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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Gebiet der Erfindung
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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Schleifscheibe, die verwendet wird, wenn ein plattenförmiges Werkstück geschliffen wird.
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Beschreibung des Stands der Technik.
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In den letzten Jahren war es erforderlich, einen Wafer, der aus einem Material wie zum Beispiel Silizium besteht, so zu bearbeiten, dass er eine dünne Form aufweist, um eine Größenverringerung und eine Gewichtsverringerung von Bauelementchips zu verwirklichen. Der Wafer wird zum Beispiel dünner ausgebildet, indem die Seite von dessen hinterer Oberfläche geschliffen wird, nachdem Bauelemente, wie zum Beispiel ICs und LSIs, in den entsprechenden, durch vorgesehene Trennlinien (Straßen) an der vorderen Oberfläche abgegrenzten Bereichen ausgebildet wurden.
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Wenn ein plattenförmiges Werkstück, wie zum Beispiel ein Wafer, geschliffen wird, wird zum Beispiel eine Schleifvorrichtung verwendet, die einen Einspanntisch, der den Wafer hält, und eine Schleifscheibe beinhaltet, die oberhalb des Einspanntischs angeordnet ist und eine untere Oberfläche aufweist, an der Schleifkörner enthaltende Schleifsteine befestigt sind (siehe zum Beispiel das offengelegte
japanische Patent Nr. 2000-288881 ). Nachdem das Werkstück an dem Einspanntisch gehalten ist, wird die Schleifscheibe abgesenkt und werden die Schleifsteine gegen das Werkstück gedrückt, während dieser Einspanntisch und die Schleifscheibe jeweils gedreht werden, wodurch das Werkstück geschliffen werden kann.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Wenn das Werkstück durch Verwendung der oben beschriebenen Schleifscheibe geschliffen wird, werden Öffnungen (Spantaschen), die als Abflussstellen für durch das Schleifen erzeugen Schleifabfall dienen, in den Kontaktoberflächen der Schleifsteine, die mit dem Werkstück in Kontakt stehen, ausgebildet. Der Schleifabfall wird durch diese Spantaschen abgeführt und dadurch wird die Schleifleistung der Schleifscheibe geeignet aufrechterhalten. Jedoch ist es in manchen Fällen unmöglich, die Spantaschen abhängig von den Eigenschaften der Schleifsteine stabil und durchgehend auszubilden. In diesem Fall verschlechtert sich die Schleifleistung mit fortschreitender Schleifdauer und kann leicht ein Riss in der geschliffenen Oberfläche des Werkstücks ausgebildet werden.
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Deshalb ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Schleifscheibe bereitzustellen, deren Schleifleistung in einfacher Weise aufrechterhalten werden kann.
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Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Schleifscheibe bereitgestellt, die beinhaltet: eine kreisförmige, scheibenförmige Basis mit einer befestigten Endoberfläche, die mit einer Anbringung einer Schleifvorrichtung in Kontakt steht, und einer freien Endoberfläche an einer der befestigen Endoberfläche gegenüberliegenden Seite, und mehrere Schleifsteinkörper, die in einer Ringanordnung an der freien Endoberfläche der Basis angeordnet sind. Die Schleifsteinkörper sind jeweils in einer Blockform mit einer Oberfläche ausgebildet, an der zwei oder mehr Arten von plattenförmigen Schleifsteinelementen, die Schleifkörner und ein Bindemittel enthalten, nach außen hin freiliegen, indem die zwei oder mehr Arten von Schleifsteinelementen einander überlagert sind. Die Oberflächen der Schleifsteinkörper dienen als Schleifbearbeitungsoberflächen, die mit einem Werkstück in Kontakt kommen.
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Bei dem einen Aspekt der vorliegenden Erfindung kann das Material des Bindemittels ein Metall, ein Keramikmaterial oder ein Harz sein. Ferner wird bei dem einen Aspekt der vorliegenden Erfindung bevorzugt, dass die Schleifsteinkörper unter Verwendung der zwei oder mehr Arten von Schleifsteinelementen ausgebildet sind, die sich zumindest hinsichtlich einer der Korngröße des Schleifkorns, des Mischverhältnisses des Schleifkorns, des Materials des Bindemittels, des Härtegrads und der Porosität unterscheiden.
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Die Schleifscheibe gemäß dem einen Aspekt der vorliegenden Erfindung beinhaltet mehrere Schleifsteinkörper, die jeweils durch Überlagern der zwei oder mehr Arten von plattenförmigen Schleifsteinelementen, welche die Schleifkörner und das Bindemittel enthalten, in einer Blockform ausgebildet sind, und die Oberflächen, an denen die zwei oder mehr Arten von Schleifsteinelementen bei den Schleifsteinkörpern nach außen hin freiliegen, dienen als die Schleifbearbeitungsoberflächen, die mit dem Werkstück in Kontakt kommen. Deshalb werden, wenn das Werkstück durch diese Schleifscheibe geschliffen wird, Aussparungen, die der geschichteten Struktur der Schleifsteinelemente entsprechen, an den Schleifbearbeitungsoberflächen der Schleifsteinkörper ausgebildet. Diese Aussparungen spielen eine Rolle, die ähnlich zu der der Spantasche ist. Das heißt, durch das Schleifen erzeugter Schleifabfall wird durch die an den Schleifbearbeitungsoberflächen der Schleifsteinkörper ausgebildeten Aussparungen nach außen abgeführt. Wie gerade beschrieben wurde, können bei der Schleifscheibe gemäß dem einen Aspekt der vorliegenden Erfindung die Aussparungen, die eine Rolle, die ähnlich zu der der Spantasche ist, spielen, stabil und durchgehend ausgebildet werden, und ist es daher einfach, die Schleifleistung aufrechtzuerhalten.
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Die obigen und weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Art und Weise, diese zu verwirklichen, werden offenkundiger werden und die Erfindung selbst wird am besten verstanden werden, indem die folgende Beschreibung und die angefügten Ansprüche mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigen, studiert werden.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 ist eine perspektivische Ansicht, die schematisch die Struktur einer Schleifscheibe zeigt;
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2 ist eine perspektivische Ansicht, die schematisch die Struktur eines Schleifsteinkörpers zeigt;
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3A und 3B sind perspektivische Ansichten, die schematisch Schleifsteinelemente zeigen;
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4 ist eine Schnittdarstellung, die schematisch die Struktur der Schleifscheibe zeigt;
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5A ist eine perspektivische Ansicht, die schematisch die Struktur eines Schleifsteinkörpers gemäß einem ersten Abwandlungsbeispiel zeigt;
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5B ist eine perspektivische Ansicht, die schematisch die Struktur eines Schleifsteinkörpers gemäß einem zweiten Abwandlungsbeispiel zeigt; und
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5C ist eine perspektivische Ansicht, die schematisch die Struktur eines Schleifsteinkörpers gemäß einem dritten Abwandlungsbeispiel zeigt.
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AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
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Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben. 1 ist eine perspektivische Ansicht, die schematisch die Struktur einer Schleifscheibe zeigt. Wie in 1 gezeigt ist, beinhaltet eine Schleifscheibe 2 gemäß der vorliegenden Ausführungsform eine Basis 4, die aus Edelstahl, Aluminium oder dergleichen besteht und eine kreisförmige Scheibenform (kreisförmige Ringform) aufweist. Die Basis 4 weist eine erste Oberfläche 4a und eine zweite Oberfläche 4b auf, die parallel zueinander liegen, und eine Öffnung 4c, die von der ersten Oberfläche 4a zu der zweiten Oberfläche 4b durch die Basis 4 hindurch verläuft und eine im Wesentlichen kreisförmige Form aufweist, ist an der Mitte der Basis 4 ausgebildet. An der zweiten Oberfläche 4b der Basis 4 sind mehrere Schleifsteinkörper 6 in einer Ringanordnung angeordnet. Ferner sind an der zweiten Oberfläche 4b der Basis 4 Zuführöffnungen 4d zum Zuführen einer Schleifflüssigkeit, wie zum Beispiel aufbereitetem Wasser, zu den Schleifsteinkörpern 6 und einem Werkstück (nicht gezeigt) ausgebildet.
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Zum Beispiel kann eine Schleifbearbeitung eines Werkstücks (nicht gezeigt) durchgeführt werden, indem die Schleifscheibe 2 gedreht wird und die Schleifsteinkörper 6 gegen die zu schleifende Oberfläche des Werkstücks gedrückt werden, während die Schleifflüssigkeit von den Zuführöffnungen 4d zugeführt wird. Typische Beispiele des Werkstücks sind ein Halbleiterwafer, ein Harzsubstrat und ein Keramiksubstrat. Jedoch kann ein anderes plattenförmiges Objekt als das Werkstück verwendet werden.
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Wenn die wie oben ausgebildete Schleifscheibe 2 an einer Schleifvorrichtung (nicht gezeigt) angebracht ist, ist die Seite der ersten Oberfläche 4a der Basis 4 an einer Anbringung (nicht gezeigt) der Schleifvorrichtung befestigt.
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Das heißt, die erste Oberfläche 4a der Basis 4 dient als eine befestigte Endoberfläche, die mit der Anbringung der Schleifvorrichtung in Kontakt steht. Andererseits dient die zweite Oberfläche 4b an der gegenüberliegenden Seite als eine freie Endoberfläche, die nicht an der Schleifvorrichtung befestigt ist.
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2 ist eine perspektivische Ansicht, die schematisch die Struktur des Schleifsteinkörpers 6 zeigt. Wie in 2 gezeigt ist, ist der Schleifsteinkörper 6 in einer rechteckigen Parallelepipedform ausgebildet, indem abwechselnd plattenförmige Schleifsteinelemente 8 und 10 einander überlagert sind. Die Schleifsteinelemente 8 und 10 sind zum Beispiel durch Mischen von Schleifkörnern aus Diamant, CBN oder dergleichen in einem Bindemittel, wie zum Beispiel einem Metall, einem Keramikmaterial oder einem Harz, ausgebildet. Jedoch sind das Bindemittel und das Schleifkorn nicht beschränkt und können diese entsprechend den Eigenschaften des Schleifsteinkörpers 6 ausgewählt werden.
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3A ist eine perspektivische Ansicht, die schematisch das Schleifsteinelement 8 zeigt, und 3B ist eine perspektivische Ansicht, die schematisch das Schleifsteinelement 10 zeigt. Wie in 3A gezeigt ist, weist das Schleifsteinelement 8 ein Paar erster Oberflächen 8a, die im Wesentlichen parallel zueinander liegen, ein Paar zweiter Oberflächen 8b, die senkrecht zu den ersten Oberflächen 8a liegen, und ein Paar dritter Oberflächen 8c, die senkrecht zu den ersten Oberflächen 8a und den zweiten Oberflächen 8b liegen, auf. Ferner weist das Schleifsteinelement 10 ein Paar erster Oberflächen 10a, die im Wesentlichen parallel zueinander liegen, ein Paar zweiter Oberflächen 10b, die senkrecht zu den ersten Oberflächen 10a liegen, und ein Paar dritter Oberflächen 10c, die senkrecht zu den ersten Oberflächen 10a und den zweiten Oberflächen 10b liegen, auf, wie in 3B gezeigt ist.
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Das Schleifsteinelement 8 und das Schleifsteinelement 10 unterscheiden sich zum Beispiel hinsichtlich der Korngröße des Schleifkorns, des Mischverhältnisses des Schleifkorns, des Materials des Schleifkorns, des Materials des Bindemittels, des Härtegrads, der Porosität, etc. und weisen unterschiedliche Schleifeigenschaften auf. Diese Schleifsteinelemente 8 und 10 sind einander in einer solchen Weise überlagert, dass zum Beispiel die erste Oberfläche 8a des Schleifsteinelements 8 und die erste Oberfläche 10a des Schleifsteinelements 10 miteinander in engem Kontakt stehen, um den Schleifsteinkörper 6 mit einer rechteckigen Parallelepipedform auszubilden. Das heißt, der Schleifsteinkörper 6 gemäß der vorliegenden Ausführungsform ist in einer rechteckigen Parallelepipedform ausgebildet, indem zwei Arten von Schleifsteinelementen 8 und 10, die unterschiedliche Schleifeigenschaften aufweisen, geschichtet sind. Obwohl bei der vorliegenden Ausführungsform zwei Arten von Schleifsteinelementen 8 und 10 einander abwechselnd überlagert sind, um den Schleifsteinkörper 6 auszubilden, können drei oder mehr Arten von Schleifsteinelementen einander in einer beliebigen Reihenfolge überlagert werden. Ferner sind, obwohl bei der vorliegenden Ausführungsform insgesamt zehn Schichten der Schleifsteinelemente 8 und 10 verwendet werden, um den Schleifsteinkörper 6 auszubilden, die Anzahl, die Größe usw. der Schleifsteinelemente 8 und 10 beliebig wählbar.
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Wie in 2 gezeigt ist, liegen bei diesem Schleifsteinkörper 6 von den ersten Oberflächen 8a und 10a der Schleifsteinelemente 8 und 10 nur die ersten Oberflächen 8a und 10a frei, die an der äußersten Seite angeordnet sind. Die freiliegenden ersten Oberflächen 8a und 10a dienen als ein Paar erster Oberflächen 6a des Schleifsteinkörpers 6. Andererseits liegen die zweiten Oberflächen 8b und 10b der Schleifsteinelemente 8 und 10 alle frei und dienen diese als ein Paar zweiter Oberflächen 6b senkrecht zu den ersten Oberflächen 6a des Schleifsteinkörpers 6. Das heißt, die zweiten Oberflächen 6b des Schleifsteinkörpers 6 weisen ein streifenförmiges Muster auf, bei dem die zweiten Oberflächen 8b der Schleifsteinelemente 8 und die zweiten Oberflächen 10b der Schleifsteinelement 10 abwechselnd angeordnet sind. In ähnlicher Weise liegen auch die dritten Oberflächen 8c und 10c der Schleifsteinelemente 8 und 10 alle frei und dienen diese als dritte Oberflächen 6c senkrecht zu den ersten Oberflächen 6a und den zweiten Oberflächen 6b des Schleifsteinkörpers 6. Das heißt, die dritten Oberflächen 6c des Schleifsteinkörpers 6 weisen ein streifenförmiges Muster auf, bei dem die dritten Oberflächen 8c der Schleifsteinelemente 8 und die dritten Oberflächen 10c der Schleifsteinelemente 10 abwechselnd angeordnet sind.
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Der in dieser Weise ausgebildete Schleifsteinkörper 6 ist in einer solchen Weise an der zweiten Oberfläche (freien Endoberfläche) 4b der Basis 4 befestigt, dass die zweite Oberfläche 6b (oder die dritte Oberfläche 6c) als eine Schleifbearbeitungsoberfläche dient, die mit dem Werkstück in Kontakt kommt. 4 ist eine Schnittdarstellung, die schematisch die Struktur der Schleifscheibe 2 zeigt. Wie in 4 gezeigt ist, ist eine Seite des Paars der zweiten Oberflächen 6b des Schleifsteinkörpers 6 an der zweiten Oberfläche 4b der Basis 4 befestigt und liegt die andere Seite des Paars der zweiten Oberflächen 6b frei. Diese freiliegende zweite Oberfläche 6b dient als die Schleifbearbeitungsoberfläche, die mit dem Werkstück in Kontakt kommt. Der Schleifsteinkörper 6 ist so befestigt, dass die zweiten Oberflächen 6b im Wesentlichen parallel zu der zweiten Oberfläche 4b der Basis 4 liegen.
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Wie oben beschrieben wurde, beinhaltet die Schleifscheibe 2 gemäß der vorliegenden Ausführungsform die mehreren Schleifsteinkörper 6, die in einer rechteckigen Parallelepipedform ausgebildet sind, indem zwei Arten von plattenförmigen Schleifsteinelementen 8 und 10, welche die Schleifkörner und das Bindemittel enthalten, geschichtet sind, und dienen die zweiten Oberflächen 6b der Schleifsteinkörper 6, an denen die Schleifsteinelemente 8 und 10 nach außen hin freiliegen, als die Schleifbearbeitungsoberflächen, die mit einem Werkstück in Kontakt kommen. Deshalb wird, wenn das Werkstück durch diese Schleifscheibe 2 geschliffen wird, eine streifenförmige Aussparungs-und-Vorsprungs-Struktur (Aussparungen), die der geschichteten Struktur der Schleifsteinelemente 8 und 10 entspricht, an den Schleifbearbeitungsoberflächen der Schleifsteinkörper 6 ausgebildet. Die Aussparungen in dieser Aussparungs-und-Vorsprungs-Struktur spielen eine Rolle, die ähnlich zu der der Spantasche ist. Das heißt, durch das Schleifen erzeugter Schleifabfall wird durch die an den Schleifbearbeitungsoberflächen der Schleifsteinkörper 6 ausgebildeten Aussparungen nach außen abgeführt. Wie oben beschrieben wurde, können bei der Schleifscheibe 2 gemäß der vorliegenden Ausführungsform die Aussparungen, die eine Rolle ähnlich zu der der Spantasche spielen, stabil und durchgehend ausgebildet werden und ist es daher einfach, die Schleifleistung aufrechtzuerhalten.
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(Arbeitsbeispiel)
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In dem vorliegenden Arbeitsbeispiel wird ein spezielleres Beispiel der Schleifscheibe gemäß der oben beschriebenen Ausführungsform beschrieben. Jedoch wird die vorliegende Erfindung durch die Beschreibung des vorliegenden Arbeitsbeispiels nicht beschränkt.
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Bei dem vorliegenden Arbeitsbeispiel wurden Schleifsteinkörper ausgebildet, indem abwechselnd Schleifsteinelemente (A), die durch Mischen von 25 Volumenprozent von aus Diamant bestehenden Schleifkörnern in einem aus einem Harz bestehenden Bindemittel erhalten wurden, und Schleifsteinelemente (B), die durch Mischen von 12,5 Volumenprozent von aus Diamant bestehenden Schleifkörnern in dem aus dem Harz bestehenden Bindemittel erhalten wurden, einander überlagert wurden. Die Größe jedes Schleifsteinelements wurde auf annähernd 5 mm × 20 mm × 0,125 mm eingestellt. Ferner wurde jeder Schleifsteinkörper durch Überlagern von acht Schleifsteinelementen (A) und acht Schleifsteinelementen (B) ausgebildet (insgesamt sechzehn Schichten). Das heißt, die Größe des Schleifsteinkörpers betrug annähernd 5 mm × 20 mm × 2 mm. Das Material, die Größe, die Anzahl der geschichteten Schichten usw. der Schleifsteinelemente können entsprechend den Eigenschaften des Schleifsteinkörpers beliebig geändert werden.
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Die Gliederung eines Herstellschritts der Schleifsteinkörper wird beschrieben. Zuerst werden ein duroplastisches Harz in Pulverform und Schleifkörner gemischt und in einer Form zum Ausbilden von Schleifsteinelementen angeordnet. Anschließend wird dieses gemischte Material gepresst (Kaltbearbeitung), um bahnförmige Pulverpresskörper zu erhalten. Danach werden die ausgebildeten Pulverpresskörper einander überlagert und bei einer geeigneten Temperatur gepresst (Warmbearbeitung). Dadurch werden die Schleifsteinkörper erhalten, die jeweils aus einem gesinterten Körper bestehen, der erhalten wird, indem die mehreren Schichten (sechzehn Schichten) monolithisch ausgebildet werden.
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Die in der oben beschriebenen Weise erhaltenen mehreren Schleifsteinkörper werden durch Verwendung eines Haftmittels oder dergleichen in einer solchen Weise an einer Basis befestigt, dass Oberflächen, an denen die zwei Arten von Schleifsteinelementen des Schleifsteinkörpers nach außen hin freiliegen, als Schleifbearbeitungsoberflächen dienen, die mit einem Werkstück in Kontakt kommen. Wenn ein Siliziumwafer durch die in dieser Weise ausgebildete Schleifscheibe geschliffen wurde, wurden Aussparungen an den Schleifbearbeitungsoberflächen ausgebildet und konnte die Schleifleistung geeignet aufrechterhalten werden.
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Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Beschreibung der obigen Ausführungsform und des obigen Arbeitsbeispiels beschränkt und kann mit verschiedenen Änderungen ausgeführt werden. Zum Beispiel sind die Schleifsteinkörper in dem oben beschriebenen Arbeitsbeispiel durch Überlagern von Schleifsteinelementen (A) und Schleifsteinelementen (B) ausgebildet, die sich hinsichtlich des Mischverhältnisses (Anteils) des Schleifkorns unterscheiden. Jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht auf diese Ausführung beschränkt. Es ist auch möglich, die Schleifsteinkörper auszubilden, indem Schleifsteinelemente, die sich hinsichtlich der Korngröße des Schleifkorns unterscheiden, Schleifsteinelemente, die sich hinsichtlich des Materials des Bindemittels unterscheiden, Schleifsteinelemente, die sich hinsichtlich des Härtegrads unterscheiden, Schleifsteinelemente, die sich hinsichtlich der Porosität unterscheiden, oder dergleichen verwendet werden.
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Ferner ist bei der oben beschriebenen Ausführungsform der Schleifsteinkörper 6 mit einer rechteckigen Parallelepipedform, der eine vorgegebene geschichtete Struktur aufweist, beschrieben. Jedoch kann der Schleifsteinkörper gemäß der vorliegenden Erfindung in einer beliebigen Struktur (Form) ausgebildet sein. Es reicht aus, dass der Schleifsteinkörper gemäß der vorliegenden Erfindung in einer Blockform mit einer Oberfläche, an der zumindest zwei Arten von Schleifsteinelementen nach außen hin freiliegen, ausgebildet ist.
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5A ist eine perspektivische Ansicht, die schematisch die Struktur eines Schleifsteinkörpers gemäß einem ersten Abwandlungsbeispiel zeigt. 5B ist eine Schnittdarstellung, die schematisch die Struktur eines Schleifsteinkörpers gemäß einem zweiten Abwandlungsbeispiel zeigt. 5C ist eine Schnittdarstellung, die schematisch die Struktur eines Schleifsteinkörpers gemäß einem dritten Abwandlungsbeispiel zeigt. Wie in 5A gezeigt ist, unterscheidet sich bei einem Schleifsteinkörper 12 gemäß dem ersten Abwandlungsbeispiel die Schichtrichtung der Schichten der Schleifsteinelemente 8 und 10 von dem Schleifsteinkörper 6 gemäß der oben beschriebenen Ausführungsform. Speziell sind bei dem Schleifsteinkörper 6 gemäß der oben beschriebenen Ausführungsform die Schleifsteinelemente 8 und 10 entlang einer Richtung überlagert, die parallel zu der radialen Richtung der Basis 4 verläuft (4 usw.). Jedoch sind bei dem Schleifsteinkörper 12 gemäß dem ersten Abwandlungsbeispiel die Schleifsteinelemente 8 und 10 entlang einer Richtung überlagert, die senkrecht zu der radialen Richtung der Basis 4 verläuft. Andererseits sind bei einem Schleifsteinkörper 14 gemäß dem zweiten Abwandlungsbeispiel die Schleifsteinelemente 8 und 10 in einem geneigten Zustand überlagert, wie in 5B gezeigt ist. Speziell sind die Schleifsteinelemente 8 und 10 mit Bezug auf die erste Oberfläche 4a und die zweite Oberfläche 4b der Basis 4 geneigt. Ferner ist bei einem Schleifsteinkörper 16 gemäß dem dritten Abwandlungsbeispiel die Dicke des Schleifsteinelements 8 unterschiedlich von der Dicke des Schleifsteinelements 10, wie in 5C gezeigt ist. Speziell ist ein dünnes Schleifsteinelement 8 zwischen zwei dicken Schleifsteinelementen 10 eingefügt.
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Ferner ist bei der oben beschriebenen Ausführungsform der Schleifsteinkörper 6 beschrieben, der aus zwei unterschiedlichen Arten von Schleifsteinelementen 8 und 10 ausgebildet ist. Jedoch ist es auch möglich, einen Schleifsteinkörper durch Überlagern von vollständig gleichen Schleifsteinelementen auszubilden. In diesem Fall werden Aussparungen leicht nahe zu der Grenzfläche zwischen nebeneinander liegenden Schleifsteinelementen ausgebildet und kann die Schleifleistung geeignet aufrechterhalten werden.
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Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Einzelheiten der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform beschränkt. Der Umfang der Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert und alle Änderungen und Abwandlungen, die innerhalb der Äquivalenz des Umfangs der Ansprüche liegen, werden deshalb von der Erfindung umfasst.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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