DE102016216776A1

DE102016216776A1 - Cleaning of optical components during their manufacture and installation

Info

Publication number: DE102016216776A1
Application number: DE102016216776.6A
Authority: DE
Inventors: Denitsa Nikolova
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2016-09-05
Filing date: 2016-09-05
Publication date: 2016-10-27

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung optischer Komponenten, insbesondere optischer Komponenten von Projektionsbelichtungsanlagen, welches umfasst: Bereitstellen eines Halbzeugs (6) in einer Bearbeitungsanlage (1), Bearbeiten, insbesondere Polieren des Halbzeugs (6) an mindestens einer Oberfläche (19) mit einem Bearbeitungskopf, insbesondere Polierkopf (21), an einem Bearbeitungsroboter (2) in der Bearbeitungsanlage, Wechseln des Bearbeitungskopfs des Bearbeitungsroboters (2) der Bearbeitungsanlage gegen einen Reinigungskopf (8), Reinigen der mindestens einen Oberfläche (19) mit dem Reinigungskopf (8) an dem Bearbeitungsroboter der Bearbeitungsanlage, wobei der Reinigungskopf ein Reinigungselement aufweist, das in Kontakt mit der zu reinigenden Oberfläche gebracht wird, Wechseln des Reinigungskopfs (8) gegen einen Spülkopf (10, 11), Spülen der mindestens einen gereinigten Oberfläche mit dem Bearbeitungsroboter der Bearbeitungsanlage mit dem Spülkopf, wobei der Spülkopf die zu spülende Oberfläche (19) mit einer Spülflüssigkeit bespritzt, Wechseln des Spülkopfs (10, 11) gegen einen Trocknungskopf (12, 15), mit dem die gespülte Oberfläche (19) getrocknet werden kann und Trocknen der Oberfläche (19) mit dem Trocknungskopf (12, 15). Außerdem betrifft die Erfindung eine Bearbeitungsanlage insbesondere zur Durchführung des Verfahrens.The invention relates to a method for producing optical components, in particular optical components of projection exposure apparatuses, comprising: providing a semifinished product (6) in a processing installation (1), processing, in particular polishing the semifinished product (6) on at least one surface (19) with a Processing head, in particular polishing head (21) on a machining robot (2) in the processing plant, changing the machining head of the machining robot (2) of the processing plant against a cleaning head (8), cleaning the at least one surface (19) with the cleaning head (8) the processing robot of the processing plant, wherein the cleaning head has a cleaning element, which is brought into contact with the surface to be cleaned, changing the cleaning head (8) against a rinsing head (10, 11), rinsing the at least one cleaned surface with the processing robot of the processing plant the rinsing head, the Sp Lkopf the flushed surface (19) sprayed with a rinsing liquid, changing the rinsing head (10, 11) against a drying head (12, 15), with the rinsed surface (19) can be dried and drying the surface (19) with the Drying head (12, 15). Moreover, the invention relates to a processing plant, in particular for carrying out the method.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNGBACKGROUND OF THE INVENTION

GEBIET DER ERFINDUNGFIELD OF THE INVENTION

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung optischer Komponenten, insbesondere optischer Komponenten von Projektionsbelichtungsanlagen, wobei die Herstellung eine Reinigung der optischen Komponenten während der Herstellung einschließt. Außerdem betrifft die Erfindung eine Bearbeitungsanlage hierfür.The present invention relates to a process for producing optical components, in particular optical components of projection exposure apparatuses, the production including cleaning of the optical components during production. Moreover, the invention relates to a processing plant for this purpose.

STAND DER TECHNIKSTATE OF THE ART

Bei der Herstellung von optischen Komponenten, wie beispielsweise optischen Linsen und Spiegeln, und insbesondere optischen Komponenten für Projektionsbelichtungsanlagen müssen die herzustellenden optischen Komponenten einer aufwändigen Materialbearbeitung mit Materialabtrag unterzogen werden, wobei regelmäßig zwischen den einzelnen Bearbeitungsschritten Reinigungsprozesse durchgeführt werden müssen, um in nachfolgenden Bearbeitungsschritten optimale Ergebnisse zu erhalten. Diese Reinigungsprozesse müssen mit einer hohen Reinigungsqualität und mit einem zuverlässig reproduzierbaren Ergebnis durchgeführt werden, da Bearbeitungsrückstände, wie beispielsweise Poliermittelsuspensionen, Netzmittel und dergleichen nachfolgende Bearbeitungsschritte beeinträchtigen können. In the manufacture of optical components, such as optical lenses and mirrors, and in particular optical components for projection exposure equipment, the optical components to be produced must be subjected to extensive material processing with material removal, wherein cleaning processes must be carried out regularly between the individual processing steps in order to obtain optimum results in subsequent processing steps to obtain. These cleaning processes must be carried out with a high quality of cleaning and with a reliably reproducible result, since processing residues, such as polishing agent suspensions, wetting agents and the like, can impair subsequent processing steps.

Die bisher häufig bei der Herstellung von optischen Komponenten durchgeführten manuellen Zwischenreinigungen zwischen einzelnen Bearbeitungsschritten sind aufwändig und führen nicht zu sicheren und reproduzierbaren Reinigungsergebnissen. Entsprechend ist es aus dem Stand der Technik bekannt, Werkstücke maschinell zu reinigen. Beispielsweise ist in der DE 10 2007 060 467 A1 eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Reinigen von optischen Linsen beschrieben, bei welchen die jeweilige optische Linse mit einem Aerosol bespritzt wird, um die optische Linse zu reinigen. Darüber hinaus kann eine Abblaseinrichtung vorgesehen sein, um das Aerosol nach der Reinigung mit einem Trocknungsgas von der optischen Linse abzublasen. The manual intermediate cleaning between individual processing steps which has hitherto often been carried out in the production of optical components is complex and does not lead to reliable and reproducible cleaning results. Accordingly, it is known from the prior art to machine workpieces. For example, in the DE 10 2007 060 467 A1 an apparatus and method for cleaning optical lenses described in which the respective optical lens is sprayed with an aerosol to clean the optical lens. In addition, a blow-off device may be provided to blow off the aerosol after cleaning with a drying gas from the optical lens.

Aus der US 5 868 866 A sind wiederum eine Vorrichtung und ein Verfahren zu Reinigung von dünnen scheibenförmigen Werkstücken, wie beispielsweise Halbleiterwafern, Glassubstraten oder Flüssigkristallanzeigen, bekannt, bei welchem ein Flüssigkeitsstrahl zur Reinigung der Oberfläche eingesetzt wird. From the US Pat. No. 5,868,866 In turn, an apparatus and a method for cleaning thin disk-shaped workpieces, such as semiconductor wafers, glass substrates or liquid crystal displays, are known, in which a liquid jet is used to clean the surface.

Allerdings besteht ein weiterer Bedarf, die automatisierten Verfahren zur Reinigung von optischen Komponenten, insbesondere von großformatigen Spiegeln für Projektionsbelichtungsanlagen und vorzugsweise von Projektionsbelichtungsanlagen, die mit Arbeitslicht im extrem ultravioletten (EUV) Wellenlängenspektrum arbeiten (EUV-Projektionsbelichtungsanlagen), im Herstellungsprozess weiter zu optimieren, um effiziente Abläufe mit guten Reinigungsergebnissen bereitstellen zu können. However, there is a further need to further optimize the automated processes for cleaning optical components, particularly large format mirrors for projection exposure equipment, and preferably projection exposure equipment operating with extreme ultraviolet (EUV) wavelength spectrum work lamps (EUV projection exposure equipment) in the manufacturing process to provide efficient processes with good cleaning results.

OFFENBARUNG DER ERFINDUNGDISCLOSURE OF THE INVENTION

AUFGABE DER ERFINDUNGOBJECT OF THE INVENTION

Es ist deshalb Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein Verfahren zur Herstellung optischer Komponenten, insbesondere optischer Komponenten von Projektionsbelichtungsanlagen bereit zu stellen, bei welchem effiziente Zwischenreinigungsschritte zwischen Materialbearbeitungsschritten durchgeführt werden können, um hochreine und reproduzierbare Oberflächen für die weiteren Bearbeitungsschritte bereitstellen zu können. Die Reinigung soll dabei einerseits effizient hinsichtlich der Bearbeitungszeit, der eingesetzten Materialien und der verwendeten Apparaturen sein, wobei andererseits gleichzeitig ein gutes Reinigungsergebnis erzielt werden soll.It is therefore an object of the present invention to provide a method for producing optical components, in particular optical components of projection exposure apparatuses, in which efficient intermediate cleaning steps can be carried out between material processing steps in order to be able to provide high-purity and reproducible surfaces for the further processing steps. On the one hand, the cleaning should be efficient with regard to the processing time, the materials used and the equipment used, while at the same time a good cleaning result should be achieved.

TECHNISCHE LÖSUNGTECHNICAL SOLUTION

Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie einer Bearbeitungsanlage mit den Merkmalen des Anspruchs 8. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche. This object is achieved by a method having the features of claim 1 and a processing system having the features of claim 8. Advantageous embodiments are the subject of the dependent claims.

Die Erfindung schlägt eine Bearbeitungsanlage zur Herstellung optischer Komponenten vor, bei der die Bearbeitungsanlage mindestens einen Bearbeitungsroboter und mindestens einen Bearbeitungskopf zur Materialbearbeitung, mindestens einen Reinigungskopf zur Zwischenreinigung eines bearbeiteten Halbzeugs für eine optische Komponente, mindestens einen Spülkopf zum Spülen des gereinigten Halbzeugs und mindesten einen Trocknungskopf zum Trocknen des gespülten Halbzeugs aufweist, wobei Bearbeitungskopf, Reinigungskopf, Spülkopf und Trocknungskopf abwechselnd in der Bearbeitungsanlage am Bearbeitungsroboter angeordnet und zur Behandlung des Halbzeugs eingesetzt werden können. Allerdings ist es auch möglich, dass zwei, mehr oder alle Köpfe, also Bearbeitungskopf, Reinigungskopf, Spülkopf und Trocknungskopf, in einem Kombikopf kombiniert sein können und somit anstelle des Wechselns der Köpfe mit einem Entfernen und Anbringen des jeweiligen Kopfs am Bearbeitungsroboter lediglich ein Wechsel der Funktion des Kombikopfs erforderlich ist. The invention proposes a processing system for the production of optical components, in which the processing system comprises at least one processing robot and at least one processing head for material processing, at least one cleaning head for intermediate cleaning of a processed semifinished product for an optical component, at least one rinsing head for rinsing the cleaned semifinished product and at least one drying head for drying the rinsed semifinished product, wherein processing head, cleaning head, rinsing head and drying head can be arranged alternately in the processing plant on the processing robot and used to treat the semifinished product. However, it is also possible that two, more or all heads, so processing head, cleaning head, rinsing head and drying head, can be combined in a combi head and thus instead of changing the heads with a removal and attachment of the respective head on the processing robot only a change of Function of the combi head is required.

Der Bearbeitungskopf ist hierbei ein Werkzeug zur Materialbearbeitung der optischen Komponente bzw. des Halbzeugs hierfür und kann insbesondere ein Polierkopf sein, mit dem mindestens eine Oberfläche der optischen Komponente poliert werden kann. The processing head here is a tool for processing the material of the optical component or of the semifinished product for this purpose and, in particular, may be a polishing head with which at least one surface of the optical component can be polished.

Entsprechend kann bei einem Verfahren zur Herstellung optischer Komponenten, insbesondere optischer Komponenten von Projektionsbelichtungsanlagen und insbesondere von optischen Komponenten von EUV-Projektionsbelichtungsanlagen ein Halbzeug für die herzustellende optische Komponente, beispielsweise aus einem Glas- oder Keramikwerkstoff, in einer Bearbeitungsanlage bereitgestellt werden, wobei in der Bearbeitungsanlage mittels eines Bearbeitungsroboters eine Materialbearbeitung mindestens einer Oberfläche des Halbzeugs erfolgt. Insbesondere kann die Bearbeitung des Halbzeugs durch Polieren erfolgen, so dass an dem Bearbeitungsroboter der Bearbeitungsanlage die Bearbeitung mit einem Bearbeitungskopf in Form eines Polierkopfs durchgeführt wird. Allerdings sind auch andere Formen der Bearbeitung, z.B. Schleifen, und somit die Verwendung anderer Werkzeuge als Bearbeitungskopf denkbar. Correspondingly, in a method for producing optical components, in particular optical components of projection exposure apparatuses and in particular of optical components of EUV projection exposure apparatuses, a semifinished product for the optical component to be produced, for example of a glass or ceramic material, can be provided in a processing installation, wherein in the processing installation Material processing of at least one surface of the semifinished product takes place by means of a processing robot. In particular, the processing of the semifinished product can be carried out by polishing, so that machining on the processing robot of the processing plant is carried out with a machining head in the form of a polishing head. However, other forms of processing, e.g. Grinding, and thus the use of other tools as a processing head conceivable.

Anschließend wird der Bearbeitungskopf bzw. Polierkopf des Bearbeitungsroboters gegen einen Reinigungskopf ausgetauscht bzw. zur Funktion des Polierkopfs gewechselt, sodass das Halbzeug für die anschließende Reinigung am Bearbeitungsplatz in der Bearbeitungsanlage verbleiben kann, ohne dass es aus einer entsprechenden Aufnahme, in der das Halbzeug während der Bearbeitung in der Bearbeitungsanlage aufgenommen ist, entnommen werden muss. Nach dem Austausch bzw. Wechsel des Bearbeitungskopfs bzw. Polierkopfs gegen den Reinigungskopf erfolgt eine Reinigung der mindestens einen Oberfläche mit dem Reinigungskopf an dem Bearbeitungsroboter der Bearbeitungsanlage, wobei der Reinigungskopf ein Reinigungselement, z.B. in Form eines Textils, einer Bürste oder eines Schwamms, aufweist, das in Kontakt mit der zu reinigenden Oberfläche gebracht wird, so dass die zu reinigende Oberfläche mit dem Reinigungselement gereinigt und insbesondere mit dem Schwamm oder der Bürste des Reinigungskopfs gebürstet werden kann. Hierzu kann zusätzlich eine Reinigungsflüssigkeit auf die zu reinigende Oberfläche gespritzt werden oder das Reinigungselement kann bereits vorher mit einer Reinigungsflüssigkeit getränkt worden sein. Subsequently, the machining head or polishing head of the machining robot is exchanged for a cleaning head or changed to the function of the polishing head, so that the semi-finished for subsequent cleaning at the processing station in the processing plant can remain without it from a corresponding receptacle in which the semifinished during the Machining is included in the processing plant, must be removed. After the exchange or change of the machining head or polishing head against the cleaning head, the at least one surface is cleaned with the cleaning head on the machining robot of the machining system, wherein the cleaning head is a cleaning element, e.g. in the form of a textile, a brush or a sponge, which is brought into contact with the surface to be cleaned, so that the surface to be cleaned can be cleaned with the cleaning element and in particular brushed with the sponge or the brush of the cleaning head. For this purpose, a cleaning liquid may additionally be sprayed onto the surface to be cleaned, or the cleaning element may already have been previously impregnated with a cleaning liquid.

Beim Reinigen der zu reinigenden Oberfläche kann der Reinigungskopf an dem Bearbeitungsroboter und/oder das zu reinigende Halbzeug in oder mit der Aufnahme gedreht werden, wobei zusätzlich oder alternativ der Reinigungskopf mit dem Bearbeitungsroboter über die zu reinigende Oberfläche des Halbzeugs geführt werden kann. Somit sind unabhängig voneinander in überlagernder oder alternativer Weise drei unterschiedliche Bewegungen möglich, nämlich zum einen eine Drehbewegung des Reinigungskopfs, eine Drehbewegung des zu reinigenden Halbzeugs sowie eine Relativbewegung, insbesondere lineare und/oder gekrümmte translatorische Bewegung zwischen Reinigungskopf und der zu reinigenden Oberfläche mit einem Bewegungspfad des Reinigungskopfs über die zu reinigende Oberfläche.When cleaning the surface to be cleaned, the cleaning head can be rotated on the processing robot and / or the semi-finished product to be cleaned in or with the recording, in addition or alternatively, the cleaning head can be performed with the processing robot on the surface to be cleaned of the semifinished product. Thus, three different movements are possible independently of each other in superimposing or alternative manner, namely on the one hand a rotary movement of the cleaning head, a rotational movement of the semi-finished product to be cleaned and a relative movement, in particular linear and / or curved translational movement between the cleaning head and the surface to be cleaned with a movement path of the cleaning head over the surface to be cleaned.

Nach dem Reinigen wird der Reinigungskopf des Bearbeitungsroboters gegen einen Spülkopf ausgetauscht bzw. zur Funktion des Spülkopf gewechselt, so dass mit dem Spülkopf die mindesten eine gereinigte Oberfläche mit dem Spülkopf gespült werden kann. Beim Spülen wird mit dem Spülkopf die gereinigte Oberfläche mit einer Spülflüssigkeit bespritzt, um Reinigungsrückstände zu beseitigen. Auch hierzu muss das zu behandelnde Halbzeug nicht aus seiner Bearbeitungsposition entfernt werde, sondern kann in der Aufnahme der Bearbeitungsanlage verbleiben und lediglich der Bearbeitungsroboter wechselt das entsprechende Werkzeug, also den Reinigungskopf gegen den Spülkopf. After cleaning, the cleaning head of the processing robot is exchanged for a flushing head or changed to the function of the flushing head, so that with the flushing head, the at least one cleaned surface can be flushed with the flushing head. When rinsing, the cleaned surface is sprayed with a rinsing liquid with the rinsing head in order to remove cleaning residues. Also for this purpose, the semi-finished product to be treated does not have to be removed from its processing position, but can remain in the receptacle of the processing plant and only the processing robot changes the corresponding tool, ie the cleaning head against the flushing head.

Nach dem Spülen wird der Spülkopf gegen einen Trocknungskopf ausgetauscht bzw. zur Funktion des Trocknungskopfs gewechselt, so dass nunmehr die gereinigte und gespülte Oberfläche mittels des Trocknungskopfs getrocknet werden kann. After rinsing, the rinsing head is exchanged for a drying head or changed to the function of the drying head, so that now the cleaned and rinsed surface can be dried by means of the drying head.

Wie bereits erwähnt, kann das zu bearbeitende Halbzeug während der Materialbearbeitung, insbesondere während des Polierens, und/oder während des Reinigens und/oder während des Spülens und/oder während des Trocknens bewegt, insbesondere um eine Zentralachse des Halbzeugs gedreht werden. As already mentioned, the semifinished product to be processed can be rotated during material processing, in particular during polishing, and / or during cleaning and / or during rinsing and / or during drying, in particular about a central axis of the semifinished product.

Zusätzlich oder alternativ können der Bearbeitungskopf, insbesondere der Polierkopf, und/oder Reinigungskopf und/oder der Spülkopf und/oder der Trocknungskopf relativ zum Halbzeug und insbesondere entlang des Bewegungspfads mittels des Bearbeitungsroboters bewegt werden, beispielsweise in einer Dreh- oder Schwenkbewegung oder entlang eines mäanderförmigen oder eines anders definierten Bewegungspfads. Additionally or alternatively, the machining head, in particular the polishing head, and / or cleaning head and / or the rinsing head and / or the drying head can be moved relative to the semifinished product and in particular along the movement path by means of the processing robot, for example in a rotary or pivoting movement or along a meandering or a differently defined motion path.

Darüber hinaus kann zusätzlich oder alternativ vorgesehen sein, dass der Bearbeitungskopf, also insbesondere der Polierkopf, und/oder der Reinigungskopf und/oder der Spülkopf und/oder der Trocknungskopf sich um jeweils eine eigene Achse, insbesondere um eine Zentralachse des jeweiligen Kopfes drehen können, so dass eine weitere unabhängige Bewegungen während der entsprechenden Bearbeitung bzw. Behandlung zur Verfügung gestellt werden kann. In addition, it can additionally or alternatively be provided that the machining head, that is to say in particular the polishing head, and / or the cleaning head and / or the rinsing head and / or the drying head can each rotate about its own axis, in particular about a central axis of the respective head, so that further independent movements can be provided during the respective processing or treatment.

Die Funktionsseite des Bearbeitungskopfs, insbesondere des Polierkopfs, und/oder des Reinigungskopfs und/oder des Spülkopfs und/oder des Trocknungskopfs, mit der die Bearbeitung bzw. Behandlung der Oberfläche des Halbzeugs erfolgt, kann quer, insbesondere senkrecht, und/oder parallel zur Drehachse des jeweiligen Kopfes angeordnet sein, so dass eine Oberfläche des Halbzeugs bearbeitet werden kann, die quer, insbesondere senkrecht, zur Drehachse des jeweiligen Kopfes und/oder parallel zur Drehachse des jeweiligen Kopfes angeordnet sein kann. The functional side of the machining head, in particular of the polishing head, and / or the cleaning head and / or the rinsing head and / or the drying head, with which the processing or treatment of the surface of the semifinished product, can transversely, in particular perpendicularly, and / or parallel to the axis of rotation be arranged of the respective head, so that a surface of the semi-finished product can be processed, which can be arranged transversely, in particular perpendicularly to the axis of rotation of the respective head and / or parallel to the axis of rotation of the respective head.

Die übrigen Flächen des Halbzeugs, die nicht bearbeitet werden sollen, können durch entsprechende Schutzmaßnahmen, wie Abdeckungen, geschützt werden. The remaining surfaces of the semi-finished product which are not to be processed may be protected by appropriate protective measures such as covers.

Beim Spülen kann ferner eine Ultraschall- oder Megaschallanregung durch entsprechende Ultraschall- oder Megaschallsender erfolgen, um eine verbesserte Loslösung von Reinigungsrückständen zu ermöglichen.When rinsing, an ultrasonic or megasonic stimulation can also be carried out by means of appropriate ultrasonic or megasonic emitters in order to enable improved detachment of cleaning residues.

Das Trocknen kann mit einem Gasstrom, insbesondere einem Gasstrom aus gereinigtem Gas, insbesondere extrem gereinigter, trockener Luft erfolgen. Alternativ oder zusätzlich kann das Trocknen mit einem Trocknungstuch erfolgen, welches nach einer weiteren Ausgestaltung mit einem Lösemittel, wie beispielsweise Isopropylalkohol, getränkt sein kann. The drying can be carried out with a gas stream, in particular a gas stream of purified gas, in particular extremely purified, dry air. Alternatively or additionally, the drying can be carried out with a drying cloth, which according to a further embodiment can be impregnated with a solvent, such as, for example, isopropyl alcohol.

Da die Reinigung mit nachfolgendem Spülen und Trocknen insbesondere als Zwischenschritt in einer Reihe von Materialbearbeitungsschritten zur Herstellung von optischen Komponenten erfolgen kann, können die Schritte der Materialbearbeitung, insbesondere des Polierens, der Reinigung, des Spülens und des Trocknens wiederholt nacheinander ausgeführt werden. Since cleaning with subsequent rinsing and drying can take place in particular as an intermediate step in a series of material processing steps for the production of optical components, the steps of material processing, in particular polishing, cleaning, rinsing and drying, can be carried out repeatedly in succession.

Die Bearbeitungsanlage kann insbesondere so ausgeführt sein, dass der Bearbeitungsroboter einen Adapter umfasst, der den Anschluss der verschiedenen Köpfe, also des Bearbeitungskopfs, insbesondere des Polierkopfs, des Reinigungskopfs, des Spülkopfs und des Trocknungskopfs ermöglicht. Der Adapter selbst kann an einem Drehkopf des Bearbeitungsroboters angeordnet sein, der um eine zentrale Achse drehbar ist, so dass die jeweiligen Köpfe selbst um eine ihrer zentralen Achsen um sich selbst gedreht werden können. Darüber hinaus kann der Bearbeitungsroboter einen Bearbeitungsarm aufweisen, an dem der Drehkopf angeordnet sein kann, so dass der Bearbeitungsroboter den jeweiligen Kopf an jede Stelle der zu bearbeitenden Oberfläche des Halbzeugs führen kann. The processing system can in particular be designed so that the processing robot comprises an adapter which allows the connection of the various heads, ie the processing head, in particular the polishing head, the cleaning head, the rinsing head and the drying head. The adapter itself may be arranged on a rotary head of the machining robot, which is rotatable about a central axis, so that the respective heads themselves can be rotated about themselves about one of their central axes. In addition, the processing robot can have a processing arm, on which the rotary head can be arranged, so that the processing robot can guide the respective head to each position of the surface of the semifinished product to be processed.

Der Reinigungskopf kann eine Funktionsseite in Form einer Reinigungsseite aufweisen, die eben, konkav oder konvex gekrümmt sein kann, um sich an die Form der zur reinigenden optischen Komponente anzupassen. Entsprechend können die Borsten einer Bürste so angeordnet sein, dass sie eine entsprechend geformte Reinigungsseite bilden. The cleaning head may have a functional side in the form of a cleaning side, which may be flat, concave or convex in order to conform to the shape of the optical component to be cleaned. Accordingly, the bristles of a brush can be arranged so that they form a correspondingly shaped cleaning side.

Der Spülkopf kann an der Spülseite, die also dem zu behandelnden Halbzeug im Betrieb als Funktionsseite zugewandt ist, mindestens eine, vorzugsweise mehrere Spritzdüsen zum Spritzen von Spülflüssigkeit aufweisen. Der Spülkopf kann zusätzlich eine Ultraschall- oder Megaschallerzeugungseinrichtung mit entsprechenden Sendern aufweisen, um den Spülvorgang durch Ultraschall- oder Megaschallerzeugung zu unterstützen.The flushing head can have at least one, preferably a plurality of spray nozzles for spraying flushing liquid on the flushing side, which thus faces the semi-finished product to be treated during operation. The flushing head may additionally have an ultrasonic or megasonic generating device with corresponding transmitters to assist the flushing process by ultrasonic or megasonic generation.

Ähnlich dem Spülkopf kann der Trocknungskopf an seiner Trocknungsseite, die ebenfalls dem zu behandelnden Halbzeug zugewandt ist, wenn der Trocknungskopf in Betrieb ist, eine oder mehrere Gasdüsen aufweisen, durch die Trocknungsgas ausgegeben werden kann. Similar to the rinsing head, the drying head may have on its drying side, which also faces the semi-finished product to be treated, when the drying head is in operation, one or more gas nozzles through which drying gas can be dispensed.

Der Trocknungskopf kann zusätzlich oder alternativ ein Trocknungstuch aufweisen, das insbesondere mit Lösemittel getränkt sein kann. The drying head may additionally or alternatively have a drying cloth, which may be soaked in particular with solvent.

KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGENBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

Die beigefügten Zeichnungen zeigen in rein schematischer Weise in The accompanying drawings show in a purely schematic manner in FIG

1 eine Darstellung einer erfindungsgemäßen Bearbeitungsanlage, 1 a representation of a processing plant according to the invention,

2 eine Darstellung eines Teils der Bearbeitungsanlage bei der Reinigung 2 a representation of a part of the processing plant during cleaning

3 eine Darstellung eines Teils der Bearbeitungsanlage beim Spülen, 3 a representation of a part of the processing plant when rinsing,

4 eine Darstellung einer weiteren Ausführungsform eines Spülkopfs 4 a representation of another embodiment of a rinsing head

5 eine Darstellung eines Teils der Bearbeitungsanlage beim Trocknen 5 a representation of a part of the processing system during drying

6 eine Darstellung einer weiteren Ausführungsform eines Trocknungskopfs und in 6 a representation of another embodiment of a drying head and in

7 eine Darstellung verschiedener Reinigungsköpfe. 7 a representation of different cleaning heads.

AUSFÜHRUNGSBEISPIELEEMBODIMENTS

Weitere Vorteile, Kennzeichen und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden bei der nachfolgenden detaillierten Beschreibung der Ausführungsbeispiele deutlich. Allerdings ist die Erfindung nicht auf diese Ausführungsbeispiele beschränkt. Further advantages, characteristics and features of the present invention will become apparent in the following detailed description of the embodiments. However, the invention is not limited to these embodiments.

Die 1 zeigt in einer rein schematischen Darstellung eine Bearbeitungsanlage 1 mit einem Roboter 2 sowie einer Aufnahme 3 für das zu bearbeitende Halbzeug 6. The 1 shows in a purely schematic representation of a processing plant 1 with a robot 2 and a recording 3 for the semi-finished product to be processed 6 ,

Der Roboter 2 weist einen verschwenkbaren Roboterarm 20, insbesondere einen in und um viele Raumachsen verschwenkbaren Roboterarm 20 auf, an dem ein Drehkopf 7 angeordnet ist, der um eine Drehachse 17, die gleichzeitig die Längsachse des Drehkopfs 7 ist, drehbar ist. An dem Drehkopf 7 ist bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel der 1 ein Reinigungskopf 8 angeordnet, mit dem eine zu behandelnde Oberfläche 19 des zu bearbeitenden Halbzeugs 6 gereinigt werden kann.The robot 2 has a pivotable robot arm 20 , In particular, a robot arm pivotable in and around many spatial axes 20 on, on which a turret 7 is arranged, which is about a rotation axis 17 , at the same time the longitudinal axis of the turret 7 is, is rotatable. At the turret 7 is in the embodiment shown the 1 a cleaning head 8th arranged, with which a surface to be treated 19 of the semi-finished product to be processed 6 can be cleaned.

Das Halbzeug 6 ist in einer Halterung 5 der Aufnahme 3 angeordnet, wobei die Aufnahme 3 einen Drehschaft 4 aufweist, mit dem die Aufnahme 3 um eine Drehachse 18, die wiederum eine zentrale Achse der Aufnahme 3 ist, gedreht werden kann. The semi-finished product 6 is in a holder 5 the recording 3 arranged, taking the picture 3 a turning shaft 4 has, with which the recording 3 around a rotation axis 18 , which in turn is a central axis of the recording 3 is, can be turned.

Der Drehkopf 7 mit dem Reinigungskopf 8 kann durch Verschwenken des Roboterarms 20 über die gesamte, zu bearbeitende Oberfläche 19 des Halbzeugs 6 bewegt werden, wobei gleichzeitig der Reinigungskopf 8 um die Drehachse 17, die auch eine eigene zentrale Achse des Reinigungskopf 8 darstellt, gedreht wird. Gleichzeitig kann das Halbzeug 6 mit der Aufnahme 3 um die Drehachse 18 gedreht werden, so dass drei verschiedene Bewegungen überlagert werden können, nämlich zum einen die Drehbewegung des Halbzeugs 6 in der Aufnahme 3, die Drehbewegung des Reinigungskopfs 8 am Drehkopf 7 des Roboters 2 und die Bewegung des Reinigungskopfs 8 mit dem Roboterarm über die zu reinigende Oberfläche 19 des zu reinigenden Halbzeugs 6.The turret 7 with the cleaning head 8th can by pivoting the robot arm 20 over the entire surface to be worked 19 of the semi-finished product 6 be moved, at the same time the cleaning head 8th around the axis of rotation 17 which also has its own central axis of the cleaning head 8th represents, is rotated. At the same time, the semi-finished product 6 with the recording 3 around the axis of rotation 18 be rotated so that three different movements can be superimposed, namely on the one hand, the rotational movement of the semifinished product 6 in the recording 3 , the rotary motion of the cleaning head 8th at the turret 7 of the robot 2 and the movement of the cleaning head 8th with the robot arm over the surface to be cleaned 19 of the semi-finished product to be cleaned 6 ,

Wie sich aus der 1 ergibt, können in einem Magazin der Bearbeitungsanlage 1 verschiedene andere Werkzeugköpfe 10, 11, 12, 15, 21 bereitgehalten werden, die an dem Drehkopf 7 bzw. einem daran angeordneten Adapter 9 (siehe 2) am Roboterarm 20 des Roboters 2 angeordnet werden können, um die Oberfläche 19 des Halbzeugs 6 in der Aufnahme 3 unterschiedlich zu bearbeiten bzw. zu behandeln, ohne dass das Halbzeug 6 aus der Aufnahme 3 entfernt werden muss. Hierzu muss der Roboter 2 lediglich die verschiedenen Köpfe austauschen. As is clear from the 1 results, can in a magazine of the processing plant 1 various other tool heads 10 . 11 . 12 . 15 . 21 be held at the turret 7 or an adapter arranged thereon 9 (please refer 2 ) on the robot arm 20 of the robot 2 can be arranged to the surface 19 of the semi-finished product 6 in the recording 3 to process or treat differently without the semifinished product 6 from the recording 3 must be removed. This requires the robot 2 just exchange the different heads.

Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel der 1 sind neben dem Reinigungskopf 8 in dem Magazin sowohl ein Polierkopf 21 als auch zwei Spülköpfe 10, 11 und zwei Trocknungsköpfe 12, 15 vorgesehen, die mit dem Roboter 2 und dem Drehkopf 7 am Roboterarm 20 verwendet werden können. Selbstverständlich ist die Anzahl der Werkzeugköpfe weder hinsichtlich der Gesamtzahl noch der Anzahl der unterschiedlichen Typen von Werkzeugköpfen in irgendeiner Weise auf das vorgestellte Beispiel beschränkt. Vielmehr sind beliebige Variationen möglich, die nur durch eine sinnvolle Handhabung durch den Roboter beschränkt sind. Entsprechend kann mit einem Roboter 2 an einem einzigen Bearbeitungsplatz für ein Halbzeug 6 eine Bearbeitung der zu bearbeitenden Oberfläche 19 hinsichtlich eines Materialabtrags des Halbzeugs, beispielsweise durch Polieren, durchgeführt werden und zudem kann nachfolgend am selben Bearbeitungsplatz eine Reinigung der bearbeiteten Oberfläche 19 inklusive Spülen und Trocknen vorgenommen werden. In the embodiment shown the 1 are next to the cleaning head 8th in the magazine both a polishing head 21 as well as two rinsing heads 10 . 11 and two drying heads 12 . 15 provided with the robot 2 and the turret 7 on the robot arm 20 can be used. Of course, the number of tool heads is not limited to the example presented either in terms of the total number or the number of different types of tool heads. Rather, any variations are possible that are limited only by reasonable handling by the robot. Accordingly, with a robot 2 at a single processing station for a semi-finished product 6 a processing of the surface to be processed 19 with regard to a material removal of the semifinished product, for example by polishing, are carried out and also can subsequently be at the same processing station, a cleaning of the machined surface 19 including rinsing and drying.

Die 2 zeigt hierzu einen Teil der Bearbeitungsanlage mit dem Drehkopf 7, über den mittels eines Adapters 9 ein Reinigungskopf 8 angeordnet ist, um die zu reinigende Oberfläche 19, die beispielsweise vorher poliert worden war, mit dem Reinigungskopf 8 zu reinigen. Hierzu ist das Halbzeug 6 in der Aufnahme 3 angeordnet. The 2 shows part of the processing plant with the turret 7 , via the means of an adapter 9 a cleaning head 8th is arranged to the surface to be cleaned 19 that had been previously polished, for example, with the cleaning head 8th to clean. For this purpose, the semi-finished product 6 in the recording 3 arranged.

Der Reinigungskopf 8 weist eine Bürste mit planer Reinigungsfläche 25 auf, die entsprechend dem in 2 gezeigten Pfeil durch den Drehkopf 7 um die Drehachse 17 gedreht wird. Gleichzeitig wird der Reinigungskopf 8 gemäß dem Doppelpfeil mit dem Roboterarm 20 (siehe 1) über die zu reinigende Oberfläche 19 des Halbzeugs 6 bewegt, während gleichzeitig das Halbzeug 6 der Aufnahme 3 um die Drehachse 18 gedreht wird. The cleaning head 8th has a brush with a flat cleaning surface 25 on, according to the in 2 arrow shown by the turret 7 around the axis of rotation 17 is turned. At the same time, the cleaning head 8th according to the double arrow with the robot arm 20 (please refer 1 ) over the surface to be cleaned 19 of the semi-finished product 6 moves while at the same time the semi-finished product 6 the recording 3 around the axis of rotation 18 is turned.

Nach dem Reinigen der Oberfläche 19 mit der Bürste des Reinigungskopfs 8, wird der Reinigungskopf 8 gegen einen Spülkopf 10 ausgetauscht, wie 3 zu entnehmen ist. Der Spülkopf 10 ist wiederum über den Adapter 9 am Drehkopf 7 angeordnet und kann entsprechend wie der Reinigungskopf 8 in 2 bewegt werden. Der Spülkopf 10 weist eine Vielzahl von Spritzdüsen 26 auf, die an der Unterseite des Spülkopfs 10 abgewandt von der Seite, mit der der Spülkopf 10 am Adapter 9 angeordnet wird, vorgesehen sind, um über die Spritzdüsen 26 Spülflüssigkeit abzugeben, die auf die zu bearbeitende Oberfläche 19 des Halbzeug 6 gespritzt wird. Zur Zuführung der Spülflüssigkeit kann der Spülkopf 10 eine Zuführleitung aufweisen, die in 3 nicht dargestellt ist.After cleaning the surface 19 with the brush of the cleaning head 8th , becomes the cleaning head 8th against a rinsing head 10 exchanged, like 3 can be seen. The rinsing head 10 is in turn over the adapter 9 at the turret 7 arranged and can be used as the cleaning head 8th in 2 to be moved. The rinsing head 10 has a variety of spray nozzles 26 on that at the bottom of the flushing head 10 turned away from the side, with the flushing head 10 on the adapter 9 is arranged to be provided over the spray nozzles 26 Rinse liquid to be released onto the surface to be processed 19 of the semi-finished product 6 is injected. For supplying the rinsing liquid, the rinsing head 10 have a feed line which in 3 not shown.

Zur Unterstützung des Spülens der zu behandelnden Oberfläche 19 des Halbzeugs 6 mit Ultraschall- bzw. Megaschallwellen kann ein Spülkopf 11 Verwendung finden, wie er in 4 gezeigt ist. Der Spülkopf 11, der in 4 von oben mit der Seite gezeigt ist, mit der er an dem Adapter 9 des Drehkopfs 7 angeordnet wird, weist seitlich abstehende Ultraschallsender 27 auf, während an der Unterseite nach unten gerichtete Spritzdüsen 26 (nicht gezeigt) vorgesehen sind, wie sie im Ausführungsbeispiel der 3 gezeigt sind. Die Ultraschallsender 27 ermöglichen eine Ultraschallanregung der auf die zu bearbeitende Oberfläche 19 des Halbzeugs 6 gespritzten Spülflüssigkeit, um die Spülwirkung zu verbessern.To help rinse the surface to be treated 19 of the semi-finished product 6 With ultrasonic or megasonic waves, a flushing head 11 Find use as he is in 4 is shown. The rinsing head 11 who in 4 shown from above with the side with which he attaches to the adapter 9 of the turret 7 is arranged, has laterally projecting ultrasonic transmitter 27 on, while at the bottom downward spray nozzles 26 (not shown) are provided, as in the embodiment of the 3 are shown. The ultrasound transmitter 27 allow ultrasonic excitation of the surface to be processed 19 of the semi-finished product 6 sprayed rinsing liquid to improve the rinsing effect.

Die 5 zeigt den Drehkopf 7 des Roboterarms 20 beim Trocknen der zu behandelnden Oberfläche 19 des Halbzeug 6, wobei am Adapter 9 ein Trocknungskopf 15 angeordnet ist, der an seiner Unterseite abgewandt von der Seite mit dem Adapter-Anschluss eine Vielzahl von Gasdüsen 16 aufweist, durch die ein Gas, insbesondere extrem gereinigte, trockene Luft, auf die zu behandelnde Oberfläche 19 des Halbzeugs 6 abgegeben werden kann.The 5 shows the turret 7 of the robot arm 20 during drying of the surface to be treated 19 of the semi-finished product 6 , where on the adapter 9 a drying head 15 is arranged, which faces away from the underside of the side with the adapter connection a plurality of gas nozzles 16 by which a gas, in particular extremely purified, dry air, on the surface to be treated 19 of the semi-finished product 6 can be delivered.

Die 6 zeigt einen weiteren Trocknungskopf 12 mit einer Scheibe 13, beispielsweise aus einem Kunststoff, wie Polyurethan, auf der ein Trocknungstuch 14 angeordnet ist, wie beispielsweise ein synthetisches Reinraumtuch aus Polyester. The 6 shows a further drying head 12 with a slice 13 , For example, of a plastic, such as polyurethane, on a drying cloth 14 is arranged, such as a synthetic clean room cloth made of polyester.

Das Trocknungstuch 14 kann zusätzlich mit einem Lösungsmittel, wie Isopropanol, getränkt sein, wobei durch das Verdampfen des Lösungsmittels der Trocknungseffekt verbessert werden kann. The drying cloth 14 may additionally be impregnated with a solvent such as isopropanol, whereby the drying effect can be improved by evaporation of the solvent.

Die 7 zeigt in den Teilbildern a) bis d) verschiedene Ausführungsformen von Reinigungsköpfen, wobei Teilbild a) der 7 den Reinigungskopf 8 aus 2 mit planer Reinigungsfläche 25 zeigt. In Teilbild b) ist ein Reinigungskopf 22 gezeigt, der eine konkav geformte Reinigungsfläche 25 aufweist, während im Teilbild c) der 7 eine Reinigungskopf 23 mit konvex geformter Reinigungsfläche 25 zu sehen ist. The 7 shows in the sub-images a) to d) different embodiments of cleaning heads, wherein partial image a) of 7 the cleaning head 8th out 2 with a flat cleaning surface 25 shows. In drawing b) is a cleaning head 22 shown a concave shaped cleaning surface 25 while in the sub-picture c) of 7 a cleaning head 23 with convex shaped cleaning surface 25 you can see.

Der Reinigungskopf 24 im Teilbild d) der 7 zeigt eine Ausführungsform, mit der eine Fläche gereinigt werden kann, die parallel zur Drehachse 17 des Drehkopfs 7 ausgerichtet ist. The cleaning head 24 in part d) of the 7 shows an embodiment with which a surface can be cleaned, which is parallel to the axis of rotation 17 of the turret 7 is aligned.

Obwohl die vorliegende Erfindung anhand der Ausführungsbeispiele detailliert beschrieben worden ist, ist es für den Fachmann selbstverständlich, dass die Erfindung nicht auf diese Ausführungsbeispiele beschränkt ist, sondern dass vielmehr Abwandlungen in der Weise möglich sind, dass einzelne Merkmale weggelassen oder andersartige Kombinationen von Merkmalen verwirklicht werden können, solange der Schutzbereich der beigefügten Ansprüche nicht verlassen wird. Die vorliegende Offenbarung schließt sämtliche Kombinationen der vorgestellten Einzelmerkmale mit ein. Although the present invention has been described in detail with reference to the embodiments, it will be understood by those skilled in the art that the invention is not limited to these embodiments, but rather modifications are possible in such a way that individual features omitted or other types of combinations of features are realized as long as the scope of protection of the appended claims is not abandoned. The present disclosure includes all combinations of the features presented.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11: Bearbeitungsanlage processing plant
22: Roboter robot
33: Aufnahme admission
44: Drehschaft rotary shaft
55: Halterung bracket
66: Halbzeug Workpiece
77: Drehkopf turret
88th: Reinigungskopf cleaning head
99: Adapter adapter
1010: Spülkopf flushing head
1111: Spülkopf flushing head
1212: Trocknungskopf drying head
1313: Scheibe disc
1414: Trocknungstuch drying cloth
1515: Trocknungskopf drying head
1616: Gasdüse gas nozzle
1717: Drehachse axis of rotation
1818: Drehachse axis of rotation
1919: zu bearbeitende bzw. zu behandelnde Oberfläche surface to be treated or treated
2020: Roboterarm robot arm
2121: Polierkopf polishing head
2222: Reinigungskopf cleaning head
2323: Reinigungskopf cleaning head
2424: Reinigungskopf cleaning head
2525: Reinigungsfläche cleaning surface
2626: Spritzdüsen spray nozzles
2727: Ultraschallsender ultrasonic transmitter

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

DE 102007060467 A1 [0003] DE 102007060467 A1 [0003]
US 5868866 A [0004] US 5868866 A [0004]

Claims

Verfahren zur Herstellung optischer Komponenten, insbesondere optischer Komponenten von Projektionsbelichtungsanlagen, welches umfasst: Bereitstellen eines Halbzeugs (6) in einer Bearbeitungsanlage (1), Bearbeiten, insbesondere Polieren des Halbzeugs (6) an mindestens einer Oberfläche (19) mit einem Bearbeitungskopf, insbesondere Polierkopf (21), an einem Bearbeitungsroboter (2) in der Bearbeitungsanlage, Wechseln des Bearbeitungskopfs des Bearbeitungsroboters (2) der Bearbeitungsanlage gegen einen Reinigungskopf (8, 22, 23, 24), Reinigen der mindestens einen Oberfläche (19) mit dem Reinigungskopf (8, 22, 23, 24) an dem Bearbeitungsroboter der Bearbeitungsanlage, wobei der Reinigungskopf ein Reinigungselement aufweist, das in Kontakt mit der zu reinigenden Oberfläche gebracht wird, Wechseln des Reinigungskopfs (8, 22, 23, 24) gegen einen Spülkopf (10, 11), Spülen der mindestens einen gereinigten Oberfläche mit dem Bearbeitungsroboter der Bearbeitungsanlage mit dem Spülkopf, wobei der Spülkopf die zu spülende Oberfläche (19) mit einer Spülflüssigkeit bespritzt, Wechseln des Spülkopfs (10, 11) gegen einen Trocknungskopf (12, 15), mit dem die gespülte Oberfläche (19) getrocknet werden kann und Trocknen der Oberfläche (19) mit dem Trocknungskopf (12, 15). Method for producing optical components, in particular optical components of projection exposure apparatus, which comprises: providing a semifinished product ( 6 ) in a processing plant ( 1 ), Processing, in particular polishing the semifinished product ( 6 ) on at least one surface ( 19 ) with a processing head, in particular polishing head ( 21 ), on a processing robot ( 2 ) in the processing plant, changing the processing head of the processing robot ( 2 ) of the processing plant against a cleaning head ( 8th . 22 . 23 . 24 ), Cleaning the at least one surface ( 19 ) with the cleaning head ( 8th . 22 . 23 . 24 ) on the processing robot of the processing plant, wherein the cleaning head has a cleaning element, which is brought into contact with the surface to be cleaned, changing the cleaning head ( 8th . 22 . 23 . 24 ) against a flushing head ( 10 . 11 ), Rinsing the at least one cleaned surface with the processing robot of the processing plant with the rinsing head, wherein the rinsing head the surface to be rinsed ( 19 ) with a rinsing liquid, changing the rinsing head ( 10 . 11 ) against a drying head ( 12 . 15 ), with which the rinsed surface ( 19 ) and drying the surface ( 19 ) with the drying head ( 12 . 15 ).

Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Halbzeug (6) während des Polierens und/oder Reinigens und/oder Spülens und/oder Trocknens bewegt, insbesondere um eine Zentralachse des Halbzeugs gedreht wird. Method according to claim 1, characterized in that the semifinished product ( 6 ) is moved during polishing and / or cleaning and / or rinsing and / or drying, in particular rotated about a central axis of the semifinished product.

Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Bearbeitungskopf (21) und/oder der Reinigungskopf (8, 22, 23, 24) und/oder der Spülkopf (10, 11) und/oder der Trocknungskopf (12, 15) relativ zum Halbzeug (6) und insbesondere der mindestens einen zu bearbeitenden oder zu behandelnden Oberfläche (19) durch den Bearbeitungsroboter bewegt werden, insbesondere in einer Schwenkbewegung oder Drehbewegung oder entlang eines mäanderförmigen oder anders definierten Bewegungspfads. Method according to claim 1 or 2, characterized in that the machining head ( 21 ) and / or the cleaning head ( 8th . 22 . 23 . 24 ) and / or the flushing head ( 10 . 11 ) and / or the drying head ( 12 . 15 ) relative to the semifinished product ( 6 ) and in particular the at least one surface to be treated or treated ( 19 ) are moved by the processing robot, in particular in a pivoting movement or rotational movement or along a meandering or otherwise defined path of movement.

Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Bearbeitungskopf (21) und/oder der Reinigungskopf (8, 22, 23, 24) und/oder der Spülkopf (10, 11) und/oder der Trocknungskopf (12, 15) sich um eine eigene Achse, insbesondere Zentralachse drehen, sodass die Achse eine Drehachse (17) bildet, wobei eine Funktionsseite von Bearbeitungskopf (21) und/oder Reinigungskopf (8, 22, 23, 24) und/oder Spülkopf (10, 11) und/oder Trocknungskopf (12, 15) zur Bearbeitung oder Behandlung der mindestens einen Oberfläche (19) des Halbzeugs (6) quer, insbesondere senkrecht und/oder parallel zur Drehachse (17) angeordnet ist. Method according to one of the preceding claims, characterized in that the machining head ( 21 ) and / or the cleaning head ( 8th . 22 . 23 . 24 ) and / or the flushing head ( 10 . 11 ) and / or the drying head ( 12 . 15 ) rotate about its own axis, in particular central axis, so that the axis is an axis of rotation ( 17 ), wherein a functional side of machining head ( 21 ) and / or cleaning head ( 8th . 22 . 23 . 24 ) and / or rinsing head ( 10 . 11 ) and / or drying head ( 12 . 15 ) for processing or treating the at least one surface ( 19 ) of the semifinished product ( 6 ) transversely, in particular perpendicularly and / or parallel to the axis of rotation ( 17 ) is arranged.

Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass beim Spülen eine Ultraschall- oder Megaschallanregung erfolgt. Method according to one of the preceding claims, characterized in that an ultrasonic or megasonic excitation occurs during rinsing.

Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Trocknen mit einem Gasstrom, insbesondere einem Gasstrom mit gereinigtem Gas und/oder einem Trocknungstuch, insbesondere einem mit einem Lösemittel getränkten Trocknungstuch erfolgt. Method according to one of the preceding claims, characterized in that the drying is carried out with a gas stream, in particular a gas stream with purified gas and / or a drying cloth, in particular a soaked with a solvent drying cloth.

Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Reinigen, Spülen und Trocknen des Halbzeugs (6) ein weiteres Bearbeiten, insbesondere Polieren des Halbzeugs erfolgt, wobei insbesondere mehrmals die Schritte des Bearbeitens, Reinigens, Spülens und Trocknens wiederholt werden. Method according to one of the preceding claims, characterized in that after cleaning, rinsing and drying of the semifinished product ( 6 ) a further processing, in particular polishing of the semifinished product takes place, wherein in particular the steps of processing, cleaning, rinsing and drying are repeated several times.

Bearbeitungsanlage zur Herstellung optischer Komponenten, insbesondere nach einem Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Bearbeitungsanlage (1) mindestens einen Bearbeitungsroboter (2) und mindestens einen Bearbeitungskopf, insbesondere Polierkopf (21), mindestens einen Reinigungskopf (8, 22, 23, 24), mindestens einen Spülkopf (10, 11) und mindestens einen Trocknungskopf (12, 15) aufweist, wobei Bearbeitungskopf (21), Reinigungskopf (8, 22, 23, 24), Spülkopf (10, 11) und Trocknungskopf (12, 15) austauschbar an dem Bearbeitungsroboter der Bearbeitungsanlage eingesetzt werden können. Processing plant for producing optical components, in particular according to a method according to one of the preceding claims, wherein the processing plant ( 1 ) at least one processing robot ( 2 ) and at least one processing head, in particular polishing head ( 21 ), at least one cleaning head ( 8th . 22 . 23 . 24 ), at least one rinsing head ( 10 . 11 ) and at least one drying head ( 12 . 15 ), wherein processing head ( 21 ), Cleaning head ( 8th . 22 . 23 . 24 ), Rinsing head ( 10 . 11 ) and drying head ( 12 . 15 ) can be used interchangeably on the processing robot of the processing plant.

Bearbeitungsanlage nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Bearbeitungsroboter einen Adapter (9) umfasst, an dem Bearbeitungskopf, Reinigungskopf, Spülkopf und Trocknungskopf aufnehmbar sind. Machining plant according to claim 8, characterized in that the processing robot an adapter ( 9 ), are on the processing head, cleaning head, rinsing head and drying head are receivable.

Bearbeitungsanlage nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Adapter (9) an einem Drehkopf (7) des Bearbeitungsroboters angeordnet ist und um eine zentrale Achse des Adapters drehbar ist. Machining plant according to claim 9, characterized in that the adapter ( 9 ) on a rotary head ( 7 ) of the processing robot and is rotatable about a central axis of the adapter.

Bearbeitungsanlage nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Reinigungskopf eine Reinigungsseite (25) aufweist, die eben, konkav oder konvex gekrümmt ist. Machining plant according to one of claims 8 to 10, characterized in that the cleaning head a cleaning side ( 25 ) which is flat, concave or convexly curved.

Bearbeitungsanlage nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Spülkopf eine Spülseite mit mindestens einer, vorzugsweise mehreren Spritzdüsen (26) zum Spritzen von Spülflüssigkeit aufweist. Machining plant according to one of claims 8 to 11, characterized in that the Flushing head a flushing side with at least one, preferably a plurality of spray nozzles ( 26 ) for spraying rinsing liquid.

Bearbeitungsanlage nach einem der Ansprüche 8 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Spülkopf eine Ultraschall- oder Megaschallerzeugungseinrichtung (27) aufweist. Machining plant according to one of claims 8 to 12, characterized in that the flushing head an ultrasonic or megasonic generating device ( 27 ) having.

Bearbeitungsanlage nach einem der Ansprüche 8 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Trocknungskopf eine Trocknungsseite aufweist, an der mindestens eine, vorzugsweise mehrere Gasdüsen (16) und/oder ein Trocknungstuch (14) angeordnet sind. Processing plant according to one of claims 8 to 13, characterized in that the drying head has a drying side, at the at least one, preferably a plurality of gas nozzles ( 16 ) and / or a drying cloth ( 14 ) are arranged.

Bearbeitungsanlage nach einem der Ansprüche 8 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Bearbeitungsanlage eine Aufnahme (3) für das Halbzeug, insbesondere eine Drehaufnahme aufweist. Machining plant according to one of claims 8 to 14, characterized in that the processing plant has a receptacle ( 3 ) for the semifinished product, in particular a rotary receptacle.

Bearbeitungsanlage nach einem der Ansprüche 8 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass der Bearbeitungskopf (21) und/oder der Reinigungskopf (8, 22, 23, 24) und/oder der Spülkopf (10, 11) und/oder der Trocknungskopf (12, 15) als separate Köpfe ausgebildet sind oder dass mindestens zwei der Köpfe aus der Gruppe, die den Bearbeitungskopf (21), den Reinigungskopf (8, 22, 23, 24), den Spülkopf (10, 11) und den Trocknungskopf (12, 15) umfasst, in einem Kombikopf kombiniert sind. Machining plant according to one of claims 8 to 15, characterized in that the machining head ( 21 ) and / or the cleaning head ( 8th . 22 . 23 . 24 ) and / or the flushing head ( 10 . 11 ) and / or the drying head ( 12 . 15 ) are formed as separate heads or that at least two of the heads of the group, the processing head ( 21 ), the cleaning head ( 8th . 22 . 23 . 24 ), the rinsing head ( 10 . 11 ) and the drying head ( 12 . 15 ) are combined in a combi head.