DE102015113104A1 - Apparatus for igniting a vacuum arc discharge and method for its use - Google Patents
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- H05H2242/20—Power circuits
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Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Zünden einer Vakuumbogenentladung und Verfahren zu deren Anwendung, mit denen eine einfache und sichere Zündung der Vakuumbogenentladung über die gesamte technologisch vorgegebene Betriebszeit gewährleistet ist. Die erfindungsgemäße Vorrichtung mit den nebengeordneten Ansprüchen 1 und 2 weist in der Nähe des Targets des Vakuumbogenverdampfers eine Zündelektrode (10, 15) auf, an der mittels einer Hilfsplasmaeinrichtung eine Zündleistung zwischen 30 und 100 kW, vorzugsweise 70 kW, bereitgestellt wird, die geeignet ist, eine Vakuumbogenentladung am Vakuumbogenverdampfer auszulösen. Dazu werden zwei funktionell gleichwertige Ausführungen angegeben. Bei der ersten Ausführung speist eine Hochspannungsquelle (8) einen Hochspannungskondensator (9), der zur Zündelektrode (10) hin entladen werden kann. Bei der zweiten Ausführung kann eine Hochspannungsquelle (20) mit einer anodischen Hochspannungselektrode (14) verbunden werden. Die Zündelektrode (15) ist im Raum zwischen dem Target (3) und der Hochspannungselektrode (14) angeordnet. Ein Kondensator (16) kann zur Zündelektrode (15) hin entladen werden.The invention relates to a device for igniting a vacuum arc discharge and method for its application, which ensures a simple and reliable ignition of the vacuum arc discharge over the entire technologically predetermined operating time. The device according to the invention with the independent claims 1 and 2 has in the vicinity of the target of the vacuum arc evaporator an ignition electrode (10, 15) on which by means of an auxiliary plasma device, a starting power between 30 and 100 kW, preferably 70 kW, is provided, which is suitable to initiate a vacuum arc discharge on the vacuum arc evaporator. For this purpose, two functionally equivalent versions are given. In the first embodiment, a high voltage source (8) feeds a high voltage capacitor (9) which can be discharged to the ignition electrode (10). In the second embodiment, a high voltage source (20) may be connected to an anodic high voltage electrode (14). The ignition electrode (15) is arranged in the space between the target (3) and the high voltage electrode (14). A capacitor (16) can be discharged to the ignition electrode (15).
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Zünden einer Vakuumbogenentladung mit den gleichwirkenden Merkmalen nach Anspruch 1 bzw. 2 und zugehörig Verfahren zu deren Anwendung mit den Merkmalen nach Anspruch 6 bzw. 7. Die Vorrichtungen dienen insbesondere zur leistungsstarken Beschichtung von funktionellen oder dekorativen Beschichtungen aus verdampfbaren Materialien auf Substraten wie beispielhaft Werkzeuge, Reflektoren oder Dekorelemente.The invention relates to a device for igniting a vacuum arc discharge with the same effect features according to
Nach dem Stand der Technik sind verschiedene Lösungen zum Zünden einer niederenergetischen Vakuumbogenentladung, auch Lichtbogenentladung genannt, bekannt. Als Stand der Technik sind hier insbesondere Lösungen relevant, die mittels Hilfsplasmaeinrichtungen geeignete Bedingungen zum Zünden der Vakuumbogenentladung schaffen.Various solutions for igniting a low-energy vacuum arc discharge, also called arc discharge, are known in the prior art. Particularly relevant as prior art are solutions which create suitable conditions for igniting the vacuum arc discharge by means of auxiliary plasma devices.
Die
Der Erfindung liegt als Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Zünden einer Vakuumbogenentladung und Verfahren zu deren Anwendung anzugeben, mit denen eine einfache und sichere Zündung der Vakuumbogenentladung über die gesamte technologisch vorgegebene Betriebszeit gewährleistet ist.The invention has for its object to provide a device for igniting a vacuum arc discharge and method for its application, which ensures a simple and reliable ignition of the vacuum arc discharge over the entire technologically predetermined operating time.
Der Kern der Erfindung besteht darin, dass mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung in zwei gleichwirkenden Ausführungen und deren verfahrensgemäßen Anwendung in der Nähe des Targets des Vakuumbogenverdampfers an einer Zündelektrode mittels Hilfsplasmaeinrichtungen eine Zündleistung zwischen 30 und 100 kW, vorzugsweise 70 kW, bereitgestellt wird, die geeignet ist, eine Vakuumbogenentladung am Vakuumbogenverdampfer auszulösen. Dazu werden zwei funktionell gleichwertige Vorrichtungen angegeben sowie entsprechende Verfahren zur Anwendung der Vorrichtungen.The essence of the invention is that with the device according to the invention in two equivalent embodiments and their application according to the application in the vicinity of the target of the vacuum arc evaporator to an ignition electrode by means of auxiliary plasma devices ignition power between 30 and 100 kW, preferably 70 kW, is provided, which is suitable to initiate a vacuum arc discharge on the vacuum arc evaporator. For this purpose, two functionally equivalent devices are given as well as corresponding methods for the application of the devices.
Bei der Vorrichtung nach Anspruch 1 wird eine Hilfplasmaeinrichtung angegeben, die eine Zündenergie bereitstellt, welche eine Vakuumbogenentladung am Vakuumbogenverdampfer auslöst. Die Zündenergie liefert eine Hochspannungsquelle, die einen Hochspannungskondensator speist, der zur Zündelektrode hin entladen werden kann. Die Zündelektrode ist in der Nähe des Targets angeordnet. Eine Mess- und Steuereinrichtung erfasst und regelt die elektrischen Parameter. Die Baudelemente der Hilfplasmaeinrichtung sind so ausgelegt, dass eine angegebene Zündleistung an der Zündelektrode bereitgestellt werden kann.In the apparatus of claim 1, an auxiliary plasma device is provided which provides an ignition energy which triggers a vacuum arc discharge on the vacuum arc evaporator. The ignition energy provides a high voltage source that feeds a high voltage capacitor that can be discharged to the ignition electrode. The ignition electrode is arranged in the vicinity of the target. A measuring and control device detects and regulates the electrical parameters. The baud elements of the auxiliary plasma device are designed so that a specified ignition power can be provided at the ignition electrode.
Zur erstmaligen Zündung eines Vakuumbogens werden in der Vakuumkammer die technologisch vorgegebenen Parameter eingestellt. Das sind insbesondere die erforderliche Art des Prozessgase sowie der Arbeitsdruck. Weiterhin ist der erforderliche Strom für das Target einzustellen. Obwohl danach alle für eine Vakuumbogenverdampfung erforderlichen Betriebsparameter gegeben sind, kommt es nicht zur Zündung eines Vakuumbogens. Dafür ist eine Zündvorrichtung erforderlich. Erfindungsgemäß wird eine Hilfsplasmaeinrichtung mit zwei abweichenden Ausführungen aber gleichwirkenden Merkmalen angegeben, die beide über eine Hochspannungsquelle, einen Kondensator sowie eine Zündelektrode in der Nähe des Targets verfügen, wobei verfahrensgemäß an der Zündelektrode eine Zündleistung zwischen 30 und 100 kW, vorzugsweise 70 kW, bereitgestellt wird. Der angegebene relativ große Bereich einer Zündleistung zwischen 30 und 100 kW ergibt sich aus den vielseitigen unterschiedlichen Konfigurationen der einzelnen Vakuumbogenverdampfer in der Praxis. In einzelnen Fällen kann es vorteilhaft sein, den Bereich auch nach oben oder unten auszudehnen.For initial ignition of a vacuum arc, the technologically predetermined parameters are set in the vacuum chamber. These are in particular the required type of process gases and the working pressure. Furthermore, the required current for the target is set. Although thereafter, all the operating parameters required for vacuum arc evaporation are present, the ignition of a vacuum arc does not occur. This requires an ignition device. According to the invention, an auxiliary plasma device with two different designs but equivalent features is indicated, both of which have a high voltage source, a capacitor and an ignition electrode in the vicinity of the target, according to the method at the ignition electrode ignition power between 30 and 100 kW, preferably 70 kW, is provided , The stated relatively large range of ignition power between 30 and 100 kW results from the many different configurations of the individual vacuum arc evaporators in practice. In some cases it may be advantageous to extend the area also up or down.
Nach Anspruch 1 weist die Hilfsplasmaeinrichtung eine Hochspannungsquelle auf, die einen Hochspannungskondensator speist, der zur Zündelektrode hin entladen werden kann. Zur Erfassung der aktuellen elektrischen Parameter ist eine Mess- und Steuereinrichtung vorgesehen, die in der Folge die elektrischen Parameter regelt, d.h. insbesondere den Hochspannungskondensator lädt und zur gegebenen Zeit zur Zündelektrode hin entlädt.According to claim 1, the auxiliary plasma means to a high voltage source which feeds a high voltage capacitor, which can be discharged to the ignition electrode. To detect the current electrical parameters, a measuring and control device is provided which subsequently regulates the electrical parameters, i. in particular, charges the high voltage capacitor and discharges at a given time to the ignition electrode.
Nach Anspruch 2 weist die Hilfsplasmaeinrichtung eine Hochspannungsquelle auf, die mit einer Hochspannungselektrode verbunden werden kann. Im Raum zwischen der Hochspannungselektrode und dem Target ist die Zündelektrode vorhanden, die ihrerseits mit einem Kondensator verbunden werden kann, der mit einer Niederspannungsquelle, z.B. der Stromquelle für den Vakuumbogen verbunden ist. Die Erfassung der aktuellen elektrischen Parameter erfolgt ebenfalls über eine Mess- und Steuereinrichtung, die in der Folge die elektrischen Parameter regelt, d.h. insbesondere den Kondensator lädt und zur gegebenen Zeit zur Zündelektrode hin entlädt. Die Hochspannungselektrode kann dabei permanent an der Hochspannungsquelle anliegen oder von der Mess- und Steuereinrichtung nur bei Bedarf zugeschaltet werden.According to
Der Vorteil der Ausführung nach Anspruch 2 besteht gegenüber Anspruch 1 darin, dass für die Hochspannungsquelle geringere Leistungen ermöglicht werden, da der Energieanteil, der über den Kondensator bereitgestellt werden muss, aus der Niederspannungsquelle gezogen werden kann. Damit können die technischen Aufwendungen für den Hochspannungsteil gesenkt werden.The advantage of the embodiment according to
Gegenüber dem Stand der Technik besteht der Vorteil der Erfindung darin, dass keine mechanisch bewegten Zündvorrichtungen mit ihrem hohen Verschleiss oder Leitpasten und ähnliche Metalldampf bildende Plasmen erforderlich sind. Compared to the prior art, the advantage of the invention is that no mechanically moving ignition devices with their high wear or conductive pastes and similar metal vapor-forming plasmas are required.
Die Erfindung realisiert in der Nähe des Targets ein zeitlich und örtlich begrenztes dichtes Plasma mit den gegebenen Prozessgasen, welches eine derartige Dichte aufweist, dass am Target ein Vakuumbogen ausgelöst wird. Außer der Hochspannungsquelle, einem Hochspannung- bzw. (Niederspannung-)Kondensator, einer Zündelektrode und nach Anspruch 2 einer Hochspannungselektrode sind keine weiteren Elemente erforderlich. Die Mess- und Steuereinrichtung ist allgemein bei allen Lösungen auch nach dem Stand der Technik bereits vorhanden.The invention realizes in the vicinity of the target a temporally and locally limited dense plasma with the given process gases, which has a density such that a vacuum arc is triggered at the target. Except the high voltage source, a high voltage or (low voltage) capacitor, a starting electrode and according to
Die Erfindung wird nachstehend an zwei Ausführungsbeispielen näher erläutert. Zugehörig zeigt die
Ausführungsbeispiel IEmbodiment I
Zugehörig zum Ausführungsbeispiel I sind die
Die Hilfsplasmaeinrichtung besteht aus einer Hochspannungsquelle
Nachfolgend wird die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Zünden einer Vakuumbogenentladung in der verfahrensgemäßen Anwendung näher beschrieben. Nachdem das Target
Der Betrieb des Vakuumbogenverdampfers
Der Hochspannungskondensator
Unmittelbar nach dem Zünden des Vakuumbogens wird der Schalter
Ausführungsbeispiel IIExemplary embodiment II
Zugehörig zum Ausführungsbeispiel II sind die
Als Hilfsplasmaeinrichtung sind eine Hochspannungsquelle
Verfahrensgemäß wird zum erstmaligen Start der Vakuumbogenentladung über die Mess- und Steuereinrichtung
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
- 11
- Vakuumkammer vacuum chamber
- 22
- Vakuumbogenverdampfer Vacuum arc evaporator
- 33
- Target target
- 44
- Vakuumanschluss vacuum connection
- 55
- Gaseinlass gas inlet
- 66
- Masse Dimensions
- 77
- Stromquelle power source
- 88th
- Hochspannungsquelle High voltage source
- 99
- Hochspannungskondensator High voltage capacitor
- 1010
- Zündelektrode ignition electrode
- 1111
- Mess- und Steuereinrichtung Measuring and control device
- 1212
- Schalter switch
- 1313
- Mess- und Steuereinrichtung Measuring and control device
- 1414
- Hochspannungselektrode High-voltage electrode
- 1515
- Zündelektrode ignition electrode
- 1616
- Kondensator capacitor
- 1717
- Schalter switch
- 1818
- Schalter switch
- 1919
- Gaseinlass, partiell im Bereich der Zündelektroden Gas inlet, partially in the area of the ignition electrodes
- 2020
- Hochspannungsquelle High voltage source
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
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Zitierte PatentliteraturCited patent literature
- DE 10042629 C2 [0003] DE 10042629 C2 [0003]
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Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0211413A2 (en) * | 1985-08-09 | 1987-02-25 | The Perkin-Elmer Corporation | Arc ignition device |
EP0285745A1 (en) * | 1987-03-06 | 1988-10-12 | Balzers Aktiengesellschaft | Process and apparatus for vacuum coating by means of an electric arc discharge |
US4906811A (en) * | 1986-07-11 | 1990-03-06 | Hauzer Holding B.V. | Process and device for igniting an arc with a conducting plasma channel |
DD280338A1 (en) * | 1989-02-28 | 1990-07-04 | Hochvakuum Dresden Veb | Method for operating a vacuum arc discharge evaporator |
DE19618073C1 (en) * | 1996-05-06 | 1997-09-18 | Inovap Vakuum Und Plasmatechni | Ignition unit for a vacuum arc discharge evaporator |
DE19924094A1 (en) * | 1999-05-21 | 2000-11-30 | Fraunhofer Ges Forschung | Vacuum arc evaporator, for coating substrates with electrical, electronic or optical metal or metal compound layers, has an insulated anode surrounded on all sides by evaporated cathode material |
DE10155120A1 (en) * | 2001-11-09 | 2003-05-28 | Ernst Klinkenberg | Coating substrate using pulsed cathodic arc erosion of sacrificial cathode comprises locally and/or temporarily controlling initiation of pulsed erosion |
DE10042629C2 (en) | 2000-08-30 | 2003-08-28 | Angaris Gmbh | Ignition device for an arc evaporator |
DE10224991A1 (en) * | 2002-06-05 | 2004-01-08 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Method and device for reducing the ignition voltage of plasmas |
DE102004054092A1 (en) * | 2003-11-18 | 2005-06-02 | Unaxis Balzers Ag | detonator |
DE102008057020A1 (en) * | 2008-11-12 | 2010-05-20 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | Ignition device for arc sources |
-
2015
- 2015-08-09 DE DE102015113104.8A patent/DE102015113104A1/en not_active Withdrawn
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0211413A2 (en) * | 1985-08-09 | 1987-02-25 | The Perkin-Elmer Corporation | Arc ignition device |
US4906811A (en) * | 1986-07-11 | 1990-03-06 | Hauzer Holding B.V. | Process and device for igniting an arc with a conducting plasma channel |
EP0285745A1 (en) * | 1987-03-06 | 1988-10-12 | Balzers Aktiengesellschaft | Process and apparatus for vacuum coating by means of an electric arc discharge |
DD280338A1 (en) * | 1989-02-28 | 1990-07-04 | Hochvakuum Dresden Veb | Method for operating a vacuum arc discharge evaporator |
DE19618073C1 (en) * | 1996-05-06 | 1997-09-18 | Inovap Vakuum Und Plasmatechni | Ignition unit for a vacuum arc discharge evaporator |
DE19924094A1 (en) * | 1999-05-21 | 2000-11-30 | Fraunhofer Ges Forschung | Vacuum arc evaporator, for coating substrates with electrical, electronic or optical metal or metal compound layers, has an insulated anode surrounded on all sides by evaporated cathode material |
DE10042629C2 (en) | 2000-08-30 | 2003-08-28 | Angaris Gmbh | Ignition device for an arc evaporator |
DE10155120A1 (en) * | 2001-11-09 | 2003-05-28 | Ernst Klinkenberg | Coating substrate using pulsed cathodic arc erosion of sacrificial cathode comprises locally and/or temporarily controlling initiation of pulsed erosion |
DE10224991A1 (en) * | 2002-06-05 | 2004-01-08 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Method and device for reducing the ignition voltage of plasmas |
DE102004054092A1 (en) * | 2003-11-18 | 2005-06-02 | Unaxis Balzers Ag | detonator |
DE102008057020A1 (en) * | 2008-11-12 | 2010-05-20 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | Ignition device for arc sources |
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