DE102016102206A1

DE102016102206A1 - Schieberventil

Info

Publication number: DE102016102206A1
Application number: DE102016102206.3A
Authority: DE
Inventors: Tsuneo Ishigaki; Hiromi Shimoda; Takashi Nagao
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 2015-02-12
Filing date: 2016-02-09
Publication date: 2016-08-18
Also published as: CN105889622B; KR102493588B1; CH710724A2; CH710724B1; JP6485689B2; TWI673449B; CN105889622A; KR20160099486A; US20160238150A1; US10253889B2; JP2016148404A; TW201641855A

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Schieberventil, bei dem zwei senkrecht miteinander verbundene Flächen eines Ventilplattengehäuserahmens mit zwei senkrecht zueinander stehenden Seitenwänden einer Kammer derart verbunden sind, dass die verbundenen Flächen in Kontakt mit den Seitenwänden stehen. Beim Einschrauben einer Befestigungsschraube 18 senkrecht zu einem Gewindeloch 15, das in einer Kammerwand 2a einer Kammer ausgebildet ist, durch eine in einer Rahmenwand 4a eines Ventilplattengehäuserahmens 4 eines Schieberventils 3 ausgebildete Schraubeneinsetzöffnung 17 und beim Festziehen der Befestigungsschraube 18, um die Rahmenwand 4a gegen die und zu der erste(n) Kammerwand 2a zu pressen und zu fixieren, wird eine Schubkraft in einer Richtung senkrecht zu der Achse L2 der Befestigungsschraube 18 in dem Ventilplattengehäuserahmen 4 durch einen Nockenmechanismus 19 erzeugt, der an der Befestigungsschraube 18 und in der Schraubeneinsetzöffnung 17 ausgebildet ist. Die andere Rahmenwand 4b des Ventilplattengehäuserahmens 4 wird durch die Schubkraft gegen die andere Kammerwand 2b der Kammer 1 gepresst und dort fixiert.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Schieberventil, das an einer Kammerwand einer Vakuumkammer in einer Halbleiterherstellvorrichtung angebracht ist und das eine Öffnung, die in der Kammerwand ausgebildet ist, mit einer Ventilplatte öffnet und verschließt.
Stand der Technik
Bei einer Halbleiterherstellvorrichtung wird ein Schieberventil dazu verwendet, eine mit einer Vakuumkammer in Verbindung stehende Öffnung zu öffnen und zu schließen. Eine solche Halbleiterherstellvorrichtung ist sehr teuer und bei der Bearbeitung ist eine hohe Genauigkeit erforderlich. Daher ist es unerlässlich, die Vorrichtung regelmäßig zu warten. Bei der Wartung werden verschiedene Arbeiten, wie das Entfernen des Schieberventils von einer Vakuumkammer und das Ersetzen einer beschädigten Ventilplatte oder beschädigter Dichtelemente und dergleichen, durchgeführt. Der Teil der Vakuumkammer, an welcher ein Schieberventil angebracht ist, und dessen Umgebung sind kompliziert aufgebaut. Daher wurde in jüngerer Zeit ein Schieberventil mit einem Aufbau, wie er in dem japanischen Patent JP 4210391 beschrieben ist, verwendet, bei dem das Entfernen und Wiederbefestigen des Schieberventils, der Austausch einer Ventilplatte und dergleichen so einfach und schnell wie möglich durchgeführt werden können.
Dieses bekannte Schieberventil ist derart ausgebildet, dass eine Verschlussanordnung durch Integrieren einer Ventilplatte (Verschlussplatte), welche die Öffnung (Durchgangsöffnung) öffnet und schließt, ein Ventilplattengehäuserahmen (gehäuseähnliches Element), welcher die Ventilplatte aufnimmt, ein Ventilschaft (Kolbenstange), der mit der Ventilplatte verbunden ist, und ein Betätigungsmechanismusabschnitt (Zylindereinheit), welcher das Öffnen und Schließen der Ventilplatte über den Ventilschaft auslöst, gebildet wird. Die Verschlussanordnung ist lösbar an der Vakuumkammer angebracht, indem der Ventilplattengehäuserahmen an einer Seitenwand der Kammer über eine Befestigungsschraube fixiert wird. Die mit dem Ventilplattengehäuserahmen in Verbindung stehende Öffnung wird durch die Ventilplatte geöffnet und geschlossen.
Während der Wartung kann daher durch Entfernen der gesamten Verschlussanordnung von der Vakuumkammer der Austausch der Ventilplatte und der Dichtelemente einfach durchgeführt werden.
Zusammenfassung der Erfindung
Bei dem bekannten Schieberventil ist es zur Befestigung des Ventilplattengehäuserahmens an einer Seitenwand einer Kammer mittels einer Befestigungsschraube notwendig, zwei senkrecht zueinander stehende verbundene Flächen des Ventilplattengehäuserahmens in Kontakt mit zwei senkrecht zueinander stehenden Seitenwänden der Kammer zu bringen. Aus diesem Grund sind bei dem Schieberventil Schraubenbefestigungslöcher zur Befestigung der Befestigungsschraube in einer der verbundenen Flächen des Ventilplattengehäuserahmens und einer der Seitenwände der Kammer so ausgebildet, dass sie um 45° relativ sowohl zu der verbundenen Fläche als auch der Seitenwand geneigt sind. Die Befestigungsschraube wird in die schräge Befestigungsöffnung eingeschraubt, und die beiden verbundenen Flächen des Ventilplattengehäuserahmens werden dadurch in Kontakt mit den beiden Seitenwänden der Kammer gebracht.
Ein solches Verfahren, bei dem der Ventilplattengehäuserahmen an einer Seitenwand der Kammer mit schrägen Befestigungslöchern fixiert wird, ist aber insoweit mühsam, als es schwierig ist, die exakte Position beim Bearbeiten der Befestigungslöcher sicherzustellen. Es muss eine Multifunktionsbearbeitungsmaschine für die Bearbeitung eingesetzt werden, und die Werkstücke müssen in einem Winkel fixiert werden. Dies bringt eine schlechte Bearbeitbarkeit und hohe Kosten mit sich.
Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Schieberventil vorzuschlagen, dessen Ventilplattengehäuserahmen mit einer Seitenwand einer Kammer verbunden werden kann, ohne eine schräge Befestigungsschraube zu verwenden, wobei zwei verbundene, senkrecht zueinander stehende Flächen des Ventilplattengehäuserahmens in Kontakt mit zwei senkrecht zueinander stehenden Seitenwänden der Kammer stehen. Das Schieberventil soll einen einfachen und klaren Aufbau haben.
Diese Aufgabe wird mit der Erfindung im Wesentlichen durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
Zur Lösung der oben beschriebenen Aufgabe ist gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ein Schieberventil vorgesehen, das so angebracht ist, dass es eine erste Kammerwand und eine zweite Kammerwand, die senkrecht zueinander miteinander verbunden sind, übergreift und das eine in der ersten Kammerwand ausgebildete Öffnung mit einer Ventilplatte verschließt, wobei das Schieberventil einen Ventilplattengehäuserahmen aufweist mit einer ersten Rahmenwand, welche gegen die erste Kammerwand gepresst wird, und einer zweiten Rahmenwand, welche gegen die zweite Kammerwand gepresst wird, wobei eine Verbindungsöffnung, die in der ersten Rahmenwand ausgebildet ist, mit der Öffnung in Verbindung steht, eine Ventilplatte, die in dem Ventilplattengehäuserahmen verschiebbar ist und dadurch die Verbindungsöffnung öffnet und schließt, einen Betätigungsmechanismusabschnitt, welcher das Öffnen und Schließen der Ventilplatte veranlasst, und eine Befestigungsvorrichtung zur Fixierung des Ventilplattengehäuserahmens an der ersten Kammerwand oder der zweiten Kammerwand, wobei die Befestigungsvorrichtung eine Befestigungsschraube aufweist, die in eine Gewindeöffnung eingeschraubt ist, welche senkrecht in der ersten Kammerwand oder der zweiten Kammerwand ausgebildet ist, und eine Schraubeneinsetzöffnung, die senkrecht in der ersten Rahmenwand oder der zweiten Rahmenwand des Ventilplattengehäuserahmens ausgebildet und der einen Kammerwand zugewandt ist und durch welche die Befestigungsschraube hindurchgeführt ist, einen Nockenmechanismus, der beim Festziehen der Befestigungsschraube eine Schubkraft in einer Richtung senkrecht zu der Achse der Befestigungsschraube in dem Ventilplattengehäuserahmen erzeugt, um die eine Rahmenwand gegen die eine Kammerwand zu pressen und dort zu fixieren, und der an der Befestigungsschraube und in der Schraubeneinsetzöffnung ausgebildet ist, und wobei die andere Rahmenwand des Ventilplattengehäuserahmens durch die Schubkraft gegen die andere Kammerwand der Kammer gepresst wird.
Gemäß einer besonderen Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung hat der Nockenmechanismus eine Nockenfläche, die eine gleichmäßig geneigte Oberfläche an der Befestigungsschraube ist, und eine Nockenaufnahmefläche, die eine gleichmäßig geneigte Oberfläche in der Schraubeneinsetzöffnung ist. Die Neigungsrichtung und der Neigungswinkel der Nockenfläche und die Neigungsrichtung und der Neigungswinkel der Nockenaufnahmefläche sind jeweils gleich.
In diesem Fall ist die Nockenfläche vorzugsweise an einem Nockenelement ausgebildet, das einstückig mit oder separat von der Befestigungsschraube vorgesehen ist, während die Nockenaufnahmefläche an der Innenfläche der Schraubeneinsetzöffnung ausgebildet ist.
Vorzugsweise ist das Nockenelement separat von der Befestigungsschraube ausgebildet und kann an der Befestigungsschraube derart angebracht werden, dass das Nockenelement um die Achse der Befestigungsschraube drehbar, aber an einer Bewegung in der axialen Richtung gehindert ist.
Gemäß einer besonderen Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung sind sowohl die Nockenfläche als auch die Nockenaufnahmefläche eben.
In diesem Fall ist das Nockenelement vorzugsweise in der Vorderansicht nicht kreisförmig, die Nockenfläche kann an der Außenfläche des Nockenelements ausgebildet sein, die Schraubeneinsetzöffnung kann einen Nockenelementeinsetzabschnitt aufweisen, in welchen das Nockenelement nicht drehbar eingesetzt ist, und die Nockenaufnahmefläche kann an der Innenfläche des Nockenelementaufnahmeabschnitts ausgebildet sein.
Gemäß einer anderen bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung haben sowohl die Nockenfläche als auch die Nockenaufnahmefläche eine konische Oberflächenform, und der Außendurchmesser des größten Teils der konischen Fläche, die die Nockenfläche bildet, ist kleiner als der Innendurchmesser des kleinsten Teil der konischen Fläche, die die Nockenaufnahmefläche bildet.
In diesem Fall ist das Nockenelement vorzugsweise zylindrisch, die konische Nockenfläche kann an dem Nockenelement ausgebildet sein, die Schraubeneinsetzöffnung kann einen Lochabschnitt mit kleinem Durchmesser und einen Lochabschnitt mit großem Durchmesser aufweisen, die kreisförmig sind und unterschiedliche Durchmesser aufweisen, und die konische Nockenaufnahmefläche kann zwischen dem Lochabschnitt mit kleinem Durchmesser und dem Lochabschnitt mit großem Durchmesser ausgebildet sein.
Aufgrund der Kombination einer Befestigungsschraube, die in senkrechter Richtung an einer Rahmenwand eines Ventilplattengehäuserahmens und einer Kammerwand einer Kammer angebracht ist, und eines Nockenmechanismus kann gemäß der vorliegenden Erfindung der Ventilplattengehäuserahmen an der Kammerwand der Kammer befestigt werden, wobei zwei senkrecht zueinander stehende Rahmenwände des Ventilplattengehäuserahmens gegen zwei senkrecht zueinander stehende Kammerwände der Kammer gepresst werden.
Weitere Ziele, Merkmale und Anwendungsmöglichkeiten der vorliegenden Erfindung ergeben sich auch aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen und der Zeichnung. Dabei bilden alle beschriebenen oder bildlich dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination den Gegenstand der Erfindung, unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Ansprüchen oder deren Rückbeziehung.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
1 ist ein Teilschnitt, der eine erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt und einen Zustand darstellt, in dem eine erste Rahmenwand eines Ventilplattengehäuserahmens eines Schieberventils mit einer ersten Kammerwand einer Kammer über Befestigungsvorrichtungen verbunden ist.
2 ist eine Ansicht von rechts auf 1.
3A ist ein vergrößerter Ausschnitt aus 1, und 3B ist eine Ansicht von rechts auf 3A.
4A ist ein Schnitt in einem vorläufigen Zustand vor dem Festziehen der Befestigungsschraube in 3A, und 4B ist eine Ansicht von rechts auf 4A.
5A ist ein Schnitt, der einen Zustand darstellt, in welchem die Befestigungsschraube ausgehend von dem vorläufigen Zustand gemäß 4A zu einer Befestigungszwischenposition festgezogen ist, und 5B ist eine Ansicht von rechts auf 5A.
6 ist ein Teilschnitt, der eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt und einen Zustand darstellt, in dem eine zweite Rahmenwand eines Ventilplattengehäuserahmens eines Schieberventils mit einer zweiten Kammerwand einer Kammer über Befestigungsvorrichtungen verbunden ist.
7 ist eine Ansicht von rechts auf 6.
8A ist ein vergrößerter Ausschnitt aus 6, und 8B ist eine Draufsicht auf 8A.
9A ist ein Schnitt in einem vorläufigen Zustand vor dem Festziehen der Befestigungsschraube in 8A, und 9B ist eine Draufsicht auf 9A.
10A ist ein Schnitt, der einen Zustand zeigt, in welchem die Befestigungsschraube ausgehend von dem vorläufigen Zustand gemäß 9A zu einer Befestigungszwischenposition festgezogen ist, und 10B ist eine Draufsicht auf 10A.
11 zeigt eine Modifikation einer Befestigungsvorrichtung als eine dritte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und ist ein Teilschnitt, der einen Zustand zeigt, in dem eine erste Rahmenwand eines Ventilplattengehäuserahmens eines Schieberventils an einer ersten Kammerwand einer Kammer über die Befestigungsvorrichtung fixiert ist.
12 ist ein Teilschnitt eines vorläufigen Zustands vor dem Festziehen der Befestigungsschraube in 11.
13 ist ein Teilschnitt, der einen Zustand zeigt, in welchem die Befestigungsschraube ausgehend von dem vorläufigen Zustand gemäß 12 zu einer Befestigungszwischenposition festgezogen ist.
14 ist ein Schnitt, der eine weitere Modifikation der Befestigungsvorrichtung der dritten Ausführungsform zeigt.
Beschreibung von Ausführungsformen
Die 1 und 2 zeigen eine erste Ausführungsform eines Schieberventils gemäß der vorliegenden Erfindung. In den Figuren bezeichnet das Bezugszeichen 1 eine Vakuumkammer, nachfolgend lediglich als eine "Kammer" bezeichnet, zur Bearbeitung eines Halbleiters, das Bezugszeichen 2 bezeichnet eine Kammerwand, welche die Kammer 1 umgibt, das Bezugszeichen 3 bezeichnet ein Schieberventil, das an der Kammerwand 2 der Kammer 1 angebracht ist, wobei ein Ventilplattengehäuserahmen 4 dazwischen angeordnet ist, und das Bezugszeichen 5 bezeichnet Befestigungsvorrichtungen zum Fixieren des Ventilplattengehäuserahmens 4 an der Kammerwand 2.
Die Kammer 1 ist eine rechteckige, quaderförmige Kammer, die von der Kammerwand 2 umgeben wird, hat eine Längsrichtung und eine Querrichtung und in ihr werden verschiedene Bearbeitungsschritte an dem Halbleiter durchgeführt, wobei sie evakuiert ist. Die Kammerwand 2 weist eine erste Kammerwand 2a auf, die an einem Längsende der Kammer 1 angeordnet ist und eine in horizontaler Richtung längliche Öffnung 6 zum Ein- und Ausbringen des Halbleiters in und aus der Kammer 1 aufweist, und eine zweite Kammerwand (Bodenwand) 2b, die senkrecht mit dem unteren Ende der ersten Kammerwand 2a verbunden ist und eine Ventileinsetzöffnung 7 aufweist, in welche ein Teil des Schieberventils 3 eingesetzt ist. Eine dritte Kammerwand (obere Wand) 2c, die der zweiten Kammerwand 2b gegenüberliegt, bildet einen Deckel, der geöffnet und geschlossen werden kann. Wenn die dritte Kammerwand 2c offen ist, wird das Schieberventil 3 in die Kammer 1 eingesetzt, und das Schieberventil 3 wird mit den Befestigungsvorrichtungen 5 an der ersten Kammerwand 2a fixiert, wobei der Ventilplattengehäuserahmen 4 dazwischen angeordnet ist.
Das Schieberventil 3 umfasst den Ventilplattengehäuserahmen 4, eine Verbindungsöffnung 6a, die in einer ersten Rahmenwand 4a des Ventilplattengehäuserahmens 4 so ausgebildet ist, dass sie mit der Öffnung 6 in Verbindung steht, eine Ventilplatte 8, die in dem Ventilplattengehäuserahmen 4 verschoben wird, die Verbindungsöffnung 6a öffnet und schließt und dadurch die Öffnung 6 öffnet und schließt, einen Betätigungsmechanismusabschnitt 10, welcher das Öffnen und Schließen der Ventilplatte 8 über einen Ventilschaft 9 auslöst, und die Befestigungsvorrichtungen 5, welche den Ventilplattengehäuserahmen 4 an der Kammerwand 2 der Kammer 1 fixieren. Der Ventilplattengehäuserahmen 4, die Ventilplatte 8, der Ventilschaft 9 und der Betätigungsmechanismusabschnitt 10 sind integral zu einer Struktur zusammengesetzt.
Der Ventilplattengehäuserahmen 4 umfasst die erste Rahmenwand 4a, die parallel zu der ersten Kammerwand 2a der Kammer 1 angeordnet ist, und eine zweite Rahmenwand 4b, die senkrecht mit der ersten Rahmenwand 4a verbunden ist. Wenn der Ventilplattengehäuserahmen 4 an der Kammerwand 2 der Kammer 1 angebracht wird, wird die erste Rahmenwand 4a gegen die Innenfläche der ersten Kammerwand 2a der Kammer 1 gepresst, wobei ein die Öffnung 6 umgebendes erstes Dichtelement 11a dazwischen angeordnet ist. Die zweite Rahmenwand 4b wird gegen die Innenfläche der zweiten Kammerwand 2b der Kammer 1 gepresst, wobei ein die Ventileinsetzöffnung 7 umgebendes zweites Dichtelement 11b dazwischen angeordnet ist. Das erste Dichtelement 11a ist an der ersten Rahmenwand 4a angebracht, und das zweite Dichtelement 11b ist an der zweiten Rahmenwand 4b angebracht.
Die zweite Rahmenwand 4b des Ventilplattengehäuserahmens 4 ist mit dem oberen Ende des Betätigungsmechanismusabschnitt 10 über eine Verbindungsvorrichtung (nicht dargestellt) verbunden.
Eine Schaftöffnung 12 in dem zweiten Rahmen 4b, durch welche der Ventilschaft 9 hindurchtritt, steht mit der Kammer 1 in Verbindung und wird von der Umgebung durch einen Balg oder dergleichen in dem Betätigungsmechanismusabschnitt 10 abgeschlossen.
Wie sich aus den 3A, 3B, 4A und 4B ergibt, umfassen die Befestigungsvorrichtungen 5 jeweils ein Gewindeloch 15 und ein Führungsloch 16, die in der ersten Kammerwand 2a der Kammer 1 senkrecht zu der Kammerwand 2a ausgebildet sind, eine Schraubeneinsetzöffnung 17, die in der ersten Rahmenwand 4a des Ventilplattengehäuserahmens 4 senkrecht zu der Rahmenwand 4a ausgebildet ist, eine Befestigungsschraube 18, welche durch die Schraubeneinsetzöffnung 17 in das Gewindeloch 15 eingeschraubt ist, und einen Nockenmechanismus 19, der aus einer Nockenfläche 20 und einer Nockenaufnahmefläche 21 besteht, welche an der Befestigungsschraube 18 und in der Schraubeneinsetzöffnung 17 ausgebildet sind.
Mehrere Befestigungsvorrichtungen 5 sind an Positionen entfernt von der Verbindungsöffnung 6a der ersten Rahmenwand 4a vorgesehen, d. h. an Positionen nahe der zweiten Rahmenwand 4b.
Die Schraubeneinsetzöffnung 17 hat eine langlochähnliche Form und erstreckt sich in der Höhenrichtung der ersten Rahmenwand 4a. Ein rechteckiger Nockenelementeinsetzabschnitt 22 an einem Ende der Schraubeneinsetzöffnung 17 öffnet sich in die Kammer 1. Daher bildet der Nockenelementeinsetzabschnitt 22 einen Teil der Schraubeneinsetzöffnung 17. Zur Vereinfachung wird aber in der nachfolgenden Beschreibung der langlochförmige Teil als die "Schraubeneinsetzöffnung 17" bezeichnet und der rechteckige Teil wird als der "Nockenelementeinsetzabschnitt 22" bezeichnet.
Die Nockenaufnahmefläche 21, die eine ebene schräge Fläche ist, ist an einer der vier inneren Seitenflächen des Nockenelementeinsetzabschnittes 22, die der zweiten Rahmenwand 4b am nächsten liegt, ausgebildet. Die Nockenaufnahmefläche 21 ist gleichmäßig geneigt, so dass sie sich der zweiten Rahmenwand 4b allmählich annähert, wenn sie zu dem offenen Ende des Nockenelementeinsetzabschnitts 22 verläuft.
Der zwischen der Nockenaufnahmefläche 21 und einer Einsetzöffnungsachse L1, d. h. der zentralen Achse der Schraubeneinsetzöffnung 17, gebildete Winkel beträgt vorzugsweise 45° oder weniger und insbesondere etwa 20 bis 30°. Bei dem gezeigten Beispiel beträgt der Winkel 25°.
Die Befestigungsschraube 18 umfasst in der Reihenfolge von dem distalen Ende zu dem proximalen Ende entlang der Gewindeachse L2, d. h. ihrer zentralen Achse, einen Gewindeabschnitt 18a, an dem ein Außengewinde ausgebildet ist, einen zylindrischen Abschnitt 18b, an dem kein Außengewinde ausgebildet ist, und einen kreisförmigen Schraubenkopf 18c, an dem ein Inbusloch 18d zur Drehbetätigung ausgebildet ist.
Ein Nockenelement 23, das in der Vorderansicht rechteckig ausgebildet ist, ist an dem zylindrischen Abschnitt 18b angebracht und um die Schraubenachse L2 drehbar, wobei seine Bewegung in der Richtung der Schraubenachse L2 durch einen Verriegelungsring 24 begrenzt ist. Die Nockenfläche 20, die in Kontakt mit der Nockenaufnahmefläche 21 steht, ist an einer der vier äußeren Seitenflächen des Nockenelements 23 ausgebildet, welche der Nockenaufnahmefläche 21 des Nockenelementeinsetzabschnitts 22 zugewandt ist. Diese Nockenfläche 20 ist eine ebene schräge Fläche, die in der gleichen Richtung gleichmäßig geneigt ist wie die Nockenaufnahmefläche 21, d. h. so, dass sie sich der Schraubenachse L2 allmählich annähert, wenn sie zu dem distalen Ende der Befestigungsschraube 18 fortschreitet. Der zwischen der Nockenfläche 20 und der Schraubenachse L2 gebildete Winkel ist der gleiche wie der zwischen der Nockenaufnahmefläche 21 und der Einsetzöffnungsachse L1 gebildete Winkel und beträgt bei dem dargestellten Beispiel 25°.
Dank des Nockenmechanismus 19, der durch die Nockenfläche 20 und die Nockenaufnahmefläche 21 gebildet wird, wird beim Festziehen der Befestigungsschraube 18 zum Fixieren der ersten Rahmenwand 4a und der ersten Kammerwand 2a eine Schubkraft in einer Richtung senkrecht zu der Schraubenachse L2 der Befestigungsschraube 18 in dem Ventilplattengehäuserahmen 4 generiert, und die zweite Rahmenwand 4b des Ventilplattengehäuserahmens 4 wird durch die Schubkraft gegen die zweite Kammerwand 2d der Kammer 1 gepresst.
Der Vorgang zur Befestigung des Schieberventils 3 an der Kammerwand 2 der Kammer 1 mit den Befestigungsvorrichtungen 5 wird wie folgt durchgeführt.
Die 4A und 4B zeigen einen vorläufigen Zustand vor dem Fixieren des Ventilplattengehäuserahmens 4 des Schieberventils 3, das in dem Gehäuse 1 aufgenommen ist, an der ersten Kammerwand 2a des Rahmens 1 mit der Befestigungsvorrichtung 5. Dieser vorläufige Zustand ist ein Zustand, in dem ein Teil des distalen Endes des Gewindeabschnitts 18a der Befestigungsschraube 18 in das Gewindeloch 15 eingeschraubt ist, das distale Ende des zylindrischen Abschnitts 18b in das Führungsloch 16 eingesetzt ist und die Befestigungsschraube 18 dadurch vorläufig stabil an der ersten Kammerwand 2a befestigt aber noch nicht festgezogen ist. Zu dieser Zeit sind das erste Dichtelement 11a und das zweite Dichtelement 11b noch nicht zusammengedrückt. Daher stehen die Wandflächen 4c der ersten Rahmenwand 4a und der zweiten Rahmenwand 4b des Ventilplattengehäuserahmens 4 nicht in Kontakt mit den Innenflächen der ersten Kammerwand 2a und der zweiten Kammerwand 2b der Kammer 1. Die Nockenfläche 20 des Nockenelements 23 steht an einer Position nahe dem offenen Ende des Nockenelementeinsetzabschnitts 22 in Kontakt mit der Nockenaufnahmefläche 21 des Nockenelementeinsetzabschnitts 22, und der zylindrische Abschnitt 18b der Befestigungsschraube 18 ist nahe dem ersten Öffnungsende 17a angeordnet, das eines der beiden Enden in der Längsachsenrichtung der Schraubeneinsetzöffnung 17 ist, welches der zweiten Rahmenwand 4b näher liegt.
Wenn die Befestigungsschraube 18 ausgehend von dem vorläufigen Zustand gemäß 4A weitergeschraubt wird, bewegt sich die Befestigungsschraube 18 vorwärts, wobei sie sich dreht, während sich das Nockenelement 23 vorwärts bewegt, ohne sich in dem Nockenelementeinsetzabschnitt 22 zu drehen. Wie in den 5A und 5B gezeigt ist, erreicht die Befestigungsschraube 18 eine Befestigungszwischenposition, an welcher eine Pressfläche 23a an dem distalen Ende des Nockenelements 23 in Kontakt mit einer gepressten Fläche 22a an dem Boden des Nockenelementeinsetzabschnitts 22 steht. Zu dieser Zeit presst die Nockenfläche 20 des Nockenelements 23 die Nockenaufnahmefläche 21, wobei sie entlang der Nockenaufnahmefläche 21 gleitet. Daher wirkt eine vertikale Kraftkomponente in einer Richtung senkrecht zu der Schraubenachse L2 als eine Schubkraft auf den Ventilplattengehäuserahmen 4. Durch diese Schubkraft wird der Ventilplattengehäuserahmen 4 zu der zweiten Kammerwand 2b des Gehäuses 1 gedrückt, und die zweite Rahmenwand 4b wird gegen die zweite Kammerwand 2b gepresst, wobei sie das zweite Dichtelement 11b zusammendrückt. Zu dieser Zeit kann die Wandfläche 4c der zweiten Rahmenwand 4b in Kontakt mit der Innenfläche der zweiten Kammerwand 2b stehen, vorzugsweise ist sie aber von der zweiten Kammerwand 2b getrennt, wobei eine schmale Lücke zwischen ihr und der Innenfläche vorliegt.
Aufgrund der Bewegung des Ventilplattengehäuserahmens 4 ist der zylindrische Abschnitt 18b der Befestigungsschraube 18 nahe einem zweiten Öffnungsende 17b gegenüber dem ersten Öffnungsende 17a der Schraubeneinsetzöffnung 17 angeordnet.
Eine Kraftkomponente in einer Richtung parallel zu der Schraubenachse L2 wirkt auch auf den Ventilplattengehäuserahmen 4. Durch diese parallele Kraftkomponente wird der Ventilgehäuserahmen 4 auch zu der ersten Kammerwand 2a gedrückt. Diese parallele Kraftkomponente ist kleiner als die vertikale Kraftkomponente, so dass der Ventilplattengehäuserahmen 4 etwas zu der ersten Kammerwand 2a verschoben wird, wobei er das erste Dichtelement 11a leicht zusammendrückt.
Wenn als nächstes die Befestigungsschraube 18 ausgehend von der Befestigungszwischenposition gemäß 5A weiter gedreht und bis zu einer Befestigungsendposition, die in den 3A und 3B gezeigt ist, festgezogen wird, wird der Ventilplattengehäuserahmen 4 zu der ersten Kammerwand 2a der Kammer 1 verschoben und die erste Rahmenwand 4a wird gegen die erste Kammerwand 2a gepresst, wobei sie das erste Dichtelement 11a zusammendrückt. Hierbei wird die zweite Rahmenwand 4b gegen die zweite Kammerwand 2b gepresst, wobei sie das zweite Dichtelement 11b zusammendrückt, und entlang der zweiten Kammerwand 2b verschoben, wobei sie in diesem Zustand bleibt. Daher wird das zweite Dichtelement 11b vorzugsweise einer Antihaftbehandlung unterworfen, um zu verhindern, dass das zweite Dichtelement 11b an der zweiten Kammerwand 2b festklebt und Staub (Abrieb) erzeugt.
Die Wandfläche 4c der ersten Rahmenwand 4a kann in Kontakt mit der Innenfläche der ersten Kammerwand 2a stehen oder von der Innenfläche der ersten Kammerwand 2a beabstandet sein, wobei eine kleine Lücke dazwischen beibehalten wird. Um zu verhindern, dass die erste Rahmenwand 4a durch die Presskraft verschoben wird, wenn die Verbindungsöffnung 6a durch die Ventilplatte 8 verschlossen wird, steht der erste Rahmen 4a aber vorzugsweise in Kontakt mit der ersten Kammerwand 2a. Um in diesem Fall die Erzeugung von Staub durch den Kontakt von Metall auf Metall zu minimieren, stehen vorzugsweise lediglich Teile der Wandfläche 4c der ersten Rahmenwand 4a in Kontakt mit der ersten Kammerwand 2a, während der andere Wandflächenteil zurückgesetzt ist und daher nicht in Kontakt mit der ersten Kammerwand 2a steht. In dem Fall sind die Wandflächenteile, die in Kontakt mit der ersten Kammerwand 2a gebracht werden, vorzugsweise ein Teil des oberen Endes der ersten Kammerwand 4a, der an der Außenseite des ersten Dichtelements 11a liegt, sowie Teile um die Schraubeneinsetzöffnungen 17.
Durch Festziehen der Befestigungsschrauben 18 aller Befestigungsvorrichtungen 5 wird somit die Befestigung des Ventilplattengehäuserahmens 4 an der Kammerwand 2 der Kammer 1, d. h. die Befestigung des Schieberventils 3 an der Kammer 1, abgeschlossen.
Die Entnahme des Schieberventils 3 aus der Kammer 1 zu Wartungszwecken oder dergleichen kann in umgekehrter Reihenfolge zu dem oben beschriebenen Befestigungsvorgang durchgeführt werden. Da in diesem Fall das Nockenelement 23, das an der Befestigungsschraube 18 angebracht ist, durch den Verriegelungsring 24 an der Befestigungsschraube 18 verriegelt ist, wird beim Entfernen der Befestigungsschraube 18 das Nockenelement 23 zusammen mit der Befestigungsschraube 18 von dem Nockenelementeinsetzabschnitt 22 entfernt.
Die 6 und 7 zeigen eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die zweite Ausführungsform unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform dahingehend, dass eine zweite Rahmenwand 4b eines Ventilplattengehäuserahmens 4 an einer zweiten Kammerwand 2b einer Kammer 1 über mehrere Befestigungsvorrichtungen 5A befestigt wird. Zu diesem Zweck ist bei dem dargestellten Beispiel eine Befestigungsvorrichtung 5A an jeder Außenseite in der Längsrichtung einer Ventileinsetzöffnung 7, die in der zweiten Kammerwand 2b ausgebildet ist, vorgesehen.
Wie sich aus den 8A, 8B, 9A und 9B ergibt, haben die Befestigungsvorrichtungen 5A im Wesentlichen den gleichen Aufbau wie die Befestigungsvorrichtungen 5 der ersten Ausführungsform. Das bedeutet, dass die Befestigungsvorrichtungen 5A jeweils ein Gewindeloch 15 und ein Führungsloch 16 aufweisen, die in der zweiten Kammerwand 2b der Kammer 1 senkrecht zu der Kammerwand 2b ausgebildet sind, eine Schraubeneinsetzöffnung 17, die in der zweiten Rahmenwand 4b eines Ventilplattengehäuserahmens 4 senkrecht zu der Rahmenwand 4b ausgebildet sind, eine Befestigungsschraube 18, die in das Befestigungsloch 15 durch die Schraubeneinsetzöffnung 17 eingeschraubt wird, und einen Nockenmechanismus 19, der an der Befestigungsschraube 18 und in der Schraubeneinsetzöffnung 17 ausgebildet ist.
Der Nockenmechanismus 19 wird durch eine Nockenfläche 20 gebildet, die an einer äußeren Seitenfläche eines Nockenelements 23, das an der Befestigungsschraube 18 befestigt ist, ausgebildet ist, und eine Nockenaufnahmefläche 21, die an einer inneren Seitenfläche des Nockenelementeinsetzabschnitts 22 in der Schraubeneinsetzöffnung 17 ausgebildet ist. Die Nockenfläche 20 und die Nockenaufnahmefläche 21 sind an Seitenflächen des Nockenelements 23 und des Nockenelementeinsetzabschnitts 22 ausgebildet, die der ersten Rahmenwand 4a am nächsten liegen.
Bei der zweiten Ausführungsform ist der Vorgang zum Befestigen der zweiten Rahmenwand 4b des Ventilplattengehäuserahmens 4 an der zweiten Kammerwand 2b der Kammer 1 mit den Befestigungsvorrichtungen 5A im Wesentlichen der gleiche wie im Fall der ersten Ausführungsform.
Das bedeutet, dass die Befestigungsschraube 18 ausgehend von dem vorläufigen Zustand gemäß den 9A und 9B zu einer Befestigungszwischenposition eingeschraubt wird, an welcher die Pressfläche 23a des Nockenelements 23 in Kontakt mit der gepressten Fläche 22a an dem Boden des Nockenelementeinsetzabschnitts 22 steht (vgl. 10A und 10B). Dadurch presst die Nockenfläche 20 des Nockenmechanismus 19 die Nockenaufnahmefläche 21, um den Ventilplattengehäuserahmen 4 zu der ersten Kammerwand 2a der Kammer 1 zu verschieben. Daher wird die erste Rahmenwand 4a gegen die erste Kammerwand 2a gepresst, wobei sie das erste Dichtelement 11a zusammendrückt.
Als nächstes wird die Befestigungsschraube 18 ausgehend von der Befestigungszwischenposition gemäß den 10A und 10B weiter geschraubt und zu einer in den 8A und 8B gezeigten Befestigungsendposition festgezogen. Dadurch wird der Ventilplattengehäuserahmen 4 zu der zweiten Kammerwand 2b der Kammer 1 verschoben, und die zweite Rahmenwand 4b wird gegen die zweite Kammerwand 2b gepresst, wobei sie das zweite Dichtelement 11b zusammendrückt. Zu dieser Zeit wird die gegen die erste Kammerwand 2a gepresste erste Rahmenwand 4a entlang der ersten Kammerwand 2a verschoben, wobei sie in diesem Zustand verbleibt.
Durch Festziehen der Befestigungsschrauben 18 der beiden Befestigungsvorrichtungen 5A wird somit die Befestigung des Ventilplattengehäuserahmens 4 an der Kammerwand 2 der Kammer 1, d. h. das Anbringen des Schieberventils 3 an der Kammer 1, abgeschlossen.
Um bei der zweiten Ausführungsform die Kontaktfläche mit der ersten Kammerwand 2a zu verringern, ist die erste Rahmenwand 4a des Ventilplattengehäuserahmens 4 so ausgebildet, dass ein das erste Dichtelement 11a umgebender Teil in Kontakt mit der ersten Kammerwand 2a steht, während der andere Teil nicht in Kontakt mit der ersten Kammerwand 2a steht.
Die 11 bis 13 zeigen eine Modifikation einer Befestigungsvorrichtung als eine dritte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Befestigungsvorrichtung 5B unterscheidet sich von den Befestigungsvorrichtungen 5 und 5A der ersten Ausführungsform und der zweiten Ausführungsform dahingehend, dass schräge Flächen, die eine Nockenfläche 35 und eine Nockenaufnahmefläche 36 eines Nockenmechanismus 34 bilden, konische Oberflächen aufweisen.
Die Gestaltung der Befestigungsvorrichtung 5B gemäß der dritten Ausführungsform in einem Fall, in dem wie bei der ersten Ausführungsform, die in den 1 und 2 gezeigt ist, eine erste Rahmenwand 4a eines Ventilplattengehäuserahmens 4 an einer ersten Kammerwand 2a einer Kammer 1 über die Befestigungsvorrichtung 5B fixiert wird, wird nachfolgend beschrieben. In diesem Fall wird auf den Aufbau der anderen Komponenten als der Befestigungsvorrichtung 5B, wie den Aufbau der Kammer 1 und des Ventilplattengehäuserahmens 4, die in den 11 bis 13 nicht beschrieben sind, bei Bedarf auf die 1 und 2 Bezug genommen.
Die Befestigungsvorrichtung 5B weist ein Gewindeloch 31 auf, das in der ersten Kammerwand 2a der Kammer 1 senkrecht zu der Kammerwand 2a ausgebildet ist, eine Schraubeneinsetzöffnung 32, die in der ersten Rahmenwand 4a des Ventilplattengehäuserahmens 4 senkrecht zu der Rahmenwand 4a ausgebildet ist, eine Befestigungsschraube 33, welche durch die Schraubeneinsetzöffnung 32 hindurchgeführt und in das Gewindeloch 31 eingeschraubt ist, und einen Nockenmechanismus 34, der an der Befestigungsschraube 33 und in der Schraubeneinsetzöffnung 32 ausgebildet ist.
Die Schraubeneinsetzöffnung 32 ist ein kreisförmiges Loch und umfasst in der Reihenfolge von dem distalen Ende zu dem proximalen Ende der Schraubeneinsetzöffnung 32 entlang der Achse L1 der Einsetzöffnung einen Lochabschnitt 32 mit kleinem Durchmesser, einen Lochabschnitt 32b mit großem Durchmesser, der einen größeren Lochdurchmesser hat als der Lochabschnitt mit kleinem Durchmesser, und einen Schraubenkopfeinsetzabschnitt 32c, der einen größeren Lochdurchmesser hat als der Lochabschnitt 32b mit großem Durchmesser. Die Nockenaufnahmefläche 36, die eine konische Oberfläche aufweist, ist zwischen dem Lochabschnitt 32a mit kleinem Durchmesser und dem Lochabschnitt 32b mit großem Durchmesser ausgebildet. Ein Sitzabschnitt 32d, mit welchem der Schraubenkopf 33c der Befestigungsschraube 33 in Kontakt tritt, ist an dem Boden des Schraubenkopfeinsetzabschnitts 32c ausgebildet.
Die Befestigungsschraube 33 umfasst in der Reihenfolge von dem distalen Ende zu dem proximalen Ende entlang der Schraubenachse L2 einen Gewindeabschnitt 33a, an dem ein Außengewinde ausgebildet ist, einen zylindrischen Abschnitt 33b, an dem kein Außengewinde ausgebildet ist, und den kreisförmigen Gewindekopf 33c, in dem ein Sechskantloch (Inbus) ausgebildet ist. In dem zylindrischen Abschnitt 33b sind ein Abschnitt 33b1 mit großem Durchmesser an der proximalen Seite (Seite des Schraubenkopfes 33c) und ein Abschnitt 33b2 mit kleinem Durchmesser an der distalen Seite (Seite des Gewindeabschnitts 33a), die unterschiedliche Außendurchmesser haben, ausgebildet. Die Nockenfläche 35 mit einer konischen Oberfläche ist zwischen dem Abschnitt 33b1 mit großem Durchmesser und dem Abschnitt 33b2 mit kleinem Durchmesser ausgebildet.
Der Außendurchmesser des Abschnitts 33b1 mit großem Durchmesser der Befestigungsschraube 33 ist kleiner als der Innendurchmesser des Lochabschnitts 32b mit großem Durchmesser der Schraubeneinsetzöffnung 32 und ist etwas kleiner als der Innendurchmesser des Lochabschnitts 32a mit kleinem Durchmesser, so dass der Abschnitt 33b1 mit großem Durchmesser gut in den Lochabschnitt 32a mit kleinem Durchmesser passt ohne zu klappern. Daher ist der Außendurchmesser des größten Teils der konischen Oberfläche, die die Nockenfläche 35 bildet, kleiner als der Innendurchmesser des kleinsten Teils der konischen Fläche, die die Nockenaufnahmefläche 36 bildet.
Der Vorgang zur Befestigung der ersten Rahmenwand 4a des Ventilplattengehäuserahmens 4 an der ersten Kammerwand 2a der Kammer 1 mit der Befestigungsvorrichtung 5B der dritten Ausführungsform, welche den oben beschriebenen Aufbau hat, ist im Wesentlichen der gleiche wie bei der ersten Ausführungsform.
Das bedeutet, das 12 einen vorläufigen Zustand zeigt, in dem ein Teil des distalen Endes des Gewindeabschnitts 33a der Befestigungsschraube 33 in das Gewindeloch 31 der Schraubeneinsetzöffnung 32 eingeschraubt und vorläufig befestigt ist. In diesem vorläufigen Zustand ist der Abschnitt 33b1 mit großem Durchmesser der Befestigungsschraube 33 in den Lochabschnitt 32b mit großem Durchmesser der Schraubeneinsetzöffnung 32 eingesetzt, und ein Teil der Nockenfläche 35 steht in Kontakt mit einem Teil der Nockenaufnahmefläche 36, presst aber noch nicht fest gegen die Nockenaufnahmefläche 36. Daher stehen die erste Rahmenwand 4a und die zweite Rahmenwand 4b des Ventilplattengehäuserahmens 4 nicht in Kontakt mit der ersten Kammerwand 2a und der zweiten Kammerwand 2b der Kammer 1. Daher fluchten die Einsetzöffnungsachse L1 der Schraubeneinsetzöffnung 32 und die Schraubenachse L2 der Befestigungsschraube 33 nicht.
Wenn die Befestigungsschraube 33 ausgehend von dem in 12 gezeigten vorläufigen Zustand zu einer Befestigungszwischenposition geschraubt wird, in welcher der Schraubenkopf 33c in Kontakt mit dem Sitzabschnitt 32d des Schraubenkopfeinsetzabschnitts 32c tritt (vgl. 13), so tritt ein Teil der Nockenfläche 35 mit der konischen Oberfläche in Kontakt mit einem Teil der Nockenaufnahmefläche 36, die ebenfalls eine konische Oberfläche hat, und presst gegen die Nockenaufnahmefläche 36, wobei er entlang der Nockenaufnahmefläche 36 gleitet. Der Abschnitt 33b1 mit großem Durchmesser wird in den Lochabschnitt 32a mit kleinem Durchmesser eingesetzt. Daher wird der Ventilplattengehäuserahmen 4 durch eine Schubkraft in einer Richtung senkrecht zu der Einsetzöffnungsachse L1 zu der zweiten Kammerwand 2b gedrückt, und die zweite Rahmenwand 4b wird gegen die zweite Kammerwand 2b gepresst. Die Einsetzöffnungsachse L1 der Schraubeneinsetzöffnung 32 und die Schraubenachse L2 der Befestigungsschraube 33 fluchten nun miteinander.
Wenn als nächstes die Befestigungsschraube 33 zu einer in 11 gezeigten Befestigungsendposition festgezogen wird, wird der Ventilplattengehäuserahmen 4 zu der ersten Kammerwand 2a der Kammer 1 verschoben, die erste Rahmenwand 4a wird gegen die erste Kammerwand 2a gepresst und die Befestigung des Ventilplattengehäuserahmens 4 ist abgeschlossen.
Wie bei der Befestigungsvorrichtung 5A gemäß der zweiten Ausführungsform, wie sie in den 6 und 7 gezeigt ist, kann auch die Befestigungsvorrichtung 5B gemäß der dritten Ausführungsform verwendet werden, wenn die zweite Rahmenwand 4b des Ventilplattengehäuserahmens 4 an der zweiten Kammerwand 2b der Kammer 1 befestigt wird.
Bei der Befestigungsvorrichtung 5B gemäß der dritten Ausführungsform ist eine Nockenfläche 35 direkt an dem zylindrischen Abschnitt 33b der Befestigungsschraube 33 ausgebildet. Wie in 14 gezeigt ist, kann die Nockenfläche 35 aber auch durch Anbringen eines zylindrischen Nockenelements 37 an dem zylindrischen Abschnitt 33b und Ausbilden eines Teils, beispielsweise des distalen Endes des Nockenelements 37, zu einer konischen Oberflächengestalt gebildet werden. In diesem Fall kann das Nockenelement 37 an der Befestigungsschraube 33 fixiert werden oder relativ zu dieser drehbar sein. Wenn das Nockenelement 37 drehbar ist, wird das Nockenelement 37 vorzugsweise so an der Befestigungsschraube 33 befestigt, dass seine Bewegung in der Richtung der Schraubenachse L2 eingeschränkt ist, um zu verhindern, dass das Nockenelement 37 in der Schraubeneinsetzöffnung 32 verbleibt, wenn die Befestigungsschraube 33 aus der Schraubeneinsetzöffnung 32 entnommen wird.
Es lässt sich sagen, dass bei der Befestigungsvorrichtung 5B gemäß der dritten Ausführungsform der zylindrische Abschnitt 33b der Befestigungsschraube 33 einstückig mit dem Nockenelement 37 ausgebildet ist.
Bei den dargestellten Ausführungsformen sind der Winkel, der zwischen der Nockenfläche 20, 36 und der Schraubenachse L2 gebildet ist, und der Winkel, der zwischen der Nockenaufnahmefläche 21, 35 und der Einsetzöffnungsachse L1 gebildet sind, jeweils ein Winkel, der kleiner ist als 45° (beispielsweise 25°), die Winkel können aber auch 45° betragen. Durch Einstellen der Nockenflächen 20, 36 und der Nockenaufnahmeflächen 21, 35 auf 45° können dann, wenn die Befestigungsschraube 18, 33 festgezogen wird und die Nockenfläche 20, 36 gegen die Nockenaufnahmefläche 21, 35 drückt, gleich große Schubkräfte erzeugt werden, die sowohl in einer Richtung senkrecht zu der Schraubenachse L2 als auch in einer Richtung parallel zu der Schraubenachse L2 auf die Nockenaufnahmefläche 21, 35 wirken, d. h. auf den Ventilplattengehäuserahmen 4. Hierdurch kann der Ventilplattengehäuserahmen 4 so verschoben werden, dass sich sowohl die erste Rahmenwand 4a als auch die zweite Rahmenwand 4b gleichzeitig der ersten Kammerwand 2b bzw. der zweiten Kammerwand 2b der Kammer 1 annähern. Dadurch kann die Befestigung des Ventilplattengehäuserahmens 4 an der Kammerwand 2 der Kammer 1 einfach und gleichmäßig durchgeführt werden.
Bezugszeichenliste

1: Kammer
2: Kammerwand
2a: erste Kammerwand
2b: zweite Kammerwand
3: Schieberventil
4: Ventilplattengehäuserahmen
5, 5A, 5B: Befestigungsvorrichtung
6: Öffnung
6a: Verbindungsöffnung
7: Ventileinsetzöffnung
8: Ventilplatte
10: Betätigungsmechanismusabschnitt
11a: erstes Dichtelement
11b: zweites Dichtelement
15: Gewindeloch
17: Schraubeneinsetzöffnung
18: Befestigungsschraube
18a: Gewindeabschnitt
18b: zylindrischer Abschnitt
18c: Schraubenkopf
19: Nockenmechanismus
20: Nockenfläche
21: Nockenaufnahmefläche
22: Nockenelementeinsetzabschnitt
23: Nockenelement
31: Gewindeloch
32: Schraubeneinsetzöffnung
32a: Lochabschnitt mit kleinem Durchmesser
32b: Lochabschnitt mit großem Durchmesser
33: Befestigungsschraube
33a: Gewindeabschnitt
33b: zylindrischer Abschnitt
33b1: Abschnitt mit großem Durchmesser
33b2: Abschnitt mit kleinem Durchmesser
33c: Schraubenkopf
34: Nockenmechanismus
35: Nockenfläche
36: Nockenaufnahmefläche
37: Nockenelement

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

JP 4210391 [0002]

Claims

Ein Schieberventil (3), das so angebracht ist, dass es eine erste Kammerwand (2a) und eine zweite Kammerwand (2b), die senkrecht zueinander miteinander verbunden sind, einer Kammer (1) übergreift, und das eine Öffnung (6), die in der ersten Kammerwand (2a) ausgebildet ist, mit einer Ventilplatte (8) öffnet und schließt, wobei das Schieberventil (3) einen Ventilplattengehäuserahmen (4) mit einer ersten Rahmenwand (4a), welche gegen die erste Kammerwand (2a) gepresst wird, und einer zweiten Rahmenwand (4b), welche gegen die zweite Kammerwand (2b) gepresst wird, einer Verbindungsöffnung (6a), die in der ersten Rahmenwand (4a) so ausgebildet ist, dass sie mit der Öffnung (6) in Verbindung steht, eine Ventilplatte (8), die in dem Ventilplattengehäuserahmen (4) verschiebbar ist und dadurch die Verbindungsöffnung (6a) öffnet und schließt, einen Betätigungsmechanismusabschnitt (10), welcher das Öffnen und Schließen der Ventilplatte (8) auslöst, und eine Befestigungsvorrichtung (5, 5A, 5B) zum Befestigen des Ventilplattengehäuserahmens (4) an der ersten Kammerwand (2a) oder der zweiten Kammerwand (2b) aufweist, wobei die Befestigungsvorrichtung (5, 5A, 5B) eine Befestigungsschraube (18, 33) aufweist, die in ein Gewindeloch (15, 31) eingeschraubt ist, das in senkrechter Richtung in der ersten Kammerwand (2a) oder der zweiten Kammerwand (2b) ausgebildet ist, und eine Schraubeneinsetzöffnung (17, 32), die in senkrechter Richtung in der ersten Rahmenwand (4a) oder der zweiten Rahmenwand (4b) des Ventilplattengehäuserahmens (4) entsprechend der einen Kammerwand (2a, 2b) ausgebildet ist und durch welche die Befestigungsschraube (18, 33) hindurchgeführt ist, wobei ein Nockenmechanismus (19, 34), der eine Schubkraft in einer Richtung senkrecht zu der Achse (L2) der Befestigungsschraube (18, 33) in dem Ventilplattengehäuserahmen (4) erzeugt, wenn die Befestigungsschraube (18, 33) festgezogen wird, um die eine Rahmenwand (4a, 4b) gegen und zu der einen Kammerwand (2a, 2b) zu pressen und zu befestigen, an der Befestigungsschraube (18, 33) und in der Schraubeneinsetzöffnung (17, 32) ausgebildet ist, und wobei die andere Rahmenwand (4b, 4a) des Ventilplattengehäuserahmens (4) durch die Schubkraft gegen die andere Kammerwand (2b, 2a) der Kammer (1) gepresst wird.
Das Schieberventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Nockenmechanismus (19, 34) eine Nockenfläche (20, 35), die eine an der Befestigungsschraube (18, 33) ausgebildete gleichmäßig geneigte Fläche ist, und eine Nockenaufnahmefläche (21, 36), die eine in der Schraubeneinsetzöffnung (17, 32) ausgebildete gleichmäßig geneigte Fläche ist, aufweist und dass die Neigungsrichtung und der Neigungswinkel der Nockenfläche (20, 35) und die Neigungsrichtung und der Neigungswinkel der Nockenaufnahmefläche (21, 36) jeweils gleich sind.
Das Schieberventil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Nockenfläche (20, 35) an einem Nockenelement (23, 37) ausgebildet ist, das einstückig mit oder getrennt von der Befestigungsschraube (18, 33) vorgesehen ist, und dass die Nockenaufnahmefläche (21, 36) an der Innenfläche der Schraubeneinsetzöffnung (17, 32) ausgebildet ist.
Das Schieberventil nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Nockenelement (23, 37) getrennt von der Befestigungsschraube (18, 33) ausgebildet ist und derart an der Befestigungsschraube (18, 33) angebracht ist, dass das Nockenelement (23, 37) um die Achse (L2) der Befestigungsschraube (18, 33) drehbar ist aber an einer Bewegung in der Richtung der Achse (L2) gehindert ist.
Das Schieberventil nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl die Nockenfläche (20) als auch die Nockenaufnahmefläche (21) eben sind.
Das Schieberventil nach Anspruch 4 und 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Nockenelement (23) in der Vorderansicht nicht kreisförmig ist, dass die Nockenfläche (20) an der Außenfläche des Nockenelements (23) ausgebildet ist, dass die Schraubeneinsetzöffnung (17) einen Nockenelementeinsetzabschnitt (22) aufweist, in welchen das Nockenelement (23) nicht drehbar eingesetzt ist, und dass die Nockenaufnahmefläche (21) an der Innenfläche des Nockenelementeinsetzabschnitts (22) ausgebildet ist.
Das Schieberventil nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Nockenfläche (35) und die Nockenaufnahmefläche (36) jeweils konische Oberflächen haben und dass der Außendurchmesser des größten Teils der konischen Fläche, welche die Nockenfläche (35) bildet, kleiner ist als der Innendurchmesser des kleinsten Teils der konischen Fläche, welche die Nockenaufnahmefläche (36) bildet.
Das Schieberventil nach Anspruch 3 oder 4 und 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Nockenelement (37) zylindrisch ist, dass die konische Nockenfläche (35) an dem Nockenelement (37) ausgebildet ist, dass die Schraubeneinsetzöffnung (32) einen Lochabschnitt (32a) mit kleinem Durchmesser und einen Lochabschnitt (32b) mit großem Durchmesser aufweist, die jeweils kreisförmig sind und unterschiedliche Durchmesser haben, und dass die konische Nockenaufnahmefläche (36) zwischen dem Lochabschnitt (32a) mit kleinem Durchmesser und dem Lochabschnitt (32b) mit großem Durchmesser ausgebildet ist.