessungen von Industrieanlagen, bei denen die Abgase auf ihren Gehalt bestimmter molekularer Verbindungen überwacht werden müssen.
  • Häufig sind die Gasströme, denen die optoelektronische Vorrichtung ausgesetzt ist, um die gewünschten Gasanteile zu messen, durch hohe Partikelbelastungen, wie zum Beispiel Rauch, Stäube, kondensiertes Wasser oder andere Aerosole, gekennzeichnet. Diese hohen Partikelbelastungen verursachen eine große Lichtabsorption und/oder eine hohe Lichtstreuung, die die eigentliche Messung stark behindert bis unmöglich macht. So hat beispielsweise Schwefelwasserstoff eine sehr breite Absorption wie auch ultrafeiner Staub. Es kann dann nicht mehr unterschieden werden, ob die Absorption von Schwefelwasserstoff herrührt oder von dem Staub.
  • Zum Fernhalten derartiger Partikel, die die Messung stören, ist es bekannt (z.B. US 4,549,080 ) Filter vorzusehen, die aus einem Rohrstück aus porösem Material bestehen, in dessen Innerem sich die Messstrecke befindet. Aufgrund der porösen Struktur kann zwar das zu messende Gas in die Messstrecke gelangen, aber je nach Porengröße können Partikel, wie Rauch, Stäube oder Aerosole, abgehalten werden. Nachteilig daran ist, dass das Filter aufgrund der Filterwirkung der porösen Struktur einen begrenzten Gasdurchlass aufweist, der einen schnellen Gasaustausch behindert. Ein hoher Gasaustausch wäre wünschenswert, um die Ansprechzeit dieser Geräte zu verbessern.
  • Aus der EP 3 112 845 A1 ist es bekannt zur Verbesserung der Ansprechzeit, das Gas aktiv mit einer Pumpe durch die Filter zu „ziehen“ durch Erzeugung eines Druckunterschiedes. Nachteilig hieran ist jedoch, dass das Filter sich im Laufe der Zeit zusetzt und je nach Partikelbelastung des Gasstroms entsprechend häufig eine Wartung zur Reinigung des Filters erfolgen muss.
  • Ausgehend von diesem Stand der Technik ist es Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung bereitzustellen, mit der eine verbesserte In-Situ Gasanalyse, insbesondere zur Vermeidung der vorgenannten Nachteile.
  • Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1.
  • Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur optischen In-Situ Analyse einer Prozessgaskomponente eines Prozessgases weist einen Gasführungskanal auf, in dem das Prozessgas geführt ist, mit einem Lichtsender zur Aussendung eines Lichtstrahls in eine Messstrecke, einem Lichtempfänger zum Empfang von Streu- und/oder Transmissionslicht aus der Messstrecke und einer Auswerteeinheit zur Bestimmung von Daten der Prozessgaskomponente aus der empfangenen Lichtintensität, wobei die Messstrecke in einem gasdichten Gehäuse angeordnet ist, das wenigstens eine Öffnung zum Gasführungskanal hin aufweist und in der Öffnung ein Filter angeordnet ist und eine Gasfördereinrichtung vorgesehen ist, mit der Prozessgas auf einem ersten Gasförderweg durch das Filter in das gasdichte Gehäuse und wieder aus diesem heraus, förderbar ist, so dass eine erste Gasströmung durch die Messstrecke geführt ist. Erfindungsgemäß ist zumindest im Bereich der Öffnung eine einer Anströmseite des Filters gegenüberliegende Wandung angeordnet, so dass zwischen Filter und Wandung ein Zwischenraum gebildet ist. in diesem Zwischenraum wird mit der Gasfördereinrichtung oder einer zweiten Gasfördereinrichtung das Prozessgas auf einem zweiten Gasförderweg durch den Zwischenraum gefördert, wodurch eine zweite Gasströmung im Bereich des Filters entlang des Filters gebildet ist.
  • Diese zweite Gasströmung hat den großen Vorteil, dass dadurch sich im Prozessgas befindende Partikel nicht auf dem Filter absetzen können, sondern stattdessen entlang des Filters und schließlich vom Filter weg gefördert werden. Ein Zusetzen des Filters mit Schmutz wird verhindert bzw. zumindest verlangsamt durch eine ausreichend hohe Strömungsgeschwindigkeit des Prozessgases entlang des Filters, also in Querrichtung (Cross-Flow-Effekt).
  • Sollten dennoch abgelagerte Partikel das Filter zusetzen, kann durch Erhöhung der Förderleistung auf dem zweiten Gasförderweg die Gasgeschwindigkeit erhöht werden, so dass die abgelagerten Partikel mitgerissen werden und das Filter somit wieder frei ist. Die eigentliche Messung auf der Messstrecke kann davon unberührt bleiben. Die Prozessgasmenge in der Messstrecke ist abhängig von der Förderleistung auf dem ersten Gasförderweg, also von der ersten Gasströmung, die selbst unabhängig von der zweiten Gasströmung ist. Die eigentliche Messaufgabe kann somit auch bei widrigen Bedingungen, wie hohe Staubbeladungen im Gasführungskanal, einwandfrei weiter durchgeführt werden, bei gleichzeitig längerem Wartungsintervall gegenüber Lösungen aus dem Stand der Technik.
  • Die Ansprechzeit kann durch Einstellung der ersten Gasströmung optimiert werden und zwar unabhängig von der zweiten Gasströmung, die eigentlich nur zur Reinhaltung bzw. Reinigung des Filters verwendet wird.
  • In einer bevorzugten ersten Ausführungsform der Erfindung ist das Gehäuse durch ein Innenrohr gebildet. Die Wandung ist durch ein das Innenrohr umgebendes Außenrohr, das stirnseitig zum Gasführungskanal hin geöffnet ist, gebildet. Rohrgeometrien sind mechanisch stabil. Ein Außenrohr bietet darüber hinaus dem Filter auch Schutz vor einer direkten Anströmung des Prozessgases und eventuell darin vorhandenen abrasiven Partikeln. Weiter kann der zwischen Innen- und Außenrohr gebildete Zwischenraum durch Dimensionierung der Rohrdurchmesser in einfacher Weise eng gehalten sein, was eine hohe Gasgeschwindigkeit bei geringer Förderleistung bewirkt.
  • In einer alternativen Ausführung weist das Gehäuse ein Innenrohr und ein Außenrohr auf, wobei jetzt die Messstrecke zwischen Innen- und Außenrohr angeordnet ist. Die Öffnung ist dabei im Innenrohr angeordnet und das Innenohr stirnseitig zum Gasführungskanal hin geöffnet, so dass die Wandung durch das Innenrohr selbst gebildet ist und der Zwischenraum durch das Innere des Innenrohres gebildet ist.
  • In einfacher Weise ist die Gasfördereinrichtung als Gebläse oder Pumpe ausgebildet.
  • Die Montage der erfindungsgemäßen Vorrichtung und die elektrische Anbindung ist erheblich vereinfacht, wenn Lichtsender und Lichtempfänger auf derselben Seite des Gasführungskanals angeordnet sind.
  • Es kann Applikationsfälle geben, in denen es vorteilhaft ist, wenn Lichtsender und Lichtempfänger auf gegenüberliegenden Seiten des Gasführungskanals angeordnet sind und das Gehäuse mit der Messstrecke quer durch den Gasführungskanal geführt ist. Das ist aber mechanisch aufwändiger.
  • In Weiterbildung der Erfindung ist das Filter als ein Sinterfilter oder Membranfilter oder dergleichen ausgebildet.
  • In Weiterbildung der Erfindung ist die Gasfördereinrichtung oder sind die Gasfördereinrichtungen geregelt. Dadurch kann die erste und die zweite Gasströmung vorzugsweise unabhängig voneinander eingestellt werden, so dass ein gewünschter Gasdurchsatz in der Messstrecke und/oder in dem Zwischenraum vorliegt, insbesondere eine gewünschte Strömungsgeschwindigkeit in dem Zwischenraum.
  • Insbesondere wenn das Prozessgas giftige Komponenten enthält, ist es vorteilhaft, wenn das aus der Messstrecke und/oder dem Zwischenraum geförderte Gas in den Gasführungskanal zurückgeführt wird.
  • Sollte das Filter sich trotz der Erfindung einmal zugesetzt haben, ist in Weiterbildung der Erfindung vorgesehen, dass eine Förderrichtung der Gasförderenirichtung umkehrbar ist. Dann kann das Filter mit einem umgekehrten Gasstrom „freigeblasen“ werden.
  • Im Folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung im Einzelnen erläutert. In der Zeichnung zeigen:
    • 1 eine schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung einer ersten Ausführungsform;
    • 2 eine alternative Ausführungsform in einer Darstellung wie 1.
  • Eine erfindungsgemäße Vorrichtung 10 zur In-Situ Gasanalyse eines Prozessgasstroms, der durch Pfeile 28 angedeutet ist und in einem Gasführungskanal 26 geführt ist, weist in einem in 1 dargestellten, ersten Ausführungsbeispiel einen Lichtsender 12 auf, der einen Sendelichtstrahl 14 aussendet. Der Lichtsender kann je nach Einsatzzweck als UV- und/oder als IR-Lichtquelle ausgebildet sein. In einer anderen Ausführungsform kann der Lichtsender 12 als durchstimmbarer Laser ausgebildet sein, um die Wellenlänge des Laserlichts über eine Absorption der zu messenden Messgaskomponente durchstimmen zu können. Der Sendelichtstrahl 14 definiert eine Messstrecke 16 und wird nach Reflexion an einem Retroreflektor 18 und einem Teilerspiegel 20 von einem Lichtempfänger 22 empfangen.
  • Der Lichtempfänger 22 erzeugt in Abhängigkeit des auftreffenden Lichts elektrische Empfangssignale, die in einer Auswerteeinrichtung 24 ausgewertet werden.
  • Eine solche Vorrichtung 10 kann beispielsweise als Transmissiometer ausgebildet sein, so dass mit dem Lichtempfänger 22 die Intensität des durch die Messstrecke 16 hindurchtretenden und nicht absorbierten Lichts gemessen wird. In der Regel ist der Lichtsender 12 auf eine bestimmte Wellenlänge abgestimmt bzw. wird über eine Absorptionslinie einer zu untersuchenden Gaskomponente, beispielsweise Schwefelwasserstoff, gescannt. Über die Intensität des am Lichtempfänger 22 empfangenen Lichts kann dann eine Aussage gemacht werden, wie hoch die Konzentration der interessierenden Gaskomponente, z. B. des Schwefelwasserstoffs, in dem Prozessgasstrom 28 ist.
  • In einer nicht dargestellten Ausführungsform könnte auch in einer nicht-kollinearen Anordnung von Sende- und Empfangslichtpfad die Erfassung einer Rückwärtsstreuung in bekannter Weise realisiert sein.
  • Die optoelektronische Vorrichtung 10 umfasst ein außerhalb des Gasführungskanals 26 gelegenes und an den Gasführungskanal 26 angeflanschtes Komponentengehäuse 29, in dem die optoelektronischen Komponenten, wie Lichtsender 12, Lichtempfänger 22 und Auswerteeinrichtung 24 angeordnet sind. Sende- und Empfangslicht treten durch ein Fenster 30 aus dem Komponentengehäuse 29 aus bzw. ein.
  • Die Messstrecke 16 ist in einem gasdichten Gehäuse 32 angeordnet, das aus einem in den Gasführungskanal 26 hineinragenden Innenrohr 34 besteht. An seinem außerhalb des Gasführungskanal 26 gelegenen Ende ist ein Anschlussflansch 36 angeordnet, an den das Komponentengehäuse 29 anflanschbar ist, so dass das Fenster 30 eine Stirnseite des Innenrohres 34 verschließt und der Lichtstrahl 14 in das Innenrohr 34 treten kann.
  • An seinem innerhalb des Gasführungskanals 26 gelegenen Ende ist der Reflektor 18 innenseitig gehalten. Das Innenrohr 34 ist gasdicht ausgebildet und hat in einem Bereich, in dem es in den Gasführungskanal 26 hineinragt, wenigstens eine Öffnung 38. In der Öffnung 38 ist ein Filter 40 angeordnet, so dass das Prozessgas 28 nur durch das Filter 40 in die Messstrecke 16 gelangen kann.
  • Damit das Prozessgas 28 überhaupt durch die Öffnung 38 und das Filter 40 in das Innenrohr 34 und damit in die Messstrecke 16 gelangen kann, ist an das Innenrohr 34 über eine Gasleitung 42 an eine Gasfördereinrichtung 44, z.B. Gebläse 44, angeschlossen, die eine erste Gasströmung 46 bewirkt. Auf diese Weise wird zu messendes Prozessgas 28 über einen ersten Gasförderweg aus dem Gasführungskanal 26 über das Filter 40 in die Messstrecke 16 gefördert und über das Innenrohr 34, die Leitung 42 und das Gebläse 44 und über einen Auslass 48 wieder zurück in den Gasführungskanal 26 gefördert. Das ist in 1 durch dünne Pfeile als Gasströmung 46 verdeutlicht. Über einen Druckminderer 50 kann die Gasströmung 46 eingestellt werden.
  • Damit liegt in der Messstrecke 16 das Prozessgas 28 bei nahezu gleichem Druck, der nur geringfügig kleiner sein kann als der in dem Gasführungskanal 26, vor. Da das Innenrohr 34 in den Gasführungskanal 26 hineinragt, hat es im Wesentlichen die im Gasführungskanal 26 vorherrschende Temperatur, so dass in der Messstrecke 16 auch in etwa die gleiche Temperatur vorherrscht. Für eine Regelung der Förderleistung auf dem ersten Gasförderweg kann ein nicht dargestellter Drucksensor beispielsweise im Innenrohr 34 vorgesehen sein.
  • Das Innenrohr 34 ist von einem Außenrohr 54 koaxial umgeben, wobei eine Stirnseite des Außenrohrs 54 zum Gasführungskanal 26 hin offen ist, so dass das Innenrohr von Prozessgas 28 angeströmt werden kann. An seinem außerhalb des Gasführungskanal 26 gelegenen Ende ist ein Anschlussflansch 56 angeordnet, an den das Innenrohr 34 mit seinem Flansch 36 angeflanscht ist, so dass das Innenrohr 34 koaxial im Außenrohr 54 gehalten ist. Mit einem zweiten Flansch 58 ist das Außenrohr 54 an einen Stutzen 60 des Gasführungskanals 26 angeflanscht. Insgesamt ragen damit Innenrohr 34 und Außenrohr 54 lanzenartig in den Gasführungskanal 26 hinein.
  • Zumindest im Bereich des Filters 40 bildet das Außenrohr 54 eine einer Anströmseite 62 des Filters 40 gegenüberliegende Wandung 64, so dass zwischen Filter 40 und Wandung 64 ein Zwischenraum 66 gebildet ist. Des Weiteren ist ein zweiter Gasförderweg ausgebildet, auf der mit der Gasfördereinrichtung 44 oder einer (nicht dargestellten, separaten) zweiten Gasfördereinrichtung eine zweite Gasströmung 70 aufrechterhalten wird. Die zweite Gasströmung 70 ist durch fetter gedruckte Pfeile 70 verdeutlicht. Der zweite Gasförderweg umfasst eine an des Außenrohr 54 angeschlossene Gasleitung 72, einen zweiten Druckminder 74 und das Gebläse 44 mit Auslass 48. Somit wird Prozessgas 28 auf dem zweiten Gasförderweg in der zweiten Gasströmung 70 vom Gasführungskanal 26, durch den Zwischenraum 66 und entlang des Filters 40 und damit quer zur Filterrichtung, zwischen Innenrohr 34 und Außenrohr 54 durch die im Bereich des außen gelegenen Endes des Außenrohres 54 angeschlossene Gasleitung 72 gefördert. Über den Druckminderer 74 und die Gasfördereinrichtung 44 kann die Fördermenge und damit die Gasgeschwindigkeit im Zwischenraum 70 eingestellt werden.
  • Durch die Querströmung, also die quer zur Filterrichtung (Strömungsrichtung durch das Filter) verlaufende, zweite Gasströmung 70 kann bei ausreichend hoher Strömungsgeschwindigkeit des Prozessgases 28 im Zwischenraum eine Ablagerung von Schmutzpartikeln und dergleichen auf der Anströmseite 62 des Filters 40 verhindert oder zumindest reduziert werden. Darin steckt der Kerngedanke der Erfindung.
  • Eine zweite, in 2 dargestellte Ausführungsform zeigt eine Variante, bei der die Rollen bzgl. Gasführung von Innenrohr 34 und Außenrohr 54 vertauscht sind. Der Einfachheit halber werden gleiche Bezugszeichen benutzt.
  • In diesem Ausführungsbeispiel bildet das Innenrohr 34 das gasdichte Gehäuse 32 nicht alleine. Das Innenrohr 34 ist hier nach innen zum Gasführungskanal 26 hin offen, so dass durch die offene Stirnseite das Prozessgas 28 einströmen kann. Das andere, außenliegende Ende des Innenrohrs 34 ist abgeschlossen. Das gasdichte Gehäuse 32 wird jetzt gemeinsam gebildet von Innen- 34 und Außenrohr 54, die stirnseitig miteinander verbunden sind, so dass sich die Messstrecke 16 zwischen Innen-34 und Außenrohr 54 befindet. Das Komponentengehäuse 29 mit seinem Fenster 30 ist dazu entsprechend querversetzt gegenüber dem ersten Ausführungsbeispiel. Die Gasleitung 42 ist wie zuvor an das gasdichte Gehäuse 32 angeschlossen und die Gasleitung 72 an den Zwischenraum 66, der wiederum auf der Anströmseite 62 des Filters 40 liegt. Die der Anströmseite 62 gegenüberliegende Wandung 64 wird durch die gegenüberliegende Wandung des Innerohrs 34 gebildet, bzw. in dem dargestellten Beispiel durch einen gegenüberliegenden zweiten Filter, der in der Wandung sitzt, weil in diesem Beispiel Öffnungen 38 mit ihren Filtern 40 sich gegenüberliegen.
  • Die erste Gasströmung 46 verläuft in diesem Ausführungsbeispiel dann von dem Gasführungskanal 26 ins Innere des Innenrohres 34, durch den Filter 40, durch das gasdichte Gehäuse 32, also in dem Bereich zwischen Innen- und Außenrohr durch die Gasleitung 42 mit Druckminderer 50, durch die Gasfördereinrichtung 44 und den Auslass 48 wieder in den Gasführungskanal 26.
  • Die zweite Gasströmung 70 verläuft von dem Gasführungskanal 26 ins Innere des Innenrohres 34, durch den Zwischenraum 66, am Filter 40 vorbei, durch das Innere des Innenrohrs 34, durch die Gasleitung 72 mit Druckminderer 74, durch die Gasfördereinrichtung 44 und den Auslass 48 wieder in den Gasführungskanal 26.
  • Es ergeben sich in dieser Variante die gleichen erfindungsgemäßen „Säuberungseffekte“ für das Filter 40 wie in dem ersten Ausführungsbeispiel. Auch hier wird durch die entsprechend hohe Strömungsgeschwindigkeit der zweiten Gasströmung im Zwischenraum 66 ein Ablagern von Staubpartikeln oder dergleichen verhindert.
  • Sollte das Filter sich trotz der erfindungsgemäßen Ausgestaltung einmal zu stark mit Partikeln zugesetzt haben, ist in einer nicht Ausführungsform vorgesehen, dass die Förderrichtung der Gasförderenirichtung 44 umkehrbar ist. Dann kann das Filter mit einem umgekehrten Gasstrom „freigeblasen“ werden. Dabei können die Druckminderer 42 und 50 so eingestellt werden, dass ein ausreichend starker Umkehrgasstrom durch die Leitung 42 und das Gehäuse 32 und damit durch das Filer 40 erfolgt.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • US 4549080 [0004]
    • EP 3112845 A1 [0005]

Claims (9)

  1. Vorrichtung zur optischen In-Situ Analyse einer Prozessgaskomponente eines Prozessgases (28), das in einem Gasführungskanal (26) geführt ist, mit einem Lichtsender (12) zur Aussendung eines Lichtstrahls (14) in eine Messstrecke (16), einem Lichtempfänger (22) zum Empfang von Streu- und/oder Transmissionslicht aus der Messstrecke (16) und einer Auswerteeinheit (24) zur Bestimmung von Daten der Prozessgaskomponente aus der empfangenen Lichtintensität, wobei die Messstrecke (16) in einem gasdichten Gehäuse (32, 34) angeordnet ist, das wenigstens eine Öffnung (38) zum Gasführungskanal (26) hin aufweist und in der Öffnung (38) ein Filter (40) angeordnet ist und eine Gasfördereinrichtung (44) vorgesehen ist, mit der Prozessgas (28) auf einem ersten Gasförderweg (46) durch das Filter (40) in das gasdichte Gehäuse (32, 34) und wieder aus diesem heraus, förderbar ist, so dass eine erste Gasströmung (46) durch die Messstrecke (16) geführt ist, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest im Bereich der Öffnung (38) eine einer Anströmseite (62) des Filters (40) gegenüberliegende Wandung (64) angeordnet ist, so dass zwischen Filter (40) und Wandung (64) ein Zwischenraum (66) gebildet ist, und dass mit der Gasfördereinrichtung (44) oder einer zweiten Gasfördereinrichtung Gas auf einem zweiten Gasförderweg (70) durch den Zwischenraum (66) förderbar ist und dadurch eine zweite Gasströmung (70) im Bereich des Filters (40) entlang der Anströmseite (62) des Filters (40) gebildet ist.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse durch ein Innenrohr gebildet ist und die Wandung durch ein das Innenrohr umgebendes Außenrohr, das stirnseitig zum Gasführungskanal hin geöffnet ist, gebildet ist.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse ein Innenrohr und ein Außenrohr aufweist und die Messstrecke zwischen Innen- und Außenrohr angeordnet ist und dass die Öffnung im Innenrohr angeordnet ist und dass das Innenrohr stirnseitig zum Gasführungskanal hin geöffnet ist und dass die Wandung durch das Innenrohr selbst gebildet ist, so dass der Zwischenraum durch das Innere des Innenrohres gebildet ist.
  4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Gasfördereinrichtung als Gebläse oder Pumpe ausgebildet ist.
  5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Lichtsender und Lichtempfänger auf derselben Seite des Gasführungskanals angeordnet sind.
  6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Filter als ein Sinterfilter oder Membranfilter oder dergleichen ausgebildet ist.
  7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Gasfördereinrichtung geregelt ist, um einen bestimmten Druck oder Gasdurchsatz in der Messstrecke und/oder in dem Zwischenraum zu haben.
  8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das aus der Messstrecke und/oder dem Zwischenraum geförderte Gas in den Gasführungskanal zurückgeführt ist.
  9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Förderrichtung der Gasförderenirichtung umkehrbar ist.
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