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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren für eine spektral aufgelöste Vermessung eines Objekts gemäß den Oberbegriffen der Ansprüche 1 und 11.
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Zur spektral aufgelösten Charakterisierung von Objekten, insbesondere von Photosensoren oder photovoltaischen Solarzellen wird typischerweise das Objekt mit Strahlung unterschiedlicher Wellenlängen beaufschlagt und für jede Wellenlänge separat eine Messung durchgeführt.
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Typische Messverfahren sehen hierbei vor, sequentiell Strahlung mit nur einer Wellenlänge bzw. in einem engen Frequenzbereich auf das zu vermessende Objekt zu leiten und die gewünschte Messung durchzuführen. Solche Messverfahren haben den Nachteil, dass für eine Vielzahl von separaten Wellenlängen, an welchen eine Messung durchgeführt werden soll, eine erhebliche Gesamtmessdauer notwendig ist. So sind bei photovoltaischen Solarzellen Messverfahren zur Bestimmung der externen Quanteneffizienz (EQE) bekannt, bei welchen die Solarzelle zeitlich aufeinanderfolgend mit unterschiedlichen Wellenlängen typischerweise im Bereich von 250 nm bis 2.5 μm beaufschlagt wird. Solche Messverfahren nehmen typischerweise jedoch mindestens 20 Minuten Gesamtmessdauer in Anspruch.
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Aus
DE 699 30 411 T2 ist es bekannt, unterschiedlich modulierte Spektralbänder in einem Messstrahl zur Erfassung fluoreszierender Stoffe in einer Probe
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Um die Qualität des Messsignals zu erhöhen, ist es bekannt, den Messstrahl mit einer Modulationsfrequenz zu modulieren und das Messsignal hinsichtlich der Modulationsfrequenz in an sich bekannter Weise zu filtern, beispielsweise mittels eines Bandpassfilters oder Fourier-Transformation. Ein solcher Aufbau ist beispielweise in
US 8,436,630 B2 beschrieben.
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Es ist weiterhin bekannt, die Strahlung mittels einer breitbandigen Lichtquelle, insbesondere einer Halogenlampe oder Xenonlampe, zu erzeugen und über eine optische Zerlegeeinheit wie beispielsweise einen Gittermonochromator einen Messstrahl mit der jeweils gewünschten Wellenlänge zu erzeugen. Ebenso ist der Einsatz einer Mikrospiegeleinheit zur Beeinflussung des Spektrums des Messstrahls aus
US 8,436,630 B2 bekannt.
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Zur Beschleunigung solcher spektral aufgelöster Messungen ist aus
US 8,299,416 B2 bekannt, Licht mehrerer schmalbandiger Leuchtdioden mit unterschiedlichen Wellenlängen gleichzeitig auf das Messobjekt zu leiten, wobei jede Wellenlänge mit einer speziellen Frequenz moduliert wird, so dass aus dem Gesamtmesssignal über entsprechende Bandpassfilter das Messsignal für jede Wellenlänge separiert werden kann. Hierdurch kann somit gleichzeitig, d. h. ohne sequentielle hintereinandergeschaltete Messung der verschiedenen Wellenlängen eine spektral aufgelöste Messung erfolgen, wodurch sich die Gesamtmessdauer erheblich verringert.
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Nachteilig hierbei ist, dass die Emission der Leuchtdioden mit steigender Wellenlänge immer breitbandiger wird und somit die spektrale Auflösung mit steigender Wellenlänge sinkt. Darüber hinaus sinkt die Effizienz von Leuchtdioden insbesondere für Wellenlängen über 1000 nm ab, so dass nur ein begrenztes Spektrum mit dieser Methode vermessen werden kann.
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Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die vorbekannten Vorrichtungen und Verfahren zur spektral aufgelösten Vermessung eines Objekts zu verbessern, um über einen größeren Frequenzbereich eine spektralaufgelöste Vermessung mit verringerter Gesamtmessdauer zu ermöglichen.
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Gelöst ist diese Aufgabe durch eine Vorrichtung gemäß Anspruch 1 sowie ein Verfahren gemäß Anspruch 11, Bevorzugte Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Vorrichtung finden sich in den Ansprüchen 2 bis 10 und des erfindungsgemäßen Verfahrens in den Ansprüchen 12 bis 15. Hiermit wird der Wortlaut sämtlicher Ansprüche explizit per Referenz in die Beschreibung einbezogen.
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Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist vorzugsweise zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens, insbesondere einer bevorzugten Ausführungsform hiervon, ausgebildet. Das erfindungsgemäße Verfahren ist vorzugsweise zur Durchführung mittels der erfindungsgemäßen Vorrichtung, insbesondere einer bevorzugten Ausführungsform hiervon ausgebildet.
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Die erfindungsgemäße Vorrichtung für eine spektral aufgelöste Vermessung eines Objekts weist eine Lichtquelle zum Erzeugen eines breitbandigen Ausgangsstrahls auf, sowie eine optische Zerlegeeinheit zum spektralen Zerlegen des Ausgangsstrahls in mindestens einen ersten und einen zweiten Spektralteilstrahl, eine Lichtmodulatoreinheit zur Modulation des ersten und zweiten Spektralteilstrahls und eine optische Zusammenführeinheit zum Zusammenführen der modulierten Spektralteilstrahlen zu einem Messstrahl.
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Wesentlich ist, dass die Lichtmodulatoreinheit dazu ausgebildet ist, den ersten Spektralteilstrahl mit einer ersten Modulationsart und den zweiten Spektralteilstrahl mit einer zweiten Modulationsart zu modulieren, wobei erste und zweite Modulationsart unterschiedlich sind. Die Messeinheit ist entsprechend ausgebildet, erste Messsignale, welche mit der ersten Modulationsart moduliert sind und zweite Messsignale, welche mit der zweiten Modulationsart moduliert sind, zu separieren.
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Die Erfindung ist in der Erkenntnis begründet, dass die Kombination einer breitbandigen Lichtquelle mit einer Lichtmodulatoreinheit, welche dazu verwendet wird, verschiede Spektralteilstrahlen mit unterschiedlichen Modulationsarten zu modulieren, erhebliche Vorteile gegenüber vorbekannten Vorrichtungen zur spektralaufgelösten Vermessung von Objekten bietet: Die Verwendung einer breitbandigen Lichtquelle ermöglicht die Vermessung über ein breites Spektrum, da insbesondere an sich bekannte Xenonlampen oder Halogenlampen eingesetzt werden können, welche ein erheblich breiteres Spektrum abdecken, verglichen mit handelsüblich erhältlichen Leuchtdioden.
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Weiterhin wird durch die gleichzeitige Beaufschlagung des Objekts mit mindestens zwei unterschiedlich modulierten Teilspektren die Messzeit gegenüber vorbekannten Vorrichtungen mit Xenon- oder Halogenlampen erheblich verkürzt.
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Darüber hinaus ist die erfindungsgemäße Vorrichtung gegenüber vorbekannten Vorrichtungen mit durchstimmbaren Lichtquellen wie beispielsweise durchstimmbaren Lasern erheblich kostengünstiger herstellbar.
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Das erfindungsgemäße Verfahren zur spektral aufgelösten Vermessung eines Objekts umfasst folgende Verfahrensschritte:
In einem Verfahrensschritt A erfolgt ein Erzeugen eines breitbandigen Ausgangsstrahls und ein spektrales Zerlegen des Ausgangsstrahls in mindestens einen ersten und einen zweiten Spektralteilstrahl. In einem Verfahrensschritt B erfolgt die Modulation des ersten und zweiten Spektralteilstrahls mittels einer Lichtmodulatoreinheit. In einem Verfahrensschritt C erfolgt ein Zusammenführen des ersten und zweiten Spektralteilstrahls zu einem Messstrahl. In einem Verfahrensschritt D erfolgt ein Beaufschlagen des Objekts mit dem Messstrahl und in einem Verfahrensschritt E erfolgt ein Messen eines Messsignals des Objekts.
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Wesentlich ist nun, dass in Verfahrensschritt B der erste Spektralteil mit einer ersten Modulationsart und der zweite Spektralteil mit einer zweiten Modulationsart moduliert werden, wobei erste und zweite Modulationsart unterschiedlich sind. Weiterhin wird in Verfahrensschritt E das Messsignal bearbeitet, indem erste Messsignale, welche mit der ersten Modulationsart moduliert sind und zweite Messsignale, welche mit der zweiten Modulationsart moduliert sind, separiert werden.
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Vorzugsweise erfolgt die Modulation durch eine Frequenzmodulation, indem der erste Spektralteil mit einer ersten Modulationfrequenz und der zweite Spektralteil mit einer zweiten Modulationsfrequenz moduliert werden, wobei erste und zweite Modulationsfrequenz unterschiedlich sind. Hierdurch ergibt sich der Vorteil, dass mehrere Spektralanteile mit Frequenzen beliebiger Phase moduliert werden können.
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In einer weiteren vorzugsweisen Ausführungsform erfolgt die Modulation durch eine Phasenmodulation, indem der erste Spektralteil mit einer ersten Phasenänderung und der zweite Spektralteil mit einer zweiten Phasenänderung moduliert werden, wobei erste und zweite Phasenänderung unterschiedlich sind. Hierdurch ergibt sich der Vorteil, dass mehrere Spektralteile mit gleicher Modulationsfrequenz über deren Phasenversatz aufgelöst werden können. Insbesondere wird bevorzugt der erste Spektralteil zu einer ersten Phase und der zweite Spektralteil zu einer zweiten Phase moduliert, wobei erste und zweite Phase unterschiedliche sind. Die Phasen unterscheiden sich hierbei hinsichtlich ihrer Phasenorientierung.
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Ebenso liegt es im Rahmen der Erfindung, sowohl die Frequenz, als auch die Phase der Spektralteile zu modulieren. Hierdurch ergibt sich der Vorteil, dass trotz physikalischer Begrenzungen des nutzbaren Frequenzraums, wie beispielsweise der Reaktionsträgheit des zu charakterisierenden Objekts, über den Phasenraum eine weitere Modulationsdiversifizierung zu ermöglichen.
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Das erfindungsgemäße Verfahren weist somit die bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung bereits genannten Vorteile auf, insbesondere, da durch die Verwendung eines breitbandigen Ausgangsstrahls, welcher bevorzugt mittels einer breitbandigen Lichtquelle wie insbesondere einer Xenonlampe oder Halogenlampe erzeugt wird, ein breites Spektrum abgedeckt werden kann und eine gleichzeitige Beaufschlagung des Objekts mit dem erstem und dem zweiten Spektralanteil erfolgt.
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Es ist somit auch bei dem erfindungsgemäßen Verfahren keine sequentielle Messung zuerst mit dem ersten Spektralanteil und anschließend mit dem zweiten Spektralanteil notwendig, da trotz der gleichzeitigen Messung aufgrund der unterschiedlichen Modulationsarten erste Messsignale, welche insbesondere durch Beaufschlagung mit dem ersten Spektralanteil begründet sind und zweite Messsignale, welche insbesondere durch Beaufschlagung mit dem zweiten Spektralanteil begründet sind, separiert werden können.
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Erster und zweiter Spektralteilstrahl unterscheiden sich hinsichtlich ihrer spektralen Zusammensetzung. Die Spektralstrahlen weisen vorzugsweise nur einen geringen Wellenlängenbereich (d. h. nur eine geringe Frequenzbreite) auf, insbesondere besitzt jeder Teilstrahl bevorzugt eine spektrale Halbwertsbreite gleich der minimalen Halbwertsbreite, bevorzugt kleiner der minimalen Halbwertsbreite der zu untersuchenden spektralen Eigenschaften des Objekts. Entsprechende Halbwertsbreiten liegen vorzugsweise im Bereich 100 nm bis 0.1 nm.
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Um eine möglichst umfangreiche Charakterisierung zu ermöglichen, wird der Ausgangsstrahl vorzugsweise in eine Vielzahl von Spektralteilstrahlen zerlegt, bevorzugt mindestens zehn Spektralteilstrahlen, insbesondere mindestens 20 Spektralteilstrahlen, insbesondere bevorzugt im Bereich 20 bis 50 Spektralteilstrahlen, und entsprechend erfolgt eine Separierung der Messsignale für jeden der Spektrafsteilstrahlen.
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Vorzugsweise überlappen die Spektralteilstrahlen einander hinsichtlich der Wellenlängen nicht, d. h. jede Wellenlänge ist maximal einem Spektralteilstrahl zugeordnet. Ebenso liegt es im Rahmen der Erfindung, dass eine geringfügige Überlappung der Teilspektren der Spektralteilstrahlen vorliegt.
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Die Zerlegeeinheit dient zum spektralen Zerlegen des Ausgangsstrahls. Sie kann beispielsweise ein optisches Prisma umfassen. Insbesondere ist es vorteilhaft, dass die Zerlegeeinheit ein optisches Gitter umfasst. Ein optisches Gitter weist den Vorteil auf, dass die Dispersion des spektral zerlegten Lichts linear ist. Aufgrund dieser Linearität wird eine einfacher mechanische Justage der Gitters gegenüber eines Prismas, bei dem die Dispersion nicht-linear erfolgt, ermöglicht. Darüber hinaus ist ein Gitter im Vergleich zu einem Prisma kostengünstiger.
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Insbesondere ist es vorteilhaft, dass das optische Gitter und die Lichtmodulatoreinheit derart zusammenwirkend ausgebildet und angeordnet sind, dass der mittels des optischen Gitters spektral zerlegte Ausgangsstrahl auf die Lichtmodulatoreinheit trifft und die zumindest zwei modulierten Spektralteilstrahlen wieder auf dieses Gitter auftreffen. Hierdurch ergibt sich der Vorteil, dass lediglich ein optisches Gitter verwendet werden muss.
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In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform weist die Zerlegeeinheit zumindest ein erstes und ein zweites optisches Gitter auf, welche derart mit der Lichtmodulatoreinheit zusammenwirkend ausgebildet und angeordnet sind, dass der mittels des ersten Gitters spektral zerlegte Ausgangsstrahl auf die Lichtmodulatoreinheit trifft und die zumindest zwei modulierten Spektralteilstrahlen auf das zweite Gitter auftreffen.
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Vorzugsweise weist die Zerlegeeinheit einen Kollimator und ein dispersives Element auf, um den Ausgangsstrahl kollimiert auf das dispersive Element abzubilden. Hierdurch ergibt sich ein vereinfachter geometrischer Aufbau. Insbesondere ist es hierbei vorteilhaft, dass der Kollimator einen konkaven Spiegel, bevorzugt einen Parabolspiegel umfasst. Solche Spiegel können kostengünstig handelsüblich erworben werden.
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Wie bereits zuvor ausgeführt, sind Zerlegeeinheit und Lichtmodulatoreinheit bevorzugt derart zusammenwirkend ausgebildet, dass mindestens zehn, bevorzugt mindestens 20, weiter bevorzugt mindestens 80, insbesondere mindestens 100 Spektralteilstrahlen mit unterschiedlichen Modulationsarten modulierbar sind. Auf diese Weise kann gleichzeitig eine spektral hochaufgelöste Messung vorgenommen werden. Insbesondere ist es hierbei vorteilhaft, dass die Modulationsarten paarweise verschieden sind.
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Bei Modulierung mittels einer Modulationsfrequenz kann das Separieren der Messsignale abhängig von der jeweiligen Modulationsfrequenz kann in an sich bekannter Weise erfolgen:
So liegt es im Rahmen der Erfindung, dass die Messeinheit zumindest einen ersten Bandpassfilter für die erste Modulationsfrequenz umfasst. Vorteilhafterweise weist die Messeinheit zusätzlich einen zweiten Bandpassfilter für die zweite Modulationsfrequenz auf, so dass das Separieren der Messsignale mittels der Bandpassfilter erfolgt.
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In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform erfolgt das Separieren der Messsignale mittels einer Fouriertransformation, insbesondere bevorzugt mittels einer Fast-Fouriertransformation (FFT). Die Messeinheit ist daher vorzugsweise zur Durchführung einer Fouriertransformation, insbesondere FFT, der Messsignale ausgebildet.
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Bei Modulierung mittels einer Phasenmodulation kann das Separieren der Messsignale abhängig von der jeweiligen Modulationsfrequenz in an sich bekannter Weise erfolgen: Es werden bevorzugt an sich bekannte Phasenfilter vorgesehen, so dass separat einerseits nur Anteile des Messstrahls mit der ersten Phase und andererseits nur Anteile des Messstrahls mit der zweiten Phase ausgewertet werden.
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Die erfindungsgemäße Vorrichtung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist zur spektral aufgelösten Vermessung eines Objekts geeignet, insbesondere von photoelektrischen Objekten wie beispielsweise Lichtsensoren. Insbesondere sind die erfindungsgemäße Vorrichtung und das erfindungsgemäße Verfahren zur spektral aufgelösten Vermessung einer photovoltaischen Solarzelle geeignet, insbesondere zur Bestimmung der externen und/oder internen Quanteneffizienz einer photovotalischen Solarzelle.
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Der grundsätzliche Aufbau einer Vorrichtung zur Bestimmung der Quanteneffizient und zur Durchführung eines entsprechenden Messverfahrens ist an sich bekannt, insbesondere aus M. A. Green, ”Solar Cells – Operating Principles, Technology and System Applications”, Prentice-Hall, Inc, (spectral response: pp 98–100, Bernhard Fischer, „Lass Analysis of crystalline Silicon solar cells using photoconductance and quantum efficiency measurements”, Dissertation, Universität Konstanz, 2003, S. 39–46 und Carsten Hampe, ”Untersuchung influenzierter und diffundierter pn-Übergänge von Terrestrik- und Thermophotovoltaik-Siliciumsolarzellen”, VDI-Verlag, VDI Reihe 9 Nr. 352 (2002), pp. 56–60. Vorzugsweise sind das erfindungsgemäße Verfahren und die erfindungsgemäße Vorrichtung analog zu den in einer oder mehrere der hier zitierten Quellen ausgebildet, wobei die Lichtmodulatoreinheit wie zuvor beschrieben ausgebildet ist, bzw. die Lichtmodulation wie zuvor beschrieben erfolgt.
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Aufgrund der hohen Messgeschwindigkeit sind die erfindungsgemäße Vorrichtung und das erfindungsgemäße Verfahren insbesondere zur Verwendung innerhalb einer Prozesslinie bei der Herstellung der Solarzelle zur routinemäßigen Charakterisierung geeignet.
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Weitere bevorzugte Ausführungsformen und bevorzugte Merkmale werden im Folgenden anhand der Figuren und Ausführungsbeispielen beschrieben. Dabei zeigt:
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1: ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, bei welchem die Zerlegeeinheit ein optisches Gitter umfasst und
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2: ein zweites Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung, bei welchem die Zerlegeeinheit zwei optische Gitter umfasst.
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Die erfindungsgemäße Vorrichtung gemäß 1 dient zur spektral aufgelösten Vermessung, insbesondere Bestimmung der externen Quanteneffizienz einer photovoltaischen Solarzelle S. Die Vorrichtung weist eine als Xenonlampe ausgebildete Lichtquelle L auf. Der von der Lichtquelle L erzeugte Ausgangsstrahl 5 wird in ein Gehäuse G eingekoppelt, in welchem Gehäuse G eine optische Zerlegeeinheit und eine optische Lichtmodulatoreinheit angeordnet sind.
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Die optische Zerlegeeinheit dient zum spektralen Zerlegen des Ausgangsstrahls 5 und weist konkave Parabolspiegel 3 sowie ein optisches Gitter 2 auf. Der Ausgangsstrahl 5 trifft zunächst auf einen ersten Parabolspiegel 3, welcher als Kollimator dient, so dass der Ausgangsstrahl im Wesentlichen parallelisiert auf das optische Gitter 2 auftrifft. Das optische Gitter 2 ist derart ausgebildet, dass eine spektrale Zerlegung des Ausgangsstrahls erfolgt. Über einen zweiten Parabolspiegel wird der spektral zerlegte Ausgangsstrahl auf eine als Mikrospiegeleinheit 4 ausgebildete Lichtmodulatoreinheit abgebildet.
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Mittels der Mikrospiegeleinheit 4 erfolgt eine Modulation mit einer Modulationsfrequenz und Modulationsphase, wobei unterschiedliche Mikrospiegel jeweils mit einer unterschiedlichen Frequenz moduliert werden, so dass Strahlteiler, welcher an unterschiedlichen Orten auf die Mikrospiegeleinheit 4 auftreffen entsprechend mit unterschiedlichen Modulationsfrequenzen moduliert werden, Hierdurch werden in einfacher Weise die mittels des optischen Gitters 2 erzeugten Spektralteilstrahlen jeweils eine unterschiedliche Modulationsarten zugeordnet.
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Die an der Mikrospiegeleinheit 4 reflektierten und modulierten Spektralteilstrahlen werden wieder über den zweiten Parabolspiegel 3 auf das optische Gitter 2 abgebildet und hierdurch zu einem Strahl zusammengefasst, welcher wiederrum über den ersten Parabolspiegel 3 und einen Umlenkspiegel U, welcher als planarer Spiegel ausgebildet ist zu einem Messstrahlausgang geleitet, so dass der Messstrahl 6 auf die Solarzelle S trifft.
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Das zweite Ausführungsbeispiel gemäß 2 weist einen grundsätzlich zu dem ersten Ausführungsbeispiel vergleichbaren Aufbau auf. Im Folgenden soll zur Vermeidung von Wiederholungen daher nur auf die wesentlichen Unterschiede eingegangen werden. Gleiche Bezugszeichen in 1 und 2 bezeichnen gleiche oder gleichwirkende Elemente.
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Im Gegensatz zu dem ersten Ausführungsbeispiel weist das in 2 dargestellte zweite Ausführungsbeispiel zwei optische Gitter 2A und 2B auf. Der mittels der Lichtquelle L erzeugte Ausgangsstrahl 5 wird über einen ersten Parabolspiegel 3A auf das erste optische Gitter 2A kollimiert und dort wie zuvor beschrieben spektral zerlegt sowie über einen zweiten Parabolspiegel 3B auf die als Mikrospiegeleinheit 4 ausgebildete Lichtmodulatoreinheit abgebildet. Mittels der Mikrospiegeleinheit 4 erfolgt wie zuvor beschrieben eine Modulation der Spektralteilstrahlen mit unterschiedlichen Modulationsfrequenzen. Die an der Mikrospiegeleinheit 4 reflektierten und frequenzmodulierten Spektralteilstrahlen werden jedoch über einen weiteren Parabolspiegel 3C auf ein zweites optisches Gitter 2B abgebildet, mittels diesen zu einem Strahl zusammengeführt und über einen vierten Parabolspiegel 3D auf einen Umlenkspiegel U abgelenkt um schließlich als Messstrahl 6 auf die zu vermessende Solarzelle S aufzutreffen.
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Der wesentliche Unterschied bei der Verwendung von einem optischen Gitter gemäß erstem Ausführungsbeispiel oder zwei optischen Gittern gemäß zweitem Ausführungsbeispiel liegt darin, dass bei der Ausführung mit einem Gitter der -Kostenfaktor zur Ein- und Auskopplung sowie der spektralen Zerlegung des Messstrahls um die Hälfte reduziert wird. Dagegen wird bei der der Ausführung mittels zweier optischer Gitter eine einfachere und unabhängige Justage des einfallenden und austretenden Messstrahls ermöglicht.
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In Figur zwei ist weiterhin ersichtlich, dass mittels des ersten optische Gitters 2A der Eingangsstrahl 5 in mehrere Spektralteilstrahlen (zur einfacheren Darstellbarkeit sind lediglich zwei dargestellt) aufgeteilt wird, welche unterschiedliche Flächenbereiche des zweiten Parabolspiegels 3B abdecken: Ein erster Spektralteilstrahl deckt den Flächenbereich F1 und einer zweiter Spektralteilstrahl den Flächenbereich F2 ab. Hierdurch wird der erste Spektralteilstrahl auf einen Punkt P1 und somit einen ersten Mikrospiegel auf der Mikrospiegeleinheit 4 und der zweite Spektralteilstrahl auf einen Punkt P2 und somit einen zweiten Mikrospiegel auf der Mikrospiegeleinheit 4 abgebildet. In umgekehrter Reihenfolgt erfolgt dies ausgehend von der Mikrospiegeleinheit 4, über den Parabolspiegel 3C und das optische Gitter des optische Gitter 2, so dass die (nun unterschiedlich modulierten) Spektralteilstrahlen wieder zu einem optischen Strahl zusammengeführt werden.
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In 1 erfolgt die räumliche Aufteilung analog.
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In den 1 und 2 sind zur einfacheren Darstellbarkeit lediglich zwei Spektralteilstrahlen dargestellt. Typische Ausführungsbeispiele weisen jedoch eine Vielzahl, beispielsweise 100 Spektralteilstrahlen auf, die entsprechend auf 100 verschiedene Mikrospiegel abgebildet und mit 100 paarweise verschiedenen Modulationsfrequenzen moduliert werden. Bei den in den 1 und 2 dargestellten Ausführungsbeispielen Beträgt die Halbwertsbreite eines jeden Spektralteilstrahls 1 nm. Die Spektralteilstrahlen weisen hierbei paarweise verschiedene Maxima auf, wobei die Maxima einen Frequenzbereich von 200 Hz bis 2 kHz in etwa äqudistant abdecken.
