DE102018006903A1

DE102018006903A1 - Galvanisch getrennte Stifthubvorrichtung

Info

Publication number: DE102018006903A1
Application number: DE102018006903.7A
Authority: DE
Inventors: Michael DÜR; Rico Rohner; Adrian Eschenmoser; Marco Apolloni
Original assignee: VAT Holding AG
Current assignee: VAT Holding AG
Priority date: 2018-08-30
Filing date: 2018-08-30
Publication date: 2020-03-05
Also published as: TW202032709A; JP2020036003A; KR20200026718A; CN110875236A; TWI820174B; US20200075390A1; US11587819B2; CN110875236B

Abstract

Stifthubvorrichtung (10), insbesondere Pin-Lifter, die zur Bewegung und Positionierung eines zu bearbeitenden Substrats in einem durch eine Vakuumprozesskammer bereitstellbaren Prozessatmosphärenbereich ausgebildet ist. Die Stifthubvorrichtung (10) weist einen Kupplungsteil auf, der eine zur Aufnahme eines zum Kontaktieren und Tragen des Substrats ausgestalteten Tragstifts ausgebildete Kupplung (32) aufweist, und weist einen Antriebsteil auf, der eine Antriebseinheit (12) aufweist, die derart ausgebildet ist und mittels eines Verstellelements (14) derart mit der Kupplung (32) zusammenwirkt, dass die Kupplung (32) von einer abgesenkten Normalposition gesteuert in eine ausgefahrene Trageposition und zurück verstellbar ist. Die Stifthubvorrichtung (10) weist zudem eine zwischen dem Antriebsteil und dem Kupplungsteil angeordnete und eine vollständige galvanische Trennung zwischen dem Antriebsteil und dem Kupplungsteil bereitstellende Isolierkomponente auf.

Description

Die Erfindung betrifft eine galvanisch getrennte Stifthubvorrichtung zur Bewegung und Positionierung eines Substrats in einer Prozesskammer mittels eines Tragstifts.
Stifthubvorrichtungen, auch Pin-Lifter genannt, sind typischerweise zur Aufnahme und definierten Positionierung eines in einer Prozesskammer zu bearbeitenden Substrats konzipiert und vorgesehen. Diese kommen insbesondere bei Vakuumkammersystemen im Bereich der IC-, Halbleiter-, Flat Panel- oder Substratfertigung, die in einer geschützten Atmosphäre möglichst ohne das Vorhandensein verunreinigender Partikel stattfinden muss, zum Einsatz.
Derartige Vakuumkammersysteme umfassen insbesondere mindestens eine zur Aufnahme von zu bearbeitenden oder herzustellenden Halbleiterelementen oder Substraten vorgesehene, evakuierbare Vakuumkammer, die mindestens eine Vakuumkammeröffnung besitzt, durch welche die Halbleiterelemente oder anderen Substrate in die und aus der Vakuumkammer führbar sind. Beispielsweise durchlaufen in einer Fertigungsanlage für Halbleiter-Wafer oder Flüssigkristall-Substrate die hochsensiblen Halbleiter- oder Flüssigkristall-Elemente sequentiell mehrere Prozess-Vakuumkammern, in denen die innerhalb der Prozess-Vakuumkammern befindlichen Teile mittels jeweils einer Bearbeitungsvorrichtung bearbeitet werden.
Solche Prozesskammern verfügen häufig über zumindest ein Transferventil, dessen Querschnitt dem Substrat und Roboter angepasst ist und durch welches das Substrat in die Vakuumkammer eingebracht und ggf. nach der vorgesehenen Bearbeitung entnommen werden kann. Alternativ kann z.B. ein zweites Transferventil vorgesehen sein, durch das das bearbeitete Substrat aus der Kammer gebracht wird.
Das Führen des Substrats, z.B. eines Wafers, erfolgt beispielsweise mit einem entsprechend ausgebildeten und gesteuerten Roboterarm, der durch die mit dem Transferventil bereitstellbare Öffnung der Prozesskammer durchführbar ist. Das Bestücken der Prozesskammer erfolgt dann mittels Greifen des Substrats mit dem Roboterarm, Bringen des Substrats in die Prozesskammer und definiertes Ablegen des Substrats in der Kammer. Das Leeren der Prozesskammer erfolgt in entsprechender Weise.
Für das Ablegen des Substrats und für die genaue Positionierung des Substrats in der Kammer muss eine verhältnismässig hohe Genauigkeit und Beweglichkeit des Substrats gewährleistet sein. Hierfür werden Stifthubsysteme eingesetzt, die eine Mehrzahl von Auflagepunkten für das Substrat und damit eine Lastverteilung (aufgrund des Eigengewichts des Substrats) über das gesamte Substrat bereitstellen.
Das Substrat wird beispielsweise mittels des Roboters über den Tragstiften der Hubvorrichtung in Position gebracht und auf den Stiften zur Ablage gebracht. Nachdem der Roboter weggefahren ist, wird das Substrat durch ein Absenken der Stifte auf einem Träger, z.B. einer Potentialplatte oder Chuck (eine Vorrichtung zum festen Fixieren eines Substrats während des Bearbeitungsprozesses (Spannmittel)), abgelegt und der Roboterarm, der typischerweise das Substrat trägt, wird aus der Kammer gefahren, z.B. gleichzeitig mit dem Ablegen des Substrats. Die Stifte können nach dem Ablegen des Substrats weiter abgesenkt werden und liegen dann von diesem separiert vor, d.h. es besteht kein Kontakt zwischen den Stiften und dem Substrat. Alternativ können die Tragstifte mit dem Substrat in Kontakt bleiben. Nach Entfernen des Roboterarms und Schliessen (und Einbringen von Prozessgas bzw. Evakuieren) der Kammer wird der Bearbeitungsschritt durchgeführt.
Eine geringe Krafteinwirkung auf das Substrat ist insbesondere auch nach der Durchführung des Prozessschrittes in der Kammer und bei einem nachfolgenden Anheben des Substrats von hoher Bedeutung, da das Substrat beispielsweise am Träger anhaften kann. Wird nun das Substrat zu schnell von dem Träger weggedrückt, kann es hierbei zu einem Bruch des Substrats kommen, da die Haftkräfte zumindest an gewissen Auflagepunkten nicht überwunden oder aufgelöst werden können. Zudem kann auch bei einem Zustandekommen des Kontakts zwischen den Tragstiften und dem Substrat ein dabei auftretendes Anstossen an dem Substrat zu einer unerwünschten Beanspruchung (oder Bruch) führen.
Gleichzeitig soll neben einer möglichst sanften und schonenden Behandlung der zu bearbeitenden Substrate eine ebenso möglichst kurze Bearbeitungszeit ermöglicht werden. Dies bedeutet, dass das Substrat möglichst schnell in die definierten Zustände - Be- und Entladeposition und Bearbeitungsposition - in der Kammer gebracht werden kann.
Zur Vermeidung von unerwünschten Stössen bei z.B. der Bearbeitung von Halbleiterwafern schlägt die US 6,481,723 B1 die Verwendung einer speziellen Stoppvorrichtung anstelle von harten Bewegungsanschlägen in einem Pin-Lifter vor. Hartplastikanschläge sollen hier durch eine Kombination eines weicher ausgestalteten Anschlagteils und eines Hartanschlags ersetzt werden, wobei für die Bewegungsbegrenzung zunächst der Kontakt mit dem weichen Anschlagteil hergestellt wird und nachfolgend und entsprechend abgedämpft der harte Anschlag in Kontakt gebracht wird.
Die US 6,646,857 B2 schlägt eine Regelung der Hebebewegung mittels einer erfassten auftretenden Kraft vor. Die Tragstifte können hier in Abhängigkeit des erhaltenen Kraftsignals bewegt werden, so dass die Hebekraft an den Tragstiften stets entsprechende dosiert und kontrolliert auf den Wafer wirkt.
Mit jedem Bearbeitungszyklus werden die Tragstifte (Pins) in einen Kontakt mit dem aufzunehmenden Substrat gebracht und von diesem gelöst. Hierbei treten naturgemäss entsprechende mechanische Beanspruchungen der Pins auf. Die Bearbeitungszyklen sind oft vergleichsweise eng getaktet und beanspruchen eine relativ kurze Prozesszeit. Eine Vielzahl von Wiederholungen in vergleichsweise kurzer Zeit kann das Ergebnis dieser Prozessumsetzung sein. Typischerweise werden die Tragstifte daher als Verschleissmaterial betrachtet und bedürfen einer regelmässigen Erneuerung, d.h. sie sind gewöhnlich nach einer gewissen Anzahl Zyklen oder einer bestimmten Betriebszeit auszutauschen.
Insbesondere bei der Verwendung eines mechatronischen Pin-Lifters, aber auch bei einem pneumatischen Pin-Lifter, kann durch eine Ankopplung des Pin-Lifters an den Chuck oder an die Prozesskammer eine unerwünschte Potentialdifferenz oder ein unerwünschter Potentialausgleich auftreten. Dies kann z.B. durch den elektrischen Antrieb des Lifters oder Zuleitungen zu dem Lifter hervorgerufen werden. Zudem besteht bei einer solchen Anordnung der Nachteil, dass durch ein Potential am Chuck, beispielsweise eine Hochspannung zur Bereitstellung eines Plasmas, Störungen im Antrieb des Pin-sLifter induziert werden.
Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine verbesserte Stifthubvorrichtung bereitzustellen, bei der obige Nachteile reduziert oder vermieden werden.
Im Speziellen ist es Aufgabe der Erfindung eine verbesserte Stifthubvorrichtung bereitzustellen, die einen flexiblen Einsatz für den Bearbeitungsprozess in einer Prozesskammer ermöglicht, wobei Einflüsse auf den Bearbeitungsprozess durch die Stifthubvorrichtung reduziert oder vermieden werden.
Diese Aufgaben werden durch die Verwirklichung der kennzeichnenden Merkmale der unabhängigen Ansprüche gelöst. Merkmale, die die Erfindung in alternativer oder vorteilhafter Weise weiterbilden, sind den abhängigen Patentansprüchen zu entnehmen.
Die Erfindung betrifft eine Stifthubvorrichtung, insbesondere einen Pin-Lifter, die zur Bewegung und Positionierung eines zu bearbeitenden Substrats, insbesondere eines (Halbleiter-) Wafers, in einem durch eine Vakuumprozesskammer bereitstellbaren Prozessatmosphärenbereich ausgebildet ist. Die Stifthubvorrichtung weist einen Kupplungsteil auf, der eine zur Aufnahme eines zum Kontaktieren und Tragen des Substrats ausgestalteten Tragstifts ausgebildete Kupplung aufweist. Zudem ist ein Antriebsteil vorgehen, der eine Antriebseinheit aufweist, die wiederum derart ausgebildet ist und mittels ihres Verstellelements derart mit der Kupplung mittelbar oder unmittelbar zusammenwirkt, dass die Kupplung von einer abgesenkten Normalposition, in welcher der Tragstift in bestücktem Zustand (der Tragstift ist in der Kupplung vorgesehen) in einem bezüglich dessen bestimmungsgemässen Effekt (z.B. Bewegen, Tragen und Positionieren eines Werkstücks bzw. Substrats) im Wesentliche wirkungsfreien Zustand (kein Kontakt zum Substrat) vorliegt, gesteuert in eine ausgefahrene Trageposition, in welcher der Tragstift in bestücktem Zustand dessen bestimmungsgemässen Effekt des Aufnehmens und/oder Bereitstellens des Substrats bereitstellt, und zurück verstellbar ist, insbesondere wobei das Verstellelement linear entlang einer Verstellachse bewegbar ist.
Der bestückte Zustand ist als ein Zustand .zu verstehen, in dem der Tragstift von der Kupplung in einer aufgenommenen Sollposition gehalten wird. Ein unbestückter Aufnahmezustand repräsentiert einen Zustand der Kupplung, in dem ein aufzunehmender Tragstift sich nicht in einer gehaltenen Sollposition in der Kupplung befindet.
Der bestimmungsgemässe Effekt des Tragstifts versteht sich im Wesentlichen zu einem Aufnehmen, Kontaktieren, Bewegen, Tragen und/oder Positionieren etc. eines Werkstücks bzw. Substrats. Ein wirkungsfreier Zustand des.Tragstifts ist in diesem Kontext zu verstehen als ein Zustand, in dem der Stift kontaktlos (noch nicht oder nicht mehr in Kontakt stehend) mit einem bestimmungsgemäss zu kontaktierenden Substrat vorliegt und insbesondere den bestimmungsgemässen Zweck vorübergehend nicht bereitstellt, sich also z.B. in einer abgesenkten Warteposition befindet. Dies ist insbesondere der Fall, während ein Bearbeitungsprozess an dem Substrat durchgeführt wird. Die Bereitstellung des bestimmungsgemässen Effekts jedoch bedeutet nicht ausschliesslich, dass ein Kontakt zwischen Tragstift und Substrat besteht, vielmehr kann der Stift in diesem Zustand in einem ausgefahrenen Zustand vorliegen und für die Aufnahme eines Wafers (Ablage des Wafers auf dem Stift) bereitgehalten werden. Auch die in der Folge bei Kontakt erfolgenden Prozesse oder Bewegungen (Transport des Wafers) sind als das Bereitstellen des bestimmungsgemässen Effekts zu verstehen.
Die Vorrichtung kann ferner eine Trenneinrichtung zur Trennung des Prozessatmosphärenbereichs von einem Aussenatmosphärenbereich aufweisen, wobei die Antriebseinheit zumindest teilweise, insbesondere vollständig, dem Aussenatmosphärenbereich und die Kupplung insbesondere zumindest teilweise dem Prozessatmosphärenbereich zugeordnet ist. Die Trenneinrichtung der Stifthubvorrichtung kann beispielsweise durch einen Balg gebildet und innerhalb des Gehäuses des Pin-Lifters vorgesehen sein.
Die Stifthubvorrichtung weist zudem eine zwischen dem Antriebsteil und dem Kupplungsteil angeordnete und eine vollständige galvanische Trennung zwischen dem Antriebsteil und dem Kupplungsteil bereitstellende Isolierkomponente auf, wobei die Verstellbarkeit der Kupplung aus einer Normalposition in eine Trageposition, und umgekehrt, durch die Antriebseinheit erhalten bleibt.
Insbesondere sind durch die Anordnung der Isolierkomponente das Verstellelement und die Kupplung galvanisch getrennt, also durch eine elektrisch nichtleitende Isolierung getrennt.
Durch eine derartige galvanische Trennung können elektronische Komponenten, hier insbesondere eine mechatronische Antriebseinheit, von der Prozesskammer logisch (im Sinne der elektrischen Signalübertagung) separiert sein.
Vorteilhafterweise kann z.B. sowohl ein Chuck einer Prozesskammer als auch der Pin-Lifter auf Potential bzw. auf verschiedene Potentiale gelegt werden. Hierdurch wird eine Beeinflussung oder Störung der Bearbeitungsvorrichtung (z.B. Plasmaerzeuger) durch ein weiteres (prozessfremdes) externes System weitgehend vermeidbar. Die Gefahr eines Übersprechens oder einer Überlagerung elektrischer Signale aus den unterschiedlichen Quellen kann verringert oder ausgeschlossen werden. Die Bearbeitungsprozesse in der Vakuumkammer werden stabiler und bezüglich der gewünschten Prozessparameter robuster und wiederholbarer. Als Ergebnis wiederum werden Produkte erhalten, die gesamthaft eine geringere Ausschussquote aufweisen und mit gleichbleibend hoher Qualität erzeugt werden können.
Umgekehrt und ebenfalls vorteilhaft kann durch die Isolierung der Vorrichtungsteile eine Einstreuung von Störungen in die Elektronik des Antriebs reduziert oder vermieden werden. Ein Heben eines Wafers wird dadurch verlässlicher gleichförmig bereitgestellt. Zum Heben eines vergleichsweise grossen Substrats wird typischerweise eine Mehrzahl von erfindungsgemässen Stifthubvorrichtungen eingesetzt. Diese sollen das Substrat möglichst gleichförmig anheben und absenken. Durch die Vermeidung einer Beeinflussung einzelner Antriebe dieser Vorrichtungen kann eine gleichförmige, synchronisierte Bewegung der Pin-Lifter verlässlich bereitgestellt werden, wodurch wiederum eine gewünschte Bewegung des Substrats zuverlässig ermöglicht wird.
Der Schutz von Systemkomponenten, die nicht unmittelbar mit dem Bearbeitungsprozess in Verbindung stehen, d.h. die nicht mit dem Vakuumvolumen in Kontakt sind, erstreckt sich über den Antrieb hinaus auch auf eine angeschlossene Elektronik, z.B. Steuerungs- oder Regelelektronik.
Zudem können sogenannte Gleichtaktstörungen durch die bereitgestellte Potentialtrennung von den Signaleingängen ferngehalten werden.
In einer Ausführungsform können der Antriebsteil und der Kupplungsteil jeweils mit der Isolierkomponente verbunden sein und der Antriebsteil vermittels der Isolierkomponente in einer fixen Position relativ zum Kupplungsteil vorliegen. Ferner können der Antriebsteil und der Kupplungsteil durch eine durch die Isolierkomponente bereitgestellte körperliche Trennung somit kontaktlos vorliegen, Antriebsteil und Kupplungsteil berühren sich hierbei nicht. Eine elektrische Leitung zwischen dem Antriebsteil und dem Kupplungsteil kann so durch die Isolierkomponente unterbrochen sein.
Insbesondere kann die Isolierkomponente ein starr mit dem Antriebsteil und dem Kupplungsteil verbundenes (elektrisch isolierendes, nichtleitendes) Fixierelement aufweisen und ein relativ zu dem Antriebsteil und dem Kupplungsteil bewegliches (elektrisch isolierendes, nichtleitendes) Kopplungselement aufweisen. Damit kann die galvanische Trennung auch für die mit der Antriebseinheit beweglichen Teile der Vorrichtung oder von damit gekoppelten Elementen, z.B. Tragstift, bereitgestellt werden. So kann ein Potentialausglich zwischen Antriebseinheit und einem aufzunehmenden Substrat verhindert werden.
Durch die Trennung von Kupplung und Antrieb kann der Kupplungsteil z.B. auf ein gemeinsames Potential mit einem Chuck gelegt werden. Der Kupplungsteil kann beispielsweise an die Prozesskammer oder an den Chuck angeflanscht sein. Hierdurch kann ein eingesetzter Tragstift auch ein elektrisch leitendes, z.B. metallische, Material aufweisen oder aus einem solchen gefertigt sein. Ein ungewollter Potentialausgleich (mit dem Antrieb des Pin-Lifters) bleibt hierdurch trotz einer elektrischen Leitfähigkeit des Stiftes vermieden.
Sowohl das Fixierelement als auch das Kopplungselement können aus einem elektrisch nichtleitenden Material gefertigt sein, insbesondere aus einem polymerhaltigen oder keramischen Material, insbesondere aus Polyetherketon (PEK) oder Polyetheretherketon (PEEK).
Das Kopplungselement stellt insbesondere das Zusammenwirken des Verstellelements mit der Kupplung bereit. Das Kopplungselement kann hierfür als Zwischenstück zwischen der Kupplung und dem Verstellelement angeordnet sein und eine elektrische Leitung zwischen diesen Komponenten unterbinden.
Das Kopplungselement stellt insbesondere alternativ eine mittelbare oder unmittelbare Kopplung der Antriebseinheit mit dem Verstellelement bereit. Das Kopplungselement kann hier z.B. als Lager oder Klemmvorrichtung zwischen Motor (Antriebseinheit) und Verstellelement angeordnet sein.
Alternativ kann das Kopplungselement durch das Verstellelement verkörpert sein.
In einer Ausführung kann das Kopplungselement innerhalb eines durch den Kupplungsteil definierten Innenvolumens durch die Antriebseinheit entlang der Verstellachse bewegbar sein. Das Kopplungselement kann dann vorwiegend im Bereich des oberen Kupplungsteils bewegt werden.
Gemäss einer Ausführungsform der Erfindung kann das Kopplungselement in der abgesenkten Normalposition das Fixierelement berühren und in der ausgefahrenen Trageposition kontaktlos relativ zu dem Fixierelement vorliegen. Wenn sich das Verstellelement des Antriebs in einem eingefahrenen (abgesenkten) Zustand befindet, kann dies der Normalposition entsprechen.
Insbesondere kann das Kopplungselement als Koppelhülse ausgeformt sein, wobei das Verstellelement zumindest teilweise in der Koppelhülse aufgenommen ist und die Koppelhülse sich zumindest teilweise in eine Kupplungsausnehmung der Kupplung erstreckt und mit der Kupplungsausnehmung verbunden ist. Das Verstellelement bzw. dessen freies Ende, an dem beispielsweise ein Gewinde oder ein alternatives Verbindungselement ausgeformt sein kann, kann mindestens teilweise in die Koppelhülse ragen und mit dieser verbunden sein. Die Koppelhülse weise hierzu vorzugsweise ein dem Verbindungselement des Verstellelements korrespondierendes Gegenstück, z.B. ein Innengewinde, auf. Die Koppelhülse kann mit der Kupplungsausnehmung auf ähnliche Weise verbunden sein. Neben einer Verschraubung mit Aussen- und Innengewinde sind alternativ beispielsweise eine Klemmung, Verklebung oder Lötung denkbar.
In einer Ausführung kann das Verstellelement als ein Schieber ausgebildet sein, der mit einer Gewindespindel der Antriebseinheit gekoppelt ist und linear entlang der Gewindespindel bewegbar ist, wobei die Gewindespindel sich in das Innenvolumen des Kupplungsteils und insbesondere koaxial zur Verstellachse erstreckt.
In einer Ausführung kann das Verstellelement als Gewindespindel oder Schubstange ausgebildet sein, wobei das Verstellelement mittelbar durch das Kopplungselement oder unmittelbar mit der Kupplung gekoppelt sein kann. Eine galvanische Trennung kann hierbei mittels eines isolierenden Lagers oder Klemmung zur Antriebseinheit realisiert sein.
In einer weiteren Ausführung, in der das Kopplungselement durch das Verstellelement gebildet ist, kann diese durch die Gewindespindel verkörpert sein und die Spindel direkt mit der Kupplung zusammenwirken. Hierbei kann auf einen Schieber verzichtet werden. Die Gewindespindel ist hierbei als ein elektrisch isolierendes Isolierelement ausgebildet.
Insbesondere kann das Kopplungselement, insbesondere die Koppelhülse, eine derartig dimensionierte Ausnehmung aufweisen, dass der sich in das Volumen des Kupplungsteils erstreckende Teil der Gewindespindel durch die Ausnehmung (variabel) aufnehmbar ist. Die Gewindespindel kann in der abgesenkten Normalposition die Ausnehmung im Wesentlichen ausfüllen, in der ausgefahrenen Trageposition nur teilweise innerhalb der Ausnehmung vorliegen.
Ferner kann die Antriebseinheit einen ansteuerbaren Elektromotor aufweisen, der mit der Gewindespindel gekoppelt ist und in Betrieb eine Rotation der Gewindespindel, insbesondere um die Verstellachse, bereitstellt. Die Stifthubvorrichtung kann somit als mechatronische Stifthubvorrichtung realisiert sein.
Bei einem mittels des Elektromotors bereitstellbaren Rotieren der Gewindespindel kann durch das Zusammenwirken von Gewindespindel und Schieber eine lineare Bewegung des Schiebers, des Kopplungselements und der Kupplung im Bereich des Kupplungsteils, insbesondere im Innenvolumen des Kupplungsteils, erfolgen.
Durch eine Ausführungsform mit Schieber können die Anzahl beweglicher Teile und die zu bewegenden Massen verhältnismässig geringgehalten werden. Der Pin-Lifter kann hierdurch vergleichsweise schnell und effizient betrieben werden, d.h. ein Anheben oder Absenken eines Wafers kann schnell und gleichzeitig präzise durchgeführt werden.
Der Schieber weist vorzugsweise ein Innengewinde auf, das mit dem Gewinde der Gewindespindel korrespondiert. Der Schieber kann zudem derart in dem Pin-Lifter vorgesehen sein, dass dieser beispielsweise mittels einer linearen Führung (z.B. Nut) nicht-drehbar gelagert ist und damit lediglich einen translatorischen Bewegungsfreiheitsgrad aufweist. Durch die Beschränkung der Freiheitsgrade des Schiebers kann dieser durch das Rotieren der Spindel linear verschoben und hochgenau positioniert werden. Auch können durch eine solche Umsetzung vergleichsweise grosse Kräfte, die parallel zur Verstellachse in Richtung des Antriebs wirken, also z.B. Kräfte aufgrund des Eigengewichts eines zu bearbeitenden Substrats, aufgenommen und diesen entgegengewirkt werden.
In einer Ausführung kann das Verstellelement (z.B. die Gewindespindel) isolierend mit der Antriebseinheit verbunden und zudem das Fixierelement der Isolierkomponente zur Verbindung des Antriebsteils und des Kupplungsteils vorgesehen sein. Die elektrisch isolierende Verbindung kann dabei das Kopplungselement der Isolierkomponente verkörpern.
Die Gewindespindel selbst kann alternativ oder zusätzlich aus einem nichtleitenden Material gefertigt sein und damit als das elektrisch isolierendes Kopplungselement der Isolierkomponente fungieren.
In einer Ausführungsform kann die Antriebseinheit einen pneumatischen Antriebszylinder aufweisen, der mit dem Verstellelement gekoppelt ist. Der pneumatische Antriebszylinder kann eine lineare Bewegung des Verstellelements bewirken und vorzugsweise mit einem Schubelement, z.B. Schubstange, verbunden sein.
In einer Ausführung kann die Isolierkomponente eine äussere Wand mit einer äusseren kreiszylindrischen Form bestimmter räumlicher Dimensionierung aufweisen, wobei die äusseren Wände des Antriebsteils und des Kupplungsteils zumindest in einem jeweiligen Berührbereich, in welchem diese Teile jeweils mit der Isolierkomponente verbunden sind, eine korrespondierende kreiszylindrischen Form und räumliche Dimensionierung aufweisen. Durch die Anpassung der äusseren Form und Dimensionierung der einzelnen Komponenten kann eine homogene äussere Erscheinung der Stifthubvorrichtung bereitgestellt werden. Eine solche Erscheinungsform ist insbesondere in Hinblick auf Integrationsanforderungen vorteilhaft.
Die erfindungsgemässen Vorrichtungen werden nachfolgend anhand von in den Zeichnungen schematisch dargestellten konkreten Ausführungsbeispielen rein beispielhaft näher beschrieben, wobei auch auf weitere Vorteile der Erfindung eingegangen wird. Im Einzelnen zeigen:

1 eine schematische Darstellung einer Ausführungsform einer Vakuumbearbeitungsvorrichtung für einen Wafer mit einer erfindungsgemässen Stifthubvorrichtung;
2a-b eine Ausführungsform einer erfindungsgemässen Stifthubvorrichtung in unterschiedlichen Zuständen;
3a-b eine weitere Ausführungsform einer erfindungsgemässen Stifthubvorrichtung in unterschiedlichen Zuständen;
4a-b eine weitere Ausführungsform einer erfindungsgemässen Stifthubvorrichtung in unterschiedlichen Ansichten; und
5 eine weitere Ausführungsform einer erfindungsgemässen Stifthubvorrichtung.

1 zeigt schematisch einen Prozessaufbau für eine Bearbeitung eines Halbleiterwafers 1 unter Vakuumbedingungen. Der Wafer 1 wird mittels eines ersten Roboterarms 2 durch ein erstes Vakuumtransferventil 5a in eine Vakuumkammer 4 (Prozessatmosphärenbereich P) eingebracht und über Tragestiften 7 von erfindungsgemässen Stifthubvorrichtungen (hier: drei Stifte gezeigt) in Position gebracht. Der Wafer 1 wird dann mittels der Stifte 7 aufgenommen bzw. darauf abgelegt und der Roboterarm 2 wird weggefahren. Der Wafer 1 liegt typischerweise auf dem Roboterarm oder einer an dem Roboterarm 2,3 vorgesehenen Tragvorrichtung auf oder wird anhand einer spezifischen Tragevorrichtung gehalten. Nach dem Aufnehmen des Wafers 1 durch die Stifte 7 werden der Roboterarm aus der Kammer 4 geführt, das Transferventil 5a verschlossen und die Stifte 7 abgesenkt. Dies erfolgt mittels der Antriebe 6 der Stifthubvorrichtungen die mit den jeweiligen Stiften 7 gekoppelt sind. Der Wafer 1 wird hierdurch auf den gezeigten vier Trageelementen 8 abgelegt.
In diesem Zustand erfolgt eine geplante Bearbeitung (z.B. Beschichtung) des Wafers 7 unter Vakuumbedingungen und insbesondere in definierter Atmosphäre (d.h. mit einem bestimmten Prozessgas und unter definiertem Druck). Die Kammer 4 ist hierfür mit einer Vakuumpumpe und vorzugsweise mit einem Vakuumregelventil zur Regelung des Kammerdrucks gekoppelt (nicht gezeigt).
Nach der Bearbeitung erfolgt ein Anheben des Wafers 1 in eine Entnahmestellung wiederum mittels der Stifthubvorrichtungen. Mit dem zweiten Roboterarm 3 wird in der Folge der Wafer 1 durch das zweite Transferventil 5b entnommen. Alternativ kann der Prozess mit nur einem Roboterarm konzipiert sein, wobei Bestückung und Entnahme dann durch ein einzelnes Transferventil erfolgen können.
2a zeigt eine Ausführungsform einer Stifthubvorrichtung 10 gemäss der Erfindung. Die Stifthubvorrichtung 10 weist eine als Elektromotor ausgebildete Antriebseinheit 12 auf, die einem unteren Antriebsteil 11 der Vorrichtung 10 zugeordnet ist. Der Motor 12 ist mit einer Gewindespindel 13 gekoppelt. Die Gewindestange 13 kann durch entsprechende Ansteuerung des Motors 12 rotiert werden.
Zudem ist eine Verstellelement 14 vorgesehen, das in der gezeigten Ausführung als Schieber 14 ausgebildet ist, der mit der Gewindestange 13 zusammenwirkt und mittels Rotation der Stange 13 linear entlang einer zentralen Verstellachse A bewegbar ist. Der Schieber 14 weist ein Innengewinde auf, das mit dem Gewinde der Gewindestange 13 korrespondiert. Ferner ist der Schieber 14 derart gelagert, dass dieser relativ zur Stifthubvorrichtung 10 selbst nicht drehbar ist, sondern nur in die Bewegungsrichtungen parallel zur Verstellachse A bewegt werden kann.
Der Schieber 14 ist weiter mit einem ersten, relativ zur Antriebseinheit 12 beweglichen Teil 21 einer Isolierkomponente 20 gekoppelt. Dieses Kopplungselement 21 kann entsprechend durch den Schieber linear bewegt und positioniert werden. Die Isolierkomponente 20 weist zudem noch ein zweites, fix mit dem Antriebsteil 11 verbundenes Teil 22, ein Fixierelement 22, auf. Sowohl das Kopplungselement 21 als auch das Fixierelement 22 sind derart gefertigt, dass diese keine elektrische Leitfähigkeit bereitzustellen vermögen. Insbesondre ist das Kopplungselement 21 und/oder das Fixierelement 22 aus einem elektrisch nichtleitenden Material, z.B. Kunststoff, gefertigt oder mit einem nichtleitenden Material beschichtet.
Das Fixierelement 22 ist wiederum fest mit einem Gehäuse eines oberen Kupplungsteils 31 der Stifthubvorrichtung verbunden. Durch das Gehäuse ist ein Innenvolumen V_i des Kupplungsteils 31 definiert. Der Kupplungsteil 31 weist eine bewegliche Kupplung 32 auf, die an einem ersten Ende zur Aufnahme eines Tragstiftes (nicht gezeigt) ausgebildet ist. Die Kupplung erstreckt sich im gezeigten Beispiel im Wesentlichen entlang der Achse A. Die Kupplung 32 ist (an deren unterem, dem ersten Ende gegenüberliegenden Teil) mit dem Kopplungselement 21 der Isolierkomponente 20 verbunden. Hierzu weist die Kupplung 32 eine innere Ausnehmung auf, in welcher das Kopplungselement 21 aufgenommen und fixiert ist, z.B. mittels einer Verklebung oder Verschraubung.
Durch die Verbindungen zwischen dem Schieber 14, dem Kopplungselement 21 und der Kupplung 32 kann damit eine durch den Motor 12 steuerbare Bewegbarkeit der Kupplung 32 und damit eines in der Kupplung 32 aufgenommenen Tragstifts bereitgestellt werden. Aufgrund des Kopplungselements 21 der Isolierkomponente 20 ist zudem eine galvanische Trennung zwischen Tragstift und Antrieb 12 bereitgestellt.
Die 2a zeigt die Kupplung 32 der Stifthubvorrichtung 10 in einer abgesenkten Normalposition, in welcher ein optional vorgesehener Tragstift bezüglich dessen bestimmungsgemässen Effekt in einem im Wesentlichen wirkungsfreien Zustand vorläge. Der Tragstift hat bei einer Vorsehung des Pin-Lifters 10 in einem Vakuumbearbeitungsprozess dabei typischerweise keinen Kontakt mit einem zu bearbeitenden Substrat.
Die 2b zeigt die Kupplung 32 der Stifthubvorrichtung 10 in einer ausgefahrenen Trageposition, in welcher ein angekoppelter Tragstift dessen bestimmungsgemässen Effekt des Aufnehmens, Bewegens und/oder Bereitstellens des Substrats bereitstellte.
Zum Erreichen der ausgefahrenen Trageposition kann der Motor 12 entsprechend angesteuert werden. Hierzu kann z.B. eine Laufzeit des Motors oder eine Anzahl auszuführender Rotationen für die Gewindestange 13 hinterlegt sein, um eine gewünschte Position für den Schieber 14 einzustellen.
Insbesondere ist ein Encoder mit der Antriebseinheit 12 gekoppelt, um die Bewegungen der Motorachse überwachbar und regelbar zu machen.
Die beweglichen Teile des Pin-Lifers 10, d.h. der Schieber 14, das Kopplungselement 21 und die Kupplung 32, werden hierzu vorwiegend im Bereich des Kupplungsteils 31 bewegt. Der Schieber 14 und das Kopplungselement 21 bewegen sich zumindest im Wesentlichen innerhalb des Innenvolumens V_i . Das Kopplungselement 21 ist in der gezeigten Ausführung hülsenförmig ausgebildet und stellt eine durch die Form des Elements 21 definierte Ausnehmung 21' bereit. Diese Ausnehmung 21' ermöglicht eine variable Erstreckung der Gewindestange 13 in das Kopplungselement 21 und damit eine translatorische Beweglichkeit des Kopplungselements 21 relativ zur Gewindestange 13.
Die beiden Elemente 21,22 der Isolierkomponente 20 stellen damit einerseits eine galvanische Trennung zwischen Antriebsteil 11 und Antriebseinheit 12 und dem in fester Positionsrelation dazu angeordneten Gehäuse des Kupplungsteils 31 bereit. Zum zweiten ist eine permanente galvanische Trennung auch der bewegten Teile von Antriebsteil 11 und Kupplungsteil 31, d.h. zwischen der Kupplung 32 und dem Schieber 14, bereitgestellt.
Ein elektrisch leitender Kontakt zwischen einzelnen Komponenten des Antriebsteils 11 und jeweiligen Komponenten des Kupplungsteils 31 wird mittels der Isolierkomponente 20 unabhängig von einem Zustand des Pin-Liferts verhindert.
In der abgesenkten Normalposition stehen das Kopplungselements 21 und das Fixierelement 22 vorzugsweise in Kontakt.
Die 3a und 3b zeigen eine weitere Ausführungsform eines erfindungsgemässen Pin-Lifters 40 in einem abgesenkten und ausgefahrenen Zustand. Der Pin-Lifter 40 weist wiederum einen Antriebsteil 11 mit einer Antriebseinheit 12 und einen Kupplungsteil 31 mit einer Kupplung 32 auf.
Ein Verstellelement 44 des Lifters 40 ist hier als Schubstange 44 ausgebildet und mit der Antriebseinheit 12 gekoppelt.
Die Isolierkomponente ist wiederum zweiteilig ausgeführt. Ein Fixierelement 42 verbindet den Antriebsteil 11 mit dem Kupplungsteil 31. Ein Kopplungselement 41 ist direkt mit der Schubstange 44 verbunden und kann mittels Bewegung der Stange 44 entlang der Achse A verstellt werden. Die Kupplung 32 wiederum ist ebenfalls mit dem Kopplungselement 41 verbunden. Das Kopplungselement 41 bildet damit eine Isolation zwischen Kupplung 32 und Schubstange 44. Damit kann eine vollständige galvanische Trennung des oberen, ggf. mit einer Prozesskammer oder einem Chuck verbundenen, Teils von dem unteren, eine Bewegung eines Tragstiftes bereitstellenden Teil erzielt werden.
Die Schubstange 44 kann mittels der Antriebseinheit 12 linear bewegt werden. Die Antriebseinheit 12 kann hierfür als Elektromotor ausgebildet sein und ein angepasstes Getriebe und/oder eine dem Fachmann bekannte Bewegungstransformationseinheit aufweisen, die z.B. eine rotierende Bewegung in eine lineare Bewegung übersetzbar macht. Alternativ kann die Antriebseinheit 12 einen pneumatischen Hubzylinder aufweisen, durch den die Schubstange linear bewegbar ist.
4a zeigt eine weitere Ausführungsform einer erfindungsgemässen Stifthubvorrichtung 50. Ein Tragstift 59 ist in einer Kupplung 58 arretiert. Der Tragstift 59 weist vorzugsweise einen metallischen, polymerbasierten oder keramischen Werkstoff auf, insbesondere ist der Stift 59 vollständig aus einem solchen Werkstoff gefertigt. Die Arretierung in der Kupplung 58 kann beispielsweise magnetisch oder durch eine Klemmung verwirklicht sein.
Die Kupplung 58 kann mittels eines Schiebers 54 in z-Richtung bewegt werden. Der Schieber 54 ist hierfür mit einer Gewindespindel 53 gekoppelt, die wiederum durch den Motor 12 antreibbar ist.
Eine erfindungsgemässe Isolierung zwischen dem Motor 12 und der Kupplung 58 ist in einer ersten Variante durch ein erstes Isolierelement 52, das einen oberen Gehäuseteil von einem unteren Gehäuseteil elektrisch trennt, und ein zweites Isolierelement, das durch den Schieber 54 verkörpert sein kann, realisiert. Bei dieser Variante der Stifthubvorrichtung 50 ist die Gewindespindel 53 derart präzise und starr ausgeführt und gelagert, dass kein (elektrisch leitender) Kontakt zwischen der Spindel 53 und der Kupplung 58 - auch bei einer Relativbewegung - auftritt. Alternativ ist die Spindel 53 aus einem nichtleitenden Material gefertigt oder damit beschichtet. Somit ist eine vollständige galvanische Trennung zwischen Ober- und Unterteil in jedem Zustand der Vorrichtung 50 bereitgestellt.
In einer zweiten Variante können sowohl die Gewindespindel 53 als auch der auf der Spindel 53 sitzende Schieber 54 elektrisch leitend (z.B. metallisch) gefertigt sein. Das zweite Isolierelement ist in Form einer Zwischenhülse 51 gebildet (aufgrund der toleranzarmen Darstellung ist die Hülse mehrfach mit dem Bezugszeichen 51 referenziert). Die Zwischenhülse 51 umschliesst den oberen Teil der Gewindespindel 53 (in der dargestellten abgesenkten Position) und trennt dadurch sowohl die Spindel 53 als auch den Schieber 54 physisch von der Kupplung 58.
In einer dritten Variante können sowohl die Gewindespindel 53, der Schieber 54 als auch die Kupplung 58 elektrisch leitend ausgebildet sein und jeweils direkt in Kontakt stehen. Damit ist eine elektrische Leitfähigkeit vom Tragstift 59 bis zur Spindel 53 gegeben. Das zweite Isolierelement der Isolierkomponente ist hierbei als eine Kupplung oder Lagerung der Spindel 53 an den Motor ausgebildet. Die Gewindespindel 53 ist also elektrisch nichtleitend mit dem Motor 12 verbunden und von diesem galvanisch getrennt. Durch diese und die Trennung mittels des ersten Isolierelements 52 (Fixierelement) kann hierdurch eine erfindungsgemässe galvanische Trennung bereitgestellt werden. Der Schieber 54 kann in der gezeigten abgesenkten Position das erste Isolierelement 52 berühren ohne mit dem Antriebsteil in physischem Kontakt zu sein.
Der Pin-Lifter 50 weist ferner einen Balg 55 im Inneren des Kupplungsteils auf. Der Balg 55 ist derart angeordnet und ausgeformt, dass eine atmosphärische Trennung eines Prozessatmosphärenbereichs, in dem der Tragstift 59 vorliegt und üblicherweise ein Bearbeitungsprozess stattfindet, und eines Aussenatmosphärenbereichs, in dem z.B. der Antrieb 12 und weitere Peripherkomponenten vorliegen können, bereitgestellt ist. Der Balg 55 wird bei einem Ausfahren des Stiftes 59 komprimiert, wobei die atmosphärische Trennung erhalten bleibt.
4b zeigt eine Aussenansicht des Pin-Lifters 50. Der Tragstift 59 ragt an der Oberseite aus den Gehäuse das Lifters 50 heraus. Ein Fixierelement 52 der Isolierkomponente trennt den unteren Antriebsteil 11 galvanisch von dem oberen Kupplungsteil 31 bzw. deren jeweilige Gehäuse und translatorisch unbeweglichen Teile.
5 zeigt eine weitere erfindungsgemässe Ausführungsform eines Pin-Lifters 60. Diese Stifthubvorrichtung 60 ist ähnlich der oben beschriebenen zweiten Variante der Vorrichtung nach 4a ausgebildet.
Das elektrisch isolierende Fixierelement 62 stellt zusammen mit dem elektrisch isolierenden Kopplungselement 61 die galvanische Trennung zwischen Kupplung 68 und Antrieb 12 in Form einer Isolierkomponente bereit. Das Kopplungselement 61 ist wiederum in Form einer Zwischenhülse 61 gebildet (die Hülse ist mehrfach mit dem Bezugszeichen 61 referenziert). Die Zwischenhülse 61 umschliesst den oberen Teil der Gewindespindel (in der dargestellten abgesenkten Position) und trennt sowohl die Spindel als auch den Schieber physisch und galvanisch von der Kupplung 68.
Es versteht sich, dass die dargestellten Figuren nur mögliche Ausführungsbeispiele schematisch darstellen. Die verschiedenen Ansätze können erfindungsgemäss ebenso miteinander sowie mit Vorrichtungen zur Substratbewegung in Vakuumprozesskammern, insbesondere Pin-Liftern, des Stands der Technik kombiniert werden.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

US 6481723 B1 [0010]
US 6646857 B2 [0011]

Claims

Stifthubvorrichtung (10,40,50,60), insbesondere Pin-Lifter, die zur Bewegung und Positionierung eines zu bearbeitenden Substrats (1), insbesondere eines Wafers, in einem durch eine Vakuumprozesskammer (4) bereitstellbaren Prozessatmosphärenbereich (P) ausgebildet ist, mit • einem Kupplungsteil (31), der eine zur Aufnahme eines zum Kontaktieren und Tragen des Substrats (1) ausgestalteten Tragstifts (7,59) ausgebildete Kupplung (32,58,68) aufweist, und • einem Antriebsteil (11), der eine Antriebseinheit (12) aufweist, die derart ausgebildet ist und mittels eines Verstellelements (14,44,54) derart mit der Kupplung (32,58,68) zusammenwirkt, dass die Kupplung (32,58,68) von □ einer abgesenkten Normalposition, in welcher der Tragstift (7,59) in bestücktem Zustand in einem bezüglich dessen bestimmungsgemässen Effekt im Wesentlichen wirkungsfreien Zustand vorliegt, gesteuert in □ eine ausgefahrene Trageposition, in welcher der Tragstift (7,59) in bestücktem Zustand dessen bestimmungsgemässen Effekt des Aufnehmens und/oder Bereitstellens des Substrats (1) bereitstellt, und zurück verstellbar ist, insbesondere wobei das Verstellelement (14,44,54) linear entlang einer Verstellachse (A) bewegbar ist, gekennzeichnet durch eine zwischen dem Antriebsteil (11) und dem Kupplungsteil (31) angeordnete und eine vollständige galvanische Trennung zwischen dem Antriebsteil (11) und dem Kupplungsteil (31) bereitstellende Isolierkomponente (20).
Stifthubvorrichtung (10,40,50,60) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass • der Antriebsteil (11) und der Kupplungsteil (31) jeweils mit der Isolierkomponente (20) verbunden sind, • der Antriebsteil (11) vermittels der Isolierkomponente (20) in einer fixen Position relativ zum Kupplungsteil (31) vorliegt, • der Antriebsteil (11) und der Kupplungsteil (31) durch eine durch die Isolierkomponente (20) bereitgestellte körperliche Trennung kontaktlos vorliegen und • eine elektrische Leitung zwischen dem Antriebsteil (11) und dem Kupplungsteil (31) durch die Isolierkomponente (20) unterbrochen ist.
Stifthubvorrichtung (10,40,50,60) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Isolierkomponente (20) ein • starr mit dem Antriebsteil (11) und dem Kupplungsteil (31) verbundenes Fixierelement (22,42,52,62) und • ein relativ zu dem Antriebsteil (11) und dem Kupplungsteil (31) bewegliches Kopplungselement (21,41,51,61) aufweist.
Stifthubvorrichtung (10,40,50,60) nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Fixierelement (22,42,52,62) und das Kopplungselement (21,41,51,61) aus einem elektrisch nichtleitenden Material gefertigt sind, insbesondere aus einem polymerhaltigen oder keramischen Material, insbesondere aus Polyetherketon (PEK) oder Polyetheretherketon (PEEK).
Stifthubvorrichtung (10,40,50,60) nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Kopplungselement (21,41,51,61) • das Zusammenwirken des Verstellelements (14,44,54) mit der Kupplung (32,58,68) oder • ein eine mittelbare oder unmittelbare Kopplung der Antriebseinheit (12) mit dem Verstellelement (14,44,54) bereitstellt.
Stifthubvorrichtung (10,40,50,60) nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Kopplungselement (21,41,51,61) in einem durch den Kupplungsteil (31) definierten Innenvolumen (Vi) durch die Antriebseinheit (12) entlang der Verstellachse (A) bewegbar ist.
Stifthubvorrichtung (10,40,50,60) nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Kopplungselement (21,41,51,61) in der abgesenkten Normalposition das Fixierelement (22,42,52,62) berührt und in der ausgefahrenen Trageposition kontaktlos relativ zu dem Fixierelement (22,42,52,62) vorliegt.
Stifthubvorrichtung (10,40,50,60) nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Kopplungselement als Koppelhülse (21,51,61) ausgeformt ist, wobei das Verstellelement (14,54) zumindest teilweise in der Koppelhülse aufgenommen ist und die Koppelhülse (21,51,61) sich zumindest teilweise in eine Kupplungsausnehmung der Kupplung (32,58,68) erstreckt und mit der Kupplungsausnehmung verbunden ist.
Stifthubvorrichtung (10,40,50,60) nach einem der Ansprüche 3 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Verstellelement als ein Schieber (14,54) ausgebildet ist, der mit einer Gewindespindel (13,53) der Antriebseinheit gekoppelt ist und linear entlang der Gewindespindel (13,53) bewegbar ist, wobei die Gewindespindel (13,53) sich in das Innenvolumen (Vi) des Kupplungsteils (31) und insbesondere koaxial zur Verstellachse (A) erstreckt.
Stifthubvorrichtung (10,40,50,60) nach einem der Ansprüche 3 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Verstellelement als Gewindespindel (13,53) oder Schubstange (44) ausgebildet ist, wobei das Verstellelement (13,44,53) mittelbar durch das Kopplungselement (21,41,51,61) oder unmittelbar mit der Kupplung (32,58,68) gekoppelt ist.
Stifthubvorrichtung (10,40,50,60) nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Kopplungselement (21,41,51,61), insbesondere die Koppelhülse, eine derartig dimensionierte Ausnehmung (21') aufweist, dass der sich in das Volumen des Kupplungsteils erstreckende Teil der Gewindespindel (13,53) durch die Ausnehmung (21') aufnehmbar ist.
Stifthubvorrichtung (10,40,50,60) nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebseinheit (12) • einen ansteuerbaren Elektromotor aufweist, der mit der Gewindespindel (13,53) gekoppelt ist und in Betrieb eine Rotation der Gewindespindel (13,53), insbesondere um die Verstellachse (A), bereitstellt, oder • einen pneumatischen Antriebszylinder aufweist, der mit dem, insbesondere als Schubstange (44) ausgebildeten, Verstellelement gekoppelt ist.
Stifthubvorrichtung (10,40,50,60) nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass bei einem mittels des Elektromotors (12) bereitstellbaren Rotieren der Gewindespindel (13,53) durch das Zusammenwirken von Gewindespindel (13,53) und Schieber (14,54) eine lineare Bewegung des Schiebers (14,54), des Kopplungselements (21,41,51,61) und der Kupplung (32,58,68) im Bereich des Kupplungsteils (31), insbesondere im Innenvolumen des Kupplungsteils, erfolgt.
Stifthubvorrichtung (10,40,50,60) nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Isolierkomponente (20) eine äussere Wand mit einer äusseren kreiszylindrischen Form bestimmter räumlicher Dimensionierung aufweist, wobei äussere Wände des Antriebsteils (11) und des Kupplungsteils (31) zumindest in einem jeweiligen Berührbereich, in welchem diese Teile jeweils mit der Isolierkomponente (20) verbunden sind, eine korrespondierende kreiszylindrischen Form und räumliche Dimensionierung aufweisen.