DE102015001040A1 - Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp - Google Patents

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Fujio Maeda
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Abstract

Eine Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp beinhaltet eine Skala und einen Sensor. Die Skala beinhaltet eine Bahn mit einer Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern, die in gleichem Abschied entlang einer Messreferenzlinie vorgesehen sind, um das Fließen eines induzierten Stromes zu steuern bzw. zu regeln, sowie einen ersten Kantenabschnitt und einen zweiten Kantenabschnitt, die sich auf beiden Seiten der Messreferenzlinie befinden. Der Sensor ist dafür vorgesehen, sich relativ zu der Skala entlang der Messreferenzlinie bewegen zu können, um einen induzierten Strom zu erfassen. Die Skala beinhaltet Reguliermuster wenigstens zwischen der Bahn und dem ersten Kantenabschnitt oder zwischen der Bahn und dem zweiten Kantenabschnitt, um das Fließen eines induzierten Stromes zu regulieren.

Description

  • Hintergrund der Erfindung
  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp, die eine Position unter Verwendung eines induzierten Stromes misst.
  • Beschreibung des Standes der Technik
  • Eine Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp, die einen induzierten Strom erfasst, der durch eine elektromagnetische Induktion erzeugt wird, und die Position misst, wird bei Linearkodierern, Drehkodierern und dergleichen mehr eingesetzt, die eine Position mit hoher Genauigkeit messen. Die Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp weist einen Vorteil dahingehend auf, dass die Positionsmessung mit hoher Genauigkeit sogar in einer schmutzigen bzw. staubigen Umgebung durchgeführt und die Struktur im Vergleich zu einer optischen Positionsmesseinrichtung vereinfacht werden kann.
  • Die Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp beinhaltet einen Sensor und eine Skala mit einer Anordnung dafür, relativ entlang einer Messreferenzlinie beweglich zu sein. Ein Muster, das die Rolle einer Spule wahrnimmt, ist an der Skala ausgebildet. Die Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp erfasst einen induzierten Strom, der durch das Muster an der Skala fließt, unter Verwendung des Sensors und führt eine arithmetische Operation durch, um die Position des Sensors relativ zu der Skala auf Grundlage eines erfassten Signals zu ermitteln.
  • Die JP 11-223505 A offenbart eine Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp, in der periodisch angeordnete geschlossene Leiterschleifen an der Skala vorgesehen sind und ein induzierter Strom, der durch die geschlossenen Leiterschleifen fließt, durch einen Erfassungsdraht in dem Sensor erfasst wird. Des Weiteren offenbart die JP 2004-003975 A eine Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp, in der Öffnungen durch die Skala vorgesehen sind und eine Position durch Erfassen eines induzierten Stromes, der um die Öffnung fließt, mit dem Sensor erfasst wird. Zur Bereitstellung der Öffnungen durch die Skala wird ein Abschnitt eines Grundmaterials, das ein leitfähiges Plattenmaterial ist, periodisch gestanzt oder durch Ätzen entfernt.
  • 10A und 10B sind schematische Planansichten zur exemplarischen Darstellung einer herkömmlichen Skala. Eine Skala 2H, die eine Reihe von Bahnen T beinhaltet, ist exemplarisch in 10A dargestellt. Eine Skala 21, die drei Reihen von Bahnen T1 bis T3 beinhaltet, ist exemplarisch in 10B dargestellt. Zudem wird in der vorliegenden Beschreibung eine Achse, die parallel zu einer Messreferenzlinie ML ist, als X-Achse bezeichnet. Eine Achse, die senkrecht zu der X-Achse und parallel zu einer Hauptoberfläche der Skala ist, wird als Y-Achse bezeichnet. Eine Achse, die senkrecht zu der X-Achse und der Y-Achse ist, wird als Z-Achse bezeichnet.
  • An der Bahn T der Skala 2H ist, wie in 10A dargestellt ist, eine Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern 21 in gleichen Abständen in einer Richtung entlang der X-Achse vorgesehen. In einem Fall, in dem eine Form auf einer einem ersten Kantenabschnitt 251 zu eigenen Seite des Steuer- bzw. Regelmusters 21 von einer Form auf einer einem zweiten Kantenabschnitt 252 zu eigenen Seite des Steuer- bzw. Regelmusters wie in der Skala 2H verschieden ist, tritt eine Streckendifferenz zwischen induzierten Strömen i1 und i1', die um das Steuer- bzw. Regelmuster 21 fließen, auf.
  • Des Weiteren ist in der in 10B dargestellten Skala 21 die Mehrzahl von Bahnen T1 bis T3 parallel vorgesehen. Eine Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern 211 ist an der Bahn T1 mit einer Periode λ1 in einer Richtung entlang der X-Achse vorgesehen. Eine Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern 212 ist an der Bahn T2 mit einer Periode λ2 in einer Richtung entlang der X-Achse vorgesehen. Eine Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern 213 ist an der Bahn T3 mit einer Periode λ3 in einer Richtung entlang der X-Achse vorgesehen. Die Perioden λ1, λ2 und λ3 sind voneinander verschieden.
  • In der Skala 21 verteilt sich beispielsweise ein induzierter Strom i1, der entlang des Steuer- bzw. Regelmusters 211 an der Bahn T1 fließt, hauptsächlich um das Steuer- bzw. Regelmuster 211, das die kürzeste Strecke wird. Gleichwohl fließt der induzierte Strom frei durch die gesamte Skala 21. Daher fließt ein Teil des induzierten Stromes i1 um das Steuer- bzw. Regelmuster 212 an der benachbarten Bahn T2 (siehe induzierten Strom i2).
  • In demjenigen Fall, in dem die Skalen 2H und 21 mit vorgesehenen Öffnungen, wie in 10A und 10B dargestellt ist, verwendet werden, kann ein induzierter Strom, der an der Skala erzeugt wird, frei durch den gesamten Bereich der Skala fließen. Ist ein unebener Abschnitt, so beispielsweise eine konkave Form oder eine konvexe Form, an einer Endfläche auf der dem ersten Kantenabschnitt 251 zu eigenen Seite wie in der Skala 2H, wie in 10A dargestellt ist, vorhanden, so werden die Strecken des induzierten Stromes i1 und i1' beeinflusst. Wenn ein induzierter Strom nicht stabil für jedes Steuer- bzw. Regelmuster 21 fließt, tritt ein Fehler bei einer durch den Sensor durchgeführten Erfassung auf, was zu einem Problem dahingehend führt, dass eine Positionsmessung mit hoher Genauigkeit behindert wird.
  • Des Weiteren wird in der Skala 21, wie in 10B dargestellt ist, ein Magnetfeld mit der Periode λ2 des Steuer- bzw. Regelmusters 212 an der Bahn T2 durch den induzierten Strom i2, der von dem induzierten Strom i1 abgezweigt wird, erzeugt, und es werden Eigenschaften der Positionsmessung beeinflusst.
  • In demjenigen Fall, in dem die Mehrzahl von Bahnen T1 bis T3 parallel wie an der Skala 21 vorgesehen ist, ist im Prinzip wünschenswert zu bewirken, dass die Bahnen T1 bis T3 jeweils unabhängig sind und die Bahnen T1 bis T3 vollständig isoliert sind. In diesem Fall ist es jedoch notwendig, eine Mehrzahl von Skalen herzustellen, die jeweils den Bahnen T1 bis T3 entsprechen, und die Skalen auf einem isolierenden Trägersubstrat zusammenzukleben. Dies führt zu einem Problem dahingehend, dass eine Qualitätsverschlechterung durch eine Positionsabweichung zum Zeitpunkt des Zusammenklebens verursacht wird und die Kosten ansteigen.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp bereitzustellen, die einen induzierten Strom erfassen kann, der durch die Skala fließt, an der ein periodisches Muster ausgebildet ist, sowie eine Positionsmessung mit hoher Genauigkeit durchführen kann.
  • Eine Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp entsprechend der vorliegenden Erfindung beinhaltet eine Skala und einen Sensor. Die Skala beinhaltet eine Bahn mit einer Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern, die in gleichen Abständen entlang einer Messreferenzlinie vorgesehen sind, um das Fließen eines induzierten Stromes zu steuern bzw. zu regeln, sowie einen ersten Kantenabschnitt und einen zweiten Kantenabschnitt, die sich auf beiden Seiten der Messreferenzlinie befinden. Der Sensor ist dafür vorgesehen, sich relativ zu der Skala entlang der Messreferenzlinie bewegen zu können, um einen induzierten Strom zu erfassen. Die Skala beinhaltet Reguliermuster wenigstens zwischen der Bahn und dem ersten Kantenabschnitt oder zwischen der Bahn und dem zweiten Kantenabschnitt, um das Fließen eines induzierten Stromes zu regulieren.
  • Entsprechend einer derartigen Ausgestaltung sind die Reguliermuster vorgesehen. Im Ergebnis wird es möglich, einen induzierten Strom einzuleiten, der versucht, frei in einen Raum zwischen dem Steuer- bzw. Regelmuster und dem Reguliermuster zu fließen, und eine Fließstrecke des induzierten Stromes zu stabilisieren. Entsprechend wird das Fließen der induzierten Ströme jeweils für die Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern gleichmäßig gemacht. Mit anderen Worten, infolge der Bereitstellung von derartigen Reguliermustern wird der Fließweg des induzierten Stromes weniger durch die Form eines Kantenabschnittes der Skala beeinflusst, und es wird ein stabiler induzierter Strom für jede Mehrzahl der Steuer- bzw. Regelmuster erzeugt. Im Ergebnis wird es möglich, eine Positionserfassung mit hoher Genauigkeit durchzuführen.
  • Bei der Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp entsprechend der vorliegenden Erfindung ist wünschenswert, wenn die Reguliermuster sowohl zwischen der Bahn und dem ersten Kantenabschnitt wie auch zwischen der Bahn und dem zweiten Kantenabschnitt vorgesehen sind.
  • Entsprechend einer derartigen Ausgestaltung wird eine Fließstrecke des induzierten Stromes, die von dem Steuer- bzw. Regelmuster gesteuert bzw. geregelt wird, auf beiden Seiten der Skala, das heißt der dem ersten Kantenabschnitt zu eigenen Seite und der dem zweiten Kantenabschnitt zu eigenen Seite, stabilisiert. Im Ergebnis wird der Fließweg des induzierten Stromes weniger durch die Formen sowohl des ersten Kantenabschnittes wie auch des zweiten Kantenabschnittes der Skala beeinflusst. Entsprechend wird es möglich, eine Positionserfassung mit hoher Genauigkeit durchzuführen.
  • In der Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp entsprechend der vorliegenden Erfindung ist wünschenswert, wenn eine Periode einer Mehrzahl von Reguliermustern gleich einer Periode der Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern ist.
  • Entsprechend einer derartigen Ausgestaltung wird die Periode des induzierten Stromes, der von der Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern erzeugt wird, nicht durch die Periode der Mehrzahl von Reguliermustern gestört. Im Ergebnis wird eine Vergleichmäßigung der Regulierung an dem induzierten Strom infolge der Reguliermuster erreicht.
  • In der Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp entsprechend der vorliegenden Erfindung ist wünschenswert, wenn die Bahn eine erste Bahn beinhaltet, die eine Mehrzahl von ersten Steuer- bzw. Regelmustern beinhaltet, die mit einer ersten Periode entlang der Messreferenzlinie vorgesehen sind, sowie eine zweite Bahn, die parallel zu der ersten Bahn vorgesehen ist und eine Mehrzahl von zweiten Steuer- bzw. Regelmustern beinhaltet, die mit einer von der ersten Periode verschiedenen zweiten Periode entlang der Messreferenzlinie vorgesehen sind, und die Reguliermuster wenigstens zwischen der ersten Bahn und dem ersten Kantenabschnitt, zwischen der ersten Bahn und der zweiten Bahn oder zwischen der zweiten Bahn und dem zweiten Kantenabschnitt vorgesehen sind.
  • Entsprechend einer derartigen Ausgestaltung wird eine Strecke eines induzierten Stromes in jeder Bahn in einer Skala, die eine Mehrzahl von Bahnen beinhaltet, durch die Reguliermuster stabilisiert. Im Ergebnis wird der Fließweg des induzierten Stromes weniger durch die Kantenabschnitte der Skala oder die Muster an einer benachbarten Bahn beeinflusst. Daher wird ein stabiler induzierter Strom für jede Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern erzeugt, und es wird möglich, eine Position des Sensors relativ zu der Skala mit hoher Genauigkeit zu erfassen.
  • In der Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp entsprechend der vorliegenden Erfindung ist wünschenswert, wenn die Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp eine Absolutform-Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp ist, die eine Absolutposition des Sensors relativ zu der Messreferenzlinie auf Grundlage eines Erfassungsergebnisses des induzierten Stromes an der ersten Bahn und eines Erfassungsergebnisses des induzierten Stromes an der zweiten Bahn ausfindigmacht, wobei die Reguliermuster Zwischenreguliermuster beinhalten, die zwischen der ersten Bahn und der zweiten Bahn vorgesehen sind und eine Periode einer Mehrzahl der Zwischenreguliermuster gleich einer Periode der Steuer- bzw. Regelmuster an der ersten Bahn oder der zweiten Bahn, die einen größeren Einfluss auf die Auflösung der Positionserfassung ausübt, ist.
  • Bei einer derartigen Ausgestaltung wird die Fließstrecke eines induzierten Stromes an wenigstens einer von der ersten Bahn und der zweiten Bahn durch die Zwischenreguliermuster stabilisiert, die zwischen der ersten Bahn und der zweiten Bahn vorgesehen sind. Da des Weiteren die Periode der Mehrzahl von Zwischenreguliermustern gleich der Periode der Steuer- bzw. Regelmuster an einer Bahn ist, die einen größeren Einfluss auf die Auflösung bei der Positionserfassung ausübt, wird es möglich, eine verringerte Auflösung bei der Messung der Absolutposition zu verhindern.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnung
  • 1 ist eine schematische Schrägansicht zur exemplarischen Darstellung einer Ausgestaltung einer Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp entsprechend einer Ausführungsform.
  • 2A und 2B sind schematische Planansichten zur exemplarischen Darstellung einer Skala mit Anwendung bei der Ausführungsform.
  • 3A bis 3D sind schematische Planansichten zur exemplarischen Darstellung einer Form und einer Position eines Reguliermusters.
  • 4A und 4B sind schematische Planansichten zur exemplarischen Darstellung einer Skala mit Anwendung bei einer weiteren Abwandlung der Ausführungsform.
  • 5A und 5B sind schematische Planansichten zur exemplarischen Darstellung einer Form und einer Position eines Reguliermusters.
  • 6 ist eine schematische Planansicht zur exemplarischen Darstellung einer Skala mit Anwendung bei einer zweiten Ausführungsform.
  • 7 ist eine schematische Planansicht zur Darstellung einer Abwandlung einer Skala mit Anwendung bei der zweiten Ausführungsform.
  • 8 ist eine schematische Schrägansicht zur Darstellung eines Beispiels einer weiteren Skala.
  • 9A und 9B sind schematische Schrägansichten zur exemplarischen Darstellung einer weiteren Form von Steuer- bzw. Regelmustern und Reguliermustern.
  • 10A und 10B sind schematische Planansichten zur exemplarischen Darstellung einer herkömmlichen Skala.
  • Detailbeschreibung der Ausführungsformen
  • Nachstehend werden Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung anhand der Zeichnung beschrieben. In der Beschreibung und der Zeichnung der vorliegenden Anmeldung werden Elemente, die ähnlich zu vorher anhand der Zeichnung beschriebenen Elementen sind, mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet, und eine Detailbeschreibung derselben wird entsprechend weggelassen.
  • Erste Ausführungsform
  • 1 ist eine schematische Schrägansicht zur exemplarischen Darstellung einer Ausgestaltung einer Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp entsprechend der vorliegenden Ausführungsform.
  • 2A und 2B sind schematische Planansichten zur exemplarischen Darstellung einer Skala mit Anwendung bei der Ausführungsform.
  • Wie in 1 gezeigt ist, beinhaltet eine Positionsmesseinrichtung 100 vom Induktionstyp einen Sensor 1 und eine Skala 2. Die Skala 2 beinhaltet eine Bahn T, die sich entlang einer Messreferenzlinie ML erstreckt, wobei ein erster Kantenabschnitt 251 und ein zweiter Kantenabschnitt 252 auf beiden Seiten der Messreferenzlinie ML befindlich sind.
  • Für den Fall einer länglichen Skala 2, die sich in einer Richtung parallel zu der X-Achse erstreckt, sind der erste Kantenabschnitt 251 und der zweite Kantenabschnitt 252 Abschnitte, die Seitenflächen beinhalten, die sich in Längsrichtung erstrecken. Die Bahn T ist zwischen dem ersten Kantenabschnitt 251 und dem zweiten Kantenabschnitt 252 vorgesehen.
  • In der Positionsmesseinrichtung 100 vom Induktionstyp mit Verwendung der induzierten Ströme wird die Skala 2 durch Bearbeiten (beispielsweise Stanzen oder Ätzen) eines leitfähigen Plattenmaterials gebildet. Als leitfähiges Plattenmaterial wird beispielsweise Kupfer oder rostfreier Stahl verwendet. In diesem Fall wird die mechanische Festigkeit der Skala 2 durch das leitfähige Plattenmaterial selbst gewahrt.
  • Eine Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern 21 ist an der Bahn T der Skala 2 vorgesehen. Die Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern 21 ist in gleichen Abständen entlang der Messreferenzlinie ML vorgesehen. Die Steuer- bzw. Regelmuster 21 sind Muster, die zum Steuern bzw. Regeln des Fließens von induzierten Strömen, die durch die Skala 2 fließen, verwendet werden. Die Steuer- bzw. Regelmuster 21 sind beispielsweise Lochmuster. In einem Fall, in dem die Steuer- bzw. Regelmuster 21 Lochmuster sind, fließt ein induzierter Strom durch die Umgebung des Loches des Steuer- bzw. Regelmusters 21. Es kann das Steuer- bzw. Regelmuster 21 ein einen niedrigen Widerstand aufweisendes Muster sein. Das einen niedrigen Widerstand aufweisende Muster ist ein Muster, bei dem der elektrische Widerstand eines Abschnittes des Steuer- bzw. Regelmusters 21 im Vergleich zu anderen Abschnitten niedrig ist. In einem Fall, in dem das Steuer- bzw. Regelmuster 21 das einen niedrigen Widerstand aufweisende Muster ist, fließt ein induzierter Strom innerhalb des Steuer- bzw. Regelmusters 21.
  • Der Sensor 1 ist dafür vorgesehen, sich entlang der Messreferenzlinie ML relativ zu der Skala 2 bewegen zu können. Eine Erfassungseinheit (nicht dargestellt), die einen induzierten Strom erfasst, der durch die Skala 2 fließt, und eine Antriebsspule (nicht dargestellt), die einen Wechselstrom fließen lässt, sind in dem Sensor 1 vorgesehen. Ein induzierter Strom, der mit einem variierenden Magnetfeld gekoppelt ist, das von der Antriebsspule erzeugt wird, fließt entlang des Steuer- bzw. Regelmusters 21 entgegengesetzt zu dem Sensor 1. Die Erfassungseinheit in dem Sensor 1 erfasst einen induzierten Strom, der entlang des Steuer- bzw. Regelmusters 21 entgegengesetzt zu dem Sensor 1 fließt.
  • Eine Steuer- bzw. Regeleinheit 3 ist mit dem Sensor 1 verbunden. Die Steuer- bzw. Regeleinheit 3 leitet einen Wechselstrom der Antriebsspule in dem Sensor 1 zu. Zusätzlich empfängt die Steuer- bzw. Regeleinheit 3 ein Signal auf Grundlage eines induzierten Stromes mit Erfassung durch die Erfassungseinheit in dem Sensor 1 und führt eine arithmetische Operation aus, um eine Position des Sensors 1 relativ zu der Messreferenzlinie ML zu ermitteln.
  • Die Positionsmesseinrichtung 100 vom Induktionstyp erfasst die Position des Sensors 1 relativ zu der Skala 2 auf Grundlage von Information über den induzierten Strom mit Erfassung durch den Sensor 1. Mit anderen Worten, der Sensor 1 gelangt über die Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern 21, die in gleichen Abständen in einer Reihenfolge angeordnet sind, weshalb sich die Größe des induzierten Stromes, der von dem Sensor 1 erfasst wird, periodisch ändert. Die Steuer- bzw. Regeleinheit 3 kann eine arithmetische Operation durchführen, um die Position des Sensors 1 relativ zu der Messreferenzlinie ML auf Grundlage der periodischen Änderung eines Erfassungssignals des induzierten Stromes mit Ausgabe von dem Sensor 1 zu ermitteln.
  • In der Positionsmesseinrichtung 100 vom Induktionstyp entsprechend der vorliegenden Erfindung sind Reguliermuster 22 an der Skala 2 vorgesehen. Die Reguliermuster 22 sind an beiden Seiten, das heißt zwischen der Bahn T und dem ersten Kantenabschnitt 251 und zwischen der Bahn T und dem zweiten Kantenabschnitt 252, vorgesehen. Die Reguliermuster 22 sind Muster, die den Fließweg von induzierten Strömen, die durch die Skala 2 fließen, regulieren.
  • Wie in 2A gezeigt ist, sind die Reguliermuster 22, die an der Skala 2 vorgesehen sind, beispielsweise Lochmuster. Eine Fläche eines jeden Reguliermusters 22 ist bei Betrachtung in einer Richtung parallel zu der Z-Achse kleiner als eine Fläche eines jeden Steuer- bzw. Regelmusters 21 bei Betrachtung in einer Richtung parallel zu der Z-Achse. Da derartige Regulierrmuster 22 vorgesehen sind, wird der Fließweg des induzierten Stromes i1, der um jedes der Steuer- bzw. Regelmuster 21 fließt, reguliert. Mit anderen Worten, es wird der Versuch für Teile des induzierten Stromes i1, der um das Steuer- bzw. Regelmuster 21 fließt, schwierig, in Richtung des ersten Kantenabschnittes 251 und des zweiten Kantenabschnittes 252 zu fließen, um nach außerhalb des Reguliermusters 22 zu gelangen. Im Ergebnis fließt der induzierte Strom i1 und wird zwischen dem Steuer- bzw. Regelmuster 21 und dem Reguliermuster 22 eingeleitet. Entsprechend wird der Fließweg des induzierten Stromes i1 in Abhängigkeit von jedem Steuer- bzw. Regelmuster 21 stabilisiert.
  • Es ist wünschenswert, wenn das Reguliermuster 22 dafür vorgesehen ist, jedem aus einer Mehrzahl der Steuer- bzw. Regelmuster 21 zu entsprechen. Darüber hinaus ist wünschenswert, wenn die Mehrzahl von Reguliermustern 22 mit derselben Periode wie die Periode λ der Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern 21 parallel zu der X-Achse vorgesehen ist. Im Ergebnis fällt die Periode einer Magnetfeldverteilung, die durch die Reguliermuster 22 erzeugt wird, mit der Periode einer Magnetfeldverteilung, die durch die Steuer- bzw. Regelmuster 21 erzeugt wird, zusammen, und es wird eine Vergleichmäßigung der Magnetfeldverteilung erreicht. Im Ergebnis wird die Genauigkeit der von dem Sensor 1 durchgeführten Erfassung des induzierten Stromes i1 verbessert.
  • Zudem ist wünschenswert, einen Raum zwischen dem Steuer- bzw. Regelmuster 21 und dem Reguliermuster 22 auf der dem ersten Kantenabschnitt 251 zu eigenen Seite gleich einem Raum zwischen dem Steuer- bzw. Regelmuster 21 und dem Reguliermuster 22 auf der dem zweiten Kantenabschnitt 252 zu eigenen Seite zu schaffen. Im Ergebnis wird eine weitere Vergleichmäßigung der Magnetfeldverteilung auf der dem ersten Kantenabschnitt 251 zu eigenen Seite und auf der dem zweiten Kantenabschnitt 252 zu eigenen Seite des Steuer- bzw. Regelmusters 21 erreicht.
  • Sogar dann, wenn ein nicht gleichmäßiger Abschnitt, so beispielsweise eine konkave Form oder eine konvexe Form, an einer Endfläche an dem ersten Kantenabschnitt 251 vorhanden ist, wird die Strecke des induzierten Stromes i1 weniger durch die Form des ersten Kantenabschnittes 251 vermöge der Verwendung der Skala 2 mit den vorgesehenen Reguliermustern 22 beeinflusst.
  • Darüber hinaus sind in der Skala 2 die Reguliermuster 22 auf der dem zweiten Kantenabschnitt 252 zu eigenen Seite wie auch des Steuer- bzw. Regelmusters 21 vorgesehen. Sogar in einem Fall, in dem die Form des Steuer- bzw. Regelmusters 21 auf der dem ersten Kantenabschnitt 251 zu eigenen Seite von der Form des Steuer- bzw. Regelmusters 21 auf der dem zweiten Kantenabschnitt 252 zu eigenen Seite verschieden ist, wird eine Differenz zwischen Strecken des induzierten Stromes i1, der um das Steuer- bzw. Regelmuster 21 fließt, unterdrückt. Im Ergebnis wird die Magnetfeldverteilung, die von dem Steuer- bzw. Regelmuster 21 erzeugt wird, zwischen der dem ersten Kantenabschnitt 251 zu eigenen Seite und der dem zweiten Kantenabschnitt 252 zu eigenen Seite gleichmäßig gemacht, weshalb die Genauigkeit der von dem Sensor 1 durchgeführten Erfassung des induzierten Stromes i1 verbessert wird.
  • Abwandlung der ersten Ausführungsform
  • Eine Skala 2B mit Anwendung bei einer Abwandlung der vorliegenden Ausführungsform ist in 2B dargestellt. In der Skala 2B sind Reguliermuster 22 zwischen der Bahn T und dem ersten Kantenabschnitt 251 vorgesehen. Die Reguliermuster 22 sind nicht zwischen der Bahn T und dem zweiten Kantenabschnitt 252 vorgesehen.
  • In der Skala 2B sind die Reguliermuster 22 zwischen der Bahn T und dem ersten Kantenabschnitt 251 auf diese Weise vorgesehen. Sogar dann, wenn ein nicht gleichmäßiger Abschnitt, so beispielsweise eine konkave Form oder eine konvexe Form, an einer Endfläche auf der dem ersten Kantenabschnitt 251 zu eigenen Seite vorhanden ist, wird die Strecke des induzierten Stromes i1 weniger von der Form der dem ersten Kantenabschnitt 251 zu eigenen Seite beeinflusst, da die Strecke des induzierten Stromes i1 von dem Reguliermuster 22 unterbrochen wird.
  • Auch in der Skala 2B ist wünschenswert, wenn das Reguliermuster 22 zwischen jedem aus der Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern 21 und dem ersten Kantenabschnitt 251 auf dieselbe Weise wie bei der Skala 2 gemäß Darstellung in 2A vorgesehen ist. Darüber hinaus ist wünschenswert, wenn die Mehrzahl von Reguliermustern 22 mit derselben Periode wie die Periode λ der Mehrzahl der Steuer- bzw. Regelmuster 21 parallel zu der X-Achse vorgesehen ist. Im Ergebnis fällt die Periode der Magnetfeldverteilung, die von den Reguliermustern 22 erzeugt wird, mit der Periode der Magnetfeldverteilung, die von den Steuer- bzw. Regelmustern 21 erzeugt wird, zusammen, weshalb eine Vergleichmäßigung der Magnetfeldverteilung erreicht wird. Im Ergebnis wird die Genauigkeit der von dem Sensor 1 durchgeführten Erfassung des induzierten Stromes i1 verbessert.
  • Zudem genügt es in der Skala 2B entsprechend der Abwandlung, die Reguliermuster 22 entweder zwischen der Bahn T und dem ersten Kantenabschnitt 251 oder zwischen der Bahn T und dem zweiten Kantenabschnitt 252 vorzusehen. Mit anderen Worten, es kann, obwohl dies nicht dargestellt ist, eine Ausgestaltung verwendet werden, bei der die Reguliermuster 22 zwischen der Bahn T und dem zweiten Kantenabschnitt 252 vorgesehen sind und die Reguliermuster 22 nicht zwischen der Bahn T und dem ersten Kantenabschnitt 251 vorgesehen sind. Sogar dann, wenn ein nicht gleichmäßiger Abschnitt, so beispielsweise eine konkave Form oder eine konvexe Form, an einer Endfläche auf der dem zweiten Kantenabschnitt 252 zu eigenen Seite in diesem Fall vorhanden ist, wird die Strecke des induzierten Stromes i1 weniger von der Form der dem zweiten Kantenabschnitt 252 zu eigenen Seite beeinflusst, da die Strecke des induzierten Stromes i1 von dem Reguliermuster 22 unterbrochen wird.
  • 3A bis 3D sind schematische Planansichten zur exemplarischen Darstellung der Form und Position der Reguliermuster. In jeder der 3A bis 3D ist eine Beziehung zwischen einem Steuer- bzw. Regelmuster 21 und einem Reguliermuster 22 exemplarisch dargestellt. Dasselbe gilt auch für die Beziehungen zwischen anderen Steuer- bzw. Regelmustern 21 und anderen Reguliermustern 22.
  • In den Beispielen fällt, wie in 3A bis 3C dargestellt ist, eine Mittelachse y1 des Steuer- bzw. Regelmusters 21 parallel zu der Y-Achse mit einer Mittelachse y2 des Reguliermusters 22 parallel zu der Y-Achse zusammen. Dabei zeigt 3A ein Beispiel, bei dem eine Länge des Reguliermusters 22 in einer Richtung parallel zu der X-Achse im Wesentlichen gleich einer Länge des Steuer- bzw. Regelmusters 21 in einer Richtung parallel zu der X-Achse ist. Zudem bezeichnet bei der vorliegenden Ausführungsform „im Wesentlichen” die Zulassung eines Herstellungsfehlers. 3B zeigt ein Beispiel, bei dem eine Länge des Reguliermusters 22 in der Richtung parallel zu der X-Achse kürzer als eine Länge des Steuer- bzw. Regelmusters 21 in der Richtung parallel zu der X-Achse ist. 3C zeigt ein Beispiel, bei dem eine Länge des Reguliermusters 22 in der Richtung parallel zu der X-Achse länger als eine Länge des Steuer- bzw. Regelmusters 21 in der Richtung parallel zu der X-Achse ist.
  • 3D zeigt ein Beispiel, bei dem die Mittelachse y1 des Steuer- bzw. Regelmusters 21 nicht mit der Mittelachse y2 des Reguliermusters 22 zusammenfällt. Mit anderen Worten, bei diesem Beispiel ist die Mittelachse y2 des Reguliermusters 22 mit einem Versatz von der Mittelachse y1 des Steuer- bzw. Regelmusters 21 angeordnet.
  • Bei einem Beispiel sind die Größe und Position des Reguliermusters 22 geeignet in Abhängigkeit von der Magnetfeldverteilung um das Steuer- bzw. Regelmuster 21 ausgewählt. Zudem können in einem Fall, in dem die Reguliermuster 22 sowohl auf der dem ersten Kantenabschnitt 251 zu eigenen Seite wie auch der dem zweiten Kantenabschnitt 252 zu eigenen Seite des Steuer- bzw. Regelmusters 21 vorgesehen sind, Mittelachsen von Reguliermustern 22 auf beiden Seiten parallel zu der Y-Achse zusammenfallen oder können gegebenenfalls auch nicht zusammenfallen.
  • Weitere Abwandlung der ersten Ausführungsform
  • 4A und 4B sind schematische Planansichten zur exemplarischen Darstellung einer Skala mit Anwendung bei einer weiteren Abwandlung der vorliegenden Ausführungsform.
  • In einer Skala 2C sind, wie in 4A dargestellt ist, die Reguliermuster 42 zwischen der Bahn T und dem ersten Kantenabschnitt 251 vorgesehen. In einer Skala 2D sind, wie in 4B dargestellt ist, die Reguliermuster 22 sowohl zwischen der Bahn T und dem ersten Kantenabschnitt 251 wie auch zwischen der Bahn T und dem zweiten Kantenabschnitt 252 vorgesehen. Sowohl in der Skala 2C wie auch der Skala 2D überlappen die Steuer- bzw. Regelmuster 21 und die Reguliermuster 22 bei einer Betrachtung in einer Richtung parallel zu der Y-Achse nicht.
  • In der Skala 2C sind die Reguliermuster 22 zwischen der Bahn T und dem ersten Kantenabschnitt 251 auf diese Weise angeordnet. Sogar dann, wenn ein nicht gleichmäßiger Abschnitt, so beispielsweise eine konkave Form oder eine konvexe Form, an einer Endfläche auf der dem ersten Kantenabschnitt 251 zu eigenen Seite vorgesehen ist, wird die Strecke des induzierten Stromes i1 weniger von der Form der dem ersten Kantenabschnitt 251 zu eigenen Seite beeinflusst, da die Strecke des induzierten Stromes i1 von dem Reguliermuster 22 unterbrochen wird.
  • Darüber hinaus wird sogar in einem Fall, in dem die Form des Steuer- bzw. Regelmusters 21 auf der dem ersten Kantenabschnitt 251 zu eigenen Seite von der Form des Steuer- bzw. Regelmusters 21 auf der dem zweiten Kantenabschnitt 252 zu eigenen Seite verschieden ist, eine Differenz zwischen induzierten Strömen i1, die um das Steuer- bzw. Regelmuster 21 fließen, in der Skala 2D unterdrückt. Im Ergebnis wird die Magnetfeldverteilung, die von dem Steuer- bzw. Regelmuster 21 erzeugt wird, zwischen der dem ersten Kantenabschnitt 251 zu eigenen Seite und der dem zweiten Kantenabschnitt 252 zu eigenen Seite gleichmäßig gemacht, weshalb die Genauigkeit der von dem Sensor 1 durchgeführten Erfassung des induzierten Stromes i1 verbessert wird.
  • 5A und 5B sind schematische Planansichten zur exemplarischen Darstellung der Form und Position der Reguliermuster 22. 5A zeigt ein Beispiel, bei dem das Reguliermuster 22 in einer Mittelposition von zwei benachbarten Steuer- bzw. Regelmustern 21 in einer Richtung parallel zu der X-Achse vorgesehen ist. Mit anderen Worten, werden die Mittelachsen der beiden benachbarten Steuer- bzw. Regelmuster 21 parallel zu der Y-Achse mit y11 und y12 bezeichnet und eine Mittelachse des Reguliermusters 22 parallel zu der Y-Achse mit y21 bezeichnet, so ist ein Abstand x1 zwischen der Mittelachse y11 und der Mittelachse y21 in einer Richtung parallel zu der X-Achse im Wesentlichen gleich einem Abstand x2 zwischen der Mittelachse y12 und der Mittelachse y21.
  • 5B zeigt ein Beispiel, bei dem das Reguliermuster 22 derart vorgesehen ist, dass es zu jedwedem von den zwei benachbarten Steuer- bzw. Regelmustern 21 vorgespannt (biased) ist. Bei dem in 5B gezeigten Beispiel ist ein Abstand x1 zwischen der Mittelachse y11 und der Mittelachse y21 in einer Richtung parallel zu der X-Achse kürzer als ein Abstand x2 zwischen der Mittelachse y12 und der Mittelachse y21. In beiden Beispielen wird eine Auswahl in Abhängigkeit von einer Magnetfeldverteilung um das Steuer- bzw. Regelmuster 21 geeignet durchgeführt.
  • Zweite Ausführungsform
  • Eine zweite Ausführungsform wird nunmehr beschrieben.
  • Die zweite Ausführungsform ist ein Beispiel für eine Absolutform-Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp, die eine Absolutposition des Sensors 1 relativ zu der Messreferenzlinie ML misst.
  • 6 ist eine schematische Planansicht zur exemplarischen Darstellung einer Skala mit Anwendung bei der zweiten Ausführungsform.
  • In einer in 6 dargestellten Skala 2E ist eine Mehrzahl von Bahnen T1 bis T3 parallel vorgesehen. Es ist möglich, die Ergebnisse der Erfassung der induzierten Ströme mit Durchführung unter Verwendung der Mehrzahl von Bahnen T1 bis T3 zu kombinieren und eine Absolutposition des Sensors 1 relativ zu der Messreferenzlinie ML unter Verwendung der Skala 2E zu messen. Zudem ist die Bahn T1 eine Bahn, die einen größeren Einfluss auf die Auflösung der Positionserfassung im Vergleich zu den anderen Bahnen T2 und T3 ausübt.
  • In der Skala 2E ist eine Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern 211 an der Bahn T1 in einer Richtung parallel zu der X-Achse mit einer Periode λ1 vorgesehen. Eine Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern 212 ist an der Bahn T2 in der Richtung parallel zu der X-Achse mit einer Periode λ2 vorgesehen. Eine Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern 213 ist an der Bahn T3 in der Richtung parallel zu der X-Achse mit einer Periode λ3 vorgesehen. Die Perioden λ1, λ2 und λ3 sind voneinander verschieden.
  • In der Skala 2E sind Reguliermuster 221 zwischen der Bahn T1, die am nächsten an dem ersten Kantenabschnitt 251 ist, und dem ersten Kantenabschnitt 251 vorgesehen. Es ist wünschenswert, wenn die Reguliermuster 221 jeweils zwischen der Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern 211 und dem ersten Kantenabschnitt 251 vorgesehen sind. Darüber hinaus ist wünschenswert, wenn die Mehrzahl von Reguliermustern 221 in einer Richtung parallel zu der X-Achse mit derselben Periode λ wie die Periode λ1 der Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern 211 vorgesehen ist.
  • Darüber hinaus sind in der Skala 2E Reguliermuster (Zwischenreguliermuster) 222 vorgesehen. Die Reguliermuster 222 sind zwischen der Bahn T1 und der Bahn T2 vorgesehen. Mit anderen Worten, die Reguliermuster 222 sind in einer entgegengesetzten bzw. gegenüberliegenden Position der Steuer- bzw. Regelmuster 211 an der Bahn T1 in einer Richtung parallel zu der Y-Achse von den Reguliermustern 221 vorgesehen.
  • Es ist wünschenswert, wenn die Reguliermuster 222 jeweils zwischen der Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern 211 und der Bahn T2 vorgesehen sind. Darüber hinaus ist wünschenswert, wenn die Mehrzahl von Reguliermustern 222 in einer Richtung parallel zu der X-Achse mit derselben Periode wie die Periode λ der Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern 211 auf dieselbe Weise wie die Reguliermuster 221 vorgesehen ist.
  • Darüber hinaus ist wünschenswert, wenn in einer Richtung parallel zu der Y-Achse ein Raum zwischen den Steuer- bzw. Regelmustern 211 und den Reguliermustern 221 im Wesentlichen gleich einem Raum zwischen den Steuer- bzw. Regelmustern 211 und den Reguliermustern 222 vorgesehen ist.
  • In der Skala 2E sind die Reguliermuster 221 und 222 auf beiden Seiten der Steuer- bzw. Regelmuster 211 in einer Richtung parallel zu der Y-Achse vorgesehen. Im Ergebnis wird der induzierte Strom i1 weniger von der Form auf der dem ersten Kantenabschnitt 251 zu eigenen Seite und der benachbarten Bahn T2 beeinflusst, und es wird eine Vergleichmäßigung des induzierten Stromes i1 erreicht.
  • Insbesondere sogar dann, wenn ein nicht gleichmäßiger Abschnitt, so beispielsweise eine konkave Form oder eine konvexe Form, an einer Endfläche an dem ersten Kantenabschnitt 251 vorhanden ist, wird die Strecke des induzierten Stromes i1 weniger von der Form der dem ersten Kantenabschnitt 251 zu eigenen Seite beeinflusst, da die Strecke des induzierten Stromes i1 von dem Reguliermuster 221 unterbrochen wird.
  • Darüber hinaus ist es infolge der Reguliermuster 222, die zwischen der Bahn T1 und der Bahn T2 vorgesehen sind, möglich zu unterdrücken, dass der induzierte Strom i1 mit Fluss um das Steuer- bzw. Regelmuster 211 an der Bahn T1 zu der benachbarten Bahn T2 leckt. Im Ergebnis wird eine Magnetfeldverteilung, die von jedem aus der Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern 211 erzeugt wird, gleichmäßig gemacht, und es wird die Genauigkeit der von dem Sensor 1 durchgeführten Erfassung des induzierten Stromes i1 verbessert.
  • Mit Blick auf das Verhältnis einer Länge L des Reguliermusters 221 in der Richtung parallel zu der X-Achse zu einem Raum S zwischen den beiden benachbarten Reguliermustern 221 wird der Effekt der Unterbrechung der Strecke des induzierten Stromes i1 höher, wenn die Länge L länger wird. Wird demgegenüber die Länge L länger, so wird die mechanische Festigkeit der Skala 2E niedrig. Mit Blick auf den Effekt der Unterbrechung der Strecke des induzierten Stromes i1 und der mechanischen Festigkeit wird daher das Verhältnis der Länge L zu dem Raum S geeignet gewählt.
  • 7 ist eine schematische Planansicht zur Darstellung eine Abwandlung einer Skala mit Anwendung bei der zweiten Ausführungsform.
  • In der in 7 dargestellten Skala 2F sind die Reguliermuster 221 zwischen der Bahn T1, die am nächsten an dem ersten Kantenabschnitt 251 befindlich ist, und dem ersten Kantenabschnitt 251 vorgesehen. In der Skala 2F sind die Reguliermuster (Zwischenreguliermuster) 222 im Gegensatz zu der in 6 gezeigten Skala 2E nicht vorgesehen.
  • In der Skala 2F sind die Reguliermuster 221 zwischen der Bahn T1 und dem ersten Kantenabschnitt 251 vorgesehen. Sogar dann, wenn ein nicht gleichmäßiger Abschnitt, so beispielsweise eine konkave Form oder eine konvexe Form, an einer Endfläche an dem ersten Kantenabschnitt 251 vorgesehen ist, wird die Strecke des induzierten Stromes i1 weniger von der Form der dem ersten Kantenabschnitt 251 zu eigenen Seite beeinflusst, da die Strecke des induzierten Stromes i1 von dem Reguliermuster 221 unterbrochen wird.
  • Zudem ist in der in 6 dargestellten Skala 2E ein Beispiel beschrieben worden, bei dem die Reguliermuster 221 und 222 für die Steuer- bzw. Regelmuster 211 an der Bahn T1 vorgesehen sind. Ähnliche Reguliermuster 221 und 222 können für die Steuer- bzw. Regelmuster 212 und 213 bezugsrichtig an den anderen Bahnen T2 und T3 vorgesehen sein. In diesem Fall können die Reguliermuster 222, die zwischen zwei benachbarten Bahnen vorgesehen sind, von beiden Bahnen verwendet werden. In einem Fall, in dem die Reguliermuster 222 von beiden Bahnen verwendet werden, ist wünschenswert, wenn die Periode der Reguliermuster 222 entsprechend der Periode der Steuer- bzw. Regelmuster an einer Bahn, die einen großen Einflusses auf die Auflösung der Positionserfassung ausübt, oder entsprechend der Periode (der Periode) der Steuer- bzw. Regelmuster an einer Bahn, für die eine Magnetfeldverteilung wünschenswerterweise gleichmäßiger gemacht werden soll, gewählt.
  • Darüber hinaus können bei den in 6 und 7 dargestellten Skalen 2E beziehungsweise 2F die Reguliermuster 221 und 222 an beiden Seiten eines jeden der Steuer- bzw. Regelmuster 211, 212 und 213 bezugsrichtig an allen Bahnen T1 bis T3 vorgesehen sein.
  • Darüber hinaus ist bei den in 6 und 7 dargestellten Skalen 2E beziehungsweise 2F ein Beispiel beschrieben worden, bei dem die Steuer- bzw. Regelmuster 211 und die Reguliermuster 221 und 222 bei einer Betrachtung in einer Richtung parallel zu der Y-Achse überlappen. Wie in 4A und 4B sowie in 5A und 5B gezeigt ist, überlappen die Steuer- bzw. Regelmuster 211 und die Reguliermuster 221 und 222 bei einer Betrachtung in einer Richtung parallel zu der Y-Achse gegebenenfalls jedoch auch nicht.
  • Weitere Abwandlungen
  • Bei den vorbeschriebenen Ausführungsformen sind bandförmige Skalen, die durch Stanzen oder Ätzen eines leitfähigen Plattenmaterials hergestellt werden, wie die Skalen 2, 2A bis 2F, exemplarisch dargestellt wurden. Wie in der schematischen Schrägansicht von 8 dargestellt ist, kann jedoch eine Skala 2G auch an einer Oberfläche eines isolierten Substrates (beispielsweise eines Glassubstrates) 20 ausgebildet werden.
  • Steuer- bzw. Regelmuster 21 und Reguliermuster 22 an der Skala 2G werden durch Bedecken der Oberfläche des Substrates 20 mit einer Kupferfolie und sodann durch Öffnen von Aperturen durch Ätzen oder dergleichen gebildet.
  • Des Weiteren sind bei den vorbeschriebenen Ausführungsformen hauptsächlich Beispiele beschrieben worden, bei denen die Steuer- bzw. Regelmuster 21 und die Reguliermuster 22 Lochmuster sind. Die Steuer- bzw. Regelmuster 21 und die Reguliermuster 22 können jedoch auch andere Lochmuster sein.
  • 9A und 9B sind schematische Schrägansichten zur exemplarischen Darstellung einer weiteren Form der Steuer- bzw. Regelmuster und der Reguliermuster.
  • Die Steuer- bzw. Regelmuster 21 und die Reguliermuster 22 sind, wie in 9A dargestellt ist, derart ausgebildet, dass sie von der Materialoberfläche einer Skala 2 aus konvex werden. Die Steuer- bzw. Regelmuster 21 und die Reguliermuster 22 gemäß Darstellung in 9B sind derart ausgebildet, dass sie von der Materialoberfläche der Skala 2 aus konkav werden. Auf diese Weise genügt es, wenn die Steuer- bzw. Regelmuster 21 und die Reguliermuster 22 in der Skala 2 derart vorgesehen werden, dass sie hinsichtlich des Widerstandes der induzierten Ströme von anderen Abschnitten verschieden sind.
  • Des Weiteren ist die Form der Steuer- bzw. Regelmuster 21 und der Reguliermuster 92 bei einer Betrachtung in einer Richtung parallel zu der Z-Achse nicht auf die dargestellte Form beschränkt, sondern es kann auch eine geeignete andere Form, so beispielsweise Vieleck, Kreis, Ellipse oder eine längliche Form, neben einer viereckigen oder rechteckigen Form verwendet werden.
  • Darüber hinaus ist bei den vorbeschriebenen Ausführungsformen ein Beispiel beschrieben worden, bei dem die Periode einer Mehrzahl von Reguliermustern 22 zusammenfallend mit der Periode einer Mehrzahl der Steuer- bzw. Regelmuster 21 gemacht worden ist. Die Perioden können jedoch gegebenenfalls auch nicht zusammenfallen.
  • Bei der Positionsmesseinrichtung 100 vom Induktionstyp entsprechend den Ausführungsformen wird ein Fluss eines induzierten Stromes an einer Skala mit einem periodisch ausgebildeten Muster weniger von einem Kantenabschnitt der Skala oder einem benachbarten Muster beeinflusst, wodurch es möglich wird, Positionsmessungen mit hoher Genauigkeit durchzuführen.
  • Es sind Ausführungsformen und verschiedene Beispiele beschrieben worden. Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf diese Beispiele beschränkt. In einem Fall beispielsweise, in dem ein Fachmann auf dem einschlägigen Gebiet eine Hinzufügung oder Weglassung von Komponenten oder eine Designänderung an den Ausführungsformen oder verschiedenen Beispielen gemäß vorstehender Beschreibung vornimmt oder auf geeignete Weise Merkmale der Ausführungsformen oder der verschiedenen Beispiele kombiniert, sind die Ergebnisse im Umfang der vorliegenden Erfindung beinhaltet, solange die Ergebnisse nicht vom Wesen der vorliegenden Erfindung abweichen.
  • Gewerbliche Anwendbarkeit
  • Die vorliegende Erfindung kann für Drehkodierer wie auch für Linearkodierer verwendet werden. Darüber hinaus kann die vorliegende Erfindung bei Kodierern sowohl vom Absoluttyp wie auch vom Inkrementtyp eingesetzt werden.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 11-223505 A [0004]
    • JP 2004-003975 A [0004]

Claims (6)

  1. Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp, umfassend: eine Skala, die eine Bahn, einen ersten Kantenabschnitt und einen zweiten Kantenabschnitt beinhaltet, wobei die Bahn eine Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern beinhaltet, die in gleichen Abständen entlang einer Messreferenzlinie vorgesehen sind, um einen Fluss eines induzierten Stromes zu steuern bzw. zu regeln, wobei sich der erste Kantenabschnitt und der zweite Kantenabschnitt an beiden Seiten der Messreferenzlinie befinden; und einen Sensor, der dafür vorgesehen ist, sich relativ zu der Skala entlang der Messreferenzlinie bewegen zu können, um den induzierten Strom zu erfassen, wobei die Skala Reguliermuster beinhaltet, die wenigstens zwischen der Bahn und dem ersten Kantenabschnitt oder zwischen der Bahn und dem zweiten Kantenabschnitt vorgesehen sind, um den Fluss des induzierten Stromes zu regulieren.
  2. Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp nach Anspruch 1, wobei die Reguliermuster sowohl zwischen der Bahn und dem ersten Kantenabschnitt wie auch zwischen der Bahn und dem zweiten Kantenabschnitt vorgesehen sind.
  3. Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp nach Anspruch 1, wobei eine Periode einer Mehrzahl der Reguliermuster gleich einer Periode der Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern ist.
  4. Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp nach Anspruch 2, wobei eine Periode einer Mehrzahl der Reguliermuster gleich einer Periode der Mehrzahl von Steuer- bzw. Regelmustern ist.
  5. Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp nach Anspruch 1, wobei die Bahn umfasst: eine erste Bahn, die eine Mehrzahl von ersten Steuer- bzw. Regelmustern beinhaltet, die mit einer ersten Periode entlang der Messreferenzlinie vorgesehen sind; und eine zweite Bahn, die parallel zu der ersten Bahn vorgesehen ist und eine Mehrzahl von zweiten Steuer- bzw. Regelmustern beinhaltet, die mit einer von der ersten Periode verschiedenen zweiten Periode entlang der Messreferenzlinie vorgesehen sind, und die Reguliermuster wenigstens zwischen der ersten Bahn und dem ersten Kantenabschnitt, zwischen der ersten Bahn und der zweiten Bahn oder zwischen der zweiten Bahn und dem zweiten Kantenabschnitt vorgesehen sind.
  6. Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp nach Anspruch 5, wobei: die Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp eine Absolutform-Positionsmesseinrichtung vom Induktionstyp ist, die eine Absolutposition des Sensors relativ zu der Messreferenzlinie auf Grundlage eines Erfassungsergebnisses des induzierten Stromes an der ersten Bahn und eines Erfassungsergebnisses des induzierten Stromes an der zweiten Bahn ausfindig macht, die Reguliermuster Zwischenreguliermuster beinhalten, die zwischen der ersten Bahn und der zweiten Bahn vorgesehen sind, und eine Periode einer Mehrzahl der Zwischenreguliermuster gleich einer Periode von Steuer- bzw. Regelmustern an der ersten Bahn oder der zweiten Bahn ist, die größeren Einfluss auf die Auflösung der Positionserfassung ausübt.
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