DE102015224772A1 - Schallwandleranordnung mit konzentrischen Stegen und Verfahren zur Herstellung einer Schallwandleranordnung mit konzentrischen Stegen - Google Patents
Schallwandleranordnung mit konzentrischen Stegen und Verfahren zur Herstellung einer Schallwandleranordnung mit konzentrischen Stegen Download PDFInfo
- Publication number
- DE102015224772A1 DE102015224772A1 DE102015224772.4A DE102015224772A DE102015224772A1 DE 102015224772 A1 DE102015224772 A1 DE 102015224772A1 DE 102015224772 A DE102015224772 A DE 102015224772A DE 102015224772 A1 DE102015224772 A1 DE 102015224772A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- sound transducer
- layer
- perforated plate
- transducer arrangement
- plate carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 46
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 6
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 12
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 3
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 2
- BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N (2r,3r,4s,5r)-2-[6-[[2-(3,5-dimethoxyphenyl)-2-(2-methylphenyl)ethyl]amino]purin-9-yl]-5-(hydroxymethyl)oxolane-3,4-diol Chemical compound COC1=CC(OC)=CC(C(CNC=2C=3N=CN(C=3N=CN=2)[C@H]2[C@@H]([C@H](O)[C@@H](CO)O2)O)C=2C(=CC=CC=2)C)=C1 BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000012815 thermoplastic material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
- B06B1/0622—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/004—Mounting transducers, e.g. provided with mechanical moving or orienting device
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
Schallwandleranordnung (100) umfassend einen Lochplattenträger (101) mit mehreren Durchgangsöffnungen (111), mehrere Piezoelemente (104), wobei jedes Piezoelement (104) eine erste Elektrode (105) und eine zweite Elektrode (106) aufweist, die erste Elektrode (105) der zweiten Elektrode (106) gegenüberliegt und jeweils ein Piezoelement (104) innerhalb einer Durchgangsöffnung (111) angeordnet ist und eine Abschlussschicht (103), wobei die Abschlussschicht (103) oberhalb des Lochplattenträgers (101) und der Piezoelemente (104) angeordnet ist, wobei die zweiten Elektroden (106) der Piezoelemente (104) mit der Abschlussschicht (103) elektrisch leitend verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, dass der Lochplattenträger (101) lateral zwischen zwei Durchgangsöffnungen (111) mindestens zwei konzentrische Stege (102) aufweist, die mit einem der beiden Durchgangsöffnungen (111) einen gemeinsamen Mittelpunkt aufweisen, und die Abschlussschicht (103) jeweils mit dem Steg (102), der unmittelbar an die jeweilige Durchgangsöffnung (111) angrenzt, einen ersten Verbindungsbereich (108) aufweist.
Description
- Stand der Technik
- Die Erfindung betrifft eine Schallwandleranordnung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Schallwandleranordnung.
- Das Dokument
DE 39 20 872 A1 offenbart ein Verfahren zur Herstellung von Ultraschall-Schichtwandlern, bei denen die Piezokeramik und thermoplastisches Kunststoffmaterial des Schichtwandlers durch Heißverkleben miteinander verbunden werden. Zur Erzeugung der für das Verkleben notwendigen Wärme wird in der Piezokeramik Verlustwärme durch Anlegen elektrischer Signale produziert. - In der Schrift
DE 10 2004 047 814 A1 wird ein fokussierendes mikrobearbeitetes Ultraschalltransducerarray beschrieben, das als fokussierende klinisch verwendbare Ultraschallsonde verwendet werden kann. Lateral nebeneinander ausgebildete Wandlerzellen werden bereichsweise elektrisch miteinander verdrahtet, um die angestrebte Fokussierung der Ultraschallwandlung zu erreichen. - Nachteilig ist hierbei, dass die einzelnen Ultraschallwandler äußeren Einflüssen, sowohl mechanischer als auch elektrischer Art, ausgesetzt sind.
- Offenbarung der Erfindung
- Die Schallwandleranordnung umfasst einen Lochplattenträger mit mehreren Durchgangsöffnungen, mehrere Piezoelemente und eine Abschlussschicht Jedes Piezoelement weist dabei eine erste Elektrode und eine zweite Elektrode auf. Die erste Elektrode liegt der zweiten Elektrode gegenüber. Innerhalb einer Durchgangsöffnung ist jeweils ein Piezoelement angeordnet. Die Abschlussschicht ist oberhalb des Lochplattenträgers und der Piezoelemente angeordnet, wobei die zweiten Elektroden der Piezoelemente mit der Abschlussschicht elektrisch leitend verbunden sind. Erfindungsgemäß weist der Lochplattenträger lateral zwischen zwei Durchgangsöffnungen mindestens zwei konzentrische Stege auf, die mit einem der beiden Durchgangsöffnungen einen gemeinsamen Mittelpunkt aufweisen. Die Abschlussschicht weist jeweils mit dem Steg, der unmittelbar an die jeweilige Durchgangsöffnung angrenzt, einen ersten Verbindungsbereich auf.
- Der Vorteil ist hierbei, dass die Entkopplung der einzelnen Biegewandlerelemente auf einfache Weise bereitgestellt wird.
- In einer Weiterbildung weist die Abschlussschicht jeweils mit dem Steg, der auf den unmittelbar an die Durchgangsöffnung angrenzenden Steg folgt, einen zweiten Verbindungsbereich auf.
- Vorteilhaft ist hierbei, dass die Entkopplung zwischen den einzelnen Biegewandlerelementen noch effizienter erfolgt.
- In einer weiteren Ausgestaltung umfasst der erste Verbindungsbereich eine Schweißnaht oder eine Klebeschicht
- In einer Weiterbildung umfasst der zweite Verbindungsbereich eine Schweißnaht oder Klebeschicht
- In einer weiteren Ausgestaltung ist die Abschlussschicht einstückig ausgestaltet.
- Vorteilhaft ist hierbei, dass ein Verbund von Biegewandlerelementen komplett vor äußeren Einflüssen geschützt wird.
- In einer Weiterbildung weisen die Abschlussschicht und der Lochplattenträger einen dritten Verbindungsbereich auf. Der dritte Verbindungsbereich verbindet einen Randbereich der Abschlussschicht mit einem Randbereich des Lochplattenträgers.
- Vorteilhaft ist hierbei, dass der dritte Verbindungsbereich als Dichtung der gesamten Schallwandleranordnung gegenüber z. B. Feuchtigkeit und Flüssigkeiten fungiert.
- In einer weiteren Ausgestaltung umfasst die dritte Verbindungsschicht eine Schweißnaht.
- Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung einer Schallwandleranordnung, die einen Lochplattenträger mit mehreren Durchgangsöffnungen und mehreren konzentrischen Stegen, mehreren Piezoelemente und einer Abschlussschicht aufweist, umfasst das Verbinden von zweiten Elektroden der Piezoelemente mit der Abschlussschicht Des Weiteren umfasst das Verfahren das Kontaktieren von ersten Elektroden der Piezoelemente mittels Drahtbonden, wobei die ersten Elektroden den zweiten Elektroden gegenüberliegend angeordnet sind und das Verbinden der Abschlussschicht und des Lochplattenträgers mittels einer Schweißnaht, wobei die Schweißnaht auf den Stegen angeordnet sind, die unmittelbar an die Durchgangsöffnungen angrenzen. Außerdem umfasst das Verfahren das teilweise Verfüllen der Durchgangsöffnungen mit einem DämpfungsmateriaL
- Der Vorteil ist hierbei, dass die Schallwandleranordnung kostenoptimiert und auf einfache Weise hergestellt werden kann.
- Weitere Vorteile ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen bzw. aus den abhängigen Patentansprüchen.
- Kurze Beschreibung der Zeichnungen
- Die vorliegende Erfindung wird nachfolgend anhand bevorzugter Ausführungsformen und beigefügter Zeichnungen erläutert. Es zeigen:
-
1a eine erste Ausgestaltung einer erfindungsgemäßen Schallwandleranordnung, -
1b eine Draufsicht auf die erste Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Schallwandleranordnung, -
2 eine zweite Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Schallwandleranordnung, -
3 ein Verfahren zur Herstellung der erfindungsgemäßen Schallwandleranordnung. -
1 zeigt eine Schnittdarstellung in der xz-Ebene einer ersten Ausgestaltung der Schallwandleranordnung100 . Die Schallwandleranordnung100 zeigt beispielhaft drei Schallwandlerelemente bzw. Biegewandlerelemente115 , die parallel zueinander beabstandet angeordnet sind. Ein Biegewandlerelement115 umfasst dabei ein Piezoelement104 , eine Membran114 die mit Hilfe einer Abschlussschicht103 gebildet wird, einen Lochplattenträger101 und Dämpfungsmaterial. Der Lochplattenträger101 umfasst mehrere Duchgangsöffnungen111 bzw. Löcher und weist eine Oberseite und eine Unterseite auf, die gegenüberliegend angeordnet sind. Auf der Oberseite sind Stege102 angeordnet, die konzentrisch um die Durchgangsöffnungen111 angeordnet sind. Die Stege102 grenzen dabei unmittelbar an die Durchgangsöffnungen111 an. Die Piezoelemente104 sind ebenfalls konzentrisch zu den Durchgangsöffnungen111 angeordnet, wobei jede Durchgangsöffnung111 jeweils ein Piezoelement104 aufnimmt, das von der Oberseite in die Durchgangsöffnung111 eingebracht ist bzw. mit der Oberseite bündig abschließt. Die Piezoelemente104 weisen einen kleineren Durchmesser auf als die Durchgangsöffnungen111 . Mit anderen Worten das Piezoelement104 befindet sich innerhalb der Durchgangsöffnung111 bzw. des Lochs. Jedes Piezoelement104 weist eine erste Elektrode105 und eine zweite Elektrode106 auf. Die erste Elektrode105 ist mittels einer Drahtverbindung beispielsweise mit einer Verstärkerschaltung verbunden und fungiert als Signalleitung bzw. Signalkontakt. Die zweite Elektrode106 ist mittels einer Klebeschicht107 mit der Abschlussschicht103 elektrisch leitend verbunden. Die Abschlussschicht103 ist mit einer elektrischen Masse, beispielsweise der Verstärkerschaltungmasse, verbunden. Das bedeutet die zweite Elektrode105 ist geerdet, wodurch eine EMV-Schirmung erfolgt. - Alternativ können die Piezoelemente
104 über zwei Drahtverbindungen mit der elektrischen Masse und der Verstärkerschaltung elektrisch leitend verbunden werden. Dazu wird die zweite Elektrode106 über den Rand des Piezoelements104 umkontaktiert, sodass sich auf der Seite der ersten Elektrode105 zwei voneinander getrennte Elektrodenbereiche befinden, die getrennt voneinander kontaktierbar sind. Die Piezoelemente104 können hierbei mit einer elektrisch nicht leitfähigen Klebeschicht mit der Abschlussschicht103 verbunden werden. - Jedes Biegewandlerelement
115 weist einen ersten Verbindungsbereich108 auf, der die Randeinspannung des Biegewandlerelements115 bzw. der Membran114 einstellt bzw. sicherstellt. Unter dem Begriff erster Verbindungsbereich108 werden dabei die Bereiche verstanden in denen eine mechanische Verbindung zwischen der Abschlussschicht103 und dem Steg102 des Lochplattenträgers101 erfolgt, der unmittelbar an die Durchgangsöffnung111 angrenzt. Die ersten Verbindungsbereiche108 sind konzentrisch um die Durchgangsöffnungen111 angeordnet und weisen einen größeren Durchmesser auf als die Durchgangsöffnungen111 . - In einem lateralen Abstand zu den Stegen
102 sind lateral beabstandet weitere Stege117 angeordnet, d. h. mindestens ein weiterer Steg117 . Die Stege102 und die weiteren Stege117 sind hierbei lateral beabstandet und durch eine Aussparungen116 in der Oberseite des Lochplattenträgers101 voneinander getrennt. Die Aussparungen116 weisen einen Abstand von 0,1 mm–1 mm zu den Schweißnähten der ersten Verbindungsbereiche108 auf. Der laterale Abstand zwischen den Stegen102 und den weiteren Stegen117 beträgt 0,1–2 mm. Die Tiefe der Aussparungen116 umfasst mindestens 0,1 mm. Durch die Aussparungen116 werden lokal schwingungsfähige Bereiche der Abschlussschicht103 erzeugt, sodass die Membranen114 Schwingungsenergie aufnehmen und dissipieren können. - Um die ersten Verbindungsbereiche
108 sind zweite Verbindungsbereiche109 konzentrisch angeordnet. Dabei weisen die zweiten Verbindungsbereiche109 einen lateralen Abstand zu den ersten Verbindungsbereichen108 auf. Diese zweiten Verbindungsbereiche109 sind auf den weiteren Stegen117 angeordnet und umfassen ebenfalls Schweißnähte. Optional können um die zweiten Verbindungsbereiche109 weitere konzentrisch angeordnete Verbindungsbereiche vorhanden sein, die ebenfalls Schweißnähte aufweisen. Die Anzahl der konzentrischen Verbindungsbereiche entspricht dabei der konzentrischen Stege102 und117 um eine Durchgangsöffnung111 . Mit anderen Worten es sind um die Durchgangsöffnungen111 abwechselnd mehrere Stege117 und mehrere Aussparungen116 lateral nebeneinander angeordnet, wobei unmittelbar an die Durchgangsöffnungen111 jeweils ein kreisrunder Steg102 angeordnet ist. Dies dient zu einer verbesserten Entkopplung zwischen zwei Schallwandlerelementen. - Optional können die Aussparungen
116 beispielsweise mit einem silikonhaltigen Dämpfungsmaterial verfüllt sein. - Im Randbereich der Abschlusschicht
103 und im Randbereich des Lochplattenträgers101 ist ein dritter Verbindungsbereich110 vorgesehen. Unter dem Begriff Randbereich wird hierbei ein Bereich mit einem lateraler Abstand zur Abschlussschichtaußenkante von 0,1 mm–1 mm verstanden. - Die Piezoelemente
104 weisen eine Dicke von 100 µm–750 µm auf, von 150 µm–500 µm. Der Lochplattenträger101 weist eine Dicke von 0,5 mm–15 mm auf, vorzugsweise von 1 mm–10 mm. - Die Abschlussschicht
103 weist eine Dicke von 50 µm–750 µm auf. Die Abschlussschicht103 ist überlackierbar und schützt die Schallwandleranordnung100 vor Feuchtigkeit, Flüssigkeiten und mechanischen Einwirkungen. Optional kann auf der Abschlussschicht103 eine Kunststofffolie angeordnet sein. Die Kunststofffolie ist vorzugsweise mit einem Epoxidharzkleber auf die Abschlussschicht103 aufgeklebt. Der Epoxidharzkleber fungiert dabei zusätzlich als Toleranzausgleich für die Realisierung besonders ebener Oberflächen. Dazu kann der Epoxidharzkleber aufgerakelt werden. Die Kunststofffolie weist beispielsweise Polyimid oder einen Verbundwerkstoff aus Metall und Kunststoff oder Kohlefasergewebe und Harz auf. - In einem Ausführungsbeispiel umfasst die Abschlussschicht
103 Metall, z. B. Edelstahl, Stahl oder eine Aluminiumlegierung. Das bedeutet die Abschlussschicht103 ist vollständig elektrisch leitfähig. - In einem anderen Ausführungsbeispiel weist die Abschlussschicht
103 Kunststoff auf, z. B. PES, PVDF, Glasfaserverbundwerkstoffe oder Kohlefaserverbundwerkstoffe, wobei die Seite der Abschlussschicht103 , die mit dem Lochplattenträger101 verbunden wird, eine Metallschicht aufweist. - Das Dämpfungsmaterial ist vorzugsweise silikonhaltig.
- Die Grundform der Piezoelemente
104 , der Biegewandlerelemente115 und der Durchgangsöffnungen111 sind beliebig. Bevorzugt weisen sie regelmäßige Formen auf, z. B. quadratisch, rechteckig, vieleckig, kreisrund oder elliptisch. ln einer Schallwandleranordnung100 können die Grundformen der Piezoelemente104 , Biegewandlerelemente115 und Durchgangsöffnungen111 gleichartig oder verschieden sein. - Die Schallwandleranordnungen
100 können eine Anzahl von 2–250 Schallwandlerelementen aufweisen, bevorzugt 5–50. -
1b zeigt eine Draufsicht auf die erste Ausführung der erfindungsgemäßen Schallwandleranordnung100 . Es sind beispielhaft drei Biegewandlerelemente115 gezeigt, die parallel bzw. in einer Linie zueinander angeordnet sind. ln der Draufsicht ist die rechteckige Abschlussschicht103 gezeigt, die die drei Piezoelemente104 überdeckt. Des Weiteren sind der erste Verbindungsbereich108 , der die Randspannung des jeweiligen Biegewandlers einstellt, der zweite Verbindungsbereich109 , der als Entkopplung zwischen den Biegewandlern fungiert und der dritte Verbindungsbereich110 , der beispielsweise rechteckförmig ausgestaltet ist und als Dichtung der Schallwandleranordnung fungiert, dargestellt. -
2 zeigt eine Schnittdarstellung in der xz-Ebene einer zweiten Ausgestaltung der Schallwandleranordnung200 . Merkmale der2 , die die gleichen Merkmale wie in1 darstellen, weisen identische hintere Stellen der Bezugszeichen wie1 auf. ln2 weisen die ersten Verbindungsbereiche208 , die zweiten Verbindungsbereiche209 und die dritten Verbindungsbereiche210 Klebeverbindungen anstelle von Schweißnähten auf. -
3 zeigt das Verfahren zur Herstellung einer Schallwandleranordnung, die einen Lochplattenträger mit mehreren Durchgangsöffnungen und mehreren konzentrischen Stegen, mehreren Piezoelementen und einer Abschlussschicht aufweist. Das Verfahren300 startet mit einem Schritt310 , in dem zweite Elektroden der Piezoelemente mit der Abschlussschicht verbunden werden. ln einem folgenden Schritt320 werden erste Elektroden der Piezoelemente mittels Drahtbonden elektrisch verbunden bzw. kontaktiert. Dabei liegt die erste Elektrode der zweiten Elektrode gegenüber. ln einem folgenden Schritt330 werden die Abschlussschicht und die Stege, die unmittelbar an die Durchgangsöffnungen angrenzen, mittels ersten Verbindungsbereichen verbunden, beispielsweise mit Schweißnähten. ln einem folgenden Schritt340 werden die Durchgangsöffnungen mindestens teilweise mit einem Dämpfungsmaterial verfüllt, insbesondere von der Seite, die von der Abschlussschicht abgewandt angeordnet ist, d. h. der Rückseite des Lochplattenträgers. - Die Schallwandleranordnungen
100 und200 findeen in Kraftfahrzeugen, bewegten oder stehenden Maschinen, wie Robotern, fahrerlose Transportsysteme, Logistiksystemen in Lagern, Staubsaugern, Rasenmähern Anwendung. Des Weiteren kann die Schallwandleranordnung100 und200 in E-Bikes, elektrischen Rollstühlen und in Hilfsmitteln zur Unterstützung körperlich eingeschränker Personen eingesetzt werden. - ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
- Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
- Zitierte Patentliteratur
-
- DE 3920872 A1 [0002]
- DE 102004047814 A1 [0003]
Claims (8)
- Schallwandleranordnung (
100 ) umfassend • einen Lochplattenträger (101 ) mit mehreren Durchgangsöffnungen (111 ), • mehrere Piezoelemente (104 ), wobei jedes Piezoelement (104 ) eine erste Elektrode (105 ) und eine zweite Elektrode (106 ) aufweist, die erste Elektrode (105 ) der zweiten Elektrode (106 ) gegenüberliegt und jeweils ein Piezoelement (104 ) innerhalb einer Durchgangsöffnung (111 ) angeordnet ist und • eine Abschlussschicht (103 ), wobei die Abschlussschicht (103 ) oberhalb des Lochplattenträgers (101 ) und der Piezoelemente (104 ) angeordnet ist, wobei die zweiten Elektroden (106 ) der Piezoelemente (104 ) mit der Abschlussschicht (103 ) elektrisch leitend verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, dass der Lochplattenträger (101 ) lateral zwischen zwei Durchgangsöffnungen (111 ) mindestens zwei konzentrische Stege (102 ) aufweist, die mit einem der beiden Durchgangsöffnungen (111 ) einen gemeinsamen Mittelpunkt aufweisen, und die Abschlussschicht (103 ) jeweils mit dem Steg (102 ), der unmittelbar an die jeweilige Durchgangsöffnung (111 ) angrenzt, einen ersten Verbindungsbereich (108 ) aufweist. - Schallwandleranordnung (
100 ) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschlussschicht (103 ) jeweils mit dem Steg (117 ), der auf den unmittelbar an die Durchgangsöffnung (111 ) angrenzenden Steg (102 ) folgt, einen zweiten Verbindungsbereich (109 ) aufweist. - Schallwandleranordnung (
100 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Verbindungsbereich (108 ) eine Schweißnaht oder eine Klebeschicht umfasst. - Schallwandleranordnung (
100 ) nach einem der Ansprüche 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Verbindungsbereich (109 ) eine Schweißnaht oder Klebeschicht umfasst. - Schallwandleranordnung (
100 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschlussschicht (103 ) einstückig ausgebildet ist. - Schallwandleranordnung (
100 ) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Abschlussschicht (103 ) und der Lochplattenträger (101 ) einen dritten Verbindungsbereich (110 ) aufweisen, der einen Randbereich der Abschlussschicht (103 ) mit einem Randbereich des Lochplattenträgers (101 ) mechanisch verbindet. - Schallwandleranordnung (
100 ) nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der dritte Verbindungsbereich (110 ) eine Schweißnaht umfasst. - Verfahren (
300 ) zur Herstellung einer Schallwandleranordnung umfassend einen Lochplattenträger mit mehreren Durchgangsöffnungen und mehreren konzentrischen Stegen, mehrere Piezoelemente und eine Abschlussschicht mit den Schritten: • Verbinden (310 ) von zweiten Elektroden der Piezoelemente mit der Abschlussschicht, • Kontaktieren (320 ) von ersten Elektroden der Piezoelemente mittels Drahtbonden, wobei die ersten Elektroden den zweiten Elektroden gegenüberliegend angeordnet sind, • Verbinden (330 ) der Abschlussschicht und der Stege des Lochplattenträgers, die unmittelbar an die Durchgangsöffnungen angrenzen, mittels einer Schweißnaht und • Teilweises Verfüllen (340 ) der Durchgangsöffnungen mit einem Dämpfungsmaterial.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102015224772.4A DE102015224772A1 (de) | 2015-12-10 | 2015-12-10 | Schallwandleranordnung mit konzentrischen Stegen und Verfahren zur Herstellung einer Schallwandleranordnung mit konzentrischen Stegen |
EP16781791.5A EP3386647A1 (de) | 2015-12-10 | 2016-10-14 | Schallwandleranordnung mit konzentrischen stegen und verfahren zur herstellung einer schallwandleranordnung mit konzentrischen stegen |
PCT/EP2016/074679 WO2017097473A1 (de) | 2015-12-10 | 2016-10-14 | Schallwandleranordnung mit konzentrischen stegen und verfahren zur herstellung einer schallwandleranordnung mit konzentrischen stegen |
CN201680072499.4A CN108367314A (zh) | 2015-12-10 | 2016-10-14 | 具有同心接片的声换能器组件和用于制造具有同心接片的声换能器组件的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102015224772.4A DE102015224772A1 (de) | 2015-12-10 | 2015-12-10 | Schallwandleranordnung mit konzentrischen Stegen und Verfahren zur Herstellung einer Schallwandleranordnung mit konzentrischen Stegen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102015224772A1 true DE102015224772A1 (de) | 2017-06-14 |
Family
ID=57136889
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102015224772.4A Withdrawn DE102015224772A1 (de) | 2015-12-10 | 2015-12-10 | Schallwandleranordnung mit konzentrischen Stegen und Verfahren zur Herstellung einer Schallwandleranordnung mit konzentrischen Stegen |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP3386647A1 (de) |
CN (1) | CN108367314A (de) |
DE (1) | DE102015224772A1 (de) |
WO (1) | WO2017097473A1 (de) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3920872A1 (de) | 1989-06-26 | 1991-01-03 | Siemens Ag | Verfahren zur herstellung von ultraschall-wandlern, insbesondere von schichtwandlern, die ausser piezoelektrischem material auch kunststoffmaterial umfassen |
DE102004047814A1 (de) | 2003-10-01 | 2005-04-21 | Gen Electric | Fokussierende mikrobearbeitete Ultraschalltransducerarrays und diesbezügliche Herstellungsverfahren |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4754440A (en) * | 1985-12-27 | 1988-06-28 | Aisin Seiki Kabushikikaisha | Ultrasonic transducer |
US5220538A (en) * | 1991-08-08 | 1993-06-15 | Raytheon Company | Electro-acoustic transducer insulation structure |
JPH1152958A (ja) * | 1997-08-05 | 1999-02-26 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電型電気音響変換器 |
CN1234470C (zh) * | 2002-07-17 | 2006-01-04 | 陕西师范大学 | 高稳定性超声换能器的制备工艺 |
JP2008191007A (ja) * | 2007-02-05 | 2008-08-21 | Denso Corp | センサ装置の取り付け構造 |
DE102011079646A1 (de) * | 2011-07-22 | 2013-02-07 | Robert Bosch Gmbh | Ultraschallsensorvorrichtung zum Erfassen und/oder Senden von Ultraschall |
DE102014207681A1 (de) * | 2014-04-24 | 2015-10-29 | Robert Bosch Gmbh | Membran für einen Ultraschallwandler und Ultraschallwandler |
-
2015
- 2015-12-10 DE DE102015224772.4A patent/DE102015224772A1/de not_active Withdrawn
-
2016
- 2016-10-14 WO PCT/EP2016/074679 patent/WO2017097473A1/de unknown
- 2016-10-14 EP EP16781791.5A patent/EP3386647A1/de not_active Withdrawn
- 2016-10-14 CN CN201680072499.4A patent/CN108367314A/zh active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3920872A1 (de) | 1989-06-26 | 1991-01-03 | Siemens Ag | Verfahren zur herstellung von ultraschall-wandlern, insbesondere von schichtwandlern, die ausser piezoelektrischem material auch kunststoffmaterial umfassen |
DE102004047814A1 (de) | 2003-10-01 | 2005-04-21 | Gen Electric | Fokussierende mikrobearbeitete Ultraschalltransducerarrays und diesbezügliche Herstellungsverfahren |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2017097473A1 (de) | 2017-06-15 |
EP3386647A1 (de) | 2018-10-17 |
CN108367314A (zh) | 2018-08-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP3381202B1 (de) | Flexible mems-leiterplatteneinheit sowie schallwandleranordnung | |
EP3320694B1 (de) | Mems-leiterplattenmodul mit integrierter piezoelektrischer struktur sowie schallwandleranordnung | |
DE102008000816A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Anregung und/oder Dämpfung und/oder Erfassung struktureller Schwingungen einer plattenförmigen Einrichtung mittels einer piezoelektrischen Streifeneinrichtung | |
EP3386649A1 (de) | Schallwandleranordnung mit strukturierter metallschicht und verfahren zur herstellung einer schallwandleranordnung mit strukturierter metallschicht | |
DE102008027970B4 (de) | Ultraschallsensor | |
DE102011052767B4 (de) | Ultraschalltransducer für einen Näherungssensor | |
EP3386650B1 (de) | Schallwandleranordnung mit zwei parallel angeordneten stegen und verfahren zur herstellung einer schallwandleranordnung mit zwei parallel angeordneten stegen | |
DE102013213493A1 (de) | Schallwandleranordnung | |
DE102015224772A1 (de) | Schallwandleranordnung mit konzentrischen Stegen und Verfahren zur Herstellung einer Schallwandleranordnung mit konzentrischen Stegen | |
DE102015224770A1 (de) | Schallwandleranordnung mit ringförmigen ersten Verbindungsbereichen und Verfahren zur Herstellung einer Schallwandleranordnung mit ringförmigen ersten Verbindungsbereichen | |
DE102017205375A1 (de) | Schallwandler | |
WO2021078589A1 (de) | Dielektrischer wandler, verfahren zu dessen herstellung sowie aktor, sensor oder generator | |
WO2016128090A1 (de) | Ultraschallwandleranordnung | |
DE102018105502B4 (de) | Ultraschallsensor-Baugruppe, Verfahren zum Zusammenbau einer Ultraschallsensor-Baugruppe und Ultraschallsensorvorrichtung mit einer Ultraschallsensor-Baugruppe | |
EP4048993A1 (de) | Einrichtung zur bestimmung eines auf eine oberfläche oder eine wand eines in einem strömungskanal angeordneten körpers wirkenden drucks oder einer auf eine oberfläche oder eine wand eines in einem strömungskanal angeordneten körpers wirkenden zeitlichen druckveränderung | |
EP3386646A1 (de) | Schallwandleranordnung mit biegeelementen und verfahren zur herstellung einer schallwandleranordnung mit biegeelementen | |
DE102009005996A1 (de) | Verfahren zum Herstellen einer elektrischen und mechanischen Verbindung und Anordnung, die eine solche aufweist | |
DE102018211680A1 (de) | Ortsauflösender taktiler Sensor und Herstellungsverfahren für einen ortsauflösenden taktilen Sensor | |
DE102014017746B4 (de) | Aktuatorvorrichtung | |
DE102022203173A1 (de) | MEMS-Schallwandler | |
DE102014214018A1 (de) | Piezobauelement, Kontaktierungsbauelement zum elektrischen Kontaktieren eines Piezostapels und Verfahren zum Herstellen eines solchen Piezobauelements | |
WO2023079126A1 (de) | Schallwandlervorrichtung | |
DE112019006369T5 (de) | Piezoelektrischer Wandler | |
EP3097593A1 (de) | Aktuatorvorrichtung | |
DE19946467A1 (de) | Elektrostatischer Wandler und Verfahren zu seiner Herstellung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |