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GEBIET DER ERFINDUNG
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Die vorliegende Offenlegung bezieht sich allgemein auf das Gebiet der Anzeigefelder-Technologie, und insbesondere bezieht sie sich auf ein Verbundsubstrat, eine flexible Anzeigevorrichtung und deren Herstellungsverfahren.
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HINTERGRUND
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Bildschirme, wie beispielsweise Dünnschichttransistor-Flüssigkristallanzeigen (TFT-LCDs), organische Leuchtdioden (OLED) -Anzeigefelder, Niedertemperatur-Polysilizium (LTPS) Bildschirme und Plasma-Display-Panels (PDP), werden in großem Umfang in einer Vielzahl von tragbaren elektronischen Geräten wie Mobiltelefonen und Personal Digital Assistants (PDAs) usw. verwendet. Der Markt ist durch den Wettbewerb geprägt und verlangt dringend nach Bildschirmen mit geringerem Gewicht, besserer Bildqualität und niedrigerem Preis.
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Momentan umfasst die Herstellung flexibler organischer Elektrolumineszenz-Anzeigevorrichtungen oft die folgenden Schritte: (1) Bildung einer Trennschicht auf einem Glassubstrat; (2) Bildung eines flexiblen Substrats (beispielsweise einer Polyimidschicht (PI)) auf der Trennschicht; (3) Herstellung einer Dünnschichttransistor-(TFT)-Treiberschaltung auf dem flexiblen Substrat; (4) Aufbringung von organischen lichtemittierenden Elementen; (5) Aufbau einer Verkapselungsschicht auf den organischen lichtemittierenden Elementen; (6) Aufbringung eines oberen Schutzfilms; (7) Ablösung des flexiblen Substrats von dem Glassubstrat; und (8) Aufbringung einer unteren Schutzfolie auf das flexible Substrat.
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Da jedoch das von dem Glassubstrat abgelöste flexible Substrat (beispielsweise eine PI-Schicht) im Wesentlichen weich ist, können bestimmte Probleme auftreten, wenn die untere Schutzfolie auf das flexible Substrat aufgebracht wird. Beispielsweise können Blasen auftreten, die TFTs und die organischen Licht emittierenden Elemente beschädigt werden, usw. und so die Produktionsausbeute der flexiblen Anzeigevorrichtungen verringern. Wenn die Trennschicht oder das Glassubstrat eine ungleichmäßige Dicke aufweist, kann die auf der Trennschicht aufgebrachte PI-Schicht ebenfalls eine ungleichmäßige Dicke aufweisen, was zu einer Bildverschlechterung der Anzeigevorrichtung führen würde.
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Darüber hinaus erfordert die Trennschicht häufig hochtemperaturbeständige Materialien und die Materialauswahl ist dabei stark begrenzt. Auf der anderen Seite weist die Trennschicht eine im Wesentlichen schwache Klebung auf, weswegen sich das flexible Substrat während der Fertigung verschieben kann, was wiederum Produktionsausbeute und Bildqualität der Anzeigevorrichtung verschlechtert. Ein gewisser Teil der Trennschicht kann auf der Anzeigevorrichtung verbleiben und die Dicke der Anzeigevorrichtung erhöhen, was der Marktnachfrage nach dünnen Anzeigevorrichtungen nicht gerecht werden würde.
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Das offenbarte Verbundsubstrat, die flexible Anzeigevorrichtung und deren Herstellungsverfahren sind darauf gerichtet, die oben genannten und andere Probleme zu lösen. Dokument
WO 02/067342 A2 offenbart eine organische optoelektronische Vorrichtungsstruktur und ein Verfahren zur Herstellung derselben. Dokument
DE 10 2013 220 045 A1 offenbart eine organische lichtemittierende Anzeigevorrichtung, welche einen Einkapselungs-Dünnschichtfilm mit verbesserter Struktur aufweist, und eine Methode zur Herstellung der organischen lichtemittierenden Anzeigevorrichtung. Dokument
DE 10 2006 027 393 A1 offenbart eine Einkapselungs-Dünnschichtstruktur für elektronische Vorrichtungen mit organischen Substanzen. Dokument
DE 10 2014 202 985 A1 offenbart ein Verfahren zur Herstellung elektronischer Komponenten auf einem transparenten Substrat. Dokument
DE 101 51 036 A1 offenbart einen Isolator für eine organische elektronische Komponente, insbesondere für einen organischen Feld-Effekt-Transistor (OFET) oder für einen organischen Kondensator. Dokument
DE 10 2014 107 264 A1 offenbart eine organische lichtemittierende Anzeigevorrichtung, welche in einem hydrophoben organischen Dünnfilm eingekapselt ist, eine Herstellungsmethode dafür und ein hydrophobes organisches Verbundmaterial.
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KURZE ZUSAMMENFASSUNG DER OFFENBARUNG
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Ein Aspekt der vorliegenden Offenbarung besteht in der Bereitstellung eines Verbundsubstrats für eine flexible Anzeigevorrichtung. Das Verbundsubstrat umfasst einen ersten organischen Film, einen zweiten organischen Film und mindestens einen anorganischen Film, der zwischen dem ersten organischen Film und dem zweiten organischen Film angeordnet ist. Das Verbundsubstrat ist so ausgelegt, dass es eine Anzeigekomponente aufnehmen und kapseln kann. Ein Aspekt der vorliegenden Anmeldung betrifft eine flexible Anzeigevorrichtung gemäß dem unabhängigen Anspruch 1. Weitere Verbesserungen und Ausführungsformen werden in den abhängigen Ansprüchen bereitgestellt.
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Die flexible Anzeigevorrichtung umfasst ein Verbundsubstrat, einen ersten organischen Film, einen zweiten organischen Film und mindestens einen anorganischen Film, der zwischen dem ersten organischen Film und dem zweiten organischen Film sandwichartig angeordnet ist, und ein Anzeigekomponente, die auf dem Verbundsubstrat angeordnet ist. Die Anzeigekomponente ist auf dem zweiten organischen Film angeordnet und das Verbundsubstrat ist so ausgelegt, dass es die Anzeigekomponente aufnehmen und die Anzeigekomponente einkapseln kann.
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Ein weiterer Aspekt der vorliegenden Offenbarung besteht in der Bereitstellung eines Herstellungsverfahrens für eine flexible Anzeigevorrichtung gemäß dem unabhängigen Anspruch 6. Das Verfahren umfasst das Bereitstellen eines ersten Substrats, das Ausbilden eines Verbundsubstrats auf dem ersten Substrat, das Ausbilden einer Anzeigekomponente auf dem Verbundsubstrat und das Ablösen des Verbundsubstrats vom ersten Substrat. Das Ausbilden eines Verbundsubstrats umfasst außerdem das Aufbringen eines ersten organischen Films auf dem ersten Substrat, das Aufbringen von mindestens einem anorganischen Film auf dem ersten organischen Film und das Aufbringen eines zweiten organischen Films auf dem ersten Substrat mit dem anorganischen Film. Die Anzeigekomponente ist auf dem zweiten organischen Film ausgebildet und das Verbundsubstrat ist so konfiguriert, dass es die Anzeigekomponente aufnehmen und kapseln kann.
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Andere Aspekte der vorliegenden Offenbarung erschließen sich dem Fachmann auf diesem Gebiet an Hand der Beschreibung, der Ansprüche und der Zeichnungen der vorliegenden Offenbarung.
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Figurenliste
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Die folgenden Zeichnungen zeigen lediglich illustrative Beispiele der möglichen Ausführungsformen und sollen den Umfang der vorliegenden Offenbarung nicht einschränken.
- 1 zeigt eine Querschnittsansicht einer beispielhaften flexiblen Anzeigevorrichtung während bestimmter Phasen des Herstellungsprozesses gemäß 4 im Einklang mit den offenbarten Ausführungsformen;
- 2 zeigt eine Querschnittsansicht eines beispielhaften Verbundsubstrats in Übereinstimmung mit den offenbarten Ausführungsformen;
- 3 zeigt eine Querschnittsansicht einer beispielhaften flexiblen Anzeigevorrichtung in Übereinstimmung mit den offenbarten Ausführungsbeispielen;
- 4 zeigt ein Flussdiagramm für den Herstellungsprozess einer beispielhaften flexiblen Anzeigevorrichtung in Übereinstimmung mit den offenbarten Ausführungsbeispielen; und
- 5 zeigt eine Querschnittsansicht eines weiteren beispielhaften Verbundsubstrats in Übereinstimmung mit den offenbarten Ausführungsformen.
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DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
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Im Folgenden wird nun auf die Details einiger beispielhafter Ausführungsformen der Erfindung eingegangen, die aus den begleitenden Zeichnungen zu ersehen sind. Nachfolgend werden Ausführungsformen im Einklang mit der Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben. Wo immer möglich, werden die gleichen Bezugszeichen in den Zeichnungen verwendet, um auf gleiche oder ähnliche Teile Bezug zu nehmen. Es ist offensichtlich, dass die beschriebenen Ausführungsformen einige, aber nicht alle Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung sind. Basierend auf den offenbarten Ausführungsformen kann jeder mit diesem Fachgebiet einigermaßen vertraute Fachmann weitere Ausführungsformen in Übereinstimmung mit der vorliegenden Offenbarung ableiten, die alle in den Schutzbereich der vorliegenden Erfindung fallen.
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Die vorliegende Offenbarung stellt ein verbessertes Verbundsubstrat bereit, welches als ein flexibles Substrat einer flexiblen Anzeigevorrichtung implementiert werden kann. Das offenbarte Verbundsubstrat kann nicht nur die Anzeigekomponente aufnehmen (beispielsweise OLEDs und TFTs), die auf dem Verbundsubstrat angeordnet sind, es verhindert auch effektiv das Eindringen von Feuchtigkeit und Sauerstoff in die Anzeigekomponente. Die Produktionsausbeute der flexiblen Anzeigevorrichtungen und die Abbildungsleistung der flexiblen Anzeigevorrichtungen können dementsprechend verbessert werden.
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5 zeigt eine Querschnittsansicht eines beispielhaften Verbundsubstrats in Übereinstimmung mit den offenbarten Ausführungsformen. Wie in 5 gezeigt, kann das Verbundsubstrat 2 einen ersten organischen Film 21, einen zweiten organischen Film 22 und mindestens einen anorganischen Film 23, der zwischen dem ersten organischen Film 21 und dem zweiten organischen Film 22 sandwichartig angeordnet ist, umfassen. In einer Ausführungsform, wie in 5 gezeigt, kann ein anorganischer Film 23 zwischen dem ersten organischen Film 21 und dem zweiten organischen Film 22 angeordnet sein.
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Anorganische Filme haben oft die gewünschte Barrierefunktion gegen Feuchtigkeit und Sauerstoff, sie sind aber im Wesentlichen starr. Organische Filme sind den anorganischen Filmen in Bezug auf die Barrierefunktion gegen Feuchtigkeit und Sauerstoff unterlegen, können aber den von anorganischen Filmen erzeugten Stress beseitigen. Somit kann der anorganische Film 23 als Sperrschicht mit der gewünschten Barrierefunktion gegen Feuchtigkeit und Sauerstoff fungieren. Der erste organische Film 21, der zweite organische Film 22 und mindestens ein anorganischer Film 23 gewährleisten die erwünschte Barrierefunktion gegen Feuchtigkeit und Sauerstoff in dem Verbundsubstrat 2 und minimieren gleichzeitig die Belastung des Verbundsubstrats 2.
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Wenn das Verbundsubstrat 2 als flexibles Substrat in der flexiblen Anzeigevorrichtung implementiert ist, kann eine Anzeigekomponente (beispielsweise OLEDs und TFTs) auf dem Verbundsubstrat 2 angeordnet sein. Die Anzeigekomponente erfordert häufig einen Schutz gegen das Eindringen von Feuchtigkeit und Sauerstoff in die elektronische Vorrichtung, da sonst die Leistung, Stabilität und Haltbarkeit der Anzeigekomponente beeinträchtigt werden könnten. Das Verbundsubstrat 2 kann nicht nur die Anzeigekomponente aufnehmen, sondern auch das Eindringen von Feuchtigkeit und Sauerstoff in die Anzeigekomponente effektiv verhindern. Das heißt, das Verbundsubstrat 2 kann als ein Substrat oder als ein Träger für die Anzeigekomponente fungieren, die auf ihr angeordnet ist, und gleichzeitig die Anzeigekomponente in effektiver Weise einkapseln.
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Die Anzahl der Schichten anorganischer Filme 23 auf dem Verbundsubstrat 2 kann mit bestimmten Algorithmen berechnet werden. Die Dicke des ersten organischen Films 21, des zweiten organischen Films 22 und des anorganischen Films 23 kann auch mit bestimmten Algorithmen bestimmt werden. Die vorbestimmten Algorithmen können auf die verschiedenen Anforderungen des Verbundsubstrats 2 hin ausgelegt werden, wie beispielsweise die Barriereeigenschaften gegen Feuchtigkeit und Sauerstoff, Flexibilität und Lichtdurchlässigkeit usw.
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In einer Ausführungsform kann die Dicke des ersten organischen Films 21 und des zweiten organischen Films 22 etwa 10 µm - 20 µm betragen, und die Dicke des anorganischen Films 23 kann etwa 50 nm-500 nm betragen. Die Gesamtdicke des Verbundsubstrats 2 kann in etwa kleiner oder gleich 50 µm sein. Das Material des ersten organischen Films 21 und des zweiten organischen Films 22 kann Polyimid (PI) sein. Weil das PI oft die gewünschte Hitzebeständigkeit aufweist, kann das Verbundsubstrat 2, bei der Herstellung der TFT auf dem Verbundsubstrat 2 im folgenden Prozess, den bei der Herstellung der TFTs erforderlichen hohen Temperaturen widerstehen. Die Materialien des anorganischen Films 23 können mindestens eines der folgenden Materialien sein: Siliziumoxid, Siliziumnitrid, Aluminium, Titan, Molybdän und Aluminiumoxid. Die Materialien sollen sicherstellen, dass das Verbundsubstrat 2 die gewünschte Wärmeleitfähigkeit besitzt.
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Vor allem, wenn einerseits die Gesamtdicke des Verbundsubstrats 2 weniger als oder gleich circa 50 µm beträgt, kann das Verbundsubstrat 2 im Wesentlichen dünn sein, und der Marktnachfrage nach dünnen Anzeigevorrichtungen gerecht werden. Auf der anderen Seite kann das Verbundsubstrat 2 eine gewünschte Wärmebeständigkeit, eine effiziente Wärmeübertragungsfähigkeit und die gewünschte Barrierefunktion gegen Feuchtigkeit und Sauerstoff aufweisen, und auf diese Weise die Anzeigekomponente gegen die im anschließenden Fertigungsprozess generierte Wärme (beispielsweise TFT-Herstellung, Laser-Schneiden) und das Eindringen von Feuchtigkeit und Sauerstoff in der Umgebung schützen.
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Weil das Verbundsubstrat 2 selbst gegen das Eindringen von Feuchtigkeit und Sauerstoff in die Anzeigekomponente wirksam schützt, wird eine weitere Schutzschicht (zum Beispiel die untere Schutzschicht bei herkömmlichen flexiblen Anzeigen) auf der Oberfläche des Verbundsubstrats 2 neben der Anzeigekomponente nicht mehr benötigt. Die technischen Probleme der unteren Schutzschicht auf dem Verbundsubstrat 2, wie Blasen, Beschädigung der TFTs und organischen lichtemittierenden Elemente lassen sich so beseitigen. Wenn das offenbarte Verbundsubstrat als flexibles Substrat in der flexiblen Anzeigevorrichtung implementiert wird, kann die Produktionsausbeute der flexiblen Anzeigevorrichtungen verbessert, und die Abbildungsleistung der flexiblen Anzeigevorrichtungen dementsprechend verbessert werden.
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In einer Ausführungsform kann das Verbundsubstrat auch mindestens einen dritten organischen Film umfassen, der zwischen dem ersten organischen Film und dem zweiten organischen Film angeordnet wird. 2 zeigt eine Querschnittsansicht eines weiteren beispielhaften Verbundsubstrats in Übereinstimmung mit den offenbarten Ausführungsformen. Auf die Ähnlichkeiten zwischen 5 und 2 wird hier nicht nochmals eingegangen, während gewisse Unterschiede dargestellt werden.
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Wie in 2 gezeigt, kann das Verbundsubstrat 2 einen ersten organischen Film 21, einen zweiten organischen Film 22, mindestens einen dritten organischen Film 24 und mindestens einen anorganischen Film 23 enthalten, welcher zwischen dem ersten organischen Film 21 und dem zweiten organischen Film 22 sandwichartig angeordnet ist. Der dritte organische Film 24 und der anorganische Film 23 können abwechselnd angeordnet sein. In einer Ausführungsform kann, wie in 2 gezeigt, das Verbundsubstrat 2 einen dritten organischen Film 24 und einen anorganischen Film 23, der zwischen dem ersten organischen Film 21 und dem zweiten organischen Film 22 sandwichartig angeordnet ist, umfassen.
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Anorganische Filme haben oft die gewünschte Barrierefunktion gegen Feuchtigkeit und Sauerstoff, sie sind aber im Wesentlichen starr. Organische Filme sind den anorganischen Filme in Bezug auf die Barrierefunktion gegen Feuchtigkeit und Sauerstoff unterlegen, können aber den von den anorganischen Filmen erzeugten Stress beseitigen. Somit können die abwechselnd angeordneten dritten organischen Filme 24 und die anorganischen Filme 23 des Verbundsubstrats 2 die erwünschte Barrierefunktion gegen Feuchtigkeit und Sauerstoff in dem Verbundsubstrat 2 gewährleisten und gleichzeitig die Belastung des Verbundsubstrats 2 minimieren. Dementsprechend ist die auf dem Verbundsubstrat 2 angeordnete Anzeigekomponente (beispielsweise OLEDs und TFTs) besser gegen Feuchtigkeit, Sauerstoff, Stress usw. geschützt.
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In einer Ausführungsform kann der anorganische Film 23 im Bereich des Verbundsubstrats 2 weiter weg von der Anzeigekomponente als der dritte organische Film 24 angeordnet sein. Das Eindringen von Feuchtigkeit und Sauerstoff in die Anzeigevorrichtung erfolgt höchstwahrscheinlich aus dem Bereich des Verbundsubstrats 2 weit entfernt von der Anzeigekomponente und der anorganische Film 23 kann mittels der gewünschten Barrierefunktion gegen Feuchtigkeit und Sauerstoff einen effektiveren Schutz der Anzeigekomponente gegen Feuchtigkeit und Sauerstoff gewährleisten.
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Die Zahl der Schichten der dritten organischen Filme 24 und der anorganischen Filme 23 in dem Verbundsubstrat 2 kann durch vorbestimmte Algorithmen bestimmt werden. Die Dicke des ersten organischen Films 21, des zweiten organischen Films 22, des dritten organischen Films 24 und des anorganischen Films 23 kann auch durch vorbestimmte Algorithmen bestimmt werden. Die vorbestimmten Algorithmen können auf die verschiedenen Anforderungen des Verbundsubstrats 2 hin ausgelegt werden, wie beispielsweise die Barrierefunktion gegen Feuchtigkeit und Sauerstoff, Flexibilität und Lichtdurchlässigkeit usw.
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In einer Ausführungsform kann die Dicke des ersten organischen Films 21, des zweiten organischen Films 22 und des dritten organischen Film 24 etwa 10 µm -20 µm und die Dicke des anorganischen Films 23 etwa 50 nm-500 nm betragen. Die Gesamtdicke des Verbundsubstrats 2 kann in kleiner als oder gleich circa 50 µm sein. Das Material des ersten organischen Films 21, des zweiten organischen Films 22 und des dritten organischen Films 24 kann Polyimid (PI) mit der gewünschten Wärmebeständigkeit sein. Die Materialien des anorganischen Films 23 können mindestens eines der folgenden Materialien sein: Siliziumoxid, Siliziumnitrid, Aluminium, Titan, Molybdän und Aluminiumoxid. Die Materialien sollen sicherstellen, dass das Verbundsubstrat 2 die gewünschte Wärmeleitfähigkeit besitzt.
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Vor allem, wenn die Gesamtdicke des Verbundsubstrats 2 weniger als oder gleich circa 50 µm beträgt, kann das Verbundsubstrat 2 einerseits im Wesentlichen dünn sein, und der Marktnachfrage nach dünnen Anzeigevorrichtungen gerecht werden. Auf der anderen Seite kann das Verbundsubstrat 2 eine gewünschte Wärmebeständigkeit, eine effiziente Wärmeübertragungsfähigkeit und die gewünschte Barrierefunktion gegen Feuchtigkeit und Sauerstoff aufweisen, und auf diese Weise die Anzeigekomponente gegen die im anschließenden Fertigungsprozess generierte Wärme (beispielsweise TFT Herstellung, Laser-Schneiden) und das Eindringen von Feuchtigkeit und Sauerstoff aus der Umgebung schützen.
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Die vorliegende Offenbarung stellt auch eine verbesserte flexible Anzeigevorrichtung bereit. 3 zeigt eine Querschnittsansicht einer beispielhaften flexiblen Anzeigevorrichtung in Übereinstimmung mit den offenbarten Ausführungsformen. Die flexible Anzeigevorrichtung kann eine beliebige der offenbarten Verbundsubstrate umfassen. Zum Beispiel kann die flexible Anzeigeeinrichtung ein Smartphone, ein Tablet, ein tragbares Gerät, usw. sein, welches in der Lage ist, Bilder und/oder Videos wiederzugeben. Ferner kann die flexible Anzeigevorrichtung jede flexible elektronische Vorrichtung oder eine elektronische Komponente sein, die in der Lage ist, Bilder und/oder Videos anzuzeigen, und eine beliebige der offenbarten Verbundsubstrate umfasst.
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Wie in 3 gezeigt, kann die flexible Anzeigevorrichtung ein Verbundsubstrat 2, eine Anzeigekomponente mit einem Treiber-Element 3 und einem Anzeigeelement 4, eine Verkapselungsschicht 5 und eine Schutzschicht 6 umfassen. Der detaillierte Aufbau des Verbundsubstrats 2 ist 5 und 2 zu entnehmen und wird hier nicht nochmals beschrieben. Die Anzeigekomponente einschließlich Treiber-Element 3 und Anzeigeelement 4 kann auf dem Verbundsubstrat 2 angeordnet sein. Das Treiber-Element 3 kann das Anzeigeelement 4 ansteuern und Bilder und / oder Videos zur Anzeige bringen.
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In einer Ausführungsform kann das Treiber-Element 3 eine Mehrzahl von Dünnschichttransistoren (TFTs) ansteuern und das Anzeigeelement 4 kann eine Mehrzahl von organischen Leuchtdioden (OLEDs) umfassen. In einer anderen Ausführungsform kann das Anzeigeelement 4 eine Vielzahl von Leuchtdioden, Quantenpunkten, Niedertemperatur-Polysilizium oder andere Anzeigeelemente enthalten, die in der Lage sind, Bilder und / oder Videos anzuzeigen, und das Treiber-Element 3 kann TFTs oder andere Treiberelemente umfassen, die in der Lage sind, die entsprechenden Anzeigeelemente 4 anzusteuern. Beispielsweise kann die Anzeigekomponente aus Aktivmatrix-OLED, aus Passivmatrix-OLED usw. aufgebaut sein.
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Die Verkapselungsschicht 5 kann auf dem Anzeigeelement 4 angeordnet werden, welche die Anzeigekomponente abdichtet und verhindert, dass Feuchtigkeit und Sauerstoff in die Anzeigekomponente eindringen. Die Schutzschicht 6 kann auf der Verkapselungsschicht 5 angeordnet sein, welche dazu dient, die Verkapselungsschicht zu schützen. In einer Ausführungsform kann die Verkapselungsschicht 5 eine Dünnfilmverkapselung (TFE) sein.
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Weil das Verbundsubstrat 2 selbst wirksam gegen das Eindringen von Feuchtigkeit und Sauerstoff in die Anzeigekomponente schützt (d.h. Verkapselung der Anzeigekomponente), wird eine weitere Schutzschicht (zum Beispiel die untere Schutzschicht bei herkömmlichen flexiblen Anzeigen) auf der Oberfläche des Verbundsubstrats 2 neben der Anzeigekomponente nicht mehr benötigt. Die technischen Probleme der unteren Schutzschicht auf dem Verbundsubstrat 2, wie Blasen, Beschädigung der TFTs und organischen lichtemittierenden Elemente lassen sich beseitigen. Die Produktionsausbeute der flexiblen Anzeigevorrichtungen und die Abbildungsleistung der flexiblen Anzeigevorrichtungen können dementsprechend verbessert werden.
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4 zeigt ein Flussdiagramm für den Herstellungsprozess einer beispielhaften flexiblen Anzeigevorrichtung in Übereinstimmung mit den offenbarten Ausführungsbeispielen. 1 zeigt eine Querschnittsansicht einer beispielhaften flexiblen Anzeigevorrichtung während bestimmter Phasen des Herstellungsprozesses gemäß 4 im Einklang mit den offenbarten Ausführungsformen. Der Herstellungsprozess der flexiblen Anzeigevorrichtungen ist den beigefügten 1 und 4 zu entnehmen.
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Wie in 4 gezeigt, wird zunächst das erste Substrat bereitgestellt und dann ein erster organischer Film auf das erste Substrat (S401) aufgebracht. 1 zeigt eine Querschnittsansicht eines entsprechenden Aufbaus. Wie in 1 gezeigt, kann das erste Substrat 1 ein Glassubstrat oder ein anderes starres Substrat sein, und der erste organische Film 21 ist auf dem ersten Substrat ausgebildet. Insbesondere kann ein erster Film auf dem ersten Substrat aufgetragen und dann, um den ersten organischen Film zu erhalten, gebacken werden. Die Backtemperatur kann höher oder gleich etwa 400 °C sein, und die Backzeit kann weniger oder gleich etwa 6 Stunden betragen.
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Zurück zu 4; nachdem der erste organische Film auf dem ersten Substrat ausgebildet ist, wird mindestens ein anorganischer Film auf dem ersten organischen Film (S402) ausgebildet. 1 zeigt die Querschnittsansicht eines entsprechenden Aufbaus.
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Wie in 1 gezeigt, kann der anorganische Film 23 auf dem ersten organischen Film 21 gebildet werden. Der anorganische Film 23 kann zum Beispiel durch plasmaverstärkte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD), physikalische Gasabscheidung (PVD), Atomlagenabscheidung (ALD), Sol-Gel-Verfahren usw. ausgebildet werden. In einer Ausführungsform, wie in 1 gezeigt, kann ein anorganischer Film 23 auf dem ersten organischen Film 21 gebildet werden.
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Zurück zu 4; nachdem der anorganische Film auf dem ersten organischen Film ausgebildet ist, wird ein zweiter organischer Film auf dem ersten Substrat ausgebildet, der mit dem anorganischen Film (S403) angeordnet ist. 1 zeigt eine Querschnittsansicht eines entsprechenden Aufbaus.
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Wie in 1 gezeigt, kann der zweite organische Film 22 auf dem anorganischen Film 23 gebildet werden. Insbesondere kann ein erster Film auf das erste Substrat mit dem anorganischen Film angeordnet und aufgetragen und dann gebacken werden, um den zweiten organischen Film zu erhalten. Die Backtemperatur kann höher oder gleich etwa 400 °C sein, und die Backzeit kann weniger oder gleich etwa 6 Stunden betragen. Der erste organische Films 21, der zweite organische Film 22 und der anorganische Film 23 können das Verbundsubstrat 2 umfassen.
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Zurück zu 4; nachdem der zweite organische Film auf dem ersten Substrat mit dem anorganischen Film ausgebildet ist, wird eine Anzeigekomponente auf dem zweiten organischen Film (S404) ausgebildet. 1 zeigt die Querschnittsansicht eines entsprechenden Aufbaus.
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Wie in 1 gezeigt, kann die Anzeigekomponente, die ein Treiber-Element 3 und ein Anzeigeelement 4 umfasst, auf dem zweiten organischen Film 22 angeordnet sein. Das Treiberelement 3 kann das Anzeigeelement 4 ansteuern, um Bilder und/oder Videos anzuzeigen.
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Zurück zu 4; nachdem die Anzeigekomponente auf dem zweiten organischen Film ausgebildet ist, wird das Verbundsubstrat vom ersten Substrat (S405) abgelöst. 1 zeigt eine Querschnittsansicht eines entsprechenden Aufbaus. Wie in 1 gezeigt, kann das erste Substrat und das Verbundsubstrat 2, etwa mittels Laserschneidens, voneinander getrennt oder abgelöst werden.
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In den offenbarten Ausführungsformen kann vor der Ablösung des Verbundsubstrats vom ersten Substrat (S405) eine Einkapselungsschicht auf der Anzeigekomponente ausgebildet und eine Schutzschicht über die Verkapselungsschicht gelegt werden. 1 zeigt eine Querschnittsansicht eines entsprechenden Aufbaus.
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Wie in 1 gezeigt, kann die Einkapselungsschicht 5 auf dem Anzeigeelement 4 und die Schutzschicht 6 auf der Verkapselungsschicht 5 ausgebildet sein. Die Einkapselung Schicht 5 kann eine Dünnfilmverkapselung (TFE) sein, die die Anzeigekomponente abdichtet und verhindert, dass Feuchtigkeit und Sauerstoff in die Anzeigekomponente eindringen, da sonst das Eindringen in die Anzeigekomponente von Feuchtigkeit und Sauerstoff die Bildqualität der Anzeigekomponente verschlechtern könnte. Die Schutzschicht 6 kann die Verkapselungsschicht 5 schützen.
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In einer anderen Ausführungsform kann vor dem Ausbilden des zweiten organischen Films auf dem ersten Substrat mit dem anorganischen Film (S403) mindestens ein dritter organischer Film auf dem anorganischen Film ausgebildet sein. Die entsprechende Struktur des dritten organischen Films ist aus 2 zu ersehen.
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Wie in 2 gezeigt, können der dritte organische Film 24 und der anorganische Film 23 alternierend und zwischen dem ersten organischen Film 21 und dem zweiten organischen Film 22 sandwichartig angeordnet sein. Im Wechsel angeordnet, können der dritte organische Film 24 und der anorganische Film 23 in dem Verbundsubstrat 2 die gewünschte Barrierefunktion gegen Feuchtigkeit und Sauerstoff bereitstellen und gleichzeitig die Belastung des Verbundsubstrats 2 minimieren. Dementsprechend ist die Anzeigekomponente einschließlich des Treiberelements 3 und dem Anzeigeelement 4 besser gegen Feuchtigkeit, Sauerstoff, Stress usw. geschützt.
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In den offenbarten Ausführungsformen, unter Bezugnahme auf 1, kann die untere Schutzschicht, nachdem das Verbundsubstrat 2 vom ersten Substrat 1 abgelöst ist, nicht mehr mit der Oberfläche des Verbundsubstrats entfernt von der Anzeigekomponente verbunden bleiben, weil das Verbundsubstrat 2 selbst in der Lage sein kann, das Eindringen von Feuchtigkeit und Sauerstoff in die Anzeigekomponente effektiv zu verhindern. Somit sind die technischen Probleme, die mit einem Anbringen der unteren Schutzschicht auf dem Verbundsubstrat 2 verbunden sind, wie etwa Blasen, Schäden an den TFTs und organischen lichtemittierenden Elementen, gelöst, und die Produktionsausbeute der flexiblen Anzeigevorrichtungen kann dementsprechend verbessert werden.
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Da ferner die Trennschicht nicht mehr zwischen dem ersten Substrat 1 und dem Verbundsubstrat 2 vorhanden ist, kann die Ungleichförmigkeit der PI-Schicht (d.h. die Ungleichförmigkeit des ersten organischen Films des Verbundsubstrats), die auf die Ungleichförmigkeit der Trennschicht und / oder des Glassubstrats zurückzuführen ist, vermieden werden. Dementsprechend kann die Produktionsausbeute der flexiblen Anzeigevorrichtungen und die Abbildungsleistung der flexiblen Anzeigevorrichtungen verbessert werden.
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Die Beschreibung der offenbarten Ausführungsbeispiele und Erläuterung der vorliegenden Erfindung wendet sich an mit dieser Technik vertraute Fachleute. Verschiedene Modifikationen dieser Ausführungsbeispiele sind für den Fachmann leicht ersichtlich und die hier definierten grundlegenden Prinzipien können sinngemäß auch auf andere Ausführungsformen angewendet werden, ohne von Geist oder Umfang dieser Erfindung abzuweichen. Somit ist die vorliegende Erfindung nicht auf die hierin gezeigten Ausführungsbeispiele beschränkt; ihr Umfang ist vielmehr soweit auszudehnen, wie dies mit den hier offenbarten Grundsätzen und neuen Merkmalen vereinbar ist.
