DE102016111963A1 - Method for evaluating a digital measurement signal of an eddy current test arrangement - Google Patents

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Abstract

Vorgeschlagen wird ein Verfahren zum Auswerten eines digitalen Messsignals einer Wirbelstromprüfanordnung. Das digitale Messsignal weist dabei eine Mehrzahl an Abtastwerten auf, wobei das digitale Messsignal auf einem analogen Messsignal einer Messspule der Wirbelstromprüfanordnung basiert. Das Verfahren beinhaltet ein Anpassen einer Sinuskurve an die Mehrzahl an Abtastwerten des digitalen Messsignals sowie ein Bestimmen einer Amplitude und einer Phase der Sinuskurve als Amplitude und Phase des digitalen Messsignals.Proposed is a method for evaluating a digital measurement signal of an eddy current test arrangement. The digital measurement signal has a plurality of samples, wherein the digital measurement signal is based on an analog measurement signal of a measurement coil of the eddy current test arrangement. The method includes fitting a sinusoid to the plurality of samples of the digital measurement signal, and determining an amplitude and a phase of the sinusoid as the amplitude and phase of the digital measurement signal.

Description

Technisches GebietTechnical area

Ausführungsbeispiele befassen sich mit der Auswertung von Messsignalen einer Wirbelstromprüfanordnung. Insbesondere befassen sich Ausführungsbeispiele mit einem Verfahren zum Auswerten eines digitalen Messsignals einer Wirbelstromprüfanordnung sowie Verfahren zum Bestimmen einer Impedanz einer Erregerspule einer Wirbelstromprüfanordnung.Embodiments deal with the evaluation of measurement signals of a Wirbelstromprüfanordnung. In particular, embodiments are concerned with a method for evaluating a digital measurement signal of an eddy current test arrangement and methods for determining an impedance of an exciter coil of an eddy current test arrangement.

Hintergrundbackground

Die Wirbelstromprüfung ist ein Verfahren zur zerstörungsfreien Werkstoffprüfung. Dabei wird der Einfluss eines Materials auf ein magnetisches Wechselfeld einer Spule durch Bestimmung von Real- und Imaginärteil des veränderten Magnetfeldes ermittelt. Die Wirbelstromprüfung ist daher ein geeignetes Verfahren zum Nachweis eines Fehlers in einer Probe (z.B. Risse, Poren oder Einschlüsse) oder zur Bestimmung eines Werkstoffparameters einer Probe (z.B. elektrische Leitfähigkeit, magnetische Permeabilität oder Schichtdicke).The eddy current test is a procedure for nondestructive material testing. In this case, the influence of a material on a magnetic alternating field of a coil is determined by determining the real and imaginary part of the changed magnetic field. Eddy current testing is therefore a suitable method of detecting a defect in a sample (e.g., cracks, pores or inclusions) or determining a material parameter of a sample (e.g., electrical conductivity, magnetic permeability, or film thickness).

Ein beispielhafter Aufbau einer Wirbelstromprüfanordnung 100 mit (teilweiser) analoger Signalauswertung ist in 1 gezeigt. Ein Erregungssignal wird von einer Erregungsquelle 110 (z.B. numerisch gesteuerter Oszillator, NCO) erzeugt und über einen Spulentreiber 120 sowie einen Vorwiderstand 130 auf eine Erregerspule 140 gegeben. In der Erregerspule 140 wird ein magnetisches Wechselfeld erzeugt, welches in einem Testkörper 101 elektrische Wirbelströme induziert. Die im Testkörper 101 induzierten elektrischen Wirbelströme erzeugen wiederum ein Magnetfeld, dass dem durch die Erregerspule 140 erzeugten Magnetfeld entgegenwirkt. Dieses Magnetfeld überlagert sich mit dem durch die Erregerspule 140 erzeugten Magnetfeld. Die durch die Flussänderung des resultierenden Magnetfelds induzierte Spannung wird über die Messspule 150 der Wirbelstromprüfanordnung 100 gemessen und über einen Vorverstärker 160 an zwei Multiplizierer (Mischer) 170-1, 170-2 ausgegeben.An exemplary construction of an eddy current test arrangement 100 with (partial) analog signal evaluation is in 1 shown. An excitation signal is from an excitation source 110 (eg numerically controlled oscillator, NCO) generated and a coil driver 120 and a resistor 130 on an excitation coil 140 given. In the exciter coil 140 an alternating magnetic field is generated, which is in a test body 101 induced electrical eddy currents. The in the test body 101 In turn, induced electrical eddy currents generate a magnetic field that passes through the exciter coil 140 counteracts generated magnetic field. This magnetic field is superimposed with that through the exciter coil 140 generated magnetic field. The voltage induced by the flux change of the resulting magnetic field is transmitted through the measuring coil 150 the eddy current test arrangement 100 measured and via a preamplifier 160 to two multipliers (mixers) 170-1 . 170-2 output.

An einem weiteren Eingang des Multiplizierer 170-1 wird zudem das Erregungssignal der Erregungsquelle 110 empfangen, um das von der Messspule 150 gemessene Spannungssignal mit diesem zu multiplizieren. An einem weiteren Eingang des Multiplizierer 170-2 wird zudem das um 90° phasenverschobene Erregungssignal der Erregungsquelle 110 empfangen, um das von der Messspule 150 gemessene Spannungssignal mit diesem zu multiplizieren. Die resultierenden Signale werden jeweils durch ein Filter 180-1 bzw. 180-2 gefiltert und mittels eines jeweiligen Analog-Digital-Wandlers (Analog-to-Digital Converter, ADC) 190-1 bzw. 190-2 digitalisiert. Durch die Multiplikation mit dem Erregungssignal ergibt sich somit der Realteil des Spannungssignals, wohingegen die Multiplikation mit dem 90° phasenverschobenen Erregungssignal den Imaginärteil des Spannungssignals liefert. Daraus kann nun die Impedanz (Real- und Imaginärteil) der Erregerspule 140 bestimmt werden, welche Rückschlüsse über die im Testkörper 101 induzierten Wirbelströme ermöglicht.At another input of the multiplier 170-1 also becomes the excitation signal of the excitation source 110 receive that from the measuring coil 150 Measured voltage signal to multiply with this. At another input of the multiplier 170-2 is also the phase-shifted by 90 ° excitation signal of the excitation source 110 receive that from the measuring coil 150 Measured voltage signal to multiply with this. The resulting signals are each filtered 180-1 respectively. 180-2 filtered and by means of a respective analog-to-digital converter (ADC) 190-1 respectively. 190-2 digitized. The multiplication by the excitation signal thus results in the real part of the voltage signal, whereas the multiplication by the 90 ° phase-shifted excitation signal supplies the imaginary part of the voltage signal. From this, the impedance (real and imaginary part) of the exciter coil can now be determined 140 be determined, which conclusions about those in the test body 101 induced eddy currents.

Jedoch ist dieser Ansatz relativ ungenau, da das Messergebnis durch eine Vielzahl an Fehlerquellen verfälscht werden kann. So werden Real- und Imaginärteil in zwei getrennten Messkanälen bestimmt, welche aufgrund von Fertigungstoleranzen der einzelnen Komponenten (z.B. Filter, ADC) nicht völlig identisch in ihrem Messverhalten sind. Weitere Fehlerbeiträge ergeben sich durch Phasenunterschiede zwischen dem Erregungssignal und dem 90° phasenverschobenen Erregungssignal. Auch ist die Genauigkeit der Signalmultiplikation in analoger Schaltungstechnik begrenzt. Auch begrenzen die den ADCs nachgeschalteten Filter aufgrund ihrer Einschwingzeit die Messfolgefrequenz des digitalen Signals und verursachen zusätzliche Offsetfehler.However, this approach is relatively inaccurate because the measurement result can be falsified by a variety of sources of error. Thus, real and imaginary parts are determined in two separate measurement channels, which are not completely identical in their measurement behavior due to manufacturing tolerances of the individual components (for example, filters, ADC). Further error contributions result from phase differences between the excitation signal and the 90 ° phase-shifted excitation signal. Also, the accuracy of the signal multiplication in analog circuit technology is limited. Also, the filters downstream of the ADCs limit the measurement repetition rate of the digital signal due to their settling time and cause additional offset errors.

Um die Nachteile der analogen Schaltungstechnik zu überwinden, kann die induzierte Spannung auch aus einem unmittelbar digitalisierten Messsignal einer Messspule einer Wirbelstromprüfanordnung berechnet werden. Ein beispielhafter Aufbau eines Wirbelstromgeräts 200 mit digitaler Signalauswertung ist in 2 gezeigt. Wiederum wird ein Erregungssignal (z.B. sinusförmig) von einer Erregungsquelle 210 erzeugt und über einen Spulentreiber 220 sowie einen Vorwiderstand 230 auf eine Erregerspule 240 gegeben. Die durch die im Testkörper 101 induzierten elektrischen Wirbelströme verursachte Änderung des resultierenden Magnetfelds wird über eine Messspule 250 der Wirbelstromprüfanordnung 200 gemessen. Die Messspule 250 gibt ein analoges Messsignal 251 aus, welches durch einen Vorverstärker 260 verstärkt wird. Das verstärkte, analoge Messsignal 252 wird an einen ADC 270 ausgegeben, der daraus ein digitales Messsignal 271 mit einer Mehrzahl an Abtastwerten bereitstellt. In order to overcome the disadvantages of analog circuit technology, the induced voltage can also be calculated from an immediately digitized measurement signal of a measurement coil of an eddy current test arrangement. An exemplary construction of an eddy current device 200 with digital signal evaluation is in 2 shown. Again, an excitation signal (eg, sinusoidal) from an excitation source 210 generated and via a coil driver 220 and a resistor 230 on an excitation coil 240 given. The by in the test body 101 Induced electrical eddy currents caused change in the resulting magnetic field is via a measuring coil 250 the eddy current test arrangement 200 measured. The measuring coil 250 gives an analogue measurement signal 251 out, which by a preamp 260 is reinforced. The amplified, analog measuring signal 252 gets to an ADC 270 output, the resulting digital measurement signal 271 with a plurality of samples.

Die Form des digitalen Messsignals 271 entspricht dabei im Wesentlichen der Form des Erregungssignals, d.h. bei z.B. einem sinusförmigen Erregungssignal ist auch das digitale Messsignal 271 im Wesentlichen sinusförmig.The shape of the digital measurement signal 271 In this case, it essentially corresponds to the shape of the excitation signal, ie in the case of, for example, a sinusoidal excitation signal, the digital measurement signal is also present 271 essentially sinusoidal.

Aus dem digitalen Messsignal 271 werden im Weiteren Amplitude und Phase des digitalen Messsignals 271 bestimmt. Aus der Amplitude und der Phase des digitalen Messsignals 271 können dessen Real- und Imaginärteil bestimmt werden, da diese folgenden Beziehungen genügen: URe = A·cosφ (1) UIm = A·sinφ (2), wobei URe den Realteil des Messsignals, und UIm den Imaginärteil des Messignals bezeichnet.From the digital measurement signal 271 In addition, the amplitude and phase of the digital measurement signal are determined 271 certainly. From the amplitude and phase of the digital measurement signal 271 can be determined its real and imaginary part, since these are the following relationships: U Re = A · cosφ (1) U Im = A · sin φ (2), where U Re is the real part of the measurement signal, and U Im is the imaginary part of the measurement signal.

Um Real- und Imaginärteil des Messsignals möglichst exakt zu bestimmen, müssen Amplitude und Phase des digitalen Messsignals mit möglichst hoher Linearität und Genauigkeit bestimmt werden. Es besteht daher ein Bedürfnis, eine verbesserte Signalauswertung für die Wirbelstromprüfung von Proben zu ermöglichen.To determine the real and imaginary part of the measurement signal as accurately as possible, the amplitude and phase of the digital measurement signal must be determined with the highest possible linearity and accuracy. There is therefore a need to enable an improved signal evaluation for the eddy current testing of samples.

ZusammenfassungSummary

Ausführungsbeispiele eines Verfahrens zum Auswerten eines digitalen Messsignals einer Wirbelstromprüfanordnung ermöglichen dies. Das digitale Messsignal weist dabei eine Mehrzahl an Abtastwerten auf, wobei das digitale Messsignal auf einem analogen Messsignal einer Messspule der Wirbelstromprüfanordnung basiert. Das Verfahren umfasst ein Anpassen einer Sinuskurve an die Mehrzahl an Abtastwerten des digitalen Messsignals sowie ein Bestimmen einer Amplitude und einer Phase der Sinuskurve als Amplitude und Phase des digitalen Messsignals. Da eine Mehrzahl an Abtastwerten genutzt wird, können Schwankungen der Abtastwerte (z.B. in Folge von Rauschen oder Störungen) stark reduziert und die Amplitude der Sinuskurve mit großer Genauigkeit berechnet werden.Embodiments of a method for evaluating a digital measurement signal of an eddy current test arrangement make this possible. The digital measurement signal has a plurality of samples, wherein the digital measurement signal is based on an analog measurement signal of a measurement coil of the eddy current test arrangement. The method includes fitting a sinusoid to the plurality of samples of the digital measurement signal, and determining an amplitude and a phase of the sinusoid as the amplitude and phase of the digital measurement signal. Since a plurality of samples are utilized, variations in the samples (e.g., due to noise or noise) can be greatly reduced and the amplitude of the sinusoid calculated with great accuracy.

Beim Anpassen der Sinuskurve an die Abtastwerte erfolgt zudem eine Mittelwertbildung über alle Abtastwerte bezogen auf eine ideale Sinuskurve. Dies hat zur Folge, dass die angepasste Sinuskurve eine höhere Auflösung und Genauigkeit als die digitalen Abtastwerte selbst haben. Entsprechend können Amplitude und Phase der Sinuskurve aufgrund ihrer hohen Genauigkeit als Amplitude und Phase des digitalen Messsignals verwendet werden. Da gleichzeitig Störungen und Rauschen gemindert werden, kann gegenüber analogen Verfahren eine höhere Genauigkeit und Reproduzierbarkeit erreicht werden. Für die Bestimmung von Amplitude und Phase reicht bereits ein kleiner Abschnitt des Messsignals (d.h. einige Perioden) aus, so dass auch die Messfolgefrequenz wesentlich höher als bei herkömmlichen Verfahren gewählt werden kann. Diese ist aufgrund der digitalen Signalauswertung nun nicht mehr durch die Einschwingzeit eines Filters bestimmt, sondern hauptsächlich durch die zur Verfügung stehende Rechenkapazität.When fitting the sine curve to the sampled values, averaging over all sampled values with respect to an ideal sinusoidal curve also takes place. As a result, the adjusted sine wave has higher resolution and accuracy than the digital samples themselves. Accordingly, amplitude and phase of the sinusoid can be used as the amplitude and phase of the digital measurement signal due to their high accuracy. Since noise and noise are reduced at the same time, higher accuracy and reproducibility can be achieved compared to analog methods. For the determination of amplitude and phase, even a small portion of the measurement signal (i.e., some periods) is sufficient, so that the measurement repetition frequency can be chosen much higher than in conventional methods. Due to the digital signal evaluation, this is no longer determined by the settling time of a filter, but mainly by the available computing capacity.

Weitere Ausführungsbeispiele betreffen ein Verfahren zum Bestimmen einer Impedanz einer Erregerspule einer Wirbelstromprüfanordnung. Das Verfahren umfasst ein Erzeugen eines ersten digitalen Messsignals auf Basis eines ersten analogen Messsignals, das den an der Erregerspule anliegenden Strom repräsentiert, mittels eines ersten ADCs. Ferner umfasst das Verfahren ein Erzeugen eines zweiten digitalen Messsignals auf Basis eines zweiten analogen Messsignals, das die an einer Messspule der Wirbelstromprüfanordnung anliegende Spannung repräsentiert, mittels eines zweiten ADCs. Der zweite ADC wird dabei synchron zu dem ersten ADC betrieben. Das Verfahren umfasst weiterhin ein Bestimmen einer Amplitude und einer Phase einer an Abtastwerte des ersten digitalen Messsignals angepassten Sinuskurve als Amplitude und Phase des ersten digitalen Messsignals. Auch umfasst das Verfahren ein Bestimmen einer Amplitude und einer Phase einer an Abtastwerte des zweiten digitalen Messsignals angepassten Sinuskurve als Amplitude und Phase des zweiten digitalen Messsignals. Ferner umfasst Verfahren ein Bestimmen der Impedanz der Erregerspule aus Amplitude und Phase des ersten digitalen Messsignals sowie Amplitude und Phase des zweiten digitalen Messsignals.Further embodiments relate to a method for determining an impedance of an exciter coil of an eddy current test arrangement. The method comprises generating a first digital measurement signal on the basis of a first analog measurement signal, which represents the current applied to the exciter coil, by means of a first ADC. Furthermore, the method comprises generating a second digital measurement signal on the basis of a second analog measurement signal, which represents the voltage applied to a measurement coil of the eddy current test arrangement, by means of a second ADC. The second ADC is operated synchronously with the first ADC. The method further comprises determining an amplitude and a phase of a sine curve adapted to samples of the first digital measurement signal as the amplitude and phase of the first digital measurement signal. The method also includes determining an amplitude and a phase of a sine curve adapted to samples of the second digital measurement signal as the amplitude and phase of the second digital measurement signal. Furthermore, the method comprises determining the impedance of the excitation coil from the amplitude and phase of the first digital measurement signal and the amplitude and phase of the second digital measurement signal.

Da neben der Spannung in der Messspule auch der an der Erregerspule anliegende Strom mit hoher Genauigkeit bestimmt wird, kann die Impedanz der Erregerspule mit hoher Genauigkeit aus den jeweiligen Amplituden und Phasen der beiden Messwerte bestimmt werden. Zudem müssen die ADCs lediglich zueinander, jedoch nicht bezogen auf eine Erregungsquelle der Wirbelstromprüfanordnung, synchron betrieben werden.Since, in addition to the voltage in the measuring coil, the current applied to the exciter coil is determined with high accuracy, the impedance of the exciter coil can be determined with high accuracy from the respective amplitudes and phases of the two measured values. In addition, the ADCs need only be operated synchronously with one another, but not with respect to an excitation source of the eddy current testing arrangement.

Ausführungsbeispiele betreffen ferner ein weiteres Verfahren zum Bestimmen einer Impedanz einer Erregerspule einer Wirbelstromprüfanordnung. Oft ist das Magnetfeld eine ausreichend lange Zeit konstant. In diesem Fall kann man den Strom in der Erregerspule und die in der Messspule induzierte Spannung im Wechsel zeitlich nacheinander messen, ohne dass ein signifikanter Fehler entsteht. Das Verfahren umfasst ein Anlegen eines ersten analogen Messsignals, das den an der Erregerspule anliegenden Strom repräsentiert, an einen ADC für einen ersten Zeitraum, um ein erstes digitales Messsignal zu erzeugen. Der ADC wird dabei synchron zu einer mit der Erregerspule gekoppelten Erregungsquelle betrieben. Ferner umfasst das Verfahren ein Anlegen eines zweiten analogen Messsignals, das die an einer Messspule der Wirbelstromprüfanordnung anliegende Spannung repräsentiert, an den ADC für einen zweiten Zeitraum, um ein zweites digitales Messsignal zu erzeugen. Auch umfasst das Verfahren ein Bestimmen einer Amplitude und einer Phase einer an Abtastwerte des ersten digitalen Messsignals angepassten Sinuskurve als Amplitude und Phase des ersten digitalen Messsignals. Zudem umfasst das Verfahren ein Bestimmen einer Amplitude und einer Phase einer an Abtastwerte des zweiten digitalen Messsignals angepassten Sinuskurve als Amplitude und Phase des zweiten digitalen Messsignals. Das Verfahren umfasst ferner ein Bestimmen der Impedanz der Erregerspule aus Amplitude und Phase des ersten digitalen Messsignals sowie Amplitude und Phase des zweiten digitalen Messsignals.Embodiments further relate to another method of determining an impedance of an excitation coil of an eddy current test arrangement. Often the magnetic field is constant for a sufficiently long time. In this case, one can measure the current in the excitation coil and the voltage induced in the measuring coil in succession in time without a significant error. The method includes applying a first analog measurement signal representing the current applied to the excitation coil to an ADC for a first time period to generate a first digital measurement signal. The ADC is thereby operated synchronously with an excitation source coupled to the exciter coil. Furthermore, the method comprises applying a second analog measurement signal, which represents the voltage applied to a measurement coil of the eddy current test arrangement, to the ADC for a second time period in order to generate a second digital measurement signal. The method also includes determining an amplitude and a phase of a sine curve adapted to samples of the first digital measurement signal as the amplitude and phase of the first digital measurement signal. In addition, the method comprises determining an amplitude and a phase of a sine curve adapted to samples of the second digital measurement signal Amplitude and phase of the second digital measurement signal. The method further comprises determining the impedance of the excitation coil from amplitude and phase of the first digital measurement signal as well as amplitude and phase of the second digital measurement signal.

Da neben der Spannung in der Messspule auch der an der Erregerspule anliegende Strom mit hoher Genauigkeit bestimmt wird, kann die Impedanz der Erregerspule mit hoher Genauigkeit aus den jeweiligen Amplituden und Phasen der beiden Messwerte bestimmt werden. Zudem ist nur ein einziger ADC nötig, um das digitale Messsignal bereitzustellen, so dass der Hardwareaufwand für die Auswertung des Messsignals gering ist.Since, in addition to the voltage in the measuring coil, the current applied to the exciter coil is determined with high accuracy, the impedance of the exciter coil can be determined with high accuracy from the respective amplitudes and phases of the two measured values. In addition, only a single ADC is necessary to provide the digital measurement signal, so that the hardware cost for the evaluation of the measurement signal is low.

Ausführungsbeispiele umfassen in einem weiteren Aspekt ein Programm mit einem Programmcode zum Durchführen eines der vorgeschlagenen Verfahren, wenn der Programmcode auf einem Computer, einem Prozessor oder einer programmierbaren Hardwarekomponente ausgeführt wird.Embodiments in another aspect include a program having program code for performing one of the proposed methods when the program code is executed on a computer, a processor, or a programmable hardware component.

FigurenkurzbeschreibungBrief Description

Ausführungsbeispiele werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Figuren näher erläutert. Es zeigen:Embodiments are explained below with reference to the accompanying figures. Show it:

1 ein Beispiel einer Wirbelstromprüfanordnung mit analoger Signalauswertung; 1 an example of a Wirbelstromprüfanordnung with analog signal evaluation;

2 ein Beispiel einer Wirbelstromprüfanordnung mit digitaler Signalauswertung; 2 an example of a Wirbelstromprüfanordnung with digital signal evaluation;

3 ein Beispiel eines Verfahren zum Auswerten eines digitalen Messsignals einer Wirbelstromprüfanordnung; 3 an example of a method for evaluating a digital measurement signal of a Wirbelstromprüfanordnung;

4a ein Beispiel für eine Bestimmung eines Nulldurchgangs einer Sinuskurve mittels linearer Interpolation; 4a an example of a determination of a zero crossing of a sine curve by means of linear interpolation;

4b ein weiteres Beispiel für eine Bestimmung eines Nulldurchgangs einer Sinuskurve mittels linearer Interpolation; 4b another example of a determination of a zero crossing of a sinusoid by means of linear interpolation;

5 ein weiteres Beispiel einer Wirbelstromprüfanordnung mit digitaler Signalauswertung; 5 another example of a Wirbelstromprüfanordnung with digital signal evaluation;

6 ein Beispiel eines Verfahren zum Bestimmen einer Impedanz einer Erregerspule einer Wirbelstromprüfanordnung; 6 an example of a method for determining an impedance of an excitation coil of a Wirbelstromprüfanordnung;

7 ein weiteres Beispiel einer Wirbelstromprüfanordnung mit digitaler Signalauswertung; und 7 another example of a Wirbelstromprüfanordnung with digital signal evaluation; and

8 ein weiteres Beispiel eines Verfahren zum Bestimmen einer Impedanz einer Erregerspule einer Wirbelstromprüfanordnung. 8th another example of a method for determining an impedance of an excitation coil of a Wirbelstromprüfanordnung.

Beschreibungdescription

Verschiedene Ausführungsbeispiele werden nun ausführlicher unter Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben, in denen einige Ausführungsbeispiele dargestellt sind. In den Figuren können die Dickenabmessungen von Linien, Schichten und/oder Regionen um der Deutlichkeit Willen übertrieben dargestellt sein. Various embodiments will now be described in more detail with reference to the accompanying drawings, in which some embodiments are illustrated. In the figures, the thickness dimensions of lines, layers and / or regions may be exaggerated for the sake of clarity.

Bei der nachfolgenden Beschreibung der beigefügten Figuren, die lediglich einige exemplarische Ausführungsbeispiele zeigen, können gleiche Bezugszeichen gleiche oder vergleichbare Komponenten bezeichnen. Ferner können zusammenfassende Bezugszeichen für Komponenten und Objekte verwendet werden, die mehrfach in einem Ausführungsbeispiel oder in einer Zeichnung auftreten, jedoch hinsichtlich eines oder mehrerer Merkmale gemeinsam beschrieben werden. Komponenten oder Objekte, die mit gleichen oder zusammenfassenden Bezugszeichen beschrieben werden, können hinsichtlich einzelner, mehrerer oder aller Merkmale, beispielsweise ihrer Dimensionierungen, gleich, jedoch gegebenenfalls auch unterschiedlich ausgeführt sein, sofern sich aus der Beschreibung nicht etwas anderes explizit oder implizit ergibt.In the following description of the attached figures, which show only some exemplary embodiments, like reference characters may designate the same or similar components. Further, summary reference numerals may be used for components and objects that occur multiple times in one embodiment or in a drawing but are described together in terms of one or more features. Components or objects which are described by the same or by the same reference numerals may be the same, but possibly also different, in terms of individual, several or all features, for example their dimensions, unless otherwise explicitly or implicitly stated in the description.

Obwohl Ausführungsbeispiele auf verschiedene Weise modifiziert und abgeändert werden können, sind Ausführungsbeispiele in den Figuren als Beispiele dargestellt und werden hierin ausführlich beschrieben. Es sei jedoch klargestellt, dass nicht beabsichtigt ist, Ausführungsbeispiele auf die jeweils offenbarten Formen zu beschränken, sondern dass Ausführungsbeispiele vielmehr sämtliche funktionale und/oder strukturelle Modifikationen, Äquivalente und Alternativen, die im Bereich der Erfindung liegen, abdecken sollen. Gleiche Bezugszeichen bezeichnen in der gesamten Figurenbeschreibung gleiche oder ähnliche Elemente. Although embodiments may be modified and changed in various ways, exemplary embodiments are illustrated in the figures as examples and will be described in detail herein. It should be understood, however, that it is not intended to limit embodiments to the particular forms disclosed, but that embodiments are intended to cover all functional and / or structural modifications, equivalents and alternatives that are within the scope of the invention. Like reference numerals designate like or similar elements throughout the description of the figures.

Man beachte, dass ein Element, das als mit einem anderen Element „verbunden“ oder „verkoppelt“ bezeichnet wird, mit dem anderen Element direkt verbunden oder verkoppelt sein kann oder dass dazwischenliegende Elemente vorhanden sein können. Wenn ein Element dagegen als „direkt verbunden“ oder „direkt verkoppelt“ mit einem anderen Element bezeichnet wird, sind keine dazwischenliegenden Elemente vorhanden. Andere Begriffe, die verwendet werden, um die Beziehung zwischen Elementen zu beschreiben, sollten auf ähnliche Weise interpretiert werden (z.B., „zwischen“ gegenüber „direkt dazwischen“, „angrenzend“ gegenüber „direkt angrenzend“ usw.). Note that an element referred to as being "connected" or "coupled" to another element may be directly connected or coupled to the other element, or intervening elements may be present. Conversely, when an element is referred to as being "directly connected" or "directly coupled" to another element, there are no intervening elements. Other terms used to describe the relationship between elements should be interpreted in a similar manner (e.g., "between" versus "directly in between," "adjacent" versus "directly adjacent," etc.).

Die Terminologie, die hierin verwendet wird, dient nur der Beschreibung bestimmter Ausführungsbeispiele und soll die Ausführungsbeispiele nicht beschränken. Wie hierin verwendet, sollen die Singularformen „ einer”, „ eine”, „eines ” und „der“, „die“, „das“ auch die Pluralformen beinhalten, solange der Kontext nicht eindeutig etwas anderes angibt. Ferner sei klargestellt, dass die Ausdrücke wie z.B. „beinhaltet“, „beinhaltend“, aufweist“ und/oder „aufweisend“, wie hierin verwendet, das Vorhandensein von genannten Merkmalen, ganzen Zahlen, Schritten, Arbeitsabläufen, Elementen und/oder Komponenten angeben, aber das Vorhandensein oder die Hinzufügung von einem bzw. einer oder mehreren Merkmalen, ganzen Zahlen, Schritten, Arbeitsabläufen, Elementen, Komponenten und/oder Gruppen davon nicht ausschließen. The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to limit the embodiments. As used herein, the singular forms "a,""an,""an," and "the,""the," are also meant to include the plural forms unless the context clearly indicates otherwise. Further, it should be understood that the terms such as "including,""including,""having," and / or "having," as used herein, indicate the presence of said features, integers, steps, operations, elements, and / or components. but does not preclude the presence or addition of one or more features, integers, steps, operations, elements, components, and / or groups thereof.

Solange nichts anderes definiert ist, haben sämtliche hierin verwendeten Begriffe (einschließlich von technischen und wissenschaftlichen Begriffen) die gleiche Bedeutung, die ihnen ein Durchschnittsfachmann auf dem Gebiet, zu dem die Ausführungsbeispiele gehören, beimisst. Ferner sei klargestellt, dass Ausdrücke, z.B. diejenigen, die in allgemein verwendeten Wörterbüchern definiert sind, so zu interpretieren sind, als hätten sie die Bedeutung, die mit ihrer Bedeutung im Kontext der einschlägigen Technik konsistent ist, solange dies hierin nicht ausdrücklich anders definiert ist.Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used herein have the same meaning as commonly assigned to one of ordinary skill in the art to which the embodiments pertain. Further, it should be understood that terms, e.g. those as defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having the meaning consistent with their meaning in the context of the relevant art, unless expressly defined otherwise herein.

3 zeigt ein Verfahren 300 zum Auswerten eines digitalen Messsignals einer Wirbelstromprüfanordnung. Das digitale Messsignal weist dabei eine Mehrzahl an Abtastwerten auf, wobei das digitale Messsignal auf einem analogen Messsignal einer Messspule der Wirbelstromprüfanordnung basiert. Ein Beispiel für eine Wirbelstromprüfanordnung, um das digitale Messsignal zu erzeugen, wurde vorangehend in Zusammenhang mit 2 beschrieben. Wie in 2 beschrieben, kann das digitale Messsignals mittels eines ADCs erzeugt werden, der synchron zu einer mit einer Erregerspule der Wirbelstromprüfanordnung gekoppelten Erregungsquelle betrieben wird. Dadurch kann sichergestellt werden, dass aufeinander folgende digitale Messsignale mit gleicher Phasenlage beginnen und dadurch vergleichbar sind. 3 shows a method 300 for evaluating a digital measurement signal of an eddy current test arrangement. The digital measurement signal has a plurality of samples, wherein the digital measurement signal is based on an analog measurement signal of a measurement coil of the eddy current test arrangement. An example of an eddy current testing arrangement to generate the digital measurement signal has previously been described in connection with FIG 2 described. As in 2 described, the digital measurement signal can be generated by means of an ADC, which is operated in synchronism with an excitation source coupled to an excitation coil of the eddy current testing arrangement. This can ensure that successive digital measurement signals start with the same phase position and are therefore comparable.

Das Verfahren 300 umfasst ein Anpassen 302 einer Sinuskurve an die Mehrzahl an Abtastwerten des digitalen Messsignals sowie ein Bestimmen 304 einer Amplitude und einer Phase der Sinuskurve als Amplitude und Phase des digitalen Messsignals.The procedure 300 includes an adjustment 302 a sine wave to the plurality of samples of the digital measurement signal and determining 304 an amplitude and a phase of the sine wave as the amplitude and phase of the digital measurement signal.

Die Bestimmung der Amplitude aus einem Abtastwert ist bei bekannter Frequenz und Phase des Erregungssignals allgemein gemäß folgender Beziehung möglich: u = A·sin(ω·t + φ) (3) A = u / sin(ω·t + φ) (4) The determination of the amplitude from a sample is generally possible with known frequency and phase of the excitation signal according to the following relationship: u = A · sin (ω · t + φ) (3) A = u / sin (ω.t + φ) (4)

Die Zeit t kann aus der Abtastfrequenz des Signals berechnet werden. Die Phase kann durch die Ermittlung des Nulldurchgangs aus dem Verlauf des digitalen Messsignals bestimmt werden.The time t can be calculated from the sampling frequency of the signal. The phase can be determined by determining the zero crossing from the course of the digital measurement signal.

Einzelne Abtastwerte können jedoch Schwankungen unterliegen (z.B. in Folge von Rauschen oder Störungen). Da in dem Verfahren 300 eine Mehrzahl an Abtastwerten genutzt wird, können Schwankungen der Abtastwerte stark reduziert und die Amplitude der Sinuskurve mit großer Genauigkeit berechnet werden. Beim Anpassen der Sinuskurve an die Abtastwerte erfolgt zudem eine Mittelwertbildung über alle Abtastwerte bezogen auf eine ideale Sinuskurve. Dies hat zur Folge, dass die angepasste Sinuskurve eine höhere Auflösung und Genauigkeit als die digitalen Abtastwerte selbst haben. Entsprechend können Amplitude und Phase der Sinuskurve aufgrund ihrer hohen Genauigkeit als Amplitude und Phase des digitalen Messsignals verwendet werden. Da gleichzeitig Störungen und Rauschen gemindert werden, kann gegenüber analogen Verfahren eine höhere Genauigkeit und Reproduzierbarkeit erreicht werden. Für die Bestimmung von Amplitude und Phase reichen einige Perioden des Messsignals aus, so dass auch die Messfolgefrequenz wesentlich höher als bei herkömmlichen Verfahren gewählt werden kann. Diese ist aufgrund der digitalen Signalauswertung nun nicht mehr durch die Einschwingzeit eines Filters bestimmt, sondern hauptsächlich durch die zur Verfügung stehende Rechenkapazität.However, individual samples may fluctuate (eg as a result of noise or noise). Because in the process 300 Using a plurality of samples, variations in the samples can be greatly reduced and the amplitude of the sine curve can be calculated with great accuracy. When fitting the sine curve to the sampled values, averaging over all sampled values with respect to an ideal sinusoidal curve also takes place. As a result, the adjusted sine wave has higher resolution and accuracy than the digital samples themselves. Accordingly, amplitude and phase of the sinusoid can be used as the amplitude and phase of the digital measurement signal due to their high accuracy. Since noise and noise are reduced at the same time, higher accuracy and reproducibility can be achieved compared to analog methods. For the determination of amplitude and phase, some periods of the measurement signal suffice, so that the measurement repetition frequency can also be selected substantially higher than in conventional methods. Due to the digital signal evaluation, this is no longer determined by the settling time of a filter, but mainly by the available computing capacity.

Das Anpassen der Sinuskurve an die Mehrzahl an Abtastwerten des digitalen Messsignals kann iterativ erfolgen. Dadurch kann die Sinuskurve bestmöglich an die Abtastwerte angepasst werden. Beispielsweise können iterative Optimierungsverfahren (z.B. Hook-Jeeves-Verfahren) verwendet werden, um eine bestmöglich an die Abtastwerte des digitalen Messsignals angepasste Sinuskurve zu bestimmen.The fitting of the sinusoid to the plurality of samples of the digital measurement signal can be done iteratively. As a result, the sine curve can be optimally adapted to the samples. For example, iterative optimization techniques (e.g., Hook-Jeeves techniques) may be used to determine a sine curve best suited to the samples of the digital measurement signal.

Das Anpassen der Sinuskurve an die Mehrzahl an Abtastwerten des digitalen Messsignals kann dabei z.B. solange ausgeführt werden, bis die Sinuskurve einem Qualitätskriterium genügt. Das Qualitätskriterium kann dabei vielfältig sein. Beispielsweise kann ein Minimum der Summe der Abweichungen zwischen Abtastwert und bestimmter Sinusfunktion als Qualitätskriterium gewählt werden. Auch bei einem stark verrauschten Messsignal kann dann ein geringer Fehler angenommen werden, da sowohl für die Phase als auch die Amplitude eine Mittelwertbildung über alle verwendeten Abtastwerte erfolgt.Customizing the Sine curve to the plurality of samples of the digital measurement signal can be carried out, for example, until the sine curve satisfies a quality criterion. The quality criterion can be manifold. For example, a minimum of the sum of the deviations between sample value and specific sinusoidal function can be selected as the quality criterion. Even with a strongly noisy measurement signal, a small error can then be assumed, since both the phase and the amplitude are averaged over all the sampled values used.

Um ein iteratives Optimierungsverfahren möglichst effizient, d.h. mit möglichst wenigen Iterationen durchzuführen, ist es daher nötig, möglichst gute Anfangswerte zu wählen. Für das Anpassen der Sinuskurve an die Mehrzahl an Abtastwerten des digitalen Messsignals kann daher z.B. in einer ersten Iteration ein mittels linearer Interpolation aus zumindest zwei der Mehrzahl an Abtastwerten bestimmter Nulldurchgang des digitalen Messsignals verwendet werden. Die Bestimmung eines Nulldurchgangs mittels linearer Interpolation ist beispielhaft in den nachfolgenden 4a und 4b dargestellt.In order to carry out an iterative optimization procedure as efficiently as possible, ie with as few iterations as possible, it is therefore necessary to choose the best possible initial values. For adapting the sinusoid to the plurality of samples of the digital measurement signal, therefore, a zero crossing of the digital measurement signal, which is determined by means of linear interpolation from at least two of the plurality of samples, can be used, for example in a first iteration. The determination of a zero crossing by means of linear interpolation is exemplary in the following 4a and 4b shown.

In 4a ist die einfache Interpolation zwischen zwei Abtastwerten des digitalen Messsignals dargestellt. Der in 4a dargestellt Ausschnitt des digitalen Messsignals umfasst die Abtastwerte 401 bis 406. Zwischen den Abtastwerten 403 und 404 ändert sich das Vorzeichen, d.h. der Nulldurchgang findet zwischen den Abtastwerten 403 und 404 statt. Die lineare Interpolation zwischen den beiden Abtastwerten 403 und 404 ist durch die Gerade 420 angedeutet, welche durch die beiden Abtastwerten 403 und 404 verläuft und die Nulllinie im Punkt 431 schneidet. Durch Vergleich mit der an die Abtastwerte angepassten Sinuskurve 430 wird deutlich, dass der durch Interpolation ermittelte Punkt 431 im Wesentlichen mit dem Nulldurchgang 432 der Sinuskurve 430 übereinstimmt, d.h. ein guter Ausgangspunkt für die iterative Optimierung gefunden wurde.In 4a the simple interpolation between two samples of the digital measurement signal is shown. The in 4a section of the digital measurement signal comprises the samples 401 to 406 , Between the samples 403 and 404 the sign changes, ie the zero crossing takes place between the samples 403 and 404 instead of. The linear interpolation between the two samples 403 and 404 is through the straight line 420 indicated by the two samples 403 and 404 runs and the zero line in the point 431 cuts. By comparison with the sine curve adapted to the samples 430 it becomes clear that the point determined by interpolation 431 essentially with the zero crossing 432 the sine wave 430 that is, a good starting point for the iterative optimization was found.

Manchmal ist das digitale Messsignal jedoch derart verrauscht, dass in der Umgebung des tatsächlichen Nulldurchgangs der Sinuskurve die Abtastwerte mehrfach das Vorzeichen wechseln. Daher kann manchmal ein weiter elaborierter Ansatz für die Bestimmung der Anfangswerte für das iterative Optimierungsverfahren nötig sein. Ein solcher ist in 4b gezeigt.However, sometimes the digital measurement signal is so noisy that in the vicinity of the actual zero crossing of the sinusoid, the samples repeatedly change sign. Therefore, sometimes a more elaborate approach may be needed to determine the initial values for the iterative optimization process. Such is in 4b shown.

In 4b ist derselbe Ausschnitt des digitalen Messsignals wie in 4a dargestellt, d.h. die Abtastwerte 401 bis 406. Ebenso ist die an die Abtastwerte angepasste Sinuskurve 430 mit samt ihres Nulldurchgangs 432 dargestellt. Der Ausgangsnulldurchgang für die iterative Optimierung wird bei dem in 4b gezeigten Beispiel mittels linearer Regression bestimmt. Dabei wird eine Gerade 440 durch eine wählbare (d.h. vorbestimmte) Anzahl an Abtastwerten gelegt. Im vorliegenden Beispiel kann so der Punkt 441 ermittelt werden, der zwischen den Abtastwerten 403 und 404 die Nulllinie scheidet. Durch Vergleich mit dem Nulldurchgang 432 der Sinuskurve 430 wird deutlich, dass auch der Punkt 441 in der Nähe des tatsächlichen Nulldurchgangs 432 der Sinuskurve 430 liegt – wenn auch nicht so nahe wie der Punkt 431 im Beispiel der 4a. Ausgehend vom Punkt 441 mittels der iterative Optimierung die Sinuskurve 430 bestimmt werden.In 4b is the same section of the digital measurement signal as in 4a represented, ie the samples 401 to 406 , Likewise, the sine curve adapted to the samples is 430 with its zero crossing 432 shown. The initial zero crossing for the iterative optimization is given in the 4b example determined by linear regression. This is a straight line 440 by a selectable (ie predetermined) number of samples. In the present example, this is the point 441 to be determined between the samples 403 and 404 the zero line separates. By comparison with the zero crossing 432 the sine wave 430 it becomes clear that also the point 441 near the actual zero crossing 432 the sine wave 430 is - if not as close as the point 431 in the example of 4a , Starting from the point 441 by means of iterative optimization the sine curve 430 be determined.

Die Gerade 440 kann beispielsweise gleitend über den gesamten Signalverlauf berechnet werden. Wird etwa in der Mitte der Gerade 440 – also bei der halben Anzahl der in die Regression einbezogenen Abtastwerte – ein Nulldurchgang bestimmt, ist die Gerade 440 optimal positioniert und der Nulldurchgang kann als Startwert für die iterative Optimierung verwendet werden.Straight 440 For example, it can be calculated in a smooth manner over the entire signal curve. Will be in the middle of the line 440 - So at half the number of samples included in the regression - determines a zero crossing, is the line 440 optimally positioned and the zero crossing can be used as a starting value for the iterative optimization.

Wie in Zusammenhang mit der Beschreibung der 4a und 4b angedeutet, stimmen die durch die lineare Interpolation ermittelten Nulldurchgänge nicht vollständig mit den tatsächlichen Nulldurchgängen der Sinuskurve überein. Dies ist ein systematischer Fehler, da die Abtastwerte nicht linear sind, sondern dem Sinus folgen. Schneidet eine der Geraden 420, 440 die Nulllinie genau dort, wo sich ein Abtastwert befindet, oder genau zwischen zwei Abtastwerten, ist der Fehler gleich Null, da die Abweichungen des Sinus von der Geraden sich auf beiden Seiten gegenseitig aufheben. In der Mitte zwischen den beiden vorgenannten Positionen, d.h. bei einem Viertel bzw. drei Vierteln der Strecke zwischen den benachbarten Abtastwerten, ist der Fehler hingegen am größten. Dieser systematische Fehler des Ausgangsnulldurchgangs wird durch die iterative Optimierung korrigiert, so dass schlussendlich eine optimal an die Abtastwerte angepasst Sinuskurve erhalten wird. Die Amplitude A und die Phase der angepassten Sinuskurve sind die gesuchten Messwerte für die Wirbelstrommessung. Daraus können Real- und Imaginärteil des Messsignals gemäß Gleichungen (1) und (2) berechnet werden.As related to the description of the 4a and 4b indicated, the zero crossings determined by the linear interpolation do not coincide completely with the actual zero crossings of the sinusoid. This is a systematic error because the samples are not linear but follow the sine. Cut one of the lines 420 . 440 the zero line exactly where a sample is, or exactly between two samples, the error is zero because the deviations of the sine from the line cancel each other out on both sides. In the middle between the two aforementioned positions, ie at a quarter or three quarters of the distance between the adjacent samples, the error is greatest. This systematic error of the output zero crossing is corrected by the iterative optimization, so that ultimately a sine wave curve optimally adapted to the sampled values is obtained. The amplitude A and the phase of the fitted sinusoid are the sought-after eddy current measurements. From this, the real and imaginary parts of the measurement signal can be calculated according to equations (1) and (2).

5 zeigt eine weitere Wirbelstromprüfanordnung 500 mit digitaler Signalauswertung. Wiederum wird ein Erregungssignal (z.B. sinusförmig) von einer Erregungsquelle 510 erzeugt und über einen Spulentreiber 520 sowie einen Vorwiderstand 530 auf eine Erregerspule 540 gegeben. Die durch die im Testkörper 101 induzierten elektrischen Wirbelströme verursachte Änderung des resultierenden Magnetfelds wird über eine Messspule 550 der Wirbelstromprüfanordnung 500 gemessen. Die Messspule 550 gibt ein analoges Messsignal 551 aus, welches durch einen Vorverstärker 560 verstärkt wird. Das verstärkte, analoge Messsignal 552 wird an einen ADC 570 ausgegeben, der daraus ein digitales Messsignal 571 mit einer Mehrzahl an Abtastwerten bereitstellt. 5 shows another Wirbelstromprüfanordnung 500 with digital signal evaluation. Again, an excitation signal (eg, sinusoidal) from an excitation source 510 generated and via a coil driver 520 and a resistor 530 on an excitation coil 540 given. The by in the test body 101 Induced electrical eddy currents caused change in the resulting magnetic field is via a measuring coil 550 the eddy current test arrangement 500 measured. The measuring coil 550 gives an analogue measurement signal 551 out, which by a preamp 560 is reinforced. The amplified, analog measuring signal 552 gets to an ADC 570 output, the resulting digital measurement signal 571 with a plurality of samples.

Weiterhin wird die an dem Vorwiderstand 530 abfallende Spannung abgegriffen, über die nach dem Ohm‘schen Gesetz der Strom in der Erregerspule 540 berechnet werden kann. Alternativ kann auch ein Widerstand zwischen der Erregerspule 540 und Masse angeordnet werden, um über den Spannungsabfall an ebenjenem den Strom in der Erregerspule 540 zu berechnen. Das analoge Messsignal wird von einem Vorverstärker 580 verstärkt und das verstärkte, analoge Messsignal wird an einen zweiten ADC 580 ausgegeben, der daraus ein weiteres digitales Messsignal 581 mit einer Mehrzahl an Abtastwerten bereitstellt. Der zweite ADC 580 wird dabei synchron zu dem ADC 570 betrieben, um die Phasendifferenz zwischen den beiden digitalen Messsignalen 571 und 581 bestimmen zu können.Furthermore, the on the series resistor 530 falling voltage tapped, over which according to Ohm's law the current in the exciting coil 540 can be calculated. Alternatively, a resistor between the exciter coil 540 and ground to be placed above the voltage drop across that current in the exciter coil 540 to calculate. The analog measurement signal is from a preamplifier 580 amplified and the amplified analogue measurement signal is sent to a second ADC 580 output, the resulting another digital measurement signal 581 with a plurality of samples. The second ADC 580 becomes synchronous to the ADC 570 operated to the phase difference between the two digital measurement signals 571 and 581 to be able to determine.

Somit stellt das digitale Messsignal 571 Informationen über die an der Messspule 550 der Wirbelstromprüfanordnung 500 anliegende Spannung bereit und das digitale Messsignal 581 Informationen über den an der Erregerspule 540 anliegenden Strom. Thus, the digital measurement signal 571 Information about the at the measuring coil 550 the eddy current test arrangement 500 voltage applied ready and the digital measurement signal 581 Information about the at the exciter coil 540 applied power.

Sowohl für das digitale Messsignal 571 als auch für das digitale Messsignal 581 kann nun gemäß den in Zusammenhang mit 3, 4a und 4b diskutierten Grundsätzen die Amplitude als auch die Phase des jeweiligen Messsignals durch Anpassen einer Sinuskurve an Abtastwerte des jeweiliges digitalen Messsignals bestimmt werden.Both for the digital measurement signal 571 as well as for the digital measurement signal 581 can now according to in connection with 3 . 4a and 4b principles discussed, the amplitude and the phase of the respective measurement signal can be determined by fitting a sinusoid to samples of the respective digital measurement signal.

Die Amplitude der Impedanz kann dann aus der Amplitude AU des digitalen Messsignals 571 (welches die die an der Messspule 550 anliegende Spannung repräsentiert) sowie der Amplitude AI des digitalen Messsignals 581 (welches d den an der Erregerspule 540 anliegenden Strom repräsentiert) bestimmt werden gemäß folgendem Zusammenhang:

Figure DE102016111963A1_0002
The amplitude of the impedance can then be determined from the amplitude A U of the digital measurement signal 571 (which the at the measuring coil 550 voltage present) and the amplitude A I of the digital measurement signal 581 (Which d the at the exciting coil 540 applied current) are determined according to the following relationship:
Figure DE102016111963A1_0002

Die Phase φZ der Impedanz ergibt sich aus der Phasendifferenz zwischen den beiden digitalen Messsignalen: φZ = φU – φI(6), wobei φU die Phase des digitalen Messsignals 571 repräsentiert und φI die Phase des digitalen Messsignals 581 repräsentiert.The phase φ Z of the impedance results from the phase difference between the two digital measurement signals: φ Z = φ U - φ I (6), where φ U is the phase of the digital measurement signal 571 and φ represents the phase I of the digital measurement signal 581 represents.

Daraus lassen sich wiederum Realteil ZRe und Imaginärteil ZIm der Impedanz berechnen: ZRe = Z·cosφZ (7) ZIm = Z·sinφZ (8) From this it is possible in turn to calculate real part Z Re and imaginary part Z Im of the impedance: Z Re = Z · cosφ Z (7) Z Im = Z · sin φ Z (8)

In 6 ist ein entsprechendes Verfahren 600 zum Bestimmen einer Impedanz einer Erregerspule einer Wirbelstromprüfanordnung gezeigt. Das Verfahren 600 umfasst ein Erzeugen 602 eines ersten digitalen Messsignals auf Basis eines ersten analogen Messsignals mittels eines ersten ADCs, wobei das erste analoge Messsignal den an der Erregerspule anliegenden Strom repräsentiert. Ferner umfasst das Verfahren ein Erzeugen 604 eines zweiten digitalen Messsignals auf Basis eines zweiten analogen Messsignals mittels eines zweiten ADCs, wobei das zweite analoge Messsignal die an einer Messspule der Wirbelstromprüfanordnung anliegende Spannung repräsentiert. Der zweite ADC wird dabei synchron zu dem ersten ADC betrieben. Das Verfahren umfasst weiterhin ein Bestimmen 606 einer Amplitude und einer Phase einer an Abtastwerte des ersten digitalen Messsignals angepassten (ersten) Sinuskurve als Amplitude und Phase des ersten digitalen Messsignals. Auch umfasst das Verfahren ein Bestimmen 608 einer Amplitude und einer Phase einer an Abtastwerte des zweiten digitalen Messsignals angepassten (zweiten) Sinuskurve als Amplitude und Phase des zweiten digitalen Messsignals. Die Anpassung der beiden Sinuskurven an die Abtastwerte der jeweiligen digitalen Messsignale geschieht dabei z.B. nach den in Zusammenhang mit 3, 4a und 4b diskutierten Grundsätzen. Das Verfahren umfasst ferner ein Bestimmen 610 der Impedanz der Erregerspule aus Amplitude und Phase des ersten digitalen Messsignals sowie Amplitude und Phase des zweiten digitalen Messsignals.In 6 is a corresponding procedure 600 for determining an impedance of an excitation coil of an eddy current testing arrangement. The procedure 600 includes generating 602 a first digital measurement signal based on a first analog measurement signal by means of a first ADC, wherein the first analog measurement signal represents the current applied to the exciter coil current. Furthermore, the method comprises generating 604 a second digital measurement signal based on a second analog measurement signal by means of a second ADC, wherein the second analog measurement signal represents the voltage applied to a measurement coil of the eddy current test arrangement voltage. The second ADC is operated synchronously with the first ADC. The method further comprises determining 606 an amplitude and a phase of a (first) sine curve adapted to samples of the first digital measurement signal as the amplitude and phase of the first digital measurement signal. Also, the method includes determining 608 an amplitude and a phase of a (second) sine curve adapted to samples of the second digital measurement signal as the amplitude and phase of the second digital measurement signal. The adaptation of the two sinusoids to the samples of the respective digital measurement signals takes place, for example, according to the in connection with 3 . 4a and 4b discussed principles. The method further comprises determining 610 the impedance of the excitation coil from amplitude and phase of the first digital measurement signal and amplitude and phase of the second digital measurement signal.

Da neben der Spannung in der Messspule auch der an der Erregerspule anliegende Strom hoher Genauigkeit bestimmt wird, kann die Impedanz der Erregerspule mit hoher Genauigkeit aus den jeweiligen Amplituden und Phasen der beiden Messwerte bestimmt werden. Damit kann zudem das fehlerhafte Bestimmen der Impedanz der Erregerspule aufgrund von Schwankungen des von der Erregungsquelle an die Erregerspule angelegten Signals vermieden werden. Schwankt z.B. die Spannung des an die Erregerspule angelegten Signals, so schwankt neben der in der Messspule induzierten Spannung auch der an der Erregerspule anliegende Strom. Somit findet insgesamt ein Ausgleich der Schwankung statt. Die bestimmte Impedanz der Erregerspule ist somit unabhängig von Schwankungen des von der Erregungsquelle an die Erregerspule angelegten Signals.Since, in addition to the voltage in the measuring coil, the current of high accuracy applied to the exciter coil is determined, the impedance of the exciter coil can be determined with high accuracy from the respective amplitudes and phases of the two measured values. Thus, erroneous determination of the impedance of the exciting coil due to variations in the signal applied from the excitation source to the exciting coil can be avoided. Varies, e.g. the voltage of the signal applied to the exciter coil, in addition to the voltage induced in the measuring coil, the current applied to the exciter coil also fluctuates. Thus, a total compensation of the fluctuation takes place. The particular impedance of the exciter coil is thus independent of variations in the signal applied by the excitation source to the exciter coil.

Eine alternative Wirbelstromprüfanordnung 700 mit digitaler Signalauswertung ist in 7 gezeigt. Wiederum wird ein Erregungssignal (z.B. sinusförmig) von einer Erregungsquelle 710 erzeugt und über einen Spulentreiber 720 sowie einen Vorwiderstand 730 auf eine Erregerspule 740 gegeben. Die durch die im Testkörper 101 induzierten elektrischen Wirbelströme verursachte Änderung des resultierenden Magnetfelds wird über eine Messspule 750 der Wirbelstromprüfanordnung 700 gemessen. Die Messspule 750 gibt ein analoges Messsignal aus, welches durch einen Vorverstärker 760 verstärkt wird. Das verstärkte, analoge Messsignal 761 wird an einen Multiplexer 790 ausgegeben.An alternative eddy current testing arrangement 700 with digital signal evaluation is in 7 shown. Again, an excitation signal (eg, sinusoidal) from an excitation source 710 generated and via a coil driver 720 and a resistor 730 on an excitation coil 740 given. The by in the test body 101 Induced electrical eddy currents caused change in the resulting magnetic field is via a measuring coil 750 the eddy current test arrangement 700 measured. The measuring coil 750 outputs an analog measurement signal, which is provided by a preamplifier 760 is reinforced. The amplified, analog measuring signal 761 goes to a multiplexer 790 output.

Weiterhin wird die an dem Vorwiderstand 730 abfallende Spannung abgegriffen, über die nach dem Ohm‘schen Gesetz der Strom in der Erregerspule 740 berechnet werden kann. Alternativ kann auch ein Widerstand zwischen der Erregerspule 740 und Masse angeordnet werden, um über den Spannungsabfall an ebenjenem den Strom in der Erregerspule 740 zu berechnen. Das analoge Messsignal wird von einem Vorverstärker 780 verstärkt und das verstärkte, analoge Messsignal 781 wird an den Multiplexer 790 ausgegeben.Furthermore, the on the series resistor 730 falling voltage tapped, over which according to Ohm's law the current in the exciting coil 740 can be calculated. Alternatively, a resistor between the exciter coil 740 and mass be arranged over the Voltage drop at just that current in the exciter coil 740 to calculate. The analog measurement signal is from a preamplifier 780 amplified and the amplified analogue measurement signal 781 gets to the multiplexer 790 output.

Der Multiplexer 790 legt für einen ersten Zeitraum das erste analoge Messsignal 781 an den ADC 770 an und für einen (vom ersten Zeitraum verschiedenen) zweiten Zeitraum das zweite analoge Messsignal 761 an den ADC 770 an. Der ADC 770 wird dabei synchron zu der mit der Erregerspule 740 gekoppelten Erregungsquelle 710 betrieben. Dadurch kann sichergestellt werden, dass aufeinander folgende digitale Multiplexsignale mit gleicher Phasenlage beginnen und dadurch vergleichbar sind.The multiplexer 790 sets the first analog measurement signal for a first period 781 to the ADC 770 on and for a second time period (different from the first time period) the second analogue measurement signal 761 to the ADC 770 at. The ADC 770 becomes synchronous to that with the exciter coil 740 coupled excitation source 710 operated. This can ensure that successive digital multiplexed signals start with the same phase position and are therefore comparable.

Für den ersten Zeitraum wird durch den ADC 770 somit ein erstes digitales Messsignal erzeugt und für den zweiten Zeitraum ein zweites digitales Messsignal erzeugt. Sowohl für das erste digitale Messsignal als auch für das zweite digitale Messsignal kann nun gemäß den in Zusammenhang mit 3, 4a und 4b diskutierten Grundsätzen die Amplitude als auch die Phase des jeweiligen Messsignals durch Anpassen einer Sinuskurve an Abtastwerte des jeweiliges digitalen Messsignals bestimmt werden. Aus diesen kann nun wiederum gemäß den Gleichungen (5) bis (8) die Impedanz der Erregerspule 740 bestimmt werden.For the first period is determined by the ADC 770 thus generates a first digital measurement signal and generates a second digital measurement signal for the second period. Both for the first digital measurement signal and for the second digital measurement signal can now according to the in connection with 3 . 4a and 4b principles discussed, the amplitude and the phase of the respective measurement signal can be determined by fitting a sinusoid to samples of the respective digital measurement signal. From these, in turn, according to the equations (5) to (8), the impedance of the exciting coil 740 be determined.

Bei dem in 7 dargestellten Aufbau der Wirbelstromprüfanordnung wird ausgenutzt, dass sich die Impedanz in der Erregerspule bei üblichen Messaufgaben nur relativ langsam ändert (weil das Magnetfeld eine ausreichend lange Zeit konstant ist), so dass mittels des Multiplexers Strom und Spannung in schneller Folge nacheinander gemessen werden können, ohne dass ein störender Fehler auftritt.At the in 7 The construction of the eddy-current test arrangement shown exploits the fact that the impedance in the excitation coil only changes relatively slowly during normal measurement tasks (because the magnetic field is constant for a sufficiently long time), so that current and voltage can be measured in quick succession by means of the multiplexer, without that a disturbing error occurs.

In 8 ist ein entsprechendes Verfahren 800 zum Bestimmen einer Impedanz einer Erregerspule einer Wirbelstromprüfanordnung gezeigt. Das Verfahren 800 umfasst ein Anlegen 802 eines ersten analogen Messsignals, das den an der Erregerspule anliegenden Strom repräsentiert, an einen ADC für einen ersten Zeitraum, um ein erstes digitales Messsignal zu erzeugen. Der ADC wird dabei synchron zu einer mit der Erregerspule gekoppelten Erregungsquelle betrieben. Ferner umfasst das Verfahren ein Anlegen 804 eines zweiten analogen Messsignals, das die an einer Messspule der Wirbelstromprüfanordnung anliegende Spannung repräsentiert, an den ADC für einen zweiten Zeitraum, um ein zweites digitales Messsignal zu erzeugen. Auch umfasst das Verfahren ein Bestimmen 806 einer Amplitude und einer Phase einer an Abtastwerte des ersten digitalen Messsignals angepassten Sinuskurve als Amplitude und Phase des ersten digitalen Messsignals. Zudem umfasst das Verfahren ein Bestimmen 808 einer Amplitude und einer Phase einer an Abtastwerte des zweiten digitalen Messsignals angepassten Sinuskurve als Amplitude und Phase des zweiten digitalen Messsignals. Das Verfahren umfasst ferner ein Bestimmen 810 der Impedanz der Erregerspule aus Amplitude und Phase des ersten digitalen Messsignals sowie Amplitude und Phase des zweiten digitalen Messsignals.In 8th is a corresponding procedure 800 for determining an impedance of an excitation coil of an eddy current testing arrangement. The procedure 800 includes a mooring 802 a first analog measurement signal representative of the current applied to the excitation coil to an ADC for a first time period to generate a first digital measurement signal. The ADC is thereby operated synchronously with an excitation source coupled to the exciter coil. Furthermore, the method comprises applying 804 a second analog measurement signal representative of voltage applied to a sense coil of the eddy current test arrangement to the ADC for a second time period to generate a second digital measurement signal. Also, the method includes determining 806 an amplitude and a phase of a sine wave adapted to samples of the first digital measurement signal as the amplitude and phase of the first digital measurement signal. In addition, the method includes determining 808 an amplitude and a phase of a sine wave adapted to samples of the second digital measurement signal as the amplitude and phase of the second digital measurement signal. The method further comprises determining 810 the impedance of the excitation coil from amplitude and phase of the first digital measurement signal and amplitude and phase of the second digital measurement signal.

Da neben der Spannung in der Messspule auch der an der Erregerspule anliegende Strom mit hoher Genauigkeit bestimmt wird, kann die Impedanz der Erregerspule mit hoher Genauigkeit aus den jeweiligen Amplituden und Phasen der beiden Messwerte bestimmt werden. Wie bei dem in Zusammenhang mit 6 beschriebenen Verfahren kann damit das fehlerhafte Bestimmen der Impedanz der Erregerspule aufgrund von Schwankungen des von der Erregungsquelle an die Erregerspule angelegten Signals vermieden werden.Since, in addition to the voltage in the measuring coil, the current applied to the exciter coil is determined with high accuracy, the impedance of the exciter coil can be determined with high accuracy from the respective amplitudes and phases of the two measured values. As with the related 6 Thus, the erroneous determination of the impedance of the exciting coil due to variations in the signal applied from the excitation source to the exciting coil can be avoided.

Aufgrund der Möglichkeit die Impedanz exakt zu bestimmen eigenen sich die vorgehend beschrieben Verfahren zur Verwendung in Verfahren zum Nachweis eines Fehlers in einer Probe (z.B. Risse, Poren oder Einschlüsse) oder in Verfahren zur Bestimmung eines Werkstoffparameters einer Probe (z.B. elektrische Leitfähigkeit, magnetische Permeabilität oder Schichtdicke), welche eine Wirbelstromprüfung beinhalten. Gegenüber bekannten Signalauswertungsmethoden kann durch die vorgeschlagenen Verfahren neben der Genauigkeit auch die Messgeschwindigkeit erhöht werden. Beispielsweise kann das Scannen von Bauteilen aus carbonfaserverstärktem Kunststoff (CFK), die Schichtdickenmessung dünner Schichten oder die inline Schichtdickenmessung mittels Wirbelstromprüfung erheblich beschleunigt werden.Because of the ability to accurately determine the impedance, the methods described above are suitable for use in methods for detecting a defect in a sample (eg, cracks, pores or inclusions) or in methods for determining a material parameter of a sample (eg, electrical conductivity, magnetic permeability or the like) Layer thickness), which include an eddy current test. Compared with known signal evaluation methods can be increased by the proposed method in addition to the accuracy and the measurement speed. For example, the scanning of components made of carbon fiber reinforced plastic (CFRP), the layer thickness measurement of thin layers or the inline coating thickness measurement can be considerably accelerated by means of eddy current testing.

Die in der vorstehenden Beschreibung, den nachfolgenden Ansprüchen und den beigefügten Figuren offenbarten Merkmale können sowohl einzeln wie auch in beliebiger Kombination für die Verwirklichung eines Ausführungsbeispiels in ihren verschiedenen Ausgestaltungen von Bedeutung sein und implementiert werden.The features disclosed in the foregoing description, the appended claims and the appended figures may be taken to be and effect both individually and in any combination for the realization of an embodiment in its various forms.

Obwohl manche Aspekte im Zusammenhang mit einer Vorrichtung beschrieben wurden, versteht es sich, dass diese Aspekte auch eine Beschreibung des entsprechenden Verfahrens darstellen, sodass ein Block oder ein Bauelement einer Vorrichtung auch als ein entsprechender Verfahrensschritt oder als ein Merkmal eines Verfahrensschrittes zu verstehen ist. Analog dazu stellen Aspekte, die im Zusammenhang mit einem oder als ein Verfahrensschritt beschrieben wurden, auch eine Beschreibung eines entsprechenden Blocks oder Details oder Merkmals einer entsprechenden Vorrichtung dar.Although some aspects have been described in the context of a device, it will be understood that these aspects also constitute a description of the corresponding method, so that a block or a component of a device is also to be understood as a corresponding method step or as a feature of a method step. Similarly, aspects described in connection with or as a method step also represent a description of a corresponding block or detail or feature of a corresponding device.

Die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele stellen lediglich eine Veranschaulichung der Prinzipien der vorliegenden Erfindung dar. Es versteht sich, dass Modifikationen und Variationen der hierin beschriebenen Anordnungen und Einzelheiten anderen Fachleuten einleuchten werden. Deshalb ist beabsichtigt, dass die Erfindung lediglich durch den Schutzumfang der nachstehenden Patentansprüche und nicht durch die spezifischen Einzelheiten, die anhand der Beschreibung und der Erläuterung der Ausführungsbeispiele hierin präsentiert wurden, beschränkt sei.The embodiments described above are merely illustrative of the principles of the present invention. It will be understood that modifications and variations of the arrangements and details described herein will be apparent to others of ordinary skill in the art. Therefore, it is intended that the invention be limited only by the scope of the appended claims and not by the specific details presented in the description and explanation of the embodiments herein.

Claims (9)

Verfahren (300) zum Auswerten eines digitalen Messsignals einer Wirbelstromprüfanordnung mit einer Mehrzahl an Abtastwerten, wobei das digitale Messsignal auf einem analogen Messsignal einer Messspule der Wirbelstromprüfanordnung basiert, umfassend: Anpassen (302) einer Sinuskurve an die Mehrzahl an Abtastwerten des digitalen Messsignals; und Bestimmen (304) einer Amplitude und einer Phase der Sinuskurve als Amplitude und Phase des digitalen Messsignals.Procedure ( 300 ) for evaluating a digital measurement signal of an eddy current test arrangement having a plurality of samples, the digital measurement signal being based on an analog measurement signal of a measurement coil of the eddy current test arrangement, comprising: fitting ( 302 ) a sine wave to the plurality of samples of the digital measurement signal; and determining ( 304 ) of an amplitude and a phase of the sinusoid as the amplitude and phase of the digital measurement signal. Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Anpassen (302) der Sinuskurve an die Mehrzahl an Abtastwerten des digitalen Messsignals iterativ erfolgt.The method of claim 1, wherein said adjusting ( 302 ) of the sine wave iteratively to the plurality of samples of the digital measurement signal. Verfahren nach Anspruch 2, wobei für das Anpassen (302) der Sinuskurve an die Mehrzahl an Abtastwerten des digitalen Messsignals in einer ersten Iteration ein mittels linearer Interpolation aus zumindest zwei der Mehrzahl an Abtastwerten bestimmter Nulldurchgang des digitalen Messsignals verwendet wird.Method according to claim 2, wherein for the adaptation ( 302 ) of the sine wave to the plurality of samples of the digital measurement signal in a first iteration, a zero crossing of the digital measurement signal determined by linear interpolation from at least two of the plurality of samples is used. Verfahren nach Anspruch 2 oder Anspruch 3, wobei das Anpassen (302) der Sinuskurve an die Mehrzahl an Abtastwerten des digitalen Messsignals ausgeführt wird, bis die Sinuskurve einem Qualitätskriterium genügt.Method according to claim 2 or claim 3, wherein said fitting ( 302 ) of the sine wave is performed on the plurality of samples of the digital measurement signal until the sine wave satisfies a quality criterion. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Verfahren ferner ein Erzeugen des digitalen Messsignals mittels eines Analog-Digital-Wandlers umfasst, wobei der Analog-Digital-Wandler synchron zu einer mit einer Erregerspule der Wirbelstromprüfanordnung gekoppelten Erregungsquelle betrieben wird.The method of claim 1, wherein the method further comprises generating the digital measurement signal using an analog-to-digital converter, wherein the analog-to-digital converter is operated in synchronism with an excitation source coupled to an excitation coil of the eddy current testing arrangement. Verfahren (600) zum Bestimmen einer Impedanz einer Erregerspule einer Wirbelstromprüfanordnung, umfassend: Erzeugen (602) eines ersten digitalen Messsignals auf Basis eines ersten analogen Messsignals, das den an der Erregerspule anliegenden Strom repräsentiert, mittels eines ersten Analog-Digital-Wandlers; Erzeugen (604) eines zweiten digitalen Messsignals auf Basis eines zweiten analogen Messsignals, das die an einer Messspule der Wirbelstromprüfanordnung anliegende Spannung repräsentiert, mittels eines zweiten Analog-Digital-Wandlers, wobei der zweite Analog-Digital-Wandler synchron zu dem ersten Analog-Digital-Wandler betrieben wird; Bestimmen (606) einer Amplitude und einer Phase einer an Abtastwerte des ersten digitalen Messsignals angepassten Sinuskurve als Amplitude und Phase des ersten digitalen Messsignals; Bestimmen (608) einer Amplitude und einer Phase einer an Abtastwerte des zweiten digitalen Messsignals angepassten Sinuskurve als Amplitude und Phase des zweiten digitalen Messsignals; und Bestimmen (610) der Impedanz der Erregerspule aus Amplitude und Phase des ersten digitalen Messsignals sowie Amplitude und Phase des zweiten digitalen Messsignals.Procedure ( 600 ) for determining an impedance of an excitation coil of an eddy current testing arrangement, comprising: generating ( 602 ) of a first digital measurement signal based on a first analog measurement signal representing the current applied to the exciter coil, by means of a first analog-to-digital converter; Produce ( 604 ) of a second digital measurement signal based on a second analog measurement signal representing the voltage applied to a measurement coil of the eddy current test arrangement voltage, by means of a second analog-to-digital converter, wherein the second analog-digital converter operated synchronously to the first analog-to-digital converter becomes; Determine ( 606 ) an amplitude and a phase of a sine curve adapted to samples of the first digital measurement signal as the amplitude and phase of the first digital measurement signal; Determine ( 608 ) an amplitude and a phase of a sine wave adapted to samples of the second digital measurement signal as the amplitude and phase of the second digital measurement signal; and determining ( 610 ) of the impedance of the excitation coil from amplitude and phase of the first digital measurement signal and amplitude and phase of the second digital measurement signal. Verfahren (800) zum Bestimmen einer Impedanz einer Erregerspule einer Wirbelstromprüfanordnung, umfassend: Anlegen (802) eines ersten analogen Messsignals, das den an der Erregerspule anliegenden Strom repräsentiert, an einen Analog-Digital-Wandler für einen ersten Zeitraum, um ein erstes digitales Messsignal zu erzeugen, wobei der Analog-Digital-Wandler synchron zu einer mit der Erregerspule gekoppelten Erregungsquelle betrieben wird; Anlegen (804) eines zweiten analogen Messsignals, das die an einer Messspule der Wirbelstromprüfanordnung anliegende Spannung repräsentiert, an den Analog-Digital-Wandler für einen zweiten Zeitraum, um ein zweites digitales Messsignal zu erzeugen; Bestimmen (806) einer Amplitude und einer Phase einer an Abtastwerte des ersten digitalen Messsignals angepassten Sinuskurve als Amplitude und Phase des ersten digitalen Messsignals; Bestimmen (808) einer Amplitude und einer Phase einer an Abtastwerte des zweiten digitalen Messsignals angepassten Sinuskurve als Amplitude und Phase des zweiten digitalen Messsignals; und Bestimmen (810) der Impedanz der Erregerspule aus Amplitude und Phase des ersten digitalen Messsignals sowie Amplitude und Phase des zweiten digitalen Messsignals. Procedure ( 800 ) for determining an impedance of an excitation coil of an eddy current testing arrangement, comprising: applying ( 802 ) a first analog measurement signal representative of the current applied to the excitation coil to an analog-to-digital converter for a first time period to generate a first digital measurement signal, the analog-to-digital converter being synchronous with an excitation source coupled to the excitation coil is operated; Invest ( 804 ) a second analog measurement signal representative of voltage applied to a sense coil of the eddy current test arrangement to the analog-to-digital converter for a second time period to generate a second digital measurement signal; Determine ( 806 ) an amplitude and a phase of a sine curve adapted to samples of the first digital measurement signal as the amplitude and phase of the first digital measurement signal; Determine ( 808 ) an amplitude and a phase of a sine wave adapted to samples of the second digital measurement signal as the amplitude and phase of the second digital measurement signal; and determining ( 810 ) of the impedance of the excitation coil from amplitude and phase of the first digital measurement signal and amplitude and phase of the second digital measurement signal. Verwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 5, des Verfahrens nach Anspruch 6 oder des Verfahrens nach Anspruch 7 in einem Verfahren zur Bestimmung eines Werkstoffparameters einer Probe.Use of the method according to one of claims 1 to 5, of the method according to claim 6 or the method of claim 7 in a method for determining a material parameter of a sample. Verwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 5, des Verfahrens nach Anspruch 6 oder des Verfahrens nach Anspruch 7 in einem Verfahren zum Nachweis eines Fehlers in einer Probe.Use of the method according to one of claims 1 to 5, the method of claim 6 or the method of claim 7 in a method for detecting a defect in a sample.
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