DE102015002104A1 - Energy efficient and inherently safe excitation generator - Google Patents

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Dr. Joosten Heinz-Gerd
Bernhard Görtz
Jörg Kalenberg
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Abstract

Die Erfindung betrifft einen Anregungsgenerator für ein Funkenemissionsspektrometer zur Erzeugung von Funken an einer Elektrode (2), mit einer Hochspannungsquelle (63) und einer Mittelspannungsquelle, wobei die Mittelspannungsquelle wenigstens einen Kondensator (51) oder eine Anzahl parallel geschalteter Kondensatoren mit einer Spannungsfestigkeit von mindestens 200 Volt, wenigstens eine Induktivität (53) und wenigstens einen von einer Steuerung (69) angesteuerten Schalter (61) mit einer Spannungsfestigkeit von mindestens 200 Volt aufweist, wobei eine Niederspannungsquelle mit einer Spannung von weniger als 125 Volt vorgesehen ist, wobei die Mittelspannungsquelle mittels einer Entkoppeldiode (49) mit der Elektrode (2) verbunden ist und die Niederspannungsquelle mittels einer Entkoppeldiode (48) mit der Elektrode (2) verbunden ist.The invention relates to an excitation generator for a spark emission spectrometer for generating sparks on an electrode (2), comprising a high voltage source (63) and a medium voltage source, the medium voltage source comprising at least one capacitor (51) or a number of parallel connected capacitors having a withstand voltage of at least 200 Volts, at least one inductance (53) and at least one controlled by a controller (69) switch (61) having a dielectric strength of at least 200 volts, wherein a low voltage source is provided with a voltage of less than 125 volts, wherein the medium voltage source by means of a Decoupling diode (49) is connected to the electrode (2) and the low-voltage source is connected by means of a decoupling diode (48) to the electrode (2).

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Anregungsgenerator mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Anspruchs 1 und ein Verfahren zur Erzeugung eines Funkens in einem optischen Emissionsspektrometer.The present invention relates to an excitation generator having the features of the preamble of claim 1 and a method for generating a spark in an optical emission spectrometer.

Stand der TechnikState of the art

Die Funken-Emissionsspektrometrie (FOES) ist derzeit das meist genutzte Standardverfahren zur betrieblichen Elementanalyse metallischer Proben. Die FOES ermöglicht es, innerhalb einer Minute die Masseanteile aller relevanten Elemente im Bereich von wenigen ppm bis 100% zu bestimmen.Spark Emission Spectrometry (FOES) is currently the most widely used standard method for operational elemental analysis of metallic samples. The FOES makes it possible to determine the mass fractions of all relevant elements in the range of a few ppm to 100% within one minute.

Anregungsgeneratoren in Funkenspektrometern erzeugen Funken, deren Dauer und Stromstärke variiert werden kann. Kurze, stromstarke Funken führen zu wenig gekrümmten Kalibrationsfunktionen mit guter Reststreuung, also guter Korrelation zwischen Elementgehalten und gemessenen Lichtmengen. Allerdings ist die Nachweisempfindlichkeit unter diesen Bedingungen nicht besonders hoch.Excitation generators in spark spectrometers generate sparks whose duration and current can be varied. Short, high-current sparks lead to poorly curved calibration functions with good residual scattering, ie good correlation between element contents and measured amounts of light. However, the detection sensitivity under these conditions is not particularly high.

Mit lang andauernden stromschwachen Funken können kleinste Elementgehalte nachgewiesen werden, meist unter Verwendung von Atomlinien. Allerdings tendieren solche Funken zu großen Streuungen der Kalibrationsfunktionen, die zudem so stark gekrümmt sind, dass bei höheren Elementgehalten keine Messung mit ausreichender Richtigkeit mehr möglich ist.Long-lasting low-power sparks can detect the smallest element contents, usually using atomic lines. However, such sparks tend to large variations of the calibration functions, which are also so strongly curved that at higher element levels no measurement with sufficient accuracy is possible.

Die Mechanismen, die ursächlich für dieses Verhalten sind, sind bekannt. Exemplarisch seien einige genannt:

  • • Zu Beginn der Entladung, bis zu dem Zeitpunkt, an dem Probenmaterial verdampft und in den Plasmazustand überführt wird, stammt die Strahlung fast ausschließlich aus dem Plasma der angeregten Gasatmosphäre und der Kontinuumstrahlung der Probenoberfläche. Ist nun die eigentliche Entladung nur kurz, ist der Anteil dieser Strahlung überproportional hoch. Die Untergrundäquivalente verschlechtern sich.
  • • Bei kurzen Entladungen wird die Probe nahezu ausschließlich mit Ionen der Gasatmosphäre beschossen. Bei langen Entladungen befinden sich schon viele Metallionen aus der Probe im Plasma, wodurch sich die Abbaurate abhängig von der Konzentration dieser Metallionen und damit von der Probenzusammensetzung ändern kann. Die Folge ist eine Verschlechterung der Streuung der Kalibrationsfunktion, sofern Proben mit stark unterschiedlichen Gehalten von Legierungselementen mit einer Kalibration gemessen werden.
  • • Bei einer langen Entladung sind die äußeren Plasmazonen noch atomisiert, aber schon erkaltet. Wird im Inneren Strahlung erzeugt, wird diese in den äußeren Zonen absorbiert, danach in beliebige Raumwinkel abgestrahlt und gehen so der Detektion verloren. Natürlich ist dieser Effekt umso stärker, je höher der Elementgehalt ist. So ergeben sich gekrümmte Kalibrationskurven
  • • Der einzelne Funken verhält sich ähnlich einer Explosion. Der Plasmafaden ist zu Anfang sehr heiß und von kleinem Durchmesser. Die Stromdichte ist hoch. Mit steigender Funkendauer steigt der Plasmaquerschnitt und sinkt die Stromdichte. Auch die mittlere Temperatur über das Plasmavolumen sinkt. Bei kurzen, stromstarken Entladungen wird eine höhere durchschnittliche Plasmatemperatur erreicht als bei einer lang andauernden, stromschwachen. Damit wird die Anregung von Ionenlinien und Spektrallinien höherer Anregungsenergie gegenüber Atomlinien und Linien niedriger Anregungsenergie begünstigt.
The mechanisms that cause this behavior are known. As an example, some are mentioned:
  • • At the beginning of the discharge, until the moment when the sample material is vaporized and transferred to the plasma state, the radiation originates almost exclusively from the plasma of the excited gas atmosphere and the continuum radiation of the sample surface. If the actual discharge is only short, the proportion of this radiation is disproportionately high. The background equivalents worsen.
  • • During short discharges, the sample is bombarded almost exclusively with ions of the gas atmosphere. In the case of long discharges, many metal ions from the sample are already present in the plasma, as a result of which the rate of degradation can change depending on the concentration of these metal ions and thus on the composition of the sample. The consequence is a worsening of the spread of the calibration function, provided that samples with very different contents of alloying elements are measured with a calibration.
  • • During a long discharge, the outer plasma zones are still atomized, but already cold. If radiation is generated in the interior, it is absorbed in the outer zones, then emitted into arbitrary solid angles, thus losing detection. Of course, the higher the element content, the stronger this effect. This results in curved calibration curves
  • • The single spark behaves similar to an explosion. The plasma thread is very hot at the beginning and of small diameter. The current density is high. As the spark duration increases, the plasma cross section increases and the current density decreases. The mean temperature over the plasma volume also decreases. For short, high-current discharges, a higher average plasma temperature is achieved than for a long-lasting, low-current discharge. Thus, the excitation of ionic lines and spectral lines of higher excitation energy is favored over atomic lines and lines of low excitation energy.

Auch bei Kenntnis der oben skizzierten Zusammenhänge werden geeignete Funkenverläufe heuristisch ermittelt. Die Zusammenhänge zwischen Materialabbau, Ionisierung und Anregung sind komplex. Eine geeignete Theorie zur Ermittlung optimaler Parameter fehlt. Es ist deshalb wünschenswert, möglichst große Freiheit in der Parametrisierung der Funkendauer und des Stromverlaufs während dieser Dauer zu haben.Even with knowledge of the relationships outlined above, suitable sparks are determined heuristically. The connections between material degradation, ionization and excitation are complex. A suitable theory for determining optimal parameters is missing. It is therefore desirable to have the greatest possible freedom in the parameterization of the spark duration and the current flow during this period.

Eine erste sogenannte fremdgezündete Anregungsquelle für Funkenanregung ist aus der US 2,417,489 bekannt. Diese Anregungsquelle nutzt eine Hochspannungszündung zur Erzeugung einer primären Entladung und eine zweite Hochspannungsquelle zur Zündung von Funken in dem Plasma, das durch die primäre Entladung erzeugt worden ist. Die Funkendauer und der Stromverlauf ist hierbei von der Dimensionierung der elektrischen Bauelemente abhängig.A first so-called spark-ignited excitation source for spark excitation is from the US 2,417,489 known. This excitation source uses a high voltage ignition to generate a primary discharge and a second high voltage source to ignite sparks in the plasma generated by the primary discharge. The spark duration and the current profile depend on the dimensioning of the electrical components.

Eine Funkendauer kombiniert mit dem Stromverlauf über diese Dauer bezeichnet man üblicherweise als Abfunkparameter.A spark duration combined with the current flow over this duration is usually referred to as a sparking parameter.

Mit Anregungsgeneratoren, die mit R-L-C-Netzwerken ausgerüstet sind, ist es jedoch im Allgemeinen nicht möglich, beliebige Verläufe von Stromstärken über die Dauer des Funkens zu modellieren. Dadurch sind die Möglichkeiten zur Ermittlung geeigneter Abfunkparameter beschränkt.However, with excitation generators equipped with R-L-C networks, it is generally not possible to model any waveforms of current levels over the duration of the spark. This limits the possibilities for determining suitable radio parameters.

Bei neueren Spektrometersystemen besteht ein Abfunkvorgang aus mehreren sequentiell hintereinander geschalteten Phasen verschiedener Abfunkparameter, so dass mit einem Abfunkvorgang sowohl Spuren- als auch Legierungselemente unter den für sie günstigen Bedingungen bestimmt werden können.In newer spectrometer systems, a radio operation consists of several sequentially connected in series phases of different radio parameters, so that with a radio operation both trace and alloying elements can be determined under the conditions favorable for them.

Eine Anregungsquelle für solche Spektrometer ist als gattungsbildender Stand der Technik aus dem Dokument US 5,285,251 bekannt. Dieses Dokument zeigt einen mit Halbleitern bestückten Anregungsgenerator, bei dem der Verlauf des Entladestroms mit Hilfe von Halbleitern geformt wird. Gelegentlich wird bei derartigen Vorrichtungen auch eine Regelung des gewünschten Stromverlaufes vorgenommen. Weiter zeigt dieses Dokument in einem anderen Ausführungsbeispiel eine Parallelschaltung von zwei Mittelspannungsquellen mit unterschiedlicher maximaler Funkenstromstärke. An excitation source for such spectrometers is as a generic prior art from the document US 5,285,251 known. This document shows a semiconductor-equipped excitation generator in which the course of the discharge current is formed by means of semiconductors. Occasionally, in such devices, a regulation of the desired current profile is made. Further, this document shows in another embodiment, a parallel connection of two medium voltage sources with different maximum spark current.

Diese Schaltung ermöglicht die erwünschte Modellierung des Funkenstromverlaufes. Allerdings werden auch bei dieser Schaltung Halbleiterschalter benötigt, die hohe Spannungen von über 400 V sperren können und gleichzeitig dazu in der Lage sein müssen, die hohen Funkenströme von 130 A und mehr zu schalten. Solche Halbleiter sind relativ teuer. Die in solchen Halbleiterschaltern anfallende Verlustleistung ist ebenfalls recht groß, was zu einem erhöhten Stromverbrauch und einer erforderlichen Kühlung führt. Weiter müssen Vorkehrungen für die elektrische Sicherheit getroffen werden, da bei einem Defekt oder bei unbeabsichtigtem Einschalten des elektronischen Schalters (die Ladespannung des Kondensators die Gegenelektrode im Funkenstand erreicht. Die Gegenelektrode ist dem Benutzer zugänglich, da sie regelmäßig gesäubert werden muss. Die Ladespannung liegt über der Sicherheitskleinspannung, die als berührunempfindlich eingestuft wird. Die Grenzen für diese Spannung sind international uneinheitlich. Gebräuchliche Grenzwerte sind 60, 75 und 120 Volt. Es sind schaltungstechnische Vorkehrungen zu treffen, dass der Benutzer nicht durch Berühren der Elektrode geschädigt werden kann. Schließlich muss die Ladeschaltung aus Sicherheitsgründen eine Netztrennung gewährleisten. Es wird deshalb ein Transformator benötigt.This circuit enables the desired modeling of the spark current profile. However, semiconductor switches are also required in this circuit, which can block high voltages of over 400 V and at the same time must be able to switch the high spark currents of 130 A and more. Such semiconductors are relatively expensive. The resulting in such semiconductor switches power dissipation is also quite large, which leads to increased power consumption and cooling required. Furthermore, precautions must be taken for electrical safety, as in case of failure or inadvertent switching on of the electronic switch (the charging voltage of the capacitor reaches the counter electrode in the spark level.) The counter electrode is accessible to the user as it must be cleaned regularly The limits for this voltage are internationally non-uniform.Usual limits are 60, 75 and 120 V. Circuit-technical precautions are to be taken that the user can not be damaged by touching the electrode Charging circuit for safety reasons to ensure a network separation.Therefore, a transformer is needed.

Es ist deshalb Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Anregungsgenerator mit verbessertem elektrischem Wirkungsgrad zu schaffen, bei dem auch die elektrische Sicherheit mit geringerem Aufwand erzielt werden kann.It is therefore an object of the present invention to provide an excitation generator with improved electrical efficiency, in which the electrical safety can be achieved with less effort.

Diese Aufgabe wird von einem Anregungsgenerator mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.This object is achieved by an excitation generator having the features of claim 1.

Weil bei einem Anregungsgenerator für ein Funkenemissionsspektrometer zur Erzeugung von Funken an einer Elektrode, mit einer Hochspannungsquelle und einer Mittelspannungsquelle, wobei die Mittelspannungsquelle als Netzwerk wenigstens einen Kondensator oder eine Anzahl parallel geschalteter Kondensatoren mit einer Spannungsfestigkeit von mindestens 200 Volt, wenigstens ein weiteres elektrisches Bauelement aus gewählt aus der Gruppe, die eine Spule, einen weitere Kondensator und einen Widerstand umfasst, und wenigstens einen von einer Steuerung angesteuerten Schalter mit einer Spannungsfestigkeit von mindestens 200 Volt aufweist, außerdem eine Niederspannungsquelle mit wenigstens einem zweiten Kondensator, der im Betrieb mit einer Spannung von maximal 125 Volt beaufschlagt ist, vorgesehen ist, wobei die Mittelspannungsquelle mittels einer Entkoppeldiode mittelbar oder unmittelbar mit der Elektrode verbunden ist und die Niederspannungsquelle mittels einer weiteren Entkoppeldiode mittelbar oder unmittelbar mit derselben Elektrode verbunden ist, kann die Mittelspannungsquelle mit klein dimensionierten Bauteilen ausgeführt werden. Die Niederspannungsquelle kann hingegen mit groß dimensionierten Bauteilen für hohe Ströme ausgestattet werden, so dass diese wegen der geringen anstehenden elektrischen Spannung verlustarm und preiswert ausgebildet sein können. Weiter kann die in der Mittelspannungsquelle im Betrieb gespeicherte elektrische Ladung so klein gehalten werden, dass eine immanente elektrische Sicherheit z. B. bei Berührung der Elektrode gegeben ist. Dabei kann die Hochspannungsquelle zwischen den Entkoppeldioden und der Elektrode liegen (Reihenschaltung) oder parallel zu der Mittelspannungsquelle und der Niederspannungsquelle geschaltet sein.Because in an excitation generator for a spark emission spectrometer for generating sparks on an electrode, with a high voltage source and a medium voltage source, wherein the medium voltage source as a network at least one capacitor or a number of parallel connected capacitors with a dielectric strength of at least 200 volts, at least one further electrical component selected from the group comprising a coil, another capacitor and a resistor, and having at least one switch controlled by a controller with a dielectric strength of at least 200 volts, and a low voltage source having at least one second capacitor operating at a voltage of a maximum of 125 volts is applied, is provided, wherein the medium voltage source by means of a decoupling diode is indirectly or directly connected to the electrode and the low-voltage source means of a further decoupling diode medium bar or directly connected to the same electrode, the medium voltage source can be performed with small-sized components. The low-voltage source, however, can be equipped with large-sized components for high currents, so that they can be designed low loss and inexpensive due to the low voltage applied. Furthermore, the electrical charge stored in the medium-voltage source during operation can be kept so small that an intrinsic electrical safety z. B. is given when touching the electrode. In this case, the high-voltage source can be connected between the decoupling diodes and the electrode (series connection) or connected in parallel to the medium-voltage source and the low-voltage source.

Insbesondere kann die Niederspannungsquelle wenigstens eine zweite Spule und einen zweiten Schalter umfassen, so dass auf einfache und im Betrieb flexible Weise bei Niederspannung Funken mit hohen Strömen im niederohmigen Plasma erzeugt werden können. Insbesondere kann eine nahezu beliebig gestaltete Funkenfolge erzeugt werden, wenn der zweite Schalter von einer Ansteuerschaltung zur Erzeugung einer Niederspannungsentladung ansteuerbar ist.In particular, the low-voltage source may comprise at least a second coil and a second switch, so that in a simple and in operation flexible manner at low voltage sparks can be generated with high currents in low-resistance plasma. In particular, a virtually arbitrarily designed spark sequence can be generated if the second switch can be controlled by a drive circuit for generating a low-voltage discharge.

Insgesamt ist aus Kostengründen vorteilhaft, wenn der wenigstens eine zweite Kondensator eine Spannungsfestigkeit von weniger als 200 Volt aufweist.Overall, it is advantageous for reasons of cost if the at least one second capacitor has a dielectric strength of less than 200 volts.

Eine Funkenfolge mit hohen Strömen über eine ausreichend lange Messzeit des Spektrometers wird ermöglicht, wenn der zweite Kondensator, in dem die elektrische Energie für die Funkenfolge im wesentlichen gespeichert ist, eine Kapazität von 1 mF bis 20 mF aufweist, vorzugsweise zwischen 2 mF und 10 mF und insbesondere 4,7 mF.A spark sequence with high currents over a sufficiently long measuring time of the spectrometer is made possible when the second capacitor, in which the electrical energy for the spark sequence is substantially stored, has a capacity of 1 mF to 20 mF, preferably between 2 mF and 10 mF and in particular 4.7 mF.

Entsprechendes gilt, wenn die zweite Spule eine Induktivität von 1 μH bis 30 μH, vorzugsweise zwischen 2 μH und 10 μH und insbesondere zwischen 3 μH und 4 μH aufweist.The same applies if the second coil has an inductance of 1 μH to 30 μH, preferably between 2 μH and 10 μH and in particular between 3 μH and 4 μH.

Eine Ausführung mit besonders geringen elektrischen Verlusten im Bereich des zweiten Schalters ist möglich, wenn der zweite Schalter eine Spannungsfestigkeit von weniger als 200 Volt aufweist. Dann ist der Innenwiderstand des Schalters besonders niedrig und die Verluste, die als Wärme abzuführen sind, bleiben klein. Dies ist besonders vorteilhaft bei netzunabhängig betriebenen Funkenspektrometern, da sich die mögliche Betriebsdauer zwischen zwei Ladevorgängen erhöht. Diese Faktoren werden weiter verbessert, wenn der zweite Schalter eine Spannungsfestigkeit von maximal 100 Volt aufweist.An embodiment with particularly low electrical losses in the region of the second switch is possible if the second switch has a dielectric strength of less than 200 volts. Then the internal resistance of the switch is particularly low and the losses to be dissipated as heat remain small. This is particularly advantageous in independently operated wireless spectrometers, since the possible operating time between two charging processes increases. These factors are further improved when the second switch has a withstand voltage of at most 100 volts.

Die immanente elektrische Sicherheit des Mittelspannungsteils zum Beispiel bei versehentlicher Berührung der Elektrode wird verbessert, wenn der wenigstens eine erste Kondensator eine Kapazität von weniger als 2 μF aufweist. Dadurch wird die gespeicherte Ladung so weit begrenzt, dass eine Berührung nicht gefährlich ist. Weiter verbessert wird die Sicherheit, wenn in der die Mittelspannung führenden Leitung zwischen der ersten Spule und der Entkopplungsdiode eine Spule gegen Masse geschaltet ist. Diese Spule behindert nicht den Funken im hochohmigen Plasma, entlädt aber mit ausreichender Zeitkonstante den ersten Kondensator, wenn dieser auf dem Mittelspannungspotential liegen sollte, ohne dass ein Funke ausgelöst wurde.The intrinsic electrical safety of the medium voltage part, for example, when the electrode is accidentally touched, is improved if the at least one first capacitor has a capacitance of less than 2 μF. As a result, the stored charge is limited so far that a touch is not dangerous. Safety is further improved if, in the medium-voltage line between the first coil and the decoupling diode, a coil is connected to ground. This coil does not hinder the spark in the high-impedance plasma, but discharges the first capacitor with a sufficient time constant if it should be at the medium-voltage potential without a spark being triggered.

Eine besonders einfache und effiziente Schaltung ergibt sich, wenn der wenigstens eine erste Kondensator mittels eines Flyback-Konverters zur Ladung mit einer Eingangsspannungsquelle verbunden ist, welche eine Betriebsspannung von weniger als 60 Volt aufweist. Die kann insbesondere eine eingebaute Batterie (Akkumulator) sein.A particularly simple and efficient circuit results when the at least one first capacitor is connected by means of a flyback converter for charging with an input voltage source having an operating voltage of less than 60 volts. In particular, this can be a built-in battery (accumulator).

Die Aufgabe wird auch von einem Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 12 gelöst.The object is also achieved by a method having the features of claim 12.

Weil bei dem neuen Verfahren zur Erzeugung eines Funkens in einem optischen Emissionsspektrometer nacheinander folgende Verfahrensschritten ausgeführt werden:

  • a) Erzeugen einer primären Hochspannungsentladung zwischen einer zu analysierenden metallischen Probe und einer Gegenelektrode;
  • b) danach Erzeugen einer zweiten Mittelspannungsentladung mittels einer Mittelspannungsquelle; und
  • b) Erzeugen wenigstens einer weiteren Entladung mittels einer Niederspannungsquelle, wobei die weitere Entladung in ihrem zeitlichen Verlauf gesteuert oder ungesteuert sein kann,
kann die für die Mittelspannungsentladung bereitgestellte elektrische Ladung so gering gehalten werden, dass für die Steuerung klein dimensionierte Bauelemente eingesetzt werden können und insbesondere auf Schalter mit Mittelspannungsfestigkeit und hoher Stromfestigkeit verzichtet werden kann.Because in the new method for generating a spark in an optical emission spectrometer, the following method steps are carried out successively:
  • a) generating a primary high-voltage discharge between a metallic sample to be analyzed and a counter electrode;
  • b) thereafter generating a second medium-voltage discharge by means of a medium voltage source; and
  • b) generating at least one further discharge by means of a low-voltage source, wherein the further discharge may be controlled or uncontrolled in terms of time,
For example, the electrical charge provided for the medium-voltage discharge can be kept so low that small-sized components can be used for the control and, in particular, switches with medium-voltage strength and high current strength can be dispensed with.

Vorteilhaft kann die Niederspannungsentladung, die mit einer hohen Stromstärke und einer entsprechend großen vorzuhaltenden elektrischen Ladung verbunden ist, bei einer Spannung von maximal 125 Volt erfolgen. Insbesondere kann die Niederspannungsentladung bei einer Spannung von maximal 75 Volt erfolgen, so dass elektronische Schalter mit besonders geringem Innenwiderstand verwendet werden können und außerdem trotz der hohen Stromstärke in dem niederohmigen Plasma die Spannung in jedem Fall unterhalb einer für den Benutzer gefährlichen Spannung liegt.Advantageously, the low-voltage discharge, which is connected to a high amperage and a correspondingly large vorzuhaltenden electrical charge, take place at a maximum voltage of 125 volts. In particular, the low-voltage discharge can be carried out at a maximum voltage of 75 volts, so that electronic switches can be used with very low internal resistance and also in spite of the high current in the low-resistance plasma, the voltage is below a dangerous voltage for the user.

Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung anhand der Zeichnung beschrieben. Es zeigen:Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. Show it:

1: den prinzipiellen Aufbau eines Funken-Emissionsspektrometers; sowie 1 : the basic structure of a spark emission spectrometer; such as

2: ein vereinfachtes Schaltbild einer Spannungsquelle, beispielsweise für das Spektrometer aus 1. 2 a simplified circuit diagram of a voltage source, for example, for the spectrometer off 1 ,

Beschreibung eines Ausführungsbeispiels der ErfindungDescription of an embodiment of the invention

1 zeigt den prinzipiellen Aufbau eines Funken-Emissionsspektrometers. 1 shows the basic structure of a spark emission spectrometer.

Ein Funkenstand 1 weist eine im Betrieb mit eine Argon gespülte Kammer auf, in der isoliert eine Gegenelektrode 2 montiert ist. Auf eine üblicherweise kreisförmige Öffnung des Funkenstandes 1 wird eine zu analysierende Probe 3 gelegt. Die Probe 3 muss durch eine geeignete Probenvorbereitung in einen planen und metallisch blanken Zustand gebracht werden. Die Gegenelektrode 2 und der Funkenstand 1 werden mit einem Anregungsgenerator 4 verbunden. Der Anregungsgenerator 4 erzeugt eine Funkenfolge, die Probenmaterial abbaut und in plasmaförmigen Zustand überführt. Das Plasma emittiert ein Spektrum von Atom- und Ionenlinien. Diese Strahlung wird einer Spektrometeroptik 5 zugeführt, die die Strahlung mit Hilfe eines Eintrittsspaltes 6 und eines optischen Gitters 7 spektral zerlegt. Die zu messende Strahlung liefert entlang der so genannten Fokalkurve 8 in bekannter Weise ein Linienspektrum, das eine selektive Messung einzelner Spektrallinien ermöglicht. Als Sensoren werden Halbleiter-Multikanalsensoren, z. B. CCD-Zeilen 9 oder Photomultiplier 10 mit vorgeschaltetem Austrittspalt 11 verwendet.A spark booth 1 has an argon-purged chamber in operation in which a counter electrode is isolated 2 is mounted. On a usually circular opening of the spark stand 1 becomes a sample to be analyzed 3 placed. The sample 3 must be brought into a flat and metallically bright state by suitable sample preparation. The counter electrode 2 and the spark level 1 be with an excitation generator 4 connected. The excitation generator 4 generates a spark train that degrades sample material and converts it into a plasma-like state. The plasma emits a spectrum of atomic and ionic lines. This radiation is a spectrometer optics 5 fed to the radiation by means of an entrance slit 6 and an optical grating 7 spectrally decomposed. The radiation to be measured delivers along the so-called focal curve 8th in a known manner, a line spectrum that allows selective measurement of individual spectral lines. As sensors semiconductor multi-channel sensors, z. B. CCD lines 9 or photomultiplier 10 with upstream exit gap 11 used.

Die Sensoren wandeln die auftreffende Strahlung in eine elektrische Ladung um. Eine Messelektronik 12 erfasst diese Ladung und übergibt die Messwerte nach Analog-/Digitalwandlung 13 einem Mikrocomputer 14, der daraus Elementgehalte errechnet.The sensors convert the incident radiation into an electrical charge. A measuring electronics 12 detects this charge and transfers the measured values after analog / digital conversion 13 a microcomputer 14 which calculates element contents from it.

Im Folgenden wird der Anregungsgenerator 4 näher beschrieben. The following is the excitation generator 4 described in more detail.

Die 2 zeigt ein vereinfachtes Schaltbild einer Spannungsquelle, die als Anregungsgenerator 4 beispielsweise für das Spektrometer aus 1 einsetzbar ist. Die Spannungsquelle arbeitet nach folgendem Grundprinzip. Dieses Schaltbild zeigt den grundsätzlichen Aufbau mit einer Niederspannungsquelle 20 und einer Mittelspannungsquelle 21. Zunächst werden Aufbau und Funktion der Mittelspannungsquelle 21 in dem Anregungsgenerator beschrieben.The 2 shows a simplified circuit diagram of a voltage source as the excitation generator 4 for example, for the spectrometer 1 can be used. The voltage source works according to the following basic principle. This diagram shows the basic structure with a low-voltage source 20 and a medium voltage source 21 , First, the structure and function of the medium voltage source 21 described in the excitation generator.

Vor Beginn des Zündfunkens wird der Kondensator 51 eines C-L-Netzwerkes auf eine Spannung von circa 200 Volt aufgeladen, z. B. durch einen dem Fachmann bekannten Flyback-Konverter mit einem Schalter 56, einer Diode 57, einer Spule 58 und einem Pulsgenerator 59. Der zu ladende Kondensator 51 hat dabei nur eine relativ kleine Kapazität, vorzugsweise von 100 nF bis zu 1 μF. Unmittelbar vor dem Zündzeitpunkt wird ein elektronischer Schalter 61 geschlossen. Eine an sich bekannte Hochspannungsquelle 63 ist für die Erzeugung des primären Funkens vorgesehen.Before the spark starts, the capacitor becomes 51 a CL network charged to a voltage of about 200 volts, z. B. by a person skilled in the flyback converter with a switch 56 , a diode 57 , a coil 58 and a pulse generator 59 , The capacitor to be charged 51 has only a relatively small capacity, preferably from 100 nF to 1 uF. Immediately before the ignition will be an electronic switch 61 closed. A known high voltage source 63 is intended for the generation of the primary spark.

Hat nun der primäre Funke die Strecke zwischen Oberfläche der Probe 3 und der Gegenelektrode 2 leitfähig gemacht, so entlädt sich zunächst der Kondensator 51 über die Spule 53, den Schalter 61 und die Diode 49 in das Plasma. Das Plasma ist unmittelbar nach der Zündung zwar leitfähig, aber noch hochohmig, so dass eine Spannung von ca. 200 V erforderlich ist, um zu erreichen, dass in einem Funken mehr Ionen/Elektronenpaare gebildet werden als rekombinieren. Die hierfür erforderliche Mittelspannung liefert die Mittelspannungsquelle 21 an die Gegenelektrode 2.Now has the primary spark the distance between the surface of the sample 3 and the counter electrode 2 made conductive, so initially discharges the capacitor 51 over the coil 53 , the switch 61 and the diode 49 into the plasma. Although the plasma is conductive immediately after ignition, it is still highly resistive, so that a voltage of approximately 200 V is required in order to produce more ions / electron pairs in a spark than to recombine. The required medium voltage supplies the medium voltage source 21 to the counter electrode 2 ,

In einer praktischen Implementierung hat der Kondensator 51 eine Kapazität von 470 nF und die Spule 53 eine Induktivität von 3,3 μH. Unter diesen Bedingungen erreicht Entladung des Kondensators 51 nach zwei Mikrosekunden ihren Maximalstrom von ca. 42 A. Es sei bemerkt, dass das Netzwerk 50 auch anders ausgeführt werden kann. Statt eines Netzwerkes aus Kondensator 51, Diode 65 und Spule 53 können auch Netzwerke der Form Kondensator-Spulen-Kondensator, Kondensator-Widerstand-Kondensator oder andere Kombinationen von Kondensatoren, Widerständen und Induktivitäten mit oder ohne Löschdiode 65 verwendet werden.In a practical implementation, the capacitor has 51 a capacity of 470 nF and the coil 53 an inductance of 3.3 μH. Under these conditions reaches discharge of the capacitor 51 after two microseconds, its maximum current of about 42 A. It should be noted that the network 50 can also be done differently. Instead of a network of capacitors 51 , Diode 65 and coil 53 may also be networks of the form capacitor-coil capacitor, capacitor-resistor-capacitor or other combinations of capacitors, resistors and inductors with or without erase diode 65 be used.

Das Plasma ist nun so niederohmig, dass die Energie, die zur Materialverdampfung und zur Anregung benötigt wird mit einer Spannung unterhalb der Sicherheitskleinspannung zugeführt werden kann. Diese Spannung wird von einer Niederspannungsquelle 20 an die Elektrode 2 abgegeben. Dieser Teil der Schaltung ähnelt einem step-down-Wandler.The plasma is now so low that the energy needed for material evaporation and excitation can be supplied at a voltage below the safety extra-low voltage. This voltage comes from a low voltage source 20 to the electrode 2 issued. This part of the circuit is similar to a step-down converter.

Eine Niederspannungsquelle 20 wird von einem Niederspannungsnetzteil 44 mit einer Ausgangsspannung von vorzugsweise nicht mehr als 60 Volt gespeist und ist mit einem Pufferkondensator 45, versehen, um kurzzeitig hohe Ströme liefern zu können. Der elektronische Schalter 61, zweckmäßigerweise als MOSFET ausgeführt, ist nach dem Zündimpuls mit Hilfe einer Ansteuerschaltung 54 eingeschaltet. Nun fließt von dem Kondensator 45 über die Spule 47 ein Strom in das Plasma. Nach einer vorgegebenen Einschaltzeit, die umso länger ist, je höher der gewünschte Strom durch das Plasma sein soll, wird der elektronische Schalter 46 wieder geöffnet. Der Strom fließt jetzt durch Abbau des Magnetfeldes der Spule 47 über die Diode 66 weiter, fällt aber ab. Die Abfallgeschwindigkeit ist abhängig von der Induktivität der Spule 47, dem Entladekreis-Widerstand und der Brennspannung.A low voltage source 20 is powered by a low voltage power supply 44 fed with an output voltage of preferably not more than 60 volts and is connected to a buffer capacitor 45 , provided in order to deliver high currents for a short time. The electronic switch 61 , suitably designed as a MOSFET, is after the ignition pulse by means of a drive circuit 54 switched on. Now flows from the condenser 45 over the coil 47 a current in the plasma. After a predetermined switch-on time, which is longer, the higher the desired current through the plasma should be, the electronic switch 46 opened again. The current now flows through degradation of the magnetic field of the coil 47 over the diode 66 continue, but drops off. The rate of decay depends on the inductance of the coil 47 , the discharge circuit resistance and the burning voltage.

Nach einer vorgegebenen Zykluszeit, vorzugsweise im Bereich von 2 μs bis 20 μs, schließt der elektronische Schalter wieder, bis erneut die für diesen Zeitpunkt vorgegebene Einschaltdauer erreicht ist. Die Einschaltdauern können über den Funkenverlauf variieren. So lassen sich, durch Variation der Pulsweiten der Ansteuerschaltung 54 nahezu beliebige Stromverläufe realisieren.After a predetermined cycle time, preferably in the range of 2 .mu.s to 20 .mu.s, the electronic switch closes again until the duty cycle predetermined for this time is reached again. The switch-on durations may vary over the course of the spark. This can be done by varying the pulse widths of the drive circuit 54 realize almost any current characteristics.

Die Ansteuerschaltung 54 kann entweder eine vorgegebene, feste Abfolge von Pulsweiten erzeugen oder auch den Strom über einen niederohmigen Messwiderstand 52 bestimmen und die Pulsweiten auf die momentanen Strom-Messwerte nachregeln. Eine Regelung des Funkenstroms ist aber nicht in jedem Fall erforderlich. Durch eine vorgegebene Einschaltdauer des Schalters 46 lässt sich der Funkenstrom im Allgemeinen ausreichend gut stellen. Gelingt dies nicht, so sind die Ursachen meist im Plasma zu finden. Bei verunreinigter Atmosphäre kann es vorkommen, dass sich parallel mehrere Plasmafäden ausbilden. Diese Art von Funken wird als diffuse Entladung bezeichnet. Die Energie heizt dann nur das Trägergas im Funkenstand 1 auf, ohne Material der Probe 3 abzubauen. Ein solcher Funken liefert im Allgemeinen bei gleicher Einschaltdauer des Schalters 46 einen höheren Strom, da die parallel geschalteten Plasmafäden den Gesamtwiderstand reduzieren. Eine Einstellung des Sollstroms durch Verkürzung der Einschaltdauer hilft aber nicht. Eine diffuse Entladung liefert auch dann keinen Materialabbau.The drive circuit 54 can either generate a predetermined, fixed sequence of pulse widths or the current through a low-impedance measuring resistor 52 and adjust the pulse widths to the instantaneous current measured values. A regulation of the spark current is not required in every case. By a predetermined duty cycle of the switch 46 the spark current can generally be made sufficiently good. If this is not successful, the causes are usually found in the plasma. If the atmosphere is contaminated, it can happen that several plasma filaments form in parallel. This type of spark is called a diffuse discharge. The energy then only heats the carrier gas in the spark level 1 on, without material of the sample 3 dismantle. Such a spark generally provides the same on-time of the switch 46 a higher current, since the parallel plasma threads reduce the total resistance. Setting the setpoint current by shortening the duty cycle does not help. A diffuse discharge does not provide any material degradation even then.

Sinnvoll ist eine Stromregelung in dem nachfolgend beschriebenen Fall.Useful is a current control in the case described below.

Man bezeichnet als Brennspannung UB den Spannungsabfall zwischen Elektrode 2 und Probe 3. Dieser liegt bei üblichen Funkenstands- und Elektrodengeometrien sowie Argon als Trägergas bei ca. 25 V. Ist nun die Summe aus Brennspannung und Flussspannung UF der Diode 48 nur wenige Volt niedriger als die Spannung UNT, die das Netzteil 44 liefert, können kleine Variationen der Brennspannung zu einer messbaren Änderung des Funkenstroms führen. Dieser Effekt ist allerdings erst bei Netzteilspannungen UNT unter 48 V signifikant. Die Variation des Funkenstroms kann dann mittels einer Stromregelung verringert werden.The burning voltage U B is the voltage drop between the electrode 2 and sample 3 , This is in the usual Funkenstands- and Electrode geometries and argon as a carrier gas at about 25 V. Is now the sum of the burning voltage and forward voltage U F of the diode 48 only a few volts lower than the voltage U NT , which is the power supply 44 provides, small variations in the burning voltage can lead to a measurable change in the spark current. However, this effect is only significant at power supply voltages U NT below 48V. The variation of the spark current can then be reduced by means of a current control.

Die erfindungsgemäße Schaltung hat die folgenden Vorteile.The circuit according to the invention has the following advantages.

Immanente SicherheitImmanent security

Die Energie für den Funkenstrom wird im Wesentlichen aus dem Netzteil 44 bezogen, das eine Spannung von max. 60 V liefert. Diese Spannung gilt als berührsicher. Lediglich der Kondensator 51 wird kurz vor dem Funken auf eine Spannung von ca. 200 V aufgeladen. Diese Spannung wird aber nur sehr kurzzeitig (< 5 μs) durch den elektrischen Schalter 61 mit der dem Benutzer zugänglichen Gegenelektrode 2 verbunden. Sollte der elektrische Schalter 61 z. B. wegen eines Defektes nicht abschalten, verhindert die Spule 62 ein längerfristiges Anstehen der 200 V-Spannung. In einer praktischen Ausführung der Erfindung beträgt die Induktivität der Spule 62 680 μH, was gewährleistet, dass während der ersten 5 μs nach Schließen des Schalters 61 kein nennenswerter Strom fließt. Eine Abschätzung über die Thomsonsche Schwingkreisformel für den Schwingkreis aus C 51 und L 53 in Reihe mit L 62, sowie praktische Messungen ergibt jedoch, dass die Spannung an dem Kondensator 51 nach 30 μs abgebaut ist. Die Induktivität der Spule 53 wurde dabei mit 3,3 μH angenommen. Bei Mittelspannungserzeugern nach dem Stand der Technik kann eine ähnliche schaltungstechnische Maßnahme kaum ergriffen werden, weil die Funkenparameter variabel sind und Funkenlängen von einigen 100 μs vorkommen.The energy for the spark current is essentially from the power supply 44 based, which has a voltage of max. 60V supplies. This voltage is considered safe to touch. Only the capacitor 51 is charged to a voltage of approx. 200 V shortly before sparking. However, this voltage is only very briefly (<5 μs) by the electrical switch 61 with the counter electrode accessible to the user 2 connected. Should the electric switch 61 z. B. does not shut down because of a defect prevents the coil 62 a longer term queue of 200 V voltage. In a practical embodiment of the invention, the inductance of the coil 62 680 μH, which ensures that during the first 5 μs after closing the switch 61 no significant current flows. An estimate of the Thomson resonant circuit formula for the resonant circuit of C 51 and L 53 in series with L 62 , as well as practical measurements, however, shows that the voltage across the capacitor 51 degraded after 30 μs. The inductance of the coil 53 was assumed to be 3.3 μH. In the case of medium voltage generators according to the prior art, a similar circuit measure can hardly be taken because the spark parameters are variable and spark lengths of a few 100 μs occur.

Energieeffizienzenergy efficiency

Bei Schaltungen nach dem gattungsbildenden Stand der Technik ist wegen der hohen Ströme im Transformator-Primärkreis mit hohen Leistungsverlusten zu rechnen. Selbst wenn es geling, die Summe aus Transformator-Primärwicklung, Einschaltwiderstand der MOSFETS, Leiterbahnen und Innenwiderstand der Elektrolytkondensatorbatterie bei 10 Milliohm zu halten, kommt es bei Funkenströmen von 100 A zu Verlusten von 1000 W nur im Primärkreis.In circuits according to the generic state of the art, high power losses are to be expected because of the high currents in the transformer primary circuit. Even if it is possible to keep the sum of the transformer primary winding, the on-resistance of the MOSFETS, the conductor tracks and the internal resistance of the electrolytic capacitor battery at 10 milliohms, with spark currents of 100 A, losses of 1000 W occur only in the primary circuit.

Bei Schaltungen nach dem Stand der Technik ist es außerdem problematisch, dass MOSFETS, die dazu in der Lage sind, Spannungen von 500 V zu sperren, einen höheren Innenwiderstand haben als solche mit niedrigerer Spannungsfestigkeit. Handelsübliche MOSFETs mit 500 V Spannungsfestigkeit weisen derzeit typische Durchlasswiderstände RDSon von 39 Milliohm auf, so dass bei 100 A Funkenstrom eine Verlustleistung von 39 Watt allein in dem MOSFET anfällt.It is also problematic in prior art circuits that MOSFETs capable of blocking voltages of 500V have a higher internal resistance than those of lower withstand voltage. Commercial 500V MOSFETs typically have typical RDSon on-resistances of 39 milliohms, so at 100A spark current, a power dissipation of 39 watts is inherent in the MOSFET alone.

Handelsübliche MOSFETS mit 100 V Sperrspannung haben RDSon-Werte von 5,5 Milliohm. Bei der erfindungsgemäßen Schaltung lassen sich demgegenüber niederohmigere Transistoren mit verwenden, weil eine Spannungsfestigkeit von 75 V ausreichend ist. Der gesamte Leistungskreis mit dem Kondensator 45, dem Schalttransistor 46, der Spule 47, der Entkoppeldiode 48 und den Zuleitungen lässt sich mit einem Widerstand von circa 70 Milliohm realisieren, wovon circa 4 Milliohm auf den MOSFET entfallen. Bei einem Funkenstrom von 100 A lassen sich so die Verluste auf 70 W begrenzen. Dabei ist zu berücksichtigen, dass der Funkenstrom nicht ständig fließt. Funkendauern von 80 μS bei 400 Funken pro Sekunde sind realistische Annahmen.Commercially available 100V reverse voltage MOSFETs have RDSon values of 5.5 milliohms. In the circuit according to the invention, in contrast, lower-resistance transistors can be used because a withstand voltage of 75 V is sufficient. The entire power circuit with the capacitor 45, the switching transistor 46 , the coil 47 , the decoupling diode 48 and the supply lines can be realized with a resistance of about 70 milliohms, of which about 4 milliohms are attributable to the MOSFET. With a spark current of 100 A, the losses can be limited to 70 W. It should be noted that the spark current does not flow constantly. Spark durations of 80 μS at 400 sparks per second are realistic assumptions.

Der Aspekt der Energieeffizienz ist besonders für batteriebetriebene Geräte von Bedeutung. Das Netzteil 44 kann direkt durch die Batterie oder einen Akkumulator ersetzt werden. Dadurch wird vermieden, dass die Batteriespannung durch ein Schaltnetzteil auf die Ladespannung für den Kondensator hochtransformiert werden muss, was bei den bekannten Schaltungen mit Verlusten von 10–15% der benötigten Energie verbunden ist.The aspect of energy efficiency is particularly important for battery-powered devices. The power supply 44 can be replaced directly by the battery or an accumulator. This avoids that the battery voltage must be transformed by a switching power supply to the charging voltage for the capacitor, which is connected in the known circuits with losses of 10-15% of the required energy.

Kostencosts

Zunächst scheint die Schaltung nach 2 aufwändiger zu sein als die Schaltungen nach dem Stand der Technik. Das ist aber nicht der Fall. Die Spannungsversorgung für die Erzeugung einer Ladespannung von etwa 200 V für den Kondensator 51 ist in vielen Anregungsquellen ohnehin vorhanden. Sie wird in der Hochspannungsquelle 63 benutzt, um Energie für den Zündimpuls zu generieren. Diode 64, Kondensator 51, Spulen 53 und 61 sind kleine und preiswerte Bauteile. Auch Leistungsschalter 61 und Diode 49 können klein und preiswert ausgeführt werden, sie führen pro Funken nur wenige Mikrosekunden lang Strom und benötigen deshalb auch im Allgemeinen keine Kühlung.At first, the circuit shines after 2 to be more expensive than the circuits of the prior art. That's not the case. The power supply for generating a charging voltage of about 200 V for the capacitor 51 is present in many excitation sources anyway. She is in the high voltage source 63 used to generate energy for the ignition pulse. diode 64 , Capacitor 51 , Do the washing up 53 and 61 are small and inexpensive components. Also circuit breaker 61 and diode 49 can be made small and inexpensive, they carry only a few microseconds of current per spark and therefore generally require no cooling.

Es lassen sich hohe Funkenströme bis zu 200 A mit einem einzigen Leistungsschalter 46 realisieren. In diesem Leistungsschalter fällt nur geringe Abwärme an, so dass die Aufwände für Kühlkörper und Lüfter deutlich reduziert sind.It can handle high spark currents up to 200 A with a single circuit breaker 46 realize. In this circuit breaker, only low waste heat is generated, so that the costs for heat sink and fan are significantly reduced.

Schaltungstechnische Maßnahmen zur Vermeidung gefährlicher Spannungen wie zum Beispiel Sicherheitsrelais, Verriegelungsschaltungen usw. sind nicht erforderlich.Circuitry measures to avoid dangerous voltages such as safety relays, interlocking circuits, etc. are not required.

Geringes Volumen und Gewicht Low volume and weight

Durch die hohe Energieeffizienz und den Wegfall voluminöser Kühlkörper lassen sich Baugröße und Masse des Anregungsgenerators im Vergleich zu Ausführungen nach dem Stand der Technik um einen Faktor 2 reduzieren. Damit bietet sich der neue Anregungsgenerator für den Einsatz in tragbaren Funkenspektrometern an.Due to the high energy efficiency and the elimination of voluminous heat sink, the size and mass of the excitation generator can be reduced by a factor of 2 compared to prior art designs. This makes the new excitation generator suitable for use in portable radio spectrometers.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

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  • US 5285251 [0011] US 5285251 [0011]

Claims (14)

Anregungsgenerator für ein Funkenemissionsspektrometer zur Erzeugung von Funken an einer Elektrode (2), mit einer Hochspannungsquelle (63) und einer Mittelspannungsquelle (21), wobei die Mittelspannungsquelle (21) als Netzwerk wenigstens einen Kondensator (51) oder eine Anzahl parallel geschalteter Kondensatoren mit einer Spannungsfestigkeit von mindestens 200 Volt, wenigstens ein weiteres elektrisches Bauelement ausgewählt aus der Gruppe, die eine Spule (53), einen weitere Kondensator und einen Widerstand umfasst, und wenigstens einen von einer Steuerung (69) angesteuerten Schalter (61) mit einer Spannungsfestigkeit von mindestens 200 Volt aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass eine Niederspannungsquelle (20) mit wenigstens einem zweiten Kondensator (45), der im Betrieb mit einer Spannung von maximal 125 Volt beaufschlagt ist, vorgesehen ist, wobei die Mittelspannungsquelle (21) mittels einer Entkoppeldiode (49) mit der Elektrode (2) verbunden ist und die Niederspannungsquelle (20) mittels einer Entkoppeldiode (48) mit der Elektrode (2) verbunden ist.Excitation generator for a spark emission spectrometer for generating sparks on an electrode ( 2 ), with a high voltage source ( 63 ) and a medium voltage source ( 21 ), the medium voltage source ( 21 ) as a network at least one capacitor ( 51 ) or a number of parallel-connected capacitors with a dielectric strength of at least 200 volts, at least one further electrical component selected from the group consisting of a coil ( 53 ), another capacitor and a resistor, and at least one of a controller ( 69 ) controlled switch ( 61 ) having a dielectric strength of at least 200 volts, characterized in that a low-voltage source ( 20 ) with at least one second capacitor ( 45 ), which is supplied in operation with a maximum voltage of 125 volts, is provided, wherein the medium voltage source ( 21 ) by means of a decoupling diode ( 49 ) with the electrode ( 2 ) and the low voltage source ( 20 ) by means of a decoupling diode ( 48 ) with the electrode ( 2 ) connected is. Anregungsgenerator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Niederspannungsquelle (20) wenigstens eine zweite Spule (47) und einen zweiten Schalter (46) umfasst.Excitation generator according to claim 1, characterized in that the low-voltage source ( 20 ) at least one second coil ( 47 ) and a second switch ( 46 ). Anregungsgenerator nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der wenigstens eine zweite Kondensator (45) eine Spannungsfestigkeit von weniger als 200 Volt aufweist.Excitation generator according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one second capacitor ( 45 ) has a dielectric strength of less than 200 volts. Anregungsgenerator nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Kondensator (45) eine Kapazität von 1 mF bis 20 mF aufweist.Excitation generator according to one of the preceding claims, characterized in that the second capacitor ( 45 ) has a capacity of 1 mF to 20 mF. Anregungsgenerator nach Anspruch 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite Spule (47) eine Induktivität von 1 μH bis 30 μH aufweist.Excitation generator according to claim 2 to 4, characterized in that the second coil ( 47 ) has an inductance of 1 μH to 30 μH. Anregungsgenerator nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Schalter (46) eine Spannungsfestigkeit von weniger als 200 Volt aufweist.Excitation generator according to one of the preceding claims, characterized in that the second switch ( 46 ) has a dielectric strength of less than 200 volts. Anregungsgenerator nach Anspruch 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Schalter (46) eine Spannungsfestigkeit von maximal 100 Volt aufweist.Excitation generator according to claim 2 to 6, characterized in that the second switch ( 46 ) has a dielectric strength of at most 100 volts. Anregungsgenerator nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der wenigstens eine erste Kondensator (51) eine Kapazität von weniger als 2 μF aufweist.Excitation generator according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one first capacitor ( 51 ) has a capacity of less than 2 μF. Anregungsgenerator nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der wenigstens eine erste Kondensator (51) mittels eines Flyback-Converters zur Ladung mit einer Eingangsspannungsquelle (64) verbunden ist, welche eine Betriebsspannung von weniger als 60 Volt aufweist.Excitation generator according to one of the preceding claims, characterized in that the at least one first capacitor ( 51 ) by means of a flyback converter for charging with an input voltage source ( 64 ), which has an operating voltage of less than 60 volts. Anregungsgenerator nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Schalter (46) von einer Ansteuerschaltung (54) zur Erzeugung einer Niederspannungsentladung ansteuerbar ist.Excitation generator according to one of the preceding claims, characterized in that the second switch ( 46 ) from a drive circuit ( 54 ) is controllable to generate a low-voltage discharge. Anregungsgenerator nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der ersten Spule (53) und der Entkopplungsdiode (49) eine Spule (62) gegen Masse geschaltet ist.Excitation generator according to one of the preceding claims, characterized in that between the first coil ( 53 ) and the decoupling diode ( 49 ) a coil ( 62 ) is connected to ground. Verfahren zur Erzeugung eines Funkens in einem optischen Emissionsspektrometer mit folgenden nacheinander auszuführenden Verfahrensschritten: a) Erzeugen einer primären Hochspannungsentladung zwischen einer zu analysierenden metallischen Probe (3) und einer Gegenelektrode (2); b) danach Erzeugen einer zweiten Mittelspannungsentladung mittels einer Mittelspannungsquelle; und b) Erzeugen wenigstens einer weiteren Entladung mittels einer Niederspannungsquelle, wobei die weitere Entladung in ihrem zeitlichen Verlauf gesteuert oder ungesteuert sein kann.Method for generating a spark in an optical emission spectrometer with the following steps to be carried out successively: a) Generating a primary high-voltage discharge between a metallic sample to be analyzed ( 3 ) and a counter electrode ( 2 ); b) thereafter generating a second medium-voltage discharge by means of a medium voltage source; and b) generating at least one further discharge by means of a low-voltage source, wherein the further discharge may be controlled or uncontrolled in terms of its time course. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Niederspannungsentladung bei einer Spannung von maximal 125 Volt erfolgt.A method according to claim 12, characterized in that the low-voltage discharge takes place at a maximum voltage of 125 volts. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Niederspannungsentladung bei einer Spannung von maximal 75 Volt erfolgt.A method according to claim 12, characterized in that the low-voltage discharge takes place at a voltage of at most 75 volts.
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