DE102017006345A1 - Method for determining the decentration of a transmissive actual optics and apparatus for determining the decentration of optical surfaces of this optics - Google Patents
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Abstract
Bei einem Verfahren zur Bestimmung der Dezentrierung einer transmissiven Ist-Optik in Bezug auf eine transmissive Soll-Optik mit ideal orientierten optischen Flächen in einem Referenzkoordinatensystem oder zur Bestimmung von einer Dicke einer Linse oder des Abstands von Linsen der Optik werden mit einem scannend geführten Sensor Messpunkte auf mehreren optischen Flächen der Ist-Optik im Durchlichtverfahren detektiert.In a method for determining the decentration of a transmissive actual optic with respect to a transmissive target optics with ideally oriented optical surfaces in a reference coordinate system or for determining a thickness of a lens or the distance of lenses of the optics become with a scanning guided sensor measuring points detected on several optical surfaces of the actual optics in the transmitted light process.
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung der Dezentrierung einer transmissiven Ist-Optik in Bezug auf eine transmissive Soll-Optik mit ideal orientierten optischen Flächen in einem Referenzkoordinatensystem oder zur Bestimmung von einer Dicke einer Linse oder des Abstands von Linsen der Optik.The invention relates to a method for determining the decentration of a transmissive actual optics with respect to a transmissive target optics with ideally oriented optical surfaces in a reference coordinate system or for determining a thickness of a lens or the distance of lenses of the optics.
Die Dezentrierung der Ist-Optik in Bezug auf das Referenzkoordinatensystem bezieht sich auf deren optische Achse. Darüber hinaus betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur Bestimmung der Dezentrierung optischer Flächen einer transmissiven Ist-Optik mit mindestens einer Linse in Bezug auf eine Soll-Optik mit ideal orientierten Flächen in einem Referenzkoordinatensystem.The decentering of the actual optics with respect to the reference coordinate system refers to its optical axis. In addition, the invention relates to a device for determining the decentration of optical surfaces of a transmissive actual optics with at least one lens with respect to a target optics with ideally oriented surfaces in a reference coordinate system.
Insbesondere betrifft die Erfindung ein Verfahren und eine Vorrichtung zur ultrapräzisen Zentrierbearbeitung einer gefassten transmissiven Optik mit mindestens einer Linse. Die transmissive Optik hat somit mehr als eine optisch wirksame Oberfläche, die von einem Messstrahl im Durchlichtverfahren geschnitten wird. Das Verfahren und die Vorrichtung sind auch für Linsen mit asphärischen oder frei geformten Linsenflächen, die eine in sich eindeutige optische Achse aufweisen, geeignet. Diese Achse ist in der Regel die Symmetrieachse. Auch eine frei geformte Linsenfläche weist eine bestimmte optische Bezugsachse auf, die im Rahmen der Erfindung mit Achse oder Symmetrieachse bezeichnet wird.In particular, the invention relates to a method and a device for ultra-precise centering of a recorded transmissive optics with at least one lens. The transmissive optics thus has more than one optically effective surface, which is cut by a measuring beam in the transmitted light process. The method and the device are also suitable for lenses with aspheric or free-form lens surfaces, which have a unique optical axis. This axis is usually the axis of symmetry. Also, a freely shaped lens surface has a certain optical reference axis, which is referred to in the invention with axis or axis of symmetry.
Eine einzelne sphärische Linsenfläche weist noch keine eindeutige optische Symmetrieachse auf. Bei derartigen Linsen mit sphärischen und/oder planen Linsenflächen ist die optische Achse definiert als die Verbindung der Krümmungsmittelpunkte der jeweiligen Einzelflächen. Die Bestimmung der optischen Achse einer beispielsweise bikonvexen sphärischen Linse über die Lage der Krümmungsmittelpunkte mit Autokollimatoren oder mit Fokallasersystemen wird in der
Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren bereitzustellen, mit dem die Dezentrierung an einer transmissiven Optik auf einfache Art und Weise bestimmt werden kann.Based on this prior art, the present invention seeks to provide a method by which the decentration of a transmissive optics can be determined in a simple manner.
Diese Aufgabe wird mit einem Verfahren mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 und mit einer Vorrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 20 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen sind Gegenstand der Unteransprüche.This object is achieved by a method having the features of patent claim 1 and by a device having the features of
Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, dass mit einem Durchlichtverfahren mehrere von einem Messstrahl geschnittene optische Flächen untersucht werden können, indem ein scannend geführter Sensor Messpunkte auf diesen Flächen der Ist-Optik im Durchlichtverfahren detektiert.The invention is based on the finding that a plurality of optical surfaces cut by a measuring beam can be examined with a transmitted-light method in that a scanning-guided sensor detects measuring points on these surfaces of the actual optics in the transmitted-light method.
Dabei ist es vorteilhaft, wenn mit dem Sensor Messpunktewolken durch ein gezieltes kinematisches Führen des Sensors (z.B. Spirale, konzentrische Kreise, Linien oder Mäander) auf den optischen Flächen der Ist-Optik aufgenommen werden und durch einen Fitting-Algorithmus derart verschoben werden, dass sie in minimalem Abstand zu den optischen Flächen der Soll-Optik liegen.It is advantageous if the sensor measuring point clouds are recorded by a targeted kinematic guiding the sensor (eg spiral, concentric circles, lines or meanders) on the optical surfaces of the actual optics and are shifted by a fitting algorithm such that they be at a minimum distance from the optical surfaces of the target optics.
In der Praxis wird in der Regel aus der Verschiebung der Messpunktewolke ein Dezentrierungsvektor der gemessenen optischen Fläche in Bezug auf das Referenzkoordinatensystem ermittelt. Dieser Dezentrierungsvektor beschreibt die Lage der Ist-Optik in Bezug zu dem Referenzkoordinatensystem. Der Dezentrierungsvektor enthält Angaben zur rotatorischen Verkippung und zur translatorischen Verschiebung. Dies gilt für sphärische und planare Optiken.In practice, a decentration vector of the measured optical surface with respect to the reference coordinate system is generally determined from the displacement of the measuring point cloud. This decentration vector describes the position of the actual optics in relation to the reference coordinate system. The decentration vector contains information about the rotational tilt and the translatory displacement. This applies to spherical and planar optics.
Alternativ kann auch aus Dezentrierungsvektoren mehrerer eindeutiger optischer Flächen der Ist-Optik eine optische Achse gemittelt berechnet werden. Dabei werden Messpunktewolken auf den optischen Einzelflächen der Ist-Optik aufgenommen und durch einen Fitting-Algorithmus derart verschoben, dass die Ist-Optik in ihrer Funktion möglichst weitergehend der Soll-Optik entspricht. Aus der Verschiebung der Messpunktewolken können Dezentrierungsvektoren der Ist-Optik in Bezug auf die Optik mit ideal orientierten optischen Flächen ermittelt werden.Alternatively, it is also possible to calculate an optical axis averaged from decentration vectors of a plurality of unambiguous optical surfaces of the actual optics. In this case, measuring point clouds are recorded on the optical individual surfaces of the actual optics and shifted by a fitting algorithm such that the actual optics corresponds in its function as far as possible to the desired optics. From the displacement of the measuring point clouds decentration vectors of the actual optics can be determined with respect to the optics with ideally oriented optical surfaces.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Messpunkte mit der optischen Kohärenztomografie am Übergang von einem in ein anderes Medium ermittelt werden.It is particularly advantageous if the measuring points are determined with the optical coherence tomography at the transition from one medium to another.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Messpunkte mit einer Genauigkeit von unter 10 µm, vorzugsweise von unter 5 µm und besonders bevorzugt sogar von unter 1 µm ermittelt werden.It is particularly advantageous if the measuring points are determined with an accuracy of less than 10 μm, preferably less than 5 μm and particularly preferably less than 1 μm.
Dabei ist es unproblematisch, wenn mindestens eine der optischen Flächen eine asphärische Form oder eine Freiform aufweist.It is unproblematic if at least one of the optical surfaces has an aspherical shape or a free form.
Das erfindungsgemäße Verfahren eignet sich auch für eine transmissive Ist-Optik mit mehr als zwei hintereinander liegenden optischen Flächen, durch die der Messstrahl geleitet wird.The inventive method is also suitable for a transmissive actual optics with more than two successive optical surfaces through which the measuring beam is passed.
Daher kann die Ist-Optik auch mehrere Linsen aufweisen, die im Durchlichtverfahren untersucht werden können.Therefore, the actual optics can also have a plurality of lenses that can be examined by transmitted light.
Besondere Anwendungsgebiete erschließen sich, wenn die Ist-Optik aus einem Infrarotmaterial wie insbesondere einem Infrarotglas hergestellt ist, welches transmissiv für die Wellenlänge des verwendeten optischen Sensors ist Special fields of application become apparent when the actual optic is made of an infrared material, such as in particular an infrared glass, which is transmissive to the wavelength of the optical sensor used
Vorteilhaft ist es, wenn die Ist-Optik oder eine Fassung, in der die Optik fixiert ist, an relevanten Referenzflächen derart nachbearbeitet wird, dass die Referenzflächen in definierter Orientierung zur ermittelten optischen Achse der Ist-Optik liegen. Eine derartige Nachbearbeitung kann mit einer Zentrierdrehmaschine durchgeführt werden.It is advantageous if the actual optics or a socket in which the optics is fixed is reworked on relevant reference surfaces such that the reference surfaces lie in a defined orientation relative to the determined optical axis of the actual optic. Such post-processing can be carried out with a center lathe.
Ein vorteilhaftes Ausführungsbeispiel ist in der Zeichnung dargestellt und wird im Folgenden näher erläutert. Es zeigt:
-
1 ein optisches Linsensystem mit einer Ist-Optik und einer Soll-Optik, -
2 eine bikonvexe sphärische Linse in einer Fassung, -
3 eine erfindungsgemäße Anordnung, bei der in einem Durchlichtverfahren mehrere optische Flächen von einem Messstrahl geschnitten werden, -
4 bis7 Messpunkte auf unterschiedlichen Linien und -
8 schematisch eine Messpunktewolke aus Messpunkten auf einer Oberfläche einer Ist-Optik und auf einer Oberfläche einer Soll-Optik.
-
1 an optical lens system with an actual optic and a target optic, -
2 a biconvex spherical lens in a socket, -
3 an arrangement according to the invention, in which a plurality of optical surfaces are cut by a measuring beam in a transmitted light method, -
4 to7 Measuring points on different lines and -
8th schematically a measuring point cloud of measuring points on a surface of an actual optics and on a surface of a target optics.
Bei dem in
Die
Erst die
Die
Die
Bei einer erfindungsgemäßen Vorrichtung ist der Sensor
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