DE102016102388A1 - proportional valve - Google Patents

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Collin Dymel
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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Proportionalventil (1) mit einem durch ein Steuersignal ansteuerbaren Vorsteuerventil (2) und einem mittels des Vorsteuerventils (2) betätigbaren Booster-Ventil (3), wobei das Proportionalventil (1) einen Druckluftanschluss (6) zum Anschluss einer Druckluftversorgung, einen Arbeitsanschluss (5) und einen Entlüftungsanschluss (4) aufweist. Das Booster-Ventil (3) weist drei einander nachgeschaltete und jeweils in einer axialen Richtung gegen eine Federkraft bewegliche Ventilelemente (8, 9, 10) auf, nämlich ein erstes durch das Vorsteuerventil (2) betätigtes Ventilelement (8), ein zweites Ventilelement (9), welches durch das erste Ventilelement (2) betätigt wird und ein drittes Ventilelement (10), welches durch das zweite Ventilelement (9) betätigt wird. Innerhalb des Booster-Ventils (3) sind wenigstens zwei mit jeweils mindestens einem der Ventilelemente (8, 9, 10) zusammenwirkende Dichtsitze (26, 27) derart ausgebildet und angeordnet, dass bei Variation des das Vorsteuerventil (2) ansteuernden Steuersignals und der hierdurch kaskadenartig bewirkten Verstellung der axialen Stellungen des ersten, zweiten und dritten Ventilelements (8, 9, 10) verschiedene Schaltzustände zum Entlüften und Belüften des Arbeitsanschlusses (5) und zum Halten eines am Arbeitsanschluss (5) anliegenden Drucks einstellbar sind, wobei ferner ein die axiale Stellung des ersten Ventilelements (8) erfassender Positionssensor (31) vorgesehen ist und eine Steuereinheit (36) des Proportionalventils (1) derart eingerichtet ist, dass zur Berechnung des zur Erzielung eines gewünschten Schaltzustands des Booster-Ventils (2) benötigten Steuersignals für das Vorsteuerventil (2) das Messsignal des Positionssensors (31) ausgewertet wird.The present invention relates to a proportional valve (1) with a controllable by a control signal pilot valve (2) and an actuated by means of the pilot valve (2) booster valve (3), wherein the proportional valve (1) a compressed air connection (6) for connecting a compressed air supply , a working connection (5) and a ventilation connection (4). The booster valve (3) has three valve elements (8, 9, 10) which are connected downstream of one another and can be moved in each case in an axial direction, namely a first valve element (8) actuated by the pilot valve (2), a second valve element (8). 9) actuated by the first valve element (2) and a third valve element (10) actuated by the second valve element (9). Within the booster valve (3), at least two sealing seats (26, 27) cooperating with in each case at least one of the valve elements (8, 9, 10) are designed and arranged such that upon variation of the control signal controlling the pilot valve (2) and thereby cascade-like adjustment of the axial positions of the first, second and third valve element (8, 9, 10) different switching states for venting and venting the working port (5) and for holding a pressure applied to the working port (5) are adjustable, further one axial Position of the first valve element (8) detecting position sensor (31) is provided and a control unit (36) of the proportional valve (1) is arranged such that for calculating the required to achieve a desired switching state of the booster valve (2) control signal for the pilot valve (2) the measurement signal of the position sensor (31) is evaluated.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Proportionalventil mit einem durch ein Steuersignal ansteuerbaren Vorsteuerventil und einem mittels des Vorsteuerventils betätigbaren Booster-Ventil, wobei das Proportionalventil einen Druckluftanschluss zum Anschluss einer Druckluftversorgung, einen Arbeitsanschluss und einen Entlüftungsanschluss aufweist.The present invention relates to a proportional valve with a controllable by a control signal pilot valve and an actuatable by means of the pilot valve booster valve, wherein the proportional valve has a compressed air connection for connecting a compressed air supply, a working port and a vent port.

Derartige Proportionalventile, die insbesondere zum Betätigen einer pneumatischen Armatur, eines pneumatischen Antriebs oder sonstiger pneumatischer Stellglieder Verwendung finden, sind in vielfältiger Weise aus dem Stand der Technik bekannt.Such proportional valves, which are used in particular for actuating a pneumatic fitting, a pneumatic drive or other pneumatic actuators are known in many ways from the prior art.

Als proportionales Ventil muss es dazu geeignet sein, an dem zum Anschluss der pneumatischen Armatur vorgesehenen Arbeitsanschluss einen möglichst präzise regelbaren (Luft-)Druck zur Verfügung zu stellen. Hierzu werden durch geeignete Betätigung des Ventils mittels des Vorsteuerventils typischerweise verschiedene Ventilstellungen angefahren, mit denen der Arbeitsanschluss wahlweise mit der Druckluftversorgung oder der Entlüftung fluidleitend gekoppelt oder – zum Halten eines am Arbeitsanschluss vorherrschenden Drucks – von beiden entkoppelt wird. Als proportionales Ventil sollen dabei auch Zwischenstellungen zwischen einem vollständigen Belüften und einem vollständigen Entlüften der am Arbeitsanschluss angeschlossenen Armatur möglich sein.As a proportional valve, it must be capable of providing as precise a control (air) pressure as possible at the working connection provided for the connection of the pneumatic fitting. For this purpose, by appropriate actuation of the valve by means of the pilot valve typically different valve positions are approached, with which the working port optionally fluid-coupled with the compressed air supply or the vent or - for holding a prevailing at the working pressure - is decoupled from both. In this case, intermediate positions between a complete venting and a complete venting of the valve connected to the working connection should also be possible as a proportional valve.

Proportionale Ventile der vorstehend genannten Art sind relativ aufwendig in ihrer Bauart und ihrem Betrieb.Proportional valves of the aforementioned type are relatively expensive in their design and operation.

Im Stand der Technik wird dabei häufig auf so genannte Schieberventile zurückgegriffen, bei denen wenigstens ein linear verschiebbares Ventilelement je nach seiner Stellung eine seitlich des Ventilelements angeordnete und den Luftstrom beeinflussende Öffnung entweder (vollständig oder teilweise) freigibt oder verschließt. Im Gegensatz zu Sitzventilen ist hierbei jedoch mangels eines den Fluidfluss wirksam sperrenden Dichtsitzes stets mit einer für präzise Anwendungsfälle nachteiligen Leckage zu rechnen, die im Rahmen der vorliegenden Erfindung vorteilhaft möglichst gering gehalten bzw. ganz vermieden werden sollte.In the prior art, so-called slide valves are frequently used, in which at least one linearly displaceable valve element either opens (completely or partially) or closes either side of the valve element and influences the air flow, depending on its position. In contrast to poppet valves, however, in the absence of a fluid seal effectively blocking the sealing seat, a leakage which is disadvantageous for precise applications must always be expected, which should advantageously be kept as low as possible within the scope of the present invention or avoided altogether.

Aus der DE 10 2012 017 713 A1 ist darüber hinaus bereits ein gattungsgemäßes proportionales Ventil in Form eines Stellungsreglers bekannt, bei dem eine durch ein Vorsteuerventil betätigte Leistungsstufe (= Booster-Ventil) zwei federnd vorgespannte Sitzventile als Druck-Weg-Wandler umfasst, die von einem gemeinsamen Steuerraum aus mit Druck beaufschlagt werden und die bei Anstieg des im Steuerraum vorherrschenden Drucks sequentiell betätigt werden, um verschiedene Schaltzustände zu realisieren. Aufgrund der dort auf verschiedenen Seiten des gemeinsamen Steuerraums anzuordnenden Sitzventile benötigt der in der DE 10 2012 017 713 A1 beschriebene Stellungsregler einen nicht unerheblichen Bauraum, der mit der vorliegenden Erfindung reduziert werden soll.From the DE 10 2012 017 713 A1 In addition, a generic proportional valve in the form of a positioner is already known in which an actuated by a pilot valve power stage (= booster valve) comprises two spring-biased poppet valves as a pressure-way converter, which are acted upon by a common control chamber with pressure and which are sequentially operated upon rise of the pressure prevailing in the control space to realize various switching states. Due to the there on different sides of the common control room to be arranged seat valves needed in the DE 10 2012 017 713 A1 described positioner a considerable amount of space to be reduced with the present invention.

In Zusammenhang mit der regelungstechnischen Ansteuerung von mit Sitzventilen ausgestalteten Proportionalventilen ist zu berücksichtigen, dass sich dabei – abhängig von der konkreten Bauart des Ventils – vergleichsweise komplexe Kennlinien ergeben können. Dies gilt insbesondere dann, wenn der zum Betätigen des Booster-Ventils benötigte Steuerdruck abhängig vom momentanen Arbeitsdruck am Arbeitsausgang des Ventils ist. Ferner kann bei Verwendung eines piezoelektrischen Vorsteuerventils ein hysteresebehafteter Zusammenhang zwischen dem Steuersignal und dem durch das Vorsteuerventil erzeugten Vorsteuerdruck entstehen, der auf die Kennlinie des Gesamtventils durchschlägt.In connection with the control engineering control of proportional valves designed with seat valves, it must be taken into account that comparatively complex characteristics may result depending on the specific design of the valve. This is especially true when the control pressure required to actuate the booster valve is dependent on the current working pressure at the working outlet of the valve. Furthermore, when using a piezoelectric pilot valve, a hysteresis-related relationship between the control signal and the pilot pressure generated by the pilot valve arise, which strikes the characteristic of the overall valve.

Vor diesem Hintergrund ist es die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein verbessertes proportionales Ventil der eingangs genannten Art bereitzustellen, welches insbesondere einen möglichst geringen (seitlichen) Bauraum benötigt und dabei gleichzeitig auf besonders einfache Weise zuverlässig und präzise betreibbar ist.Against this background, it is the object of the present invention to provide an improved proportional valve of the type mentioned, which in particular requires the smallest possible (lateral) space and at the same time in a particularly simple manner reliable and precise operation.

Diese Aufgabe wird durch ein Proportionalventil nach Anspruch 1 gelöst. Bevorzugte Ausgestaltungen eines solchen Ventils ergeben sich aus den abhängigen Patentansprüchen und der nachfolgenden Beschreibung.This object is achieved by a proportional valve according to claim 1. Preferred embodiments of such a valve will become apparent from the dependent claims and the description below.

Das erfindungsgemäße Proportionalventil zeichnet sich neben den eingangs genannten Merkmalen dadurch aus, dass das Booster-Ventil drei einander nachgeschaltete und jeweils in einer axialen Richtung gegen eine Federkraft bewegliche Ventilelemente aufweist, nämlich

  • – ein erstes durch das Vorsteuerventil betätigtes Ventilelement,
  • – ein zweites Ventilelement, welches durch das erste Ventilelement betätigt wird und
  • – ein drittes Ventilelement, welches durch das zweite Ventilelement betätigt wird,
wobei innerhalb des Booster-Ventils wenigstens zwei mit jeweils mindestens einem der Ventilelemente zusammenwirkende Dichtsitze derart ausgebildet und angeordnet sind, dass bei Variation des das Vorsteuerventil ansteuernden Steuersignals (mit welchem der Schaltzustand des Vorsteuerventils und damit der vom Vorsteuerventil erzeugte Vorsteuerdruck verändert wird) und der hierdurch kaskadenartig bewirkten Verstellung der axialen Stellungen des ersten, zweiten und dritten Ventilelements verschiedene Schaltzustände zum Entlüften und Belüften des Arbeitsanschlusses und zum Halten eines am Arbeitsanschluss anliegenden Drucks einstellbar sind. Schließlich ist dabei noch erfindungsgemäß vorgesehen, dass ein die axiale Stellung des ersten Ventilelements erfassender Positionssensor vorgesehen ist und dass eine Steuereinheit des Proportionalventils derart eingerichtet ist, dass zur Berechnung des zur Erzielung eines gewünschten Schaltzustands des Booster-Ventils benötigten Steuersignals für das Vorsteuerventil das Messsignal des Positionssensors ausgewertet wird.The proportional valve according to the invention is characterized in addition to the features mentioned in the fact that the booster valve has three downstream and each movable in an axial direction against a spring force valve elements, namely
  • A first valve element actuated by the pilot valve,
  • - A second valve element, which is actuated by the first valve element and
  • A third valve element actuated by the second valve element,
wherein within the booster valve at least two sealing seats cooperating with at least one of the valve elements are designed and arranged such that upon variation of the control valve controlling the control signal (with which the switching state of the pilot valve and thus the pilot pressure generated by the pilot valve is changed) and thereby cascaded caused adjustment of the axial positions of the first, second and third valve element various switching states for venting and venting the working port and holding a pressure applied to the working port are adjustable. Finally, it is still provided according to the invention that a the axial position of the first valve element detecting position sensor is provided and that a control unit of the proportional valve is arranged such that for calculating the required for achieving a desired switching state of the booster valve control signal for the pilot valve, the measurement signal of Position sensor is evaluated.

Anders als im weiter oben bereits genannten Stand der Technik werden im Rahmen der vorliegenden Erfindung somit nicht zwei Sitzventile als Bestandteil je eines Druck-Weg-Wandlers durch den Druck in einem gemeinsamen Steuerraum betätigt, sondern es findet vorliegend eine kaskadenartige Verstellung der den Fluidfluss innerhalb des Ventils beeinflussenden Ventilelemente statt, bei der das erste Ventilelement durch das Vorsteuerventil und die dem ersten Ventilelemente nachgeschalteten Ventilelemente sukzessive – insbesondere rein mechanisch – durch das jeweils vorherige Ventilelement betätigt werden. Es ist evident, dass aufgrund der axialen Betätigungsrichtung für alle drei Ventilelemente der für ein erfindungsgemäßes Ventil benötigte Bauraum – insbesondere in einer seitlich zur axialen Bewegungsrichtung der Ventilelemente liegenden Richtung – besonders kompakt sein kann.Unlike in the prior art already mentioned above, in the context of the present invention, therefore, not two poppet valves are actuated as part of each pressure-path converter by the pressure in a common control chamber, but instead there is a cascade-like adjustment of the fluid flow within the poppet Valve influencing valve elements instead, in which the first valve element by the pilot valve and the valve elements downstream of the first valve elements successively - in particular purely mechanically - are actuated by the respective previous valve element. It is evident that due to the axial actuation direction for all three valve elements, the installation space required for a valve according to the invention - especially in a direction laterally to the axial direction of movement of the valve elements - can be particularly compact.

Ferner kann aufgrund des Umstands, dass innerhalb des Ventils zwei mit jeweils mindestens einem Ventilelement zusammenwirkende Dichtsitze realisiert sind, ein besonders leckagearmer bzw. leckagefreier Betrieb gewährleistet werden, was insbesondere zum Halten eines am Arbeitsanschluss vorherrschenden Drucks von großem Vorteil ist und den pneumatischen Energieverbrauch des Ventils minimal hält. Trotz der hierdurch entstehenden Hysterese-Effekte, die weiter unten im Rahmen der Figurenbeschreibung noch näher erläutert werden, lässt sich ein erfindungsgemäßes Ventil unter Verwendung des erfindungsgemäß vorgesehenen Positionssensors mit besonders hoher Regelgüte in einfacher Weise betreiben.Furthermore, owing to the fact that two sealing seats cooperating with at least one valve element are realized within the valve, a particularly leak-free or leak-free operation can be ensured, which is particularly advantageous for maintaining a pressure prevailing at the working connection and the pneumatic energy consumption of the valve keeps minimal. Despite the resulting hysteresis effects, which are explained in more detail below in the description of the figures, a valve according to the invention can be operated in a simple manner using the inventively provided position sensor with a particularly high control quality.

Bei dem das Vorsteuerventil ansteuernden Steuersignal kann es sich beispielsweise um eine Steuerspannung handeln, wobei selbstverständlich auch die Verwendung andersartiger Steuersignale (z. B. in Form von PWM-Signalen) in Frage kommt.The control signal which activates the pilot control valve may, for example, be a control voltage, whereby it is of course also possible to use other types of control signals (eg in the form of PWM signals).

Zur Berechnung der zur Erzielung oder Beibehaltung eines gewünschten Schaltzustands des Booster-Ventils benötigten Variation des Steuersignals für das Vorsteuerventil wird erfindungsgemäß das Messsignal eines Positionssensors ausgewertet, der die axiale Stellung bzw. Position des ersten Ventilelements, also den Ventilhub, erfasst. Das Gesamtventil erweist sich dabei trotz eines (in regelungstechnischer Hinsicht) vergleichsweise komplexen Ventilaufbaus mit kaskadenartiger Verstellung von wenigstens drei federvorgespanten Ventilelementen als in besonders einfacher Weise ansteuerbar. Dies ist möglich, da bei dem erfindungsgemäßen Ventil der konkret eingenommene Schaltzustand des Gesamtventils letztlich (ausschließlich) durch die aktuelle Position des ersten Ventilelements bestimmt ist. Mit Ermittlung der Position des ersten Ventilelements liegt somit die wesentliche Information zum aktuellen Schaltzustand des Ventils vor.In order to calculate the variation of the control signal for the pilot valve required for achieving or maintaining a desired switching state of the booster valve, the measuring signal of a position sensor is evaluated according to the invention, which detects the axial position or position of the first valve element, ie the valve lift. The total valve proves to be despite a (in control engineering terms) comparatively complex valve structure with cascade-like adjustment of at least three spring-spun valve elements as controlled in a particularly simple manner. This is possible because in the valve according to the invention the actual assumed switching state of the overall valve is ultimately (exclusively) determined by the current position of the first valve element. By determining the position of the first valve element is thus the essential information on the current switching state of the valve.

Selbstverständlich greift die Steuereinheit des Proportionalventils im Rahmen der Berechnung des jeweils benötigten Steuersignals (d. h. z. B. der neu einzustellenden Steuerspannung für das Vorsteuerventil) in bevorzugter Weise auf geeignet in einer Speichereinheit hinterlegte Werte zurück, mit denen einer bestimmten axialen Stellung des ersten Ventilelements (bzw. dem hierzu korrespondierenden Messsignal des Positionssensors) der hierdurch jeweils realisierte Ventilzustand des Booster-Ventils zugeordnet ist.Of course, the control unit of the proportional valve in the context of the calculation of the respective required control signal (ie, for example, the newly adjusted control voltage for the pilot valve) in a preferred manner on suitably stored in a memory unit values with which a particular axial position of the first valve element (or. the measurement signal of the position sensor corresponding thereto) is associated with the respectively realized valve state of the booster valve.

Prinzipiell kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung auf einen rein mechanischen Positionssensor zurückgegriffen werden. Als besonders vorteilhaft erweist es sich jedoch, wenn der Positionssensor zur berührungslosen Messung der axialen Stellung des ersten Ventilelements eingerichtet ist. Dabei kann dann in besonders zweckmäßiger Ausgestaltung vorgesehen sein, dass der Positionssensor auf einem optischen, kapazitiven oder magnetischen Messprinzip basiert.In principle, in the context of the present invention, a purely mechanical position sensor can be used. However, it proves to be particularly advantageous if the position sensor is set up for non-contact measurement of the axial position of the first valve element. In this case, it may then be provided in a particularly expedient embodiment that the position sensor is based on an optical, capacitive or magnetic measuring principle.

Als besonders vorteilhaft erweist sich dabei die Verwendung eines Magnetfeldwinkelsensors als Positionssensor, der vorteilhaft als AMR-, TMR- oder GMR-Sensor ausgestaltet sein kann.In this case, it proves to be particularly advantageous to use a magnetic field angle sensor as a position sensor, which can advantageously be designed as an AMR, TMR or GMR sensor.

AMR-Sensoren nutzen dabei den so genannten anisotropen magnetoresistiven (= AMR-)Effekt. TMR- und GMR-Sensoren nutzen den magnetischen Tunnelwiderstand (engl: magnetic tunnel resistance = TMR) bzw. den so genannten Riesenmagnetwiderstand (engl: giant magnetoresistance = GMR). Da auf diesen Prinzipien arbeitende Sensoren dem Grunde nach aus dem Stand der Technik hinlänglich bekannt und kommerziell erhältlich sind, darf auf eine weitergehende Erläuterung der verschiedenen Messprinzipien verzichtet werden. Entscheidend ist im Kontext der vorliegenden Erfindung, dass mit den vorstehend genannten Sensortypen mit hoher Energieeffizienz insbesondere hochpräzise Messergebnisse erzielbar sind.AMR sensors use the so-called anisotropic magnetoresistive (= AMR) effect. TMR and GMR sensors use the magnetic tunnel resistance (TMR) or the so-called giant magnetoresistance (GMR). Since sensors operating on these principles are fundamentally well known from the prior art and are commercially available, a further explanation of the various measuring principles may be dispensed with. It is crucial in the context of the present invention that particularly high-precision measurement results can be achieved with the above-mentioned sensor types with high energy efficiency.

Wie bereits weiter oben andiskutiert, kann in besonders bevorzugter Ausgestaltung der Erfindung vorgesehen sein, dass die Steuereinheit des Proportionalventils derart eingerichtet ist, dass das zur Erzielung eines gewünschten Schaltzustands des Booster-Ventils benötigte Steuersignal für das Vorsteuerventil unter ausschließlichem Rückgriff auf das Messsignal des Positionssensors berechnet wird. Mit anderen Worten lässt sich ein erfindungsgemäßes Ventil also vorteilhaft so betreiben, dass zur hochpräzisen Ansteuerung des Ventils keine weiteren Messsignale als diejenigen des Positionssensors benötigt werden.As already discussed above, in a particularly preferred embodiment of the Be provided invention that the control unit of the proportional valve is arranged such that the time required to achieve a desired switching state of the booster valve control signal for the pilot valve is calculated exclusively by resorting to the measurement signal of the position sensor. In other words, a valve according to the invention can thus advantageously be operated in such a way that no further measuring signals than those of the position sensor are required for high-precision control of the valve.

Zur konkreten Ausgestaltung des Ventils kann vorteilhaft vorgesehen sein, dass das erste Ventilelement durch einen Membranteller mit einem sich in axialer Richtung erstreckenden und eine axiale Bohrung aufweisenden Membrantellerschaft gebildet ist. Das zweite Ventilelement kann vorteilhaft durch einen federnd in einer zum Membranteller weisenden Richtung vorgespannten Ventilstößel gebildet sein, der auf einer zum Membrantellerschaft weisenden Stirnseite einen ersten Dichtsitz für das freie Ende des daran zur Anlage bringbaren Membrantellerschafts aufweist. Das dritte Ventilelement kann vorteilhaft durch ein Sockelelement gebildet sein, das in einer zum Ventilstößel weisenden Richtung federnd gegen einen zweiten Dichtsitz vorgespannt ist und durch axiale Verschiebung des am Sockelelement zur Anlage gebrachten Ventilstößels von dem zweiten Dichtsitz abhebbar ist. Hierdurch lässt sich ein besonders kompakter Ventilaufbau erreichen, wie dies weiter unten anhand eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung noch näher erläutert ist.For a concrete embodiment of the valve can advantageously be provided that the first valve element is formed by a diaphragm plate with a extending in the axial direction and an axial bore diaphragm plate shaft. The second valve element can advantageously be formed by a spring-loaded in a direction facing the diaphragm plate direction valve tappet having on a side facing the diaphragm plate shaft end face a first sealing seat for the free end of it can be brought to bear the diaphragm plate shaft. The third valve element can advantageously be formed by a base element, which is resiliently biased in a direction facing the valve stem direction against a second sealing seat and can be lifted by axial displacement of the stem element brought to bear on the valve stem of the second sealing seat. This makes it possible to achieve a particularly compact valve construction, as will be explained in more detail below with reference to an exemplary embodiment of the present invention.

Da ein auf einem magnetischen Messprinzip basierender Positionssensor zur Messung der axialen Stellung des ersten Ventilelements selbstverständlich mit einem geeignet am ersten Ventilelement vorgesehenen Magnetelement zusammenwirken muss, kann in bevorzugter Ausgestaltung der Erfindung vorgesehen sein, dass der Positionssensor mit einem in den Membranteller integrierten Magnetelement zusammenwirkt.Since a position sensor based on a magnetic measuring principle for measuring the axial position of the first valve element must naturally cooperate with a magnet element suitably provided on the first valve element, in a preferred embodiment of the invention it can be provided that the position sensor cooperates with a magnetic element integrated in the diaphragm plate.

In abermals bevorzugter Weiterbildung der vorliegenden Erfindung kann vorgesehen sein, dass eine den ersten und/oder zweiten Dichtsitz bildende und/oder hiermit zusammenwirkende Oberfläche zur Feinregulierung des Fluidstroms aus einem polymeren Material besteht, insbesondere mit vom jeweiligen Dichtungspartner ggf. abweichendem elastischem Verhalten. Hierdurch lassen sich besonders feine Übergänge in Bezug auf die für einen Proportionalbetrieb des Ventils benötigten Zwischenstellungen des erfindungsgemäßen Proportionalventils erzielen.In again preferred embodiment of the present invention can be provided that a first and / or second sealing seat forming and / or cooperating surface for fine adjustment of the fluid flow of a polymeric material, in particular with the respective sealing partner possibly deviating elastic behavior. As a result, particularly fine transitions with respect to the intermediate positions of the proportional valve according to the invention required for a proportional operation of the valve can be achieved.

In schaltungstechnischer Hinsicht kann schließlich bevorzugt vorgesehen sein, dass das Vorsteuerventil, bei dem es sich in vorteilhafter Weise um ein piezoelektrisches Vorsteuerventil handeln kann, ein 3/2-Wegeventil ist. Das Booster-Ventil kann vorteilhaft als 3/3-Wegeventil ausgestaltet sein.Finally, with regard to circuitry, it can preferably be provided that the pilot valve, which may advantageously be a piezoelectric pilot valve, is a 3/2-way valve. The booster valve can advantageously be designed as a 3/3-way valve.

Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Ventils anhand der Zeichnung näher erläutert. Dabei zeigtHereinafter, an embodiment of a valve according to the invention will be explained in more detail with reference to the drawing. It shows

1 eine schematische Ansicht eines erfindungsgemäßen Proportionalventils und seiner Komponenten und die 1 a schematic view of a proportional valve according to the invention and its components and the

2–4 drei verschiedene Diagramme zu verschiedenen Kennlinien eines erfindungsgemäßen Ventils zur Veranschaulichung der komplexen Zusammenhänge zwischen verschiedenen Ventilparametern. 2 - 4 three different diagrams of different characteristics of a valve according to the invention to illustrate the complex relationships between different valve parameters.

1 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Proportionalventils 1, welches ein pneumatisches, piezoelektrisches Vorsteuerventil 2 als Vorstufe und ein Booster-Ventil 3 als Leistungsstufe aufweist. 1 shows an embodiment of a proportional valve according to the invention 1 , which is a pneumatic, piezoelectric pilot valve 2 as a precursor and a booster valve 3 as a power level.

Das Ventil 1 weist ferner einen Entlüftungsanschluss 4, einen Arbeitsanschluss 5 zum Anschluss einer mit dem Ventil 1 zu betätigenden pneumatischen Armatur (nicht dargestellt) und einen Anschluss 6 für eine Druckluftversorgung mit einem vorgegebenen Luftdruck von beispielsweise 8 bar auf. Ferner ist ein Druckregler 7 vorgesehen, mit welchem aus dem am Anschluss 6 für die Druckluftversorgung vorherrschenden Druck ein demgegenüber geringerer Druck von z. B. 1,2 bar als Eingangsdruck für das zur Betätigung des Booster-Ventils 3 vorgesehene pneumatische Vorsteuerventil 2 gewinnbar ist.The valve 1 also has a vent port 4 , a work connection 5 to connect one with the valve 1 to be operated pneumatic fitting (not shown) and a connection 6 for a compressed air supply with a predetermined air pressure of for example 8 bar. Further, a pressure regulator 7 provided, with which from the at the connection 6 for the compressed air supply prevailing pressure on the other hand, a lower pressure of z. B. 1.2 bar as input pressure for the operation of the booster valve 3 provided pneumatic pilot valve 2 is profitable.

Das Ventil 1 weist ferner drei einander nachgeschaltete und jeweils in einer axialen Richtung gemäß Doppelpfeil R bewegliche Ventilelemente 8, 9, 10 auf.The valve 1 further comprises three downstream and in each case in an axial direction according to double arrow R movable valve elements 8th . 9 . 10 on.

Dabei umfasst das erste (in 1 oberste) Ventilelement 8 einen Membranteller 11 und einen Membrantellerschaft 12 mit einer axialen Bohrung 13.The first (in 1 topmost) valve element 8th a membrane plate 11 and a membreseller 12 with an axial bore 13 ,

Der Membranteller 11 steht in Wirkverbindung (vorliegend durch eine mechanische Kopplung) mit einer ersten Membran 14, wobei oberhalb der ersten Membran 14 und des Membrantellers 11 ein Steuerdruckraum 15 gebildet ist. Der im Steuerdruckraum 15 vorherrschende Luftdruck wird durch das Vorsteuerventil 2 erzeugt.The diaphragm plate 11 is in operative connection (in the present case by a mechanical coupling) with a first membrane 14 , wherein above the first membrane 14 and the membrameller 11 a control pressure chamber 15 is formed. The one in the control pressure chamber 15 prevailing air pressure is through the pilot valve 2 generated.

Ferner ist das erste (durch den Membranteller 11 samt Membrantellerschaft 12 gebildete) Ventilelement 8 in (axialer) Richtung zum Steuerdruckraum 15 hin federnd vorgespannt. Hierfür sind im vorliegenden Ausführungsbeispiel insgesamt drei am Gehäuse 16 des Ventils 1 abgestützte Federelemente (Federn) 17 vorgesehen, von denen in 1 lediglich eines (links der Mittelachse M) in der Schnittebene liegt, während die anderen beiden Federelemente 17 (von denen nur eines in 1 erkennbar ist) vor bzw. hinter der Schnittebene liegen. Diese drei Federelemente 17 sind jeweils äquidistant (also mit gleichem radialen Abstand) zur Mittelachse M angeordnet und in der senkrecht zur Mittelachse M gelegenen Ebene um einen paarweise gleichen Winkel α von 120° relativ zueinander (d. h. um die Mittelachse M herum) versetzt, so dass sich eine bezogen auf die axiale Mittelachse M vollkommen symmetrische Vorspannung des ersten Ventilelements 8 in Richtung zur Steuerdruckkammer 14 ergibt.Furthermore, the first (through the diaphragm plate 11 together with Membrantschaftschaft 12 formed) valve element 8th in the (axial) direction to the control pressure chamber 15 biased springy. For this purpose, in the present embodiment, a total of three on the housing 16 of the valve 1 supported spring elements (springs) 17 provided, of which in 1 only one (left of the central axis M) lies in the cutting plane, while the other two spring elements 17 (of which only one in 1 can be seen) in front of or behind the cutting plane. These three spring elements 17 are each equidistant (ie with the same radial distance) to the central axis M and arranged in the plane perpendicular to the central axis M level by a pairwise same angle α of 120 ° relative to each other (ie around the central axis M around), so that one based on the axial center axis M perfectly symmetrical bias of the first valve element 8th towards the control pressure chamber 14 results.

Das zweite Ventilelement 9 wird vorliegend durch einen Ventilstößel 18 und das dritte Ventilelement 10 durch ein Sockelelement 19 gebildet. Dabei ist der Ventilstößel 18 mittels einer sich am Sockelelement 19 abstützenden Feder 20 in Richtung zum ersten Ventilelement 8 (= Membranteller 11 und -schaft 12) vorgespannt, während das Sockelelement 19 seinerseits mittels einer sich am Gehäuse 16 abstützenden Feder 21 vorgespannt ist.The second valve element 9 is present by a valve lifter 18 and the third valve element 10 through a base element 19 educated. Here is the valve tappet 18 by means of a on the base element 19 supporting spring 20 towards the first valve element 8th (= Diaphragm plate 11 and -schaft 12 ), while the base element 19 in turn, by means of a on the housing 16 supporting spring 21 is biased.

In der in 1 dargestellten Grundstellung des Ventils 1 sind alle drei axial beweglichen Ventilelemente 8, 9, 10 des Booster-Ventils 3 in gleicher Richtung vorgespannt, dabei jedoch paarweise voneinander beabstandet.In the in 1 illustrated basic position of the valve 1 are all three axially movable valve elements 8th . 9 . 10 the booster valve 3 biased in the same direction, but spaced apart in pairs.

Der Membrantellerschaft 12 ist mit einer zweiten Membran 22 gekoppelt, die den Membrantellerschaft 12 umlaufend dicht umgibt und die den zwischen erster Membran 14 und zweiter Membran 22 befindlichen (dauerhaft entlüfteten) Entlüftungsraum 23, welcher zum Entlüftungsanschluss 4 führt, von einem zum Arbeitsanschluss 5 führenden Arbeitsdruckraum 24 abtrennt. Die zweite Membran 22 kann dabei gleichzeitig zur radialen Lagerung des Membrantellerschafts 12 dienen. Aufgrund des in der Grundstellung des Ventils 1 gegebenen Abstands zwischen dem freien Ende des Membrantellerschafts 12 und dem Ventilstößel 18 ist bei der in 1 dargestellten Ventilstellung der Arbeitsdruckraum 24 (und somit auch eine am Arbeitsanschluss 5 angeschlossene pneumatische Armatur) entlüftet.The Membresellerschaft 12 is with a second membrane 22 coupled to the Membrantschaftschaft 12 surrounds tightly around and between the first membrane 14 and second membrane 22 located (permanently vented) vent space 23 , which to the vent connection 4 leads, from one to the work connection 5 leading working pressure chamber 24 separates. The second membrane 22 can at the same time for the radial storage of the diaphragm plate 12 serve. Due to the in the basic position of the valve 1 given distance between the free end of the diaphragm plate 12 and the valve lifter 18 is at the in 1 shown valve position of the working pressure chamber 24 (and therefore one at the work connection 5 connected pneumatic valve) is vented.

Der Ventilstößel 18 weist auf seiner zum Membrantellerschaft 12 weisenden Oberseite ein als Dichtfläche 25 dienendes polymeres Material auf, an welcher eine Unterkante 26 des Membrantellerschafts 12 unter Bildung eines ersten Dichtsitzes zur Anlage kommen kann. Diese weiche Dichtfläche ermöglicht in Abhängigkeit von der Härte des Polymers eine besonders präzise proportionale Feinregelung bei Verstellung des Ventils in der Nähe des Kontaktbereichs.The valve lifter 18 points to his Membrantschaftschaft 12 facing up as a sealing surface 25 serving polymeric material, on which a lower edge 26 of the membres 12 can come to rest under formation of a first sealing seat. Depending on the hardness of the polymer, this soft sealing surface enables a particularly precise proportional fine regulation when the valve is adjusted in the vicinity of the contact area.

Wenn also – durch geeignete Erhöhung des in der Steuerdruckkammer 15 vorherrschenden Drucks mittels des seinerseits durch eine (elektrische) Steuerspannung ansteuerbaren Vorsteuerventils 2 – das erste Ventilelement 8 so weit verschoben wird, bis die Unterkante 26 des Membrantellerschafts 12 an der Oberseite 25 des Ventilstößels 18 dichtend zur Anlage kommt, dann wird die durch die axiale Bohrung 13 des Membrantellerschafts 12 gegebene Verbindung zwischen Entlüftungsraum 23 und Arbeitsdruckraum 24 gesperrt, wodurch die vorherige Entlüftung des Arbeitsdruckraums 24 aufgehoben wird.If so - by a suitable increase in the control pressure chamber 15 prevailing pressure by means of the in turn by an (electrical) control voltage controllable pilot valve 2 - The first valve element 8th until the bottom edge is moved 26 of the membres 12 at the top 25 of the valve lifter 18 sealingly comes to the plant, then the through the axial bore 13 of the membres 12 given connection between vent space 23 and working pressure chamber 24 locked, eliminating the previous venting of the working pressure chamber 24 will be annulled.

Ein zweiter Dichtsitz wird in dem gezeigten Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Proportionalventils 1 gebildet durch eine gehäusefeste und in 1 nach unten weisende Dichtkante 27, gegen die das als drittes Ventilelement 10 fungierende Sockelelement 19 mittels der Feder 21 vorgespannt ist, wobei hier sockelelementseitig wiederum eine mit der Dichtkante 27 zur Bildung des zweiten Dichtsitzes zusammenwirkende Dichtfläche 28 aus einem polymeren Material vorgesehen ist. Unterhalb des zweiten Dichtsitzes befindet sich ein mit dem Anschluss 6 für die Druckversorgung verbundener Druckversorgungsraum 29, der somit genau dann vom Arbeitsdruckraum 24 fluidisch getrennt ist, wenn das Sockelelement 19 mit seiner Oberseite dicht an der Dichtkante 27 anliegt, wie dies in der gezeigten Grundstellung der Fall ist.A second sealing seat is in the illustrated embodiment of a proportional valve according to the invention 1 formed by a housing fixed and in 1 downwardly facing sealing edge 27 , against which as the third valve element 10 acting base element 19 by means of the spring 21 is biased, in which case Sockelelementseitig turn one with the sealing edge 27 to form the second sealing seat cooperating sealing surface 28 is provided of a polymeric material. Below the second sealing seat is one with the connection 6 for the pressure supply connected pressure supply space 29 , which is exactly then from the working pressure chamber 24 is fluidically isolated when the base element 19 with its top close to the sealing edge 27 is present, as is the case in the illustrated basic position.

Erst wenn also – durch geeignete Betätigung des ersten Ventilelements 8 mittels des Vorsteuerventils 2 – das erste Ventilelement 8 so weit verschoben wurde, dass das erste Ventilelement 8 am zweiten Ventilelement 9 und das zweite Ventilelement 9 am dritten Ventilelement 10 anliegt, dann führt eine weitere Erhöhung des Steuerdrucks in der Steuerdruckkammer 15 dazu, dass das dritte Ventilelement 10 (= Sockelelement 19) vom zweiten Dichtsitz abgehoben wird, wodurch der Arbeitsdruckraum 24 fluidisch mit der Druckversorgung 6 verbunden, also der Druck am Arbeitsausgang 5 erhöht wird. Im Rahmen der Betätigung des dritten Ventilelements 10 ist im Übrigen von Vorteil, dass zwischen Ventilstößel 18 und Sockelelement 19 ein harter Anschlag ausgebildet ist.Only if so - by suitable actuation of the first valve element 8th by means of the pilot valve 2 - The first valve element 8th has been moved so far that the first valve element 8th on the second valve element 9 and the second valve element 9 on the third valve element 10 is applied, then leads to a further increase of the control pressure in the control pressure chamber 15 to that the third valve element 10 (= Base element 19 ) is lifted from the second sealing seat, whereby the working pressure space 24 fluidic with the pressure supply 6 connected, so the pressure at the work exit 5 is increased. As part of the actuation of the third valve element 10 Incidentally, it is advantageous that between the valve tappet 18 and socket element 19 a hard stop is formed.

Das besonders gute Regelverhalten eines erfindungsgemäßen Ventils ergibt sich nicht zuletzt auch aufgrund der im Grundzustand gegebenen Abstände zwischen dem ersten, zweiten und dritten Ventilelement 8, 9, 10, da hierdurch die verschiedenen fluidischen Zustände des Ventils 1 besonders gut differenzierbar und einfach ansteuerbar sind. Im Grundzustand ist der Arbeitsanschluss 5 des Ventils entlüftet. Wenn sodann das erste Ventilelement 8 so weit verschoben wurde, bis es unter Ausbildung eines Dichtsitzes 26 im Kontaktbereich mit dem zweiten Ventilelement 9 diesem dicht anliegt, dann ist der Zustand zum Halten eines am Arbeitsausgang 5 anliegenden Drucks erreicht, da in dieser Stellung das dritte Ventilelement 10 durch Anlage am zweiten Dichtsitz den Arbeitsdruckraum 24 vom Druckversorgungsraum 29 trennt. Erst wenn das zweite Ventilelement 9 am dritten Ventilelement 10 zur Anlage gebracht wurde und das dritte Ventilelement 10 gegen seine Federvorspannung vom zweiten Dichtsitz 27 abgehoben wurde, ist der Ventilzustand zum Belüften des Arbeitsanschlusses 5 mit dem von der Druckversorgung 6 bereitgestellten Druck erreicht.The particularly good control behavior of a valve according to the invention is not least due to the given in the ground state distances between the first, second and third valve element 8th . 9 . 10 , as this causes the different fluidic states of the valve 1 are particularly easy to differentiate and easy to control. In the ground state is the work connection 5 vented the valve. If then the first valve element 8th until it was moved to the formation of a sealing seat 26 in the contact area with the second valve element 9 this is tight, then the state is to hold one at the work exit 5 applied pressure, since in this position, the third valve element 10 by conditioning at the second sealing seat the working pressure chamber 24 from the pressure supply room 29 separates. Only when the second valve element 9 on the third valve element 10 was brought to the plant and the third valve element 10 against its spring bias from the second sealing seat 27 has been lifted, is the valve state for venting the working port 5 with that of the pressure supply 6 provided pressure reached.

Die Regelung eines erfindungsgemäßen Ventils 1 erweist sich – trotz der kaskadenartigen Ausgestaltung – im Übrigen als besonders einfach. Hierzu kann am ersten Ventilelement 8 (z. B. im Bereich des Membrantellerrands) ein Magnetelement 30 vorgesehen sein, so dass unter Verwendung eines geeigneten magnetischen Positionssensors 31, insbesondere in Art eines AMR-, GMR- oder TMR-Sensors, die axiale Stellung des ersten Ventilelements 8 energieeffizient und präzise bestimmbar ist. Aus dieser Stellung kann unmittelbar auf den momentanen Ventilzustand geschlossen werden, ohne dass hierfür sonstige Messparameter bestimmt werden müssten. Bei Verwendung eines geeignet präzisen Positionssensors kann dabei insbesondere auch eine Feinregulierung des Ventils 1 in unmittelbarer Nähe derjenigen Stellungen erfolgen, an denen der Wechsel zwischen den verschiedenen Schaltzuständen des Ventils erfolgt.The regulation of a valve according to the invention 1 By the way - despite the cascading design - it proves to be particularly easy. For this purpose, on the first valve element 8th (eg in the region of the membrane edge) a magnetic element 30 be provided so that using a suitable magnetic position sensor 31 , in particular in the manner of an AMR, GMR or TMR sensor, the axial position of the first valve element 8th energy-efficient and precisely determinable. From this position can be directly closed to the current valve state, without the need for other measurement parameters would have to be determined. When using a suitably precise position sensor can in particular also a fine adjustment of the valve 1 take place in the immediate vicinity of those positions at which the change takes place between the various switching states of the valve.

Aufgrund der rein mechanischen Kopplung der drei Ventilelemente 8, 9, 10 und wegen der durch die Lage der Dichtsitze fix vorgegebenen Verfahrwege zwischen den verschiedenen Ventilstellungen, kann somit eine Regelung des Ventils 1 unter (ausschließlichem) Rückgriff auf die mittels des Positionssensors 31 ermittelte (axiale) Stellung des ersten Ventilelements 8 erfolgen, was nachfolgend noch anhand verschiedener Kennlinien des erfindungsgemäßen Ventils 1 erläutert wird.Due to the purely mechanical coupling of the three valve elements 8th . 9 . 10 and because of the fixed by the position of the sealing seats predetermined travel paths between the various valve positions, thus regulating the valve 1 with (exclusive) recourse to the means of the position sensor 31 determined (axial) position of the first valve element 8th carried out, which is still below with reference to various characteristics of the valve according to the invention 1 is explained.

Das pneumatische Vorsteuerventil 2 ist vorliegend als proportionales 3/2 Wegeventil ausgestaltet, während das Booster-Ventil 3 ein 3/3 Wegeventil ist.The pneumatic pilot valve 2 is designed here as a proportional 3/2-way valve, while the booster valve 3 a 3/3 way valve is.

Das Vorsteuerventil 2 selbst weist einen Druckeingang 33 auf, der vorliegend mit dem vom Druckregler 7 zur Verfügung gestellten Luftdruck bespeist ist. Ferner ist ein (ggfs. mit dem Entlüftungsanschluss 4 des Ventils 1 verbundener) Vorsteuerventilentlüftungsanschluss 32 vorgesehen, sowie ein Vorsteuerventilarbeitsausgang 34, der mit der Steuerdruckkammer 15 des Ventils 1 fluidisch verbunden ist.The pilot valve 2 itself has a pressure input 33 on, in the present case with that of the pressure regulator 7 supplied air pressure is fed. Furthermore, a (possibly. With the vent port 4 of the valve 1 connected) pilot valve vent port 32 provided, as well as a pilot valve work output 34 that with the control pressure chamber 15 of the valve 1 is fluidically connected.

Mittels eines elektrisch betätigbaren und hierdurch im Bereich seines freien Endes gemäß Doppelpfeil B verschwenkbaren Piezobiegewandlers 35 kann nun der Vorsteuerventilarbeitsausgang 34 wahlweise entlüftet (d. h. fluidisch mit dem Vorsteuerventilentlüftungsanschluss 32 verbunden) oder teilweise bzw. vollständig mit dem am Druckeingang 33 des Vorsteuerventils 2 vorherrschenden Druck verbunden werden. Das Vorsteuerventil 2 kann also mit besonders hoher Regelgüte und geringem Energiebedarf unter Regelung des in der Steuerdruckkammer 15 vorherrschenden Drucks zur Betätigung des ersten Ventilelements 8 des erfindungsgemäßen Ventils 1 dienen.By means of an electrically operable and thereby in the region of its free end according to double arrow B pivotable piezo bending transducer 35 can now be the pilot valve work output 34 optionally vented (ie fluidly with the pilot valve vent port 32 connected) or partially or completely with the at the pressure input 33 the pilot valve 2 prevailing pressure. The pilot valve 2 can therefore with particularly high control quality and low energy consumption under regulation of the control pressure chamber 15 prevailing pressure for actuating the first valve element 8th the valve according to the invention 1 serve.

Ferner ist eine Steuereinheit 36 vorgesehen, welcher über eine Signalleitung 37 das Messsignal des Positionssensors 31 zugeführt wird. Die das Vorsteuerventil 2 (und damit das Proportionalventil 1 insgesamt) steuernde Steuereinheit 36 ist dazu eingerichtet, die zur Erzielung eines gewünschten Schaltzustands des Booster-Ventils 3 benötigte Steuerspannung für das Vorsteuerventil 2 zu berechnen und das Vorsteuerventil 2 über die Steuerleitung 38 entsprechend anzusteuern, wobei im Rahmen dieser Berechnung das Messsignal des Positionssensors (als bevorzugt einziger den Ventilzustand betreffender Messparameter) ausgewertet wird. Dabei wird also zunächst aus dem die Position des ersten Ventilelements 8 repräsentierenden Messwert (unter Vergleich mit auf geeignete Weise in der Steuereinheit 36 hinterlegten Eich- bzw. Kalibrierungsdaten) der aktuelle Ventilzustand bestimmt und sodann die Steuerspannung für das Vorsteuerventil 2 so geregelt, dass das erste Ventilelement 8 – je nach gewünschtem Ventilzustand – seine axiale Position hält oder diese zur Veränderung des Ventilzustands ändert.Further, a control unit 36 provided, which via a signal line 37 the measuring signal of the position sensor 31 is supplied. The the pilot valve 2 (and thus the proportional valve 1 total) controlling control unit 36 is set up to achieve a desired switching state of the booster valve 3 required control voltage for the pilot valve 2 to calculate and the pilot valve 2 over the control line 38 in the course of this calculation, the measurement signal of the position sensor (as preferably the only one of the valve state related measurement parameters) is evaluated. Thus, first of all, the position of the first valve element becomes 8th representing the measured value (as compared with suitably in the control unit 36 stored calibration or calibration data) determines the current valve state and then the control voltage for the pilot valve 2 so regulated that the first valve element 8th - Depending on the desired valve state - holds its axial position or changes it to change the valve state.

2 zeigt die Durchflusscharakteristik des Booster-Ventils 3 am Arbeitsanschluss 5 als Funktion seines Hubs (also als Funktion der mittels des Positionssensors ermittelbaren axialen Stellung des ersten Ventilelements). Gezeigt sind zwei exemplarische Kurven für verschiedene Drücke p2 am Arbeitsanschluss bei einem Druck von p1 = 8 bar an der Druckversorgung. Dabei werden nacheinander die drei Ventilstellungen durchlaufen, bei denen nacheinander der Arbeitsanschluss entlüftet (= negativer Durchfluss), der Druck gehalten (= kein Durchfluss), sowie der Arbeitsanschluss belüftet (= positiver Durchfluss) wird. Der Übergang zwischen den einzelnen Bereichen ist nahezu unabhängig vom Druck am Arbeitsanschluss. Eine (minimale) Druckabhängigkeit ergibt sich allenfalls durch die vom Druck abhängige Komprimierung der aus einem polymeren Material gebildeten Ventilsitze, so dass hier nur ein unwesentlicher Einfluss auf die Bereichsübergänge besteht. Im Gegensatz zu einer typischerweise in Proportionalventilen verwendeten Leistungsstufe mit Schieberaufbau ermöglicht die vorliegend zur Verwendung kommende Ventilgeometrie unter Ausbildung von zwei Dichtsitzen eine deutlich verbesserte Dichtheit des Ventils, so dass im Haltebereich der Druck am Arbeitsanschluss auch über lange Zeit gehalten werden kann. 2 shows the flow characteristics of the booster valve 3 at the work connection 5 as a function of its stroke (ie as a function of the axial position of the first valve element which can be determined by means of the position sensor). Shown are two exemplary curves for different pressures p 2 at the working port at a pressure of p 1 = 8 bar at the pressure supply. The three valve positions are successively passed, in which one after the other the working port vented (= negative flow), the pressure maintained (= no flow), and the working port vented (= positive flow) is. The transition between the individual areas is almost independent of the pressure at the work connection. A (minimum) pressure dependence results at most from the pressure-dependent compression of the valve seats formed from a polymeric material, so that there is only an insignificant influence on the area transitions. In contrast to a power stage with slider construction typically used in proportional valves, the presently used valve geometry, with the formation of two sealing seats, enables a significantly improved tightness of the valve Valve, so that in the holding area, the pressure at the working connection can be maintained for a long time.

3 zeigt nun die Hubkennlinie des Booster-Ventils eines erfindungsgemäßen Proportionalventils als Funktion der am Vorsteuerventil anliegenden Steuerspannung (jeweils in normierten Einheiten) bei zwei verschiedenen Arbeitsdrücken p2 = 1 bar und p2 = 7 bar, wobei p1 = 8 bar den durch die Druckversorgung 6 bereitgestellten Druck repräsentiert. Dabei zeigt sich einerseits eine deutliche Hysterese im Ansteuersignal und andererseits eine starke Abhängigkeit vom Arbeitsdruck. 3 shows now the stroke characteristic of the booster valve of a proportional valve according to the invention as a function of the pilot valve applied control voltage (in normalized units) at two different working pressures p 2 = 1 bar and p 2 = 7 bar, where p 1 = 8 bar by the pressure supply 6 represented provided pressure. This shows on the one hand a significant hysteresis in the drive signal and on the other hand, a strong dependence on the working pressure.

Die Druckabhängigkeit wird aufgrund der konkreten Ventilgeometrie verursacht, die zu einer mit dem Arbeitsdruck steigenden Kraft entgegen der Aktuierungsrichtung des Ventils führt. Somit ist bei hohem Arbeitsdruck ein entsprechend höherer Steuerdruck notwendig, um das Booster-Ventil zu betätigen, als dies bei einem niedrigeren Arbeitsdruck der Fall ist. Die Hysterese der Kennlinie wird durch die piezoelektrische und fluidische Hysterese des Vorsteuerventils verursacht.The pressure dependence is caused due to the concrete valve geometry, which leads to a force increasing with the working pressure against the Aktuierungsrichtung of the valve. Thus, at high working pressure, a correspondingly higher control pressure is necessary to actuate the booster valve than is the case at a lower working pressure. The hysteresis of the characteristic is caused by the piezoelectric and fluidic hysteresis of the pilot valve.

4 zeigt die Gesamtkennlinie des Durchflusses des Booster-Ventils als Funktion der Ansteuerspannung, wiederum für zwei verschieden Drücke p2 = 1 bar und p2 = 7 bar am Arbeitsanschluss bei einem Druck von p1 = 8 bar an der Druckversorgung. Die Hysterese der Steuerspannung führt dazu, dass sich die einzelnen Ventilstellungen nicht mehr auf einen eindeutigen Ansteuerbereich im Stellsignal zurückführen lassen. Deutlich erschwert wird dies noch durch die Druckabhängigkeit. 4 shows the overall characteristic of the flow of the booster valve as a function of the driving voltage, again for two different pressures p 2 = 1 bar and p 2 = 7 bar at the working port at a pressure of p 1 = 8 bar at the pressure supply. The hysteresis of the control voltage means that the individual valve positions can no longer be attributed to a clear control range in the control signal. This is made even more difficult by the pressure dependence.

Die Kennlinien aus 3 und 4 zeigen somit, dass eine druckabhängige Regelung eines erfindungsgemäßen Proportionalventils außerordentlich problematisch wäre. Die Kennlinie aus 2 veranschaulicht demgegenüber, dass unter Rückgriff auf das den Ventilhub kennzeichnende Messsignal des Positionssensors eine besonders einfache Ventilregelung ermöglicht ist.The characteristics off 3 and 4 thus show that a pressure-dependent control of a proportional valve according to the invention would be extremely problematic. The characteristic off 2 illustrates, by contrast, that recourse to the valve stroke characteristic measurement signal of the position sensor, a particularly simple valve control is possible.

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Claims (11)

Proportionalventil (1) mit einem durch ein Steuersignal ansteuerbaren Vorsteuerventil (2) und einem mittels des Vorsteuerventils (2) betätigbaren Booster-Ventil (3), wobei das Proportionalventil (1) einen Druckluftanschluss (6) zum Anschluss einer Druckluftversorgung, einen Arbeitsanschluss (5) und einen Entlüftungsanschluss (4) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass das Booster-Ventil (3) drei einander nachgeschaltete und jeweils in einer axialen Richtung gegen eine Federkraft bewegliche Ventilelemente (8, 9, 10) aufweist, nämlich – ein erstes durch das Vorsteuerventil (2) betätigtes Ventilelement (8), – ein zweites Ventilelement (9), welches durch das erste Ventilelement (2) betätigt wird und – ein drittes Ventilelement (10) , welches durch das zweite Ventilelement (9) betätigt wird, wobei innerhalb des Booster-Ventils (3) wenigstens zwei mit jeweils mindestens einem der Ventilelemente (8, 9, 10) zusammenwirkende Dichtsitze (26, 27) derart ausgebildet und angeordnet sind, dass bei Variation des das Vorsteuerventil (2) ansteuernden Steuersignals und der hierdurch kaskadenartig bewirkten Verstellung der axialen Stellungen des ersten, zweiten und dritten Ventilelements (8, 9, 10) verschiedene Schaltzustände zum Entlüften und Belüften des Arbeitsanschlusses (5) und zum Halten eines am Arbeitsanschluss (5) anliegenden Drucks einstellbar sind, wobei ferner ein die axiale Stellung des ersten Ventilelements (8) erfassender Positionssensor (31) vorgesehen ist und eine Steuereinheit (36) des Proportionalventils (1) derart eingerichtet ist, dass zur Berechnung des zur Erzielung eines gewünschten Schaltzustands des Booster-Ventils (2) benötigten Steuersignals für das Vorsteuerventil (2) das Messsignal des Positionssensors (31) ausgewertet wird.Proportional valve ( 1 ) with a controllable by a control signal pilot valve ( 2 ) and one by means of the pilot valve ( 2 ) actuatable booster valve ( 3 ), whereby the proportional valve ( 1 ) a compressed air connection ( 6 ) for connecting a compressed air supply, a working connection ( 5 ) and a vent port ( 4 ), characterized in that the booster valve ( 3 ) three downstream and in each case in an axial direction against a spring force movable valve elements ( 8th . 9 . 10 ), namely - a first through the pilot valve ( 2 ) actuated valve element ( 8th ), - a second valve element ( 9 ), which through the first valve element ( 2 ) and - a third valve element ( 10 ), which through the second valve element ( 9 ), wherein within the booster valve ( 3 ) at least two, each with at least one of the valve elements ( 8th . 9 . 10 ) cooperating sealing seats ( 26 . 27 ) are designed and arranged such that upon variation of the pilot valve ( 2 ) controlling the control signal and the cascaded thereby causing the axial positions of the first, second and third valve element ( 8th . 9 . 10 ) different switching states for venting and venting the working connection ( 5 ) and holding one at the work connection ( 5 ) adjoining pressure, wherein a further the axial position of the first valve element ( 8th ) detecting position sensor ( 31 ) is provided and a control unit ( 36 ) of the proportional valve ( 1 ) is set up such that in order to calculate the desired switching state of the booster valve ( 2 ) required control signal for the pilot valve ( 2 ) the measuring signal of the position sensor ( 31 ) is evaluated. Proportionalventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Positionssensor (31) zur berührungslosen Messung der axialen Stellung des ersten Ventilelements eingerichtet ist.Proportional valve according to claim 1, characterized in that the position sensor ( 31 ) is arranged for non-contact measurement of the axial position of the first valve element. Proportionalventil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Positionssensor (31) auf einem optischen, kapazitiven oder magnetischen Messprinzip basiert.Proportional valve according to claim 2, characterized in that the position sensor ( 31 ) based on an optical, capacitive or magnetic measuring principle. Proportionalventil nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Positionssensor (31) ein Magnetfeldwinkelsensor ist.Proportional valve according to claim 3, characterized in that the position sensor ( 31 ) is a magnetic field angle sensor. Proportionalventil nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Positionssensor (31) ein AMR-, TMR- oder GMR-Sensor ist.Proportional valve according to claim 4, characterized in that the position sensor ( 31 ) is an AMR, TMR or GMR sensor. Proportionalventil nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinheit (36) des Proportionalventils (1) derart eingerichtet ist, dass das zur Erzielung eines gewünschten Schaltzustands des Booster-Ventils (3) benötigte Steuersignal für das Vorsteuerventil (2) unter ausschließlichem Rückgriff auf das Messsignal des Positionssensors (31) berechnet wird.Proportional valve according to one of the preceding claims, characterized in that the control unit ( 36 ) of the proportional valve ( 1 ) is set up such that, in order to achieve a desired switching state of the booster valve ( 3 ) required control signal for the pilot valve ( 2 ) with exclusive use of the measuring signal of the position sensor ( 31 ) is calculated. Proportionalventil nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Ventilelement (8) durch einen Membranteller (11) mit einem sich in axialer Richtung erstreckenden und eine axiale Bohrung (13) aufweisenden Membrantellerschaft (12) gebildet ist, dass das zweite Ventilelement (9) durch einen federnd in einer zum Membranteller (11) weisenden Richtung vorgespannten Ventilstößel (18) gebildet ist, der auf einer zum Membrantellerschaft (12) weisenden Stirnseite einen ersten Dichtsitz für das freie Ende des daran zur Anlage bringbaren Membrantellerschafts (12) aufweist, und dass das dritte Ventilelement (10) durch ein Sockelelement (19) gebildet ist, das in einer zum Ventilstößel (18) weisenden Richtung federnd gegen einen zweiten Dichtsitz vorgespannt ist und durch axiale Verschiebung des am Sockelelement (19) zur Anlage gebrachten Ventilstößels (18) von dem zweiten Dichtsitz abhebbar ist.Proportional valve according to one of the preceding claims, characterized in that the first valve element ( 8th ) through a diaphragm plate ( 11 ) with an axially extending and an axial bore ( 13 ) ( 12 ) is formed, that the second valve element ( 9 ) by a spring in one of the diaphragm plate ( 11 ) pointing direction prestressed valve tappets ( 18 ) formed on one to the membreseller ( 12 ) facing end face a first sealing seat for the free end of it can be brought into abutment membrane plate ( 12 ), and that the third valve element ( 10 ) by a base element ( 19 ) formed in a valve stem ( 18 ) facing direction resiliently biased against a second sealing seat and by axial displacement of the base element ( 19 ) brought to bear the valve stem ( 18 ) is lifted from the second sealing seat. Proportionalventil nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Positionssensor (31) mit einem in den Membranteller (11) integrierten Magnetelement (30) zusammenwirkt.Proportional valve according to claim 7, characterized in that the position sensor ( 31 ) with one in the diaphragm plate ( 11 ) integrated magnetic element ( 30 ) cooperates. Proportionalventil nach einem der vorangehenden Patentansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine den ersten und/oder zweiten Dichtsitz bildende und/oder hiermit zusammenwirkende Oberfläche (25, 28) zur Feinregulierung des Fluidstroms aus einem polymeren Material besteht.Proportional valve according to one of the preceding claims, characterized in that a first and / or second sealing seat forming and / or cooperating surface ( 25 . 28 ) for fine regulation of the fluid flow of a polymeric material. Proportionalventil nach einem der vorangehenden Patentansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Vorsteuerventil ein 3/2-Wegeventil ist.Proportional valve according to one of the preceding claims, characterized in that the pilot valve is a 3/2-way valve. Proportionalventil nach einem der vorangehenden Patentansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Booster-Ventil ein 3/3-Wegeventil ist.Proportional valve according to one of the preceding claims, characterized in that the booster valve is a 3/3-way valve.
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI689676B (en) * 2019-01-10 2020-04-01 台灣氣立股份有限公司 Electronically controlled large capacity proportional valve
TWI689679B (en) * 2019-03-08 2020-04-01 台灣氣立股份有限公司 Vacuum large capacity electric control proportional valve
DE102019003379A1 (en) * 2019-05-14 2020-11-19 AVENTlCS GmbH Diaphragm seat valve
US20210262582A1 (en) * 2020-02-20 2021-08-26 Flowserve Management Company Pneumatic valve positioner with feedback controlled flow booster
US11821535B2 (en) * 2020-12-18 2023-11-21 The Boeing Company Shape memory alloy control elements for hydraulic valves
US20220282683A1 (en) * 2021-03-03 2022-09-08 Vieletech Inc Apparatus and method for engine control
US20230167834A1 (en) * 2021-11-30 2023-06-01 Dresser, Llc Eliminating bleed on flow controls
DE102022112275A1 (en) 2022-05-17 2023-11-23 Technische Universität Dresden, Körperschaft des öffentlichen Rechts Pilot-controllable hydraulic seat valve and arrangement for flushing a hydraulic valve

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19504364A1 (en) * 1995-02-10 1996-08-14 Festo Kg Pressure control valve
DE102012017713A1 (en) 2012-09-07 2014-03-13 Hoerbiger Automatisierungstechnik Holding Gmbh Fluidic actuator

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1467417A (en) * 1918-06-13 1923-09-11 Chicago Lubricator Company Automatic fluid-pressure-controlling device
US1802324A (en) * 1927-11-25 1931-04-28 Gad R Bartlett Liquid-dispensing apparatus
US2850330A (en) 1956-09-21 1958-09-02 Bendix Westinghouse Automotive Fluid pressure brake mechanism
US3447555A (en) * 1965-05-24 1969-06-03 Bell Aerospace Corp Hydraeric position monitoring apparatus
US3403699A (en) * 1965-09-09 1968-10-01 Wagner Electric Corp Supply and exhaust type control valve
US3430437A (en) * 1966-10-05 1969-03-04 Holley Carburetor Co Automotive exhaust emission system
US3552433A (en) * 1969-06-13 1971-01-05 Bell Aerospace Corp Concentric spool valve
US4108205A (en) * 1977-02-28 1978-08-22 Pneumeric Corp. Valve arrangement
US4798223A (en) * 1987-11-09 1989-01-17 Skotch, Inc. Double block and vent valve system
US5819783A (en) * 1996-11-27 1998-10-13 Isi Norgren Inc. Modular 3-way valve with manual override, lockout, and internal sensors
US6050081A (en) * 1997-02-12 2000-04-18 Jansens Aircraft Systems Controls Air purging fuel valve for turbine engine
DE19710318A1 (en) * 1997-03-13 1998-09-17 Mannesmann Rexroth Ag Directional control valve
DE19904901A1 (en) * 1999-02-06 2000-08-10 Zahnradfabrik Friedrichshafen Proportional pressure control valve
JP3467213B2 (en) * 1999-07-12 2003-11-17 Ｓｍｃ株式会社 Pilot operated switching valve with position detection function
JP3468455B2 (en) * 1999-07-13 2003-11-17 Ｓｍｃ株式会社 Pilot operated switching valve with position detection function
EP1146268A3 (en) * 2000-04-10 2003-01-02 MLS Lanny GmbH Actuator for a valve
JP4003219B2 (en) * 2002-06-25 2007-11-07 Ｓｍｃ株式会社 Manifold valve with position detection mechanism
US6830066B1 (en) * 2003-10-10 2004-12-14 Ross Operating Valve Co. Valve with positively driven sensing switch connection
WO2009005916A2 (en) * 2007-06-15 2009-01-08 Tescom Corporation 3-way high-pressure air operated valve
DE102008028190A1 (en) * 2008-06-12 2009-12-17 Abb Technology Ag Method for operating an electropneumatic valve
DE102008042731A1 (en) * 2008-10-10 2010-04-15 Robert Bosch Gmbh magnetic valve
DE102009015999A1 (en) * 2009-04-02 2010-10-07 Festo Ag & Co. Kg Pilot-controlled pressure proportional valve arrangement with a controlled by an electronic control device pilot stage
JP5256545B2 (en) * 2010-02-10 2013-08-07 Ｓｍｃ株式会社 Pressure reducing switching valve
FR2981133B1 (en) * 2011-10-10 2013-10-25 In Lhc METHOD OF DETECTING FAILURE OF SERVOVALVE AND SERVOVALVE APPLYING.
EP2592519B1 (en) * 2011-11-12 2014-04-30 FESTO AG & Co. KG Pressure regulation device and method for operating a pressure regulation device
US9217372B2 (en) * 2012-01-25 2015-12-22 Hamilton Sundstrand Corporation Fluid flow control device and method
CN103452931B (en) * 2012-06-05 2016-08-03 杨世祥 A kind of motor-driven plug-in mounting servo valve
DE102012017714A1 (en) 2012-09-07 2014-03-13 Hoerbiger Automatisierungstechnik Holding Gmbh Regulated proportional three-way valve unit
CN105041780B (en) * 2015-06-24 2017-05-10 上海大学 Hydraulic test system device for down-hole packer
CN105479325B (en) * 2015-12-30 2018-04-17 天通吉成机器技术有限公司 A kind of subregion pressue device and method suitable for large-scale single side polishing grinding equipment

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19504364A1 (en) * 1995-02-10 1996-08-14 Festo Kg Pressure control valve
DE102012017713A1 (en) 2012-09-07 2014-03-13 Hoerbiger Automatisierungstechnik Holding Gmbh Fluidic actuator

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