DE102015117647A1 - Method and device for measuring a clean room filter system - Google Patents
Method and device for measuring a clean room filter system Download PDFInfo
- Publication number
- DE102015117647A1 DE102015117647A1 DE102015117647.5A DE102015117647A DE102015117647A1 DE 102015117647 A1 DE102015117647 A1 DE 102015117647A1 DE 102015117647 A DE102015117647 A DE 102015117647A DE 102015117647 A1 DE102015117647 A1 DE 102015117647A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- sensor
- filter
- robot
- movement
- robot arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 44
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims abstract description 71
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims abstract description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 19
- 238000004088 simulation Methods 0.000 claims description 18
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 16
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 13
- 238000011143 downstream manufacturing Methods 0.000 claims description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 4
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 231100001261 hazardous Toxicity 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/16—Programme controls
- B25J9/1674—Programme controls characterised by safety, monitoring, diagnostic
- B25J9/1676—Avoiding collision or forbidden zones
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/16—Programme controls
- B25J9/1615—Programme controls characterised by special kind of manipulator, e.g. planar, scara, gantry, cantilever, space, closed chain, passive/active joints and tendon driven manipulators
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/16—Programme controls
- B25J9/1656—Programme controls characterised by programming, planning systems for manipulators
- B25J9/1664—Programme controls characterised by programming, planning systems for manipulators characterised by motion, path, trajectory planning
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/16—Programme controls
- B25J9/1679—Programme controls characterised by the tasks executed
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F11/00—Control or safety arrangements
- F24F11/30—Control or safety arrangements for purposes related to the operation of the system, e.g. for safety or monitoring
- F24F11/32—Responding to malfunctions or emergencies
- F24F11/39—Monitoring filter performance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/08—Investigating permeability, pore-volume, or surface area of porous materials
- G01N2015/084—Testing filters
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/40—Robotics, robotics mapping to robotics vision
- G05B2219/40301—Scara, selective compliance assembly robot arm, links, arms in a plane
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Orthopedic Medicine & Surgery (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Messung der Abscheiderate eines Reinraumfiltersystems, mittels eines Sensors (5), welcher Sensor (5) in einer Ebene (BE) parallel zu einer Filterfläche des zu vermessenden Filtersystems bewegt wird. Wesentlich ist, dass die Bewegung des Sensors (5) in der Ebene (BE) parallel zu dem zu vermessenden Filtersystem von einem Robotermesssystem (1) durchgeführt wird, wobei der Sensor (5) an einem Roboterarm (3) des Robotermesssystems (1) montiert ist. Weiter betrifft die Erfindung ein entsprechendes Robotermesssystems (1) sowie eine Steuereinheit für ein solches Robotermesssystems (1).The invention relates to a method for measuring the deposition rate of a clean-room filter system, by means of a sensor (5), which sensor (5) is moved in a plane (BE) parallel to a filter surface of the filter system to be measured. It is essential that the movement of the sensor (5) in the plane (BE) parallel to the filter system to be measured by a robotic measuring system (1) is performed, wherein the sensor (5) on a robot arm (3) of the robotic measuring system (1) mounted is. Furthermore, the invention relates to a corresponding robot measuring system (1) and a control unit for such a robotic measuring system (1).
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1, ein Robotermesssystem gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 11 sowie eine Steuereinheit gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 15.The invention relates to a method according to the preamble of
Ein solches Verfahren bzw. ein solches Robotermesssystem werden zur Messung der Abscheiderate eines Filtersystems, insbesondere eines Reinraumfiltersystems, eingesetzt. Dabei wird üblicherweise mittels eines Sensors die Abscheiderate einer Filterfläche vermessen. Dazu wird der Sensor in einer Ebene parallel zu der Filterfläche des zu vermessenden Reinraumfiltersystems entlang der Filterfläche bewegt, sodass die Filterfläche vollständig überstrichen wird.Such a method or such a robotic measuring system are used for measuring the deposition rate of a filter system, in particular a clean-room filter system. In this case, the deposition rate of a filter surface is usually measured by means of a sensor. For this purpose, the sensor is moved in a plane parallel to the filter surface of the clean-room filter system to be measured along the filter surface, so that the filter surface is completely swept over.
In Reinräumen unterschiedlichster Art, wie zum Beispiel in Apotheken, Krankenhäusern, aber auch in der Halbleiterfertigungstechnik, werden Filtersysteme eingesetzt, üblicherweise Deckenfiltersysteme oder Wandfiltersysteme, die regelmäßig gewartet und überprüft werden müssen. Wie beschrieben werden diese Filtersysteme entlang der Filterfläche mittels einer Sonde oder eines Sensors abgefahren, bei den Sensoren handelt es sich üblicherweise um Partikelmesssonden, die eine Messung der Abscheiderate des Filtersystems ermöglichen.In clean rooms of various kinds, such as in pharmacies, hospitals, but also in the semiconductor manufacturing technology, filter systems are used, usually ceiling filter systems or wall filter systems that need to be regularly maintained and checked. As described, these filter systems are traversed along the filter surface by means of a probe or a sensor, the sensors are usually particle probes, which allow a measurement of the deposition rate of the filter system.
Dieses Abfahren der Filterflächen mittels des Sensors wird üblicherweise händisch durchgeführt. Das händische Vermessen der Filterfläche hat jedoch eklatante Nachteile, da für eine präzise und korrekte Messung eine möglichst konstante Bewegungsgeschwindigkeit des Sensors relativ zu der Filterfläche sowie ein konstanter Abstand zwischen Filterfläche und Sensor und ein lückenloses Abfahren der Filterfläche notwendig sind.This shutdown of the filter surfaces by means of the sensor is usually carried out manually. The manual measurement of the filter surface, however, has blatant disadvantages, since for a precise and correct measurement as constant as possible movement speed of the sensor relative to the filter surface and a constant distance between the filter surface and the sensor and a complete shutdown of the filter surface are necessary.
Darüber hinaus ist mit dem händischen Abfahren der Filterfläche nur schwer eine Zuordnung der Messergebnisse zu einzelnen Regionen der Filterfläche möglich.In addition, it is difficult to assign the measurement results to individual regions of the filter surface with the manual shutdown of the filter surface.
Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und ein Robotermesssystem zur Messung der Abscheiderate eines Reinraumfiltersystems vorzuschlagen, welche eine optimierte und automatisierte Messung mit vergleichsweise reproduzierbaren und exakteren Ergebnissen ermöglichen.The present invention is therefore based on the object of proposing a method and a robot measuring system for measuring the deposition rate of a clean-room filter system, which enable optimized and automated measurement with comparatively reproducible and more exact results.
Gelöst wird diese Aufgabe durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 sowie durch ein Robotermesssystem gemäß Anspruch 11. Bevorzugte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens finden sich in den Ansprüchen 2 bis 10. Bevorzugte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Robotermesssystems finden sich in den Ansprüchen 12 bis 14. Eine erfindungsgemäße Steuereinheit findet sich in Anspruch 15. Hiermit wird der Wortlaut sämtlicher Ansprüche explizit per Referenz in die Beschreibung einbezogen.This object is achieved by a method according to
Das erfindungsgemäße Verfahren ist vorzugsweise zur Durchführung mittels des erfindungsgemäßen Robotermesssystems und/oder einer bevorzugten Ausführungsform hiervon ausgebildet.The inventive method is preferably designed for implementation by means of the robot measuring system according to the invention and / or a preferred embodiment thereof.
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Messung der Abscheiderate eines Reinraumfiltersystems, wird mittels eines Sensors durchgeführt, welcher Sensor in einer Ebene parallel zu einer Filterfläche des zu vermessenden Reinraumfiltersystems bewegt wird.The method according to the invention for measuring the deposition rate of a clean-room filter system is carried out by means of a sensor, which sensor is moved in a plane parallel to a filter surface of the clean-room filter system to be measured.
Wesentlich ist, dass die Bewegung des Sensors in der Ebene parallel zu dem zu vermessenden Reinraumfiltersystems von einem Robotermesssystem durchgeführt wird, wobei der Sensor an einem Roboterarm des Robotermesssystems montiert ist.It is essential that the movement of the sensor in the plane parallel to the clean room filter system to be measured is performed by a robotic measuring system, the sensor being mounted on a robot arm of the robotic measuring system.
Das erfindungsgemäße Verfahren unterscheidet sich somit in wesentlichen Aspekten von vorbekannten Verfahren: Im Gegensatz zu vorbekannten händischen Verfahren wird bei dem erfindungsgemäßen Verfahren die Bewegung des Sensors entlang der zu vermessenden Filterfläche mittels eines Robotermesssystems ausgeführt. Der Sensor ist an einem Roboterarm des Robotermesssystems befestigt und wird mittels des Roboterarms parallel zu der Filterfläche geführt. Der Sensor wird also nicht händisch entlang der Filterfläche geführt, sondern maschinell mittels des Robotersystems.The inventive method thus differs in essential aspects of previously known methods: In contrast to prior art manual method, the movement of the sensor along the filter surface to be measured is carried out by means of a robotic measuring system in the inventive method. The sensor is attached to a robot arm of the robotic measuring system and is guided by the robot arm parallel to the filter surface. The sensor is therefore not manually guided along the filter surface, but mechanically by means of the robot system.
Hierdurch ergeben sich insbesondere die Vorteile, dass der Sensor kontrolliert und auf einer vorbestimmten Bewegungsbahn entlang der Filterfläche geführt werden kann. Ebenso ist es mittels des Robotermesssystems in einfacher Art und Weise möglich, die Messergebnisse bestimmten Punkten auf der Bewegungsbahn des Sensors zuzuordnen.This results in particular in the advantages that the sensor can be controlled and guided along a predetermined path of movement along the filter surface. Likewise, it is possible by means of the robot measuring system in a simple manner to assign the measurement results to certain points on the trajectory of the sensor.
Der Sensor wird in einer Bewegungsebene parallel zu einer Filterfläche des zu vermessenden Filtersystems geführt. Dies bedeutet, dass der Sensor während der Messung einen gleichbleibenden Abstand von der Filterfläche des zu vermessenden Filtersystems hält. Die Bewegung des Sensors erfolgt durch den Roboterarm, das heißt der Roboterarm führt den Sensor in einem gleichbleibenden Abstand über die Filterfläche des zu vermessenden Filtersystems. Hierdurch ergibt sich der Vorteil, dass durch den konstanten Abstand zwischen Sensor und Filterfläche reproduzierbare und verlässliche Werte detektiert werden. Die gemessenen Werte werden nicht durch unbedachte Bewegungen eines Benutzers, wie bisher bei einer händischen Messung, verfälscht.The sensor is guided in a plane of movement parallel to a filter surface of the filter system to be measured. This means that the sensor keeps a constant distance from the filter surface of the filter system to be measured during the measurement. The movement of the sensor is carried out by the robot arm, that is, the robot arm guides the sensor at a constant distance over the filter surface of the filter system to be measured. This results in the advantage that reproducible and reliable values are detected by the constant distance between sensor and filter surface. The measured values are not falsified by thoughtless movements of a user, as previously in a manual measurement.
Die zuvor beschriebene Aufgabe ist weiterhin gelöst durch ein Robotermesssystem gemäß Anspruch 11. The object described above is furthermore achieved by a robot measuring system according to claim 11.
Das erfindungsgemäße Robotermesssystem zur Messung eines Reinraumfiltersystems umfasst eine Roboterbasis, eine Steuereinheit und einen Roboterarm, welcher Roboterarm als Drei-Arm-Kinematik ausgebildet ist und an der Roboterbasis angeordnet ist, wobei an dem von der Roboterbasis abgewandten Ende des Roboterarms ein Sensor angeordnet ist. Roboterarm und Steuereinheit sind derart zusammenwirkend angeordnet und ausgebildet, dass der Sensor mit einer konstanten Bewegungsgeschwindigkeit in einer Ebene parallel zu einer Filterfläche des zu vermessenden Reinraumfiltersystems bewegbar ist.The robot measuring system according to the invention for measuring a clean-room filter system comprises a robot base, a control unit and a robot arm, which robot arm is designed as a three-arm kinematics and is arranged on the robot base, wherein a sensor is arranged on the end remote from the robot base of the robot arm. Robot arm and control unit are arranged and configured cooperatively such that the sensor is movable at a constant speed of movement in a plane parallel to a filter surface of the clean room filter system to be measured.
Das erfindungsgemäße Robotermesssystem ist vorzugsweise zur Durchführung des oben beschriebenen erfindungsgemäßen Verfahrens und/oder einer bevorzugten Ausführungsform hiervon ausgebildet.The robotic measuring system according to the invention is preferably designed for carrying out the method according to the invention described above and / or a preferred embodiment thereof.
Das erfindungsgemäße Robotermesssystem weist ebenfalls die vorgenannten Vorteile des erfindungsgemäßen Verfahrens auf.The robot measuring system according to the invention also has the aforementioned advantages of the method according to the invention.
Der Roboterarm ist vorzugsweise als Dreiarmkinematik ausgebildet und weist somit drei Roboterglieder auf, die über Drehachsen miteinander verbunden sind. An den Robotergliedern sind vorzugsweise Antriebe zur Bewegung der einzelnen Glieder angeordnet. Vorzugsweise ist die Dreiarmkinematik analog zu einem SCARA-Roboter ausgebildet. Die Ansteuerung und die Bewegung des Sensors erfolgt im Wesentlichen in einer Bewegungsebene. Die Bewegungsebene verläuft typischerweise parallel zu einer Decke des Reinraums, kann jedoch auch gekippt werden, sodass auch Filtersysteme, die beispielsweise senkrecht an einer Wand angeordnet sind, vermessen werden können. Um die Bewegungsebene zu kippen wird am Stativ des Roboters ein Gelenk eingebaut, dass ein Kippen um bis zu 90° erlaubt. Diese Information wird vorzugsweise an die Software weitergegeben, um geänderte Momentenkurven der Antriebe der Glieder des Roboterarms zu realisieren.The robot arm is preferably designed as Dreiarmkinematik and thus has three robot members which are connected to each other via axes of rotation. Preferably, drives for moving the individual members are arranged on the robot members. Preferably, the Dreiarmkinematik is analogous to a SCARA robot. The control and movement of the sensor essentially takes place in one plane of movement. The plane of movement typically runs parallel to a ceiling of the clean room, but can also be tilted so that filter systems, which are arranged for example perpendicular to a wall, can be measured. In order to tilt the plane of movement, a joint is mounted on the stand of the robot, which allows tilting by up to 90 °. This information is preferably forwarded to the software to realize changed torque curves of the drives of the members of the robotic arm.
Vorzugsweise werden auftretende Singularitäten der Drei-Arm-Kinematik bei der Berechnung der Bewegung des Roboterarms berücksichtigt und aufgelöst. Jedem zu vermessenden Punkt auf der Filterfläche ist also genau eine Stellung des Roboterarms zugeordnet. Die Berechnung der Singularitäten erfolgt dabei anhand vorbekannter Verfahren. Durch die Software kann eine optimierte Bahn errechnet werden. Auftretende Singularitäten werden dabei anhand vorbekannter Berechnungsmethoden aus dem Stand der Technik erkannt und aus der Bahnplanung herausgerechnet. Hierdurch ergibt sich der Vorteil, dass Probleme die bekannter Weise mit Singularitäten einhergehen, wie beispielsweise die schnelle Änderung von berechneten Fahrtwinkeln der einzelnen Glieder des Roboterarms, nicht auftreten.Preferably occurring singularities of the three-arm kinematics are considered and resolved in the calculation of the movement of the robot arm. Each point to be measured on the filter surface is thus assigned exactly one position of the robot arm. The calculation of the singularities is carried out using previously known methods. The software can be used to calculate an optimized path. Occurring singularities are recognized using previously known calculation methods from the prior art and calculated out of the path planning. This results in the advantage that problems associated with singularities in the known manner, such as the rapid change of calculated moving angles of the individual members of the robot arm, do not occur.
In einer bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens erfolgt die Bewegung des Sensors in der Ebene parallel zu der Filterfläche des zu vermessenden Filtersystems mit einer konstanten Bewegungsgeschwindigkeit. Vorzugsweise ist die Bewegungsgeschwindigkeit des Sensors einstellbar, bevorzugt zwischen 1 cm/s und 30 cm/s. Höchst vorzugsweise ist das Robotermesssystem derart ausgebildet, dass die Bewegungsgeschwindigkeit des Sensors bei ca. 10 cm/s liegt.In a preferred embodiment of the method, the movement of the sensor in the plane takes place parallel to the filter surface of the filter system to be measured at a constant speed of movement. Preferably, the movement speed of the sensor is adjustable, preferably between 1 cm / s and 30 cm / s. Most preferably, the robot measuring system is designed such that the movement speed of the sensor is approximately 10 cm / s.
Die konstante Bewegungsgeschwindigkeit des Sensors bedeutet eine konstante Messgeschwindigkeit. Hierdurch ergibt sich der Vorteil, dass die gemessenen Werte nicht durch unbedachte Bewegungen eines Benutzers, wie im Stand der Technik bei einer händischen Messung, verfälscht werden können.The constant movement speed of the sensor means a constant measuring speed. This results in the advantage that the measured values can not be falsified by careless movements of a user, as in the prior art in a manual measurement.
In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist die Bewegungsgeschwindigkeit der Glieder des Roboterarms jeweils kleiner als 25 cm/s. Vorzugsweise sind Steuereinheit und Roboterarm derart zusammenwirkend ausgebildet, dass die Bewegungsgeschwindigkeit der einzelnen Glieder des Roboterarms jeweils kleiner ist als 25 cm/s. Vorzugsweise wird dazu die Geschwindigkeiten aller Glieder des Roboterarms berechnet, sodass schon in der Planung der Fahrt überprüft werden kann, ob alle Parameter zu Unterschreitung der Geschwindigkeit von 25 cm/s eingehalten werden können.In a further preferred embodiment of the invention, the speed of movement of the members of the robot arm is in each case less than 25 cm / s. Preferably, the control unit and the robot arm are designed to cooperate in such a way that the speed of movement of the individual members of the robot arm is in each case less than 25 cm / s. The speeds of all the members of the robot arm are preferably calculated for this purpose, so that it is possible to check in the planning of the journey whether all parameters for falling below the speed of 25 cm / s can be maintained.
Höchstvorzugsweise wird eine Summe der Winkelgeschwindigkeiten der Glieder des Roboterarms minimiert.Most preferably, a sum of the angular velocities of the limbs of the robotic arm is minimized.
Da sich Filtersysteme oft in für Personen zugänglichen Räumen befinden, muss auch die Messung der Filtersysteme in diesen Räumen stattfinden. Daher sind die entsprechenden Bestimmungen einzuhalten, um Gefährdungssituationen zu vermeiden. Insbesondere die Maschinenrichtlinie 2006/42/EG wird vorzugsweise bei dem erfindungsgemäßen Verfahren sowie dem erfindungsgemäßen Robotersystem berücksichtigt. In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens wird die Filterfläche des Reinraumfiltersystems mit dem Sensor vollständig abgefahren. Vorzugsweise wird die Filterfläche des Filtersystems in Bahnen, insbesondere bevorzugt mäanderförmig, abgefahren. Bevorzugt überlappen sich dabei benachbarte Mäanderbahnen, insbesondere bevorzugt mit einer 10%-igen Überlappung. Hierdurch wird sichergestellt, dass die gesamte Filterfläche des Reinraumfiltersystems mit dem Sensor abgefahren wird und keine Fehlstellen verbleiben.Since filter systems are often located in rooms accessible to persons, the measurement of the filter systems in these rooms must also take place. Therefore, the appropriate regulations must be observed in order to avoid hazardous situations. In particular, the Machinery Directive 2006/42 / EC is preferably taken into account in the inventive method and the robot system according to the invention. In a further preferred embodiment of the method according to the invention, the filter surface of the clean-room filter system with the sensor is completely driven off. Preferably, the filter surface of the filter system in webs, in particular preferably meandering, traversed. In this case, adjacent meandering paths preferably overlap, in particular preferably with a 10% overlap. This ensures that the entire filter surface of the Cleanroom filter system is traversed with the sensor and no defects remain.
In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens werden Hindernisse in einer Bewegungsbahn des Roboterarms umfahren.In a further preferred embodiment of the method according to the invention obstacles are traversed in a movement path of the robot arm.
In Reinräumen sind Filtermesssysteme üblicherweise an Wänden oder Decken vorgesehen. Hier befinden sich oft auch Lampen, Versorgungsleitungen oder andere Hindernisse. Befinden sich diese Hindernisse in einer möglichen Bewegungsbahn des Roboterarms und damit des Sensors, müssen sie entsprechend umfahren werden. Dies erfordert eine Positionierung des Roboterarms, welche dem Hindernis ausweicht und den Sensor trotzdem an dem gewünschten Zielpunkt an dem zu vermessenden Punkt auf der Filterfläche positioniert.In clean rooms, filter measurement systems are usually provided on walls or ceilings. Here are often also lamps, supply lines or other obstacles. If these obstacles are in a possible trajectory of the robot arm and thus of the sensor, they must be bypassed accordingly. This requires positioning of the robotic arm, which evades the obstacle and still positions the sensor at the desired target point at the point to be measured on the filter surface.
Vorzugsweise erfolgt in einem vorgelagerten Verfahrensschritt ausgehend von Startbedingungen des Robotermesssystems eine Bahnplanung für die Bewegung des Sensors und/oder des Roboterarms.Preferably, in a preceding method step, based on starting conditions of the robotic measuring system, a path planning for the movement of the sensor and / or the robot arm takes place.
Startbedingungen des Robotersystems sind zum Beispiel die Position des Robotersystems im Raum, die Position möglicher Hindernisse im Raum und auch Reichweite und Bewegungsradius des Roboterarms.Starting conditions of the robot system are, for example, the position of the robot system in space, the position of possible obstacles in space and also the range and range of motion of the robot arm.
Die Bahnplanung umfasst eine Berechnung der Bewegung des Sensors sowie des Roboterarms. Dies bedeutet, dass für jeden Punkt der Bewegung des Sensors über der zu vermessenden Filterfläche die Stellung des Roboterarms, insbesondere der einzelnen Glieder der Drei-Arm-Kinematik berechnet wird.The path planning includes a calculation of the movement of the sensor and the robot arm. This means that the position of the robot arm, in particular of the individual members of the three-arm kinematics, is calculated for each point of the movement of the sensor over the filter surface to be measured.
In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird auf der Grundlage der Bahnplanung eine Simulation der Bewegung des Sensors und/oder des Roboterarms durchgeführt. Mit der Simulation der Bewegung werden die in der Bahnplanung errechneten Bewegungen des Sensors und des Roboterarms verfolgt, sodass eine Überprüfung der Bewegung im Vorhinein auf mögliche kritische Punkte oder Kollisionen möglich wird.In a further preferred embodiment of the invention, a simulation of the movement of the sensor and / or the robot arm is carried out on the basis of the path planning. The simulation of the motion tracks the movements of the sensor and robotic arm calculated in the path planning so that it is possible to check the movement in advance for possible critical points or collisions.
Vorzugsweise erfolgt anhand der Simulation der Bewegung des Sensors und/oder des Roboterarms eine Überprüfung vorgebbarer Randbedingungen. Ausgehend von den Startbedingungen kann somit eine Bahnplanung festgelegt werden, die die geplante Bewegungsbahn des Sensors und/oder des Roboterarms beinhaltet. Durch eine Simulation der Bewegung des Sensors und/oder des Roboterarms bei Abfahren und/oder Durchführen dieser Bewegungsbahn der Bahnplanung wird dann überprüft, ob bei der Bewegung des Sensors und/oder des Roboterarms bestimmte Randbedingungen eingehalten werden. Diese Randbedingungen können beispielsweise eine maximale Bewegungsgeschwindigkeit der einzelnen Glieder des Roboterarms und/oder die Bewegungsgeschwindigkeit des Sensors sein.Preferably, based on the simulation of the movement of the sensor and / or the robot arm, a check of predefinable boundary conditions takes place. Based on the starting conditions, it is thus possible to determine a path planning that includes the planned trajectory of the sensor and / or the robot arm. By a simulation of the movement of the sensor and / or the robot arm when moving away and / or performing this trajectory of the path planning is then checked whether certain boundary conditions are met during the movement of the sensor and / or the robot arm. These boundary conditions can be, for example, a maximum movement speed of the individual members of the robot arm and / or the movement speed of the sensor.
Ergibt die Überprüfung der vorgebbaren Randbedingungen, dass diese nicht eingehalten werden, können die Startbedingungen des Robotermesssystems verändert werden. Zu den Startbedingungen gehören beispielsweise der Standort des Robotermesssystems und/oder die vorgegebene Bewegungsbahn des Roboterarms. Verändert man beispielsweise die Position des Robotermesssystems im Raum, kann auf dieser Grundlage eine neue Bahnplanung erfolgen. Bei dieser Bahnplanung kann wiederum durch eine Simulation der Bewegung des Sensors und/oder des Roboterarms überprüft werden, ob die vorgegebenen Randbedingungen ausgehend von dem neuen Standort des Robotermesssystems eingehalten werden können.If the check of the specifiable boundary conditions shows that these are not adhered to, the start conditions of the robotic measuring system can be changed. The starting conditions include, for example, the location of the robotic measuring system and / or the predetermined trajectory of the robot arm. If, for example, the position of the robotic measuring system is changed in space, new path planning can be carried out on this basis. In this path planning can be checked in turn by a simulation of the movement of the sensor and / or the robot arm, whether the predetermined boundary conditions can be observed starting from the new location of the robotic measuring system.
Das Verfahren läuft also vorzugsweise mit folgenden Verfahrensschritten ab:
- A Ausgehend von den Startbedingungen erfolgt eine Bahnplanung für die Bewegung des Sensors und/oder des Roboterarms unter Berücksichtigung von Hindernissen im Raum;
- B auf der Grundlage der Bahnplanung wird eine Simulation der Bewegung des Sensors und/oder des Roboterarms durchgeführt;
- C anhand der Simulation der Bewegung des Sensors und/oder des Roboterarms wird überprüft, ob bestimmte vorgegebene Randbedingungen, wie zum Beispiel die Bewegungsgeschwindigkeit der einzelnen Glieder des Roboterarms und/oder die Bewegungsgeschwindigkeit des Sensors, eingehalten werden können;
- D können die Randbedingungen nicht eingehalten werden, erfolgt eine Änderung der Startbedingungen, bevorzugt der Standort des Robotermesssystems, und das Verfahren beginnt erneut mit dem Verfahrensschritt A;
- E können die Randbedingungen R eingehalten werden, fährt der Sensor die Filterfläche ab und misst die Abscheiderate des Filters.
- A Based on the starting conditions, a path planning is carried out for the movement of the sensor and / or the robot arm taking into account obstacles in the room;
- B on the basis of the path planning, a simulation of the movement of the sensor and / or the robot arm is performed;
- C based on the simulation of the movement of the sensor and / or the robot arm is checked whether certain predetermined boundary conditions, such as the speed of movement of the individual members of the robot arm and / or the speed of movement of the sensor, can be met;
- If the boundary conditions can not be met, the starting conditions are changed, preferably the location of the robotic measuring system, and the method begins again with method step A;
- If the boundary conditions R can be met, the sensor moves the filter surface off and measures the deposition rate of the filter.
Mit anderen Worten führt das Robotermesssystems vor der realen Messung eine Simulation mit vorgebbaren eingestellten Werten aus. Dabei werden die Hindernisse im Raum berücksichtigt, welche vorzugsweise vorher grafisch definiert werden. Während und/oder nach der Simulation wird geprüft, ob die Bewegung des Roboterarms so durchgeführt werden kann, das heißt es dürfen zum einen keine Kollisionen mit den Hindernissen im Raum erfolgen und zum anderen müssen alle vorgegebenen Parameter, wie konstante Geschwindigkeit des Sensors sowie maximale Geschwindigkeit einzelner Roboterglieder, eingehalten werden. In dem Fall, dass die Simulation ergibt, dass diese Randbedingungen nicht eingehalten werden können, gibt das Robotermesssystem vorzugsweise Hinweise zu einer besseren Positionierung des Robotersystems im Raum, die eine Bewegung des Roboterarms mit Einhaltung der Randbedingungen ermöglicht.In other words, before the real measurement, the robotic measuring system carries out a simulation with predefinable set values. The obstacles in the room are taken into account, which are preferably defined graphically beforehand. During and / or after the simulation, it is checked whether the movement of the robot arm can be carried out in such a way, that means on the one hand no collisions with the obstacles in the space can take place and on the other hand all given parameters, like constant speed of the sensor as well as maximum speed individual robot links, are complied with. In the case that the Simulation shows that these boundary conditions can not be met, the robot measuring system preferably gives hints to a better positioning of the robot system in the room, which allows a movement of the robot arm with compliance with the boundary conditions.
Vorzugsweise weist das Robotermesssystem eine Benutzeroberfläche auf. Die Benutzeroberfläche ist vorzugsweise als Terminal mit Bildschirm und Eingabemöglichkeit an der Roboterbasis ausgebildet. Über die Benutzeroberfläche können sowohl die Position des Sensors und/oder des Roboterarms als auch die Ergebnisse dargestellt werden, vorzugsweise grafisch. Ebenso können Informationen über das Filtersystem, wie beispielsweise geometrische Daten, oder über mögliche Hindernisse eingegeben werden, die dann bei der Bahnplanung berücksichtigt werden können. Vorzugsweise ist eine Steuerung des Roboterarms, beispielsweise über einen Joystick, vorgesehen.The robot measuring system preferably has a user interface. The user interface is preferably designed as a terminal with screen and input option on the robot base. Both the position of the sensor and / or the robot arm and the results can be displayed via the user interface, preferably graphically. Likewise, information about the filter system, such as geometric data, or about possible obstacles can be entered, which can then be taken into account in the path planning. Preferably, a control of the robot arm, for example via a joystick provided.
In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung werden die Eckpunkte der Filterfläche bestimmt. Ausgehend von einem Ursprung, der einem bekannten ersten Eckpunkt der Filterfläche entspricht, auf der Grundlage der geometrischen Daten des Filtersystems die weiteren Eckpunkte der Filterfläche bestimmt. Dazu wird auf dem Bildschirm um den Ursprung ein Kreis mit dem Radius der Breite des Filters gezogen. Auf diesem Radius liegt der zweite Filtereckpunkt. Nun kann ein Benutzer den Roboterarm, beispielsweise mittels eines Joysticks oder einer Steuerung, zu dem zweiten Filtereckpunkt auf der Linie bewegen.In a further preferred embodiment of the invention, the corner points of the filter surface are determined. Starting from an origin corresponding to a known first vertex of the filter surface, on the basis of the geometric data of the filter system determines the other vertices of the filter surface. For this purpose, a circle with the radius of the width of the filter is drawn on the screen around the origin. On this radius is the second filter corner point. Now, a user can move the robot arm, for example by means of a joystick or a controller, to the second filter corner point on the line.
Vorzugsweise ist hier eine Status-LED vorgesehen, die optisch signalisiert, wenn sich der Sensor der gezogenen Kreislinie nähert. Hierdurch wird für den Benutzer die Positionierung des Sensors erleichtert. Erreicht der Sensor die Linie, leuchtet die LED vorzugsweise dauerhaft.Preferably, a status LED is provided here, which signals optically when the sensor approaches the drawn circular line. This facilitates the positioning of the sensor for the user. If the sensor reaches the line, the LED preferably lights permanently.
Nach der Erkennung des zweiten Filtereckpunkts wird ausgehend von einem der beiden Eckpunkte ein zweiter Kreis mit einem Radius der Länge des Filters gezogen und ausgehend von dem anderen Eckpunkt ein Kreis mit einem Radius mit der Diagonale des Filters gezogen. Die beiden Eckpunkte sind dabei jeweils der Ursprung der Kreise. An einem der Schnittpunkte der beiden Kreisel liegt ein dritter Eckpunkt des Filters. Auch dieser Filtereckpunkt kann von einem Benutzer mittels der Steuerung angefahren und gespeichert werden. Geht man davon aus, dass die Filterfläche rechteckig ist, ist somit auch der vierte Eckpunkt bekannt. Dieser kann beispielsweise eingeblendet werden. Vorzugsweise wird die Filterfläche grafisch dargestellt, beispielsweise auf dem Bildschirm eines Terminal durch ein in einem Koordinatensystem eingezeichnetes Rechteck.After the detection of the second filter corner point, starting from one of the two corner points, a second circle with a radius of the length of the filter is drawn and, starting from the other corner point, a circle with a radius is drawn with the diagonal of the filter. The two corner points are each the origin of the circles. At one of the intersections of the two gyros is a third corner of the filter. This filter corner point can also be approached and stored by a user by means of the control. Assuming that the filter surface is rectangular, therefore, the fourth vertex is known. This can be displayed, for example. The filter surface is preferably displayed graphically, for example on the screen of a terminal by a rectangle drawn in a coordinate system.
In einer weiteren vorzugsweisen Ausführungsform der Erfindung erfolgt in einem nachgeordneten Verfahrensschritt ein Filterdichtsitztest. Filterdichtsitztest bedeutet hier, dass insbesondere ein Filterrahmen des Filtersystems, das heißt ein Rahmen, der außen entlang an der Filterfläche angeordnet ist, mit dem Sensor abgefahren wird. Etwaige Lücken oder undichte Stellen zwischen Filterfläche und Rahmen werden somit detektiert.In a further preferred embodiment of the invention, a filter sealing seat test is carried out in a downstream process step. Filter sealing seat test here means that, in particular, a filter frame of the filter system, that is to say a frame which is arranged along the outside on the filter surface, is traveled with the sensor. Any gaps or leaks between the filter surface and the frame are thus detected.
In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist der Sensor als Partikelmesssonde ausgebildet. Vorzugsweise werden Temperatur, relative Feuchte des Raums, Luftgeschwindigkeit an dem Sensor und detektierte Partikelzahl gemessen. Zur Messung der Partikelzahl wird ein Aerosol mit definierter Partikelzahl in der Rohluft eingespielt, sodass hinter dem Filter gemessen werden kann, wie viele Partikel den Filter durchdringen. Bevorzugt umfasst das Robotermesssystem einen Partikelzähler, welcher vorzugsweise nahe an der Partikelmesssonde angeordnet ist. Höchst vorzugsweise ist der Partikelzähler an einem der Partikelmesssonde nächstliegenden Gelenk der Drei-Arm-Kinematik angeordnet. Vorzugsweise umfasst der Sensor zusätzlich eine Sonde zur Luftmengenmessung.In a further preferred embodiment of the invention, the sensor is designed as a particle measuring probe. Preferably, temperature, relative humidity of the room, air velocity at the sensor and detected particle number are measured. To measure the number of particles, an aerosol with a defined number of particles in the raw air is recorded, so that it is possible to measure behind the filter how many particles penetrate the filter. Preferably, the robotic measuring system comprises a particle counter, which is preferably arranged close to the particle measuring probe. Most preferably, the particle counter is arranged on a joint of the three-arm kinematics closest to the particle measuring probe. Preferably, the sensor additionally comprises a probe for air flow measurement.
In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des Robotermesssystems ist an dem Roboterarm zumindest ein Absolutwertgeber angeordnet, sodass die Winkelbewegung der Glieder der Drei-Arm-Kinematik erfassbar ist. Vorzugsweise sind die Antriebe der Glieder der Drei-Arm-Kinematik mit Absolutwertgebern versehen, die die Winkelstellung der Glieder erfassen und melden. Die xy-Koordinate im Raum ist durch die drei Winkel der Glieder der Drei-Arm-Kinematik bestimmt. Auftretende Singularitäten werden von der Steuereinheit berücksichtigt und entsprechend aufgelöst.In a further preferred embodiment of the robot measuring system, at least one absolute value encoder is arranged on the robot arm, so that the angular movement of the members of the three-arm kinematics can be detected. Preferably, the drives of the links of the three-arm kinematics are provided with absolute value encoders, which detect and report the angular position of the links. The xy coordinate in space is determined by the three angles of the members of the three-arm kinematics. Occurring singularities are considered by the control unit and resolved accordingly.
Die zuvor beschriebene Aufgabe ist weiter gelöst durch eine Steuereinheit gemäß Anspruch 15. Die erfindungsgemäße Steuereinheit für ein Robotermesssystem ist zur Messung eines Reinraumfiltersystems geeignet. Das Robotermesssystem umfasst einen Roboterarm mit einem Sensor, wobei die Steuereinheit derart zur Steuerung des Roboterarms ausgebildet ist, dass der Sensor des Roboterarms mit einer konstanten Bewegungsgeschwindigkeit in einer Ebene parallel zu einer Filterfläche des zu vermessenden Reinraumfiltersystems bewegbar ist. Weiter ist die Steuereinheit derart zur Steuerung des Roboterarms ausgebildet, dass auftretende Hindernisse in einer Bewegungsbahn des Roboters umfahren werden.The object described above is further solved by a control unit according to claim 15. The control unit according to the invention for a robotic measuring system is suitable for measuring a clean-room filter system. The robot measuring system comprises a robot arm with a sensor, wherein the control unit is designed for controlling the robot arm such that the sensor of the robot arm is movable at a constant speed of movement in a plane parallel to a filter surface of the clean room filter system to be measured. Further, the control unit is designed to control the robot arm that occurring obstacles are bypassed in a trajectory of the robot.
Weitere bevorzugte Merkmale und Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens und des erfindungsgemäßen Robotermesssystems sowie der erfindungsgemäßen Steuereinheit werden im Folgenden anhand von Ausführungsbeispielen und den Figuren erläutert. Dabei zeigt:Further preferred features and embodiments of the method according to the invention and the robot measuring system according to the invention as well as the control unit according to the invention are explained below with reference to exemplary embodiments and the figures. Showing:
In den
Das erfindungsgemäße Robotermesssystem
Die Roboterbasis
Der Roboterarm ist als Drei-Arm-Kinematik ausgebildet und an der Roboterbasis
An dem Roboterarm
An dem von der Roboterbasis
Vorliegend umfasst das Robotermesssystem
Roboterarm
Die Ansteuerung und die Bewegung des Sensors
Mittels des Teleskopelements
Die xy-Koordinate des Sensors im Raum ist durch die drei Winkel der Glieder der Drei-Arm-Kinematik bestimmt. Mittels der Absolutwertgeber kann die Winkelstellung der Glieder
Das Verfahren umfasst folgende Verfahrensschritten:
- A Ausgehend von Startbedingungen S erfolgt eine Bahnplanung für die Bewegung des Sensors unter Berücksichtigung von Hindernissen im Raum;
- B auf der Grundlage der Bahnplanung A wird eine Simulation der Bewegung des Sensors und/oder des Roboterarms durchgeführt;
- C anhand der Simulation der Bewegung des Sensors und/oder des Roboterarms wird überprüft, ob bestimmte vorgegebene Randbedingungen R eingehalten werden können;
- D können die Randbedingungen R nicht eingehalten werden, erfolgt eine Änderung der Startbedingungen S und das Verfahren beginnt erneut mit dem Verfahrensschritt A.
- E können die Randbedingungen R eingehalten werden, fährt der Sensor die Filterfläche ab und misst die Abscheiderate des Filters.
- A Based on starting conditions S, a path planning is carried out for the movement of the sensor taking into account obstacles in the room;
- B based on the path planning A, a simulation of the movement of the sensor and / or the robot arm is performed;
- C based on the simulation of the movement of the sensor and / or the robot arm is checked whether certain predetermined boundary conditions R can be met;
- D, the boundary conditions R can not be met, there is a change in the start conditions S and the process starts again with the method step A.
- If the boundary conditions R can be met, the sensor moves the filter surface off and measures the deposition rate of the filter.
Startbedingungen S sind zum Beispiel mögliche Hindernisse im Raum oder die Position des Robotersystems im Raum. Die Startbedingungen S können vorgegeben werden, z. B. durch eine Vorgabe, wo sich im Raum Hindernisse befinden. Ebenso können die Startbedingungen S geändert werden, z. B. durch eine Verschiebung der Roboterbasis.Starting conditions S are, for example, possible obstacles in the room or the position of the robot system in the room. The starting conditions S can be specified, for. B. by a specification, where there are obstacles in the room. Likewise, the starting conditions S can be changed, for. B. by a shift of the robot base.
Randbedingungen R sind zum Beispiel die Bewegungsgeschwindigkeit der einzelnen Glieder des Roboterarms oder die Bewegungsgeschwindigkeit des Sensors. Diese dürfen wie oben beschrieben bestimmte Grenzwerte nicht überschreiten. Ebenso gehören Hindernisse im Raum auch zu den Randbedingungen R. Die Einhaltung der Randbedingungen R wird überprüft, da zum einen keine Kollision des Roboterarms mit den Hindernissen im Raum erfolgen darf und zum anderen alle vorgebbaren Parameter wie konstante Geschwindigkeit des Sensors sowie keine Überschreitung definierter Geschwindigkeitsgrenzen einzelner Roboterglieder eingehalten werden müssen.Boundary conditions R are, for example, the speed of movement of the individual members of the robot arm or the speed of movement of the sensor. These must not exceed certain limits as described above. Obstacles in the room are also part of the boundary conditions R. Compliance with the boundary conditions R is checked since, on the one hand, no collision of the robot arm with the obstacles in the room must occur and, on the other hand, all predefinable parameters such as constant speed of the sensor and no exceeding of defined speed limits of the individual Robot members must be complied with.
Optional kann das Messergebnis im Anschluss an die Messung auf einem Bildschirm der Roboterbasis grafisch dargestellt werden.Optionally, the measurement result can be graphically displayed on a screen of the robot base following the measurement.
Zur Orientierung des Benutzers ist hier eine Status-LED vorgesehen, die optisch signalisiert, wenn sich der Sensor der gezogenen Kreislinie nähert. Hierdurch wird für den Benutzer die Positionierung des Sensors erleichtert. Erreicht der Sensor die Linie, leuchtet die LED dauerhaft.For the orientation of the user, a status LED is provided here, which signals optically when the sensor approaches the drawn circular line. This facilitates the positioning of the sensor for the user. When the sensor reaches the line, the LED lights up permanently.
Nach der Erkennung des zweiten Filtereckpunkts U2 kann dieser gespeichert werden. Zur Bestimmung der weiteren Eckpunkte wird ausgehend von einem der beiden Eckpunkte als Ursprung U1 ein Kreis mit einem Radius R2 der Länge des Filters gezogen und ausgehend von dem anderen Eckpunkt als Ursprung U2 ein Kreis mit einem Radius R3 der Diagonale des Filters gezogen. An einem der Schnittpunkte der beiden Kreisel liegt ein dritter Eckpunkt U3 des Filters. Auch dieser Filtereckpunkt kann von einem Benutzer mittels der Steuerung angefahren und gespeichert werden.After the detection of the second filter node U2, it can be stored. To determine the further corner points, starting from one of the two corner points, a circle with a radius R2 of the length of the filter is drawn as the origin U1 and a circle with a radius R3 of the diagonal of the filter is drawn starting from the other corner point as the origin U2. At one of the intersections of the two gyros is a third vertex U3 of the filter. This filter corner point can also be approached and stored by a user by means of the control.
Geht man davon aus, dass die Filterfläche rechteckig ist, ist somit auch der vierte Eckpunkt U4 bekannt. Dieser kann beispielsweise auf dem Bildschirm eingeblendet werden und wird ebenso gespeichert. Anschließend wird die Filterfläche grafisch dargestellt, beispielsweise auf dem Bildschirm des Terminal durch ein in einem Koordinatensystem eingezeichnetes Rechteck.Assuming that the filter surface is rectangular, therefore, the fourth vertex U4 is known. This can for example be displayed on the screen and is also stored. Subsequently, the filter surface is displayed graphically, for example on the screen of the terminal by a rectangle drawn in a coordinate system.
Claims (15)
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102015117647.5A DE102015117647A1 (en) | 2015-10-16 | 2015-10-16 | Method and device for measuring a clean room filter system |
| PCT/DE2016/100477 WO2017063641A1 (en) | 2015-10-16 | 2016-10-13 | Method and device for measuring a cleanroom filter system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102015117647.5A DE102015117647A1 (en) | 2015-10-16 | 2015-10-16 | Method and device for measuring a clean room filter system |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE102015117647A1 true DE102015117647A1 (en) | 2017-04-20 |
Family
ID=57345621
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE102015117647.5A Pending DE102015117647A1 (en) | 2015-10-16 | 2015-10-16 | Method and device for measuring a clean room filter system |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE102015117647A1 (en) |
| WO (1) | WO2017063641A1 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102022117795A1 (en) | 2022-07-15 | 2024-01-18 | Technische Universität Dresden, Körperschaft des öffentlichen Rechts | Method for determining one or more properties of a gas barrier and a leak monitoring system |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5910831A (en) * | 1982-07-10 | 1984-01-20 | Nitta Kk | Method and device for automatic leak test of high performance filter for clean room |
| DE19923502C1 (en) * | 1999-05-21 | 2001-03-15 | Krantz Tkt Gmbh | Method and device for determining the degree of separation of a filter arrangement in operation |
| EP1874431B1 (en) * | 2005-04-28 | 2010-09-01 | Camfil Farr, Inc. | Exhaust filter module with mechanically positionable scan probe |
| US20110107917A1 (en) * | 2005-08-09 | 2011-05-12 | Morse Thomas C | Integrated containment system |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4041588A1 (en) * | 1990-12-22 | 1992-06-25 | Zander Klimatechnik Gmbh | Mobile particle sampler and counter - useful for automatic in situ checking of integrity of clean room ceiling filter panels |
| JP4204304B2 (en) * | 2002-11-07 | 2009-01-07 | 株式会社大気社 | Filter inspection scanning device |
| JP4443350B2 (en) * | 2004-08-27 | 2010-03-31 | 株式会社大気社 | Air conditioning equipment |
| EP2699392B1 (en) * | 2011-04-19 | 2015-10-21 | ABB Research Ltd. | An industrial robot having a kinematically redundant arm and a method for controlling the robot |
-
2015
- 2015-10-16 DE DE102015117647.5A patent/DE102015117647A1/en active Pending
-
2016
- 2016-10-13 WO PCT/DE2016/100477 patent/WO2017063641A1/en active Application Filing
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5910831A (en) * | 1982-07-10 | 1984-01-20 | Nitta Kk | Method and device for automatic leak test of high performance filter for clean room |
| DE19923502C1 (en) * | 1999-05-21 | 2001-03-15 | Krantz Tkt Gmbh | Method and device for determining the degree of separation of a filter arrangement in operation |
| EP1874431B1 (en) * | 2005-04-28 | 2010-09-01 | Camfil Farr, Inc. | Exhaust filter module with mechanically positionable scan probe |
| US20110107917A1 (en) * | 2005-08-09 | 2011-05-12 | Morse Thomas C | Integrated containment system |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Norm DIN EN 1822-4 DIN EN 1822-4:2011-01. Schwebstofffilter (EPA, HEPA und ULPA) – Teil 4: Leckprüfung des Filterelementes (Scan-Verfahren); * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2017063641A1 (en) | 2017-04-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2515101B1 (en) | Methods for planning an inspection path and determining the sections to be inspected | |
| EP1588806B1 (en) | Process and hand-operated device for teaching a multiaxial manipulator | |
| EP1447770B1 (en) | Method and apparatus for visualization of computer-based information | |
| EP1931503B1 (en) | Method for determining a virtual tool center point | |
| DE19814630B4 (en) | Method and apparatus for manually controlled guiding a tool in a predetermined range of motion | |
| EP1672450B1 (en) | Method for determining a possible collision between at least two objects moving towards each other | |
| DE112017002639T5 (en) | Robot control device | |
| EP3147086B1 (en) | Automation of robot operations in aircraft construction | |
| EP2048557A1 (en) | Optoelectronic sensor and mobile device and configuration method | |
| DE102012108963A1 (en) | Numerical control with a representation of the tool trajectory | |
| EP2806248A1 (en) | Method for calibrating a detection device and detection device | |
| EP3786745B1 (en) | Identification of deviations between an actual system and a digital twin | |
| DE102010023736A1 (en) | Robot system with problem detection function | |
| EP3118604A1 (en) | Testing device for controlling component production | |
| DE102017213577A1 (en) | Method for determining the position of a robot, position determining device of a robot and robot | |
| DE102004024378A1 (en) | Scanning measuring robot | |
| DE102010008240B4 (en) | Method for operating a multi-axis, preferably six-axis, robot | |
| WO2002023292A2 (en) | Method for generating a measuring program for a co-ordinate measuring device | |
| EP2789971A1 (en) | Method for calibrating a detection device and detection device | |
| WO2017067626A1 (en) | Verification of a position of a manipulator system | |
| DE102013014467A1 (en) | "Method for measuring and / or calibrating a robot" | |
| DE102015117647A1 (en) | Method and device for measuring a clean room filter system | |
| DE102005060980B4 (en) | Method and system for determining a collision-free three-dimensional space volume along a movement path with respect to a real environment | |
| WO2020152018A1 (en) | Robot and method for controlling a mobile robot in an area | |
| DE19501094A1 (en) | Calibrating moving appts. e.g. industrial robot or medical manipulator |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R012 | Request for examination validly filed | ||
| R016 | Response to examination communication |